JP5522688B2 - 電界効果トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
モット転移の舞台である強相関電子材料として、現在最も広汎に研究の対象とされているものはAxByOzで表される複合酸化物である。ここでA、Bのそれぞれは、ひとつの種類のカチオン又は複数の種類のカチオンを組み合わせたものであり、Oは酸素である。特にBが3d、4d又は5d電子を持った遷移金属であるものがよく研究されている。また、x対y対zはA対B対Oの化学組成比を与える。例えばx=y=1、z=3のペロブスカイト型複合酸化物(ABO3)をチャンネル層に用いた場合、微細化によって20nm×20nm×5nm程度までチャンネル層の体積が減少したとしても、その中に伝導に関与できるキャリアはまだ数万〜数十万個も存在する。したがって、モット転移を利用したFETにおいては、上述の従来の半導体のFETで生じている微細化に伴う問題はもはや存在しない。
パラキシリレン(パリレン)は、ベンゼン環がCH2を介してつながる(重合する)ことによって分子量が50万にもおよぶ非常に安定した結晶性ポリマーとなる。パリレンCは各ベンゼン環の水素ひとつを塩素で置き換えた構造をもったパラキシリレン(パリレン)のことである。置換基の種類によって、パリレンにはパリレンC、パリレンN、パリレンD、パリレンAF-4、パリレンSF、パリレンHT、パリレンA、パリレンAM、パリレンVT-4、パリレンCF、パリレンXなどの種類があるが、不活性な性質と均一性及び絶縁性に関しては大差はない。パラキシリレンを複合酸化物の上部に積層させるためには、まず原料であるジパラキシリレンを熱してモノマー化し、その反応性の高いモノマーのガスを真空チャンバーに導入する。モノマーガスは真空チェンバー中で複合酸化物の表面に接すると急速に重合を起こし、パラキシリレンの膜が形成される。この方法によって得られるパラキシリレンの膜は均一でピンホールがないため絶縁性に非常に優れている。またパラキシリレンは化学的には顕著に安定した物質でありほとんどの溶剤や薬品に対して不活性であるため、無機酸化物との界面に新たな酸化物層を形成するようなことはない。
代表的なペロブスカイト型の複合酸化物のSrTiO3単結晶表面上にジクロロジパラキシリレン(パリレンC)をゲート絶縁体に用いてFETを作製した場合、アルミナなどの無機酸化物をゲート絶縁体に用いたときには得られなかった2次元電子ガスの特性が観測されている(非特許文献1、2参照)。これは、パリレンCとSrTiO3単結晶の界面が理想的な状態になっていることを示している。
しかし、パリレンCの比誘電率はおよそ3.2と小さい値であるので、パリレンCをゲート絶縁体に用いて印加出来る電界では、モット転移を生じさせるのに必要であると考えられている1013cm-2ものキャリアを、電界効果のみによってチャンネルに誘起するのは不可能である。
(1)チャンネル層を構成するペロブスカイト構造の複合酸化物単結晶基板と、該複合酸化物単結晶基板上にパラキシリレンのポリマー膜及び酸化タンタルのアモルファス薄膜がこの順に積層された積層構造からなるゲート絶縁膜とを有することを特徴とする電界効果トランジスタ。
(2)前記複合酸化物単結晶基板は、ストロンチウムチタン酸化物単結晶基板であることを特徴とする(1)に記載の電界効果トランジスタ。
(3)前記パラキシリレンのポリマー膜は、パリレンC膜であることを特徴とする(1)又は(2)に記載の電界効果トランジスタ。
(4)チャンネル層を構成するストロンチウムチタン酸化物単結晶基板を用意する工程と、ジパラキシリレンを熱してモノマー化し、そのモノマーのガスを真空チャンバー中で該ストロンチウムチタン酸化物単結晶基板上で重合させて、該ストロンチウムチタン酸化物単結晶基板上にパラキシリレンのポリマー膜を形成する工程と、前記ポリマー膜の上に、酸化タンタルのアモルファス薄膜を形成する工程とを含み、前記ポリマー膜及び前記酸化タンタルのアモルファス薄膜の積層構造をゲート絶縁膜として備えることを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
本発明を、ペロブスカイト構造を有する複合酸化物の強相関電子材料に適用することによって、モット転移を利用したモットFETを実現化することが可能になる。
まず、SrTiO3単結晶基板の表面に、メタルマスクを介して厚さ20nmのAl層を真空蒸着法により形成し、ソース及びドレイン電極、及び金属配線とした。なお、SrTiO3単結晶の場合は、導電チャンネルを形成するキャリアはn型であり、仕事関数は約4.1eVであるので、これより仕事関数が小さい金属であれば上記Al層を代替することが可能である。
次に、パリレンCの原料であるジクロロジパラキシリレンを熱してモノマー化し、その反応性の高いモノマーのガスを真空チャンバーに導入する。モノマーガスは真空チェンバー中でSrTiO3単結晶基板の表面に接すると急速に重合を起こし、パリレンCの膜が形成される。
上述の堆積条件で成膜した酸化タンタル薄膜の厚さは、250nmであった。膜厚の測定には、ケーエルエー・テンコール社の触針式段差計を用いた。
最後に、メタルマスクを介して厚さ5nmのTi層と200nmのAu層を真空蒸着法により形成し、ゲート電極とした。ここで、Ti層は、電極としてのAu層の基板への接着性を向上させるためのいわゆる糊の役割を果たすものである。
本発明の効果を確認するために、上記の方法を用いて製造されたFET素子の実施例について、その電気的特性を下記のように調査した。
FET素子は、図1に示される構造を備える。チャンネル層となるのは透明な絶縁体であるSrTiO3単結晶の(110)面である。積層型ゲート絶縁膜は図2の走査型電子顕微鏡写真に示されているように、SrTiO3単結晶の(110)面に接する下部のゲート絶縁膜がパリレンCで、その上部に酸化タンタル薄膜がある。
図4のグラフはほぼ直線であり、チャンネル層に一様に電荷が分布していることがわかる。G−S間には一定値のゲート電圧VGを印加してある。VGを0Vから40Vまで10Vおきに増大させると、ほぼ直線であるグラフの傾きも大きくなる。これはゲート電圧の制御によってチャンネルの電荷密度を系統的に変化させたときに、チャンネルの伝導度も同じく系統的に変化していることの証明である。つまり大きな誘電率と優れた絶縁特性をもつ本発明の積層型ゲート絶縁膜を用いた電界効果で、実際にチャンネル層内のキャリア濃度と導電率を制御出来ることがわかった。
Claims (4)
- チャンネル層を構成するペロブスカイト構造の複合酸化物単結晶基板と、該複合酸化物単結晶基板上にパラキシリレンのポリマー膜及び酸化タンタルのアモルファス薄膜がこの順に積層された積層構造からなるゲート絶縁膜とを有することを特徴とする電界効果トランジスタ。
- 前記複合酸化物単結晶基板は、ストロンチウムチタン酸化物単結晶基板であることを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記パラキシリレンのポリマー膜は、パリレンC膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の電界効果トランジスタ。
- チャンネル層を構成するストロンチウムチタン酸化物単結晶基板を用意する工程と、
ジパラキシリレンを熱してモノマー化し、そのモノマーのガスを真空チャンバー中で該ストロンチウムチタン酸化物単結晶基板上で重合させて、該ストロンチウムチタン酸化物単結晶基板上にパラキシリレンのポリマー膜を形成する工程と、
前記ポリマー膜の上に、酸化タンタルのアモルファス薄膜を形成する工程と
を含み、前記ポリマー膜及び前記酸化タンタルのアモルファス薄膜の積層構造をゲート絶縁膜として備えることを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
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