JP5548094B2

JP5548094B2 - Compressor

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Publication number: JP5548094B2
Application number: JP2010236553A
Authority: JP
Inventors: 徹吉岡
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 2010-10-21
Filing date: 2010-10-21
Publication date: 2014-07-16
Anticipated expiration: 2030-10-21
Also published as: CN102454626A; CN102454626B; JP2012087724A

Description

本発明は、圧縮機に関し、より詳しくは、いわゆるドライガスシールを採用した圧縮機に関するものである。 The present invention relates to a compressor, and more particularly to a compressor employing a so-called dry gas seal.

圧縮機には、種々の形式のものが知られているが、多くは、スクリュロータやインペラ等の回転体を回転し、この回転体の回転に伴って、流体を圧縮する形式のものである。このため、圧縮機には、回転体の主要部分を収容し、流体を圧縮するための圧縮空間が形成されるとともに、この回転体の軸を支持する軸受部が形成される。そして、それら圧縮空間と軸受部の間には、圧縮空間からの圧縮流体の漏出、また、軸受部から圧縮空間への潤滑材（油、グリース等）の流入を防止するために、種々のシール（軸封）が採用されている。 Various types of compressors are known, but most of them are of a type that rotates a rotating body such as a screw rotor or an impeller, and compresses the fluid as the rotating body rotates. . For this reason, in the compressor, a compression space for accommodating the main part of the rotating body and compressing the fluid is formed, and a bearing portion for supporting the shaft of the rotating body is formed. Various seals are provided between the compression space and the bearing portion in order to prevent leakage of compressed fluid from the compression space and inflow of lubricant (oil, grease, etc.) from the bearing portion to the compression space. (Shaft seal) is adopted.

特に、ハイドロカーボン等の可燃性、爆発性ガスや有毒ガス、腐食性ガス等のガスを圧縮すべき流体として取り扱う圧縮機については、このガスに対してシールをどのように構成するかが重要となる。昨今では、油を全くシール用の材料として使用しないドライなシールとして、いわゆるドライガスシールが注目されている。 Especially for compressors that handle flammable, explosive, toxic or corrosive gases such as hydrocarbons as fluids to be compressed, it is important how the seal is constructed against this gas. Become. Recently, a so-called dry gas seal has attracted attention as a dry seal that does not use any oil as a sealing material.

ドライガスシールは、おおまかに言えば、回転体の軸と一体的に回転する回転環と、この回転環の、軸と略垂直な垂直端面と対向する位置に配置され、ケーシング等と弾性部材を介して固定された静止環とによって構成されている。ドライガスシールは、回転体が静止している状態では、回転環に静止環が当接し、シール面を形成して、圧縮されるべきガスの流出等を防止する。また、ドライガスシールの回転環の垂直端面、すなわち、静止環と対向する面の多くには、スパイラル状・らせん状の溝が形成されている。そして、回転体が回転している状態では、スパイラル状・らせん状の溝にシールガスが流れ込み、動圧を形成して、回転環と静止環との間にわずかな隙間が形成され、そこにシールガスでのシール面が構成され、やはり圧縮されるべきガスの流出等が防止される。 Roughly speaking, the dry gas seal is arranged at a position facing a rotary ring that rotates integrally with the axis of the rotating body, and a vertical end surface of the rotary ring that is substantially perpendicular to the axis, and a casing or the like and an elastic member. It is comprised by the stationary ring fixed via. When the rotating body is stationary, the dry gas seal is in contact with the rotating ring and forms a sealing surface to prevent outflow of gas to be compressed. In addition, spiral and spiral grooves are formed on many of the vertical end faces of the rotating ring of the dry gas seal, that is, the faces facing the stationary ring. When the rotating body is rotating, the seal gas flows into the spiral / spiral groove, forming a dynamic pressure, and a slight gap is formed between the rotating ring and the stationary ring. A sealing surface with the sealing gas is formed, and the outflow of the gas to be compressed is prevented.

尚、ドライガスシールと同様に、回転体が回転する際に、シール部材と回転体の軸とが非接触状態となるシール（軸封）としてラビリンスシールが知られている。但し、上述の通り、ドライガスシールの形成するシール面は回転体の軸と略垂直な面となるため、ドライガスシールはラビリンスシールより、回転体の軸の半径方向の振動の影響を受けにくい。また、ラビリンスシールで形成されるシール部材と軸の隙間より、ドライガスシールのシール面での隙間を小さくすることができるので、ラビリンスシールでの漏れ量よりドライガスシールでの漏れ量を格段に少なくすることができる等の利点がある。 Similar to the dry gas seal, a labyrinth seal is known as a seal (shaft seal) in which the seal member and the shaft of the rotating body are not in contact with each other when the rotating body rotates. However, as described above, since the seal surface formed by the dry gas seal is a surface substantially perpendicular to the axis of the rotating body, the dry gas seal is less susceptible to vibrations in the radial direction of the axis of the rotating body than the labyrinth seal. . In addition, since the gap on the seal surface of the dry gas seal can be made smaller than the gap between the seal member and the shaft formed by the labyrinth seal, the leak amount at the dry gas seal is markedly greater than the leak amount at the labyrinth seal. There is an advantage that it can be reduced.

上述のようにドライガスシールはシール（軸封）として非常に有用なものであるが、改善すべき課題も種々指摘されている。例えば、シール面への異物（液体等）の浸入等のため、回転環と静止環との間に発生する力（浮上力）にばらつきが生じると、回転体の回転中に、回転環と静止環とが接触する事態が生じ、シール面が損傷する可能性がある。ドライガスシールが損傷・破損すると、漏れ出したガスが更に他の不具合を誘引することとなり、望ましくない。そのため、ドライガスシールの損傷・破損等の不具合を、未然に、あるいは素早く検知して、その不具合に応じた対応を可能とする技術が求められている。 As described above, the dry gas seal is very useful as a seal (shaft seal), but various problems to be improved have been pointed out. For example, if the force (levitation force) generated between the rotating ring and the stationary ring varies due to the entry of foreign matter (liquid, etc.) into the seal surface, the rotating ring and the stationary ring will rotate while the rotating body is rotating. A situation where the ring comes into contact may occur, and the sealing surface may be damaged. If the dry gas seal is damaged or broken, the leaked gas will cause other problems, which is not desirable. Therefore, there is a need for a technique that can detect a failure such as damage or breakage of a dry gas seal in advance or quickly and can cope with the failure.

この様な従来技術につき概略説明するならば、例えば、従来例１では、非接触式ドライガスシールのベントラインのガスリーク量を検知する装置を備えた非接触式ドライガスシールの異常検知システムが開示されている（特許文献１参照）。また、従来例２には、軸封装置（ドライガスシール）内を通過したバッファガスをリークガスとして外部へ排出するリークガス流路に、そのリークガスの温度を測定するリークガス温度測定器を設け、そのリークガス温度測定器で測定されたリークガスの温度が予め設定された設定値を越えたときに、遠心圧縮機を停止させる制御装置を有した遠心圧縮機の軸封システムが提案されている（特許文献２参照）。 For example, in the conventional example 1, a non-contact dry gas seal abnormality detection system including a device for detecting a gas leak amount in a vent line of a non-contact dry gas seal is disclosed. (See Patent Document 1). Further, in Conventional Example 2, a leak gas temperature measuring device for measuring the temperature of the leak gas is provided in a leak gas flow path for discharging the buffer gas that has passed through the shaft seal device (dry gas seal) to the outside as the leak gas, and the leak gas A shaft seal system of a centrifugal compressor having a control device that stops the centrifugal compressor when the temperature of the leak gas measured by the temperature measuring device exceeds a preset set value has been proposed (Patent Document 2). reference).

また、ドライガスシールの損傷・破損等の不具合の発生自体を回避するための従来技術も種々提案されている。例えば、従来例３に係る高圧流体処理装置は、装置本体を有し前記装置本体の内部に大気圧よりも高圧の流体が封入される高圧流体処理装置であって、その高圧流体処理装置は、前記高圧流体処理装置以外の他の高圧流体処理装置に不具合が生じたときのみ前記他の高圧流体処理装置の代わりとして運転され、前記装置本体に設けられ前記装置本体から前記封入された流体が漏れることを防ぐドライガスシールと、前記装置本体に封入された前記流体の圧力が設定値よりも下がらないように前記装置本体の内部に流体を供給する流体供給部とを備えている（特許文献３参照）。 Various conventional techniques for avoiding the occurrence of problems such as damage and breakage of the dry gas seal have been proposed. For example, the high-pressure fluid treatment apparatus according to Conventional Example 3 is a high-pressure fluid treatment apparatus that has an apparatus main body and in which a fluid having a pressure higher than atmospheric pressure is enclosed inside the apparatus main body. Only when a problem occurs in another high-pressure fluid treatment device other than the high-pressure fluid treatment device, the device is operated as a substitute for the other high-pressure fluid treatment device, and the sealed fluid provided in the device main body leaks from the device main body. A dry gas seal that prevents this, and a fluid supply unit that supplies fluid to the inside of the apparatus main body so that the pressure of the fluid sealed in the apparatus main body does not drop below a set value (Patent Document 3). reference).

特開平４−２９６７８号公報JP-A-4-29678 特開２００２−１５５８９２号公報JP 2002-155892 A 特開２００１−３５５５９４号公報JP 2001-355594 A

上記従来例１に係る非接触式ドライガスシールの異常検知システムによれば、非接触式ドライガスシールの異常とエアーシール用空気、窒素等のガス量の異常を区別することができるので、ベントラインの異常で安易に圧縮機、ブロア、送風機を停止することなく、真に、非接触式ドライガスシールの異常のみで圧縮機、ブロア、送風機を停止することができるとされている。また、上記従来例２に係る遠心圧縮機の軸封システムによれば、ドライガスシールが損傷・破損する前に異常を検出することができるので、シールの損傷を未然に防止することが可能になるとされている。 According to the abnormality detection system for a non-contact type dry gas seal according to the conventional example 1, it is possible to distinguish between an abnormality of the non-contact type dry gas seal and an abnormality in the amount of gas such as air seal air and nitrogen. It is said that the compressor, the blower and the blower can be stopped only by the abnormality of the non-contact type dry gas seal without stopping the compressor, the blower and the blower easily due to the abnormality of the line. Further, according to the shaft seal system of the centrifugal compressor according to the above-described conventional example 2, since the abnormality can be detected before the dry gas seal is damaged or broken, it is possible to prevent the seal from being damaged beforehand. It is supposed to be.

しかしながら、ドライガスシールが高圧のガスを扱う圧縮機の軸封に用いられる場合、一旦、ドライガスシールが損傷・破損すると、高圧のガスが急激に漏れ出すことになる。その場合、異常を検知して圧縮機を停止させても、高圧のガスの漏れは直ぐには止まらないため、上記従来例１に係る異常検知システムでは対応しきれない。また、従来例２に係る軸封システムは、ドライガスシールが損傷・破損することを前提としたものではないため、現実にドライガスシールの損傷・破損の不具合が発生した場合にはその不具合に対応できない。 However, when the dry gas seal is used for shaft sealing of a compressor that handles high-pressure gas, once the dry gas seal is damaged or broken, the high-pressure gas leaks abruptly. In that case, even if an abnormality is detected and the compressor is stopped, the high-pressure gas leakage does not stop immediately, and thus the abnormality detection system according to the above-described conventional example 1 cannot cope with it. In addition, the shaft seal system according to Conventional Example 2 is not based on the assumption that the dry gas seal is damaged or broken. I can not cope.

更に、従来例３に係る高圧流体処理装置も、従来例２に係る軸封システムと同様、ドライガスシールが損傷・破損することを前提としたものではないため、現実にドライガスシールの損傷・破損の不具合が発生した場合にはその不具合に対応できない。また、この従来例３では、圧縮機内のガスより高圧のシールガスが必要になるため、シールガスラインの配管や付属機器に高圧に耐えられる物を用いなければならず、高圧ガス保安法の対象となる等、製作や手続きの点から煩雑になる。 Further, the high pressure fluid processing apparatus according to Conventional Example 3 is not based on the premise that the dry gas seal is damaged or broken as in the case of the shaft seal system according to Conventional Example 2. If a failure occurs, it cannot be dealt with. Moreover, in this conventional example 3, since a higher-pressure seal gas is required than the gas in the compressor, it is necessary to use a material that can withstand high pressure in the piping of the seal gas line and the attached equipment. It becomes complicated from the point of production and procedure.

従って、本発明の目的は、上記従来技術の課題を鑑み、軸封としてドライガスシール部を採用した圧縮機において、前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、フレアライン、外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止することが可能であり、かつ、前記ドライガスシール部が損傷・破損して高圧のガスが漏れても、安全かつ自動的に処置可能な圧縮機を提供することにある。 Accordingly, in view of the problems of the prior art described above, an object of the present invention is to confirm leakage of seal gas from the dry gas seal portion in a compressor that employs a dry gas seal portion as a shaft seal. Provided is a compressor capable of preventing clogging of pipes leading to the pipe, and capable of safely and automatically treating even if the dry gas seal portion is damaged or broken and high-pressure gas leaks. There is.

即ち、上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係る圧縮機が採用した手段は、圧縮機ロータを収容してなるケーシングと、圧縮機本体の吸込口に接続された吸込流路と、前記圧縮機本体の吐出口に接続された吐出流路とを備え、前記圧縮機ロータのロータ軸に接続された駆動手段によって、該圧縮機ロータが回転され、前記吸込流路から前記吸込口を介して流体を吸い込み、前記吐出口を介して前記吐出流路に圧縮された流体を吐出する圧縮機である。 In other words, in order to achieve the above object, the means employed by the compressor according to claim 1 of the present invention includes a casing that houses the compressor rotor, and a suction passage connected to the suction port of the compressor body. And a discharge passage connected to the discharge port of the compressor main body, and the compressor rotor is rotated by the driving means connected to the rotor shaft of the compressor rotor, and the suction passage is connected to the suction passage. The compressor sucks fluid through a port and discharges the compressed fluid into the discharge channel through the discharge port.

そして、この圧縮機は、前記ケーシングと前記ロータ軸の間に配設され、前記ロ一タ軸に周設された回転環と、弾性部材により前記ロータ軸と略垂直な前記回転環の垂直端面に当接可能に配置された静止環とを有するドライガスシール部と、前記静止環と当接可能な前記回転環の垂直端面を含む空間と、シールガスの供給源とを接続するシールガス供給流路と、前記ドライガスシール部より駆動手段側であって、前記ロータ軸の周囲の空間に位置するフレアライン接続空間と、前記フレアライン接続空間と外部空間と接続するフレアラインと、前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、前記フレアライン、前記外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止するための前記フレアラインに介設された流量計と、前記フレアラインから前記流量計の上流側で分岐して、再び当該フレアラインに前記流量計の下流側で合流するフレアライン分岐流路と、前記フレアライン分岐流路には、当該フレアライン分岐流路の上流側の圧力が所定圧以上となると開弁する安全弁と、
が設けられてなることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項２に係る圧縮機は、請求項１に係る圧縮機において、前記流量計の前後には開閉弁、更に前記流量計と並列に開閉弁の介設されたバイパス流路が設けられ、通常時には、前記流量計の前後の開閉弁が全開、前記流量計と並列に設けられた開閉弁が全閉し、前記流量計の点検時には、前記流量計と並列に設けられた開閉弁を全開にしてから、前記流量計の前後の開閉弁を全閉にするように構成されたことを特徴とする。
また、本発明の請求項３に係る圧縮機は、請求項１または２に記載の圧縮機において、前記ドライガスシール部の損傷、破損による前記フレアラインの圧力の上昇を検出するための前記フレアラインに介設された圧力計、をさらに備えることを特徴とする。
また、本発明の請求項４に係る圧縮機は、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧縮機において、前記シールガス供給流路に介設された流量計、をさらに備え、当該流量計で検出されたシールガスの流量が、所定の流量値以下となった場合に警報装置によって警報が発せられることを特徴とする。 The compressor includes a rotating ring disposed between the casing and the rotor shaft and provided around the rotor shaft, and a vertical end surface of the rotating ring that is substantially perpendicular to the rotor shaft by an elastic member. A seal gas supply that connects a dry gas seal portion having a stationary ring arranged so as to be in contact with the stationary ring, a space including a vertical end surface of the rotating ring that can be brought into contact with the stationary ring, and a supply source of the seal gas A flow path, a flare line connection space located in a space around the rotor shaft, closer to the driving means than the dry gas seal portion, a flare line connecting the flare line connection space and the external space, and the dry gas seal portion A flow meter interposed in the flare line for confirming leakage of seal gas from the gas seal portion and preventing clogging of the flare line and piping leading to the external space; and the flare line Branched in upstream side of the flow meter from a flare line branch flow path merge at the downstream side of the flowmeter to the flare line again, the flare line branch flow path, upstream of the flare line branch channel A safety valve that opens when the pressure on the side exceeds a predetermined pressure;
Is provided.
Further, the compressor according to claim 2 of the present invention is the compressor according to claim 1, wherein the on-off valve is provided before and after the flow meter, and further, the bypass flow path is provided with the on-off valve in parallel with the flow meter. In normal times, the on-off valves before and after the flow meter are fully opened, and the on-off valves provided in parallel with the flow meter are fully closed, and when inspecting the flow meter, they are provided in parallel with the flow meter. The on / off valve is configured to be fully opened and then the on / off valves before and after the flowmeter are fully closed.
A compressor according to claim 3 of the present invention is the compressor according to claim 1 or 2, wherein the flare for detecting an increase in pressure of the flare line due to damage or breakage of the dry gas seal portion. And a pressure gauge interposed in the line.
The compressor according to claim 4 of the present invention is the compressor according to any one of claims 1 to 3, further comprising a flow meter interposed in the seal gas supply flow path, An alarm is issued by an alarm device when the flow rate of the seal gas detected by the flow meter becomes a predetermined flow rate value or less.

本発明の請求項１に係る圧縮機によれば、ケーシングとロータ軸の間に配設され、前記ロ一タ軸に周設された回転環と、弾性部材により前記ロータ軸と略垂直な前記回転環の垂直端面に当接可能に配置された静止環とを有するドライガスシール部と、前記静止環と当接可能な前記回転環の垂直端面を含む空間と、シールガスの供給源とを接続するシールガス供給流路と、前記ドライガスシール部より駆動手段側であって、前記ロータ軸の周囲の空間に位置するフレアライン接続空間と、前記フレアライン接続空間と外部空間と接続するフレアラインと、前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、前記フレアライン、前記外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止するための前記フレアラインに介設された流量計と、前記フレアラインから前記流量計の上流側で分岐して、再び当該フレアラインに前記流量計の下流側で合流するフレアライン分岐流路と、前記フレアライン分岐流路には、当該フレアライン分岐流路の上流側の圧力が所定圧以上となると開弁する安全弁と、が設けられてなるので、前記ドライガスシール部からのシールガスの漏れを確認し、前記フレアライン、前記外部空間へ通じる配管の詰まりを未然に防止することが可能であり、かつ、前記ドライガスシール部の損傷・破損等によるフレアラインの圧力の上昇が非常に急で、圧力計で検出された圧力値に基づく圧縮機の停止に遅れが生じたとしても、前記安全弁を開弁させることによって、前記フレアラインでの圧力がその安全弁に設定された圧力を超えることはない。 According to the compressor according to claim 1 of the present invention, the rotary ring disposed between the casing and the rotor shaft and provided around the rotor shaft, and the elastic member substantially perpendicular to the rotor shaft. A dry gas seal portion having a stationary ring arranged so as to be in contact with a vertical end surface of the rotating ring; a space including the vertical end surface of the rotating ring capable of contacting with the stationary ring; and a supply source of seal gas. A seal gas supply channel to be connected; a flare line connection space located in a space around the rotor shaft, on the drive means side of the dry gas seal portion; and a flare connected to the flare line connection space and the external space A flow meter interposed between the line and the flare line for confirming leakage of seal gas from the dry gas seal portion and preventing clogging of the pipe leading to the flare line and the external space; F Branched in upstream side of the flow meter from alignment, and flare line branch flow path merge at the downstream side of the flowmeter to the flare line again, the flare line branch flow path of the flare line branch channel And a safety valve that opens when the pressure on the upstream side becomes equal to or higher than a predetermined pressure, so check for leakage of seal gas from the dry gas seal, and block the piping leading to the flare line and the external space. In addition, the flare line pressure rises very rapidly due to damage or breakage of the dry gas seal, and the compressor is stopped based on the pressure value detected by the pressure gauge. Even if a delay occurs, the pressure in the flare line does not exceed the pressure set in the safety valve by opening the safety valve.

本発明の実施の形態に係る圧縮機の構成図である。It is a lineblock diagram of the compressor concerning an embodiment of the invention.

本発明の実施の形態に係る圧縮機を、以下添付図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る圧縮機の構成図である。本発明に係る圧縮機１は、プロセスガスとして窒素を、即ち圧縮する対象の気体として窒素を利用する圧縮機である。尚、この圧縮機１の軸封には、後述するようにドライガスシールを採用している。また、この圧縮機１は、後述する様にその圧縮機ロータ（回転体）３にインペラ（羽根車）を採用した遠心圧縮機である。 A compressor according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 is a configuration diagram of a compressor according to an embodiment of the present invention. The compressor 1 according to the present invention is a compressor that uses nitrogen as a process gas, that is, nitrogen as a gas to be compressed. The shaft seal of the compressor 1 employs a dry gas seal as will be described later. The compressor 1 is a centrifugal compressor in which an impeller (impeller) is adopted for the compressor rotor (rotating body) 3 as will be described later.

本発明の実施の形態に係る圧縮機１は、その圧縮機１の主要部品として、ケーシング２、そのケーシング２に収容されてなる圧縮機ロータ（回転体）３、その圧縮機ロータ（回転体）３に回転力を伝達するための増速機４を備えている。尚、増速機４はピニオンギア（小歯車）４ａと、ブルギア（大歯車）（図示せず）が噛合って構成されている。そのブルギア（大歯車）の軸には、電動機（図示せず）の駆動軸がカップリング等を介して接続されている。ピニオンギア４ａの軸４ｂは、圧縮機ロータ３のロータ軸３ａに一体的に結合されている。 A compressor 1 according to an embodiment of the present invention includes a casing 2, a compressor rotor (rotary body) 3 accommodated in the casing 2, and a compressor rotor (rotary body) as main components of the compressor 1. 3 is provided with a speed increaser 4 for transmitting a rotational force. The speed increaser 4 is configured by meshing a pinion gear (small gear) 4a and a bull gear (large gear) (not shown). A drive shaft of an electric motor (not shown) is connected to the shaft of the bull gear (large gear) via a coupling or the like. The shaft 4 b of the pinion gear 4 a is integrally coupled to the rotor shaft 3 a of the compressor rotor 3.

換言すれば、増速機４が圧縮機ロータ（回転体）３のロータ軸３ａに接続された駆動手段を構成している。その駆動手段によって圧縮機ロータ（回転体）３が回転され、後述する様に、圧縮機１は吸込流路７から吸込口５を介してプロセスガスを吸い込み、吐出口６を介して吐出流路８に圧縮されたプロセスガスを吐出する。 In other words, the speed increaser 4 constitutes drive means connected to the rotor shaft 3a of the compressor rotor (rotating body) 3. The compressor rotor (rotary body) 3 is rotated by the driving means, and the compressor 1 sucks process gas from the suction flow path 7 through the suction port 5 and discharges the discharge flow path through the discharge port 6 as will be described later. The process gas compressed to 8 is discharged.

圧縮機ロータ３は、ロータ軸３ａにテンショボルト（図示せず）及びロックナット（図示せず）で固定された、いわゆるインペラ（略円錐状の羽根車）で構成されている。そして、圧縮機ロータ３の回転によって、圧縮機ロータ３を構成するインペラの先端部に位置するプロセスガスの吸込口５から、プロセスガスが吸い込まれるよう構成されている。圧縮機ロータ３の回転によって、吸込口５から吸い込まれたプロセスガスが加速される。 The compressor rotor 3 is constituted by a so-called impeller (substantially conical impeller) fixed to a rotor shaft 3a with a tension bolt (not shown) and a lock nut (not shown). Then, the process gas is sucked in from the suction port 5 of the process gas located at the tip of the impeller constituting the compressor rotor 3 by the rotation of the compressor rotor 3. The process gas sucked from the suction port 5 is accelerated by the rotation of the compressor rotor 3.

そして、加速されたプロセスガスはディフューザ（図示せず）を通過して減速されるとともに昇圧され、スクロール部（図示せず）を介して、吐出口６より吐出される。尚、プロセスガスの吸込口５とプロセスガスの供給源は吸込流路７によって接続され、また、プロセスガスの吐出口６とプロセスガスの供給先とは吐出流路８によって接続されている。 Then, the accelerated process gas passes through a diffuser (not shown), decelerates and is pressurized, and is discharged from the discharge port 6 through a scroll portion (not shown). The process gas suction port 5 and the process gas supply source are connected by a suction flow path 7, and the process gas discharge port 6 and the process gas supply destination are connected by a discharge flow path 8.

プロセスガスはその圧力の上昇とともに温度も上昇する。従って、吐出流路８には、その吐出流路８を通ずるプロセスガスの温度を低下させるための冷却器９が介設されている。更に、その冷却器９とプロセスガスの供給先との間の吐出流路８から分岐し、後述するシールガス供給流路１８と合流する、分岐流路１０が設けられている。分岐流路１０には、吐出流路８との分岐点から、シールガス供給流路１８との合流点に向かう流れのみを許容する逆止弁１１（ＣＶ５０１）が介設されている。 The temperature of the process gas increases as its pressure increases. Accordingly, the discharge channel 8 is provided with a cooler 9 for lowering the temperature of the process gas passing through the discharge channel 8. Further, a branch flow path 10 is provided which branches from the discharge flow path 8 between the cooler 9 and the process gas supply destination and merges with a seal gas supply flow path 18 which will be described later. The branch channel 10 is provided with a check valve 11 (CV501) that allows only a flow from a branch point with the discharge channel 8 to a junction with the seal gas supply channel 18.

ピニオンギア４ａの周囲には、圧縮機ロータ３の回転によって昇圧されたプロセスガスが、その圧縮機ロータ３を構成するインペラの背面を通じて、増速機４側に漏出しない様に、ドライガスシール部１２が設けられている。ドライガスシール部１２は、ロータ軸３ａと一体的に回転する回転環１２ａと、この回転環１２ａの、軸４ｂと略垂直な垂直端面と対向する位置に配置され、ケーシング２とロータ軸３ａの間に配設され、ケーシング２と弾性部材１２ｂを介して固定された静止環１２ｃとによって構成されている。 Around the pinion gear 4a, a dry gas seal portion is provided so that the process gas pressurized by the rotation of the compressor rotor 3 does not leak to the gearbox 4 side through the back surface of the impeller constituting the compressor rotor 3. 12 is provided. The dry gas seal portion 12 is disposed at a position facing a rotary end 12a that rotates integrally with the rotor shaft 3a, and a vertical end surface of the rotary ring 12a that is substantially perpendicular to the shaft 4b, and between the casing 2 and the rotor shaft 3a. The stationary ring 12c is disposed between the casing 2 and the elastic member 12b.

ドライガスシール部１２は、圧縮機ロータ３が静止している状態では、回転環１２ａに静止環１２ｃが当接し、シール面を形成して、プロセスガスの流出を防止する。また、ドライガスシール部１２の回転環１２ａの垂直端面、即ち静止環１２ｃと対向する面には、通常螺旋状の溝（図示せず）が形成されている。そして、圧縮機ロータ３が回転している状態では、螺旋状の溝にシールガスが流れ込んで、回転環１２ａと静止環１２ｃとの間に僅かな隙間が形成され、その僅かな隙間にシールガスによるシール面が構成され、やはりプロセスガスの流出が防止される。 In the state where the compressor rotor 3 is stationary, the dry gas seal portion 12 abuts the stationary ring 12c on the rotating ring 12a to form a sealing surface to prevent the process gas from flowing out. In addition, a spiral groove (not shown) is usually formed on the vertical end surface of the rotating ring 12a of the dry gas seal portion 12, that is, the surface facing the stationary ring 12c. When the compressor rotor 3 is rotating, the seal gas flows into the spiral groove, and a slight gap is formed between the rotating ring 12a and the stationary ring 12c. A sealing surface is formed, and the outflow of process gas is also prevented.

一方、ドライガスシール部１２より、増速機４側のロータ軸３ａの周囲の空間には、フレアライン接続空間１３及びオイルバッフル１４が設けられている。フレアライン接続空間１３は、ドライガスシール部１２から漏れたガスを排気するための流路、即ち後述のフレアライン１６と連通する空間である。 On the other hand, a flare line connection space 13 and an oil baffle 14 are provided in the space around the rotor shaft 3 a on the gearbox 4 side from the dry gas seal portion 12. The flare line connection space 13 is a flow path for exhausting the gas leaked from the dry gas seal portion 12, that is, a space communicating with a flare line 16 described later.

また、オイルバッフル１４は、ラビリンスシール１５ａ、１５ｂの中間位置に形成されている空間であり、後述の計装空気流路１７が連通している。計装空気流路１７から計装空気がオイルバッフル１４に注入されることにより、オイルバッフル１４の内部圧力が上昇され、増速機４の潤滑油がドライガスシール部１２側へ漏れ出るのを防いでいる。 The oil baffle 14 is a space formed at an intermediate position between the labyrinth seals 15a and 15b, and communicates with an instrument air passage 17 described later. By injecting instrument air from the instrument air flow path 17 into the oil baffle 14, the internal pressure of the oil baffle 14 is increased, and the lubricating oil of the gearbox 4 leaks to the dry gas seal portion 12 side. It is preventing.

そして、ドライガスシール部１２へシールガスを供給するためのシールガス供給流路１８が設けられている。シールガス供給流路１８の一端は、ドライガスシール部１２の回転環１２ａの垂直端面、すなわち、静止環１２ｃと対向する面にシールガスが供給され得る様、その垂直端面を含む空間に接続されている。また、シールガス供給流路１８の他の一端は、シールガスの供給源に接続されている。 A seal gas supply channel 18 for supplying the seal gas to the dry gas seal portion 12 is provided. One end of the seal gas supply channel 18 is connected to a space including the vertical end surface so that the seal gas can be supplied to the vertical end surface of the rotating ring 12a of the dry gas seal portion 12, that is, the surface facing the stationary ring 12c. ing. The other end of the seal gas supply channel 18 is connected to a seal gas supply source.

そのシールガス供給流路１８には、その流路を通じるシールガスの圧力を検出するための圧力計１９（ＰＴ２７００）、シールガス供給源から圧縮機１側への流れのみを許容する逆止弁２０（ＣＶ５０７）、シールガスに混入する微小な不純物を捕捉するためのフィルタ２１ａ、２１ｂ、更に、シールガスの流量を検出し、絞り手段でもあるオリフィス２２（流量計ＦＥ２７００）が介設されている。 The seal gas supply flow path 18 includes a pressure gauge 19 (PT2700) for detecting the pressure of the seal gas through the flow path, and a check valve that allows only the flow from the seal gas supply source to the compressor 1 side. 20 (CV507), filters 21a and 21b for capturing minute impurities mixed in the seal gas, and an orifice 22 (flow meter FE2700) that detects the flow rate of the seal gas and is also a throttle means. .

尚、前記フィルタには、フィルタ２１ａとフィルタ２１ｂとが並列に設けられている。そして、フィルタ２１ａの前後には開閉弁２３，２４、フィルタ２１ｂの前後には開閉弁２５，２６が設けられている。そして、フィルタ２１ａ，２１ｂの上流、下流の圧力の差圧を検出する差圧計２７（ＰｄＩＳ２７００）が、そのフィルタ２１ａ、２１ｂの近傍に設けられている。この差圧計２７（ＰｄＩＳ２７００）で検出される差圧の大小によって、フィルタ２１ａ，２１ｂの目詰まりの状況を確認することができる。 The filter is provided with a filter 21a and a filter 21b in parallel. On / off valves 23 and 24 are provided before and after the filter 21a, and on / off valves 25 and 26 are provided before and after the filter 21b. A differential pressure gauge 27 (PdIS2700) for detecting the differential pressure between the upstream and downstream pressures of the filters 21a and 21b is provided in the vicinity of the filters 21a and 21b. The state of clogging of the filters 21a and 21b can be confirmed by the magnitude of the differential pressure detected by the differential pressure gauge 27 (PdIS2700).

計装空気流路１７には、流量計２８（ＦＩ２２５）が介設されている。そして、その流量計２８の前後には開閉弁２９，３０、更に流量計２８と並列に開閉弁３１の介設されたバイパス流路３２が設けられている。計装空気流路１７に計装空気が流れていない場合、増速機４内の潤滑油がオイルバッフル１４の前後のラビリンスシール１５ａ，１５ｂを通過してドライガスシール部１２に達し、ドライガスシール部１２を破損する恐れが生じる。 A flow meter 28 (FI225) is interposed in the instrumentation air flow path 17. In front of and behind the flow meter 28, there are provided on-off valves 29 and 30, and a bypass passage 32 having an on-off valve 31 interposed in parallel with the flow meter 28. When instrumentation air does not flow through the instrumentation air flow path 17, the lubricating oil in the speed increaser 4 passes through the labyrinth seals 15 a and 15 b before and after the oil baffle 14 and reaches the dry gas seal portion 12, and the dry gas There is a risk of damaging the seal portion 12.

この流量計２８（ＦＩ２２５）は、計装空気が確実にオイルバッフル１４へ流れていることを確認し、上述の「ドライガスシール部１２の破損」を未然に防止するために設けられている。通常時には開閉弁２９，３０が全開、開閉弁３１が全閉とされ、流量計２８（ＦＩ２２５）で計装空気の流れが確認される。流量計２８（ＦＩ２２５）の点検時には、開閉弁３１を全開してから、開閉弁２９，３０を全閉し、流量計２８（ＦＩ２２５）に計装空気が流れない状態にして、その流量計２８のメンテナンス等の作業が行われる。 The flow meter 28 (FI 225) is provided to confirm that the instrument air is surely flowing to the oil baffle 14 and to prevent the above-mentioned “damage of the dry gas seal portion 12”. Normally, the on-off valves 29 and 30 are fully opened and the on-off valve 31 is fully closed, and the flow of instrumented air is confirmed by the flow meter 28 (FI225). When checking the flow meter 28 (FI225), the on-off valve 31 is fully opened and then the on-off valves 29 and 30 are fully closed so that instrument air does not flow through the flowmeter 28 (FI225). Work such as maintenance is performed.

また、フレアライン接続空間１３には、ドライガスシール部１２からの漏れたガスを排気するための流路、即ちフレアライン１６が連通している。フレアライン１６には、圧力計３３（ＰＴ２７１７）と流量計３４（ＦＩ２２４）が介設されている。そして、その流量計３４の前後には開閉弁３５，３６、更に流量計３４と並列に開閉弁３７の介設されたバイパス流路３８が設けられている。フレアライン１６・外部空間（屋外）へ通じる配管が詰まると、ドライガスシール部１２が破損した場合に、高圧ガスを安全に排気できなくなるため、危険である。 Further, the flare line connection space 13 communicates with a flow path for exhausting gas leaked from the dry gas seal portion 12, that is, a flare line 16. The flare line 16 is provided with a pressure gauge 33 (PT2717) and a flowmeter 34 (FI224). In front of and behind the flow meter 34, there are provided on-off valves 35, 36, and a bypass flow path 38 having an on-off valve 37 interposed in parallel with the flow meter 34. If the pipes leading to the flare line 16 and the external space (outdoors) are clogged, the dry gas seal portion 12 is damaged, so that high-pressure gas cannot be safely exhausted, which is dangerous.

流量計３４（ＦＩ２２４）は、ドライガスシール部１２からのシールガスの漏れ（流れ）およびオイルバッフル１４からの計装空気の漏れ（流れ）を確認し、上述の「フレアライン１６・外部空間（屋外）へ通じる配管の詰まり」を未然に防止するために設けられている。通常時には、開閉弁３５，３６が全開、開閉弁３７が全閉とされ、流量計３４（ＦＩ２２４）でドライガスシール部１２からのシールガスの漏れ（流れ）およびオイルバッフル１４からの計装空気の漏れ（流れ）が確認される。流量計３４（ＦＩ２２４）の点検時には、開閉弁３７を全開にしてから、開閉弁３５，３６を全閉にして、流量計３４（ＦＩ２２４）にシールガスや計装空気が流れない状態にして、その流量計３４のメンテナンス等の作業が行われる。 The flow meter 34 (FI 224) confirms the leakage (flow) of the seal gas from the dry gas seal portion 12 and the leakage (flow) of the instrument air from the oil baffle 14, and the above-mentioned “flare line 16 / external space ( It is provided in order to prevent “clogging of pipes leading to the outdoors”. Normally, the on-off valves 35 and 36 are fully opened and the on-off valve 37 is fully closed. Seal gas leakage (flow) from the dry gas seal portion 12 and instrument air from the oil baffle 14 are flowmeter 34 (FI 224). Leakage (flow) is confirmed. When checking the flow meter 34 (FI 224), open the on-off valve 37 and then close the on-off valves 35 and 36 so that no seal gas or instrument air flows into the flow meter 34 (FI 224). Work such as maintenance of the flow meter 34 is performed.

そして、圧力計３３（ＰＴ２７１７）と流量計３４（ＦＩ２２４）との間のフレアライン１６から分岐し、再びそのフレアライン１６（より具体的には、バイパス流路３８とフレアライン１６との合流点より下流のフレアライン１６）に合流するフレアライン分岐流路３９が設けられている。そして、そのフレアライン分岐流路３９には、そのフレアライン分岐流路３９の上流側の圧力が所定圧以上となると開弁する安全弁４０が設けられている。尚、ここでいうフレアライン分岐流路３９の上流側の圧力とは、安全弁４０の設けられている箇所より上流側のフレアライン分岐流路３９の圧力のことである。 And it branches from the flare line 16 between the pressure gauge 33 (PT2717) and the flow meter 34 (FI224), and again flare line 16 (more specifically, the junction of the bypass flow path 38 and the flare line 16) A flare line branch passage 39 is provided which joins the flare line 16) further downstream. The flare line branch passage 39 is provided with a safety valve 40 that opens when the pressure on the upstream side of the flare line branch passage 39 exceeds a predetermined pressure. Here, the pressure on the upstream side of the flare line branch flow path 39 is the pressure in the flare line branch flow path 39 upstream from the location where the safety valve 40 is provided.

圧縮機１の運転前、即ち圧縮機ロータ３が回転される前には、分岐流路１０の逆止弁１１（ＣＶ５０１）が閉じた状態で、且つシールガス供給流路１８の逆止弁２０（ＣＶ５０７）が開いた状態で、シールガスの供給源からシールガス供給流路１８を介してドライガスシール部１２へシールガスが供給される。 Before the compressor 1 is operated, that is, before the compressor rotor 3 is rotated, the check valve 11 (CV501) of the branch flow path 10 is closed and the check valve 20 of the seal gas supply flow path 18 is closed. With the (CV507) opened, the seal gas is supplied from the seal gas supply source to the dry gas seal portion 12 via the seal gas supply flow path 18.

そして、圧縮機１の運転が始まり、吐出流路８の圧力がシールガス供給流路１８の上流側の圧力、例えば圧力計１９（ＰＴ２７００）で検出される圧力よりも高くなると、分岐流路１０の逆止弁１１（ＣＶ５０１）が開いた状態で、且つシールガス供給流路１８の逆止弁２０（ＣＶ５０７）が閉じた状態で、プロセスガスの吐出流路８から、分岐流路１０を介して、プロセスガスの一部がシールガスとしてドライガスシール部１２へ供給される様になる。 When the operation of the compressor 1 starts and the pressure of the discharge flow path 8 becomes higher than the pressure upstream of the seal gas supply flow path 18, for example, the pressure detected by the pressure gauge 19 (PT2700), the branch flow path 10 In the state where the check valve 11 (CV501) is open and the check valve 20 (CV507) of the seal gas supply flow path 18 is closed, the process gas discharge flow path 8 passes through the branch flow path 10. Thus, a part of the process gas is supplied to the dry gas seal portion 12 as a seal gas.

尚、シールガス供給流路１８の上流側にシールガスを送出するためのポンプ等が設けられている場合にあっては、圧力計１９（ＰＴ２７００）で検出される圧力が所定の圧力値以上となった場合に、吐出流路８の圧力がシールガス供給流路１８の上流側の圧力（例えば、圧力計１９（ＰＴ２７００）で検出される圧力）よりも高くなったと判断し、ポンプ等を停止するよう構成することが望ましい。 In the case where a pump or the like for sending seal gas is provided upstream of the seal gas supply flow path 18, the pressure detected by the pressure gauge 19 (PT2700) is equal to or higher than a predetermined pressure value. In this case, it is determined that the pressure in the discharge passage 8 is higher than the pressure upstream of the seal gas supply passage 18 (for example, the pressure detected by the pressure gauge 19 (PT2700)), and the pump is stopped. It is desirable to configure so as to.

この圧縮機１は、ドライガスシール部１２の損傷・破損等の不具合を発生させないためのインタロック機構及び、現にドライガスシール１２に不具合が発生した場合のインタロック機構を種々備えている。 The compressor 1 includes various interlock mechanisms for preventing problems such as damage and breakage of the dry gas seal portion 12 and actually interlock mechanisms when a problem occurs in the dry gas seal 12.

例えば、圧縮機１の運転中に、オリフィス２２（流量計ＦＥ２７００）で検出されたシールガスの流量が、所定の流量値以下となった場合には、図示しない警報装置によって、その旨の警報が発せられる。シールガスの流量が不足している場合には、ドライガスシール部１２におけるシールガスでのシール面の形成が不十分となる。そのため、プロセスガスの漏出が発生したり、場合によっては、シール面が形成されずに回転環１２ａに静止環１２ｃが当接した状態のまま回転環１２ａが回転することになり、ドライガスシール部１２に損傷・破損等の不具合が生じる恐れがある。 For example, when the flow rate of the seal gas detected by the orifice 22 (flow meter FE2700) becomes equal to or lower than a predetermined flow rate value during the operation of the compressor 1, an alarm device (not shown) gives an alarm to that effect. Be emitted. When the flow rate of the seal gas is insufficient, the formation of the seal surface with the seal gas in the dry gas seal portion 12 becomes insufficient. Therefore, leakage of process gas occurs, or in some cases, the rotating ring 12a rotates with the stationary ring 12c in contact with the rotating ring 12a without forming a seal surface, and the dry gas seal portion There is a possibility that a malfunction such as damage or breakage may occur in 12.

従って、上記警報には、圧縮機１の起動時で、吐出流路８の圧力がシールガス供給流路１８の上流側の圧力以下の場合にはシールガスの供給源の状態を確認することを作業者に指示する旨、圧縮機１の通常の運転時で、吐出流路８の圧力がシールガス供給流路１８の上流側の圧力より高い場合には、分岐流路１０の逆止弁１１（ＣＶ５０１）の状態が正常かどうかを確認することを作業者に指示する旨など、作業者に対し、具体的な対応策の指示が含まれることが望ましい。 Therefore, when the compressor 1 is started up, the alarm indicates that the state of the seal gas supply source is confirmed when the pressure in the discharge channel 8 is equal to or lower than the pressure on the upstream side of the seal gas supply channel 18. When the compressor 1 is in a normal operation and the pressure in the discharge flow path 8 is higher than the pressure on the upstream side of the seal gas supply flow path 18, the check valve 11 in the branch flow path 10 is indicated. It is desirable to include instructions for specific countermeasures for the worker, such as instructing the worker to check whether the state of (CV501) is normal.

また、差圧計２７（ＰｄＩＳ２７００）で検出された差圧が、所定の圧力値以上となった場合には、図示しない警報装置によって、フィルタ２１ａ，２１ｂの何れかに目詰まりが発生している可能性がある旨の警報が発せられる。そして、その警報には、フィルタ２１ａ，２１ｂの目詰まりの状態を確認することを作業者に指示する旨の表示が含まれていることが望ましい。 In addition, when the differential pressure detected by the differential pressure gauge 27 (PdIS2700) becomes equal to or higher than a predetermined pressure value, the filter 21a or 21b may be clogged by an alarm device (not shown). A warning will be issued. The alarm preferably includes a display for instructing the operator to check the clogged state of the filters 21a and 21b.

そして、フレアライン１６に設けられた圧力計３３（ＰＴ２７１７）で検出された圧力が所定の圧力値以上となった場合には、ドライガスシール部１２に現に損傷・破損等の不具合が生じていると見做し、図示しない制御装置により圧縮機１を停止するよう構成されている。更に、上述の通り、圧縮機１は、圧力計３３（ＰＴ２７１７）と流量計３４（ＦＩ２２４）との間のフレアライン１６に、安全弁４０を備えている。 When the pressure detected by the pressure gauge 33 (PT2717) provided in the flare line 16 becomes equal to or higher than a predetermined pressure value, the dry gas seal portion 12 is actually damaged or broken. Therefore, the compressor 1 is stopped by a control device (not shown). Furthermore, as described above, the compressor 1 includes the safety valve 40 in the flare line 16 between the pressure gauge 33 (PT2717) and the flowmeter 34 (FI224).

そのため、ドライガスシール部１２の損傷・破損等によるフレアライン１６の圧力の上昇が非常に急で、圧力計３３（ＰＴ２７１７）で検出された圧力値に基づく圧縮機１の停止に遅れが生じても、安全弁４０（ＰＣＶ２２４）によって、フレアライン１６での圧力がその安全弁４０（ＰＣＶ２２４）に設定された圧力を超えることはない。 Therefore, the increase in the pressure of the flare line 16 due to damage or breakage of the dry gas seal portion 12 is very steep, and a delay occurs in the stop of the compressor 1 based on the pressure value detected by the pressure gauge 33 (PT2717). However, the pressure in the flare line 16 does not exceed the pressure set in the safety valve 40 (PCV 224) by the safety valve 40 (PCV 224).

尚、安全弁４０（ＰＣＶ２２４）の替わりに、圧力計３３（ＰＴ２７１７）で検出された圧力の信号を受けて、その圧力が所定値以上となった場合に急開する開閉弁を設けても良い。 In place of the safety valve 40 (PCV 224), an open / close valve may be provided that receives a pressure signal detected by the pressure gauge 33 (PT2717) and opens rapidly when the pressure exceeds a predetermined value.

１…圧縮機
２…ケーシング
３…圧縮機ロータ（回転体），３ａ…ロータ軸
４…増速機，４ａ…ピニオンギア（小歯車），
４ｂ…軸
５…吸込口
６…吐出口
７…吸込流路
８…吐出流路
９…冷却器
１０…分岐流路
１１…逆止弁
１２…ドライガスシール部，１２ａ…回転環，
１２ｂ…弾性部材，１２ｃ…静止環
１３…フレアライン接続空間
１４…オイルバッフル
１５ａ，１５ｂ…ラビリンスシール
１６…フレアライン
１７…計装空気流路
１８…シールガス供給流路
１９…圧力計
２０…逆止弁
２１ａ，２１ｂ…フィルタ
２２…オリフィス
２３，２４，２５，２６…開閉弁
２７…差圧計
２８…流量計
２９，３０，３１…開閉弁
３２…バイパス流路
３３…圧力計
３４…流量計
３５，３６，３７…開閉弁
３８…バイパス流路
３９…フレアライン分岐流路
４０…安全弁 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Compressor 2 ... Casing 3 ... Compressor rotor (rotary body), 3a ... Rotor shaft 4 ... Speed up gear, 4a ... Pinion gear (small gear),
4b ... shaft 5 ... suction port 6 ... discharge port 7 ... suction channel 8 ... discharge channel 9 ... cooler 10 ... branch channel 11 ... check valve 12 ... dry gas seal part, 12a ... rotating ring,
12b ... Elastic member, 12c ... Static ring 13 ... Flare line connection space 14 ... Oil baffle 15a, 15b ... Labyrinth seal 16 ... Flare line 17 ... Instrument air flow path 18 ... Seal gas supply flow path 19 ... Pressure gauge 20 ... Reverse Stop valve 21a, 21b ... Filter 22 ... Orifice 23, 24, 25, 26 ... Open / close valve 27 ... Differential pressure gauge 28 ... Flow meter 29, 30, 31 ... Open / close valve 32 ... Bypass flow path 33 ... Pressure gauge 34 ... Flow meter 35 , 36, 37 ... open / close valve 38 ... bypass channel 39 ... flare line branch channel 40 ... safety valve

Claims

A casing containing the compressor rotor, a suction channel connected to the suction port of the compressor body, and a discharge channel connected to the discharge port of the compressor body,
The driving means connected to the rotor shaft of the compressor rotor rotates the compressor rotor, sucks fluid from the suction flow path through the suction port, and compresses the fluid into the discharge flow path through the discharge port. In the compressor that discharges the generated fluid,
A rotating ring disposed between the casing and the rotor shaft and provided around the rotor shaft, and an elastic member disposed so as to be in contact with a vertical end surface of the rotating ring substantially perpendicular to the rotor shaft. A dry gas seal having a stationary ring;
A seal gas supply channel that connects a space including a vertical end surface of the rotating ring that can come into contact with the stationary ring, and a supply source of a seal gas;
A flare line connection space located on the drive means side of the dry gas seal portion and located in a space around the rotor shaft;
A flare line connecting the flare line connection space and the external space;
A flow meter interposed in the flare line for confirming leakage of the seal gas from the dry gas seal portion and preventing clogging of the pipe leading to the flare line and the external space;
Branched in upstream side of the flow meter from the flare line, and flare line branch flow paths merge again downstream of the flowmeter to the flare line,
In the flare line branch flow path, a safety valve that opens when the pressure on the upstream side of the flare line branch flow path exceeds a predetermined pressure; and
The compressor characterized by being provided.

An on-off valve is provided before and after the flow meter, and further, a bypass flow path provided with an on-off valve in parallel with the flow meter is provided,
Normally, the on / off valves before and after the flow meter are fully opened, and the on / off valve provided in parallel with the flow meter is fully closed,
2. The system according to claim 1, wherein when the flow meter is inspected, the on-off valve provided in parallel with the flow meter is fully opened, and the on-off valves before and after the flow meter are fully closed. The compressor described in 1.

The compression according to claim 1, further comprising a pressure gauge interposed in the flare line for detecting an increase in the pressure of the flare line due to damage or breakage of the dry gas seal portion. Machine.

A flow meter interposed in the seal gas supply channel,
The compressor according to any one of claims 1 to 3, wherein an alarm is issued by an alarm device when a flow rate of the seal gas detected by the flow meter becomes a predetermined flow rate value or less. .