JP5499378B2 - 分子ポンプ装置 - Google Patents

Description

本発明はターボ分子ポンプ、複合分子ポンプ等の分子ポンプの冷却装置に関する。

ロータを高速回転させて真空排気を行なう分子ポンプにおいては、軸受やモータは冷却し、昇温の必要な排気流路部は加熱する等の構造的な工夫がなされている。

従来は、分子ポンプの基台部に冷却水管を通し、この冷却水の流量を制御して分子ポンプの温度調節を行なっていた。

また、ポンプの筐体に冷媒を流通させる配管を密着配設し、冷媒の流通にてポンプを冷却させるターボ分子ポンプにおいて、配管にターボ分子ポンプ温度を感知して冷媒の流通を調節する流温感知弁を介在させたターボ分子ポンプが知られている（特許文献１参照。）。

実用新案登録第３１２１３５８号公報

しかし、前記特許文献１の方法によると温度センサー、制御器、バルブ等が必要なので、特に簡便な用途の真空排気装置に用いる分子ポンプに対しては、コスト面で採用が困難であるという問題があった。

本発明は、このような問題点を解消し、簡便な用途に用いられる真空排気装置に対して最適な冷却装置を具備した分子ポンプ装置を提供することを目的とする。

本発明は上記の目的を達成すべく、ポンプ本体の側面に分子ポンプ装置冷却用の冷却ユニットをボルトの締結により固定する分子ポンプ装置において、該冷却ユニットに形成した該ボルトの挿通孔を横長の長孔に形成し、該冷却ユニットの前記側面への固定位置を移動可能に形成し、前記冷却ユニットが接触する前記ポンプ本体との接触面に前記ポンプ本体と非接触の横断方向に延びる複数の溝を形成し、前記分子ポンプ装置が希望温度となる、前記ポンプ本体に対する前記冷却ユニットの位置を求め、その位置に該冷却ユニットを固定すると共に、前記露出した接触面の溝の本数から冷却能力を知る。

本発明によれば、真空排気装置に対して冷却装置を簡便に具備した分子ポンプ装置を提供できる効果を有する。

本発明の実施例１の分子ポンプ装置の正面図である。 該分子ポンプ装置の底面図である。 該分子ポンプ装置の下方部の基台部の側面図である。 冷却ユニットの背面図である。

本発明を実施するための形態の実施例を以下に示す。

本発明の分子ポンプ装置の実施例を図面により説明する。

図１は実施例１の分子ポンプ装置１の正面図、図２は分子ポンプ装置１の底面図、図３は分子ポンプ装置１の下方部にある基台部３の側面図、図４は冷却ユニットの背面図である。

分子ポンプ装置１は上部のポンプ本体部２と、該ポンプ本体部２のベースとなる基台部３とからなる。

２ａは吸気口、３ａは排気口である。

４が冷却ユニットであり、該冷却ユニット４はＬ字型断面形状の所定長さの伝熱性の良好な金属からなる長方体に形成され、その垂直部４ａに、冷却水を流通する流通路５が形成されている。

６ａが１対の締結用のボルトであり、６ｂはこれらボルト６ａが挿通する挿通孔であり、該挿通孔６ｂは前記冷却ユニット４の下方部に横長の長孔に形成されており、前記ボルト６ａを緩めることによって冷却ユニット４の基台部３への取付け位置を左右にずらしたり、又は該ボルト６ａを該基台部３の螺孔に螺入して締付けることにより該冷却ユニット４を該基台部３に固定することができる。

更に、該冷却ユニット４の水平部４ｂの裏側垂直面は冷却面４ｃが形成され、該冷却面４ｃには図４の如く所定の間隔で複数の溝４ｄが横断方向に形成されている。

前記基台部３の底面部には、前記冷却ユニット４の横幅と略同じ長さの横幅を有する冷却ユニット４の取付け部３ｂが突出して設けられている。

前記取付け部３ｂの側面は平面に形成されており、前記冷却ユニット４は冷却面４ｃが前記取付け部３ｂの側面３ｄと当接するように取付けられる。

次に、本実施例の分子ポンプ装置１の作用と効果について説明する。

冷却ユニット４の流通路５内を流通する冷却水の水温及び水量を種々変更したり、又分子ポンプ装置１のガス負荷を種々変更して、これらの種々の使用条件において、予め冷却ユニット４の位置即ち、冷却ユニット４の冷却面４ｃと前記取付け部３ｂの側面３ｄとの接触面積とポンプ装置１の温度との関係を実験によりデータとして得ておく。

その後分子ポンプ装置１を運転するのに際して、実使用時の水温及び水量を考慮して、該分子ポンプ装置１が希望温度になるように前記データより接触面積即ち冷却ユニット４の位置を求める。例えば図１及び図２の点線図示の如き位置に冷却ユニット４を移動し、締付ボルト６ａを締付けて該冷却ユニット４を取付け部３ｂに固定する。

その後、該冷却ユニット４の流通路５にホース等を介して循環式冷却水源（図示せず）を接続し、該冷却水源を作動して前記流通路５に所定の温度と流量の冷却水を流通し冷却ユニット４を冷却する。

そして分子ポンプ装置１のモータやその回転軸の軸受等からの熱により該分子ポンプ装置１の温度が上昇しようとしても前記接触面を介して該分子ポンプ装置１は冷却ユニット４により冷却され、調節されたポンプ温度で安定するようになる。

このようにボルト６ａを緩めて冷却ユニット４の取付け部３ｂへの取付け位置を移動してからボルト６ａを締付けて冷却ユニット４を固定するのみで運転中のポンプ温度を容易に調節可能となる。

そして、接触面積の大きさは、取付け部３ｂより側方に露出した冷却面４ｃの溝４ｄの本数を見ることにより冷却能力を知ることができる。

尚、前記溝４ｄの本数或いは溝幅を変更して非接触の凹部の面積を予め大になるように設計しておくことにより冷却ユニット４の冷却能力が過大になることを防止できる。

又ポンプ本体２として、ターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプとねじ溝ポンプの複合分子ポンプ等のいずれの分子ポンプであってもよい。

本発明は、分子ポンプ装置において、運転中にポンプ温度が高くあるいは低くなり過ぎるのを防止するのに使用される。

１ 分子ポンプ装置
２ ポンプ本体
４ 冷却ユニット
４ｂ 溝
６ａ ボルト
６ｂ 挿通孔

Claims (1)

1. ポンプ本体の側面に分子ポンプ装置冷却用の冷却ユニットをボルトの締結により固定する分子ポンプ装置において、該冷却ユニットに形成した該ボルトの挿通孔を横長の長孔に形成し、該冷却ユニットの前記側面への固定位置を移動可能に形成し、前記冷却ユニットが接触する前記ポンプ本体との接触面に前記ポンプ本体と非接触の横断方向に延びる複数の溝を形成し、
   前記分子ポンプ装置が希望温度となる、前記ポンプ本体に対する前記冷却ユニットの位置を求め、その位置に該冷却ユニットを固定すると共に、前記露出した接触面の溝の本数から冷却能力を知ることを特徴とする分子ポンプ装置。

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