JP5467758B2 - Equipment with vacuum pump - Google Patents
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Description
本発明は請求項1の上位概念に記載の真空ポンプを備えた装置に関するものである。
The present invention relates to an apparatus provided with a vacuum pump according to the superordinate concept of
高速回転ロータを備えた真空ポンプ例えばターボ分子ポンプは、ロータの高い回転周波数に基づいて高いエネルギーを貯蔵する。回転周波数はしばしば毎分数万回転に存在する。いわゆるロータ・ステータ・クラッシュにおいては、ロータおよびステータの接触が発生する。この場合、この高いエネルギーは例えばポンプ・フランジのようなポンプ構造部分を介してトルクの形で放出される。このようなロータ・ステータ・クラッシュにおいては、このときに人体に対する傷害危険が発生し且つ装置の損傷が予想されるので、ポンプのねじれが回避されなければならない。ポンプのこのねじれの結果、さらにポンプの漏れまたは破損が発生することがある。プロセス技術においては、場合により毒性ガスがポンピングされることがあり、このときこれが周囲の汚染を発生させることになる。装置の漏れの場合、ユーザの運転中のプロセスもまた著しく影響を受けるので、プロセスは一般に停止されなければならない。これにより、多くのプロセスにおいて、例えば半導体工業において、きわめて高い額に達することがあるコストが発生する。 Vacuum pumps with high-speed rotors, such as turbomolecular pumps, store high energy based on the high rotational frequency of the rotor. The rotational frequency is often present at tens of thousands of revolutions per minute. In so-called rotor-stator crashes, contact between the rotor and the stator occurs. In this case, this high energy is released in the form of torque via a pump structure such as a pump flange. In such a rotor-stator crash, the risk of injury to the human body occurs at this time and damage to the device is expected, so that twisting of the pump must be avoided. As a result of this twisting of the pump, further pump leakage or damage may occur. In process technology, toxic gases can sometimes be pumped, which will cause ambient contamination. In the case of a device leak, the process during which the user is operating is also significantly affected, so the process must generally be stopped. This creates costs in many processes, for example in the semiconductor industry, which can be very high.
真空ポンプは、高真空フランジにより、配管構造部分、滑り弁または直接容器に装着される。特に滑り弁への装着においては、急に遮断した場合、絞り弁のねじれまたは漏れの危険が存在する。容器のフランジおよび配管構造部分もまた、一般に、高いモーメントを吸収することはできない。 The vacuum pump is mounted on the piping structure part, slide valve or directly on the container by a high vacuum flange. In particular, when mounting on a slide valve, there is a risk of twisting or leakage of the throttle valve if it is shut off suddenly. Container flanges and piping structures also generally cannot absorb high moments.
場合により、真空ポンプは、フランジに追加して底部においても固定されることがあり、このことは、同一面にない固定点に基づいて、ポンプまたは滑り弁のねじれを発生することがあるので、故障のない運転は保証されていない。 In some cases, the vacuum pump may also be fixed at the bottom in addition to the flange, which can cause twisting of the pump or slip valve based on a non-coplanar fixing point, Operation without failure is not guaranteed.
したがって、ロータ・ステータ・クラッシュの場合においても真空気密性が保持されたままである、高速回転ロータを有する真空ポンプを備えた装置を提供することが本発明の課題である。 Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus with a vacuum pump having a high speed rotating rotor that remains vacuum tight in the case of a rotor-stator crash.
この課題は、請求項1の特徴を有する装置によって解決される。請求項2−8は本発明の有利な変更態様を与える。
クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能に室フランジと結合されている結合手段に真空ポンプを配置することにより、いわゆるロータ・ステータ・クラッシュにおいて放出された回転エネルギーは確実に真空室に伝達され、これにより、構造部分間の結合したがって装置全体が真空気密に保持される。ロータ・ステータ・クラッシュとは、この場合、ロータの高速回転運転中にロータとステータとが接触し、その結果として機械的変形を発生することを意味する。ロータの回転エネルギーは、あるときにはこの変形に変換され、あるときには真空ポンプのハウジングに伝達される。このときに大きなトルクが発生する。したがって、クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能な結合とは、このトルクが結合された要素を相互にねじることなく、このトルクを伝達可能なように形成されている結合を意味する。中間構造部分は、真空気密性が保持されるのみならず、損傷からもまた保護される。
This problem is solved by a device having the features of
By placing the vacuum pump in a coupling means that is coupled to the chamber flange in a manner that is resistant to the crash moment, the rotational energy released in the so-called rotor-stator crash is reliably transmitted to the vacuum chamber, thereby The connection between the structural parts and thus the entire device is kept vacuum-tight. In this case, the rotor-stator crash means that the rotor and the stator come into contact with each other during high-speed rotation of the rotor, resulting in mechanical deformation. The rotational energy of the rotor is converted to this deformation at some time and transmitted to the housing of the vacuum pump at other times. At this time, a large torque is generated. Thus, a bond that is resistant to a crash moment means a bond that is configured to transmit this torque without twisting the elements to which this torque is coupled together. The intermediate structural part is not only kept vacuum tight but also protected from damage.
一変更態様において、結合手段が、真空ポンプおよび中間構造部分間に配置されている支持台として形成されていることがコスト的に有利であり且つ技術的に簡単である。これは、真空ポンプおよび中間構造部分における変形を回避する。 In one variant, it is cost-effective and technically simple that the coupling means is formed as a support base arranged between the vacuum pump and the intermediate structural part. This avoids deformations in the vacuum pump and intermediate structural parts.
一方で、支持台および室フランジ間にスペーサが配置されていることにより、結合手段が改良可能である。スペーサは、中間構造部分が締め付けられることなく、確実なねじ込み、これによる支持台と室フランジとの確実な結合を可能にする。したがって、中間構造部分の締付に基づくエラー機能が回避される。 On the other hand, since the spacer is arranged between the support base and the chamber flange, the coupling means can be improved. The spacer allows a reliable screw-in and thereby a secure connection between the support and the chamber flange without the intermediate structural part being tightened. Accordingly, an error function based on tightening of the intermediate structure portion is avoided.
簡単な解決方法において、スペーサがディスタンス・スリーブを含み、ディスタンス・スリーブは、支持台および室フランジを相互に結合するねじを少なくとも一部包囲している。ねじおよびディスタンス・スリーブは、ねじの締付によるプレストレスに基づき、室フランジ面に垂直な軸の周りの装置のねじれに対して十分に抵抗可能な剛構造を形成している。 In a simple solution, the spacer includes a distance sleeve, which surrounds at least a portion of a screw that interconnects the support base and the chamber flange. The screw and the distance sleeve form a rigid structure that is sufficiently resistant to torsion of the device about an axis perpendicular to the chamber flange surface, based on prestressing due to screw tightening.
他の変更態様において、支持台および真空ポンプが一体に形成されている。これは、両方の部品の一体結合により、例えば摩擦溶接および同等な方法により達成可能である。これは、クラッシュ・モーメントに対して十分に抵抗可能な結合をコスト的に有利に達成する。 In another modification, the support base and the vacuum pump are integrally formed. This can be achieved by an integral connection of both parts, for example by friction welding and equivalent methods. This advantageously achieves a cost-effective coupling that is sufficiently resistant to crash moments.
他の変更態様は室フランジに関するものである。室フランジは真空室に配置されているウェブと結合されている。このことから、真空室および室フランジ間の結合は室フランジ中心においてより大きな間隔を設けて得られる。これは、クラッシュ・モーメントに対する抵抗性をさらに上昇させる。 Another variation relates to the chamber flange. The chamber flange is connected to a web located in the vacuum chamber. For this reason, the connection between the vacuum chamber and the chamber flange is obtained with a greater spacing at the center of the chamber flange. This further increases the resistance to the crash moment.
装置の上記の利点は、中間構造部分が真空滑り弁として形成されているときに特に有効であり、その理由は、真空滑り弁を中間に挟むとき特にエラー機能を導きやすく、且つ構造的に複雑にし且つ費用をかけないかぎりクラッシュ・モーメントに対する抵抗性が達成されないからである。 The above advantages of the device are particularly effective when the intermediate structural part is formed as a vacuum slip valve, because it is easy to introduce an error function and is structurally complex, especially when the vacuum slip valve is sandwiched in between. This is because the resistance to the moment of crash is not achieved unless the cost is increased.
他の変更態様において、室フランジが真空室の平らな壁の上に配置されている。これらの壁は一方でコスト的な理由からできるだけ薄い肉厚であり、他方で空気圧を受けている。空気圧は壁をたわませるように働く。底面積が小さい場合には装置はこのようなたわみを受けにくく、したがって装置内に応力が導かれることはない。壁の上に複数の装置を重ねて配置することもまた可能であり、これによって相互に影響しあうことはない。 In another variant, the chamber flange is arranged on the flat wall of the vacuum chamber. These walls are on the one hand as thin as possible for cost reasons and on the other hand are subjected to air pressure. Air pressure works to bend the wall. If the bottom area is small, the device is less susceptible to such deflection and therefore no stress is introduced into the device. It is also possible to place multiple devices on the wall, so that they do not interact with each other.
一実施例により、本発明が詳細に説明され且つ利点が考察されるものとする。 By way of example, the present invention will be described in detail and advantages will be considered.
図1は室フランジに垂直な装置の軸心に沿った装置の断面図を示す。この軸心に沿って、真空ポンプ1、支持台7、中間構造部分6、室フランジ5および真空室4がこの順序で配置され且つ相互に結合されている。
FIG. 1 shows a sectional view of the device along the axis of the device perpendicular to the chamber flange. Along this axial center, the
真空ポンプは高速回転ロータ2を有している。ロータは、ガスを真空室4から排出するためにステータ3と協働する。真空ポンプのポンプ・フランジ25はポンプねじ12により支持台7に着脱可能に固定されている。この結合の寸法は、最大クラッシュ・モーメントが真空ポンプ室および支持台の相互間のねじれを形成しないように決定されている。
The vacuum pump has a high-speed rotating
真空滑り弁として形成されている中間構造部分6は滑り弁ねじ14により支持台と結合されている。一方、真空滑り弁は他の滑り弁ねじ14を介して室フランジ5に着脱可能に結合されている。ポンプねじおよび滑り弁ねじの代わりに、同じ作用をなす従来技術から既知のクランプのような手段が使用されてもよい。真空ポンプ、支持台、中間構造部分および真空室のフランジ結合の間に、図示されていない従来技術から既知の、例えばエラストマー丸ひもリングのようなシール材料が設けられている。
The intermediate
室フランジ5は、クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能に、円筒部分26に例えば一体結合により固定されている。真空室の壁16と室フランジとの間にウェブ13が設けられている。ウェブは、真空室および室フランジと力伝達可能に、一体に、または一体形状に結合されているので、ウェブはクラッシュ・モーメントを吸収可能である。
The
支持台7および室フランジ5はねじ11により相互に結合され、ねじはディスタンス・スリーブ10内を貫通して挿入されている。支持台7内においてねじは貫通内孔内に通され且つ室フランジにおいてねじ山15内にねじ込まれている。ディスタンス・スリーブにより、ねじはプレストレスを保持可能であり、即ち、高いトルクが加えられた場合でも、支持台と室フランジとの間の間隔は低減されることはない。したがって、真空滑り弁の締付は回避される。同時に、ねじを包囲するディスタンス・スリーブはねじれ抵抗性を上昇させ、即ち、装置の軸心周りにトルクが加えられた場合、ディスタンス・スリーブに転倒モーメントが発生するが、転倒モーメントに対してねじのプレストレスが抵抗する。したがって、この装置は、真空ポンプからの大きなクラッシュ・モーメントを確実に吸収し且つ真空気密性を失うことなく、支持台、ねじおよび室フランジを介して真空室にクラッシュ・モーメントを伝達することが可能である。この場合、クラッシュ・モーメントは、中間構造部分、この場合、真空滑り弁に荷重を与えることはない。
The support base 7 and the
図2に、線I−I′による装置の断面図が示されている。真空室の室壁16は例えば短辺長さWをもつ矩形形状を有している。この壁の上に室フランジ5が配置され、室フランジは3つのウェブ13、13′、13′′と結合されている。室フランジはさらにねじ込み穴27、27′、27′′を有し、支持台と室フランジとの間でねじがこのねじ込み穴内にねじ込まれる。室フランジは空間直径Fを有し、空間直径は真空室へのガス結合を可能にする。本装置の利点は、辺長さWが本質的に空間直径Fより大きいような壁において有効となる。寸法比においてさらに肉厚が関係してくる。空気圧に基づく壁のたわみが、フランジ寸法の製作公差、即ち、ねじ込み穴27、27′、27′′の壁の上の位置、ねじ込み穴の直径、ねじ込み穴の配置の製作公差を超えているときには、本質的により大きな比が存在している。
FIG. 2 shows a cross-sectional view of the device according to line II ′. The
1 真空ポンプ
2 ロータ
3 ステータ
4 真空室
5 室フランジ
6 中間構造部分
7 結合手段(支持台)
10 スペーサ(ディスタンス・スリーブ)
11 ねじ
12 ポンプねじ
13、13′、13′′ ウェブ
14 滑り弁ねじ
15 ねじ山
16 壁
25 ポンプ・フランジ
26 円筒部分
27、27′、27′′ ねじ込み穴
F 空間直径
W 短辺長さ
DESCRIPTION OF
10 Spacer (Distance / Sleeve)
11
Claims (6)
真空ポンプが、クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能に室フランジ(5)と結合されている結合手段(7)に配置されており、
前記結合手段(7)が、真空ポンプおよび中間構造部分間に配置されている支持台を含み、真空ポンプ(1)および中間構造部分(6)が前記支持台と着脱可能に結合されており、
前記結合手段(7)が、支持台および室フランジ(5)間に配置されているスペーサ(10)を含むことを特徴とする装置。 A vacuum pump (1) having a high-speed rotating rotor (2) and a stator (3), a vacuum chamber (4) having a chamber flange (5), and an intermediate structure provided between the vacuum pump and the vacuum chamber Part (6), wherein the vacuum chamber, the vacuum pump and the intermediate structural part are detachably connected to each other,
A vacuum pump is arranged in the coupling means (7) which is coupled to the chamber flange (5) in a manner that can resist crushing moments ;
The coupling means (7) includes a support base disposed between the vacuum pump and the intermediate structure part, and the vacuum pump (1) and the intermediate structure part (6) are detachably connected to the support base ;
It said coupling means (7) is, the support base and the chamber flange (5) equipment you comprising a spacer (10) disposed between.
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