JP2011219583A - Light curable composition and cured product - Google Patents

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Masahito Ide
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light curable composition having light curability, usable for lithography, exhibiting good sensitivity and scarcely developing problems such as a pattern form defect after development and corrosion, and to provide a cured product.SOLUTION: The problems are solved by the light curable composition containing (a) a cationically polymerizable compound, (b) a cationic polymerization initiator and (c) a cure accelerator having an epoxy group or oxetanyl group, and an alkoxysilyl group; and the cured product obtained by curing the light curable composition with light irradiation.

Description

本発明は、感度、光学的透明性に優れた光硬化性組成物およびその硬化物に関するものである。   The present invention relates to a photocurable composition excellent in sensitivity and optical transparency and a cured product thereof.

カチオン重合性官能基を有する化合物および、カチオン重合開始剤を含む光硬化性組成物については、表面硬化性が良好なUV硬化性樹脂として機能することが知られており、特にカチオン重合性官能基を有するポリオルガノシロキサン化合物は高温時における信頼性、透明性に優れる。(特許文献1参照)ただし、これらの組成物に関し、光カチオン重合に対する活性に改善の余地があり、特に高い感度を必要とする用途においては硬化不良などの問題を生じることがある。これに対し、カチオン重合開始剤量を増やす、より活性の高いカチオン重合開始剤を用いるなどの対策が可能であるが、腐食などの問題が生じやすい。   About a photocurable composition containing a compound having a cationic polymerizable functional group and a cationic polymerization initiator, it is known to function as a UV curable resin having a good surface curability, and in particular, the cationic polymerizable functional group. The polyorganosiloxane compound having an excellent reliability and transparency at high temperatures. However, regarding these compositions, there is room for improvement in activity against photocationic polymerization, and problems such as poor curing may occur in applications that require particularly high sensitivity. On the other hand, measures such as increasing the amount of the cationic polymerization initiator and using a more active cationic polymerization initiator are possible, but problems such as corrosion tend to occur.

また、光・熱硬化性組成物に含有されるエポキシ樹脂の硬化を促進する目的で、アミン化合物、イミダゾール化合物、などの塩基性化合物を添加する方法が知られているが、これは光硬化後に行う熱硬化反応を促進するものであり、リソグラフィーを要する用途において、現像工程後のパターン形状不良を改善する目的では使用できない。(特許文献2参照)   In addition, for the purpose of accelerating the curing of the epoxy resin contained in the photo / thermosetting composition, a method of adding a basic compound such as an amine compound or an imidazole compound is known. It is intended to accelerate the thermosetting reaction to be performed, and cannot be used for the purpose of improving pattern shape defects after the development process in applications requiring lithography. (See Patent Document 2)

特開2009−62490号公報JP 2009-62490 A 特開2007−316545号公報JP 2007-316545 A

上記事情から本発明の目的は、光硬化性を有しリソグラフィー可能であり、かつ良好な感度を有し、現像後の形状不良や、腐食などの問題が生じにくい光硬化性組成物および硬化物を提供することである。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a photocurable composition and a cured product that are photocurable, capable of lithography, have good sensitivity, and are less susceptible to problems such as shape defects after development and corrosion. Is to provide.

上記事情に鑑み、本発明者らが鋭意検討した結果、カチオン重合性化合物(a)と、カチオン重合開始剤(b)、エポキシ基、またはオキセタニル基と、アルコキシシリル基を有する硬化促進剤(c)を含んでなる光硬化性組成物により上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本願発明は以下の構成を有するものである。   In view of the above circumstances, as a result of intensive studies by the present inventors, a cationically polymerizable compound (a), a cationic polymerization initiator (b), an epoxy group, or an oxetanyl group, and a curing accelerator having an alkoxysilyl group (c The above-mentioned problems can be solved by a photo-curable composition comprising), and the present invention has been completed. That is, the present invention has the following configuration.

1). カチオン重合性化合物(a)と、カチオン重合開始剤(b)、エポキシ基、またはオキセタニル基と、アルコキシシリル基を有する硬化促進剤(c)を含んでなる光硬化性組成物。   1). A photocurable composition comprising a cationically polymerizable compound (a), a cationic polymerization initiator (b), an epoxy group or oxetanyl group, and a curing accelerator (c) having an alkoxysilyl group.

2). カチオン重合性化合物(a)が、ポリオルガノシロキサン化合物である1)に記載の光硬化性組成物。   2). The photocurable composition according to 1), wherein the cationically polymerizable compound (a) is a polyorganosiloxane compound.

3). カチオン重合性化合物(a)が、エポキシ基含有化合物である事を特徴とする1)または2)に記載の光硬化性組成物。   3). The photocurable composition according to 1) or 2), wherein the cationic polymerizable compound (a) is an epoxy group-containing compound.

4). カチオン重合性化合物(a)がカチオン重合性官能基およびSiH基を同一分子内に有する化合物であり、(d)炭素−炭素二重結合を有する化合物、を含有する1)〜3)のいずれかに記載の光硬化性組成物。   4). Any one of 1) to 3), wherein the cationically polymerizable compound (a) is a compound having a cationically polymerizable functional group and a SiH group in the same molecule, and (d) a compound having a carbon-carbon double bond. The photocurable composition as described in 2. above.

5). 成分(a)が、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する化合物である1)〜4)のいずれかに記載の光硬化性組成物。   5). The component (a) is a compound having in the same molecule at least one selected from the group consisting of each structure represented by the following formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group 1) -4) The photocurable composition in any one of.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

6). 成分(d)が下記一般式(I)   6). Component (d) is represented by the following general formula (I)

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中R3は炭素数1〜50の一価の有機基を表し、それぞれのR3は異なっていても同一であってもよく、少なくとも1個のR3はSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む)で表される化合物である、4)または5)に記載の光硬化性組成物。 (In the formula, R 3 represents a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms, and each R 3 may be different or the same, and at least one R 3 represents reactivity with a SiH group. The photocurable composition according to 4) or 5), which is a compound represented by (including a carbon-carbon double bond having).

7). 成分(d)が、Si−CH=CH2基を有する化合物である4)〜6)のいずれかに記載の光硬化性組成物。 7). The photocurable composition according to any one of 4) to 6), wherein the component (d) is a compound having a Si—CH═CH 2 group.

8). 成分(a)が、下記化合物(α)〜(γ)のヒドロシリル化反応生成物を使用する、1)〜7)のいずれかに記載の光硬化性組成物。
(α)1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有する有機化合物
(β)1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するオルガノシロキサン化合物
(γ)1分子中に、カチオン重合性官能基を少なくとも1個と、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上とを有する化合物
9). 8)記載の化合物(α)が、1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有し、かつ、下記一般式(I)
8). The photocurable composition according to any one of 1) to 7), wherein the component (a) uses a hydrosilylation reaction product of the following compounds (α) to (γ).
(Α) Organic compound having one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH group in one molecule (β) Organosiloxane compound (γ) 1 having at least two SiH groups in one molecule Compound having at least one cationically polymerizable functional group and one or more carbon-carbon double bond having reactivity with SiH group in the molecule 9). 8) The compound (α) described above has one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule, and the following general formula (I)

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中R3は炭素数1〜50の一価の有機基を表し、それぞれのR3は異なっていても同一であってもよく、少なくとも1個のR3はSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む)で表される化合物である、8)に記載の光硬化性組成物。 (In the formula, R 3 represents a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms, and each R 3 may be different or the same, and at least one R 3 represents reactivity with a SiH group. The photocurable composition according to 8), which is a compound represented by (including a carbon-carbon double bond having).

10). 8)記載の化合物(α)が、Si−CH=CH2基を有する化合物である8)もしくは9)のいずれかに記載の光硬化性組成物。 10). 8) The photocurable composition according to any one of 8) or 9), wherein the compound (α) is a compound having a Si—CH═CH 2 group.

11). 8)記載の化合物(α)が、1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有し、かつ、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する有機化合物である、8)〜10)のいずれかに記載の光硬化性組成物。   11). 8) The compound (α) described above has one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule, and is represented by the following formulas (X1) to (X3). The photocurable composition according to any one of 8) to 10), which is an organic compound having at least one selected from the group consisting of each structure, a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group in the same molecule.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

12). 化合物(β)が、下記一般式(III)   12). Compound (β) is represented by the following general formula (III)

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中R4、R5は炭素数1〜10の有機基を表し同一であっても異なっても良く、nは1〜10、mは0〜10の数を表す)
で表されるSiH基を有する環状ポリオルガノシロキサン化合物である、8)〜11)のいずれかに記載の光硬化性組成物。
(Wherein R 4 and R 5 represent an organic group having 1 to 10 carbon atoms, and may be the same or different, n represents 1 to 10, and m represents a number of 0 to 10)
The photocurable composition according to any one of 8) to 11), which is a cyclic polyorganosiloxane compound having a SiH group represented by:

13). 化合物(γ)が、下記一般式(IV)   13). Compound (γ) is represented by the following general formula (IV)

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中R6、R7は炭素数1〜6の有機基を表し、nは1〜3、mは0〜10の数を表す)で表される化合物である、8)〜12)のいずれかに記載の光硬化性組成物。 (Wherein R 6 and R 7 represent an organic group having 1 to 6 carbon atoms, n represents 1 to 3, m represents a number of 0 to 10), and 8) to 12) The photocurable composition in any one.

14). 1)〜13)のいずれかに記載の光硬化性組成物を硬化してなる、硬化物。
本願発明の硬化物は、上記光硬化性組成物を硬化して得られる。
14). Hardened | cured material formed by hardening | curing the photocurable composition in any one of 1) -13).
The cured product of the present invention is obtained by curing the above photocurable composition.

本発明によれば、光硬化性を有し、感度に優れた光硬化性組成物と、形状不良の無い硬化物を与え得る。   According to the present invention, a photocurable composition having photocurability and excellent sensitivity and a cured product having no defective shape can be provided.

(カチオン重合性化合物)
本発明の光硬化性組成物に使用されるカチオン重合性化合物は、分子内に少なくとも1個のカチオン重合性官能基を有する重合性化合物であれば特に限定されない。カチオン重合性官能基としては、エポキシ基、オキセタニル基、架橋性シリコン基、ビニルエーテル基、エピスルフィド基、エチレンイミン基等が挙げられる。 なかでも、エポキシ基を有する化合物が好適に用いられる。
(Cationically polymerizable compound)
The cationically polymerizable compound used in the photocurable composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a polymerizable compound having at least one cationically polymerizable functional group in the molecule. Examples of the cationic polymerizable functional group include an epoxy group, an oxetanyl group, a crosslinkable silicon group, a vinyl ether group, an episulfide group, and an ethyleneimine group. Of these, compounds having an epoxy group are preferably used.

エポキシ基のなかでも安定性の観点より、脂環式エポキシ基やグリシジル基が好ましく、特に光および熱によるカチオン重合性に優れる点では、脂環式エポキシ基が好ましい。   Among the epoxy groups, an alicyclic epoxy group and a glycidyl group are preferable from the viewpoint of stability, and an alicyclic epoxy group is particularly preferable from the viewpoint of excellent cationic polymerization by light and heat.

上記分子内に少なくとも1個のエポキシ基を有する化合物(以下、単に「エポキシ化合物」ともいう。)は特に限定されず、例えば、エポキシ基含有ポリオルガノシロキサン化合物、エポキシ基含有ポリエステル化合物、エポキシ基含有ポリウレタン化合物、エポキシ基含有アクリル化合物、ビスフェノール型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、水添ビスフェノールA型エポキシ化合物等のアルコール型エポキシ化合物、臭素化エポキシ化合物等のハロゲン化エポキシ化合物、ゴム変性エポキシ化合物、ウレタン変性エポキシ化合物、エポキシ化ポリブタジエン、エポキシ化スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体等が挙げられる。なかでも、高温時における信頼性、透明性に優れることから、エポキシ基含有ポリオルガノシロキサン化合物が好適に用いられる。これらのエポキシ系化合物は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The compound having at least one epoxy group in the molecule (hereinafter also simply referred to as “epoxy compound”) is not particularly limited. For example, an epoxy group-containing polyorganosiloxane compound, an epoxy group-containing polyester compound, and an epoxy group-containing compound Polyurethane compounds, epoxy group-containing acrylic compounds, bisphenol type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, cresol novolac type epoxy compounds and other novolak type epoxy compounds, naphthalene type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, hydrogenated bisphenol A type epoxy compounds, etc. Alcohol-type epoxy compounds, halogenated epoxy compounds such as brominated epoxy compounds, rubber-modified epoxy compounds, urethane-modified epoxy compounds, epoxidized polybutadiene, epoxidized steel Down - butadiene - styrene block copolymer and the like. Of these, an epoxy group-containing polyorganosiloxane compound is preferably used because of its excellent reliability and transparency at high temperatures. These epoxy compounds may be used independently and 2 or more types may be used together.

ここでのポリオルガノシロキサン化合物とは、シロキサン単位(Si−O−Si)および、構成元素としてC、H、N、O、Sからなる有機基Xとから構成される化合物、重合体を示し、構造上特に限定されるものではない。これら化合物中のシロキサン単位のうち、構成成分中T単位(XSiO3/2)、またはQ単位(SiO4/2)の含有率が高いものほど得られる硬化物は硬度が高くより耐熱信頼性に優れ、またM単位(X3SiO1/2)、またはD単位(X2SiO2/2)の含有率が高いものほど硬化物はより柔軟で低応力なものが得られる。 Here, the polyorganosiloxane compound refers to a compound or polymer composed of a siloxane unit (Si—O—Si) and an organic group X composed of C, H, N, O, and S as constituent elements, The structure is not particularly limited. Among the siloxane units in these compounds, the hardened product obtained with a higher content of T unit (XSiO 3/2 ) or Q unit (SiO 4/2 ) in the constituent component has higher hardness and more heat resistance reliability. The cured product is more flexible and has lower stress as it is more excellent and has a higher content of M units (X 3 SiO 1/2 ) or D units (X 2 SiO 2/2 ).

上記分子内に少なくとも1個のエポキシ基を有する化合物の市販品は特に限定されず、例えば、ジャパンエポキシレジン社製の商品名「エピコート807」、「エピコート828」、「エピコート1001」等の「エピコート」シリーズ、DIC社製の商品名「エピクロンHP−4032」等の「エピクロン」シリーズ、ダイセル化学工業社製の商品名「セロキサイド2021」等の「セロキサイド」シリーズ等が挙げられる。   A commercial product of the compound having at least one epoxy group in the molecule is not particularly limited. For example, “Epicoat” such as “Epicoat 807”, “Epicoat 828”, and “Epicoat 1001” manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd. ”Series,“ Epicron ”series such as“ Epiclon HP-4032 ”manufactured by DIC, and“ Celoxide ”series such as“ Celoxide 2021 ”manufactured by Daicel Chemical Industries.

また、本発明の光硬化性組成物に含有されるカチオン重合性化合物(a)において、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、   Moreover, in the cationically polymerizable compound (a) contained in the photocurable composition of the present invention, each structure represented by the following formulas (X1) to (X3);

Figure 2011219583
Figure 2011219583

フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも1種(以下、「上記式(X1)〜(X3)で表される各構造、フェノール性水酸基およびカルボキシル基」を「酸性基」と称することがある。)を同一分子内に有することが好ましく、この構造を有することによりアルカリ水溶液への溶解が可能となり、工業的に有用なリソグラフィー性を有する硬化性組成物となり得る。   At least one selected from the group consisting of a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group (hereinafter, “each structure represented by the above formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group” is referred to as an “acidic group”). In the same molecule, and by having this structure, it can be dissolved in an aqueous alkali solution and can be an industrially useful curable composition having lithographic properties.

また得られる硬化物が高温時における着色が少ないと言う観点より、これら有機構造の中において(X1)〜(X3)、カルボキシル基および下記式で示される構造   Among these organic structures, (X1) to (X3), a carboxyl group, and a structure represented by the following formula from the viewpoint that the obtained cured product is less colored at high temperatures.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

が好ましく、さらに高温時の熱分解性の低い硬化物が得られる観点より特に
下記式で示される各構造を有するものが好ましい。
From the viewpoint of obtaining a cured product having low thermal decomposability at high temperatures, those having each structure represented by the following formula are preferred.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(カチオン重合開始剤)
本発明の光硬化性組成物におけるカチオン重合開始剤は、活性エネルギー線によりカチオン種又はルイス酸を発生する、活性エネルギー線カチオン重合開始剤、又は熱によりカチオン種又はルイス酸を発生する熱カチオン重合開始剤であれば、特に限定されず使用できる。
(Cationic polymerization initiator)
The cationic polymerization initiator in the photocurable composition of the present invention is an active energy ray cationic polymerization initiator that generates a cationic species or Lewis acid by active energy rays, or a thermal cationic polymerization that generates a cationic species or Lewis acid by heat. Any initiator can be used without particular limitation.

活性エネルギー線カチオン重合開始剤としては、米国特許第3379653号に記載されたような金属フルオロ硼素錯塩及び三弗化硼素錯化合物;米国特許第3586616号に記載されたようなビス(ペルフルオルアルキルスルホニル)メタン金属塩;米国特許第3708296号に記載されたようなアリールジアゾニウム化合物;米国特許第4058400号に記載されたようなVIa族元素の芳香族オニウム塩;米国特許第4069055号に記載されたようなVa族元素の芳香族オニウム塩;米国特許第4068091号に記載されたようなIIIa〜Va族元素のジカルボニルキレート;米国特許第4139655号に記載されたようなチオピリリウム塩;米国特許第4161478号に記載されたようなMF6-陰イオン(ここでMは燐、アンチモン及び砒素から選択される)の形のVIa元素;米国特許第4231951号に記載されたようなアリールスルホニウム錯塩;米国特許第4256828号に記載されたような芳香族ヨードニウム錯塩及び芳香族スルホニウム錯塩;W.R.Wattらによって「ジャーナル・オブ・ポリマー・サイエンス、ポリマー・ケミストリー版」、第22巻、1789頁(1984年)に記載されたようなビス[4−(ジフェニルスルホニオ)フェニル]スルフィド−ビスヘキサフルオロ金属塩(例えば燐酸塩、砒酸塩、アンチモン酸塩等);陰イオンがB(C654 -である芳香族ヨードニウム錯塩及び芳香族スルホニウム錯塩の一種以上が包含される。 Examples of active energy ray cationic polymerization initiators include metal fluoroboron complex salts and boron trifluoride complex compounds as described in US Pat. No. 3,379,653; bis (perfluoroalkyls) as described in US Pat. No. 3,586,616. Sulfonyl) methane metal salts; aryldiazonium compounds as described in US Pat. No. 3,708,296; aromatic onium salts of group VIa elements as described in US Pat. No. 4,058,400; described in US Pat. Aromatic onium salts of Group Va elements such as: dicarbonyl chelates of Group IIIa to Va elements as described in US Pat. No. 4068091; thiopyrylium salts as described in US Pat. No. 4,139,655; US Pat. No. 4,161,478 as described in JP MF6 - anions (here Element VIa in the form of M selected from phosphorus, antimony and arsenic; arylsulfonium complex salts as described in US Pat. No. 4,231,951; aromatic iodonium complex salts and fragrances as described in US Pat. No. 4,256,828 Group sulfonium complex salts; R. Bis [4- (diphenylsulfonio) phenyl] sulfide-bishexafluoro as described by Watt et al. In “Journal of Polymer Science, Polymer Chemistry Edition”, Vol. 22, page 1789 (1984). Metal salts (for example, phosphates, arsenates, antimonates, etc.); one or more aromatic iodonium complex salts and aromatic sulfonium complex salts whose anions are B (C 6 F 5 ) 4 are included.

好ましい陽イオン系活性エネルギー線カチオン重合開始剤には、アリールスルホニウム錯塩、ハロゲン含有錯イオンの芳香族スルホニウム又はヨードニウム塩並びにII族、V族及びVI族元素の芳香族オニウム塩が包含される。これらの塩のいくつかは、BBI−103(みどり化学社)、FX−512(3M社)、UVR−6990及びUVR−6974(ユニオン・カーバイド社)、UVE−1014及びUVE−1016(ジェネラル・エレクトリック社)、KI−85(デグッサ社)、SP−152及びSP−172(旭電化社)並びにサンエイドSI−60L、SI−80L及びSI−100L(三新化学工業社)、WPI113及びWPI116(和光純薬工業社)、RHODORSIL PI2074(ローディア社)として商品として入手できる。   Preferred cationic active energy ray cationic polymerization initiators include arylsulfonium complex salts, aromatic sulfonium or iodonium salts of halogen-containing complex ions, and aromatic onium salts of Group II, Group V and Group VI elements. Some of these salts are BBI-103 (Midori Chemical), FX-512 (3M), UVR-6990 and UVR-6974 (Union Carbide), UVE-1014 and UVE-1016 (General Electric). ), KI-85 (Degussa), SP-152 and SP-172 (Asahi Denka) and Sun-Aid SI-60L, SI-80L and SI-100L (Sanshin Chemical Industry), WPI113 and WPI116 (Wako Jun) Yakuhin Kogyo Co., Ltd.) and RHODORSIL PI2074 (Rhodia).

カチオン重合開始剤の使用量は、硬化時間、硬化物中のカチオン重合開始剤残存の点、硬化物の表面性、着色性、耐熱耐光性等の点からカチオン重合性化合物100重量部に対して、概ね0.01〜10重量部であることが好ましく、0.1〜5重量部であることがより好ましい。   The amount of the cationic polymerization initiator used is 100 parts by weight of the cationic polymerizable compound from the viewpoints of curing time, remaining cationic polymerization initiator in the cured product, surface properties of the cured product, colorability, heat and light resistance, etc. In general, the amount is preferably 0.01 to 10 parts by weight, more preferably 0.1 to 5 parts by weight.

(硬化促進剤)
本発明の光硬化組成物におけるエポキシ基、またはオキセタニル基と、アルコキシシリル基を有する硬化促進剤は、同一分子内にエポキシ基またはオキセタニル基と、アルコキシシリル基を有する化合物であれば特に限定されるものではない。本発明の硬化促進剤の添加により、開始剤量や、硬化条件を変えることなく本発明の光硬化組成物の光硬化を促進させることができる。特にパターニングを行う場合、現像工程後の膜厚の減少や、表面荒れを防ぐのに効果的である。
(Curing accelerator)
The curing accelerator having an epoxy group or oxetanyl group and an alkoxysilyl group in the photocurable composition of the present invention is particularly limited as long as it is a compound having an epoxy group or oxetanyl group and an alkoxysilyl group in the same molecule. It is not a thing. By adding the curing accelerator of the present invention, the photocuring of the photocurable composition of the present invention can be promoted without changing the initiator amount or the curing conditions. In particular, when patterning is performed, it is effective in preventing a reduction in film thickness after the development process and surface roughness.

具体例としては、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルジメトキシメチルシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、2−(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、2−(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、3−エチル(トリエトキシシリルプロポキシメチル)オキセタン、エポキシ基またはオキセタニル基と、アルコキシシリル基を有する環状シロキサン化合物などを用いることができる。硬化促進剤の使用量は、硬化物の表面性、パターンの形状、光硬化性組成物の粘度などの点からカチオン重合性化合物100重量部に対して、0.1〜30重量部であることが好ましく、0.1〜20重量部であることがより好ましい。   Specific examples include 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyldimethoxymethylsilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, 3-ethyl (triethoxysilylpropoxymethyl) oxetane, an epoxy group or an oxetanyl group, and a cyclic siloxane compound having an alkoxysilyl group can be used. The usage-amount of a hardening accelerator shall be 0.1-30 weight part with respect to 100 weight part of cationically polymerizable compounds from points, such as surface property of hardened | cured material, a pattern shape, and the viscosity of a photocurable composition. Is preferable, and it is more preferable that it is 0.1-20 weight part.

本発明の光硬化性組成物は、カチオン重合性化合物がSiH基を含有する場合、一分子中に少なくとも炭素−炭素二重結合を少なくとも1個以上有する化合物を含有することにより、熱硬化性を付与することができる。一分子中に少なくとも炭素−炭素二重結合を少なくとも1個以上有する化合物は一分子中に少なくとも炭素−炭素二重結合を少なくとも1個以上有するものであれば特に限定されるものではなく、ポリシロキサン化合物、有機化合物にかかわらず特に限定なく使用することができる。   When the cationically polymerizable compound contains a SiH group, the photocurable composition of the present invention contains a compound having at least one carbon-carbon double bond in one molecule, thereby providing thermosetting properties. Can be granted. The compound having at least one carbon-carbon double bond in one molecule is not particularly limited as long as it has at least one carbon-carbon double bond in one molecule. Regardless of a compound and an organic compound, it can be used without particular limitation.

特に硬化物の透明性および硬化性の観点より、アルケニル基を有するポリシロキサンが好ましく適用できる。またその中でも化合物入手性の観点より、ケイ素基に結合したビニル基(Si−CH=CH2基)を有するポリシロキサン化合物であることが好ましい。具体例としては、ジメチルビニルシリル基で末端が封鎖されたポリもしくはオリゴシロキサン、側鎖にビニル基を有するポリもしくはオリゴシロキサン、テトラメチルジビニルジシロキサン、ヘキサメチルトリビニルトリシロキサン、SiH基を含有する環状シロキサンの例示でSiH基の水素原子をビニル基、アリル基等のアルケニル基に置換したものなどが例示され、具体的に1,3,5,7−ビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−プロピル−3,5,7−トリビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−ジビニル−3,7−ジヘキシル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,3,5−トリビニル−トリメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9−ペンタビニル−1,3,5,7,9−ペンタメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9,11−ヘキサビニル−1,3,5,7,9,11−ヘキサメチルシクロシロキサン等の化合物が挙げられる。 In particular, polysiloxane having an alkenyl group can be preferably applied from the viewpoint of transparency and curability of the cured product. Among these, from the viewpoint of compound availability, a polysiloxane compound having a vinyl group (Si—CH═CH 2 group) bonded to a silicon group is preferable. Specific examples include poly or oligosiloxanes end-capped with dimethylvinylsilyl groups, poly or oligosiloxanes having vinyl groups in the side chains, tetramethyldivinyldisiloxane, hexamethyltrivinyltrisiloxane, SiH groups Examples of the cyclic siloxane include those in which the hydrogen atom of the SiH group is substituted with an alkenyl group such as a vinyl group or an allyl group. Specifically, 1,3,5,7-vinyl-1,3,5,7- Tetramethylcyclotetrasiloxane, 1-propyl-3,5,7-trivinyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,5-divinyl-3,7-dihexyl-1,3,5, 7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,3,5-trivinyl-trimethylcyclosiloxane, 1,3,5,7, -Pentavinyl-1,3,5,7,9-pentamethylcyclosiloxane, 1,3,5,7,9,11-hexavinyl-1,3,5,7,9,11-hexamethylcyclosiloxane, etc. Compounds.

アルケニル基含有有機化合物の例としては、シロキサン単位(Si−O−Si)を含むものではなく、構成元素としてC、H、N、O、Sおよびハロゲンからなる群から選ばれる原子より構成される化合物であって、1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有する有機化合物であれば特に限定されない。またSiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合の結合位置は特に限定されず、分子内のどこに存在してもよい。   Examples of the alkenyl group-containing organic compound do not include a siloxane unit (Si—O—Si), but are composed of atoms selected from the group consisting of C, H, N, O, S and halogen as constituent elements. The compound is not particularly limited as long as it is an organic compound having one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule. Further, the bonding position of the carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group is not particularly limited, and may be present anywhere in the molecule.

上記有機化合物は、有機重合体系の化合物と有機単量体系化合物に分類でき、有機重合体系化合物としては例えば、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリアリレート系、ポリカーボネート系、飽和炭化水素系、不飽和炭化水素系、ポリアクリル酸エステル系、ポリアミド系、フェノール−ホルムアルデヒド系(フェノール樹脂系)、ポリイミド系の化合物を用いることができる。   The organic compounds can be classified into organic polymer compounds and organic monomer compounds. Examples of the organic polymer compounds include polyether-based, polyester-based, polyarylate-based, polycarbonate-based, saturated hydrocarbon-based, unsaturated hydrocarbon-based compounds. Hydrogen-based, polyacrylic acid ester-based, polyamide-based, phenol-formaldehyde-based (phenolic resin-based), and polyimide-based compounds can be used.

また有機単量体系化合物としては例えば、フェノール系、ビスフェノール系、ベンゼン、ナフタレン等の芳香族炭化水素系:直鎖系、脂環系等の脂肪族炭化水素系:複素環系の化合物およびこれらの混合物等が挙げられる。   Examples of organic monomer compounds include aromatic hydrocarbons such as phenols, bisphenols, benzene and naphthalene: aliphatic hydrocarbons such as linear and alicyclic: heterocyclic compounds and their A mixture etc. are mentioned.

化合物の具体的な例としては、ジアリルフタレート、トリアリルトリメリテート、ジエチレングリコールビスアリルカーボネート、トリメチロールプロパンジアリルエーテル、トリメチロールプロパントリアリルエーテル、ペンタエリスリトールトリアリルエーテル、ペンタエリスリトールテトラアリルエーテル、1,1,2,2−テトラアリロキシエタン、ジアリリデンペンタエリスリット、トリアリルシアヌレート、1,2,4−トリビニルシクロヘキサン、1,4−ブタンジオールジアリルエーテル、ノナンジオールジアリルエーテル、1,4−シクロへキサンジメタノールジアリルエーテル、トリエチレングリコールジアリルエーテル、トリメチロールプロパントリビニルエーテル、ペンタエリスリトールテトラビニルエーテル、ビスフェノールSのジアリルエーテル、ジビニルベンゼン、ジビニルビフェニル、1,3−ジイソプロペニルベンゼン、1,4−ジイソプロペニルベンゼン、1,3−ビス(アリルオキシ)アダマンタン、1,3−ビス(ビニルオキシ)アダマンタン、1,3,5−トリス(アリルオキシ)アダマンタン、1,3,5−トリス(ビニルオキシ)アダマンタン、ジシクロペンタジエン、ビニルシクロへキセン、1,5−ヘキサジエン、1,9−デカジエン、ジアリルエーテル、ビスフェノールAジアリルエーテル、2,5−ジアリルフェノールアリルエーテル、およびそれらのオリゴマー、1,2−ポリブタジエン(1、2比率10〜100%のもの、好ましくは1、2比率50〜100%のもの)、ノボラックフェノールのアリルエーテル、アリル化ポリフェニレンオキサイド、
その他、従来公知のエポキシ樹脂のグリシジル基の全部をアリル基に置き換えたもの等が挙げられる。
Specific examples of the compound include diallyl phthalate, triallyl trimellitate, diethylene glycol bisallyl carbonate, trimethylolpropane diallyl ether, trimethylolpropane triallyl ether, pentaerythritol triallyl ether, pentaerythritol tetraallyl ether, 1, 1,2,2-tetraallyloxyethane, diarylidenepentaerythritol, triallyl cyanurate, 1,2,4-trivinylcyclohexane, 1,4-butanediol diallyl ether, nonanediol diallyl ether, 1,4 -Cyclohexane dimethanol diallyl ether, triethylene glycol diallyl ether, trimethylolpropane trivinyl ether, pentaerythritol tetravinyl ether, vinyl Phenol S diallyl ether, divinylbenzene, divinylbiphenyl, 1,3-diisopropenylbenzene, 1,4-diisopropenylbenzene, 1,3-bis (allyloxy) adamantane, 1,3-bis (vinyloxy) adamantane, 1,3,5-tris (allyloxy) adamantane, 1,3,5-tris (vinyloxy) adamantane, dicyclopentadiene, vinylcyclohexene, 1,5-hexadiene, 1,9-decadiene, diallyl ether, bisphenol A diallyl Ethers, 2,5-diallylphenol allyl ether, and oligomers thereof, 1,2-polybutadiene (1,2 ratio of 10 to 100%, preferably 1,2 ratio of 50 to 100%), novolak phenol Allyl ether Le polyphenylene oxide,
Other examples include those in which all of the glycidyl groups of conventionally known epoxy resins are replaced with allyl groups.

また化合物としては、骨格部分とアルケニル基(SiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合)とに分けて表現しがたい、低分子量化合物も用いることができる。これらの低分子量化合物の具体例としては、ブタジエン、イソプレン、オクタジエン、デカジエン等の脂肪族鎖状ポリエン化合物系、シクロペンタジエン、シクロヘキサジエン、シクロオクタジエン、ジシクロペンタジエン、トリシクロペンタジエン、ノルボルナジエン等の脂肪族環状ポリエン化合物系、ビニルシクロペンテン、ビニルシクロヘキセン等の置換脂肪族環状オレフィン化合物系等が挙げられる。   Further, as the compound, a low molecular weight compound that is difficult to express by dividing into a skeleton portion and an alkenyl group (a carbon-carbon double bond having reactivity with the SiH group) can also be used. Specific examples of these low molecular weight compounds include aliphatic chain polyene compound systems such as butadiene, isoprene, octadiene and decadiene, fats such as cyclopentadiene, cyclohexadiene, cyclooctadiene, dicyclopentadiene, tricyclopentadiene and norbornadiene. Examples thereof include aromatic cyclic polyene compound systems and substituted aliphatic cyclic olefin compound systems such as vinylcyclopentene and vinylcyclohexene.

特に、透明性および耐熱性、耐光性が高いという観点から下記一般式(II)で表されるトリアリルイソシアヌレート及びその誘導体が特に好ましい。   In particular, triallyl isocyanurate represented by the following general formula (II) and derivatives thereof are particularly preferable from the viewpoint of high transparency, heat resistance, and light resistance.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中R3は炭素数1〜50の一価の有機基を表し、それぞれのR3は異なっていても同一であってもよく、少なくとも1個のR3はSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む)で表される化合物が好ましい。 (In the formula, R 3 represents a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms, and each R 3 may be different or the same, and at least one R 3 represents reactivity with a SiH group. The compound represented by the carbon-carbon double bond which has) is preferable.

上記一般式(II)のR3としては、得られる硬化物の耐熱性がより高くなりうるという観点からは、炭素数1〜20の一価の有機基であることが好ましく、炭素数1〜10の一価の有機基であることがより好ましく、炭素数1〜4の一価の有機基であることがさらに好ましい。これらの好ましいR3の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、フェニル基、ベンジル基、フェネチル基、ビニル基、アリル基等が挙げられる。 As R < 3 > of the said general formula (II), it is preferable that it is a C1-C20 monovalent organic group from a viewpoint that the heat resistance of the hardened | cured material obtained can become higher, and C1-C1 10 monovalent organic groups are more preferable, and monovalent organic groups having 1 to 4 carbon atoms are more preferable. Examples of these preferable R 3 include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, phenyl group, benzyl group, phenethyl group, vinyl group and allyl group.

これら化合物の具体例としては、トリアリルイソシアヌレート、ジアリルイソシアヌレート、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート、ジアリルモノベンジルイソシアヌレート、ジアリルモノプロピルイソシアヌレートが挙げられ、特に入手性の観点よりトリアリルイソシアヌレートが挙げられる。   Specific examples of these compounds include triallyl isocyanurate, diallyl isocyanurate, diallyl monoglycidyl isocyanurate, diallyl monobenzyl isocyanurate, diallyl monopropyl isocyanurate, and triallyl isocyanurate from the viewpoint of availability. It is done.

本発明の光硬化性組成物に使用されるカチオン重合性化合物として、変性ポリオルガノシロキサン化合物を用いる場合、概化合物は加水分解による縮合反応や付加反応および開環重合など様々な手法によって得られるものであるが、これら特定の有機構造をポリシロキサン化合物構造中に導入する手法としては特に限定される方法は無いが、位置選択的に導入が可能でかつ化学的に安定な結合であるSi−C結合にて導入できるヒドロシリル化を用いるのが好ましい。本発明のカチオン重合性化合物として使用される変性ポリオルガノシロキサン化合物に好適なものとして、次の態様が挙げられる。   When a modified polyorganosiloxane compound is used as the cationically polymerizable compound used in the photocurable composition of the present invention, the approximate compound is obtained by various techniques such as condensation reaction, addition reaction and ring-opening polymerization by hydrolysis. However, there is no particular limitation on the method for introducing these specific organic structures into the polysiloxane compound structure, but Si-C is a chemically stable bond that can be introduced regioselectively. Preference is given to using hydrosilylation which can be introduced by bonding. The following embodiments are preferable as the modified polyorganosiloxane compound used as the cationically polymerizable compound of the present invention.

下記化合物(α)〜(γ)のヒドロシリル化反応生成物:
(α)1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有する有機化合物。
(β)1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するオルガノシロキサン化合物。
(γ)1分子中に、光重合性官能基を少なくとも1個と、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上とを有する化合物。
以下、上記変性ポリオルガノシロキサン化合物の好ましい態様につき、説明する。
Hydrosilylation reaction products of the following compounds (α) to (γ):
(Α) An organic compound having one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule.
(Β) An organosiloxane compound having at least two SiH groups in one molecule.
(Γ) A compound having at least one photopolymerizable functional group and one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule.
Hereinafter, preferred embodiments of the modified polyorganosiloxane compound will be described.

(化合物(α))
化合物(α)について説明する。
(Compound (α))
The compound (α) will be described.

化合物(α)は、1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有する化合物であれば限定されるものではなく、特に上記成分(B)と同様の化合物を使用することができる。その中でも、特に得られる硬化物の絶縁性に優れるという観点より、
下記一般式(I)
The compound (α) is not limited as long as it is a compound having one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule, and in particular, the same compound as the component (B). Can be used. Among them, from the viewpoint of excellent insulation of the obtained cured product,
The following general formula (I)

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中R3は炭素数1〜50の一価の有機基を表し、それぞれのR3は異なっていても同一であってもよく、少なくとも1個のR3はSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む)で表される化合物であることが好ましく、
さらに入手性の観点より、トリアリルイソシアヌレート、ジアリルイソシアヌレート、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート、ジアリルモノベンジルイソシアヌレート、ジアリルモノプロピルイソシアヌレートが挙げられる。
(In the formula, R 3 represents a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms, and each R 3 may be different or the same, and at least one R 3 represents reactivity with a SiH group. Having a carbon-carbon double bond).
Further, from the viewpoint of availability, triallyl isocyanurate, diallyl isocyanurate, diallyl monoglycidyl isocyanurate, diallyl monobenzyl isocyanurate, diallyl monopropyl isocyanurate can be mentioned.

また得られる硬化物の透明性および硬化性の観点より、アルケニル基を有するポリシロキサンが好ましく適用できる。またその中でも化合物入手性の観点より、ケイ素基に結合したビニル基(Si−CH=CH2基)を有するポリシロキサン化合物であることが好ましい。具体例としては、ジメチルビニルシリル基で末端が封鎖されたポリもしくはオリゴシロキサン、側鎖にビニル基を有するポリもしくはオリゴシロキサン、テトラメチルジビニルジシロキサン、ヘキサメチルトリビニルトリシロキサン、SiH基を含有する環状シロキサンの例示でSiH基の水素原子をビニル基、アリル基等のアルケニル基に置換したものなどが例示され、具体的に1,3,5,7−ビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−プロピル−3,5,7−トリビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−ジビニル−3,7−ジヘキシル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,3,5−トリビニル−トリメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9−ペンタビニル−1,3,5,7,9−ペンタメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9,11−ヘキサビニル−1,3,5,7,9,11−ヘキサメチルシクロシロキサン等の化合物が挙げられる。 Moreover, the polysiloxane which has an alkenyl group can apply preferably from the transparency and sclerosis | hardenability viewpoint of the hardened | cured material obtained. Among these, from the viewpoint of compound availability, a polysiloxane compound having a vinyl group (Si—CH═CH 2 group) bonded to a silicon group is preferable. Specific examples include poly or oligosiloxanes end-capped with dimethylvinylsilyl groups, poly or oligosiloxanes having vinyl groups in the side chains, tetramethyldivinyldisiloxane, hexamethyltrivinyltrisiloxane, SiH groups Examples of the cyclic siloxane include those in which the hydrogen atom of the SiH group is substituted with an alkenyl group such as a vinyl group or an allyl group. Specifically, 1,3,5,7-vinyl-1,3,5,7- Tetramethylcyclotetrasiloxane, 1-propyl-3,5,7-trivinyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,5-divinyl-3,7-dihexyl-1,3,5, 7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,3,5-trivinyl-trimethylcyclosiloxane, 1,3,5,7, -Pentavinyl-1,3,5,7,9-pentamethylcyclosiloxane, 1,3,5,7,9,11-hexavinyl-1,3,5,7,9,11-hexamethylcyclosiloxane, etc. Compounds.

また成分(α)おいて、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、   In the component (α), each structure represented by the following formulas (X1) to (X3);

Figure 2011219583
Figure 2011219583

フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも1種(以下、「上記式(X1)〜(X3)で表される各構造、フェノール性水酸基およびカルボキシル基」を「酸性基」と称することがある。)を同一分子内に有することが好ましく、この構造を有することによりアルカリ水溶液への溶解が可能となり、工業的に有用なリソグラフィー性を有する硬化性組成物となり得る。   At least one selected from the group consisting of a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group (hereinafter, “each structure represented by the above formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group” is referred to as an “acidic group”). In the same molecule, and by having this structure, it can be dissolved in an aqueous alkali solution and can be an industrially useful curable composition having lithographic properties.

これら化合物の中で特に耐熱性に優れる観点より、イソシアヌル酸構造を有するものが好ましく、入手性の観点より、ジアリルイソシアヌル酸、モノアリルイソシアヌル酸などが具体的に挙げられる。   Among these compounds, those having an isocyanuric acid structure are preferable from the viewpoint of excellent heat resistance, and diallyl isocyanuric acid, monoallyl isocyanuric acid and the like are specifically mentioned from the viewpoint of availability.

また酸性基を有さないアルケニル化合物との併用も可能であり、特に耐熱性の観点より、イソシアヌル環構造を有するアルケニル化合物である、トリアリルイソシアヌレート、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート等との併用が好ましい。   It can also be used in combination with an alkenyl compound having no acidic group, and in particular from the viewpoint of heat resistance, triallyl isocyanurate, diallyl monoglycidyl isocyanurate, monoallyl diglycidyl isocyanate having an isocyanuric ring structure. Combination with nurate or the like is preferred.

また得られる硬化物が透明性に優れる観点より、アルケニル基を有するポリシロキサン化合物との併用が好ましく、特に入手性の観点より、ジメチルビニルシリル基で末端が封鎖されたポリもしくはオリゴシロキサン、具体的に1,3,5,7−ビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−プロピル−3,5,7−トリビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−ジビニル−3,7−ジヘキシル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,3,5−トリビニル−トリメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9−ペンタビニル−1,3,5,7,9−ペンタメチルシクロシロキサン、1,3,5,7,9,11−ヘキサビニル−1,3,5,7,9,11−ヘキサメチルシクロシロキサン等の環状シロキサン化合物が好ましい。   Further, from the viewpoint that the obtained cured product is excellent in transparency, it is preferably used in combination with a polysiloxane compound having an alkenyl group, and in particular, from the viewpoint of availability, a poly or oligosiloxane whose end is blocked with a dimethylvinylsilyl group, specifically 1,3,5,7-vinyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1-propyl-3,5,7-trivinyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane 1,5-divinyl-3,7-dihexyl-1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, 1,3,5-trivinyl-trimethylcyclosiloxane, 1,3,5,7,9-pentavinyl -1,3,5,7,9-pentamethylcyclosiloxane, 1,3,5,7,9,11-hexavinyl-1,3,5,7,9,11-hex Cyclic siloxane compounds such as methyl cyclosiloxane is preferred.

(化合物(β))
化合物(β)について説明する。
化合物(β)については1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するオルガノポリシロキサン化合物であれば特に限定されず、例えば国際公開WO96/15194に記載される化合物で、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するもの等が使用できる。
(Compound (β))
The compound (β) will be described.
The compound (β) is not particularly limited as long as it is an organopolysiloxane compound having at least two SiH groups in one molecule. For example, the compound described in International Publication WO96 / 15194 is at least two in one molecule. Those having a SiH group can be used.

これらのうち、硬化物に柔軟性が付与されるという観点より、   Among these, from the viewpoint that flexibility is imparted to the cured product,

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中、R13、R14は炭素数1〜6の有機基を表し同一であっても異なっても良く、lは、0〜50、nは2〜50、mは0〜10の数を表す。)
で表される、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有する鎖状オルガノポリシロキサンが好ましい。またR13、R14は入手性、耐熱性の観点より特にメチル基であるものが好ましく、硬化物の強度が高くなるという観点より、特にフェニル基であるものが好ましい。
(In formula, R < 13 >, R < 14 > represents a C1-C6 organic group, and may be same or different, l is 0-50, n is 2-50, m is the number of 0-10. Represents.)
A linear organopolysiloxane having at least two SiH groups in one molecule represented by R 13 and R 14 are preferably methyl groups from the viewpoints of availability and heat resistance, and are preferably phenyl groups from the viewpoint of increasing the strength of the cured product.

また、硬化物の耐熱耐光性が高いという観点より、分子中にT単位またはQ単位を有するオルガノポリシロキサンが好ましく、具体的には次のような化合物を挙げることができる。   Further, from the viewpoint of high heat resistance and light resistance of the cured product, organopolysiloxane having a T unit or a Q unit in the molecule is preferable, and specific examples include the following compounds.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中、R15、R16は炭素数1〜6の有機基を表し、nは0〜50の数を表す。)
で表される、1分子中に少なくとも2個のSiH基を有し、分子中にTまたはQ構造を有するオルガノポリシロキサンが好ましく、R15、R16は入手性、耐熱性の観点より特にメチル基であるものが好ましい。
(Wherein, R 15, R 16 represents an organic group having 1 to 6 carbon atoms, n represents a number from 0 to 50.)
An organopolysiloxane having at least two SiH groups in one molecule and having a T or Q structure in the molecule is preferred. R 15 and R 16 are particularly methyl from the viewpoints of availability and heat resistance. What is group is preferable.

これらのうち、入手性および化合物(α)、(γ)との反応性が良いという観点からは、さらに、下記一般式(III)   Among these, from the viewpoint of availability and reactivity with the compounds (α) and (γ), the following general formula (III)

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中R4、R5は炭素数1〜6の有機基を表し同一であっても異なっても良く、nは3〜10、mは0〜10の数を表す)で表される、1分子中に少なくとも3個のSiH基を有する環状オルガノポリシロキサンが好ましい。 (Wherein R 4 and R 5 represent an organic group having 1 to 6 carbon atoms and may be the same or different, n represents 3 to 10, and m represents a number of 0 to 10). Cyclic organopolysiloxanes having at least 3 SiH groups per molecule are preferred.

一般式(III)で表される化合物中の置換基R4、R5は、C、H、Oからなる群から選択して構成されるものであることが好ましく、炭化水素基であることがより好ましく、メチル基であることがさらに好ましい。一般式(III)で表される化合物としては、入手容易性及び反応性の観点からは、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサンであることが好ましい。上記した各種化合物(β)は単独もしくは2種以上のものを混合して用いることが可能である。 The substituents R 4 and R 5 in the compound represented by the general formula (III) are preferably selected from the group consisting of C, H and O, and are preferably hydrocarbon groups. More preferably, it is a methyl group. The compound represented by the general formula (III) is preferably 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane from the viewpoint of availability and reactivity. The various compounds (β) described above can be used alone or in combination of two or more.

(化合物(γ))
化合物(γ)について説明する。
(Compound (γ))
The compound (γ) will be described.

化合物(γ)は、1分子中に光重合性官能基を少なくとも1個と、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上とを有する化合物であれば特に限定されない。なお、ここでいう光重合性官能基は、前述の変性ポリオルガノシロキサン化合物が有する光重合性官能基と同一であって、好ましい態様も同様に好ましい。   The compound (γ) is not particularly limited as long as it is a compound having at least one photopolymerizable functional group and one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH groups in one molecule. In addition, the photopolymerizable functional group here is the same as the photopolymerizable functional group which the above-mentioned modified polyorganosiloxane compound has, and a preferable aspect is also preferable.

特に光重合性官能基として、反応性・化合物の安定性の観点より、光重合性官能基の少なくとも1個は、エポキシ基、架橋性ケイ素基、(メタ)アクリロイル基、オキセタニル基、ビニロキシ基が好ましい。   In particular, as a photopolymerizable functional group, at least one of the photopolymerizable functional groups is an epoxy group, a crosslinkable silicon group, a (meth) acryloyl group, an oxetanyl group, or a vinyloxy group from the viewpoint of reactivity and stability of the compound. preferable.

光重合性官能基としてエポキシ基を有する化合物(γ)の具体例としては、ビニルシクロヘキセンオキシド、アリルグリシジルエーテル、ジアリルモノグリシジルイソシアヌレート、モノアリルジグリシジルイソシアヌレート等が挙げられ、光重合反応性に優れている観点より、脂環式エポキシ基を有する化合物であるビニルシクロヘキセンオキシドが特に好ましい。   Specific examples of the compound (γ) having an epoxy group as a photopolymerizable functional group include vinylcyclohexene oxide, allyl glycidyl ether, diallyl monoglycidyl isocyanurate, monoallyl diglycidyl isocyanurate, and the like. From the viewpoint of superiority, vinylcyclohexene oxide, which is a compound having an alicyclic epoxy group, is particularly preferable.

またオキセタニル基を有する化合物(γ)の具体例としては、アリルオキセタニルエーテル、ビニルオキセタニルエーテルなどが挙げられる。オキセタニル基を有する化合物を用いる場合、硬化物の靭性が向上するという観点より好ましい。   Specific examples of the compound (γ) having an oxetanyl group include allyl oxetanyl ether and vinyl oxetanyl ether. When using the compound which has an oxetanyl group, it is preferable from a viewpoint that the toughness of hardened | cured material improves.

光重合性官能基として架橋性ケイ素基を有する化合物(γ)の具体例としては、入手性容易性及び耐熱性の観点からは、下記一般式(IV)   Specific examples of the compound (γ) having a crosslinkable silicon group as a photopolymerizable functional group include those represented by the following general formula (IV) from the viewpoint of availability and heat resistance.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中R6、R7は炭素数1〜6の有機基を表し、nは1〜3、mは0〜10の数を表す)で表される架橋性ケイ素基を有する化合物であることが好ましく、反応後の副生成物が除去されやすい等という観点より、特にトリメトキシビニルシラン、トリエトキシビニルシラン、ジメトキシメチルビニルシラン、ジエトキシメチルビニルシラン、メトキシジメチルビニルシラン、エトキシジメチルビニルシランが好ましい。 (Wherein R 6 and R 7 represent an organic group having 1 to 6 carbon atoms, n represents 1 to 3, and m represents a number of 0 to 10) and have a crosslinkable silicon group. In view of easy removal of by-products after the reaction, trimethoxyvinylsilane, triethoxyvinylsilane, dimethoxymethylvinylsilane, diethoxymethylvinylsilane, methoxydimethylvinylsilane, and ethoxydimethylvinylsilane are particularly preferable.

光重合性官能基としてアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する化合物(γ)としては、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ビニル、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸変性アリルグリシジルエーテル(ナガセケムテックス製、商品名:デナコールアクリレートDA111)、およびがビニル基またはアリル基と下記一般式(IX)   Examples of the compound (γ) having an acryloyl group or a methacryloyl group as a photopolymerizable functional group include allyl (meth) acrylate, vinyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, and dicyclopentenyloxyethyl (meth). Acrylate, (meth) acrylic acid-modified allyl glycidyl ether (manufactured by Nagase ChemteX, trade name: Denacol acrylate DA111), and vinyl group or allyl group and the following general formula (IX)

Figure 2011219583
Figure 2011219583

(式中のR17は水素原子あるいはメチル基を表す。)で示される有機基とを同一分子内中に1個以上ずつ有する化合物、例えば、上述の一般式(II)において、式中のR3の少なくとも1個が上記一般式(IX)で示される基であり、かつ、R3の少なくとも1個がビニル基またはアリル基などのSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を有する基である化合物が挙げられる。さらにヒドロシリル化の選択性が高いという観点より、メタクリロイル基が同一分子内にアリルまたはビニル基と共存する化合物であることが好ましく、特に入手性の面よりメタクリル酸アリル、メタクリル酸ビニルなどが好ましい。またヒドロシリル化反応の際、光重合性官能基の種類を問わず、2種以上の化合物(γ)を併用することもできる。 (In the formula, R 17 represents a hydrogen atom or a methyl group.) A compound having one or more organic groups each in the same molecule, for example, in the above general formula (II), R in the formula 3 is a group represented by the above general formula (IX), and at least one of R 3 is a carbon-carbon double bond having reactivity with a SiH group such as a vinyl group or an allyl group. The compound which is a group to have is mentioned. Further, from the viewpoint of high selectivity for hydrosilylation, a compound in which a methacryloyl group coexists with an allyl or vinyl group in the same molecule is preferable, and allyl methacrylate, vinyl methacrylate, and the like are particularly preferable in terms of availability. Moreover, in the case of hydrosilylation reaction, 2 or more types of compounds ((gamma)) can also be used together regardless of the kind of photopolymerizable functional group.

(ヒドロシリル化触媒)
化合物(α)、化合物(β)および化合物(γ)をヒドロシリル化反応させる場合の触媒としては、例えば次のようなものを用いることができる。白金の単体、アルミナ、シリカ、カーボンブラック等の担体に固体白金を担持させたもの、塩化白金酸、塩化白金酸とアルコール、アルデヒド、ケトン等との錯体、白金−オレフィン錯体(例えば、Pt(CH2=CH22(PPh32、Pt(CH2=CH22Cl2)、白金−ビニルシロキサン錯体(例えば、Pt(ViMe2SiOSiMe2Vi)n、Pt[(MeViSiO)4m)、白金−ホスフィン錯体(例えば、Pt(PPh34、Pt(PBu34)、白金−ホスファイト錯体(例えば、Pt[P(OPh)34、Pt[P(OBu)34)(式中、Meはメチル基、Buはブチル基、Viはビニル基、Phはフェニル基を表し、n、mは、整数を示す。)、ジカルボニルジクロロ白金、カールシュテト(Karstedt)触媒、また、アシュビー(Ashby)の米国特許第3159601号及び3159662号明細書中に記載された白金−炭化水素複合体、ならびにラモロー(Lamoreaux)の米国特許第3220972号明細書中に記載された白金アルコラート触媒が挙げられる。更に、モディック(Modic)の米国特許第3516946号明細書中に記載された塩化白金−オレフィン複合体も本発明において有用である。
(Hydrosilylation catalyst)
As a catalyst for the hydrosilylation reaction of the compound (α), the compound (β) and the compound (γ), for example, the following can be used. Platinum simple substance, alumina, silica, carbon black or the like supported on solid platinum, chloroplatinic acid, a complex of chloroplatinic acid and alcohol, aldehyde, ketone or the like, platinum-olefin complex (for example, Pt (CH 2 = CH 2 ) 2 (PPh 3 ) 2 , Pt (CH 2 = CH 2 ) 2 Cl 2 ), platinum-vinylsiloxane complex (for example, Pt (ViMe 2 SiOSiMe 2 Vi) n , Pt [(MeViSiO) 4 ]) m ), platinum-phosphine complexes (eg, Pt (PPh 3 ) 4 , Pt (PBu 3 ) 4 ), platinum-phosphite complexes (eg, Pt [P (OPh) 3 ] 4 , Pt [P (OBu) 3 ] 4) (in the formula, Me represents a methyl group, Bu a butyl group, Vi is vinyl group, Ph represents a phenyl group, n, m is an integer.), dicarbonyl dichloroplatinum, Karushuteto Karstedt catalyst, as well as the platinum-hydrocarbon complexes described in Ashby US Pat. Nos. 3,159,601 and 3,159,622, and Lamoreaux US Pat. No. 3,220,972. And platinum alcoholate catalysts. In addition, platinum chloride-olefin complexes described in Modic US Pat. No. 3,516,946 are also useful in the present invention.

また、白金化合物以外の触媒の例としては、RhCl(PPh)3、RhCl3、RhAl23、RuCl3、IrCl3、FeCl3、AlCl3、PdCl2・2H2O、NiCl2、TiCl4、等が挙げられる。 Examples of catalysts other than platinum compounds include RhCl (PPh) 3 , RhCl 3 , RhAl 2 O 3 , RuCl 3 , IrCl 3 , FeCl 3 , AlCl 3 , PdCl 2 .2H 2 O, NiCl 2 , TiCl 4. , Etc.

これらの中では、触媒活性の点から塩化白金酸、白金−オレフィン錯体、白金−ビニルシロキサン錯体等が好ましい。また、これらの触媒は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。   Of these, chloroplatinic acid, platinum-olefin complexes, platinum-vinylsiloxane complexes and the like are preferable from the viewpoint of catalytic activity. Moreover, these catalysts may be used independently and may be used together 2 or more types.

触媒の添加量は特に限定されないが、十分な硬化性を有し、かつ硬化性組成物のコストを比較的低く抑えるため好ましい添加量の下限は、化合物(α)および化合物(γ)のSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合(以下、単に「アルケニル基」と称することがある。)1モル、または、化合物(α)および化合物(γ)のアルケニル基1モルに対して10-8モル、より好ましくは10-6モルであり、好ましい添加量の上限は上記化合物のアルケニル基1モルに対して10-1モル、より好ましくは10-2モルである。 The addition amount of the catalyst is not particularly limited, but the lower limit of the preferred addition amount is sufficient for the SiH group of the compound (α) and the compound (γ) to have sufficient curability and keep the cost of the curable composition relatively low. The carbon-carbon double bond (hereinafter sometimes simply referred to as “alkenyl group”) having a reactivity with 1 mol, or 10 mol with respect to 1 mol of the alkenyl group of the compound (α) and the compound (γ) -8 mol, more preferably 10 -6 mol, and the upper limit of the preferable addition amount is 10 -1 mol, more preferably 10 -2 mol, relative to 1 mol of the alkenyl group of the above compound.

また、上記触媒には助触媒を併用することが可能であり、例としてトリフェニルホスフィン等のリン系化合物、ジメチルマレート等の1、2−ジエステル系化合物、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−ブチン、1−エチニル−1−シクロヘキサノール等のアセチレンアルコール系化合物、単体の硫黄等の硫黄系化合物等が挙げられる。助触媒の添加量は特に限定されないが、ヒドロシリル化触媒1モルに対しての好ましい添加量の下限は、10-2モル、より好ましくは10-1モルであり、好ましい添加量の上限は102モル、より好ましくは10モルである。 In addition, a cocatalyst can be used in combination with the above catalyst. Examples thereof include phosphorus compounds such as triphenylphosphine, 1,2-diester compounds such as dimethyl malate, 2-hydroxy-2-methyl-1 Examples include acetylene alcohol compounds such as butyne and 1-ethynyl-1-cyclohexanol, and sulfur compounds such as simple sulfur. The addition amount of the cocatalyst is not particularly limited, but the lower limit of the preferable addition amount with respect to 1 mol of the hydrosilylation catalyst is 10 −2 mol, more preferably 10 −1 mol, and the upper limit of the preferable addition amount is 10 2. Mol, more preferably 10 mol.

(化合物(α)、化合物(β)および化合物(γ)の反応)
本発明の光硬化性組成物に使用できる変性ポリオルガノシロキサン化合物としては、上述したとおり、化合物(α)、化合物(β)および化合物(γ)の反応をヒドロシリル化触媒の存在下で反応させることにより得られる化合物が挙げられる。
(Reaction of compound (α), compound (β) and compound (γ))
As described above, the modified polyorganosiloxane compound that can be used in the photocurable composition of the present invention is a reaction of the compound (α), the compound (β), and the compound (γ) in the presence of a hydrosilylation catalyst. The compound obtained by is mentioned.

反応の順序、方法としては種々挙げられるが、合成工程が簡便であると言う観点からは、化合物(α)、化合物(β)および化合物(γ)を1ポットでヒドロシリル化反応させ、最後に未反応の化合物を除去する方法が好ましく、低分子量体を含有しにくいと言う観点から、過剰の化合物(α)と化合物(β)とを、もしくは、過剰の化合物(β)と化合物(α)とをヒドロシリル化反応させた後、一旦、未反応の化合物(α)もしくは化合物(β)を除き、得られた反応物と化合物(γ)をヒドロシリル化反応させる方法がより好ましい。   There are various reaction sequences and methods, but from the viewpoint that the synthesis process is simple, the compound (α), the compound (β), and the compound (γ) are hydrosilylated in one pot and finally unreacted. A method of removing the compound of the reaction is preferable, and from the viewpoint that it is difficult to contain a low molecular weight substance, an excess of the compound (α) and the compound (β), or an excess of the compound (β) and the compound (α) After the hydrosilylation reaction, an unreacted compound (α) or compound (β) is once removed, and the obtained reaction product and the compound (γ) are subjected to a hydrosilylation reaction.

各化合物の変性させる割合は特に限定されないが、化合物(α)および(γ)の総アルケニル基量をA、化合物(β)の総SiH基量をBとした場合、1≦B/A≦30であることが好ましく、更に1≦B/A≦10であることが好ましい。1>B/Aの場合は、組成物中に未反応アルケニル基が残るため着色の原因となり、また30<B/Aの場合には、大量の(β)成分を使用するため、製造コストが高くなる観点より好ましくない。   The proportion of each compound to be modified is not particularly limited, but when the total alkenyl group amount of the compounds (α) and (γ) is A and the total SiH group amount of the compound (β) is B, 1 ≦ B / A ≦ 30 It is preferable that 1 ≦ B / A ≦ 10. In the case of 1> B / A, unreacted alkenyl groups remain in the composition, which causes coloring. In the case of 30 <B / A, a large amount of (β) component is used. It is not preferable from the viewpoint of increasing.

また、化合物(α)および化合物(γ)の変性割合については、化合物(α)のアルケニル基をA1、化合物(γ)のアルケニル基をA2とした場合、A1+A2=1として、0.01≦A1≦0.99、0.01≦A2<0.99の範囲で適宜選択して変性させることができる。   Regarding the modification ratio of the compound (α) and the compound (γ), when the alkenyl group of the compound (α) is A1, and the alkenyl group of the compound (γ) is A2, A1 + A2 = 1 and 0.01 ≦ A1 ≦ 0.99 and 0.01 ≦ A2 <0.99 can be appropriately selected and modified.

反応温度としては種々設定できるが、この場合好ましい温度範囲の下限は30℃、より好ましくは50℃であり、好ましい温度範囲の上限は200℃、より好ましくは150℃である。反応温度が低いと十分に反応させるための反応時間が長くなり、反応温度が高いと実用的でない。反応は一定の温度で行ってもよいが、必要に応じて多段階あるいは連続的に温度を変化させてもよい。反応時間、反応時の圧力は必要に応じ種々設定できる。   The reaction temperature can be variously set. In this case, the lower limit of the preferable temperature range is 30 ° C., more preferably 50 ° C., and the upper limit of the preferable temperature range is 200 ° C., more preferably 150 ° C. If the reaction temperature is low, the reaction time for sufficiently reacting becomes long, and if the reaction temperature is high, it is not practical. The reaction may be carried out at a constant temperature, but the temperature may be changed in multiple steps or continuously as required. Various reaction times and pressures during the reaction can be set as required.

ヒドロシリル化反応の際に酸素を使用できる。反応容器の気相部に酸素を添加することで、ヒドロシリル化反応を促進できる。酸素の添加量を爆発限界下限以下とする点から、気相部の酸素体積濃度は3%以下に管理する必要がある。酸素添加によるヒドロシリル化反応の促進効果が見られるという点からは、気相部の酸素体積濃度は0.1%以上が好ましく、1%以上がより好ましい。   Oxygen can be used during the hydrosilylation reaction. The hydrosilylation reaction can be promoted by adding oxygen to the gas phase portion of the reaction vessel. From the point of setting the amount of oxygen to be below the lower limit of explosion limit, the oxygen volume concentration in the gas phase must be controlled to 3% or less. In view of promoting the hydrosilylation reaction effect by the addition of oxygen, the oxygen volume concentration in the gas phase is preferably at least 0.1%, more preferably at least 1%.

ヒドロシリル化反応の際に溶媒を使用してもよい。使用できる溶剤はヒドロシリル化反応を阻害しない限り特に限定されるものではなく、具体的に例示すれば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素系溶媒、テトラヒドロフラン、1, 4−ジオキサン、1,3−ジオキソラン、ジエチルエーテル等のエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶媒、クロロホルム、塩化メチレン、1, 2−ジクロロエタン等のハロゲン系溶媒を好適に用いることができる。溶媒は2種類以上の混合溶媒として用いることもできる。溶媒としては、トルエン、テトラヒドロフラン、1,3−ジオキソラン、クロロホルムが好ましい。使用する溶媒量も適宜設定できる。   A solvent may be used during the hydrosilylation reaction. Solvents that can be used are not particularly limited as long as they do not inhibit the hydrosilylation reaction. Specific examples include hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, hexane, heptane, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1, Ether solvents such as 3-dioxolane and diethyl ether, ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone, and halogen solvents such as chloroform, methylene chloride and 1,2-dichloroethane can be preferably used. The solvent can also be used as a mixed solvent of two or more types. As the solvent, toluene, tetrahydrofuran, 1,3-dioxolane and chloroform are preferable. The amount of solvent to be used can also be set as appropriate.

化合物(α)、化合物(β)および化合物(γ)をヒドロシリル化反応させた後に、溶媒及び/又は未反応の化合物を除去することもできる。これらの揮発分を除去することにより、得られる反応物が揮発分を有さないため、該反応物を用いて硬化物を作成する場合に、揮発分の揮発によるボイド、クラックの問題が生じにくい。除去する方法としては、例えば、減圧脱揮が挙げられる。減圧脱揮する場合、低温で処理することが好ましい。この場合の好ましい温度の上限は100℃であり、より好ましくは80℃である。高温で処理すると増粘等の変質を伴いやすい。   After the compound (α), the compound (β) and the compound (γ) are hydrosilylated, the solvent and / or the unreacted compound can be removed. By removing these volatile components, the reaction product obtained does not have volatile components. Therefore, when creating a cured product using the reaction product, problems of voids and cracks due to volatilization of volatile components are unlikely to occur. . Examples of the removal method include vacuum devolatilization. When devolatilizing under reduced pressure, it is preferable to treat at a low temperature. The upper limit of the preferable temperature in this case is 100 ° C, more preferably 80 ° C. When treated at high temperatures, it tends to be accompanied by alterations such as thickening.

本発明のカチオン重合性化合物としての変性オルガノポリシロキサン化合物の上記製造方法では、目的によって種々の添加剤を使用できる。   In the production method of the modified organopolysiloxane compound as the cationic polymerizable compound of the present invention, various additives can be used depending on the purpose.

(光硬化性組成物の調整方法および硬化方法)
光硬化性組成物の調製方法は特に限定されず、種々の方法で調製可能である。各種成分を硬化直前に混合調製しても良く、全成分を予め混合調製した一液の状態で低温貯蔵しておいても良い。
(Method for adjusting photocurable composition and curing method)
The preparation method of a photocurable composition is not specifically limited, It can prepare by various methods. Various components may be mixed and prepared immediately before curing, or may be stored at a low temperature in a one-component state in which all components are mixed and prepared in advance.

本発明の光硬化性組成物の使用方法は、特に限定されるものではなくスピンコートやスリットコートによるコーティング、ディスペンスによるポッティング等を用いて使用することができる。また基材の状態に合わせ適宜、溶剤による粘度調整、界面活性剤による表面張力調整を行っても良い。   The usage method of the photocurable composition of this invention is not specifically limited, It can use using the coating by spin coat, slit coat, potting by dispensing, etc. Further, viscosity adjustment with a solvent and surface tension adjustment with a surfactant may be appropriately performed according to the state of the substrate.

また本発明の光硬化性組成物は、光照射により架橋反応を進行させて硬化物とする。本発明によれば、低い光量で形成された場合においても、膜厚均一性・均一な断面形状に優れる保護膜又はパターンを提供することができる。光硬化させるための光源としては、使用する重合開始剤や増感剤の吸収波長を発光する光源を使用すればよく、通常200〜450nmの範囲の波長を含む光源、例えば、高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、ハイパワーメタルハライドランプ、キセノンランプ、カーボンアークランプ、発光ダイオードなどを使用できる。   Moreover, the photocurable composition of this invention makes a hardened | cured material by making a crosslinking reaction advance by light irradiation. According to the present invention, it is possible to provide a protective film or pattern excellent in film thickness uniformity and uniform cross-sectional shape even when formed with a low light quantity. As a light source for photocuring, a light source that emits an absorption wavelength of a polymerization initiator or a sensitizer to be used may be used, and a light source usually containing a wavelength in the range of 200 to 450 nm, such as a high-pressure mercury lamp, High pressure mercury lamp, metal halide lamp, high power metal halide lamp, xenon lamp, carbon arc lamp, light emitting diode, etc. can be used.

露光量は特に制限されないが、好ましい露光量の範囲は1〜500mJ/cm2、より好ましくは1〜100mJ/cm2であり、さらに好ましくは1〜60mJ/cm2である。露光量が少ないと表面荒れや、膜厚の減少、パターンエッジ部の欠けが生じる。露光量が多いと急硬化のために変色することがある。好ましい硬化時間の範囲は1〜120秒、より好ましくは1〜60秒である。硬化時間が長いと、生産性が低下するとともに、光硬化の速硬化の特徴が生かされない。 The exposure amount is not particularly limited, but a preferable exposure amount range is 1 to 500 mJ / cm 2 , more preferably 1 to 100 mJ / cm 2 , and further preferably 1 to 60 mJ / cm 2 . If the exposure amount is small, the surface becomes rough, the film thickness decreases, and the pattern edge portion is chipped. If the exposure amount is large, the color may change due to rapid curing. A preferred curing time range is 1 to 120 seconds, more preferably 1 to 60 seconds. When the curing time is long, productivity is lowered and the characteristics of rapid curing of photocuring are not utilized.

成膜後の加熱温度は特に限定されるものではないが、周辺の耐熱性の低い部材への影響が小さいという観点より、200℃以下であることが好ましく、特に樹脂基板などを用いる場合には、寸法安定性等を考慮すると180℃以下であることが好ましい。   Although the heating temperature after film formation is not particularly limited, it is preferably 200 ° C. or less from the viewpoint that the influence on the surrounding low heat-resistant member is small, particularly when a resin substrate or the like is used. Considering dimensional stability and the like, the temperature is preferably 180 ° C. or lower.

(フォトリソグラフィーについて)
また本発明の光硬化性組成物について、アルカリ現像により微細パターニングすることも可能である。そのパターニング形成について特に限定される方法はなく、一般的に行われる浸漬法やスプレー法等の現像方法により未露光部を溶解・除去し所望のパターン形成させることができる。
(About photolithography)
The photocurable composition of the present invention can be finely patterned by alkali development. The patterning formation is not particularly limited, and a desired pattern can be formed by dissolving / removing the unexposed portion by a commonly used developing method such as an immersion method or a spray method.

またこの時の現像液については、一般に使用するものであれば特に限定なく使用することができ、具体例としては、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液やコリン水溶液等の有機アルカリ水溶液や、水酸化カリウム水溶液、水酸化ナトリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸リチウム水溶液などの無機アルカリ水溶液やこれら水溶液に溶解速度等の調整のためにアルコールや界面活性剤などを添加したもの等を挙げることができる。   In addition, the developer at this time can be used without particular limitation as long as it is generally used. Specific examples thereof include an aqueous organic alkali solution such as an aqueous tetramethylammonium hydroxide solution and an aqueous choline solution, and an aqueous potassium hydroxide solution. Inorganic alkali aqueous solutions such as sodium hydroxide aqueous solution, potassium carbonate aqueous solution, sodium carbonate aqueous solution and lithium carbonate aqueous solution, and those obtained by adding alcohol or surfactant to these aqueous solutions for adjusting the dissolution rate, etc. .

また水溶液濃度に関しては、露光部と未露光部のコントラストがつきやすいという観点より、25重量%以下であることが好ましく、より好ましくは10重量%以下、更に好ましくは5重量%以下であることが好ましい。   The aqueous solution concentration is preferably 25% by weight or less, more preferably 10% by weight or less, still more preferably 5% by weight or less from the viewpoint that the contrast between the exposed part and the unexposed part is easily obtained. preferable.

(添加剤について)
(増感剤)
本発明の光硬化性組成物には、光エネルギーで硬化させる場合には、光の感度向上のおよびg線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm)と言われるような高波長の光に感度を持たせるために、適宜、増感剤を添加する事ができる。これら増感剤は、上記カチオン重合開始剤と併用して使用し、硬化性の調整を行うことができる。添加する化合物には、アントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げることができる。
(About additives)
(Sensitizer)
In the photocurable composition of the present invention, when cured with light energy, the light sensitivity is improved and high wavelengths such as g-line (436 nm), h-line (405 nm) and i-line (365 nm) are called. In order to give sensitivity to the light, a sensitizer can be appropriately added. These sensitizers can be used in combination with the cationic polymerization initiator to adjust the curability. Examples of the compound to be added include anthracene compounds and thioxanthone compounds.

アントラセン系化合物の具体例としては、アントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジメチルアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、1,4−ジメトキシアントラセン、9−メチルアントラセン、2−エチルアントラセン、2−tert−ブチルアントラセン、2,6−ジ−tert−ブチルアントラセン、9,10−ジフェニル−2,6−ジ−tert−ブチルアントラセン等が挙げられ、特に入手しやすい観点より、アントラセン、9,10−ジメチルアントラセン、9,10−ジブトキシアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン等が好ましい。   Specific examples of the anthracene compound include anthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-dimethylanthracene, 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, and 9,10-di. Ethoxyanthracene, 1,4-dimethoxyanthracene, 9-methylanthracene, 2-ethylanthracene, 2-tert-butylanthracene, 2,6-di-tert-butylanthracene, 9,10-diphenyl-2,6-di- tert-butylanthracene and the like can be mentioned, and from the viewpoint of easy availability, anthracene, 9,10-dimethylanthracene, 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene and the like preferable.

また硬化物の透明性に優れる観点からはアントラセンが好ましく、硬化性組成物との相溶性に優れる観点からは9,10−ジブトキシアントラセン、9,10−ジプロポキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン等が好ましい。   Anthracene is preferable from the viewpoint of excellent transparency of the cured product, and 9,10-dibutoxyanthracene, 9,10-dipropoxyanthracene, and 9,10-diethoxy from the viewpoint of excellent compatibility with the curable composition. Anthracene and the like are preferable.

チオキサントン系の具体例としては、チオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,5−ジエチルジオキサントン等が挙げられる。   Specific examples of the thioxanthone series include thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,5-diethyldioxanthone and the like.

またこれらの増感剤は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。増感剤の添加量は、硬化時間、硬化物中の増感剤残存の点、着色性等の点からポリシロキサン系化合物100重量部に対して、概ね0.1〜10重量部であることが好ましく、0.1〜5重量部であることがより好ましい。   These sensitizers may be used alone or in combination of two or more. The addition amount of the sensitizer is approximately 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the polysiloxane compound from the viewpoints of curing time, sensitizer remaining in the cured product, and colorability. Is preferably 0.1 to 5 parts by weight.

(リン化合物)
本発明の光硬化性組成物を光又は熱により硬化させ、特に透明性を要求される用途で使用する場合は、光又は熱による硬化後の色相を改善するために、リン化合物を使用するのが好ましい。リン化合物の具体例としては、トリフェニルホスファイト、ジフェニルイソデシルホスファイト、フェニルジイソデシルホスファイト、トリス(ノニルフェニル)ホスファイト、ジイソデシルペンタエリスリトールジホスファイト、トリス(2,4−ジ−t−ブチルフェニル)ホスファイト、サイクリックネオペンタンテトライルビス(オクタデシルホスファイト)、サイクリックネオペンタンテトライルビス(2,4−ジ−t−ブチルフェニル)ホスファイト、サイクリックネオペンタンテトライルビス(2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェニル)ホスファイト、ビス[2−t−ブチル−6−メチル−4−{2−(オクタデシルオキシカルボニル)エチル}フェニル]ヒドロゲンホスファイト等のホスファイト類から選ばれる酸化防止剤、又は、9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキサイド、10−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキサイド、10−デシロキシ−9,10−ジヒドロ−9−オキサ−10−ホスファフェナントレン−10−オキサイド等のオキサホスファフェナントレンオキサイド類から選ばれる着色防止剤が好ましく使用される。
(Phosphorus compound)
When the photocurable composition of the present invention is cured by light or heat, and is used in applications requiring transparency, a phosphorus compound is used to improve the hue after curing by light or heat. Is preferred. Specific examples of phosphorus compounds include triphenyl phosphite, diphenylisodecyl phosphite, phenyl diisodecyl phosphite, tris (nonylphenyl) phosphite, diisodecylpentaerythritol diphosphite, tris (2,4-di-t-butyl). Phenyl) phosphite, cyclic neopentanetetrayl bis (octadecyl phosphite), cyclic neopentane tetrayl bis (2,4-di-t-butylphenyl) phosphite, cyclic neopentane tetrayl bis (2, Phosphites such as 6-di-t-butyl-4-methylphenyl) phosphite, bis [2-t-butyl-6-methyl-4- {2- (octadecyloxycarbonyl) ethyl} phenyl] hydrogen phosphite An antioxidant selected from the group 9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide, 10- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -9,10-dihydro-9-oxa- Coloring agents selected from oxaphosphaphenanthrene oxides such as 10-phosphaphenanthrene-10-oxide, 10-decyloxy-9,10-dihydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide are preferably used. Is done.

リン化合物の使用量は、変性ポリオルガノシロキサン化合物100重量部に対して、好ましくは0.01〜10重量部、より好ましくは0.1〜5重量部である。リン化合物の使用量が0.01重量部より少ないと、色相の改善効果が少なくなる。使用量が10重量部より多くなると、硬化性や硬化物の物性に悪影響を及ぼす場合がある。   The amount of the phosphorus compound used is preferably 0.01 to 10 parts by weight, more preferably 0.1 to 5 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the modified polyorganosiloxane compound. When the amount of the phosphorus compound used is less than 0.01 parts by weight, the effect of improving the hue is reduced. If the amount used exceeds 10 parts by weight, the curability and the physical properties of the cured product may be adversely affected.

(熱可塑性樹脂)
本発明の光硬化性組成物には特性を改質する等の目的で、種々の熱可塑性樹脂を添加することも可能である。熱可塑性樹脂としては種々のものを用いることができるが、例えば、メチルメタクリレートの単独重合体あるいはメチルメタクリレートと他モノマーとのランダム、ブロック、あるいはグラフト重合体等のポリメチルメタクリレート系樹脂(例えば日立化成社製オプトレッツ等)、ブチルアクリレートの単独重合体あるいはブチルアクリレートと他モノマーとのランダム、ブロック、あるいはグラフト重合体等のポリブチルアクリレート系樹脂等に代表されるアクリル系樹脂、ビスフェノールA、3,3,5−トリメチルシクロヘキシリデンビスフェノール等をモノマー構造として含有するポリカーボネート樹脂等のポリカーボネート系樹脂(例えば帝人社製APEC等)、ノルボルネン誘導体、ビニルモノマー等を単独あるいは共重合した樹脂、ノルボルネン誘導体を開環メタセシス重合させた樹脂、あるいはその水素添加物等のシクロオレフィン系樹脂(例えば、三井化学社製APEL、日本ゼオン社製ZEONOR、ZEONEX、JSR社製ARTON等)、エチレンとマレイミドの共重合体等のオレフィン−マレイミド系樹脂(例えば東ソー社製TI−PAS等)、ビスフェノールA、ビス(4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル)フルオレン等のビスフェノール類やジエチレングリコール等のジオール類とテレフタル酸、イソフタル酸、等のフタル酸類や脂肪族ジカルボン酸類を重縮合させたポリエステル等のポリエステル系樹脂(例えば鐘紡社製O−PET等)、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等の他、天然ゴム、EPDMといったゴム状樹脂が例示されるがこれに限定されるものではない。
(Thermoplastic resin)
Various thermoplastic resins can be added to the photocurable composition of the present invention for the purpose of modifying the properties. Various thermoplastic resins can be used. For example, a homopolymer of methyl methacrylate or a polymethyl methacrylate resin such as a random, block or graft polymer of methyl methacrylate and other monomers (for example, Hitachi Chemical) Optretz, etc.), acrylic resins represented by polybutyl acrylate resins such as butyl acrylate homopolymers or random, block or graft polymers of butyl acrylate and other monomers, bisphenol A, 3, A polycarbonate resin such as a polycarbonate resin containing 3,5-trimethylcyclohexylidenebisphenol or the like as a monomer structure (for example, APEC manufactured by Teijin Limited), a norbornene derivative, a vinyl monomer, or the like is copolymerized alone or copolymerized. Cycloolefin resins such as fat, norbornene derivative ring-opening metathesis polymer, or hydrogenated products thereof (for example, APEL manufactured by Mitsui Chemicals, ZEONOR, ZEONEX manufactured by Nippon Zeon, ARTON manufactured by JSR, etc.), ethylene and Olefin-maleimide resins such as maleimide copolymers (eg TI-PAS manufactured by Tosoh Corporation), bisphenols such as bisphenol A and bis (4- (2-hydroxyethoxy) phenyl) fluorene, and diols such as diethylene glycol Polyester resins such as polyester obtained by polycondensation of phthalic acids and aliphatic dicarboxylic acids such as terephthalic acid and isophthalic acid (eg O-PET manufactured by Kanebo Co., Ltd.), polyethersulfone resins, polyarylate resins, polyvinyl acetal resins, Polyethylene resin Polypropylene resins, polystyrene resins, polyamide resins, silicone resins, other like fluorine resin, not natural rubber, but the rubber-like resin is exemplified such EPDM is not limited thereto.

熱可塑性樹脂としては、分子中にSiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合及び/またはSiH基を有していてもよい。得られる硬化物がより強靭となりやすいという点においては、分子中にSiH基と反応性を有する炭素−炭素二重結合及び/またはSiH基を平均して1分子中に1個以上有していることが好ましい。   As a thermoplastic resin, you may have the carbon-carbon double bond and / or SiH group which have a reactivity with SiH group in a molecule | numerator. In the point that the obtained cured product tends to be tougher, the molecule has one or more carbon-carbon double bonds and / or SiH groups having reactivity with SiH groups in the molecule on average. It is preferable.

熱可塑性樹脂としてはその他の架橋性基を有していてもよい。この場合の架橋性基としては、エポキシ基、アミノ基、ラジカル重合性不飽和基、カルボキシル基、イソシアネート基、ヒドロキシル基、アルコキシシリル基等が挙げられる。得られる硬化物の耐熱性が高くなりやすいという点においては、架橋性基を平均して1分子中に1個以上有していることが好ましい。   The thermoplastic resin may have other crosslinkable groups. Examples of the crosslinkable group in this case include an epoxy group, an amino group, a radical polymerizable unsaturated group, a carboxyl group, an isocyanate group, a hydroxyl group, and an alkoxysilyl group. From the viewpoint that the heat resistance of the obtained cured product tends to be high, it is preferable to have one or more crosslinkable groups in one molecule on average.

熱可塑製樹脂の分子量としては、特に限定はないが、変性オルガノシロキサン化合物との相溶性が良好となりやすいという点においては、数平均分子量が10000以下であることが好ましく、5000以下であることがより好ましい。逆に、得られる硬化物が強靭となりやすいという点においては、数平均分子量が10000以上であることが好ましく、100000以上であることがより好ましい。分子量分布についても特に限定はないが、混合物の粘度が低くなり成形性が良好となりやすいという点においては、分子量分布が3以下であることが好ましく、2以下であることがより好ましく、1.5以下であることがさらに好ましい。   The molecular weight of the thermoplastic resin is not particularly limited, but the number average molecular weight is preferably 10000 or less, and preferably 5000 or less in that the compatibility with the modified organosiloxane compound is likely to be good. More preferred. On the contrary, the number average molecular weight is preferably 10,000 or more, and more preferably 100,000 or more in that the obtained cured product tends to be tough. The molecular weight distribution is not particularly limited, but the molecular weight distribution is preferably 3 or less, more preferably 2 or less, in that the viscosity of the mixture tends to be low and the moldability tends to be good. More preferably, it is as follows.

熱可塑性樹脂の配合量としては特に限定はないが、好ましい使用量の範囲は硬化性組成物全体の5〜50重量%、より好ましくは10〜30重量%である。添加量が少ないと得られる硬化物が脆くなり易い。添加量が多いと耐熱性(高温での弾性率)が低くなり易い。   Although there is no limitation in particular as a compounding quantity of a thermoplastic resin, the range of the preferable usage-amount is 5 to 50 weight% of the whole curable composition, More preferably, it is 10 to 30 weight%. If the amount added is small, the resulting cured product tends to be brittle. If the amount added is large, the heat resistance (elastic modulus at high temperature) tends to be low.

熱可塑性樹脂としては単一のものを用いてもよいし、複数のものを組み合わせて用いてもよい。   A single thermoplastic resin may be used, or a plurality of thermoplastic resins may be used in combination.

熱可塑性樹脂は変性ポリオルガノシロキサン化合物に溶解して均一な状態として混合してもよいし、粉砕して粒子状態で混合してもよいし、溶媒に溶かして混合する等して分散状態としてもよい。得られる硬化物がより透明になりやすいという点においては、変性ポリオルガノシロキサン化合物に溶かして均一な状態として混合することが好ましい。この場合も、熱可塑性樹脂を変性ポリオルガノシロキサン化合物に直接溶解させてもよいし、溶媒等を用いて均一に混合してもよいし、その後溶媒を除いて均一な分散状態或いは/お及び混合状態としてもよい。   The thermoplastic resin may be dissolved in the modified polyorganosiloxane compound and mixed in a uniform state, pulverized and mixed in a particle state, or dissolved in a solvent and mixed to be in a dispersed state. Good. From the viewpoint that the resulting cured product tends to be more transparent, it is preferable to dissolve in the modified polyorganosiloxane compound and mix in a uniform state. In this case as well, the thermoplastic resin may be directly dissolved in the modified polyorganosiloxane compound, or may be mixed uniformly using a solvent, etc., and then the solvent is removed to obtain a uniform dispersed state and / or mixture. It is good also as a state.

熱可塑性樹脂を分散させて用いる場合は、平均粒子径は種々設定できるが、好ましい平均粒子径の下限は10nmであり、好ましい平均粒子径の上限は10μmである。粒子系の分布はあってもよく、単一分散であっても複数のピーク粒径を持っていてもよいが、硬化性組成物の粘度が低く成形性が良好となり易いという観点からは、粒子径の変動係数が10%以下であることが好ましい。   When the thermoplastic resin is dispersed and used, the average particle diameter can be variously set, but the lower limit of the preferable average particle diameter is 10 nm, and the upper limit of the preferable average particle diameter is 10 μm. There may be a distribution of the particle system, which may be monodispersed or have a plurality of peak particle sizes, but from the viewpoint that the viscosity of the curable composition is low and the moldability tends to be good, The diameter variation coefficient is preferably 10% or less.

(充填材)
本発明の光硬化性組成物には必要に応じて充填材を添加してもよい。
充填材としては各種のものが用いられるが、例えば、石英、ヒュームシリカ、沈降性シリカ、無水ケイ酸、溶融シリカ、結晶性シリカ、超微粉無定型シリカ等のシリカ系充填材、窒化ケイ素、銀粉、アルミナ、水酸化アルミニウム、酸化チタン、ガラス繊維、炭素繊維、マイカ、カーボンブラック、グラファイト、ケイソウ土、白土、クレー、タルク、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、硫酸バリウム、無機バルーン等の無機充填材をはじめとして、エポキシ系等の従来の封止材の充填材として一般に使用或いは/及び提案されている充填材等を挙げることができる。
(Filler)
You may add a filler to the photocurable composition of this invention as needed.
Various fillers are used. For example, silica-based fillers such as quartz, fume silica, precipitated silica, silicic anhydride, fused silica, crystalline silica, ultrafine powder amorphous silica, silicon nitride, silver powder, etc. Inorganic fillers such as alumina, aluminum hydroxide, titanium oxide, glass fiber, carbon fiber, mica, carbon black, graphite, diatomaceous earth, clay, clay, talc, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium sulfate, inorganic balloon As a filler for a conventional sealing material such as an epoxy type, a filler that is generally used or / and proposed can be used.

(老化防止剤)
本発明の光硬化性組成物には老化防止剤を添加してもよい。老化防止剤としては、ヒンダートフェノール系等一般に用いられている老化防止剤の他、クエン酸やリン酸、硫黄系老化防止剤等が挙げられる。
(Anti-aging agent)
An anti-aging agent may be added to the photocurable composition of the present invention. Examples of the anti-aging agent include citric acid, phosphoric acid, sulfur-based anti-aging agent and the like in addition to the anti-aging agents generally used such as hindered phenol type.

ヒンダートフェノール系老化防止剤としては、チバスペシャリティーケミカルズ社から入手できるイルガノックス1010をはじめとして、各種のものが用いられる。   As the hindered phenol-based anti-aging agent, various types such as Irganox 1010 available from Ciba Specialty Chemicals are used.

硫黄系老化防止剤としては、メルカプタン類、メルカプタンの塩類、スルフィドカルボン酸エステル類や、ヒンダードフェノール系スルフィド類を含むスルフィド類、ポリスルフィド類、ジチオカルボン酸塩類、チオウレア類、チオホスフェイト類、スルホニウム化合物、チオアルデヒド類、チオケトン類、メルカプタール類、メルカプトール類、モノチオ酸類、ポリチオ酸類、チオアミド類、スルホキシド類等が挙げられる。
これらの老化防止剤は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。
Sulfur-based antioxidants include mercaptans, mercaptan salts, sulfide carboxylates, sulfides including hindered phenol sulfides, polysulfides, dithiocarboxylates, thioureas, thiophosphates, sulfonium Examples thereof include compounds, thioaldehydes, thioketones, mercaptals, mercaptols, monothioacids, polythioacids, thioamides, and sulfoxides.
These anti-aging agents may be used alone or in combination of two or more.

(ラジカル禁止剤)
本発明の光硬化性組成物にはラジカル禁止剤を添加してもよい。ラジカル禁止剤としては、例えば、2,6−ジ−t−ブチル−3−メチルフェノール(BHT)、2,2’−メチレン−ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、テトラキス(メチレン−3(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート)メタン等のフェノール系ラジカル禁止剤や、フェニル−β−ナフチルアミン、α−ナフチルアミン、N,N’−第二ブチル−p−フェニレンジアミン、フェノチアジン、N,N’−ジフェニル−p−フェニレンジアミン等のアミン系ラジカル禁止剤等が挙げられる。
これらのラジカル禁止剤は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。
(Radical inhibitor)
A radical inhibitor may be added to the photocurable composition of the present invention. Examples of the radical inhibitor include 2,6-di-t-butyl-3-methylphenol (BHT), 2,2′-methylene-bis (4-methyl-6-t-butylphenol), tetrakis (methylene- Phenol radical inhibitors such as 3 (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate) methane, phenyl-β-naphthylamine, α-naphthylamine, N, N′-secondary butyl-p- Examples include amine radical inhibitors such as phenylenediamine, phenothiazine, N, N′-diphenyl-p-phenylenediamine, and the like.
These radical inhibitors may be used alone or in combination of two or more.

(紫外線吸収剤)
本発明の光硬化性組成物には紫外線吸収剤を添加してもよい。紫外線吸収剤としては、例えば2(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリジン)セバケート等が挙げられる。
これらの紫外線吸収剤は単独で使用してもよく、2種以上併用してもよい。
(UV absorber)
You may add a ultraviolet absorber to the photocurable composition of this invention. Examples of the ultraviolet absorber include 2 (2′-hydroxy-3 ′, 5′-di-t-butylphenyl) benzotriazole, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-piperidine) sebacate and the like. Can be mentioned.
These ultraviolet absorbers may be used alone or in combination of two or more.

(溶剤)
本発明の光硬化性組成物に使用される、カチオン重合性化合物が高粘度である場合、溶剤に溶解して用いることも可能である。使用できる溶剤は特に限定されるものではなく、具体的に例示すれば、ベンゼン、トルエン、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素系溶媒、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン、1,3−ジオキソラン、ジエチルエーテル等のエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート(PGMEA)、エチレングリコールジエチルエーテル等のグリコール系溶剤、クロロホルム、塩化メチレン、1,2−ジクロロエタン等のハロゲン系溶媒を好適に用いることができる。
(solvent)
When the cationically polymerizable compound used in the photocurable composition of the present invention has a high viscosity, it can be used by dissolving in a solvent. Solvents that can be used are not particularly limited. Specific examples include hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, hexane, and heptane, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, 1,3-dioxolane, diethyl ether, and the like. Ether solvents, ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, glycol solvents such as propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate (PGMEA), ethylene glycol diethyl ether, chloroform, methylene chloride, A halogen-based solvent such as 1,2-dichloroethane can be preferably used.

溶媒としては、トルエン、テトラヒドロフラン、1,3−ジオキソラン、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート、クロロホルムが好ましい。   As the solvent, toluene, tetrahydrofuran, 1,3-dioxolane, propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, and chloroform are preferable.

使用する溶媒量は適宜設定できるが、用いる硬化性組成物1gに対しての好ましい使用量の下限は0.1mLであり、好ましい使用量の上限は10mLである。使用量が少ないと、低粘度化等の溶媒を用いることの効果が得られにくく、また、使用量が多いと、材料に溶剤が残留して熱クラック等の問題となり易く、またコスト的にも不利になり工業的利用価値が低下する。   Although the amount of solvent to be used can be set as appropriate, the lower limit of the preferred amount of use with respect to 1 g of the curable composition to be used is 0.1 mL, and the upper limit of the preferred amount of use is 10 mL. If the amount used is small, it is difficult to obtain the effect of using a solvent such as a low viscosity, and if the amount used is large, the solvent tends to remain in the material, causing problems such as thermal cracks, and also from a cost standpoint. It is disadvantageous and the industrial utility value decreases.

これらの、溶媒は単独で使用してもよく、2種類以上の混合溶媒として用いることもできる。   These solvents may be used alone or as a mixed solvent of two or more.

(その他添加剤)
本発明の光硬化性組成物には、その他、着色剤、離型剤、難燃剤、難燃助剤、界面活性剤、消泡剤、乳化剤、レベリング剤、はじき防止剤、アンチモン−ビスマス等のイオントラップ剤、チクソ性付与剤、粘着性付与剤、保存安定改良剤、オゾン劣化防止剤、光安定剤、増粘剤、可塑剤、反応性希釈剤、酸化防止剤、熱安定化剤、導電性付与剤、帯電防止剤、放射線遮断剤、核剤、リン系過酸化物分解剤、滑剤、顔料、金属不活性化剤、熱伝導性付与剤、物性調整剤等を本発明の目的および効果を損なわない範囲において添加することができる。
(Other additives)
The photocurable composition of the present invention includes other colorants, mold release agents, flame retardants, flame retardant aids, surfactants, antifoaming agents, emulsifiers, leveling agents, anti-fogging agents, antimony-bismuth and the like. Ion trap agent, thixotropic agent, tackifier, storage stability improver, ozone degradation inhibitor, light stabilizer, thickener, plasticizer, reactive diluent, antioxidant, heat stabilizer, conductivity The purpose and effect of the present invention include a property imparting agent, an antistatic agent, a radiation shielding agent, a nucleating agent, a phosphorus peroxide decomposing agent, a lubricant, a pigment, a metal deactivator, a thermal conductivity imparting agent, and a physical property modifier. Can be added within a range that does not impair.

(用途)
本発明の硬化性組成物或いは硬化物は、種々の用途に用いることができる。従来のアクリル樹脂およびエポキシ樹脂接着剤が使用される各種用途に応用することが可能である。
(Use)
The curable composition or cured product of the present invention can be used for various applications. It can be applied to various uses where conventional acrylic resin and epoxy resin adhesives are used.

例えば、透明材料、光学材料、光学レンズ、光学フィルム、光学シート、光学部品用接着剤、光導波路結合用光学接着剤、光導波路周辺部材固定用接着剤、DVD貼り合せ用接着剤、粘着剤、ダイシングテープ、電子材料、絶縁材料(プリント基板、電線被覆等を含む)、高電圧絶縁材料、層間絶縁膜、TFT用パッシベーション膜、TFT用ゲート絶縁膜、TFT用層間絶縁膜、TFT用透明平坦化膜、絶縁用パッキング、絶縁被覆材、接着剤、高耐熱性接着剤、高放熱性接着剤、光学接着剤、LED素子の接着剤、各種基板の接着剤、ヒートシンクの接着剤、塗料、UV粉体塗料、インク、着色インク、UVインクジェット用インク、コーティング材料(ハードコート、シート、フィルム、剥離紙用コート、光ディスク用コート、光ファイバ用コート等を含む)、成形材料(シート、フィルム、FRP等を含む)、シーリング材料、ポッティング材料、封止材料、発光ダイオード用封止材料、光半導体封止材料、液晶シール剤、表示デバイス用シール剤、電気材料用封止材料、各種太陽電池の封止材料、高耐熱シール材、レジスト材料、液状レジスト材料、着色レジスト、ドライフィルムレジスト材料、ソルダーレジスト材料、カラーフィルター用バインダー樹脂、カラーフィルター用透明平坦化材料、ブラックマトリクス用バインダー樹脂、液晶セル用フォトスペーサー材料、OLED素子用透明封止材料、光造形、太陽電池用材料、燃料電池用材料、表示材料、記録材料、防振材料、防水材料、防湿材料、熱収縮ゴムチューブ、オーリング、複写機用感光ドラム、電池用固体電解質、ガス分離膜に応用できる。また、コンクリート保護材、ライニング、土壌注入剤、蓄冷熱材、滅菌処理装置用シール材、コンタクトレンズ、酸素透過膜の他、他樹脂等への添加剤等が挙げられる。   For example, transparent materials, optical materials, optical lenses, optical films, optical sheets, optical component adhesives, optical waveguide coupling optical adhesives, optical waveguide peripheral member fixing adhesives, DVD bonding adhesives, adhesives, Dicing tape, electronic materials, insulating materials (including printed circuit boards, wire coatings, etc.), high-voltage insulating materials, interlayer insulating films, TFT passivation films, TFT gate insulating films, TFT interlayer insulating films, TFT transparent flattening Membrane, insulating packing, insulation coating material, adhesive, high heat resistant adhesive, high heat dissipation adhesive, optical adhesive, LED element adhesive, various substrate adhesive, heat sink adhesive, paint, UV powder Body paint, ink, colored ink, UV inkjet ink, coating material (hard coat, sheet, film, release paper coat, optical disc coat, optical fabric ), Molding materials (including sheets, films, FRP, etc.), sealing materials, potting materials, sealing materials, light-emitting diode sealing materials, optical semiconductor sealing materials, liquid crystal sealing agents, display devices Sealing material, sealing material for electrical materials, sealing material for various solar cells, high heat resistant sealing material, resist material, liquid resist material, colored resist, dry film resist material, solder resist material, binder resin for color filter, color Transparent flattening material for filter, binder resin for black matrix, photo spacer material for liquid crystal cell, transparent sealing material for OLED element, stereolithography, solar cell material, fuel cell material, display material, recording material, vibration proof material , Waterproof materials, moisture-proof materials, heat-shrinkable rubber tubes, O-rings, photoconductor drums for copying machines, battery fixing The electrolyte can be applied to a gas separation membrane. Further, concrete protective materials, linings, soil injection agents, cold storage heat materials, sealing materials for sterilization treatment devices, contact lenses, oxygen permeable membranes, additives to other resins, and the like can be mentioned.

中でも、本発明の硬化性組成物はアルカリ現像性透明レジストとして使用できる材料であり、特にFPD用材料として好適な材料である。より具体的には、TFT用パッシベーション膜、TFT用ゲート絶縁膜、TFT用層間絶縁膜、TFT用透明平坦化膜、カラーフィルター用バインダー樹脂、カラーフィルター用透明平坦化材料、ブラックマトリクス用バインダー樹脂、液晶セル用フォトスペーサー材料、OLED素子用透明封止材料などが挙げられる。   Among these, the curable composition of the present invention is a material that can be used as an alkali-developable transparent resist, and is particularly suitable as an FPD material. More specifically, a passivation film for TFT, a gate insulating film for TFT, an interlayer insulating film for TFT, a transparent planarizing film for TFT, a binder resin for color filter, a transparent planarizing material for color filter, a binder resin for black matrix, Examples thereof include a photospacer material for liquid crystal cells and a transparent sealing material for OLED elements.

以下に、本発明の実施例および比較例を示すが、本発明は以下によって限定されるものではない。   Examples and Comparative Examples of the present invention are shown below, but the present invention is not limited to the following.

(実施例1〜2、比較例1〜5)
実施例1〜2および比較例1〜5で得た硬化性組成物に対し、下記方法を用いて評価を行った。その結果を表1に示す。
(Examples 1-2, Comparative Examples 1-5)
The curable compositions obtained in Examples 1-2 and Comparative Examples 1-5 were evaluated using the following methods. The results are shown in Table 1.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

本発明の硬化性組成物を硬化することによって得られる硬化物は、比較例の組成物と比較して優れた光硬化反応に対する感度を有する光硬化性材料として機能する。   The hardened | cured material obtained by hardening | curing the curable composition of this invention functions as a photocurable material which has the sensitivity with respect to the photocuring reaction outstanding compared with the composition of the comparative example.

(パターニング性評価)
実施例、比較例で得られた樹脂組成物を用いて下記のようなパターニング評価サンプルを作成した。ガラス板に樹脂組成物をスピンコーティング(回転数1500rpm、10秒)したものを、65℃に加熱したホットプレート上で2分加熱し、露光装置(高圧水銀ランプ、マスクアライメント装置MA−10)を用い、パターンマスクを通して種々の積算光量で露光し(プロキシミティ露光、ギャップ12μm)、65℃に加熱したホットプレート上で2分加熱し、アルカリ性現像液(TMAH2.38%水溶液)に60秒浸漬後水洗してパターンを形成した。その後150℃に加熱したホットプレート上にて1時間加熱して評価サンプルを得た。得られた評価サンプルは白色干渉顕微鏡(NewView5030)を用いてパターン形状を観測し、現像前と比較して、膜厚の減少(膜減り)の程度を下記基準に従い評価した。
(Patternability evaluation)
The following patterning evaluation samples were prepared using the resin compositions obtained in Examples and Comparative Examples. A glass plate with a resin composition spin-coated (rotation speed 1500 rpm, 10 seconds) is heated on a hot plate heated to 65 ° C. for 2 minutes, and an exposure apparatus (high-pressure mercury lamp, mask alignment apparatus MA-10) is installed. Used, exposed with various integrated light quantities through a pattern mask (proximity exposure, gap 12 μm), heated on a hot plate heated to 65 ° C. for 2 minutes, and immersed in an alkaline developer (TMAH 2.38% aqueous solution) for 60 seconds Washed with water to form a pattern. Thereafter, the sample was heated for 1 hour on a hot plate heated to 150 ° C. to obtain an evaluation sample. The obtained evaluation sample was observed for a pattern shape using a white interference microscope (NewView 5030), and the degree of film thickness reduction (film reduction) was evaluated according to the following criteria as compared to before development.

<評価基準>
○:膜減りが無く、均一なパターン形成可能
△:局所的に膜減りが発生
×:広範囲に膜減りが発生。
<Evaluation criteria>
○: A uniform pattern can be formed without film loss. Δ: Film loss occurs locally. ×: Film loss occurs over a wide area.

(実施例1)
500mL四つ口フラスコにトルエン100g、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン57.49gを入れ、気相部を窒素置換した後、内温105℃で加熱、攪拌した。トリアリルイソシアヌレート3.8g、ジアリルイソシアヌル酸5.0g、1,4−ジオキサン70.0g及び白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.0186gの混合液を30分かけて滴下した。滴下終了から6時間後に1H−NMRでアリル基の反応率が95%以上であることを確認し、冷却により反応を終了した。未反応の1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン及びトルエンを減圧留去し、無色透明の液体「反応物B」を得た。
(Example 1)
A 500 mL four-necked flask was charged with 100 g of toluene and 57.49 g of 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane, and the gas phase was purged with nitrogen, and then heated and stirred at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 3.8 g of triallyl isocyanurate, 5.0 g of diallyl isocyanuric acid, 70.0 g of 1,4-dioxane, and 0.0186 g of a platinum vinylsiloxane complex in xylene (containing 3 wt% as platinum) is dropped over 30 minutes. did. Six hours after the completion of the dropwise addition, it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the allyl group was 95% or more, and the reaction was terminated by cooling. Unreacted 1,3,5,7-tetramethylcyclotetrasiloxane and toluene were distilled off under reduced pressure to obtain a colorless and transparent liquid “Reactant B”.

100mL四つ口フラスコにトルエン20g、「反応物B」10gを入れ、気相部を窒素置換した後内温105℃で加熱し、ここにビニルシクロヘキセンオキシド3.0gおよびトルエン3.0gの混合液を加え、添加3時間後に1H−NMRでビニル基の反応率が95%以上であることを確認した。反応液を冷却し「反応物1」を得た。1H−NMRの測定により、標準物質をジブロモエタンとした時の当量換算でエポキシ基を2.0mmol/g、SiH基を4.0mmol/g、および下記式(X1)で表される構造を有するポリオルガノシロキサン化合物であることを確認した。 A 100 mL four-necked flask was charged with 20 g of toluene and 10 g of “Reactant B”, the gas phase was replaced with nitrogen, and then heated at an internal temperature of 105 ° C. A mixed solution of 3.0 g of vinylcyclohexene oxide and 3.0 g of toluene. 3 hours after the addition, it was confirmed by 1 H-NMR that the reaction rate of the vinyl group was 95% or more. The reaction solution was cooled to obtain “Reaction product 1”. 1H-NMR measurement shows an epoxy group equivalent to 2.0 mmol / g, SiH group 4.0 mmol / g, and a structure represented by the following formula (X1) in terms of equivalent when the standard substance is dibromoethane. It was confirmed that it was a polyorganosiloxane compound.

Figure 2011219583
Figure 2011219583

得られた「反応物1」0.5g、トリアリルイソシアヌレート0.19g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.7mg、BBI−103(ミドリ化学製、光カチオン重合開始剤)0.02g、9,10−ジプロポキシアントラセン0.01g、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.025g添加したものの40%PGMEA溶液を調整した。   0.5 g of the obtained “reaction product 1”, 0.19 g of triallyl isocyanurate, 0.7 mg of a xylene solution of platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum), BBI-103 (manufactured by Midori Chemical, photocationic polymerization initiation Agent) A 40% PGMEA solution was prepared by adding 0.02 g, 0.01 g of 9,10-dipropoxyanthracene, and 0.025 g of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane.

(実施例2)
実施例1で得られた「反応物1」0.5g、トリアリルイソシアヌレート0.19g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.7mg、BBI−103(ミドリ化学製、光カチオン重合開始剤)0.02g、9,10−ジプロポキシアントラセン0.01g、2−(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン0.050g添加したものの40%PGMEA溶液を調整した。
(Example 2)
0.5 g of “Reactant 1” obtained in Example 1, 0.19 g of triallyl isocyanurate, 0.7 mg of xylene solution of platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum), BBI-103 (manufactured by Midori Chemical, A 40% PGMEA solution was prepared by adding 0.02 g of photocationic polymerization initiator), 0.01 g of 9,10-dipropoxyanthracene, and 0.050 g of 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane.

(比較例1)
実施例1で得られた「反応物1」0.5g、トリアリルイソシアヌレート0.19g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.7mg、BBI−103(ミドリ化学製、光カチオン重合開始剤)0.02g、9,10−ジプロポキシアントラセン0.01g添加したものの40%PGMEA溶液を調整した。
(Comparative Example 1)
0.5 g of “Reactant 1” obtained in Example 1, 0.19 g of triallyl isocyanurate, 0.7 mg of xylene solution of platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum), BBI-103 (manufactured by Midori Chemical, Photocationic polymerization initiator) 0.02 g and 0.01 g of 9,10-dipropoxyanthracene were added to prepare a 40% PGMEA solution.

(比較例2)
実施例1で得られた「反応物1」0.5g、トリアリルイソシアヌレート0.19g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.7mg、BBI−103(ミドリ化学製、光カチオン重合開始剤)0.02g、ジブチルアントラセン0.01g、ビニルトリメトキシシラン0.050g添加したものの40%PGMEA溶液を調整した。
(Comparative Example 2)
0.5 g of “Reactant 1” obtained in Example 1, 0.19 g of triallyl isocyanurate, 0.7 mg of xylene solution of platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum), BBI-103 (manufactured by Midori Chemical, A 40% PGMEA solution was prepared by adding 0.02 g of a cationic photopolymerization initiator), 0.01 g of dibutylanthracene, and 0.050 g of vinyltrimethoxysilane.

(比較例3)
実施例1で得られた「反応物1」0.5g、トリアリルイソシアヌレート0.19g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.7mg、BBI−103(ミドリ化学製、光カチオン重合開始剤)0.02g、9,10−ジプロポキシアントラセン0.01g、アリルグリシジルエーテル0.050g添加したものの40%PGMEA溶液を調整した。
(Comparative Example 3)
0.5 g of “Reactant 1” obtained in Example 1, 0.19 g of triallyl isocyanurate, 0.7 mg of xylene solution of platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum), BBI-103 (manufactured by Midori Chemical, Photocationic polymerization initiator) 0.02 g, 0.01 g of 9,10-dipropoxyanthracene, and 0.050 g of allyl glycidyl ether were added to prepare a 40% PGMEA solution.

(比較例4)
実施例1で得られた「反応物1」0.5g、トリアリルイソシアヌレート0.19g、白金ビニルシロキサン錯体のキシレン溶液(白金として3wt%含有)0.7mg、BBI−103(ミドリ化学製、光カチオン重合開始剤)0.02g、9,10−ジプロポキシアントラセン0.01g、ビニルシクロへキセンオキシド0.050g添加したものの40%PGMEA溶液を調整した。
(Comparative Example 4)
0.5 g of “Reactant 1” obtained in Example 1, 0.19 g of triallyl isocyanurate, 0.7 mg of xylene solution of platinum vinylsiloxane complex (containing 3 wt% as platinum), BBI-103 (manufactured by Midori Chemical, Photocationic polymerization initiator) 0.02 g, 0.01 g of 9,10-dipropoxyanthracene, and 0.050 g of vinylcyclohexene oxide were added to prepare a 40% PGMEA solution.

Claims (14)

カチオン重合性化合物(a)と、カチオン重合開始剤(b)、エポキシ基、またはオキセタニル基と、アルコキシシリル基を有する硬化促進剤(c)を含んでなる光硬化性組成物。   A photocurable composition comprising a cationically polymerizable compound (a), a cationic polymerization initiator (b), an epoxy group or oxetanyl group, and a curing accelerator (c) having an alkoxysilyl group. カチオン重合性化合物(a)が、ポリオルガノシロキサン化合物である請求項1に記載の光硬化性組成物。   2. The photocurable composition according to claim 1, wherein the cationically polymerizable compound (a) is a polyorganosiloxane compound. カチオン重合性化合物(a)が、エポキシ基含有化合物である事を特徴とする請求項1または2に記載の光硬化性組成物。   The photocurable composition according to claim 1 or 2, wherein the cationic polymerizable compound (a) is an epoxy group-containing compound. カチオン重合性化合物(a)がカチオン重合性官能基およびSiH基を同一分子内に有する化合物であり、(d)炭素−炭素二重結合を有する化合物、を含有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の光硬化性組成物。   The cation polymerizable compound (a) is a compound having a cation polymerizable functional group and a SiH group in the same molecule, and (d) a compound having a carbon-carbon double bond. The photocurable composition according to one item. 成分(a)が、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する化合物である請求項1〜4のいずれか一項に記載の光硬化性組成物。
Figure 2011219583
The component (a) is a compound having in the same molecule at least one selected from the group consisting of each structure represented by the following formulas (X1) to (X3), a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group. The photocurable composition as described in any one of 1-4.
Figure 2011219583
成分(d)が下記一般式(I)
Figure 2011219583
(式中R3は炭素数1〜50の一価の有機基を表し、それぞれのR3は異なっていても同一であってもよく、少なくとも1個のR3はSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む)で表される化合物である、請求項4または5に記載の光硬化性組成物。
Component (d) is represented by the following general formula (I)
Figure 2011219583
(In the formula, R 3 represents a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms, and each R 3 may be different or the same, and at least one R 3 represents reactivity with a SiH group. The photocurable composition according to claim 4 or 5, which is a compound represented by (including a carbon-carbon double bond having).
成分(d)が、Si−CH=CH2基を有する化合物である請求項4〜6のいずれか一項に記載の光硬化性組成物。 Component (d) is, the photocurable composition according to any one of claims 4 to 6 is a compound having a Si-CH = CH 2 group. 成分(a)が、下記化合物(α)〜(γ)のヒドロシリル化反応生成物を使用する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の光硬化性組成物:
(α)1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有する有機化合物
(β)1分子中に少なくとも2個のSiH基を有するオルガノシロキサン化合物
(γ)1分子中に、カチオン重合性官能基を少なくとも1個と、SiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上とを有する化合物
The photocurable composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the component (a) uses a hydrosilylation reaction product of the following compounds (α) to (γ):
(Α) Organic compound having one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH group in one molecule (β) Organosiloxane compound (γ) 1 having at least two SiH groups in one molecule Compound having in the molecule at least one cationically polymerizable functional group and one or more carbon-carbon double bonds having reactivity with SiH group
請求項8記載の化合物(α)が、1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有し、かつ、下記一般式(I)
Figure 2011219583
(式中R3は炭素数1〜50の一価の有機基を表し、それぞれのR3は異なっていても同一であってもよく、少なくとも1個のR3はSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を含む)で表される化合物である、請求項8に記載の光硬化性組成物。
The compound (α) according to claim 8 has at least one carbon-carbon double bond having reactivity with a SiH group in one molecule, and the following general formula (I):
Figure 2011219583
(In the formula, R 3 represents a monovalent organic group having 1 to 50 carbon atoms, and each R 3 may be different or the same, and at least one R 3 represents reactivity with a SiH group. The photocurable composition of Claim 8 which is a compound represented by the carbon-carbon double bond which has).
請求項8記載の化合物(α)が、Si−CH=CH2基を有する化合物である請求項8もしくは9のいずれか一項に記載の光硬化性組成物。 8. The compound according (alpha) is, Si-CH = CH photocurable composition according to any one of claims 8 or 9, which is a compound having 2 group. 請求項8記載の化合物(α)が、1分子中にSiH基との反応性を有する炭素−炭素二重結合を1個以上有し、かつ、下記式(X1)〜(X3)で表される各構造と、フェノール性水酸基と、カルボキシル基とからなる群から選ばれる少なくとも一種を同一分子内に有する有機化合物である、請求項8〜10のいずれか一項に記載の光硬化性組成物。
Figure 2011219583
The compound (α) according to claim 8 has at least one carbon-carbon double bond having reactivity with a SiH group in one molecule, and is represented by the following formulas (X1) to (X3). The photocurable composition as described in any one of Claims 8-10 which is an organic compound which has at least 1 type chosen from the group which consists of each structure which consists of, a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group in the same molecule | numerator. .
Figure 2011219583
化合物(β)が、下記一般式(III)
Figure 2011219583
(式中R4、R5は炭素数1〜10の有機基を表し同一であっても異なっても良く、nは1〜10、mは0〜10の数を表す)
で表されるSiH基を有する環状ポリオルガノシロキサン化合物である、請求項8〜11のいずれか一項に記載の光硬化性組成物。
Compound (β) is represented by the following general formula (III)
Figure 2011219583
(Wherein R 4 and R 5 represent an organic group having 1 to 10 carbon atoms, and may be the same or different, n represents 1 to 10, and m represents a number of 0 to 10)
The photocurable composition as described in any one of Claims 8-11 which is a cyclic polyorganosiloxane compound which has SiH group represented by these.
化合物(γ)が、下記一般式(IV)
Figure 2011219583
(式中R6、R7は炭素数1〜6の有機基を表し、nは1〜3、mは0〜10の数を表す)で表される化合物である、請求項8〜12のいずれか一項に記載の光硬化性組成物。
Compound (γ) is represented by the following general formula (IV)
Figure 2011219583
(Wherein R 6 and R 7 represent an organic group having 1 to 6 carbon atoms, n represents 1 to 3, and m represents a number of 0 to 10). The photocurable composition as described in any one of Claims.
請求項1〜13のいずれか一項に記載の光硬化性組成物を硬化してなる、硬化物。   Hardened | cured material formed by hardening | curing the photocurable composition as described in any one of Claims 1-13.
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