JP5462010B2 - Optical module - Google Patents

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Description

本発明は、光伝送に用いられる光モジュールに関する。   The present invention relates to an optical module used for optical transmission.

近年、10Gbps程度の伝送速度を有する光モジュールに使われるパッケージは、セラミック基板を一部に使用し、セラミック基板の表面または内部に電気信号を伝送する構造となっている。セラミック基板の代表的な材質にアルミナやアルミナイトライド等が知られている。これらは、共に、内部及び表面に高精度に伝送線路を形成することが可能であり、100〜200ミクロンΦ程度の細径ビアを設けることも可能である。また誘電損失が0.01以下と、高周波的に低損失な材料も比較的容易に入手できる。   In recent years, a package used for an optical module having a transmission speed of about 10 Gbps has a structure in which a ceramic substrate is partially used and an electric signal is transmitted to the surface of or inside the ceramic substrate. Alumina and aluminum nitride are known as typical materials for the ceramic substrate. Both of them can form a transmission line with high accuracy inside and on the surface, and it is also possible to provide a small diameter via of about 100 to 200 microns Φ. A material having a dielectric loss of 0.01 or less and a low loss in terms of high frequency can be obtained relatively easily.

このような光モジュールの一例が特許文献1及び特許文献2に開示されている。   An example of such an optical module is disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2.

特許文献1では、積層セラミック基板の表層または、内層の主平面に、高周波信号、電源、グランド等の伝送路がパターニングされている。セラミック基板は積層されており、ある主平面上のパターンと、他の主平面上のパターンは、ビアによって、接続導通されている。パッケージ外部では、このパターン上に、リードピンが取り付けられている。   In Patent Document 1, transmission lines such as a high-frequency signal, a power source, and a ground are patterned on the main surface of the surface layer or the inner layer of the multilayer ceramic substrate. The ceramic substrates are stacked, and a pattern on one main plane and a pattern on another main plane are connected and connected by vias. Outside the package, lead pins are attached on this pattern.

特許文献2は、パッケージ内部の導体パターンから、外部の導体パターンまで、主にビア導体によって接続されている。   In Patent Document 2, a conductor pattern inside a package is connected to an external conductor pattern mainly by via conductors.

高周波信号を、損失無く伝送するためには、伝送路の特性インピーダンスを一定に保つ必要があり、一般的には、50オーム近辺になるように設計されている。したがって、高周波信号を伝送するパターンおよびビアの近傍には、グランドパターンもしくはグランドビアが配置された構造となる。   In order to transmit a high-frequency signal without loss, the characteristic impedance of the transmission line needs to be kept constant, and is generally designed to be around 50 ohms. Therefore, a ground pattern or a ground via is arranged in the vicinity of the pattern and via that transmit a high-frequency signal.

特開2005−252251公報JP-A-2005-252251 特開2004−235379公報JP 2004-235379 A

しかしながら、前述の特許文献1および2に開示されている光モジュールでは、以下の問題があった。
(1)セラミック積層基板上の、グランド導体パターンは、数十ミクロン以下の薄膜パターンから構成されており、他の主平面に配されたグランド導体とは、数百ミクロン径のビアによって接続される。そのため、グランド自体の電位が揺らぎ、特定の周波数において共振してしまう。
(2)セラミック積層基板は、主平面上には導体パターンを設けることは可能であるが、側面に導体パターンを設けることは困難である。したがって、セラミック積層基板の側部からは、高周波ノイズが放射されやすい。特に、光通信で使われる光モジュールは、特許文献1、2で示された光モジュールと同様に、セラミック積層基板がモジュール外部に表出している。このようなセラミック積層板側部からは、高周波ノイズが放射されやすく、これらのノイズは、光モジュール外に飛び出し、光トランシーバ内に放出されてしまう。
However, the optical modules disclosed in Patent Documents 1 and 2 have the following problems.
(1) The ground conductor pattern on the ceramic multilayer substrate is composed of a thin film pattern of several tens of microns or less, and is connected to ground conductors arranged on other main planes by vias having a diameter of several hundred microns. . Therefore, the potential of the ground itself fluctuates and resonates at a specific frequency.
(2) The ceramic laminated substrate can be provided with a conductor pattern on the main plane, but it is difficult to provide a conductor pattern on the side surface. Therefore, high frequency noise is likely to be radiated from the side portion of the ceramic multilayer substrate. In particular, in an optical module used in optical communication, a ceramic multilayer substrate is exposed to the outside of the module as in the optical modules disclosed in Patent Documents 1 and 2. High-frequency noise is likely to be radiated from the side of such a ceramic laminate, and these noises jump out of the optical module and are emitted into the optical transceiver.

上記で示したグランドパターンの共振は、パターンの長さや外縁が、1/2×N×λ(N:整数、λ:波長)となったときに引き起こされると一般的に言われているが、パターンの形状、シグナルパッド、ビアの位置関係にも依存する。従来の光モジュールでは、これら共振周波数は、大体10GHz以上であった。そのため、10Gbps程度の信号伝送では、これらの共振は、特に大きな問題とならなかった。しかしながら、近年、20Gbps、さらには40Gbps程度の伝送速度に対応した光モジュール、及び光トランシーバが必要となってきており、10GHz以上の高周波域においても、光モジュールからの電磁界放射を防ぐ必要性が出てきた。   The resonance of the ground pattern shown above is generally said to be caused when the length or outer edge of the pattern becomes 1/2 × N × λ (N: integer, λ: wavelength). It also depends on the pattern shape, signal pad, and via positional relationship. In the conventional optical module, these resonance frequencies are approximately 10 GHz or more. Therefore, in the signal transmission of about 10 Gbps, these resonances have not been a big problem. However, in recent years, an optical module and an optical transceiver corresponding to a transmission speed of about 20 Gbps and further about 40 Gbps have been required, and it is necessary to prevent electromagnetic field radiation from the optical module even in a high frequency range of 10 GHz or more. It came out.

このような電磁界放射は、光トランシーバの安定的な高速動作にとってデメリットとなる。   Such electromagnetic field radiation is disadvantageous for stable high-speed operation of the optical transceiver.

本発明の目的は、安定的に高速動作させることができる光モジュールを提供することにある。   An object of the present invention is to provide an optical module that can be stably operated at a high speed.

本願は上記目的を達成する手段を複数含むものである。その一例は、特許請求の範囲に記載された発明である。   The present application includes a plurality of means for achieving the above object. One example is the invention described in the claims.

本発明によれば、安定的に高速動作させることができる光モジュールを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an optical module that can be stably operated at a high speed.

実施例1の光モジュールの構成を示す断面図である。1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an optical module according to Example 1. FIG. 図1の光モジュールのA−A’切断線に沿った断面構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross-section along the A-A 'cutting line of the optical module of FIG. 実施例2の光モジュール構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing an optical module configuration of Example 2. 図3の光モジュールのB−B’切断面に沿った断面構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross-section along the B-B 'cut surface of the optical module of FIG. 実施例3の光モジュール構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing an optical module configuration of Example 3. 実施例3の光モジュール構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing an optical module configuration of Example 3. 実施例4の光モジュール構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing an optical module configuration of Example 4. 図7の光モジュールのC−C’切断面に沿った断面構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross-section along the C-C 'cut surface of the optical module of FIG. 実施例5の光モジュール構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an optical module configuration of Example 5. 図9の光モジュールのD−D’切断面に沿った断面構造を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure along the D-D ′ cut surface of the optical module of FIG. 9. 実施例6の光モジュール構造を示す断面図である。10 is a cross-sectional view showing an optical module structure of Example 6. FIG. 実施例7の光モジュール構造を示す断面図である。10 is a cross-sectional view showing an optical module structure of Example 7. FIG. 実施例8の光モジュール構造を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing an optical module structure of Example 8. 実施例9の光モジュール構成を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating an optical module configuration of Example 9. 図14の光モジュールのE−E’切断面に沿った断面構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross-section along the E-E 'cut surface of the optical module of FIG. 実施例10の光モジュール構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical module structure of Example 10. FIG. 図16の光モジュールのF−F’切断面に沿った断面構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross-section along the F-F 'cut surface of the optical module of FIG. 実施例11の光モジュール構造を示す断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view showing an optical module structure of Example 11. 実施例11の光モジュール構造を示す断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view showing an optical module structure of Example 11. 実施例12の光モジュール構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical module structure of Example 12. 図20の光モジュールのG−G’切断面に沿った断面構造を示す断面図である。FIG. 21 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure along the G-G ′ cut surface of the optical module of FIG. 20. 実施例13の光モジュール構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the optical module structure of Example 13. 計算による本発明の効果検証用の光モジュールを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the optical module for the effect verification of this invention by calculation. 本発明の効果を検証した計算結果を含むグラフである。It is a graph containing the calculation result which verified the effect of the present invention. 本発明の効果を検証した計算結果を含むグラフである。It is a graph containing the calculation result which verified the effect of the present invention.

以下、図面を参照して実施例を詳細に説明するが、本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。   Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the drawings. Outlines of representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.

本願において開示される光モジュールは、パッケージの一部が多層セラミック基板によって構成されており、さらに多層セラミック基板の内部または表層には信号が伝播する導体パターンや接地導体がパターニングされている。これらの光モジュール用のパッケージは、箱型もしくは同軸型形状をしている。なお、導体パターンとは、セラミック基板上にパターニングされたパターンだけでなく、セラミック基板内のパターン、セラミック基板を貫通するビアやスルーホールも含める。またグランド用導体パターンとは、高周波信号が伝播する導体パターンの、特性インピーダンスを保つように、信号導体パターンに近接して配置される導体パターンのことを指し、グランド導体パターンの面積は、高周波信号が伝播する導体パターンの数十倍以上の広さを持つことが多い。また接地導体とは、必ずしも、パッケージ外部を覆う金属や金属パターン、もしくは、光トランシーバの筐体等と導通が取られている必要は無い。   In the optical module disclosed in the present application, a part of a package is formed of a multilayer ceramic substrate, and a conductor pattern for transmitting a signal and a ground conductor are patterned inside or on the surface of the multilayer ceramic substrate. These packages for optical modules have a box shape or a coaxial shape. The conductor pattern includes not only a pattern patterned on the ceramic substrate but also a pattern in the ceramic substrate, a via and a through hole penetrating the ceramic substrate. The ground conductor pattern is a conductor pattern arranged close to the signal conductor pattern so as to maintain the characteristic impedance of the conductor pattern through which the high-frequency signal propagates. The area of the ground conductor pattern is the high-frequency signal. In many cases, it has a width several tens of times as large as the conductor pattern through which the light propagates. The ground conductor does not necessarily need to be electrically connected to a metal or a metal pattern covering the outside of the package or the casing of the optical transceiver.

さらに、上記光モジュールでは、多層セラミック基板の導体パターンと、直接または、他の導体を介して、導通がとられる導体パターンを有した第2の基板が取り付けられる。光モジュールとは、この第2の基板、パッケージを含めて指している。   Further, in the above optical module, a second substrate having a conductor pattern that is electrically connected to the conductor pattern of the multilayer ceramic substrate and directly or via another conductor is attached. The optical module includes the second substrate and the package.

さらに、上記光モジュールでは、多層セラミックの信号導体パターンの少なくとも一部に沿って配置された電波吸収体または電波遮蔽体とを有する。   Furthermore, the optical module includes a radio wave absorber or a radio wave shield disposed along at least a part of the signal conductor pattern of the multilayer ceramic.

このような構成を採用した光モジュールは、セラミック基板のグランド用導体パターンに沿って配置された電波吸収体によって、セラミック基板上のグランドパターンが共振することを防ぎ、電磁ノイズの放射を防ぐことが可能となる。また、電波遮蔽体によって、電磁ノイズを光モジュール近傍より放出することを防ぐことが可能となる。   The optical module employing such a configuration can prevent the ground pattern on the ceramic substrate from resonating and prevent electromagnetic noise from being radiated by the radio wave absorber disposed along the ground conductor pattern of the ceramic substrate. It becomes possible. Further, the electromagnetic wave shield can prevent electromagnetic noise from being emitted from the vicinity of the optical module.

さらに、上記光モジュールでは、電波吸収体や電波遮蔽体がセラミック基板近傍で光モジュールを構成する部材に固定される。そのため、長期使用にわたって、電波吸収体および電波遮蔽体が外れにくいという利点を有する。   Furthermore, in the optical module, the radio wave absorber and the radio wave shield are fixed to the members constituting the optical module near the ceramic substrate. Therefore, there is an advantage that the radio wave absorber and the radio wave shield are not easily detached over a long period of use.

以上の構造を利用した光モジュールを適用することで、安定的に高速動作する光トランシーバを提供することが可能となる。   By applying the optical module using the above structure, an optical transceiver that stably operates at high speed can be provided.

なお、以下の実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは、その繰り返しの説明は省略する。   In all the drawings for explaining the following embodiments, those having the same function are not described repeatedly.

[実施例1]
図1は、実施例1の光モジュールの構成を示す断面図である。また、便宜的に座標軸を記載し、光信号の入出力方向をZ軸とした。
[Example 1]
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an optical module according to the first embodiment. For convenience, the coordinate axis is described, and the input / output direction of the optical signal is the Z axis.

光モジュールを構成するパッケージの基材は、積層されたセラミック基板0106によって構成されており、材質は、アルミナ、アルミナイトライド、LTCC等が一般的に使用される。セラミック基板0106上には光素子0103が搭載されている。光素子0103上と導体パッド0107の電気的結合はワイヤ0104によって成されている。光素子0103は、発光または受光素子であり、受発光する光信号は、フタ0102に固定されたレンズ0101を通過する。セラミック基板0106上には、金属製のフランジ0105が設けられており、その上に、フタ0102が固着される。以上により、光素子103は、湿気等の外気にさらされることが無く、経時劣化が最小に抑えられている。このほか、セラミック基板0106上にはIC、チップコンデンサ、抵抗などの電子素子が搭載されることもある。   The substrate of the package constituting the optical module is composed of laminated ceramic substrates 0106, and the material is generally alumina, aluminum nitride, LTCC or the like. An optical element 0103 is mounted on the ceramic substrate 0106. Electrical coupling between the optical element 0103 and the conductor pad 0107 is made by a wire 0104. The optical element 0103 is a light emitting or light receiving element, and an optical signal to be received and emitted passes through a lens 0101 fixed to the lid 0102. A metal flange 0105 is provided on the ceramic substrate 0106, and a lid 0102 is fixed thereon. As described above, the optical element 103 is not exposed to outside air such as moisture, and deterioration with time is minimized. In addition, electronic elements such as an IC, a chip capacitor, and a resistor may be mounted on the ceramic substrate 0106.

セラミック基板0106上面の導体パッド0107と裏面の導体パッド0112とはビア0111と内層のパッド0130等によって導通接続されている。   The conductor pad 0107 on the upper surface of the ceramic substrate 0106 and the conductor pad 0112 on the back surface are electrically connected by a via 0111, an inner layer pad 0130, and the like.

フレキシブル基板の基材は、ベースフィルム0124上によって構成されており、代表的な材質としてポリイミドや液晶ポリマーなどが知られている。ベースフィルム0124の厚さは数十ミクロン〜100ミクロン程度が一般的である。ベースフィルム0124上には、グランド用の導体パターン0113や、信号用の導体パターン0116がパターニングされている。このほか、電源、モニタ、制御用の信号、電源等のパターンも、ベースフィルム0124上にパターニングされる。光素子の電源用のリードピン0121は、フレキシブル基板にもうけられたスルーホール0123を貫通し、半田0120によって導体パッド0123に固着されている。ここで、導体パッドとは、特に半田などを固着することを目的とした導体パターンのことであるが、導体パッドと、導体パターンは本質的に同じであり、他実施例でも同様である。さて、信号用のリードピン0118は、スルーホール0119を貫通し、半田0117によって信号用の導体パターン0116に固着される。プリント基板0127は、光トランシーバを構成する部材であり、IC,LSI、抵抗、コンデンサ等の電子素子が搭載される。プリント基板0127には、伝送線路用の導体パターン0129やグランド用の導体パターン0128のほか、電源、制御等のパターンがパターニングされる。導体パターン0129は、半田0126によって、フレキシブル基板上のパッド0114と固着される。   The base material of the flexible substrate is constituted by a base film 0124, and polyimide, liquid crystal polymer, and the like are known as typical materials. The thickness of the base film 0124 is generally about several tens to 100 microns. On the base film 0124, a ground conductor pattern 0113 and a signal conductor pattern 0116 are patterned. In addition, patterns such as a power source, a monitor, a control signal, and a power source are also patterned on the base film 0124. A lead pin 0121 for power supply of the optical element passes through a through hole 0123 provided in the flexible substrate, and is fixed to the conductor pad 0123 by solder 0120. Here, the conductor pad is a conductor pattern intended to fix solder or the like in particular, but the conductor pad and the conductor pattern are essentially the same, and the same applies to other embodiments. The signal lead pin 0118 passes through the through hole 0119 and is fixed to the signal conductor pattern 0116 with the solder 0117. The printed circuit board 0127 is a member that constitutes an optical transceiver, on which electronic elements such as an IC, an LSI, a resistor, and a capacitor are mounted. In addition to the transmission line conductor pattern 0129 and the ground conductor pattern 0128, the printed circuit board 0127 is patterned with power supply, control, and other patterns. The conductor pattern 0129 is fixed to the pad 0114 on the flexible substrate by the solder 0126.

図2は、図1の線A−A′を含むXY平面で切った断面図である。セラミック基板0106上には、グランド用の導体パターン0110と、信号用の導体パッド0130、電源、制御用導体パッド0131がパターニングされている。   FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the XY plane including the line AA ′ of FIG. On the ceramic substrate 0106, a ground conductor pattern 0110, a signal conductor pad 0130, a power source, and a control conductor pad 0131 are patterned.

実際に、高周波信号がビア0111や信号用の導体パッド0130を通過すると、ビア0111や導体パッド0130から近接した導体まで電気力線が出来る。この電気力線の影響を抑え、高周波特性を向上させるため、グランド用の導体パターンを信号配線に近接させる。本実施例でも、図2に示すように、高周波信号の導体パッド0130とグランド用導体パターン0110は近接している。   Actually, when a high-frequency signal passes through the via 0111 or the signal conductor pad 0130, an electric force line is generated from the via 0111 or the conductor pad 0130 to a nearby conductor. In order to suppress the influence of the electric lines of force and improve the high frequency characteristics, the ground conductor pattern is placed close to the signal wiring. Also in the present embodiment, as shown in FIG. 2, the high-frequency signal conductor pad 0130 and the ground conductor pattern 0110 are close to each other.

ところが、グランド用導体パターン0110も、他のグランド配線(例えば導体パターン0125)とビアによって接続されているため、数GHz以上の高周波では、電位は、必ずしも安定しない。これらの電位揺らぎは、ある特定の周波数で、共振を起こし、ノイズを発生するようになる。この時の放射電磁界は、導体パターン0110の形状、長さ等によるが、グランド用導体パターン0110の外縁に集中する。そこで、他の導体パッド0131よりも、グランド用導体パターン0110の外縁部の一部を、セラミック基板0106の外縁部に近接させ、グランド用導体パターン0110と同じXY平面内に、電波吸収体0109を配置し、接着剤0108によってセラミック基板106によって固定した。つまり、電波吸収体0109は、図2に示すように、図1のA−A’断面内では、セラミック基板0106内のグランド用導体パターン0110に沿って、配置されている。これにより、グランド用導体パターン0110の外縁に集中した電磁界の共振効率を低減させ、共振を大幅に抑制することが出来る。   However, since the ground conductor pattern 0110 is also connected to other ground wirings (for example, the conductor pattern 0125) by vias, the potential is not always stable at a high frequency of several GHz or more. These potential fluctuations cause resonance and noise at a specific frequency. The radiated electromagnetic field at this time is concentrated on the outer edge of the ground conductor pattern 0110, depending on the shape, length, etc. of the conductor pattern 0110. Therefore, a part of the outer edge portion of the ground conductor pattern 0110 is made closer to the outer edge portion of the ceramic substrate 0106 than the other conductor pads 0131, and the radio wave absorber 0109 is placed in the same XY plane as the ground conductor pattern 0110. Placed and secured by ceramic substrate 106 with adhesive 0108. That is, as shown in FIG. 2, the radio wave absorber 0109 is arranged along the ground conductor pattern 0110 in the ceramic substrate 0106 in the A-A ′ cross section of FIG. Thereby, the resonance efficiency of the electromagnetic field concentrated on the outer edge of the ground conductor pattern 0110 can be reduced, and the resonance can be significantly suppressed.

電波吸収体0109の材質は、フェライト、カーボンから構成された固体であり、例えばプラスチックなどの有機材料にフェライト、カーボンを分散させたものも使われる。また、電波吸収体0109は、本実施例のように、接着剤0108によってセラミック基板0106に直接、固着しても良いが、光トランシーバ内の他部材に固定した電波吸収体0109をセラミック基板0106に接触するように配置しても良い。   The material of the radio wave absorber 0109 is a solid composed of ferrite and carbon. For example, a material in which ferrite and carbon are dispersed in an organic material such as plastic is also used. The radio wave absorber 0109 may be directly fixed to the ceramic substrate 0106 with an adhesive 0108 as in this embodiment, but the radio wave absorber 0109 fixed to another member in the optical transceiver is attached to the ceramic substrate 0106. You may arrange | position so that it may contact.

図1に戻って、電波吸収体0109の一部は、グランド用導体パターン0125よりも距離L1だけ、−Z軸方向に出ている。これは、電磁界放射がグランド用導体パターン0125の外縁に集中するため、−Z軸方向に距離L1だけ余分に電波吸収体0109を出すことで、グランド用導体パターン0125の外縁に集中した電磁界の共振効率を低減することが可能となる。すなわち、電波吸収体0109の一部は、グランド導体パターン0125の主平面と同一平面上に位置することで、共振効率を下げることが出来る。   Returning to FIG. 1, a part of the radio wave absorber 0109 protrudes in the −Z-axis direction by a distance L1 from the ground conductor pattern 0125. This is because the electromagnetic field radiation concentrates on the outer edge of the ground conductor pattern 0125, and therefore the electromagnetic field concentrated on the outer edge of the ground conductor pattern 0125 is obtained by extending the radio wave absorber 0109 by the distance L1 in the −Z-axis direction. It becomes possible to reduce the resonance efficiency. That is, a part of the radio wave absorber 0109 is located on the same plane as the main plane of the ground conductor pattern 0125, so that the resonance efficiency can be lowered.

このように、本実施例によれば、パッケージの一部にセラミックを使用した光モジュールにおいて、共振による放射電磁界が少なくなるという利点を有した光モジュールを提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, an optical module having an advantage that a radiated electromagnetic field due to resonance is reduced in an optical module using ceramic as a part of a package can be provided.

図23に効果を検証するためにシミュレーションのモデルを示し、図25、26に計算結果を示すグラフを示す。   FIG. 23 shows a simulation model for verifying the effect, and FIGS. 25 and 26 show graphs showing calculation results.

図23について説明する。直径5.4mmφ、厚み1mm、の円形セラミック基板2406の表面と裏面に導体パターン2407がパターニングされている。セラミック基板2406の比誘電率は8.5であり、誘電損失は、無視できるほど小さいとした。表裏面の導体パターン2407は、接地導体(グランド)であり、シグナルとは、絶縁されている。シグナルパッド2405は2パッド設けられているが、これは差動シグナルを伝送することを想定している。表面のシグナル、グランド導体パターンおよびパッドは、ビア2408によって裏面のシグナル、グランド導体パターンと接続されている。また表面の導体パターン2407上には、フランジ2401が取り付けられている。フランジ2401は金属でできており、直径6mmφ、厚み0.3mmである。   FIG. 23 will be described. Conductive patterns 2407 are patterned on the front and back surfaces of a circular ceramic substrate 2406 having a diameter of 5.4 mmφ and a thickness of 1 mm. The relative permittivity of the ceramic substrate 2406 was 8.5, and the dielectric loss was negligibly small. The conductor pattern 2407 on the front and back surfaces is a ground conductor (ground) and is insulated from the signal. Two signal pads 2405 are provided, which are assumed to transmit differential signals. The signal on the front surface, the ground conductor pattern, and the pad are connected to the signal on the back surface and the ground conductor pattern by a via 2408. A flange 2401 is attached on the conductor pattern 2407 on the surface. The flange 2401 is made of metal and has a diameter of 6 mmφ and a thickness of 0.3 mm.

セラミック基板2406裏面のシグナルとグランド導体パッド上には、直径0.2mmφで、長さ1mmのリードピン(図示されず)が取り付けられており、このリードピンは、プリント基板2404上の導体パターン2403と接続されている。プリント基板2404は、比誘電率3.2であり、厚み0.2mm、信号の伝送長2mmである。   A lead pin (not shown) having a diameter of 0.2 mm and a length of 1 mm is mounted on the signal and ground conductor pad on the back surface of the ceramic substrate 2406, and this lead pin is connected to the conductor pattern 2403 on the printed circuit board 2404. Has been. The printed circuit board 2404 has a relative dielectric constant of 3.2, a thickness of 0.2 mm, and a signal transmission length of 2 mm.

図24は、電波吸収体2402を配置しなかった場合の、周波数0〜30GHzにおける、シグナルの伝達ロス(Transmission Loss)を示したものである。20GHz周辺に、1dB以上の急峻な伝達ロスが見られる。これは、グランド導体パターン2407が共振することで、エネルギーが外部に放射されたことによっておきたものである。   FIG. 24 shows a signal transmission loss at a frequency of 0 to 30 GHz when the radio wave absorber 2402 is not disposed. A steep transmission loss of 1 dB or more is observed around 20 GHz. This is caused by the fact that energy is radiated to the outside by the resonance of the ground conductor pattern 2407.

一方、図25は、電波吸収体2402を配置した場合の、シグナルの伝達ロスを示したものである。0〜30GHzまで、大きな伝達ロスが見られない。すなわち、外部への電磁エネルギー放射の原因となる、導体パターン2407における共振が抑制されているのがわかる。   On the other hand, FIG. 25 shows signal transmission loss when the radio wave absorber 2402 is arranged. No large transmission loss is seen up to 0-30 GHz. That is, it can be seen that resonance in the conductor pattern 2407, which causes electromagnetic energy radiation to the outside, is suppressed.

このように、本実施例によれば、安定的に高速動作する光モジュールを構成することができる。   Thus, according to the present embodiment, an optical module that stably operates at high speed can be configured.

なお、図1、図2、図23、図24及び図25の符号は次の構成を示している。0101はレンズ、0102はフタ、0103は光素子、0104はワイヤ、0105はフランジ、0106はセラミック基板、0107は導体パッド、0108は接着剤、0109は電波吸収体、0110は導体パターン、0111はビア、0112は導体パッド、0113はグランドパターン、0114は導体パッド、0115はスルーホール、0116は導体パターン、0117は半田、0118はリードピン、0119はスルーホール、0120は半田、0121はリードピン、0122はスルーホール、0123は導体パッド、0124はベースフィルム、0125は導体パターン、0126は半田、0127はプリント基板、0128はグランドパターン、0129は導体パターン、0130は導体パッド、0131は導体パッド、2401はフランジ、2402は電波吸収体、2403は導体パターン、2404はプリント基板、2405はシグナルパッド、2406はセラミック基板、2407は導体パターン、2408はビアである。   1, 2, 23, 24, and 25 indicate the following configurations. 0101 is a lens, 0102 is a lid, 0103 is an optical element, 0104 is a wire, 0105 is a flange, 0106 is a ceramic substrate, 0107 is a conductor pad, 0108 is an adhesive, 0109 is a radio wave absorber, 0110 is a conductor pattern, and 0111 is a via. , 0112 is a conductor pad, 0113 is a ground pattern, 0114 is a conductor pad, 0115 is a through hole, 0116 is a conductor pattern, 0117 is solder, 0118 is a lead pin, 0119 is a through hole, 0120 is solder, 0121 is a lead pin, and 0122 is a through hole. Hole, 0123 is a conductor pad, 0124 is a base film, 0125 is a conductor pattern, 0126 is solder, 0127 is a printed circuit board, 0128 is a ground pattern, 0129 is a conductor pattern, 0130 is a conductor pad, 0131 is a conductor pad , 2401 flange 2402 wave absorber 2403 conductor pattern, the printed circuit board 2404, the signal pad 2405, 2406 ceramic substrate, 2407 is the conductor pattern, the 2408 is a via.

[実施例2]
図3は、実施例2の光モジュールの構成を示す断面図である。図4は、図3に示す光モジュールを線B−B´を含むXY平面で切った断面である。積層したセラミック基板0305の裏面にはグランドの導体パターン0306、光素子0303電源用の導体パッド0318、グランドの導体パターン0320、0322、信号用の導体パターン0321がパターニングされている。なお、導体パッド0318、0321上には、リードピン0312が固定されている。一方、フレキシブル基板を構成するベースフィルム0309上には、導体パターン0308、0319などがパターニングされている。電波吸収体0307は、パッケージを構成する積層したセラミック基板0305と、フレキシブル基板を構成するベースフィルム0309に挟まれている。更に、電波吸収体0307に孔0323を設け、孔の中にリードピン0312を通すことで、電波吸収体0307は、光モジュールを長期的に使用している際に、光モジュールから外れてしまうことがないという利点を有している。
[Example 2]
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of the optical module according to the second embodiment. 4 is a cross-sectional view of the optical module shown in FIG. 3 cut along an XY plane including a line BB ′. On the back surface of the laminated ceramic substrate 0305, a ground conductor pattern 0306, an optical element 0303 power source conductor pad 0318, ground conductor patterns 0320 and 0322, and a signal conductor pattern 0321 are patterned. Note that lead pins 0312 are fixed on the conductor pads 0318 and 0321. On the other hand, conductor patterns 0308 and 0319 are patterned on the base film 0309 constituting the flexible substrate. The radio wave absorber 0307 is sandwiched between a laminated ceramic substrate 0305 constituting a package and a base film 0309 constituting a flexible substrate. Further, by providing a hole 0323 in the radio wave absorber 0307 and passing the lead pin 0312 through the hole, the radio wave absorber 0307 may be detached from the optical module when the optical module is used for a long time. Has the advantage of not.

セラミック基板0305上のグランド導体パターン0306と、ベースフィルム0308上のグランド導体パターン0308は、共に電位が揺らぎ易く、特定周波数で共振を起こしやすい。本光モジュールでは、電波吸収体0307が導体パターン0306、0308に近接さらには接触することで、共振を抑制する効果を有する。   The ground conductor pattern 0306 on the ceramic substrate 0305 and the ground conductor pattern 0308 on the base film 0308 are both likely to fluctuate in potential and easily resonate at a specific frequency. In the present optical module, the radio wave absorber 0307 is in proximity to or in contact with the conductor patterns 0306 and 0308, thereby having an effect of suppressing resonance.

さらに、一般的に共振電磁界は、グランド導体パターンの外縁に局在し易い性質があるため、電波吸収体0307の一部は、導体パターン0308よりもY軸方向に距離L2だけ伸びて配置し、導体パターン0305よりもY軸方向に距離L3だけ伸びて配置することで、共振を抑制する効果が、より大きくなる。すなわち、導体パターン0308主平面(XY平面)の端部から法線方向(Z軸方向)に吸収体0307は位置することで、共振抑制に利点を有する。
なお、図3及び図4の符号は次の構成を示している。0301はレンズ、0302はフタ、0303は光素子、0304はフランジ、0305はセラミック基板、0306は導体パターン、0307は電波吸収体、0308は導体パターン、0309はベースフィルム、0310は導体パッド、0311は半田、0312はリードピン、0313はスルーホール、0314は伝送路パターン、0315はグランドパターン、0316はスルーホール、0317は導体パッド、0318は導体パッド、0319は導体パターン、0320は導体パターン、0321は導体パッド、0322は導体パターン、0323は孔である。
Furthermore, since the resonance electromagnetic field generally has the property of being easily localized at the outer edge of the ground conductor pattern, a part of the radio wave absorber 0307 is arranged to extend from the conductor pattern 0308 by a distance L2 in the Y-axis direction. By arranging the conductor pattern 0305 so as to extend the distance L3 in the Y-axis direction, the effect of suppressing resonance is further increased. That is, the absorber 0307 is positioned in the normal direction (Z-axis direction) from the end of the main plane (XY plane) of the conductor pattern 0308, which has an advantage in suppressing resonance.
In addition, the code | symbol of FIG.3 and FIG.4 has shown the following structure. 0301 is a lens, 0302 is a lid, 0303 is an optical element, 0304 is a flange, 0305 is a ceramic substrate, 0306 is a conductor pattern, 0307 is a radio wave absorber, 0308 is a conductor pattern, 0309 is a base film, 0310 is a conductor pad, and 0311 is Solder, 0312 is a lead pin, 0313 is a through hole, 0314 is a transmission line pattern, 0315 is a ground pattern, 0316 is a through hole, 0317 is a conductor pad, 0318 is a conductor pad, 0319 is a conductor pattern, 0320 is a conductor pattern, and 0321 is a conductor A pad, 0322 is a conductor pattern, and 0323 is a hole.

[実施例3]
図5及び図6は、実施例3の光モジュールの構成を示す断面図である。
図5では、電波吸収体0503が接着剤0502によって、フタ0501やフランジ0508に取り付けられている。一方、図6では、電波吸収体0503が接着剤0502によって、ベースフィルム0507に取り付けられている。セラミック基板0518内にはグランドを成す導体パターン0505が有り、導体パターン0505の主平面は、XY平面と平行である。導体パターン0505主平面と同一XY平面上には、電波吸収体0503がある。これにより、グランド導体パターン0506の外縁に局在した共振電磁界の共振効率が低下しやすいという利点がある。
[Example 3]
5 and 6 are cross-sectional views illustrating the configuration of the optical module according to the third embodiment.
In FIG. 5, the radio wave absorber 0503 is attached to the lid 0501 and the flange 0508 with an adhesive 0502. On the other hand, in FIG. 6, the radio wave absorber 0503 is attached to the base film 0507 with an adhesive 0502. A ceramic substrate 0518 has a conductor pattern 0505 forming a ground, and the main plane of the conductor pattern 0505 is parallel to the XY plane. There is a radio wave absorber 0503 on the same XY plane as the conductor pattern 0505 main plane. Accordingly, there is an advantage that the resonance efficiency of the resonance electromagnetic field localized at the outer edge of the ground conductor pattern 0506 is likely to be lowered.

このように、電波吸収体0503は、必ずしもセラミック基板0518に取り付けられている必要は無く、光トランシーバ内の他部材に取り付けられていても良い。但し、電波吸収体0503は、光トランシーバ内において、セラミック基板0518内のグランド導体パターン0506に近接していることが重要であり、特に、セラミック基板0518に触れるように配されるのが最適である。そのため、電波吸収体の取り付け精度、加工精度は数百ミクロン程度あることを考慮すると、本実施例で示すように、光モジュールの一部材に直接取り付けられているほうがよい。   Thus, the radio wave absorber 0503 is not necessarily attached to the ceramic substrate 0518, and may be attached to other members in the optical transceiver. However, it is important that the radio wave absorber 0503 is close to the ground conductor pattern 0506 in the ceramic substrate 0518 in the optical transceiver. In particular, the radio wave absorber 0503 is optimally arranged so as to touch the ceramic substrate 0518. . Therefore, considering that the mounting accuracy and processing accuracy of the radio wave absorber are about several hundreds of microns, it is better to be directly mounted on one member of the optical module as shown in this embodiment.

なお、図5及び図6の符号は次の構成を示している。0501はフタ、0502は接着剤、0503は電波吸収体、0504はビア、0505は導体パターン、0506は導体パッド、0507はベースフィルム、0508はフランジ、0509は導体パターン、0510はビア、0511は導体パターン、0512は半田、0513はリードピン、0514は導体パッド、0515は導体パッド、0516は導体パターン、0517は導体パターン、0518はセラミック基板である。   In addition, the code | symbol of FIG.5 and FIG.6 has shown the following structure. 0501 is a lid, 0502 is an adhesive, 0503 is a radio wave absorber, 0504 is a via, 0505 is a conductor pattern, 0506 is a conductor pad, 0507 is a base film, 0508 is a flange, 0509 is a conductor pattern, 0510 is a via, and 0511 is a conductor. Pattern, 0512 is solder, 0513 is a lead pin, 0514 is a conductor pad, 0515 is a conductor pad, 0516 is a conductor pattern, 0517 is a conductor pattern, and 0518 is a ceramic substrate.

[実施例4]
図7及び図8は、実施例4の光モジュールの構成を示す断面図である。図7において、XY平面と平行を成す平面C−C´における光モジュール断面を示した図が図8である。広い導体パターン0706は接地導体として使われことが一般的であり、面積の狭いパッド0728は、信号、電源等に使われる。接地用の導体パターン0706の外縁には共振電磁界が発生しやすい。そこで、電波吸収体0707は、接地用の導体パターン0706と同じXY平面内の側部に位置し、共振電磁界の共振効率を低下するように配置されている。電波吸収体0707は、コの字状を成すように切り欠き部が形成されており、特に、開口がセラミック基板0708の外径よりも小さくなっている。そのため、電波吸収体0707は、セラミック基板0708に近接あるいは接触し、XY軸方向に抜け落ちることが無く、安定して位置すること出来るという利点を有している。
[Example 4]
7 and 8 are cross-sectional views illustrating the configuration of the optical module according to the fourth embodiment. In FIG. 7, FIG. 8 is a view showing a cross section of the optical module in a plane CC ′ parallel to the XY plane. The wide conductor pattern 0706 is generally used as a ground conductor, and the pad 0728 having a small area is used for a signal, a power source and the like. A resonant electromagnetic field is likely to be generated at the outer edge of the grounding conductor pattern 0706. Therefore, the radio wave absorber 0707 is located on the same side in the XY plane as the grounding conductor pattern 0706 and is disposed so as to reduce the resonance efficiency of the resonance electromagnetic field. The radio wave absorber 0707 is formed with a notch so as to form a U shape, and in particular, the opening is smaller than the outer diameter of the ceramic substrate 0708. Therefore, the radio wave absorber 0707 has an advantage that it can be positioned stably without being close to or in contact with the ceramic substrate 0708 and falling off in the XY axis direction.

図7に戻って、フランジ0705が電波吸収体0707内径よりも距離L5だけ飛び出した構造となっている。またフレキシブル基板を構成するベースフィルム0712も電波吸収体0707内径よりL6だけ飛び出した構造となっている。すなわち、電波吸収体0707の多層セラミック基板0708に近接している面以外の側部は、光モジュールを構成する部材(ここではベースフィルム0712とフランジ0705)が近接している。そのため、電波吸収体0707はZ軸方向の自由度が制限されており、セラミック基板0708の側方向に位置させることが可能である。そのため、電波吸収体0707は、Z軸方向に抜け落ちることが無いという利点を有している。   Returning to FIG. 7, the flange 0705 protrudes by a distance L5 from the inner diameter of the radio wave absorber 0707. Further, the base film 0712 constituting the flexible substrate has a structure protruding by L6 from the inner diameter of the radio wave absorber 0707. That is, the members (here, the base film 0712 and the flange 0705) constituting the optical module are close to each other on the side of the radio wave absorber 0707 other than the surface close to the multilayer ceramic substrate 0708. Therefore, the radio wave absorber 0707 has a limited degree of freedom in the Z-axis direction, and can be positioned in the side direction of the ceramic substrate 0708. Therefore, the radio wave absorber 0707 has an advantage that it does not fall off in the Z-axis direction.

ところで、この電波吸収体0707の固定に際して、光モジュールのパッケージを構成する部材(ここではフランジ0705)と、光モジュールのパッケージを構成していない部材(ここではベースフィルム0712)で挟み込んだ構造としたことには、大きな利点がある。それは、例え、電波吸収体0707のZ軸方向の幅にばらつきがあっても、ベースフィルム0712とリードピン0709のZ軸方向の固定位置を変えることで、電波吸収体0707はがたつき少なく固定できるという利点がある。さらに、ベースフィルム0712は、可撓性に富んだフレキシブル基板の一材質である。したがって、リードピン0709を半田0711で固定した時に、電波吸収体0707に対し、ベースフィルム0712が押圧を持った状態で固定させることが可能となる。すなわち、電波吸収体0707は、より一層がたつきが少なく、固定されるというメリットを有する。また、長時間の使用により電波吸収体0707が膨張しても、膨張による圧力によって、ベースフィルム0712がたわむことで、半田0711等が破断されることを防ぐという機能を有している。
この電波吸収体0707の固定法は、材質が、電波遮蔽体であっても適用可能である。
By the way, when the radio wave absorber 0707 is fixed, it is structured such that it is sandwiched between a member constituting the optical module package (here, flange 0705) and a member not constituting the optical module package (here, the base film 0712). There are significant advantages to this. For example, even if there are variations in the width of the radio wave absorber 0707 in the Z-axis direction, the radio wave absorber 0707 can be fixed with little backlash by changing the fixing position of the base film 0712 and the lead pin 0709 in the Z-axis direction. There is an advantage. Furthermore, the base film 0712 is one material of a flexible substrate with high flexibility. Therefore, when the lead pin 0709 is fixed with the solder 0711, the base film 0712 can be fixed to the radio wave absorber 0707 in a state of being pressed. That is, the radio wave absorber 0707 has a merit that it is fixed with less shaking. In addition, even when the radio wave absorber 0707 expands due to long-time use, the base film 0712 has a function of preventing the solder 0711 and the like from being broken due to the pressure due to the expansion.
This method of fixing the radio wave absorber 0707 can be applied even if the material is a radio wave shield.

一方、ベースフィルム0712上には、カバーフィルム0726が接着されている。これは導体パターン0727が腐食することを防ぐためのものである。カバーフィルム0726は普通、せいぜい100ミクロン以下である。したがって、電波吸収体0707が導体パターン0727に直接接触することは無いが、電波吸収体0707は導体パターン0727に十分近接することが可能であり、導体パターン0727の電位を揺らがす不用な電磁界を吸収減衰することが可能である。すなわち、電波吸収体0707は、カバーフィルム0726に接触するように配置されている方が好ましい。   On the other hand, a cover film 0726 is bonded onto the base film 0712. This is to prevent the conductor pattern 0727 from corroding. Cover film 0726 is typically no greater than 100 microns. Therefore, the radio wave absorber 0707 does not directly contact the conductor pattern 0727, but the radio wave absorber 0707 can be sufficiently close to the conductor pattern 0727, and an unnecessary electromagnetic field that fluctuates the potential of the conductor pattern 0727 is generated. It is possible to attenuate the absorption. That is, it is preferable that the radio wave absorber 0707 is disposed so as to be in contact with the cover film 0726.

なお、図7及び図8の符号は次の構成を示している。0701はレンズ、0702はフタ、0703は光素子、0704はワイヤ、0705はフランジ、0706は導体パターン、0707は電波吸収体、0708はセラミック基板、0709はリードピン、0710は導体パッド、0711は半田、0712はベースフィルム、0713はリードピン、0714はスルーホール、0715は導体パターン、0716は導体パッド、0717はビア、0718は導体パッド、0719は導体パターン、0720はスルーホール、0721は導体パッド、0722は半田、0723はプリント基板、0724は導体パターン、0725はカバーフィルム、0726はカバーフィルム、0727は導体パターン、0728はリードピンである。   In addition, the code | symbol of FIG.7 and FIG.8 has shown the following structure. 0701 is a lens, 0702 is a lid, 0703 is an optical element, 0704 is a wire, 0705 is a flange, 0705 is a conductor pattern, 0707 is a radio wave absorber, 0708 is a ceramic substrate, 0709 is a lead pin, 0710 is a conductor pad, 0711 is solder, 0712 is a base film, 0713 is a lead pin, 0714 is a through hole, 0715 is a conductor pattern, 0716 is a conductor pad, 0717 is a via pad, 0718 is a conductor pad, 0719 is a conductor pattern, 0720 is a through hole, 0721 is a conductor pad, 0722 is a conductor pad Solder, 0723 is a printed circuit board, 0724 is a conductor pattern, 0725 is a cover film, 0726 is a cover film, 0727 is a conductor pattern, and 0728 is a lead pin.

[実施例5]
図9及び図10は、実施例5の光モジュールの構成を示す断面図である。図9において、XY平面と平行を成す平面D−D´における光モジュール断面を示した図が図10である。
[Example 5]
9 and 10 are cross-sectional views illustrating the configuration of the optical module according to the fifth embodiment. FIG. 10 is a diagram showing a cross section of the optical module in a plane DD ′ parallel to the XY plane in FIG.

金属枠0804は中空を成した枠となっており、中空部にセラミック基板0816が位置する。金属枠0804は、フランジ0803とベースフィルム0806に挟まれている。そのため、金属枠0804は、ほぼXYZ軸方向の自由度が制限されており、安定固定される。なおフランジ0803は、セラミック基板0816上の導体パターンに導通固定されている。そして、リードピン0811、0813が、半田0810によって、導体パッド0809、0812に接着されることで、ベースフィルム0806の位置は固定される。無論、本実施例で示した金属枠0804の固定方法は、電波吸収体の場合においても適用できる。   The metal frame 0804 is a hollow frame, and the ceramic substrate 0816 is positioned in the hollow portion. The metal frame 0804 is sandwiched between the flange 0803 and the base film 0806. Therefore, the metal frame 0804 has a limited degree of freedom in the XYZ axis directions and is stably fixed. The flange 0803 is conductively fixed to the conductor pattern on the ceramic substrate 0816. The lead pins 0811 and 0813 are bonded to the conductor pads 0809 and 0812 with the solder 0810, whereby the position of the base film 0806 is fixed. Of course, the fixing method of the metal frame 0804 shown in the present embodiment can also be applied to the case of a radio wave absorber.

接地された導体パターン0821の主平面は、XY平面内にあり、同一のXY平面内に金属枠0804が位置する。これにより、接地された導体パターン0821上の共振電磁界が放射されても、金属枠0804によって遮蔽されるという利点がある。   The main plane of the grounded conductor pattern 0821 is in the XY plane, and the metal frame 0804 is located in the same XY plane. Thereby, even if the resonant electromagnetic field on the grounded conductor pattern 0821 is radiated, there is an advantage that it is shielded by the metal frame 0804.

ところで、フランジ0803は金属で出来ており、金属枠0804と接触導通している。更に、ベースフィルム0806上には接地された導体パターン0805が、金属枠0804と接触導通している。これにより、例えば、接地された導体パターン0821や0808が共振を起こし、電磁界放射を起こしても、セラミック基板0816側部から放射される電磁界の大分は、金属枠0804、フランジ0803、導体パターン0805によって遮蔽され、光モジュール外側には、放射しづらいという利点がある。   By the way, the flange 0803 is made of metal and is in contact with the metal frame 0804. Further, a grounded conductor pattern 0805 is in contact with the metal frame 0804 on the base film 0806. As a result, for example, even if the grounded conductor patterns 0821 and 0808 resonate and cause electromagnetic field radiation, the majority of the electromagnetic field radiated from the side of the ceramic substrate 0816 is mostly the metal frame 0804, the flange 0803, and the conductor pattern. It is shielded by 0805 and has an advantage that it is difficult to radiate outside the optical module.

ところで、金属枠0804は、セラミック基板0816上の接地された導体パターン0808と導通が取られるように、形状等が加工されていても良く、その場合、導体パターン0805は無くても、セラミック基板0816側部からの電磁界遮蔽を少なくすることができる。   By the way, the metal frame 0804 may be processed in shape or the like so as to be electrically connected to the grounded conductor pattern 0808 on the ceramic substrate 0816. In this case, the ceramic substrate 0816 is not provided even if the conductor pattern 0805 is not provided. Electromagnetic field shielding from the side can be reduced.

なお、図9及び図10の符号は次の構成を示している。0801はフタ、0802はレンズ、0803はフランジ、0804は金属枠、0805は導体パターン、0806はベースフィルム、0807は導体パッド、0808は導体パターン、0809は導体パッド、0810は半田、0811はリードピン、0812は導体パッド、0813はリードピン、0814はスルーホール、0815は導体パッド、0816はセラミック基板、0817は導体パッド、0818は導体パッド、0819はワイヤ、0820は光素子、0821は導体パッド、0822はスルーホールである。   In addition, the code | symbol of FIG.9 and FIG.10 has shown the following structure. 0801 is a lid, 0802 is a lens, 0803 is a flange, 0804 is a metal frame, 0805 is a conductor pattern, 0805 is a base film, 0807 is a conductor pattern, 0808 is a conductor pattern, 0809 is a conductor pad, 0810 is a solder, 0811 is a lead pin, 0812 is a conductor pad, 0813 is a lead pin, 0814 is a through hole, 0815 is a conductor pad, 0816 is a ceramic substrate, 0817 is a conductor pad, 0818 is a conductor pad, 0819 is a wire, 0820 is an optical element, 0821 is a conductor pad, and 0822 is a conductor pad. It is a through hole.

[実施例6]
図11は、実施例6の光モジュールの構成を示す断面図である。セラミック基板1104内には高速信号が伝送されるビア1109や導体パッド1117が配置されている。また、図示されていないが、光デバイスの電源、バイアス用のビアや導体パッドなども配置されている。高速信号用の導体パッド1112上には、リードピン1101が接続されている。そしてリードピン1101は、半田1105によって、プリント基板1107上に配された伝送線路用の導体パターン1106に導通固定されている。
[Example 6]
FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating the configuration of the optical module according to the sixth embodiment. Vias 1109 and conductor pads 1117 for transmitting high-speed signals are disposed in the ceramic substrate 1104. Although not shown, a power supply for the optical device, bias vias, conductor pads, and the like are also arranged. Lead pins 1101 are connected on the conductor pads 1112 for high-speed signals. The lead pins 1101 are conductively fixed to the transmission line conductor pattern 1106 disposed on the printed circuit board 1107 by solder 1105.

以上により、電波吸収体1102の一部は、フランジ1103とプリント基板1107に挟まれて位置しており、電波吸収体1102がセラミック基板1104側部に固定されている。このように、電波吸収体1102は、光モジュールを構成する一部の部材と、外部の部材によって挟まれることで、固定されていれば、電波吸収体1102の安定した固定は可能である。ただし、この場合、パッケージを構成する部材と外部部材の位置関係が互いに固定される必要があり、たとえば、本実施例では、リードピン1101と導体パターン1106が半田1105によって固着されることで、実現されている。   As described above, a part of the radio wave absorber 1102 is located between the flange 1103 and the printed circuit board 1107, and the radio wave absorber 1102 is fixed to the side of the ceramic substrate 1104. As described above, the radio wave absorber 1102 can be stably fixed as long as the radio wave absorber 1102 is fixed by being sandwiched between a part of the members constituting the optical module and the external member. However, in this case, the positional relationship between the member constituting the package and the external member needs to be fixed to each other. For example, in this embodiment, the lead pin 1101 and the conductor pattern 1106 are fixed by the solder 1105. ing.

ビア1109や導体パッド1117に、高速信号が伝送されると、接地された導体パターン1111が共振電磁界を放射することがある。しかし、導体パターン1111の主平面と同一のXY平面内に、近接して電波吸収体1102が位置しており、共振効率を抑制し、導体パターン1111からの電磁界放射を抑制するという効果がある。電波吸収体はセラミック基板1104と近接している方がよく、特に、互いに一部が接触しているほうがよい。   When a high-speed signal is transmitted to the via 1109 or the conductor pad 1117, the grounded conductor pattern 1111 may radiate a resonance electromagnetic field. However, the radio wave absorber 1102 is located close to the same XY plane as the main plane of the conductor pattern 1111, which has an effect of suppressing resonance efficiency and suppressing electromagnetic field radiation from the conductor pattern 1111. . The radio wave absorbers are preferably close to the ceramic substrate 1104, and in particular, it is better that the parts are in contact with each other.

なお、図11の符号は次の構成を示している。1101はリードピン、1102は電波吸収体、1103はフランジ、1104はセラミック基板、1105は半田、1106は導体パターン、1107はプリント基板、1108は導体パターン、1109はビア、1110は導体パッド、1111は導体パッド、1112は導体パターン、1113はワイヤ、1114は光素子、1115はフタ、1116はレンズ、1117は導体パッドである。
[実施例7]
図12は、実施例7の光モジュールの構成を示す断面図である。セラミック基板1217内には接地された導体バターン1203、1204が配置されている。セラミック基板1217内のビア1218や導体パッド1219は、電源やバイアス用であり、ビア1221や導体パッド1220は、高速信号伝送用である。高速信号がビア1221や導体パッド1220を通るようになると、セラミック基板1217に配置された、接地導体パターン1203、1204に、共振電磁界が発生しやすくなるという問題がしばしば起きる。しかしながら、導体パターン1203、1204の主平面を含むXY平面上には、電波吸収体1205が位置しており、共振効率を低減する効果がある。
In addition, the code | symbol of FIG. 11 has shown the following structure. 1101 is a lead pin, 1102 is a wave absorber, 1103 is a flange, 1104 is a ceramic substrate, 1105 is a solder, 1106 is a conductor pattern, 1107 is a printed circuit board, 1108 is a conductor pattern, 1109 is a via, 1110 is a conductor pad, and 1111 is a conductor. Pad 1112 is a conductor pattern, 1113 is a wire, 1114 is an optical element, 1115 is a lid, 1116 is a lens, and 1117 is a conductor pad.
[Example 7]
FIG. 12 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an optical module according to the seventh embodiment. Grounded conductor patterns 1203 and 1204 are arranged in the ceramic substrate 1217. Vias 1218 and conductor pads 1219 in the ceramic substrate 1217 are for power supply and bias, and vias 1221 and conductor pads 1220 are for high-speed signal transmission. When high-speed signals pass through the vias 1221 and the conductor pads 1220, there is often a problem that a resonant electromagnetic field is likely to be generated in the ground conductor patterns 1203 and 1204 disposed on the ceramic substrate 1217. However, the radio wave absorber 1205 is positioned on the XY plane including the main planes of the conductor patterns 1203 and 1204, which has an effect of reducing the resonance efficiency.

この電波吸収体1205の一部は、フランジ1202とベースフィルム1206にZ軸方向から挟まれている。これにより電波吸収体1205は、セラミック基板1217の側部で固定されることが可能となる。   A part of the radio wave absorber 1205 is sandwiched between the flange 1202 and the base film 1206 from the Z-axis direction. As a result, the radio wave absorber 1205 can be fixed on the side of the ceramic substrate 1217.

なお、図12の符号は次の構成を示している。1201はフタ、1202はフランジ、1203は導体パターン、1204は導体パターン、1205は電波吸収体、1206はベースフィルム、1207は導体パッド、1208は半田、1209はリードピン、1210は導体パターン、1211はリードピン、1212は半田、1213は導体パターン、1214はスルーホール、1215は導体パターン、1216は導体パターン、1217はセラミック基板、1218はビア、1219は導体パッド、1220は導体パターン、1221はビアである。
[実施例8]
図13は、実施例8の光モジュール構成を示す断面図である。電波吸収体1304には、孔1325が空けられており、かつその孔の中をリードピン1308が配置されている。さらに、リードピン1308はベースフィルムにあけられたスルーホール1326を貫通し、半田1309を使って、導体パッド1307に固着されている。以上により、電波吸収体1304は、ベースフィルム1305とセラミック基板1319に挟まれて、安定して固定されることが可能である。
In addition, the code | symbol of FIG. 12 has shown the following structure. 1201 is a lid, 1202 is a flange, 1203 is a conductor pattern, 1204 is a conductor pattern, 1205 is a radio wave absorber, 1206 is a base film, 1207 is a conductor pad, 1208 is solder, 1209 is a lead pin, 1210 is a conductor pattern, and 1211 is a lead pin. , 1212 is a solder, 1213 is a conductor pattern, 1214 is a through hole, 1215 is a conductor pattern, 1216 is a conductor pattern, 1217 is a ceramic substrate, 1218 is a via, 1219 is a conductor pad, 1220 is a conductor pattern, and 1221 is a via.
[Example 8]
FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating an optical module configuration according to the eighth embodiment. A hole 1325 is opened in the radio wave absorber 1304, and a lead pin 1308 is disposed in the hole. Furthermore, the lead pin 1308 passes through a through hole 1326 formed in the base film, and is fixed to the conductor pad 1307 using solder 1309. As described above, the radio wave absorber 1304 can be sandwiched between the base film 1305 and the ceramic substrate 1319 and stably fixed.

本実施例では、導体パターン1302や1303の主平面はあるXY平面に含まれる。これらの主平面を含む同じXY平面上には、電波吸収体1304の一部が近接して位置している。また、導体パターン1303では、主平面の法線方向(Z軸負方向)にも電波吸収体1304が位置する。そのため、導体パターン1302、1303の外縁に電磁界が局在しても、これらの電磁界は、電波吸収体1304に効率的に吸収される。そのため、導体パターン1302、1303外縁からの共振電磁界発生が抑制されている。   In the present embodiment, the main planes of the conductor patterns 1302 and 1303 are included in a certain XY plane. A part of the radio wave absorber 1304 is located close to the same XY plane including these main planes. In the conductor pattern 1303, the radio wave absorber 1304 is also positioned in the normal direction (Z-axis negative direction) of the main plane. Therefore, even if electromagnetic fields are localized on the outer edges of the conductor patterns 1302 and 1303, these electromagnetic fields are efficiently absorbed by the radio wave absorber 1304. Therefore, the generation of a resonant electromagnetic field from the outer edges of the conductor patterns 1302 and 1303 is suppressed.

電波吸収体1304は、セラミック基板1319に接触しているときが、もっとも効率よく共振電磁界の発生を抑制することができる。   When the radio wave absorber 1304 is in contact with the ceramic substrate 1319, the generation of the resonant electromagnetic field can be most efficiently suppressed.

また、ベースフィルム1305上には、導体パターン1306や1310が配置されているが、これらと電波吸収体は1304は近接ないし接触する。そのため、導体パターン1306、1310上のノイズなども効率よく吸収することができるという利点を有している。   Further, conductor patterns 1306 and 1310 are arranged on the base film 1305, and these and the wave absorber 1304 are close to or in contact with each other. Therefore, there is an advantage that noise on the conductor patterns 1306 and 1310 can be efficiently absorbed.

なお、図13の符号は次の構成を示している。1301はフタ、1302は導体パターン、1303は導体パターン、1304は電波吸収体、1305はベースフィルム、1306は導体パターン、1307は導体パッド、1308はリードピン、1309は半田、1310は導体パターン、1311は導体パターン、1312は導体パターン、1313は導体パターン、1314はスルーホール、1315は導体パッド、1316は導体パターン、1317は導体パッド、1318はビア、1319はセラミック基板、1320はフランジ、1321はワイヤ、1322は光素子、1323は孔、1324はリードピン、1325は孔、1326はスルーホール、1327はスルーホールである。   In addition, the code | symbol of FIG. 13 has shown the following structure. 1301 is a lid, 1302 is a conductor pattern, 1303 is a conductor pattern, 1304 is a radio wave absorber, 1305 is a base film, 1306 is a conductor pattern, 1307 is a conductor pad, 1308 is a lead pin, 1309 is solder, 1310 is a conductor pattern, and 1311 is Conductor pattern, 1312 is a conductor pattern, 1313 is a conductor pattern, 1314 is a through hole, 1315 is a conductor pad, 1316 is a conductor pattern, 1317 is a conductor pad, 1318 is a via, 1319 is a ceramic substrate, 1319 is a flange, 1321 is a wire, 1322 is an optical element, 1323 is a hole, 1324 is a lead pin, 1325 is a hole, 1326 is a through hole, and 1327 is a through hole.

[実施例9]
図14,15は、実施例9の光モジュール構成を示す断面図である。図14に示された光モジュールは、ボックス型のパッケージ1502となっており、しばしばセラミック多層基板か金属によって構成されている。図14では、金属パッケージ1502である。パッケージ1502には、透光性基板1501が取り付けられており、パッケージ内部に搭載した光素子1503と外部ファイバは、光結合することが可能となる。透光性基板1501の光透過率は、使用目的によって異なるが、20%以上が一般的である。レンズホルダ1508に取り付けられたレンズ1507は光素子1503と、光モジュール外部に配されたファイバの光結合を助ける役割を負う。図14では、光素子1503は、台座1509の上に搭載されているが、用途によって、セラミック基板の上に搭載され、場合によっては、更にペルチェ素子の上に搭載されることもある。図14で示された光モジュールは、IC1505がパッケージ1502内に配されているが、用途によっては、外部のプリント基板等に置かれる場合もある。本実施例では、IC1505は、中継基板1510上に搭載されている。中継基板1510は、セラミック基板等によって構成されているが、上面に伝送線路パターンがパターニングされている(図14に記載せず)。光素子1503、IC1505、セラミック基板1511上の導体パターン1506と、中継基板1510上の電極パッドは、ワイヤ1504によって接続されている。セラミック1511上には、導体パターン1506がメタライズされており、パッケージ1502内部と外部を電気的に接続している。また、導体パターン1512は接地されている。導体パターン1506は、高周波伝送線路の場合、50オーム系など、ある特定の特性インピーダンスを有するように設計されている。導体パターン1506上には、リードピン1518が接続されており、更にリードピン1518は半田1519によって、ベースフィルム1521上の導体パターン1520に導通固定されている。導体パターン1517は、接地導体であり、伝送線路用の導体パターン1520は、50オーム程度の特性インピーダンスを有した高周波伝送線路となっている。無論、用途によって特性インピーダンスは変えることは可能であるが、その場合、前後に接続する伝送路の特性インピーダンスとおおむね同程度となるように設計される。伝送線路1520はスルーホール1522によって導体パッド1516と導通がなされている。導体パッド1516や伝送線路1520の一部は、光トランシーバ内のプリント基板上の導体パターンと導通固着がなされる。
[Example 9]
14 and 15 are sectional views showing an optical module configuration of the ninth embodiment. The optical module shown in FIG. 14 is a box-type package 1502, which is often made of a ceramic multilayer substrate or metal. In FIG. 14, a metal package 1502 is shown. A light-transmitting substrate 1501 is attached to the package 1502, and the optical element 1503 mounted inside the package and an external fiber can be optically coupled. The light transmittance of the translucent substrate 1501 varies depending on the purpose of use, but is generally 20% or more. A lens 1507 attached to the lens holder 1508 plays a role of assisting optical coupling between the optical element 1503 and a fiber disposed outside the optical module. In FIG. 14, the optical element 1503 is mounted on the pedestal 1509. However, depending on the application, the optical element 1503 may be mounted on a ceramic substrate, and in some cases, further mounted on a Peltier element. In the optical module shown in FIG. 14, an IC 1505 is arranged in a package 1502, but may be placed on an external printed circuit board or the like depending on applications. In this embodiment, the IC 1505 is mounted on the relay board 1510. The relay substrate 1510 is made of a ceramic substrate or the like, but has a transmission line pattern patterned on the upper surface (not shown in FIG. 14). The optical element 1503, the IC 1505, the conductor pattern 1506 on the ceramic substrate 1511, and the electrode pad on the relay substrate 1510 are connected by a wire 1504. A conductor pattern 1506 is metallized on the ceramic 1511 to electrically connect the inside and the outside of the package 1502. The conductor pattern 1512 is grounded. In the case of a high-frequency transmission line, the conductor pattern 1506 is designed to have a specific characteristic impedance such as a 50 ohm system. Lead pins 1518 are connected on the conductor pattern 1506, and the lead pins 1518 are conductively fixed to the conductor pattern 1520 on the base film 1521 by solder 1519. The conductor pattern 1517 is a ground conductor, and the transmission line conductor pattern 1520 is a high-frequency transmission line having a characteristic impedance of about 50 ohms. Of course, it is possible to change the characteristic impedance depending on the application, but in this case, the characteristic impedance is designed to be approximately the same as the characteristic impedance of the transmission line connected before and after. The transmission line 1520 is electrically connected to the conductor pad 1516 through the through hole 1522. A part of the conductor pad 1516 and the transmission line 1520 is conductively fixed to the conductor pattern on the printed circuit board in the optical transceiver.

さて、導体パターン1506に高周波信号が流れると、セラミック基板1511にパターニングされた接地用の導体パターン1512の電位が揺らぎ、導体パターン1512が共振条件を満たしたときに、導体パターン1512の外縁に共振電磁界が発生し、光モジュールの外部に放出される。このような共振電磁界放射は、しばしば、光トランシーバの誤動作等を引き起こす。そのため、本実施例では、電波吸収体1513が接着剤1514によって、導体パターン1512に接着されている。特に、本実施例では、L7の長さ分、電波吸収体1513が導体パターン1514よりも、−Z軸方向に伸びて配置されている。このような場合、導体パターン1512の外縁に発生した共振電磁界を、電波吸収体1513が効率よく吸収するという利点がある。   When a high-frequency signal flows through the conductor pattern 1506, the potential of the grounding conductor pattern 1512 patterned on the ceramic substrate 1511 fluctuates, and when the conductor pattern 1512 satisfies the resonance condition, a resonance electromagnetic wave is generated on the outer edge of the conductor pattern 1512. A field is generated and emitted outside the optical module. Such resonant electromagnetic field radiation often causes malfunction of the optical transceiver. Therefore, in this embodiment, the radio wave absorber 1513 is bonded to the conductor pattern 1512 with the adhesive 1514. In particular, in this embodiment, the radio wave absorber 1513 is disposed so as to extend in the −Z-axis direction from the conductor pattern 1514 by the length of L7. In such a case, there is an advantage that the radio wave absorber 1513 efficiently absorbs the resonance electromagnetic field generated at the outer edge of the conductor pattern 1512.

図15は、図14において、線E−E’を含むXY平面で切った断面図である。セラミック基板1511上には、高周波信号伝送用の導体パターン1520に隣接して、接地用の導体パターン1526がパターニングされている。導体パターン1526は、ビア1525によって、導体パターン1527、1512と導通がなされている。導体パターン1524は、光素子1503やIC1505などの電源、バイアス用である。電波吸収体1513は導体パターン1512に発生する共振電磁界を、効率よく吸収するために、接着剤1514によって導体パターン1512上に接着固定されている。特に、電波吸収体1513は、導体パターン1512の外端よりも、X軸方向にL8の長さだけ長く配置されている。これは、導体パターン1512の外縁に発生しやすい共振電磁界を、効率よく吸収できるという利点を有している。   FIG. 15 is a cross-sectional view taken along the XY plane including the line E-E ′ in FIG. 14. A grounding conductor pattern 1526 is patterned on the ceramic substrate 1511 adjacent to the high-frequency signal transmission conductor pattern 1520. Conductive pattern 1526 is electrically connected to conductive patterns 1527 and 1512 by vias 1525. The conductor pattern 1524 is for a power source and a bias such as the optical element 1503 and the IC 1505. The radio wave absorber 1513 is bonded and fixed on the conductor pattern 1512 with an adhesive 1514 in order to efficiently absorb the resonance electromagnetic field generated in the conductor pattern 1512. In particular, the radio wave absorber 1513 is disposed longer than the outer end of the conductor pattern 1512 by the length of L8 in the X-axis direction. This has the advantage that the resonant electromagnetic field that tends to occur at the outer edge of the conductor pattern 1512 can be efficiently absorbed.

また、電波吸収体1528はセラミック基板1511側面に接着剤1514によって固着されている。これは、内部の接地された導体パターン1527に発生する共振電磁界を効率よく吸収することができるという利点がある。また、電波吸収体1528は、距離L9だけ長く、導体パターン1512よりも−Y軸方向に配置されている。これにより導体パターン1512の外縁に発生しやすい共振電磁界を、効率よく吸収できるという利点を有している。   The radio wave absorber 1528 is fixed to the side surface of the ceramic substrate 1511 with an adhesive 1514. This has an advantage that a resonant electromagnetic field generated in the internal grounded conductor pattern 1527 can be efficiently absorbed. The radio wave absorber 1528 is longer by the distance L9 and is arranged in the −Y axis direction than the conductor pattern 1512. This has the advantage that the resonant electromagnetic field that is likely to be generated at the outer edge of the conductor pattern 1512 can be efficiently absorbed.

なお、図14及び図15の符号は次の構成を示している。1501は透光性基板、1502はパッケージ、1503は光素子、1504はワイヤ、1505はIC、1506は導体パターン、1507はレンズ、1508はレンズホルダ、1509は台座、1510は中継基板、1511はセラミック基板、1512は導体パターン、1513は電波吸収体、1514は接着剤、1515はスルーホール、1516は導体パッド、1517は導体パターン、1518はリードピン、1519は半田、1520は導体パターン、1521はベースフィルム、1522はスルーホール、1523は導体パッド、1524は導体パターン、1525はビア、1526は導体パターン、1527は導体パターンである。
[実施例10]
図16,17は、実施例10の光モジュール構成を示す断面図である。図16に示された光モジュールは、ボックス型のパッケージ1704によって構成されている。パッケージ1704内には、光素子1706が搭載されている。図16では、パッケージ1704内にICなどが記載されていないが、これは、光素子1706の使用方法によるものである。たとえば、光素子1706が発光素子である場合、光素子1706を駆動するICは、しばしば、光トランシーバ内のプリント基板上に搭載されることが多い。プリント基板上の導体パッドは、導体パッド1722と半田によって接続されることが多い。光素子1706上の導体パッド(図16に記載されず)、セラミック基板1703上の導体パッド(図16に記載されず)、セラミック基板1710上の導体パターン1709は、ワイヤ1707によって接続導通がなされている。
In addition, the code | symbol of FIG.14 and FIG.15 has shown the following structure. 1501 is a translucent substrate, 1502 is a package, 1503 is an optical element, 1504 is a wire, 1505 is an IC, 1506 is a conductor pattern, 1507 is a lens, 1508 is a lens holder, 1509 is a base, 1510 is a relay substrate, 1511 is a ceramic substrate Substrate, 1512 is a conductor pattern, 1513 is a radio wave absorber, 1514 is an adhesive, 1515 is a through hole, 1516 is a conductor pad, 1517 is a conductor pattern, 1518 is a lead pin, 1519 is a solder, 1520 is a conductor pattern, 1521 is a base film , 1522 is a through hole, 1523 is a conductor pad, 1524 is a conductor pattern, 1525 is a via, 1526 is a conductor pattern, and 1527 is a conductor pattern.
[Example 10]
16 and 17 are cross-sectional views illustrating the configuration of the optical module according to the tenth embodiment. The optical module shown in FIG. 16 is configured by a box-type package 1704. An optical element 1706 is mounted in the package 1704. In FIG. 16, an IC or the like is not described in the package 1704, but this is due to the usage method of the optical element 1706. For example, when the optical element 1706 is a light emitting element, an IC that drives the optical element 1706 is often mounted on a printed circuit board in the optical transceiver. The conductor pads on the printed circuit board are often connected to the conductor pads 1722 by solder. Conductive pads (not shown in FIG. 16) on the optical element 1706, conductive pads (not shown in FIG. 16) on the ceramic substrate 1703, and conductive patterns 1709 on the ceramic substrate 1710 are connected and connected by wires 1707. Yes.

セラミック基板1712上の導体パターン1709には、リードピン1717が導通固着されている。さらにリードピン1717は、ベースフィルムに設けられたスルーホール1718を貫通し、半田1716によって導体パターン1718の一部と導通固着される。   A lead pin 1717 is conductively fixed to the conductor pattern 1709 on the ceramic substrate 1712. Further, the lead pin 1717 penetrates through a through hole 1718 provided in the base film, and is electrically connected and fixed to a part of the conductor pattern 1718 by solder 1716.

電波吸収体1712の一部は、ベースフィルム1714とパッケージ1704に、Z軸方向が挟まれており、電波吸収体1712は、安定的に、セラミック基板1710に近接ないし接触して固定される。このように、電波吸収体1712は、その一部が、パッケージ1704、セラミック基板1710、ベースフィルム1714のうち2つの部材によってZ軸方向が挟まれれば、安定して、固定されることが可能となる。   A part of the radio wave absorber 1712 is sandwiched between the base film 1714 and the package 1704 in the Z-axis direction, and the radio wave absorber 1712 is stably fixed in proximity to or in contact with the ceramic substrate 1710. In this way, the radio wave absorber 1712 can be stably fixed if a part of the Z-axis direction is sandwiched between two members of the package 1704, the ceramic substrate 1710, and the base film 1714. Become.

なお、導体パターン1711は、接地導体となっており、電波吸収体1712と近接もしくは接触している。これにより、接地導体パターンの電位が揺ぎ、共振電磁界が発生することを防ぐことが可能となっている。   The conductor pattern 1711 is a ground conductor, and is close to or in contact with the radio wave absorber 1712. Thereby, it is possible to prevent the potential of the ground conductor pattern from fluctuating and generating a resonant electromagnetic field.

図16において、線F−F′を含むXY平面における断面図を図17に示す。セラミック基板1710には、信号伝送用の導体パターン1709とリードピンの他、接地導体用の導体パターン1724、1711、リードピン1723、ビア1727が配されている。更に、光素子1706用のバイアス、コントロール用の電源等を供給するために、導体パターン1725とリードピン1726が配されている。   In FIG. 16, a cross-sectional view in the XY plane including the line FF ′ is shown in FIG. On the ceramic substrate 1710, conductor patterns 1724 and 1711 for ground conductors, lead pins 1723, and vias 1727 are disposed in addition to conductor patterns 1709 for signal transmission and lead pins. Further, a conductor pattern 1725 and a lead pin 1726 are arranged to supply a bias for the optical element 1706, a power source for control, and the like.

電波吸収体1712は、内部に空孔が設けられ、そこにセラミック基板1710の一部が位置している。また空孔には、凹部1728が設けられており、これは、電波吸収体によって、信号用の導体パターン1709を通る高周波信号が減衰してしまうことを防いでいる。電波吸収体1712は、セラミック基板1710上の導体パターン1711の一部と接触するように配置されている。
これは、導体パターン1709に高周波信号が流れると、接地導体パターン1711の電位が揺らぎ、更には、特定の周波数近傍にて共振を引き起こし、共振電磁界を放射しやすくなる。しかし、接地された導体パターン1711に、電波吸収体1712が接触近接して配置されることで、電波吸収体1712が電波を吸収し、これらの共振効率を低減させるという効果がある。
The radio wave absorber 1712 is provided with holes therein, and a part of the ceramic substrate 1710 is located there. The hole is provided with a recess 1728, which prevents the radio wave absorber from attenuating the high-frequency signal passing through the signal conductor pattern 1709. The radio wave absorber 1712 is disposed so as to be in contact with a part of the conductor pattern 1711 on the ceramic substrate 1710.
This is because when a high-frequency signal flows through the conductor pattern 1709, the potential of the ground conductor pattern 1711 fluctuates, and further, resonance occurs near a specific frequency, and a resonance electromagnetic field is easily emitted. However, since the radio wave absorber 1712 is arranged in contact with and close to the grounded conductor pattern 1711, the radio wave absorber 1712 has an effect of absorbing radio waves and reducing their resonance efficiency.

ところで、電波吸収体1712は、リードピン1725にも接触している。また場合によっては、導体パターン1726にも接触することもある。これは、導体パターン1726やリードピン1725に乗ったノイズを吸収し、バイアスや電源の電位が揺らぐことを防ぐという効果がある。   By the way, the radio wave absorber 1712 is also in contact with the lead pin 1725. In some cases, the conductor pattern 1726 may also be contacted. This has the effect of absorbing noise on the conductor pattern 1726 and the lead pin 1725 and preventing the bias and the potential of the power source from fluctuating.

図16に戻って、電波吸収体1712は、金属でできたパッケージ1704と、ベースフィルム1714上の導体パターン1713と接触もしくは、近接している。これにより、パッケージ1704、導体パターン1713上にのったノイズや、共振電磁界放射が起きることを抑制することができる。   Returning to FIG. 16, the radio wave absorber 1712 is in contact with or close to the package 1704 made of metal and the conductor pattern 1713 on the base film 1714. As a result, it is possible to suppress the noise on the package 1704 and the conductor pattern 1713 and the occurrence of resonance electromagnetic field radiation.

以上のように、一部がセラミック基板で構成された光モジュールでは、電波吸収体を、光モジュールのパッケージ、セラミック基板、外部の伝送線路基板(フレキシブル基板)の一部で挟み込み、配置することは、電波吸収体を安定して配置固定するのみならず、高周波ノイズを効率的に防ぐという利点も有している。   As described above, in an optical module partially composed of a ceramic substrate, it is possible to sandwich a radio wave absorber between a part of an optical module package, a ceramic substrate, and an external transmission line substrate (flexible substrate). In addition to stably arranging and fixing the radio wave absorber, it also has an advantage of efficiently preventing high frequency noise.

なお、図16及び図17の符号は次の構成を示している。1701は透光性基板、1702はレンズ、1703はセラミック基板、1704はパッケージ、1705はレンズホルダ、1706は光素子、1707はワイヤ、1708は台座、1709は導体パターン、1710はセラミック基板、1711は導体パターン、1712は電波吸収体、1713は導体パターン、1714はベースフィルム、1715は導体パッド、1716は半田、1717はリードピン、1718はスルーホール、1719は導体パターン、1720は導体パターン、1721はスルーホール、1722は導体パッド、1723はリードピン、1724は導体パターン、1725はリードピン、1726は導体パターン、1727はビア、1728は凹部である。
[実施例11]
図18、図19は、実施例11の光モジュール構成を示す断面図である。どちらも、光モジュールのパッケージから突出しているセラミック基板の断面図を示している。
In addition, the code | symbol of FIG.16 and FIG.17 has shown the following structure. 1701 is a translucent substrate, 1702 is a lens, 1703 is a ceramic substrate, 1704 is a package, 1705 is a lens holder, 1706 is an optical element, 1707 is a wire, 1708 is a base, 1709 is a conductor pattern, 1710 is a ceramic substrate, 1711 is 1712 is a conductor pattern, 1714 is a base film, 1715 is a conductor pad, 1716 is solder, 1717 is a lead pin, 1718 is a through hole, 1719 is a conductor pattern, 1720 is a conductor pattern, and 1721 is a through pattern. Holes 1722 are conductor pads, 1723 are lead pins, 1724 are conductor patterns, 1725 are lead pins, 1726 are conductor patterns, 1727 are vias, and 1728 are recesses.
[Example 11]
18 and 19 are cross-sectional views showing the optical module configuration of Example 11. FIG. Both show cross-sectional views of the ceramic substrate protruding from the package of the optical module.

図18から説明する。セラミック基板上には、導体パターン1906は高周波伝送用であり、信号伝播方向はおおよそZ軸方向である。導体パターン1904、1911は、接地導体用である。導体パターン1908は、電源、モニタ用のである。導体パターン1906に高周波信号が伝播すると、接地用の導体パターン1904や1911の電位に揺らぎが生じる。ある特定の周波数において、これらの揺らぎは共振を起こし、共振電磁界として外部に放射されることがある。共振が起きる場合、導体パターンの外縁に共振電磁界は局在しやすい。そこで、図18では、導体パターン1911の外縁に触れるように、電波吸収体1902が配置されていることがわかる。更に、電波吸収体1902は、リードピン1903の上方から触れており、接地導体で起きる共振を低減させている。また、電波吸収体1902は、電源、モニタ用のリードピン1907にも触れているが、これは、電源、モニタ伝送路に乗るノイズを防ぐという利点がある。図18では示していないが、電波吸収体1902は、リードピン1903、1907だけでなく、導体パターン1904、1908に触れる形状をなしていてもよい。   It demonstrates from FIG. On the ceramic substrate, the conductor pattern 1906 is for high-frequency transmission, and the signal propagation direction is approximately the Z-axis direction. Conductive patterns 1904 and 1911 are for ground conductors. The conductor pattern 1908 is for power supply and monitoring. When a high-frequency signal propagates through the conductor pattern 1906, fluctuations occur in the potential of the grounding conductor pattern 1904 or 1911. At certain frequencies, these fluctuations cause resonance and may be radiated to the outside as a resonant electromagnetic field. When resonance occurs, the resonance electromagnetic field tends to localize on the outer edge of the conductor pattern. Therefore, in FIG. 18, it can be seen that the radio wave absorber 1902 is disposed so as to touch the outer edge of the conductor pattern 1911. Further, the radio wave absorber 1902 is touched from above the lead pin 1903 to reduce resonance caused by the ground conductor. The radio wave absorber 1902 also touches the power supply and monitor lead pin 1907, which has the advantage of preventing noise on the power supply and monitor transmission path. Although not shown in FIG. 18, the radio wave absorber 1902 may have a shape that touches not only the lead pins 1903 and 1907 but also the conductor patterns 1904 and 1908.

図18では、導体パターン1906から多層セラミック基板1909のY軸正方向には、電波吸収体1902が配置されていない。これは、信号である高周波信号が電波吸収体1902に吸収されるのを防ぐためである。   In FIG. 18, the radio wave absorber 1902 is not disposed in the positive Y-axis direction of the multilayer ceramic substrate 1909 from the conductor pattern 1906. This is to prevent the radio wave absorber 1902 from absorbing a high frequency signal as a signal.

さて、図18では、電波吸収体1902の外側に、金属枠1901が、セラミック基板1909と電波吸収体1902を囲むように配置されている。これは、電波吸収体1902で防ぎきれない放射電磁界が、光モジュール近傍から飛び出すのを防ぐ効果がある。無論、金属枠1901は、光モジュールのパッケージ、セラミック基板、外部の伝送線路基板(フレキシブル基板)で挟み込み、配置されても良く、金属枠1901を安定して配置固定することが可能となる。   In FIG. 18, a metal frame 1901 is disposed outside the radio wave absorber 1902 so as to surround the ceramic substrate 1909 and the radio wave absorber 1902. This has an effect of preventing a radiation electromagnetic field that cannot be prevented by the radio wave absorber 1902 from jumping out from the vicinity of the optical module. Of course, the metal frame 1901 may be sandwiched and disposed between an optical module package, a ceramic substrate, and an external transmission line substrate (flexible substrate), and the metal frame 1901 can be stably disposed and fixed.

図19の説明をする。金属枠1909には空孔が設けられており、この空孔に多層セラミック基板1909が位置している。すなわち、セラミックの多層セラミック基板1909は、金属枠1901によって囲まれている。これは、セラミック基板上の導体パターン1904、1906、1908、1911から放射される電磁界を遮蔽する効果をもたらしている。なお、金属枠1901は、接地導体となっており、リードピン1903、導体パターン1911に接触導通できる形状となっている。これにより、リードピン1903、導体パターン1911の電位揺らぎを最小にすることが可能となっている。金属枠1901は、リードピン1903のみならず、導体パターン1904と接触導通できる形状と成っていてもよい。   The description of FIG. 19 will be given. The metal frame 1909 is provided with holes, and the multilayer ceramic substrate 1909 is located in the holes. That is, the ceramic multilayer ceramic substrate 1909 is surrounded by the metal frame 1901. This has the effect of shielding the electromagnetic field radiated from the conductor patterns 1904, 1906, 1908, 1911 on the ceramic substrate. Note that the metal frame 1901 is a ground conductor and has a shape capable of being in contact with the lead pin 1903 and the conductor pattern 1911. As a result, the potential fluctuation of the lead pin 1903 and the conductor pattern 1911 can be minimized. The metal frame 1901 may have a shape that can be brought into contact with not only the lead pin 1903 but also the conductor pattern 1904.

なお、図18及び図19の符号は次の構成を示している。1901は金属枠、1902は電波吸収体、1903はリードピン、1904は導体パターン、1905はリードピン、1906は導体パターン、1907はリードピン、1908は導体パターン、1909はセラミック基板、1910はビア、1911は導体パターンである。
[実施例12]
図20は、実施例12の光モジュール構成を示す断面図である。パッケージ2121は、金属材質のパッケージであり、湿気などに弱い光素子2119を気密封止するために、光信号が通る部分は、無機材質で出来た透光性基板2122、電気信号が通る部分は、セラミック基板2115で構成されている。セラミック基板2115は多層で出来ており、層の間には、導体パターン2116がパターニングされている。またパッケージ2121外部の導体パターン2116上には、リードピン2111が固着されている。セラミック基板2115裏面側の導体パターン2112にはリードピン2126が固着されている。ベースフィルム2109を基材とするフレキシブル基板上には、導体パターン2110、2102、2113、導体パッド2108、2107等がパターニングされている。また、絶縁体であるベースフィルム2109の表裏を結ぶ伝送路として、スルーホール2104等が配置されている。リードピン2105と導体パッド2107は、半田2106によって固定されている。また、リードピン2126と導体パターン2102も、半田2103によって固定されている。以上のようにして、ベースフィルム2109と、パッケージ2121、セラミック基板2115の相対的位置は固定されるのである。
In addition, the code | symbol of FIG.18 and FIG.19 has shown the following structure. 1901 is a metal frame, 1902 is a radio wave absorber, 1903 is a lead pin, 1904 is a conductor pattern, 1905 is a lead pin, 1906 is a conductor pattern, 1907 is a lead pin, 1908 is a conductor pattern, 1909 is a ceramic substrate, 1910 is a via, 1911 is a conductor It is a pattern.
[Example 12]
FIG. 20 is a cross-sectional view illustrating an optical module configuration according to the twelfth embodiment. The package 2121 is a metal material package. In order to hermetically seal the optical element 2119 which is weak against moisture or the like, a portion through which an optical signal passes is a translucent substrate 2122 made of an inorganic material, and a portion through which an electrical signal passes. , A ceramic substrate 2115. The ceramic substrate 2115 is made of multiple layers, and a conductor pattern 2116 is patterned between the layers. A lead pin 2111 is fixed on the conductor pattern 2116 outside the package 2121. Lead pins 2126 are fixed to the conductor pattern 2112 on the back side of the ceramic substrate 2115. Conductive patterns 2110, 2102, 2113, conductive pads 2108, 2107, and the like are patterned on a flexible substrate using the base film 2109 as a base material. In addition, a through hole 2104 and the like are disposed as a transmission path connecting the front and back of the base film 2109 which is an insulator. The lead pin 2105 and the conductor pad 2107 are fixed by solder 2106. Further, the lead pin 2126 and the conductor pattern 2102 are also fixed by the solder 2103. As described above, the relative positions of the base film 2109, the package 2121 and the ceramic substrate 2115 are fixed.

さて、電波吸収体2114は、中空の孔が設けられており、この孔の内側に、セラミック基板2115の一部が位置している。そして、電波吸収体の一部は、そのZ軸方向が、パッケージ2121、ベースフィルム2109によって挟まれている。以上により、電波吸収体2114は、セラミック基板2115近傍で固定される。   Now, the radio wave absorber 2114 is provided with a hollow hole, and a part of the ceramic substrate 2115 is located inside the hole. A part of the radio wave absorber is sandwiched between the package 2121 and the base film 2109 in the Z-axis direction. As described above, the radio wave absorber 2114 is fixed in the vicinity of the ceramic substrate 2115.

図21は、図20を線G−G’を含むXY平面で切った断面図である。セラミック基板2115上面には、信号伝送用の導体パターン2116、接地用の導体パターン2130がパターニングされており、セラミック基板2115裏面側には、接地用の導体パターン2112と、電源や制御用の導体パターン2127がパターニングされている。そして、各導体パターン上には、リードピン2105、2126、2128、2131が固着されている。そして、電波吸収体2114は、接地用のリードピン2131、2126、電源・制御用のリードピン2128と直接接触しており、電位の揺らぎによって発生した、不要電磁界を吸収する効率を最大限にしている。無論、電波吸収体2114は、接地用の導体パターン2130、電源・制御用の導体パターン2127と接触するような形状となっていてもよい。さて、電波吸収体2114には凹部が設けられており、電波吸収体2114とリードピン2105が離間するような構成となっている。これは、電波吸収体が信号を吸収してしまうことを防ぐという効果を有している。   FIG. 21 is a cross-sectional view of FIG. 20 taken along the XY plane including the line G-G ′. A conductor pattern 2116 for signal transmission and a conductor pattern 2130 for grounding are patterned on the upper surface of the ceramic substrate 2115, and a conductor pattern 2112 for grounding and a conductor pattern for power supply and control are formed on the back side of the ceramic substrate 2115. 2127 is patterned. On each conductor pattern, lead pins 2105, 2126, 2128, and 2131 are fixed. The radio wave absorber 2114 is in direct contact with the lead pins 2131 and 2126 for grounding and the lead pin 2128 for power supply and control, and maximizes the efficiency of absorbing unnecessary electromagnetic fields generated by potential fluctuations. . Of course, the radio wave absorber 2114 may have a shape in contact with the conductor pattern 2130 for grounding and the conductor pattern 2127 for power supply / control. The radio wave absorber 2114 is provided with a recess, and the radio wave absorber 2114 and the lead pin 2105 are separated from each other. This has the effect of preventing the radio wave absorber from absorbing the signal.

なお、図20及び図21の符号は次の構成を示している。2101はスルーホール、2102は導体パターン、2103は半田、2104はスルーホール、2105はリードピン、2106は半田、2107は導体パッド、2108は導体パッド、2109はベースフィルム、2110は導体パターン、2111はリードピン、2112は導体パターン、2113は導体パターン、2114は電波吸収体、2115はセラミック基板、2116は導体パターン、2117はセラミック基板、2118は台座、2119は光素子、2120はレンズホルダ、2121はパッケージ、2122は透光性基板、2123はレンズ、2124はIC、2125はワイヤ、2126はリードピン、2127は導体パターン、2128はリードピン、2129はビア、2130は導体パターン、2131はリードピン、2132は凹部である。
[実施例13]
図22は、実施例13の光モジュールを内包した光トランシーバの断面図である。光トランシーバは、筐体2332の中に、セラミック基板2308やベースフィルム2310によって構成される光モジュール、ICパッケージ2320やコネクタ2330を搭載したプリント基板2317などを内包して構成される。
20 and 21 indicate the following configuration. 2101 is a through hole, 2102 is a conductor pattern, 2103 is a solder, 2104 is a through hole, 2105 is a lead pin, 2106 is a solder pad, 2107 is a conductor pad, 2108 is a conductor pad, 2109 is a base film, 2110 is a conductor pattern, and 2111 is a lead pin. 2112 is a conductor pattern, 2113 is a conductor pattern, 2114 is a radio wave absorber, 2115 is a ceramic substrate, 2116 is a conductor pattern, 2117 is a ceramic substrate, 2118 is a base, 2119 is an optical element, 2120 is a lens holder, 2121 is a package, 2122 is a translucent substrate, 2123 is a lens, 2124 is an IC, 2125 is a wire, 2126 is a lead pin, 2127 is a conductor pattern, 2128 is a lead pin, 2129 is a via, 2130 is a conductor pattern, 2131 is a lead Down, 2132 is a recess.
[Example 13]
FIG. 22 is a cross-sectional view of an optical transceiver including the optical module according to the thirteenth embodiment. The optical transceiver is configured such that an optical module including a ceramic substrate 2308 and a base film 2310, a printed circuit board 2317 mounted with an IC package 2320 and a connector 2330, and the like are included in a housing 2332.

本実施例では、光モジュールは同軸型の例が示されている。電波吸収体2309は、光モジュール基材の一部をなすフランジ2307と、ベーフィルム2310によってZ軸方向が挟まれて固定されている。これにより、セラミック基板2308側部より放射される電磁界を吸収し、共振等を防ぎ、光モジュールの安定動作に寄与するとともに、光トランシーバの筐体内2332に、ノイズが放出されるのを防ぐ役割を担っている。   In the present embodiment, an example where the optical module is a coaxial type is shown. The radio wave absorber 2309 is fixed by being sandwiched in the Z-axis direction by a flange 2307 that forms part of the optical module base material and the ba film 2310. This absorbs the electromagnetic field radiated from the side portion of the ceramic substrate 2308, prevents resonance, etc., contributes to stable operation of the optical module, and prevents noise from being emitted into the housing 2332 of the optical transceiver. Is responsible.

フレキシブル基板を構成するベースフィルム2310上には、導体パターン2313、2314がパターニングされており、半田2315によってプリント基板2317上の導体パターン2316に固着されている。プリント基板2317は多層基板で出来ており、内層にも導体パターン2318等がパターニングされている。各層の導体パターンは、ビア2319、2324や、スルーホールなどによって接続導通されている。電気のコネクタ2330は、光トランシーバと、伝送装置内のボード間の電気インタフェースをなしている。電気のコネクタ形状や仕様は様々であるが、本実施例では、電気コネクタ2330にスルーホール2331を有しており、メス型のコネクタとなっている。本実施例にしめした光トランシーバを伝送装置に搭載する場合、伝送装置内のボード上には、オスの電気コネクタを搭載する必要がある。スルーホール2331は、導体パッド2328と導通がとられており、半田2327によって、導体パッド2326に固定されている。   Conductive patterns 2313 and 2314 are patterned on the base film 2310 constituting the flexible substrate, and are fixed to the conductive pattern 2316 on the printed circuit board 2317 by solder 2315. The printed board 2317 is made of a multilayer board, and a conductor pattern 2318 and the like are patterned on the inner layer. The conductive patterns of the respective layers are connected and connected by vias 2319 and 2324, through holes, and the like. The electrical connector 2330 provides an electrical interface between the optical transceiver and the board in the transmission device. Although there are various electrical connector shapes and specifications, in this embodiment, the electrical connector 2330 has a through hole 2331, which is a female connector. When the optical transceiver shown in this embodiment is mounted on a transmission device, it is necessary to mount a male electrical connector on a board in the transmission device. The through hole 2331 is electrically connected to the conductor pad 2328 and is fixed to the conductor pad 2326 by solder 2327.

なお、図22の符号は次の構成を示している。2301はファイバ、2302はスリーブ、2303はホルダ、2304はレンズ、2305はフタ、2306は光素子、2307はフランジ、2308はセラミック基板、2309は電波吸収体、2310はベースフィルム、2311は半田、2312はリードピン、2313は導体パターン、2314は導体パターン、2315は半田、2316は導体パターン、2317はプリント基板、2318は導体パターン、2319はビア、2320はICパッケージ、2321は放熱ゲル、2322は半田、2323は導体パターン、2324はビア、2325はビア、2326は導体パッド、2327は半田、2328は導体パッド、2329はビア、2330はコネクタ、2331はスルーホール、2332は筐体である。   In addition, the code | symbol of FIG. 22 has shown the following structure. 2301 is a fiber, 2302 is a sleeve, 2303 is a holder, 2304 is a lens, 2305 is a lid, 2306 is an optical element, 2307 is a flange, 2308 is a ceramic substrate, 2309 is a radio wave absorber, 2310 is a base film, 2311 is solder, 2312 Is a lead pin, 2313 is a conductor pattern, 2314 is a conductor pattern, 2315 is a solder, 2316 is a conductor pattern, 2317 is a printed circuit board, 2318 is a conductor pattern, 2319 is a via, 2320 is an IC package, 2321 is a heat dissipation gel, 2322 is solder, 2323 is a conductor pattern, 2324 is a via, 2325 is a via, 2326 is a conductor pad, 2327 is a solder, 2328 is a conductor pad, 2329 is a via, 2330 is a connector, 2331 is a through hole, and 2332 is a housing.

0101…レンズ、0102…フタ、0103…光素子、0104…ワイヤ、0105…フランジ、0106…セラミック基板、0107…導体パッド、0108…接着剤、0109…電波吸収体、0110…導体パターン、0111…ビア、0112…導体パッド、0113…グランドパターン、0114…導体パッド、0115…スルーホール、0116…導体パターン、0117…半田、0118…リードピン、0119…スルーホール、0120…半田、0121…リードピン、0122…スルーホール、0123…導体パッド、0124…ベースフィルム、0125…導体パターン、0126…半田、0127…プリント基板、0128…グランドパターン、0129…導体パターン、0130…導体パッド、0131…導体パッド、0301…レンズ、0302…フタ、0303…光素子、0304…フランジ、0305…セラミック基板、0306…導体パターン、0307…電波吸収体、0308…導体パターン、0309…ベースフィルム、0310…導体パッド、0311…半田、0312…リードピン、0313…スルーホール、0314…伝送路パターン、0315…グランドパターン、0316…スルーホール、0317…導体パッド、0318…導体パッド、0319…導体パターン、0320…導体パターン、0321…導体パッド、0322…導体パターン、0323…孔、0501…フタ、0502…接着剤、0503…電波吸収体、0504…ビア、0505…導体パターン、0506…導体パッド、0507…ベースフィルム、0508…フランジ、0509…導体パターン、0510…ビア、0511…導体パターン、0512…半田、0513…リードピン、0514…導体パッド、0515…導体パッド、0516…導体パターン、0517…導体パターン、0518…セラミック基板、0701…レンズ、0702…フタ、0703…光素子、0704…ワイヤ、0705…フランジ、0706…導体パターン、0707…電波吸収体、0708…セラミック基板、0709…リードピン、0710…導体パッド、0711…半田、0712…ベースフィルム、0713…リードピン、0714…スルーホール、0715…導体パターン、0716…導体パッド、0717…ビア、0718…導体パッド、0719…導体パターン、0720…スルーホール、0721…導体パッド、0722…半田、0723…プリント基板、0724…導体パターン、0725…カバーフィルム、0726…カバーフィルム、0727…導体パターン、0728…リードピン、0801…フタ、0802…レンズ、0803…フランジ、0804…金属枠、0805…導体パターン、0806…ベースフィルム、0807…導体パッド、0808…導体パターン、0809…導体パッド、0810…半田、0811…リードピン、0812…導体パッド、0813…リードピン、0814…スルーホール、0815…導体パッド、0816…セラミック基板、0817…導体パッド、0818…導体パッド、0819…ワイヤ、0820…光素子、0821…導体パッド、0822…スルーホール、1101…リードピン、1102…電波吸収体、1103…フランジ、1104…セラミック基板、1105…半田、1106…導体パターン、1107…プリント基板、1108…導体パターン、1109…ビア、1110…導体パッド、1111…導体パッド、1112…導体パターン、1113…ワイヤ、1114…光素子、1115…フタ、1116…レンズ、1117…導体パッド、1201…フタ、1202…フランジ、1203…導体パターン、1204…導体パターン、1205…電波吸収体、1206…ベースフィルム、1207…導体パッド、1208…半田、1209…リードピン、1210…導体パターン、1211…リードピン、1212…半田、1213…導体パターン、1214…スルーホール、1215…導体パターン、1216…導体パターン、1217…セラミック基板、1218…ビア、1219…導体パッド、1220…導体パターン、1221…ビア、1301…フタ、1302…導体パターン、1303…導体パターン、1304…電波吸収体、1305…ベースフィルム、1306…導体パターン、1307…導体パッド、1308…リードピン、1309…半田、1310…導体パターン、1311…導体パターン、1312…導体パターン、1313…導体パターン、1314…スルーホール、1315…導体パッド、1316…導体パターン、1317…導体パッド、1318…ビア、1319…セラミック基板、1320…フランジ、1321…ワイヤ、1322…光素子、1323…孔、1324…リードピン、1325…孔、1326…スルーホール、1327…スルーホール、1501…透光性基板、1502…パッケージ、1503…光素子、1504…ワイヤ、1505…IC、1506…導体パターン、1507…レンズ、1508…レンズホルダ、1509…台座、1510…中継基板、1511…セラミック基板、1512…導体パターン、1513…電波吸収体、1514…接着剤、1515…スルーホール、1516…導体パッド、1517…導体パターン、1518…リードピン、1519…半田、1520…導体パターン、1521…ベースフィルム、1522…スルーホール、1523…導体パッド、1524…導体パターン、1525…ビア、1526…導体パターン、1527…導体パターン、1701…透光性基板、1702…レンズ、1703…セラミック基板、1704…パッケージ、1705…レンズホルダ、1706…光素子、1707…ワイヤ、1708…台座、1709…導体パターン、1710…セラミック基板、1711…導体パターン、1712…電波吸収体、1713…導体パターン、1714…ベースフィルム、1715…導体パッド、1716…半田、1717…リードピン、1718…スルーホール、1719…導体パターン、1720…導体パターン、1721…スルーホール、1722…導体パッド、1723…リードピン、1724…導体パターン、1725…リードピン、1726…導体パターン、1727…ビア、1728…凹部、1901…金属枠、1902…電波吸収体、1903…リードピン、1904…導体パターン、1905…リードピン、1906…導体パターン、1907…リードピン、1908…導体パターン、1909…セラミック基板、1910…ビア、1911…導体パターン、2101…スルーホール、2102…導体パターン、2103…半田、2104…スルーホール、2105…リードピン、2106…半田、2107…導体パッド、2108…導体パッド、2109…ベースフィルム、2110…導体パターン、2111…リードピン、2112…導体パターン、2113…導体パターン、2114…電波吸収体、2115…セラミック基板、2116…導体パターン、2117…セラミック基板、2118…台座、2119…光素子、2120…レンズホルダ、2121…パッケージ、2122…透光性基板、2123…レンズ、2124…IC、2125…ワイヤ、2126…リードピン、2127…導体パターン、2128…リードピン、2129…ビア、2130…導体パターン、2131…リードピン、2132…凹部、2301…ファイバ、2302…スリーブ、2303…ホルダ、2304…レンズ、2305…フタ、2306…光素子、2307…フランジ、2308…セラミック基板、2309…電波吸収体、2310…ベースフィルム、2311…半田、2312…リードピン、2313…導体パターン、2314…導体パターン、2315…半田、2316…導体パターン、2317…プリント基板、2318…導体パターン、2319…ビア、2320…ICパッケージ、2321…放熱ゲル、2322…半田、2323…導体パターン、2324…ビア、2325…ビア、2326…導体パッド、2327…半田、2328…導体パッド、2329…ビア、2330…コネクタ、2331…スルーホール、2332…筐体、2401…フランジ、2402…電波吸収体、2403…導体パターン、2404…プリント基板、2405…シグナルパッド、2406…セラミック基板、2407…導体パターン、2408…ビア DESCRIPTION OF SYMBOLS 0101 ... Lens, 0102 ... Cover, 0103 ... Optical element, 0104 ... Wire, 0105 ... Flange, 0106 ... Ceramic substrate, 0107 ... Conductor pad, 0108 ... Adhesive, 0109 ... Radio wave absorber, 0110 ... Conductor pattern, 0111 ... Via , 0112 ... Conductor pad, 0113 ... Ground pattern, 0114 ... Conductor pad, 0115 ... Through hole, 0116 ... Conductor pattern, 0117 ... Solder, 0118 ... Lead pin, 0119 ... Through hole, 0120 ... Solder, 0121 ... Lead pin, 0122 ... Through Hole, 0123 ... Conductor pad, 0124 ... Base film, 0125 ... Conductor pattern, 0126 ... Solder, 0127 ... Printed circuit board, 0128 ... Ground pattern, 0129 ... Conductor pattern, 0130 ... Conductor pad, 0131 ... Conductor pad , 0301 ... lens, 0302 ... lid, 0303 ... optical element, 0304 ... flange, 0305 ... ceramic substrate, 0306 ... conductor pattern, 0307 ... radio wave absorber, 0308 ... conductor pattern, 0309 ... base film, 0310 ... conductor pad, 0311 Solder, 0312 ... Lead pin, 0313 ... Through hole, 0314 ... Transmission path pattern, 0315 ... Ground pattern, 0316 ... Through hole, 0317 ... Conductor pad, 0318 ... Conductor pad, 0319 ... Conductor pattern, 0320 ... Conductor pattern, 0321 ... Conductor pad, 0322 ... Conductor pattern, 0323 ... Hole, 0501 ... Cover, 0502 ... Adhesive, 0503 ... Radio wave absorber, 0504 ... Via, 0505 ... Conductor pattern, 0506 ... Conductor pad, 0507 ... Base film, 0508 ... Lange, 0509 ... Conductor pattern, 0510 ... Via, 0511 ... Conductor pattern, 0512 ... Solder, 0513 ... Lead pin, 0514 ... Conductor pad, 0515 ... Conductor pad, 0516 ... Conductor pattern, 0517 ... Conductor pattern, 0518 ... Ceramic substrate, 0701 ... Lens, 0702 ... Lid, 0703 ... Optical element, 0704 ... Wire, 0705 ... Flange, 0706 ... Conductor pattern, 0707 ... Radio wave absorber, 0708 ... Ceramic substrate, 0709 ... Lead pin, 0710 ... Conductor pad, 0711 ... Solder, 0712 ... Base film, 0713 ... Lead pin, 0714 ... Through hole, 0715 ... Conductor pattern, 0716 ... Conductor pad, 0717 ... Via, 0718 ... Conductor pad, 0719 ... Conductor pattern, 0720 ... Through hole, 0721 ... Conduct Body pads, 0722 ... Solder, 0723 ... Printed circuit board, 0724 ... Conductor pattern, 0725 ... Cover film, 0726 ... Cover film, 0727 ... Conductor pattern, 0728 ... Lead pin, 0801 ... Cover, 0802 ... Lens, 0803 ... Flange, 0804 ... Metal frame, 0805 ... Conductor pattern, 0806 ... Base film, 0807 ... Conductor pad, 0808 ... Conductor pattern, 0809 ... Conductor pad, 0810 ... Solder, 0811 ... Lead pin, 0812 ... Conductor pad, 0813 ... Lead pin, 0814 ... Through hole, 0815 ... Conductor pad, 0816 ... Ceramic substrate, 0817 ... Conductor pad, 0818 ... Conductor pad, 0819 ... Wire, 0820 ... Optical element, 0821 ... Conductor pad, 0822 ... Through hole, 1101 ... Lead pin, 1 DESCRIPTION OF SYMBOLS 02 ... Wave absorber, 1103 ... Flange, 1104 ... Ceramic substrate, 1105 ... Solder, 1106 ... Conductor pattern, 1107 ... Printed circuit board, 1108 ... Conductor pattern, 1109 ... Via, 1110 ... Conductor pad, 1111 ... Conductor pad, 1112 ... Conductor pattern, 1113 ... wire, 1114 ... optical element, 1115 ... lid, 1116 ... lens, 1117 ... conductor pad, 1201 ... lid, 1202 ... flange, 1203 ... conductor pattern, 1204 ... conductor pattern, 1205 ... radio wave absorber, 1206 ... Base film, 1207 ... Conductor pad, 1208 ... Solder, 1209 ... Lead pin, 1210 ... Conductor pattern, 1211 ... Lead pin, 1212 ... Solder, 1213 ... Conductor pattern, 1214 ... Through hole, 1215 ... Conductor pattern, 1216 ... Body pattern, 1217 ... Ceramic substrate, 1218 ... Via, 1219 ... Conductor pad, 1220 ... Conductor pattern, 1221 ... Via, 1301 ... Cover, 1302 ... Conductor pattern, 1303 ... Conductor pattern, 1304 ... Radio wave absorber, 1305 ... Base film DESCRIPTION OF SYMBOLS 1306 ... Conductor pattern, 1307 ... Conductor pad, 1308 ... Lead pin, 1309 ... Solder, 1310 ... Conductor pattern, 1311 ... Conductor pattern, 1312 ... Conductor pattern, 1313 ... Conductor pattern, 1314 ... Through hole, 1315 ... Conductor pad, 1316 ... Conductor pattern, 1317 ... Conductor pad, 1318 ... Via, 1319 ... Ceramic substrate, 1320 ... Flange, 1321 ... Wire, 1322 ... Optical element, 1323 ... Hole, 1324 ... Lead pin, 1325 ... Hole, 1326 ... Through-hole 1327 ... through hole, 1501 ... transparent substrate, 1502 ... package, 1503 ... optical element, 1504 ... wire, 1505 ... IC, 1506 ... conductor pattern, 1507 ... lens, 1508 ... lens holder, 1509 ... pedestal, 1510 ... Relay substrate, 1511 ... Ceramic substrate, 1512 ... Conductor pattern, 1513 ... Radio wave absorber, 1514 ... Adhesive, 1515 ... Through hole, 1516 ... Conductor pad, 1517 ... Conductor pattern, 1518 ... Lead pin, 1519 ... Solder, 1520 ... Conductor pattern, 1521 ... Base film, 1522 ... Through hole, 1523 ... Conductor pad, 1524 ... Conductor pattern, 1525 ... Via, 1526 ... Conductor pattern, 1527 ... Conductor pattern, 1701 ... Translucent substrate, 1702 ... Lens, 1703 ... cerami Substrate, 1704 ... package, 1705 ... lens holder, 1706 ... optical element, 1707 ... wire, 1708 ... pedestal, 1709 ... conductor pattern, 1710 ... ceramic substrate, 1711 ... conductor pattern, 1712 ... radio wave absorber, 1713 ... conductor pattern , 1714 ... base film, 1715 ... conductor pad, 1716 ... solder, 1717 ... lead pin, 1718 ... through hole, 1719 ... conductor pattern, 1720 ... conductor pattern, 1721 ... through hole, 1722 ... conductor pad, 1723 ... lead pin, 1724 ... Conductor pattern, 1725 ... Lead pin, 1726 ... Conductor pattern, 1727 ... Via, 1728 ... Recess, 1901 ... Metal frame, 1902 ... Radio wave absorber, 1903 ... Lead pin, 1904 ... Conductor pattern, 1905 ... Lead pin, 1 06 ... conductor pattern, 1907 ... lead pin, 1908 ... conductor pattern, 1909 ... ceramic substrate, 1910 ... via, 1911 ... conductor pattern, 2101 ... through hole, 2102 ... conductor pattern, 2103 ... solder, 2104 ... through hole, 2105 ... lead pin 2106: Solder, 2107 ... Conductor pad, 2108 ... Conductor pad, 2109 ... Base film, 2110 ... Conductor pattern, 2111 ... Lead pin, 2112 ... Conductor pattern, 2113 ... Conductor pattern, 2114 ... Radio wave absorber, 2115 ... Ceramic substrate, 2116 ... Conductor pattern, 2117 ... Ceramic substrate, 2118 ... Pedestal, 2119 ... Optical element, 2120 ... Lens holder, 2121 ... Package, 2122 ... Translucent substrate, 2123 ... Lens, 2124 ... IC, 2125 ... Wire, 2126 ... Lead pin, 2127 ... Conductor pattern, 2128 ... Lead pin, 2129 ... Via, 2130 ... Conductor pattern, 2131 ... Lead pin, 2132 ... Recess, 2301 ... Fiber, 2302 ... Sleeve, 2303 ... Holder, 2304 ... Lens, 2305 ... Cover, 2306 ... Optical element, 2307 ... Flange, 2308 ... Ceramic substrate, 2309 ... Radio wave absorber, 2310 ... Base film, 2311 ... Solder, 2312 ... Lead pin, 2313 ... Conductor pattern, 2314 ... Conductor pattern, 2315 ... Solder, 2316 ... Conductor pattern, 2317 ... Printed circuit board, 2318 ... Conductor pattern, 2319 ... Via, 2320 ... IC package, 2321 ... Thermal radiation gel, 2322 ... Solder, 2323 ... Conductor pattern, 2324 ... Via, 2325 ... Via, 326 ... Conductor pad, 2327 ... Solder, 2328 ... Conductor pad, 2329 ... Via, 2330 ... Connector, 2331 ... Through hole, 2332 ... Housing, 2401 ... Flange, 2402 ... Radio wave absorber, 2403 ... Conductor pattern, 2404 ... Print Substrate, 2405 ... Signal pad, 2406 ... Ceramic substrate, 2407 ... Conductor pattern, 2408 ... Via

Claims (13)

送受信用光素子と、
前記送受信用光素子を格納したパッケージと、
信号用導体パターンとグランド用導体パターンを備え、前記パッケージ内外の電気的な接続を行う多層セラミック基板と、
前記パッケージ外に配置され、前記多層セラミック基板の前記信号導体パターンと電気的な接続を行う第2の基板と、前記パッケージを構成する部材の一部に固定される電波吸収体または電波遮蔽体と備え、
前記セラミック基板は、前記パッケージと対向する第1面と、前記第1面と逆の面であり前記第2の基板と対向する第2面と、前記第1面と前記第2面とで構成される立体の側面である第3面をし、
前記グランド用導体パターンは前記導体パターンより前記第3面に近い方に配置され、
前記電波吸収体または前記電波遮蔽体は前記第3面側に配置されてい
ことを特徴とする光モジュール。
An optical element for transmission and reception;
A package storing the transmitting / receiving optical element;
A multilayer ceramic substrate comprising a conductor pattern for signal and a conductor pattern for ground, and for electrical connection inside and outside the package;
A second substrate disposed outside the package and electrically connected to the signal conductor pattern of the multilayer ceramic substrate; a radio wave absorber or radio wave shield fixed to a part of a member constituting the package; , equipped with a,
The ceramic substrate includes a first surface facing the package, a second surface opposite to the first surface and facing the second substrate, and the first surface and the second surface. have a third surface is a three-dimensional aspect to be,
The ground conductor pattern is disposed closer to the third surface than the conductor pattern,
The wave absorber or the radio wave shield that is disposed on the third surface side,
An optical module characterized by that.
前記電波吸収体および前記電波遮蔽体が、前記多層セラミック基板と接していることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the radio wave absorber and the radio wave shield are in contact with the multilayer ceramic substrate. 前記電波吸収体の材質は、フェライト及びカーボンから構成された第1の固体、前記フェライト及びカーボンを有機材料に混ぜた第2の固体、金属から構成された第3の固体、または有機材料に金属を混ぜた第4の固体のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。   The material of the electromagnetic wave absorber is a first solid composed of ferrite and carbon, a second solid obtained by mixing the ferrite and carbon with an organic material, a third solid composed of a metal, or a metal such as an organic material. The optical module according to claim 1, wherein the optical module is any one of a fourth solid mixed with the above. 電波吸収体または電波遮蔽体は、接着剤を介して固定されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。   The optical module according to claim 1, wherein the radio wave absorber or the radio wave shield is fixed via an adhesive. 前記光モジュールを構成する部材の一部が、前記多層セラミック基板の前記第1面側に近接して配置されることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。 2. The optical module according to claim 1 , wherein a part of the members constituting the optical module is disposed adjacent to the first surface side of the multilayer ceramic substrate . 前記電波吸収体、または前記電波遮蔽体は筒の円弧の一部が欠けたC字状になっており、前記C字状内側に前記多層セラミック基板の一部が配置されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。   The radio wave absorber or the radio wave shield has a C shape in which a part of a circular arc of a cylinder is missing, and a part of the multilayer ceramic substrate is disposed inside the C shape. The optical module according to claim 1. 前記多層セラミック基板の表層にある信号用の導体パターンの上方以外に、前記電波吸収体または前記電波遮蔽体が配置されていることを特徴とする請求項記載の光モジュール。 The optical module according to claim 6 , wherein the radio wave absorber or the radio wave shield is disposed other than above the conductor pattern for signals on the surface layer of the multilayer ceramic substrate. 前記電波吸収体または前記電波遮蔽体は空孔を備えた筒状であり、
前記空孔内に前記多層セラミック基板の一部が配置されることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
The radio wave absorber or the radio wave shield has a cylindrical shape with holes,
The optical module according to claim 1, wherein a part of the multilayer ceramic substrate is disposed in the hole.
前記空孔には凹部が設けられており、
前記多層セラミック基板表層の信号用導体パターンの法線方向上方には、前記凹部が位置していることを特徴とする請求項記載の光モジュール。
The hole is provided with a recess,
9. The optical module according to claim 8 , wherein the recess is located above the signal conductor pattern on the surface of the multilayer ceramic substrate in the normal direction.
前記電波吸収体または前記電波遮蔽体が、前記多層セラミック基板の表層または裏面にあるグランド用導体パターンに接触して配置されているか、前記グランド用導体パターンと導通固着がとられた導体に接触して配置していることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。   The radio wave absorber or the radio wave shield is disposed in contact with a ground conductor pattern on a surface layer or a back surface of the multilayer ceramic substrate, or is in contact with a conductor that is conductively fixed to the ground conductor pattern. The optical module according to claim 1, wherein the optical module is arranged. 前記電波吸収体または前記電波遮蔽体が、
前記第2の基板上の導体パターンの一部に接触して配置されているか、
前記第2の基板上の導体パターンの上方にコーティングされた有機カバー層の上方に配置接触されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
The radio wave absorber or the radio wave shield,
Arranged in contact with a part of the conductor pattern on the second substrate,
The optical module according to claim 1, wherein the optical module is disposed and contacted above an organic cover layer coated above a conductor pattern on the second substrate.
前記多層セラミック基板上にはリードピンが設けられ、
前記第2の基板にはスルーホールまたは孔が設けられ、
前記スルーホールまたは孔に前記リードピンが挿され、前記リードピンと前記第2の基板上の導体パターンの一部が半田によって固着されることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
Lead pins are provided on the multilayer ceramic substrate,
The second substrate is provided with a through hole or a hole,
2. The optical module according to claim 1, wherein the lead pin is inserted into the through hole or hole, and the lead pin and a part of the conductor pattern on the second substrate are fixed by solder.
前記第2の基板は、フレキシブル基板によって構成されていることを特徴とする請求項1記載の光モジュール。
The optical module according to claim 1, wherein the second substrate is a flexible substrate.
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