JP5492109B2

JP5492109B2 - Lubrication state determination device and component mounting device

Info

Publication number: JP5492109B2
Application number: JP2011018424A
Authority: JP
Inventors: 英明大野; 達哉佐野; 実木谷; 義和樋口
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2011-01-31
Filing date: 2011-01-31
Publication date: 2014-05-14
Anticipated expiration: 2031-01-31
Also published as: JP2012159126A

Description

本発明は、潤滑状態判定装置及びその方法、並びに部品実装装置及びその方法に関する。特に、本発明は、部品実装装置等が備える転がり式直線運動案内のグリースによる潤滑状態の判定に関する。 The present invention relates to a lubrication state determination apparatus and method, and a component mounting apparatus and method. In particular, the present invention relates to determination of a lubrication state with grease of a rolling linear motion guide provided in a component mounting apparatus or the like.

部品実装装置が備える基板搬送装置やヘッド位置決め装置では、転がり式直線運動案内（以下、「直動ガイド」と称する。）が使用されている。この直動ガイドでは、動作の円滑性と正確性を確保するための潤滑剤として、グリースが使用されている。グリースの基油の減少や劣化等の経時的変化により潤滑状態が低下した場合、グリースの補充や交換、つまり給脂の必要がある。しかし、従来、給脂時期の判断は作業者の経験等に依存しており、例えば、部品実装装置の稼動時間が予め定めた時間に達すると、潤滑状態の良否に係わらず給脂を行うといった運用がなされている。 Rolling linear motion guides (hereinafter referred to as “linear motion guides”) are used in the board conveying device and the head positioning device provided in the component mounting apparatus. In this linear guide, grease is used as a lubricant for ensuring smoothness and accuracy of operation. When the lubrication state decreases due to changes over time such as reduction or deterioration of the base oil of the grease, it is necessary to replenish or replace the grease, that is, to lubricate. Conventionally, however, the determination of the greasing time depends on the experience of the operator. For example, when the operation time of the component mounting apparatus reaches a predetermined time, the greasing is performed regardless of whether the lubrication state is good or bad. Operation has been made.

特許文献１には、転がり軸受における潤滑状態の判定に油膜パラメータを考慮することが記載されている。ここで、油膜パラメータは、転動溝の転動面と転動体（玉又はコロ）の表面との間に形成された油膜厚さの、転動溝の転動面と転動体の表面の合成表面粗さに対する割合を示すパラメータである。しかし、特許文献１では、グリースの減少や劣化等の経時的変化に起因する潤滑状態の低下は考慮されていない。また、特許文献１では、異なるグリースの混合（例えば機械製造メーカの奨励品とそれ以外のグリースの混合）が潤滑状態に与える影響についても考慮されていない。 Patent Document 1 describes that an oil film parameter is taken into account in determining a lubrication state in a rolling bearing. Here, the oil film parameter is the composition of the rolling surface of the rolling groove and the surface of the rolling element of the oil film thickness formed between the rolling surface of the rolling groove and the surface of the rolling element (ball or roller). It is a parameter indicating the ratio to the surface roughness. However, Patent Document 1 does not consider a decrease in the lubrication state due to a change over time such as a decrease or deterioration of grease. Further, in Patent Document 1, no consideration is given to the influence of the mixing of different greases (for example, mixing of the recommended product of the machine manufacturer and other greases) on the lubrication state.

特開２００５−３２５９２９号公報JP 2005-325929 A

本発明は、部品実装装置の搬送装置や位置決め装置が備える転がり式直線運動案内について、基油の減少や劣化等の経時的変化や混合による影響を考慮して潤滑状態を正確に判定することを課題とする。 The present invention is to accurately determine the lubrication state of rolling type linear motion guides provided in a conveying device and a positioning device of a component mounting device, taking into account the effects of time-dependent changes such as reduction and deterioration of base oil and mixing. Let it be an issue.

本願発明の第１の態様は、レールと、レール上を移動するキャリッジと、前記レールと前記キャリッジとの間で転動する転動体と、キャリッジに充填された潤滑用のグリースとを備える転がり式直線運動案内の潤滑状態を判定する潤滑状態判定装置であって、前記レールと前記キャリッジ間の電圧、電流、又は抵抗である導通特性を検出する導通特性検出部と、前記キャリッジの速度を検出する速度検出部と、前記キャリッジを前記レール上で移動させる駆動機構を制御する駆動制御部が前記キャリッジを前記レール上で移動させた際に前記導通特性検出部で検出された導通特性を使用して、前記転がり直線運動案内の潤滑状態を判定する判定部とを備え、前記判定部は、前記導通特性検出部によって検出された導通特性が前記レールと前記キャリッジが絶縁されていないことを示す値であるときに、前記速度検出部によって検出された速度が正常な潤滑状態が得られることが想定される油膜パラメータに対応する閾値速度未満であれば正常な潤滑状態であると判定し、前記検出された速度が前記閾値速度以上の場合には潤滑状態の低下であると判定する、潤滑状態判定装置を提供する。
A first aspect of the present invention is a rolling type comprising a rail, a carriage that moves on the rail, a rolling element that rolls between the rail and the carriage, and grease for lubrication filled in the carriage. a lubrication device for judging a lubrication state of the linear motion guide, the voltage between the said rail carriage, current, or a a conductive characteristic detector for detecting the conduction characteristics of resistance, to detect the speed of the carriage A speed detection unit and a drive control unit that controls a drive mechanism that moves the carriage on the rail use the conduction characteristics detected by the conduction characteristic detection unit when the carriage moves on the rail. the rolling and a determining unit for lubrication of the linear motion guide, the determining unit, the conduction characteristics detected by the conduction characteristic detection unit and the rail Normal when the speed detected by the speed detector is less than a threshold speed corresponding to an oil film parameter that is assumed to obtain a normal lubrication state. Provided is a lubrication state determination device that determines that the state is a lubrication state, and determines that the lubrication state is lowered when the detected speed is equal to or higher than the threshold speed .

本発明の第２の態様は、レールと、レール上を移動するキャリッジと、前記レールと前記キャリッジとの間で転動する転動体と、キャリッジに充填された潤滑用のグリースとを備える転がり式直線運動案内の潤滑状態を判定する潤滑状態判定方法であって、前記キャリッジを前記レール上で移動するときの前記レールと前記キャリッジ間の電圧、電流、又は抵抗である導通特性を検出し、前記検出された導通特性が前記レールと前記キャリッジが絶縁されていないことを示す値であるときに、前記速度検出部によって検出された速度が正常な潤滑状態が得られることが想定される油膜パラメータに対応する閾値速度未満であれば正常な潤滑状態であると判定し、前記検出された速度が前記閾値速度以上の場合には潤滑状態の低下であると判定する、潤滑状態判定方法を提供する。
A second aspect of the present invention is a rolling type comprising a rail, a carriage that moves on the rail, a rolling element that rolls between the rail and the carriage, and lubricating grease filled in the carriage. a lubrication state determination method of determining the lubrication of the linear motion guide, and detects the conduction characteristic voltage, a current, or resistance between the rail and the carriage when moving said carriage on said rail, said When the detected conduction characteristic is a value indicating that the rail and the carriage are not insulated, the speed detected by the speed detection unit is an oil film parameter assumed to obtain a normal lubrication state. If it is less than the corresponding threshold speed, it is determined that the lubrication state is normal, and if the detected speed is greater than or equal to the threshold speed, it is determined that the lubrication state is reduced. That provides a lubricated state determination method.

本発明の第３の態様は、第１の態様の潤滑状態判定装置を備える部品実装装置を提供する。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a component mounting apparatus including the lubrication state determination device according to the first aspect.

本発明の第４の態様は、基板位置決め装置で基板を位置決めすると共に、部品を保持したヘッドをヘッド位置決め装置で移動させて前記基板に対して位置決めして実装する部品実装方法であって、前記基板位置決め装置と前記ヘッド位置決め装置のうちの少なくとも一方は、レールと、レール上を移動するキャリッジと、前記レールと前記キャリッジとの間で転動する転動体と、キャリッジに充填された潤滑用のグリースとを備える転がり式直線運動案内を備え、前記キャリッジを前記レール上で移動するときの前記レールと前記キャリッジ間の電圧、電流、又は抵抗である導通特性を検出し、前記検出された導通特性が前記レールと前記キャリッジが絶縁されていないことを示す値であるときに、前記速度検出部によって検出された速度が正常な潤滑状態が得られることが想定される油膜パラメータに対応する閾値速度未満であれば正常な潤滑状態であると判定し、前記検出された速度が前記閾値速度以上の場合には潤滑状態の低下であると判定する、部品実装方法を検出する。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a component mounting method in which a substrate is positioned by a substrate positioning device, and a head holding a component is moved by a head positioning device to be positioned and mounted on the substrate. At least one of the substrate positioning device and the head positioning device includes a rail, a carriage that moves on the rail, a rolling element that rolls between the rail and the carriage, and a lubricant that fills the carriage. A rolling linear motion guide comprising grease, detecting a conduction characteristic which is a voltage, current, or resistance between the rail and the carriage when the carriage is moved on the rail, and the detected conduction characteristic Is a value indicating that the rail and the carriage are not insulated, the speed detected by the speed detector is If it is less than the threshold speed corresponding to the oil film parameter that is assumed to obtain a normal lubrication state, it is determined that the lubrication state is normal, and if the detected speed is greater than or equal to the threshold speed, the lubrication state A component mounting method for determining that the level is lowered is detected.

本発明によれば、キャリッジをレール上で移動させた際に検出された導通特性を使用して転がり直線運動案内の潤滑状態を判定するので、グリースの基油の減少や劣化等の経時的変化や混合による影響も含めて正確に潤滑状態を判定できる。特に、正常な潤滑状態が得られることが想定される油膜パラメータに対応する閾値速度を使用することで正確な潤滑状態の判定を実現できる。 According to the present invention, since the lubrication state of the rolling linear motion guide is determined using the conduction characteristic detected when the carriage is moved on the rail, the change with time such as reduction or deterioration of the base oil of the grease is determined. It is possible to accurately determine the lubrication state including the influence of mixing and mixing. In particular, by using a threshold speed corresponding to an oil film parameter that is assumed to obtain a normal lubrication state, it is possible to accurately determine the lubrication state.

本発明の実施形態に係る部品実装装置の模式的な斜視図。1 is a schematic perspective view of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention. 基板搬送装置の模式的な正面図。The typical front view of a board | substrate conveyance apparatus. 基板搬送装置の模式的な側面図。The typical side view of a board | substrate conveyance apparatus. 基板搬送装置の直動ガイドに設けた潤滑状態判定装置を示す模式的な構成図。The typical block diagram which shows the lubrication state determination apparatus provided in the linear motion guide of a board | substrate conveyance apparatus. 速度波形、正常時の導通電圧波形、潤滑状態が軽度に低下した時の導通電圧波形、及び潤滑状態が重度に低下した時の導通電圧波形を示す線図。FIG. 6 is a diagram showing a speed waveform, a normal conduction voltage waveform, a conduction voltage waveform when the lubrication state is slightly lowered, and a conduction voltage waveform when the lubrication state is severely lowered. サンプルＡ０〜Ａ３の実験結果（速度波形と導通電圧波形）を示す図表。The table | surface which shows the experimental result (speed waveform and conduction voltage waveform) of sample A0-A3. サンプルＡ０でキャリッジ速度が３ｍ／ｓの場合の模式的な速度波形と導通電圧波形を示す図。The figure which shows the typical speed waveform and conduction voltage waveform in case the carriage speed is 3 m / s in sample A0. サンプルＡ０〜Ａ３におけるキャリッジ速度と油膜パラメータΛの関係を示す線図。The diagram which shows the relationship between the carriage speed and oil film parameter (LAMBDA) in sample A0-A3.

図１を参照すると、部品実装装置１は、部品を吸着保持する複数の吸着ノズル８を備える実装ヘッド２、実装ヘッド２をＸＹ方向に位置決めするヘッド位置決め装置３、基板搬送装置５、及び部品供給部６を基台７上に備える。基板搬送装置５は、基板１０を着脱可能に保持した保持テーブル４をＸ方向に往復直動させ、それによって基板１０を搬送する。実装ヘッド２はヘッド位置決め装置３によりＸＹ方向に移動し、例えば複数のカセットフィーダの集合体である部品供給部６に対して位置決めされる。個々の吸着ノズル８が降下して部品を吸着保持する。その後、ヘッド位置決め装置３による実装ヘッド２のＸＹ方向の移動により、基板１０の部品実装位置に対して個々の吸着ノズル８が位置決めされ、吸着保持された部品が実装される。 Referring to FIG. 1, a component mounting apparatus 1 includes a mounting head 2 including a plurality of suction nozzles 8 that suck and hold components, a head positioning device 3 that positions the mounting head 2 in the XY directions, a substrate transport device 5, and a component supply. The part 6 is provided on the base 7. The substrate transfer device 5 moves the holding table 4 holding the substrate 10 detachably back and forth in the X direction, thereby transferring the substrate 10. The mounting head 2 is moved in the X and Y directions by the head positioning device 3 and positioned relative to the component supply unit 6 which is an aggregate of a plurality of cassette feeders, for example. Individual suction nozzles 8 are lowered to hold the parts by suction. Thereafter, the suction nozzle 8 is positioned with respect to the component mounting position of the substrate 10 by the movement of the mounting head 2 in the X and Y directions by the head positioning device 3, and the component held by suction is mounted.

後に詳述するように、本実施形態では基板搬送装置５が備える直動ガイド２１Ａに本発明を適用している。しかし、本発明はヘッド位置決め装置３が備える直動ガイドにも適用できる。つまり、ヘッド位置決め装置３は、直動ガイドによってＸ方向に移動可能に実装ヘッド２を支持するＸビーム１１と、直動ガイドによってＸビーム１１をＹ方向に移動可能に支持するＹビーム１２Ａ，１２Ｂとを備えており、これらの直動ガイドにも本発明を適用できる。 As will be described in detail later, in the present embodiment, the present invention is applied to the linear motion guide 21 A included in the substrate transport device 5. However, the present invention can also be applied to a linear motion guide provided in the head positioning device 3. That is, the head positioning device 3 includes an X beam 11 that supports the mounting head 2 so as to be movable in the X direction by a linear motion guide, and Y beams 12A and 12B that support the X beam 11 so as to be movable in the Y direction by a linear motion guide. The present invention can also be applied to these linear motion guides.

本実施形態における基板搬送装置５は、基板１０を保持した保持テーブル４をＸ方向に移動させて基板１０の搬送と位置決めを行う。しかし、基板位置決め装置の具体的な構成は本実施形態のものに限定されない。例えば、基板搬送装置は、保持テーブル４を用いずに、基板１０の前後の端部（Ｙ軸方向の両端部）を支持して搬送する搬送ベルトにより基板１０を位置決め部（この位置決め部で基板１０に部品が実装される）に搬送するものでもよい。 In the present embodiment, the substrate transfer device 5 moves and holds the substrate 10 by moving the holding table 4 holding the substrate 10 in the X direction. However, the specific configuration of the substrate positioning device is not limited to that of the present embodiment. For example, the substrate transport apparatus does not use the holding table 4, and the substrate 10 is positioned by the transport belt that supports and transports the front and rear end portions (both ends in the Y-axis direction) of the substrate 10. 10 to which components are mounted).

図２から図４を参照して、基板搬送装置５について詳細に説明する。基板搬送装置５は一対の直線運動案内（直動ガイド）２１Ａ，２１Ｂを備える。直動ガイド２１Ａ，２１Ｂは、それぞれ１本の直線状のガイドレール２２Ａ，２２Ｂを備える。これらのガイドレール２２Ａ，２２ＢはＸ方向に延びるように基台７上に互いに平行に設置されている。個々のガイドレール２２Ａ，２２Ｂには、それぞれ２個のキャリッジ２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２３ＤがＸ方向に進退移動可能に係合している。キャリッジ２３Ａ〜２３Ｄ上には絶縁材料からなるスペーサ２４を介して保持テーブル４が固定されている。キャリッジ２３Ａ〜２３Ｄが直動ガイド２１Ａ，２１Ｂに沿って直動することで保持テーブル４がＸ方向に移動できる。 The substrate transfer device 5 will be described in detail with reference to FIGS. The substrate transfer device 5 includes a pair of linear motion guides (linear motion guides) 21A and 21B. Each of the linear motion guides 21A and 21B includes one linear guide rail 22A and 22B. These guide rails 22A and 22B are installed parallel to each other on the base 7 so as to extend in the X direction. Two carriages 23A, 23B, 23C, and 23D are engaged with the respective guide rails 22A and 22B so as to be movable forward and backward in the X direction. A holding table 4 is fixed on the carriages 23A to 23D via spacers 24 made of an insulating material. The holding table 4 can move in the X direction by moving the carriages 23A to 23D linearly along the linear motion guides 21A and 21B.

本実施形態における直動ガイド２１Ａ，２１Ｂは、玉式で４方向等荷重型４列サーキュラーアーク溝２点接触構造リテーナ付き（正面組合せ）である。しかし、本発明は、玉式に限定されず転動体としてコロを備えるコロ式の直動ガイドに適用できる。また、転動溝の配置等を含む具体的な構造が本実施形態とは異なる直動ガイドにも本発明を適用できる。 The linear motion guides 21A and 21B in the present embodiment are ball-type and have a four-direction equal load type four-row circular arc groove two-point contact structure retainer (front combination). However, the present invention is not limited to the ball type, and can be applied to a roller type linear motion guide having a roller as a rolling element. The present invention can also be applied to a linear motion guide having a specific structure including the arrangement of rolling grooves and the like different from that of the present embodiment.

図４を参照すると、ガイドレール２２Ａ，２２Ｂの両側壁にそれぞれに上下２本で合計４本のレール転動溝２５ａ，２５ｂ，２５ｃ．２５ｄが形成されている。これらのレール転動溝２５ａ〜２５ｄはＸ方向に延びる直線状であり、断面は円弧状である。キャリッジ２３Ａ〜２３Ｄは、ガイドレール２２Ａ，２２Ｂの上方に隙間をあけて配置された基部２７と、この基部２７の両側から下向きに延びてガイドレール２２Ａ，２２Ｂの側壁に対して隙間をあけて配置された側部２８Ａ，２８Ｂを備える。側部２８Ａ，２８Ｂには、ガイドレール２２Ａ，２２Ｂのレール転動溝２５ａ〜２５ｄに対向してＸ方向に延びる直線状で断面円弧状のキャリッジ転動溝３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄが形成されている。また、側部２８Ａ，２８Ｂには、両端面を貫通する循環路３１ａ'，３１ｂ'，３１ｃ'，３１ｄ'が個々のキャリッジ転動溝３１ａ〜３１ｄにそれぞれ対応して形成されている。キャリッジ２３Ａ〜２３Ｄの両端面には、それぞれ図２にのみ概念的に示すエンドプレート３２Ａ，３２Ｂが装着されている。対応するキャリッジ転動溝３１ａ〜３１ｄと循環路３１ａ’〜３１ｄ’はエンドプレート３２Ａ，３２Ｂに形成された図示しない湾曲路で互いに接続され、転動体としての玉３３の循環路を形成している。これらの循環路を循環する玉３３がレール転動溝２５ａ〜２５ｄとキャリッジ転動溝３１ａ〜３１ｄとの間でそれぞれ循環するように転動することで、ガイドレール２２Ａ，２２Ｂに沿ってキャリッジ２３Ａ〜２３Ｄが円滑に直動する。また、玉３３の循環路には図示しない供給口（グリースニップル）から潤滑剤としてのグリース３４が充填されている。 Referring to FIG. 4, a total of four rail rolling grooves 25a, 25b, 25c. 25d is formed. These rail rolling grooves 25a to 25d have a linear shape extending in the X direction, and the cross section has an arc shape. The carriages 23 A to 23 D are disposed with a gap between the base 27 disposed above the guide rails 22 A and 22 B and a side wall of the guide rails 22 A and 22 B extending downward from both sides of the base 27. Side portions 28A and 28B. The side portions 28A and 28B are formed with linear and circular carriage rolling grooves 31a, 31b, 31c and 31d extending in the X direction so as to face the rail rolling grooves 25a to 25d of the guide rails 22A and 22B. ing. Further, circulation paths 31a ', 31b', 31c ', 31d' penetrating both end surfaces are formed in the side portions 28A, 28B corresponding to the respective carriage rolling grooves 31a-31d. End plates 32A and 32B conceptually shown only in FIG. 2 are mounted on both end faces of the carriages 23A to 23D. Corresponding carriage rolling grooves 31a to 31d and circulation paths 31a 'to 31d' are connected to each other by a curved path (not shown) formed in the end plates 32A and 32B to form a circulation path for balls 33 as rolling elements. . The balls 33 that circulate in these circulation paths roll so as to circulate between the rail rolling grooves 25a to 25d and the carriage rolling grooves 31a to 31d, respectively, so that the carriage 23A runs along the guide rails 22A and 22B. -23D moves smoothly smoothly. The circulation path of the balls 33 is filled with grease 34 as a lubricant from a supply port (grease nipple) (not shown).

保持テーブル４をガイドレール２２Ａ，２２Ｂに沿って進退移動させる駆動装置としてリニアモータ３６が設けられている。リニアモータ３６は、保持テーブル４の下面に取付られた可動子としてのモータコイル３７と、モータコイル３７の両側に並んで配置された固定子としてのマグネット３８Ａ，３８Ｂとを備える。 A linear motor 36 is provided as a drive device for moving the holding table 4 forward and backward along the guide rails 22A and 22B. The linear motor 36 includes a motor coil 37 as a mover attached to the lower surface of the holding table 4, and magnets 38 A and 38 B as stators arranged side by side on both sides of the motor coil 37.

本実施形態では直動ガイド２１Ａ，２１Ｂのうち、一方の直動ガイド２１Ａについてグリース３４による潤滑状態の良否の判定を行う潤滑状態判定装置４１が設けられている。以下、図４を参照して潤滑状態判定装置４１を説明する。 In the present embodiment, a lubrication state determination device 41 that determines whether or not the lubrication state of the linear motion guide 21A out of the linear motion guides 21A and 21B by the grease 34 is good. Hereinafter, the lubrication state determination device 41 will be described with reference to FIG.

潤滑状態判定装置４１は制御装置４２を含む。制御装置４２は、基板搬送装置５用のローカルの制御装置であってもよいし、部品実装装置１全体の制御装置であってもよい。制御装置４２は、判定部４３、記憶部４４、警報処理部４５、速度検出部４６、及び駆動制御部４７を備える。 The lubrication state determination device 41 includes a control device 42. The control device 42 may be a local control device for the board transport device 5 or a control device for the entire component mounting apparatus 1. The control device 42 includes a determination unit 43, a storage unit 44, an alarm processing unit 45, a speed detection unit 46, and a drive control unit 47.

いずれも鉄やステンレス等の鋼製であるガイドレール２２Ａとキャリッジ２３Ａ（キャリッジ２３Ｂでもよい）とは、導電路４８で電気的に接続されている。導電路４８には直流電源４９と抵抗５０が設けられており、簡易な直流電気回路が構成されている。本実施形態では、直流電源４９として例えば１．０Ｖの乾電池を使用している。直流電源４９としては乾電池１．０Ｖ〜１．５Ｖ程度のものが使用できるが、これに限定されない。例えば、直流電源４９は安定化電源等であってもよい。前述のようにキャリッジ２３Ａと保持テーブル４との間には絶縁材料からなるスペーサ２４が介在しているので、キャリッジ２３Ａと保持テーブル４とは電気的に分離されている。従って、ガイドレール２２Ａとキャリッジ２３Ａとの間の電圧を測定することでキャリッジ２３Ａとガイドレール２２Ａの間の玉３３を介した電気導通状態を測定できる。キャリッジ２３Ａ（保持テーブル２４）の移動により、キャリッジ２３Ａ（キャリッジ転動溝３１ａ〜３１ｄ）と玉３３の間と、ガイドレール２２Ａ（レール転動溝３１ａ〜３１ｄ）と玉３３の間に、それぞれグリース３４で十分な油膜が形成されている場合、すなわち正常な潤滑状態が確保されている場合、形成された油膜によりキャリッジ２３Ａとガイドレール２２Ａとの間は電気的に絶縁される。抵抗５０はキャリッジ２３Ａ（保持テーブル４）が停止中でグリース３４による油膜形成前の短絡状態で直流電源４９の消耗あるいは消費を抑制するために設けられており、本実施形態では１０Ωである。キャリッジ２３Ａの移動時の油膜形成によってキャリッジ２３Ａとガイドレール２２Ａが電気的に絶縁されると、理想的には両者の間の電圧（導通電圧）は０Ｖである。しかし、油膜形成による絶縁抵抗値には変動があるため、本実施形態のように直流電源４９が１．０Ｖで抵抗５０が１０Ωの場合、例えば０．３Ｖ以下で絶縁状態とみなせる。絶縁状態となる導通電圧を閾値電圧Ｖｔｈと定義する。 The guide rails 22 A and the carriage 23 A (carriage 23 B), both of which are made of steel such as iron or stainless steel, are electrically connected by a conductive path 48. A DC power supply 49 and a resistor 50 are provided in the conductive path 48, and a simple DC electric circuit is configured. In the present embodiment, for example, a 1.0 V dry battery is used as the DC power source 49. As the DC power source 49, a dry battery having a voltage of about 1.0 V to 1.5 V can be used, but is not limited thereto. For example, the DC power source 49 may be a stabilized power source or the like. Since the spacer 24 made of an insulating material is interposed between the carriage 23A and the holding table 4 as described above, the carriage 23A and the holding table 4 are electrically separated. Accordingly, by measuring the voltage between the guide rail 22A and the carriage 23A, it is possible to measure the electrical continuity state via the ball 33 between the carriage 23A and the guide rail 22A. Grease between the carriage 23A (carriage rolling grooves 31a to 31d) and the balls 33 and between the guide rail 22A (rail rolling grooves 31a to 31d) and the balls 33 due to the movement of the carriage 23A (holding table 24). When a sufficient oil film is formed at 34, that is, when a normal lubrication state is secured, the carriage 23A and the guide rail 22A are electrically insulated by the formed oil film. The resistor 50 is provided to suppress the consumption or consumption of the DC power supply 49 in a short-circuit state before the oil film is formed by the grease 34 when the carriage 23A (holding table 4) is stopped, and is 10Ω in this embodiment. If the carriage 23A and the guide rail 22A are electrically insulated by the formation of an oil film during the movement of the carriage 23A, the voltage (conduction voltage) between the two is ideally 0V. However, since the insulation resistance value due to oil film formation varies, when the DC power source 49 is 1.0 V and the resistance 50 is 10Ω as in this embodiment, it can be regarded as an insulation state at 0.3 V or less, for example. A conduction voltage at which the insulation state is established is defined as a threshold voltage Vth.

潤滑状態判定装置４１は、導通電圧を検出する電圧検出器５１を備える。電圧検出器５１で検出された導通電圧は制御装置４２の判定部４３に出力される。また、判定部４３には温度センサ５２によって検出されたガイドレール２２Ａ又はその付近の温度が入力される。保持テーブル４のガイドレール２２Ａ上での位置を検出するエンコーダ５３が設けられており、制御装置４２の速度検出部４６はエンコーダ５３から入力される位置信号から保持プレート４（キャリッジ２３Ａ）が移動する速度を検出（算出）する。速度検出部４６で検出された速度も判定部４３に入力される。また、保持プレート４（キャリッジ２３Ａ）の速度は、保持テーブル４の進退させるリニアモータ３６の駆動制御部４７にも出力される。 The lubrication state determination device 41 includes a voltage detector 51 that detects a conduction voltage. The conduction voltage detected by the voltage detector 51 is output to the determination unit 43 of the control device 42. Further, the temperature of the guide rail 22 A detected by the temperature sensor 52 or the vicinity thereof is input to the determination unit 43. An encoder 53 for detecting the position of the holding table 4 on the guide rail 22A is provided, and the speed detecting unit 46 of the control device 42 moves the holding plate 4 (carriage 23A) from the position signal input from the encoder 53. The speed is detected (calculated). The speed detected by the speed detection unit 46 is also input to the determination unit 43. The speed of the holding plate 4 (carriage 23A) is also output to the drive control unit 47 of the linear motor 36 that moves the holding table 4 back and forth.

判定部４３は、電圧検出器５１から入力される導通電圧、温度センサ５２から入力される温度、及び速度検出部４５から入力される速度を使用すると共に、記憶部４４に記憶された情報（例えば後述する閾値速度Ｓｔｈ等）を参照し、グリース３４による直動ガイド２１Ａの潤滑状態を判定する。判定部４３の判定結果は警報処理部４５に出力される。警報処理部４５は、判定部４３での判定結果に応じ、ディスプレイ５６、ランプ５７、及びブザー５８を制御して部品実装装置１のオペレータに対して警報を発する処理を実行する。 The determination unit 43 uses the conduction voltage input from the voltage detector 51, the temperature input from the temperature sensor 52, and the speed input from the speed detection unit 45, and information stored in the storage unit 44 (for example, The lubrication state of the linear motion guide 21A by the grease 34 is determined with reference to a threshold speed Sth (to be described later). The determination result of the determination unit 43 is output to the alarm processing unit 45. The alarm processing unit 45 controls the display 56, the lamp 57, and the buzzer 58 according to the determination result in the determination unit 43, and executes a process for issuing an alarm to the operator of the component mounting apparatus 1.

判定部４３は、２種類の判定方法でグリース３４による直動ガイド２１Ａの潤滑状態を判定している。まず、第１の判定方法は、比較的軽度の潤滑状態の低下が生じているかを判定するものである。第１の判定方法によって軽度の潤滑状態低下の判定が成立すると、判定結果を判定部４３から受けた警報処理部４５が軽警報の処理を実行する。次に、第２の判定方法は、比較的重度の潤滑状態の低下が生じているかを判定するものである。第２の判定方法によって重度の潤滑状態低下の判定が成立すると、判定結果を判定部４３から受けた警報処理部４５が重警報の処理を実行する。軽警報の処理としては、例えば給油時期であることを示す文字、記号等のディスプレイ５６上での表示がある。また、重警報の処理としては、例えばディスプレイ５６上の表示とそれに加えたランプ５７の点灯やブザー５８の駆動がある。ただし、部品実装装置１のオペレータが重警報と軽警報を区別して認識できる限り、これらの処理におけるディスプレイ５６、ランプ５７、及びブザー５８の制御の態様は、特に限定されない。 The determination unit 43 determines the lubrication state of the linear motion guide 21A by the grease 34 by two kinds of determination methods. First, the first determination method determines whether or not a relatively slight decrease in the lubrication state has occurred. When the determination of a slight decrease in the lubrication state is established by the first determination method, the alarm processing unit 45 that has received the determination result from the determination unit 43 executes a light alarm process. Next, the second determination method determines whether or not a relatively severe decrease in the lubrication state has occurred. When the determination of the serious decrease in the lubrication state is established by the second determination method, the alarm processing unit 45 that has received the determination result from the determination unit 43 executes the processing of the heavy alarm. As a process of the light alarm, for example, there is a display on the display 56 such as characters and symbols indicating that it is a fueling time. Further, the processing of the heavy alarm includes, for example, display on the display 56, lighting of the lamp 57 and driving of the buzzer 58 in addition thereto. However, as long as the operator of the component mounting apparatus 1 can distinguish and recognize the heavy alarm and the light alarm, the control mode of the display 56, the lamp 57, and the buzzer 58 in these processes is not particularly limited.

以下、第１の判定方法を説明する。 Hereinafter, the first determination method will be described.

第１の判定方法は、油膜パラメータΛを応用して潤滑状態の低下を判定する。油膜パラメータΛは、転動体が転動する面である転動溝の転動面と転動体の表面との間に形成された油膜厚さの、転動溝の転動面と転動体の表面の合成表面粗さに対する割合を示すパラメータであり、以下の式（１）で定義される。 In the first determination method, a decrease in the lubrication state is determined by applying the oil film parameter Λ. The oil film parameter Λ is the oil film thickness formed between the rolling surface of the rolling groove and the surface of the rolling element, which is the surface on which the rolling element rolls, and the rolling surface of the rolling groove and the surface of the rolling element. Is a parameter indicating the ratio to the synthetic surface roughness, and is defined by the following equation (1).

合成表面粗さは以下の式（２）で定義される。 The synthetic surface roughness is defined by the following formula (2).

合成表面粗さσとは、転がり接触する面の表面粗さσ_１，σ_２を合わせたもので、一般に、算術平均値や調和平均値よりも実験値に適合するため二乗平均値（相乗平均値）を用いる。 The synthetic surface roughness σ is the sum of the surface roughnesses σ ₁ and σ ₂ of the rolling contact surface. In general, the mean square value (geometric mean) is used to match the experimental value rather than the arithmetic mean value and harmonic mean value. Value).

本実施形態では、σ_１，σ_２のうちの一方が転動溝２５ａ〜２５ｃ，３１ａ〜３１ｄの転動面の表面粗さであり、他方が玉３３の表面の表面粗さである。 In the present embodiment, _one of σ _{1 and} σ ₂ is the surface roughness of the rolling surfaces of the rolling grooves 25 a to 25 c and 31 a to 31 d, and the other is the surface roughness of the surface of the ball 33.

後に詳述する実験及び検討の結果、直動ガイドについて正常ないし良好な潤滑状態が得られる油膜パラメータΛが見出された。具体的には、本実施形態のように転動体が玉である直動ガイドの場合、油膜パラメータΛがある値、すなわち０．５以上５以下の値、好ましくは０．６以上であれば油膜のある状態で玉が転がり運動する良好な潤滑状態が得られる。一方、油膜パラメータΛがこの値を下回ると、グリース３４による油膜形成が不十分で潤滑状態が低下する。このように潤滑状態の良否の境界となる油膜パラメータΛを、油膜パラメータ閾値Λｔｈと定義する。 As a result of experiments and examinations to be described in detail later, an oil film parameter Λ has been found that provides a normal or good lubrication state for the linear motion guide. Specifically, in the case of a linear motion guide in which the rolling elements are balls as in the present embodiment, the oil film parameter Λ is a certain value, that is, a value of 0.5 or more and 5 or less, preferably 0.6 or more. A good lubrication state in which the balls roll and move in a state where there are On the other hand, when the oil film parameter Λ is less than this value, the oil film formation by the grease 34 is insufficient and the lubrication state is lowered. In this way, the oil film parameter Λ that becomes the boundary of the quality of the lubrication state is defined as the oil film parameter threshold Λth.

転動溝２５ａ〜２５ｃ，３１ａ〜３１ｄの転動面と玉３３の表面の粗さは予め測定できる。一般に、転動溝２５ａ〜２５ｃ，３１ａ〜３１ｄの転動面の表面粗さは０．１μｍ（Ｒａ）以上０．３μｍ（Ｒａ）以下程度であり、玉３の表面粗さは０．０１μｍ（Ｒａ）以上０．０５μｍ（Ｒａ）以下程度である。 The roughness of the rolling surfaces of the rolling grooves 25a to 25c and 31a to 31d and the surface of the ball 33 can be measured in advance. Generally, the surface roughness of the rolling surfaces of the rolling grooves 25a to 25c and 31a to 31d is about 0.1 μm (Ra) to 0.3 μm (Ra), and the surface roughness of the balls 3 is 0.01 μm ( Ra) or more and 0.05 μm (Ra) or less.

転動体が玉３３である場合の最小油膜厚さｈ_ｍｉｎは以下の式（３）で表される。 The minimum oil film thickness h _min when the rolling elements are balls 33 is expressed by the following equation (3).

材料パラメータＧを決定するためのグリース３４の動粘度等は、実測又は製造元の開示から予め得られる。また、直動ガイド２１Ａの使用条件が決まれば、荷重パラメータＷも予め決定できる。接触楕円比ｋは転動体の玉が転動溝の面に接触する楕円の楕円比（転動方向（Ｘ）の楕円の長さ／転動方向に直交する接触面の方向の楕円の長さ）である。 The kinematic viscosity or the like of the grease 34 for determining the material parameter G is obtained in advance from actual measurement or manufacturer's disclosure. Moreover, if the use conditions of the linear motion guide 21A are determined, the load parameter W can also be determined in advance. The contact ellipticity ratio k is the ellipticity ratio of the ellipse in which the balls of the rolling elements contact the surface of the rolling groove (length of the ellipse in the rolling direction (X) / length of the ellipse in the direction of the contact surface perpendicular to the rolling direction) ).

以上のように、油膜パラメータΛ（式（１））の決定に必要な表面粗さσ_１，σ_２、材料パラメータＧ、及び荷重パラメータＷは予め決定できる。従って、これらを式（１）〜（３）に適用することで、油膜パラメータ閾値Λｔｈに相当する保持プレート４（キャリッジ２３Ａ）の速度（閾値速度Ｓｔｈ）を予め決定できる。リニアモータ３６によりキャリッジ２３Ａ（保持テーブル４）を閾値速度Ｓｔｈ以上で移動させた場合、油膜がある状態で玉３３が転がり運動する良好な潤滑状態となっているはずであるので、電圧検出器５１で検出される導通電圧は前述のように絶縁状態とみなせる閾値電圧Ｖｔｈ（例えば０．３Ｖ）以下となるはずである。従って、キャリッジ２３Ａ（保持テーブル４）を閾値速度Ｓｔｈ以上で移動させたにもかかわらず、電圧検出器５１で検出される導通電圧が閾値電圧Ｖｔｈ（例えば０．３Ｖ）を上回る場合は、基油の減少、劣化等の経時的変化、グリースの混合（例えば機械製造メーカの奨励品とそれ以外のグリースの混合）等が原因なって十分な油膜が形成されない（潤滑状態が低下している）と判断できる。 As described above, the surface roughness σ _1, σ ₂ , the material parameter G, and the load parameter W necessary for determining the oil film parameter Λ (formula (1)) can be determined in advance. Accordingly, by applying these to the equations (1) to (3), the speed (threshold speed Sth) of the holding plate 4 (carriage 23A) corresponding to the oil film parameter threshold Λth can be determined in advance. When the carriage 23A (holding table 4) is moved by the linear motor 36 at the threshold speed Sth or higher, the ball detector 33 should be in a good lubrication state in which the ball 33 rolls in the presence of the oil film. As described above, the conduction voltage detected at 1 should be equal to or lower than the threshold voltage Vth (eg, 0.3 V) that can be regarded as an insulating state. Accordingly, when the conduction voltage detected by the voltage detector 51 exceeds the threshold voltage Vth (for example, 0.3 V) even though the carriage 23A (holding table 4) is moved at the threshold speed Sth or higher, the base oil A sufficient oil film is not formed (the lubrication state is reduced) due to changes over time, such as reduction or deterioration of grease, mixing of grease (for example, mixing of products recommended by machine manufacturers and other greases), etc. I can judge.

この点について図５を参照すると、キャリッジ２３Ａ（保持テーブル４）は停止状態（速度Ｓが０）からＸ方向に往復移動し時刻ｔ１〜ｔ２，ｔ５〜ｔ６では速度Ｓは閾値速度Ｓｔｈ以上に達している。キャリッジ２３Ａの停止時には予圧と垂直荷重による弾性変形で金属接触状態にある。つまり、油膜が形成されていないので、キャリッジ２３Ａ及びガイドレール２２Ａはそれぞれ玉３３と接触しており、キャリッジ２３Ａとガイドレール２２Ａは玉３３を介して電気的に導通している。そのため、キャリッジ２３Ａの停止時の導通電圧Ｖは、直流電源４９の印加電圧に相当する基準電圧Ｖｂ（例えば１．０Ｖ）である。図５の（ａ）で示すように、正常な潤滑状態が得られている場合、導通電圧Ｖはキャリッジ２３Ａの加速（時刻ｔ０〜ｔ１，時刻ｔ４〜ｔ５）に伴って閾値電圧Ｖｔｈ以下まで低下し、その後キャリッジ２３Ａの減速（時刻ｔ２〜ｔ３，時刻ｔ６〜ｔ７）に伴って基準電圧Ｖｂまで上昇する。一方、重度の潤滑状態の低下である図５の（ｃ）で示すように、油膜が形成されていない場合には、キャリッジ２３Ａが加速して速度Ｓが閾値速度Ｓｔｈ以上に達しても、導通電圧Ｖは安定せず閾値電圧Ｖｔｈ（例えば０．３Ｖ）を上回っている。 Referring to FIG. 5 in this regard, the carriage 23A (holding table 4) reciprocates in the X direction from the stopped state (speed S is 0), and the speed S reaches the threshold speed Sth or more at times t1 to t2 and t5 to t6. ing. When the carriage 23A is stopped, it is in a metal contact state by elastic deformation due to preload and vertical load. That is, since no oil film is formed, the carriage 23A and the guide rail 22A are in contact with the balls 33, and the carriage 23A and the guide rails 22A are electrically connected via the balls 33. Therefore, the conduction voltage V when the carriage 23A is stopped is a reference voltage Vb (for example, 1.0 V) corresponding to the applied voltage of the DC power supply 49. As shown in FIG. 5A, when a normal lubrication state is obtained, the conduction voltage V decreases to the threshold voltage Vth or less with the acceleration of the carriage 23A (time t0 to t1, time t4 to t5). Thereafter, the voltage rises to the reference voltage Vb as the carriage 23A decelerates (time t2 to t3, time t6 to t7). On the other hand, as shown in FIG. 5C, which is a serious decrease in the lubrication state, even when the carriage 23A is accelerated and the speed S reaches the threshold speed Sth or more when the oil film is not formed. The voltage V is not stable and exceeds a threshold voltage Vth (for example, 0.3 V).

前述のように表面粗さσ_１，σ_２、材料パラメータＧ、及び荷重パラメータＷ等から閾値速度Ｓｔｈを予め決定できるが、グリース３４の基油の粘度は温度の影響を受けるので、閾値速度Ｓｔｈも温度によって変化する。記憶部４４には、温度と閾値速度Ｓｔｈの関係が表や算出式等の態様で記憶されている。判定部４３は温度センサ５２が検出した温度から記憶部４４に記憶された関係に基づいて閾値速度Ｓｔｈを算出する。 As described above, the threshold speed Sth can be determined in advance from the surface roughness σ _1, σ ₂ , the material parameter G, the load parameter W, and the like. However, since the viscosity of the base oil of the grease 34 is affected by temperature, the threshold speed Sth Also changes with temperature. The storage unit 44 stores the relationship between the temperature and the threshold speed Sth in a form such as a table or a calculation formula. The determination unit 43 calculates the threshold speed Sth from the temperature detected by the temperature sensor 52 based on the relationship stored in the storage unit 44.

駆動制御部４７は、速度検出部４６で検出されるキャリッジ２３Ａ（保持プレート４）の速度Ｓを参照しつつリニアモータ３６を駆動し、キャリッジ２３Ａの速度Ｓを判定部４３が計算した閾値速度Ｓｔｈ以上まで上昇させる。判定部４３は。キャリッジ２３Ａの速度Ｓが閾値速度Ｓｔｈ以上となったときの導通電圧Ｖから潤滑状態の良否を判定する。つまり、判定部４３は、導通電圧Ｖが閾値電圧Ｖｔｈ以下であれば十分な油膜が形成された正常状態（絶縁傾向）であると判定する。一方、判定部４３は導通電圧Ｖが細かく脈動し、平均導通電圧Ｖａｖｅが閾値電圧Ｖｔｈを上回る場合には十分な油膜が形成されておらず比較的軽度の潤滑状態の低下であると判定する。判定部４３による軽度の潤滑状態低下の判定は警報処理部４５に出力され、警報処理部４５は前述した軽警報の処理を実行する。 The drive control unit 47 drives the linear motor 36 while referring to the speed S of the carriage 23A (holding plate 4) detected by the speed detection unit 46, and the threshold speed Sth calculated by the determination unit 43 is the speed S of the carriage 23A. Increase to above. The determination unit 43. The quality of the lubrication state is determined from the conduction voltage V when the speed S of the carriage 23A is equal to or higher than the threshold speed Sth. In other words, the determination unit 43 determines that the oil film is in a normal state (insulation tendency) if the conduction voltage V is equal to or lower than the threshold voltage Vth. On the other hand, when the conduction voltage V pulsates finely and the average conduction voltage Vave exceeds the threshold voltage Vth, the determination unit 43 determines that a sufficient oil film is not formed and the lubrication state is relatively light. The determination of the slight decrease in the lubrication state by the determination unit 43 is output to the alarm processing unit 45, and the alarm processing unit 45 executes the light alarm process described above.

第１の判定方法の代案としては、駆動制御部４７は導通電圧Ｖが閾値電圧Ｖｔｈ未満に低下するまでキャリッジ２３Ａ（保持プレート４）を加速するようにリニアモータ３６を駆動し、判定部４３は、導通電圧Ｖが閾値電圧Ｖｔｈ未満となったときに速度検出部４６によって検出される速度Ｓから潤滑状態の良否を判定する。つまり、判定部４３は速度Ｓが閾値速度Ｓｔｈ未満であれば十分な油膜が形成された正常状態であると判定し、速度Ｓが閾値速度以上の場合には十分な油膜が形成されておらず比較的軽度の潤滑状態の低下であると判定する。
As an alternative to the first determination method, the drive control unit 47 drives the linear motor 36 to accelerate the carriage 23A (holding plate 4) until the conduction voltage V drops below the threshold voltage Vth, and the determination unit 43 The quality of the lubrication state is determined from the speed S detected by the speed detection unit 46 when the conduction voltage V becomes less than the threshold voltage Vth. That is, if the speed S is less than the threshold speed Sth, the determination unit 43 determines that a sufficient oil film is formed, and if the speed S is equal to or higher than the threshold speed, a sufficient oil film is not formed. It is determined that the lubrication state is relatively low.

以下、第２の判定方法の内容を説明する。 Hereinafter, the content of the second determination method will be described.

本発明者の種々の実験と検討の結果、第１の判定方法で検出される比較的軽度の潤滑状態の低下（図５の（ｂ）参照）から基油の減少や劣化等の経時的変化がさらに進行した場合、キャリッジの加速によりいったん低下した導通電圧がキャリッジの減速と停止に伴って基準電圧Ｖｂまで上昇するのに要する時間が長くなることが見出された（図５（ｃ）の一点鎖線円部参照）。従って、この時間を監視することでも重度の潤滑状態の低下を検出できる。 As a result of various experiments and examinations by the inventor, a change over time such as a decrease or deterioration in base oil from a relatively slight decrease in the lubrication state (see FIG. 5B) detected by the first determination method. It has been found that the time required for the conduction voltage once lowered due to the acceleration of the carriage to increase to the reference voltage Vb along with the deceleration and stop of the carriage becomes longer (see FIG. 5C). (See the dot-dash line circle). Therefore, it is possible to detect a serious decrease in the lubrication state by monitoring this time.

駆動制御部４７は例えば図５に示すような速度波形でキャリッジ２３Ａ（保持プレート４）の速度Ｓが変化するようにリニアモータ３６を駆動する。判定部４３はキャリッジ２３Ａの減速時（時刻ｔ２〜ｔ３，ｔ６〜ｔ７）、すなわちキャリッジ２３Ａが定速状態から停止するまでの導通電圧Ｖを監視し、導通電圧Ｖが基準電圧Ｖｂ（例えば１．０Ｖ）まで上昇するのに要する復帰時間ｄｔを計測する。そして、駆動制御部４７は計測した復帰時間ｄｔを正常時の復帰時間ｄｔに余裕量を加えた閾値復帰時間ｄｔ’（記憶部４４に予め記憶されている）と比較し、潤滑状態の良否を判定する。つまり、測定部４３は、復帰時間ｄｔが閾値復帰時間ｄｔ’未満であれば潤滑状態は正常であると判定し、復帰時間ｄｔが閾値復帰時間ｄｔ’以上であれば比較的重度の潤滑状態の低下であると判定する（図５の（ｃ））。判定部４３による重度の潤滑状態低下の判定は警報処理部４５に出力され、警報処理部４５は前述した重警報の処理を実行する。 The drive control unit 47 drives the linear motor 36 so that the speed S of the carriage 23A (holding plate 4) changes with a speed waveform as shown in FIG. 5, for example. The determination unit 43 monitors the conduction voltage V when the carriage 23A decelerates (time t2 to t3, t6 to t7), that is, until the carriage 23A stops from the constant speed state, and the conduction voltage V is the reference voltage Vb (for example, 1.. The return time dt required to rise to 0V) is measured. Then, the drive control unit 47 compares the measured return time dt with a threshold return time dt ′ (stored in advance in the storage unit 44) obtained by adding a margin to the normal return time dt, and determines whether the lubrication state is good or bad. judge. That is, the measurement unit 43 determines that the lubrication state is normal if the return time dt is less than the threshold return time dt ′, and the relatively heavy lubrication state is determined if the return time dt is equal to or greater than the threshold return time dt ′. It determines with it being fall ((c) of FIG. 5). The determination of the serious decrease in the lubrication state by the determination unit 43 is output to the alarm processing unit 45, and the alarm processing unit 45 executes the above-described processing of the heavy alarm.

第１及び第２の判定方法は、転動体としてコロを備える直動ガイドにも適用できる。転動体がコロの場合、第１の判定方法で使用する最小油膜厚さｈ_ｍｉｎは以下の式（４）で表される。また、コロ式の直動ガイドでは、一般に、転動溝の転動面の表面粗さは０．０５μｍ（Ｒａ）以上０．３μｍ（Ｒａ）以下程度であり、玉３の表面の表面粗さは０．０１μｍ（Ｒａ）以上０．０５μｍ（Ｒａ）以下程度である。 The first and second determination methods can also be applied to a linear guide having a roller as a rolling element. When the rolling element is a roller, the minimum oil film thickness h _min used in the first determination method is represented by the following formula (4). In the roller type linear motion guide, the surface roughness of the rolling surface of the rolling groove is generally about 0.05 μm (Ra) or more and 0.3 μm (Ra) or less, and the surface roughness of the surface of the ball 3 is Is about 0.01 μm (Ra) or more and 0.05 μm (Ra) or less.

次に、第１の判定方法（軽度の潤滑状態の低下の判定）に使用される油膜パラメータ閾値Λｔｈを得た電気導通状態の測定実験及び検討について説明する。 Next, the measurement experiment and examination of the electrical continuity state that obtains the oil film parameter threshold value Λth used in the first determination method (determination of a slight decrease in the lubrication state) will be described.

まず、測定実験とその結果を説明する。実験には実施形態の基板搬送装置５（図２から図４参照）と同様の実験装置を使用した。リニアモータ３６は推力１，０００Ｎで最大総重量５０kgfの可動部（実施形態では保持テーブル４）の最大総重量を最大加速度約３Ｇ（３０ｍ／ｓ^２）、最高速度３ｍ／ｓで駆動する駆動することができる。Ｙ軸方向の前後で対向したリニアモータ３６の固定子であるマグネット３８Ａ，３８Ｂの中央にリニアモータの可動子であるモータコイル３７を配置した構造を用いたのは、直動ガイド２１Ａにリニアモータ３６のマグネット３８Ａ，３８Ｂの磁気吸引力による直動ガイド２１への負荷の影響がより出ないようするためである。玉式の直動ガイド２１Ａ，２１Ｂは前述のように４方向等価荷重型4列サーキュラーアーク溝2点接触構造リテーナ付き(正面組合せ)であり、ガイドレール２２Ａ，２２Ｂのレール幅は１５mmである。直動ガイド２１Ａ，２１Ｂの緒元を以下の表１に示す。 First, measurement experiments and the results will be described. In the experiment, an experimental apparatus similar to the substrate transfer apparatus 5 of the embodiment (see FIGS. 2 to 4) was used. The linear motor 36 drives the maximum total weight of the movable part (in the embodiment, the holding table 4) having a thrust of 1,000 N and a maximum total weight of 50 kgf at a maximum acceleration of about 3 G (30 m / s ² ) and a maximum speed of 3 m / s. be able to. The linear motor 21 A is used as the linear motor 21 B, in which the motor coil 37, which is a linear motor mover, is arranged at the center of the magnets 38 A and 38 B that are the stators of the linear motor 36 that face each other in the Y-axis direction. This is to prevent the influence of the load on the linear motion guide 21 due to the magnetic attractive force of the 36 magnets 38A and 38B. As described above, the ball-type linear motion guides 21A and 21B are provided with a four-direction equivalent load type four-row circular arc groove two-point contact structure retainer (front combination), and the guide rails 22A and 22B have a rail width of 15 mm. Table 1 below shows the specifications of the linear motion guides 21A and 21B.

試験に使用したグリース３４の性状を以下の表２に示す。 The properties of the grease 34 used in the test are shown in Table 2 below.

基油がポリ−α−オレフィン、増ちょう剤がリチウムコンプレックスの電子部品実装装置用市販グリース（ＡＯ）、並びにＡ０グリースの基油の粘度を変更した３種類のサンプル（Ａ１，Ａ２，Ａ３）を作成した。実験中のレール温度は３０℃〜３５℃であったので３３℃での基油の粘度測定値を基準に粘度調整を行った．サンプル名はＡ０（３３℃の動粘度が１２５mm²/s）、Ａ１（３３℃の動粘度が９０mm²/s）、Ａ２（３３℃の動粘度が７０mm²/s）、Ａ３（３３℃の動粘度が３０mm²/s）とした。試験グリースの作成に際し酸化防止剤、防錆剤、摩耗防止剤等各種添加剤配合量は同一とした。 Three types of samples (A1, A2, A3) with a base oil of poly-α-olefin, a thickener of lithium complex and a commercially available grease (AO) for electronic component mounting equipment, and a base oil of A0 grease changed. Created. Since the rail temperature during the experiment was 30 ° C to 35 ° C, the viscosity was adjusted based on the measured value of the viscosity of the base oil at 33 ° C. Sample names are A0 (dynamic viscosity at 33 ° C. is 125 mm ² / s), A1 (dynamic viscosity at 33 ° C. is 90 mm ² / s), A2 (dynamic viscosity at 33 ° C. is 70 mm ² / s), A3 (33 ° C. The kinematic viscosity was 30 mm ² / s). In the preparation of the test grease, the amounts of various additives such as antioxidant, rust inhibitor and antiwear agent were the same.

実施形態と同様に、電気導通状態の測定は２本のガイドレール２２Ａ，２２Ｂのうち少なくとも１本のガイドレール２２Ａ（直動ガイド２１Ａ）の１個のキャリッジ２３Ａで行った。１本のガイドレール２２Ａ上にある２個のキャリッジ２３Ａ，２３Ｂの走行範囲が重なるためサンプルグリースは２個のキャリッジ２３Ａ，２３Ｂとも変更している。なお，非測定側の直動ガイド２１Ｂはすべての実験でサンプルＡ０を用いた。実験側の直動ガイド２１Ａのグリース交換の際、非測定側の直動ガイド２１Ｂも同時にグリースアップを行った。 As in the embodiment, the measurement of the electrical continuity state was performed with one carriage 23A of at least one guide rail 22A (linear motion guide 21A) of the two guide rails 22A and 22B. Since the traveling ranges of the two carriages 23A and 23B on one guide rail 22A overlap, the sample grease is changed in both the carriages 23A and 23B. Note that the sample A0 was used as the non-measurement side linear motion guide 21B in all experiments. When the grease on the experimental linear guide 21A was replaced, the non-measurement linear guide 21B was also greased.

実験時の1回の走行距離は０．５ｍ、１往復で１ｍ走行とした．計測はグリース変更に伴うキャリッジ２３Ａ内の充填ムラ等を無くすため後述する２時間のエージング運転終了後、再度、所定のサンプルを注入し、設定速度で走行させ５０〜１００サイクルの間に実施した。走行パターンは加速・減速時の加速度は３０ｍ/ｓ²一定とし，最高速度を３ｍ／ｓ，２ｍ／ｓ，１ｍ／ｓとしキャリッジ２３Ａとガイドレール２２Ａの間の電圧を測定した。また、並びに定速走行時に油膜形成による電気絶縁（０．３０Ｖ以下）が保たれる速度を油膜形成速度と定義し計測した。０．８Ｖ〜１．５Ｖ程度の電圧でも電食が発生する可能性があることから通電は測定時のみとした。 The distance traveled at the time of the experiment was 0.5 m and 1 m traveled in one round trip. The measurement was carried out for 50 to 100 cycles after injecting a predetermined sample again and running at a set speed after completion of an aging operation for 2 hours, which will be described later, in order to eliminate filling unevenness in the carriage 23A due to grease change. In the running pattern, the acceleration during acceleration / deceleration was constant at 30 m / s ² , the maximum speed was 3 m / s, 2 m / s, 1 m / s, and the voltage between the carriage 23A and the guide rail 22A was measured. In addition, the speed at which electrical insulation (0.30 V or less) due to oil film formation during constant speed running was defined as the oil film formation speed and measured. Since there is a possibility that electrolytic corrosion occurs even at a voltage of about 0.8 V to 1.5 V, energization was performed only during measurement.

グリースを変更する際は、部品レベルまでキャリッジ２３Ａを分解し、転動体である玉３３はアセトンで超音波洗浄を行い、リターン部，キャリッジ本体など樹脂材料を含む部品は炭化水素系溶剤にて超音波洗浄、綿棒・ウエスによる拭き取りを併用した。ガイドレール２２Ａも炭化水素系容剤とアセトンを用いウエスにて拭き取り洗浄を行った。測定に使用したキャリッジ２３Ａと玉３３は同一のものである。 When changing the grease, the carriage 23A is disassembled to the parts level, the balls 33 as rolling elements are ultrasonically cleaned with acetone, and the parts containing resin material such as the return part and the carriage body are superposed with a hydrocarbon solvent. Sonic cleaning and wiping with a cotton swab or waste cloth were used in combination. The guide rail 22A was also wiped and washed with a waste cloth using a hydrocarbon-based agent and acetone. The carriage 23A and the ball 33 used for the measurement are the same.

グリース交換後は加速・減速時の加速度３０ｍ／ｓ²，速度３ｍ／ｓの条件で１時間程度走行させた後、はみ出したグリースを拭き取り、再度レール転動面にグリースを塗布しキャリッジ２３Ａに設けられているグリースニップルからグリース注入を行った。さらに１時間走行後に再度ガイドレール２３Ａへのグリース塗布とグリースニップルからのグリース注入行ない、はみ出したグリースを拭き取ってエージングとした。 After replacing the grease, run for about 1 hour under acceleration / deceleration acceleration of 30 m / s ² and speed of 3 m / s, wipe off the excess grease, apply the grease to the rail rolling surface again, and install it on the carriage 23A. Grease was injected from the grease nipple. Further, after running for 1 hour, the grease was again applied to the guide rail 23A and the grease was injected from the grease nipple, and the protruding grease was wiped off to be aged.

全サンプルＡ０〜Ａ３についてすべての測定結果を図６Ａに示す。図６ＢはサンプルＡ０で最高速度３ｍ／ｓの場合を概念的に示す。 FIG. 6A shows all measurement results for all samples A0 to A3. FIG. 6B conceptually shows the case where the maximum speed is 3 m / s in the sample A0.

図６Ａの最上段左端は、可動テーブルを最高速度３ｍ／ｓ、加速・減速時の加速度を３０ｍ／ｓ^２とし１往復させたデータで、サンプルはＡ０である。横軸が時間でフルスケール１．０秒、縦軸が電圧で上が電気導通の導通度合を示す波形、下側が速度信号である。速度信号は可動テーブルの速度に応じ電圧が変化し、加速・減速域において一定の勾配で上昇・降下する直線となり，設定の３．０ｍ／ｓまで加速し定速状態になるとプラス、またはマイナス５．２Ｖで水平な直線となる。電気導通波形は停止時、予圧と垂直荷重により弾性変形し金属接触状態にあるため印可電圧の１．０Ｖを示している。可動中は油膜により絶縁されるため０Ｖ（オシロスコープの平均電圧は０〜０．２Ｖ）程度を示す。 The left end of the uppermost stage in FIG. 6A is data obtained by reciprocating the movable table once with a maximum speed of 3 m / s and an acceleration during acceleration / deceleration of 30 m / s ^2, and the sample is A0. The horizontal axis is time and full scale is 1.0 seconds, the vertical axis is voltage, the upper is a waveform indicating the degree of electrical continuity, and the lower side is the speed signal. The voltage of the speed signal changes according to the speed of the movable table, and becomes a straight line that rises and falls with a constant gradient in the acceleration / deceleration range. .It becomes a horizontal straight line at 2V. The electric continuity waveform shows an applied voltage of 1.0 V because it is elastically deformed by the preload and the vertical load and is in a metal contact state when stopped. Since it is insulated by the oil film while moving, it shows about 0V (an average voltage of the oscilloscope is 0 to 0.2V).

サンプルＡ０の結果は図６Ａの左端の縦列に示す。最高速度３ｍ／ｓ，２ｍ／ｓ，１ｍ／ｓ毎の波形を示し、加速・減速時の加速度は３０ｍ／ｓ²一定とする。この波形の横軸のスケールは３ｍ／ｓと２ｍ／ｓが横軸フルスケール１秒で、１ｍ／ｓはフルスケール２秒である。また、３ｍ／ｓの導通電圧が０Ｖに達した時の速度は加速領域１／３程度の速度であり速度信号から算出した速度は１．１ｍ／ｓであった。同様に２ｍ／ｓの場合は加速領域１／２程度の速度で速度信号からの算出速度は１．０ｍ／ｓであった。また、最高速度１ｍ／ｓの測定では加速域が終了し定速域（１ｍ／ｓ）時点で導通電圧の最小電圧は０Ｖになっているが定速領域の平均電圧は０．２３Ｖであった。 The results for sample A0 are shown in the leftmost column of FIG. 6A. Waveforms at maximum speeds of 3 m / s, 2 m / s, and 1 m / s are shown, and acceleration during acceleration / deceleration is constant at 30 m / s ² . As for the horizontal scale of this waveform, 3 m / s and 2 m / s are 1 second on the horizontal scale, and 1 m / s is 2 seconds on the full scale. The speed when the conduction voltage of 3 m / s reached 0 V was about 1/3 of the acceleration region, and the speed calculated from the speed signal was 1.1 m / s. Similarly, in the case of 2 m / s, the speed calculated from the speed signal was about 1.0 m / s at a speed of about 1/2 of the acceleration region. Further, in the measurement of the maximum speed of 1 m / s, the acceleration region was completed and the minimum voltage of the conduction voltage was 0 V at the time of the constant speed region (1 m / s), but the average voltage in the constant speed region was 0.23 V. .

サンプルＡ１（図６Ａにおいて左から２つめの縦列）の３ｍ／ｓでの導通電圧０Ｖは１．４ｍ／ｓ、２ｍ／ｓでの導通電圧０Ｖは１．３ｍ／ｓ、１ｍ／ｓでの平均導通電圧は０．３７Ｖであった。油膜形成速度は１．３ｍ／ｓで導通電圧は平均０．２９Ｖであった。 The conduction voltage 0V at 3 m / s of the sample A1 (second column from the left in FIG. 6A) is 1.4 m / s, the conduction voltage 0V at 2 m / s is 1.3 m / s, and the average at 1 m / s. The conduction voltage was 0.37V. The oil film formation speed was 1.3 m / s and the conduction voltage was 0.29 V on average.

サンプルＡ２（図６Ａにおいて右から２つめの縦例）の３ｍ／ｓでの導通電圧０Ｖは１．８ｍ／ｓであるが導通電圧は平均０．１３Ｖであった。２ｍ／ｓでの導通電圧０Ｖ（平均値は０．１７Ｖであった）は１．７ｍ／ｓであった。１ｍ／ｓでの平均導通電圧は０．４１Ｖであった．油膜形成速度の１．７ｍ／ｓでの導通電圧は０．２７Ｖであった。 The conduction voltage 0V at 3 m / s of sample A2 (second vertical example from the right in FIG. 6A) was 1.8 m / s, but the conduction voltage was an average of 0.13 V. The conduction voltage 0 V (average value was 0.17 V) at 2 m / s was 1.7 m / s. The average conduction voltage at 1 m / s was 0.41V. The conduction voltage at an oil film formation speed of 1.7 m / s was 0.27V.

サンプルＡ３（図６Ａにおいて右端）ではすべての速度で電気絶縁状態である０Ｖを示すことが無くそれぞれの速度での導通電圧は平均でそれぞれ３ｍ／ｓで０．４０Ｖ、２ｍ／ｓで０．４４Ｖ、１ｍ／ｓで０．５１Ｖであった。 Sample A3 (the right end in FIG. 6A) does not show 0V, which is an electrical insulation state at all speeds, and the conduction voltage at each speed is 0.40 V at 3 m / s on average and 0.44 V at 2 m / s, respectively. It was 0.51 V at 1 m / s.

次に、実験結果の検討について説明する。実験結果の考察のため実験装置における弾性流体潤滑（EHL）膜厚をHamrock-Dowsonの式より計算し、表面粗さと最小油膜厚さから油膜パラメータΛを求め，実験結果との比較を行った。 Next, examination of experimental results will be described. In order to consider the experimental results, the elastohydrodynamic lubrication (EHL) film thickness in the experimental device was calculated from the Hamrock-Dowson equation, and the oil film parameter Λ was determined from the surface roughness and the minimum oil film thickness, and compared with the experimental results.

計算は表２の諸元において、可動テーブルの重量５０ｋｇ（４９０Ｎ）を４個のキャリッジで受け、１個のキャリッジの設定予圧の最大値４７０Ｎ、これらを垂直荷重とし，１キャリッジ当りの垂直方向有効玉数１４×２で受けると、１つの玉当り玉荷重は２１．２Ｎ（（４９０／４＋４７０）／（１４×２））となる。モーメント荷重は考慮しない。また、レール並びにキャリッジ転動面の表面粗さの実測値は０．２１μｍＲａ、ボールの表面粗さは０．０１μｍ（Ｒａ）による合成粗さ０．２１μｍを用いた。これらの値と速度パラメータより上述の式（１），（３）を用いて求めた油膜パラメータΛの計算結果を図７に示す。実験値との関係を見やすくするため横軸の速度はボール速度ではなくキャリッジ速度とした。図７に示す各基油粘度の油膜パラメータΛ計算値の曲線上の○印は実験で求めた油膜形成速度である。 The calculation is based on the specifications in Table 2. The weight of the movable table 50kg (490N) is received by four carriages and the maximum preload value of one carriage is 470N. These are the vertical loads, and the vertical direction per carriage is effective. If it receives with the number of balls 14x2, the ball load per ball will be 21.2N ((490/4 + 470) / (14x2)). Moment load is not considered. Further, the actual measurement value of the surface roughness of the rail and the carriage rolling surface was 0.21 μmRa, and the surface roughness of the ball was a synthetic roughness of 0.21 μm of 0.01 μm (Ra). FIG. 7 shows the calculation result of the oil film parameter Λ obtained by using the above formulas (1) and (3) from these values and the speed parameter. In order to make it easy to see the relationship with the experimental values, the speed of the horizontal axis is not the ball speed but the carriage speed. In the curve of the oil film parameter Λ calculated value of each base oil viscosity shown in FIG. 7, the ◯ marks indicate the oil film formation rate obtained in the experiment.

サンプルＡ０〜Ａ３のグリースの基油の粘度の違いに伴い油膜形成速度も変化するが、油膜パラメータΛは０．６付近である。しかし基油粘度３０mm^２／ｓのサンプルＡ３ではキャリッジ速度３ｍ／ｓでも油膜パラメータΛが０．５程度であり本実験における電気導通状態の測定結果からも金属接触状況（軽度の潤滑状態の低下の状況）にあると考えられる。 The oil film formation rate also changes with the difference in viscosity of the base oils of the greases of samples A0 to A3, but the oil film parameter Λ is around 0.6. However, in the sample A3 having a base oil viscosity of 30 mm ² / s, the oil film parameter Λ is about 0.5 even at a carriage speed of 3 m / s. From the measurement result of the electrical continuity in this experiment, the metal contact state (a slight decrease in the lubrication state) Situation).

以上のように、油膜パラメータΛが０．６（種々の条件の変化に伴う変動を考慮すると０．５以上５以下の値）以上であれば、油膜のある状態で玉が転がり運動し、金属表面を起点とする損傷が抑えられた良好な潤滑状態が得られ、この値を下回るとグリース３４による油膜形成が不十分で潤滑状態が低下する。 As described above, if the oil film parameter Λ is 0.6 (a value of 0.5 or more and 5 or less in consideration of fluctuations caused by changes in various conditions) or more, the ball rolls and moves in a state where there is an oil film. A good lubrication state in which damage starting from the surface is suppressed is obtained, and if the value is less than this value, the oil film is not sufficiently formed by the grease 34 and the lubrication state is lowered.

油膜パラメータΛの上限が５以下としたのは、油膜パラメータΛは大きい方が好ましいが実用上（荷重や直動ガイドの位置決め案内精度上の実用上の与圧、グリースの粘度の実用範囲、市場に流通しているグリースの粘度から考慮）の値からである。荷重を下げてグリースの粘度を上げれば、直動ガイドのコロや玉がグリースをよけるように動作し、油膜パラメータΛは大きくなる。例えば、直動ガイドの与圧が小さければ直動ガイドのコロや玉が受ける荷重は小さく油膜パラメータは大きくなるが、与圧が少なく過ぎると直動ガイドの位置決め案内精度が低下してしまい実用的ではない。 The upper limit of the oil film parameter Λ is set to 5 or less, although it is preferable that the oil film parameter Λ is larger. However, in practice (practical pressure on the load and positioning guide accuracy of the linear guide, practical range of grease viscosity, market This is because of the value of the grease in circulation. If the load is lowered to increase the viscosity of the grease, the roller or ball of the linear motion guide operates to avoid the grease, and the oil film parameter Λ increases. For example, if the applied pressure of the linear guide is small, the load received by the rollers and balls of the linear guide is small and the oil film parameter is large. However, if the applied pressure is too small, the positioning guide accuracy of the linear guide is reduced and is practical. is not.

本発明は前記実施形態に限定されず種々の変形が可能である。例えば、基板搬送装置が備える直動ガイドを例に本発明を説明したが、本発明は前述したようにヘッド位置決め装置が備える直動ガイドにも適用でき、部品実装装置が備えるその他の直動ガイドにも適用できる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, the present invention has been described by taking the linear motion guide included in the substrate transfer device as an example, but the present invention can also be applied to the linear motion guide included in the head positioning device as described above, and other linear motion guides included in the component mounting apparatus. It can also be applied to.

また、実施形態ではレールとキャリッジ間の導通電圧を検出する電圧検出部を用いて直動ガイドの潤滑状態を判定しているが、レールとキャリッジ間の抵抗あるいは電流を検出して直動ガイドの潤滑状態を判定してもよい。抵抗値を用いる場合、キャリッジの移動が停止している時に抵抗値が変動するおそれがあれば、キャリッジの停止領域では判定を行わないようにする必要がある。また、電流値を用いる場合、金属部品の電気による腐食を考慮して微弱な電流（１０ｍＡ〜５０ｍＡ程度）が用いられるが、閾値が分かりにくい傾向がある。これらより、好ましくは実施形態のように電圧を用いて直動ガイドの潤滑状態を判定するのが、簡易で閾値も比較的分かりやすいのでより実用的である。 In the embodiment, the lubrication state of the linear guide is determined by using a voltage detection unit that detects the conduction voltage between the rail and the carriage. However, the resistance or current between the rail and the carriage is detected to detect the linear guide. The lubrication state may be determined. When the resistance value is used, if there is a possibility that the resistance value fluctuates when the movement of the carriage is stopped, it is necessary not to perform the determination in the stop area of the carriage. In addition, when a current value is used, a weak current (about 10 mA to 50 mA) is used in consideration of electrical corrosion of metal parts, but the threshold tends to be difficult to understand. From these, it is more practical to determine the lubrication state of the linear motion guide using voltage as in the embodiment because it is simple and the threshold value is relatively easy to understand.

実施形態では部品実装装置の基板搬送装置が備える転がり式直線運動案内（直動ガイド）を例に本発明を説明したが、本発明の適用対象は実施形態のものに限定されない。例えば、ロータリー式の実装ヘッドに対して基板をＸＹ軸方向に移動して位置決めする基板位置決め装置や、位置決めされた基板に対して部品を保持した実装ヘッドをＸＹ軸等の方向に移動させて部品を実装するヘッド位置決め装置等の位置決め装置が備える直動ガイドにおける潤滑状態判定にも本発明を適用できる。 In the embodiment, the present invention has been described by taking the rolling linear motion guide (linear motion guide) included in the board conveying device of the component mounting apparatus as an example. However, the application target of the present invention is not limited to the embodiment. For example, a substrate positioning device that moves and positions the substrate in the XY axis direction relative to the rotary mounting head, or a component that moves the mounting head that holds the component relative to the positioned substrate in the XY axis direction or the like The present invention can also be applied to a lubrication state determination in a linear motion guide provided in a positioning device such as a head positioning device that mounts the head.

１部品実装装置
２実装ヘッド
３ヘッド位置決め装置
４保持テーブル
５基板搬送装置
６部品供給部
７基台
８吸着ノズル
１０基板
１１Ｘビーム
１２Ａ，１２ＢＹビーム
２１Ａ，２１Ｂ直動ガイド
２２Ａ，２２Ｂガイドレール
２３Ａ，２３Ｂ，２３Ｃ，２３Ｄキャリッジ
２４スペーサ
２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄレール転動溝
２７基部
２８Ａ，２８Ｂ側部
３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄキャリッジ転動溝
３１ａ’，３１ｂ’，３１ｃ’，３１ｄ’ 循環路
３２Ａ，３２Ｂエンドプレート
３３玉
３４グリース
３６リニアモータ
３７モータコイル
３８Ａ，３８Ｂマグネット
４１潤滑状態判定装置
４２制御装置
４３判定部
４４記憶部
４５警報処理部
４６速度検出部
４７駆動部
４８導電路
４９直流電源
５０抵抗
５１電圧検出器
５２温度センサ
５３エンコーダ
５６ディスプレイ
５７ランプ
５８ブザー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus 2 Mounting head 3 Head positioning apparatus 4 Holding table 5 Board | substrate conveyance apparatus 6 Component supply part 7 Base 8 Adsorption nozzle 10 Board | substrate 11 X beam 12A, 12B Y beam 21A, 21B Linear motion guide 22A, 22B Guide rail 23A , 23B, 23C, 23D Carriage 24 Spacer 25a, 25b, 25c, 25d Rail rolling groove 27 Base part 28A, 28B Side part 31a, 31b, 31c, 31d Carriage rolling groove 31a ', 31b', 31c ', 31d' Circulation Road 32A, 32B End plate 33 Ball 34 Grease 36 Linear motor 37 Motor coil 38A, 38B Magnet 41 Lubrication state determination device 42 Control device 43 Determination portion 44 Storage portion 45 Alarm processing portion 46 Speed detection portion 47 Drive portion 48 Conductive path 49 DC Power supply 50 Anti 51 Voltage detector 52 temperature sensor 53 encoder 56 display 57 lamp 58 Buzzer

Claims

Determining a lubrication state of a rolling linear motion guide including a rail, a carriage moving on the rail, a rolling element rolling between the rail and the carriage, and a lubricating grease charged in the carriage; A lubrication state determination device,
A conduction characteristic detector that detects a conduction characteristic that is a voltage, current, or resistance between the rail and the carriage ;
A speed detector for detecting the speed of the carriage ;
The rolling linear motion using the conduction characteristic detected by the conduction characteristic detection unit when the drive control unit that controls the drive mechanism that moves the carriage on the rail moves the carriage on the rail. and a determination section for lubrication of the guide,
The determination unit has a normal lubrication state in which the speed detected by the speed detection unit is normal when the conduction characteristic detected by the conduction characteristic detection unit is a value indicating that the rail and the carriage are not insulated. If it is less than the threshold speed corresponding to the oil film parameter assumed to be obtained, it is determined that the lubrication state is normal, and if the detected speed is equal to or greater than the threshold speed, the lubrication state is reduced. A lubrication state determination device for determining.

The conduction characteristic detector is a voltage detector that detects a voltage between the rail and the carriage.
The determination unit determines that the speed detected by the speed detection unit is normal when the conduction voltage detected by the voltage detection unit decreases below a threshold voltage indicating that the rail and the carriage are not insulated. If it is less than the threshold speed corresponding to the oil film parameter assumed to obtain the lubrication state, it is determined that the lubrication state is normal, and if the detected speed is equal to or greater than the threshold speed, the lubrication state is decreased. The lubrication state determination device according to claim 1 , wherein the lubrication state determination device is determined to be present.

Determining a lubrication state of a rolling linear motion guide including a rail, a carriage moving on the rail, a rolling element rolling between the rail and the carriage, and a lubricating grease charged in the carriage; A lubrication state determination method,
Detecting a conduction characteristic which is a voltage, current, or resistance between the rail and the carriage when the carriage moves on the rail;
The oil film parameter that is assumed that the speed detected by the speed detection unit can obtain a normal lubrication state when the detected conduction characteristic is a value indicating that the rail and the carriage are not insulated. If it is less than the threshold speed corresponding to, it is determined that the lubrication state is normal, and if the detected speed is greater than or equal to the threshold speed, it is determined that the lubrication state is reduced .

At least one of a transport device and a positioning device includes a rail, a carriage that moves on the rail, a rolling element that rolls between the rail and the carriage, and a grease for lubrication filled in the carriage. Rolling linear motion guide,
A conduction characteristic detector that detects a conduction characteristic that is a voltage, current, or resistance between the rail and the carriage;
The rolling linear motion using the conduction characteristic detected by the conduction characteristic detection unit when the drive control unit that controls the drive mechanism that moves the carriage on the rail moves the carriage on the rail. and a determination section for lubrication of the guide,
The determination unit has a normal lubrication state in which the speed detected by the speed detection unit is normal when the conduction characteristic detected by the conduction characteristic detection unit is a value indicating that the rail and the carriage are not insulated. If it is less than the threshold speed corresponding to the oil film parameter assumed to be obtained, it is determined that the lubrication state is normal, and if the detected speed is equal to or greater than the threshold speed, the lubrication state is reduced. A component mounting apparatus comprising: a lubrication state determination unit for determining.

The conduction characteristic detector is a voltage detector that detects a voltage between the rail and the carriage.
The determination unit determines that the speed detected by the speed detection unit is normal when the conduction voltage detected by the voltage detection unit decreases below a threshold voltage indicating that the rail and the carriage are not insulated. If it is less than the threshold speed corresponding to the oil film parameter assumed to obtain the lubrication state, it is determined that the lubrication state is normal, and if the detected speed is equal to or greater than the threshold speed, the lubrication state is decreased. The component mounting apparatus according to claim 4 , wherein the component mounting apparatus is determined to be present.

A component mounting method for positioning a substrate with a substrate positioning device, moving a head holding a component with a head positioning device, and positioning and mounting on the substrate,
At least one of the substrate positioning device and the head positioning device includes a rail, a carriage that moves on the rail, a rolling element that rolls between the rail and the carriage, and a lubricant that fills the carriage. A rolling linear motion guide with
Detecting a conduction characteristic which is a voltage, current, or resistance between the rail and the carriage when the carriage moves on the rail;
The oil film parameter that is assumed that the speed detected by the speed detection unit can obtain a normal lubrication state when the detected conduction characteristic is a value indicating that the rail and the carriage are not insulated. If the speed is less than the threshold speed corresponding to, it is determined that the lubrication state is normal, and if the detected speed is equal to or greater than the threshold speed, the component mounting method is determined to be a decrease in the lubrication state .