JP5564018B2 - Fluororesin porous membrane - Google Patents

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Description

本発明は、サブミクロンオーダーの微細な粒子を除去する分離膜等として用いられるフッ素樹脂多孔質膜、特にポリテトラフルオロエチレンを素材とするフッ素樹脂多孔質膜に関する。   The present invention relates to a fluororesin porous membrane used as a separation membrane for removing fine particles of submicron order, and more particularly to a fluororesin porous membrane made of polytetrafluoroethylene.

フッ素樹脂、特にポリテトラフルオロエチレン(以下、「PTFE」という。)を素材とする多孔質膜(以下、「PTFE多孔質膜」という)は、耐薬品性や耐熱性等のフッ素樹脂自体が本来有している材質的な特徴と、均一で微細な多孔質構造に基づく高分離能や、高い気孔率に基づく高透過性等の構造的な特徴を併せ持つため、燃料電池、メンブレンフィルター、電線の被覆材、分析装置、人工血管、ステント、カテーテル等の用途に好適に使用されている。   Porous membranes (hereinafter referred to as “PTFE porous membranes”) made of fluororesins, particularly polytetrafluoroethylene (hereinafter referred to as “PTFE”), are originally made of fluororesins themselves such as chemical resistance and heat resistance. Since it has both structural features such as high material separation characteristics based on a uniform and fine porous structure and high permeability based on high porosity, it can be used for fuel cells, membrane filters and electric wires. It is suitably used for applications such as coating materials, analyzers, artificial blood vessels, stents, and catheters.

しかし、フッ素樹脂多孔質膜は本来撥水性であり、何の処理も施さない場合は、微細な多孔質構造内を水が透過しにくく、水系の分離に使用することは困難である。そこで、フッ素樹脂多孔質膜を親水化する処理が行われている。   However, the fluororesin porous membrane is inherently water-repellent, and when it is not subjected to any treatment, it is difficult for water to permeate through the fine porous structure and it is difficult to use it for aqueous separation. Therefore, a treatment for hydrophilizing the fluororesin porous membrane is performed.

例えば、PTFE多孔質膜の微細な多孔質構造の表面へ、ポリビニルアルコール等の親水性樹脂を、吸着やコーティング等の手段により固定する方法が、特公昭53−21270号公報(特許文献1)において提案されている。しかし、この方法により製造された膜の耐熱性、耐薬品性は、親水化処理に用いられたコーティング材料に依存することになり、結果的にPTFEの優れた特性を十分に生かすことができない。また、コーティングにより、当初のPTFE多孔質膜が有していた気孔率や孔径が変化するという問題もある。   For example, Japanese Patent Publication No. 53-21270 (Patent Document 1) discloses a method of fixing a hydrophilic resin such as polyvinyl alcohol to the surface of a fine porous structure of a PTFE porous membrane by means such as adsorption or coating. Proposed. However, the heat resistance and chemical resistance of the film produced by this method depends on the coating material used for the hydrophilic treatment, and as a result, the excellent properties of PTFE cannot be fully utilized. In addition, there is a problem that the porosity and the pore diameter of the original PTFE porous membrane change due to the coating.

また、プラズマビームにより、PTFE多孔質膜の表面に親水性基を導入して親水性(濡れ性)を高める方法も知られている。しかし、この方法にも、耐薬品性や耐熱性が低下するとの問題がある。   Also known is a method of improving hydrophilicity (wetting) by introducing a hydrophilic group on the surface of the porous PTFE membrane by a plasma beam. However, this method also has a problem that chemical resistance and heat resistance are lowered.

このような処理を行わずに、水に可溶性の有機溶媒、例えばエタノールやイソプロパノール(IPA)等のアルコール類を、フッ素樹脂多孔質膜の微細多孔質構造内に含浸させた後、水で置換する方法によっても、親水性が付与され水が透過しやすくなる。そこで、この方法は、水溶液の濾過等にフッ素樹脂多孔質膜を使用する際に広く行われている。   Without such treatment, water-soluble organic solvent, for example, alcohol such as ethanol or isopropanol (IPA) is impregnated in the microporous structure of the fluororesin porous membrane and then replaced with water. Also by the method, hydrophilicity is imparted and water easily permeates. Therefore, this method is widely performed when a fluororesin porous membrane is used for filtration of an aqueous solution or the like.

しかし、この処理を施した後、フッ素樹脂多孔質膜が気体に触れた場合や、水溶液中に混入している気泡や溶存ガスがフッ素樹脂多孔質膜に付着する場合は、膜は再び乾燥し、徐々に透過流量(すなわち処理能力)が低下して最後は使用できなくなる。特に、塩酸や過酸化水素水を含むウエハー洗浄液等、分解ガスを生じる液体や発泡性液体の濾過に使用する場合は、この問題が生じやすい(非特許文献1)。
特公昭53−21270号公報 グリーンテクノロジー、1996年6月号、第59頁
However, after this treatment, if the fluororesin porous membrane comes into contact with gas, or if bubbles or dissolved gases mixed in the aqueous solution adhere to the fluororesin porous membrane, the membrane will dry again. The permeate flow rate (that is, the processing capacity) gradually decreases, and it cannot be used at the end. In particular, this problem is likely to occur when used for filtering a liquid that generates decomposition gas or a foaming liquid such as a wafer cleaning liquid containing hydrochloric acid or hydrogen peroxide (Non-patent Document 1).
Japanese Patent Publication No.53-21270 Green Technology, June 1996, page 59

多孔質膜が乾燥し処理能力が低下した場合、再度アルコール等を多孔質体内に含浸させた後水に置換して復帰させる操作が必要となる。この操作の間は運転を停止する必要があり、また、濾過システム内に、アルコール等が混入しないようにするための煩雑な操作が必要となる。そこで、気体に触れたり、水溶液中に混入している気泡や溶存ガスが付着しても乾燥しにくい、保水性に優れた(水を保持する作用が大きい)多孔質膜が望まれている。   When the porous membrane is dried and the processing capacity is lowered, it is necessary to perform an operation of again impregnating the porous body with alcohol or the like and then replacing it with water. During this operation, it is necessary to stop the operation, and a complicated operation is required to prevent alcohol or the like from entering the filtration system. Therefore, a porous membrane excellent in water retention (having a large effect of retaining water) that is difficult to dry even when bubbles are touched or bubbles or dissolved gas mixed in an aqueous solution adheres is desired.

本発明は、PTFE多孔質膜等、多孔質のフッ素樹脂からなる膜であって、保水性に優れ、気体に触れたり水溶液中に混入している気泡や溶存ガスが付着しても、乾燥しにくい性質を有するとともに、多孔質のフッ素樹脂膜が本来有する優れた性質も併せて有するフッ素樹脂多孔質膜を提供することをその課題とする。   The present invention is a porous film made of a porous fluororesin such as a PTFE porous film, which has excellent water retention and can be dried even if bubbles or dissolved gas adhering to gas or mixed in an aqueous solution adhere to it. It is an object of the present invention to provide a fluororesin porous membrane that has difficult properties and also has excellent properties inherent to the porous fluororesin membrane.

本発明者は、フッ素樹脂多孔質膜の乾燥しやすさについて鋭意検討を行い、フッ素樹脂多孔質膜におけるバブルポイントの大小が、膜の乾燥しやすさに関係しているとの知見を得た。又、フッ素樹脂多孔質膜の両表面を化学的エッチングや粗面化処理をすることにより乾燥しにくくなるとの知見を得た。本発明は、これらの知見に基づいて完成されたものである。   The present inventors diligently investigated the ease of drying of the fluororesin porous membrane, and obtained the knowledge that the size of the bubble point in the fluororesin porous membrane is related to the ease of drying of the membrane. . Moreover, the knowledge that it became difficult to dry by carrying out chemical etching or a roughening process on both surfaces of a fluororesin porous membrane was acquired. The present invention has been completed based on these findings.

本発明は、多孔質のフッ素樹脂により形成された膜であって、前記膜の両表面側にある外層及び該外層間にある内層を有し、前記外層のバブルポイントが70kPa以下であり、かつ前記内層のバブルポイントが90kPa以上であることを特徴とするフッ素樹脂多孔質膜を提供する。   The present invention is a film formed of a porous fluororesin, having an outer layer on both surface sides of the film and an inner layer between the outer layers, the bubble point of the outer layer being 70 kPa or less, and A fluororesin porous membrane is provided in which the bubble point of the inner layer is 90 kPa or more.

この発明は、検討の結果得られた知見、すなわち、フッ素樹脂多孔質膜においてそのバブルポイントが小さい場合には乾燥しにくく、逆にバブルポイントが大きい場合には乾燥しやすいことに着目してなされたものであり、フッ素樹脂多孔質膜の両方の表面側にバブルポイントが小さい多孔質の層(外層)を配置して膜を乾燥しにくくするとともに、膜の(厚さ方向の)内部にはバブルポイントの大きい多孔質の層(内層)を配置して、高分離能を保持したものである。   This invention is made by paying attention to the knowledge obtained as a result of the study, that is, it is difficult to dry when the bubble point is small in the fluororesin porous membrane, and conversely, it is easy to dry when the bubble point is large. The porous layer (outer layer) with a small bubble point is arranged on both surface sides of the fluororesin porous membrane to make the membrane difficult to dry, and inside the membrane (in the thickness direction) A porous layer (inner layer) having a large bubble point is disposed to maintain high separation ability.

本発明の多孔質膜は、その内部に、バブルポイントが90kPa以上の内層(膜の厚み方向の内側の部分)を有し、該内層の両方の表面側に、バブルポイントが70kPa以下の乾燥しにくい外層(膜の表面側の部分)を有することを特徴とする。すなわち、その両表面側を形成する多孔質の層と、その内部を形成する多孔質の層は、乾燥しやすさが異なる多孔質の層であり、その両表面側の部分(外層)を構成する多孔質の層のみで膜を形成したときのバブルポイントは70kPa以下であり、多孔質膜の内部の領域(内層)を構成する多孔質の層のみで膜を形成したときのバブルポイントは90kPa以上である。   The porous membrane of the present invention has an inner layer (the inner portion in the thickness direction of the membrane) with a bubble point of 90 kPa or more inside, and is dried at a bubble point of 70 kPa or less on both surface sides of the inner layer. It is characterized by having a difficult outer layer (portion on the surface side of the film). That is, the porous layer that forms both surfaces and the porous layer that forms the inside are porous layers with different easiness of drying, and constitutes both surface portions (outer layers) The bubble point when the film is formed with only the porous layer is 70 kPa or less, and the bubble point when the film is formed with only the porous layer constituting the inner region (inner layer) of the porous film is 90 kPa. That's it.

ここでバブルポイントとは、具体的には、IPAバブルポイントを意味し、ASTM F316で測定された値である。   Here, the bubble point specifically means an IPA bubble point, and is a value measured by ASTM F316.

本発明の多孔質膜が、バブルポイントが90kPa以上の層を有しない場合は、分離膜としての機能が不十分となり、高分離能を保持しない。一方、両表面側(外層)のバブルポイントが70kPaを越える場合は、乾燥を抑制する効果、すなわち保水性が十分に付与されない。孔径が大きい程バブルポイントが小さくなるので、外層を構成する多孔質の孔径は、内層の多孔質の孔径より大きいと考えられる。   When the porous membrane of the present invention does not have a layer having a bubble point of 90 kPa or more, the function as a separation membrane becomes insufficient and high separation ability is not maintained. On the other hand, when the bubble points on both surface sides (outer layers) exceed 70 kPa, the effect of suppressing drying, that is, sufficient water retention is not imparted. Since the bubble point becomes smaller as the pore diameter is larger, the porous pore diameter constituting the outer layer is considered to be larger than the porous pore diameter of the inner layer.

またこのバブルポイントが70kPa以下の層は、膜の片側のみでなく両側の外表面に形成される必要がある。片側のみに形成されている場合は、他の表面側が乾燥しやすいから、乾燥を抑制する効果(保水性)は小さく、本発明の課題が達成されない。   Further, the layer having the bubble point of 70 kPa or less needs to be formed not only on one side of the film but also on the outer surfaces on both sides. When it is formed only on one side, the other surface side is easy to dry, so the effect of suppressing drying (water retention) is small, and the object of the present invention is not achieved.

このように、保水性維持の作用に優れるバブルポイントが小さい層を両表面側に配置し、分離膜としての機能を奏するバブルポイントが大きい層を内部に配置させたので、気体に触れたり、水溶液中に混入している気泡や溶存ガスが付着したりしても、乾燥しにくくなるとともに、高い分離能も保持することができる。   In this way, layers having a small bubble point that is excellent in maintaining water retention are arranged on both surface sides, and a layer having a large bubble point that functions as a separation membrane is arranged inside, so that it can touch gas or an aqueous solution Even if bubbles or dissolved gas mixed therein adheres, it becomes difficult to dry and high separation ability can be maintained.

本発明は、又、多孔質のフッ素樹脂により形成され、バブルポイントが90kPa以上である膜の両表面側に、多孔質のフッ素樹脂により形成され、バブルポイントが70kPa以下である膜を積層してなることを特徴とするフッ素樹脂多孔質膜を提供する。   In the present invention, a film formed of a porous fluororesin and having a bubble point of 70 kPa or less is laminated on both surfaces of a film formed of a porous fluororesin and having a bubble point of 90 kPa or more. A fluororesin porous membrane is provided.

この多孔質膜は、前記のフッ素樹脂多孔質膜であって、この特定の方法により製造されたものである。より具体的には、この多孔質膜は、バブルポイントが90kPa以上である多孔質のフッ素樹脂膜の両表面側に、バブルポイントが70kPa以下である多孔質のフッ素樹脂膜を重ね合わせ、両者間を固定した状態で、これらの材質の融点以上(PTFE場合は327℃以上)に加熱して一体化することにより、得ることができる。一体化後、両表面側に重ね合わせられた膜、すなわちバブルポイントが70kPa以下の膜は、前記のフッ素樹脂多孔質膜における外層となり、バブルポイントが90kPa以上である膜は、前記のフッ素樹脂多孔質膜における内層となる。   This porous membrane is the above-mentioned fluororesin porous membrane and is manufactured by this specific method. More specifically, this porous membrane is formed by superposing a porous fluororesin film having a bubble point of 70 kPa or less on both surface sides of a porous fluororesin film having a bubble point of 90 kPa or more. Can be obtained by heating to above the melting point of these materials (in the case of PTFE, at least 327 ° C.) and integrating them. After the integration, the films superposed on both surface sides, that is, the film having a bubble point of 70 kPa or less becomes the outer layer in the fluororesin porous film, and the film having a bubble point of 90 kPa or more is the fluororesin porous film. It is the inner layer in the membrane.

なお、両表面側に積層される膜は、それぞれのバブルポイントが70kPa以下であるとの制限内で、バブルポイントが互いに異なるものであってもよい。また、バブルポイントが90kPa以上である内側のフッ素樹脂多孔質膜、及びバブルポイントが70kPa以下である両表面側のフッ素樹脂多孔質膜のそれぞれは、2以上の膜を重ね合わせた膜であってもよい。   In addition, the film | membrane laminated | stacked on both surface side may have a mutually different bubble point within the restriction | limiting that each bubble point is 70 kPa or less. Each of the inner fluororesin porous film having a bubble point of 90 kPa or more and the fluororesin porous film on both surfaces having a bubble point of 70 kPa or less are films in which two or more films are stacked. Also good.

さらに、前記の内側の膜と両表面側に積層される膜の間に、他の多孔質膜を挟持し、これらを重ね合わせて一体化してもよい。例えば、内側から両表面側に向けて、順次バブルポイントが小さくなるように、さらに多層の多孔質膜を積層した構造の膜が形成されてもよい。   Further, another porous film may be sandwiched between the inner film and the film laminated on both surface sides, and these may be overlapped and integrated. For example, a film having a structure in which a multilayer porous film is further laminated may be formed so that the bubble points are sequentially reduced from the inner side toward the both surface sides.

分離膜としての機能に鑑みると、内層または内層となる多孔質の膜としては、バブルポイントが100kPa以上のものがより好ましい。また、乾燥を抑制するとの効果に鑑みると、両表面側の多孔質の層、すなわち外層または外層となる多孔質の膜としては、バブルポイントが50kPa以下のものがより好ましい。   In view of the function as a separation membrane, the inner layer or the porous membrane serving as the inner layer is more preferably one having a bubble point of 100 kPa or more. In view of the effect of suppressing drying, the porous layer on both surface sides, that is, the outer layer or the porous film serving as the outer layer, more preferably has a bubble point of 50 kPa or less.

本発明は、さらに、その請求項1において、多孔質のフッ素樹脂により形成され、バブルポイントが90kPa以上の膜であって、その両表面に、化学的エッチング処理が施されていることを特徴とするフッ素樹脂多孔質膜を提供する。本発明は、さらに又、その請求項2において、前記請求項1のフッ素樹脂多孔質膜であって、さらに、該フッ素樹脂多孔質膜の内部にも化学的エッチング処理が施されていることを特徴とするフッ素樹脂多孔質膜を提供する。   The present invention is further characterized in that, in claim 1, the film is formed of a porous fluororesin and has a bubble point of 90 kPa or more, and both surfaces thereof are subjected to chemical etching treatment. A fluororesin porous membrane is provided. Further, the present invention is the fluororesin porous membrane according to claim 1, wherein the inside of the fluororesin porous membrane is further subjected to chemical etching treatment. A fluororesin porous membrane is provided.

バブルポイントが90kPa以上である多孔質のフッ素樹脂膜の両表面側に、バブルポイントが70kPa以下である多孔質のフッ素樹脂膜を貼り付ける代わりに、バブルポイントが高い多孔質のフッ素樹脂膜に化学的エッチング処理を施すことによっても、分離膜としての機能に優れるとともに、乾燥しにくい保水性の優れた膜を、安価に形成することができる。すなわち、化学的エッチング処理により、フッ素樹脂多孔質膜表面の高い疎水性が弱められ水との親和性が高められる。   Instead of sticking a porous fluororesin film with a bubble point of 70 kPa or less on both surfaces of a porous fluororesin film with a bubble point of 90 kPa or more, a chemical is applied to a porous fluororesin film with a high bubble point. By performing the selective etching process, it is possible to form a membrane having excellent functions as a separation membrane and having excellent water retention that is difficult to dry. That is, the chemical etching treatment weakens the high hydrophobicity of the fluororesin porous membrane surface and increases the affinity with water.

化学的エッチング処理としては、アルカリ金属を用いて、多孔質膜を構成するフッ素樹脂を変性し、その変性された部分を除去する酸化分解処理が挙げられる。請求項3は、前記の請求項1又は請求項2のフッ素樹脂多孔質膜であって、化学的エッチング処理が酸化分解処理である態様に該当する。   Examples of the chemical etching treatment include an oxidative decomposition treatment in which an alkali metal is used to modify the fluororesin constituting the porous film and remove the modified portion. A third aspect of the present invention corresponds to the fluororesin porous membrane according to the first or second aspect, wherein the chemical etching process is an oxidative decomposition process.

酸化分解処理は、例えば、有機アルカリ金属溶液を用いて行われる。フッ素樹脂多孔質膜に、有機アルカリ金属溶液により化学的エッチング処理を施すと、表面は変性され親水性が付与されるとともに、褐色化した層(褐色層)が形成される。この褐色層は、フッ化ナトリウム、炭素−炭素二重結合を有するフッ素樹脂の分解物、これらとナフタレン、アントラセンとの重合物等からなるが、これらは、脱落、分解、溶出等により濾過液に混入する場合があるので、除去することが望ましい。これらの除去は、過酸化水素や次亜塩素酸ソーダ、オゾン等による酸化分解によりすることができる。   The oxidative decomposition treatment is performed using, for example, an organic alkali metal solution. When the fluororesin porous membrane is subjected to a chemical etching treatment with an organic alkali metal solution, the surface is modified to impart hydrophilicity, and a browned layer (brown layer) is formed. This brown layer is composed of sodium fluoride, a decomposition product of a fluororesin having a carbon-carbon double bond, a polymer of these with naphthalene, anthracene, etc., but these are separated into the filtrate by dropping, decomposition, elution or the like. Since it may be mixed, it is desirable to remove it. These can be removed by oxidative decomposition with hydrogen peroxide, sodium hypochlorite, ozone, or the like.

このような化学的エッチング処理により、表面のフッ素が抜けて親水基等が導入されることは知られている(特開平5−237141号公報)が、本発明者は褐色層を分解除去した後においても保水性が保持されることを見出した。従って、バブルポイントが高い多孔質のフッ素樹脂膜、すなわち分離膜としての機能が優れる膜に、このような化学的エッチング処理を施すことにより、分離能が優れるとともに保水性にも優れた多孔質膜を得ることができる。   It is known that such a chemical etching process removes fluorine on the surface and introduces hydrophilic groups or the like (Japanese Patent Laid-Open No. 5-237141), but the present inventor has decomposed and removed the brown layer. It was also found that water retention is maintained in Therefore, by applying such a chemical etching treatment to a porous fluororesin membrane having a high bubble point, that is, a membrane having an excellent function as a separation membrane, the porous membrane has excellent separation performance and water retention. Can be obtained.

前記のように、化学的エッチング処理は、有機アルカリ金属溶液等を用いて行うことができるが、具体的には、有機アルカリ金属溶液にフッ素樹脂多孔質膜を浸漬することにより行うことができる。この場合、多孔質膜の表面側から化学的エッチング処理が行われるので、膜の両表面近傍のみに化学的エッチング処理を施すことも可能である。しかし、膜の保水性をより高めるためには、両表面近傍のみではなく、多孔質膜の内部まで化学的エッチング処理を施し、請求項2の膜を形成する方が好ましい。多孔質膜の内部まで化学的エッチング処理を施しても、分離膜としての機能の低下は小さい。   As described above, the chemical etching treatment can be performed using an organic alkali metal solution or the like, and specifically, can be performed by immersing the fluororesin porous film in the organic alkali metal solution. In this case, since the chemical etching process is performed from the surface side of the porous film, it is also possible to perform the chemical etching process only in the vicinity of both surfaces of the film. However, in order to further increase the water retention of the film, it is preferable to form the film of claim 2 by performing chemical etching treatment not only in the vicinity of both surfaces but also inside the porous film. Even if the chemical etching treatment is applied to the inside of the porous membrane, the function as a separation membrane is not significantly lowered.

バブルポイントが高い多孔質のフッ素樹脂膜は、孔径の小さい多孔質膜であるが、孔径が小さくなると乾燥しやすくなるのでより高い保水性が求められる。前記のように、より高い保水性を得るためには、多孔質膜内部まで化学的エッチング処理が施される方が好ましい。しかし、本発明者の検討によれば、孔径が小さくなる程、化学的エッチング処理が多孔質膜の内部まで施されにくくなる。そこで、多孔質膜の孔径が小さい場合であっても、より内部まで化学的エッチング処理が施されるような条件、方法が望まれる。   A porous fluororesin film having a high bubble point is a porous film having a small pore diameter, but when the pore diameter is small, it becomes easy to dry, and thus higher water retention is required. As described above, in order to obtain higher water retention, it is preferable that chemical etching treatment is performed to the inside of the porous film. However, according to the study of the present inventor, the smaller the pore diameter, the less likely the chemical etching process is performed to the inside of the porous film. Therefore, conditions and methods are desired that allow chemical etching treatment to be performed further to the inside even when the pore diameter of the porous membrane is small.

化学的エッチング処理に用いられる有機アルカリ金属溶液としては、メチルリチウム、金属ナトリウム−ナフタレン錯体、金属ナトリウム−アントラセン錯体のテトラヒドロフラン等の有機溶剤溶液、金属ナトリウム−液体アンモニアの溶液等が挙げられる。   Examples of the organic alkali metal solution used in the chemical etching treatment include an organic solvent solution such as methyllithium, a metal sodium-naphthalene complex, a metal sodium-anthracene complex in tetrahydrofuran, a metal sodium-liquid ammonia solution, and the like.

中でも、ナフタレンを芳香族アニオンラジカルとした金属ナトリウムとの錯体の溶液が一般に広く用いられているが、多孔質膜の内部まで化学的エッチング処理を施こすためには、ベンゾフェノン、アントラセン、ビフェニルを芳香族アニオンラジカルとして用いる方が好ましい。本発明者は、検討の結果、ナフタレンよりも、ベンゾフェノン、アントラセン、ビフェニルを芳香族アニオンラジカルとして用いる方が、多孔質膜の内部まで化学的エッチング処理を容易に行えることを見いだした。請求項4は、この好ましい態様に該当する。   Among them, a solution of a complex of sodium metal with naphthalene as an aromatic anion radical is generally widely used. However, in order to perform chemical etching treatment to the inside of the porous film, benzophenone, anthracene, and biphenyl are aromatic. It is preferable to use it as a group anion radical. As a result of the study, the present inventor has found that chemical etching treatment can be easily performed to the inside of the porous film when benzophenone, anthracene, and biphenyl are used as aromatic anion radicals rather than naphthalene. Claim 4 corresponds to this preferred embodiment.

本発明は、さらに、その請求項5において、多孔質のフッ素樹脂により形成され、バブルポイントが90kPa以上の膜であって、その両面に物理的手段による粗面化処理が施されていることを特徴とするフッ素樹脂多孔質膜を提供する。   The present invention is further characterized in that, in claim 5, the film is formed of a porous fluororesin and has a bubble point of 90 kPa or more, and both surfaces thereof are roughened by physical means. A fluororesin porous membrane is provided.

バブルポイントが90kPa以上であるフッ素樹脂多孔質膜の両表面に、バブルポイントが70kPa以下である膜を貼り付ける代わりに、物理的手段による粗面化処理を施すことによっても、両表面に、乾燥しにくい、保水性の優れた膜を、安価に形成することができる。物理的手段による粗面化処理として、ヤスリやサンドブラスト等による研磨、プラズマビーム等による表面エッチング、火炎処理等が例示される。   Instead of attaching a film with a bubble point of 70 kPa or less to both surfaces of a fluororesin porous film having a bubble point of 90 kPa or more, both surfaces can be dried by applying a roughening treatment by physical means. It is possible to form a film having excellent water retention that is difficult to perform at low cost. Examples of the roughening treatment by physical means include polishing with a file, sandblast, etc., surface etching with a plasma beam, etc., flame treatment, and the like.

本発明の多孔質膜を構成するフッ素樹脂とは、フッ素を含有する高分子を意味し、PTFEやポリ三フッ化エチレン等の樹脂の他、フッ素ゴム等のエラストマーも含む意味である。このようなフッ素樹脂からなる多孔質膜の中でも、PTFE多孔質膜は、PTFE固有の性質としての優れた耐薬品性や耐熱性を有し、さらに高分離能、高透過性等の構造的な優れた特徴を有するので好ましい。請求項6は、この好ましい態様に該当する。   The fluororesin constituting the porous membrane of the present invention means a polymer containing fluorine, and includes an elastomer such as fluororubber in addition to a resin such as PTFE and polytrifluoride ethylene. Among such porous membranes made of a fluororesin, the PTFE porous membrane has excellent chemical resistance and heat resistance as properties inherent to PTFE, and further has a structural property such as high resolution and high permeability. Since it has the outstanding characteristic, it is preferable. Claim 6 corresponds to this preferable mode.

PTFE多孔質膜は、PTFEを主成分とし、微細な多孔質構造を有する膜であれば特に限定されない。このようなPTFE多孔質膜は、例えば、特公昭42−13560号公報に記載の方法によって製造することができる。   The PTFE porous membrane is not particularly limited as long as it is a membrane having PTFE as a main component and a fine porous structure. Such a porous PTFE membrane can be produced, for example, by the method described in Japanese Patent Publication No. 42-13560.

すなわち、先ず、PTFEファインパウダーと潤滑剤との混合ペーストを、シート状等の所定形状に成形する。この成形体を、潤滑剤を除去した後あるいは除去せずに、少なくとも一軸方向に延伸する。延伸後は、通常、PTFEの融点である327℃以上に加熱し、焼結する。   That is, first, a mixed paste of PTFE fine powder and a lubricant is formed into a predetermined shape such as a sheet. The molded body is stretched at least in a uniaxial direction after or without removing the lubricant. After stretching, it is usually heated to 327 ° C., which is the melting point of PTFE, and sintered.

延伸工程では、押出工程で圧着されたPTFEファインパウダー同士が、延伸により離れて裂けるようにしてできた亀裂状の孔間に、糸を引くように微細な繊維が延伸方向に形成される。このような微細繊維状構造により多孔質構造が形成される。PTFEファインパウダーやPTFEディスパージョン液に、溶媒に可溶な粒子を混練して所定形状に成形し、その後、粒子を溶解除去して多孔質化したPTFE多孔質膜、あるいはこれを延伸したPTFE多孔質膜等も使用することができる。   In the stretching process, fine fibers are formed in the stretching direction so as to draw a thread between crack-like holes formed such that the PTFE fine powders pressed in the extrusion process are torn apart by stretching. A porous structure is formed by such a fine fibrous structure. A PTFE porous membrane obtained by kneading particles soluble in a solvent into PTFE fine powder or PTFE dispersion liquid to form a predetermined shape, and then dissolving and removing the particles to make it porous, or a PTFE porous film obtained by stretching this A membrane or the like can also be used.

本発明のフッ素樹脂多孔質膜の厚さ、それを構成する前記の内層や両方の外層の厚さ、また前記の態様のフッ素樹脂多孔質膜において膜の形成に用いられるそれぞれの多孔質のフッ素樹脂膜の厚さや、多孔質の孔径等は、バブリングポイントが本発明の範囲を満たす限り、特に限定されず、求められる透過性や機械的強度に応じて適宜決定される。例えば、平均孔径0.2μm以下で、内層としてバブルポイントが100kPa以上の膜を用いる場合は、膜厚を30μm以下とすることで高透過性が得られる。   The thickness of the fluororesin porous membrane of the present invention, the thickness of the inner layer and both outer layers constituting it, and the porous fluorine used for forming the membrane in the fluororesin porous membrane of the above embodiment The thickness of the resin film, the porous pore diameter, and the like are not particularly limited as long as the bubbling point satisfies the scope of the present invention, and are appropriately determined according to the required permeability and mechanical strength. For example, when a film having an average pore diameter of 0.2 μm or less and a bubble point of 100 kPa or more is used as the inner layer, high permeability can be obtained by setting the film thickness to 30 μm or less.

本発明のフッ素樹脂多孔質膜は、吸水する性質は有さないが、アルコール等に浸してから水に置換した後の保水性が非常に高いという特徴を有する。すなわち、気体に触れても、また水溶液中に混入している気泡や溶存ガスが付着しても乾燥しにくい。その結果、使用中に徐々に処理能力が低下し、復帰の操作のために運転を停止する必要がある等の問題が小さい。また、フッ素樹脂多孔質体が本来有する優れた性質、高分離能、高透過性等の優れた特徴も併せて保持する。特に、フッ素樹脂としてPTFEを用いたPTFE多孔質膜の場合は、PTFE固有の耐薬品性、耐熱性等の化学的特性と多孔質構造を損なうことなく、優れた保水性を有して膜の乾燥を抑制することができる。   Although the fluororesin porous membrane of the present invention does not have the property of absorbing water, it has a feature that the water retention after immersion in alcohol or the like and then replacement with water is very high. That is, even if the gas is touched or bubbles or dissolved gas mixed in the aqueous solution adheres, it is difficult to dry. As a result, the processing capacity gradually decreases during use, and problems such as the need to stop the operation for the return operation are small. In addition, excellent characteristics such as excellent properties inherent to the fluororesin porous body, high separation ability, and high permeability are also retained. In particular, in the case of a PTFE porous membrane using PTFE as a fluororesin, the membrane has excellent water retention without impairing the chemical properties and the porous structure inherent to PTFE, such as chemical resistance and heat resistance. Drying can be suppressed.

なお、前記の本発明の多孔質膜はフッ素樹脂からなるものであるが、フッ素樹脂の代わりに、ポリアセタール等の撥水性の高分子材料からなる多孔質膜についても、膜の両外表面側にバブルポイントの小さい乾きにくい膜を配置することにより、本発明と同様な効果が得られる。   The porous film of the present invention is made of a fluororesin, but a porous film made of a water-repellent polymer material such as polyacetal is also used on both outer surface sides of the film instead of the fluororesin. By arranging a film that has a small bubble point and is difficult to dry, the same effect as in the present invention can be obtained.

次に、本発明を実施するための最良の形態を、実施例により具体的に説明する。なお、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を損なわない限り他の形態へ変更することができる。   Next, the best mode for carrying out the present invention will be specifically described by way of examples. In addition, this invention is not limited to this Example, It can change into another form, unless the meaning of this invention is impaired.

バブルポイント120kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.2μm、商品名:ポアフロンHP−020−30、住友電工ファインポリマー(株)製)の両表面側に、バブルポイント15kPa、厚さ100μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径5μm、商品名:ポアフロンWP−500−100、住友電工ファインポリマー(株)製)を重ね合わせ、固定した状態で、340℃で20分間加熱、一体化させてPTFE多孔質膜を得た。   On both surface sides of a PTFE porous membrane having a bubble point of 120 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 0.2 μm, trade name: Poeflon HP-020-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) In a state where a PTFE porous membrane having a bubble point of 15 kPa and a thickness of 100 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 5 μm, trade name: Poeflon WP-500-100, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) is overlaid and fixed. A PTFE porous membrane was obtained by heating and integrating at 340 ° C. for 20 minutes.

バブルポイント120kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.2μm、商品名:ポアフロンHP−020−30、住友電工ファインポリマー(株)製)の両表面側に、バブルポイント40kPa、厚さ100μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径1μm、商品名:ポアフロンWP−100−100、住友電工ファインポリマー(株)製)を重ね合わせ、固定した状態で340℃で20分間加熱、一体化させて、PTFE多孔質膜を得た。   On both surface sides of a PTFE porous membrane having a bubble point of 120 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 0.2 μm, trade name: Poeflon HP-020-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) In a state in which a PTFE porous membrane having a bubble point of 40 kPa and a thickness of 100 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 1 μm, trade name: Poeflon WP-100-100, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) is stacked and fixed. The porous PTFE membrane was obtained by heating and integration at 340 ° C. for 20 minutes.

バブルポイント120kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.2μm、商品名:ポアフロンHP−020−30、住友電工ファインポリマー(株)製)の両面を、1000番の紙ヤスリを用いて研磨し、PTFE多孔質膜を得た。   Both sides of a PTFE porous membrane having a bubble point of 120 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 0.2 μm, trade name: Poeflon HP-020-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) A PTFE porous membrane was obtained by polishing with a paper file.

バブルポイント120kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.2μm、商品名:ポアフロンHP−020−30、住友電工ファインポリマー(株)製)を収縮しないようポリプロピレン製治具に固定し、金属ナトリウム−ナフタレン錯体溶液(商品名:テトラエッチ、潤工社(株)製)に0.5秒間漬けた後、IPA、次いで蒸留水を用いて洗浄した。このとき、多孔質膜の表面は褐色化していたので、さらに、濃度30%の過酸化水素水に80℃で24時間漬けて、褐色部分を分解除去してPTFE多孔質膜を得た。   PTFE porous membrane with a bubble point of 120 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, pore diameter of 0.2 μm, trade name: Poeflon HP-020-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) is made of polypropylene so as not to shrink. The sample was fixed on a jig and immersed in a metal sodium-naphthalene complex solution (trade name: Tetra Etch, manufactured by Junkosha Co., Ltd.) for 0.5 seconds, and then washed with IPA and then distilled water. At this time, since the surface of the porous membrane was browned, it was further immersed in hydrogen peroxide solution having a concentration of 30% at 80 ° C. for 24 hours to decompose and remove the brown portion to obtain a PTFE porous membrane.

金属ナトリウム−ナフタレン錯体溶液に漬ける時間を0.5秒から2秒に変えた以外は実施例4と同様にしてPTFE多孔質膜を得た。   A PTFE porous membrane was obtained in the same manner as in Example 4 except that the time for immersion in the metal sodium-naphthalene complex solution was changed from 0.5 second to 2 seconds.

(比較例1)
バブルポイント120kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.2μm、商品名:ポアフロンHP−020−30、住友電工ファインポリマー(株)製)そのものを用いた。
(Comparative Example 1)
A PTFE porous membrane having a bubble point of 120 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 0.2 μm, trade name: Poeflon HP-020-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) itself was used.

(比較例2)
バブルポイント120kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.2μm、商品名:ポアフロンHP−020−30、住友電工ファインポリマー(株)製)の両面に、バブルポイント80kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.45μm、商品名:ポアフロンHP−045−30、住友電工ファインポリマー(株)製)を重ね合わせ、固定した状態で、340℃で20分間加熱、一体化させてPTFE多孔質膜を得た。
(Comparative Example 2)
Bubble points on both sides of a PTFE porous membrane with a bubble point of 120 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore size of 0.2 μm, trade name: Poeflon HP-020-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) In a state where 80 kPa, 30 μm thick PTFE porous membrane (a porous membrane made of expanded PTFE, pore diameter 0.45 μm, trade name: Poeflon HP-045-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) is overlaid and fixed. A PTFE porous membrane was obtained by heating and integrating at 340 ° C. for 20 minutes.

(比較例3)
バブルポイント120kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.2μm、商品名:ポアフロンHP−020−30、住友電工ファインポリマー(株)製)の片面だけに、バブルポイント15kPa、厚さ100μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径5μm、商品名:ポアフロンWP−500−100、住友電工ファインポリマー(株)製)を重ね合わせ、固定した状態で、340℃で20分間加熱、一体化させて、PTFE多孔質膜を得た。
(Comparative Example 3)
Bubble point 120 kPa, 30 μm thick PTFE porous membrane (Porous membrane made of expanded PTFE, pore diameter 0.2 μm, trade name: Poaflon HP-020-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) In a state in which a PTFE porous membrane having a point of 15 kPa and a thickness of 100 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 5 μm, a trade name: Poeflon WP-500-100, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) The porous PTFE membrane was obtained by heating and integration at 340 ° C. for 20 minutes.

(比較例4)
バブルポイント120kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.2μm、商品名:ポアフロンHP−020−30、住友電工ファインポリマー(株)製)の片面だけを、1000番の紙ヤスリを用いて研磨し、PTFE多孔質膜を得た。
(Comparative Example 4)
Only one side of a PTFE porous membrane having a bubble point of 120 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore size of 0.2 μm, trade name: Poeflon HP-020-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) A PTFE porous membrane was obtained by polishing with a numbered paper file.

上記、実施例及び比較例で得たPTFE多孔質膜は、すべて、そのまま水に漬けても水を弾いてしまい、吸水することはなかった。   The PTFE porous membranes obtained in the above Examples and Comparative Examples all repelled water even when immersed in water as they were, and did not absorb water.

上記、実施例及び比較例で得たPTFE多孔質膜を、47mm径のディスク状に打ち抜き、各試験体とする。試験体をフィルターホルダーに固定して、50kPaの圧力でIPAを通しIPA流量を測定した後、試験体をビーカーに溜めた純水中に浸漬して、IPAを純水に置換する。   The PTFE porous membranes obtained in the above Examples and Comparative Examples are punched into a 47 mm-diameter disk to obtain test specimens. The specimen is fixed to the filter holder, and the IPA flow rate is measured through IPA at a pressure of 50 kPa, and then the specimen is immersed in pure water stored in a beaker to replace IPA with pure water.

次に、試験体を純水中から取り出し1分間外気に暴露する。多孔質膜が乾燥すると、膜は濡れている半透明状態から乾燥状態の白っぽい色に変化してくる。再度、乾燥したフィルターホルダーに固定し、直ぐに50kPaの圧力で純水を通しその水流量を測定する。   Next, the test body is taken out from pure water and exposed to the outside air for 1 minute. When the porous membrane dries, the membrane changes from a wet translucent state to a dry whitish color. Again, fix to the dry filter holder and immediately pass pure water at a pressure of 50 kPa and measure the water flow rate.

こうして得られたIPA流量及び水流量の比により、乾燥のしやすさを定量的に表すことができる。すなわち、乾燥しやすい膜では、IPA流量に対する水流量の比の値が極端に低くなるのに対し、乾燥しにくい膜では、IPA流量に対する水流量の比の値が高い。測定結果を表1に示す。なお表1には、下記の方法で測定した各PTFE多孔質膜のIPAバブルポイントを併せて示してある(IPA−BPと表示)。   The ease of drying can be quantitatively expressed by the ratio of the IPA flow rate and the water flow rate obtained in this way. That is, in the membrane that is easy to dry, the value of the ratio of the water flow rate to the IPA flow rate is extremely low, whereas in the membrane that is difficult to dry, the value of the ratio of the water flow rate to the IPA flow rate is high. The measurement results are shown in Table 1. Table 1 also shows the IPA bubble point of each PTFE porous membrane measured by the following method (indicated as IPA-BP).

IPAバブルポイントの測定方法: ASTM F316の方法で行う。すなわち、イソプロパノールに含浸し、管壁の孔内をイソプロパノールで充満した後、一方の面より徐々に空気圧を負荷した時に、初めて気泡が反対面より出てきたときの圧力である。   IPA bubble point measurement method: Measured by ASTM F316. That is, the pressure when air bubbles emerge from the opposite surface for the first time when the air pressure is gradually applied from one surface after impregnating with isopropanol and filling the pores of the tube wall with isopropanol.

Figure 0005564018
Figure 0005564018

実施例1〜5の結果より、PTFE多孔質膜の両表面側に、バブルポイントの低い膜の貼り付け、化学的エッチング、又は粗面化、の処理を施すことにより、水流量の低下を抑制でき、保水性が保持(乾燥が抑制)されていることが明らかである。 From the results of Examples 1 to 5, the lowering of the water flow rate is suppressed by applying a film with a low bubble point, chemical etching, or roughening on both surfaces of the PTFE porous film. It is clear that water retention is maintained (drying is suppressed).

一方、このような処理を施さなかった場合(比較例1)、両表面側へ貼り付けた膜のバブルポイントが本発明の範囲(70kPa以下)を越える場合(比較例2)、前記の処理を片面のみに施した場合(比較例3、4)では、優れた保水性が得られないことが示されている。   On the other hand, when such a treatment was not performed (Comparative Example 1), when the bubble point of the film attached to both surfaces exceeded the range of the present invention (70 kPa or less) (Comparative Example 2), the above treatment was performed. In the case where it is applied only on one side (Comparative Examples 3 and 4), it is shown that excellent water retention cannot be obtained.

また、参考例1〜4を以下に記す。   Reference Examples 1 to 4 are described below.

(参考例1)
バブルポイント180kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.1μm、商品名:ポアフロンHP−010−30、住友電工ファインポリマー(株)製)そのものを用いた。
(Reference Example 1)
A PTFE porous membrane having a bubble point of 180 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 0.1 μm, trade name: Poreflon HP-010-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) itself was used.

(参考例2)
バブルポイント80kPa、厚さ30μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径0.45μm、商品名:ポアフロンHP−045−30、住友電工ファインポリマー(株)製)そのものを用いた。
(Reference Example 2)
A PTFE porous membrane having a bubble point of 80 kPa and a thickness of 30 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 0.45 μm, trade name: Poeflon HP-045-30, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) itself was used.

(参考例3)
バブルポイント40kPa、厚さ100μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径1.0μm、商品名:ポアフロンWP−100−100、住友電工ファインポリマー(株)製)そのものを用いた。
(Reference Example 3)
A PTFE porous membrane having a bubble point of 40 kPa and a thickness of 100 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 1.0 μm, trade name: Poreflon WP-100-100, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) itself was used.

(参考例4)
バブルポイント15kPa、厚さ100μmのPTFE多孔質膜(延伸PTFE製多孔質膜、孔径5.0μm、商品名:ポアフロンWP−500−100、住友電工ファインポリマー(株)製)そのものを用いた。
(Reference Example 4)
A PTFE porous membrane having a bubble point of 15 kPa and a thickness of 100 μm (a porous membrane made of expanded PTFE, a pore diameter of 5.0 μm, trade name: Poeflon WP-500-100, manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd.) itself was used.

各参考例についても、前記実施例、比較例と同様な測定を行い、その結果を表2に示す。なお、参考例2〜4では、水流量/IPA流量は優れているが、これらは、分離膜の微粒子の捕捉機能については、前記の実施例のフッ素樹脂多孔質膜より劣るものである。   For each of the reference examples, the same measurement as in the examples and comparative examples was performed, and the results are shown in Table 2. In Reference Examples 2 to 4, the water flow rate / IPA flow rate is excellent, but these are inferior to the fluororesin porous membrane of the above-described embodiment in terms of the fine particle capturing function of the separation membrane.

Figure 0005564018
Figure 0005564018

Claims (5)

多孔質のフッ素樹脂により形成され、前記フッ素樹脂が、ポリテトラフルオロエチレンであり、IPAバブルポイントが90kPa以上の膜であって、その両表面に化学的エッチング処理が施されていることを特徴とするフッ素樹脂多孔質膜。 It is formed of a porous fluororesin, and the fluororesin is polytetrafluoroethylene, and is a film having an IPA bubble point of 90 kPa or more, and both surfaces thereof are subjected to chemical etching treatment. Fluororesin porous membrane. さらに、フッ素樹脂多孔質膜の内部にも化学的エッチング処理が施されていることを特徴とする請求項1に記載のフッ素樹脂多孔質膜。   2. The fluororesin porous membrane according to claim 1, wherein the inside of the fluororesin porous membrane is also chemically etched. 化学的エッチング処理が、酸化分解処理であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のフッ素樹脂多孔質膜。   3. The fluororesin porous membrane according to claim 1, wherein the chemical etching process is an oxidative decomposition process. 酸化分解処理が、ベンゾフェノン、アントラセン又はビフェニルを芳香族アニオンラジカルとして用いる有機アルカリ金属溶液による処理であることを特徴とする請求項3に記載のフッ素樹脂多孔質膜。   The fluororesin porous membrane according to claim 3, wherein the oxidative decomposition treatment is a treatment with an organic alkali metal solution using benzophenone, anthracene or biphenyl as an aromatic anion radical. 多孔質のフッ素樹脂により形成され、前記フッ素樹脂が、ポリテトラフルオロエチレンであり、IPAバブルポイントが90kPa以上の膜であって、その両表面に物理的手段による粗面化処理が施されていることを特徴とするフッ素樹脂多孔質膜。 It is formed of a porous fluororesin, and the fluororesin is polytetrafluoroethylene and is a film having an IPA bubble point of 90 kPa or more, and both surfaces thereof are roughened by physical means. A porous fluororesin membrane characterized by the above.
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