JP5534276B2 - 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5534276B2 JP5534276B2 JP2013173480A JP2013173480A JP5534276B2 JP 5534276 B2 JP5534276 B2 JP 5534276B2 JP 2013173480 A JP2013173480 A JP 2013173480A JP 2013173480 A JP2013173480 A JP 2013173480A JP 5534276 B2 JP5534276 B2 JP 5534276B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- illumination
- illumination optical
- polarized light
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 262
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims description 186
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 180
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 120
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 69
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 78
- 238000000034 method Methods 0.000 description 29
- 230000008569 process Effects 0.000 description 18
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 13
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 11
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 10
- 230000009471 action Effects 0.000 description 9
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000011161 development Methods 0.000 description 5
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000005405 multipole Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002999 depolarising effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
前記照明光学系の光路に配置されて、入射光の偏光状態を変換して、前記照明光学系の照明瞳に分布される光を所定の偏光状態にする偏光変換部材と、
前記偏光変換部材と前記被照射面との間に配置されて、前記照明瞳に分布される光のうちの第1方向に偏光した直線偏光を楕円偏光の光に変化させる後続光学系と、
前記照明光学系の光路に配置されて、前記第1方向と斜めに交差する第2方向に偏光した直線偏光の光の偏光状態を維持し、且つ前記楕円偏光に変化する偏光の楕円率を低減させるように、前記第1方向に偏光した直線偏光を楕円偏光に変換する位相変調部材と、
を備えることを特徴とする照明光学系を提供する。
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成することと、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
θ=d・ρ (a)
3 回折光学素子
4 アフォーカルレンズ
5A 偏光変換部材
5B 位相変調部材
6 円錐アキシコン系
7 ズームレンズ
8 マイクロフライアイレンズ(オプティカルインテグレータ)
10 コンデンサー光学系
11 マスクブラインド
12 結像光学系
LS 光源
M マスク
MS マスクステージ
PL 投影光学系
W ウェハ
WS ウェハステージ
Claims (17)
- 光源からの光を照明瞳に分布させ、該照明瞳を通過した光で被照射面を照明する照明光学系であって、
前記照明光学系の光路に配置されて、入射光の偏光状態を変換して、前記照明光学系の照明瞳に分布される光を所定の偏光状態にする偏光変換部材と、
前記偏光変換部材と前記被照射面との間に配置されて、前記照明瞳に分布される光のうちの第1方向に偏光した直線偏光を楕円偏光の光に変化させる後続光学系と、
前記照明光学系の光路に配置されて、前記第1方向と斜めに交差する第2方向に偏光した直線偏光の光の偏光状態を維持し、且つ前記楕円偏光に変化する偏光の楕円率を低減させるように、前記第1方向に偏光した直線偏光を楕円偏光に変換する位相変調部材と、
を備えることを特徴とする照明光学系。 - 請求項1に記載の照明光学系において、
前記位相変調部材は、前記偏光変換部材よりも前記被照射面側の光路中に配置されることを特徴とする照明光学系。 - 請求項1または2に記載の照明光学系において、
前記位相変調部材は、前記第2方向または該第2方向と直交する方向に光学軸が設定された波長板を有することを特徴とする照明光学系。 - 請求項3に記載の照明光学系において、
前記後続光学系は、平面状の反射面を有し、
前記第2方向は、前記反射面に対するp偏光の偏光方向またはs偏光の偏光方向に対応していることを特徴とする照明光学系。 - 請求項3に記載の照明光学系において、
前記後続光学系は、複数の平面状の反射面を有し、
前記第2方向は、前記反射面に対するp偏光の偏光方向またはs偏光の偏光方向に対応していることを特徴とする照明光学系。 - 請求項3乃至5の何れか一項に記載の照明光学系において、
前記波長板は、照明光路の断面の全体に亘って延在し、且つ均一な厚さを有することを特徴とする照明光学系。 - 請求項1乃至6の何れか一項に記載の照明光学系において、
前記位相変調部材は、前記照明瞳またはその近傍に配置されていることを特徴とする照明光学系。 - 請求項1乃至7の何れか一項に記載の照明光学系において、
前記位相変調部材は、前記偏光変換部材と一体的に保持されていることを特徴とする照明光学系。 - 請求項1乃至8の何れか一項に記載の照明光学系において、
前記位相変調部材は、照明光路に対して挿脱可能であることを特徴とする照明光学系。 - 請求項1乃至9の何れか一項に記載の照明光学系において、
前記位相変調部材は、前記照明瞳よりも前記被照射面側に配置されていることを特徴とする照明光学系。 - 請求項1乃至10の何れか一項に記載の照明光学系において、
当該照明光学系は、前記被照射面と光学的に共役な面を形成する投影光学系と組み合わせて用いられ、
前記照明瞳は、前記投影光学系の開口絞りと光学的に共役な位置にあることを特徴とする照明光学系。 - 請求項1乃至11の何れか一項に記載の照明光学系において、
前記後続光学系は、平面状の反射面を有し、
前記位相変調部材は、前記後続光学系中の前記平面状の反射面に対するp偏光の偏光方向およびs偏光の偏光方向と斜めに交差する第3方向に偏光した直線偏光の光を所要の楕円偏光の光に変換することを特徴とする照明光学系。 - 請求項12に記載の照明光学系において、
前記位相変調部材は、前記p偏光の偏光方向またはs偏光の偏光方向に光学軸が設定された波長板を有することを特徴とする照明光学系。 - 所定のパターンを照明するための請求項1乃至13のいずれか1項に記載の照明光学系を備え、前記所定のパターンを感光性基板に露光することを特徴とする露光装置。
- 請求項14に記載の露光装置において、
前記所定のパターンの像を前記感光性基板上に形成する投影光学系を備え、前記照明瞳は前記投影光学系の開口絞りと光学的に共役な位置であることを特徴とする露光装置。 - 請求項15に記載の露光装置において、
前記位相変調部材は、前記投影光学系によるリターデーションの影響を低減することを特徴とする露光装置。 - 請求項14乃至16のいずれか1項に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを前記感光性基板に露光することと、
前記所定のパターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記所定のパターンに対応する形状のマスク層を前記感光性基板の表面に形成することと、
前記マスク層を介して前記感光性基板の表面を加工することと、を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013173480A JP5534276B2 (ja) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013173480A JP5534276B2 (ja) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010140024A Division JP2012004465A (ja) | 2010-06-19 | 2010-06-19 | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014091352A Division JP5839076B2 (ja) | 2014-04-25 | 2014-04-25 | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013239750A JP2013239750A (ja) | 2013-11-28 |
JP5534276B2 true JP5534276B2 (ja) | 2014-06-25 |
Family
ID=49764469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013173480A Active JP5534276B2 (ja) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5534276B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI505329B (zh) * | 2004-02-06 | 2015-10-21 | 尼康股份有限公司 | 光學照明裝置、曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法 |
TW200600829A (en) * | 2004-06-16 | 2006-01-01 | Nikon Corp | Optical system, exposure device, and exposure method |
EP1796139A4 (en) * | 2004-08-10 | 2009-08-26 | Nikon Corp | OPTICAL LIGHTING DEVICES, EXPOSURE SYSTEM AND METHOD |
TWI453795B (zh) * | 2005-01-21 | 2014-09-21 | 尼康股份有限公司 | 照明光學裝置、曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法 |
JP2007027658A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Nikon Corp | 照明光学装置、露光装置及びマイクロデバイスの製造方法 |
-
2013
- 2013-08-23 JP JP2013173480A patent/JP5534276B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013239750A (ja) | 2013-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6493325B2 (ja) | 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 | |
JP2006196715A (ja) | 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 | |
US10520825B2 (en) | Illumination optical system, exposure apparatus and device manufacturing method | |
JP2011176282A (ja) | 偏光変換ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP4976094B2 (ja) | 照明光学装置、露光装置、露光方法、およびマイクロデバイスの製造方法 | |
JP5531518B2 (ja) | 偏光変換ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP5534276B2 (ja) | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP5839076B2 (ja) | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2010141091A (ja) | 偏光制御ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2013008788A (ja) | 偏光変換ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2010283101A (ja) | 偏光子ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2008021767A (ja) | 照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2010283100A (ja) | 偏光変換ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2012059848A (ja) | 偏光変換ユニット、照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | |
JP2010177657A (ja) | 偏光変換ユニット、照明光学系、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140320 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140402 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5534276 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140415 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |