JP5479295B2

JP5479295B2 - light source

Info

Publication number: JP5479295B2
Application number: JP2010224859A
Authority: JP
Inventors: 恵樹松浦
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2010-10-04
Filing date: 2010-10-04
Publication date: 2014-04-23
Anticipated expiration: 2030-10-04
Also published as: JP2012079587A

Description

本発明は、内部で発生させた光を出射する光源に関する。 The present invention relates to a light source that emits light generated inside.

従来から、光源から効率よく光を放射させるための構造が検討されている。例えば、下記特許文献１に記載の重水素ランプでは、放電容器内に陽極及び陰極を取り巻くように遮蔽囲みを有し、その遮蔽囲みの一部に光反射材を設けたような構造が提案されている。 Conventionally, a structure for efficiently emitting light from a light source has been studied. For example, in the deuterium lamp described in Patent Document 1 below, a structure has been proposed in which a discharge enclosure has a shielding enclosure surrounding an anode and a cathode, and a light reflecting material is provided in a part of the shielding enclosure. ing.

特開平７−６７３７号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-6737 特開２００８−３１１０６８号公報JP 2008-311068 A 特開２０１０−２７２６８号公報JP 2010-27268 A 実開平５−１７９１８号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-17918 特公平４−５７０６６号公報Japanese Examined Patent Publication No. 4-57066

しかしながら、上述した従来の重水素ランプでは、陽極及び陰極を含む放電部と光取り出し窓との間における光の損失が発生しやすく、光の取り出し効率が十分ではない。 However, in the conventional deuterium lamp described above, light loss is likely to occur between the discharge part including the anode and the cathode and the light extraction window, and the light extraction efficiency is not sufficient.

そこで、本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、光の出射窓からの取り出し効率を安定して向上させることが可能な光源を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of such a problem, and an object thereof is to provide a light source capable of stably improving the light extraction efficiency from the light emission window.

上記課題を解決するため、本発明の光源は、光を発生させる発光部を収容する第１の筐体と、一端側が第１の筐体に接続されて、発光部から発生した光を、他端側に設けられた出射窓部に導く第２の筐体と、第２の筐体の出射窓部と、第１の筐体と第２の筐体とを接続する部位との間に挿入固定され、内壁面が光を反射する反射面に形成された筒状の金属部材とを備える。 In order to solve the above problems, a light source of the present invention includes a first housing that houses a light emitting unit that generates light, and one end side connected to the first housing, Inserted between the second casing guided to the exit window provided on the end side, the exit window of the second casing, and the portion connecting the first casing and the second casing And a cylindrical metal member formed on a reflection surface whose inner wall surface reflects light.

このような光源によれば、第１の筐体内の発光部から発せられた光が、第１の筐体に接続された第２の筐体内に挿入された筒状の金属部材の内部に導かれることにより、第２の筐体に設けられた出射窓部から出射される。ここで、金属部材の内壁面が反射面に形成されているので、発光部から出射された光が筒状部材の内部の反射面によって全反射されつつ第２の筐体の一端側から他端側に導かれる結果、発光部から発せられた光を損失することなく第２の筐体の出射窓部まで導くことができる。また、金属部材の内壁自体が反射面であるため、反射面の剥離または脱落等による性能劣化や異物発生を抑制することができ、長寿命化を実現することができる。これにより、出射窓部からの光の取り出し効率を安定して向上させることができる。 According to such a light source, the light emitted from the light emitting unit in the first casing is guided to the inside of the cylindrical metal member inserted into the second casing connected to the first casing. As a result, the light is emitted from the emission window provided in the second casing. Here, since the inner wall surface of the metal member is formed on the reflecting surface, the light emitted from the light emitting portion is totally reflected by the reflecting surface inside the cylindrical member, and the other end from the one end side of the second casing. As a result of being guided to the side, the light emitted from the light emitting portion can be guided to the exit window portion of the second housing without loss. Further, since the inner wall of the metal member itself is a reflecting surface, performance deterioration and foreign matter generation due to peeling or dropping off of the reflecting surface can be suppressed, and a long life can be realized. Thereby, the light extraction efficiency from the exit window can be stably improved.

金属部材の外壁面と、第２の筐体の内壁面とは離間していることが好ましい。この場合、金属部材と第２の筐体との熱膨張率の違いにより、金属部材の位置ずれや金属部材または第２の筐体の破損を防止することができ、出射窓部からの光の取り出し効率を安定して向上させることができる。 The outer wall surface of the metal member is preferably separated from the inner wall surface of the second housing. In this case, the difference in the thermal expansion coefficient between the metal member and the second housing can prevent the displacement of the metal member and the damage of the metal member or the second housing, and the light from the exit window can be prevented. The extraction efficiency can be improved stably.

また、金属部材の第１の筐体側の反射面は、テーパー状に形成されていることが好ましい。この場合、反射面での光の反射角が大きくなり、反射回数を低減させることで、出射窓部からの光の取り出し効率を安定して向上させることができる。 Moreover, it is preferable that the reflective surface at the side of the 1st housing | casing of a metal member is formed in the taper shape. In this case, the light reflection angle at the reflection surface is increased, and the number of reflections is reduced, whereby the light extraction efficiency from the exit window can be stably improved.

また、金属部材の位置決めのための位置決め部材がさらに設けられていることも好適である。かかる位置決め部材を備えれば、第１の筐体及び第２の筐体に対する金属部材の位置を安定化して、出射窓部からの光の取り出し効率を安定して向上させることができる。 It is also preferable that a positioning member for positioning the metal member is further provided. If such a positioning member is provided, the position of the metal member relative to the first housing and the second housing can be stabilized, and the light extraction efficiency from the exit window can be stably improved.

また、位置決め部材は、金属部材を第２の筐体の他端側から一端側に付勢するばね部材と、ばね部材によって付勢された金属部材が押し当てられる固定部材とを含む、ことも好適である。かかる構成を採れば、第１の筐体及び第２の筐体に対して金属部材を安定して固定することができ、出射窓部からの光の取り出し効率を安定して向上させることができる。 The positioning member may include a spring member that biases the metal member from the other end side of the second housing to the one end side, and a fixing member that is pressed against the metal member biased by the spring member. Is preferred. By adopting such a configuration, the metal member can be stably fixed to the first casing and the second casing, and the light extraction efficiency from the exit window can be stably improved. .

さらに、位置決め部材は、第１の筐体と第２の筐体との間を接続する接続部材上に設けられている、ことも好適である。このようにしても、第１の筐体及び第２の筐体に対して金属部材を安定して固定することができ、出射窓部からの光の取り出し効率を安定して向上させることができる。 Furthermore, it is also preferable that the positioning member is provided on a connection member that connects between the first housing and the second housing. Even in this case, the metal member can be stably fixed to the first casing and the second casing, and the light extraction efficiency from the exit window can be stably improved. .

本発明によれば、光の出射窓からの取り出し効率を安定して向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to stably improve the light extraction efficiency from the light emission window.

本発明の第１実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the light source which concerns on 1st Embodiment of this invention. 図１の反射筒部の断面図である。It is sectional drawing of the reflective cylinder part of FIG. 図１の光源における反射筒部の組み込み状態を示す側面図である。It is a side view which shows the incorporating state of the reflection cylinder part in the light source of FIG. 本発明の第２実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the light source which concerns on 2nd Embodiment of this invention. （ａ）は、図４の反射筒部の側面図、（ｂ）は、図４の反射筒部の正面図である。(A) is a side view of the reflection cylinder part of FIG. 4, (b) is a front view of the reflection cylinder part of FIG. 本発明の第３実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the light source which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the light source which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the light source which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the light source which concerns on 6th Embodiment of this invention. 本発明の変形例に係る光源の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the light source which concerns on the modification of this invention. （ａ）は、本発明の変形例にかかる反射筒部の側面図、（ｂ）は、（ａ）の反射筒部の端面図、（ｃ）は、（ａ）の反射筒部の斜視図である。(A) is a side view of the reflecting cylinder part concerning the modification of this invention, (b) is an end view of the reflecting cylinder part of (a), (c) is a perspective view of the reflecting cylinder part of (a). It is. （ａ）は、本発明の変形例にかかる反射筒部の側面図、（ｂ）は、（ａ）の反射筒部の端面図、（ｃ）は、（ａ）の反射筒部の斜視図である。(A) is a side view of the reflecting cylinder part concerning the modification of this invention, (b) is an end view of the reflecting cylinder part of (a), (c) is a perspective view of the reflecting cylinder part of (a). It is. 本発明の変形例に係る光源の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the light source which concerns on the modification of this invention.

以下、図面を参照しつつ本発明に係る光源の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図面は説明用のために作成されたものであり、説明の対象部位を特に強調するように描かれている。そのため、図面における各部材の寸法比率は、必ずしも実際のものとは一致しない。 Hereinafter, preferred embodiments of a light source according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Each drawing is made for the purpose of explanation, and is drawn so as to particularly emphasize the target portion of the explanation. Therefore, the dimensional ratio of each member in the drawings does not necessarily match the actual one.

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。同図に示す光源１は、質量分析装置の光イオン化源等の分析機器用光源や真空除電用光源として使用されるいわゆる重水素ランプである。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a light source according to the first embodiment of the present invention. A light source 1 shown in the figure is a so-called deuterium lamp used as a light source for an analytical instrument such as a photoionization source of a mass spectrometer or a light source for vacuum static elimination.

この光源１は、重水素ガスを放電させて光を発生させる発光部２が収容された略円筒状の発光筒部（第１の筐体）３Ａと、この発光筒部３Ａに連通すると共に発光筒部３Ａの側壁から発光部２の発生させる光の光軸Ｘに沿って突出する略円筒状の導光筒部（第２の筐体）３Ｂとが一体的に接続されたガラス製の密封容器３を備えている。この密封容器３には、重水素ガスが数百Ｐａ程度封入されている。より詳細には、導光筒部３Ｂは、光軸Ｘに沿った方向の一端側が発光筒部３Ａに一体化されて連通しており、他端側は発光部２から発生した光を外部に出射させる出射窓部４によって封止されている。この出射窓部４の材質は、例えば、ＭｇＦ_２（フッ化マグネシウム）、ＬｉＦ（フッ化リチウム）、石英ガラス、サファイアガラス等である。 The light source 1 communicates with the light emitting cylinder part 3A and emits light while communicating with the light emitting cylinder part (first housing) 3A in which a light emitting part 2 for generating light by discharging deuterium gas is housed. A glass seal in which a substantially cylindrical light guide tube portion (second housing) 3B protruding along the optical axis X of light generated by the light emitting portion 2 from the side wall of the tube portion 3A is integrally connected. A container 3 is provided. This sealed container 3 is filled with about several hundred Pa of deuterium gas. More specifically, the light guide tube portion 3B has one end side in the direction along the optical axis X integrated and communicated with the light emitting tube portion 3A, and the other end side communicates light generated from the light emitting portion 2 to the outside. It is sealed by the exit window 4 that emits light. The material of the exit window 4 is, for example, MgF ₂ (magnesium fluoride), LiF (lithium fluoride), quartz glass, sapphire glass, or the like.

発光筒部３Ａに収容されている発光部２は、陰極部５、陽極部６、陽極部６と陰極部５との間に配置された中心部にアパーチャーが形成された放電路制限部７、及びこれらを取り囲んで配置する収容ケース８によって構成されている。この収容ケース８の導光筒部３Ｂ側の面には、発光部２で発生した光を取り出すための矩形状の光通過口８ａが、導光筒部３Ｂの出射窓部４に対向するように形成されると共に、この光通過口８ａを取り囲むように導光筒部３Ｂの側壁に沿って円形状に延びる壁部からなる固定リング（固定部材）８ｂが固定されている。このような発光部２は、陰極部５と陽極部６との間に電圧が印加されると、その間に存在する重水素ガスを電離、放電させて形成したプラズマ状態を放電路制限部７によって絞り込んで高密度のプラズマ状態にすることによって発生した光（紫外光）を、収容ケース８の光通過口８ａから光軸Ｘに沿った方向に向けて出射させる。 The light emitting part 2 accommodated in the light emitting cylinder part 3A includes a cathode part 5, an anode part 6, a discharge path limiting part 7 having an aperture formed in the central part disposed between the anode part 6 and the cathode part 5, And a housing case 8 surrounding and arranging them. On the surface of the housing case 8 on the side of the light guide cylinder part 3B, a rectangular light passage port 8a for taking out light generated in the light emitting part 2 faces the emission window part 4 of the light guide cylinder part 3B. A fixing ring (fixing member) 8b formed of a wall portion extending in a circular shape along the side wall of the light guide tube portion 3B is fixed so as to surround the light passage port 8a. When a voltage is applied between the cathode part 5 and the anode part 6, the light emitting part 2 has a discharge path restriction part 7 that forms a plasma state formed by ionizing and discharging deuterium gas existing between the cathode part 5 and the anode part 6. Light (ultraviolet light) generated by narrowing down into a high-density plasma state is emitted in a direction along the optical axis X from the light passage port 8a of the housing case 8.

なお、上記の発光部２は、発光筒部３Ａの端面に設けられたステム部に立設されたステムピン（図示せず）によって、発光筒部３Ａ内に保持されている。すなわち、この光源１は、光軸Ｘが発光筒部３Ａの管軸に対して交差するサイドオン型の光源である。 The light emitting unit 2 is held in the light emitting tube portion 3A by a stem pin (not shown) provided upright on a stem portion provided on the end surface of the light emitting tube portion 3A. That is, the light source 1 is a side-on type light source in which the optical axis X intersects the tube axis of the light emitting cylinder portion 3A.

このような密封容器３内の出射窓部４と、発光筒部３Ａと導光筒部３Ｂとを接続する部位との間には、略円筒状のアルミニウム製の反射筒部（金属部材）９が挿入固定されている。この反射筒部９は、図２に示すように、アルミニウム製の金属ブロック部材が複数組み合わされて、導光筒部３Ｂの内径よりも小さい外径を有する略円筒状の形状をなしている。 Between the exit window portion 4 in the sealed container 3 and a portion connecting the light emitting tube portion 3A and the light guide tube portion 3B, a substantially cylindrical aluminum reflecting tube portion (metal member) 9 is provided. Is fixed. As shown in FIG. 2, the reflecting cylinder portion 9 is formed in a substantially cylindrical shape having an outer diameter smaller than the inner diameter of the light guiding cylinder portion 3B by combining a plurality of metal block members made of aluminum.

また、反射筒部９自体の内壁面は、反射筒部９の中心軸線に沿って曲面、又は段階的に傾斜角が変化する多段面である反射面９ａとして形成されている。すなわち、この反射面９ａは、出射窓部４の外側の所望の面または点に光を集光できるように、反射筒部９の中心軸方向の両端がテーパー状に形成されている。より具体的には、反射筒部９の長手方向の中心部から発光筒部３Ａ側の端部にかけて反射面９ａで囲まれる空間の径が徐々に小さくなるように、反射面９ａが反射筒部９の中心軸、すなわち、光軸Ｘに対して傾斜して形成されている。また、反射筒部９の長手方向の中心部から出射窓部４側の端部にかけて反射面９ａで囲まれる空間の径が徐々に小さくなるように、反射面９ａが反射筒部９の中心軸に対して傾斜して形成されている。なお、反射面９ａのテーパー状部は、反射筒部９の中心軸方向の両端ではなく、どちらか一方、例えば発光部２側（一端側）のみを前述したようなテーパー状に形成し、出射窓部４側（他端側）は反射面９ａを反射筒部９の中心軸に対して平行に形成しても良い。この反射面９ａは、所望の面または点に光を集光したり発散したりできるように設定されている。このような反射面９ａは、発光部２によって発生した光を正反射可能な鏡面状態に加工されており、例えば、金属ブロック部材を切削加工し、その内壁に、バフ研磨、化学研磨、電解研磨、それらから派生した研磨方法による研磨、又は、それらを複合した研磨方法による研磨を施した後、洗浄処理や不純物ガス成分を除去するための真空処理等を施すことによって形成される。本実施形態においては、反射筒部９は２つの部材を組み合わせて形成されており、このように複数個の金属ブロック部材で反射面９ａが形成される場合には、金属ブロック部材ごとの長さと内径との比（アスペクト比）が小さくできるために、加工整形時に平坦度が出しやすくなる結果、反射面９ａの鏡面度が高くなる。 Further, the inner wall surface of the reflecting cylinder portion 9 itself is formed as a reflecting surface 9a which is a curved surface along the central axis of the reflecting cylinder portion 9 or a multi-step surface whose inclination angle changes stepwise. In other words, the reflecting surface 9 a is tapered at both ends in the central axis direction of the reflecting cylinder portion 9 so that light can be condensed on a desired surface or point outside the emission window portion 4. More specifically, the reflecting surface 9a is formed in the reflecting cylinder portion so that the diameter of the space surrounded by the reflecting surface 9a gradually decreases from the longitudinal center portion of the reflecting tube portion 9 to the end portion on the light emitting tube portion 3A side. 9 is inclined with respect to the central axis of 9, that is, the optical axis X. Further, the reflecting surface 9a is the central axis of the reflecting tube portion 9 so that the diameter of the space surrounded by the reflecting surface 9a gradually decreases from the longitudinal center portion of the reflecting tube portion 9 to the end portion on the exit window portion 4 side. It is formed to be inclined with respect to. In addition, the taper-shaped part of the reflective surface 9a is not the both ends of the central direction of the reflective cylinder part 9, but only one side, for example, the light emission part 2 side (one end side) is formed in the taper shape as mentioned above, and is emitted. On the window part 4 side (the other end side), the reflection surface 9 a may be formed in parallel to the central axis of the reflection cylinder part 9. The reflection surface 9a is set so that light can be condensed or diverged on a desired surface or point. Such a reflective surface 9a is processed into a mirror surface state capable of specularly reflecting light generated by the light emitting unit 2. For example, a metal block member is cut and the inner wall thereof is buffed, chemically polished, or electrolytically polished. These are formed by performing polishing by a polishing method derived from them, or polishing by a polishing method in which they are combined, and then performing a cleaning process or a vacuum process for removing impurity gas components. In the present embodiment, the reflecting cylinder portion 9 is formed by combining two members, and when the reflecting surface 9a is formed by a plurality of metal block members, the length of each metal block member is Since the ratio (aspect ratio) with the inner diameter can be reduced, flatness is easily obtained during processing and shaping, and as a result, the specularity of the reflecting surface 9a is increased.

さらに、反射筒部９の外壁面９ｂの略全面には、高熱放射率の材料を含む熱放射膜１０が形成されている。このような熱放射膜１０の材料としては、酸化アルミニウム等の反射筒部９の材料よりも熱放射率の高いものが用いられる。ここで、熱放射膜１０は、反射筒部９の略全面に形成されているが、反射筒部９の外壁面９ｂの一端側の一部に形成されてもよい。また、熱放射膜１０は、例えば熱放射膜１０を構成する材料を反射筒部９の外壁面９ｂ上に蒸着や塗布等によって積層することで形成されるが、特に本実施形態のように反射筒部９がアルミニウムからなる場合には、反射筒部９の外壁面９ｂを酸化処理することで熱放射膜１０としての酸化アルミニウムの層を形成しても良い。 Furthermore, a heat radiation film 10 containing a material having a high heat emissivity is formed on substantially the entire outer wall surface 9b of the reflecting cylinder portion 9. As a material of such a heat radiation film 10, a material having a higher heat emissivity than that of the material of the reflecting cylinder portion 9 such as aluminum oxide is used. Here, although the heat radiation film 10 is formed on substantially the entire surface of the reflecting cylinder portion 9, it may be formed on a part of one end side of the outer wall surface 9 b of the reflecting cylinder portion 9. The heat radiation film 10 is formed, for example, by laminating the material constituting the heat radiation film 10 on the outer wall surface 9b of the reflecting tube portion 9 by vapor deposition or coating, and is particularly reflective as in the present embodiment. When the tube portion 9 is made of aluminum, an aluminum oxide layer as the heat radiation film 10 may be formed by oxidizing the outer wall surface 9b of the reflecting tube portion 9.

また、反射筒部９の外壁面９ｂの長手方向の他端側の周縁部には、その外壁面９ｂに沿って、段差状の突出部となるように円形状に切り欠かれた切り欠き部１１が形成されている。この切り欠き部１１は、反射筒部９を密封容器３内で位置決めするために設けられる。 In addition, a notch portion that is cut out in a circular shape so as to form a stepped protrusion along the outer wall surface 9b at the peripheral edge portion on the other end side in the longitudinal direction of the outer wall surface 9b of the reflecting cylinder portion 9 11 is formed. This notch portion 11 is provided for positioning the reflecting cylinder portion 9 in the sealed container 3.

このような反射筒部９は、切り欠き部１１が形成された縁部に対して反対側の縁部から、その縁部が発光部２の収容ケース８に当接するまで、導光筒部３Ｂの管軸（光軸Ｘ）に沿って挿入されると共に、切り欠き部１１にばね部材１２が外壁面９ｂに沿って取り付けられた後に、導光筒部３Ｂが出射窓部４によって封止される（図１及び図３）。このとき、反射筒部９は、その外壁面９ｂが導光筒部３Ｂの内壁面１３と離間した状態で収容ケース８の固定リング８ｂの内側に嵌め込まれる（図３）。このばね部材１２は、金属部材、例えば耐熱性の高いステンレスやインコネル材からなる、反射筒部９の位置決め用の部材であり、切り欠き部１１と出射窓部４との間に配置されて、反射筒部９を、光軸Ｘに沿って出射窓部４側から発光部２側に付勢することにより、収容ケース８に押し当てる機能を有する。これにより、反射筒部９は、密封容器３内の出射窓部４と発光部２との間において導光筒部３Ｂと離間し、かつ発光部２に近接した状態で、光軸Ｘに沿った方向および光軸Ｘに直交する方向に位置決めされる。 Such a light reflection cylinder portion 9 is formed from the opposite edge portion to the edge portion where the notch portion 11 is formed until the edge portion comes into contact with the housing case 8 of the light emitting portion 2. And the light guide tube portion 3B is sealed by the exit window portion 4 after the spring member 12 is attached to the cutout portion 11 along the outer wall surface 9b. (FIGS. 1 and 3). At this time, the reflecting cylinder portion 9 is fitted inside the fixing ring 8b of the housing case 8 with the outer wall surface 9b being separated from the inner wall surface 13 of the light guide cylinder portion 3B (FIG. 3). The spring member 12 is a metal member, for example, a member for positioning the reflecting cylinder portion 9 made of stainless steel or Inconel material having high heat resistance, and is disposed between the notch portion 11 and the emission window portion 4. The reflecting cylinder portion 9 has a function of pressing against the housing case 8 by urging the reflecting cylinder portion 9 along the optical axis X from the exit window portion 4 side to the light emitting portion 2 side. Thereby, the reflection cylinder part 9 is separated from the light guide cylinder part 3B between the emission window part 4 and the light emitting part 2 in the sealed container 3 and close to the light emitting part 2 along the optical axis X. And the direction perpendicular to the optical axis X.

以上説明した光源１によれば、発光筒部３Ａ内の発光部２から発せられた光が、発光筒部３Ａに接続された導光筒部３Ｂに挿入された筒状の反射筒部９の内部に導かれることにより、導光筒部３Ｂに設けられた出射窓部４から出射される。ここで、反射筒部９の内壁面が反射面９ａに形成されているので、発光部２から出射された光が反射筒部９の内部の反射面９ａによって全反射されつつ導光筒部３Ｂの一端側から他端側に導かれる結果、発光部２から発せられた光を損失することなく導光筒部３Ｂの出射窓部４まで導くことができる。このとき、反射面９ａの傾斜角を適切に設定することで、出射窓部４の外部における出射光の分布を平行光、発散光、及び収束光にすることもでき、所定の照射面での光強度の均一性を高めることもできる。それに併せて、出射窓部４からの光の取り出し効率を向上させ、出射光の総光量及び照射面上での光量を増加させることができる。また、従来の重水素ランプでは出射窓からの光放射パターンが、その出射窓からの距離に応じて変化し、放射光の弱い抜けの部分が生じやすい傾向にあるが、光源１ではそのような光照射パターンの抜けの部分の発生を低減することができる。また、反射筒部９自体をアルミニウムブロック等の金属部材で構成することで、例えば反射筒部９の内部に金属等からなる反射膜を形成した場合と異なり、温度上昇と低下を繰り返す際の、構成材料の膨張係数の違いから発生する反射面９ａの剥離または脱落等による性能劣化や異物発生を抑制することができ、長寿命化を実現することができる。また、鏡面度の高い反射面の加工が容易になるので、発生した光を効果的に集光することができ、加えて、発生する紫外光が透過することなく、また、紫外光によって劣化することもないので、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 According to the light source 1 described above, the light emitted from the light emitting part 2 in the light emitting cylinder part 3A has the cylindrical reflecting cylinder part 9 inserted into the light guide cylinder part 3B connected to the light emitting cylinder part 3A. By being guided inside, the light is emitted from the emission window portion 4 provided in the light guide tube portion 3B. Here, since the inner wall surface of the reflecting tube portion 9 is formed on the reflecting surface 9a, the light emitted from the light emitting portion 2 is totally reflected by the reflecting surface 9a inside the reflecting tube portion 9, and the light guiding tube portion 3B. As a result of being guided from one end side to the other end side, the light emitted from the light emitting portion 2 can be led to the emission window portion 4 of the light guide tube portion 3B without loss. At this time, by appropriately setting the inclination angle of the reflecting surface 9a, the distribution of the outgoing light outside the outgoing window portion 4 can be parallel light, divergent light, and convergent light. The uniformity of the light intensity can also be improved. At the same time, the light extraction efficiency from the exit window 4 can be improved, and the total amount of emitted light and the amount of light on the irradiation surface can be increased. Further, in the conventional deuterium lamp, the light radiation pattern from the exit window changes depending on the distance from the exit window, and there is a tendency that a weak omission portion of the emitted light tends to occur. It is possible to reduce the occurrence of missing portions of the light irradiation pattern. In addition, by configuring the reflective cylinder portion 9 itself with a metal member such as an aluminum block, for example, unlike when a reflective film made of metal or the like is formed inside the reflective cylindrical portion 9, when the temperature rise and fall are repeated, It is possible to suppress performance deterioration and foreign matter generation due to peeling or dropping off of the reflecting surface 9a, which occurs due to the difference in the expansion coefficient of the constituent materials, and a long life can be realized. In addition, since it is easy to process a reflective surface having a high specularity, the generated light can be collected effectively, and in addition, the generated ultraviolet light is not transmitted and deteriorated by the ultraviolet light. Therefore, the generated light can be extracted more efficiently.

さらに、反射筒部９の外壁面９ｂと、導光筒部３Ｂの内壁面１３とは離間しているので、反射筒部９と導光筒部３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部９の位置ずれや反射筒部９または導光筒部３Ｂの破損を防止することができる。 Further, since the outer wall surface 9b of the reflecting tube portion 9 and the inner wall surface 13 of the light guide tube portion 3B are separated from each other, the reflecting tube is caused by a difference in thermal expansion coefficient between the reflecting tube portion 9 and the light guide tube portion 3B. It is possible to prevent the position shift of the portion 9 and the damage of the reflection tube portion 9 or the light guide tube portion 3B.

また、反射筒部９の反射面９ａの両端は、テーパー状に形成されているので、反射面９ａでの光の反射角が大きくなり、反射回数を低減させることで、出射窓部４からの光の取り出し効率を安定して向上させることができる。 In addition, since both ends of the reflection surface 9a of the reflection cylinder portion 9 are formed in a tapered shape, the reflection angle of light on the reflection surface 9a is increased, and the number of reflections is reduced, thereby reducing the number of reflections from the emission window portion 4. The light extraction efficiency can be stably improved.

また、反射筒部９は、金属部材からなる位置決め部材であるばね部材１２によって付勢されて収容ケース８の固定リング８ｂに嵌め込まれることによって密封容器３内で位置決めされているので、発生する紫外光によって劣化することなく、密封容器３に対する反射筒部９の位置を安定化して、出射窓部４からの光の取り出し効率を保つことができる。ここで、ばね部材１２により収容ケース８に押圧する構造を採用することで、密封容器３に対して反射筒部９を安定して固定することができると共に、反射筒部９の中心軸方向に沿った熱膨張が発生してもばね部材１２によって発光筒部３Ａに対する位置ずれを吸収することができる。 In addition, the reflecting cylinder portion 9 is positioned in the sealed container 3 by being urged by a spring member 12 which is a positioning member made of a metal member and fitted into the fixing ring 8b of the housing case 8, so that the generated ultraviolet rays are generated. Without being deteriorated by light, the position of the reflecting cylinder portion 9 with respect to the sealed container 3 can be stabilized, and the light extraction efficiency from the emission window portion 4 can be maintained. Here, by adopting a structure in which the spring member 12 is pressed against the housing case 8, the reflecting cylinder portion 9 can be stably fixed to the sealed container 3, and in the central axis direction of the reflecting cylinder portion 9. Even if thermal expansion occurs along the line, the spring member 12 can absorb the displacement with respect to the light emitting cylinder portion 3A.

さらに、反射筒部９の外壁面９ｂの略全面に熱放射膜１０が形成されることにより、反射筒部９の内面に周辺や封入ガスよりも低温の領域を形成することができ、その領域に発光筒部３Ａからのスパッタ物等の異物を捕捉して、異物の出射窓部４への拡散や付着及びそれに伴う光透過率の低下を抑制することができる。また、発光筒部３Ａに近い外壁面９ｂの一部に熱放射膜１０を形成した場合には、外壁面９ｂの一端側の熱放射率が外壁面９ｂの他端側の熱放射率よりも大きくなる結果、出射窓部４から遠い位置にスパッタ物が付着しやすくなるため、出射窓部４の汚染が低減される。 Furthermore, by forming the heat radiation film 10 on the substantially entire surface of the outer wall surface 9b of the reflecting cylinder part 9, it is possible to form a region at a lower temperature than the periphery and the enclosed gas on the inner surface of the reflecting cylinder part 9. In addition, foreign matter such as sputtered matter from the light emitting cylinder portion 3A can be captured, and diffusion and adhesion of the foreign matter to the emission window portion 4 and the accompanying decrease in light transmittance can be suppressed. Further, when the heat radiation film 10 is formed on a part of the outer wall surface 9b close to the light emitting cylinder portion 3A, the heat emissivity on one end side of the outer wall surface 9b is higher than the heat emissivity on the other end side of the outer wall surface 9b. As a result of the increase, the sputtered material easily adheres to a position far from the exit window 4, and contamination of the exit window 4 is reduced.

また、このような光源１を光イオン化源としてガスクロマトグラフ質量分析装置（ＧＣ/ＭＳ）や液体クロマトグラフ質量分析装置（ＬＣ/ＭＳ）といった質量分析装置（ＭＳ）に利用すれば、集光性を高めたり光量を大きくすることができるので、光源１の窓部を試料放出口に近づける必要が無くなり、次のデメリットを低減することができる。すなわち、光源内に光学系がない場合、感度向上のために窓位置を試料放出口に近づける必要が生じ、試料温度が高いため、窓材の封着材に悪影響を及ぼしたり、近接できない等のデメリットがある。また、窓位置を試料放出口に近づけた場合、窓材や光源の窓外に近接して設置する光学系が試料や溶剤によって汚染され、測定感度が劣化する。 Further, when such a light source 1 is used as a photoionization source in a mass spectrometer (MS) such as a gas chromatograph mass spectrometer (GC / MS) or a liquid chromatograph mass spectrometer (LC / MS), the light condensing property is improved. Since it can be increased or the amount of light can be increased, it is not necessary to bring the window portion of the light source 1 close to the sample discharge port, and the following demerits can be reduced. In other words, when there is no optical system in the light source, it is necessary to bring the window position closer to the sample discharge port to improve sensitivity, and because the sample temperature is high, the sealing material of the window material is adversely affected or cannot be approached. There are disadvantages. Further, when the window position is brought close to the sample discharge port, the optical system installed near the outside of the window material and the light source window is contaminated by the sample and the solvent, and the measurement sensitivity is deteriorated.

［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態に係る光源の構成を示す断面図、図５（ａ）は、図４の反射筒部の側面図、図５（ｂ）は、図４の反射筒部の正面図である。同図に示す光源１０１は、反射筒部９の位置決め構造が第１実施形態のものと異なる。 [Second Embodiment]
4 is a cross-sectional view showing a configuration of a light source according to the second embodiment of the present invention, FIG. 5A is a side view of the reflecting cylinder portion of FIG. 4, and FIG. 5B is a reflecting cylinder of FIG. It is a front view of a part. The light source 101 shown in the figure is different from that of the first embodiment in the positioning structure of the reflecting cylinder portion 9.

すなわち、光源１０１に内蔵される反射筒部１０９には、その外壁面１０９ｂの出射窓部４側の端部において、位置決め部材としての金属バンド１１２が固定されている。この金属バンド１１２には、バネ性を有する複数の爪部１１２ａが反射筒部１０９の外周に沿って形成されており、金属バンド１１２は、その端部が重ね溶接されることにより外壁面１０９ｂ上に固定されている。このような反射筒部１０９は、導光筒部３Ｂの内壁面１３に沿って密封容器３内に挿入され、金属バンド１１２を除く外壁面１０９ｂが内壁面１３と離間するように固定される。このような構造により、反射筒部１０９は、金属バンド１１２の爪部１１２ａのバネ力により、その端部が収容ケース８の固定リング８ｂに押し当てられ、密封容器３内で光軸Ｘに沿った方向に位置決めされる。それとともに、反射筒部１０９は、金属バンド１１２の爪部１１２ａにより、その外壁面１０９ｂと導光筒部３Ｂの内壁面１３とが一定距離を保って離間された状態で光軸Ｘの垂直な方向にも位置決めされる。また、反射筒１０９の金属バンド１１２装着部に、同バンドの幅に合わせた溝を形成する事で、導光筒部３Ｂの内径を大きくする事なく、金属バンド１１２から導光筒部３Ｂの内壁面１３への距離を大きく取れ、爪部１１２ａの角度を大きくする事が可能となり、爪部１１２ａのバネ力を強める事ができる。 That is, a metal band 112 as a positioning member is fixed to the reflection cylinder portion 109 built in the light source 101 at the end portion of the outer wall surface 109b on the emission window portion 4 side. A plurality of claw portions 112a having spring properties are formed on the metal band 112 along the outer periphery of the reflecting cylinder portion 109, and the end portion of the metal band 112 is overlapped and welded to the outer wall surface 109b. It is fixed to. Such a reflection cylinder part 109 is inserted into the sealed container 3 along the inner wall surface 13 of the light guide cylinder part 3B, and is fixed so that the outer wall surface 109b excluding the metal band 112 is separated from the inner wall surface 13. With such a structure, the reflecting cylinder portion 109 is pressed against the fixing ring 8 b of the housing case 8 by the spring force of the claw portion 112 a of the metal band 112, and along the optical axis X in the sealed container 3. It is positioned in the direction. At the same time, the reflecting tube portion 109 is perpendicular to the optical axis X in a state where the outer wall surface 109b and the inner wall surface 13 of the light guide tube portion 3B are spaced apart from each other by the claw portion 112a of the metal band 112. Also positioned in the direction. In addition, by forming a groove that matches the width of the metal band 112 of the reflection tube 109, the inner diameter of the light guide tube portion 3B can be increased from the metal band 112 to the light guide tube portion 3B. The distance to the inner wall surface 13 can be increased, the angle of the claw portion 112a can be increased, and the spring force of the claw portion 112a can be increased.

このような光源１０１によっても、反射筒部１０９と導光筒部３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部１０９の位置ずれや反射筒部１０９または導光筒部３Ｂの破損を防止することができる。また、反射筒部１０９は、位置決め部材である金属バンド１１２によって付勢されて収容ケース８の固定リング８ｂに嵌め込まれることによって密封容器３内で位置決めされているので、密封容器３に対する反射筒部１０９の位置を安定化して、出射窓部４からの光の取り出し効率を保つことができる。 Also with such a light source 101, the position difference of the reflection cylinder part 109 and the damage of the reflection cylinder part 109 or the light guide cylinder part 3B are prevented due to the difference in thermal expansion coefficient between the reflection cylinder part 109 and the light guide cylinder part 3B. be able to. Further, since the reflecting cylinder portion 109 is positioned in the sealed container 3 by being urged by the metal band 112 as a positioning member and fitted in the fixing ring 8b of the housing case 8, the reflecting cylinder portion with respect to the sealed container 3 is positioned. The position 109 can be stabilized and the light extraction efficiency from the exit window 4 can be maintained.

［第３実施形態］
図６は、本発明の第３実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。同図に示す光源２０１は、本発明をキャピラリ放電管に適用した場合の例である。 [Third Embodiment]
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a configuration of a light source according to the third embodiment of the present invention. A light source 201 shown in the figure is an example when the present invention is applied to a capillary discharge tube.

光源２０１は、発光筒部２０３Ａと導光筒部２０３Ｂとが接続された密封容器２０３を備えている。この発光筒部２０３Ａには、陰極部２０５、陽極部２０６、及び陽極部２０６と陰極部２０５との間に配置されたキャピラリ２０７によって構成された発光部２０２が収容されている。そして、密封容器２０３内には水素（Ｈ_２）、キセノン（Ｘｅ）、アルゴン（Ａｒ）、クリプトン（Ｋｒ）等のガスが封入されている。このような発光部２０２は、陰極部２０５と陽極部２０６との間に電圧が印加されると、その間に存在するガスが電離、放電され、その結果生じた電子がキャピラリ２０７内に収束されてプラズマ状態にされることによって、光軸Ｘに沿って導光筒部２０３Ｂ側に向けて光が出射される。例えば、封入ガスとしてＫｒを、出射窓部４の材料としてＭｇＦ_２を用いた場合には、１１７／１２２ｎｍの波長での発光が可能とされ、封入ガスとしてＡｒを、出射窓部４の材料としてＬｉＦを用いた場合には、１０５ｎｍの波長での発光が可能とされる。 The light source 201 includes a sealed container 203 to which the light emitting tube portion 203A and the light guide tube portion 203B are connected. The light emitting cylinder portion 203A accommodates a light emitting portion 202 configured by a cathode portion 205, an anode portion 206, and a capillary 207 disposed between the anode portion 206 and the cathode portion 205. A gas such as hydrogen (H ₂ ), xenon (Xe), argon (Ar), and krypton (Kr) is sealed in the sealed container 203. In such a light emitting unit 202, when a voltage is applied between the cathode unit 205 and the anode unit 206, the gas existing between them is ionized and discharged, and the resulting electrons are converged in the capillary 207. By being in the plasma state, light is emitted along the optical axis X toward the light guide tube portion 203B side. For example, when Kr is used as the sealed gas and MgF ₂ is used as the material of the exit window 4, it is possible to emit light at a wavelength of 117/122 nm. Ar as the fill gas is used as the material of the exit window 4. When LiF is used, light emission at a wavelength of 105 nm is possible.

この陰極部２０５は、発光筒部２０３Ａと導光筒部２０３Ｂとを隔てる部位に配置された接続部材としての役割も有する。詳細には、陰極部２０５は、発光部２０２で発生した光を取り出すための円形状の光通過口２０８ａが形成され、外壁面９ｂが導光筒部２０３Ｂの内壁面と離間するように挿入された反射筒部９の位置決め用の固定部材となる固定リング部材２０５Ａと、導光筒部２０３Ｂとリング部材２０５Ａとに接合されるリング部材２０５Ｂとの２重構造を成している。なお、陰極部２０５に対して反射筒部９の位置決め用の部材として別部材を取り付けても良い。 The cathode portion 205 also has a role as a connection member disposed at a portion separating the light emitting tube portion 203A and the light guide tube portion 203B. Specifically, the cathode portion 205 is formed with a circular light passage opening 208a for extracting light generated by the light emitting portion 202, and the outer wall surface 9b is inserted so as to be separated from the inner wall surface of the light guide tube portion 203B. In addition, a double ring structure of a fixed ring member 205A serving as a fixing member for positioning the reflecting cylinder portion 9 and a ring member 205B joined to the light guide cylinder portion 203B and the ring member 205A is formed. Note that another member may be attached to the cathode portion 205 as a member for positioning the reflecting cylinder portion 9.

このような光源２０１の密封容器２０３への反射筒部９の組み込み時には、陰極部２０５の固定リング部材２０５Ａ及びリング部材２０５Ｂを、それぞれ、発光筒部２０３Ａ及び導光筒部２０３Ｂに封着させておく。そして、反射筒部９を固定リング部材２０５Ａの段差部に嵌め込むようにしながら、導光筒部２０３Ｂの内壁面と離間するように挿入した後に、固定リング部材２０５Ａ及びリング部材２０５Ｂを重ね合わせて真空溶接して組み上げる。なお、反射筒部９を陰極部２０５に溶接し固定した後に、導光筒部２０３Ｂを陰極部２０５に真空保持可能に接合することで組み上げても良い。 At the time of assembling the reflecting cylinder part 9 into the sealed container 203 of the light source 201, the fixing ring member 205A and the ring member 205B of the cathode part 205 are sealed to the light emitting cylinder part 203A and the light guide cylinder part 203B, respectively. deep. Then, while inserting the reflecting cylinder portion 9 into the stepped portion of the fixing ring member 205A so as to be separated from the inner wall surface of the light guide cylinder portion 203B, the fixing ring member 205A and the ring member 205B are overlapped. Assemble by vacuum welding. In addition, after the reflecting cylinder part 9 is welded and fixed to the cathode part 205, the light guiding cylinder part 203B may be assembled to the cathode part 205 so as to be vacuum-maintainable.

このような光源２０１によっても、反射筒部９と導光筒部２０３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部９の位置ずれや反射筒部９または導光筒部２０３Ｂの破損を防止することができる。また、反射筒部９は、位置決め部材であるばね部材１２によって付勢されて陰極部２０５の固定リング部材２０５Ａに嵌め込まれることによって密封容器２０３内で位置決めされているので、密封容器２０３に対する反射筒部９の位置を安定化して、出射窓部４からの光の取り出し効率を安定して保つことができる。 Even with such a light source 201, the displacement of the reflecting cylinder part 9 and the damage of the reflecting cylinder part 9 or the light guiding cylinder part 203B are prevented by the difference in thermal expansion coefficient between the reflecting cylinder part 9 and the light guiding cylinder part 203B. be able to. In addition, the reflecting cylinder portion 9 is positioned in the sealed container 203 by being urged by the spring member 12 that is a positioning member and fitted into the fixing ring member 205A of the cathode portion 205. The position of the part 9 can be stabilized, and the light extraction efficiency from the exit window part 4 can be kept stable.

また、反射筒部９における、発光筒部２０３Ａに近い一端側の外壁面９ｂに熱放射膜１０が形成されることにより、発光部２０２に近接する反射筒部９の内側に周辺や封入ガスよりも低温の部分を形成することができ、その部分に発光筒部２０３Ａからのスパッタ物等の異物を捕捉して、異物の出射窓部４への拡散及びそれに伴う光透過率の低下を抑制することができる。 Further, by forming the heat radiation film 10 on the outer wall surface 9b on the one end side close to the light emitting tube portion 203A in the reflecting tube portion 9, the inside of the reflecting tube portion 9 close to the light emitting portion 202 is surrounded by the surroundings and the enclosed gas. Can also form a low-temperature portion, and capture foreign matter such as sputtered matter from the light emitting tube portion 203A in that portion to suppress the diffusion of the foreign matter to the exit window portion 4 and the accompanying decrease in light transmittance. be able to.

［第４実施形態］
図７は、本発明の第４実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。同図に示す光源３０１は、本発明を電子励起光源に適用した場合の例である。 [Fourth Embodiment]
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a configuration of a light source according to the fourth embodiment of the present invention. A light source 301 shown in the figure is an example when the present invention is applied to an electronic excitation light source.

光源３０１は、発光筒部３０３Ａと導光筒部３０３Ｂとが接続された密封容器３０３を備えており、その内部が高真空に保持される。この発光筒部３０３Ａには、ＡｌＧａＮ等の結晶薄膜を有する固体発光ターゲット３０５、電子銃部３０６、及び固体発光ターゲット３０５と電子銃部３０６との間に配置された電子レンズ部３０７によって構成された発光部３０２が収容されている。このような発光部３０２は、電子銃部３０６によって形成された電子流を、電子レンズ部３０７によって制御することによって固体発光ターゲット３０５に向けて加速させた後に衝突させる。これにより、発光部３０２は、導光筒部２０３Ｂ側に向けて光軸Ｘに沿った方向に光を発生させることができる。例えば、固体発光ターゲット３０５の結晶薄膜材としてＡｌＧａＮを用いた場合には、２００〜３００ｎｍ程度の波長域での発光が可能とされる。 The light source 301 includes a sealed container 303 to which the light emitting tube portion 303A and the light guide tube portion 303B are connected, and the inside thereof is maintained at a high vacuum. The light emitting cylinder portion 303A includes a solid light emitting target 305 having a crystal thin film such as AlGaN, an electron gun portion 306, and an electron lens portion 307 disposed between the solid light emitting target 305 and the electron gun portion 306. A light emitting unit 302 is accommodated. Such a light emitting unit 302 collides after the electron flow formed by the electron gun unit 306 is accelerated toward the solid light emitting target 305 by being controlled by the electron lens unit 307. Thereby, the light emission part 302 can generate light in the direction along the optical axis X toward the light guide cylinder part 203B side. For example, when AlGaN is used as the crystal thin film material of the solid light emitting target 305, light emission in a wavelength range of about 200 to 300 nm is possible.

密封容器２０３を構成する発光筒部３０３Ａと導光筒部３０３Ｂとは、導電性を有する封止用リング部材３０８によって連結され、封止用リング部材３０８と発光筒部３０３Ａ及び導光筒部３０３Ｂとの接触部分が真空保持可能なように接合されている。この封止用リング部材３０８は、発光部３０２で発生した光を取り出すための円形状の光通過口３０８ａが形成され、外壁面９ｂが導光筒部３０３Ｂの内壁面と離間するように挿入された反射筒部９の位置決め用の固定部材となる固定リング部材３０８Ａと、導光筒部３０３Ｂと固定リング部材３０８Ａとに接合されるリング部材３０８Ｂとの２重構造を成している。なお、封止用リング部材３０８に対して反射筒部９の位置決め用の部材として別部材を取り付けても良い。この封止用リング部材３０８の固定リング部材３０８Ａには、固体発光ターゲット３０５が接触及び固定され、外部から固定リング部材３０８Ａに電位が印加されることによって、固体発光ターゲット３０５の電位が設定される。固体発光ターゲット３０５を固定リング部材３０８Ａに接触及び固定することで、電子入射によって発生した熱を封止用リング部材３０８や反射筒部９から外部に放出することができ、発光効率や装置寿命が向上する。また、別途電極を設けることで固体発光ターゲット３０５の電位が設定されても良い。 The light emitting tube portion 303A and the light guide tube portion 303B constituting the sealed container 203 are connected by a conductive sealing ring member 308, and the sealing ring member 308, the light emitting tube portion 303A, and the light guide tube portion 303B. The contact portion is joined so that it can be kept in vacuum. The sealing ring member 308 is formed with a circular light passage opening 308a for extracting light generated in the light emitting portion 302, and the outer wall surface 9b is inserted so as to be separated from the inner wall surface of the light guide tube portion 303B. In addition, a double ring structure of a fixed ring member 308A serving as a fixing member for positioning the reflecting cylinder portion 9 and a ring member 308B joined to the light guide cylinder portion 303B and the fixed ring member 308A is formed. Note that another member may be attached to the sealing ring member 308 as a member for positioning the reflecting cylinder portion 9. The solid light emitting target 305 is contacted and fixed to the fixed ring member 308A of the sealing ring member 308, and the potential of the solid light emitting target 305 is set by applying a potential to the fixed ring member 308A from the outside. . By contacting and fixing the solid light emitting target 305 to the fixing ring member 308A, the heat generated by the electron incidence can be released to the outside from the sealing ring member 308 and the reflecting cylinder portion 9, and the light emission efficiency and the device life can be improved. improves. Alternatively, the potential of the solid light emitting target 305 may be set by providing an electrode separately.

このような光源３０１によっても、反射筒部９と導光筒部３０３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部９の位置ずれや反射筒部９または導光筒部３０３Ｂの破損を防止することができる。また、反射筒部９は、位置決め部材であるばね部材１２によって付勢されて封止用リング部材３０８の固定リング部材３０８Ａの段差部に嵌め込まれることによって密封容器３０３内で位置決めされているので、密封容器３０３に対する反射筒部９の位置を安定化して、出射窓部４からの光の取り出し効率を安定して保つことができる。 Also with such a light source 301, the position difference of the reflection cylinder part 9 and the damage of the reflection cylinder part 9 or the light guide cylinder part 303B are prevented due to the difference in thermal expansion coefficient between the reflection cylinder part 9 and the light guide cylinder part 303B. be able to. Further, the reflecting cylinder portion 9 is positioned in the sealed container 303 by being urged by the spring member 12 which is a positioning member and fitted into the stepped portion of the fixed ring member 308A of the sealing ring member 308. The position of the reflecting cylinder portion 9 with respect to the sealed container 303 can be stabilized, and the light extraction efficiency from the exit window portion 4 can be kept stable.

［第５実施形態］
図８は、本発明の第５実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。同図に示す光源４０１は、本発明をレーザ励起光源に適用した場合の例である。 [Fifth Embodiment]
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a configuration of a light source according to the fifth embodiment of the present invention. A light source 401 shown in the figure is an example when the present invention is applied to a laser excitation light source.

光源４０１は、発光筒部４０３Ａと導光筒部４０３Ｂとが隔壁を介して封着された密封容器４０３を備えており、その発光筒部４０３Ａの内部に希ガスが封入され、導光筒部４０３Ｂの内部は、不活性ガスが封入されるか、又は真空に保持されている。この発光筒部４０３Ａには、導光筒部４０３Ｂの反対側に入射窓部４０６が封着されており、導光筒部４０３Ｂ側の隔壁には出射窓部４０７が設けられている。この入射窓部４０６及び出射窓部４０７を備える発光筒部４０３Ａ自体が発光部を構成している。すなわち、このような発光筒部４０３Ａの入射窓部４０６に光軸Ｘに沿って図示しないレーザ光源からレーザ光が入射すると、内部の希ガスによって光が励起されて、出射窓部４０７から光軸Ｘに沿ってその光が放射される。例えば、希ガスとしてＸｅを使用し、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの三倍波（３５５ｎｍ）を入射させた場合には、Ｘｅの第三高調波発生法により１１８ｎｍの波長での発光が可能とされる。 The light source 401 includes a sealed container 403 in which a light emitting tube portion 403A and a light guide tube portion 403B are sealed via a partition wall. A rare gas is sealed inside the light emitting tube portion 403A, and the light guide tube portion. The inside of 403B is filled with an inert gas or kept in a vacuum. In this light emitting tube portion 403A, an entrance window portion 406 is sealed on the opposite side of the light guide tube portion 403B, and an exit window portion 407 is provided on the partition wall on the light guide tube portion 403B side. The light emitting cylinder portion 403A itself including the entrance window portion 406 and the exit window portion 407 constitutes a light emitting portion. That is, when laser light from a laser light source (not shown) enters the incident window 406 of the light emitting cylinder 403A along the optical axis X, the light is excited by the internal rare gas, and the optical axis is emitted from the emission window 407. The light is emitted along X. For example, when Xe is used as a rare gas and a third harmonic (355 nm) of an Nd: YAG laser is incident, light can be emitted at a wavelength of 118 nm by the third harmonic generation method of Xe.

発光筒部４０３Ａと導光筒部４０３Ｂとの間の隔壁は、封止用リング部材４０８によって構成され、封止用リング部材４０８と発光筒部４０３Ａ及び導光筒部４０３Ｂとの接触部分が真空保持可能に接合されている。この封止用リング部材４０８は、発光筒部４０３Ａで発生した光を出射窓部４０７を介して取り出すための円形状の光通過口４０８ａが形成され、外壁面９ｂが導光筒部４０３Ｂの内壁面と離間するように挿入された反射筒部９の位置決め用の固定部材となる固定リング部材４０８Ａと、導光筒部４０３Ｂと固定リング部材４０８Ａとに接合されるリング部材４０８Ｂとの２重構造を成している。なお、封止用リング部材４０８に対して反射筒部９の位置決め用の部材として別部材を取り付けても良い。 A partition wall between the light emitting tube portion 403A and the light guide tube portion 403B is configured by a sealing ring member 408, and a contact portion between the sealing ring member 408, the light emitting tube portion 403A, and the light guide tube portion 403B is vacuum. It is joined so that it can be held. The sealing ring member 408 is formed with a circular light passage port 408a for taking out the light generated in the light emitting tube portion 403A through the exit window portion 407, and the outer wall surface 9b is formed in the light guide tube portion 403B. A double structure of a fixing ring member 408A serving as a fixing member for positioning the reflecting cylinder portion 9 inserted so as to be separated from the wall surface, and a ring member 408B joined to the light guide cylinder portion 403B and the fixing ring member 408A. Is made. A separate member may be attached to the sealing ring member 408 as a member for positioning the reflecting cylinder portion 9.

このような光源４０１によっても、反射筒部９と導光筒部４０３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部９の位置ずれや反射筒部９または導光筒部４０３Ｂの破損を防止することができる。また、反射筒部９は、位置決め部材であるばね部材１２によって付勢されて封止用リング部材４０８の固定リング部材４０８Ａの段差部に嵌め込まれることによって密封容器４０３内で位置決めされているので、密封容器４０３に対する反射筒部９の位置を安定化して、出射窓部４からの光の取り出し効率を安定して保つことができる。 Even with such a light source 401, due to the difference in coefficient of thermal expansion between the reflecting tube portion 9 and the light guide tube portion 403B, displacement of the reflecting tube portion 9 and damage to the reflecting tube portion 9 or the light guide tube portion 403B are prevented. be able to. In addition, the reflecting cylinder portion 9 is positioned in the sealed container 403 by being urged by the spring member 12 that is a positioning member and fitted into the stepped portion of the fixed ring member 408A of the sealing ring member 408. The position of the reflecting cylinder portion 9 with respect to the sealed container 403 can be stabilized, and the light extraction efficiency from the exit window portion 4 can be kept stable.

また、光源４０１の構造により、レーザ光励起によって発生した熱を封止用リング部材４０８や反射筒部９から外部に放出することができ、発光効率や装置寿命が向上する。 In addition, the structure of the light source 401 allows heat generated by laser light excitation to be released to the outside from the sealing ring member 408 and the reflecting cylinder portion 9, thereby improving luminous efficiency and device life.

また、発光筒部４０３Ａに出射窓部４０７を設けずに、発光筒部４０３Ａと導光筒部４０３Ｂとを同じガス圧にしてもよい。 Further, the light emitting cylinder 403A and the light guide cylinder 403B may be set to the same gas pressure without providing the emission window 407 in the light emitting cylinder 403A.

［第６実施形態］
図９は、本発明の第６実施形態に係る光源の構成を示す断面図である。同図に示す光源５０１は、本発明を、第５実施形態に比較して、レーザ光の代わりに電子で希ガスを励起して発光させる電子励起ガス光源に適用した場合の例である。 [Sixth Embodiment]
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a configuration of a light source according to the sixth embodiment of the present invention. A light source 501 shown in the figure is an example in which the present invention is applied to an electron excitation gas light source that emits light by exciting a rare gas with electrons instead of laser light as compared with the fifth embodiment.

光源５０１は、発光筒部５０３Ａの両端に導光筒部５０３Ｂと電子発生筒部５０３Ｃとが接続された密封容器５０３を備えている。この発光筒部５０３Ａは、隔壁である封止用リング部材５０８Ｂを介して、その内壁面と反射筒部９の外壁面９ｂとが離間するように反射筒部９が挿入固定された導光筒部５０３Ｂと封着され、隔壁である封止用リング部材５０８Ｃを介して電子発生筒部５０３Ｃと封着されている。そして、発光筒部５０３Ａの内部に希ガスが封入され、導光筒部５０３Ｂの内部は、不活性ガスが封入されるか、又は真空に保持され、電子発生筒部５０３Ｃの内部は真空に保持されている。この封止用リング部材５０８Ｃには、ＳｉやＳｉＮ等の電子透過性を有する材料によって形成される電子透過窓部５０７Ｃが設けられ、封止用リング部材５０８Ｂには出射窓部５０７Ｂが設けられている。なお、封止用リング部材５０８Ｂの構造は、第５実施形態にかかる封止用リング部材４０８の構造と同様である。 The light source 501 includes a sealed container 503 in which a light guide tube portion 503B and an electron generation tube portion 503C are connected to both ends of the light emitting tube portion 503A. The light emitting tube portion 503A is a light guide tube in which the reflecting tube portion 9 is inserted and fixed so that the inner wall surface and the outer wall surface 9b of the reflecting tube portion 9 are separated via a sealing ring member 508B which is a partition wall. It is sealed with the portion 503B and sealed with the electron generating cylinder portion 503C via a sealing ring member 508C which is a partition wall. Then, the rare gas is sealed inside the light emitting tube portion 503A, the inside of the light guide tube portion 503B is filled with inert gas or kept in a vacuum, and the inside of the electron generating tube portion 503C is kept in a vacuum. Has been. The sealing ring member 508C is provided with an electron transmission window portion 507C formed of an electron-permeable material such as Si or SiN, and the sealing ring member 508B is provided with an emission window portion 507B. Yes. The structure of the sealing ring member 508B is the same as the structure of the sealing ring member 408 according to the fifth embodiment.

密封容器５０３の一部を構成する電子発生筒部５０３の内部には、電子銃部５０９及び電子透過窓部５０７Ｃと電子銃部３０６との間に配置された電子レンズ部５１０が収容されている。このような電子発生筒部５０３では、電子銃部５０９によって形成された電子流を、電子レンズ部５１０によって制御することによって電子透過窓部５０７Ｃに向けて光軸Ｘに沿って加速させることができる。そして、発光筒部５０３Ａの内部に光軸Ｘに沿って電子流が入射すると、内部の希ガスによって光が励起されて、出射窓部５０７Ｂから光軸Ｘに沿ってその光が放射されて導光筒部５０３Ｂ内に導かれる。 An electron lens portion 510 disposed between the electron gun portion 509 and the electron transmission window portion 507C and the electron gun portion 306 is accommodated in the electron generating cylinder portion 503 constituting a part of the sealed container 503. . In such an electron generation cylinder portion 503, the electron flow formed by the electron gun portion 509 can be accelerated along the optical axis X toward the electron transmission window portion 507C by being controlled by the electron lens portion 510. . When an electron flow enters the light emitting cylinder portion 503A along the optical axis X, light is excited by the internal rare gas, and the light is emitted from the emission window portion 507B along the optical axis X to be guided. It is guided into the light tube portion 503B.

このような光源５０１によっても、反射筒部９と導光筒部５０３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部９の位置ずれや反射筒部９または導光筒部５０３Ｂの破損を防止することができる。また、反射筒部９は、位置決め部材であるばね部材１２によって付勢されて封止用リング部材５０８Ｂの段差部に嵌め込まれることによって密封容器５０３内で位置決めされているので、密封容器５０３に対する反射筒部９の位置を安定化して、出射窓部４からの光の取り出し効率を安定して保つことができる。 Also with such a light source 501, due to the difference in coefficient of thermal expansion between the reflecting tube portion 9 and the light guide tube portion 503B, the displacement of the reflecting tube portion 9 and the damage to the reflecting tube portion 9 or the light guide tube portion 503B are prevented. be able to. Further, since the reflecting tube portion 9 is positioned in the sealed container 503 by being urged by the spring member 12 as a positioning member and fitted into the stepped portion of the sealing ring member 508B, the reflection tube portion 9 is reflected on the sealed container 503. The position of the tube portion 9 can be stabilized, and the light extraction efficiency from the exit window portion 4 can be kept stable.

また、光源５０１の構造により、電子励起によって発生した熱を封止用リング部材５０８Ｂや反射筒部９から外部に放出することができ、発光効率や装置寿命が向上する。 In addition, the structure of the light source 501 enables heat generated by electron excitation to be released to the outside from the sealing ring member 508B and the reflecting cylinder portion 9, thereby improving luminous efficiency and device life.

なお、発光筒部５０３Ａに出射窓部５０７Ｂを設けずに、発光筒部５０３Ａと導光筒部５０３Ｂとを同じガス圧にしてもよい。 Note that the light emitting tube portion 503A and the light guide tube portion 503B may have the same gas pressure without providing the light emitting tube portion 503A with the emission window portion 507B.

なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、反射筒部９を発光筒部３Ａ，２０３Ａ，３０３Ａ，４０３Ａ，５０３Ａ側に設けられた位置決め用の部材に押し当てることにより固定していたが、レーザ溶接等により位置決め部材に直接固定しても良い。 In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above. For example, in the above-described embodiment, the reflecting cylinder portion 9 is fixed by pressing against the positioning member provided on the light emitting cylinder portions 3A, 203A, 303A, 403A, and 503A side. You may fix directly to a member.

図１０には、本発明の変形例である光源６０１として、反射筒部６０９がレーザ溶接やスポット溶接によって発光部２の収容ケース８に固定された構造を示している。詳細には、反射筒部６０９の外壁面６０９ｂの端部にステンレスリング６１４を固定し、その端部のステンレスリング６１４と収容ケース８の固定リング８ｂとの接触部分をレーザ溶接やスポット溶接によって溶融し互いに固着する。同図に示す光源６０１では、導光筒部６０３Ｂを短くされているが、反射筒部６０９をそれに合わせて設計することで出射光の分布を平行光や拡散光にすることができると共に、照射面上での光強度の均一性を高めることができる。また、光源６０１のように、反射筒部６０９の発光筒部６０３Ａ側の端部に突出部６１５を設け、この突出部６１５を、荷電粒子の流れを阻害しない範囲で放電路制限部７に近くなるように、収容ケース８内に伸ばして配置させてもよい。これにより、出射窓部４からの光量を増加させることができるとともに、反射筒部６０９によるスパッタ物等の異物の捕捉を、発光部２の内部から行うことができ、低温度部の出射窓部４へのスパッタ物の付着をより抑制することができる。 FIG. 10 shows a structure in which a reflecting cylinder portion 609 is fixed to the housing case 8 of the light emitting portion 2 by laser welding or spot welding as a light source 601 which is a modification of the present invention. Specifically, the stainless steel ring 614 is fixed to the end of the outer wall surface 609b of the reflecting cylinder 609, and the contact portion between the stainless steel ring 614 at the end and the fixing ring 8b of the housing case 8 is melted by laser welding or spot welding. And stick to each other. In the light source 601 shown in the figure, the light guide tube portion 603B is shortened, but by designing the reflection tube portion 609 accordingly, the distribution of the emitted light can be made parallel light or diffused light, and irradiation can be performed. The uniformity of light intensity on the surface can be improved. Further, like the light source 601, a projection 615 is provided at the end of the reflecting cylinder 609 on the light emitting cylinder 603A side, and this protrusion 615 is close to the discharge path limiting unit 7 within a range that does not hinder the flow of charged particles. As such, it may be extended and arranged in the housing case 8. As a result, the amount of light from the exit window 4 can be increased, and foreign matter such as spatter can be captured from the inside of the light emitting unit 2 by the reflecting cylinder 609, and the exit window at the low temperature part Adhesion of the sputtered material to 4 can be further suppressed.

また、図６〜図９で示した、第３〜第６実施形態における反射筒部９の固定においても、図１０で示したレーザ溶接やスポット溶接を用いても良い。その際、図１０と同様に、反射筒部９の端部にステンレスリングを固定し、そのステンレスリングと固定部材とを溶接するのが好ましい。 Further, the laser welding and spot welding shown in FIG. 10 may also be used in the fixing of the reflecting cylinder portion 9 in the third to sixth embodiments shown in FIGS. At that time, similarly to FIG. 10, it is preferable to fix a stainless steel ring to the end of the reflecting cylinder portion 9 and weld the stainless steel ring and the fixing member.

また、反射筒部６０９の先端に固定する溶接用の構造体としては、様々な形状のものを採用することができる。 In addition, various structures can be employed as a welding structure to be fixed to the tip of the reflecting cylinder portion 609.

例えば、図１１に示すように、反射筒部６０９の端部６０９ｄの外周にステンレス製のＣ型止め輪等の止め輪７１４を固定し、その止め輪７１４と収容ケース８の反射筒部固定用部材とを溶接することで反射筒部６０９を発光部２に対して固定してもよい。 For example, as shown in FIG. 11, a retaining ring 714 such as a stainless steel C-shaped retaining ring is fixed to the outer periphery of the end portion 609 d of the reflecting cylinder portion 609, and the retaining ring 714 and the reflecting cylinder portion for fixing the housing case 8 are fixed. You may fix the reflection cylinder part 609 with respect to the light emission part 2 by welding a member.

さらに、図１２に示すように、反射筒部６０９の端部６０９ｄの外周部にステンレス製のシート材８１４を帯状に巻き付け、その終端部を重ね合わせて溶接することにより固定してもよい。このシート材８１４の端部９ｄ側には、反射筒部６０９の中心軸に対して垂直に延びる複数のつば部８１４ａが設けられており、このつば部８１４ａと固定用部材とを溶接することで反射筒部６０９を固定することができる。また、つば部８１４ａを設けないでシート材８１４と固定用部材との近接部分を溶接することにより反射筒部６０９を固定してもよい。 Further, as shown in FIG. 12, a stainless steel sheet material 814 may be wound around the outer peripheral portion of the end portion 609d of the reflecting cylinder portion 609 in a belt shape, and the terminal portions may be overlapped and welded. A plurality of flange portions 814a extending perpendicularly to the central axis of the reflection cylinder portion 609 are provided on the end portion 9d side of the sheet material 814, and the flange portions 814a and the fixing member are welded. The reflecting cylinder portion 609 can be fixed. Further, the reflecting tube portion 609 may be fixed by welding the adjacent portion between the sheet material 814 and the fixing member without providing the collar portion 814a.

図１３には、本発明の変形例として、ステム７０３Ｃ、発光筒部７０３Ａ、及び導光筒部７０３Ｂが光軸と同軸上に配置された重水素ランプとしての光源７０１を示す。このような光源７０１では、同一の軸方向からの組上げが可能である。詳細には、反射筒部１０９を、発光部２の固定リング８ｂに固定し一体化した後に、導光筒部７０３Ｂ及び発光筒部７０３Ａが一体化された密封容器７０３内に挿入し、ステム７０３Ｃで密封容器７０３を封止して作製することができる。この反射筒部１０９には、光源６０１の場合と同様に、端部リング６１４が圧入および固定されており、この端部リング６１４と固定リング８ｂとが溶接されることにより、反射筒部１０９が固定されている。同時に、反射筒部１０９には、光源１０１の場合と同様に、その外壁面１０９ｂの出射窓部４側の端部に金属バンド１１２が固定されている。この金属バンド１１２により、導光筒部７０３Ｂと反射筒部１０９との同軸性が高められている。このような固定方法以外に、固定リング８ｂの高さを高くして反射筒部１０９の挿入部分と固定リング８ｂとをネジ加工することによって固定したり、固定リング８ｂにタップ穴を作製して反射筒部１０９を挿入後ビス等で固定する方法であってもよい。 FIG. 13 shows a light source 701 as a deuterium lamp in which a stem 703C, a light emitting tube portion 703A, and a light guide tube portion 703B are arranged coaxially with the optical axis as a modification of the present invention. Such a light source 701 can be assembled from the same axial direction. More specifically, after the reflecting cylinder part 109 is fixed and integrated with the fixing ring 8b of the light emitting part 2, it is inserted into the sealed container 703 in which the light guiding cylinder part 703B and the light emitting cylinder part 703A are integrated, and the stem 703C. Thus, the sealed container 703 can be sealed. As in the case of the light source 601, the end ring 614 is press-fitted and fixed to the reflection tube portion 109, and the end tube 614 and the fixing ring 8 b are welded, whereby the reflection tube portion 109 is formed. It is fixed. At the same time, similarly to the case of the light source 101, a metal band 112 is fixed to the reflecting cylinder portion 109 at the end of the outer wall surface 109b on the exit window portion 4 side. The metal band 112 enhances the coaxiality between the light guide tube portion 703B and the reflection tube portion 109. In addition to such a fixing method, the fixing ring 8b is increased in height to be fixed by screwing the insertion portion of the reflecting cylinder portion 109 and the fixing ring 8b, or a tapped hole is formed in the fixing ring 8b. A method of fixing the reflecting cylinder portion 109 with a screw after insertion may be used.

また、光源１，１０１，２０１では、反射筒部９の外壁面９ｂの一部または全体に熱放射膜１０が形成されているが、逆に、外壁面９ｂの発光筒部３Ａ，２０３Ａ側の端部を除く部分に、反射筒部９の素材よりも熱放射率の低い材料を形成してもよい。これにより、相対的に一端側の放熱性が向上し、熱放射膜１０と同様の効果が期待できる。また、反射筒部９，１０９の一端側を構成する金属ブロック部材の材料を、他端側を構成する金属ブロック部材の材料よりも熱放射率の大きい材料で構成しても良い。また、発光筒部３Ａ，２０３Ａ，３０３Ａ，４０３Ａ，５０３Ａとしては、他の発光形態を有するもの、例えばエキシマランプを使用しても良い。 Further, in the light sources 1, 101, and 201, the heat radiation film 10 is formed on a part or the whole of the outer wall surface 9b of the reflecting tube portion 9, but conversely, on the light emitting tube portions 3A and 203A side of the outer wall surface 9b. A material having a thermal emissivity lower than that of the material of the reflecting cylinder portion 9 may be formed in a portion excluding the end portion. Thereby, the heat dissipation of the one end side improves relatively and the effect similar to the heat radiation film | membrane 10 can be anticipated. Moreover, you may comprise the material of the metal block member which comprises the one end side of the reflection cylinder parts 9 and 109 with a material with a larger heat emissivity than the material of the metal block member which comprises the other end side. Further, as the light emitting tube portions 3A, 203A, 303A, 403A, and 503A, those having other light emission forms such as excimer lamps may be used.

１，１０１，２０１，３０１，４０１，５０１，６０１，７０１…光源、２，２０２，３０２…発光部、３Ａ，２０３Ａ，３０３Ａ，４０３Ａ，５０３Ａ，６０３Ａ，７０３Ａ…発光筒部（第１の筐体）、３Ｂ，２０３Ｂ，３０３Ｂ，４０３Ｂ，５０３Ｂ，６０３Ｂ，７０３Ｂ…導光筒部（第２の筐体）、８ｂ，２０５Ａ，３０８Ａ，４０８Ａ，５０８Ｂ…固定リング部材（位置決め部材、固定部材）、９，１０９，６０９…反射筒部（金属部材）、９ａ，６０９ａ…反射面、９ｂ，１０９ｂ，６０９ｂ…外壁面、１２…ばね部材（位置決め部材）、１３…内壁面、１１２…金属バンド（位置決め部材）。 1, 101, 201, 301, 401, 501, 601, 701... Light source, 2, 202, 302... Light emitting section, 3A, 203A, 303A, 403A, 503A, 603A, 703A. ) 3B, 203B, 303B, 403B, 503B, 603B, 703B... Light guide tube (second housing), 8b, 205A, 308A, 408A, 508B... , 109, 609... Reflection tube portion (metal member), 9a, 609a ... Reflection surface, 9b, 109b, 609b ... Outer wall surface, 12 ... Spring member (positioning member), 13 ... Inner wall surface, 112 ... Metal band (positioning member) ).

Claims

A first housing that houses a light emitting unit that generates light;
A second casing having one end connected to the first casing and guiding the light generated from the light emitting section to an exit window provided on the other end;
The light emitting window portion of the second casing is inserted and fixed between a portion connecting the first casing and the second casing, and an inner wall surface is a reflecting surface that reflects the light. A formed cylindrical metal member;
A light source comprising:

The outer wall surface of the metal member and the inner wall surface of the second housing are separated from each other.
The light source according to claim 1.

The reflective surface of the metal member on the first housing side is formed in a tapered shape.
The light source according to claim 1, wherein the light source is a light source.

A positioning member for positioning the metal member is further provided.
The light source according to claim 1, wherein the light source is a light source.

The positioning member is
A spring member for biasing the metal member from the other end side to the one end side of the second casing;
A fixing member against which the metal member biased by the spring member is pressed,
The light source according to claim 4.

The positioning member is
Provided on a connection member connecting between the first casing and the second casing;
The light source according to claim 4.