JP5601271B2

JP5601271B2 - Flow sensor

Info

Publication number: JP5601271B2
Application number: JP2011090089A
Authority: JP
Inventors: 祐介市川; 幹生杉木; 卓哉佐藤
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2010-08-02
Filing date: 2011-04-14
Publication date: 2014-10-08
Anticipated expiration: 2031-04-14
Also published as: JP2012053028A

Description

本発明は、内燃機関の吸入空気流量の測定等に用いられる流量センサに関するものである。 The present invention relates to a flow rate sensor for use in measurement of the intake air flow of an internal combustion engine.

従来より、被検出流体の流量を測定する流量センサとして、例えば、被検出流体の流量を測定するセンサチップと、当該センサチップを収容凹部に収容する樹脂製のセンサ搭載部と、センサチップと電気的に接続されるターミナルを備えた固定部とを備えてなる流量センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, as a flow sensor for measuring the flow rate of a fluid to be detected, for example, a sensor chip for measuring the flow rate of the fluid to be detected, a sensor mounting portion made of resin for housing the sensor chip in a housing recess, 2. Description of the Related Art A flow sensor including a stationary part having a terminal connected thereto is known (see, for example, Patent Document 1).

具体的には、このような流量センサは、センサ搭載部が所定方向に突出した状態で固定部に備えられている。そして、このセンサ搭載部は、一面を有する矩形板状とされており、当該一面に収容凹部が形成されている。 Specifically, such a flow sensor is provided in the fixed portion with the sensor mounting portion protruding in a predetermined direction. And this sensor mounting part is made into the rectangular plate shape which has one surface, and the accommodation recessed part is formed in the said one surface.

このような流量センサは、例えば、自動車等の内燃機関に流入する吸入空気流量を測定するものとして用いられ、被取付部材としての内燃機関の吸気管内に固定されて使用される。 Such a flow sensor is used, for example, for measuring the flow rate of intake air flowing into an internal combustion engine such as an automobile, and is used by being fixed in the intake pipe of the internal combustion engine as a mounted member.

特開２００１−９１３２２号公報JP 2001-91322 A

しかしながら、上記流量センサは、内燃機関の吸気管内に固定されて使用されたとき、吸気管の振動に伴って同時に振動してしまうことがある。そして、センサ搭載部が振動すると、検出精度が低下したり、場合によってはセンサ搭載部が破壊されてしまうことがあるという問題がある。 However, when the flow sensor is used while being fixed in the intake pipe of an internal combustion engine, the flow sensor may vibrate simultaneously with the vibration of the intake pipe. And if a sensor mounting part vibrates, there exists a problem that a detection accuracy falls or a sensor mounting part may be destroyed depending on the case.

本発明は上記点に鑑みて、センサ搭載部を振動し難くし、検出精度が低下したり、センサ搭載部が破壊されたりすることを抑制することができる流量センサを提供することを目的とする。 The present invention is made in view of the above disadvantages, and it is difficult to vibrate the sensor mounting portion, and the purpose that the detection accuracy to provide a flow rate sensor which can be suppressed to or destroyed or, the sensor mounting portion decreases To do.

上記課題を解決するため、本発明者らは、センサ搭載部の形状に着目して検討を行い、センサ搭載部の共振点を高くすることにより、センサ搭載部を外部からの振動に影響され難くすることができると考えた。 In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have made a study focusing on the shape of the sensor mounting part and made the sensor mounting part less susceptible to external vibration by increasing the resonance point of the sensor mounting part. I thought I could do it.

このため、請求項１に記載の発明では、被検出流体に曝される流量検出部（１０ａ）を表面に備えたセンサチップ（１０）と、センサチップ（１０）と電気的に接続される外部接続端子（２０）を備えた固定部（３０）と、固定部（３０）から所定方向に突出して備えられ、固定部（３０）と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、流量検出部（１０ａ）を露出させた状態でセンサチップ（１０）を収容する収容凹部（５０）が形成されたセンサ搭載部（４０）と、を備え、センサ搭載部（４０）は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部（５０）より固定部（３０）側に位置する部分より、収容凹部（５０）より先端部側に位置する部分の方が小さくされており、センサチップ（１０）における表面の法線方向から視たとき、センサチップ（１０）の表面と平行な方向であって、かつ、突出方向と垂直な方向の長さが、収容凹部（５０）より固定部（３０）側に位置する部分より、収容凹部（５０）より突出方向の先端部側に位置する部分の方が短くされた台形形状とされていることを特徴としている。 For this reason, in the first aspect of the present invention, the sensor chip (10) provided with the flow rate detection part (10a) exposed to the fluid to be detected on the surface, and the outside electrically connected to the sensor chip (10) A fixed portion (30) provided with a connection terminal (20), and a portion between a portion connected to the fixed portion (30) and protruding from the fixed portion (30) in a predetermined direction and a tip portion in the protruding direction And a sensor mounting portion (40) formed with an accommodation recess (50) for accommodating the sensor chip (10) with the flow rate detection portion (10a) exposed. The sensor mounting portion (40) sectional area of the cross section to be protruding direction and vertically, than the portion positioned on the fixed portion (30) side of the housing recess (50), who from the housing recess (50) of the portion located on the distal end side are small The normal direction of the surface of the sensor chip (10) When viewed, the length in the direction parallel to the surface of the sensor chip (10) and perpendicular to the protruding direction is longer than the portion located on the fixed portion (30) side from the housing recess (50), It is characterized by the trapezoid shape in which the part located in the front-end | tip part side of a protrusion direction is shortened rather than the accommodation recessed part (50) .

このような流量センサでは、センサ搭載部（４０）は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部（５０）より固定部（３０）側に位置する部分より、収容凹部（５０）より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされている。このため、突出方向と垂直となる断面積が収容凹部（５０）より固定部（３０）側に位置する部分と収容凹部（５０）より突出方向の先端部側に位置する部分とで等しい矩形板状のセンサ搭載部を有する従来の流量センサと比較すると、固定部（３０）と繋がっている部分から突出方向の先端部までの長さが等しい場合、共振点を高くすることができる。したがって、吸気管等の被取付部材が振動したときに、センサ搭載部（４０）が振動することを抑制することができ、検出精度が低下したり、センサ搭載部（４０）が破壊されたりすることを抑制することができる。さらに、センサ搭載部（４０）をセンサチップ（１０）における表面の法線方向から視たときに三角形形状である場合と比較して、固定部（３０）から先端部までの長さを短くすることができ、共振点を高くすることができる。 In such a flow rate sensor, the sensor mounting portion (40) has a housing recess (50) that is closer to the fixed portion (30) than the housing recess (50). The portion located on the tip end side in the protruding direction is made smaller. For this reason, a rectangular plate in which the cross-sectional area perpendicular to the protruding direction is the same for the portion positioned on the fixed portion (30) side from the receiving recess (50) and the portion positioned on the tip end side in the protruding direction from the receiving recess (50). When the length from the part connected with the fixed part (30) to the front-end | tip part of a protrusion direction is equal compared with the conventional flow sensor which has a sensor-shaped mounting part, a resonance point can be made high. Therefore, when the attached member such as the intake pipe vibrates, the vibration of the sensor mounting portion (40) can be suppressed, and the detection accuracy is lowered or the sensor mounting portion (40) is destroyed. This can be suppressed. Further, the length from the fixed portion (30) to the tip portion is shortened as compared with the case where the sensor mounting portion (40) is triangular when viewed from the normal direction of the surface of the sensor chip (10). The resonance point can be increased.

また、請求項２に記載の発明のように、センサ搭載部（４０）を、センサチップ（１０）の平面方向と平行な方向であって、かつ突出方向と垂直な方向から視たとき、センサチップ（１０）の表面と垂直な方向の長さを、収容凹部（５０）より固定部（３０）側に位置する部分より、収容凹部（５０）より突出方向の先端部側に位置する部分の方を短くすることができる。 When the sensor mounting portion (40) is viewed from a direction parallel to the planar direction of the sensor chip (10) and perpendicular to the protruding direction, as in the invention described in claim 2 , the sensor The length in the direction perpendicular to the surface of the chip (10) is longer than the portion located on the fixed portion (30) side of the housing recess (50), and the length of the portion located on the tip side in the protruding direction from the housing recess (50). Can be shortened.

さらに、請求項３に記載の発明のように、センサ搭載部（４０）を、突出方向と垂直となる断面が半楕円である部分を有した構成とすることができる。この場合、請求項４に記載の発明のように、収容凹部（５０）を、センサ搭載部（４０）のうち半楕円の弦を構成する一面（６１、７１）に形成することができる。このような流量センサは、通常、被検出流体の流れ方向と、センサ搭載部（４０）の突出方向とが垂直となり、かつ被検出流体の流れ方向とセンサ搭載部（４０）の一面（６１、７１）とが平行となる状態で吸気管に固定されて被検出流体の流量を測定するのに利用される。このため、被検出流体は、センサ搭載部（４０）に衝突した後、センサ搭載部（４０）の一面（６１、７１）上に流れると共に、半楕円形状を構成する壁面に沿って一面（６１、７１）と反対側に流れる。すなわち、センサ搭載部が矩形板状とされている流量センサと比較すると、センサ搭載部（４０）のうち被検出流体が衝突する部分に異物が堆積することを抑制することができる。したがって、一面（６１、７１）上に異物によって乱流が発生することを抑制することができ、検出精度が低下することを抑制することができる。
さらに、請求項５に記載の発明のように、センサ搭載部は、センサチップ（１０）における表面の法線方向から視たとき、固定部（３０）側と反対側の角部が丸められることによって先端部が丸められているものとできる。 Further, as in the invention described in claim 3 , the sensor mounting portion (40) can be configured to have a portion whose cross section perpendicular to the protruding direction is a semi-ellipse. In this case, as in the fourth aspect of the present invention, the housing recess (50) can be formed on one surface (61, 71) of the sensor mounting portion (40) constituting the semi-elliptical string. In such a flow sensor, the flow direction of the fluid to be detected and the protruding direction of the sensor mounting portion (40) are usually perpendicular, and the flow direction of the fluid to be detected and one surface (61, 61) of the sensor mounting portion (40). 71) is fixed to the intake pipe in a state of being in parallel with each other and used to measure the flow rate of the fluid to be detected. For this reason, the fluid to be detected flows on one surface (61, 71) of the sensor mounting portion (40) after colliding with the sensor mounting portion (40), and one surface (61) along the wall surface forming the semi-elliptical shape. , 71). That is, as compared with a flow rate sensor in which the sensor mounting portion has a rectangular plate shape, it is possible to suppress foreign matter from accumulating in a portion of the sensor mounting portion (40) where the detected fluid collides. Therefore, it can suppress that a turbulent flow generate | occur | produces with a foreign material on one surface (61, 71), and can suppress that detection accuracy falls.
Further, as in the invention described in claim 5, when the sensor mounting portion is viewed from the normal direction of the surface of the sensor chip (10), the corner portion on the opposite side to the fixed portion (30) side is rounded. The tip can be rounded.

また、請求項６に記載の発明のように、センサ搭載部（４０）を、突出方向と垂直となる断面が楕円である部分を有した構成とすることができる。そして、請求項７に記載の発明のように、センサ搭載部（４０）を、突出方向と垂直となる断面が真円である部分を有した構成とすることができる。 Further, as in the invention described in claim 6 , the sensor mounting portion (40) can be configured to have a portion whose section perpendicular to the protruding direction is an ellipse. And like invention of Claim 7 , a sensor mounting part (40) can be set as the structure which has the part whose cross section perpendicular | vertical to a protrusion direction is a perfect circle.

そして、請求項８に記載の発明のように、センサ搭載部（４０）は、収容凹部（５０）が形成される側と反対側の部分に平坦な一面（７２）を有するものとすることができる。これによれば、平坦な一面（７２）に治具（８０）を当接させてセンサ搭載部（４０）を支持しつつ、センサ搭載部（４０）の収容凹部（５０）にセンサチップ（１０）を収容することができるため、センサチップ（１０）が傾いて収容されることを抑制することができる。 And like invention of Claim 8 , a sensor mounting part (40) shall have a flat surface (72) in the part on the opposite side to the side in which an accommodation recessed part (50) is formed. it can. According to this, while the jig (80) is brought into contact with the flat surface (72) to support the sensor mounting portion (40), the sensor chip (10) is accommodated in the receiving recess (50) of the sensor mounting portion (40). ) Can be accommodated, and the sensor chip (10) can be restrained from being tilted.

また、請求項９に記載の発明のように、センサ搭載部（４０）を、固定部（３０）と繋がっている中間部（６０）と、中間部（６０）を挟んで固定部（３０）と反対側に位置する整流部（７０）とを有して構成し、収容凹部（５０）を中間部（６０）および整流部（７０）に跨って形成し、突出方向と垂直となる部分の断面積を、中間部（６０）のうち収容凹部（５０）より固定部（３０）側に位置する部分より、整流部（７０）のうち収容凹部（５０）より突出方向の先端部側に位置する部分の方を小さくすることができる。 In addition, as in the ninth aspect of the invention, the sensor mounting portion (40) includes the intermediate portion (60) connected to the fixing portion (30) and the fixing portion (30) sandwiching the intermediate portion (60). And a rectifying portion (70) located on the opposite side of the housing, and a housing recess (50) is formed across the intermediate portion (60) and the rectifying portion (70), and is a portion perpendicular to the protruding direction. The cross-sectional area is positioned closer to the distal end side in the protruding direction than the housing recess (50) in the rectifying portion (70) from the portion of the intermediate portion (60) positioned closer to the fixed portion (30) than the housing recess (50). The part to do can be made smaller.

この場合、請求項１０に記載の発明のように、センサチップ（１０）は流量検出部（１０ａ）が収容凹部（５０）のうち整流部（７０）側に位置する状態で収容されていることが好ましい。 In this case, as in the invention according to claim 1 0, the sensor chip (10) is housed in a state where the flow rate detecting unit (10a) is located in the rectification section (70) side of the housing recess (50) It is preferable.

そして、請求項１１に記載の発明のように、整流部（７０）は、収容凹部（５０）が形成される側と反対側の部分に平坦な一面（７２）を備えるものとすることができる。このように、整流部（７０）に平坦な一面（７２）を備えることにより、当該平坦な一面（７２）に治具（８０）を当接させて整流部（７０）を支持しつつ、センサチップ（１０）を収容凹部（５０）に収容することができ、センサチップ（１０）のうち特に流量検出部（１０ａ）が所望の収容予定領域に対してズレることを抑制することができる。 Then, as in the invention of claim 1 1, the rectifying section (70), be made with one side flat on the opposite side of the portion to the side (72) of the housing recess (50) is formed it can. Thus, by providing the flat surface (72) on the rectifying portion (70), the jig (80) is brought into contact with the flat one surface (72) to support the rectifying portion (70), and the sensor. The chip (10) can be housed in the housing recess (50), and in particular, the flow rate detection part (10a) of the sensor chip (10) can be prevented from being displaced from a desired storage area.

また、請求項１２に記載の発明のように、整流部（７０）のうち収容凹部（５０）と対向する部分を平坦な一面（７２）とすることができる。 It is preferable as defined in claim 1 2, the portion facing the housing recess (50) of the rectifying unit (70) can be one side flat (72).

なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in this column and the claim shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

（ａ）は本発明の第１実施形態における流量センサの概略平面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略側面図、（ｃ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic plan view of the flow sensor in 1st Embodiment of this invention, (b) is a schematic side view of the flow sensor shown to (a), (c) is a schematic front view of the flow sensor shown to (a). It is. （ａ）は本発明の第２実施形態における流量センサの概略平面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略側面図、（ｃ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic plan view of the flow sensor in 2nd Embodiment of this invention, (b) is a schematic side view of the flow sensor shown to (a), (c) is a schematic front view of the flow sensor shown to (a). It is. （ａ）は本発明の第３実施形態における流量センサの概略平面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略側面図、（ｃ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic plan view of a flow sensor in the third embodiment of the present invention, (b) is a schematic side view of the flow sensor shown in (a), and (c) is a schematic front view of the flow sensor shown in (a). It is. （ａ）は本発明の第４実施形態における流量センサの概略側面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic side view of the flow sensor in 4th Embodiment of this invention, (b) is a schematic front view of the flow sensor shown to (a). 図１に示すセンサ搭載部の収容凹部にセンサチップを収容する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of accommodating a sensor chip in the accommodation recessed part of the sensor mounting part shown in FIG. 図４に示すセンサ搭載部の収容凹部にセンサチップを収容する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of accommodating a sensor chip in the accommodation recessed part of the sensor mounting part shown in FIG. （ａ）は本発明の第５実施形態における流量センサの概略側面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic side view of the flow sensor in 5th Embodiment of this invention, (b) is a schematic front view of the flow sensor shown to (a). 図７に示すセンサ搭載部にセンサチップを収容する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of accommodating a sensor chip in the sensor mounting part shown in FIG. （ａ）は本発明の第６実施形態における流量センサの概略平面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略側面図、（ｃ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic plan view of a flow sensor according to a sixth embodiment of the present invention, (b) is a schematic side view of the flow sensor shown in (a), and (c) is a schematic front view of the flow sensor shown in (a). It is. （ａ）は本発明の第７実施形態における流量センサの概略平面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略側面図、（ｃ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic plan view of the flow sensor in 7th Embodiment of this invention, (b) is a schematic side view of the flow sensor shown to (a), (c) is a schematic front view of the flow sensor shown to (a). It is. 本発明の第８実施形態におけるセンサ搭載部の収容凹部にセンサチップを収容する工程を示す図である。It is a figure which shows the process of accommodating a sensor chip in the accommodation recessed part of the sensor mounting part in 8th Embodiment of this invention. （ａ）は他の実施形態における流量センサの概略側面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic side view of the flow sensor in other embodiment, (b) is a schematic front view of the flow sensor shown to (a). （ａ）は他の実施形態における流量センサの概略側面図、（ｂ）は（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。(A) is a schematic side view of the flow sensor in other embodiment, (b) is a schematic front view of the flow sensor shown to (a).

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１（ａ）は本実施形態における流量センサの概略平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す流量センサの概略側面図、図１（ｃ）は図１（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、図１（ｃ）の概略正面図とは、図１（ａ）に示すＡ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、本実施形態における流量センサは、例えば、内燃機関の吸気管内に配置され、内燃機関に流入する吸入空気流量を測定するのに利用されると好適である。 (First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described. 1A is a schematic plan view of a flow sensor according to the present embodiment, FIG. 1B is a schematic side view of the flow sensor shown in FIG. 1A, and FIG. 1C is shown in FIG. It is a schematic front view of a flow sensor. In addition, the schematic front view of FIG.1 (c) is a schematic front view when a flow sensor is seen from A direction shown to Fig.1 (a). In addition, the flow rate sensor in the present embodiment is preferably disposed, for example, in an intake pipe of an internal combustion engine and used to measure the flow rate of intake air flowing into the internal combustion engine.

図１に示されるように、流量センサは、内燃機関に流入する吸入空気等の被検出流体に曝される流量検出部１０ａを備えたセンサチップ１０と、センサチップ１０とボンディングワイヤ１１を介して電気的に接続されるターミナル２０を備えた固定部３０と、流量検出部１０ａを露出させた状態でセンサチップ１０を搭載する固定部３０に備えられたセンサ搭載部４０と、を備えた構成とされている。なお、ターミナル２０が本発明の外部接続端子に相当している。 As shown in FIG. 1, the flow rate sensor includes a sensor chip 10 having a flow rate detection unit 10 a that is exposed to a fluid to be detected such as intake air flowing into the internal combustion engine, and a sensor chip 10 and a bonding wire 11. A configuration including a fixing unit 30 including the terminal 20 to be electrically connected, and a sensor mounting unit 40 included in the fixing unit 30 on which the sensor chip 10 is mounted with the flow rate detection unit 10a exposed. Has been. The terminal 20 corresponds to the external connection terminal of the present invention.

センサチップ１０は、特に限定されるものではないが、例えば、シリコン等の矩形板状の半導体基板からなり、半導体基板の表面のうち長手方向の一端部側に発熱素子と感温素子とを有する流量検出部１０ａを備えた一般的なものである。 The sensor chip 10 is not particularly limited. For example, the sensor chip 10 is made of a rectangular plate-like semiconductor substrate such as silicon, and has a heating element and a temperature-sensitive element on one end side in the longitudinal direction on the surface of the semiconductor substrate. It is a general one provided with a flow rate detection unit 10a.

具体的には、半導体基板には、裏面から異方性エッチング等によって形成された薄肉部が形成されており、表面の薄肉部上に一対の発熱素子が形成されている。そして、これら発熱素子は、それぞれ電流の供給量に応じて発熱する機能と、それ自身の抵抗値の変化に基づいて、自身の温度を感知する機能とを有している。したがって、各発熱素子で生じる熱のうち、被検出流体によって奪われた熱に基づいて、被検出流体の流量が測定される。 Specifically, a thin portion formed by anisotropic etching or the like is formed on the semiconductor substrate from the back surface, and a pair of heat generating elements is formed on the thin portion on the surface. Each of the heating elements has a function of generating heat according to the amount of current supplied, and a function of sensing its own temperature based on a change in its own resistance value. Therefore, the flow rate of the fluid to be detected is measured based on the heat deprived by the fluid to be detected among the heat generated in each heating element.

また、感温素子は、半導体基板の表面における薄肉部を除く領域に形成されており、それ自身の抵抗値の変化に基づいて、自身の温度を感知する機能を有している。したがって、発熱素子との温度差に基づいて、各発熱素子に供給される電流量が制御される。 The temperature sensitive element is formed in a region excluding the thin portion on the surface of the semiconductor substrate, and has a function of sensing its own temperature based on a change in its own resistance value. Therefore, the amount of current supplied to each heating element is controlled based on the temperature difference from the heating element.

さらに、センサチップ１０には、半導体基板の表面のうち長手方向の他端部側に、複数のパッド１０ｂが形成されている。そして、各パッド１０ｂは、図示しない配線を介して流量検出部１０ａと電気的に接続されている。 Further, the sensor chip 10 is formed with a plurality of pads 10b on the other end side in the longitudinal direction on the surface of the semiconductor substrate. And each pad 10b is electrically connected with the flow volume detection part 10a via the wiring which is not shown in figure.

固定部３０は、一面３１を有する直方体形状に成形されており、センサチップ１０と電気的に接続される棒状の、例えば、銅、銅、合金や鉄ニッケル合金等で構成されるターミナル２０を複数備えている。このターミナル２０は、一端部がセンサ搭載部４０側から突出すると共に他端部がセンサ搭載部４０と反対側から突出するように、インサート成型されている。なお、特に限定されるものではいないが、これら固定部３０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を型成形して構成される。 The fixing portion 30 is formed in a rectangular parallelepiped shape having one surface 31 and includes a plurality of terminals 20 made of, for example, copper, copper, an alloy, an iron nickel alloy, or the like that is electrically connected to the sensor chip 10. I have. The terminal 20 is insert-molded so that one end portion protrudes from the sensor mounting portion 40 side and the other end portion protrudes from the side opposite to the sensor mounting portion 40. Although not particularly limited, these fixing portions 30 are configured by molding a resin material such as PPS (polyphenylene sulfide), PBT (polybutylene terephthalate), or an epoxy resin.

センサ搭載部４０は、固定部３０から所定方向に突出するように、本実施形態では固定部３０から紙面左方向に突出するように、固定部３０と共に一体成形されている。そして、固定部３０と繋がっている部分と突出方向の先端部との間に、収容凹部５０が形成されており、当該収容凹部５０内に流量検出部１０ａを露出させた状態でセンサチップ１０が収容されている。また、このセンサ搭載部４０は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部５０より固定部３０側に位置する部分より、収容凹部５０より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされている。言い換えると、突出方向と垂直となる断面の外縁全体の長さが、固定部３０と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が短くされている。なお、断面の外縁全体の長さとは、断面の外形を形作る辺の総和の長さである。以下に、本実施形態のセンサ搭載部４０について具体的に説明する。 In this embodiment, the sensor mounting portion 40 is integrally formed with the fixing portion 30 so as to protrude from the fixing portion 30 in a predetermined direction so as to protrude leftward from the fixing portion 30 in the drawing. And the accommodation recessed part 50 is formed between the part connected with the fixing | fixed part 30, and the front-end | tip part of a protrusion direction, and the sensor chip 10 is in the state which exposed the flow volume detection part 10a in the said accommodation recessed part 50. FIG. Contained. In addition, the sensor mounting portion 40 has a cross-sectional area perpendicular to the projecting direction in a portion located on the distal end side in the projecting direction from the housing recess 50 rather than a portion located on the fixed portion 30 side from the housing recess 50. Is smaller. In other words, the length of the entire outer edge of the cross section perpendicular to the protruding direction is shorter at the tip end in the protruding direction than the portion connected to the fixed portion 30. The length of the entire outer edge of the cross section is the total length of the sides that form the outer shape of the cross section. Below, the sensor mounting part 40 of this embodiment is demonstrated concretely.

本実施形態では、センサ搭載部４０は、固定部３０と繋がっている中間部６０と、中間部６０を挟んで固定部３０と反対側に位置する整流部７０とを備えており、収容凹部５０が中間部６０および整流部７０を跨いで形成されている。そして、この収容凹部５０には、具体的には、後述するが、表面が固定部３０の一面３１と平行となるように、センサチップ１０が収容されている。 In the present embodiment, the sensor mounting portion 40 includes an intermediate portion 60 that is connected to the fixing portion 30, and a rectifying portion 70 that is located on the opposite side of the fixing portion 30 across the intermediate portion 60. Is formed across the intermediate portion 60 and the rectifying portion 70. In the housing recess 50, the sensor chip 10 is housed so that the surface thereof is parallel to the one surface 31 of the fixed portion 30, as will be described in detail later.

中間部６０は、固定部３０の一面３１と平行な一面６１を有する直方体形状とされている。そして、図１（ａ）に示されるように、センサチップ１０における表面の法線方向から視たとき、センサチップ１０の表面と平行な方向であって、かつ、突出方向と垂直な方向の長さ（図１（ａ）中紙面上下方向の長さ）、つまり、幅が固定部３０よりも短くされている。また、図１（ｂ）に示されるように、センサチップ１０の平面方向と平行な方向であって、かつ突出方向と垂直な方向から視たとき、センサチップ１０の表面と垂直な方向の長さ（図１（ｂ）中紙面上下方向の長さ）、つまり、厚さが固定部３０よりも薄くされている。 The intermediate portion 60 has a rectangular parallelepiped shape having a surface 61 parallel to the surface 31 of the fixed portion 30. As shown in FIG. 1A, when viewed from the normal direction of the surface of the sensor chip 10, the length in a direction parallel to the surface of the sensor chip 10 and perpendicular to the protruding direction. The length (the length in the vertical direction in FIG. 1A), that is, the width is made shorter than the fixed portion 30. Further, as shown in FIG. 1B, the length in a direction perpendicular to the surface of the sensor chip 10 when viewed from a direction parallel to the planar direction of the sensor chip 10 and perpendicular to the protruding direction. The length (the length in the vertical direction in FIG. 1B), that is, the thickness is made thinner than the fixed portion 30.

整流部７０は、中間部６０と繋がっており、中間部６０の一面６１と平行となる一面７１を有している。そして、図１（ａ）に示されるように、整流部７０の一面７１は、センサチップ１０における表面の法線方向から視たとき、センサチップ１０の表面と平行な方向であって、かつ、突出方向と垂直な方向の長さ（以下、単に幅という）が、中間部６０と繋がっている部分の方が突出方向の先端部より長くされている。具体的には、本実施形態では、整流部７０の一面７１は、中間部６０と繋がっている部分から先端部に向かって、幅が短くなる台形形状とされている。さらに、整流部７０のうち中間部６０と繋がっている部分の幅は、中間部６０の幅よりも短くされている。 The rectifying unit 70 is connected to the intermediate unit 60 and has a surface 71 that is parallel to the surface 61 of the intermediate unit 60. As shown in FIG. 1A, one surface 71 of the rectifying unit 70 is a direction parallel to the surface of the sensor chip 10 when viewed from the normal direction of the surface of the sensor chip 10, and The length in the direction perpendicular to the protruding direction (hereinafter simply referred to as the width) is longer at the portion connected to the intermediate portion 60 than at the tip in the protruding direction. Specifically, in the present embodiment, the one surface 71 of the rectifying unit 70 has a trapezoidal shape with a width that decreases from a portion connected to the intermediate unit 60 toward the tip. Furthermore, the width of the portion connected to the intermediate portion 60 in the rectifying portion 70 is shorter than the width of the intermediate portion 60.

また、整流部７０は、図１（ｂ）に示されるように、センサチップ１０の平面方向と平行な方向であって、かつ突出方向と垂直な方向から視たとき、センサチップ１０の表面と垂直な方向の長さ（以下、単に厚さという）が、中間部６０と繋がっている部分の方が突出方向の先端部より厚くされている。本実施形態では、収容凹部５０より先端部側の部分が突出方向の先端に向かって厚さが次第に薄くなる形状とされている。また、整流部７０のうち中間部６０と繋がっている部分の厚さは、中間部６０の厚さよりも薄くされている。 Further, as shown in FIG. 1B, the rectifying unit 70 has a surface parallel to the planar direction of the sensor chip 10 and the surface of the sensor chip 10 when viewed from a direction perpendicular to the protruding direction. The length in the vertical direction (hereinafter simply referred to as thickness) is thicker at the portion connected to the intermediate portion 60 than at the tip portion in the protruding direction. In the present embodiment, the portion closer to the distal end than the accommodating recess 50 is shaped so that the thickness gradually decreases toward the distal end in the protruding direction. Further, the thickness of the portion connected to the intermediate portion 60 in the rectifying portion 70 is made thinner than the thickness of the intermediate portion 60.

さらに、整流部７０は、図１（ｃ）に示されるように、突出方向の先端部側から視たとき、半楕円形状とされている。つまり、本実施形態の整流部７０は、突出方向に向かって径が小さくなると共に一面７１を有する半楕円錐形状とされている。言い換えると、収容凹部５０が形成されていない部分の断面が半楕円形状とされている。なお、図１（ｃ）では、ターミナル２０を省略して示してある。 Furthermore, as shown in FIG. 1C, the rectifying unit 70 has a semi-elliptical shape when viewed from the front end side in the protruding direction. That is, the rectifying unit 70 of the present embodiment has a semi-elliptical pyramid shape having a surface 71 with a diameter decreasing in the protruding direction. In other words, the cross section of the portion where the accommodation recess 50 is not formed is a semi-elliptical shape. In FIG. 1C, the terminal 20 is omitted.

また、中間部６０および整流部７０に形成される収容凹部５０は、センサチップ１０の外形より僅かに大きく、底面が矩形状とされていると共に一面３１、６１、７１と平行とされている。そして、この収容凹部５０に接着シート等を介して、流量検出部１０ａが被検出流体に曝されるようにセンサチップ１０が収容されている。 The accommodating recess 50 formed in the intermediate portion 60 and the rectifying portion 70 is slightly larger than the outer shape of the sensor chip 10, has a rectangular bottom surface, and is parallel to the one surface 31, 61, 71. The sensor chip 10 is housed in the housing recess 50 so that the flow rate detection unit 10a is exposed to the fluid to be detected via an adhesive sheet or the like.

具体的には、上記のようにセンサチップ１０は、長手方向の一端部側に流量検出部１０ａが形成され、長手方向の他端部側にパッド１０ｂが形成されている。このため、センサチップ１０は、収容凹部５０のうち、整流部７０側に流量検出部１０ａが位置すると共に中間部６０側にパッド１０ｂが位置し、整流部７０の一面７１とセンサチップ１０の表面とが一致するように収容凹部５０に収容されている。これにより、整流部７０の一面７１に沿って被検出流体が整流され、流量検出部１０ａにて整流された被検出流体が測定されることになる。 Specifically, as described above, the sensor chip 10 has the flow rate detection unit 10a formed on one end side in the longitudinal direction and the pad 10b formed on the other end side in the longitudinal direction. Therefore, in the sensor chip 10, the flow rate detecting unit 10 a is positioned on the rectifying unit 70 side and the pad 10 b is positioned on the intermediate unit 60 side in the housing recess 50, and the one surface 71 of the rectifying unit 70 and the surface of the sensor chip 10 Are accommodated in the accommodating recess 50 so as to match. As a result, the detected fluid is rectified along one surface 71 of the rectifying unit 70, and the detected fluid rectified by the flow rate detecting unit 10a is measured.

なお、本明細書において、流量検出部１０ａが被検出流体に曝されるとは、整流部７０の一面７１とセンサチップ１０の表面とが一致するようにセンサチップ１０が収容凹部５０に収容されている場合に加えて、センサチップ１０の表面が整流部７０の一面７１から突出するように収容されている場合や、センサチップ１０の表面が収容凹部５０内に位置するように収容されている場合も含むものである。すなわち、本実施形態では、センサチップ１０は、整流部７０の一面７１とセンサチップ１０の表面とが一致するように収容凹部５０に収容されているが、例えば、センサチップ１０の表面が収容凹部５０内に位置するように収容されていてもよい。 In the present specification, when the flow rate detection unit 10a is exposed to the fluid to be detected, the sensor chip 10 is accommodated in the accommodation recess 50 so that the one surface 71 of the rectification unit 70 and the surface of the sensor chip 10 coincide. In addition to the case where the surface of the sensor chip 10 is accommodated so as to protrude from the one surface 71 of the rectifying unit 70, or the surface of the sensor chip 10 is accommodated so as to be positioned in the accommodating recess 50. Including cases. That is, in the present embodiment, the sensor chip 10 is housed in the housing recess 50 so that the one surface 71 of the rectifying unit 70 and the surface of the sensor chip 10 coincide with each other. It may be accommodated so as to be located within 50.

また、固定部３０に備えられたターミナル２０の一端部はセンサ搭載部４０側から突出しているが、具体的には、当該一端部は中間部６０の一面６１から露出するように、固定部３０にインサート成型されている。そして、ターミナル２０は、中間部６０から露出している一端部側において、アルミニウム等のボンディングワイヤ１１を介してセンサチップ１０に備えられたパッド１０ｂと電気的に接続されている。なお、中間部６０と反対側から突出している他端部は、外部機器と電気的に接続されるようになっている。また、図示していないが、ボンディングワイヤを含むパッド１０ｂとターミナル２０との接続部分は、樹脂等にて被覆されている。 Further, one end portion of the terminal 20 provided in the fixing portion 30 protrudes from the sensor mounting portion 40 side, but specifically, the fixing portion 30 so that the one end portion is exposed from the one surface 61 of the intermediate portion 60. It is insert molded. The terminal 20 is electrically connected to a pad 10b provided on the sensor chip 10 via a bonding wire 11 such as aluminum on one end side exposed from the intermediate portion 60. Note that the other end protruding from the side opposite to the intermediate portion 60 is electrically connected to an external device. Although not shown, the connection portion between the pad 10b including the bonding wire and the terminal 20 is covered with a resin or the like.

以上説明したように、本実施形態の流量センサは、センサ搭載部４０が、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部５０より固定部３０側に位置する部分より、収容凹部５０より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされている。具体的には、整流部７０は、幅が、中間部６０と繋がっている部分の方が突出方向の先端部より長くされており、さらに中間部６０より中間部６０と繋がっている部分の方が短くされている。また、厚さが、中間部６０と繋がっている部分の方が突出方向の先端部より厚くされており、さらに中間部６０より中間部６０と繋がっている部分の方が薄くされている。このため、突出方向と垂直となる断面積が収容凹部５０より固定部３０側に位置する部分と収容凹部５０より突出方向の先端部側に位置する部分とで等しい矩形板状のセンサ搭載部を有する従来の流量センサと比較すると、固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部までの長さが等しい場合、共振点を高くすることができ、吸気管等の被取付部材が振動したときに、センサ搭載部４０が振動することを抑制することができる。このため、検出精度が低下したり、センサ搭載部４０が破壊されたりすることを抑制することができる。 As described above, in the flow rate sensor of the present embodiment, the sensor mounting portion 40 has a cross-sectional area perpendicular to the projecting direction from the portion where the cross-sectional area is located closer to the fixed portion 30 than the housing concave portion 50. The portion located on the tip end side in the protruding direction is made smaller. Specifically, in the rectifying unit 70, the width of the portion connected to the intermediate portion 60 is longer than the tip portion in the protruding direction, and the portion connected to the intermediate portion 60 is further connected to the intermediate portion 60. Has been shortened. Further, the thickness of the portion connected to the intermediate portion 60 is made thicker than the tip portion in the protruding direction, and the portion connected to the intermediate portion 60 is made thinner than the intermediate portion 60. For this reason, a rectangular plate-shaped sensor mounting portion in which the cross-sectional area perpendicular to the protruding direction is the same for the portion located on the fixed portion 30 side from the housing recess 50 and the portion located on the tip end side in the projecting direction from the housing recess 50 is provided. Compared with the conventional flow rate sensor having, when the length from the portion connected to the fixed portion 30 to the tip portion in the protruding direction is equal, the resonance point can be increased, and the attached member such as the intake pipe vibrates. Sometimes, vibration of the sensor mounting portion 40 can be suppressed. For this reason, it can suppress that detection accuracy falls or the sensor mounting part 40 is destroyed.

また、このような流量センサは、通常、図１（ａ）に示されるように、被検出流体の流れ方向と、整流部７０の突出方向とが垂直となり、かつ被検出流体の流れ方向とセンサチップ１０の表面とが平行となる状態で吸気管に固定されて被検出流体の流量を測定するのに利用される。そして、本実施形態では、整流部７０は半楕円錐形状とされているため、被検出流体は、整流部７０に衝突した後、整流部７０の一面７１上に流れると共に、一面７１のうち流れ方向の上流側に位置すると共に流れ方向と非垂直である端辺に沿って突出方向の先端部側に流れたり、半楕円形状を構成する壁面に沿って一面７１と反対側に流れたりする。すなわち、センサ搭載部が矩形板状とされている流量センサと比較すると、整流部７０のうち被検出流体が衝突する部分に異物が堆積することを抑制することができる。このため、一面７１上に異物によって乱流が発生することを抑制することができ、検出精度が低下することを抑制することができる。 In addition, as shown in FIG. 1 (a), such a flow sensor is usually such that the flow direction of the fluid to be detected is perpendicular to the protruding direction of the rectifying unit 70, and the flow direction of the fluid to be detected and the sensor It is fixed to the intake pipe in a state in which the surface of the chip 10 is parallel to be used for measuring the flow rate of the fluid to be detected. And in this embodiment, since the rectification | straightening part 70 is made into the semi-elliptical cone shape, after detecting the fluid to collide with the rectification | straightening part 70, while flowing on the one surface 71 of the rectification | straightening part 70, it flows out of the one surface 71 It flows on the upstream side in the direction and flows along the edge that is non-perpendicular to the flow direction toward the tip in the protruding direction, or flows on the opposite side of the surface 71 along the wall surface forming the semi-elliptical shape. That is, as compared with a flow rate sensor in which the sensor mounting portion has a rectangular plate shape, it is possible to suppress foreign matter from accumulating in the portion of the rectifying unit 70 where the detected fluid collides. For this reason, generation | occurrence | production of a turbulent flow by the foreign material on the one surface 71 can be suppressed, and it can suppress that detection accuracy falls.

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部７０の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図２（ａ）は本実施形態における流量センサの概略平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）に示す流量センサの概略側面図、図２（ｃ）は図２（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、図２（ｃ）の概略正面図とは、図２（ａ）に示すＢ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図２（ｃ）では、ターミナル２０を省略して示してある。 (Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described. The flow sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the rectifying unit 70, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. 2A is a schematic plan view of the flow sensor in the present embodiment, FIG. 2B is a schematic side view of the flow sensor shown in FIG. 2A, and FIG. 2C is shown in FIG. It is a schematic front view of a flow sensor. In addition, the schematic front view of FIG.2 (c) is a schematic front view when a flow sensor is seen from the B direction shown to Fig.2 (a). In FIG. 2C, the terminal 20 is omitted.

図２に示されるように、本実施形態では、整流部７０は、固定部３０から突出方向に向かって延びる楕円錐形状とされている。すなわち、本実施形態の整流部７０は、上記第１実施形態と比較して一面７１を有しておらず、収容凹部５０が形成されていない部分の断面が楕円形状とされている。このような流量センサとしても、センサ搭載部４０は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部５０より固定部３０側に位置する部分より、収容凹部５０より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくなるため、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。 As shown in FIG. 2, in the present embodiment, the rectifying unit 70 has an elliptical cone shape extending from the fixed unit 30 in the protruding direction. That is, the rectifying unit 70 of the present embodiment does not have the one surface 71 as compared with the first embodiment, and the cross section of the portion where the accommodating recess 50 is not formed is an elliptical shape. Even in such a flow rate sensor, the sensor mounting portion 40 has a cross-sectional area perpendicular to the projecting direction, the front end side in the projecting direction from the housing recess 50 than the portion positioned on the fixing unit 30 side from the housing recess 50. Since the portion located at is smaller, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部７０の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図３（ａ）は本実施形態における流量センサの概略平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す流量センサの概略側面図、図３（ｃ）は図３（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、図３（ｃ）の概略正面図とは、図３（ａ）に示すＣ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図３（ｃ）では、ターミナル２０を省略して示してある。 (Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described. The flow sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the rectifying unit 70, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. 3A is a schematic plan view of the flow sensor in the present embodiment, FIG. 3B is a schematic side view of the flow sensor shown in FIG. 3A, and FIG. 3C is shown in FIG. It is a schematic front view of a flow sensor. In addition, the schematic front view of FIG.3 (c) is a schematic front view when a flow sensor is seen from the C direction shown to Fig.3 (a). In FIG. 3C, the terminal 20 is omitted.

図３に示されるように、本実施形態では、整流部７０は、固定部３０から突出方向に向かって延びる円錐形状とされている。すなわち、本実施形態の整流部７０は、収容凹部５０が形成されていない部分の断面が真円形状とされている。また、整流部７０は、固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とされている。このような流量センサとしても、センサ搭載部４０は、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部５０より固定部３０側に位置する部分より、収容凹部５０より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくなるため、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。 As shown in FIG. 3, in the present embodiment, the rectifying unit 70 has a conical shape extending from the fixed unit 30 in the protruding direction. That is, in the rectifying unit 70 of the present embodiment, the cross section of the portion where the housing recess 50 is not formed is a perfect circle. Further, the rectifying unit 70 has a shape in which the thickness gradually decreases from the portion connected to the fixed unit 30 toward the tip in the protruding direction. Even in such a flow rate sensor, the sensor mounting portion 40 has a cross-sectional area perpendicular to the projecting direction, the front end side in the projecting direction from the housing recess 50 than the portion positioned on the fixing unit 30 side from the housing recess 50. Since the portion located at is smaller, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部７０の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図４（ａ）は本実施形態における流量センサの概略側面図、図４（ｂ）は図４（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、本実施形態における流量センサの概略平面図は図１（ａ）と同様であり、図４（ｂ）の概略正面図とは、図１（ａ）に示すＡ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図４（ｂ）では、ターミナル２０を省略して示してある。 (Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described. The flow sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the rectifying unit 70, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. 4A is a schematic side view of the flow sensor in the present embodiment, and FIG. 4B is a schematic front view of the flow sensor shown in FIG. 4A. The schematic plan view of the flow sensor in the present embodiment is the same as FIG. 1A, and the schematic front view of FIG. 4B is a view of the flow sensor from the direction A shown in FIG. It is a schematic front view at the time. In FIG. 4B, the terminal 20 is omitted.

図４に示されるように、本実施形態では、整流部７０は一面７１と反対側の部分に平坦な一面７２を有している。具体的には、整流部７０は収容凹部５０と対向する部分が平坦な一面７２とされており、この一面７２は中間部６０と繋がっている部分から先端部まで延設されている。また、この一面７２は、一面７１と平行とされている。 As shown in FIG. 4, in this embodiment, the rectifying unit 70 has a flat surface 72 on the opposite side of the surface 71. Specifically, the rectifying unit 70 has a flat surface 72 at a portion facing the accommodation recess 50, and the one surface 72 extends from a portion connected to the intermediate portion 60 to the tip portion. The one surface 72 is parallel to the one surface 71.

このような流量センサによれば、収容凹部５０にセンサチップ１０を収容する際に、センサチップ１０の組み付け性を向上させることができる。 According to such a flow rate sensor, when the sensor chip 10 is accommodated in the accommodating recess 50, the assembling property of the sensor chip 10 can be improved.

すなわち、流量センサは、ターミナル２０が治具にて挟持されると共に整流部７０のうち収容凹部５０が形成される側と反対側の部分に別の治具を当接させた状態で、センサチップ１０が収容凹部５０に収容されて製造される。整流部７０に治具を当接させるのは、センサチップ１０のうちの流量検出部１０ａが所望の収容予定領域に対してズレることを抑制するためである。 That is, the flow sensor is a sensor chip in a state in which another jig is brought into contact with a portion of the rectifying unit 70 opposite to the side where the housing recess 50 is formed while the terminal 20 is held by the jig. 10 is housed in the housing recess 50 and manufactured. The reason why the jig is brought into contact with the rectifying unit 70 is to prevent the flow rate detection unit 10a of the sensor chip 10 from being displaced from a desired storage area.

しかしながら、上記第１実施形態では、次の問題が発生する可能性がある。図５は、図１（ａ）に示すセンサ搭載部４０の収容凹部５０にセンサチップ１０を収容する工程を示す図である。なお、図５は、センサ搭載部４０の概略正面図であり、中間部６０を省略して示してある。 However, in the first embodiment, the following problem may occur. FIG. 5 is a diagram illustrating a process of housing the sensor chip 10 in the housing recess 50 of the sensor mounting unit 40 illustrated in FIG. FIG. 5 is a schematic front view of the sensor mounting portion 40, with the intermediate portion 60 omitted.

図１（ｃ）および図５に示されるように、整流部７０は突出方向の先端部側から視たとき、半楕円形状とされており、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分、つまり一面７１と反対側の部分が曲面となっている。このため、整流部７０の一面７１側と反対側の部分に治具８０を当接させた際、治具８０の先端面８１は平坦とされているため、整流部７０と治具８０とが辺接触となり、ターミナル２０を挟持しているものの、図５中の矢印の方向に整流部７０がぐらついてしまうことがある。そして、この状態で収容凹部５０にセンサチップ１０を収容すると、整流部７０の一面７１に対してセンサチップ１０が傾いてしまい、流量検出部１０ａが所望の収容予定領域に対してズレてしまって検出精度が低下してしまう。 As shown in FIG. 1C and FIG. 5, the rectifying unit 70 has a semi-elliptical shape when viewed from the front end side in the protruding direction, and is a portion on the opposite side to the side on which the housing recess 50 is formed. That is, the part on the opposite side to the one surface 71 is a curved surface. For this reason, when the jig 80 is brought into contact with the portion of the rectifying unit 70 opposite to the one surface 71 side, the tip surface 81 of the jig 80 is flat, so that the rectifying unit 70 and the jig 80 are Although it becomes a side contact and the terminal 20 is clamped, the rectification | straightening part 70 may wobble in the direction of the arrow in FIG. When the sensor chip 10 is housed in the housing recess 50 in this state, the sensor chip 10 is inclined with respect to the one surface 71 of the rectifying unit 70, and the flow rate detection unit 10 a is displaced from the desired storage area. Detection accuracy is reduced.

これに対し、本実施形態では、整流部７０は収容凹部５０が形成される側と反対側に平坦な一面７２を有しているため、収容凹部５０にセンサチップ１０を収容する際に、整流部７０がぐらつくことを抑制することができる。図６は、本実施形態におけるセンサ搭載部４０の収容凹部５０にセンサチップ１０を収容する工程を示す図である。なお、図６は、センサ搭載部４０の概略正面図であり、中間部６０を省略して示してある。 On the other hand, in this embodiment, since the rectification part 70 has the flat one surface 72 on the opposite side to the side in which the accommodation recessed part 50 is formed, it rectifies | straightens when accommodating the sensor chip 10 in the accommodation recessed part 50. It is possible to prevent the portion 70 from wobbling. FIG. 6 is a diagram illustrating a process of housing the sensor chip 10 in the housing recess 50 of the sensor mounting portion 40 in the present embodiment. FIG. 6 is a schematic front view of the sensor mounting portion 40, and the intermediate portion 60 is omitted.

図４（ｃ）および図６に示されるように、収容凹部５０にセンサチップ１０を収容する際、治具８０の先端面８１を整流部７０の平坦な一面７２に当接させて整流部７０を支持する。この場合、整流部７０と治具８０とが面接触となり、整流部７０がぐらつくことを抑制することができる。このため、収容凹部５０にセンサチップ１０を収容する際に、センサチップ１０が整流部７０の一面７１に対して傾くことを抑制することができ、流量検出部１０ａが所望の収容予定領域に対してズレることを抑制することができる。したがって、検出精度が低下することを抑制することができる。 As shown in FIG. 4C and FIG. 6, when the sensor chip 10 is accommodated in the accommodation recess 50, the tip surface 81 of the jig 80 is brought into contact with the flat one surface 72 of the rectification unit 70 to make the rectification unit 70. Support. In this case, the rectifying unit 70 and the jig 80 are in surface contact, and the rectifying unit 70 can be prevented from wobbling. For this reason, when the sensor chip 10 is accommodated in the accommodating recess 50, the sensor chip 10 can be prevented from being inclined with respect to the one surface 71 of the rectifying unit 70, and the flow rate detection unit 10a can be controlled with respect to a desired storage area. Can be prevented from shifting. Therefore, it can suppress that detection accuracy falls.

さらに、平坦な一面７２は、上記第１実施形態における整流部７０のうち、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分を無くすことによって形成される。すなわち、本実施形態の整流部７０は、上記第１実施形態の整流部７０と比較して重量が小さくなるため、さらに共振点を高くすることができる。 Further, the flat one surface 72 is formed by eliminating a portion of the rectifying unit 70 in the first embodiment on the side opposite to the side on which the housing recess 50 is formed. That is, since the weight of the rectifying unit 70 of this embodiment is smaller than that of the rectifying unit 70 of the first embodiment, the resonance point can be further increased.

（第５実施形態）
本発明の第５実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部７０の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図７（ａ）は本実施形態における流量センサの概略側面図、図７（ｂ）は図７（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、本実施形態における流量センサの概略平面図は図１（ａ）と同様であり、図７（ｂ）の概略正面図とは、図１（ａ）に示すＡ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図７（ｂ）では、ターミナル２０を省略して示してある。 (Fifth embodiment)
A fifth embodiment of the present invention will be described. The flow sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the rectifying unit 70, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. FIG. 7A is a schematic side view of the flow sensor in the present embodiment, and FIG. 7B is a schematic front view of the flow sensor shown in FIG. The schematic plan view of the flow sensor in the present embodiment is the same as FIG. 1A, and the schematic front view of FIG. 7B is a view of the flow sensor from the direction A shown in FIG. It is a schematic front view at the time. In FIG. 7B, the terminal 20 is omitted.

図７に示されるように、本実施形態では、整流部７０は、一面７１と反対側の部分のうち、収容凹部５０と対向する部分と異なる部分に平坦な一面７２を二箇所備えている。具体的には、これら平坦な一面７２は、整流部７０のうち突出方向と平行な方向であって一面７１と垂直となり、一面７１を二等分する基準平面に対して対称に備えられており、それぞれ中間部６０と繋がっている部分から先端部まで延設されている。また、これら一面７２はそれぞれ一面７１と平行とされている。このような流量センサとしても、上記第４実施形態のように、センサチップ１０を収容凹部５０に収容する際に、組み付け性を向上させることができる。 As shown in FIG. 7, in the present embodiment, the rectifying unit 70 includes two flat one surfaces 72 in a portion different from the portion facing the receiving recess 50 in the portion opposite to the one surface 71. Specifically, these flat one surfaces 72 are provided in a symmetric manner with respect to a reference plane that bisects the one surface 71 in a direction parallel to the protruding direction of the rectifying unit 70 and perpendicular to the one surface 71. These are extended from the portion connected to the intermediate portion 60 to the tip portion. The one surface 72 is parallel to the one surface 71. Even in such a flow rate sensor, when the sensor chip 10 is accommodated in the accommodating recess 50 as in the fourth embodiment, it is possible to improve the assembling property.

図８は、本実施形態におけるセンサ搭載部４０にセンサチップ１０を収容する工程を示す図である。なお、図８は、センサ搭載部４０の概略正面図であり、中間部６０を省略して示してある。 FIG. 8 is a diagram illustrating a process of housing the sensor chip 10 in the sensor mounting portion 40 in the present embodiment. FIG. 8 is a schematic front view of the sensor mounting portion 40, and the intermediate portion 60 is omitted.

図８に示されるように、本実施形態では、二つの突出部８２を有し、突出部８２の先端面８１がそれぞれ平坦とされている断面が略コ状の治具８０を用意する。なお、この治具８０では、突出部８２は紙面奥行き方向にそれぞれ延設されている。そして、各突出部８２の先端面８１をそれぞれ整流部７０の平坦な一面７２に当接させて整流部７０を支持する。これによって、整流部７０と治具８０とが面接触となり、整流部７０がぐらつくことを抑制することができる。したがって、センサチップ１０が整流部７０の一面７１に対して傾くことを抑制することができ、検出精度が低下することを抑制することができる。 As shown in FIG. 8, in this embodiment, a jig 80 having two protrusions 82 and having a substantially U-shaped cross section in which the front end surface 81 of each protrusion 82 is flat is prepared. In this jig 80, the protrusions 82 are respectively extended in the depth direction of the drawing. And the front end surface 81 of each protrusion part 82 is contact | abutted to the flat one surface 72 of the rectification | straightening part 70, respectively, and the rectification | straightening part 70 is supported. Thereby, the rectifying unit 70 and the jig 80 are brought into surface contact, and the rectifying unit 70 can be prevented from wobbling. Therefore, the sensor chip 10 can be prevented from being inclined with respect to the one surface 71 of the rectifying unit 70, and the detection accuracy can be prevented from being lowered.

（第６実施形態）
本発明の第６実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部７０の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図９（ａ）は本実施形態における流量センサの概略平面図、図９（ｂ）は図９（ａ）に示す流量センサの概略側面図、図９（ｃ）は図９（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、図９（ｃ）の概略正面図とは、図９（ａ）に示すＤ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図９（ｃ）では、ターミナル２０を省略して示してある。 (Sixth embodiment)
A sixth embodiment of the present invention will be described. The flow sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the rectifying unit 70, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. 9A is a schematic plan view of the flow sensor in the present embodiment, FIG. 9B is a schematic side view of the flow sensor shown in FIG. 9A, and FIG. 9C is FIG. 9A. It is a schematic front view of a flow sensor. In addition, the schematic front view of FIG.9 (c) is a schematic front view when a flow sensor is seen from the D direction shown to Fig.9 (a). In FIG. 9C, the terminal 20 is omitted.

図９に示されるように、本実施形態では、センサ搭載部４０は、整流部７０のみを用いて構成されている。具体的には、上記第１実施形態と比較して、整流部７０は固定部３０と繋がっており、整流部７０と固定部３０との間に中間部６０が配置されていない構成とされている。 As shown in FIG. 9, in this embodiment, the sensor mounting unit 40 is configured using only the rectifying unit 70. Specifically, as compared with the first embodiment, the rectifying unit 70 is connected to the fixed unit 30, and the intermediate unit 60 is not disposed between the rectifying unit 70 and the fixed unit 30. Yes.

そして、整流部７０は、図９（ａ）に示されるように、幅が突出方向に向かって一定とされており、図９（ｂ）に示されるように、厚さが中間部６０と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が薄くされている。具体的には、上記第１実施形態と同様に、収容凹部５０より突出方向の先端部側の部分が突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とされている。また、整流部７０は、図９（ｃ）に示されるように、突出方向の先端部側から視たとき、長方形状とされている。言い換えると、収容凹部５０が形成されていない部分において、突出方向と垂直となる断面が長方形状とされている。つまり、整流部７０は、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分において、収容凹部５０より突出方向の先端部側の部分を除く部分が平坦な一面とされており、この一面は一面７１と平行とされている。 The rectifying unit 70 has a constant width in the protruding direction as shown in FIG. 9A, and the thickness is connected to the intermediate unit 60 as shown in FIG. 9B. The tip in the protruding direction is made thinner than the portion where it is located. Specifically, as in the first embodiment, the portion on the distal end side in the projecting direction from the housing recess 50 has a shape in which the thickness gradually decreases toward the distal end in the projecting direction. Moreover, the rectification | straightening part 70 is made into the rectangular shape when it sees from the front-end | tip part side of a protrusion direction, as FIG.9 (c) shows. In other words, the cross section perpendicular to the protruding direction is rectangular in the portion where the housing recess 50 is not formed. In other words, the rectifying unit 70 has a flat surface in a portion on the opposite side to the side where the housing recess 50 is formed, except for the portion on the tip end side in the protruding direction from the housing recess 50. 71 and parallel.

このような流量センサとしても、センサ搭載部４０は、厚さが中間部６０と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が薄くされており、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部５０より固定部３０側に位置する部分より、収容凹部５０より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくなるため、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。 Even in such a flow sensor, the sensor mounting portion 40 has a thickness that is thinner at the tip end in the protruding direction than the portion connected to the intermediate portion 60, and has a cross-sectional area perpendicular to the protruding direction. Since the portion located on the distal end side in the protruding direction from the housing recess 50 is smaller than the portion located on the fixed portion 30 side from the housing recess 50, the same effect as in the first embodiment can be obtained. .

また、このような流量センサでは、整流部７０は、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分において、収容凹部５０より突出方向の先端部側の部分を除く部分が平坦な一面とされている。このため、上記第４実施形態と同様に、当該平坦な一面に治具８０を当接させて整流部７０を支持しつつセンサチップ１０を収容することにより、センサチップ１０の組み付け性を向上させることができる。 In such a flow rate sensor, the rectifying unit 70 has a flat surface in a portion opposite to the side where the housing recess 50 is formed, except for the portion on the tip end side in the protruding direction from the housing recess 50. ing. For this reason, the assembly property of the sensor chip 10 is improved by housing the sensor chip 10 while supporting the rectifying unit 70 by bringing the jig 80 into contact with the flat surface as in the fourth embodiment. be able to.

（第７実施形態）
本発明の第７実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部７０の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図１０（ａ）は本実施形態における流量センサの概略平面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）に示す流量センサの概略側面図、図１０（ｃ）は図１０（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、図１０（ｃ）の概略正面図とは、図１０（ａ）に示すＥ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図１０（ｃ）では、ターミナル２０を省略して示してある。 (Seventh embodiment)
A seventh embodiment of the present invention will be described. The flow sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the rectifying unit 70, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. FIG. 10A is a schematic plan view of the flow sensor in the present embodiment, FIG. 10B is a schematic side view of the flow sensor shown in FIG. 10A, and FIG. 10C is FIG. It is a schematic front view of the flow sensor shown in FIG. In addition, the schematic front view of FIG.10 (c) is a schematic front view when a flow sensor is seen from the E direction shown to Fig.10 (a). In FIG. 10C, the terminal 20 is omitted.

図１０に示されるように、本実施形態では、センサ搭載部４０は、整流部７０のみを用いて構成されている。具体的には、上記第１実施形態と比較して、整流部７０は固定部３０と繋がっており、整流部７０と固定部３０との間に中間部６０が配置されていない構成とされている。 As shown in FIG. 10, in this embodiment, the sensor mounting unit 40 is configured using only the rectifying unit 70. Specifically, as compared with the first embodiment, the rectifying unit 70 is connected to the fixed unit 30, and the intermediate unit 60 is not disposed between the rectifying unit 70 and the fixed unit 30. Yes.

そして、整流部７０は、図１０（ａ）に示されるように、幅が固定部３０と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が短くされている。具体的には、整流部７０の幅は、固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって、収容凹部５０が形成される途中部分まで一定とされており、当該途中部分から突出方向の先端部に向かって幅が短くなっていく形状とされている。なお、この途中部分とは、上記第１実施形態における中間部６０と整流部７０とが繋がっている部分とほぼ同じ部分である。また、整流部７０は、厚さが固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって一定とされている。そして、図１０（ｃ）に示されるように、突出方向の先端部側から視たとき、長方形状とされている。言い換えると、収容凹部５０が形成されていない部分において、突出方向と垂直となる断面が長方形状とされている。つまり、整流部７０は、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分が平坦な一面７２とされており、この一面は一面７１と平行とされている。 And as for the rectification | straightening part 70, the front-end | tip part of the protrusion direction is shortened rather than the part connected with the fixing | fixed part 30 as FIG. 10 (a) shows. Specifically, the width of the rectifying unit 70 is constant from the part connected to the fixed part 30 to the middle part where the accommodation concave part 50 is formed toward the tip part in the protruding direction, and from the middle part. The width becomes shorter toward the tip in the protruding direction. The intermediate part is substantially the same as the part where the intermediate part 60 and the rectifying part 70 are connected in the first embodiment. Further, the rectifying unit 70 has a constant thickness from the portion connected to the fixed unit 30 toward the tip in the protruding direction. And as shown in FIG.10 (c), when it sees from the front-end | tip part side of a protrusion direction, it is set as the rectangular shape. In other words, the cross section perpendicular to the protruding direction is rectangular in the portion where the housing recess 50 is not formed. That is, the rectifying unit 70 has a flat surface 72 on the side opposite to the side where the housing recess 50 is formed, and the one surface is parallel to the one surface 71.

このような流量センサとしても、センサ搭載部４０は、幅が固定部３０と繋がっている部分より突出方向の先端部の方が短くされており、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部５０より固定部３０側に位置する部分より、収容凹部５０より突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくなるため、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。 Even in such a flow rate sensor, the sensor mounting portion 40 has a width that is shorter at the tip end in the protruding direction than the portion connected to the fixed portion 30, and the cross-sectional area of the cross section perpendicular to the protruding direction is Since the portion located on the distal end side in the protruding direction from the housing recess 50 is smaller than the portion located on the fixed portion 30 side from the housing recess 50, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

また、このような流量センサでは、整流部７０は、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分が平坦な一面とされている。このため、上記第４実施形態と同様に、当該平坦な一面に治具８０を当接させて整流部７０を支持しつつセンサチップ１０を収容することにより、センサチップ１０の組み付け性を向上させることができる。 Further, in such a flow sensor, the rectifying unit 70 has a flat surface on the side opposite to the side where the housing recess 50 is formed. For this reason, the assembly property of the sensor chip 10 is improved by housing the sensor chip 10 while supporting the rectifying unit 70 by bringing the jig 80 into contact with the flat surface as in the fourth embodiment. be able to.

（第８実施形態）
本発明の第８実施形態について説明する。本実施形態は、整流部７０の支持の仕方を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図１１は、本実施形態におけるセンサ搭載部４０にセンサチップ１０を収容する工程を示す図である。なお、図１１は、センサ搭載部４０の概略正面図であり、中間部６０を省略して示してある。 (Eighth embodiment)
An eighth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the method of supporting the rectifying unit 70 is changed, and the other aspects are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here. FIG. 11 is a diagram illustrating a process of housing the sensor chip 10 in the sensor mounting portion 40 in the present embodiment. FIG. 11 is a schematic front view of the sensor mounting portion 40, and the intermediate portion 60 is omitted.

図１１に示されるように、整流部７０は、上記第１実施形態と同様に、突出方向の先端部側から視たとき、半楕円形状とされている。すなわち、整流部７０は、収容凹部５０が形成される側と反対側が曲面とされている。 As shown in FIG. 11, the rectifying unit 70 has a semi-elliptical shape when viewed from the front end side in the protruding direction, as in the first embodiment. That is, the rectifying unit 70 has a curved surface on the side opposite to the side on which the housing recess 50 is formed.

そして、本実施形態では、このような整流部７０に対して、上記第５実施形態と同様に、二つの突出部８２を有し、突出部８２の先端面８１がそれぞれ平坦とされていると共に断面が略コ状となる治具８０を用意し、この治具８０の突出部８２をそれぞれ整流部７０の曲面に当接させて整流部７０を支持している。具体的には、整流部７０における治具８０との接触箇所が、突出方向と平行な方向であって一面７１と垂直となり、一面７１を二等分する基準平面に対して対称となるように、治具８０の突出部８２を整流部７０に当接させている。 And in this embodiment, with respect to such a rectification | straightening part 70, it has two protrusion parts 82 similarly to the said 5th Embodiment, and while the front end surface 81 of the protrusion part 82 is each flat, A jig 80 having a substantially U-shaped cross section is prepared, and the rectifying unit 70 is supported by bringing the protruding portions 82 of the jig 80 into contact with the curved surface of the rectifying unit 70. Specifically, the contact portion of the rectifying unit 70 with the jig 80 is parallel to the projecting direction, is perpendicular to the one surface 71, and is symmetric with respect to a reference plane that bisects the one surface 71. The projecting portion 82 of the jig 80 is brought into contact with the rectifying portion 70.

このように、整流部７０のうち収容凹部５０が形成される側と反対側の部分が曲面である場合には、整流部７０と治具８０とは辺接触となるが、整流部７０の複数箇所に治具８０を当接させることにより、整流部７０がぐらつくことを抑制することができ、センサチップ１０の組み付け性を向上させることができる。特に、上記のように、整流部７０における治具８０との接触箇所が、基準平面に対して対称となるように、治具８０を整流部７０に当接させることにより、整流部７０がぐらつくことを抑制することができる。 As described above, when the portion of the rectifying unit 70 on the side opposite to the side on which the housing recess 50 is formed is a curved surface, the rectifying unit 70 and the jig 80 are in side contact. By bringing the jig 80 into contact with the place, the rectifying unit 70 can be prevented from wobbling, and the assembling property of the sensor chip 10 can be improved. In particular, as described above, the rectifying unit 70 is wobbled by bringing the jig 80 into contact with the rectifying unit 70 so that the contact portion of the rectifying unit 70 with the jig 80 is symmetrical with respect to the reference plane. This can be suppressed.

なお、上記では、治具８０を整流部７０の二箇所に当接させる例について説明したが、例えば、治具８０を整流部７０の三箇所に当接させてもよいし、四箇所に当接させてもよい。また、治具８０の当接の仕方は、基準平面に対して対称でなくてもよく、整流部７０がぐらつくことを抑制できるものであれば特に限定されるものではない。さらに、上記では治具８０と整流部７０とが辺接触となるものを説明したが、治具８０と整流部７０とは点接触であってもよい。 In the above description, an example in which the jig 80 is brought into contact with two locations of the rectifying unit 70 has been described. However, for example, the jig 80 may be brought into contact with three locations of the rectifying portion 70 or four locations. You may contact. Further, the manner of contact of the jig 80 may not be symmetrical with respect to the reference plane, and is not particularly limited as long as the rectifying unit 70 can be prevented from wobbling. Further, in the above description, the jig 80 and the rectifying unit 70 are in side contact, but the jig 80 and the rectifying unit 70 may be in point contact.

（他の実施形態）
上記第１〜第３実施形態では、整流部７０のうち中間部６０と繋がっている部分は、中間部６０より幅が短くされていると共に厚さが薄くされている例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部７０のうち中間部６０と繋がっている部分は、中間部６０と等しい幅とされていると共に等しい厚さとされていてもよい。 (Other embodiments)
In the first to third embodiments described above, the example in which the portion of the rectifying unit 70 connected to the intermediate unit 60 is shorter in width and thinner than the intermediate unit 60 has been described. You can also do the following: That is, the portion of the rectifying unit 70 connected to the intermediate unit 60 may have the same width as the intermediate unit 60 and the same thickness.

また、上記第１〜第３実施形態では、中間部６０が直方体形状である例について説明したが、例えば、中間部６０を、幅が固定部３０側から整流部７０側に向かって次第に短くなる形状とすることができるし、厚さが固定部３０側から整流部７０側に向かって次第に薄くなる形状とすることができる。 Moreover, although the said 1st-3rd embodiment demonstrated the example whose intermediate part 60 is a rectangular parallelepiped shape, for example, the width | variety of the intermediate part 60 becomes short gradually toward the rectification | straightening part 70 side from the fixing | fixed part 30 side. The shape can be a shape, and the thickness can be gradually reduced from the fixed portion 30 side toward the rectifying portion 70 side.

さらに、上記第１、２、６実施形態では、整流部７０を収容凹部５０より突出方向の先端部側の部分が突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とした例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部７０を固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とすることもできる。また、整流部７０を固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって厚さが段階的に薄くなる階段形状とすることもできる。 Further, in the first, second, and sixth embodiments, an example in which the rectifying unit 70 has a shape in which the portion on the distal end side in the projecting direction from the housing recess 50 gradually becomes thinner toward the distal end in the projecting direction is described. However, for example, it can also be performed as follows. In other words, the rectifying unit 70 can be formed in a shape in which the thickness gradually decreases from the portion where the rectifying unit 70 is connected to the fixed unit 30 toward the tip in the protruding direction. Alternatively, the rectifying unit 70 may have a stepped shape in which the thickness gradually decreases from the portion connected to the fixed unit 30 toward the distal end in the protruding direction.

また、上記第１、第７実施形態では、整流部７０の一面７１を、中間部６０と繋がっている部分から先端部に向かって、幅が短くなる台形形状とした例について説明したが、例えば、整流部７０の一面７１を中間部６０と繋がっている部分から先端部に向かって、幅が短くなる三角形形状とすることもできる。さらに、整流部７０の一面７１を、中間部６０と繋がっている部分から先端部に向かって、幅が段階的に短くなる階段形状とすることもできる。また、上記第２、第３、第６実施形態において、整流部７０をセンサチップ１０における表面の法線方向から視たとき、台形形状とすることもできる。 In the first and seventh embodiments, the example in which the one surface 71 of the rectifying unit 70 is formed in a trapezoidal shape whose width decreases from the portion connected to the intermediate portion 60 toward the tip portion has been described. In addition, the one surface 71 of the rectifying unit 70 may be formed in a triangular shape whose width becomes shorter from the portion connected to the intermediate portion 60 toward the tip portion. Furthermore, the one surface 71 of the rectifying unit 70 can be formed in a stepped shape in which the width is gradually reduced from the portion connected to the intermediate unit 60 toward the tip. In the second, third, and sixth embodiments, when the rectifying unit 70 is viewed from the normal direction of the surface of the sensor chip 10, the trapezoidal shape may be used.

そして、上記第３実施形態では、整流部７０を固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とした例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部７０のうち収容凹部５０より突出方向の先端部側の部分が突出方向の先端部に向かって厚さが次第に薄くなる形状とすることもできる。また、整流部７０のうち収容凹部５０より突出方向の先端部側の部分が突出方向の先端部に向かって、厚さが段階的に薄くなる階段形状とすることもできる
さらに、上記第４実施形態では、上記第１実施形態の整流部７０において平坦な一面７１を有する流量センサについて説明したが、上記第２、第３実施形態の整流部７０についても同様である。 And in the said 3rd Embodiment, although the example which made the shape which thickness becomes thin gradually toward the front-end | tip part of a protrusion direction from the part which connected the rectification | straightening part 70 with the fixing | fixed part 30 was demonstrated, for example as follows It can also be. In other words, the portion of the rectifying unit 70 on the side of the distal end portion in the protruding direction from the housing recess 50 can be formed in a shape in which the thickness gradually decreases toward the distal end portion in the protruding direction. Further, a portion of the rectifying unit 70 on the side of the distal end in the projecting direction from the housing recess 50 may have a stepped shape in which the thickness gradually decreases toward the distal end in the projecting direction. In the embodiment, the flow sensor having the flat surface 71 in the rectifying unit 70 of the first embodiment has been described, but the same applies to the rectifying unit 70 of the second and third embodiments.

図１２（ａ）は他の実施形態における流量センサの概略側面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、図１２（ａ）に示す流量センサの概略平面図は図２（ａ）と同様であり、図１２（ｂ）の概略正面図とは、図２（ａ）に示すＢ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図１２（ｂ）では、ターミナル２０を省略して示してある。図１２に示されるように、上記第２実施形態の整流部７０において、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分のうち収容凹部５０と対向する部分に平坦な一面７２を有するものとすることができる。 FIG. 12A is a schematic side view of a flow sensor according to another embodiment, and FIG. 12B is a schematic front view of the flow sensor shown in FIG. The schematic plan view of the flow sensor shown in FIG. 12 (a) is the same as FIG. 2 (a), and the schematic front view of FIG. 12 (b) is the flow sensor from the B direction shown in FIG. 2 (a). It is a schematic front view when seeing. In FIG. 12B, the terminal 20 is omitted. As shown in FIG. 12, in the rectifying unit 70 of the second embodiment, a portion having a flat surface 72 in a portion opposite to the housing recess 50 in the portion opposite to the side where the housing recess 50 is formed. can do.

同様に、図１３（ａ）は他の実施形態における流量センサの概略側面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）に示す流量センサの概略正面図である。なお、図１３（ａ）に示す流量センサの概略平面図は図３（ａ）と同様であり、図１３（ｂ）の概略正面図とは、図３（ａ）に示すＣ方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図１３（ｂ）では、ターミナル２０を省略して示してある。図１３に示されるように、上記第３実施形態の整流部７０において、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分のうち収容凹部５０と対向する部分に平坦な一面７２を有するものとすることができる。 Similarly, FIG. 13A is a schematic side view of a flow sensor according to another embodiment, and FIG. 13B is a schematic front view of the flow sensor shown in FIG. The schematic plan view of the flow sensor shown in FIG. 13 (a) is the same as FIG. 3 (a), and the schematic front view of FIG. 13 (b) is the flow sensor from the direction C shown in FIG. 3 (a). It is a schematic front view when seeing. Further, in FIG. 13B, the terminal 20 is omitted. As shown in FIG. 13, in the rectifying unit 70 of the third embodiment, a portion having a flat surface 72 in a portion opposite to the housing recess 50 in a portion opposite to the side where the housing recess 50 is formed. can do.

これら図１２および図１３に示されるように、整流部７０における収容凹部５０が形成される側と反対側の部分のうち収容凹部５０と対向する部分に平坦な一面７２を備えることにより、整流部７０の平坦な一面７２に治具８０を当接させて整流部７０を支持しつつ収容凹部５０にセンサチップ１０を収容することができる。このため、センサチップ１０の組み付け性を向上させることができる。 As shown in FIG. 12 and FIG. 13, the rectifying unit 70 is provided with a flat one surface 72 on a portion of the rectifying unit 70 opposite to the side where the receiving concave portion 50 is formed and facing the receiving concave portion 50. The sensor chip 10 can be housed in the housing recess 50 while supporting the rectifying unit 70 by bringing the jig 80 into contact with the flat surface 72 of the 70. For this reason, the assembling property of the sensor chip 10 can be improved.

また、上記第２、第３実施形態において、上記第５実施形態のように、整流部７０は、収容凹部５０が形成される側と反対側の部分のうち収容凹部５０と対向する部分と異なる部分に平坦な一面７２を有するものとすることもできる。 Moreover, in the said 2nd, 3rd embodiment, like the said 5th Embodiment, the rectification | straightening part 70 differs from the part which opposes the accommodation recessed part 50 among the parts on the opposite side to the side in which the accommodation recessed part 50 is formed. The portion may have a flat surface 72.

さらに、上記第２、第３実施形態に上記第８実施形態を組み合わせて、治具８０をそれぞれ整流部７０の曲面に当接させて整流部７０を支持しつつ収容凹部５０にセンサチップ１０を収容するようにしてもよい。 Further, by combining the second and third embodiments with the eighth embodiment, the jig 80 is brought into contact with the curved surface of the rectifying unit 70 to support the rectifying unit 70 and the sensor chip 10 is placed in the housing recess 50. You may make it accommodate.

また、上記第７実施形態では、整流部７０を固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって、収容凹部５０が形成される途中部分まで一定とし、当該途中部分から突出方向の先端部に向かって幅が短くなっていく形状とした例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部７０を固定部３０と繋がっている部分から突出方向の先端部に向かって幅が短くなる形状とすることもできる。 Moreover, in the said 7th Embodiment, it is constant from the part which has connected the rectification | straightening part 70 to the fixing | fixed part 30 to the middle part in which the accommodation recessed part 50 is formed toward the front-end | tip part of a protrusion direction, and is a protrusion direction from the said intermediate part. Although an example in which the width is reduced toward the tip of the head has been described, for example, the following may be adopted. In other words, the width of the rectifying unit 70 can be reduced from the portion where the rectifying unit 70 is connected to the fixed unit 30 toward the tip in the protruding direction.

１０センサチップ
１０ａ流量検出部
１１ボンディングワイヤ
２０ターミナル
３０固定部
４０センサ搭載部
５０収容凹部
６０中間部
７０整流部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Sensor chip 10a Flow volume detection part 11 Bonding wire 20 Terminal 30 Fixing part 40 Sensor mounting part 50 Housing recessed part 60 Intermediate part 70 Rectification part

Claims

A sensor chip (10) having a flow rate detector (10a) exposed to the fluid to be detected on its surface;
A fixing portion (30) having an external connection terminal (20) electrically connected to the sensor chip (10);
The flow rate detector (10a) is exposed at a portion between the fixed portion (30) and protruding in a predetermined direction and connected to the fixed portion (30) and the tip in the protruding direction. A sensor mounting portion (40) formed with a housing recess (50) for housing the sensor chip (10) in a state,
The sensor mounting portion (40) has a cross-sectional area perpendicular to the projecting direction from the housing recess (50) than the portion located closer to the fixed portion (30) than the housing recess (50). The portion located on the tip side is smaller, and when viewed from the normal direction of the surface of the sensor chip (10), the direction is parallel to the surface of the sensor chip (10), In addition, the length in the direction perpendicular to the protruding direction is positioned closer to the distal end side in the protruding direction than the receiving recess (50) than the portion positioned closer to the fixed part (30) than the receiving recess (50). A flow sensor characterized in that the portion to be made is a trapezoidal shape that is shortened .

The sensor mounting portion (40) is perpendicular to the surface of the sensor chip (10) when viewed from a direction parallel to the planar direction of the sensor chip (10) and perpendicular to the protruding direction. The length in the direction is shorter in the portion positioned on the distal end side in the protruding direction than the receiving recess (50) than in the portion positioned on the fixing portion (30) side from the receiving recess (50). The flow sensor according to claim 1, wherein:

The flow sensor according to claim 1 or 2 , wherein the sensor mounting portion (40) has a portion whose cross section perpendicular to the protruding direction is a semi-ellipse.

The flow sensor according to claim 3 , wherein the accommodating recess (50) is formed on one surface (61, 71) constituting the semi-elliptical string of the sensor mounting portion (40).

When viewed from the normal direction of the surface of the sensor chip (10), the sensor mounting portion is rounded at a corner opposite to the fixed portion (30), thereby rounding the tip. The flow sensor according to claim 1 or 2, wherein

The flow sensor according to any one of claims 1 , 2 , and 5 , wherein the sensor mounting portion (40) has a portion whose cross section perpendicular to the protruding direction is an ellipse.

The flow sensor according to claim 1 or 2 , wherein the sensor mounting portion (40) has a portion whose cross section perpendicular to the protruding direction is a perfect circle.

The said sensor mounting part (40) has a flat surface (72) on the opposite side to the side in which the said accommodation recessed part (50) is formed, The one of Claim 1 thru | or 7 characterized by the above-mentioned. Flow sensor.

The sensor mounting part (40) includes an intermediate part (60) connected to the fixed part (30) and a rectifying part (on the opposite side of the fixed part (30) across the intermediate part (60)). 70), and the accommodating recess (50) is formed across the intermediate portion (60) and the rectifying portion (70), and is a cross-sectional area of a portion perpendicular to the protruding direction. From the portion of the intermediate portion (60) located closer to the fixed portion (30) than the receiving recess (50), the tip of the rectifying portion (70) in the protruding direction from the receiving recess (50). The flow sensor according to any one of claims 1 to 7 , wherein a portion located on the portion side is made smaller.

The sensor chip (10), according to claim 9, characterized in that the flow detector (10a) is accommodated in a state located in the rectification section (70) side of the housing recess (50) Flow sensor.

The rectification section (70), the flow rate sensor according to claim 1 0, characterized in that it comprises a one side flat (72) on the opposite side of the portion to the side where the housing recess (50) is formed.

Flow sensor according to claim 1 1 wherein the rectifying unit (70), characterized in that the portion facing to the receiving recess (50) is said one flat surface (72).