JP5630253B2

JP5630253B2 - Static pressure gas bearing linear guide device

Info

Publication number: JP5630253B2
Application number: JP2010279265A
Authority: JP
Inventors: 佐藤　俊徳; 俊徳佐藤
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2010-12-15
Filing date: 2010-12-15
Publication date: 2014-11-26
Anticipated expiration: 2030-12-15
Also published as: JP2012127415A

Description

本発明は、加圧された気体（例えば、圧縮空気）を軸受隙間に導入することで、負荷を非接触で支持する静圧気体軸受直線案内装置に関する。 The present invention relates to a static pressure gas bearing linear guide device that supports a load in a non-contact manner by introducing a pressurized gas (for example, compressed air) into a bearing gap.

従来、例えば、高精度な工作機械、加工装置、測定装置、検査装置、及び半導体製造装置等の分野においては、試料、工具、及び検出器等を高精度に移動させて位置決めする必要がある。そのため、かかる移動並びに位置決めに際して例えば摩擦等の影響を殆ど受けない静圧気体軸受直線案内装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, for example, in the fields of high-precision machine tools, processing devices, measuring devices, inspection devices, semiconductor manufacturing devices, and the like, it is necessary to move and position samples, tools, detectors, and the like with high accuracy. Therefore, a static pressure gas bearing linear guide device that is hardly affected by, for example, friction during such movement and positioning is used (for example, see Patent Document 1).

静圧気体軸受直線案内装置は、潤滑剤として加圧された気体（例えば、圧縮空気）を用いた滑り軸受けの一種であり、その一般的な構造としては、所定部位に固定されるガイドレールと、ガイドレールに沿って移動可能な可動体（スライダ）とを備えて構成されている。一例として、特許文献１に示された可動体は、ガイドレールの上側面に対向配置される垂直方向軸受パッドと、当該ガイドレールの片側面に対向配置される水平方向軸受パッドとをＬ字状に組み合わせて構成されている。 The static pressure gas bearing linear guide device is a kind of a sliding bearing using a pressurized gas (for example, compressed air) as a lubricant. As a general structure thereof, a guide rail fixed to a predetermined portion, And a movable body (slider) movable along the guide rail. As an example, the movable body disclosed in Patent Document 1 includes an L-shaped vertical bearing pad that is disposed to face the upper side surface of the guide rail and a horizontal bearing pad that is disposed to face one side surface of the guide rail. It is configured in combination.

そして、各々の軸受パッドには、可動体とガイドレールとの間に加圧された気体（例えば、圧縮空気）を噴射して導入することにより、可動体をガイドレールに対して非接触で支持する空気軸受部と、当該可動体に収納された磁石部とが設けられている。そして、ガイドレールは、その全体が、或いは、可動体の移動方向に沿って上記した磁石部に対向する部位が、磁性材によって形成されており、磁石部と磁性材とが互いに吸引し合うことにより、可動体とガイドレールとの間に磁気吸引力を発生させることができるようになっている。 Each bearing pad supports the movable body in a non-contact manner with respect to the guide rail by injecting and introducing a pressurized gas (for example, compressed air) between the movable body and the guide rail. And an air bearing portion and a magnet portion housed in the movable body are provided. And the guide rail is formed of a magnetic material in its entirety, or a portion facing the above-described magnet portion along the moving direction of the movable body, and the magnet portion and the magnetic material attract each other. Thus, a magnetic attractive force can be generated between the movable body and the guide rail.

この場合、気体噴出部から可動体とガイドレールとの間に圧縮空気を噴射して導入することにより、垂直方向軸受パッドには、ガイドレールに対して垂直方向の浮上力が付与され、水平方向軸受パッドには、ガイドレールに対して水平方向の浮上力が付与される。同時に、磁石部が設けられた可動体と磁性材が施されたガイドレールとの間に上記した磁気吸引力を発生させることにより、垂直方向軸受パッドには、ガイドレールに対して垂直方向の磁気吸引力が付与され、水平方向軸受パッドには、ガイドレールに対して水平方向の磁気吸引力が付与される。 In this case, by injecting and introducing compressed air between the movable body and the guide rail from the gas ejection portion, a vertical levitation force is applied to the vertical bearing pad with respect to the guide rail. The bearing pad is given a floating force in the horizontal direction with respect to the guide rail. At the same time, by generating the magnetic attractive force described above between the movable body provided with the magnet portion and the guide rail provided with the magnetic material, the vertical bearing pad has a magnetic force perpendicular to the guide rail. An attraction force is applied, and a horizontal magnetic attraction force is applied to the horizontal bearing pad with respect to the guide rail.

ここで、上記した浮上力と磁気吸引力とのバランス調整を行うことにより、垂直方向軸受パッドは、ガイドレールから垂直方向に適正量だけ浮上すると共に、水平方向軸受パッドは、ガイドレールから水平方向に適正量だけ浮上する。このとき、可動体とガイドレールとの間には、気体潤滑膜が生成された状態となり、これにより、可動体は、ガイドレールに対して垂直方向及び水平方向に非接触で支持された状態で、当該ガイドレールに沿って移動可能となる。 Here, by adjusting the balance between the levitation force and the magnetic attraction force, the vertical bearing pad floats in the vertical direction from the guide rail by an appropriate amount, and the horizontal bearing pad moves horizontally from the guide rail. Ascend to the appropriate amount. At this time, a gas lubrication film is generated between the movable body and the guide rail, whereby the movable body is supported in a non-contact manner in the vertical and horizontal directions with respect to the guide rail. It becomes possible to move along the guide rail.

特開２００１−５０２７１号公報JP 2001-50271 A

ところで、近年、例えばＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）関連をはじめ各種の製造ラインにおいては、上記した可動体によって移動させるワークの大型化に伴って、ガイドレールを長尺化させる必要がある。そうなると、長尺化させた分だけガイドレールの形成に要する材料が増加し、その結果、当該ガイドレールの質量が増大するだけでなく、ガイドレールの生産プロセスが煩雑化して生産効率が低下すると共に、製造コストも上昇してしまう。 By the way, in recent years, for example, in various production lines including FPD (flat panel display) -related, it is necessary to lengthen the guide rail with an increase in the size of the work to be moved by the movable body. As a result, the material required to form the guide rail increases by the length of the guide rail, which not only increases the mass of the guide rail, but also complicates the guide rail production process and reduces production efficiency. The manufacturing cost will also increase.

この場合、可動体（磁石部）とガイドレール（磁性材）との間に磁気吸引力を発生させるために、当該ガイドレールに施される磁性材は、その質量が大きいものであるため、可動体の磁石部に対向する部位に沿ってガイドレールに磁性材を一部形成した場合には、その分だけ当該ガイドレールの質量がさらに増大してしまう。特に、ガイドレールの全体を磁性材で形成した場合には、当該ガイドレール全体の質量が大幅に増大してしまう。 In this case, in order to generate a magnetic attractive force between the movable body (magnet part) and the guide rail (magnetic material), the magnetic material applied to the guide rail has a large mass. When a part of the magnetic material is formed on the guide rail along the part facing the magnet part of the body, the mass of the guide rail further increases accordingly. In particular, when the entire guide rail is formed of a magnetic material, the mass of the entire guide rail is significantly increased.

更に、この場合、静圧気体軸受直線案内装置には、ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、ピッチング、ヨーイング、ローリングの各方面から当該可動体に作用する外力（特に、モーメント）に対して、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することが要求されている。 Further, in this case, in the static pressure gas bearing linear guide device, when the movable body is moved and positioned along the guide rail, an external force acting on the movable body from each of the pitching, yawing and rolling directions (particularly, For the moment), it is required to support the load stably and efficiently without contact.

本発明は、上記したような問題や要求に対応するためになされており、その目的は、ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、当該ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする静圧気体軸受直線案内装置を提供することにある。 The present invention has been made to cope with the above-described problems and demands, and its purpose is to reduce the weight of the guide rail, improve the production efficiency, reduce the cost, and move the movable body along the guide rail. An object of the present invention is to provide a static pressure gas bearing linear guide device that can stably and efficiently support a load in a non-contact manner when moving and positioning.

このような目的を達成するために、本発明の静圧気体軸受直線案内装置は、固定用水平面に固定されるガイドレールと、前記ガイドレールに沿って水平方向に移動可能な可動体とを有し、前記ガイドレールには、可動体の移動方向に沿って連続して延出した第１のガイド面と、前記第１のガイド面に直交して可動体の移動方向に沿って連続して延出した第２のガイド面と、前記第１のガイド面及び前記第２のガイド面に沿ってそれぞれ可動体の移動方向に連続して延出した磁性材とが設けられており、前記可動体は、前記第１のガイド面に対向配置される第１の軸受パッドと、前記第２のガイド面に対向配置される第２の軸受パッドとを備え、前記第１の軸受パッド及び前記第２の軸受パッドには、それぞれ、前記ガイドレールに向けて加圧された気体を噴射する気体噴出部と、前記磁性材に対向配置された磁石部とが設けられており、前記気体噴出部から前記可動体と前記ガイドレールとの間に加圧された気体を噴射して導入すると共に、前記磁石部と前記磁性材とが互いに吸引し合って前記可動体と前記ガイドレールとの間に磁気吸引力を発生させることにより、前記可動体は、前記ガイドレールに対して所定量浮上しつつ、かつ非接触で支持された状態で、前記ガイドレールに沿って移動可能となる静圧気体軸受直線案内装置であって、前記ガイドレールは、一対のレール構造体を相互に組みあわせて構成されており、前記それぞれのレール構造体は、セラミックス材で形成され、前記固定用水平面から鉛直方向に立ち上がり、かつ可動体の移動方向に沿って連続して延出した柱部と、前記柱部の鉛直方向上下端から連続して水平方向に対向して延出するとともに、可動体の移動方向に沿って連続して延出した一対のフランジ部と、前記一対のフランジ部と柱部とで囲まれた可動体の移動方向で連続した長尺の領域に形成される凹部とで構成されており、前記一対のレール構造体における、一方のレール構造体の前記フランジ部先端面を、他方のレール構造体の柱部に当接させて一体に結合させ、一体に結合させた後の一方のレール構造体の前記フランジ部を含む上側面と、他方のレール構造体の前記フランジ部を含む上側面が前記第１のガイド面を構成し、前記一方のレール構造体の柱部が前記第２のガイド面を構成し、前記一方のレール構造体の上側面と前記他方のレール構造体の上側面の少なくともいずれか一方に、可動体の移動方向で連続した長尺の凹所を形成するとともに、この凹所に前記磁性材が組み込まれ、前記一方のレール構造体の柱部において、可動体の移動方向で連続した長尺の凹所を形成するとともに、この凹所に前記磁性材が組み込まれている。 To achieve the above object, the externally pressurized gas bearing linear guide unit of the present invention is used, the number and the guide rails fixed to the fixing horizontal plane, and a horizontally movable movable member along said guide rail and, wherein the guide rail, a first guide surface extending continuously along the moving direction of the movable body, successively the first perpendicular to the guide surface along the moving direction of the movable body a second guide surface extending, the provided first guide surface and provided with a magnetic material extending in a continuous in the moving direction of the second, respectively along the guide surface movable body, the movable body, a first bearing pad disposed opposite to said first guide surface, and a second bearing pads disposed opposite to said second guide surface, said first bearing pad and the second the second bearing pads, respectively, toward the guide rail pressure The a gas blowout part for ejecting a gas, wherein are arranged to face the magnet portion is provided in the magnetic material, the pressurized gas between said movable member from the gas blowout unit and the guide rail is introduced by injection, by generating a magnetic attraction force between said magnet portion and said magnetic material each other and sucked each other by the movable member and the guide rail, the movable body, the guide rail in a state of being supported by with a predetermined flying height, and non-contact against the a movable become externally pressurized gas bearing linear guide device along the guide rail, said guide rail, a pair of rail structure Each rail structure is formed of a ceramic material, rises vertically from the fixing horizontal surface, and continuously extends along the moving direction of the movable body. A column part, a pair of flange parts continuously extending from the upper and lower ends in the vertical direction of the column part, facing the horizontal direction, and continuously extending along the moving direction of the movable body, and the pair of The flange of one rail structure in the pair of rail structures is configured with a recess formed in a long region continuous in the moving direction of the movable body surrounded by the flange portion and the column portion. The top surface including the flange portion of one rail structure after the front end surface of the rail is brought into contact with the pillar portion of the other rail structure and integrally joined together, and the other rail structure The upper side surface including the flange portion constitutes the first guide surface, the column portion of the one rail structure constitutes the second guide surface, and the upper side surface of the one rail structure and the At least one of the upper surfaces of the other rail structure On the other hand, a long recess that is continuous in the moving direction of the movable body is formed, and the magnetic material is incorporated in the recess, and the column portion of the one rail structure is continuous in the moving direction of the movable body. A long recess is formed, and the magnetic material is incorporated in the recess.

本発明によれば、ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、当該ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする静圧気体軸受直線案内装置を実現することができる。 According to the present invention, the weight of the guide rail is reduced, the production efficiency is improved, and the cost is reduced. In addition, when the movable body is moved and positioned along the guide rail, the load is stably contactless and A static pressure gas bearing linear guide device that enables efficient support can be realized.

本発明の一実施形態に係る静圧気体軸受直線案内装置の全体の構成を概略的に示す斜視図。1 is a perspective view schematically showing an overall configuration of a static pressure gas bearing linear guide device according to an embodiment of the present invention. (ａ)は、図１の矢印Ｘ方向から見た静圧気体軸受直線案内装置の構成を概略的に示す平面図、(ｂ)は、図１の矢印Ｙ方向から見た静圧気体軸受直線案内装置の構成を概略的に示す平面図。(a) is a plan view schematically showing the configuration of a static pressure gas bearing linear guide device as seen from the direction of arrow X in FIG. 1, and (b) is a static pressure gas bearing straight line as seen from the direction of arrow Y in FIG. The top view which shows the structure of a guide apparatus roughly. 本発明の変形例に係る静圧気体軸受直線案内装置の構成を一部拡大して示す斜視図。The perspective view which expands and shows partially the structure of the static pressure gas bearing linear guide apparatus which concerns on the modification of this invention.

以下、本発明の一実施形態に係る静圧気体軸受直線案内装置について、添付図面を参照して説明する。
図１に示すように、本実施形態の静圧気体軸受直線案内装置は、一方向に沿って連続して延出し、かつ所定部位に固定可能なガイドレール２と、ガイドレール２に沿って矢印Ｓ方向に移動可能な可動体４とを有している。 Hereinafter, a static pressure gas bearing linear guide device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
As shown in FIG. 1, the static pressure gas bearing linear guide device of the present embodiment includes a guide rail 2 that extends continuously along one direction and can be fixed to a predetermined portion, and an arrow along the guide rail 2. And a movable body 4 movable in the S direction.

なお、ガイドレール２が固定される所定部位としては、静圧気体軸受直線案内装置の使用目的や使用環境に応じて、例えば、水平面、垂直面、傾斜面などを設定することができるが、ここでは一例として、ガイドレール２が固定される所定部位を固定用水平面（図示しない）とし、当該固定用水平面に固定されたガイドレール２に沿って、可動体４を水平方向に平行移動させて位置決めする場合を想定する。 In addition, as a predetermined site | part to which the guide rail 2 is fixed, although a horizontal surface, a vertical surface, an inclined surface etc. can be set, for example according to the intended purpose or use environment of a static pressure gas bearing linear guide apparatus, here As an example, a predetermined part to which the guide rail 2 is fixed is a fixing horizontal plane (not shown), and the movable body 4 is translated in the horizontal direction along the guide rail 2 fixed to the fixing horizontal plane for positioning. Assume that

ガイドレール２は、その一側面６ａを一部窪ませた凹部６ｇが一方向に沿って連続して形成された一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔを備え、これら凹部６ｇが同一向きに整列するように当該レール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせて構成されている。一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔは、それぞれ、一方向に沿って連続して延出した柱部６ｐと、柱部６ｐの両側から連続し、一方向に沿って互いに平行に、かつ対向して延出した一対のフランジ部ｆ１,ｆ２とを備えている。そして、これら一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔの一側面６ａに形成された凹部６ｇは、柱部６ｐと一対のフランジ部ｆ１,ｆ２とで囲まれた長尺の領域に構成されている。 The guide rail 2 includes a pair of rail structures 6S and 6T in which a recess 6g having a partly recessed side surface 6a is formed continuously in one direction, and the recesses 6g are aligned in the same direction. The rail structures 6S and 6T are combined with each other. Each of the pair of rail structures 6S and 6T is continuous from one side of the column part 6p along one direction, and is continuous from both sides of the column part 6p, and is parallel to and opposite to each other along one direction. A pair of extended flange portions f1 and f2 are provided. And the recessed part 6g formed in one side surface 6a of these pair of rail structures 6S and 6T is comprised in the elongate area | region enclosed by the pillar part 6p and a pair of flange parts f1 and f2.

ここでは一例として、双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔの一側面６ａは、上記した固定用水平面に対して垂直方向に延在する垂直面とする。また、双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔの凹部６ｇは、互いに同じような形状を成しており、当該一側面６ａの一部を一方向に沿って連続して矩形状に窪ませて形成されているものとする。この場合、当該一側面６ａを窪ませる量（深さＧｄ、幅Ｇｗ）は、静圧気体軸受直線案内装置の使用目的や使用環境に応じて設定されるため、ここでは特に限定しない。 Here, as an example, one side surface 6a of both rail structures 6S and 6T is a vertical surface extending in a direction perpendicular to the fixing horizontal surface. The recesses 6g of both rail structures 6S and 6T have the same shape as each other, and are formed by continuously denting part of the one side surface 6a along one direction into a rectangular shape. It shall be. In this case, the amount (depth Gd, width Gw) by which the one side surface 6a can be depressed is set according to the purpose of use or the environment of use of the static pressure gas bearing linear guide device, and is not particularly limited here.

更に、双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔには、凹部６ｇが形成された一側面６ａとは反対側（即ち、上記した柱部６ｐの反凹部６ｇ側）に、上記した固定用水平面に対して垂直方向に延在する他側面６ｂが形成されている。また、双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔにおいて、一対のフランジ部ｆ１,ｆ２のうち、一方のフランジ部ｆ２は、上記した固定用水平面に固定されるようになっており、当該フランジ部ｆ２に対向した他方のフランジ部ｆ１には、凹部６ｇとは反対側に、柱部６ｐの他側面６ｂに対して鉛直方向に延在する上側面６ｃが形成されている。これにより、双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔにおいて、他側面６ｂと上側面６ｃとは、互いに直交し、かつＬ字状を成して構成されている。 Further, the rail structures 6S and 6T are opposite to the one side surface 6a where the recess 6g is formed (that is, on the side opposite to the recess 6g of the column portion 6p) with respect to the fixing horizontal surface described above. The other side surface 6b extending in the vertical direction is formed. Further, in both rail structures 6S and 6T, one flange portion f2 of the pair of flange portions f1 and f2 is fixed to the above-described fixing horizontal surface, and is opposed to the flange portion f2. The other flange portion f1 is formed with an upper side surface 6c extending in the vertical direction with respect to the other side surface 6b of the column portion 6p on the side opposite to the concave portion 6g. Thereby, in both rail structure 6S, 6T, the other side surface 6b and the upper side surface 6c are mutually orthogonally crossed, and comprise L shape.

ここで、一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせる方法としては、例えば、一方のレール構造体６Ｓの一側面６ａを他方のレール構造体６Ｔの他側面６ｂに結合させる。これにより、それぞれの凹部６ｇが同一向きに整列するように一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２が構成される。なお、他方のレール構造体６Ｔの一側面６ａを一方のレール構造体６Ｓの他側面６ｂに結合させてもよい。これによれば、双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔの上側面６ｃは、互いに同一の水平面上に連続して位置付けられ、単一の水平面として構成される。 Here, as a method of combining the pair of rail structures 6S and 6T, for example, one side surface 6a of one rail structure body 6S is coupled to the other side surface 6b of the other rail structure body 6T. Thereby, the guide rail 2 which combined a pair of rail structures 6S and 6T mutually so that each recessed part 6g may align in the same direction is comprised. Note that one side surface 6a of the other rail structure 6T may be coupled to the other side surface 6b of the one rail structure 6S. According to this, the upper side surfaces 6c of both rail structures 6S and 6T are continuously positioned on the same horizontal plane and configured as a single horizontal plane.

この場合、双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔの一側面６ａと他側面６ｂとを結合させる方法としては、例えば、一側面６ａと他側面６ｂとを接着剤で接着させる方法、一側面６ａと他側面６ｂとをボルトで締結させる方法、或いは、接着剤とボルトを併用して結合させる方法などを適用することができる。要するに、静圧気体軸受直線案内装置の使用目的や使用環境に応じて、一側面６ａと他側面６ｂとを結合させる方法を選択すればよい。 In this case, as a method of joining one side surface 6a and the other side surface 6b of both rail structures 6S and 6T, for example, a method of bonding the one side surface 6a and the other side surface 6b with an adhesive, one side surface 6a and the other side surface A method of fastening the side surface 6b with a bolt, a method of using an adhesive and a bolt together, or the like can be applied. In short, a method of joining the one side surface 6a and the other side surface 6b may be selected in accordance with the purpose of use or the usage environment of the static pressure gas bearing linear guide device.

また、上記した一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２には、一方向に沿って連続して延出した第１のガイド面と、第１のガイド面に対してＬ字状に直交し、かつ第１のガイド面の端縁に沿って一方向に連続して延出した第２のガイド面とが構成されている。この場合、第１のガイド面としては、互いに同一の水平面上に連続して位置付けられ、単一の水平面として構成された双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔ（フランジ部ｆ１）の上側面６ｃを適用することができ、また、第２のガイド面として、一方のレール構造体６Ｓ（柱部６ｐ）の他側面６ｂを適用することができる。 In addition, the guide rail 2 in which the pair of rail structures 6S and 6T described above are combined with each other has a first guide surface continuously extending along one direction and an L with respect to the first guide surface. A second guide surface that is orthogonal to the letter shape and extends continuously in one direction along the edge of the first guide surface is formed. In this case, as the first guide surface, the upper side surfaces 6c of both rail structures 6S and 6T (flange portion f1) which are continuously positioned on the same horizontal plane and configured as a single horizontal plane are applied. Moreover, the other side surface 6b of one rail structure 6S (column part 6p) can be applied as a 2nd guide surface.

このようなガイドレール２に沿って移動可能な可動体４は、第１のガイド面（即ち、２つの上側面６ｃ）に対向配置される第１の軸受パッド４ａと、第２のガイド面（即ち、他側面６ｂ）に対向配置される第２の軸受パッド４ｂとを備えており、双方の軸受パッド４ａ,４ｂは、互いにＬ字状を成して連結されている。なお、双方の軸受パッド４ａ,４ｂを連結する方法としては、例えば、接着剤で接着させる方法、ボルトで締結させる方法、或いは、接着剤とボルトを併用して連結させる方法などを適用することができる。 Such a movable body 4 movable along the guide rail 2 includes a first bearing pad 4a disposed opposite to the first guide surface (that is, the two upper side surfaces 6c), and a second guide surface ( That is, it has a second bearing pad 4b disposed opposite to the other side surface 6b), and both the bearing pads 4a and 4b are connected in an L shape. In addition, as a method of connecting both the bearing pads 4a and 4b, for example, a method of bonding with an adhesive, a method of fastening with a bolt, or a method of connecting using an adhesive and a bolt together may be applied. it can.

図１及び図２(ａ),(ｂ)に示すように、上記した一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔは、それぞれ、非磁性材で形成されており、これらレール構造体６Ｓ,６Ｔが相互に組み合わされたガイドレール２には、第１のガイド面（２つの上側面６ｃ）及び第２のガイド面（他側面６ｂ）に沿って一方向に連続して延出した磁性材Ｍが設けられている。この場合、磁性材Ｍは、第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂの幅方向中央部位に一方向に沿って連続して延出して形成配置されている。なお、非磁性材としては、例えば、アルミニウム合金、セラミックスなどを適用することができる。一方、磁性材Ｍとしては、磁石に引き付く特性を有する金属材料（例えば、鉄、ニッケル、コバルトなど）を適用することができる。また、上記したガイド面６ｃ,６ｂの幅方向とは、可動体４の移動方向Ｓに直交する方向に沿った当該ガイド面６ｃ,６ｂの幅方向を指す。 As shown in FIGS. 1 and 2 (a) and 2 (b), the pair of rail structures 6S and 6T described above are each formed of a nonmagnetic material, and the rail structures 6S and 6T are mutually connected. The combined guide rail 2 is provided with a magnetic material M that continuously extends in one direction along the first guide surface (two upper side surfaces 6c) and the second guide surface (other side surface 6b). ing. In this case, the magnetic material M is formed and arranged continuously extending along one direction at the central portion in the width direction of the first and second guide surfaces 6c and 6b. In addition, as a nonmagnetic material, an aluminum alloy, ceramics, etc. are applicable, for example. On the other hand, as the magnetic material M, a metal material (for example, iron, nickel, cobalt, etc.) having a property of attracting to a magnet can be applied. The width direction of the guide surfaces 6c and 6b described above refers to the width direction of the guide surfaces 6c and 6b along the direction orthogonal to the moving direction S of the movable body 4.

第１及び第２の軸受パッド４ａ,４ｂには、それぞれ、ガイドレール２（具体的には、第１のガイド面６ｃ、第２のガイド面６ｂ）に向けて加圧された気体（例えば、圧縮空気）を噴射する気体噴出部８と、可動体４をガイドレール２（第１のガイド面６ｃ、第２のガイド面６ｂ）に吸引させるために上記した磁性材Ｍに対向配置された磁石部１０とが設けられている。図面では一例として、磁石部１０は、可動体４の移動方向Ｓに沿って磁性材Ｍに対向して複数（具体的には、４個）設けられている。 In the first and second bearing pads 4a and 4b, gas pressurized toward the guide rail 2 (specifically, the first guide surface 6c and the second guide surface 6b) (for example, A gas jetting portion 8 for injecting compressed air) and a magnet disposed opposite to the magnetic material M described above to attract the movable body 4 to the guide rail 2 (first guide surface 6c, second guide surface 6b). Part 10 is provided. In the drawing, as an example, a plurality (specifically, four) of magnet portions 10 are provided to face the magnetic material M along the moving direction S of the movable body 4.

気体噴出部８は、幅方向中央部位に配置された複数（４個）の磁石部１０の両側に並列しかつ可動体４の移動方向Ｓに沿って複数設けられている。図面では一例として、８個の気体噴出部８が、４個の磁石部１０の両側にそれぞれ４個ずつ当該磁石部１０に並列して設けられている。この場合、気体噴出部８は、例えば多孔質材が略同心円板状に埋め込まれ、かつガイドレール２（具体的には、第１のガイド面６ｃ、第２のガイド面６ｂ）に対向して構成されている。そして、当該多孔質材を通して加圧された気体（例えば、圧縮空気）を噴射することにより、浮上力を発生させることができるようになっている。なお、かかる浮上力を発生させる方法としては、例えば、自成絞り、表面絞り、多孔質絞り、オリフィス絞り、スロット絞り、毛細管絞りなど、従来から知られている方法を適用すればよい。 A plurality of gas ejection portions 8 are provided in parallel along the moving direction S of the movable body 4 on both sides of a plurality (four) of the magnet portions 10 disposed at the central portion in the width direction. In the drawing, as an example, eight gas ejection portions 8 are provided in parallel on the two magnet portions 10 on both sides of the four magnet portions 10. In this case, for example, the gas ejection portion 8 has a porous material embedded in a substantially concentric disk shape and faces the guide rail 2 (specifically, the first guide surface 6c and the second guide surface 6b). It is configured. A levitation force can be generated by injecting a pressurized gas (for example, compressed air) through the porous material. As a method for generating such levitation force, a conventionally known method such as a self-drawing diaphragm, a surface diaphragm, a porous diaphragm, an orifice diaphragm, a slot diaphragm, or a capillary diaphragm may be applied.

また、上記した気体噴出部８相互間に設けられている各磁石部１０は、ガイドレール２（具体的には、第１のガイド面６ｃ、第２のガイド面６ｂ）の幅方向中央部位に一方向に沿って連続して延出して形成配置された磁性材Ｍに対向し、当該磁性材Ｍとの間で磁気吸引力を発生させることができるようになっている。この場合、磁石部１０としては、例えば、アルニコ磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、ネオジム磁石などの永久磁石を適用することができる。 Moreover, each magnet part 10 provided between the above-mentioned gas ejection parts 8 is in the center part of the width direction of the guide rail 2 (specifically 1st guide surface 6c, 2nd guide surface 6b). It faces the magnetic material M formed and arranged continuously extending along one direction, and a magnetic attraction force can be generated between the magnetic material M and the magnetic material M. In this case, for example, a permanent magnet such as an alnico magnet, a ferrite magnet, a samarium cobalt magnet, or a neodymium magnet can be used as the magnet unit 10.

ここで、磁性材Ｍをガイドレール２（具体的には、第１のガイド面６ｃ）の幅方向中央部位に一方向に沿って連続して延出させる方法としては、例えば、上記した一方のレール構造体６Ｓの各フランジ部ｆ１,ｆ２を同量だけ延長させ、そのフランジ部ｆ１の上側面６ｃにおいて、当該延長させた部位を可動体４の移動方向Ｓに沿って一側面６ａに亘り連続して窪ませて長尺の凹所６ｄを構成する。そして、上記したように一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせると、このとき、凹所６ｄの両側には、互いに同一の形状（幅）を成す第１のガイド面６ｃが構成される。そして、当該凹所６ｄに沿って磁性材Ｍを形成して配置させることで、磁性材Ｍをガイドレール２（第１のガイド面６ｃ）の幅方向中央部位に一方向に沿って連続して延出させることができる。 Here, as a method of continuously extending the magnetic material M along one direction to the central portion in the width direction of the guide rail 2 (specifically, the first guide surface 6c), for example, The flange portions f1 and f2 of the rail structure 6S are extended by the same amount, and the extended portion is continuously extended over the one side surface 6a along the moving direction S of the movable body 4 on the upper side surface 6c of the flange portion f1. Then, a long recess 6d is formed. When the pair of rail structures 6S and 6T are combined with each other as described above, the first guide surfaces 6c having the same shape (width) are formed on both sides of the recess 6d. . Then, by forming and arranging the magnetic material M along the recess 6d, the magnetic material M is continuously provided along one direction at the central portion in the width direction of the guide rail 2 (first guide surface 6c). Can be extended.

また、磁性材Ｍをガイドレール２（具体的には、第２のガイド面６ｂ）の幅方向中央部位に一方向に沿って連続して延出させる方法としては、例えば、上記した一方のレール構造体６Ｓの柱部６ｐの他側面６ｂにおいて、その幅方向中央部位を可動体４の移動方向Ｓに沿って連続して窪ませて長尺の凹所６ｅを構成する。このとき、凹所６ｅの両側には、互いに同一の形状（幅）を成す第２のガイド面６ｂが構成される、そして、当該凹所６ｅに沿って磁性材Ｍを形成して配置させることで、磁性材Ｍをガイドレール２（第２のガイド面６ｂ）の幅方向中央部位に一方向に沿って連続して延出させることができる。 In addition, as a method of continuously extending the magnetic material M along one direction to the central portion in the width direction of the guide rail 2 (specifically, the second guide surface 6b), for example, one rail described above is used. On the other side surface 6b of the column portion 6p of the structure 6S, the central portion in the width direction is continuously depressed along the moving direction S of the movable body 4 to form a long recess 6e. At this time, second guide surfaces 6b having the same shape (width) are formed on both sides of the recess 6e, and the magnetic material M is formed and disposed along the recess 6e. Thus, the magnetic material M can be continuously extended along one direction to the central portion in the width direction of the guide rail 2 (second guide surface 6b).

ここで、上記した凹所６ｄ,６ｅに磁性材Ｍを形成配置させる方法としては、例えば、凹所６ｄ,６ｅの内部形状と同一の輪郭形状を成す長尺の磁性材Ｍを用意し、これを凹所６ｄ,６ｅに嵌め込んだ状態で、接着剤で接着させる方法、ボルトで締結させる方法、或いは、接着剤とボルトを併用して結合させる方法などを適用することができる。なお、図面では一例として、断面矩形状の凹所６ｄ,６ｅと、これに嵌め込み可能な断面矩形状の磁性材Ｍとを示したが、これに代えて、例えば、円弧形状、楕円形状、台形状など各種の形状で凹所６ｄ,６ｅを構成し、当該凹所６ｄ,６ｅの内部形状と同一の輪郭形状を成す長尺の磁性材Ｍを用意してもよい。 Here, as a method of forming and arranging the magnetic material M in the recesses 6d and 6e, for example, a long magnetic material M having the same contour shape as the internal shape of the recesses 6d and 6e is prepared. A method of bonding with an adhesive, a method of fastening with a bolt, a method of using a combination of an adhesive and a bolt, or the like can be applied. In the drawings, as an example, the recesses 6d and 6e having a rectangular cross section and the magnetic material M having a rectangular cross section that can be fitted into the recess are shown, but instead, for example, an arc shape, an elliptical shape, a platform The recesses 6d and 6e may be configured in various shapes such as a shape, and a long magnetic material M having the same contour shape as the internal shape of the recesses 6d and 6e may be prepared.

また、図面では一例として、８個の気体噴出部８を、４個の磁石部１０の両側にそれぞれ４個ずつ並列して設けた構成が示されているが、静圧気体軸受直線案内装置の使用目的や使用環境に応じて、気体噴出部８を配置する個数や位置が設定されるため、ここでは特に限定しない。なお、気体噴出部８は、気体供給路８ｒを介してコンプレッサ（図示しない）に接続されており、磁石部１０による磁気吸引力（強さ）は、例えば、気体噴出部８による浮上力を考慮して予め設定されている。 In the drawing, as an example, a configuration in which four gas ejection portions 8 are provided in parallel on each side of the four magnet portions 10 is shown, but the static pressure gas bearing linear guide device is shown. Since the number and position of the gas ejection portions 8 are set according to the purpose of use and the usage environment, there is no particular limitation here. In addition, the gas ejection part 8 is connected to a compressor (not shown) via the gas supply path 8r, and the magnetic attraction force (strength) by the magnet part 10 considers the levitation force by the gas ejection part 8, for example. Is set in advance.

この場合、コンプレッサから気体供給路８ｒを通して供給された加圧された気体（例えば、圧縮空気）を、気体噴出部８から適宜の圧力に絞られた状態で可動体４とガイドレール２との間に噴射して導入することにより、第１の軸受パッド４ａには、ガイドレール２に対して垂直方向の浮上力が付与され、第２の軸受パッド４ｂには、ガイドレール２に対して水平方向の浮上力が付与される。 In this case, the pressurized gas (for example, compressed air) supplied from the compressor through the gas supply path 8r is compressed between the movable body 4 and the guide rail 2 in a state where the pressure is reduced to an appropriate pressure from the gas ejection portion 8. By being injected into the first bearing pad 4a, the first bearing pad 4a is given a vertical lifting force with respect to the guide rail 2, and the second bearing pad 4b is horizontal with respect to the guide rail 2. The levitation force is given.

同時に、磁石部１０と磁性材Ｍとが互いに吸引し合って可動体４とガイドレール２との間に磁気吸引力を発生させることにより、第１の軸受パッド４ａには、ガイドレール２に対して垂直方向の磁気吸引力が付与され、第２の軸受パッド４ｂには、ガイドレール２に対して水平方向の磁気吸引力が付与される。 At the same time, the magnet portion 10 and the magnetic material M attract each other to generate a magnetic attractive force between the movable body 4 and the guide rail 2, so that the first bearing pad 4 a has a force relative to the guide rail 2. Thus, a magnetic attractive force in the vertical direction is applied, and a magnetic attractive force in the horizontal direction is applied to the second bearing pad 4 b with respect to the guide rail 2.

このとき、図示しない制御装置によってコンプレッサを制御し、可動体４の重力と上記した磁気吸引力とに基づいて、浮上力のバランス調整を行うことにより、第１の軸受パッド４ａは、ガイドレール２から垂直方向に適正量だけ浮上すると共に、第２の軸受パッド４ｂは、ガイドレール２から水平方向に適正量だけ浮上する。このとき、可動体４とガイドレール２との間には、気体潤滑膜が生成された状態となり、これにより、可動体４は、ガイドレール２に対して垂直方向及び水平方向に非接触で支持された状態で、当該ガイドレール２に沿って移動可能となる。 At this time, the first bearing pad 4a is controlled by the guide rail 2 by controlling the compressor by a control device (not shown) and adjusting the balance of the levitation force based on the gravity of the movable body 4 and the magnetic attraction force described above. The second bearing pad 4b floats from the guide rail 2 in the horizontal direction by an appropriate amount. At this time, a gas lubrication film is generated between the movable body 4 and the guide rail 2, whereby the movable body 4 is supported in a non-contact manner in the vertical and horizontal directions with respect to the guide rail 2. In this state, it can move along the guide rail 2.

以上、本実施形態によれば、凹部６ｇが一方向に沿って連続して形成された一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔによってガイドレール２を構成したことにより、当該ガイドレール２を長尺化させた場合でも、凹部６ｇを形成した分だけ当該ガイドレール２の形成に要する材料を削減することができる。これにより、当該ガイドレール２の大きさは一定に維持しつつ、その質量を大幅に減少させることができると共に、製造コストを飛躍的に低減させることができる。 As described above, according to the present embodiment, the guide rail 2 is configured by the pair of rail structures 6S and 6T in which the recess 6g is continuously formed along one direction, so that the guide rail 2 is elongated. Even in this case, the material required for forming the guide rail 2 can be reduced by the amount of the recess 6g. Thereby, while maintaining the magnitude | size of the said guide rail 2 constant, while being able to reduce the mass significantly, manufacturing cost can be reduced significantly.

また、本実施形態によれば、双方のレール構造体６Ｓ,６Ｔを互いに同じような形状に構成することにより、一方のレール構造体６Ｓの一側面６ａを他方のレール構造体６Ｔの他側面６ｂに結合させても、逆に、他方のレール構造体６Ｔの一側面６ａを一方のレール構造体６Ｓの他側面６ｂに結合させても、常に同様のガイドレール２を生産することができる。これにより、ガイドレール２の生産プロセスが簡素化して生産効率を向上させることができると共に、製造コストの低減を図ることもできる。 Further, according to the present embodiment, both rail structures 6S and 6T are configured in the same shape, so that one side surface 6a of one rail structure body 6S is replaced with the other side surface 6b of the other rail structure body 6T. Even if it is coupled to the other side surface, conversely, even if one side surface 6a of the other rail structure body 6T is coupled to the other side surface 6b of one rail structure body 6S, the same guide rail 2 can always be produced. Thereby, the production process of the guide rail 2 can be simplified and the production efficiency can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.

また、本実施形態によれば、一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔによってガイドレール２を構成した状態において、外部に面している凹部６ｇ内の一方のフランジ部ｆ２に、例えば固定用孔を形成することができる。これにより、ガイドレール２の設置スペースを広く確保する必要がなくなるため、静圧気体軸受直線案内装置の全体のコンパクト化を図ることができる。 Further, according to the present embodiment, in the state where the guide rail 2 is configured by the pair of rail structures 6S and 6T, for example, a fixing hole is formed in one flange portion f2 in the concave portion 6g facing the outside. can do. Thereby, since it is not necessary to ensure a large installation space for the guide rail 2, the entire static pressure gas bearing linear guide device can be made compact.

また、本実施形態によれば、加工精度が出し易く経年変化が極めて少ない材料、例えばセラミックス等の高価な非磁性材でガイドレール２（即ち、一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔ）を構成した場合でも、凹部６ｇを形成した分だけ当該ガイドレール２の形成に要する非磁性材（例えば、セラミックス材）を削減することができる。これにより、超精密用途のガイドレール２を低コストで実現することができる。 Further, according to the present embodiment, when the guide rail 2 (that is, the pair of rail structures 6S and 6T) is made of an expensive non-magnetic material such as ceramics that is easy to obtain processing accuracy and has very little secular change. However, the nonmagnetic material (for example, ceramic material) required for forming the guide rail 2 can be reduced by the amount of the recess 6g. Thereby, the guide rail 2 for ultraprecision applications can be realized at low cost.

更に、本実施形態によれば、Ｌ字状を成してガイドレール２に構成された第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂに対して、第１及び第２の軸受パッド４ａ,４ｂを対向させて可動体４を構成したことにより、ガイドレール２に沿って可動体４を移動させて位置決めする際において、ピッチング、ヨーイング、ローリングの各方面から当該可動体４に作用する外力（特に、モーメント）に対して、その負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することができる。 Furthermore, according to the present embodiment, the first and second bearing pads 4a and 4b are formed on the first and second guide surfaces 6c and 6b formed in the guide rail 2 in an L shape. By configuring the movable body 4 to face each other, when the movable body 4 is moved and positioned along the guide rail 2, an external force (particularly, acting on the movable body 4 from each of the pitching, yawing and rolling directions) The moment can be supported stably and efficiently without contact.

この場合、各軸受パッド４ａ,４ｂにおいて、複数の磁石部１０を幅方向中央部位に可動体４の移動方向Ｓに沿って配置すると共に、複数の気体噴出部８を当該磁石部１０の両側に並列しかつ可動体４の移動方向Ｓに沿って配置したことにより、圧縮空気の噴出と磁気吸引力の発生とを同一平面に構成することができるため、ピッチング、ヨーイング、ローリングの各方面から当該可動体４に作用する外力（特に、モーメント）に対する負荷を面状に受けることができる。これにより、高い真直度精度で可動体４をガイドレール２に沿って移動させ、所定位置で精度良く位置決めすることができる。 In this case, in each of the bearing pads 4a and 4b, the plurality of magnet portions 10 are arranged along the moving direction S of the movable body 4 at the central portion in the width direction, and the plurality of gas ejection portions 8 are arranged on both sides of the magnet portion 10. By arranging in parallel and along the moving direction S of the movable body 4, the ejection of compressed air and the generation of magnetic attractive force can be configured in the same plane, so that the pitching, yawing, and rolling can be A load against an external force (in particular, moment) acting on the movable body 4 can be received in a planar shape. Thereby, the movable body 4 can be moved along the guide rail 2 with high straightness accuracy, and can be accurately positioned at a predetermined position.

また、各軸受パッド４ａ,４ｂにおいて、各磁石部１０とその両側の各気体噴出部８とを相互に近接して配置することが可能であり、そうすることにより、圧縮空気の噴出と磁気吸引力の発生とを比較的近い位置で行うことができる。このため、各軸受パッド４ａ,４ｂ内でのせん断応力によるモーメントの発生を極めて少なくすることが可能となり、その結果、当該軸受パッド４ａ,４ｂの変形の虞れを殆どなくすことができる。 Moreover, in each bearing pad 4a, 4b, it is possible to arrange | position each magnet part 10 and each gas ejection part 8 of the both sides close to each other, and by doing so, ejection of compressed air and magnetic attraction | suction Force generation can be performed at a relatively close position. For this reason, it becomes possible to reduce generation | occurrence | production of the moment by the shear stress in each bearing pad 4a, 4b very much, As a result, the possibility of a deformation | transformation of the said bearing pad 4a, 4b can be almost eliminated.

更に、各軸受パッド４ａ,４ｂにおいて、各磁石部１０とその両側の各気体噴出部８とを相互に近接して配置することにより、各軸受パッド４ａ,４ｂにモーメント負荷が加えられて、当該軸受パッド４ａ,４ｂが揺動するような場合が生じても、磁石部１０とガイドレール２（第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂ）との間の隙間は殆ど変動することがない。このため、各磁石部１０と上記した磁性材Ｍとの間において、磁気吸引力が急激に増減変化することはなく、これにより、静圧気体軸受直線案内装置の負荷能力を常に一定に維持することができる。 Furthermore, in each bearing pad 4a, 4b, by disposing each magnet part 10 and each gas ejection part 8 on both sides thereof in close proximity to each other, a moment load is applied to each bearing pad 4a, 4b. Even when the bearing pads 4a and 4b are swung, the gap between the magnet portion 10 and the guide rail 2 (first and second guide surfaces 6c and 6b) hardly varies. For this reason, the magnetic attractive force does not increase or decrease abruptly between each magnet unit 10 and the magnetic material M described above, so that the load capability of the static pressure gas bearing linear guide device is always kept constant. be able to.

また、各軸受パッド４ａ,４ｂにおいて、複数の磁石部１０の両側に並列して複数の気体噴出部８を配置構成したことにより、例えば、可動体４をガイドレール２に沿って移動させている間に磁性材Ｍの塵芥等が発生した場合でも、当該塵芥等は各気体噴出部８からの圧縮空気によって吹き払われるため、当該塵芥等が各磁石部１０に付着するといった事態を未然に防止することができる。これにより、静圧気体軸受直線案内装置の負荷能力を常に一定に維持しつつ、高い真直度精度で可動体４をガイドレール２に沿って移動させ、所定位置で精度良く位置決めすることができる。 Moreover, in each bearing pad 4a, 4b, since the several gas ejection part 8 was arrange | positioned in parallel on the both sides of the several magnet part 10, the movable body 4 is moved along the guide rail 2, for example. Even when dust or the like of the magnetic material M is generated in the meantime, since the dust or the like is blown away by the compressed air from each gas ejection portion 8, it is possible to prevent the dust and the like from adhering to each magnet portion 10. can do. Thereby, the movable body 4 can be moved along the guide rail 2 with high straightness accuracy and accurately positioned at a predetermined position while the load capacity of the static pressure gas bearing linear guide device is always kept constant.

なお、上記した一実施形態では、凹部６ｇとして矩形状のものを示したが、これに限定されることはなく、例えば、円弧形状、楕円形状、台形状など各種の形状で凹部６ｇを構成してもよい。 In the above-described embodiment, the concave portion 6g has a rectangular shape. However, the present invention is not limited to this. For example, the concave portion 6g is configured in various shapes such as an arc shape, an elliptical shape, and a trapezoidal shape. May be.

また、上記した一実施形態では、磁性材Ｍをガイドレール２（第１のガイド面６ｃ）の幅方向中央部位に一方向に沿って連続して延出させる方法として、上記した一方のレール構造体６Ｓの各フランジ部ｆ１,ｆ２を同量だけ延長させ、そのフランジ部ｆ１の上側面６ｃにおいて、当該延長させた部位を可動体４の移動方向Ｓに沿って一側面６ａに亘り連続して窪ませて長尺の凹所６ｄを構成したが、これに代えて、例えば図３に示すような方法であってもよい。 In the above-described embodiment, the above-described one rail structure is used as a method of continuously extending the magnetic material M along one direction to the central portion in the width direction of the guide rail 2 (first guide surface 6c). The flange portions f1 and f2 of the body 6S are extended by the same amount, and the extended portion is continuously extended over the one side surface 6a along the moving direction S of the movable body 4 on the upper side surface 6c of the flange portion f1. Although the long recess 6d is formed by being recessed, a method as shown in FIG. 3 may be used instead.

即ち、互いに同一形状を成す一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔを用意（構成）する。そして、一方のレール構造体６Ｓのフランジ部ｆ１の上側面６ｃにおいて、一側面６ａ寄りの部位を、可動体４の移動方向Ｓに沿って一側面６ａに亘り連続して窪ませて長尺の凹所６ｄ-１を構成する。また、他方のレール構造体６Ｔのフランジ部ｆ１の上側面６ｃにおいて、柱部６ｐの他側面６ｂ寄りの部位を、可動体４の移動方向Ｓに沿って他側面６ｂに亘り連続して窪ませて長尺の凹所６ｄ-２を構成する。この場合、双方の凹所６ｄ-１,６ｄ-２の形状（窪ませ幅、窪ませ深さ）は、互いに同一に設定する。 That is, a pair of rail structures 6S and 6T having the same shape is prepared (configured). And in the upper side surface 6c of the flange part f1 of one rail structure body 6S, the site | part close | similar to one side surface 6a is continuously depressed over one side surface 6a along the moving direction S of the movable body 4, and is long. A recess 6d-1 is formed. Further, in the upper side surface 6c of the flange portion f1 of the other rail structure 6T, the portion near the other side surface 6b of the column portion 6p is continuously depressed along the moving direction S of the movable body 4 over the other side surface 6b. Thus, a long recess 6d-2 is formed. In this case, the shapes of the recesses 6d-1 and 6d-2 (indentation width and indentation depth) are set to be the same.

そして、一方のレール構造体６Ｓの一側面６ａを他方のレール構造体６Ｔの他側面６ｂに結合させる。これにより、それぞれの凹部６ｇが同一向きに整列するように一対のレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２が構成され、その第１のガイド面（即ち、２つの上側面６ｃ）の幅方向中央部位には、双方の凹所６ｄ-１,６ｄ-２によって構成された１本の凹所が、可動体４の移動方向Ｓに沿って連続して延出する。 Then, one side surface 6a of one rail structure 6S is coupled to the other side surface 6b of the other rail structure 6T. As a result, the guide rail 2 is formed by combining the pair of rail structures 6S and 6T so that the respective recesses 6g are aligned in the same direction, and the first guide surface (that is, the two upper side surfaces 6c). One recess formed by both the recesses 6d-1 and 6d-2 extends continuously along the moving direction S of the movable body 4 at the central portion in the width direction.

このとき、当該凹所６ｄ-１,６ｄ-２の両側には、互いに同一の形状（幅）を成す第１のガイド面６ｃが構成される。そして、当該凹所に沿って磁性材Ｍを形成して配置させることで、磁性材Ｍをガイドレール２（第１のガイド面６ｃ）の幅方向中央部位に一方向に沿って連続して延出させることができる。 At this time, the first guide surfaces 6c having the same shape (width) are formed on both sides of the recesses 6d-1, 6d-2. Then, by forming and arranging the magnetic material M along the recess, the magnetic material M is continuously extended along one direction to the central portion in the width direction of the guide rail 2 (first guide surface 6c). Can be issued.

２ガイドレール
４可動体
４ａ第１の軸受パッド
４ｂ第２の軸受パッド
６ｃ第１のガイド面
６ｂ第２のガイド面
６ｇ凹部
６Ｓ,６Ｔレール構造体
８気体噴出部
１０磁石部 2 Guide rail 4 Movable body 4a 1st bearing pad 4b 2nd bearing pad 6c 1st guide surface 6b 2nd guide surface 6g Recess 6S, 6T Rail structure 8 Gas ejection part 10 Magnet part

Claims

A guide rail fixed to the fixing horizontal surface ;
And a movable movable member in the horizontal direction along the guide rail,
The guide rail includes a first guide surface extending continuously along the moving direction of the movable body ,
A second guide surface extending continuously along the moving direction of the movable body perpendicular to the first guide surface;
It said first guide surface and have a magnetic material is provided extending continuously in the direction of movement of each movable member along the second guide surface,
The movable body includes a first bearing pads disposed opposite to said first guide surface,
A second bearing pad disposed opposite to the second guide surface,
Wherein the first bearing pads and said second bearing pads, respectively, a gas blowout part for ejecting a pressurized gas toward the guide rail,
Wherein the oppositely disposed magnet portion is provided in the magnetic material,
Is introduced by injecting pressurized gas between said guide rail and said movable member from the gas blowout part, the said movable member and said magnet portion and said magnetic material suddenly finds sucked together guide rail by generating a magnetic attraction force between the movable body, while a predetermined flying height relative to said guide rail, and in a state of being supported in a non-contact, and movable along the guide rail A static pressure gas bearing linear guide device ,
The guide rail is configured by combining a pair of rail structures with each other,
Each of the rail structures is formed of a ceramic material, rises in a vertical direction from the fixing horizontal plane, and continuously extends along the moving direction of the movable body,
A pair of flange portions that continuously extend from the upper and lower ends in the vertical direction of the column portion and face each other in the horizontal direction, and continuously extend along the moving direction of the movable body,
It is composed of a concave portion formed in a long region continuous in the moving direction of the movable body surrounded by the pair of flange portions and the column portion,
In the pair of rail structures, the flange portion front end surface of one rail structure is brought into contact with the pillar portion of the other rail structure and integrally coupled,
The upper side surface including the flange portion of one rail structure after being integrally joined and the upper side surface including the flange portion of the other rail structure constitute the first guide surface, and the one rail The pillar portion of the structure constitutes the second guide surface,
At least one of the upper side surface of the one rail structure and the upper side surface of the other rail structure is formed with a long recess continuous in the moving direction of the movable body, and the magnetic Material is incorporated,
A static pressure gas bearing characterized in that, in the pillar portion of the one rail structure, a long recess is formed which is continuous in the moving direction of the movable body, and the magnetic material is incorporated in the recess. Linear guide device.