JP5493205B2 - 熱電対とそれを利用した測温器 - Google Patents
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Description
近年の微細加工の発展により、1mm程度あるいはそれ以下のミクロンオーダーの管径の流路や反応容器等は容易に形成できるようになった。このような微小流路や微小反応容器では、たとえばスケールが1/100になるとその熱容量が1/106になるので、入・出熱量が変化した場合、反応容器中の温度変化は非常に大きくなる。また微小流路を流れる流体の温度測定においては、通常スケールの流路とは異なる観点からの熱電対設置が要求される。通常スケールの流路の場合、図13(a)のように熱電対(17)が流路(15)に対して垂直方向に挿入され、かつ測温接点(16)が流路(15)の中心に配置されるのが通常である。しかしながら微小流路(15)を流れる流体の温度測定においては、熱電対(17)の測温接点(16)が大きいため、熱電対自身が流体のスムースな流れの障害物となり、測温接点(16)と素線(16a)(16b)の境界部分に非常に大きな力を受けて、熱電対が破損する恐れも考えられる。このため図13(b)は流路(15)に対して素線(16a)(16b)を平行に配置した例である。図13(c)は測温接点(16)を流路内壁上に配置した例である。図13(b)および(c)の配置は、流体抵抗を極力小さくするように計らうとの考え方にたったものであるので、当然、熱電対の測温接点(16)の肥大化は極力防ぐことが望まれる。
発明3は、発明2の熱電対の製造方法において、前記熱電対素線の突合せ箇所を高電圧マイクロ放電により溶融するに当たり、その放電を間欠的に行うことを特徴とする。
このことは、下記実施例によって確認できたものであるが、その要因を明らかにはできていない。発明者がその要因に関して推測した結果、おそらく、このような大きな突合せ挟角となるには、溶融直前の突合せ角度も、それに相応する大きな角度を有しているので、突合せ接点には、両素線を突合せる力が集中され、高い圧力を受けているものと思われる。
そして、その圧力により溶融が開始されると、両素線の混合溶融が従来に比べ急速に行われることとなり、結果として、両素線の成分が測温接点において、従来、均質に混合されているからではないかと考えられる。
基盤(11)とこれに立設した柱(P)とを構造枠として構成した。
図1中右上に示すとおりX方向およびZ方向を定め、この両方向に直交する方向をY方向として、以下説明する。
前記基盤(11)上にX方向に長いレール(11a)が設置され、このレール上に、左右のステージ(5a)(5b)が載置されている。
前記各ステージ(5a)(5b)は、前記レール(11a)上にX方向に移動可能なXステージ(5Xa)(5Xb)と、このXステージ上においてY方向で移動可能なYステージ(5Ya)(5Yb)と、このYステージ上でZ方向に昇降させることができるZステージ(5Za)(5Zb)から構成してある。
そして、各ステージには、それぞれその移動量を調整するノブ(Xa)(Xb)、(Ya)(Yb)及び(Za)(Zb)が設けてある。
これらノブによる位置調整構造については、従来、周知のスライド構造を適宜用いたものであるから、詳しい説明は省略する。
前記Zステージ(5Za)(5Zb)の上端には、作業台(7a)(7b)がそれぞれ設けてあり、この作業台(7a)(7b)にはア−スケーブル(10a)(10b)がそれぞれ接続されている。
また、その前面には、Y方向に軸芯を向けた取付け軸(71a)(71b)が突設してある。
このようにして、前記取付け軸(71a)(71b)の位置を、三次元で相対的に位置調整可能としてある。
前記柱(P)には、上下所定位置にホルダ(H)が固定してあり、このホルダの下端にはタングステンからなる放電用の金属針(6)が設けてあり、その周囲にはガスホース(9h)から送られたガスを前記金属針(6)の周囲を囲むように噴出するガス噴射口(図外)が設けてある。
なお(8)は、前記金属針(6)に電力を供給するケーブルである。
このように構成してある装置を用いて、熱電対を創製する方法を以下に説明する。
そして、この素線(2a)(2b)の他端を図2に示す所定の方向に引っ張って直線化し、その上を押さえ板(24a)(24b)にて押さえつけて、素線(2a)(2b)を素線固定構造(20a)(20b)に取り付ける。
次に、この素線固定構造(20a)(20b)を、素線(2a)(2b)の先端が互いに向かい合うようにして、ナット(23a)(23b)にて、前記取付け軸(71a)(71b)に固定する。
そして、前記ステージ(5a)(5b)を調整して、前記金属針(6)の直下にて、両素線(2a)(2b)の先端が対向接触(1)するように調整する。
そして、所定の電力を投入するとともに不活性ガス流れ(9)を形成して、不活性ガス中で前記金属針(6)と対向接触箇所(1)との間に放電を発生させて、両素線を接触箇所で溶融一体化する。
素線(2a)として線径50μmのアルメル合金線を、素線(2b)として線径50μmのクロメル合金線を用いた例を説明する。
この両素線は、互いの融点に大きな差があり、さらに高温で酸化しやすいために接合しにくい材料である。
前記素線固定構造(20a)(20b)に、この素線の先端が5mmほど突出するようにして取り付けた。
そして、ステージ(5a)(5b)の操作により、図1に示すように前記素線(2a)(2b)を対向接触させた。
このとき、クロメル合金線がアルメル合金線方向へ20ミクロン移動する程度に押しつけて、先端同士を接触させる。アルメル合金のヤング率を70GPaとして計算すると、素線先端に作用する荷重は1mgとなる。対向接触位置(1)の直上約50ミクロン以下の位置に印加電極とする軸径0.125mmの金属針(6)の先端がくるように、金属針を垂直に配置する。パルス方式の高電圧電源の電圧印加側を金属針(6)に、接地電位は素線固定板(21a)(21b)と同電位とした。金属針の上方から不活性ガス(9)を流しながら、金属針に高電圧を0.5秒以下で繰り返し印加して、金属針−接触部の間で放電させて接触部を溶融・接合する。
このようにして、熱電対素線を放電接合して作製された測温接点を図8から図12に示す。
次の実施例2にて、これら熱電対について考察した。
繰り返し放電の様子をビデオで確認すると、最初から23回目までは、図4に示すような金属針と熱電対素線の最先端部間に生じる放電炎のみであった。1画面に2つの画像があるのは同じものを別方向から同時に撮影しているためで、これは次の図5および図6も同様である。
24回目から31回目までの放電は、図5に示した2種類の放電炎が順番に現れる。最初、23回目までと同じ、金属針と熱電対素線最先端部間に生じる放電炎(図5左端の写真)であったのが、途中で素線を包み込むような放電炎に変わる。すなわち、素線の周囲にも放電炎が現れる(図5右端の写真)。
32回目の放電は、最初から最後までのビデオ画像を図6に示した。図中の各写真は1/30秒間隔で撮影されたものである。
放電開始後約0.2秒で、金属針と熱電対素線の最先端部間に生じる放電炎から、素線を包み込むような放電炎に変わり、さらに素線全体が白熱化し、最終的に溶融接合したので終了した。32回目の放電は約0.3秒である。他の接合例でも、放電開始時において素線先端部に放電炎が集中し、ある時間経過した後に包み込むような放電に変化し、最後に素線の白熱化と溶融・接合が起こるという経過を示す。
なお、突合せ挟角(α)は図19に示すように、測温接点の中央(C)から延びる両素線の軸中心によって形成される挟角(α)とした。
表1に示すのはすべて線径が50μmの素線の接合例であり、放電後に素線の突合せ狭角が大きくなる傾向が認められる。距離が広がる理由は、素線が白熱化して軟化して、放電圧力で溶融部が下方に下がったためと推測されるが明確な理由を明らかにはできていない。なお線径50μmの市販熱電対の写真を図18に示す。この写真に前記図19で示す基準の線を引いて市販品の突合せ挟角(α)を求めて、表1の最下段に示している。
図8〜図12は形成された極細熱電対の外観を示すSEM写真である。
放電接合して素線の先端を溶融すると、一部はスパッタされて飛散し、一部は溶融して丸くなるので、全体として素線の長さが短くなる。ある程度の接触圧で押していると短くなっても、素線全体がバネとしてはたらき、先端同士を押しつけるので、離れることはない。素線の先端で溶融した金属が界面張力の働きで、先端の接触部を覆うように丸くなっており、放電を停止した時点から急速に冷却されて固化する。これで測温接点が形成される。
図14は本発明の極細熱電対の性能を評価するための装置模式図で、極細熱電対の測温接点(16)を、周囲の物体に接触させることなくシャッター(33)からの距離が一定の空中の所定の点で固定し、上方から温風を吹き付け、それぞれの熱起電力を増幅器(19)を通して高速のデジタルオシロスコープ(30)で計測する。
この際、シャッター(33)を閉じたままヒーター(32)に通電し、一定速度で風(31)を送る。充分に時間をおいて、温風の温度が定常状態になってから、シャッター(33)を開けて、熱起電力が一定になるまで極細熱電対(18)に温風を送る。この操作を、表1に示したすべての熱電対について行った。すなわち表1に示したすべての熱電対を同じ条件で急速加熱し、その熱起電力の上昇速度(熱応答速度)を調べた。
図15はデジタルオシロスコープに取り込まれた生データ(表1の実験No.6)をグラフ化したものの一例である。熱起電力は非常に小さく100倍の増幅を行っているので、ノイズが大きい。
そこでこのデータからノイズを除去して熱応答速度を求めるため、単純移動平均法を用いた。すなわち、時系列に並んだデータ(熱起電力)の最初の5点の平均を計算する。次いで、時系列の次のデータを加えるとともに、一番古いデータを削除して、新たな5点のデータの平均を計算する。これを熱起電力が上昇し始めた点から、熱起電力が最大値の半分に達するまでのデータについて繰り返し行う。得られた平均をグラフ化したのが図16である。まだノイズの影響が残っているので、さらにこのグラフの勾配を最小自乗法で求めて、熱応答速度とした。
得られた結果は表1に示したが、突合せ狭角(α)が90°以上の時に、同様な素線径の市販品を上回る性能を示し、素線径の2倍以下の直径の測温接点では熱応答速度が1000deg/秒以上となった。
なお表1の実験番号1から4は、発明1の比較例であり、実験番号5は、発明3の比較例である。
今度は上記の2つの熱電対測温接点を、できるだけ近づけて固定しておき、両者が同時に同じ条件で加熱されるようにし、シャッターを開けてから0.7秒で閉じた。
図17に温風吹きつけ前後の熱起電力の時間変化を示す。温風を吹き付けるまでは、市販品も発明品も熱起電力は0であった。しかし、シャッターが開いて温風が吹き付けられた瞬間に、発明品の起電力は急激に上昇し、約0.2秒後に一定値となり、温風の温度に対応した起電力を示している。さらに、シャッターを閉じた直後から起電力は、上昇する時ほどではないがそれでも急速に低下する。
一方、市販品の起電力も吹き付け直後から上昇し始めるが、その速度は発明品に比べるとはるかに遅く、シャッターを閉じた時にはまだ発明品の半分以下の起電力にしか達していない。シャッターを閉じたあとも起電力は下がっていない。
したがって、発明品の極細熱電対は市販の素線径0.65mmの熱電対と比較して、非常に速い応答性を示し、さらに外界温度の低下にも効果的に応答していることがわかった。
(10a)(10b) ア−スケーブル
(11) 基盤
(11a) レール
(15) 流路
(16) 測温接点
(17)(18) 熱電対
(19) 増幅器
(20a)(20b) 素線固定構造
(21a)(21b) 素線固定板
(22a)(22b) 透孔
(23a)(23b) ナット
(24a)(24b) 押さえ板
(2a)(2b)(16a)(16b) 素線
(30) デジタルオシロスコープ
(31) 風
(32) ヒーター
(33) シャッター
(3a)(3b) ハンダ付け
(5Xa)(5Xb) Xステージ
(5Ya)(5Yb) Yステージ
(5Za)(5Zb) Zステージ
(5a)(5b) 左右のステージ
(6) 金属針
(71a)(71b) 取付け軸
(7a)(7b) 作業台
(8) 電力供給ケーブル
(9) ガス流れ
(9h) ガスホース
(H) ホルダ
(P) 柱
(Xa)(Xb) X調整ノブ
(Ya)(Yb) Y調整ノブ
(Za)(Zb) Z調整ノブ
(θ) 突合せ角
Claims (4)
- 2本の熱電対素線を溶融接合してなる測温接点を有する熱電対であって、
前記測温接点を中心とした2本の前記熱電対素線の突合せ挟角が95°以上であり、
前記熱電対素線の線径が100μm以下であり、
前記測温接点の直径が前記熱電対素線の直径の2倍以下であることを特徴とする熱電対。 - 請求項1に記載の熱電対を製造する方法であって、
2本の熱電対素線の先端を互いに押しつけて突合せ、その突合せ箇所を互いに押しつけた状態で溶融して測温接点を形成するに当たり、その突合せ角が溶融後に突合せ挟角が95°以上と成るように設定してあることを特徴とする熱電対の製造方法。 - 請求項2に記載の熱電対の製造方法において、前記熱電対素線の突合せ箇所を高電圧マイクロ放電により溶融するに当たり、その放電を間欠的に行うことを特徴とする熱電対の製造方法。
- 熱電対の測温接点で発生した電流値を、その熱電対素線を介して計測して、前記測温接点周囲の温度を計測する測温器であって、
前記熱電対が請求項1に記載の熱電対であることを特徴とする測温器。
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