JP5566636B2

JP5566636B2 - Vacuum pump

Info

Publication number: JP5566636B2
Application number: JP2009161689A
Authority: JP
Inventors: アルミン・コンラート
Original assignee: プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Priority date: 2008-07-26
Filing date: 2009-07-08
Publication date: 2014-08-06
Anticipated expiration: 2029-07-08
Also published as: US20100021324A1; EP2148094B1; DE102008034948A1; JP2010031857A; EP2148094A3; EP2148094A2

Description

本発明は請求項１の上位概念に記載の真空ポンプに関するものである。 The present invention relates to a vacuum pump according to the superordinate concept of claim 1.

１０^−４ｍｂａｒより低い圧力を有する高真空の発生は、今日、多くの技術分野においてきわめて重要になっている。このような圧力を発生可能であるコンパクトな真空ポンプへの需要がますます増大している。しかしながら、従来技術においては、しばしばポンプ・スタンドが利用される。ポンプ・スタンド内に、ある圧力範囲にそれぞれ適合された複数の個々の真空ポンプが組み合わされている。最近において、複数のポンプ原理を１台のポンプ内に統合した、大気に向けて排出する真空ポンプが開発された。例えばドイツ特許公開第１９９３０９５２号は、ホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）の構造タイプを有するポンプ段をサイド・チャネル（側路）段と組み合わせることを提案している。しかしながら、提案された構造様式は必然的に高価な構造となるので、２０ｍ^３／ｈを超える排気速度クラスに対してのみ使用されるにすぎない。 The generation of a high vacuum with a pressure below 10 ⁻⁴ mbar has become very important in many technical fields today. There is an increasing demand for compact vacuum pumps that can generate such pressures. However, in the prior art, pump stands are often used. In the pump stand, a plurality of individual vacuum pumps, each adapted to a certain pressure range, are combined. Recently, a vacuum pump has been developed that discharges to the atmosphere, integrating multiple pump principles within a single pump. For example, German Patent Publication No. 19930952 proposes combining a pump stage having a Holweck structural type with a side channel stage. However, the proposed structural style inevitably results in an expensive structure and is only used for pumping speed classes above 20 m ³ / h.

ドイツ特許公開第１９９３０９５２号German Patent Publication No. 19930952

したがって、本発明の課題は、大気圧から１０^−４ｍｂａｒ以下の高真空に至るまでの全ての圧力範囲をカバーする真空ポンプを提供することである。この場合、真空ポンプはできるだけコンパクトであり且つ簡単な構造を有しているべきである。 Therefore, the subject of this invention is providing the vacuum pump which covers the whole pressure range from atmospheric pressure to the high vacuum below 10 < ^-4 > mbar. In this case, the vacuum pump should be as compact as possible and have a simple structure.

この課題は請求項１の特徴を有する真空ポンプにより解決される。請求項２−１０は有利な変更形態を与える。 This problem is solved by a vacuum pump having the features of claim 1. Claims 2-10 provide advantageous modifications.

簡単な構造はガス軸受を使用することにより達成される。これは有機潤滑剤を全く必要としないので、潤滑剤ポンプによる潤滑剤の循環は必要ではない。さらに、容器およびポンピングされるガスの汚染は全く存在しない。ガス軸受は摩耗が少ないので、きわめて僅かな保守コストで長い寿命が達成される。さらに、好ましいガス案内により構造は簡単となる。ポンプ装置はそれぞれガス軸受の方向にポンピングするポンプ・セクションを有しているので、ガス案内は好ましいものである。ガス軸受とポンプ装置との間に十分なシール手段を設ける必要はない。ガス案内の他の利点は、それぞれのガス入口とガス出口との間の圧力差により各ポンプ・セクション内に発生する軸方向力が相殺されることである。したがって、全体として、ポンプ装置により軸に対して軸方向力は発生しない。要するに、構造部分が不要なことと好ましいガス案内とによりきわめてコンパクトな真空ポンプが得られる。 A simple structure is achieved by using a gas bearing. This does not require any organic lubricant, so no lubricant circulation by a lubricant pump is necessary. Furthermore, there is no contamination of the container and the pumped gas. Gas bearings have low wear, so long life is achieved with very little maintenance costs. Furthermore, the structure is simple due to the preferred gas guidance. Gas guidance is preferred because each pump device has a pump section that pumps in the direction of the gas bearing. It is not necessary to provide sufficient sealing means between the gas bearing and the pump device. Another advantage of the gas guide is that the axial force generated in each pump section is offset by the pressure difference between the respective gas inlets and gas outlets. Therefore, as a whole, no axial force is generated on the shaft by the pump device. In short, a very compact vacuum pump is obtained due to the fact that no structural part is required and the preferred gas guidance.

一変更態様において、ガス軸受から流出する作動ガスの一部と、ポンプ・セクションから排出されたガスとが集められ、次にポンプ出口に供給されることにより、ガス案内は改善される。このガス案内は、コンパクトな真空ポンプの目的に寄与する。 In one variation, gas guidance is improved by collecting a portion of the working gas exiting the gas bearing and the gas exhausted from the pump section and then feeding it to the pump outlet. This gas guide contributes to the purpose of a compact vacuum pump.

他の変更態様において、ポンプ・セクションの少なくとも１つがホルベック・ポンプ段を含んでいる。ホルベック・ポンプ段は渦巻状の通路を有している。これは、ガス軸受のために必要な構造と共通の製造ステップにおいて製作可能である。さらに、ホルベック・ポンプ段は、僅かな構造部分、即ち軸上の通路およびこれに対向する平滑な円筒面を必要とするにすぎないので、真空ポンプはコスト的に有利であるばかりでなくコンパクトでもある。 In other variations, at least one of the pump sections includes a Holbeck pump stage. The Holbeck pump stage has a spiral passage. This can be produced in the same manufacturing steps as the structure required for the gas bearing. Furthermore, because the Holbeck pump stage only requires a few structural parts, i.e. an axial passage and a smooth cylindrical surface opposite it, the vacuum pump is not only cost-effective but also compact. is there.

ホルベック段の一変更態様において、ホルベック段はセクションの一部において軸上の通路に追加してさらにステータに逆方向の通路を有している。これは、特に大気圧に近い圧力範囲において排気速度を上昇させる。これにより、大きな排気速度に対して僅かな構造空間を必要とするにすぎないので、真空ポンプはさらにコンパクトになる。 In a variation of the Holbeck stage, the Holbeck stage has a reverse passage in the stator in addition to the on-axis passage in part of the section. This increases the exhaust speed, particularly in a pressure range close to atmospheric pressure. This makes the vacuum pump even more compact since only a small structural space is required for a high pumping speed.

他の変更態様において、真空ポンプが他のポンプ装置を有することにより排気速度が上昇可能である。他のポンプ装置はホルベック・ポンプ段を有していることが有利である。他のポンプ装置は軸と結合されたハブおよびこのハブに配置されたシリンダとして形成されている。 In another modification, the pumping speed can be increased by the vacuum pump having another pump device. The other pumping device advantageously has a Holbeck pump stage. The other pumping device is formed as a hub connected to the shaft and a cylinder arranged in this hub.

一変更態様において、軸端部に非常用軸受を配置することが提案される。非常用軸受は滑り軸受を含んでいてもよい。非常用軸受により、軸に作用する軸方向力にも抵抗可能な強い真空ポンプが提供される。 In one variant, it is proposed to arrange an emergency bearing at the shaft end. The emergency bearing may include a sliding bearing. The emergency bearing provides a strong vacuum pump that can resist axial forces acting on the shaft.

他の変更態様において、軸の大部分の構成部品は炭化ケイ素である。この材料は、真空ポンプの使用において、ガス軸受に対して耐久性を与える。 In other variations, the major component of the shaft is silicon carbide. This material provides durability to the gas bearing in the use of a vacuum pump.

一変更態様は、モータ・ステータおよびモータ・ロータを、軸方向心出しが行われ且つ同時に軸の高速回転が行われるように形成することを提案している。これにより、アキシアル軸受の必要性がないので、真空ポンプはさらにコスト的に有利になり且つコンパクトになる。 One modification proposes that the motor stator and motor rotor be formed so that axial centering and at the same time high speed rotation of the shaft. This makes the vacuum pump even more cost effective and compact because there is no need for an axial bearing.

以下に、本発明が、一実施例およびその一変更態様により詳細に説明され且つ他の利点が示されるものとする。 In the following, the invention will be described in detail by way of an example and one variant thereof and other advantages will be shown.

図１は、真空ポンプの断面図を示す。FIG. 1 shows a cross-sectional view of a vacuum pump. 図２は、他のポンプ装置を備えた一変更態様における真空ポンプの部分断面図を示す。FIG. 2 shows a partial cross-sectional view of a vacuum pump in a modified embodiment with another pump device.

図１はハウジング１を有する真空ポンプを示す。ハウジングはガス入口７およびガス出口８を有している。ハウジング内にシリンダ５が配置され、シリンダ内に軸２が回転可能に支持されている。支持は２つのガス軸受により行われる。 FIG. 1 shows a vacuum pump having a housing 1. The housing has a gas inlet 7 and a gas outlet 8. A cylinder 5 is disposed in the housing, and the shaft 2 is rotatably supported in the cylinder. Support is provided by two gas bearings.

第１のガス軸受３０は、ガス供給口３１、軸側軸受構造３２および軸受ガス出口３４を含む。軸側軸受構造は軸方向に伸長する軸受セクション３３を形成する。 The first gas bearing 30 includes a gas supply port 31, a shaft side bearing structure 32, and a bearing gas outlet 34. The shaft-side bearing structure forms a bearing section 33 that extends in the axial direction.

第２のガス軸受４０は、ガス供給口４１、軸側軸受構造４２および軸受ガス出口４４を含む。軸側軸受構造は軸方向に伸長する軸受セクション４３を形成する。 The second gas bearing 40 includes a gas supply port 41, a shaft side bearing structure 42, and a bearing gas outlet 44. The shaft-side bearing structure forms a bearing section 43 that extends in the axial direction.

軸側軸受構造３２および４２は軸表面内に加工された溝を含む。 The shaft side bearing structures 32 and 42 include grooves machined in the shaft surface.

図示の例においては、軸受ガス出口３４および４４の各々に２つの開口が設けられ、２つの開口のそれぞれ１つは、それぞれの軸受セクションの一端に存在している。それぞれ１つのガス供給口３１および４１が示されているが、一般には、ガス軸受の各々内に複数のこのような供給口が軸周囲に分配されている。シリンダ５は両方のガス軸受のステータを形成しているので、軸側軸受構造３２および４２とシリンダとの間にそれぞれガス・フィルムが形成され、このガス・フィルムにより軸が支持される。必要な軸受ガスは圧縮機１１から発生されても、または、軸受荷重が許容するときには、大気から直接取り入れられてもよい。後者の場合、ガス供給口３１および４１は直接大気に結合されている。さらに、代替態様として、設置位置に存在する圧縮空気配管から圧縮空気が利用されてもよい。 In the illustrated example, each of the bearing gas outlets 34 and 44 is provided with two openings, one of each of the two openings being at one end of the respective bearing section. Although one gas supply port 31 and 41 is shown, respectively, a plurality of such supply ports are generally distributed around the shaft in each of the gas bearings. Since the cylinder 5 forms the stator of both gas bearings, a gas film is formed between the shaft-side bearing structures 32 and 42 and the cylinder, and the shaft is supported by this gas film. The required bearing gas may be generated from the compressor 11 or may be taken directly from the atmosphere when the bearing load allows. In the latter case, the gas supply ports 31 and 41 are directly coupled to the atmosphere. Furthermore, as an alternative aspect, compressed air may be used from the compressed air piping existing at the installation position.

軸はその一端に軸ボス２９を有し、軸ボス上に永久磁石９が装着されている。この永久磁石はモータ・ロータを形成し、且つ縦軸線周りの軸の高速回転を発生させるために電気コイル１０と協働する。電気コイルはモータ・ステータを形成する。モータ・ロータおよびモータ・ステータは、軸をその縦軸方向に安定化させるように形成されている。これは、例えばステータ鉄パケットの永久磁石への吸引力により達成される。軸端部に非常用軸受が設けられている。図示の例においては、非常用軸受は滑り軸受１４として形成され、滑り軸受は軸側に球面を、ハウジング側にトライポロージー（摩擦工学）的に適切な対向面を含む。大きな軸方向力が予想される場合、追加的に安定化させるために、この方向内に、軸側軸受リング２６およびステータ側軸受リング２７からなる永久磁石リングが設けられていてもよい。両方が協働して軸方向永久磁気軸受２５を形成する。 The shaft has a shaft boss 29 at one end, and a permanent magnet 9 is mounted on the shaft boss. This permanent magnet forms a motor rotor and cooperates with the electric coil 10 to generate a high speed rotation of the axis about the longitudinal axis. The electric coil forms a motor stator. The motor rotor and the motor stator are formed so as to stabilize the shaft in the longitudinal direction. This is achieved, for example, by the attractive force of the stator iron packet to the permanent magnet. An emergency bearing is provided at the shaft end. In the example shown, the emergency bearing is formed as a sliding bearing 14, which includes a spherical surface on the shaft side and a facing surface suitable for tripology (friction engineering) on the housing side. If a large axial force is expected, a permanent magnet ring consisting of the shaft side bearing ring 26 and the stator side bearing ring 27 may be provided in this direction for additional stabilization. Both cooperate to form an axial permanent magnetic bearing 25.

電子装置ハウジング２１内に電子装置２０が装着されている。電子装置は電気コイルに電流を供給する。軸受ガスを発生するために圧縮機１１が使用される場合、圧縮機は圧縮機制御ライン２２により電子装置２０と結合され且つ電子装置により制御され、特にそのパラメータである投入、遮断、圧力レベルおよび吐出量が制御される。 An electronic device 20 is mounted in the electronic device housing 21. The electronic device supplies current to the electrical coil. When the compressor 11 is used to generate bearing gas, the compressor is coupled to the electronic device 20 by the compressor control line 22 and controlled by the electronic device, in particular its parameters input, shut-off, pressure level and The discharge amount is controlled.

軸受セクション３３および４３の間の軸上にポンプ装置６が配置されている。ポンプ装置は複流として形成されているので、第１のポンプ・セクション６１および第２のポンプ・セクション６２を有している。ポンプ・セクションの各々はガス入口７の範囲内において開始し且つガスをそれに隣接するガス軸受の方向に圧縮する。これが直線矢印により示されている。軸受セクションから、軸受ガスの少なくとも一部がポンプ装置の方向に流出する。軸受ガスは第１のガス軸受と第１のポンプ・セクション６１との間の箇所１３ないしは第２のガス軸受と第２のポンプ・セクション６２との間の箇所１３′において集められ且つ共にポンプ出口に供給される。これにより、簡単なガス案内によってきわめてコンパクトな構造が達成される。 A pump device 6 is arranged on the shaft between the bearing sections 33 and 43. Since the pump device is formed as a double flow, it has a first pump section 61 and a second pump section 62. Each of the pump sections starts within the gas inlet 7 and compresses the gas in the direction of the gas bearing adjacent to it. This is indicated by a straight arrow. From the bearing section, at least a part of the bearing gas flows out in the direction of the pumping device. Bearing gas is collected at a point 13 between the first gas bearing and the first pump section 61 or a point 13 'between the second gas bearing and the second pump section 62 and together the pump outlet. To be supplied. This achieves a very compact structure with simple gas guidance.

両方のポンプ・セクションはその入口とその出口との間に同じ圧力比を達成する。ポンプ・セクション内にホルベック構造を形成することが有利である。このために、ポンプ・ステータとして働くシリンダ５の内面と協働する、軸表面内に軸の周りを渦巻状に伸長する通路６３が形成されている。この内面が平滑な場合、ホルベックの作動原理を有するポンプが形成される。これは、圧力範囲に対して真空技術的に好ましいのみならず、軸側軸受構造との作業過程においてもまた有利である。一変更態様において、シリンダ５の内面上に通路６４が設けられている。この通路はポンプ・セクション３３および４３の軸方向長さの一部にわたり伸長し、それぞれのガス軸受に隣接する部分において伸長していることが好ましい。通路はロータの通路６３とは逆向きに形成されている。このステータ側通路により排気速度が上昇される。 Both pump sections achieve the same pressure ratio between their inlets and their outlets. It is advantageous to form a Holbeck structure in the pump section. For this purpose, a passage 63 extending in a spiral around the shaft is formed in the shaft surface in cooperation with the inner surface of the cylinder 5 acting as a pump / stator. If this inner surface is smooth, a pump with Holbeck's principle of operation is formed. This is not only preferred in terms of vacuum for the pressure range, but is also advantageous in the course of working with the shaft-side bearing structure. In one modification, a passage 64 is provided on the inner surface of the cylinder 5. This passage preferably extends over a part of the axial length of the pump sections 33 and 43 and extends in the part adjacent to the respective gas bearing. The passage is formed opposite to the passage 63 of the rotor. The exhaust speed is increased by the stator side passage.

軸２は、少なくとも軸受セクション３３および４３とポンプ・セクション６１および６２との範囲内において、一体部品として形成されている。シリンダは、上記セクション３３、４３、６１および６２にわたり、少なくとも一体部品として伸長している。これにより軸受点は一直線上に並ぶので、軸受内およびポンプ装置内においてきわめて小さな隙間が達成可能である。これはこれらの構造要素の効率データを改善するので、必要な構造長さが低減され、したがって真空ポンプはさらにコンパクトになる。 The shaft 2 is formed as an integral part at least within the bearing sections 33 and 43 and the pump sections 61 and 62. The cylinder extends at least as an integral part over the sections 33, 43, 61 and 62. As a result, the bearing points are arranged in a straight line, so that a very small gap can be achieved in the bearing and in the pump device. This improves the efficiency data of these structural elements so that the required structural length is reduced and thus the vacuum pump is more compact.

この真空ポンプは動的状態においてのみ気密であり、遮断状態においてはガスが内部を貫通可能なので、安全弁１２の使用が有利である。安全弁は真空ポンプのガス入口内に配置されていることが好ましく、且つ弁制御ライン２３を介して電子装置２０と結合されている。電子装置はこのとき安全弁の開放状態を切り換える。 The vacuum pump is airtight only in the dynamic state, and in the shut-off state, the gas can penetrate inside, so the use of the safety valve 12 is advantageous. The safety valve is preferably located in the gas inlet of the vacuum pump and is coupled to the electronic device 20 via the valve control line 23. At this time, the electronic device switches the open state of the safety valve.

図２は図１においてボックスＫで示された真空ポンプの部分を一変更態様で示している。図１の実施例とは異なり、ポンプ装置６の手前に他のポンプ装置１００が設けられている。したがって、真空ポンプのハウジング内にホルベック・ステータ１０３が設けられている。ホルベック・ステータはそのシリンダ内面上をねじ山状に伸長する通路を有し、通路のねじ山はウェブ１０５により相互に分離されている。平滑なシリンダ１０２がこの通路と協働してポンプ作用を発生し、平滑なシリンダはハブ１０１と結合されている。シリンダは軽質材料特に繊維強化炭素から製造されていることが有利である。ハブは軸の一端に固定されているので、ハブおよびシリンダは軸の回転速度を受け取る。さらに、滑り軸受１４およびガス入口７が必要とされる。この変更態様においても安全弁１２が設けられていることが有利である。ガスはガス入口を通過して第１の矢印に沿って他のポンプ装置１００内に流入し且つそこからホルベック・ステータおよびシリンダの協働部分により圧縮される。それに続いて、ガスは第１のポンプ装置内に到達し（他の矢印参照）、そこでさらに圧縮される。第１のポンプ装置はポンプ・セクション６２の形で部分図としてのみ示されている。同様に、第２のガス軸受の軸側軸受構造４２が示されている。第２のガス軸受からハブの方向に大気圧を有する軸受ガスが流出する。軸受ガスはシリンダ１０２の内側に沿って第１のポンプ装置の入口に到達してはならない。したがって、軸受構造４２とハブとの間にシール・セクション１０６が設けられている。シール・セクションは、軸上に第１のポンプ装置内のポンプ構造と同じようなポンプ構造が配置され、このポンプ構造がシリンダ５と協働して圧力差を発生する。シール・セクションのポンプ作用構造は、軸受構造４２の側とハブ１０１に面する側との間の圧力比が、ポンプ・セクション６２が発生する圧力比に対応するように形成されている。しかしながら、ガス入口７を通過して流入する量よりも少ない軸受ガスが発生するので、排気速度は本質的により小さくなることになる。他のポンプ装置１００は複流として形成されていてもよい。 FIG. 2 shows in a modified manner the part of the vacuum pump indicated by box K in FIG. Unlike the embodiment of FIG. 1, another pump device 100 is provided in front of the pump device 6. Therefore, the Holbeck stator 103 is provided in the housing of the vacuum pump. The Holbeck stator has a thread extending on the inner surface of the cylinder in a threaded manner, and the thread of the path is separated from each other by a web 105. A smooth cylinder 102 cooperates with this passage to generate a pumping action, and the smooth cylinder is connected to the hub 101. The cylinder is advantageously made from a light material, in particular fiber-reinforced carbon. Since the hub is fixed to one end of the shaft, the hub and cylinder receive the rotational speed of the shaft. Furthermore, a sliding bearing 14 and a gas inlet 7 are required. It is advantageous that the safety valve 12 is provided also in this modified mode. The gas passes through the gas inlet and flows along the first arrow into the other pump device 100 and from there it is compressed by the cooperating parts of the Holbeck stator and cylinder. Subsequently, the gas reaches into the first pumping device (see other arrows) where it is further compressed. The first pump device is shown only as a partial view in the form of a pump section 62. Similarly, the shaft side bearing structure 42 of the second gas bearing is shown. Bearing gas having atmospheric pressure flows out from the second gas bearing toward the hub. The bearing gas must not reach the inlet of the first pump device along the inside of the cylinder 102. Accordingly, a seal section 106 is provided between the bearing structure 42 and the hub. The seal section is arranged on the shaft with a pump structure similar to the pump structure in the first pump device, and this pump structure cooperates with the cylinder 5 to generate a pressure difference. The pumping structure of the seal section is formed such that the pressure ratio between the bearing structure 42 side and the side facing the hub 101 corresponds to the pressure ratio generated by the pump section 62. However, since less bearing gas is generated than the amount flowing in through the gas inlet 7, the exhaust speed is essentially reduced. The other pump device 100 may be formed as a double flow.

１ハウジング
２軸
５シリンダ
６ポンプ装置
７ガス入口
８ガス出口（ポンプ出口）
９永久磁石（モータ・ロータ）
１０電気コイル（モータ・ステータ）
１１圧縮機
１２安全弁
１３、１３′箇所
１４滑り軸受
２０電子装置
２１電子装置ハウジング
２２、２３制御ライン
２５軸方向永久磁気軸受
２６軸側軸受リング
２７ステータ側軸受リング
２９軸ボス
３０、４０ガス軸受
３１、４１ガス供給口
３２、４２軸側軸受構造
３３、４３軸受セクション
３４、４４軸受ガス出口
６１、６２ポンプ・セクション
６３、６４通路
１００他のポンプ装置
１０１ハブ
１０２シリンダ
１０３ホルベック・ステータ
１０４通路
１０５ウェブ
１０６シール・セクション
Ｋボックス 1 Housing 2 Shaft 5 Cylinder 6 Pump Device 7 Gas Inlet 8 Gas Outlet (Pump Outlet)
9 Permanent magnet (motor / rotor)
10 Electric coil (motor / stator)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Compressor 12 Safety valve 13, 13 'location 14 Sliding bearing 20 Electronic device 21 Electronic device housing 22, 23 Control line 25 Axial permanent magnetic bearing 26 Shaft side bearing ring 27 Stator side bearing ring 29 Shaft boss 30, 40 Gas bearing 31 , 41 Gas supply port 32, 42 Shaft side bearing structure 33, 43 Bearing section 34, 44 Bearing gas outlet 61, 62 Pump section 63, 64 Passage 100 Other pump device 101 Hub 102 Cylinder 103 Holbeck stator 104 Passage 105 Web 106 Seal section K box

Claims

A shaft (2) driven by the cooperation of the motor stator (10) and the motor rotor (9), first and second radial bearings for rotatably supporting the shaft (2) , and In a vacuum pump comprising a pump device (6),
The radial bearings are each formed as a dynamic gas bearing (30, 40) , the pump device (6) is arranged between the gas bearings (30, 40) and two pump sections (61, 62) And the two pump sections (61, 62) each supply gas in the direction of the gas bearing (30, 40) arranged on the side of each pump section (61, 62). The pump sections (61, 62) are each formed as a Holbeck pump stage, the passage (63) for the respective Holbeck pump stage, and the respective gas bearings. A vacuum pump characterized in that a groove for (30, 40) is formed in one shaft surface of the shaft (2) .

The pump sections (61, 62) and gas bearings (30, 40) each have at least a portion of the gas bearing working gas and the gas exhausted from the pump section in one location (13, 13 '). 2. A vacuum pump according to claim 1, wherein the vacuum pump is arranged to be collected and fed to a pump outlet (8).

The vacuum pump according to claim 1 or 2 , characterized in that at least in part of the section, the rotor and the stator of the Holbeck pump stage have opposite passages (63, 64).

Vacuum pump according to any one of 3 claims 1, characterized in that the vacuum pump has other pumping device (100).

5. The vacuum pump according to claim 4 , wherein the other pump device comprises a hub (101) coupled to any of the shaft ends and a cylinder (102) coupled to the hub.

The vacuum pump according to any one of claims 1 to 5 , wherein an emergency bearing is disposed at a shaft end portion.

The vacuum pump according to claim 6 , wherein the emergency bearing comprises a sliding bearing.

Vacuum pump according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the material of the shaft (2) is made of silicon carbide for the most part.

Motor stator (10) and the motor rotor (9), claims 1, characterized in that the high-speed rotation of and simultaneously the axial axial centering is performed (2) is formed to be performed 8 A vacuum pump according to any one of the above.