JP5479293B2

JP5479293B2 - Deuterium lamp

Info

Publication number: JP5479293B2
Application number: JP2010224852A
Authority: JP
Inventors: 恵樹松浦
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2010-10-04
Filing date: 2010-10-04
Publication date: 2014-04-23
Anticipated expiration: 2030-10-04
Also published as: JP2012079584A

Description

本発明は、内部で放電によって発生させた光を出射する重水素ランプに関する。 The present invention relates to a deuterium lamp that emits light generated by discharge inside.

従来から、光源から効率よく光を放射させるための構造が検討されている。例えば、下記特許文献１に記載の重水素ランプでは、放電容器内に陽極及び陰極を取り巻くように遮蔽囲みを有し、その遮蔽囲みの一部に光反射材を設けたような構造が提案されている。 Conventionally, a structure for efficiently emitting light from a light source has been studied. For example, in the deuterium lamp described in Patent Document 1 below, a structure has been proposed in which a discharge enclosure has a shielding enclosure surrounding an anode and a cathode, and a light reflecting material is provided in a part of the shielding enclosure. ing.

特開平７−６７３７号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-6737 特開２００８−３１１０６８号公報JP 2008-311068 A 特開２０１０−２７２６８号公報JP 2010-27268 A 実開平５−１７９１８号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-17918 特公平４−５７０６６号公報Japanese Examined Patent Publication No. 4-57066

しかしながら上述した従来の重水素ランプでは、陽極及び陰極を含む放電部と光取り出し窓との間における光の損失が発生しやすく、また、発生した光の集光効率も小さいため、光の照射強度を高めるためには、発生した光をより効率よく取り出すことが望まれていた。 However, in the conventional deuterium lamp described above, light loss is likely to occur between the discharge portion including the anode and the cathode and the light extraction window, and the light collection efficiency is small, so the light irradiation intensity is low. In order to increase the efficiency, it has been desired to extract the generated light more efficiently.

そこで、本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、発生した光を効率よく取り出すことが可能な重水素ランプを提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide a deuterium lamp capable of efficiently extracting generated light.

上記課題を解決するため、本発明の重水素ランプは、陰極、陽極、及び放電路制限部を有し、放電によって光を発生させる発光部と、発光部を収容する第１の筐体と、一端側が第１の筐体に連通するように接続されて、発光部から発生した光を、他端側に設けられた出射窓部に導く第２の筐体と、第１の筐体及び第２の筐体に封入された重水素ガスと、一端側が第１の筐体内の発光部に当接し、他端側が第２の筐体内に挿入されており、内壁面に光を反射する反射面が形成された筒状部材と、を備え、筒状部材の反射面の少なくとも一部は、テーパー状に形成されている。 In order to solve the above problems, a deuterium lamp of the present invention has a cathode, an anode, and a discharge path limiting unit, a light emitting unit that generates light by discharge, a first housing that houses the light emitting unit, A second casing that is connected so that one end thereof communicates with the first casing and guides the light generated from the light emitting section to an exit window provided on the other end; the first casing and the first casing; The deuterium gas sealed in the housing 2 and a reflecting surface whose one end abuts against the light emitting part in the first housing and whose other end is inserted in the second housing and reflects light on the inner wall surface And at least a part of the reflection surface of the cylindrical member is formed in a tapered shape.

このような重水素ランプによれば、第１の筐体内の発光部の陰極と陽極との間で生じた放電が放電路制限部によって絞り込まれることによって光が発生し、発光部で発生した光が、第１の筐体に連通する第２の筐体の出射窓部から発光部にかけて挿入された筒状部材の内部に導かれることにより、出射窓部から出射される。ここで、筒状部材の内壁面には反射面が形成されているので、発光部から出射された光が筒状部材の内部の反射面によって反射されつつ第２の筐体の一端側から他端側に導かれる結果、発光部から発せられた光を損失することなく第２の筐体の出射窓部まで導くことができる。併せて、反射面の少なくとも一部はテーパー状に形成されているので、出射窓部の外部の所定位置に光を集光させることができる。その結果、発生した光を効率よく取り出すことができる。 According to such a deuterium lamp, light is generated when the discharge generated between the cathode and the anode of the light emitting unit in the first housing is narrowed by the discharge path limiting unit, and the light generated in the light emitting unit. Is emitted from the emission window portion by being guided to the inside of the cylindrical member inserted from the emission window portion of the second housing communicating with the first housing to the light emitting portion. Here, since the reflection surface is formed on the inner wall surface of the cylindrical member, the light emitted from the light emitting portion is reflected from the reflection surface inside the cylindrical member, and the other side from the one end side of the second casing. As a result of being guided to the end side, the light emitted from the light emitting part can be guided to the emission window part of the second casing without loss. In addition, since at least a part of the reflecting surface is formed in a tapered shape, light can be condensed at a predetermined position outside the emission window. As a result, the generated light can be extracted efficiently.

筒状部材は、金属材料からなることが好適である。このような筒状部材を備えれば、鏡面度の高い反射面の加工が容易になり、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 The cylindrical member is preferably made of a metal material. If such a cylindrical member is provided, it becomes easy to process a reflective surface having a high specularity, and the generated light can be extracted more efficiently.

また、筒状部材の反射面の一端側および他端側がテーパー状に形成されている、ことも好適である。この場合、所望の位置における光の照射強度をさらに高めることができ、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 Moreover, it is also suitable that the one end side and other end side of the reflective surface of a cylindrical member are formed in the taper shape. In this case, the irradiation intensity of light at a desired position can be further increased, and the generated light can be extracted more efficiently.

また、筒状部材を第２の筐体の他端側から一端側に付勢する金属材料からなるばね部材と、ばね部材によって付勢された筒状部材が嵌め込まれ、発光部の開口部を囲むように設けられた固定部材と、をさらに備えることも好適である。かかる構成を採れば、発生する紫外光によって劣化することなく、第１の筐体及び第２の筐体に対して筒状部材を安定して固定することができる。さらに、筒状部材が発光部の固定部材に嵌め込まれるので、発光部からの光が確実に筒状部材の内部に導かれることになり、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 Further, a spring member made of a metal material that urges the cylindrical member from the other end side to the one end side of the second housing and a cylindrical member urged by the spring member are fitted, and the opening of the light emitting unit is It is also preferable to further include a fixing member provided so as to surround. By adopting such a configuration, the cylindrical member can be stably fixed to the first casing and the second casing without being deteriorated by the generated ultraviolet light. Furthermore, since the cylindrical member is fitted into the fixing member of the light emitting unit, the light from the light emitting unit is reliably guided to the inside of the cylindrical member, and the generated light can be taken out more efficiently.

さらに、発光部には、筒状部材の端部が挿入される穴部が形成されている、ことも好適である。かかる穴部を備えれば、筒状部材が発光部の内部にさらに接近して配置されるので、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 Furthermore, it is also preferable that the light emitting portion is formed with a hole portion into which the end portion of the cylindrical member is inserted. If such a hole is provided, the cylindrical member is arranged closer to the inside of the light emitting part, so that the generated light can be taken out more efficiently.

またさらに、筒状部材の一端側の側面には、反射面に向けて貫通する開口部が形成されている、ことも好適である。こうすれば、発光部で生じたスパッタ物を筒状部材の外部に放出することができ、筒状部材の反射面や出射窓部へのスパッタ物の付着を抑制することができる。その結果、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 Furthermore, it is also preferable that an opening that penetrates toward the reflecting surface is formed on the side surface on one end side of the cylindrical member. If it carries out like this, the sputter | spatter generated in the light emission part can be discharge | released to the exterior of a cylindrical member, and adhesion of the sputter | spatter to the reflective surface of a cylindrical member and an emission window part can be suppressed. As a result, the generated light can be extracted more efficiently.

また、筒状部材の外壁面は、筒状部材の材料よりも熱放射率が大きい材料からなる、ことも好適である。かかる構成を採れば、筒状部材がより放熱されやすく、出射窓部におけるスパッタ物の付着をさらに抑制することができ、発生した光をより効率よく取り出すことができる。さらに、筒状部材の外壁面の略全面に、筒状部材の材料よりも熱放射率の大きい材料を含む熱放射膜が形成されていてもよく、この場合、容易に筒状部材の外壁面の熱放射率を高めることができ、筒状部材がさらに放熱されやすく、出射窓部におけるスパッタ物の付着をさらに抑制することができ、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 It is also preferable that the outer wall surface of the cylindrical member is made of a material having a higher thermal emissivity than the material of the cylindrical member. By adopting such a configuration, the cylindrical member is more easily radiated, and the spatter can be further prevented from adhering to the exit window, and the generated light can be extracted more efficiently. Further, a heat radiation film containing a material having a higher heat emissivity than the material of the cylindrical member may be formed on substantially the entire outer wall surface of the cylindrical member. In this case, the outer wall surface of the cylindrical member can be easily formed. The thermal emissivity of the cylindrical member can be increased, the cylindrical member can be more easily dissipated, the adhesion of the sputtered material at the exit window can be further suppressed, and the generated light can be taken out more efficiently.

また、筒状部材の一端側の熱放射率は、筒状部材の他端側の熱放射率よりも大きい、ことも好適である。かかる構成を採れば、より発光部に近い部分においてスパッタ物を捕捉することができるので、筒状部材における反射面の大部分、及び出射窓部におけるスパッタ物の付着をさらに抑制することができ、発生した光をより効率よく取り出すことができる。さらに、筒状部材の一端側の外壁面には、筒状部材の他端側の外壁面の材料よりも熱放射率の大きい材料を含む熱放射膜が形成されていてもよく、この場合、容易に一端側の外壁面の熱放射率を他端側の外壁面の熱放射率よりも大きくすることができ、より発光部に近い部分においてスパッタ物を捕捉することができるので、筒状部材における反射面の大部分、及び出射窓部におけるスパッタ物の付着をさらに抑制することができ、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 It is also preferable that the thermal emissivity on one end side of the cylindrical member is larger than the thermal emissivity on the other end side of the cylindrical member. By adopting such a configuration, it is possible to capture the spatter in a portion closer to the light emitting portion, so it is possible to further suppress the most part of the reflection surface in the cylindrical member, and the adhesion of the spatter in the exit window portion, The generated light can be extracted more efficiently. Further, the outer wall surface on one end side of the tubular member may be formed with a heat radiation film containing a material having a higher heat emissivity than the material of the outer wall surface on the other end side of the tubular member. The thermal emissivity of the outer wall surface on the one end side can be easily made larger than the thermal emissivity of the outer wall surface on the other end side, and the sputtered material can be captured at a portion closer to the light emitting part. It is possible to further suppress the adhesion of the sputtered material at most of the reflection surface and at the exit window, and to extract the generated light more efficiently.

本発明によれば、発生した光を効率よく取り出すことができる。 According to the present invention, the generated light can be extracted efficiently.

本発明の第１実施形態に係る重水素ランプの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the deuterium lamp which concerns on 1st Embodiment of this invention. （ａ）は、図１の反射筒部の断面図、（ｂ）は、図１の反射筒部の端面図である。(A) is sectional drawing of the reflective cylinder part of FIG. 1, (b) is an end elevation of the reflective cylinder part of FIG. 図１の重水素ランプにおける反射筒部の組み込み状態を示す側面図である。It is a side view which shows the incorporating state of the reflection cylinder part in the deuterium lamp of FIG. 図１の重水素ランプにおける発光中心からの様々な光出射方向の光成分の光路を示す図である。It is a figure which shows the optical path of the light component of the various light emission directions from the light emission center in the deuterium lamp of FIG. 本発明の第２実施形態に係る重水素ランプの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the deuterium lamp which concerns on 2nd Embodiment of this invention. （ａ）は、図５の反射筒部の側面図、（ｂ）は、図５の反射筒部の端面図である。(A) is a side view of the reflection cylinder part of FIG. 5, (b) is an end view of the reflection cylinder part of FIG. 本発明の第３実施形態に係る重水素ランプの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the deuterium lamp which concerns on 3rd Embodiment of this invention. （ａ）は、図７の反射筒部の側面図、（ｂ）は、図７の反射筒部の端面図、（ｃ）は、図７の反射筒部が収容ケースに固定された状態を示す斜視図である。(A) is a side view of the reflecting cylinder part of FIG. 7, (b) is an end view of the reflecting cylinder part of FIG. 7, and (c) is a state in which the reflecting cylinder part of FIG. It is a perspective view shown. 本発明の変形例に係る重水素ランプの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the deuterium lamp which concerns on the modification of this invention. （ａ）は、本発明の変形例にかかる反射筒部の側面図、（ｂ）は、（ａ）の反射筒部の端面図、（ｃ）は、（ａ）の反射筒部の斜視図である。(A) is a side view of the reflecting cylinder part concerning the modification of this invention, (b) is an end view of the reflecting cylinder part of (a), (c) is a perspective view of the reflecting cylinder part of (a). It is. （ａ）は、本発明の変形例にかかる反射筒部の側面図、（ｂ）は、（ａ）の反射筒部の端面図、（ｃ）は、（ａ）の反射筒部の斜視図である。(A) is a side view of the reflecting cylinder part concerning the modification of this invention, (b) is an end view of the reflecting cylinder part of (a), (c) is a perspective view of the reflecting cylinder part of (a). It is. 本発明の変形例に係る重水素ランプの構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the deuterium lamp which concerns on the modification of this invention. 本発明の変形例に係る重水素ランプの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the deuterium lamp which concerns on the modification of this invention. （ａ）は、図１３の反射筒部の断面図、（ｂ）は、図１３の反射筒部の端面図である。(A) is sectional drawing of the reflective cylinder part of FIG. 13, (b) is an end elevation of the reflective cylinder part of FIG. 図１３の重水素ランプにおける反射筒部の組み込み状態を示す側面図である。FIG. 14 is a side view showing an assembled state of the reflecting cylinder portion in the deuterium lamp of FIG. 13. 本発明の比較例にかかる重水素ランプにおける発光中心からの様々な光出射方向の光成分の光路を示す図である。It is a figure which shows the optical path of the light component of the various light emission directions from the light emission center in the deuterium lamp concerning the comparative example of this invention.

以下、図面を参照しつつ本発明に係る重水素ランプの好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図面は説明用のために作成されたものであり、説明の対象部位を特に強調するように描かれている。そのため、図面における各部材の寸法比率は、必ずしも実際のものとは一致しない。 Hereinafter, preferred embodiments of a deuterium lamp according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the description of the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. Each drawing is made for the purpose of explanation, and is drawn so as to particularly emphasize the target portion of the explanation. Therefore, the dimensional ratio of each member in the drawings does not necessarily match the actual one.

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る重水素ランプの構成を示す断面図である。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a deuterium lamp according to the first embodiment of the present invention.

この重水素ランプ１は、重水素ガスを放電させて光を発生させる発光部２が収容された略円筒状の発光筒部（第１の筐体）３Ａと、この発光筒部３Ａに連通すると共に発光筒部３Ａの側壁から発光部２の発生させる光の光軸Ｘに沿って突出する略円筒状の導光筒部（第２の筐体）３Ｂとが一体的に接続されたガラス製の密封容器３を備えている。この密封容器３には、重水素ガスが数百Ｐａ程度封入されている。より詳細には、導光筒部３Ｂは、光軸Ｘに沿った方向の一端側が発光筒部３Ａに一体化されて連通しており、他端側は発光部２から発生した光を外部に出射させる出射窓部４によって封止されている。この出射窓部４の材質は、例えば、ＭｇＦ_２（フッ化マグネシウム）、ＬｉＦ（フッ化リチウム）、石英ガラス、サファイアガラス等である。 The deuterium lamp 1 communicates with the light emitting tube portion 3A and a substantially cylindrical light emitting tube portion (first housing) 3A in which a light emitting portion 2 that discharges deuterium gas to generate light is accommodated. In addition, a substantially cylindrical light guide tube portion (second housing) 3B that protrudes along the optical axis X of the light generated by the light emitting portion 2 from the side wall of the light emitting tube portion 3A is integrally made of glass. The sealed container 3 is provided. This sealed container 3 is filled with about several hundred Pa of deuterium gas. More specifically, the light guide tube portion 3B has one end side in the direction along the optical axis X integrated and communicated with the light emitting tube portion 3A, and the other end side communicates light generated from the light emitting portion 2 to the outside. It is sealed by the exit window 4 that emits light. The material of the exit window 4 is, for example, MgF ₂ (magnesium fluoride), LiF (lithium fluoride), quartz glass, sapphire glass, or the like.

発光筒部３Ａに収容されている発光部２は、陰極５、陽極６、陽極６と陰極５との間に配置された中心部に導電性の高融点金属で作製され放電路を制限するアパーチャーが形成された放電路制限部７、及びこれらを取り囲んで配置する収容ケース８によって構成されている。この収容ケース８の導光筒部３Ｂ側の面には、発光部２で発生した光を取り出すための矩形形状の光通過口（開口部）８ａが、導光筒部３Ｂの出射窓部４に対向するように形成されると共に、この光通過口８ａを取り囲むように導光筒部３Ｂの側壁に沿って円形状に延びる壁部からなる固定リング（固定部材）８ｂが固定されている。このような発光部２は、陰極５と陽極６との間に電圧が印加されると、その間に存在する重水素ガスを電離、放電させて形成したプラズマ状態を放電路制限部７によって絞り込んで高密度のプラズマ状態にすることによって発生した光（紫外光）を、収容ケース８の光通過口８ａから光軸Ｘに沿った方向に向けて出射させる。 The light emitting part 2 accommodated in the light emitting cylinder part 3A is made of a conductive refractory metal at the center part disposed between the cathode 5, the anode 6, and the anode 6 and the cathode 5, and an aperture for limiting the discharge path. The discharge path limiting portion 7 is formed, and the housing case 8 is disposed so as to surround them. A rectangular light passage opening (opening) 8a for taking out the light generated in the light emitting section 2 is formed on the surface of the housing case 8 on the light guide cylinder section 3B side, and the emission window section 4 of the light guide cylinder section 3B. A fixing ring (fixing member) 8b formed of a wall portion extending in a circular shape along the side wall of the light guide tube portion 3B is fixed so as to surround the light passage port 8a. When a voltage is applied between the cathode 5 and the anode 6, such a light emitting unit 2 uses the discharge path limiting unit 7 to narrow down the plasma state formed by ionizing and discharging the deuterium gas existing between the cathode 5 and the anode 6. Light (ultraviolet light) generated by making a high-density plasma state is emitted in a direction along the optical axis X from the light passage port 8 a of the housing case 8.

なお、上記の発光部２は、発光筒部３Ａの端面に設けられたステム部に立設されたステムピン（図示せず）によって、発光筒部３Ａ内に保持されている。すなわち、この重水素ランプ１は、光軸Ｘが発光筒部３Ａの管軸に対して交差するサイドオン型の重水素ランプである。 The light emitting unit 2 is held in the light emitting tube portion 3A by a stem pin (not shown) provided upright on a stem portion provided on the end surface of the light emitting tube portion 3A. That is, the deuterium lamp 1 is a side-on type deuterium lamp in which the optical axis X intersects the tube axis of the light emitting tube portion 3A.

このような密封容器３内の出射窓部４と、発光筒部３Ａと導光筒部３Ｂとを接続する部位との間には、略円筒状の反射筒部（筒状部材）９が挿入固定されている。この反射筒部９は、図２に示すように、アルミニウム製の金属ブロック部材が複数組み合わされて、導光筒部３Ｂの内径よりも小さい外径を有する略円筒状の形状をなしている。 Between the exit window portion 4 in the sealed container 3 and a portion connecting the light emitting tube portion 3A and the light guide tube portion 3B, a substantially cylindrical reflecting tube portion (tubular member) 9 is inserted. It is fixed. As shown in FIG. 2, the reflecting cylinder portion 9 is formed in a substantially cylindrical shape having an outer diameter smaller than the inner diameter of the light guiding cylinder portion 3B by combining a plurality of metal block members made of aluminum.

この反射筒部９自体の内壁面は、反射筒部９の中心軸線に沿って曲面、又は段階的に傾斜角が変化する多段面である反射面９ａとして形成されている。すなわち、この反射面９ａは、出射窓部４の外側の所望の面または点に光を集光できるように、反射筒部９の中心軸方向の両端がテーパー状に形成されている。より具体的には、反射筒部９の長手方向の中心部から発光筒部３Ａ側の端部にかけて反射面９ａで囲まれる空間の径が徐々に小さくなるように、反射面９ａが反射筒部９の中心軸、すなわち、光軸Ｘに対して傾斜して形成されている。また、反射筒部９の長手方向の中心部から出射窓部４側の端部にかけて反射面９ａで囲まれる空間の径が徐々に小さくなるように、反射面９ａが反射筒部９の中心軸に対して傾斜して形成されている。ここで、反射面９ａは、発光部２の放電路制限部７のアパーチャーの中心に位置する発光中心Ｃ_０と反射面９ａの発光部２側の端部とを結ぶ線Ｌに比較して、反射面９ａの光軸Ｘに対する傾斜角が小さくなるように設定されている。例えば、線Ｌの光軸Ｘに対する傾斜角が１０〜３０度に対して、発光中心Ｃ_０側に最も近い段の反射面９ａの傾斜角が２〜１５度になるように設定される。なお、反射面９ａのテーパー状部は、反射筒部９の中心軸方向の両端ではなく、どちらか一方、例えば発光部２側（一端側）のみを前述したようなテーパー状に形成し、出射窓部４側（他端側）は反射面９ａを反射筒部９の中心軸に対して平行に形成しても良い。 The inner wall surface of the reflecting cylinder portion 9 itself is formed as a reflecting surface 9a which is a curved surface along the central axis of the reflecting cylinder portion 9 or a multistage surface whose inclination angle changes stepwise. In other words, the reflecting surface 9 a is tapered at both ends in the central axis direction of the reflecting cylinder portion 9 so that light can be condensed on a desired surface or point outside the emission window portion 4. More specifically, the reflecting surface 9a is formed in the reflecting cylinder portion so that the diameter of the space surrounded by the reflecting surface 9a gradually decreases from the longitudinal center portion of the reflecting tube portion 9 to the end portion on the light emitting tube portion 3A side. 9 is inclined with respect to the central axis of 9, that is, the optical axis X. Further, the reflecting surface 9a is the central axis of the reflecting tube portion 9 so that the diameter of the space surrounded by the reflecting surface 9a gradually decreases from the longitudinal center portion of the reflecting tube portion 9 to the end portion on the exit window portion 4 side. It is formed to be inclined with respect to. Here, the reflecting surface 9a, compared to the line L connecting the ends of the light emitting portion 2 side of the luminescent center C ₀ and the reflective surface 9a is located in the center of the aperture of the discharge path limiting portion 7 of the light emitting portion 2, The angle of inclination of the reflecting surface 9a with respect to the optical axis X is set to be small. For example, the inclination angle with respect to the optical axis X of the line L is against 10-30 degrees, the inclination angle of the reflection surface 9a of the nearest stage to the luminescent center C ₀ side is set to be 2 to 15 degrees. In addition, the taper-shaped part of the reflective surface 9a is not the both ends of the central direction of the reflective cylinder part 9, but only one side, for example, the light emission part 2 side (one end side) is formed in the taper shape as mentioned above, and is emitted. On the window part 4 side (the other end side), the reflection surface 9 a may be formed in parallel to the central axis of the reflection cylinder part 9.

このような反射面９ａは、発光部２によって発生した光を正反射可能な鏡面状態に加工されており、例えば、金属ブロック部材を切削加工し、その内壁に、バフ研磨、化学研磨、電解研磨、それらから派生した研磨方法による研磨、又は、それらを複合した研磨方法による研磨を施した後、洗浄処理や不純物ガス成分を除去するための真空処理等を施すことによって形成される。本実施形態においては、反射筒部９は２つの部材を組み合わせて形成されており、このように複数個の金属ブロック部材で反射面９ａが形成される場合には、金属ブロック部材ごとの反射面９ａの長さと内径との比（アスペクト比）が小さくできるために、加工整形時に平坦度が出しやすくなる結果、反射面９ａの鏡面度が高くなる。 Such a reflective surface 9a is processed into a mirror surface state capable of specularly reflecting light generated by the light emitting unit 2. For example, a metal block member is cut and the inner wall thereof is buffed, chemically polished, or electrolytically polished. These are formed by performing polishing by a polishing method derived from them, or polishing by a polishing method in which they are combined, and then performing a cleaning process or a vacuum process for removing impurity gas components. In the present embodiment, the reflecting cylinder portion 9 is formed by combining two members, and when the reflecting surface 9a is formed by a plurality of metal block members as described above, the reflecting surface for each metal block member Since the ratio (aspect ratio) between the length and the inner diameter of 9a can be reduced, flatness is easily obtained at the time of machining and shaping. As a result, the mirror surface of the reflecting surface 9a is increased.

さらに、反射筒部９の外壁面９ｂの略全面には、高熱放射率の材料を含む熱放射膜１０が形成されている。このような熱放射膜１０の材料としては、酸化アルミニウム等の反射筒部９の材料よりも熱放射率の高いものが用いられる。また、熱放射膜１０は、例えば熱放射膜１０を構成する材料を反射筒部９の外壁面９ｂ上に蒸着や塗布等によって積層することで形成されるが、特に本実施形態のように反射筒部９がアルミニウムからなる場合には、反射筒部９の外壁面９ｂを酸化処理することで熱放射膜１０としての酸化アルミニウムの層を形成しても良い。 Furthermore, a heat radiation film 10 containing a material having a high heat emissivity is formed on substantially the entire outer wall surface 9b of the reflecting cylinder portion 9. As a material of such a heat radiation film 10, a material having a higher heat emissivity than that of the material of the reflecting cylinder portion 9 such as aluminum oxide is used. The heat radiation film 10 is formed, for example, by laminating the material constituting the heat radiation film 10 on the outer wall surface 9b of the reflecting tube portion 9 by vapor deposition or coating, and is particularly reflective as in the present embodiment. When the tube portion 9 is made of aluminum, an aluminum oxide layer as the heat radiation film 10 may be formed by oxidizing the outer wall surface 9b of the reflecting tube portion 9.

また、反射筒部９の外壁面９ｂの長手方向の他端側の周縁部には、その外壁面９ｂに沿って、段差状の突出部となるように円形状に切り欠かれた切り欠き部１１が形成されている。この切り欠き部１１は、反射筒部９を密封容器３内で位置決めするために設けられる。 In addition, a notch portion that is cut out in a circular shape so as to form a stepped protrusion along the outer wall surface 9b at the peripheral edge portion on the other end side in the longitudinal direction of the outer wall surface 9b of the reflecting cylinder portion 9 11 is formed. This notch portion 11 is provided for positioning the reflecting cylinder portion 9 in the sealed container 3.

このような反射筒部９は、一端側の端部９ｄが発光部２の収容ケース８に当接するまで、縁部９ｄ側から導光筒部３Ｂの管軸（光軸Ｘ）に沿って挿入されると共に、切り欠き部１１にばね部材１２が外壁面９ｂに沿って取り付けられた後に、導光筒部３Ｂの他端側が出射窓部４によって封止される（図１及び図３）。このとき、反射筒部９は、その外壁面９ｂが導光筒部３Ｂの内壁面１３と離間した状態で収容ケース８の固定リング８ｂの内側に嵌め込まれる（図３）。このばね部材１２は、金属部材、例えば、耐熱性の高いステンレスやインコネル材からなる、反射筒部９の位置決め用の部材であり、切り欠き部１１と出射窓部４との間に配置されて、反射筒部９を、光軸Ｘに沿って出射窓部４側から発光部２側に付勢することにより、収容ケース８に押し当てる機能を有する。これにより、反射筒部９は、密封容器３内の出射窓部４と発光部２との間において、一端側の端部９ｄが発光部２の収容ケース８に当接し、かつ、他端側が導光筒部３Ｂに挿入されて出射窓部４に接近した状態で、位置決めされる。 Such a reflection tube portion 9 is inserted along the tube axis (optical axis X) of the light guide tube portion 3B from the edge portion 9d side until the end portion 9d on one end side contacts the housing case 8 of the light emitting portion 2. At the same time, after the spring member 12 is attached to the cutout portion 11 along the outer wall surface 9b, the other end side of the light guide tube portion 3B is sealed by the emission window portion 4 (FIGS. 1 and 3). At this time, the reflecting cylinder portion 9 is fitted inside the fixing ring 8b of the housing case 8 with the outer wall surface 9b being separated from the inner wall surface 13 of the light guide cylinder portion 3B (FIG. 3). The spring member 12 is a metal member, for example, a member for positioning the reflecting cylinder portion 9 made of stainless steel or Inconel material having high heat resistance, and is disposed between the notch portion 11 and the emission window portion 4. The reflecting cylinder portion 9 has a function of pressing against the housing case 8 by urging the reflecting cylinder portion 9 along the optical axis X from the exit window portion 4 side to the light emitting portion 2 side. As a result, the reflecting cylinder portion 9 has an end portion 9d on one end side in contact with the housing case 8 of the light emitting portion 2 and the other end side between the emission window portion 4 and the light emitting portion 2 in the sealed container 3. Positioning is performed while being inserted into the light guide tube portion 3B and approaching the exit window portion 4.

以上説明した重水素ランプ１によれば、発光筒部３Ａ内の発光部２の陰極５と陽極６との間で生じた放電が放電路制限部７によって絞り込まれることによって光が発生し、発光部２で発生した光が、発光筒部３Ａに連通する導光筒部３Ｂの出射窓部４から発光部２にかけて挿入された反射筒部９の内部に導かれることにより、出射窓部４から出射される。ここで、反射筒部９の内壁面には反射面９ａが形成されているので、発光部２から出射された光が反射筒部９の内部の反射面９ａによって反射されつつ導光筒部３Ｂの一端側から他端側に導かれる結果、発光部２から発せられた光を損失することなく導光筒部３Ｂの出射窓部４まで導くことができる。併せて、反射面９ａの両端側はテーパー状に形成されているので、出射窓部４の外部の所定位置に光を集光させることができる。さらに、出射窓部４からの光の取り出し効率を向上させ、出射光の総光量及び照射面上での光量を増加させることができる。また、従来の重水素ランプでは出射窓からの光放射パターンが、その出射窓からの距離に応じて変化し、放射光の弱い抜けの部分が生じやすい傾向にあるが、重水素ランプ１ではそのような光照射パターンの抜けの部分の発生を低減することができる。その結果、発生した光を効率よく取り出すことができる。 According to the deuterium lamp 1 described above, the discharge generated between the cathode 5 and the anode 6 of the light emitting section 2 in the light emitting cylinder section 3A is narrowed down by the discharge path limiting section 7 to generate light and emit light. The light generated in the section 2 is guided from the exit window section 4 by being guided into the reflection cylinder section 9 inserted from the exit window section 4 of the light guide cylinder section 3B communicating with the light emitting cylinder section 3A to the light emitting section 2. Emitted. Here, since the reflection surface 9a is formed on the inner wall surface of the reflection tube portion 9, the light guide tube portion 3B is reflected while the light emitted from the light emitting portion 2 is reflected by the reflection surface 9a inside the reflection tube portion 9. As a result of being guided from one end side to the other end side, the light emitted from the light emitting portion 2 can be led to the emission window portion 4 of the light guide tube portion 3B without loss. In addition, since both end sides of the reflecting surface 9a are formed in a tapered shape, the light can be condensed at a predetermined position outside the emission window portion 4. Furthermore, the light extraction efficiency from the exit window 4 can be improved, and the total amount of emitted light and the amount of light on the irradiated surface can be increased. Further, in the conventional deuterium lamp, the light radiation pattern from the exit window changes according to the distance from the exit window, and there is a tendency that a weak omission part of the emitted light tends to occur. Generation | occurrence | production of the missing part of such a light irradiation pattern can be reduced. As a result, the generated light can be extracted efficiently.

図４は、重水素ランプ１における発光中心Ｃ_０からの様々な光出射方向の光成分の光路を示す図であり、図１７は、重水素ランプ１から反射筒部９を取り除いた重水素ランプ９０１における発光中心Ｃ_０からの様々な光出射方向の光成分の光路を示す図である。 FIG. 4 is a diagram showing optical paths of light components in various light emission directions from the emission center C ₀ in the deuterium lamp 1, and FIG. 17 is a deuterium lamp in which the reflecting cylinder portion 9 is removed from the deuterium lamp 1. FIG. 9 is a diagram illustrating optical paths of light components in various light emission directions from the light emission center C _{0 at} 901.

図１７が示すように、光軸Ｘに対して放射角が大きい光成分Ｌ_Ａは重水素ランプ９０１では全反射することなく密封容器３を透過もしくは吸収されてしまう。これに対して、図４に示すように重水素ランプ１では、このような光成分Ｌ_Ａも反射面９ａで全反射させることにより前方照射成分として機能させるため照射光量が多くなる。さらに、発光中心Ｃ_０側の反射面９ａがテーパー状にされているために、反射光が発散成分となることなく出射窓部４から所望位置周辺に集光させることができる。 As shown in FIG. 17, the light component L _A radiation angle is greater with respect to the optical axis X it would be transmitted or absorbed sealed container 3 without being totally reflected at the deuterium lamp 901. In contrast, in the deuterium lamp 1 as shown in FIG. 4, the irradiation light quantity to function as the forward emission component by total reflection in such a light component L _A also reflecting surface 9a increases. Furthermore, since the light emission center C ₀ side of the reflecting surface 9a is tapered, can be reflected light is focused around a desired position from the exit window 4 without a divergent component.

また、重水素ランプ９０１では密封容器３によって反射されるが発散光となってしまう光成分Ｌ_Ｂ，Ｌ_Ｄに関しても、重水素ランプ１では所望位置周辺に集光することができる。さらに、重水素ランプ１の出射窓部４側の反射面９ａがテーパー状にされているために、光軸Ｘに対して放射角が小さいために重水素ランプ９０１では出射窓部４から発散する光成分Ｌ_Ｃを、集光成分として利用できるとともに、光成分Ｌ_Ｄを所望位置周辺の適切な位置に集光することができる。その結果、反射筒部９の反射面９ａを放射光の多くの成分を集光成分として利用可能な構造にすることができる。 In addition, the light components L _B and L _D that are reflected by the sealed container 3 in the deuterium lamp 901 but become divergent light can be condensed around the desired position in the deuterium lamp 1. Further, since the reflection surface 9a on the exit window portion 4 side of the deuterium lamp 1 is tapered, the radiation angle is small with respect to the optical axis X, so that the deuterium lamp 901 diverges from the exit window portion 4. the light component L _C, together can be used as the condensing component, a light component L _D can be converged to an appropriate position around the desired position. As a result, it is possible to make the reflecting surface 9a of the reflecting cylinder portion 9 have a structure in which many components of the radiated light can be used as a light collecting component.

なお、反射筒部９の反射面９ａのテーパー状部分の形状を調整することで、出射窓部４からの出射光を集光ではなく平行光が多い分布や、逆に拡散分布にもすることができる。 In addition, by adjusting the shape of the tapered portion of the reflecting surface 9a of the reflecting cylinder portion 9, the outgoing light from the outgoing window portion 4 is not condensed but distributed in a large amount of parallel light, or conversely a diffuse distribution. Can do.

また、反射筒部９自体をアルミニウム製の金属ブロック部材等の金属部材で構成することで、鏡面度の高い反射面の加工が容易になるので、発生した光を効果的に集光することができる。さらに、例えば反射筒部９の内部に金属等からなる反射膜を形成した場合と異なり、温度上昇と低下を繰り返す際の、構成材料の膨張係数の違いから発生する反射面９ａの剥離または脱落等による性能劣化や異物発生を抑制することができ、長寿命化を実現することができる。加えて、発生する紫外光が透過することなく、また、紫外光によって劣化することもないので、発生した光をより効率よく取り出すことができる。 In addition, since the reflecting cylinder portion 9 itself is made of a metal member such as an aluminum metal block member, it is easy to process a reflecting surface having a high specularity, so that the generated light can be effectively collected. it can. Further, for example, unlike the case where a reflection film made of metal or the like is formed inside the reflection cylinder portion 9, the reflection surface 9 a is peeled off or dropped off due to the difference in the expansion coefficient of the constituent materials when the temperature is repeatedly increased and decreased. It is possible to suppress the performance deterioration and the generation of foreign matter due to the above, and it is possible to realize a long life. In addition, since the generated ultraviolet light is not transmitted and is not deteriorated by the ultraviolet light, the generated light can be taken out more efficiently.

さらに、反射筒部９の外壁面９ｂと、導光筒部３Ｂの内壁面１３とは離間しているので、反射筒部９と導光筒部３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部９の位置ずれや反射筒部９または導光筒部３Ｂの破損を防止することができる。 Further, since the outer wall surface 9b of the reflecting tube portion 9 and the inner wall surface 13 of the light guide tube portion 3B are separated from each other, the reflecting tube is caused by a difference in thermal expansion coefficient between the reflecting tube portion 9 and the light guide tube portion 3B. It is possible to prevent the position shift of the portion 9 and the damage of the reflection tube portion 9 or the light guide tube portion 3B.

また、反射筒部９は、金属部材からなる位置決め部材であるばね部材１２によって付勢されて収容ケース８の固定リング８ｂに嵌め込まれることによって密封容器３内で位置決めされているので、発生する紫外光によって劣化することなく発光部２の放電路制限部７のアパーチャーに対する反射筒部９の位置及び軸合せを容易にし、位置精度を向上させて、出射窓部４からの光の取り出し効率を保つことができる。さらに、ばね部材１２により収容ケース８に押圧する構造を採用することで、密封容器３に対して反射筒部９を安定して固定することができると共に、反射筒部９の中心軸方向に沿った熱膨張が発生してもばね部材１２によって発光筒部３Ａに対する位置ずれを吸収することができる。ここで、重水素ランプの封じの際に導光筒部３Ｂと放電路制限部７のアパーチャーとの位置や角度の関係をそろえ放射光分布を調整することも考えられるが、この場合は出射窓部４とアパーチャーの奥行き位置が大きく異なるために位置調整が難しい。本実施形態では、反射筒部９を導入することで、導光筒部３Ｂと反射筒部９との位置関係が安定して決定され、反射筒部９と固定リング８ｂとを合わせることで反射筒部９とアパーチャーとの位置や角度の関係も合わされる。従って、導光筒部３Ｂとアパーチャーとの位置関係が精度良く合わされる。 In addition, the reflecting cylinder portion 9 is positioned in the sealed container 3 by being urged by a spring member 12 which is a positioning member made of a metal member and fitted into the fixing ring 8b of the housing case 8, so that the generated ultraviolet rays are generated. The position and axis alignment of the reflecting cylinder portion 9 with respect to the aperture of the discharge path limiting portion 7 of the light emitting portion 2 is facilitated without being deteriorated by light, the positional accuracy is improved, and the light extraction efficiency from the emission window portion 4 is maintained. be able to. Furthermore, by adopting a structure in which the spring member 12 is pressed against the housing case 8, the reflecting tube portion 9 can be stably fixed to the sealed container 3, and along the central axis direction of the reflecting tube portion 9. Even if thermal expansion occurs, the spring member 12 can absorb the positional deviation with respect to the light emitting cylinder portion 3A. Here, when sealing the deuterium lamp, it is conceivable to adjust the radiation distribution by aligning the relationship between the position and angle of the light guide tube portion 3B and the aperture of the discharge path limiting portion 7. In this case, Position adjustment is difficult because the depth positions of the section 4 and the aperture are greatly different. In this embodiment, the positional relationship between the light guide tube portion 3B and the reflection tube portion 9 is stably determined by introducing the reflection tube portion 9, and the reflection tube portion 9 and the fixing ring 8b are combined to reflect. The position and angle relationship between the tube portion 9 and the aperture are also matched. Therefore, the positional relationship between the light guide tube portion 3B and the aperture is matched with high accuracy.

さらに、図２に示すように、反射筒部９の外壁面９ｂの略全面に熱放射膜１０が形成されることにより、発光部２に近接する反射筒部９の内面に周辺や封入ガスよりも低温の領域を形成することができ、その領域に発光筒部３Ａからのスパッタ物等の異物を捕捉して、異物の出射窓部４への拡散及びそれに伴う光透過率の低下を抑制することができる。 Further, as shown in FIG. 2, the heat radiation film 10 is formed on the substantially entire surface of the outer wall surface 9 b of the reflecting cylinder portion 9, so that the inner surface of the reflecting cylinder portion 9 adjacent to the light emitting portion 2 is surrounded by the surroundings and the enclosed gas. Can form a low-temperature region, capture foreign matter such as spatter from the light emitting cylinder portion 3A in the region, and suppress the diffusion of the foreign matter to the emission window portion 4 and the accompanying decrease in light transmittance. be able to.

また、このような重水素ランプ１を光イオン化源としてガスクロマトグラフ質量分析装置（ＧＣ/ＭＳ）や液体クロマトグラフ質量分析装置（ＬＣ/ＭＳ）といった質量分析装置（ＭＳ）に使用することで、高感度化、窓材の汚染抑制、そして、良好な時間応答特性を実現することが可能となる。まず、照射面の光量を飛躍的に増加できることで試料との接触確率を向上でき、従来の光イオン化源と比べ感度を大幅（１０倍近く）に向上できる。また、各種ＭＳに適した集光性を実現する事が可能となり、次のような点から測定感度が高められる。すなわち、ＭＳの場合、イオン化室においてイオンを弁別部へ導入する為の電界分布が有効な部分に集中照射可能である。また、ＧＣ/ＭＳの場合、イオン化室の数ｍｍ程度の開口から光を有効に集中導入可能である。また、ＬＣ/ＭＳの場合、イオンを弁別部に導入するアパーチャー近辺に集光しイオン密度を高めることが可能であり、試料の噴出し口から光イオン化源の窓部を遠ざけ窓部の汚染が抑制できると共に、従来より集光性が高められるためイオン化源から遠ざけても感度が劣化しない。つまり、試料の高密度部に高密度の光を当ててイオン化効率を高められて高感度化が実現され、試料の噴出し口から光イオン化源の窓部を遠ざけることで窓部の汚染を抑制することができ、試料の噴出し口に集光することで応答速度を速くすることができる。 Further, by using such a deuterium lamp 1 as a photoionization source in a mass spectrometer (MS) such as a gas chromatograph mass spectrometer (GC / MS) or a liquid chromatograph mass spectrometer (LC / MS), Sensitivity, window material contamination suppression, and good time response characteristics can be realized. First, since the amount of light on the irradiated surface can be dramatically increased, the probability of contact with the sample can be improved, and the sensitivity can be greatly improved (nearly 10 times) as compared with conventional photoionization sources. In addition, it is possible to realize a light collecting property suitable for various MSs, and the measurement sensitivity can be increased from the following points. In other words, in the case of MS, it is possible to concentrate and irradiate a portion where the electric field distribution for introducing ions to the discrimination portion is effective in the ionization chamber. In the case of GC / MS, light can be effectively concentrated and introduced from an opening of about several mm in the ionization chamber. In the case of LC / MS, it is possible to increase the ion density by concentrating the ions in the vicinity of the aperture where the ions are introduced into the discriminating part. In addition to being able to suppress it, the light condensing performance is improved so that the sensitivity does not deteriorate even if the ionization source is moved away. In other words, high-density light is applied to the high-density part of the sample to increase ionization efficiency and high sensitivity is realized, and the window part of the photoionization source is kept away from the sample outlet to suppress contamination of the window part. It is possible to increase the response speed by condensing at the sample outlet.

［第２実施形態］
図５は、本発明の第２実施形態に係る重水素ランプの構成を示す断面図、図６（ａ）は、図５の反射筒部の側面図、図６（ｂ）は、図５の反射筒部の端面図である。同図に示す重水素ランプ１０１は、反射筒部１０９の位置決め構造等が第１実施形態のものと異なる。 [Second Embodiment]
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a configuration of a deuterium lamp according to the second embodiment of the present invention, FIG. 6A is a side view of the reflecting cylinder portion of FIG. 5, and FIG. It is an end view of a reflection cylinder part. The deuterium lamp 101 shown in the figure is different from that of the first embodiment in the positioning structure of the reflecting cylinder portion 109 and the like.

すなわち、重水素ランプ１０１に内蔵される反射筒部１０９には、その外壁面１０９ｂの出射窓部４側の端部において、位置決め部材としての金属バンド１１２が固定されている。この金属バンド１１２には、バネ性を有する複数の爪部１１２ａが反射筒部１０９の外周に沿って形成されており、金属バンド１１２は、その端部が重ね溶接されることにより外壁面１０９ｂ上に固定されている。このような反射筒部１０９は、導光筒部３Ｂの内壁面１３に沿って密封容器３内に挿入され、金属バンド１１２を除く外壁面１０９ｂが内壁面１３と離間するように固定される。 In other words, a metal band 112 as a positioning member is fixed to the reflecting cylinder portion 109 built in the deuterium lamp 101 at the end of the outer wall surface 109b on the exit window portion 4 side. A plurality of claw portions 112a having spring properties are formed on the metal band 112 along the outer periphery of the reflecting cylinder portion 109, and the end portion of the metal band 112 is overlapped and welded to the outer wall surface 109b. It is fixed to. Such a reflection cylinder part 109 is inserted into the sealed container 3 along the inner wall surface 13 of the light guide cylinder part 3B, and is fixed so that the outer wall surface 109b excluding the metal band 112 is separated from the inner wall surface 13.

このような構造により、反射筒部１０９は、金属バンド１１２の爪部１１２ａのバネ力により、その一端側の端部１０９ｄが収容ケース８の固定リング８ｂに押し当てられ、密封容器３内で光軸Ｘに沿った方向に位置決めされる。それとともに、反射筒部１０９は、金属バンド１１２の爪部１１２ａにより、その外壁面１０９ｂと導光筒部３Ｂの内壁面１３とが一定距離を保って離間された状態で光軸Ｘの垂直な方向にも位置決めされる。また、反射筒１０９の金属バンド１１２装着部に、同バンド幅に合わせた溝を形成する事で、導光筒部３Ｂの内径を大きくする事なく、金属バンド１１２から導光筒部３Ｂの内壁面１３への距離を大きく取れ、爪部１１２ａの角度を大きくする事が可能となり、爪部１１２ａのバネ力を強める事ができる。 With such a structure, the reflecting cylinder portion 109 is pressed against the fixing ring 8b of the housing case 8 by the end portion 109d of the claw portion 112a of the metal band 112, so that the light is generated in the sealed container 3. Positioned in a direction along the axis X. At the same time, the reflecting tube portion 109 is perpendicular to the optical axis X in a state where the outer wall surface 109b and the inner wall surface 13 of the light guide tube portion 3B are spaced apart from each other by the claw portion 112a of the metal band 112. Also positioned in the direction. Further, by forming a groove matching the same band width in the mounting portion of the metal band 112 of the reflecting tube 109, the inner diameter of the light guide tube portion 3B can be increased from the metal band 112 without increasing the inner diameter of the light guide tube portion 3B. The distance to the wall surface 13 can be increased, the angle of the claw portion 112a can be increased, and the spring force of the claw portion 112a can be increased.

このような重水素ランプ１０１によっても、反射筒部１０９と導光筒部３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部１０９の位置ずれや反射筒部１０９または導光筒部３Ｂの破損を防止することができる。また、反射筒部１０９は、位置決め部材である金属バンド１１２によって付勢されて収容ケース８の固定リング８ｂに嵌め込まれることによって密封容器３内で位置決めされているので、発光部２の放電路制限部７のアパーチャーに対する反射筒部９の位置及び軸合せを容易にし、位置精度を向上させて、出射窓部４からの光の取り出し効率を保つことができる。特に、本実施形態では、反射筒部９と導光筒部３Ｂとの同軸性を安定して維持することができる。 Even with such a deuterium lamp 101, due to the difference in the coefficient of thermal expansion between the reflecting tube portion 109 and the light guide tube portion 3B, the displacement of the reflecting tube portion 109 and the damage of the reflecting tube portion 109 or the light guide tube portion 3B are prevented. Can be prevented. In addition, the reflecting cylinder portion 109 is positioned in the sealed container 3 by being urged by the metal band 112 that is a positioning member and fitted into the fixing ring 8b of the housing case 8, so that the discharge path limitation of the light emitting portion 2 is achieved. The position and axis alignment of the reflecting cylinder portion 9 with respect to the aperture of the portion 7 can be facilitated, the positional accuracy can be improved, and the light extraction efficiency from the exit window portion 4 can be maintained. In particular, in the present embodiment, the coaxiality between the reflecting tube portion 9 and the light guide tube portion 3B can be stably maintained.

また、反射面９ａの両端側はテーパー状に形成されているので、出射窓部４の外部の所定位置に光を集光させるようにして出射窓部４から光を効率よく取り出すことができ、出射光の照射面上での光量をアップさせることができる。 Moreover, since both end sides of the reflecting surface 9a are formed in a tapered shape, light can be efficiently extracted from the exit window portion 4 so as to collect the light at a predetermined position outside the exit window portion 4, The amount of light on the irradiated surface of the emitted light can be increased.

［第３実施形態］
図７は、本発明の第３実施形態に係る重水素ランプの構成を示す断面図、図８（ａ）は、図７の反射筒部の側面図、図８（ｂ）は、図７の反射筒部の端面図、図８（ｃ）は、図７の反射筒部の斜視図である。同図に示す重水素ランプ２０１は、反射筒部の発光部側の位置決め構造が第１実施形態のものと異なる。 [Third Embodiment]
7 is a cross-sectional view showing a configuration of a deuterium lamp according to a third embodiment of the present invention, FIG. 8A is a side view of the reflecting cylinder portion of FIG. 7, and FIG. FIG. 8C is a perspective view of the reflecting cylinder portion of FIG. 7. The deuterium lamp 201 shown in the figure is different from that of the first embodiment in the positioning structure on the light emitting part side of the reflecting cylinder part.

すなわち、重水素ランプ２０１の反射筒部９の外壁面９ｂの長手方向の一端側には、反射筒部９の外周に沿って溝部９ｅが形成されている。また、発光部２の収容ケース８の導光筒部３Ｂ側の面には、反射筒部９の溝部９ｅを嵌め込むことによって反射筒部９の端部を固定するための爪部（固定部材）２０８ｂが固定されている。この爪部２０８ｂは、収容ケース８の光通過口８ａを取り囲むように配置された半円状部２０８ｃと、その半円状部２０８ｃから伸びるように直線状に形成された反射筒部９を挿入するための開放端部２０８ｄとを有している（図８（ｃ））。 That is, a groove 9 e is formed along the outer periphery of the reflecting cylinder portion 9 on one end side in the longitudinal direction of the outer wall surface 9 b of the reflecting cylinder portion 9 of the deuterium lamp 201. Further, a claw portion (fixing member) for fixing the end portion of the reflecting cylinder portion 9 by fitting the groove portion 9e of the reflecting cylinder portion 9 on the surface of the housing case 8 of the light emitting portion 2 on the light guide cylinder portion 3B side. ) 208b is fixed. The claw portion 208b is inserted with a semicircular portion 208c arranged so as to surround the light passage opening 8a of the housing case 8, and a reflection cylinder portion 9 formed linearly so as to extend from the semicircular portion 208c. And an open end 208d (FIG. 8C).

このような構造により、反射筒部９は、爪部２０８ｂの開放端部２０８ｄから、その爪部２０８ｂの凸部を溝部９ｅに沿わせるように中心軸に垂直な方向に挿入され、半円状部２０８ｃの奥まで差し込まれることによって収容ケース８に対する位置が決定される。なお、半円状部２０８ｃの奥まで差し込んだ際、反射筒部９が開放端部２０８ｄ側に戻り難くする為の係止部を、爪部２０８ｂにおける反射筒部９の外周部との近接部に設けても良い。ここで、溝部９ｅの幅には爪部２０８ｂに対して余裕が持たせてあるので、反射筒部９が、ばね部材１２によって付勢されて収容ケース８に押し当てられ、密封容器３内で光軸Ｘに沿った方向に位置決めされる。それとともに、反射筒部９は、爪部２０８ｂの半円状部２０８ｃに差し込まれることによって、その外壁面９ｂと導光筒部３Ｂの内壁面１３とが一定距離を保って離間された状態で光軸Ｘの垂直な方向にも位置決めされる。この際、爪部２０８ｂに反射筒部９を収容ケース８側に付勢するためのばね部材を組み込むことで、ばね部材１２を省くこともできる。 With such a structure, the reflecting cylinder portion 9 is inserted in a direction perpendicular to the central axis from the open end portion 208d of the claw portion 208b so that the convex portion of the claw portion 208b is along the groove portion 9e, and is semicircular The position with respect to the housing case 8 is determined by being inserted all the way into the portion 208c. In addition, when it inserts to the back of the semicircle-shaped part 208c, the latching part for making it difficult for the reflective cylinder part 9 to return to the open end part 208d side is a proximity part with the outer peripheral part of the reflective cylinder part 9 in the nail | claw part 208b. May be provided. Here, since the width of the groove portion 9e has a margin with respect to the claw portion 208b, the reflecting cylinder portion 9 is urged by the spring member 12 and pressed against the housing case 8, and the inside of the sealed container 3 is It is positioned in a direction along the optical axis X. At the same time, the reflecting tube portion 9 is inserted into the semicircular portion 208c of the claw portion 208b, so that the outer wall surface 9b and the inner wall surface 13 of the light guide tube portion 3B are separated from each other while maintaining a certain distance. It is also positioned in the direction perpendicular to the optical axis X. At this time, the spring member 12 can be omitted by incorporating a spring member for urging the reflecting cylinder portion 9 toward the housing case 8 into the claw portion 208b.

このような重水素ランプ２０１によっても、反射筒部９と導光筒部３Ｂとの熱膨張率の違いにより、反射筒部９の位置ずれや反射筒部９または導光筒部３Ｂの破損を防止することができる。ここで、反射筒部９の長手方向の他端面、つまり出射窓部４との対向面は、出射窓部４と離間しているため、組立作製時や動作時の温度で材質の膨張に差が生じてもガラス材や窓材を破損することもない。 Even with such a deuterium lamp 201, due to the difference in thermal expansion coefficient between the reflecting tube portion 9 and the light guide tube portion 3B, the displacement of the reflecting tube portion 9 or the damage of the reflecting tube portion 9 or the light guide tube portion 3B can be prevented. Can be prevented. Here, since the other end surface in the longitudinal direction of the reflecting tube portion 9, that is, the surface facing the exit window portion 4 is separated from the exit window portion 4, there is a difference in material expansion depending on the temperature at the time of assembly and operation. Even if this occurs, the glass material and window material are not damaged.

また、反射筒部９は、位置決め部材であるばね部材１２によって付勢されて収容ケース８に当接すると共に爪部２０８ｂに差し込まれることによって密封容器３内で位置決めされている。これにより、発光部２の放電路制限部７のアパーチャーに対する反射筒部９の位置及び軸合せを容易にし、位置精度を向上させて出射窓部４から光を効率よく取り出すことができる。特に、本実施形態でも、反射筒部９と導光筒部３Ｂとの同軸性を安定して維持することができる。 Further, the reflecting cylinder portion 9 is urged by the spring member 12 which is a positioning member, abuts against the housing case 8, and is positioned in the sealed container 3 by being inserted into the claw portion 208b. Thereby, the position and axial alignment of the reflecting cylinder part 9 with respect to the aperture of the discharge path limiting part 7 of the light emitting part 2 can be facilitated, the positional accuracy can be improved, and light can be efficiently extracted from the emission window part 4. In particular, also in the present embodiment, the coaxiality between the reflecting tube portion 9 and the light guide tube portion 3B can be stably maintained.

また、反射面９ａの両端側はテーパー状に形成されているので、出射窓部４の外部の所定位置に光を集光させるようにして出射窓部４から光をより効率よく取り出すことができ、出射光の照射面上での光量をアップさせることができる。 Further, since both end sides of the reflecting surface 9a are formed in a tapered shape, it is possible to extract light from the exit window 4 more efficiently by condensing the light at a predetermined position outside the exit window 4. The amount of light on the irradiated surface of the emitted light can be increased.

なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、反射筒部９，１０９には、金属部材の内壁を研磨加工することにより反射面９ａ，１０９ａが形成されていたが、反射面を蒸着やスパッタにより成膜してもよい。詳細には、アルミニウム等の金属部材、又はガラス、セラミック等の部材に切削加工や成型加工を施して下地を作製し、その下地に必要に応じて研磨加工を施した後、下地の鏡面にアルミニウム、ロジウム、誘電体多層膜等を蒸着やスパッタすることにより反射面を形成することができる。また、反射筒部９，１０９は複数の金属ブロック部材から形成されていたが、一体形成されても良い。 In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above. For example, although the reflecting surfaces 9a and 109a are formed on the reflecting cylinder portions 9 and 109 by polishing the inner wall of the metal member, the reflecting surfaces may be formed by vapor deposition or sputtering. Specifically, a metal member such as aluminum, or a member such as glass or ceramic is cut or molded to prepare a base, and the base is polished as necessary, and then the mirror surface of the base is made of aluminum. The reflective surface can be formed by vapor deposition or sputtering of rhodium, a dielectric multilayer film or the like. Moreover, although the reflection cylinder parts 9 and 109 were formed from the some metal block member, they may be integrally formed.

また、上述した実施形態では、反射筒部９，１０９を発光筒部３Ａ側に設けられた固定用の部材に押し当てることにより固定していたが、レーザ溶接やスポット溶接等により固定用の部材に直接固定しても良い。このとき、反射筒部を直接固定用部材に溶接することが困難な場合は、溶接可能な構造体を反射筒部に嵌合等で固定し、当該構造体と固定部材とを溶接することで固定しても良い。なお、レーザ溶接の場合は、発光筒部３Ａのガラス部材越しに溶接を行うことも可能である。 In the above-described embodiment, the reflecting cylinder portions 9 and 109 are fixed by pressing against the fixing member provided on the light emitting cylinder portion 3A side. However, the fixing members are fixed by laser welding or spot welding. It may be fixed directly. At this time, if it is difficult to weld the reflecting cylinder part directly to the fixing member, a weldable structure is fixed to the reflecting cylinder part by fitting or the like, and the structure and the fixing member are welded. It may be fixed. In the case of laser welding, it is also possible to perform welding through the glass member of the light emitting tube portion 3A.

図９には、本発明の変形例である重水素ランプ３０１として、２つの異なる材料からなる金属部材からなる反射筒部３０９がレーザ溶接やスポット溶接によって発光部２の収容ケース８に固定された構造を示している。詳細には、アルミニウムからなる反射筒部３０９の一端側の端部３０９ｄの外周にステンレスからなる端部リング３１４を固定し、その端部リング３１４と収容ケース８の固定リング８ｂとの接触部分をレーザ溶接やスポット溶接によって溶融し互いに固着する。同図に示す重水素ランプ３０１では、導光筒部３０３Ｂを短くされているが、反射筒部３０９をそれに合わせて設計することで出射光の分布を平行光や拡散光にもすることができると共に、照射面上での光強度の均一性を高めることもできる。また、同図に示すように、収容ケース８上における固定リング８ｂの内側に穴部３０８ｅを設け、反射筒部３０９の端部３０９ｄの先端を、荷電粒子の流れを阻害しない範囲で放電路制限部７に近くなるように、穴部３０８ｅ内に挿入してもよい。そうすれば、反射筒部９（反射面９ａ）が発光部２の内部に接近して配置されるので、出射窓部４からより効率的よく光を取り出すことができる。 In FIG. 9, as a deuterium lamp 301 which is a modified example of the present invention, a reflecting cylinder portion 309 made of a metal member made of two different materials is fixed to the housing case 8 of the light emitting portion 2 by laser welding or spot welding. The structure is shown. Specifically, an end ring 314 made of stainless steel is fixed to the outer periphery of the end 309d on one end side of the reflecting cylindrical portion 309 made of aluminum, and a contact portion between the end ring 314 and the fixing ring 8b of the housing case 8 is fixed. They are melted and fixed together by laser welding or spot welding. In the deuterium lamp 301 shown in the figure, the light guide tube portion 303B is shortened, but by designing the reflection tube portion 309 to match it, the distribution of the emitted light can be made parallel light or diffuse light. At the same time, the uniformity of the light intensity on the irradiated surface can be improved. Further, as shown in the figure, a hole 308e is provided inside the fixing ring 8b on the housing case 8, and the discharge path is limited within a range that does not hinder the flow of charged particles at the tip of the end 309d of the reflecting cylinder 309. You may insert in the hole part 308e so that it may become close to the part 7. FIG. By doing so, the reflecting cylinder portion 9 (reflecting surface 9a) is arranged close to the inside of the light emitting portion 2, so that light can be extracted from the exit window portion 4 more efficiently.

また、反射筒部３０９の先端に固定する溶接用の構造体としては、様々な形状のものを採用することができる。 Moreover, as the structure for welding fixed to the tip of the reflecting cylinder portion 309, those having various shapes can be adopted.

例えば、図１０に示すように、反射筒部９の端部９ｄの外周にステンレス製のＣ型止め輪等の止め輪６１５を固定し、その止め輪６１５と収容ケース８の反射筒部固定用部材とを溶接することで反射筒部９を発光部２に対して固定してもよい。 For example, as shown in FIG. 10, a retaining ring 615 such as a stainless steel C-shaped retaining ring is fixed to the outer periphery of the end 9 d of the reflecting cylindrical part 9, and the retaining ring 615 and the reflecting cylindrical part fixing of the housing case 8 are fixed. You may fix the reflection cylinder part 9 with respect to the light emission part 2 by welding a member.

さらに、図１１に示すように、反射筒部９の端部９ｄの外周部にステンレス製のシート材７１５を帯状に巻き付け、その終端部を重ね合わせて溶接することにより固定してもよい。このシート材７１５の端部９ｄ側には、反射筒部９の中心軸に対して垂直に延びる複数のつば部７１５ａが設けられており、このつば部７１５ａと固定用部材とを溶接することで反射筒部９を固定することができる。また、つば部７１５を設けないでシート材７１５と固定用部材との近接部分を溶接することにより反射筒部９を固定してもよい。 Further, as shown in FIG. 11, a stainless steel sheet material 715 may be wound around the outer peripheral portion of the end 9 d of the reflecting cylinder portion 9 in a band shape, and the end portions may be overlapped and welded. A plurality of collar portions 715a extending perpendicularly to the central axis of the reflecting cylinder portion 9 are provided on the end portion 9d side of the sheet material 715, and the collar portions 715a and the fixing member are welded. The reflecting cylinder portion 9 can be fixed. Moreover, you may fix the reflection cylinder part 9 by welding the proximity | contact part of the sheet | seat material 715 and the fixing member, without providing the collar part 715. FIG.

図１２には、本発明の変形例として、ステム４０３Ｃ、発光筒部４０３Ａ、及び導光筒部４０３Ｂが光軸と同軸上に配置された重水素ランプ４０１を示す。このような重水素ランプ４０１では、同一の軸方向からの組上げが可能である。詳細には、反射筒部１０９を、発光部２の固定リング８ｂに固定し一体化した後に、導光筒部４０３Ｂ及び発光筒部４０３Ａが一体化された密封容器４０３内に挿入し、ステム４０３Ｃで密封容器４０３を封止して作製することができる。この反射筒部１０９には、重水素ランプ３０１の場合と同様に、端部リング３１４が圧入および固定されており、この端部リング３１４と固定リング８ｂとが溶接されることにより、反射筒部１０９が固定されている。同時に、反射筒部１０９には、重水素ランプ１０１の場合と同様に、その外壁面１０９ｂの出射窓部４側の端部に金属バンド１１２が固定されている。この金属バンド１１２により、導光筒部４０３Ｂと反射筒部１０９との同軸性が高められている。このような固定方法以外に、固定リング８ｂの高さを高くして反射筒部１０９の挿入部分と固定リング８ｂとをネジ加工することによって固定したり、固定リング８ｂにタップ穴を作製して反射筒部１０９を挿入後ビス等で固定する方法であってもよい。 FIG. 12 shows a deuterium lamp 401 in which a stem 403C, a light emitting tube portion 403A, and a light guide tube portion 403B are arranged coaxially with the optical axis as a modification of the present invention. Such a deuterium lamp 401 can be assembled from the same axial direction. More specifically, after the reflecting cylinder portion 109 is fixed to the fixing ring 8b of the light emitting portion 2 and integrated, it is inserted into the sealed container 403 in which the light guiding tube portion 403B and the light emitting tube portion 403A are integrated, and the stem 403C. Thus, the sealed container 403 can be sealed. As in the case of the deuterium lamp 301, the end ring 314 is press-fitted and fixed to the reflecting cylinder 109, and the end ring 314 and the fixing ring 8b are welded, whereby the reflecting cylinder part 314 is welded. 109 is fixed. At the same time, similarly to the case of the deuterium lamp 101, a metal band 112 is fixed to the reflecting cylinder 109 at the end of the outer wall surface 109b on the exit window 4 side. The metal band 112 enhances the coaxiality between the light guide tube portion 403B and the reflection tube portion 109. In addition to such a fixing method, the fixing ring 8b is increased in height to be fixed by screwing the insertion portion of the reflecting cylinder portion 109 and the fixing ring 8b, or a tapped hole is formed in the fixing ring 8b. A method of fixing the reflecting cylinder portion 109 with a screw after insertion may be used.

また、重水素ランプ１，１０１，２０１，３０１，４０１においては、反射筒部９，１０９，３０９の長手方向の発光筒部３Ａ，３０３Ａ側（一端側）の外壁面９ｂ，１０９ｂ，３０９ｂに、反射面９ａ，１０９ａ，３０９ａに向けて貫通する開口部が形成されていてもよい。 Further, in the deuterium lamps 1, 101, 201, 301, 401, on the outer wall surfaces 9b, 109b, 309b on the light emitting tube portions 3A, 303A side (one end side) in the longitudinal direction of the reflecting tube portions 9, 109, 309, An opening that penetrates toward the reflecting surfaces 9a, 109a, and 309a may be formed.

例えば、図１３〜１５に示す重水素ランプ５０１には、反射筒部９の外壁面９ｂの一端側の縁部に、その外壁面９ｂの出射窓部４側（他端側）に向けて、反射筒部９の中心軸に沿って切り欠かれた開口部９ｃが形成されている。詳細には、開口部９ｃは反射筒部９の一端側の周縁に沿って等間隔に３箇所形成されており、隣接する開口部９ｃの間には発光部２の固定リング８ｂに嵌め込むための突出部９ｄが３箇所形成されている。また、収容ケース８の固定リング８ｂには、反射筒部９の開口部９ｃに対応する位置に開口８ｃが形成されている。このような構造により、反射筒部９が収容ケース８の固定リング８ｂに嵌め込まれると、発光筒部３Ａ内に位置する反射筒部９の外壁面９ｂの端部には、反射面９ａに貫通する開口部９ｃが開口８ｃを介して発光筒部３Ａの内部空間と連通した状態で複数配置されることになる（図１５）。 For example, in the deuterium lamp 501 shown in FIGS. 13 to 15, toward the edge portion on one end side of the outer wall surface 9 b of the reflecting cylinder portion 9 toward the emission window portion 4 side (the other end side) of the outer wall surface 9 b, An opening 9 c cut out along the central axis of the reflecting cylinder portion 9 is formed. Specifically, three openings 9c are formed at equal intervals along the peripheral edge on one end side of the reflecting cylinder part 9, and are fitted into the fixing ring 8b of the light emitting part 2 between the adjacent openings 9c. The three protruding portions 9d are formed in three places. An opening 8 c is formed in the fixing ring 8 b of the housing case 8 at a position corresponding to the opening 9 c of the reflecting cylinder portion 9. With such a structure, when the reflecting cylinder part 9 is fitted into the fixing ring 8b of the housing case 8, the end of the outer wall surface 9b of the reflecting cylinder part 9 located in the light emitting cylinder part 3A penetrates the reflecting surface 9a. A plurality of openings 9c to be communicated with each other are communicated with the internal space of the light emitting cylinder portion 3A through the openings 8c (FIG. 15).

このような重水素ランプ５０１では、発光部２で生じたスパッタ物を反射筒部９の外部に放出することができ、反射筒部９の反射面９ａや低温度部の出射窓部４へのスパッタ物の付着を抑制することができる。その結果、長寿命化を図りつつ、出射窓部４における光の透過率を向上させることができる。なお、この開口部９ｃは発光筒部３Ａ内に位置しているので、発光部２で生じたスパッタ物が発光筒部３Ａ内に放出されて発光筒部３Ａ内に捕捉されやすい。その結果、出射窓部４へのスパッタ物の飛散をさらに抑制することができ、寿命がより長くなる。また、図９に示すような反射筒部３０９に端部リング３１４が圧入された構造においても、端部リング３１４に開口部を形成してもよい。また、図１１に示すように反射筒部９にシート材７１５を巻き付けた構造においても、シート材７１５の反射筒部９の開口部９ｃに対応した位置に開口部を形成してもよい。 In such a deuterium lamp 501, the spatter generated in the light emitting section 2 can be emitted to the outside of the reflecting cylinder section 9, and the reflecting surface 9a of the reflecting cylinder section 9 and the exit window section 4 of the low temperature section are discharged. Adhesion of spatter can be suppressed. As a result, it is possible to improve the light transmittance in the exit window 4 while extending the life. Since the opening 9c is located in the light emitting cylinder 3A, the spatter generated in the light emitting part 2 is easily released into the light emitting cylinder 3A and easily captured in the light emitting cylinder 3A. As a result, scattering of the sputtered material to the exit window portion 4 can be further suppressed, and the lifetime becomes longer. Further, in the structure in which the end ring 314 is press-fitted into the reflecting cylinder portion 309 as shown in FIG. 9, an opening may be formed in the end ring 314. Also, as shown in FIG. 11, in the structure in which the sheet material 715 is wound around the reflecting cylinder portion 9, the opening may be formed at a position corresponding to the opening 9 c of the reflecting cylinder portion 9 of the sheet material 715.

また、図１３〜１５に示す重水素ランプ５０１には、反射筒部９の外壁面９ｂの長手方向の一端側に熱放射膜１０が形成されている。そのため、発光部２に近接する反射筒部９の内側に周辺や封入ガスよりも低温の部分を形成することができ、その部分に発光筒部３Ａからのスパッタ物等の異物を捕捉して、異物の出射窓部４への拡散及びそれに伴う光透過率の低下を抑制することができる。また、逆に、外壁面９ｂの他端側に、反射筒部９の素材よりも熱放射率の低い材料を形成してもよい。これにより、相対的に一端側の放熱性が向上し、熱放射膜１０と同様の効果が期待できる。また、反射筒部９の一端側を構成する金属ブロック部材の材料を、他端側を構成する金属ブロック部材の材料よりも熱放射率の大きい材料で構成しても良い。 Further, in the deuterium lamp 501 shown in FIGS. 13 to 15, the heat radiation film 10 is formed on one end side in the longitudinal direction of the outer wall surface 9 b of the reflecting cylinder portion 9. Therefore, it is possible to form a part lower in temperature than the surrounding or the enclosed gas inside the reflection cylinder part 9 close to the light emitting part 2, and capture foreign matters such as spatter from the light emitting cylinder part 3A in the part, It is possible to suppress the diffusion of foreign matter to the exit window 4 and the accompanying decrease in light transmittance. Conversely, a material having a lower thermal emissivity than the material of the reflecting cylinder portion 9 may be formed on the other end side of the outer wall surface 9b. Thereby, the heat dissipation of the one end side improves relatively and the effect similar to the heat radiation film | membrane 10 can be anticipated. Moreover, you may comprise the material of the metal block member which comprises the one end side of the reflection cylinder part 9 with a material with a larger thermal emissivity than the material of the metal block member which comprises the other end side.

１，１０１，２０１，３０１，４０１，５０１…重水素ランプ、２，２０２…発光部、３Ａ，３０３Ａ，４０３Ａ…発光筒部（第１の筐体）、３Ｂ，３０３Ｂ，４０３Ｂ…導光筒部（第２の筐体）、４…出射窓部、５…陰極、６…陽極、７…放電路制限部、８ａ…光通過口、８ｂ…固定リング（固定部材）、２０８ｂ…爪部（固定部材）、９，１０９，３０９…反射筒部（筒状部材）、９ａ，１０９ａ…反射面、９ｂ，１０９ｂ…外壁面（側面）、９ｃ…開口部、１０…熱放射膜、１２，１１２…ばね部材、３０８ｅ…穴部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,101,201,301,401,501 ... Deuterium lamp, 2,202 ... Light emission part, 3A, 303A, 403A ... Light emission cylinder part (1st housing | casing), 3B, 303B, 403B ... Light guide cylinder part (Second casing) 4 ... exit window portion, 5 ... cathode, 6 ... anode, 7 ... discharge path limiting portion, 8a ... light passage port, 8b ... fixing ring (fixing member), 208b ... claw portion (fixing) Member), 9, 109, 309 ... reflective tube part (tubular member), 9a, 109a ... reflective surface, 9b, 109b ... outer wall surface (side surface), 9c ... opening, 10 ... thermal radiation film, 12, 112 ... Spring member, 308e ... hole.

Claims

A light emitting unit having a cathode, an anode, and a discharge path limiting unit, and generating light by discharge;
A first housing that houses the light emitting unit;
A second casing that is connected so that one end side communicates with the first casing, and guides the light generated from the light emitting section to an emission window provided on the other end side;
Deuterium gas sealed in the first casing and the second casing;
A cylindrical member in which one end side is in contact with the light emitting portion in the first casing, the other end side is inserted in the second casing, and a reflection surface that reflects the light is formed on an inner wall surface;
With
At least a part of the reflecting surface of the cylindrical member is formed in a tapered shape,
A deuterium lamp characterized by that.

The cylindrical member is made of a metal material,
The deuterium lamp according to claim 1.

The one end side and the other end side of the reflecting surface of the cylindrical member are formed in a tapered shape,
The deuterium lamp according to claim 1 or 2, characterized in that.

A spring member made of a metal material that urges the cylindrical member from the other end side to the one end side of the second casing;
A fixing member provided so that the tubular member urged by the spring member is fitted and surrounding the opening of the light emitting unit;
The deuterium lamp according to claim 1, further comprising:

The light emitting portion is formed with a hole into which an end of the cylindrical member is inserted.
The deuterium lamp according to any one of claims 1 to 4, wherein the deuterium lamp is provided.

On the side surface on the one end side of the cylindrical member, an opening that penetrates toward the reflecting surface is formed.
The deuterium lamp according to any one of claims 1 to 5, wherein:

The outer wall surface of the cylindrical member is made of a material having a larger thermal emissivity than the material of the cylindrical member.
The deuterium lamp according to any one of claims 1 to 6, wherein:

A heat radiation film including a material having a larger thermal emissivity than the material of the cylindrical member is formed on substantially the entire outer wall surface of the cylindrical member.
The deuterium lamp according to claim 7.

The thermal emissivity on the one end side of the cylindrical member is larger than the thermal emissivity on the other end side of the cylindrical member,
The deuterium lamp according to any one of claims 1 to 6, wherein:

On the outer wall surface on the one end side of the cylindrical member, a heat radiation film containing a material having a larger heat emissivity than the material of the outer wall surface on the other end side of the cylindrical member is formed.
The deuterium lamp according to claim 9.