JP5628489B2 - Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same - Google Patents

Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same Download PDF

Info

Publication number
JP5628489B2
JP5628489B2 JP2009139629A JP2009139629A JP5628489B2 JP 5628489 B2 JP5628489 B2 JP 5628489B2 JP 2009139629 A JP2009139629 A JP 2009139629A JP 2009139629 A JP2009139629 A JP 2009139629A JP 5628489 B2 JP5628489 B2 JP 5628489B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
compound
curable composition
compounds
thin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009139629A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2010285519A (en
Inventor
井手 正仁
正仁 井手
眞鍋 貴雄
貴雄 眞鍋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kaneka Corp
Original Assignee
Kaneka Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kaneka Corp filed Critical Kaneka Corp
Priority to JP2009139629A priority Critical patent/JP5628489B2/en
Publication of JP2010285519A publication Critical patent/JP2010285519A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5628489B2 publication Critical patent/JP5628489B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

本発明は、ある特定構造を有する変性ポリオルガノシロキサン化合物を含有する硬化性組成物であり、光学的透明性に優れる光硬化性材料を提供すること。   The present invention provides a photocurable material that is a curable composition containing a modified polyorganosiloxane compound having a specific structure and is excellent in optical transparency.

一般に光硬化性材料は様々な用途に適用されているが、その材料の一つであるレジスト材料の多くは、ノボラック樹脂、アクリル酸共重合体、ポリアミド酸等の樹脂材料が特に電子材料分野を中心に広く用いられており、特許文献1〜3等に示されている。   In general, photocurable materials are applied to various applications, but most of the resist materials that are one of the materials are resin materials such as novolak resins, acrylic acid copolymers, and polyamic acids, especially in the field of electronic materials. It is widely used in the center and is shown in Patent Documents 1 to 3 and the like.

しかしこれら代表されるような材料についても、200℃を超えるような高温時においては信頼性(熱分解、クラック、剥がれ等)および透明性に欠けるため、感光性および耐熱性、透明性等の高温時信頼性を両立させる点で満足できる材料は得られていない。   However, these representative materials also lack high reliability (thermal decomposition, cracking, peeling, etc.) and transparency at high temperatures exceeding 200 ° C., so that high temperatures such as photosensitivity, heat resistance, transparency, etc. No satisfactory material has been obtained in terms of both time and reliability.

特許第3203843号公報Japanese Patent No. 3203843 特開2005−266673号公報JP 2005-266673 A 特開平4−218051号公報JP-A-4-218051

上記事情から、本発明の目的は、光硬化性を有し、かつ耐熱透明性に優れた硬化物を与える硬化性組成物を提供することである。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a curable composition that provides a cured product having photocurability and excellent heat-resistant transparency.

上記事情に鑑み、本発明者らが鋭意検討した結果、下記特長を有する樹脂組成物を用いることにより上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち本発明は、以下の構成を有するものである。   In view of the above circumstances, as a result of intensive studies by the present inventors, it has been found that the above problems can be solved by using a resin composition having the following features, and the present invention has been completed. That is, the present invention has the following configuration.

1). 必須成分として(A)アルケニル基を有し、かつ、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する変性ポリオルガノシロキサン化合物、(B)1分子中に2個以上のチオール基を有する化合物、(C)光ラジカル重合開始剤 を含有する硬化性組成物。   1). The same molecule having at least one selected from the group consisting of (A) an alkenyl group as an essential component and each structure represented by the following formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group A curable composition comprising a modified polyorganosiloxane compound contained therein, (B) a compound having two or more thiol groups in one molecule, and (C) a photoradical polymerization initiator.

Figure 0005628489
Figure 0005628489

2). (A)(α)アルケニル基を有しかつ下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を有する化合物と、(β)SiH基を有するポリオルガノシロキサン化合物を反応させて得られる変性ポリオルガノシロキサン化合物、(B)1分子中に2個以上のチオール基を有する化合物、(C)光ラジカル重合開始剤 を含有する硬化性組成物。   2). (A) (α) a compound having an alkenyl group and having at least one selected from the group consisting of each structure represented by the following formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group; (Β) A modified polyorganosiloxane compound obtained by reacting a polyorganosiloxane compound having a SiH group, (B) a compound having two or more thiol groups in one molecule, and (C) a photo radical polymerization initiator A curable composition.

Figure 0005628489
Figure 0005628489

3). 成分(A)が、下記化合物αとβのヒドロシリル化反応生成物である1)に記載の硬化性組成物:
(α)アルケニル基を有し、かつ、式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する有機化合物、
(β)1分子中にSiH基を2個以上有する鎖状及び/又は環状のポリオルガノシロキサン化合物。
3). The curable composition according to 1), wherein component (A) is a hydrosilylation reaction product of the following compounds α and β:
(Α) an organic compound having an alkenyl group and having in the same molecule at least one selected from the group consisting of each structure represented by formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group Compound,
(Β) A linear and / or cyclic polyorganosiloxane compound having two or more SiH groups in one molecule.

4). 化合物(β)が、下記一般式(I)   4). Compound (β) is represented by the following general formula (I)

Figure 0005628489
Figure 0005628489

(式中R2、R3は炭素数1〜10の有機基を表し、nは1〜10、mは0〜10、ただしm+n≧3、の数を表す)で表されるSiH基を有する環状ポリオルガノシロキサン化合物である請求項2または3に記載の硬化性組成物。 (Wherein R 2 and R 3 represent an organic group having 1 to 10 carbon atoms, n represents 1 to 10, m represents 0 to 10, provided that m + n ≧ 3). The curable composition according to claim 2, which is a cyclic polyorganosiloxane compound.

5). 成分(B)が、チオール基含有ポリシロキサン化合物であることを特徴とする1)〜4)のいずれか一に記載の硬化性組成物。   5). The curable composition according to any one of 1) to 4), wherein the component (B) is a thiol group-containing polysiloxane compound.

6). 必須成分としてさらに(D)アルケニル基含有化合物 を含むことを特徴とする1)〜5)のいずれか一に記載の硬化性組成物。   6). The curable composition according to any one of 1) to 5), further comprising (D) an alkenyl group-containing compound as an essential component.

7). 1)〜6)のいずれか一に記載の硬化性組成物を用いることで得られる絶縁膜。   7). An insulating film obtained by using the curable composition according to any one of 1) to 6).

8). 7)に記載の絶縁膜を半導体層のパッシベーション膜とすることを特徴とする薄膜トランジスタ。   8). 7) A thin film transistor, wherein the insulating film described in 7) is a passivation film of a semiconductor layer.

9). 7)に記載の絶縁膜をゲート絶縁膜とすることを特徴とする薄膜トランジスタ。   9). A thin film transistor, wherein the insulating film according to 7) is a gate insulating film.

本発明によれば、変性ポリオルガノシロキサン化合物を含有する硬化性組成物であり、光学的透明性に優れる光硬化性材料を与え得る。   According to the present invention, it is a curable composition containing a modified polyorganosiloxane compound, and can provide a photocurable material having excellent optical transparency.

発明の詳細を説明する。   The details of the invention will be described.

本発明の樹脂組成物は、光硬化が可能な新規な変性ポリオルガノシロキサン化合物を提供でき、硬化後は、光学的透明性、耐熱性に優れた硬化物、薄膜を与え得る。
(成分A)
次に、本発明の成分(A)について説明する。
The resin composition of the present invention can provide a novel modified polyorganosiloxane compound capable of photocuring, and can provide a cured product and a thin film excellent in optical transparency and heat resistance after curing.
(Component A)
Next, the component (A) of the present invention will be described.

ここで言う変性ポリオルガノシロキサン化合物とは、シロキサン単位(Si−O−Si)および、構成元素としてC、H、N、O、Sからなる有機基Xとから構成される化合物、重合体が好ましい。   The modified polyorganosiloxane compound referred to here is preferably a compound or polymer composed of a siloxane unit (Si—O—Si) and an organic group X composed of C, H, N, O, and S as constituent elements. .

本発明の硬化性組成物の必須成分である変性ポリオルガノシロキサン化合物(A)は、アルケニル基を有し、かつ、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する変性ポリオルガノシロキサン化合物が用いられる。   The modified polyorganosiloxane compound (A), which is an essential component of the curable composition of the present invention, has an alkenyl group and is represented by the following formulas (X1) to (X3) and a phenolic hydroxyl group: And a modified polyorganosiloxane compound having in the same molecule at least one selected from the group consisting of carboxyl groups.

Figure 0005628489
Figure 0005628489

また別の態様として本発明の硬化性組成物の必須成分である変性ポリオルガノシロキサン化合物(A)は、(α)アルケニル基を有し、かつ、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、   In another embodiment, the modified polyorganosiloxane compound (A) which is an essential component of the curable composition of the present invention has (α) an alkenyl group and is represented by the following formulas (X1) to (X3). Each structure

Figure 0005628489
Figure 0005628489

フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群(以下、「上記式(X1)〜(X3)で表される各構造、フェノール性水酸基およびカルボキシル基」を「酸性基」と称することがある。)から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する化合物、(β)SiH基を有するポリオルガノシロキサン化合物を反応させて得られるものも用いることができる。 A group consisting of a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group (hereinafter, “each structure represented by the above formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group” may be referred to as an “acidic group”). A compound obtained by reacting a polyorganosiloxane compound having a (β) SiH group with at least one selected from the group consisting of the same in the same molecule can also be used.

これら化合物を用いることにより、アルカリ水溶液への溶解が可能となり、アルカリ現像可能なレジスト材料として適用することができ得る。   By using these compounds, it can be dissolved in an alkaline aqueous solution and can be applied as a resist material capable of alkali development.

得られる硬化物が高温時における着色が少ないと言う観点より、これら有機構造の中において、カルボキシル基および上記式(X1)〜(X3)から選ばれる構造が好ましい。   Among these organic structures, a structure selected from a carboxyl group and the above formulas (X1) to (X3) is preferable from the viewpoint that the obtained cured product is less colored at high temperatures.

さらに高温時の熱分解性の低い硬化物が得られる観点より特に上記式(X1)〜(X3)から選ばれる構造が好ましい。   Furthermore, a structure selected from the above formulas (X1) to (X3) is particularly preferable from the viewpoint of obtaining a cured product having low thermal decomposability at high temperatures.

また、これら化合物中のシロキサン単位のうち、構成成分中T単位(X3SiO3/2)、またはQ単位(SiO4/2)の含有率が高いものほど得られる硬化物は硬度が高くより耐熱信頼性に優れ、またM単位(X3SiO1/2)、またはD単位(X2SiO2/2)の含有率が高いものほど硬化物はより柔軟で低応力なものが得られる。 Further, among the siloxane units in these compounds, the cured product obtained with a higher content of T unit (X 3 SiO 3/2 ) or Q unit (SiO 4/2 ) in the constituent component has higher hardness. The cured product is more flexible and has lower stress as the heat resistance reliability is higher and the content of M units (X 3 SiO 1/2 ) or D units (X 2 SiO 2/2 ) is higher.

本発明の硬化性組成物に使用される変性ポリオルガノシロキサン化合物は、加水分解による縮合反応や付加反応および開環重合など様々な手法によって得られるものであり、その方法には特に限定される方法は無いが、位置選択的に導入が可能でかつ化学的に安定な結合であるSi−C結合にて導入できるヒドロシリル化を用いるのが好ましい。   The modified polyorganosiloxane compound used in the curable composition of the present invention is obtained by various methods such as condensation reaction, addition reaction and ring-opening polymerization by hydrolysis, and the method is particularly limited to the method. However, it is preferable to use hydrosilylation that can be introduced by Si—C bonds, which are regioselective and chemically stable bonds.

本発明の硬化性組成物に使用される変性ポリオルガノシロキサン化合物として好適なものとして下記のものが挙げられる。   Examples of the modified polyorganosiloxane compound suitable for use in the curable composition of the present invention include the following.

下記化合物(α)、(β)のヒドロシリル化反応生成物:
(α)1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有し、かつ、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、
Hydrosilylation reaction products of the following compounds (α) and (β):
(Α) Each structure having one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule and represented by the following formulas (X1) to (X3);

Figure 0005628489
Figure 0005628489

フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する有機化合物、
(β)1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するオルガノシロキサン化合物、
(化合物α)
化合物(α)について説明する。
An organic compound having at least one selected from the group consisting of a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group in the same molecule,
(Β) an organosiloxane compound having at least two SiH groups in one molecule;
(Compound α)
The compound (α) will be described.

化合物(α)は、分子中に上記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群のいずれかの構造を有し、かつ、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上同一分子内に有する有機化合物であれば特に限定されるものではない。   The compound (α) has in its molecule a structure of any one of the group consisting of each structure represented by the above formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group, and a SiH group. The organic compound is not particularly limited as long as it is an organic compound having one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with the same in the same molecule.

有機化合物としては構成元素としてC、H、N、O、Sおよびハロゲンからなる群から選ばれるもののみを含むものであることが好ましい。シロキサン単位を含むものの場合は、ガス透過性やはじきの問題があるので、ポリシロキサン−有機ブロックコポリマーやポリシロキサン−有機グラフトコポリマーのようなシロキサン単位(Si−O−Si)を含まないことが好ましい。   The organic compound preferably contains only constituents selected from the group consisting of C, H, N, O, S and halogen. In the case of containing a siloxane unit, there is a problem of gas permeability and repelling, and therefore it is preferable not to contain a siloxane unit (Si—O—Si) such as a polysiloxane-organic block copolymer or a polysiloxane-organic graft copolymer. .

SiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合の結合位置は特に限定されず、分子内のどこに存在してもよい。   The bonding position of the carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group is not particularly limited, and may be present anywhere in the molecule.

化合物(α)のSiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合としては、特に限定されず用いることができ、ビニル基、アリル基、メタリル基、アクリル基、メタクリル基、2−ヒドロキシ−3−(アリルオキシ)プロピル基、2−アリルフェニル基、3−アリルフェニル基、4−アリルフェニル基、2−(アリルオキシ)フェニル基、3−(アリルオキシ)フェニル基、4−(アリルオキシ)フェニル基、2−(アリルオキシ)エチル基、2、2−ビス(アリルオキシメチル)ブチル基、3−アリルオキシ−2、2−ビス(アリルオキシメチル)プロピル基、ビニルエーテル基等が挙げられる。特に反応性の点からビニル基、アリル基などが好適である。   The carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group of the compound (α) can be used without any particular limitation, and can be a vinyl group, allyl group, methallyl group, acrylic group, methacryl group, 2-hydroxy-3. -(Allyloxy) propyl group, 2-allylphenyl group, 3-allylphenyl group, 4-allylphenyl group, 2- (allyloxy) phenyl group, 3- (allyloxy) phenyl group, 4- (allyloxy) phenyl group, 2 Examples include-(allyloxy) ethyl group, 2,2-bis (allyloxymethyl) butyl group, 3-allyloxy-2, 2-bis (allyloxymethyl) propyl group, and vinyl ether group. In particular, a vinyl group and an allyl group are preferable from the viewpoint of reactivity.

化合物(α)はSiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合を1分子中に1個以上有すればよいが、得られる硬化物の架橋密度が高いため耐熱信頼性が高いという点から、2個以上が好ましく、3個以上がより好ましい。   The compound (α) may have at least one carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group in one molecule. However, since the obtained cured product has a high crosslinking density, it has high heat reliability. Two or more are preferable, and three or more are more preferable.

化合物(α)としては、特に限定されるわけではないが、高温時の着色が少ない観点から、イソシアヌル環を有する下記一般式(II)   Although it does not necessarily limit as a compound ((alpha)), From a viewpoint with few coloring at the time of high temperature, following general formula (II) which has an isocyanuric ring

Figure 0005628489
Figure 0005628489

(式中R2は炭素数1〜50の一価の有機基を表し、それぞれのR2は異なっていても同一であってもよく、少なくとも1個のR2はSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む)で表される化合物の少なくとも1種を使用するが好ましい。 (In the formula, R 2 represents a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms, and each R 2 may be different or the same, and at least one R 2 represents reactivity with the SiH group. It is preferable to use at least one compound represented by (including a carbon-carbon double bond having).

上記有機基としては、炭化水素基(一部酸素で置換されていてもよい)、エポキシ基などが挙げられ、入手性の観点よりフェニル基、メチル基、エチル基、プロピル基、ベンジル基、グリシジル基が好ましく、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を有する有機基としては、アリル基、ビニル基が好ましい。   Examples of the organic group include a hydrocarbon group (which may be partially substituted with oxygen) and an epoxy group. From the viewpoint of availability, a phenyl group, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a benzyl group, and a glycidyl group. Group, and the organic group having a carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group is preferably an allyl group or a vinyl group.

また、入手性の観点から、ジアリルイソシアヌル酸、モノアリルイソシアヌル酸、ビニルフェノール、アリルフェノール、   From the viewpoint of availability, diallyl isocyanuric acid, monoallyl isocyanuric acid, vinylphenol, allylphenol,

Figure 0005628489
Figure 0005628489

ブテン酸、ペンテン酸、ヘキセン酸、へプテン酸、ウンデシレン酸が好ましい。これらの中でも特に耐熱性が高いという観点より、ジアリルイソシアヌル酸、モノアリルイソシアヌル酸、ジアリルビスフェノールA、ジアリルビスフェノールS、ビニルフェノール、アリルフェノールが好ましく、さらに硬化物の透明性の観点よりジアリルイソシアヌル酸、モノアリルイソシアヌル酸が特に好ましい。 Butenoic acid, pentenoic acid, hexenoic acid, heptenoic acid and undecylenic acid are preferred. Among these, diallyl isocyanuric acid, monoallyl isocyanuric acid, diallyl bisphenol A, diallyl bisphenol S, vinyl phenol, and allyl phenol are preferable from the viewpoint of particularly high heat resistance, and diallyl isocyanuric acid from the viewpoint of transparency of the cured product, Monoallyl isocyanuric acid is particularly preferred.

また化合物(α)には、単独又は2種以上のものを用いることが可能であり、さらに化合物(α)とその他アルケニル基化合物と併用してヒドロシリル化反応させることもできる。ここで適用できるアルケニル化合物は、下記成分(D)として挙げられている化合物であれば特に限定せず使用することができる。   In addition, the compound (α) can be used singly or in combination of two or more kinds, and further, the compound (α) and other alkenyl group compounds can be used in combination for the hydrosilylation reaction. The alkenyl compound applicable here is not particularly limited as long as it is a compound listed as the following component (D).

(化合物β)
化合物(β)について説明する。
化合物(β)については1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するオルガノポリシロキサン化合物であれば特に限定されず使用できる。
(Compound β)
The compound (β) will be described.
The compound (β) is not particularly limited as long as it is an organopolysiloxane compound having at least two SiH groups in one molecule.

これらのうち、硬化物に柔軟性が付与されるという観点より、   Among these, from the viewpoint that flexibility is imparted to the cured product,

Figure 0005628489
Figure 0005628489

(式中、R13、R14は炭素数1〜6の有機基を表し同一であっても異なっても良く、lは、0〜50、nは1〜50、mは0〜10の数を表す。)
で表される、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有する鎖状オルガノポリシロキサンが好ましい。またR13、R14は入手性、耐熱性の観点より特にメチル基であるものが好ましく、硬化物の強度が高くなるという観点より、特にフェニル基であるものが好ましい。
(In formula, R < 13 >, R < 14 > represents a C1-C6 organic group, and may be same or different, l is 0-50, n is 1-50, m is the number of 0-10. Represents.)
A linear organopolysiloxane having at least two SiH groups in one molecule represented by R 13 and R 14 are preferably methyl groups from the viewpoints of availability and heat resistance, and are preferably phenyl groups from the viewpoint of increasing the strength of the cured product.

これらのうち、硬化物の耐熱性が高いという観点より、   Among these, from the viewpoint that the heat resistance of the cured product is high,

Figure 0005628489
Figure 0005628489

Figure 0005628489
Figure 0005628489

(式中R〜Rはエポキシ基、アミノ基を含有する有機基、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、またはこれらの基の炭素原子に結合した水素原子の一部又は全部をハロゲン原子、シアノ基などで置換したクロロメチル基、トリフルオロプロピル基、シアノエチル基などから選択される同一又は異種の、好ましくは炭素数1〜20、より好ましくは炭素数1〜10の非置換又は置換の1価の炭化水素基である。 (Wherein R 1 to R 8 is an epoxy group, an organic group containing an amino group, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an alkyl group such as butyl group, cycloalkyl groups such as cyclohexyl group, a phenyl group Aryl groups such as tolyl groups, or selected from chloromethyl groups, trifluoropropyl groups, cyanoethyl groups, etc. in which some or all of the hydrogen atoms bonded to carbon atoms of these groups are substituted with halogen atoms, cyano groups, etc. And the same or different, preferably an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 20 carbon atoms, more preferably 1 to 10 carbon atoms.

ただし、R1〜R8のうちの少なくとも1つは、本組成物の架橋反応であるSiH基を含む有機基である)、 However, at least one of R 1 to R 8 is an organic group containing a SiH group that is a crosslinking reaction of the composition).

Figure 0005628489
Figure 0005628489

(式中、R〜R32は、エポキシ基、アミノ基を含有する有機基、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、またはこれらの基の炭素原子に結合した水素原子の一部又は全部をハロゲン原子、シアノ基などで置換したクロロメチル基、トリフルオロプロピル基、シアノエチル基などから選択される同一又は異種の有機基である。ただし、これらR〜R32のうち、少なくとも1つはSiH基を含む有機基である)、 (Wherein, R 9 to R 32 is an epoxy group, an organic group containing an amino group, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an alkyl group such as butyl group, cycloalkyl groups such as cyclohexyl group, An aryl group such as a phenyl group, a tolyl group, or the like, or a chloromethyl group, a trifluoropropyl group, a cyanoethyl group, etc. in which part or all of the hydrogen atoms bonded to the carbon atoms of these groups are substituted with a halogen atom, a cyano group, etc. The same or different organic groups selected, provided that at least one of these R 9 to R 32 is an organic group containing a SiH group),

Figure 0005628489
Figure 0005628489

(式中、Rは、エポキシ基、アミノ基を含有する有機基、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基、またはこれらの基の炭素原子に結合した水素原子の一部又は全部をハロゲン原子、シアノ基などで置換したクロロメチル基、トリフルオロプロピル基、シアノエチル基などから選択される同一又は異種の有機基である。ただし、これらRのうち、少なくとも1つはSiH基を含む有機基である)で表される、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有し、分子中にTまたはQ構造を有するオルガノポリシロキサンが好ましい。 (Wherein, R, an epoxy group, an organic group containing an amino group, a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an alkyl group such as butyl group, cycloalkyl groups such as cyclohexyl group, a phenyl group, a tolyl An aryl group such as a group, or the same selected from a chloromethyl group, a trifluoropropyl group, a cyanoethyl group, etc. in which part or all of the hydrogen atoms bonded to the carbon atoms of these groups are substituted with a halogen atom, a cyano group, etc. Or at least one of these Rs is an organic group containing a SiH group), and has at least two SiH groups in one molecule. Organopolysiloxanes having a T or Q structure are preferred.

これらのうち、入手性および化合物(α)との反応性が良いという観点からは、さらに、下記一般式(I)   Among these, from the viewpoint of availability and reactivity with the compound (α), the following general formula (I)

Figure 0005628489
Figure 0005628489

(式中R2、R3は炭素数1〜6の有機基を表し同一であっても異なっても良く、nは1〜10、mは0〜10の数を表す)で表される、1分子中に少なくとも2個以上好ましくは3個のSiH基を有する環状オルガノポリシロキサンが好ましい。 (Wherein R 2 and R 3 represent an organic group having 1 to 6 carbon atoms and may be the same or different, n represents 1 to 10, and m represents a number of 0 to 10). A cyclic organopolysiloxane having at least 2 and preferably 3 SiH groups in one molecule is preferable.

一般式(I)で表される化合物中の置換基R2、R3は、C、H、Oからなる群から選択して構成されるものであることが好ましく、炭化水素基であることがより好ましく、メチル基であることがさらに好ましい。 The substituents R 2 and R 3 in the compound represented by the general formula (I) are preferably selected from the group consisting of C, H and O, and are preferably hydrocarbon groups. More preferably, it is a methyl group.

一般式(I)で表される化合物としては、入手容易性及び反応性の観点からは、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサンであることが好ましい。
上記した各種化合物(β)は単独もしくは2種以上のものを混合して用いることが可能である。
The compound represented by the general formula (I) is preferably 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane from the viewpoint of availability and reactivity.
The various compounds (β) described above can be used alone or in combination of two or more.

(ヒドロシリル化触媒)
化合物(α)と(β)とをヒドロシリル化反応させる場合の触媒としては、公知のヒドロシリル化触媒を用いればよい。
(Hydrosilylation catalyst)
A known hydrosilylation catalyst may be used as a catalyst for the hydrosilylation reaction of the compounds (α) and (β).

触媒活性の点から塩化白金酸、白金−オレフィン錯体、白金−ビニルシロキサン錯体等が好ましい。また、これらの触媒は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。   From the viewpoint of catalytic activity, chloroplatinic acid, platinum-olefin complexes, platinum-vinylsiloxane complexes and the like are preferable. Moreover, these catalysts may be used independently and may be used together 2 or more types.

触媒の添加量は特に限定されないが、スムーズにヒドロシリル化反応を進行させるため、好ましい添加量の下限は、反応時に仕込んでいるSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合(以下、単に「アルケニル基」と称することがある。)1モルに対して10-8モル、より好ましくは10-6モルであり、好ましい添加量の上限は上記化合物のアルケニル基1モルに対して10-1モル、より好ましくは10-2モルである。 The addition amount of the catalyst is not particularly limited, but the lower limit of the preferred addition amount is a carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group charged at the time of the reaction (hereinafter simply referred to as “additional amount”). It is sometimes referred to as an “alkenyl group.”) 10 −8 mol, more preferably 10 −6 mol, relative to 1 mol, and the preferred upper limit of the amount added is 10 −1 with respect to 1 mol of the alkenyl group of the above compound. Mol, more preferably 10 -2 mol.

また、上記触媒には助触媒を併用することが可能であり、例としてトリフェニルホスフィン等のリン系化合物、ジメチルマレート等の1、2−ジエステル系化合物、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−ブチン、1−エチニル−1−シクロヘキサノール等のアセチレンアルコール系化合物、単体の硫黄等の硫黄系化合物等が挙げられる。助触媒の添加量は特に限定されないが、ヒドロシリル化触媒1モルに対しての好ましい添加量の下限は、10-2モル、より好ましくは10-1モルであり、好ましい添加量の上限は102モル、より好ましくは10モルである。 In addition, a cocatalyst can be used in combination with the above catalyst. Examples thereof include phosphorus compounds such as triphenylphosphine, 1,2-diester compounds such as dimethyl malate, 2-hydroxy-2-methyl-1 Examples include acetylene alcohol compounds such as butyne and 1-ethynyl-1-cyclohexanol, and sulfur compounds such as simple sulfur. The addition amount of the cocatalyst is not particularly limited, but the lower limit of the preferable addition amount with respect to 1 mol of the hydrosilylation catalyst is 10 −2 mol, more preferably 10 −1 mol, and the upper limit of the preferable addition amount is 10 2. Mol, more preferably 10 mol.

(ヒドロシリル化の反応方法)
各化合物の反応させる割合は特に限定されないが、反応させる化合物の総アルケニル基量をA、反応させる化合物の総SiH基量をBとした場合、1.5≦A/B≦30であることが好ましく、更に1.5≦A/B≦15であることが好ましい。この値が小さい場合は、アルケニル基が全て反応する、もしくは、ゲル化する場合があり、また大きい場合には、未反応のアルケニル化合物が多く含まれるため、組成物の着色、白濁の原因となる場合があり好ましくない
反応温度としては種々設定できるが、この場合、好ましい温度範囲の下限は30℃、より好ましくは50℃であり、好ましい温度範囲の上限は200℃、より好ましくは150℃である。反応温度が低いと十分に反応させるための反応時間が長くなり、反応温度が高いと実用的でない。反応は一定の温度で行ってもよいが、必要に応じて多段階あるいは連続的に温度を変化させてもよい。
(Reaction method of hydrosilylation)
The proportion of each compound to be reacted is not particularly limited, but when the total amount of alkenyl groups of the compound to be reacted is A and the total amount of SiH groups of the compound to be reacted is B, 1.5 ≦ A / B ≦ 30. It is preferable that 1.5 ≦ A / B ≦ 15. When this value is small, all alkenyl groups may react or gel, and when it is large, many unreacted alkenyl compounds are contained, which causes coloring and clouding of the composition. In some cases, the reaction temperature may be variously set. In this case, the lower limit of the preferable temperature range is 30 ° C., more preferably 50 ° C., and the upper limit of the preferable temperature range is 200 ° C., more preferably 150 ° C. . If the reaction temperature is low, the reaction time for sufficiently reacting becomes long, and if the reaction temperature is high, it is not practical. The reaction may be carried out at a constant temperature, but the temperature may be changed in multiple steps or continuously as required.

反応時間、反応時の圧力も必要に応じ種々設定できる。ヒドロシリル化反応の際に酸素を使用できる。反応容器の気相部に酸素を添加することで、ヒドロシリル化反応を促進できる。酸素の添加量を爆発限界下限以下とする点から、気相部の酸素体積濃度は3%以下に管理する必要がある。酸素添加によるヒドロシリル化反応の促進効果が見られるという点からは、気相部の酸素体積濃度は0.1%以上が好ましく、1%以上がより好ましい。   Various reaction times and pressures during the reaction can be set as required. Oxygen can be used during the hydrosilylation reaction. The hydrosilylation reaction can be promoted by adding oxygen to the gas phase portion of the reaction vessel. From the point of setting the amount of oxygen to be below the lower limit of explosion limit, the oxygen volume concentration in the gas phase must be controlled to 3% or less. The oxygen volume concentration in the gas phase is preferably 0.1% or more, more preferably 1% or more, from the viewpoint that the effect of promoting the hydrosilylation reaction by addition of oxygen is observed.

ヒドロシリル化反応の際に溶媒を使用してもよい。使用できる溶剤はヒドロシリル化反応を阻害しない限り特に限定されるものではなく、具体的に例示すれば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素系溶媒、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、1,3−ジオキソラン、ジエチルエーテル等のエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶媒、クロロホルム、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン系溶媒を好適に用いることができる。溶媒は2種類以上の混合溶媒として用いることもできる。溶媒としては、トルエン、テトラヒドロフラン、1,3−ジオキソラン、クロロホルムが好ましい。使用する溶媒量も適宜設定できる。   A solvent may be used during the hydrosilylation reaction. Solvents that can be used are not particularly limited as long as they do not inhibit the hydrosilylation reaction. Specifically, hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, hexane, heptane, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1, Ether solvents such as 3-dioxolane and diethyl ether, ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, and halogen solvents such as chloroform, methylene chloride and 1,2-dichloroethane can be preferably used. The solvent can also be used as a mixed solvent of two or more types. As the solvent, toluene, tetrahydrofuran, 1,3-dioxolane and chloroform are preferable. The amount of solvent to be used can also be set as appropriate.

本発明のポリシロキサン系化合物の上記製造方法では、目的によって種々の添加剤を使用できる。   In the above production method of the polysiloxane compound of the present invention, various additives can be used depending on the purpose.

(成分B)
本発明の成分(B)について説明する。
(Component B)
The component (B) of the present invention will be described.

本発明の硬化性組成物に使用される成分(B)は、チオール基を有する化合物であれば特に限定されるものではなく、ポリシロキサン化合物、有機化合物にかかわらず特に限定なく使用することができる。   The component (B) used in the curable composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having a thiol group, and can be used without any limitation regardless of a polysiloxane compound or an organic compound. .

得られる硬化物の耐熱性向上する観点より、特にチオール基を2個以上有する他官能チオール化合物が好ましい。   From the viewpoint of improving the heat resistance of the resulting cured product, an other functional thiol compound having 2 or more thiol groups is particularly preferable.

チオール化合物の具体例としては、トリ(3−メルカプトプロピオニロオキシ)−エチル)イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオネート、ジペンタエリスリトール−3−メルカプトプロピオネート、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、ペンタエリスリトール テトラキス(3−メルカプトブチレート)、1,3,5−トリス(3−メルカブトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6トリオン、メルカプト基含有ポリオルガノシロキサン(信越化学製、KF2001、KF2004等)等が挙げられる。   Specific examples of thiol compounds include tri (3-mercaptopropionyloxy) -ethyl) isocyanurate, trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate, pentaerythritol tetrakis-3-mercaptopropionate, dipentaerythritol. -3-mercaptopropionate, 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 trione, mercapto group-containing polyorganosiloxane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KF2001, KF2004, etc.) and the like.

特に、耐熱性に優れるという観点より、チオール基含有ポリシロキサン化合物が好ましく、例えば、メルカプト基含有ポリオルガノシロキサン(信越化学製、KF2001、KF2004等)などが挙げられる。   In particular, a thiol group-containing polysiloxane compound is preferable from the viewpoint of excellent heat resistance, and examples thereof include a mercapto group-containing polyorganosiloxane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KF2001, KF2004, etc.).

またチオール化合物の添加量は、主成分である変性ポリオルガノポリシロキサン100重量部に対して30重量部が好ましく、20重量部がより好ましく、5重量部がさらに好ましい。   The amount of the thiol compound added is preferably 30 parts by weight, more preferably 20 parts by weight, and still more preferably 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the modified polyorganopolysiloxane as the main component.

(成分C)
本発明の成分(C)について説明する。
(Component C)
The component (C) of the present invention will be described.

本発明の硬化性組成物の必須成分である成分(C)光ラジカル重合開始剤は、光エネルギー線によりラジカル種を発生する活性エネルギー線カチオン重合開始剤であれば、特に限定されず使用できる。   The component (C) radical photopolymerization initiator that is an essential component of the curable composition of the present invention can be used without particular limitation as long as it is an active energy ray cationic polymerization initiator that generates radical species by light energy rays.

具体的には、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アシルフォスフィンオキサイド系化合物、オキシムエステル系化合物、ベンゾイン系化合物、ビイミダゾール系化合物、α−ジケトン系化合物、チタノセン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、ケタール系化合物、アゾ系化合物、過酸化物、2,3−ジアルキルジオン系化合物、ジスルフィド系化合物、チウラム化合物類、フルオロアミン系化合物等が用いることができる。   Specifically, acetophenone compounds, benzophenone compounds, acylphosphine oxide compounds, oxime ester compounds, benzoin compounds, biimidazole compounds, α-diketone compounds, titanocene compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone Compounds, thioxanthone compounds, triazine compounds, ketal compounds, azo compounds, peroxides, 2,3-dialkyldione compounds, disulfide compounds, thiuram compounds, fluoroamine compounds, and the like can be used. .

アセトフェノン系化合物の具体例としては、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4'−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2'−ヒドロキシエトキシ)フェニル(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、2,2−ジメトキシアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、2−メチル−1−(4'−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4'−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、2−ヒドロキシ−1−〔4−[4−(2−ヒドロキシ−2−メチループロピオニル)−ベンジル]フェニル〕−2−メチル−プロパン−1−オン等が挙げられる。   Specific examples of acetophenone compounds include 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl- 1-phenylpropan-1-one, 1- (4′-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 4- (2′-hydroxyethoxy) phenyl (2-hydroxy-2) -Propyl) ketone, 2,2-dimethoxyacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2-methyl-1- (4'-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- Dimethylamino-1- (4′-morpholinophenyl) butan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2 -Dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 2-hydroxy-1- [4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl] -2-methyl-propane-1 -ON etc. are mentioned.

アシルフォスフィンオキサイド系化合物の具体例としては、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド等が挙げられる。   Specific examples of the acylphosphine oxide compound include 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, and the like.

オキシムエステル系化合物の具体例としては、1,2−オクタンジオン1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)等が挙げられる。   Specific examples of oxime ester compounds include 1,2-octanedione 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyloxime)], ethanone 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) ) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) and the like.

ベンゾイン系化合物の具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、2−ベンゾイル安息香酸メチル等が挙げられる。   Specific examples of the benzoin compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, methyl 2-benzoylbenzoate and the like.

ベンゾフェノン系化合物の具体例としては、ベンジルジメチルケトン、ベンゾフェノン、4,4'−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4'−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。   Specific examples of the benzophenone compounds include benzyl dimethyl ketone, benzophenone, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like.

α−ジケトン系化合物の具体例としては、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホルメート等が挙げられる。   Specific examples of the α-diketone compound include diacetyl, dibenzoyl, methylbenzoylformate, and the like.

ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2'−ビス(2−クロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4',5,5'−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4',5,5'−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4',5,5'−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2−クロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール、2,2'−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4',5,5'−テトラフェニル−1,2'−ビイミダゾール等が挙げられる。   Specific examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2 , 2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4 , 6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dibromophenyl) -4,4', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1, 2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-tribromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2'-biimidazole 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4, 4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl-1 , 2′-biimidazole, 2,2′-bis (2-bromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2, 4-dibromophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bi (2,4,6-bromophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole.

多核キノン系化合物の具体例としては、アントラキノン、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン等が挙げられる。   Specific examples of the polynuclear quinone compound include anthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone and the like.

キサントン系化合物の具体例としては、キサントン、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,5−ジエチルジオキサントン等が挙げられる。   Specific examples of the xanthone compound include xanthone, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,5-diethyldioxanthone and the like.

トリアジン系化合物の具体例としては、1,3,5−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(2'−クロロフェニル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(4'−クロロフェニル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(2'−メトキシフェニル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(4'−メトキシフェニル)−s−トリアジン、2−(2'−フリルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4'−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3',4'−ジメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4'−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2'−ブロモ−4'−メチルフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(2'−チオフェニルエチリデン)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。   Specific examples of the triazine compound include 1,3,5-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 1,3-bis (trichloromethyl) -5- (2′-chlorophenyl) -s-triazine, 1, 3-bis (trichloromethyl) -5- (4′-chlorophenyl) -s-triazine, 1,3-bis (trichloromethyl) -5- (2′-methoxyphenyl) -s-triazine, 1,3-bis (Trichloromethyl) -5- (4′-methoxyphenyl) -s-triazine, 2- (2′-furylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4′-methoxy) Styryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3 ′, 4′-dimethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- ( '-Methoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (2'-bromo-4'-methylphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 -(2'-thiophenylethylidene) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine and the like.

特に薄膜硬化性に優れるという観点より、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、2−ヒドロキシ−1−〔4−[4−(2−ヒドロキシー2−メチループロピオニル)−ベンジル]フェニル〕−2−メチループロパンー1−オン、1,2−オクタンジオン1−[4−(フェニルチオ)−2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−1−(O−アセチルオキシム)が好ましい。   In particular, from the viewpoint of excellent thin film curability, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, 2-hydroxy-1- [4- [4- (2-Hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] phenyl] -2-methyl-propan-1-one, 1,2-octanedione 1- [4- (phenylthio) -2- (O-benzoyl) Oxime)], ethanone 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) is preferred.

特に硬化物が透明性に優れるという観点より、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−(4'−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2'−ヒドロキシエトキシ)フェニル(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、2,2−ジメトキシアセトフェノンが好ましい。   In particular, from the viewpoint that the cured product is excellent in transparency, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1- ( 4′-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 4- (2′-hydroxyethoxy) phenyl (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 2,2-dimethoxyacetophenone preferable.

また、これらのラジカル重合開始剤は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。   These radical polymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

ラジカル重合開始剤の使用量は、変性ポリオルガノシロキサン化合物100重量部に対して、好ましくは0.1〜15重量部、より好ましくは0.1〜10重量部の量である。カチオン重合開始剤量が少ないと、硬化が不十分でアルカリ現像時にコントラストが得られない傾向がある。開始剤量が多いと、硬化膜自体が着色するために好ましくない。   The amount of radical polymerization initiator used is preferably 0.1 to 15 parts by weight, more preferably 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the modified polyorganosiloxane compound. When the amount of the cationic polymerization initiator is small, there is a tendency that the curing is insufficient and a contrast cannot be obtained during alkali development. A large amount of initiator is not preferable because the cured film itself is colored.

(成分D)
本発明の成分(D)について説明する。
(Component D)
The component (D) of the present invention will be described.

本発明の硬化性組成物に使用される成分(D)は、アルケニル基を有する化合物であれば特に限定されるものではなく、ポリシロキサン化合物、有機化合物にかかわらず特に限定なく使用することができる。   The component (D) used in the curable composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a compound having an alkenyl group, and can be used without any limitation regardless of a polysiloxane compound or an organic compound. .

特に硬化物の透明性および硬化性の観点より、アルケニル基を有するポリシロキサンが好ましく適用できる。またその中でも化合物入手性の観点より、ケイ素基に結合したビニル基(Si−CH=CH2基)を有するポリシロキサン化合物であることが好ましい。具体例としては、ジメチルビニルシリル基で末端が封鎖されたポリもしくはオリゴシロキサン、側鎖にビニル基を有するポリもしくはオリゴシロキサン、テトラメチルジビニルジシロキサン、ヘキサメチルトリビニルトリシロキサン、SiH基を含有する環状シロキサンの例示でSiH基の水素原子をビニル基、アリル基等のアルケニル基に置換したものなどが例示され、具体的に1,3,5,7−ビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−プロピル−3,5,7−トリビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−ジビニル−3,7−ジヘキシル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,3,5−トリビニル−トリメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9−ペンタビニル−1,3,5,7,9−ペンタメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9,11−ヘキサビニル−1,3,5,7,9,11−ヘキサメチルシクロシロキサン等の化合物が挙げられる。   In particular, polysiloxane having an alkenyl group can be preferably applied from the viewpoint of transparency and curability of the cured product. Of these, a polysiloxane compound having a vinyl group (Si—CH═CH 2 group) bonded to a silicon group is preferable from the viewpoint of compound availability. Specific examples include poly or oligosiloxanes end-capped with dimethylvinylsilyl groups, poly or oligosiloxanes having vinyl groups in the side chains, tetramethyldivinyldisiloxane, hexamethyltrivinyltrisiloxane, SiH groups Examples of the cyclic siloxane include those in which the hydrogen atom of the SiH group is substituted with an alkenyl group such as a vinyl group or an allyl group. Specifically, 1,3,5,7-vinyl-1,3,5,7- Tetramethylcyclotetrasiloxane, 1-propyl-3,5,7-trivinyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,5-divinyl-3,7-dihexyl-1,3,5, 7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,3,5-trivinyl-trimethylcyclosiloxane, 1,3,5,7, -Pentavinyl-1,3,5,7,9-pentamethylcyclosiloxane, 1,3,5,7,9,11-hexavinyl-1,3,5,7,9,11-hexamethylcyclosiloxane, etc. Compounds.

アルケニル基含有有機化合物の例としては、シロキサン単位(Si−O−Si)を含むものではなく、構成元素としてC、H、N、O、Sおよびハロゲンからなる群から選ばれる原子より構成される化合物であって、1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有する有機化合物であれば特に限定されない。またSiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合の結合位置は特に限定されず、分子内のどこに存在してもよい。   Examples of the alkenyl group-containing organic compound do not include a siloxane unit (Si—O—Si), but are composed of atoms selected from the group consisting of C, H, N, O, S and halogen as constituent elements. The compound is not particularly limited as long as it is an organic compound having one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule. Further, the bonding position of the carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group is not particularly limited, and may be present anywhere in the molecule.

上記有機化合物は、有機重合体系の化合物と有機単量体系化合物に分類でき、有機重合体系化合物としては例えば、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリアリレート系、ポリカーボネート系、飽和炭化水素系、不飽和炭化水素系、ポリアクリル酸エステル系、ポリアミド系、フェノール−ホルムアルデヒド系(フェノール樹脂系)、ポリイミド系の化合物を用いることができる。   The organic compounds can be classified into organic polymer compounds and organic monomer compounds. Examples of the organic polymer compounds include polyether-based, polyester-based, polyarylate-based, polycarbonate-based, saturated hydrocarbon-based, unsaturated hydrocarbon-based compounds. Hydrogen-based, polyacrylic acid ester-based, polyamide-based, phenol-formaldehyde-based (phenolic resin-based), and polyimide-based compounds can be used.

また有機単量体系化合物としては例えば、フェノール系、ビスフェノール系、ベンゼン、ナフタレン等の芳香族炭化水素系:直鎖系、脂環系等の脂肪族炭化水素系:複素環系の化合物およびこれらの混合物等が挙げられる。   Examples of organic monomer compounds include aromatic hydrocarbons such as phenols, bisphenols, benzene and naphthalene: aliphatic hydrocarbons such as linear and alicyclic: heterocyclic compounds and their A mixture etc. are mentioned.

化合物の具体的な例としては、ジアリルフタレート、トリアリルトリメリテート、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、トリメチロールプロパントリアリルエーテル、ペンタエリスリトールトリアリルエーテル、ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、1,1,2,2−テトラアリロキシエタン、ジアリリデンペンタエリスリット、トリアリルシアヌレート、1,2,4−トリビニルシクロヘキサン、1,4−ブタンジオールジアリルエーテル、ノナンジオールジアリルエーテル、1,4−シクロへキサンジメタノールジアリルエーテル、トリエチレングリコールジアリルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ビスフェノールSのジアリルエーテル、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、1,3−ジイソプロペニルベンゼン、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、1,3−ビス(アリルオキシ)アダマンタン、1,3−ビス(ビニルオキシ)アダマンタン、1,3,5−トリス(アリルオキシ)アダマンタン、1,3,5−トリス(ビニルオキシ)アダマンタン、ジシクロペンタジエン、ビニルシクロへキセン、1,5−ヘキサジエン、1,9−デカジエン、ジアリルエーテル、ビスフェノールAジアリルエーテル、2,5−ジアリルフェノールアリルエーテル、およびそれらのオリゴマー、1,2−ポリブタジエン(1、2比率10〜100%のもの、好ましくは1、2比率50〜100%のもの)、ノボラックフェノールのアリルエーテル、アリル化ポリフェニレンオキサイド、その他、従来公知のエポキシ樹脂のグリシジル基の全部をアリル基に置き換えたもの等が挙げられる。   Specific examples of the compound include diallyl phthalate, triallyl trimellitate, diethylene glycol bisallyl carbonate, trimethylolpropane diallyl ether, trimethylolpropane triallyl ether, pentaerythritol triallyl ether, pentaerythritol tetraallyl ether, 1, 1,2,2-tetraallyloxyethane, diarylidenepentaerythritol, triallyl cyanurate, 1,2,4-trivinylcyclohexane, 1,4-butanediol diallyl ether, nonanediol diallyl ether, 1,4 -Cyclohexane dimethanol diallyl ether, triethylene glycol diallyl ether, trimethylolpropane trivinyl ether, pentaerythritol tetravinyl ether, vinyl Phenol S diallyl ether, divinylbenzene, divinylbiphenyl, 1,3-diisopropenylbenzene, 1,4-diisopropenylbenzene, 1,3-bis (allyloxy) adamantane, 1,3-bis (vinyloxy) adamantane, 1,3,5-tris (allyloxy) adamantane, 1,3,5-tris (vinyloxy) adamantane, dicyclopentadiene, vinylcyclohexene, 1,5-hexadiene, 1,9-decadiene, diallyl ether, bisphenol A diallyl Ethers, 2,5-diallylphenol allyl ether, and oligomers thereof, 1,2-polybutadiene (1,2 ratio of 10 to 100%, preferably 1,2 ratio of 50 to 100%), novolak phenol Allyl ether Le polyphenylene oxide, and other like are replaced with an allyl group all glycidyl groups of a conventionally known epoxy resins.

また化合物としては、骨格部分とアルケニル基(SiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合)とに分けて表現しがたい、低分子量化合物も用いることができる。これらの低分子量化合物の具体例としては、ブタジエン、イソプレン、オクタジエン、デカジエン等の脂肪族鎖状ポリエン化合物系、シクロペンタジエン、シクロヘキサジエン、シクロオクタジエン、ジシクロペンタジエン、トリシクロペンタジエン、ノルボルナジエン等の脂肪族環状ポリエン化合物系、ビニルシクロペンテン、ビニルシクロヘキセン等の置換脂肪族環状オレフィン化合物系等が挙げられる。   Further, as the compound, a low molecular weight compound that is difficult to express by dividing into a skeleton portion and an alkenyl group (a carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group) can also be used. Specific examples of these low molecular weight compounds include aliphatic chain polyene compound systems such as butadiene, isoprene, octadiene and decadiene, fats such as cyclopentadiene, cyclohexadiene, cyclooctadiene, dicyclopentadiene, tricyclopentadiene and norbornadiene. Examples thereof include aromatic cyclic polyene compound systems and substituted aliphatic cyclic olefin compound systems such as vinylcyclopentene and vinylcyclohexene.

特に、透明性および耐熱性、耐光性が高いという観点から下記一般式(III)で表されるトリアリルイソシアヌレート及びその誘導体が特に好ましい。   In particular, triallyl isocyanurate represented by the following general formula (III) and derivatives thereof are particularly preferable from the viewpoint of high transparency, heat resistance, and light resistance.

Figure 0005628489
Figure 0005628489

(式中R1は水素原子または炭素数1〜50の一価の有機基を表し、それぞれのR1は異なっていても同一であってもよく、少なくとも1個のR1はSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む)で表される化合物が好ましい。 (Wherein R 1 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms, each R 1 may be different or the same, and at least one R 1 may be A compound represented by (including a reactive carbon-carbon double bond) is preferable.

上記一般式(I)のR1としては、得られる硬化物の耐熱性がより高くなりう
るという観点からは、炭素数1〜20の一価の有機基であることが好ましく、炭素数1〜10の一価の有機基であることがより好ましく、炭素数1〜4の一価の有機基であることがさらに好ましい。これらの好ましいR3の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、フェニル基、ベンジル基、フェネチル基、ビニル基、アリル基等が挙げられる。
As R < 1 > of the said general formula (I), it is preferable that it is a C1-C20 monovalent organic group from a viewpoint that the heat resistance of the hardened | cured material obtained can become higher, and C1-C1 10 monovalent organic groups are more preferable, and monovalent organic groups having 1 to 4 carbon atoms are more preferable. Examples of these preferable R 3 include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, phenyl group, benzyl group, phenethyl group, vinyl group and allyl group.

これら化合物の具体例としては、トリアリルイソシアヌレート、ジアリルイソシアヌレート、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート、ジアリルモノベンジルイソシアヌレート、ジアリルモノプロピルイソシアヌレートが挙げられ、特に入手性の観点よりトリアリルイソシアヌレートが挙げられる。   Specific examples of these compounds include triallyl isocyanurate, diallyl isocyanurate, diallyl monoglycidyl isocyanurate, diallyl monobenzyl isocyanurate, diallyl monopropyl isocyanurate, and triallyl isocyanurate from the viewpoint of availability. It is done.

(添加剤)
(増感剤)
本発明の硬化性組成物には、光エネルギーで硬化させる場合には、光の感度向上のおよびg線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)と言われるような高波長の光に感度を持たせるために、適宜、増感剤を添加する事ができる。これら増感剤は、上記カチオン重合開始剤及び/またはラジカル重合開始剤等と併用して使用し、硬化性の調整を行うことができる。
(Additive)
(Sensitizer)
In the curable composition of the present invention, when cured with light energy, the sensitivity of light is improved, and high wavelengths such as g-line (436 nm), h-line (405 nm), and i-line (365 nm) are called. In order to give sensitivity to light, a sensitizer can be appropriately added. These sensitizers can be used in combination with the above cationic polymerization initiator and / or radical polymerization initiator to adjust the curability.

添加する化合物には、アントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げることができる。   Examples of the compound to be added include anthracene compounds and thioxanthone compounds.

アントラセン系化合物の具体例としては、アントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジメチルアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、1,4−ジメトキシアントラセン、9−メチルアントラセン、2−エチルアントラセン、2−tert−ブチルアントラセン、2,6−ジ−tert−ブチルアントラセン、9,10−ジフェニル−2, 6−ジ−tert−ブチルアントラセン等が挙げられ、特に入手しやすい観点より、アントラセン、9,10−ジメチルアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン、9,10 −ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン等が好ましい。   Specific examples of the anthracene compound include anthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-dimethylanthracene, 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, and 9,10-di. Ethoxyanthracene, 1,4-dimethoxyanthracene, 9-methylanthracene, 2-ethylanthracene, 2-tert-butylanthracene, 2,6-di-tert-butylanthracene, 9,10-diphenyl-2,6-di- tert-butylanthracene and the like are mentioned. From the viewpoint of availability, anthracene, 9,10-dimethylanthracene, 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, etc. preferable.

また硬化物の透明性に優れる観点からはアントラセンが好ましく、硬化性組成物との相溶性に優れる観点からは9,10−ジブトキシアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン等が好ましい。   Anthracene is preferable from the viewpoint of excellent transparency of the cured product, and 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, and 9,10-diethoxy from the viewpoint of excellent compatibility with the curable composition. Anthracene and the like are preferable.

チオキサントン系の具体例としては、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,5−ジエチルジオキサントン等が挙げられる。   Specific examples of the thioxanthone series include thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,5-diethyldioxanthone and the like.

またこれらの増感剤は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。   These sensitizers may be used alone or in combination of two or more.

(反応性希釈剤)
本発明の硬化性組成物には、作業性、反応性、接着性、硬化物強度の調整のために適宜、反応性希釈剤を添加する事ができる。添加する化合物には、硬化反応形式によって選択して特に限定無く使用することが可能であり、エポキシ化合物、オキセタン化合物、アルコキシシラン化合物、(メタ)アクリレート化合物など重合基を有する化合物を使用する。
(Reactive diluent)
A reactive diluent can be appropriately added to the curable composition of the present invention in order to adjust workability, reactivity, adhesiveness, and strength of the cured product. The compound to be added can be selected according to the curing reaction mode and used without any particular limitation, and a compound having a polymerization group such as an epoxy compound, an oxetane compound, an alkoxysilane compound, or a (meth) acrylate compound is used.

エポキシ化合物およびオキセタン化合物の具体例としては、ノボラックフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、シクロヘキシルエポキシ基含有ポリオルガノシロキサン(環状、鎖状)、グリシジル基含有ポリオルガノシロキサン(環状、鎖状)、ビスフェノールFジグリシジルエーテル、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、2,2’−ビス(4−グリシジルオキシシクロヘキシル)プロパン、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3,4−エポキシシクロヘキサンカーボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキサイド、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)−5,5−スピロ−(3,4−エポキシシクロヘキサン)−1,3−ジオキサン、ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)アジペート、1,2−シクロプロパンジカルボン酸ビスグリシジルエステル、トリグリシジルイソシアヌレート、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート、1,4−ビス{(3−エチル−3−オキセタニル)メトキシ}メチル}ベンゼン、ビス{1−エチル(3−オキセタニル)}メチルエーテル、3−エチル−3−(フェノキシメチル)オキセタン、3−エチル−3−(2−エチルへキシロキシメチル)オキセタン等を挙げることができる。   Specific examples of epoxy compounds and oxetane compounds include novolak phenol type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, cyclohexyl epoxy group-containing polyorganosiloxanes (cyclic, chain-like), glycidyl group-containing polyorganosiloxanes ( Cyclic, chain), bisphenol F diglycidyl ether, bisphenol A diglycidyl ether, 2,2′-bis (4-glycidyloxycyclohexyl) propane, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3,4-epoxycyclohexanecarboxylate Vinylcyclohexene dioxide, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) -5,5-spiro- (3,4-epoxycyclohexane) -1,3-dioxane, bis (3,4-epoxysilane) Rohexyl) adipate, 1,2-cyclopropanedicarboxylic acid bisglycidyl ester, triglycidyl isocyanurate, monoallyl diglycidyl isocyanurate, diallyl monoglycidyl isocyanurate, 1,4-bis {(3-ethyl-3-oxetanyl) methoxy } Methyl} benzene, bis {1-ethyl (3-oxetanyl)} methyl ether, 3-ethyl-3- (phenoxymethyl) oxetane, 3-ethyl-3- (2-ethylhexyloxymethyl) oxetane, etc. be able to.

アルコキシシラン化合物の具体例としては、テトラメトキシ(エトキシ)シランおよびその縮合物、メチルトリメトキシ(エトキシ)シランおよびその縮合物、ジメチルジメトキシ(エトキシ)シランおよびその縮合物等が挙げることができる。   Specific examples of the alkoxysilane compound include tetramethoxy (ethoxy) silane and its condensate, methyltrimethoxy (ethoxy) silane and its condensate, dimethyldimethoxy (ethoxy) silane and its condensate.

(メタ)アクリレート化合物の具体的な例としては、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ビニル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸変性アリルグリシジルエーテル(ナガセケムテックス製、商品名:デナコールアクリレートDA111)、ウレタン(メタ)アクリレート類、エポキシ(メタ)アクリレート類、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパン(メタ)テトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコール系(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、トリス(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、 (メタ)アクリレート基含有ポリオルガノシロキサン等が挙げられる。   Specific examples of (meth) acrylate compounds include allyl (meth) acrylate, vinyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, and (meth) acrylic acid. Modified allyl glycidyl ether (manufactured by Nagase ChemteX, trade name: Denacol acrylate DA111), urethane (meth) acrylates, epoxy (meth) acrylates, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, Ditrimethylolpropane (meth) tetraacrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, butanediol di (meth) acrylate, nonanediol di (meth) acrylate, polypropylene glycol System (meth) acrylate, bisphenol A di (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, and (meth) acrylate group-containing polyorganosiloxane.

反応性希釈剤の添加量としては種々設定できるが、変性ポリオルガノシロキサン化合物100重量部に対して、好ましい添加量は1〜50重量部、より好ましくは3〜25重量部である。添加量が少ないと添加効果が表れず、添加量が多いと硬化物の物性に悪影響を及ぼす場合がある。   Although the amount of reactive diluent added can be variously set, the preferred amount added is 1 to 50 parts by weight, more preferably 3 to 25 parts by weight, based on 100 parts by weight of the modified polyorganosiloxane compound. If the addition amount is small, the addition effect does not appear, and if the addition amount is large, the physical properties of the cured product may be adversely affected.

またこれら反応性希釈剤の光架橋反応を進めるため、それぞれエポキシ、アルコキシラン化合物を添加する場合には、オニウム塩で代表されるような光カチオン重合開始剤を、アクリレート化合物を添加する場合には、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、アシルフォスフィンオキサイド系化合物のような光ラジカル重合開始剤を添加することもできる。   In addition, in order to advance the photocrosslinking reaction of these reactive diluents, when adding an epoxy or alkoxylane compound, respectively, a photocationic polymerization initiator represented by an onium salt is used, and when an acrylate compound is added. In addition, a radical photopolymerization initiator such as an acetophenone compound, a benzophenone compound, or an acyl phosphine oxide compound may be added.

(接着性改良剤)
本発明の硬化性組成物には、接着性改良剤を添加することもできる。接着性改良剤としては一般に用いられている接着剤の他、例えば種々のカップリング剤、エポキシ化合物、オキセタン化合物、フェノール樹脂、クマロン−インデン樹脂、ロジンエステル樹脂、テルペン−フェノール樹脂、α−メチルスチレン−ビニルトルエン共重合体、ポリエチルメチルスチレン、芳香族ポリイソシアネート等を挙げることができる。
(Adhesion improver)
An adhesion improver can also be added to the curable composition of the present invention. In addition to commonly used adhesives as adhesion improvers, for example, various coupling agents, epoxy compounds, oxetane compounds, phenol resins, coumarone-indene resins, rosin ester resins, terpene-phenol resins, α-methylstyrene -Vinyl toluene copolymer, polyethyl methyl styrene, aromatic polyisocyanate, etc. can be mentioned.

カップリング剤としては例えばシランカップリング剤が挙げられる。シランカップリング剤としては、分子中に有機基と反応性のある官能基と加水分解性のケイ素基を各々少なくとも1個有する化合物であれば特に限定されない。有機基と反応性のある基としては、取扱い性の点からエポキシ基、メタクリル基、アクリル基、イソシアネート基、イソシアヌレート基、ビニル基、カルバメート基から選ばれる少なくとも1個の官能基が好ましく、硬化性及び接着性の点から、エポキシ基、メタクリル基、アクリル基が特に好ましい。加水分解性のケイ素基としては取扱い性の点からアルコキシシリル基が好ましく、反応性の点からメトキシシリル基、エトキシシリル基が特に好ましい。   An example of the coupling agent is a silane coupling agent. The silane coupling agent is not particularly limited as long as it is a compound having at least one functional group reactive with an organic group and one hydrolyzable silicon group in the molecule. The group reactive with the organic group is preferably at least one functional group selected from an epoxy group, a methacryl group, an acrylic group, an isocyanate group, an isocyanurate group, a vinyl group, and a carbamate group from the viewpoint of handling. From the viewpoints of adhesiveness and adhesiveness, an epoxy group, a methacryl group, and an acrylic group are particularly preferable. As the hydrolyzable silicon group, an alkoxysilyl group is preferable from the viewpoint of handleability, and a methoxysilyl group and an ethoxysilyl group are particularly preferable from the viewpoint of reactivity.

好ましいシランカップリング剤としては、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、2−(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2−(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン等のエポキシ官能基を有するアルコキシシラン類:3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、メタクリロキシメチルトリメトキシシラン、メタクリロキシメチルトリエトキシシラン、アクリロキシメチルトリメトキシシラン、アクリロキシメチルトリエトキシシラン等のメタクリル基あるいはアクリル基を有するアルコキシシラン類が例示できる。   Preferred silane coupling agents include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 2- (3,4- Epoxycyclohexyl) alkoxysilanes having an epoxy functional group such as ethyltriethoxysilane: 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyl Methacrylic or acrylic groups such as triethoxysilane, methacryloxymethyltrimethoxysilane, methacryloxymethyltriethoxysilane, acryloxymethyltrimethoxysilane, acryloxymethyltriethoxysilane Alkoxysilanes which can be exemplified.

シランカップリング剤の添加量としては種々設定できるが、変性ポリオルガノシロキサン化合物100重量部に対して、好ましくは0.1〜20重量部、より好ましくは0.3〜10重量部、さらに好ましくは0.5〜5重量部である。添加量が少ないと接着性改良効果が表れず、添加量が多いと硬化性や硬化物の物性に悪影響を及ぼす場合がある。また、これらのカップリング剤、シランカップリング剤、エポキシ化合物等は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。   The amount of the silane coupling agent can be variously set, but is preferably 0.1 to 20 parts by weight, more preferably 0.3 to 10 parts by weight, and still more preferably, with respect to 100 parts by weight of the modified polyorganosiloxane compound. 0.5 to 5 parts by weight. When the addition amount is small, the effect of improving the adhesiveness does not appear, and when the addition amount is large, the curability and the physical properties of the cured product may be adversely affected. These coupling agents, silane coupling agents, epoxy compounds, etc. may be used alone or in combination of two or more.

(熱可塑性樹脂)
硬化性組成物には特性を改質する等の目的で、種々の熱可塑性樹脂を添加することも可能である。熱可塑性樹脂としては種々のものを用いることができるが、例えば、メチルメタクリレートの単独重合体あるいはメチルメタクリレートと他モノマーとのランダム、ブロック、あるいはグラフト重合体等のポリメチルメタクリレート系樹脂(例えば日立化成社製オプトレッツ等)、ブチルアクリレートの単独重合体あるいはブチルアクリレートと他モノマーとのランダム、ブロック、あるいはグラフト重合体等のポリブチルアクリレート系樹脂等に代表されるアクリル系樹脂、ビスフェノールA、3,3,5−トリメチルシクロヘキシリデンビスフェノール等をモノマー構造として含有するポリカーボネート樹脂等のポリカーボネート系樹脂(例えば帝人社製APEC等)、ノルボルネン誘導体、ビニルモノマー等を単独あるいは共重合した樹脂、ノルボルネン誘導体を開環メタセシス重合させた樹脂、あるいはその水素添加物等のシクロオレフィン系樹脂(例えば、三井化学社製APEL、日本ゼオン社製ZEONOR、ZEONEX、JSR社製ARTON等)、エチレンとマレイミドの共重合体等のオレフィン−マレイミド系樹脂(例えば東ソー社製TI−PAS等)、ビスフェノールA、ビス(4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル)フルオレン等のビスフェノール類やジエチレングリコール等のジオール類とテレフタル酸、イソフタル酸、等のフタル酸類や脂肪族ジカルボン酸類を重縮合させたポリエステル等のポリエステル系樹脂(例えば鐘紡社製O−PET等)、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等の他、天然ゴム、EPDMといったゴム状樹脂が例示されるがこれに限定されるものではない。
(Thermoplastic resin)
Various thermoplastic resins may be added to the curable composition for the purpose of modifying the properties. Various thermoplastic resins can be used. For example, a homopolymer of methyl methacrylate or a polymethyl methacrylate resin such as a random, block or graft polymer of methyl methacrylate and other monomers (for example, Hitachi Chemical) Optretz, etc.), acrylic resins represented by polybutyl acrylate resins such as butyl acrylate homopolymers or random, block or graft polymers of butyl acrylate and other monomers, bisphenol A, 3, A polycarbonate resin such as a polycarbonate resin containing 3,5-trimethylcyclohexylidenebisphenol or the like as a monomer structure (for example, APEC manufactured by Teijin Limited), a norbornene derivative, a vinyl monomer, or the like is copolymerized alone or copolymerized. Cycloolefin resins such as fat, norbornene derivative ring-opening metathesis polymer, or hydrogenated products thereof (for example, APEL manufactured by Mitsui Chemicals, ZEONOR, ZEONEX manufactured by Nippon Zeon, ARTON manufactured by JSR, etc.), ethylene and Olefin-maleimide resins such as maleimide copolymers (eg TI-PAS manufactured by Tosoh Corporation), bisphenols such as bisphenol A and bis (4- (2-hydroxyethoxy) phenyl) fluorene, and diols such as diethylene glycol Polyester resins such as polyester obtained by polycondensation of phthalic acids and aliphatic dicarboxylic acids such as terephthalic acid and isophthalic acid (eg O-PET manufactured by Kanebo Co., Ltd.), polyethersulfone resins, polyarylate resins, polyvinyl acetal resins, Polyethylene resin Polypropylene resins, polystyrene resins, polyamide resins, silicone resins, other like fluorine resin, not natural rubber, but the rubber-like resin is exemplified such EPDM is not limited thereto.

熱可塑性樹脂としては架橋性基を有していてもよい。この場合の架橋性基としては、エポキシ基、アミノ基、ラジカル重合性不飽和基、カルボキシル基、イソシアネート基、ヒドロキシル基、アルコキシシリル基等が挙げられる。得られる硬化物の耐熱性が高くなりやすいという点においては、架橋性基を平均して1分子中に1個以上有していることが好ましい。   The thermoplastic resin may have a crosslinkable group. Examples of the crosslinkable group in this case include an epoxy group, an amino group, a radical polymerizable unsaturated group, a carboxyl group, an isocyanate group, a hydroxyl group, and an alkoxysilyl group. From the viewpoint that the heat resistance of the obtained cured product tends to be high, it is preferable to have one or more crosslinkable groups in one molecule on average.

熱可塑製樹脂の分子量としては、特に限定はないが、変性オルガノシロキサン化合物との相溶性が良好となりやすいという点においては、数平均分子量が10000以下であることが好ましく、5000以下であることがより好ましい。逆に、得られる硬化物が強靭となりやすいという点においては、数平均分子量が10000以上であることが好ましく、100000以上であることがより好ましい。   The molecular weight of the thermoplastic resin is not particularly limited, but the number average molecular weight is preferably 10000 or less, and preferably 5000 or less in that the compatibility with the modified organosiloxane compound is likely to be good. More preferred. On the contrary, the number average molecular weight is preferably 10,000 or more, and more preferably 100,000 or more in that the obtained cured product tends to be tough.

分子量分布についても特に限定はないが、混合物の粘度が低くなり成形性が良好となりやすいという点においては、分子量分布が3以下であることが好ましく、2以下であることがより好ましく、1.5以下であることがさらに好ましい。   The molecular weight distribution is not particularly limited, but the molecular weight distribution is preferably 3 or less, more preferably 2 or less, in that the viscosity of the mixture tends to be low and the moldability tends to be good. More preferably, it is as follows.

熱可塑性樹脂の配合量としては特に限定はないが、好ましい使用量の範囲は硬化性組成物全体の5〜50重量%、より好ましくは10〜30重量%である。添加量が少ないと得られる硬化物が脆くなり易い。添加量が多いと耐熱性(高温での弾性率)が低くなり易い。熱可塑性樹脂としては単一のものを用いてもよいし、複数のものを組み合わせて用いてもよい。   Although there is no limitation in particular as a compounding quantity of a thermoplastic resin, the range of the preferable usage-amount is 5 to 50 weight% of the whole curable composition, More preferably, it is 10 to 30 weight%. If the amount added is small, the resulting cured product tends to be brittle. If the amount added is large, the heat resistance (elastic modulus at high temperature) tends to be low. A single thermoplastic resin may be used, or a plurality of thermoplastic resins may be used in combination.

熱可塑性樹脂は変性ポリオルガノシロキサン化合物に溶解して均一な状態として混合してもよいし、粉砕して粒子状態で混合してもよいし、溶媒に溶かして混合する等して分散状態としてもよい。得られる硬化物がより透明になりやすいという点においては、変性ポリオルガノシロキサン化合物に溶かして均一な状態として混合することが好ましい。   The thermoplastic resin may be dissolved in the modified polyorganosiloxane compound and mixed in a uniform state, pulverized and mixed in a particle state, or dissolved in a solvent and mixed to be in a dispersed state. Good. From the viewpoint that the resulting cured product tends to be more transparent, it is preferable to dissolve in the modified polyorganosiloxane compound and mix in a uniform state.

この場合も、熱可塑性樹脂を変性ポリオルガノシロキサン化合物に直接溶解させてもよいし、溶媒等を用いて均一に混合してもよいし、その後溶媒を除いて均一な分散状態或いは/お及び混合状態としてもよい。   In this case as well, the thermoplastic resin may be directly dissolved in the modified polyorganosiloxane compound, or may be mixed uniformly using a solvent, etc., and then the solvent is removed to obtain a uniform dispersed state and / or mixture. It is good also as a state.

熱可塑性樹脂を分散させて用いる場合は、平均粒子径は種々設定できるが、好ましい平均粒子径の下限は10nmであり、好ましい平均粒子径の上限は10μmである。粒子系の分布はあってもよく、単一分散であっても複数のピーク粒径を持っていてもよいが、硬化性組成物の粘度が低く成形性が良好となり易いという観点からは、粒子径の変動係数が10%以下であることが好ましい。   When the thermoplastic resin is dispersed and used, the average particle diameter can be variously set, but the lower limit of the preferable average particle diameter is 10 nm, and the upper limit of the preferable average particle diameter is 10 μm. There may be a distribution of the particle system, which may be monodispersed or have a plurality of peak particle sizes, but from the viewpoint that the viscosity of the curable composition is low and the moldability tends to be good, The diameter variation coefficient is preferably 10% or less.

(充填材)
硬化性組成物には必要に応じて充填材を添加してもよい。充填材としては各種のものが用いられるが、例えば、石英、ヒュームシリカ、沈降性シリカ、無水ケイ酸、溶融シリカ、結晶性シリカ、超微粉無定型シリカ等のシリカ系充填材、窒化ケイ素、銀粉、アルミナ、水酸化アルミニウム、酸化チタン、ガラス繊維、炭素繊維、マイカ、カーボンブラック、グラファイト、ケイソウ土、白土、クレー、タルク、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、硫酸バリウム、無機バルーン等の無機充填材をはじめとして、エポキシ系等の従来の封止材の充填材として一般に使用或いは/及び提案されている充填材等を挙げることができる。
(Filler)
You may add a filler to a curable composition as needed. Various fillers are used. For example, silica-based fillers such as quartz, fume silica, precipitated silica, silicic anhydride, fused silica, crystalline silica, ultrafine powder amorphous silica, silicon nitride, silver powder, etc. Inorganic fillers such as alumina, aluminum hydroxide, titanium oxide, glass fiber, carbon fiber, mica, carbon black, graphite, diatomaceous earth, clay, clay, talc, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium sulfate, inorganic balloon As a filler for a conventional sealing material such as an epoxy type, a filler that is generally used or / and proposed can be used.

(老化防止剤)
本発明の硬化性組成物には老化防止剤を添加してもよい。老化防止剤としては、ヒンダートフェノール系等一般に用いられている老化防止剤の他、クエン酸やリン酸、硫黄系老化防止剤等が挙げられる。ヒンダートフェノール系老化防止剤としては、チバスペシャリティーケミカルズ社から入手できるイルガノックス1010をはじめとして、各種のものが用いられる。
(Anti-aging agent)
An aging inhibitor may be added to the curable composition of the present invention. Examples of the anti-aging agent include citric acid, phosphoric acid, sulfur-based anti-aging agent and the like in addition to the anti-aging agents generally used such as hindered phenol type. As the hindered phenol-based anti-aging agent, various types such as Irganox 1010 available from Ciba Specialty Chemicals are used.

硫黄系老化防止剤としては、メルカプタン類、メルカプタンの塩類、スルフィドカルボン酸エステル類や、ヒンダードフェノール系スルフィド類を含むスルフィド類、ポリスルフィド類、ジチオカルボン酸塩類、チオウレア類、チオホスフェイト類、スルホニウム化合物、チオアルデヒド類、チオケトン類、メルカプタール類、メルカプトール類、モノチオ酸類、ポリチオ酸類、チオアミド類、スルホキシド類等が挙げられる。また、これらの老化防止剤は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。   Sulfur-based antioxidants include mercaptans, mercaptan salts, sulfide carboxylic acid esters, sulfides including hindered phenol sulfides, polysulfides, dithiocarboxylates, thioureas, thiophosphates, sulfonium Examples thereof include compounds, thioaldehydes, thioketones, mercaptals, mercaptols, monothioacids, polythioacids, thioamides, and sulfoxides. Moreover, these anti-aging agents may be used independently and may be used together 2 or more types.

(紫外線吸収剤)
本発明の硬化性組成物には紫外線吸収剤を添加してもよい。紫外線吸収剤としては、例えば2(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジン)セバケート等が挙げられる。また、これらの紫外線吸収剤は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。
(UV absorber)
An ultraviolet absorber may be added to the curable composition of the present invention. Examples of the ultraviolet absorber include 2 (2′-hydroxy-3 ′, 5′-di-t-butylphenyl) benzotriazole, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidine) sebacate and the like. Can be mentioned. Moreover, these ultraviolet absorbers may be used independently and may be used together 2 or more types.

(溶剤)
本発明の硬化性組成物に使用される、変性ポリオルガノシロキサン化合物が高粘度である場合、溶剤に溶解して用いることも可能である。使用できる溶剤は特に限定されるものではなく、具体的に例示すれば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素系溶媒、テトラヒドロフラン、1, 4−ジオキサン、1,3−ジオキソラン、ジエチルエーテル等のエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA)、エチレングリコールジエチルエーテル等のグリコール系溶剤、クロロホルム、塩化メチレン、1, 2−ジクロロエタン等のハロゲン系溶媒を好適に用いることができる。
(solvent)
When the modified polyorganosiloxane compound used in the curable composition of the present invention has a high viscosity, it can be used by dissolving in a solvent. Solvents that can be used are not particularly limited, and specific examples include hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, hexane, heptane, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1,3-dioxolane, diethyl ether, and the like. Ether solvents, ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, glycol solvents such as propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate (PGMEA), ethylene glycol diethyl ether, chloroform, methylene chloride, A halogen-based solvent such as 1,2-dichloroethane can be preferably used.

溶媒としては、トルエン、テトラヒドロフラン、1,3−ジオキソラン、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート、クロロホルムが好ましい。   As the solvent, toluene, tetrahydrofuran, 1,3-dioxolane, propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, and chloroform are preferable.

使用する溶媒量は適宜設定できるが、用いる硬化性組成物1gに対しての好ましい使用量の下限は0.1mLであり、好ましい使用量の上限は10mLである。使用量が少ないと、低粘度化等の溶媒を用いることの効果が得られにくく、また、使用量が多いと、材料に溶剤が残留して熱クラック等の問題となり易く、またコスト的にも不利になり工業的利用価値が低下する。これらの、溶媒は単独で使用してもよく、2種類以上の混合溶媒として用いることもできる。   Although the amount of solvent to be used can be set as appropriate, the lower limit of the preferred amount of use with respect to 1 g of the curable composition to be used is 0.1 mL, and the upper limit of the preferred amount of use is 10 mL. If the amount used is small, it is difficult to obtain the effect of using a solvent such as a low viscosity, and if the amount used is large, the solvent tends to remain in the material, causing problems such as thermal cracks, and also from a cost standpoint. It is disadvantageous and the industrial utility value decreases. These solvents may be used alone or as a mixed solvent of two or more.

(その他添加剤)
本発明の硬化性組成物には、その他、着色剤、離型剤、難燃剤、難燃助剤、界面活性剤、消泡剤、乳化剤、レベリング剤、はじき防止剤、アンチモン−ビスマス等のイオントラップ剤、チクソ性付与剤、粘着性付与剤、保存安定改良剤、オゾン劣化防止剤、光安定剤、増粘剤、可塑剤、反応性希釈剤、酸化防止剤、熱安定化剤、導電性付与剤、帯電防止剤、放射線遮断剤、核剤、リン系過酸化物分解剤、滑剤、顔料、金属不活性化剤、熱伝導性付与剤、物性調整剤等を本発明の目的および効果を損なわない範囲において添加することができる。
(Other additives)
The curable composition of the present invention includes other ions such as a colorant, a release agent, a flame retardant, a flame retardant aid, a surfactant, an antifoaming agent, an emulsifier, a leveling agent, an anti-fogging agent, and antimony-bismuth. Trapping agent, thixotropic agent, tackifier, storage stability improver, ozone degradation inhibitor, light stabilizer, thickener, plasticizer, reactive diluent, antioxidant, heat stabilizer, conductivity The purpose and effect of the present invention include an imparting agent, an antistatic agent, a radiation shielding agent, a nucleating agent, a phosphorus peroxide decomposing agent, a lubricant, a pigment, a metal deactivator, a thermal conductivity imparting agent, and a physical property modifier. It can be added as long as it is not impaired.

(フォトリソグラフィー性に関して)
本発明の組成物を用いた薄膜でコンタクトホール形成などの目的よりパターン形成する場合には、通常のレジスト材料の現像方法と同様の方法で行うことができ特に限定されるものではない。感光させるための光源としては、使用する重合開始剤や増感剤の吸収波長を発光する光源を使用すればよく、通常200〜450nmの範囲の波長を含む光源、例えば、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、ハイパワーメタルハライドランプ、キセノンランプ、カーボンアークランプ、発光ダイオードなどを使用できる。
(Regarding photolithographic properties)
When forming a pattern with a thin film using the composition of the present invention for the purpose of forming a contact hole or the like, it can be carried out by a method similar to a developing method of a normal resist material, and is not particularly limited. As a light source for sensitization, a light source that emits an absorption wavelength of a polymerization initiator or a sensitizer to be used may be used, and a light source usually containing a wavelength in the range of 200 to 450 nm, for example, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high pressure Mercury lamps, metal halide lamps, high power metal halide lamps, xenon lamps, carbon arc lamps, light emitting diodes, and the like can be used.

露光量は特に制限されないが、好ましい露光量の範囲は1〜5000mJ/cm2、より好ましくは1〜1000mJ/cm2である。露光量が少ないと硬化しない。露光量が多いと過露光のためパターンが形成できないことがある。 The exposure amount is not particularly limited, but a preferable exposure amount range is 1 to 5000 mJ / cm 2 , more preferably 1 to 1000 mJ / cm 2 . If the exposure is small, it will not cure. If the exposure amount is large, a pattern may not be formed due to overexposure.

また溶剤除去および硬化物の物性向上の目的で、光硬化前後に熱を加えプリベークおよびアフターベークさせてもよい。硬化温度としては種々設定できるが、好ましい温度の範囲は60〜300℃、より好ましくは80〜200℃である。   Further, for the purpose of removing the solvent and improving the physical properties of the cured product, pre-baking and after-baking may be performed by applying heat before and after photocuring. Various curing temperatures can be set, but a preferable temperature range is 60 to 300 ° C, more preferably 80 to 200 ° C.

また現像液としては、一般に使用するアルカリ現像液ものであれば特に限定なく使用することができるが、具体例としては、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液やコリン水溶液等の有機アルカリ水溶液や、水酸化カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸リチウム水溶液などの無機アルカリ水溶液やこれら水溶液に溶解速度等の調整のためにアルコールや界面活性剤などを添加したもの等が挙げられる。   The developer can be used without particular limitation as long as it is a commonly used alkaline developer, but specific examples include organic alkaline aqueous solutions such as tetramethylammonium hydroxide aqueous solution and choline aqueous solution, and potassium hydroxide. Examples thereof include an aqueous solution, an aqueous solution of sodium hydroxide, an aqueous solution of potassium carbonate, an aqueous solution of sodium carbonate, an aqueous solution of lithium carbonate and the like, and an aqueous solution containing alcohol or a surfactant added to adjust the dissolution rate.

また水溶液濃度に関しては、露光部と未露光部のコントラストがつきやすいという観点より、25重量%以下であることが好ましく、より好ましくは10重量%以下、更に好ましくは5重量%以下であることが好ましい。   The aqueous solution concentration is preferably 25% by weight or less, more preferably 10% by weight or less, still more preferably 5% by weight or less from the viewpoint that the contrast between the exposed part and the unexposed part is easily obtained. preferable.

(適用用途)
本発明の硬化性組成物は、フォトリソグラフィーにより微細なコンタクトホール等の形成も簡便に形成でき、かつ得られる硬化物は薄膜での絶縁性にも優れていることより、高い絶縁性が要求される電子部品、例えば薄膜トランジスタのパッシベーション膜、ゲート絶縁膜に適用することができる。
(Application)
The curable composition of the present invention can easily form fine contact holes and the like by photolithography, and the obtained cured product is excellent in insulation in a thin film, and thus high insulation is required. The present invention can be applied to an electronic component such as a passivation film or a gate insulating film of a thin film transistor.

その他、透明材料、光学材料、光学レンズ、光学フィルム、光学シート、光学部品用接着剤、光導波路結合用光学接着剤、光導波路周辺部材固定用接着剤、DVD貼り合せ用接着剤、粘着剤、ダイシングテープ、電子材料、絶縁材料(プリント基板、電線被覆等を含む)、高電圧絶縁材料、層間絶縁膜、TFT用パッシベーション膜、TFT用ゲート絶縁膜、TFT用層間絶縁膜、TFT用透明平坦化膜、絶縁用パッキング、絶縁被覆材、接着剤、高耐熱性接着剤、高放熱性接着剤、光学接着剤、LED素子の接着剤、各種基板の接着剤、ヒートシンクの接着剤、塗料、UV粉体塗料、インク、着色インク、UVインクジェット用インク、コーティング材料(ハードコート、シート、フィルム、剥離紙用コート、光ディスク用コート、光ファイバ用コート等を含む)、成形材料(シート、フィルム、FRP等を含む)、シーリング材料、ポッティング材料、封止材料、発光ダイオード用封止材料、光半導体封止材料、液晶シール剤、表示デバイス用シール剤、電気材料用封止材料、各種太陽電池の封止材料、高耐熱シール材、レジスト材料、液状レジスト材料、着色レジスト、ドライフィルムレジスト材料、ソルダーレジスト材料、カラーフィルター用バインダー樹脂、カラーフィルター用透明平坦化材料、ブラックマトリクス用バインダー樹脂、液晶セル用フォトスペーサー材料、OLED素子用透明封止材料、光造形、太陽電池用材料、燃料電池用材料、表示材料、記録材料、防振材料、防水材料、防湿材料、熱収縮ゴムチューブ、オーリング、複写機用感光ドラム、電池用固体電解質、ガス分離膜に応用できる。また、コンクリート保護材、ライニング、土壌注入剤、蓄冷熱材、滅菌処理装置用シール材、コンタクトレンズ、酸素透過膜の他、他樹脂等への添加剤等が挙げられる。   In addition, transparent materials, optical materials, optical lenses, optical films, optical sheets, optical component adhesives, optical waveguide coupling optical adhesives, optical waveguide peripheral member fixing adhesives, DVD bonding adhesives, adhesives, Dicing tape, electronic materials, insulating materials (including printed circuit boards, wire coatings, etc.), high-voltage insulating materials, interlayer insulating films, TFT passivation films, TFT gate insulating films, TFT interlayer insulating films, TFT transparent flattening Membrane, insulating packing, insulation coating material, adhesive, high heat resistant adhesive, high heat dissipation adhesive, optical adhesive, LED element adhesive, various substrate adhesive, heat sink adhesive, paint, UV powder Body paint, ink, colored ink, UV inkjet ink, coating material (hard coat, sheet, film, release paper coat, optical disc coat, optical fabric ), Molding materials (including sheets, films, FRP, etc.), sealing materials, potting materials, sealing materials, light-emitting diode sealing materials, optical semiconductor sealing materials, liquid crystal sealing agents, display devices Sealing material, sealing material for electrical materials, sealing material for various solar cells, high heat resistant sealing material, resist material, liquid resist material, colored resist, dry film resist material, solder resist material, binder resin for color filter, color Transparent flattening material for filter, binder resin for black matrix, photo spacer material for liquid crystal cell, transparent sealing material for OLED element, stereolithography, solar cell material, fuel cell material, display material, recording material, vibration proof material , Waterproof materials, moisture-proof materials, heat-shrinkable rubber tubes, O-rings, photoconductor drums for copying machines, battery fixing The electrolyte can be applied to a gas separation membrane. Further, concrete protective materials, linings, soil injection agents, cold storage heat materials, sealing materials for sterilization treatment devices, contact lenses, oxygen permeable membranes, additives to other resins, and the like can be mentioned.

当該組成物を用い、下記アルカリ現像特性評価、および硬化物の耐熱性評価を行った。以下、実施例および比較例で得られた硬化性組成物の特性評価を行った結果を表1に示す。   Using the composition, the following alkali development characteristics evaluation and heat resistance evaluation of the cured product were performed. Table 1 shows the results of the evaluation of the characteristics of the curable compositions obtained in Examples and Comparative Examples.

Figure 0005628489
Figure 0005628489

この結果からもわかるように、本発明によりアルカリ現像性を有し、かつ光学的透明性および耐熱性に優れる硬化物が得られている事がわかる。   As can be seen from the results, it can be seen that a cured product having alkali developability and excellent in optical transparency and heat resistance is obtained by the present invention.

(耐熱性評価)
実施例および比較例で得られた硬化性組成物をガラス板に厚み約50μmとなるようコートしたものを、ポストベイクとして150℃30分間循環型熱風オーブンで加熱したガラス基板上サンプルについて、上記と同様の循環型熱風オーブン200℃24時間保存し、耐熱試験を実施した。耐熱性試験前後の組成物塗膜外観および光線透過率を測定し耐熱透明性を評価した。ここでの光線透過率は、(株)日立製作所製U−3300を用いて、スキャンスピード300nm/minの条件で測定した。
(Heat resistance evaluation)
The sample on the glass substrate obtained by coating the curable composition obtained in Examples and Comparative Examples on a glass plate to a thickness of about 50 μm and heating it in a circulating hot air oven at 150 ° C. for 30 minutes as a post-bake is the same as above. Was stored in a circulating hot air oven at 200 ° C. for 24 hours, and a heat resistance test was conducted. The composition coating film appearance and light transmittance before and after the heat resistance test were measured to evaluate heat resistant transparency. The light transmittance here was measured using a U-3300 manufactured by Hitachi, Ltd. under a scan speed of 300 nm / min.

(アルカリ現像性)
実施例および比較例で得られた硬化性組成物を得られた組成物をガラス板(50×100×0.7mm)にスピンコートにより塗布し、塗面に部分的に簡易マスクを設けたサンプルを作成し、コンベア型露光装置(高圧水銀ランプ、フュージョン製LH6)にて積算光量200mJ/cm2露光した。
(Alkali developability)
Samples obtained by applying the compositions obtained from the curable compositions obtained in Examples and Comparative Examples to glass plates (50 × 100 × 0.7 mm) by spin coating, and partially providing a simple mask on the coated surface And was exposed to an integrated light amount of 200 mJ / cm 2 using a conveyor type exposure apparatus (high pressure mercury lamp, LH6 manufactured by Fusion).

露光サンプルをアルカリ性現像液(TMAH2.38%水溶液)に60秒浸漬後水洗し、現像コントラストがついている(露光部樹脂が残存し、未露光部が除去されている)ものを○、現像コントラストがついていないものを×としてアルカリ現像性の評価とした。   The exposed sample is immersed in an alkaline developer (TMAH 2.38% aqueous solution) for 60 seconds and then washed with water, and a development contrast is obtained (the exposed portion resin remains and the unexposed portion is removed). Those not attached were evaluated as alkali developability with x.

(合成実施例1)
1L四つ口フラスコにジアリルイソシアヌル酸34.8g、1,4−ジオキサン250g及び白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0649gを入れ、トルエン50g、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン6.6gの混合液を30分かけて滴下した。入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。1H−NMRでSiH基が消失したことを確認し、冷却により反応を終了した。
(Synthesis Example 1)
Into a 1 L four-necked flask, 34.8 g of diallyl isocyanuric acid, 250 g of 1,4-dioxane and 0.0649 g of a platinum vinylsiloxane complex xylene solution (containing 3 wt% as platinum) were added, and 50 g of toluene, 1,3,5,7 -A liquid mixture of 6.6 g of tetramethylcyclotetrasiloxane was added dropwise over 30 minutes. The gas phase was replaced with nitrogen, and then heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. It was confirmed by 1 H-NMR that the SiH group had disappeared, and the reaction was terminated by cooling.

溶剤のジオキサン及びトルエンを減圧留去し、ポリシロキサン系化合物Aを得た。1H−NMR測定により、得られたポリシロキサン系化合物Aよりアルケニル基およびNH基由来のピークが確認されており、アルケニル基およびイソシアヌル酸基を有するポリシロキサン化合物であることがわかる。 The solvent dioxane and toluene were distilled off under reduced pressure to obtain polysiloxane compound A. From the 1 H-NMR measurement, peaks derived from the alkenyl group and NH group are confirmed from the obtained polysiloxane compound A, and it is found that the polysiloxane compound has an alkenyl group and an isocyanuric acid group.

(合成実施例2)
1L四つ口フラスコにジアリルイソシアヌル酸17.4g、トリアリルイソシアヌレート13.8g、1,4−ジオキサン250g及び白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0649gを入れ、トルエン50g、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン6.6gの混合液を30分かけて滴下した。入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。1H−NMRでSiH基が消失したことを確認し、冷却により反応を終了した。
(Synthesis Example 2)
A 1 L four-necked flask is charged with 17.4 g of diallyl isocyanuric acid, 13.8 g of triallyl isocyanurate, 250 g of 1,4-dioxane, and 0.0649 g of a xylene solution of platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum), and 50 g of toluene. A mixture of 6.6 g of 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane was added dropwise over 30 minutes. The gas phase was replaced with nitrogen, and then heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. It was confirmed by 1 H-NMR that the SiH group had disappeared, and the reaction was terminated by cooling.

溶剤のジオキサン及びトルエンを減圧留去し、ポリシロキサン系化合物Bを得た。H−NMR測定により、得られたポリシロキサン系化合物よりアルケニル基およびNH基由来のピークが確認されており、アルケニル基およびイソシアヌル酸基を有するポリシロキサン化合物であることがわかる。 The solvent dioxane and toluene were distilled off under reduced pressure to obtain polysiloxane compound B. From the 1 H-NMR measurement, peaks derived from the alkenyl group and the NH group are confirmed from the obtained polysiloxane compound B , and it can be seen that the polysiloxane compound has an alkenyl group and an isocyanuric acid group.

(実施例1)
合成実施例1得られたポリシロキサン系化合物A1gに、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート(堺化学工業製、製品名:TMMP)0.3g、光ラジカル重合開始剤(チバスペシャリティーケミカルズ製、製品名:DAROCURE1173)0.0130g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶剤、PGMEA)5.2gを加え樹脂組成物とした。
Example 1
Synthesis Example 1 To 1 g of the obtained polysiloxane compound A, 0.3 g of trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate (manufactured by Sakai Chemical Industry, product name: TMMP), photo radical polymerization initiator (Ciba Specialty Chemicals) (Product name: DAROCURE 1173) 0.0130 g and propylene glycol monomethyl ether acetate (solvent, PGMEA) 5.2 g were added to obtain a resin composition.

(実施例2)
合成実施例2得られたポリシロキサン系化合物B1gに、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート(堺化学工業製、製品名:TMMP)0.3g、光ラジカル重合開始剤(チバスペシャリティーケミカルズ製、製品名:DAROCURE1173)0.0130g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶剤、PGMEA)5.2gを加え樹脂組成物とした。
(Example 2)
Synthesis Example 2 To 1 g of the resulting polysiloxane compound B, 0.3 g of trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate (manufactured by Sakai Chemical Industry, product name: TMMP), photo radical polymerization initiator (Ciba Specialty Chemicals) (Product name: DAROCURE 1173) 0.0130 g and propylene glycol monomethyl ether acetate (solvent, PGMEA) 5.2 g were added to obtain a resin composition.

(実施例3)
合成実施例1得られたポリシロキサン系化合物A1gに、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート(堺化学工業製、製品名:TMMP)0.4g、光ラジカル重合開始剤(チバスペシャリティーケミカルズ製、製品名:DAROCURE1173)0.0130g、トリアリルイソシアヌレート0.5g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(溶剤、PGMEA)7.6gを加え樹脂組成物とした。
Example 3
Synthesis Example 1 To 1 g of the obtained polysiloxane compound A, 0.4 g of trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate (manufactured by Sakai Chemical Industry, product name: TMMP), photo radical polymerization initiator (Ciba Specialty Chemicals) Product name: DAROCURE 1173) 0.0130 g, triallyl isocyanurate 0.5 g, propylene glycol monomethyl ether acetate (solvent, PGMEA) 7.6 g was added to obtain a resin composition.

(比較例1)
光硬化性エポキシ化合物(ダイセル化学、製品名:セロキサイド2021P)1gにカチオン重合開始剤(ローディア、製品名:RHODORSIL PI2074)0.01g、PGMEA4.0gを加え樹脂組成物とした。
(Comparative Example 1)
0.01 g of a cationic polymerization initiator (Rhodia, product name: RHODORSIL PI2074) and 4.0 g of PGMEA were added to 1 g of a photocurable epoxy compound (Daicel Chemical, product name: Celoxide 2021P) to obtain a resin composition.

Claims (8)

必須成分として(A)チオール基を含まず、アルケニル基を有し、かつ、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する変性ポリオルガノシロキサン化合物、(B)1分子中に2個以上のチオール基を有する化合物、(C)光ラジカル重合開始剤を含有する硬化性組成物。
Figure 0005628489
Modified polyorganosiloxane having (A) an alkenyl group as an essential component, an alkenyl group, and at least one selected from the structures represented by the following formulas (X1) to (X3) in the same molecule A curable composition containing a compound, (B) a compound having two or more thiol groups in one molecule, and (C) a photoradical polymerization initiator.
Figure 0005628489
成分(A)が、下記化合物αとβを、反応させる化合物の総アルケニル基量をA、反応させる化合物の総SiH基量をBとして1.5≦A/B≦15で反応させたヒドロシリル化反応生成物である請求項1に記載の硬化性組成物:
(α)アルケニル基を有し、かつ、式(X1)〜(X3)で表される各構造から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する有機化合物、
(β)1分子中にSiH基を2個以上有する鎖状及び/又は環状のポリオルガノシロキサン化合物。
Component (A) is a hydrosilylation in which the following compounds α and β are reacted at 1.5 ≦ A / B ≦ 15, where A is the total alkenyl group amount of the compound to be reacted and B is the total SiH group amount of the compound to be reacted. The curable composition according to claim 1, which is a reaction product:
(Α) an organic compound having an alkenyl group and having in the same molecule at least one selected from the structures represented by formulas (X1) to (X3);
(Β) A linear and / or cyclic polyorganosiloxane compound having two or more SiH groups in one molecule.
化合物(β)が、下記一般式(I)
Figure 0005628489
(式中R、Rは炭素数1〜10の任意にO原子を有していても良い炭化水素基を表し、nは2〜10、mは0〜10、ただしm+n≧3、の数を表す)で表されるSiH基を有する環状ポリオルガノシロキサン化合物である請求項2に記載の硬化性組成物。
Compound (β) is represented by the following general formula (I)
Figure 0005628489
(Wherein R 2 and R 3 each represents a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms and optionally having an O atom , n is 2 to 10, m is 0 to 10, provided that m + n ≧ 3. The curable composition according to claim 2 , which is a cyclic polyorganosiloxane compound having a SiH group represented by:
成分(B)が、チオール基含有ポリシロキサン化合物であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 The curable composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the component (B) is a thiol group-containing polysiloxane compound. 必須成分としてさらに(D)上記式(X1)〜(X3)で表される構造、チオール基およびシロキサン単位を含まないアルケニル基含有化合物を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の硬化性組成物。 5. The alkenyl group-containing compound which does not contain (D) the structure represented by the above formulas (X1) to (X3), a thiol group and a siloxane unit as an essential component. The curable composition according to item. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の硬化性組成物を用いることで得られる絶縁膜。 The insulating film obtained by using the curable composition as described in any one of Claims 1-5. 請求項6に記載の絶縁膜を半導体層のパッシベーション膜とすることを特徴とする薄膜トランジスタ。 A thin film transistor, wherein the insulating film according to claim 6 is a passivation film of a semiconductor layer. 請求項6に記載の絶縁膜をゲート絶縁膜とすることを特徴とする薄膜トランジスタ。 A thin film transistor, wherein the insulating film according to claim 6 is a gate insulating film.
JP2009139629A 2009-06-10 2009-06-10 Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same Active JP5628489B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009139629A JP5628489B2 (en) 2009-06-10 2009-06-10 Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009139629A JP5628489B2 (en) 2009-06-10 2009-06-10 Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010285519A JP2010285519A (en) 2010-12-24
JP5628489B2 true JP5628489B2 (en) 2014-11-19

Family

ID=43541473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009139629A Active JP5628489B2 (en) 2009-06-10 2009-06-10 Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5628489B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9994754B2 (en) 2014-03-27 2018-06-12 3M Innovative Properties Company Filled polydiorganosiloxane-containing compositions, and methods of using same

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010285517A (en) * 2009-06-10 2010-12-24 Kaneka Corp Photocurable composition, and insulating thin film and thin film transistor obtained using the same
JP5431224B2 (en) * 2010-03-29 2014-03-05 新日鉄住金化学株式会社 Photosensitive alkali-soluble resin composition containing cyclic silicone resin and cured product using the same
JP2012160698A (en) * 2011-01-13 2012-08-23 Kaneka Corp Gate insulator film for thin film transistor and thin film transistor element with insulator film
CN102344684B (en) * 2011-08-15 2013-01-02 王昌归 Organic silicon rubber used for LED module packaging and preparation method thereof
WO2013096211A1 (en) * 2011-12-22 2013-06-27 Dow Corning Corporation Silicone-based ionic liquids and applications thereof
KR102148246B1 (en) * 2012-07-04 2020-08-26 가부시키가이샤 가네카 Positive photosensitive composition, thin film transistor, and compound
JP6096704B2 (en) * 2014-03-31 2017-03-15 富士フイルム株式会社 Thermal or photocurable composition, and insulating film and thin film transistor using the same
DE102014106885B4 (en) * 2014-05-15 2022-01-20 Pictiva Displays International Limited Method for producing an insulator layer, method for producing an organic optoelectronic component comprising an insulator layer and organic optoelectronic component comprising an insulator layer
JP6021867B2 (en) * 2014-09-25 2016-11-09 株式会社カネカ Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same
JP6021866B2 (en) * 2014-09-25 2016-11-09 株式会社カネカ Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same
CN107709388B (en) * 2015-06-26 2020-07-07 日产化学工业株式会社 Photocurable resin composition
JPWO2017170050A1 (en) * 2016-03-31 2019-02-14 昭和電工株式会社 Resist ink, cured product thereof, protective film for wiring, and manufacturing method thereof
US11163230B2 (en) * 2016-04-06 2021-11-02 Koninklijke Philips N.V. Imprint lithography stamp method of making and using the same
CN113929915B (en) * 2021-10-26 2022-10-28 中国石油大学(华东) Preparation method and application of modified siloxane supercritical carbon dioxide thickener

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06136342A (en) * 1992-10-26 1994-05-17 Toshiba Silicone Co Ltd Adhesive for metal
JPH073164A (en) * 1993-06-21 1995-01-06 Toshiba Silicone Co Ltd Fipg composition adhering to oil-soiled surface
US6830808B2 (en) * 2002-09-27 2004-12-14 Dupont Dow Elastomers, Llc Perfluoroelastomer articles having improved surface properties
US20060094809A1 (en) * 2004-11-02 2006-05-04 Simone Davide L Electrically and thermally conductive silicone adhesive compositions
JP4997707B2 (en) * 2005-02-28 2012-08-08 ダイキン工業株式会社 Fluorine-containing elastomer and method for producing fluorine-containing elastomer
JP2008201851A (en) * 2007-02-16 2008-09-04 Kaneka Corp Curable composition and optical material using the same
EP2216336B1 (en) * 2007-11-09 2015-11-04 Kaneka Corporation Process for production of cyclic polyorganosiloxane, curing agent, curable composition, and cured product of the curable composition
JP5260944B2 (en) * 2007-11-20 2013-08-14 株式会社カネカ Curable composition
KR101800015B1 (en) * 2007-12-10 2017-11-21 카네카 코포레이션 Alkali-developable curable composition, insulating thin film using the same, and thin film transistor
US8809414B2 (en) * 2008-10-02 2014-08-19 Kaneka Corporation Photocurable composition and cured product
JP2010163520A (en) * 2009-01-14 2010-07-29 Kaneka Corp Optical material
JP5638767B2 (en) * 2009-03-31 2014-12-10 株式会社カネカ Curable composition
JP2010258378A (en) * 2009-04-28 2010-11-11 Kaneka Corp Insulating thin film, and thin-film transistor using the same
JP5571326B2 (en) * 2009-05-26 2014-08-13 株式会社カネカ Curable composition and cured product thereof
JP2010285517A (en) * 2009-06-10 2010-12-24 Kaneka Corp Photocurable composition, and insulating thin film and thin film transistor obtained using the same
JP5284880B2 (en) * 2009-06-10 2013-09-11 株式会社カネカ Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9994754B2 (en) 2014-03-27 2018-06-12 3M Innovative Properties Company Filled polydiorganosiloxane-containing compositions, and methods of using same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010285519A (en) 2010-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5628489B2 (en) Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same
JP5284880B2 (en) Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same
JP5555170B2 (en) Photocurable composition and cured product
JP5491197B2 (en) Curable composition having alkali developability, insulating thin film and thin film transistor using the same
US8263725B2 (en) Curable composition
JP2010285517A (en) Photocurable composition, and insulating thin film and thin film transistor obtained using the same
JP2011221192A (en) Curable composition and cured product
JP5638767B2 (en) Curable composition
JP6706453B2 (en) Negative photosensitive resin composition, cured product and laminate
JP5341596B2 (en) Curable composition
JP6945289B2 (en) A method for producing a photocurable composition having alkali developability and a pattern cured film.
JP6883946B2 (en) Laminated body, its manufacturing method, and substrate bonding method
JP5749446B2 (en) Photocurable composition
JP6021866B2 (en) Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same
JP6021867B2 (en) Photocurable composition and insulating thin film and thin film transistor using the same
JP6706454B2 (en) Negative curable composition, cured product and laminate
JP6161263B2 (en) Curable composition and thin film, and thin film transistor using the same
JP2012107113A (en) Curable composition and thin film transistor using the same
JP6886268B2 (en) Negative photosensitive resin composition, cured product and laminate
JP6799372B2 (en) Negative photosensitive composition
JP2013173809A (en) Curable composition
JP2013191379A (en) Method for forming liquid repellent-lyophilic pattern layer
JP2011219583A (en) Light curable composition and cured product

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120425

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130710

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130806

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131004

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20131004

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140701

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140818

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140909

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20141002

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5628489

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250