JP5550824B2 - Resin sealing method and apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、半導体素子が配置された被成形品(リードフレームなどを含む)を、樹脂にて封止する樹脂封止装置の技術分野に関する。   The present invention relates to a technical field of a resin sealing device that seals a molded product (including a lead frame) on which a semiconductor element is arranged with a resin.

従来、複数の金型を有する樹脂封止装置において、減圧機構である真空ポンプが金型毎に設置され、金型の減圧タイミングは金型毎に制御されていた。今般、省エネルギ、装置コストダウン等により真空ポンプを複数の金型に1台(兼用ということ)とするようになり、複数の金型で樹脂封止動作を行う場合、樹脂封止動作中の減圧に係る工程が重ならないように、先に樹脂封止動作がなされる先行金型での樹脂封止動作(先プレスと称する)の完了を待って、次に樹脂封止動作がなされる後行金型での樹脂封止動作(次プレスと称する)を開始していた。   Conventionally, in a resin sealing apparatus having a plurality of molds, a vacuum pump as a pressure reducing mechanism is installed for each mold, and the pressure reducing timing of the mold is controlled for each mold. Recently, due to energy saving, equipment cost reduction, etc., one vacuum pump is used for a plurality of molds (also referred to as dual-use). When a resin sealing operation is performed with a plurality of molds, After completion of the resin sealing operation (referred to as a pre-press) in the preceding mold in which the resin sealing operation is performed first so that the steps related to decompression do not overlap, the next resin sealing operation is performed Resin sealing operation (referred to as the next press) in the row mold was started.

しかしながら、真空ポンプを兼用する金型同士において、先プレスの完了を待って、次プレスを行うと、生産能力の低下を招く。   However, when the next press is performed after completion of the first press in the molds that also serve as the vacuum pump, the production capacity is reduced.

そこで、特許文献1においては、真空ポンプ1台を複数の金型で兼用させても、真空ポンプと併せて真空タンクを用いることで真空機能に係る能力を増大させて、各金型内の空気を外部へ効率よく且つ確実に排出することが記載されている。すなわち、複数の金型を用いても、次プレスで大きく遅れを生じないようにすることが示唆されている。   Therefore, in Patent Document 1, even if a single vacuum pump is shared by a plurality of molds, the ability of the vacuum function is increased by using a vacuum tank in combination with the vacuum pump, and the air in each mold is increased. Is efficiently and reliably discharged to the outside. That is, it has been suggested that even if a plurality of dies are used, a large delay is not caused in the next press.

特開平9−290443号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-290443

しかしながら、特許文献1で、真空引きの迅速な実行を可能とするには、真空タンクはある程度の容積を必要とする。即ち、真空タンクにはそれなりの大きさが必要となるので、特許文献1では、真空ポンプを1台にすることで得られた樹脂封止装置のコンパクトな態様と低コスト化という効果を減殺していると考えられる。これに対して、真空ポンプ自体の真空能力を増大させるという方法も考えられる。しかし、この場合においても、真空ポンプが大型化して樹脂封止装置のコンパクトな態様と低コスト化という効果を減殺することには代わりがないという問題があった。   However, in Patent Document 1, the vacuum tank needs a certain volume in order to enable quick execution of evacuation. In other words, since the vacuum tank needs to have a certain size, Patent Document 1 reduces the effect of reducing the cost and reducing the compact aspect of the resin sealing device obtained by using a single vacuum pump. It is thought that. On the other hand, a method of increasing the vacuum capacity of the vacuum pump itself is also conceivable. However, even in this case, there is a problem that there is no substitute for reducing the effect of reducing the size and cost of the resin sealing device by increasing the size of the vacuum pump.

本発明は、このような問題点を解決するべくなされたものであって、使用する真空ポンプを兼用させることで生じるコンパクト化や低コスト化という効果を減殺することなく、複数の金型を用いた効率的な樹脂封止を実現可能とすることをその目的としている。   The present invention has been made to solve such problems, and can use a plurality of molds without diminishing the effects of downsizing and cost reduction caused by the combined use of a vacuum pump. The purpose is to enable efficient resin sealing.

本発明は、複数の金型を備えて、該金型の減圧を行い、樹脂封止する樹脂封止方法において、前記複数の金型のうちの先に樹脂封止動作がなされる先行金型の減圧終了時には、該先行金型の次に樹脂封止動作がなされる後行金型での樹脂封止動作のうちの被成形品の該後行金型への搭載動作までを完了させ、且つ、前記先行金型の減圧期間と前記後行金型の減圧期間とが重ならないようにすることで、上記課題を解決するものである。
The present invention relates to a resin sealing method comprising a plurality of molds, depressurizing the molds, and performing resin sealing, and a preceding mold in which a resin sealing operation is performed before the plurality of molds. At the end of the decompression , the mounting operation of the molded product to the subsequent mold in the resin sealing operation in the subsequent mold in which the resin sealing operation is performed next to the preceding mold is completed , And the said subject is solved by making it the decompression period of the said preceding metal mold | die and the decompression period of the said following metal mold | die not overlapping.

本発明では、減圧機構を兼用とした際に、減圧能力の直接的な向上に効果を有する減圧機能の能力の増大を図るのではなく、減圧機構を兼用して得られる省エネルギや低コスト化やコンパクト化という特性を最大限に生かすべく、減圧時期の制御の方法に主眼をおいて、先プレス(先行金型での樹脂封止動作)に対する次プレス(後行金型での樹脂封止動作)の遅れを低減した。即ち、先行金型の減圧期間と後行金型の減圧期間とが重ならないように先プレス完了前に次プレスを開始するようにしている。   In the present invention, when the decompression mechanism is also used, energy saving and cost reduction obtained by using the decompression mechanism instead of increasing the ability of the decompression function, which has an effect of directly improving the decompression capability, are achieved. In order to make the most of the characteristics of compactness and compactness, focus on the method of controlling the pressure reduction timing, and the next press (resin sealing in the subsequent mold) to the previous press (resin sealing operation in the preceding mold) (Operation) delay was reduced. That is, the next press is started before the completion of the pre-press so that the decompression period of the preceding mold and the decompression period of the succeeding mold do not overlap.

この結果、減圧機構が兼用であっても、先行金型と後行金型に対する減圧期間は長期化せず、先プレスに対する次プレスの遅れを低減することができる。   As a result, even if the decompression mechanism is also used, the decompression period for the preceding die and the succeeding die is not prolonged, and the delay of the next press with respect to the previous press can be reduced.

ここで、先行金型の減圧期間と後行金型の減圧期間とが重ならないようにする手法は、とくに限定されるものではない。例えば、先行金型での減圧終了時に、後行金型での減圧を開始する場合には、先行金型の減圧期間と後行金型の減圧期間との重なりを確実に防止でき、且つ先プレスに対する次プレスの遅れを最小限にすることができる。しかし、金型における減圧の開始時期は、被成形品や成形のための樹脂タブレットの金型への装填時期等と極めて密接な関係がある。即ち、それらが被成形品の成形条件に大きく影響を与えるので、それらの時期から金型の減圧開始時期だけを独立して変更・調整することは難しい。   Here, the method for preventing the pressure reduction period of the preceding mold and the pressure reduction period of the succeeding mold from overlapping does not have any particular limitation. For example, when the decompression of the succeeding mold is started at the end of the decompression of the preceding mold, the overlap between the decompression period of the preceding mold and the decompression period of the succeeding mold can be surely prevented and The delay of the next press relative to the press can be minimized. However, the start time of decompression in the mold is extremely closely related to the time of loading the molded product or the resin tablet for molding into the mold. That is, since they greatly affect the molding conditions of the molded product, it is difficult to independently change and adjust only the mold decompression start timing from those timings.

このため、本発明の具体的な構成の1つは、被成形品供給部と複数の金型とを備えて、該複数の金型に応じて該被成形品供給部から被成形品を取り出して金型に装填して、該金型の減圧を行い、該被成形品を樹脂封止する樹脂封止方法において、前記複数の金型のうちの先に樹脂封止動作がなされる先行金型に対する前記被成形品の装填完了後から該金型の減圧終了までの時間TGE1と、該先行金型の次に樹脂封止動作がなされる後行金型に対する前記被成形品供給部からの前記被成形品の取り出しから減圧開始までの時間TGS2と、を知る工程と、前記時間TGE1と時間TGS2とを比較する工程と、該比較した結果、該時間TGE1が時間TGS2よりも長い場合には、前記先行金型に対する前記被成形品の装填完了後、少なくとも該時間TGE1と時間TGS2の差に該当する時間だけ、前記後行金型に対する前記被成形品の取り出しの開始を遅延させ、該時間TGE1が時間TGS2以下である場合には、該先行金型に対する該被成形品の装填完了時に該後行金型に対する該被成形品の取り出しを開始する工程と、を備えたものである。   For this reason, one of the specific configurations of the present invention includes a molded product supply unit and a plurality of molds, and takes out the molded product from the molded product supply unit according to the plurality of molds. In a resin sealing method in which the mold is decompressed, the mold is decompressed, and the product to be molded is resin-sealed, a preceding mold in which a resin sealing operation is performed ahead of the plurality of molds Time TGE1 from the completion of loading of the molded product to the mold until the end of decompression of the mold, and from the molded product supply unit to the subsequent mold in which the resin sealing operation is performed next to the preceding mold When the time TGS1 is longer than the time TGS2 as a result of the comparison between the step of knowing the time TGS2 from the removal of the molded article to the start of pressure reduction, the step of comparing the time TGE1 and the time TGS2 , At least after completion of loading of the molded product into the preceding mold The start of the removal of the molded product from the subsequent mold is delayed by a time corresponding to the difference between the time TGE1 and the time TGS2, and when the time TGE1 is equal to or less than the time TGS2, And a step of starting to take out the molded product from the succeeding mold when loading of the molded product is completed.

この結果、時間TGE1が時間TGS2よりも長い場合においては、先行金型における時間TGE1の経過完了前から、後行金型に対する前記被成形品の取り出しを開始することができるので、時間TGE1と時間TGS2とが工程上重なる時間について相殺をすることができる。即ち、この場合には次プレスの遅れを最小限に防ぐことができる。ここで、時間TGE1と時間TGS2の実測値が信頼できるときには、そのまま差をとる手法が有効である。なお、信頼度を考慮して、時間TGE1と時間TGS2の差を実際の差に比べて若干大きめとしてもよい。時間TGE1が時間TGS2以下である場合にも、先行金型に対する被成形品の装填完了時に後行金型に対する被成形品の取り出しを開始するので、時間TGE1と時間TGS2とが工程上重なる時間について相殺(後述)をすることができる。即ち、複数の金型を有しても、被成形品の成形条件を変更することなく、次プレスの遅れを少なくすることができ、効率的な樹脂封止ができる。   As a result, in the case where the time TGE1 is longer than the time TGS2, it is possible to start taking out the molded product from the succeeding die before the completion of the time TGE1 in the preceding die. The time when TGS2 overlaps in the process can be offset. That is, in this case, the delay of the next press can be minimized. Here, when the measured values of the time TGE1 and the time TGS2 are reliable, a method of taking the difference as it is is effective. In consideration of the reliability, the difference between the time TGE1 and the time TGS2 may be slightly larger than the actual difference. Even when the time TGE1 is equal to or less than the time TGS2, since the removal of the molding product from the succeeding mold is started when the molding product is completely loaded into the preceding mold, the time TGE1 and the time TGS2 overlap in the process. It is possible to cancel (described later). That is, even if there are a plurality of molds, the delay of the next press can be reduced without changing the molding conditions of the molded product, and efficient resin sealing can be achieved.

時間TGE1と時間TGS2とを知るための具体的手法は特に限定されない。現に実測してもよいし、以前の実測値を情報として取り出してきてもよい。この場合、過去1回の実測値でもよいし、何回かの実測値を考慮したものであってもよい。   A specific method for knowing the time TGE1 and the time TGS2 is not particularly limited. Actual measurement may be actually performed, or previous measurement values may be extracted as information. In this case, the actual measurement value in the past may be used, or some actual measurement values may be taken into consideration.

なお、先行金型に対して被成形品供給部から被成形品を取り出して装填完了後に、後行金型に対して被成形品供給部から成形品を取り出して装填することとなるので、被成形品を複数の金型に装填するための機構(装填機構)は兼用できる。即ち、複数の金型に兼用される機構が複数となるので、よりコンパクトな態様で樹脂封止が可能となる。   Since the molded product is taken out from the molded product supply unit to the preceding mold and loaded, the molded product is taken out from the molded product supply unit and loaded into the subsequent mold. A mechanism (loading mechanism) for loading a molded product into a plurality of molds can also be used. That is, since there are a plurality of mechanisms that are also used for a plurality of molds, resin sealing can be performed in a more compact manner.

又、上述してきた樹脂封止方法は、複数の金型に兼用された減圧機構と装填機構とを有する樹脂封止装置において、保持手段、比較手段、及び処理手段を備えることで実現することができる。その際には、樹脂封止装置は、低コスト化が可能であり、コンパクトでありながら、効率的な樹脂封止をすることができる。   Further, the above-described resin sealing method can be realized by providing a holding means, a comparing means, and a processing means in a resin sealing apparatus having a pressure reducing mechanism and a loading mechanism that are also used for a plurality of molds. it can. In that case, the resin sealing device can be reduced in cost, and can efficiently perform resin sealing while being compact.

本発明を適用することにより、使用する真空ポンプを兼用させることで生じるコンパクト化や低コスト化という効果を減殺することなく、複数の金型を用いた効率的な樹脂封止が実現可能となる。   By applying the present invention, it is possible to realize efficient resin sealing using a plurality of molds without diminishing the effects of downsizing and cost reduction caused by sharing the vacuum pump to be used. .

以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。   Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は本発明の実施形態に係る樹脂封止装置の装置機構部を表わす概略構成図、図2は同じく樹脂封止装置の装置機構部と装置制御部との関係を示すブロック図、図3は同じく1つの金型における樹脂封止動作を示す模式図、図4は同じくファーストショット(先行金型と後行金型の両方の初回の樹脂封止動作)における先プレス(先行金型による樹脂封止動作)と後プレス(後行金型による樹脂封止動作)とのタイミングを示す模式図、図5は同じくセカンドショット(先行金型と後行金型の両方の次回の樹脂封止動作)における時間TGE1が時間TGS2よりも小さいときの先プレスと後プレスとのタイミングを示す模式図、図6は同じくセカンドショットにおける時間TGE1が時間TGS2と同じときの先プレスと後プレスとのタイミングを示す模式図、図7は同じくセカンドショットにおける時間TGE1が時間TGS2よりも小さいときの先プレスと後プレスとのタイミングを示す模式図、である。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an apparatus mechanism unit of a resin sealing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing the relationship between the device mechanism unit and the device control unit of the resin sealing device, and FIG. Fig. 4 is a schematic diagram showing the resin sealing operation in one mold, and Fig. 4 is the first press (resin by the preceding mold) in the first shot (the first resin sealing operation of both the preceding mold and the succeeding mold). Schematic diagram showing the timing of the sealing operation) and the subsequent press (resin sealing operation by the following mold), FIG. 5 is also the second shot (the next resin sealing operation of both the preceding mold and the following mold) ) Is a schematic diagram showing the timing of the pre-press and the post-press when the time TGE1 is smaller than the time TGS2, and FIG. 6 shows the timing of the pre-press and the post-press when the time TGE1 in the second shot is the same as the time TGS2. Schematic diagram illustrating the timing, Fig. 7 is also a schematic view, showing the timing of the previous presses and rear press when the time TGE1 is less than the time TGS2 in the second shot.

最初に、本実施形態に係わる樹脂封止装置の概略構成について、図1、図2を用いて説明する。なお、樹脂封止動作は、被成形品が準備されるところから成型品が金型から取り出されたところまでをいい、具体的には図3に示す一連の動作から構成される。   First, a schematic configuration of the resin sealing device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. The resin sealing operation refers to the process from the preparation of the molded product to the removal of the molded product from the mold, and specifically comprises a series of operations shown in FIG.

樹脂封止装置100は、図1に示す如く、装置機構部102を備えて、そこには減圧機構である真空ポンプ104と、被成形品を供給する被成形品供給部110と、真空ポンプ104が兼用されて自身の内部が減圧される2つの金型(金型118、120)と、金型118、120に兼用されて被成形品を金型118、120に装填する装填機構であるローダ124と、を有する。即ち、樹脂封止装置100は、被成形品供給部110と金型118、120とを備えて、金型118、120に応じて被成形品供給部110から被成形品を取り出して金型118、120に装填して、金型118、120の減圧を行い、被成形品を樹脂封止することができる。   As shown in FIG. 1, the resin sealing device 100 includes a device mechanism unit 102, in which a vacuum pump 104 that is a pressure reducing mechanism, a molding product supply unit 110 that supplies a molding product, and a vacuum pump 104. , Which is a loading mechanism that loads the molds 118 and 120 together with two molds (molds 118 and 120) in which the inside of the mold is decompressed and the molds 118 and 120. 124. That is, the resin sealing device 100 includes a molded product supply unit 110 and molds 118 and 120, and takes out the molded product from the molded product supply unit 110 according to the molds 118 and 120. 120, the mold 118, 120 is decompressed, and the molded product can be resin-sealed.

更に、樹脂封止装置100は、図2に示す如く、装置機構部102を制御するための装置制御部140を備える。装置制御部140は、保持手段である保持回路142と、比較手段である比較回路144と、処理手段である処理回路146とを有する。保持回路142は、実測された、2つの金型118、120のうちの先に樹脂封止動作がなされる先行金型である金型118に対する被成形品の装填完了後から金型118の減圧終了までの時間TGE1と、金型118の次に樹脂封止動作がなされる後行金型である金型120に対する被成形品供給部110からの被成形品の取り出しから減圧開始までの時間TGS2と、を保持する(知ることとなる)。比較回路144は、時間TGE1と時間TGS2とを比較する。処理回路146は、比較回路144で比較した結果、時間TGE1が時間TGS2よりも長い場合には、金型118における時間TGE1の経過完了後まで、金型120に対する被成形品の取り出しの開始を遅延させる、若しくは、金型118に対する被成形品の装填完了後、少なくとも時間TGE1と時間TGS2の差に該当する時間(差分時間TF)だけ、金型120に対する被成形品の取り出しの開始を遅延させるように処理する。いずれであっても、処理回路146は、金型118での樹脂封止動作完了前に、金型120での樹脂封止動作を開始し、且つ、金型118の減圧動作DVがなされている期間(減圧期間)と後行金型120の減圧動作DVがなされている期間(減圧期間)とが重ならないように処理する。そして、処理回路146は、時間TGE1が時間TGS2以下である場合には、金型118に対する被成形品の装填完了時に金型120に対する被成形品の取り出しを開始するように処理する。   Furthermore, the resin sealing device 100 includes a device control unit 140 for controlling the device mechanism unit 102 as shown in FIG. The apparatus control unit 140 includes a holding circuit 142 that is a holding unit, a comparison circuit 144 that is a comparison unit, and a processing circuit 146 that is a processing unit. The holding circuit 142 is configured to reduce the pressure of the mold 118 after completion of the loading of the molded product into the mold 118 which is the preceding mold for which the resin sealing operation is performed first of the two molds 118 and 120. Time TGE1 until the end, and time TGS2 from the removal of the molded product from the molded product supply unit 110 to the mold 120, which is a subsequent mold for which the resin sealing operation is performed next to the mold 118, to the start of pressure reduction And hold (to know). The comparison circuit 144 compares the time TGE1 and the time TGS2. When the time TGE1 is longer than the time TGS2 as a result of the comparison by the comparison circuit 144, the processing circuit 146 delays the start of the removal of the molded product from the mold 120 until the time TGE1 has elapsed in the mold 118. Or after completion of loading of the molded product into the mold 118, the start of taking out the molded product from the mold 120 is delayed at least by a time corresponding to the difference between the time TGE1 and the time TGS2 (difference time TF). To process. In any case, the processing circuit 146 starts the resin sealing operation in the mold 120 before the resin sealing operation in the mold 118 is completed, and the pressure reducing operation DV of the mold 118 is performed. Processing is performed so that the period (decompression period) and the period during which the decompression operation DV of the succeeding mold 120 is performed (decompression period) do not overlap. Then, when the time TGE1 is equal to or less than the time TGS2, the processing circuit 146 performs processing so as to start taking out the molding product from the mold 120 when loading of the molding product into the mold 118 is completed.

以下、樹脂封止装置100の各構成要素について詳細に説明をする。   Hereinafter, each component of the resin sealing device 100 will be described in detail.

樹脂封止装置100の装置機構部102は、図1に示す如く、主に、真空ポンプ104と、ベース108上に設けられた被成形品供給部110と、樹脂タブレット供給部116と、金型118、120と、成型品収納部132とを有する。   As shown in FIG. 1, the device mechanism unit 102 of the resin sealing device 100 mainly includes a vacuum pump 104, a molded product supply unit 110 provided on the base 108, a resin tablet supply unit 116, and a mold. 118 and 120 and a molded product storage section 132.

減圧機構である真空ポンプ104は1つであり、バルブ機構106A、106Bを介して金型118、120に接続されている。即ち、真空ポンプ104は、金型118、120に兼用とされている。バルブ機構106A、106Bは、図示しない減圧バルブとリークバルブとを備え、装置制御部140の指令に基づき減圧バルブとリークバルブの開閉を行う。減圧バルブを開とすると、真空ポンプ104は金型118、120の内部と連通して金型118、120内部の減圧を行うことができる。減圧バルブを閉とすると、真空ポンプ104と金型118、120とが遮断され、金型118、120の減圧が中断される。リークバルブを開とすると、金型118、120の減圧状態を破壊し、リークバルブを閉に維持すると、金型118、金型120の減圧状態を維持することができる。例えば、金型118の減圧を行う時には、バルブ機構106Aの減圧バルブを開、リークバルブを閉として、その際にはバルブ機構106Bの減圧バルブを閉じるように、バルブ機構106A、106Bは制御される。   There is one vacuum pump 104 as a decompression mechanism, and it is connected to the molds 118 and 120 via the valve mechanisms 106A and 106B. That is, the vacuum pump 104 is also used as the molds 118 and 120. The valve mechanisms 106A and 106B include a decompression valve and a leak valve (not shown), and open and close the decompression valve and the leak valve based on a command from the apparatus control unit 140. When the pressure reducing valve is opened, the vacuum pump 104 can communicate with the inside of the molds 118 and 120 to reduce the pressure inside the molds 118 and 120. When the decompression valve is closed, the vacuum pump 104 and the molds 118 and 120 are shut off, and the decompression of the molds 118 and 120 is interrupted. When the leak valve is opened, the depressurized state of the molds 118 and 120 is destroyed, and when the leak valve is kept closed, the depressurized state of the mold 118 and the mold 120 can be maintained. For example, when the mold 118 is decompressed, the valve mechanisms 106A and 106B are controlled so that the decompression valve of the valve mechanism 106A is opened and the leak valve is closed, and at that time, the decompression valve of the valve mechanism 106B is closed. .

被成形品供給部110には、図1に示す如く、複数のマガジン110Aが備えられて、矢印Aの方向から被成形品が収納される。そして、図示せぬ搬送ハンドによって旋回テーブル112上に被成形品が搬送される。旋回テーブル112は、載せられた被成形品の向きを整えて、被成形品は2箇所のプレヒータ部114に配列される。プレヒータ部114は、配列された被成形品を特定の温度に上昇させ保持する機能を有する。   As shown in FIG. 1, the molded product supply unit 110 includes a plurality of magazines 110 </ b> A, and stores molded products from the direction of the arrow A. Then, the product to be molded is transported onto the turning table 112 by a transport hand (not shown). The swivel table 112 arranges the orientation of the placed molding product, and the molding product is arranged in two preheater portions 114. The preheater unit 114 has a function of raising and holding the arranged molded articles to a specific temperature.

樹脂タブレット供給部116において、図1に示す如く、樹脂封止に用いられる樹脂タブレットが矢印Bの部分より供給される。供給された樹脂タブレットと被成形品は、ベース108上のX方向の全体に亘って敷設されているX方向ガイド122上のローダ124によって搬送される(ローダ124は2つの金型118、120に兼用)。搬送される被成形品と樹脂タブレットは、金型118及び120にセットされている。   In the resin tablet supply unit 116, as shown in FIG. 1, a resin tablet used for resin sealing is supplied from a portion indicated by an arrow B. The supplied resin tablet and the product to be molded are conveyed by a loader 124 on an X direction guide 122 laid over the entire X direction on the base 108 (the loader 124 is transferred to two molds 118 and 120. Combined use). The article to be molded and the resin tablet to be conveyed are set in the molds 118 and 120.

金型118、120は、図示せぬ上型と下型とから構成されている。金型118、120は、それぞれ、バルブ機構106A、106Bを介して、1つの真空ポンプ104に接続されている。金型118、120では、固定された上型に対して下型が可動し、下型が上型に密着する(密着状態で型締め完了となる)ことで、被成形品を樹脂封止するための密閉空間(キャビティと称する)を構成する。又、金型118、120は、金型118、120の所定の場所にセットされた樹脂タブレットをプランジャで溶融した状態で押し出して、樹脂流路を介して、キャビティに溶融状態の樹脂を導入する構成(トランスファーモールド成形のための構造として公知)を備えている。真空ポンプ104によって、金型118、120が減圧されることで、キャビティ内の水分などが除去される。同時に、樹脂封止の際の空気の混入が防止され、且つ被成形品の微細な部分にも樹脂が行き亘るため、ボイドの発生をおさえることができ、被成形品を高品質に樹脂封止することができる。なお、金型118、120は、それぞれ温度を変更するが可能であるが、ここでは一定の温度に保たれている。   The molds 118 and 120 are composed of an upper mold and a lower mold (not shown). The molds 118 and 120 are connected to one vacuum pump 104 via valve mechanisms 106A and 106B, respectively. In the molds 118 and 120, the lower mold moves relative to the fixed upper mold, and the lower mold is in close contact with the upper mold (the mold clamping is completed in the close contact state), so that the product to be molded is resin-sealed. A closed space (referred to as a cavity) is formed. In addition, the molds 118 and 120 extrude a resin tablet set in a predetermined place of the molds 118 and 120 in a melted state with a plunger, and introduce the molten resin into the cavity through the resin flow path. It has a configuration (known as a structure for transfer molding). The mold 118, 120 is depressurized by the vacuum pump 104, so that moisture in the cavity is removed. At the same time, air can be prevented from entering during resin sealing, and the resin can reach even minute parts of the molded product, so that voids can be suppressed and the molded product can be sealed with high quality. can do. The molds 118 and 120 can each be changed in temperature, but are kept at a constant temperature here.

アンローダ126は、図1に示す如く、X方向ガイド122上でX方向に可動し、金型118、120で成形された被成形品(成形品と称する)を取り出し、冷却ステージ128上に移動させる。冷却ステージ128では、成形品を所定時間配置して冷却する。冷却された成型品は、ゲートブレーク部130に移動されて、成型品の不要部分(カル部と称する)が切り離される(ゲートブレークされる)。そして、矢印Cの部分からカル部が取り出される。又、カル部が切り離された成型品は成型品収納部132に移動される。そして、成型品はマガジン132Aに収納されてから、矢印Dの方向に取り出される。   As shown in FIG. 1, the unloader 126 is movable in the X direction on the X direction guide 122, takes out a molded product (referred to as a molded product) molded by the dies 118 and 120, and moves it onto the cooling stage 128. . In the cooling stage 128, the molded product is arranged for a predetermined time and cooled. The cooled molded product is moved to the gate break portion 130, and an unnecessary portion (referred to as a cull portion) of the molded product is separated (gate break). Then, the cull portion is taken out from the portion indicated by the arrow C. Further, the molded product from which the cull portion is cut off is moved to the molded product storage unit 132. Then, the molded product is stored in the magazine 132A and then taken out in the direction of the arrow D.

保持回路142は、上記、装置機構部102の各構成要素の動作開始時間と動作終了時間に係る電気信号を装置機構部102の各構成要素から受け取り、装置機構部102の各構成要素の動作時間と各構成要素間の動作タイミングとを保持する(知る)ことができる。そして、保持回路142は、装置機構部102の各構成要素のいくつかについての動作時間の加算時間を算出し、出力することができる。このため、保持回路142は、実測された、金型118に対する被成形品の装填完了後から金型118の減圧終了までの時間TGE1と、金型118の次に樹脂封止動作がなされる金型120に対する被成形品供給部110からの被成形品の取り出しから減圧開始までの時間TGS2と、を保持して、出力することができる。なお、ここでの保持は、保持回路142が計測機能を備えて実測してデータを処理するために一時的に保持することを想定しているもので、処理の過程に元のデータが失われてもよい。しかし、保持回路142中の特定の領域に記憶領域を設けて記憶してもよいし、計測機能は外部に用意してもよい。   The holding circuit 142 receives electrical signals related to the operation start time and operation end time of each component of the device mechanism unit 102 from each component of the device mechanism unit 102, and operates the operation time of each component of the device mechanism unit 102. And the operation timing between each component can be held (know). The holding circuit 142 can calculate and output the addition time of the operation time for some of the components of the device mechanism unit 102. For this reason, the holding circuit 142 measures the time TGE1 from the completion of the loading of the molded product to the mold 118 until the end of the pressure reduction of the mold 118, and the mold in which the resin sealing operation is performed next to the mold 118. The time TGS2 from the removal of the molded product from the molded product supply unit 110 to the mold 120 to the start of pressure reduction can be held and output. The holding here assumes that the holding circuit 142 has a measuring function and temporarily holds it in order to actually measure and process the data, and the original data is lost during the processing. May be. However, a storage area may be provided and stored in a specific area in the holding circuit 142, or the measurement function may be prepared externally.

比較回路144は、保持回路142からの出力を受け取り、当該出力データと内部に記憶したデータ、処理回路146からのデータ、若しくは当該保持回路142からの他の出力データと、を比較して比較した結果である差分データを出力することができる。即ち、比較回路144は、保持回路142で得られた時間TGE1と時間TGS2とを比較し、式(1)に示す差分時間TFを出力する。   The comparison circuit 144 receives the output from the holding circuit 142 and compares the output data with the data stored therein, the data from the processing circuit 146, or other output data from the holding circuit 142. The difference data that is the result can be output. That is, the comparison circuit 144 compares the time TGE1 obtained by the holding circuit 142 with the time TGS2, and outputs the difference time TF shown in Expression (1).

TF=TGE1−TGS2 (1)     TF = TGE1-TGS2 (1)

処理回路146は、樹脂封止装置100の各構成要素に対して、制御信号を出力して、各構成要素を制御することで、樹脂封止動作全体を制御する。同時に、各構成要素からの信号を受け取り、処理をする。このため、処理回路146は、比較回路144で比較した結果、先に樹脂封止動作がなされる金型118の次に樹脂封止動作がなされる金型120に対する被成形品供給部110からの被成形品の取り出し時期、即ち、金型120に対する減圧開始の時期を調整することができる。   The processing circuit 146 outputs a control signal to each component of the resin sealing device 100 and controls each component to control the entire resin sealing operation. At the same time, it receives signals from each component and processes them. For this reason, as a result of the comparison in the comparison circuit 144, the processing circuit 146 has received the molding from the molded product supply unit 110 for the mold 120 to which the resin sealing operation is performed next to the mold 118 to which the resin sealing operation is performed first. It is possible to adjust the timing for taking out the molded product, that is, the timing for starting the pressure reduction with respect to the mold 120.

具体的に説明すると、比較回路144で比較した結果、時間TGE1が時間TGS2よりも長い場合(TGE1>TGS2)には、金型118に対する被成形品の装填完了後、時間TGE1と時間TGS2の差に該当する時間(差分時間TF)だけ、金型120に対する被成形品の取り出しの開始を遅延させ、金型120の減圧開始の時期を遅延させる処理を行う。即ち、式(1)で得られた差分時間TFだけ、次プレスPR2(金型120による樹脂封止動作)の開始時期を先プレスPR1(金型118による樹脂封止動作)での金型118に対する被成形品の装填完了時から遅らせるように、各構成要素を制御する。時間TGE1が時間TGS2以下である場合(TGE1≦TGS2)には、金型118に対する被成形品の装填完了時に金型120に対する被成形品の取り出しを開始するように、各構成要素を制御する。なお、時間TGE1が時間TGS2よりも長い場合(TGE1>TGS2)に、金型118における時間TGE1の経過完了後まで、金型120に対する被成形品の取り出しの開始を遅延させてもよい。   More specifically, as a result of comparison by the comparison circuit 144, when the time TGE1 is longer than the time TGS2 (TGE1> TGS2), the difference between the time TGE1 and the time TGS2 is completed after the completion of loading of the molded product into the mold 118. For the time corresponding to (difference time TF), the start of the removal of the molded product from the mold 120 is delayed, and the process of delaying the start of pressure reduction of the mold 120 is performed. That is, the start time of the next press PR2 (resin sealing operation by the mold 120) is set to the mold 118 in the first press PR1 (resin sealing operation by the mold 118) by the difference time TF obtained by the equation (1). Each component is controlled so as to be delayed from the completion of the loading of the molded product. When the time TGE1 is equal to or less than the time TGS2 (TGE1 ≦ TGS2), each component is controlled so as to start taking out the molded product from the mold 120 when the molding product is completely loaded into the mold 118. When the time TGE1 is longer than the time TGS2 (TGE1> TGS2), the start of the removal of the molded product from the mold 120 may be delayed until the time TGE1 has elapsed in the mold 118.

又、処理回路146は、ファーストショット(金型118、120両方の初回の樹脂封止動作)とセカンドショット(金型118、120両方の次回の樹脂封止動作)以降とで、先プレスPR1と次プレスPR2の動作タイミングを別にすることができる。具体的には、ファーストショットにあっては、一律に先に樹脂封止動作がなされる金型118における時間TGE1の経過完了後まで、次に樹脂封止動作がなされる金型120に対する被成形品の取り出しの開始を遅延させて、セカンドショット以降にあっては、次に樹脂封止動作がなされる金型120に対して、減圧開始の時期を自身の遅延させる処理の判断に従い、減圧開始の時期を調整することができる。   In addition, the processing circuit 146 performs the first press (first resin sealing operation of both dies 118 and 120) and the second shot (next resin sealing operation of both dies 118 and 120) and the first press PR1. The operation timing of the next press PR2 can be set separately. Specifically, in the first shot, the mold 120 to be molded next for the resin sealing operation until after the completion of the time TGE1 in the mold 118 for which the resin sealing operation is uniformly performed first. After the second shot after delaying the start of taking out the product, starting the decompression according to the judgment of the process for delaying the timing of the decompression start for the mold 120 to which the resin sealing operation is performed next. Can be adjusted.

本実施形態の処理回路146の本来的な機能は、上述の如く、後行金型である金型120に対する減圧開始の時期を調整することである。しかし、金型120の減圧の開始時期は、被成形品や成形のための樹脂タブレットの金型120への装填時期等と極めて密接な関係がある。具体的には、樹脂タブレットは熱で溶かされ熱で固まることにより、例えば被成形品供給部110からの被成形品の取り出し後、プレヒータ部114で被成形品が長く放置されれば、予熱時間が長くなることで金型120における温度・圧力・時間などの樹脂封止条件を調整する必要が出てくる。即ち、それらが被成形品の成形条件に大きく影響を与えるので、金型の減圧開始時期を独立して変更・調整することは困難である。このため、本実施形態では、処理回路146が金型120の減圧開始の前工程に相当する被成形品の取り出し時期を含めて調整を行うこととしている。逆に言えば、被成形品の取り出し時期を含めて調整を行うので、被成形品の成形条件を変更することがなく、成形品の安定した品質を確保しつつ、次プレスPR2の遅れを低減することができる。   As described above, the essential function of the processing circuit 146 of the present embodiment is to adjust the pressure reduction start timing for the mold 120 that is the succeeding mold. However, the start time of decompression of the mold 120 has a very close relationship with the time of loading the molded product or the resin tablet for molding into the mold 120. Specifically, the resin tablet is melted by heat and hardened by heat. For example, after the molded product is taken out from the molded product supply unit 110, if the molded product is left for a long time in the preheater unit 114, the preheating time is increased. It becomes necessary to adjust resin sealing conditions such as temperature, pressure, and time in the mold 120 due to the increase in length. That is, since they greatly affect the molding conditions of the molded product, it is difficult to independently change / adjust the decompression start timing of the mold. For this reason, in the present embodiment, the processing circuit 146 performs adjustment including the time to take out the molded product corresponding to the pre-process of starting the pressure reduction of the mold 120. In other words, since the adjustment is performed including the time to take out the molded product, the molding condition of the molded product is not changed, the stable quality of the molded product is ensured, and the delay of the next press PR2 is reduced. can do.

次に、樹脂封止装置100の1つの金型118を用いた際の樹脂封止動作について、アンローダ126による成形品の取り出しまでを図3を用いて説明する。   Next, the resin sealing operation when one mold 118 of the resin sealing device 100 is used will be described with reference to FIG. 3 until the unloader 126 takes out the molded product.

図3には、縦軸に主な構成要素の動作を示し、横軸を時間として樹脂封止動作PRを示している。   In FIG. 3, the vertical axis shows the operation of the main components, and the horizontal axis shows the resin sealing operation PR.

最初に、旋回予熱動作RPが行われる。詳しく説明すると、被成形品供給部110から被成形品が旋回テーブル112へと搬送される。この搬送は図示せぬ搬送ハンドによって行われる。旋回テーブル112に1つの被成形品が搬送されると旋回テーブル112が回転する。その後もう1つの被成形品が搬送ハンドによって旋回テーブル112へと搬送され、計2つの被成形品が旋回テーブル112上に配置される。そして、ローダ124によって2つの被成形品は同時にプレヒータ部114に搬送される。プレヒータ部114では被成形品が所定の温度にまで加熱されて保温される。この旋回予熱動作RPは時間T1までに行われる。なお、樹脂タブレットは樹脂タブレット供給部116から供給される。   First, the turning preheating operation RP is performed. More specifically, the molded product is conveyed from the molded product supply unit 110 to the turntable 112. This conveyance is performed by a conveyance hand (not shown). When one molded product is conveyed to the turntable 112, the turntable 112 rotates. Thereafter, another molded product is conveyed to the turntable 112 by the transfer hand, and a total of two molded products are arranged on the turntable 112. Then, the two molded articles are simultaneously conveyed to the preheater unit 114 by the loader 124. In the preheater unit 114, the product to be molded is heated to a predetermined temperature and kept warm. This turning preheating operation RP is performed by time T1. The resin tablet is supplied from the resin tablet supply unit 116.

次に、搭載動作LDが行われる。詳しく説明すると、プレヒータ部114にて保温されている被成形品及び樹脂タブレットが、ローダ124によって、金型118、120へと搬送され、所定の位置に搭載される。この搭載動作LDは時間T1からT2の間に行われる。   Next, the mounting operation LD is performed. More specifically, the article to be molded and the resin tablet kept warm in the preheater unit 114 are conveyed to the molds 118 and 120 by the loader 124 and mounted at predetermined positions. This mounting operation LD is performed between times T1 and T2.

次に、金型動作MSが開始される。詳しく説明すると、金型118の下型が上型に向かって移動を開始する。なお、金型動作MSの図3における縦軸は下型の上型に向かっての移動距離を示したものである。時間T2における点D2は、下型が上型に向かって移動を開始する点であり、型締め開始の位置ともなる。時間T3における点D3は、下型と上型とがシーリング材を介して密閉空間を形成した状態となる中間型締め位置を示しており、真空ポンプ104による減圧動作DVの開始位置を示している。時間T4における点D4で型締めが完了し、金型118内部にキャビティが形成される。なお、金型118は、一定温度に保たれている。   Next, the mold operation MS is started. More specifically, the lower mold of the mold 118 starts moving toward the upper mold. In addition, the vertical axis | shaft in FIG. 3 of metal mold | die operation | movement MS shows the movement distance toward the upper mold | type of a lower mold | type. Point D2 at time T2 is a point at which the lower mold starts moving toward the upper mold, and also serves as a mold clamping start position. A point D3 at time T3 indicates an intermediate mold clamping position where the lower mold and the upper mold form a sealed space via a sealing material, and indicates a start position of the pressure reducing operation DV by the vacuum pump 104. . Clamping is completed at point D4 at time T4, and a cavity is formed inside the mold 118. The mold 118 is maintained at a constant temperature.

減圧機構である真空ポンプ104によってキャビティの減圧がなされると、プランジャから樹脂流路を介して上型と下型で構成されたキャビティに溶融した樹脂が流入する。被成形品の樹脂封止のための十分な減圧がなされて、キャビティに溶融した樹脂が十分に流入すると、減圧動作DVは減圧バルブを閉じることにより終了し(時間T5)、金型118のキャビティの減圧状態を破壊するために、リーク動作LVによりリークバルブが開かれる。すると金型118の内部は大気圧となる。その後、リークバルブが閉じられる(時間T6)。   When the cavity is depressurized by the vacuum pump 104 that is a depressurizing mechanism, the molten resin flows from the plunger into the cavity constituted by the upper mold and the lower mold through the resin flow path. When sufficient decompression for resin sealing of the molded product is performed and the molten resin sufficiently flows into the cavity, the decompression operation DV ends by closing the decompression valve (time T5), and the cavity of the mold 118 In order to destroy the reduced pressure state, the leak valve is opened by the leak operation LV. Then, the inside of the mold 118 becomes atmospheric pressure. Thereafter, the leak valve is closed (time T6).

次に、下型が上型から離れる(型開き)までの時間T7まで下型はその位置を保持して、時間T7の後に型開きを開始し、下型は時間T8に初期の状態に戻る。なお、被成形品の樹脂を固化させるための固化時間CTは、型締め開始(時間T2)から型開き(時間T7)までである。   Next, the lower mold keeps its position until time T7 until the lower mold is separated from the upper mold (mold opening), and after time T7, mold opening is started, and the lower mold returns to the initial state at time T8. . In addition, solidification time CT for solidifying resin of a to-be-molded product is from mold clamping start (time T2) to mold opening (time T7).

そして、型開きされた後、アンローダ126により成型品が金型118より取り出される(時間T9)。   After the mold is opened, the molded product is taken out from the mold 118 by the unloader 126 (time T9).

以上の主要な一連の動作が樹脂封止動作PRとして、図3に示している。なお、時間T3に始まり時間T5に終了する減圧動作DVは、用いる金型により変動する。   The above main series of operations is shown in FIG. 3 as a resin sealing operation PR. Note that the decompression operation DV starting at time T3 and ending at time T5 varies depending on the mold used.

次に、2つの金型118、120を用いた際の樹脂封止動作について説明をする。   Next, the resin sealing operation when using the two molds 118 and 120 will be described.

ここで先に金型118を用いて樹脂封止動作(先プレスPR1)を行い、その後に金型120を用いて樹脂封止動作(次プレスPR2)を行う場合を以下に説明する。   Here, a case where the resin sealing operation (first press PR1) is performed using the mold 118 first, and then the resin sealing operation (next press PR2) is performed using the mold 120 will be described below.

最初に、ファーストショット(金型118、120両方の初回の樹脂封止動作)の段階の先プレスPR1において、被成形品を金型118に装填完了後から金型118の減圧終了までの時間TGE1を測定し、その値を装置制御部140内の保持回路142が保持する。   First, in the first press PR1 at the stage of the first shot (the first resin sealing operation of both the dies 118 and 120), the time TGE1 from the completion of loading the product to the die 118 until the end of the pressure reduction of the die 118 And the value is held by the holding circuit 142 in the device control unit 140.

金型118の減圧終了時(時間T5)に、ファーストショットの段階の次プレスPR2を開始する。即ち、この時に金型120に対して被成形品供給部110から被成形品を取り出す動作を開始する。同時に、被成形品供給部110からの被成形品の取り出しから金型120の減圧開始までの時間TGS2を計測し、その値を装置制御部140内の保持回路142が保持する。図4には、このときの先プレスPR1と次プレスPR2とのタイミングを示す。   At the end of pressure reduction of the mold 118 (time T5), the next press PR2 in the first shot stage is started. That is, at this time, an operation of taking out the molding product from the molding product supply unit 110 to the mold 120 is started. At the same time, the time TGS2 from the removal of the molded product from the molded product supply unit 110 to the start of pressure reduction of the mold 120 is measured, and the value is held by the holding circuit 142 in the apparatus control unit 140. FIG. 4 shows the timing of the first press PR1 and the next press PR2 at this time.

保持回路142は、保持した時間TGE1と時間TGS2を出力する。そして、出力された時間TGE1と時間TGS2とは比較回路144で比較される。   The holding circuit 142 outputs the held time TGE1 and time TGS2. Then, the output time TGE1 and time TGS2 are compared by the comparison circuit 144.

次に、セカンドショット(金型118、120両方の次回の樹脂封止動作)において、上記比較回路144の結果により、先プレスPR1と次プレスPR2とのタイミングが2つに場合分けされる。   Next, in the second shot (the next resin sealing operation for both dies 118 and 120), the timing of the first press PR1 and the next press PR2 is divided into two cases according to the result of the comparison circuit 144.

時間TGE1が時間TGS2よりも長い場合(式(1)で示した差分時間TFが正であれば)、図5に示す如く、先プレスPR1における搭載動作LDの終了時(金型118に対する被成形品の装填完了;時間T2)に、差分時間TFの時間を設けた後に、次プレスPR2を開始(金型120に対する被成形品の取り出しの開始)して、時間T5で次プレスPR2の減圧を開始する。本実施形態では、次プレスPR2における各構成要素の動作タイミングを変更しないので、次プレスPR2によって樹脂封止される被成形品の品質に変化は生じない。すなわち、先プレスPR1の樹脂封止条件が変更したとしても、後プレスPR2への品質的な影響を防ぐことができる。なお、各プレスPR1、PR2の制御をソフトウェアのモジュールで構成した場合には、次プレスPR2全体を一括して差分時間TF遅らすことは容易に実現することができる。   When the time TGE1 is longer than the time TGS2 (if the difference time TF shown in the equation (1) is positive), as shown in FIG. 5, at the end of the mounting operation LD in the first press PR1 (molding of the mold 118) After completion of product loading; time T2), after setting the time difference TF, the next press PR2 is started (start of taking out the molded product from the mold 120), and the pressure of the next press PR2 is reduced at time T5. Start. In this embodiment, since the operation timing of each component in the next press PR2 is not changed, there is no change in the quality of the molded product that is resin-sealed by the next press PR2. That is, even if the resin sealing condition of the first press PR1 is changed, the quality influence on the rear press PR2 can be prevented. When the control of each press PR1, PR2 is configured by a software module, it is possible to easily delay the entire next press PR2 collectively by the difference time TF.

時間TGE1が時間TGS2と等しい場合(式(1)で示した差分時間TFが0であれば)、図6に示す如く、先プレスPR1における金型118に対する被成形品の装填完了時(時間T2)に次プレスPR2を開始する。即ち、この時に金型120に対して被成形品供給部110から被成形品を取り出す動作を開始する。すると、時間T5において、次プレスPR2の減圧が開始される。   When the time TGE1 is equal to the time TGS2 (if the difference time TF shown in the expression (1) is 0), as shown in FIG. 6, when the product to be molded is completely loaded into the die 118 in the first press PR1 (time T2). ) Next press PR2 is started. That is, at this time, an operation of taking out the molding product from the molding product supply unit 110 to the mold 120 is started. Then, at time T5, the pressure reduction of the next press PR2 is started.

時間TGE1が時間TGS2よりも短い場合(式(1)で示した差分時間TFが負であれば)、時間TGE1と時間TGS2とが等しい場合と同じく、金型118に対する先プレスPR1の装填完了時(時間T2)に後プレスPR2の動作を開始する。すると、時間T5以降において、次プレスPR2の減圧が開始される。   When the time TGE1 is shorter than the time TGS2 (if the difference time TF shown in the expression (1) is negative), when the loading of the first press PR1 to the die 118 is completed, as in the case where the time TGE1 and the time TGS2 are equal. The operation of the post press PR2 is started at (time T2). Then, the pressure reduction of the next press PR2 is started after time T5.

このように、金型118、120に対して減圧期間を設けてそれぞれ独立に減圧を行うために、減圧をしないで樹脂封止をする場合に比べて、成型品の品質が向上し、歩留りの向上等が期待できる。又、減圧期間を重ならないようにしているため、仮に金型118、120や被成形品のいずれかに変更があったとしても、先プレスPR1と後プレスPR2は互いに影響を与えないので、互いの金型118、120における樹脂封止の品質の低下を招くおそれがない。   In this way, since the mold 118, 120 is provided with a decompression period to perform decompression independently, the quality of the molded product is improved and the yield is improved as compared with the case of resin sealing without decompression. Improvements can be expected. In addition, since the decompression periods do not overlap, even if there is a change in either the mold 118, 120 or the molded product, the first press PR1 and the second press PR2 do not affect each other. There is no possibility that the quality of resin sealing in the molds 118 and 120 will be lowered.

同時に、時間TGE1と時間TGS2との比較結果に関らず、時間TGE1と、時間TGS2と、が重なる時間を有するのでその重なる時間について相殺をすることができる。このため、2つの金型118、120を有しても、次プレスPR2の遅れを最小限に防ぐことができ、効率的な樹脂封止ができるようになる。   At the same time, regardless of the comparison result between the time TGE1 and the time TGS2, since the time TGE1 and the time TGS2 have overlapping times, the overlapping times can be offset. For this reason, even if it has two metal mold | die 118,120, the delay of the next press PR2 can be prevented to the minimum, and an efficient resin sealing can be performed now.

このとき、先行金型である金型118に対して被成形品供給部110から被成形品を取り出して装填完了後に、後行金型である金型120に対して被成形品供給部110から成形品を取り出して装填することとなるので、被成形品を2つの金型118、120に装填するためのローダ(装填機構)124が兼用されても、次プレスPR2に遅延が生じることはない。更に、バルブ機構106A、106B以外の他の構成要素も全て兼用されている。即ち、2つの金型118、120に兼用される構成要素が複数となるので、次プレスPR2の遅延を最小限にしつつ、よりコンパクトな態様で樹脂封止を実現することができる。   At this time, after the molding product is taken out from the molding product supply unit 110 with respect to the mold 118 as the preceding mold and loaded, the molding product supply unit 110 with respect to the mold 120 as the succeeding mold is completed. Since the molded product is taken out and loaded, even if the loader (loading mechanism) 124 for loading the molded product into the two molds 118 and 120 is also used, there is no delay in the next press PR2. . In addition, all other components other than the valve mechanisms 106A and 106B are also used. That is, since there are a plurality of components that are shared by the two molds 118 and 120, resin sealing can be realized in a more compact manner while minimizing the delay of the next press PR2.

又、ファーストショットにあっては、金型118の減圧終了時(時間T5)に、金型120に対して被成形品供給部110からの被成形品の取り出し動作を開始させて、時間TGE1と時間TGS2の計測を行い、且つ、セカンドショット以降にあっては、次に樹脂封止動作がなされる金型120に対して、減圧開始の時期を遅延させる処理の判断に従い、減圧開始の時期を調整するので、時間TGE1と時間TGS2とを予め計測しておくことなく、ファーストショットから生産のための樹脂封止動作を行うことができる。すなわち、ファーストショットも、単にセカンドショット以降のための時間TGE1と時間TGS2を計測をするためだけではなく、生産性向上のための樹脂封止を行うことができる。そして、次回以降において、より効率的な樹脂封止を可能とする。   In the first shot, at the end of the decompression of the mold 118 (time T5), the mold 120 is started to take out the molded product from the molded product supply unit 110, and the time TGE1 is set. The time TGS2 is measured and, after the second shot, the decompression start timing is determined according to the judgment of the process for delaying the decompression start timing for the mold 120 to be subjected to the resin sealing operation next. Since the adjustment is performed, the resin sealing operation for production from the first shot can be performed without measuring the time TGE1 and the time TGS2 in advance. That is, the first shot can be used not only for measuring the time TGE1 and the time TGS2 for the second and subsequent shots but also for resin sealing for improving productivity. In the next and subsequent times, more efficient resin sealing is enabled.

つまり、本発明を適用することにより、使用する真空ポンプ104を兼用させることで生じるコンパクト化や低コスト化という効果を減殺することなく、被成形品を供給する無駄時間が短縮でき、2つの金型118、120を用いた効率的な樹脂封止が実現可能となり、生産性を向上させることができる。   In other words, by applying the present invention, it is possible to reduce the dead time of supplying the molded product without diminishing the effects of downsizing and cost reduction caused by the combined use of the vacuum pump 104 to be used. Efficient resin sealing using the molds 118 and 120 can be realized, and productivity can be improved.

本発明について本実施形態を挙げて説明したが、本発明は本実施形態に限定されるものではない。即ち本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでも無い。   Although the present invention has been described with reference to the present embodiment, the present invention is not limited to the present embodiment. That is, it goes without saying that improvements and design changes can be made without departing from the scope of the present invention.

例えば、本実施形態では、金型は2つ118、120であったが、3つ以上であってもよい。   For example, in the present embodiment, the number of molds is two 118 and 120, but may be three or more.

又、本実施形態では、時間TGE1と時間TGS2との関係を用いて先プレスPR1に対する次プレスPR2の遅れを低減したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、予熱温度の変更などを行ない、時間TGS2の制御を行うことで、処理回路が先行金型での減圧終了時に、後行金型での減圧を開始するように処理することで、先行金型の減圧期間と後行金型の減圧期間との重なりを確実に防止でき、且つ先プレスに対する次プレスの遅れを最小限にすることができる。   In this embodiment, the delay of the next press PR2 with respect to the previous press PR1 is reduced using the relationship between the time TGE1 and the time TGS2, but the present invention is not limited to this. For example, by changing the preheating temperature and controlling the time TGS2, the processing circuit performs processing so as to start the pressure reduction in the succeeding die when the pressure reduction in the preceding die ends. It is possible to reliably prevent the mold depressurization period and the subsequent mold depressurization period from overlapping, and to minimize the delay of the next press with respect to the previous press.

又、時間TGE1と時間TGS2とは保持回路142によって必ずしも保持される必要はない。即ち、時間TGE1と時間TGS2とを知るための具体的手法は特に限定されない。現に実測してもよいし、以前の実測値を情報として取り出してきてもよい。この場合、過去1回の実測値でもよいし、何回かの実測値を考慮したものであってもよい。その際には、以前の実測値が読み込まれる処理手段である処理回路が保持手段として機能することとなる。ここで、差分時間TFを求めるに際して、時間TGE1と時間TGS2の実測値が信頼できるときには、そのまま差をとる手法が有効である。なお、信頼度を考慮して、時間TGE1と時間TGS2の差を実際の差に比べて若干大きめとして、差分時間TFとして採用してもよい。   Further, the time TGE1 and the time TGS2 do not necessarily have to be held by the holding circuit 142. That is, the specific method for knowing the time TGE1 and the time TGS2 is not particularly limited. Actual measurement may be actually performed, or previous measurement values may be extracted as information. In this case, the actual measurement value in the past may be used, or some actual measurement values may be taken into consideration. In that case, the processing circuit which is a processing means for reading the previous actual measurement value functions as the holding means. Here, when obtaining the difference time TF, if the measured values of the time TGE1 and the time TGS2 are reliable, a method of taking the difference as it is is effective. In consideration of the reliability, the difference between the time TGE1 and the time TGS2 may be slightly larger than the actual difference, and may be adopted as the difference time TF.

更に、樹脂封止はトランスファーモールドによる樹脂封止に限られず、複数の金型が用いられるその他の樹脂封止にも適用することができる。又、ローダとアンローダとは兼用されていてもよい。   Furthermore, the resin sealing is not limited to the resin sealing by transfer molding, but can be applied to other resin sealing using a plurality of molds. Moreover, the loader and the unloader may be combined.

本発明の実施形態に係る樹脂封止装置の装置機構部を表わす概略構成図The schematic block diagram showing the apparatus mechanism part of the resin sealing apparatus which concerns on embodiment of this invention 同じく樹脂封止装置の装置機構部と装置制御部との関係を示すブロック図The block diagram which similarly shows the relationship between the apparatus mechanism part and apparatus control part of a resin sealing device 同じく1つの金型における樹脂封止動作を示す模式図Similarly, a schematic diagram showing the resin sealing operation in one mold 同じくファーストショットにおける先プレスと後プレスとのタイミングを示す模式図Similarly, a schematic diagram showing the timing of the first press and the rear press in the first shot 同じくセカンドショットにおける時間TGE1が時間TGS2よりも小さいときの先プレスと後プレスとのタイミングを示す模式図Similarly, a schematic diagram showing the timing of the pre-press and the post-press when the time TGE1 in the second shot is smaller than the time TGS2. 同じくセカンドショットにおける時間TGE1が時間TGS2と同じときの先プレスと後プレスとのタイミングを示す模式図Similarly, a schematic diagram showing the timing of the first press and the second press when the time TGE1 in the second shot is the same as the time TGS2. 同じくセカンドショットにおける時間TGE1が時間TGS2よりも小さいときの先プレスと後プレスとのタイミングを示す模式図Similarly, a schematic diagram showing the timing of the pre-press and the post-press when the time TGE1 in the second shot is smaller than the time TGS2.

符号の説明Explanation of symbols

100…樹脂封止装置
102…装置機構部
104…真空ポンプ(減圧機構)
106A、106B…バルブ機構
110…被成形品供給部
110A、132A…マガジン
112…旋回テーブル
114…プレヒータ部
116…樹脂タブレット供給部
118、120…金型(先行金型、後行金型)
122…X方向ガイド
124…ローダ(搭載機構)
126…アンローダ
128…冷却ステージ
130…ゲートブレーク部
132…成形品収納部
140…装置制御部
142…保持回路(保持手段)
144…比較回路(比較手段)
146…処理回路(処理手段)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Resin sealing device 102 ... Device mechanism part 104 ... Vacuum pump (decompression mechanism)
106A, 106B ... Valve mechanism 110 ... Molded product supply unit 110A, 132A ... Magazine 112 ... Turning table 114 ... Preheater unit 116 ... Resin tablet supply unit 118, 120 ... Mold (preceding mold, trailing mold)
122 ... X direction guide 124 ... Loader (mounting mechanism)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 126 ... Unloader 128 ... Cooling stage 130 ... Gate break part 132 ... Molded product accommodation part 140 ... Apparatus control part 142 ... Holding circuit (holding means)
144: Comparison circuit (comparison means)
146... Processing circuit (processing means)

Claims (6)

複数の金型を備えて、該金型の減圧を行い、樹脂封止する樹脂封止方法において、
前記複数の金型のうちの先に樹脂封止動作がなされる先行金型の減圧終了時には、該先行金型の次に樹脂封止動作がなされる後行金型での樹脂封止動作のうちの被成形品の該後行金型への搭載動作までを完了させ
且つ、前記先行金型の減圧期間と前記後行金型の減圧期間とが重ならないようにする
ことを特徴とする樹脂封止方法。
In a resin sealing method comprising a plurality of molds, depressurizing the molds, and sealing with resin,
It said at reduced pressure the end of the preceding mold resin sealing operation is performed in the earlier of the plurality of molds, next to the resin sealing operation of the row die after resin sealing operation is performed in the distal Gyokin type Complete the operation of loading the molded product to the subsequent mold ,
In addition, the resin sealing method is characterized in that the decompression period of the preceding mold and the decompression period of the succeeding mold do not overlap.
請求項1において、
前記先行金型での減圧終了時に、前記後行金型での減圧を開始する
ことを特徴とする樹脂封止方法。
In claim 1,
The resin sealing method, wherein the pressure reduction in the succeeding mold is started at the end of the pressure reduction in the preceding mold.
被成形品供給部と複数の金型とを備えて、該複数の金型に応じて該被成形品供給部から被成形品を取り出して金型に装填して、該金型の減圧を行い、該被成形品を樹脂封止する樹脂封止方法において、
前記複数の金型のうちの先に樹脂封止動作がなされる先行金型に対する前記被成形品の装填完了後から該金型の減圧終了までの時間TGE1と、該先行金型の次に樹脂封止動作がなされる後行金型に対する前記被成形品供給部からの前記被成形品の取り出しから減圧開始までの時間TGS2と、を知る工程と、
前記時間TGE1と時間TGS2とを比較する工程と、
該比較した結果、該時間TGE1が時間TGS2よりも長い場合には、前記先行金型に対する前記被成形品の装填完了後、少なくとも該時間TGE1と時間TGS2の差に該当する時間だけ、前記後行金型に対する前記被成形品の取り出しの開始を遅延させ、該時間TGE1が時間TGS2以下である場合には、該先行金型に対する該被成形品の装填完了時に該後行金型に対する該被成形品の取り出しを開始する工程と、を備えた
ことを特徴とする樹脂封止方法。
A molded product supply unit and a plurality of molds are provided, and the molded product is taken out from the molded product supply unit according to the plurality of molds and loaded into the mold, and the mold is decompressed. In the resin sealing method for resin sealing the molded article,
A time TGE1 from the completion of loading of the molded product to the preceding mold in which the resin sealing operation is performed first among the plurality of molds until the end of decompression of the mold, and the resin next to the preceding mold A step of knowing a time TGS2 from the removal of the molded product from the molded product supply unit to the subsequent mold in which the sealing operation is performed to the start of pressure reduction,
Comparing said time TGE1 and time TGS2;
As a result of the comparison, when the time TGE1 is longer than the time TGS2, after the completion of the loading of the molded product with respect to the preceding mold, at least the time corresponding to the difference between the time TGE1 and the time TGS2 When the start of taking out the molded product from the mold is delayed and the time TGE1 is equal to or less than the time TGS2, the molding of the succeeding mold is completed when the molding is completely loaded into the preceding mold. And a step of starting to take out the product.
減圧機構と、該減圧機構が兼用されて自身の内部が減圧される複数の金型と、を有する樹脂封止装置において、
前記複数の金型のうちの先に樹脂封止動作がなされる先行金型の減圧終了時には、該先行金型の次に樹脂封止動作がなされる後行金型での樹脂封止動作のうちの被成形品の該後行金型への搭載動作までを完了させ
且つ、前記先行金型の減圧期間と前記後行金型の減圧期間とが重ならないように処理する処理手段
を備えることを特徴とする樹脂封止装置。
In a resin sealing device having a decompression mechanism and a plurality of molds in which the decompression mechanism is also used to decompress the interior of itself,
It said at reduced pressure the end of the preceding mold resin sealing operation is performed in the earlier of the plurality of molds, next to the resin sealing operation of the row die after resin sealing operation is performed in the distal Gyokin type Complete the operation of loading the molded product to the subsequent mold ,
And a processing means for processing so that the pressure reducing period of the preceding mold and the pressure reducing period of the succeeding mold do not overlap.
請求項4において、
前記処理手段が、前記先行金型での減圧終了時に、前記後行金型での減圧を開始するように処理する
ことを特徴とする樹脂封止装置。
In claim 4,
The resin sealing device, wherein the processing means performs processing so as to start pressure reduction in the succeeding mold when pressure reduction in the preceding mold ends.
減圧機構と、該減圧機構が兼用されて自身の内部が減圧される複数の金型と、該複数の金型に兼用されて被成形品を該複数の金型に装填する装填機構と、該被成形品を供給する被成形品供給部と、を有する樹脂封止装置において、
前記複数の金型のうちの先に樹脂封止動作がなされる先行金型に対する前記被成形品の装填完了後から該金型の減圧終了までの時間TGE1と、該先行金型の次に樹脂封止動作がなされる後行金型に対する前記被成形品供給部からの該被成形品の取り出しから減圧開始までの時間TGS2と、を保持する保持手段と、
前記時間TGE1と時間TGS2とを比較する比較手段と、
該比較した結果、該時間TGE1が時間TGS2よりも長い場合には、前記先行金型に対する前記被成形品の装填完了後、少なくとも該時間TGE1と時間TGS2の差に該当する時間だけ、前記後行金型に対する前記被成形品の取り出しの開始を遅延させ、該時間TGE1が時間TGS2以下である場合には、該先行金型に対する該被成形品の装填完了時に該後行金型に対する該被成形品の取り出しを開始するように処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする樹脂封止装置。
A decompression mechanism, a plurality of molds that are decompressed inside by using the decompression mechanism, a loading mechanism that is also used by the plurality of molds and loads a molding object into the plurality of molds, In a resin sealing device having a molded product supply unit for supplying a molded product,
A time TGE1 from the completion of loading of the molded product to the preceding mold in which the resin sealing operation is performed first among the plurality of molds until the end of decompression of the mold, and the resin next to the preceding mold A holding means for holding a time TGS2 from the removal of the molded product from the molded product supply unit to the subsequent mold in which the sealing operation is performed to the start of pressure reduction,
A comparison means for comparing the time TGE1 and the time TGS2,
As a result of the comparison, when the time TGE1 is longer than the time TGS2, after the completion of the loading of the molded product with respect to the preceding mold, at least the time corresponding to the difference between the time TGE1 and the time TGS2 When the start of taking out the molded product from the mold is delayed and the time TGE1 is equal to or less than the time TGS2, the molding of the succeeding mold is completed when the molding is completely loaded into the preceding mold. Processing means for processing to start taking out goods;
A resin sealing device comprising:
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