JP5461110B2 - Solid electrolytic capacitor and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、固体電解コンデンサおよびその製造方法に関し、特に、ショートの発生が抑制された固体電解コンデンサ、およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a solid electrolytic capacitor and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a solid electrolytic capacitor in which occurrence of a short circuit is suppressed and a manufacturing method thereof.

近年、電子機器の小型化や高周波化により、電子機器を構成する電子部品であるコンデンサに対しても、小型化や高周波化が求められている。小型化に適したコンデンサとして、弁金属からなる陽極体に誘電体被膜が形成され、該誘電体被膜上に電解液、二酸化マンガンおよび導電性高分子等からなる層が形成された固体電解コンデンサがある。   In recent years, miniaturization and high frequency of electronic devices have been demanded for capacitors that are electronic components constituting electronic devices. As a capacitor suitable for miniaturization, there is a solid electrolytic capacitor in which a dielectric film is formed on an anode body made of a valve metal, and a layer made of an electrolytic solution, manganese dioxide, a conductive polymer, etc. is formed on the dielectric film. is there.

固体電解コンデンサにおいて、誘電体酸化被膜は、陽極体を形成する弁金属を化成処理することによって形成される。このようにして形成される誘電体酸化被膜は、極めて緻密であり、耐久性が高く、かつ非常に薄い。このため、固体電解コンデンサは、他のコンデンサ、たとえば、紙コンデンサやフィルムコンデンサと比較して、静電容量を低下させることなく小型化することが可能となる。   In the solid electrolytic capacitor, the dielectric oxide film is formed by chemical conversion of the valve metal that forms the anode body. The dielectric oxide film thus formed is extremely dense, highly durable, and very thin. For this reason, the solid electrolytic capacitor can be reduced in size without lowering the capacitance as compared with other capacitors such as a paper capacitor and a film capacitor.

しかし、上述のような固体電解コンデンサは、小型化が可能である一方で、小型化に伴い製造工程におけるLC(漏れ電流)不良、ショート不良が生じる確率が高まる傾向がある。また、製造後においても、高温でのリフロー処理により、LC不良が生じるという傾向がある。   However, while the above-described solid electrolytic capacitor can be reduced in size, there is a tendency that the probability of occurrence of LC (leakage current) failure and short-circuit failure in the manufacturing process increases with the reduction in size. Further, even after manufacturing, there is a tendency that LC failure occurs due to reflow treatment at high temperature.

このようなショート不良の発生を抑制するために、たとえば、特許文献1には、酸化被膜が形成された陽極体を重合製モノマー溶液に浸漬、乾燥して導電性高分子層を形成した後に、さらに、導電性高分子溶液に浸漬(または塗布)、乾燥する方法が開示されている。特許文献1には、上記方法により、導電性高分子層を均一に形成させることができ、もって、ショート不良の発生を抑制できることが記載されている。   In order to suppress the occurrence of such short-circuit defects, for example, in Patent Document 1, after forming an electroconductive polymer layer by immersing and drying an anode body on which an oxide film is formed in a monomer solution for polymerization, Furthermore, a method of dipping (or coating) and drying in a conductive polymer solution is disclosed. Patent Document 1 describes that the conductive polymer layer can be uniformly formed by the above-described method, thereby suppressing the occurrence of short-circuit defects.

特開2005−109252号公報JP 2005-109252 A

しかしながら、ショート不良の発生確率を低下させる必要性は現在も存在している。また、ショート不良の発生確率を低下させるだけでなく、同時に、コンデンサとしての特性の維持、たとえば、静電容量の維持、ESR(Equivalent Series Resistance;等価直列抵抗)の増加の抑制なども必要となる。   However, there is still a need to reduce the probability of occurrence of a short defect. In addition to reducing the probability of occurrence of a short circuit defect, it is also necessary to maintain characteristics as a capacitor, for example, to maintain capacitance, and to suppress an increase in ESR (Equivalent Series Resistance). .

そこで、本発明の目的は、コンデンサとしての特性を維持しつつ、ショートの発生が抑制された固体電解コンデンサ、およびその製造方法を提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a solid electrolytic capacitor in which the occurrence of a short circuit is suppressed while maintaining the characteristics as a capacitor, and a method for manufacturing the same.

本発明者らは、固体電解コンデンサの導電性高分子層中のシラン化合物の濃度に着目し、鋭意検討を重ねた結果、導電性高分子層の厚み方向に対するシラン化合物の濃度を変化させることによって、コンデンサとしての特性を維持したまま、ショートの発生を抑制できることを知見した。本発明は、上記知見に基づいたものである。   The inventors of the present invention focused on the concentration of the silane compound in the conductive polymer layer of the solid electrolytic capacitor, and as a result of intensive studies, the concentration of the silane compound relative to the thickness direction of the conductive polymer layer was changed. It has been found that the occurrence of a short circuit can be suppressed while maintaining the characteristics as a capacitor. The present invention is based on the above findings.

すなわち、本発明は、表面に誘電体被膜が形成された陽極体と、誘電体被膜上に形成された導電性高分子層と、を備える固体電解コンデンサにおいて、導電性高分子層は、少なくとも、誘電体被膜上に形成された第1導電性高分子層と、該第1導電性高分子層上に形成された第2導電性高分子層とを備え、第1導電性高分子層および第2導電性高分子層はシラン化合物を含み、第1導電性高分子層中のシラン化合物の濃度と第2導電性高分子層中のシラン化合物の濃度とが異なる固体電解コンデンサである。   That is, the present invention provides a solid electrolytic capacitor comprising an anode body having a dielectric film formed on a surface thereof and a conductive polymer layer formed on the dielectric film, wherein the conductive polymer layer is at least A first conductive polymer layer formed on the dielectric coating; and a second conductive polymer layer formed on the first conductive polymer layer. The two conductive polymer layers include a silane compound, and are solid electrolytic capacitors in which the concentration of the silane compound in the first conductive polymer layer is different from the concentration of the silane compound in the second conductive polymer layer.

上記固体電解コンデンサにおいて、第1導電性高分子層中のシラン化合物の濃度が、第2導電性高分子層中のシラン化合物の濃度よりも高いことが好ましい。   In the solid electrolytic capacitor, it is preferable that the concentration of the silane compound in the first conductive polymer layer is higher than the concentration of the silane compound in the second conductive polymer layer.

上記固体電解コンデンサにおいて、陽極体は焼結体からなることが好ましい。
また、本発明は、表面に誘電体被膜が形成された陽極体と、誘電体被膜の表面に形成された導電性高分子層と、を備える固体電解コンデンサの製造方法であって、陽極体の表面に誘電体被膜を形成する工程と、誘電体被膜の表面に、導電性高分子層を形成する工程とを有し、導電性高分子層を形成する工程は、少なくとも、シラン化合物を含む第1重合液を用いて、誘電体被膜上に第1導電性高分子層を形成する工程と、シラン化合物を含む第2重合液を用いて、第1導電性高分子層上に第2導電性高分子層を形成する工程と、を有し、第1重合液中のシラン化合物の濃度と第2重合液中のシラン化合物の濃度が異なる、固体電解コンデンサの製造方法である。
In the solid electrolytic capacitor, the anode body is preferably made of a sintered body.
The present invention also provides a method for producing a solid electrolytic capacitor comprising an anode body having a dielectric film formed on a surface thereof, and a conductive polymer layer formed on the surface of the dielectric film. A step of forming a dielectric coating on the surface; and a step of forming a conductive polymer layer on the surface of the dielectric coating, wherein the step of forming the conductive polymer layer includes at least a silane compound. A step of forming a first conductive polymer layer on the dielectric film using one polymerization solution, and a second conductivity on the first conductive polymer layer using a second polymerization solution containing a silane compound. Forming a polymer layer, wherein the concentration of the silane compound in the first polymerization solution and the concentration of the silane compound in the second polymerization solution are different.

また、上記固体電解コンデンサの製造方法において、第1重合液中のシラン化合物の濃度が、第2重合液中のシラン化合物の濃度よりも高いことが好ましい。   In the method for producing a solid electrolytic capacitor, it is preferable that the concentration of the silane compound in the first polymerization solution is higher than the concentration of the silane compound in the second polymerization solution.

また、上記固体電解コンデンサの製造方法において、重合液中のシラン化合物の濃度が、5%以上30%以下であることが好ましい。   In the method for producing a solid electrolytic capacitor, the concentration of the silane compound in the polymerization solution is preferably 5% or more and 30% or less.

また、上記固体電解コンデンサの製造方法において、陽極体は、焼結体からなることが好ましい。   In the method for producing a solid electrolytic capacitor, the anode body is preferably made of a sintered body.

本明細書において、前駆体モノマーは必ずしも単量体である必要ななく、たとえば低分子のオリゴマーも含む概念であり、酸化剤はドーパントとしての機能を有していても良い。また、本明細書において、物質Aの濃度とは、重合液を構成する物質A〜Cの各重量がX〜Zだった場合に、Y+Zの重量に対するXの重量の比率をいう。   In the present specification, the precursor monomer is not necessarily a monomer, and is a concept including, for example, a low-molecular oligomer, and the oxidizing agent may have a function as a dopant. Further, in this specification, the concentration of the substance A refers to the ratio of the weight of X to the weight of Y + Z when the weights of the substances A to C constituting the polymerization solution are X to Z.

本発明によれば、コンデンサとしての特性を維持しつつ、ショートの発生が抑制された固体電解コンデンサ、およびその製造方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the solid electrolytic capacitor by which generation | occurrence | production of a short circuit was suppressed, maintaining the characteristic as a capacitor | condenser, and its manufacturing method can be provided.

本発明の実施の形態に係る固体電解コンデンサの構造を概略的に示す断面図である。1 is a cross-sectional view schematically showing a structure of a solid electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the solid electrolytic capacitor which concerns on embodiment of this invention.

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。なお、図面における長さ、大きさ、幅などの寸法関係は図面の明瞭化と簡略化のために適宜変更されており、実際の寸法を表していない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will not be repeated. Note that the dimensional relationships such as length, size, and width in the drawings are changed as appropriate for clarity and simplification of the drawings, and do not represent actual dimensions.

<固体電解コンデンサの構造>
図1は、本発明の実施の形態に係る固体電解コンデンサの構造を概略的に示す断面図である。図1において、固体電解コンデンサ100は、表面に誘電体被膜12が形成された陽極体11と、誘電体被膜12上に形成された導電性高分子層13と、導電性高分子層13上に形成された、陰極引出層としてのカーボン層14および銀ペースト層15と、を有するコンデンサ素子10を備える。
<Structure of solid electrolytic capacitor>
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a solid electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a solid electrolytic capacitor 100 includes an anode body 11 having a dielectric film 12 formed on the surface thereof, a conductive polymer layer 13 formed on the dielectric film 12, and a conductive polymer layer 13. The capacitor element 10 having the formed carbon layer 14 and the silver paste layer 15 as the cathode lead layer is provided.

固体電解コンデンサ100は、さらに、陽極リード16と、陽極端子17と、接着層18と、陰極端子19とを備える。陽極リード16は、金属、たとえばタンタルからなる棒状体であり、その一端は陽極体11に埋設されており、他端がコンデンサ素子10の外部へ突出するように配置される。陽極端子17は、溶接により、その一部が陽極リード16に接続される。また、陰極端子19は、導電性の接着剤からなる接着層18を介して、コンデンサ素子10の最外層である銀ペースト層15と接続するように配置される。   Solid electrolytic capacitor 100 further includes anode lead 16, anode terminal 17, adhesive layer 18, and cathode terminal 19. The anode lead 16 is a rod-shaped body made of metal, for example, tantalum, one end of which is embedded in the anode body 11 and the other end is disposed so as to protrude to the outside of the capacitor element 10. A part of the anode terminal 17 is connected to the anode lead 16 by welding. The cathode terminal 19 is arranged so as to be connected to the silver paste layer 15 that is the outermost layer of the capacitor element 10 through an adhesive layer 18 made of a conductive adhesive.

また、固体電解コンデンサ100は、外装樹脂20をさらに備える。当該外装樹脂20は、陽極端子17の一部および陰極端子19の一部が外装樹脂20から露出するように、陽極リード16、陽極端子17、接着層18および陰極端子19が配置されたコンデンサ素子10を封止する。   The solid electrolytic capacitor 100 further includes an exterior resin 20. The exterior resin 20 is a capacitor element in which the anode lead 16, the anode terminal 17, the adhesive layer 18, and the cathode terminal 19 are arranged so that a part of the anode terminal 17 and a part of the cathode terminal 19 are exposed from the exterior resin 20. 10 is sealed.

上記固体電解コンデンサ100において、陽極体11は、弁作用金属(タンタル、ニオブ、チタン、アルミニウムなど)の焼結体からなり、誘電体被膜12は、弁作用金属を化成処理することによって形成される酸化被膜である。たとえば、弁作用金属としてタンタル(Ta)を用いた場合の誘電体被膜12の組成はTa25となり、弁作用金属としてアルミニウム(Al)を用いた場合の誘電体被膜12の組成はAl2となる。なお、焼結体は多孔質構造を有している。 In the solid electrolytic capacitor 100, the anode body 11 is made of a sintered body of valve action metal (tantalum, niobium, titanium, aluminum, etc.), and the dielectric coating 12 is formed by chemical conversion treatment of the valve action metal. It is an oxide film. For example, the composition of the dielectric film 12 when tantalum (Ta) is used as the valve metal is Ta 2 O 5 , and the composition of the dielectric film 12 when Al (Al) is used as the valve metal is Al 2. the O 3. The sintered body has a porous structure.

また、導電性高分子層13は、導電性高分子、シラン化合物を含んでいる。この導電性高分子層13は、たとえば、導電性高分子の前駆体モノマー、シラン化合物および酸化剤を含む重合液に、表面に誘電体被膜12が形成された陽極体11を浸漬することにより、誘電体被膜12上に形成される。また、たとえば、誘電体被膜12が形成された陽極体11を前駆体モノマーおよびシラン化合物を含む重合液に浸漬した後、酸化剤溶液に浸漬してもよい。また、たとえば、誘電体被膜が形成された陽極体11を酸化剤溶液に浸漬した後、前駆体モノマーおよびシラン化合物を含む重合液に浸漬してもよい。あるいは、誘電体被膜が形成された陽極体11に、前駆体モノマー、シラン化合物および酸化剤を含む重合液を塗布してもよい。   The conductive polymer layer 13 contains a conductive polymer and a silane compound. For example, the conductive polymer layer 13 is obtained by immersing the anode body 11 having the dielectric film 12 formed on the surface thereof in a polymerization solution containing a precursor monomer of a conductive polymer, a silane compound, and an oxidizing agent. It is formed on the dielectric coating 12. Further, for example, anode body 11 on which dielectric film 12 is formed may be immersed in a polymerization solution containing a precursor monomer and a silane compound and then immersed in an oxidizer solution. Further, for example, the anode body 11 on which the dielectric film is formed may be immersed in an oxidant solution and then immersed in a polymerization solution containing a precursor monomer and a silane compound. Or you may apply | coat the polymerization liquid containing a precursor monomer, a silane compound, and an oxidizing agent to the anode body 11 in which the dielectric film was formed.

ところで、シラン化合物は、加水分解および脱水反応を経て無機物と化学結合することによって誘電体被膜の欠陥部を保護することができる。このようなシラン化合物の作用に鑑みれば、導電性高分子層中のシラン化合物の濃度を高くすることによって、固体電解コンデンサのショートの発生を抑制することができると考えられる。しかし、本発明者らは、導電性高分子層13の厚さ方向に対するシラン化合物の濃度を従来よりも高くした場合、固体電解コンデンサ100におけるショートの発生が抑制される一方で、ESRの増加を引き起こしてしまうことを知見した。これは、シラン化合物自体が絶縁体であるためと考えられる。   By the way, the silane compound can protect the defect part of a dielectric film by chemically bonding with an inorganic substance through a hydrolysis and dehydration reaction. In view of the action of such a silane compound, it is considered that the occurrence of a short circuit in the solid electrolytic capacitor can be suppressed by increasing the concentration of the silane compound in the conductive polymer layer. However, when the concentration of the silane compound with respect to the thickness direction of the conductive polymer layer 13 is made higher than before, the present inventors suppress the occurrence of short circuit in the solid electrolytic capacitor 100 while increasing the ESR. I found out that it would cause. This is considered because the silane compound itself is an insulator.

そこで、ショートの発生およびESRの増加の抑制を両立すべく、発明者らが鋭意検討を重ねた結果、導電性高分子層13の厚み方向に対するシラン化合物の濃度を変化させることにより、ショートの発生およびESRの増加の抑制を両立を達成することに成功した。   Accordingly, as a result of extensive studies by the inventors to achieve both the occurrence of a short circuit and the suppression of an increase in ESR, the occurrence of a short circuit can be achieved by changing the concentration of the silane compound in the thickness direction of the conductive polymer layer 13. And succeeded in achieving both suppression of increase in ESR.

すなわち、本実施の形態に係る固体電解コンデンサ100では、導電性高分子層13中のシラン化合物の濃度は均一ではなく、厚さ方向に対して段階的に変化している。導電性高分子層13中のシラン化合物の濃度の変化の態様については特に限定されないが、一態様として、図1において、面13aを有する第1導電性高分子層(内側層)と、面13bを有し、第1導電性高分子層上に形成された第2導電性高分子層(外側層)とからなり、第1導電性高分子層中のシラン化合物の濃度と第2導電性高分子層中のシラン化合物の濃度が異なっている導電性高分子層13が挙げられる。この構成により、固体電解コンデンサのショートの発生を効果的に抑制することができる。   That is, in the solid electrolytic capacitor 100 according to the present embodiment, the concentration of the silane compound in the conductive polymer layer 13 is not uniform and changes stepwise in the thickness direction. Although the aspect of the change in the concentration of the silane compound in the conductive polymer layer 13 is not particularly limited, as one aspect, a first conductive polymer layer (inner layer) having a surface 13a and a surface 13b in FIG. And the second conductive polymer layer (outer layer) formed on the first conductive polymer layer, and the concentration of the silane compound in the first conductive polymer layer and the second conductive high layer Examples thereof include the conductive polymer layer 13 in which the concentration of the silane compound in the molecular layer is different. With this configuration, occurrence of a short circuit in the solid electrolytic capacitor can be effectively suppressed.

また、上記のように、導電性高分子層13が2層構造である場合、第1導電性高分子層中のシラン化合物の濃度が第2導電性高分子層中のシラン化合物の濃度よりも高いことが好ましい。この場合には、固体電解コンデンサのショートの発生をより効果的に抑制することができる。   As described above, when the conductive polymer layer 13 has a two-layer structure, the concentration of the silane compound in the first conductive polymer layer is higher than the concentration of the silane compound in the second conductive polymer layer. High is preferred. In this case, occurrence of a short circuit of the solid electrolytic capacitor can be more effectively suppressed.

また、当然に、導電性高分子層13の構造は2層構造に限られず、何層構造であってもよい。特に、導電性高分子層13を構成する各層のうち、面13aを有する第1導電性高分子層中のシラン化合物の濃度が、他の層、特に面13bを有する第2導電性高分子層中のシラン化合物の濃度よりも高いことが好ましい。この場合には、固体電解コンデンサのショートの発生をより効果的に抑制することができる。   Naturally, the structure of the conductive polymer layer 13 is not limited to the two-layer structure, and may be any number of layers. In particular, among the layers constituting the conductive polymer layer 13, the concentration of the silane compound in the first conductive polymer layer having the surface 13a is different from that of the other layer, particularly the second conductive polymer layer having the surface 13b. The concentration is preferably higher than the concentration of the silane compound therein. In this case, occurrence of a short circuit of the solid electrolytic capacitor can be more effectively suppressed.

また、導電性高分子層13が複数の層からなる場合に、各層の形成に用いられる前駆体モノマー、シラン化合物、酸化剤の種類、およびこれらを含有させる溶媒の種類については、各層で異なってもよい。   In addition, when the conductive polymer layer 13 is composed of a plurality of layers, the types of precursor monomers, silane compounds, and oxidants used for forming each layer, and the types of solvents containing them are different for each layer. Also good.

導電性高分子層13を構成する導電性高分子としては、脂肪族系化合物、芳香族系化合物、複素環式系化合物およびヘテロ原子含有化合物のうちの少なくとも1つを有している高分子が好ましく、中でも、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリフランおよびTCNQ(7,7,8,8−テトラシアノキノジメタン)銀塩などが好ましい。   Examples of the conductive polymer constituting the conductive polymer layer 13 include polymers having at least one of an aliphatic compound, an aromatic compound, a heterocyclic compound, and a heteroatom-containing compound. Among them, polythiophene, polypyrrole, polyaniline, polyfuran, TCNQ (7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane) silver salt and the like are preferable.

また、導電性高分子層13を構成するシラン化合物としては、ビニルトリクロルシラン、ビニル(β−メトキシシラン)、ビニルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトルプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシランなどがある。   Examples of the silane compound constituting the conductive polymer layer 13 include vinyltrichlorosilane, vinyl (β-methoxysilane), vinyltriethoxysilane, γ-methacryloxysilane, and β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyl. Trimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ -Aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptorpropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane and the like.

特に、シラン化合物としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランまたはN−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシランを用いることが好ましい。これらは、固体電解コンデンサ100のショート発生の抑制、ESRの増加の抑制に優れている。   In particular, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane or N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane is preferably used as the silane compound. These are excellent in suppressing occurrence of a short circuit in the solid electrolytic capacitor 100 and suppressing increase in ESR.

また、酸化剤としては、たとえば、スルホン酸系金属塩がある。スルホン酸系金属塩は酸化剤とドーパントとしての役割を果たす。スルホン酸を構成する部分としては、アルキルスルホン酸、芳香族スルホン酸、多環芳香族スルホン酸などが挙げられ、金属塩を構成する部分としては、鉄(III)、銅(II)、クロム(IV)、セリウム(IV)、ルテニウム(III)、亜鉛(II)などから適宜選択することができる。   Examples of the oxidizing agent include sulfonic acid metal salts. The sulfonic acid metal salt serves as an oxidizing agent and a dopant. Examples of the portion constituting the sulfonic acid include alkyl sulfonic acid, aromatic sulfonic acid, polycyclic aromatic sulfonic acid, etc., and the portion constituting the metal salt includes iron (III), copper (II), chromium ( IV), cerium (IV), ruthenium (III), zinc (II) and the like can be appropriately selected.

また、陰極引出層としてのカーボン層14は導電性を有していればよく、たとえば、グラファイトを用いて構成することができる。陽極端子17および陰極端子19は、たとえば銅または銅合金などの金属で構成することができる。また、外装樹脂20の素材としては、たとえばエポキシ樹脂を用いることができる。   Moreover, the carbon layer 14 as a cathode extraction layer should just have electroconductivity, for example, can be comprised using a graphite. The anode terminal 17 and the cathode terminal 19 can be comprised, for example with metals, such as copper or a copper alloy. Moreover, as a raw material of the exterior resin 20, for example, an epoxy resin can be used.

<固体電解コンデンサの製造方法>
次に、固体電解コンデンサ100の製造方法について、図2を用いて説明する。ここでは、一例として、第1導電性高分子層および第2導電性高分子層からなる導電性高分子層13を備える固体電解コンデンサの製造方法を説明する。
<Method for manufacturing solid electrolytic capacitor>
Next, a method for manufacturing the solid electrolytic capacitor 100 will be described with reference to FIG. Here, as an example, a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor including a conductive polymer layer 13 including a first conductive polymer layer and a second conductive polymer layer will be described.

図2は、本発明の実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法を説明するための図であり、各図2(a)〜(e)は、各製造段階で形成される構造の概略的な断面を示す。   FIG. 2 is a diagram for explaining a method of manufacturing a solid electrolytic capacitor according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 (a) to 2 (e) are schematic views of a structure formed in each manufacturing stage. Shows a cross section.

まず、図2(a)において、弁作用金属粉末が準備され、棒状体の陽極リード16の長手方向の一端側が金属粉末に埋め込まれた状態で、当該粉末を所望の形状に成形する。そして、これを焼結することにより、陽極リード16の一端が埋め込まれた多孔質構造の陽極体11が形成される。   First, in FIG. 2A, valve action metal powder is prepared, and the powder is formed into a desired shape in a state where one end side in the longitudinal direction of the rod-shaped anode lead 16 is embedded in the metal powder. Then, by sintering this, the anode body 11 having a porous structure in which one end of the anode lead 16 is embedded is formed.

次いで、図2(b)に示されるように、陽極体11を化成処理することにより、陽極体11の表面に誘電体被膜12を形成する。化成処理の方法として、陽極体11を、0.01〜2質量%のリン酸水溶液または硝酸水溶液などの化成溶液中に浸して電圧を印加する方法がある。   Next, as shown in FIG. 2B, the dielectric body 12 is formed on the surface of the anode body 11 by chemical conversion of the anode body 11. As a method of chemical conversion treatment, there is a method of applying a voltage by immersing the anode body 11 in a chemical conversion solution such as 0.01 to 2% by mass of phosphoric acid aqueous solution or nitric acid aqueous solution.

次いで、誘電体被膜12が形成された陽極体11を、導電性高分子層13を構成する高分子の前駆体モノマー、シラン化合物および酸化剤を含む重合液に浸漬して、誘電体被膜12上に導電性高分子層13を形成する。この際に、導電性高分子層13中のシラン化合物の濃度が導電性高分子層13の厚み方向に対して段階的に変化するように、重合液中のシラン化合物の濃度が以下のように調製される。   Next, the anode body 11 on which the dielectric film 12 is formed is immersed in a polymer solution containing a precursor monomer of a polymer, a silane compound, and an oxidant constituting the conductive polymer layer 13, and the dielectric film 12 is formed on the dielectric film 12. Then, the conductive polymer layer 13 is formed. At this time, the concentration of the silane compound in the polymerization solution is changed as follows so that the concentration of the silane compound in the conductive polymer layer 13 changes stepwise in the thickness direction of the conductive polymer layer 13. Prepared.

まず、前駆体モノマー、シラン化合物、酸化剤を含む第1重合液としての重合液Aに、誘電体被膜12が形成された陽極体11を浸漬する。そして、重合液Aから引上げた陽極体11を乾燥処理して溶媒を除去することにより、図2(c)に示されるように、第1導電性高分子層としての内側層13Aを形成する。乾燥処理としては熱処理を用いることができる。   First, the anode body 11 on which the dielectric film 12 is formed is immersed in a polymerization liquid A as a first polymerization liquid containing a precursor monomer, a silane compound, and an oxidizing agent. Then, the anode body 11 pulled up from the polymerization solution A is dried to remove the solvent, thereby forming an inner layer 13A as a first conductive polymer layer as shown in FIG. A heat treatment can be used as the drying treatment.

次いで、重合液Aとシラン化合物の濃度が異なる第2重合液としての重合液Bに、内側層13Aが形成された陽極体11を浸漬する。そして、重合液Bから引上げた陽極体11を乾燥処理して溶媒を除去することにより、図2(d)に示されるように、内側層13A上に第2導電性高分子層としての外側層13Bを形成する。乾燥処理としては熱処理を用いることができる。   Next, the anode body 11 on which the inner layer 13 </ b> A is formed is immersed in a polymerization solution B as a second polymerization solution having a different concentration of the polymerization solution A and the silane compound. Then, by drying the anode body 11 pulled up from the polymerization liquid B and removing the solvent, as shown in FIG. 2D, the outer layer as the second conductive polymer layer is formed on the inner layer 13A. 13B is formed. A heat treatment can be used as the drying treatment.

重合液Aおよび重合液Bとしては、前駆体モノマー、シラン化合物および酸化剤を、溶媒、たとえば、1−ブタノールなどの有機溶媒中に含ませたものを用いることができる。重合反応としては、化学酸化重合反応、電気化学重合反応などがあるが、製造プロセスを簡易化できること、導電性高分子層13中のシラン化合物の濃度を調製し易い点を考慮すると、化学酸化重合反応を採用することが好ましい。   As the polymerization liquid A and the polymerization liquid B, those in which a precursor monomer, a silane compound, and an oxidizing agent are contained in a solvent, for example, an organic solvent such as 1-butanol can be used. The polymerization reaction includes a chemical oxidation polymerization reaction, an electrochemical polymerization reaction, and the like, but considering that the manufacturing process can be simplified and the concentration of the silane compound in the conductive polymer layer 13 can be easily adjusted, the chemical oxidation polymerization is performed. It is preferable to employ a reaction.

その後、上述の処理後の陽極体11に、公知の技術にしたがって、カーボン層14、銀ペースト層15、陽極端子17、接着層18、陰極端子19を配置し、外装樹脂20にて封止することにより、図2(e)に示される固体電解コンデンサ100が製造される。   Thereafter, the carbon layer 14, the silver paste layer 15, the anode terminal 17, the adhesive layer 18, and the cathode terminal 19 are disposed on the treated anode body 11 according to a known technique and sealed with the exterior resin 20. Thus, the solid electrolytic capacitor 100 shown in FIG. 2 (e) is manufactured.

本実施の形態に係る固体電解コンデンサの製造方法によれば、浸漬処理、乾燥処理の繰り返しによる導電性高分子層13の形成において、各浸漬処理に用いる重合液のうち、少なくとも1つの重合液中のシラン化合物の濃度が他の重合液中のシラン化合物の濃度と異なる。したがって、たとえば2層構造の導電性高分子層13を形成する場合、図2(e)に示されるように、それぞれシラン化合物の濃度が異なる内側層13Aおよび外側層13Bからなる導電性高分子層13を形成することができる。これにより、導電性高分子層13中のシラン化合物の量が過剰に増加することによるESRの増加を抑制しつつ、ショートの発生を抑制することができる。   According to the method for manufacturing the solid electrolytic capacitor according to the present embodiment, in the formation of the conductive polymer layer 13 by repeating the dipping treatment and the drying treatment, among the polymerization solutions used for each dipping treatment, in at least one polymerization solution. The concentration of the silane compound is different from the concentration of the silane compound in the other polymerization liquid. Therefore, for example, when the conductive polymer layer 13 having a two-layer structure is formed, as shown in FIG. 2 (e), the conductive polymer layer composed of the inner layer 13A and the outer layer 13B having different silane compound concentrations, respectively. 13 can be formed. Thereby, generation | occurrence | production of a short circuit can be suppressed, suppressing the increase in ESR by the quantity of the silane compound in the conductive polymer layer 13 increasing excessively.

また、導電性高分子層13が上記のような2層構造の場合、内側層13A中のシラン化合物の濃度が外側層13B中のシラン化合物の濃度よりも大きいことが好ましい。この場合、より効果的にショートの発生を抑制することができる。   In the case where the conductive polymer layer 13 has a two-layer structure as described above, the concentration of the silane compound in the inner layer 13A is preferably larger than the concentration of the silane compound in the outer layer 13B. In this case, the occurrence of a short circuit can be more effectively suppressed.

また、重合液A,B中のシラン化合物の濃度としては、重合液A,B中のシラン化合物以外の物質の重量に対する比率が、5%以上30%以下であることが好ましい。この場合、シラン化合物の量に起因するESRの増加を効果的に抑制しつつ、ショートの発生を抑制することができる。   Moreover, as a density | concentration of the silane compound in the polymerization liquids A and B, it is preferable that the ratio with respect to the weight of substances other than the silane compound in the polymerization liquids A and B is 5% or more and 30% or less. In this case, occurrence of a short circuit can be suppressed while effectively suppressing an increase in ESR caused by the amount of the silane compound.

また、導電性高分子層13が複数の層から構成される場合、誘電体被膜12と接する面13aを有する内側層13Aを形成する際に用いる重合液A中のシラン化合物の濃度を、カーボン層14と接する面13bを有する外側層を形成する際に用いる重合液B中のシラン化合物の濃度よりも高くすることが好ましい。これにより、より効果的に、ESRの増加およびショートの発生を抑制することができる。   Further, when the conductive polymer layer 13 is composed of a plurality of layers, the concentration of the silane compound in the polymerization solution A used when forming the inner layer 13A having the surface 13a in contact with the dielectric coating 12 is set to the carbon layer. It is preferable that the concentration be higher than the concentration of the silane compound in the polymerization liquid B used when forming the outer layer having the surface 13 b in contact with 14. Thereby, an increase in ESR and occurrence of a short circuit can be suppressed more effectively.

以上のように、本発明によれば、複数の層からなる導電性高分子層を形成するために用いられる複数の重合液において、少なくとも1つの重合液中のシラン化合物の濃度が、他の重合液中のシラン化合物の濃度と異なることにより、製造される固体電解コンデンサのコンデンサとしての特性を維持、または向上させた上で、ショートの発生を抑制することができる。また、シラン化合物の濃度が段階的に異なる複数の重合液を用いることにより、段階的にシラン化合物の濃度が変化する導電性高分子層を形成することができる。   As described above, according to the present invention, in a plurality of polymerization liquids used for forming a conductive polymer layer composed of a plurality of layers, the concentration of the silane compound in at least one polymerization liquid is different from that of another polymerization liquid. By differing from the concentration of the silane compound in the liquid, it is possible to suppress the occurrence of a short circuit while maintaining or improving the characteristics of the manufactured solid electrolytic capacitor as a capacitor. In addition, by using a plurality of polymerization solutions in which the concentration of the silane compound is gradually changed, a conductive polymer layer in which the concentration of the silane compound is changed in a stepwise manner can be formed.

また、本発明における固体電解コンデンサは、上記の実施の形態に係る固体電解コンデンサに限定されず、公知の形状に応用することができる。公知の形状としては具体的に、巻回型の固体電解コンデンサ、弁金属の板を用いた積層タイプの固体電解コンデンサなどがある。   In addition, the solid electrolytic capacitor in the present invention is not limited to the solid electrolytic capacitor according to the above embodiment, and can be applied to a known shape. Specific examples of the known shape include a winding type solid electrolytic capacitor, and a laminated type solid electrolytic capacitor using a valve metal plate.

ただし、多孔質構造の焼結体からなる陽極体を有する固体電解コンデンサにおいて、陽極体の誘電体被膜上に導電性高分子層を形成するに当たって、陽極体を重合液に浸漬して乾燥する工程を複数回繰り返すことが一般的である。このため、焼結体からなる陽極体を有する固体電解コンデンサの導電性高分子層を、たとえば2層構造とし、内側層と外側層のシラン化合物の濃度を変化させることは製造工程上容易である。したがって、本発明を焼結体からなる陽極体を有する固体電解コンデンサに適用することは好適である。   However, in a solid electrolytic capacitor having an anode body made of a sintered body having a porous structure, a step of immersing the anode body in a polymerization solution and drying it when forming a conductive polymer layer on the dielectric film of the anode body Is generally repeated several times. For this reason, it is easy in the manufacturing process that the conductive polymer layer of the solid electrolytic capacitor having the anode body made of a sintered body has, for example, a two-layer structure and the concentration of the silane compound in the inner layer and the outer layer is changed. . Therefore, it is preferable to apply the present invention to a solid electrolytic capacitor having an anode body made of a sintered body.

以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these.

<実施例1>
まず、タンタル粉末を準備し、棒状体の陽極リード16の長手方向の一端側を金属粉末に埋め込んだ状態で、当該粉末を直方体に成形した。そして、これを焼結して、陽極リード16の一端が埋め込まれた陽極体11を準備した。次いで、陽極体11を0.02質量%のリン酸溶液に浸して100Vの電圧を印加することにより、陽極体11の表面にTa25からなる誘電体被膜12を形成した。
<Example 1>
First, a tantalum powder was prepared, and the powder was molded into a rectangular parallelepiped in a state where one end side in the longitudinal direction of the rod-shaped anode lead 16 was embedded in the metal powder. And this was sintered and the anode body 11 in which one end of the anode lead 16 was embedded was prepared. Next, the anode body 11 was immersed in a 0.02% by mass phosphoric acid solution, and a voltage of 100 V was applied to form a dielectric film 12 made of Ta 2 O 5 on the surface of the anode body 11.

次いで、1−ブタノールに、前駆体モノマーとしての3,4−エチレンジオキシチオフェン、シラン化合物としてのγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ドーパント機能を有する酸化剤としてのp−トルエンスルホン酸鉄(III)を混合させた重合液Aを準備した。重合液Aは、各化合物の重量比が、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.9:5:11.5となるように調製した。そして、この重合液Aに、誘電体被膜12が形成された陽極体11を1分間浸漬した。その後、内側層13Aが形成された陽極体11を重合液Aから引き上げて熱処理することにより導電性高分子層13のうちの内側層13Aを形成した。   Subsequently, 1,4-butanol was mixed with 3,4-ethylenedioxythiophene as a precursor monomer, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane as a silane compound, and iron p-toluenesulfonate as an oxidizing agent having a dopant function ( A polymerization solution A mixed with III) was prepared. In the polymerization liquid A, the weight ratio of each compound was 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 0.9. : 5: 11.5. Then, the anode body 11 on which the dielectric film 12 was formed was immersed in this polymerization solution A for 1 minute. Thereafter, the anode body 11 on which the inner layer 13A was formed was pulled up from the polymerization liquid A and heat-treated to form the inner layer 13A of the conductive polymer layer 13.

次いで、各化合物の重量比が、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:1.5:5:8.5となるように調製した重合液Bに、内側層13Aが形成された陽極体11を浸漬した。その後、外側層13Bが形成された陽極体11を重合液Bから引上げて熱処理することにより、導電性高分子層13のうちの外側層13Bを形成した。   Subsequently, the weight ratio of each compound was 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 1.5: 5: The anode body 11 on which the inner layer 13A was formed was immersed in the polymerization solution B prepared to be 8.5. Thereafter, the anode body 11 on which the outer layer 13B was formed was pulled up from the polymerization solution B and subjected to heat treatment, whereby the outer layer 13B of the conductive polymer layer 13 was formed.

そして、乾燥後の陽極体11に、さらに、グラファイト粒子懸濁液を塗布して大気中で乾燥させることによりカーボン層14を形成し、さらに、公知の技術にしたがって、銀ペースト層15、陽極端子17、接着層18、陰極端子19を配置し、外装樹脂20にて封止することにより、固体電解コンデンサを製造した。   Further, a carbon layer 14 is formed on the dried anode body 11 by further applying a graphite particle suspension and drying it in the atmosphere. Further, according to a known technique, the silver paste layer 15, the anode terminal 17, the adhesive layer 18, and the cathode terminal 19 were disposed and sealed with an exterior resin 20 to manufacture a solid electrolytic capacitor.

<実施例2>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:1.8:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.7:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Example 2>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 1.8: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 0.7: 5: 8.5 was used.

<実施例3>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:2.6:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.7:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Example 3>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 2.6: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 0.7: 5: 8.5 was used.

<実施例4>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:3.5:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.7:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Example 4>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 3.5: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 0.7: 5: 8.5 was used.

<実施例5>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:5.3:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.7:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Example 5>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 5.3: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 0.7: 5: 8.5 was used.

<比較例1>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.04:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.03:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative Example 1>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 0.04: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 0.03: 5: 8.5 was used.

<比較例2>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.18:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.15:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative example 2>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 0.18: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 0.15: 5: 8.5 was used.

<比較例3>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.7:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.6:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative Example 3>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 0.7: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 0.6: 5: 8.5 was used.

<比較例4>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.9:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:0.7:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative Example 4>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 0.9: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 0.7: 5: 8.5 was used.

<比較例5>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:1.8:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:1.5:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative Example 5>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 1.8: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 1.5: 5: 8.5 was used.

<比較例6>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:3.5:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:2.9:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative Example 6>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 3.5: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 2.9: 5: 8.5 was used.

<比較例7>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:5.3:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:4.4:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative Example 7>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 5.3: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 4.4: 5: 8.5 was used.

<比較例8>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:7:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:5.8:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative Example 8>
As the polymerization liquid A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 7: 5: 11.5 As a polymerization solution B, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 5. A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 8: 5: 8.5 was used.

<比較例9>
重合液Aとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:8.8:5:11.5となるように調製した重合液を用い、重合液Bとして、3,4−エチレンジオキシチオフェン:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン:p−トルエンスルホン酸鉄(III):1−ブタノール=1:7.3:5:8.5となるように調製した重合液を用いた以外は、実施例1と同様の方法により、固体電解コンデンサを製造した。
<Comparative Example 9>
As the polymerization solution A, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: p-toluenesulfonic acid iron (III): 1-butanol = 1: 8.8: 5: 11.5 Using the polymerization solution prepared as above, 3,4-ethylenedioxythiophene: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane: iron (III) p-toluenesulfonate: 1-butanol = 1: A solid electrolytic capacitor was produced in the same manner as in Example 1 except that the polymerization solution prepared to be 7.3: 5: 8.5 was used.

<性能評価>
≪静電容量相対値≫
各実施例および各比較例の固体電解コンデンサについて、初期特性としての静電容量(μF)を測定した。具体的には、各実施例および各比較例の固体電解コンデンサから、それぞれランダムに120個ずつ選び、4端子測定用のLCRメータを用いて、それぞれの固体電解コンデンサの周波数120Hzにおける初期静電容量(μF)を測定し、各実施例および各比較例における平均値を算出した。そして、比較例1の固体電解コンデンサの平均初期静電容量を基準値として、各実施例および比較例の固体電解コンデンサの平均初期静電容量の基準値に対する相対値を算出した。結果を表1に示した。
<Performance evaluation>
≪Capacitance relative value≫
About the solid electrolytic capacitor of each Example and each comparative example, the electrostatic capacitance (μF) as an initial characteristic was measured. Specifically, initial 120 capacitances at a frequency of 120 Hz of each solid electrolytic capacitor were selected from 120 solid electrolytic capacitors of each example and each comparative example at random by using an LCR meter for 4-terminal measurement. (ΜF) was measured, and the average value in each example and each comparative example was calculated. Then, using the average initial capacitance of the solid electrolytic capacitor of Comparative Example 1 as a reference value, a relative value with respect to the reference value of the average initial capacitance of the solid electrolytic capacitors of each Example and Comparative Example was calculated. The results are shown in Table 1.

≪LC良品率≫
各実施例および各比較例の固体電解コンデンサについて、LC良品率(%)を測定した。LC良品率とは、固体電解コンデンサの漏れ電流の程度を示す指標である。具体的には、各実施例および各比較例の固体電解コンデンサから、それぞれランダムに120個ずつ選び、固体電解コンデンサに1kΩの抵抗を直列につなぎ、直流電源にて25Vの定格電圧を1分間印加した後の漏れ電流を測定した。そして、漏れ電流量が37.5μA以下のものを良品と判断して、各実施例および各比較例におけるLC良品率を算出した。結果を表1に示した。
≪LC good product rate≫
About the solid electrolytic capacitor of each Example and each comparative example, LC non-defective rate (%) was measured. The LC non-defective rate is an index indicating the degree of leakage current of the solid electrolytic capacitor. Specifically, 120 pieces are randomly selected from each of the solid electrolytic capacitors of the examples and comparative examples, a 1 kΩ resistor is connected in series to the solid electrolytic capacitor, and a rated voltage of 25 V is applied for 1 minute by a DC power supply. The leakage current after measurement was measured. And the thing of 37.5 microamperes or less of leakage current amount was judged to be non-defective, and LC non-defective rate in each Example and each comparative example was computed. The results are shown in Table 1.

≪ESR値≫
各実施例および各比較例の固体電解コンデンサについて、初期特性としてのESR値(mΩ)を測定した。具体的には、各実施例および各比較例の固体電解コンデンサから、それぞれランダムに120個ずつ選び、4端子測定用のLCRメータを用いて、それぞれの固体電解コンデンサの周波数100kHzにおけるESR値(mΩ)を測定し、各実施例および各比較例における平均値を算出した。結果を表1に示した。
≪ESR value≫
The ESR value (mΩ) as an initial characteristic was measured for the solid electrolytic capacitors of each Example and each Comparative Example. Specifically, 120 ESR values (mΩ) at a frequency of 100 kHz of each solid electrolytic capacitor were selected from 120 solid electrolytic capacitors of each example and each comparative example at random using an LCR meter for 4-terminal measurement. ) And the average value in each example and each comparative example was calculated. The results are shown in Table 1.

≪リフローショート発生率≫
各実施例および各比較例の固体電解コンデンサについて、リフローショート発生率を測定した。具体的には、信頼性試験としての熱風式のリフロー試験として、121℃以上、2気圧の環境下に各実施例および比較例の固体電解コンデンサを12時間放置して強制吸湿させ、その後最高温度260℃で10秒間保持することを4回繰り返した。そして、リフロー試験後の各実施例および比較例の固体電解コンデンサに25Vの定格電圧を1分間印加してショートの有無を試験し、各実施例および比較例の固体電解コンデンサのショート発生率を算出した。ショートの有無として、漏れ電流が1mA以上測定された場合に、ショートに到ったものと規定した。結果を表1に示した。
≪Reflow short incidence≫
About the solid electrolytic capacitor of each Example and each comparative example, the reflow short-circuit incidence rate was measured. Specifically, as a hot air type reflow test as a reliability test, the solid electrolytic capacitors of the examples and comparative examples were left to stand for 12 hours in an environment of 121 ° C. or higher and 2 atmospheres, and then forcedly absorbed, then the maximum temperature Holding at 260 ° C. for 10 seconds was repeated 4 times. Then, a rated voltage of 25 V is applied to the solid electrolytic capacitors of each Example and Comparative Example after the reflow test for 1 minute to test whether there is a short circuit, and the short-circuit occurrence rate of the solid electrolytic capacitors of each Example and Comparative Example is calculated. did. As the presence / absence of a short circuit, it was defined that a short circuit was reached when a leakage current of 1 mA or more was measured. The results are shown in Table 1.

Figure 0005461110
Figure 0005461110

表1の結果から、導電性高分子層中のシラン化合物の濃度が従来と同等の場合(比較例1〜3)には、リフローショート発生率が高く、LC良品率が低いのに対し、実施例1〜5、および比較例4〜7のリフローショート発生率が低く、LC良品率が高いことが確認された。また、比較例8、9は、静電容量が大幅に低下してしまうことが確認された。   From the results of Table 1, when the concentration of the silane compound in the conductive polymer layer is equivalent to the conventional one (Comparative Examples 1 to 3), the reflow short occurrence rate is high and the LC non-defective rate is low. In Examples 1 to 5 and Comparative Examples 4 to 7, the reflow short-circuit occurrence rate was low, and it was confirmed that the LC non-defective rate was high. Further, it was confirmed that the capacitances of Comparative Examples 8 and 9 were significantly reduced.

さらに、実施例1と比較例4、5において、各ESR値、リフローショート発生率を比較すると、実施例1のほうが、総合的なコンデンサの特性が優れているといえる。これにより、各浸漬工程に用いる各重合液において、シラン化合物の濃度が異なるように調製して、導電性高分子層13の厚さ方向に対するシラン化合物の濃度を段階的に変化させることにより、コンデンサとしての特性に優れた固体電解コンデンサを得られることがわかった。   Further, when comparing each ESR value and reflow short-circuit occurrence rate in Example 1 and Comparative Examples 4 and 5, it can be said that Example 1 is superior in overall capacitor characteristics. Thereby, in each polymerization solution used for each immersion process, the concentration of the silane compound is adjusted to be different, and the concentration of the silane compound with respect to the thickness direction of the conductive polymer layer 13 is changed stepwise. It was found that a solid electrolytic capacitor having excellent characteristics can be obtained.

また、実施例2によれば、内側層13Aのシラン化合物の濃度を外側層13Bのシラン化合物の濃度よりも高くすべく、重合液Aのシラン化合物の濃度を、重合液B中のシラン化合物の濃度よりも高くして導電性高分子層13を形成することによって、静電容量、LC良品率、ESR値、リフローショート発生率に関し、コンデンサの特性が総合的に優れているいることがわかった。これにより、導電性高分子層13を形成するに当たって、1回目の浸漬工程に用いる重合液のシラン化合物の濃度を、2回目の浸漬工程に用いるシラン化合物の濃度よりも高くすることが好ましいことがわかった。   Further, according to Example 2, in order to make the concentration of the silane compound in the inner layer 13A higher than the concentration of the silane compound in the outer layer 13B, the concentration of the silane compound in the polymerization solution A is changed to that of the silane compound in the polymerization solution B. It was found that by forming the conductive polymer layer 13 at a concentration higher than the concentration, the capacitor characteristics are generally excellent with respect to the capacitance, LC non-defective rate, ESR value, and reflow short-circuit occurrence rate. . Thereby, in forming the conductive polymer layer 13, it is preferable that the concentration of the silane compound in the polymerization solution used in the first immersion step is higher than the concentration of the silane compound used in the second immersion step. all right.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明は、固体電解コンデンサとしての特性を向上させるために広く利用することができる。   The present invention can be widely used to improve characteristics as a solid electrolytic capacitor.

10 コンデンサ素子、11 陽極体、12 誘電体被膜、13 導電性高分子層、13A 内側層、13B 外側層、14 カーボン層、15 銀ペースト層、16 陽極リード、17 陽極端子、18 接着層、19 陰極端子、100 固体電解コンデンサ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Capacitor element, 11 Anode body, 12 Dielectric film, 13 Conductive polymer layer, 13A Inner layer, 13B Outer layer, 14 Carbon layer, 15 Silver paste layer, 16 Anode lead, 17 Anode terminal, 18 Adhesive layer, 19 Cathode terminal, 100 solid electrolytic capacitor.

Claims (5)

表面に誘電体被膜が形成された陽極体と、
前記誘電体被膜上に形成された導電性高分子層と、
を備え、
前記導電性高分子層は、少なくとも、前記誘電体被膜上に形成された第1導電性高分子層と、該第1導電性高分子層上に形成された第2導電性高分子層とを備え
記第1導電性高分子層および前記第2導電性高分子層はシラン化合物を含み、
前記第1導電性高分子層中のシラン化合物の濃度が、前記第2導電性高分子層中のシラン化合物の濃度よりも高い、固体電解コンデンサ。
An anode body having a dielectric coating formed on the surface;
A conductive polymer layer formed on the dielectric coating;
With
The conductive polymer layer includes at least a first conductive polymer layer formed on the dielectric coating and a second conductive polymer layer formed on the first conductive polymer layer . Prepared ,
Before the first conductive polymer layer and the second conductive polymer layer SL includes a silane compound,
The solid electrolytic capacitor, wherein the concentration of the silane compound in the first conductive polymer layer is higher than the concentration of the silane compound in the second conductive polymer layer.
前記陽極体は焼結体からなる請求項1に記載の固体電解コンデンサ。   The solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the anode body is made of a sintered body. 陽極体の表面に誘電体被膜を形成する工程と、
前記誘電体被膜の表面に導電性高分子層を形成する工程と
を有し、
前記導電性高分子層を形成する工程は、少なくとも、
シラン化合物を含む第1重合液を用いて、前記誘電体被膜上に第1導電性高分子層を形成する工程と
ラン化合物を含む第2重合液を用いて、前記第1導電性高分子層上に第2導電性高分子層を形成する工程と
を有し、
前記第1重合液中のシラン化合物の濃度が、前記第2重合液中のシラン化合物の濃度よりも高い、固体電解コンデンサの製造方法。
Forming a dielectric coating on the surface of the anode body;
Forming a conductive polymer layer on the surface of the dielectric coating,
The step of forming the conductive polymer layer includes at least:
Forming a first conductive polymer layer on the dielectric film using a first polymerization solution containing a silane compound ;
Using a second polymerization solution containing a silane-compound, and forming a second conductive polymer layer on the first conductive polymer layer,
The method for producing a solid electrolytic capacitor, wherein the concentration of the silane compound in the first polymerization solution is higher than the concentration of the silane compound in the second polymerization solution.
前記重合液中の前記シラン化合物の濃度が5%以上30%以下である請求項3に記載の固体電解コンデンサの製造方法。   The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 3, wherein the concentration of the silane compound in the polymerization solution is 5% or more and 30% or less. 前記陽極体は、焼結体からなる請求項3または4に記載の固体電解コンデンサの製造方法。   The method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to claim 3, wherein the anode body is made of a sintered body.
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