JP5494694B2 - 高周波誘電加熱装置 - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
図3を参照して、本発明の第1実施形態を説明する。導波管3は仕切り板5、6、7で閉鎖されて筐体を構成し、筐体には、内部に高周波を発生できるようにマグネトロン2が設置されている。マグネトロン2によって発生するマイクロ波を、導波管3を用いて定在波化し、導波管3内に被加熱物1を配置し、誘電加熱する。導波管3は、アルミなどの金属パイプであって、ここでは通常使用されている方形導波管である。導波管の断面は、必ずしも方形に限らず、円形その他の任意形状であっても良い。また、必ずしも導波管である必要はなく図1のような電極間に本実施形態を適用しても良い。誘電性素材の加熱装置として、マグネトロンに限らずその他の高周波発振機を使用しても良い。これらは、本実施形態に限らず、他の実施形態についても適用される。
加工機の一例としては、熱硬化性樹脂(エポキシ等)を成形するトランスファ成形機等が挙げられる。被加熱物1の例示としては、前述のエポキシ樹脂などで、トランスファ成形などにより得られる部品としてはICパッケージ等が挙げられるが、これに限定されることはなく、広く汎用の加工機において、本発明の各実施形態は適用可能である。これにより、少ない構成部材にて、電極、若しくは導波管開口部の閉鎖、開口を実現し、被加熱物1の投入、排出を容易化しつつ、高周波の漏洩を抑制することができる。
この実施形態においても、第1実施形態と同様に、投入開口部31と排出開口部32が同軸上に配置され、投入開口部31と、排出開口部32との間には、位置不動の第1位置保持部材14も同軸に設置されている。第1導電性閉鎖部材12が、第3位置保持部材14’に設置されていて、第3位置保持部材14’と一体的にロッド4により摺動移動する。第2導電性閉鎖部材13は、第2位置保持部材15に設置されていて、第2位置保持部材と一体的にロッド4により摺動移動する。
投入開口部31に被加熱物1を投入する。同時に投入された被加熱物1は、第1位置保持部材14と第2位置保持部材15によって位置が拘束される。第1導電性閉鎖部材12、及び、これと一体化された第3位置保持部材14’を前進させて、投入用開口部31を閉鎖する。この時、第1位置保持部材14に設けられたテーパ面と第3位置保持部材14’に設けられたテーパ面がくさび結合(第1くさび結合)する。このため、第1導電性閉鎖部材12を、投入開口部31に、押圧閉鎖することができる。
第3、4実施形態では、第1位置保持部材14が、被加熱物1を、投入開口部31の位置から排出開口部32の位置に移動させている。第1導電性閉鎖部材12が、第1位置保持部材14に設置されていて、第1位置保持部材14と一体的に摺動移動する。図6の第4実施形態では、第2導電性閉鎖部材13が、第2位置保持部材15に設置されていて、第2位置保持部材15と一体的に摺動移動する。図5の第3実施形態では、第2位置保持部材15はなく、第2導電性閉鎖部材13が摺動移動する。移動は、ロッド4により、前述の実施形態と同様にして行われる。
図7に示される第5実施形態は、第3、4実施形態と同様に、第1位置保持部材14により、被加熱物1を投入開口部31の位置から排出開口部32の位置に移動させている。図6の第4実施形態と異なる点は、第1位置保持部材14と第2位置保持部材15との間に、くさび結合が設けられている。さらに、図8Aに示すように、第1、2導電性閉鎖部材12、13が、直接導波管内の壁面に摺接しないように、図8B、Cの突起摺動部16−1、16−2、17−1、17−2が設けられている。この摺動部に用いられる構造部材は、PTFE、PP等が好適である。
2 高周波発振機
3 筐体、導波管
12 第1導電性閉鎖部材
13 第2導電性閉鎖部材
14 第1位置保持部材
31 投入開口部
32 排出開口部
Claims (9)
- 誘電性の被加熱物(1)を閉鎖空間内で高周波誘電加熱を行う高周波誘電加熱装置であって、該高周波誘電加熱装置は、高周波発振機(2)と、
導波管又は一部に電極を構成し、かつ、投入開口部(31)及び排出開口部(32)が設けられた筐体(3)と、
前記投入開口部(31)、前記排出開口部(32)を、前記筐体内部側からそれぞれ閉鎖する第1、第2導電性閉鎖部材(12、13)と、
前記被加熱物を前記筐体内で保持する第1位置保持部材(14)と、を具備し、
前記第1導電性閉鎖部材(12)を摺動移動させて、前記被加熱物(1)を前記筐体内に投入し、
前記第2導電性閉鎖部材(13)を摺動移動させて、前記被加熱物(1)を前記筐体外に排出することを特徴とする高周波誘電加熱装置。 - 前記第1位置保持部材が、前記被加熱物を、前記投入開口部位置から前記排出開口部位置に移動させたことを特徴とする請求項1に記載の高周波誘電加熱装置。
- 前記排出開口部位置が、前記閉鎖空間内で最も電界強度が高い位置に設けられたことを特徴とする請求項1又は2に記載の高周波誘電加熱装置。
- 前記第1導電性閉鎖部材が、前記第1位置保持部材に設置されていて、前記第1位置保持部材と一体的に摺動移動することを特徴とする請求項2又は3に記載の高周波誘電加熱装置。
- 前記第2導電性閉鎖部材が、前記第2位置保持部材(15)に設置されていて、該第2位置保持部材(15)と一体的に摺動移動することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の高周波誘電加熱装置。
- 前記第1位置保持部材と前記前記第2位置保持部材と間に、くさび結合を設けて、前記第1位置保持部材と前記第2位置保持部材のいずれか一方、又は双方の摺動移動により、前記第1導電性閉鎖部材と前記第2導電性閉鎖部材とを、それぞれ、前記投入開口部と前記排出開口部とに、押圧閉鎖することを特徴とする請求項5に記載の高周波誘電加熱装置。
- 前記投入開口部と前記排出開口部が、同軸上に配置され、前記第1位置保持部材は位置不動に構成されたことを特徴とする請求項1に記載の高周波誘電加熱装置。
- 前記第1導電性閉鎖部材が、前記第3位置保持部材(14’)に設置されていて、前記第3位置保持部材(14’)と一体的に摺動移動し、前記第2導電性閉鎖部材が、前記第2位置保持部材に設置されていて、前記第2位置保持部材と一体的に摺動移動することを特徴とする請求項7に記載の高周波誘電加熱装置。
- 前記第1位置保持部材と前記第2位置保持部材との間、前記第1位置保持部材と前記第3位置保持部材との間のいずれか一方、又は双方に、くさび結合を設けて、前記第2位置保持部材、前記第3位置保持部材いずれか一方又は双方の摺動移動により、前記第1導電性閉鎖部材と前記第2導電性閉鎖部材とを、それぞれ、前記投入開口部と前記排出開口部とに、押圧閉鎖することを特徴とする請求項8に記載の高周波誘電加熱装置。
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