JP5454285B2 - DYE-SENSITIZED SOLAR CELL ELECTRODE, RESIN COMPOSITION FOR FORMING SHIELD FILM OF DYE-SENSITIZED SOLAR CELL ELECTRODE, SHIELD FILM AND METHOD FOR FORMING THE SAME - Google Patents

DYE-SENSITIZED SOLAR CELL ELECTRODE, RESIN COMPOSITION FOR FORMING SHIELD FILM OF DYE-SENSITIZED SOLAR CELL ELECTRODE, SHIELD FILM AND METHOD FOR FORMING THE SAME Download PDF

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Description

本発明は、色素増感型太陽電池用電極、色素増感型太陽電池用電極のシールド膜形成用樹脂組成物、シールド膜及びその形成方法、さらにシールド膜を有する色素増感型太陽電池に関する。   The present invention relates to an electrode for a dye-sensitized solar cell, a resin composition for forming a shield film of an electrode for a dye-sensitized solar cell, a shield film and a method for forming the same, and a dye-sensitized solar cell having a shield film.

色素増感型太陽電池は、スイスのグレッツェルらにより開発されたものであり、光電変換効率が高く、製造コストが安いなどの利点を持つため、新しいタイプの太陽電池として注目を集めている(例えば、特開平1−220380号公報;ミカエル・グレッツェル(M.Graetzel)らによるネイチャー(Nature)誌(英国)、1991年、第353号、p.737を参照)。色素増感型太陽電池は、透明電極基板上に酸化物半導体微粒子からなる光増感色素が担持された酸化物半導体多孔膜を有する作用電極と、この作用電極に対向して設けられた対向電極と、作用電極と対向電極との間に電解液が充填されることにより形成された電解質層(電荷移動層)とを備えている。このような色素増感型太陽電池においては、太陽光などの入射光を吸収した光増感色素により酸化物半導体微粒子が増感され、光エネルギーを電力に変換する光電変換素子として機能する。   Dye-sensitized solar cells were developed by Gretzel et al. In Switzerland, and have advantages such as high photoelectric conversion efficiency and low manufacturing costs. JP, 1-220380, see Nature (UK), 1991, No. 353, p. 737 by M. Graetzel et al.). A dye-sensitized solar cell includes a working electrode having an oxide semiconductor porous film on which a photosensitizing dye composed of oxide semiconductor fine particles is supported on a transparent electrode substrate, and a counter electrode provided to face the working electrode And an electrolyte layer (charge transfer layer) formed by filling an electrolyte between the working electrode and the counter electrode. In such a dye-sensitized solar cell, the oxide semiconductor fine particles are sensitized by a photosensitizing dye that absorbs incident light such as sunlight, and functions as a photoelectric conversion element that converts light energy into electric power.

色素増感型太陽電池で用いられる透明電極基板としては、スズ添加酸化インジウム(ITO)やフッ素添加酸化スズ(FTO)などの透明導電膜を、高歪点ガラス等の基材の表面に成膜したものが一般的である。スズ添加酸化インジウム(ITO)やフッ素添加酸化スズ(FTO)は、透明性、電解液による腐食に対する耐性、及び成膜容易性などの観点から、好ましく用いられている。しかしながら、ITOやFTOの比抵抗は、10−4[Ω・cm]オーダー程度と、銀や金などの金属の比抵抗に比べて約100倍もの値を示すことから、特に大面積の作用電極とした場合に、光電変換効率の低下を招く一因となっている。 As a transparent electrode substrate used in a dye-sensitized solar cell, a transparent conductive film such as tin-added indium oxide (ITO) or fluorine-added tin oxide (FTO) is formed on the surface of a substrate such as high strain point glass. It is common. Tin-added indium oxide (ITO) and fluorine-added tin oxide (FTO) are preferably used from the viewpoints of transparency, resistance to corrosion by an electrolytic solution, film formation ease, and the like. However, the specific resistance of ITO or FTO is about 10 −4 [Ω · cm], which is about 100 times the specific resistance of metals such as silver and gold. In such a case, the photoelectric conversion efficiency is reduced.

透明電極基板の抵抗を下げる手法として、透明導電膜(ITO、FTOなど)の厚みを大きくすることが考えられるが、抵抗値が十分に下がるほどの膜厚にした場合、透明導電膜による光吸収が大きくなってしまう。この場合、透明導電膜での入射光の透過効率が著しく低下するため、光電変換効率の低下が生じやすい。この問題に対する解決策として、透明電極基板の表面に、開口率を著しく損なわない程度に金属配線を設けることにより、透明電極基板の抵抗の低下を図る検討がなされている(特開2003−203681号公報参照)。   As a technique for reducing the resistance of the transparent electrode substrate, it is conceivable to increase the thickness of the transparent conductive film (ITO, FTO, etc.). However, when the film thickness is such that the resistance value is sufficiently reduced, light absorption by the transparent conductive film is possible. Will become bigger. In this case, since the transmission efficiency of incident light through the transparent conductive film is remarkably lowered, the photoelectric conversion efficiency is likely to be lowered. As a solution to this problem, studies have been made to reduce the resistance of the transparent electrode substrate by providing metal wiring on the surface of the transparent electrode substrate to such an extent that the aperture ratio is not significantly impaired (Japanese Patent Laid-Open No. 2003-203681). See the official gazette).

しかしながら、この場合電解液による金属配線の腐食が発生し、時間の経過と共に透明電極基板の抵抗が大きくなるため、光電変換効率の低下につながる事態となる。従って、このように透明電極基板の表面に金属配線を設ける際には、少なくとも金属配線の表面部分が、何らかの遮蔽層により保護されている必要がある。この遮蔽層は、金属配線を緻密に被覆でき、電解質層を構成する電解液に対する耐食性に優れることが要求される。   However, in this case, corrosion of the metal wiring due to the electrolytic solution occurs, and the resistance of the transparent electrode substrate increases with the passage of time, leading to a decrease in photoelectric conversion efficiency. Therefore, when providing the metal wiring on the surface of the transparent electrode substrate in this way, at least the surface portion of the metal wiring needs to be protected by some kind of shielding layer. This shielding layer is required to be capable of densely covering the metal wiring and to have excellent corrosion resistance against the electrolyte solution constituting the electrolyte layer.

上記状況を鑑み、特開2005−197176号公報には、色素増感型太陽電池用電極に設けられた金属配線を電解液による腐食から保護するために、導電性粒子(ITO、ATO、ZnO等)を含むアクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂などの透明樹脂からなる有機膜を、この電極の最上層に形成する技術が開示されている。しかし、導電性粒子が透明樹脂溶液に不均一に分散されているために、金属配線の段差を有する基板上に均一な厚みの塗膜を形成することが困難である。その結果、有機膜の欠損が生じたり、金属配線が存在しない部分まで有機膜が形成されることになるため、光電変換効率が低下するという不都合がある。   In view of the above situation, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-197176 discloses conductive particles (ITO, ATO, ZnO, etc.) in order to protect the metal wiring provided on the electrode for the dye-sensitized solar cell from corrosion by the electrolytic solution. ), An organic film made of a transparent resin such as an acrylic resin, a polyester resin, or a polyurethane resin is disclosed on the uppermost layer of the electrode. However, since the conductive particles are dispersed non-uniformly in the transparent resin solution, it is difficult to form a coating film having a uniform thickness on a substrate having a metal wiring step. As a result, the organic film is lost, or the organic film is formed up to the portion where the metal wiring does not exist, so that the photoelectric conversion efficiency is lowered.

また、特開2005−197176号公報には、色素増感型太陽電池用電極に設けられた金属配線の表面部分を覆うように、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂等の透明樹脂からなる有機膜を形成する技術が開示されている。しかし、金属配線の段差を有する基板に対して、スクリーン印刷やグラビヤ印刷の手法により、金属配線が存在する部分のみに正確に樹脂組成物を塗布することは非常に困難である。このような塗布方法を採用した場合でも、やはり金属配線の一部に有機膜の欠損が生じたり、金属配線が存在しない不必要な部分にまで有機膜が形成されることになり、光電変換効率の低下を招来するという不都合がある。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-197176 discloses a transparent resin such as an acrylic resin, a polyester resin, or a polyurethane resin so as to cover the surface portion of the metal wiring provided on the dye-sensitized solar cell electrode. A technique for forming an organic film is disclosed. However, it is very difficult to accurately apply the resin composition only to the portion where the metal wiring exists by using screen printing or gravure printing on a substrate having a metal wiring level difference. Even when such a coating method is adopted, the organic film is lost in a part of the metal wiring, or the organic film is formed even in an unnecessary part where the metal wiring does not exist. There is an inconvenience of inviting a drop in

従って、色素増感型太陽電池において、金属配線の段差を有する基板に対して正確に塗布することが可能であると共に、高い光電変換効率を維持しつつ優れた耐食性を有するシールド膜を形成することができるシールド膜形成用組成物の開発が強く望まれている。なお、色素増感型太陽電池における金属配線の段差を有する基板に対して、バー塗布法、スピンコート法、スリットダイ法などによる塗布、及びそれに続くフォトマスクを介した露光・現像によってシールド膜を形成可能な樹脂組成物は知られていない。   Therefore, in a dye-sensitized solar cell, it is possible to accurately apply to a substrate having a metal wiring step, and to form a shield film having excellent corrosion resistance while maintaining high photoelectric conversion efficiency. There is a strong demand for the development of a composition for forming a shield film that can be formed. In addition, a shield film is applied to a substrate having a metal wiring step in a dye-sensitized solar cell by bar coating, spin coating, slit die method, etc., and subsequent exposure / development through a photomask. There is no known resin composition that can be formed.

特開平1−220380号公報Japanese Patent Laid-Open No. 1-220380 特開2003−203681号公報JP 2003-203681 A 特開2005−197176号公報JP 2005-197176 A

ミカエル・グレッツェル(M.Graetzel)らによるネイチャー(Nature)誌(英国)、1991年、第353号、p.737Nature (UK), 1991, No. 353, M. Graetzel et al., P. 737

本発明は、上記のような事情に基づいてなされたものであり、基材上に金属配線層が形成された色素増感型太陽電池用電極において、金属配線の段差を有する基板上に正確に塗布することが可能であり、高い光電変換効率を維持しつつ、電解液による腐食に対して優れた耐食性を有するシールド膜を形成することができる感放射線性を有する樹脂組成物を提供することである。さらに、塗布工程及び加熱工程という比較的簡易な工程のみで、低コストにシールド膜を形成可能な樹脂組成物、及びこの耐食性を有するシールド膜を備えた光電変換効率に優れる色素増感型太陽電池用電極を提供することである。   The present invention has been made based on the above circumstances, and in a dye-sensitized solar cell electrode in which a metal wiring layer is formed on a base material, the present invention is precisely applied to a substrate having a metal wiring step. By providing a resin composition having a radiation sensitivity that can be applied and can form a shield film having excellent corrosion resistance against corrosion by an electrolyte while maintaining high photoelectric conversion efficiency. is there. Furthermore, a resin composition capable of forming a shield film at a low cost by only a relatively simple process such as a coating process and a heating process, and a dye-sensitized solar cell having a photoelectric conversion efficiency provided with the shield film having this corrosion resistance It is to provide a working electrode.

上記課題を解決するためになされた本発明は、
樹脂組成物の硬化物からなるシールド膜を備える色素増感型太陽電池用電極であって、
上記樹脂組成物が、[A]カルボキシル基、エポキシ基及び(メタ)アクリロイル基からなる群より選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する共重合体、及び[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物を含有することを特徴とする色素増感型太陽電池用電極である。
The present invention made to solve the above problems
A dye-sensitized solar cell electrode comprising a shield film made of a cured product of a resin composition,
[A] a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of [A] carboxyl group, epoxy group and (meth) acryloyl group, and [B] ethylenically unsaturated disilane. A dye-sensitized solar cell electrode comprising a polymerizable compound having a heavy bond.

上記樹脂組成物の硬化物からなるシールド膜の形成は、塗布工程及び加熱工程という比較的簡易な工程のみで、低コストにシールド膜を形成可能であり、シールド膜は電解質溶液からの耐食性に優れ、このシールド膜を用いた色素増感型太陽電池用電極は、光電変換効率に優れる。   The shield film made of the cured product of the resin composition can be formed at a low cost by a relatively simple process such as a coating process and a heating process, and the shield film has excellent corrosion resistance from the electrolyte solution. The dye-sensitized solar cell electrode using this shield film is excellent in photoelectric conversion efficiency.

上記樹脂組成物は、[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物をさらに含有することが好ましく、この[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物としては、単官能(メタ)アクリレート、2官能(メタ)アクリレート及び3官能以上の(メタ)アクリレートからなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましい。さらに、上記樹脂組成物は、[C]感放射線性重合開始剤を含有することが好ましく、この、[C]感放射線性重合開始剤としては、O−アシルオキシム化合物及び/又はアセトフェノン化合物であることが好ましい。これらの化合物を用いることによって、膜の欠損がなく、金属配線の耐食性に優れるシールド膜が得られる。   The resin composition preferably further contains [B] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond, and the [B] polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond may be monofunctional. It is preferably at least one selected from the group consisting of (meth) acrylates, bifunctional (meth) acrylates, and trifunctional or higher functional (meth) acrylates. Furthermore, the resin composition preferably contains [C] a radiation-sensitive polymerization initiator, and the [C] radiation-sensitive polymerization initiator is an O-acyl oxime compound and / or an acetophenone compound. It is preferable. By using these compounds, it is possible to obtain a shield film having no film defects and excellent corrosion resistance of the metal wiring.

また、本発明に係る樹脂組成物は、
[A]カルボキシル基、エポキシ基及び(メタ)アクリロイル基からなる群より選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する共重合体を含む色素増感型太陽電池用電極のシールド膜形成用樹脂組成物である。当該樹脂組成物は、色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成材料として好適に用いることができる。
In addition, the resin composition according to the present invention is
[A] Resin for forming a shield film of an electrode for a dye-sensitized solar cell containing a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group It is a composition. The said resin composition can be used suitably as a forming material of the shield film of the electrode for dye-sensitized solar cells.

当該樹脂組成物は、
[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物、及び
[C]感放射線性重合開始剤
をさらに含有するとよい。当該樹脂組成物は、高い感放射線性を有するため色素増感型太陽電池用電極のシールド膜形成のために用いる場合、金属配線の段差を有する基板上で、金属配線が存在する部分にのみ均一な厚みのシールド膜を形成することが可能である。従って、当該樹脂組成物を用いて形成したシールド膜は、金属配線を電解液による腐食から効果的に保護し、また、このシールド膜を用いた色素増感型太陽電池用電極は、高い光電変換効率を維持することができる。
The resin composition is
[B] A polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond, and [C] a radiation-sensitive polymerization initiator may be further contained. Since the resin composition has high radiation sensitivity, when used for forming a shield film for an electrode for a dye-sensitized solar cell, the resin composition is uniform only on a portion where the metal wiring exists on a substrate having a step of the metal wiring. It is possible to form a shield film with a sufficient thickness. Therefore, the shield film formed using the resin composition effectively protects the metal wiring from corrosion by the electrolyte, and the dye-sensitized solar cell electrode using the shield film has high photoelectric conversion. Efficiency can be maintained.

[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物としては、単官能(メタ)アクリレート、2官能(メタ)アクリレート及び3官能以上の(メタ)アクリレートからなる群より選択される少なくとも1種であることが好ましい。また、[C]感放射線性重合開始剤としては、O−アシルオキシム化合物及び/又はアセトフェノン化合物であることが好ましい。これらの化合物を用いることによって、露光時の重合反応性が高められ、正確な形状及び優れた耐食性を有するシールド膜が得られる。   [B] The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond is at least one selected from the group consisting of monofunctional (meth) acrylates, bifunctional (meth) acrylates, and trifunctional or higher functional (meth) acrylates. It is preferable that [C] The radiation-sensitive polymerization initiator is preferably an O-acyloxime compound and / or an acetophenone compound. By using these compounds, the polymerization reactivity at the time of exposure is enhanced, and a shield film having an accurate shape and excellent corrosion resistance can be obtained.

従って、当該樹脂組成物を用いて形成されたシールド膜及びこのシールド膜を有する色素増感型太陽電池(光電変換素子)は、感放射線性を利用した露光・現像によって、金属配線が存在する部分にのみシールド膜が正確に形成されるため、高い光電変換効率を有している。   Therefore, the shield film formed using the resin composition and the dye-sensitized solar cell (photoelectric conversion element) having the shield film are portions where metal wiring exists by exposure / development using radiation sensitivity. Since the shield film is accurately formed only on the substrate, it has high photoelectric conversion efficiency.

本発明の色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成方法は、
(1)導電性基板及びこの導電性基板の表面側の金属配線層を備えた積層体に、少なくとも金属配線層の全体が覆われるように、硬化性樹脂組成物の塗膜を形成する工程、及び
(2)工程(1)で形成された塗膜を加熱する工程
を有している。当該形成方法は、塗布工程及び加熱工程の比較的簡易な工程のみを必要とし、低コストにシールド膜を形成することができる。
The method for forming the shield film of the dye-sensitized solar cell electrode of the present invention is as follows:
(1) A step of forming a coating film of a curable resin composition so that at least the entire metal wiring layer is covered on the laminate including the conductive substrate and the metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate; And (2) a step of heating the coating film formed in step (1). The formation method requires only a relatively simple process of applying and heating, and can form a shield film at low cost.

その他の本発明の色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成方法としては、
(1’)導電性基板及びこの導電性基板の表面側の金属配線層を備えた積層体に、少なくとも金属配線層の全体が覆われるように、請求項7から請求項9のいずれか1項に記載の樹脂組成物の塗膜を形成する工程、
(3)工程(1’)で形成した塗膜の金属配線層上に積層されている部分のみに放射線を照射する工程、
(4)工程(3)で放射線を照射された塗膜を現像する工程、及び
(2’)工程(4)で現像された塗膜を加熱する工程
を有している。なお、ここで導電性基板の「表面」とは、この導電性基板を含んで構成される色素増感型太陽電池における対向電極の側の面を意味する。感放射線性を有する当該樹脂組成物を用いた色素増感型太陽電池用電極のシールド膜を形成する方法は、感放射線性を利用した露光・現像によってパターンを形成するため、金属配線が存在する部分にのみ均一な厚みのパターンを容易に形成することが可能である。従って、当該方法によれば電解液による腐食に対する十分な耐性を有するシールド膜を形成することができる。
As another method for forming the shield film of the electrode for the dye-sensitized solar cell of the present invention,
(1 ′) Any one of claims 7 to 9, wherein at least the entire metal wiring layer is covered with the laminate including the conductive substrate and the metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate. A step of forming a coating film of the resin composition described in 1.
(3) A step of irradiating only the part laminated on the metal wiring layer of the coating film formed in step (1 ′),
(4) a step of developing the coating film irradiated with radiation in step (3); and (2 ′) a step of heating the coating film developed in step (4). Here, the “surface” of the conductive substrate means a surface on the counter electrode side in the dye-sensitized solar cell including the conductive substrate. In the method of forming a shield film for a dye-sensitized solar cell electrode using the resin composition having radiation sensitivity, a metal wiring exists because a pattern is formed by exposure and development using radiation sensitivity. It is possible to easily form a pattern having a uniform thickness only on the portion. Therefore, according to the method, it is possible to form a shield film having sufficient resistance against corrosion by the electrolytic solution.

以上説明したように、感放射線性を有する当該樹脂組成物は、感放射線性を利用した露光・現像によってパターンを形成するため、色素増感型太陽電池用電極における金属配線の段差を有する基板上で、金属配線が存在する部分にのみに均一な厚みのシールド膜を形成することが可能である。また、感放射線性を有する当該樹脂組成物は、上述のように金属配線の箇所にのみ正確にシールド膜を形成することができるため、十分な耐食性を有するシールド膜が得られる。従って、感放射線性を有する当該樹脂組成物は色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成材料として好適に用いることができる。さらに本発明の感放射線性を有しない樹脂組成物は、塗布工程及び加熱工程という比較的簡易な工程のみで低コストにシールド膜を形成可能な樹脂組成物、及びこの耐食性を有するシールド膜を備えた光電変換効率に優れる色素増感型太陽電池用電極を提供することができる。   As described above, since the resin composition having radiation sensitivity forms a pattern by exposure / development using radiation sensitivity, the resin composition on the substrate having a metal wiring step in the dye-sensitized solar cell electrode is used. Thus, it is possible to form a shield film having a uniform thickness only in the portion where the metal wiring exists. Moreover, since the said resin composition which has radiation sensitivity can form a shield film correctly only in the location of metal wiring as mentioned above, the shield film which has sufficient corrosion resistance is obtained. Therefore, the resin composition having radiation sensitivity can be suitably used as a material for forming a shield film of a dye-sensitized solar cell electrode. Furthermore, the resin composition having no radiation sensitivity of the present invention includes a resin composition capable of forming a shield film at a low cost only by a relatively simple process such as a coating process and a heating process, and a shield film having this corrosion resistance. In addition, it is possible to provide a dye-sensitized solar cell electrode having excellent photoelectric conversion efficiency.

図1は、本発明のシールド膜を備えた色素増感太陽電池の電極基板を製造する方法(実施例)の各行程を示す模式的断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing each step of a method (Example) for producing an electrode substrate of a dye-sensitized solar cell provided with a shield film of the present invention. 図2は、図1の電極基板を用いて色素増感太陽電池を製造する方法(実施例)の各工程を示す模式的断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing each step of a method (Example) for producing a dye-sensitized solar cell using the electrode substrate of FIG.

色素増感型太陽電池
本発明の色素増感型太陽電池は導電性基板、この導電性基板上に積層される作用電極、この作用電極上に配設される対向電極及びこれらの電極間に配設される電荷移動層を主に備えている。この作用電極は、周囲(下面を除く)にシールド膜を有する金属配線層と、この金属配線層間に配設される多孔質酸化物半導体層とを備えている。
Dye-sensitized solar cell The dye-sensitized solar cell of the present invention includes a conductive substrate, a working electrode laminated on the conductive substrate, a counter electrode disposed on the working electrode, and an electrode disposed between the electrodes. The charge transfer layer is mainly provided. This working electrode includes a metal wiring layer having a shield film around (except the lower surface) and a porous oxide semiconductor layer disposed between the metal wiring layers.

導電性基板としては、実質的に透明である材質が用いられる。導電性基材の光の透過率は50%以上であることが好ましく、80%以上であることが特に好ましい。導電性基板としてはそれ自体が導電性を有する基材、又は表面に透明導電膜を有する基材を用いることができる。表面に透明導電膜を有する基材としては、ガラス板、酸化チタンやアルミナ等のセラミックスの研磨板、プラスチックシートを使用することができる。プラスチックシートに用いられるプラスチックの例としては、トリアセチルセルロース、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、シンジオタクチックポリスチレン、ポリカーボネート,ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリスルフォン、ポリエーテルスルホン、環状ポリオレフィン、フェノキシ樹脂、ブロム化フェノキシ樹脂等を挙げることができる。   As the conductive substrate, a material that is substantially transparent is used. The light transmittance of the conductive substrate is preferably 50% or more, and particularly preferably 80% or more. As the conductive substrate, a base material having conductivity by itself or a base material having a transparent conductive film on the surface can be used. As a substrate having a transparent conductive film on the surface, a glass plate, a ceramic polishing plate such as titanium oxide or alumina, or a plastic sheet can be used. Examples of plastics used in plastic sheets include triacetyl cellulose, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyphenylene sulfide, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, polyarylate, polyetherimide, polysulfone, polyethersulfone, cyclic polyolefin, phenoxy Examples thereof include resins and brominated phenoxy resins.

透明導電膜を構成する導電性材料としては、公知の金属や金属酸化物等からなる無機系導電性材料、ポリマー系導電性材料等を使用することができる。これらの導電性材料の中でも、入手容易性及び導電性などの観点から、無機系導電性材料が好ましく用いられている。無機系導電性材料の例としては、白金、金、銀、銅、亜鉛、チタン、アルミニウム、ロジウム、インジウム等の金属;導電性カーボン、スズ添加酸化インジウム(ITO)、酸化スズ(SnO)、フッ素添加酸化スズ(FTO)、アンチモン添加酸化スズ(ATO)、酸化亜鉛(ZnO)等の金属酸化物を挙げることができる。最も一般的な無機系導電性材料は、スズ添加酸化インジウム(ITO)及びフッ素添加酸化スズ(FTO)である。透明導電膜の膜厚は、0.01〜10μm程度が好ましく、0.05〜5μm程度がさらに好ましい。 As the conductive material constituting the transparent conductive film, an inorganic conductive material made of a known metal or metal oxide, a polymer conductive material, or the like can be used. Among these conductive materials, inorganic conductive materials are preferably used from the viewpoints of availability and conductivity. Examples of inorganic conductive materials include metals such as platinum, gold, silver, copper, zinc, titanium, aluminum, rhodium, and indium; conductive carbon, tin-doped indium oxide (ITO), tin oxide (SnO 2 ), Examples thereof include metal oxides such as fluorine-added tin oxide (FTO), antimony-added tin oxide (ATO), and zinc oxide (ZnO 2 ). The most common inorganic conductive materials are tin-doped indium oxide (ITO) and fluorine-doped tin oxide (FTO). The thickness of the transparent conductive film is preferably about 0.01 to 10 μm, and more preferably about 0.05 to 5 μm.

金属配線層は、導電性基板の集電効率を向上し、さらに導電性を上げるために導電性基板上に配置される。この金属配線層は、上記のように形成されたシールド膜を有する。金属配線層の材質としては、金、銀、銅、白金、アルミニウム、ニッケル、インジウム、チタン、タングステンなどが挙げられる。金属配線層の形状は、特に限定されないが、格子状、縞状、櫛状等のパターンが採用され、光が導電性基板を均一に透過するように配設することが好ましい。格子状のパターンを有する金属配線層が、最も一般的に用いられる。   The metal wiring layer is disposed on the conductive substrate in order to improve the current collection efficiency of the conductive substrate and further increase the conductivity. This metal wiring layer has a shield film formed as described above. Examples of the material for the metal wiring layer include gold, silver, copper, platinum, aluminum, nickel, indium, titanium, and tungsten. The shape of the metal wiring layer is not particularly limited, but a pattern such as a lattice shape, a stripe shape, or a comb shape is adopted, and it is preferable that the metal wiring layer is disposed so that light is uniformly transmitted through the conductive substrate. A metal wiring layer having a lattice pattern is most commonly used.

多孔質酸化物半導体膜は、酸化チタン、酸化スズ、酸化タングステン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化ニオブなどの半導性を示す金属酸化物微粒子の集合体により構成されている。多孔質酸化物半導体膜は、内部に無数の微細な空孔を有し、表面に微細な凹凸を有する多孔質体であって、その厚みは5〜50μmである。この多孔質酸化物半導体は、典型的には、導電性基板上の金属配線層が配設されていない箇所に設置される。   The porous oxide semiconductor film is composed of an aggregate of metal oxide fine particles having semiconductivity such as titanium oxide, tin oxide, tungsten oxide, zinc oxide, zirconium oxide, niobium oxide and the like. The porous oxide semiconductor film is a porous body having countless fine pores inside and fine irregularities on the surface, and the thickness thereof is 5 to 50 μm. This porous oxide semiconductor is typically installed at a location where a metal wiring layer is not provided on a conductive substrate.

酸化物半導体多孔質膜は、例えば、平均粒径が5〜50nmである上記の金属酸化物の微粒子を分散したコロイド液や分散液(溶媒として水及び/又は有機溶媒を使用)等を、導電性基板上に、スクリーンプリント、インクジェットプリント、ロールコート、ドクターコート、スプレーコートなどの公知の塗布手段により塗布し、300〜800℃で焼結する方法によって形成することができる。この酸化物半導体多孔質膜には、光増感色素が坦持されている。   The oxide semiconductor porous film is made of, for example, a conductive colloid liquid or dispersion liquid (using water and / or an organic solvent as a solvent) in which the metal oxide fine particles having an average particle diameter of 5 to 50 nm are dispersed. It can form by the method of apply | coating on well-known board | substrates by well-known application | coating means, such as a screen print, an inkjet print, a roll coat, a doctor coat, a spray coat, and sintering at 300-800 degreeC. This oxide semiconductor porous film carries a photosensitizing dye.

光増感色素としては、可視光領域及び/または赤外光領域に吸収を有し、半導体の伝導帯より高い最低空準位を有するものが好ましい。光増感色素の例としては、アゾ系色素、キノン系色素、キノンイミン系色素、キナクリドン系色素、スクアリリウム系色素、シアニン系色素、シアニジン系色素、メロシアニン系色素、トリフェニルメタン系色素、キサンテン系色素、ポルフィリン系色素、ペリレン系色素、インジゴ系色素、フタロシアニン系色素、ナフタロシアニン系色素、ローダミン系色素等が挙げられる。また、光増感色素としては、金属錯体色素も好ましく使用される。金属錯体色素を構成する金属の例としては、Cu、Ni、Fe、Co、V、Sn、Si、Ti、Ge、Cr、Zn、Ru、Mg、Al、Pb、Mn、In、Mo、Y、Zr、Nb、Sb、La、W、Pt、Ta、Ir、Pd、Os、Ga、Tb、Eu、Rb、Bi、Se、As、Sc、Ag、Cd、Hf、Re、Au、Ac、Tc、Te、Rh等の種々の金属を挙げることができる。好ましい金属錯体色素の例としては、金属フタロシアニン色素、金属ポルフィリン色素またはルテニウム錯体色素が好ましく、ルテニウム錯体色素が特に好ましい。   As the photosensitizing dye, those having absorption in the visible light region and / or the infrared light region and having a lowest vacancy level higher than the conduction band of the semiconductor are preferable. Examples of photosensitizing dyes include azo dyes, quinone dyes, quinone imine dyes, quinacridone dyes, squarylium dyes, cyanine dyes, cyanidin dyes, merocyanine dyes, triphenylmethane dyes, xanthene dyes. Porphyrin dyes, perylene dyes, indigo dyes, phthalocyanine dyes, naphthalocyanine dyes, rhodamine dyes, and the like. As the photosensitizing dye, a metal complex dye is also preferably used. Examples of metals composing the metal complex dye include Cu, Ni, Fe, Co, V, Sn, Si, Ti, Ge, Cr, Zn, Ru, Mg, Al, Pb, Mn, In, Mo, Y, Zr, Nb, Sb, La, W, Pt, Ta, Ir, Pd, Os, Ga, Tb, Eu, Rb, Bi, Se, As, Sc, Ag, Cd, Hf, Re, Au, Ac, Tc, Various metals such as Te and Rh can be mentioned. As an example of a preferable metal complex dye, a metal phthalocyanine dye, a metal porphyrin dye or a ruthenium complex dye is preferable, and a ruthenium complex dye is particularly preferable.

対向電極としては、上記の導電性基板と同様に、それ自体が導電性を有する基材の単層構造、又はその表面に対極導電膜を有する基材を用いることができる。後者の場合、導電性材料及び基材としては、上記の導電性基板の場合と同様のものを用いることができる。対向電極としては、I イオン等の酸化反応やその他のレドックスイオンの還元反応を十分な速さで行わせる触媒能を持ったものを使用することが好ましい。対向電極の例としては、白金電極、導電性材料表面に白金メッキや白金蒸着を施したもの、ロジウム金属、ルテニウム金属、酸化ルテニウム、カーボン等を挙げることができる。 As the counter electrode, similarly to the above-described conductive substrate, a single-layer structure of a base material having conductivity itself, or a base material having a counter electrode conductive film on the surface thereof can be used. In the latter case, as the conductive material and the base material, the same materials as in the case of the conductive substrate can be used. The counter electrode, I 3 - it is preferable to use a reduction reaction of the oxidation reaction and other redox ions such as ions that have a catalytic ability to perform fast enough. Examples of the counter electrode include a platinum electrode, a conductive material surface subjected to platinum plating or platinum deposition, rhodium metal, ruthenium metal, ruthenium oxide, carbon, and the like.

電荷移動層は、光増感色素の酸化体に電子を補充する機能を有する電荷輸送材料を含有する層である。電荷移動層を構成する電荷輸送材料の例としては、酸化還元対イオンが溶解した溶剤や酸化還元対イオンを含有する常温溶融塩等の電解液、酸化還元対イオンの溶液をポリマーマトリックスや低分子ゲル化剤等に含浸させたゲル状の擬固体化電解質等が挙げられる。   The charge transfer layer is a layer containing a charge transport material having a function of replenishing electrons to the oxidant of the photosensitizing dye. Examples of the charge transport material constituting the charge transfer layer include a solvent in which a redox counter ion is dissolved, an electrolytic solution such as a room temperature molten salt containing the redox counter ion, and a solution of the redox counter ion in a polymer matrix or a low molecular weight Examples thereof include a gel-like quasi-solidified electrolyte impregnated with a gelling agent or the like.

酸化還元対イオンの例としては、I/I 系、Br/Br 系等の酸化還元対イオンを含有させたもの、フェロシアン酸塩/フェリシアン酸塩、フェロセン/フェリシニウムイオン、コバルト錯体等の金属錯体等の金属酸化還元系;アルキルチオール−アルキルジスルフィド、ビオロゲン色素、ハイドロキノン/キノン等の有機酸化還元系;ポリ硫化ナトリウム、アルキルチオール/アルキルジスルフィド等のイオウ化合物等を挙げることができる。溶剤の例としては、ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート化合物;3−メチル−2−オキサゾリジノン等の複素環化合物;ジオキサン、ジエチルエーテル等のエーテル化合物;エチレングリコールジアルキルエーテル、プロピレングリコールジアルキルエーテル、ポリエチレングリコールジアルキルエーテル、ポリプロピレングリコールジアルキルエーテル等の鎖状エーテル類;メタノール、エタノール、エチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリプロピレングリコールモノアルキルエーテル等のアルコール類;テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、スルフォラン等の非プロトン極性物質などを挙げることができる。また溶融塩電解質の例としては、ピリジニウム塩、イミダゾリウム塩、トリアゾリウム塩等のヨウ素塩を含む電解質を挙げることができる。 Examples of the redox counter ion include those containing a redox counter ion such as I / I 3 system, Br / Br 3 system, ferrocyanate / ferricyanate, ferrocene / ferricinium. Metal redox systems such as metal complexes such as aluminum ions and cobalt complexes; organic redox systems such as alkylthiol-alkyl disulfides, viologen dyes, hydroquinones / quinones; sulfur compounds such as sodium polysulfide and alkylthiols / alkyl disulfides be able to. Examples of the solvent include carbonate compounds such as dimethyl carbonate, diethyl carbonate, ethylene carbonate, and propylene carbonate; heterocyclic compounds such as 3-methyl-2-oxazolidinone; ether compounds such as dioxane and diethyl ether; ethylene glycol dialkyl ether, propylene Chain ethers such as glycol dialkyl ether, polyethylene glycol dialkyl ether, and polypropylene glycol dialkyl ether; alcohols such as methanol, ethanol, ethylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polypropylene glycol monoalkyl ether Tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, , And the like aprotic polar substances such as Ruforan. Examples of the molten salt electrolyte include electrolytes containing iodine salts such as pyridinium salts, imidazolium salts, and triazolium salts.

電荷移動層を作用電極と対向電極との間に形成する方法としては、例えば作用電極と対向電極とを対向配置してから両電極間に電解液を充填して電荷移動層とする方法、半導体電極又は対向電極の上に電解液を滴下あるいは塗布することにより電荷移動層を形成し、次いで電荷移動層の上に他方の電極を重ね合わせる方法等を用いることができる。   As a method for forming the charge transfer layer between the working electrode and the counter electrode, for example, a method in which the working electrode and the counter electrode are arranged to face each other and then an electrolyte is filled between the electrodes to form the charge transfer layer, a semiconductor A method of forming a charge transfer layer by dropping or applying an electrolytic solution on the electrode or the counter electrode, and then superimposing the other electrode on the charge transfer layer can be used.

このような色素増感型太陽電池(光電変換素子)は、本発明の樹脂組成物を用いた露光・現像によって、基板上の金属配線が存在する部分にのみシールド膜が正確に形成されるため、高い光電変換効率を有する。   In such a dye-sensitized solar cell (photoelectric conversion element), a shield film is accurately formed only in a portion where a metal wiring exists on the substrate by exposure and development using the resin composition of the present invention. High photoelectric conversion efficiency.

樹脂組成物
本発明による色素増感型太陽電池用電極のシールド膜形成用樹脂組成物は、[A]カルボキシル基、エポキシ基及び(メタ)アクリロイル基からなる群より選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する共重合体(以下、「[A]共重合体」と称することがある。)を含む。また、[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物(以下、「[B]重合性化合物」と称することがある。)、[C]感放射線性重合開始剤をさらに含有するとよく、必要に応じて、その他の任意成分を含有する。以下、各成分について説明する。
Resin Composition The resin composition for forming a shield film of an electrode for a dye-sensitized solar cell according to the present invention has at least one reaction selected from the group consisting of [A] carboxyl group, epoxy group and (meth) acryloyl group. A copolymer having a functional group (hereinafter sometimes referred to as “[A] copolymer”). Further, [B] a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond (hereinafter sometimes referred to as “[B] polymerizable compound”) and [C] a radiation-sensitive polymerization initiator may be further contained. If necessary, it contains other optional components. Hereinafter, each component will be described.

[A]共重合体
[A]共重合体は、カルボキシル基、エポキシ基及び(メタ)アクリロイル基からなる群より選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する。[A]共重合体が、これらの反応性官能基を有することにより、膜の欠損がなく、金属配線の耐食性に優れたシールド膜を形成できる。また、本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合、露光し硬化反応させる際の[A]共重合体間の重合反応性や、[A]共重合体と[B]重合性化合物との間の重合反応性が高められ、結果的に所望の形状を有するシールド膜を容易に形成することができる。
[A] Copolymer [A] The copolymer has at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group, and a (meth) acryloyl group. [A] Since the copolymer has these reactive functional groups, it is possible to form a shield film having no film defect and excellent corrosion resistance of the metal wiring. In addition, when the resin composition of the present invention is radiation sensitive, the polymerization reactivity between the [A] copolymer during exposure and curing reaction, the [A] copolymer and the [B] polymerizable compound, and As a result, a shield film having a desired shape can be easily formed.

カルボキシル基又はエポキシ基などの反応性官能基を有する共重合体は、これらの反応性官能基を有するラジカル重合性モノマーとその他のラジカル重合性モノマーとを共重合することによって合成することができる。(メタ)アクリロイル基を有する共重合体は、水酸基を有するラジカル重合性モノマーとその他のラジカル重合性モノマーとを共重合した後、(メタ)アクリロイル基を有するイソシアネート化合物を反応させることによって合成することができる。[A]共重合体は、カルボキシル基、エポキシ基、(メタ)アクリロイル基等の反応性官能基を有するラジカル重合性モノマーから誘導される構成単位をこれらのラジカル重合性モノマー及びその他のラジカル重合性モノマーから誘導される構成単位の合計に基づいて、好ましくは10〜90質量%、特に好ましくは20〜80質量%含有している。[A]共重合体において、反応性官能基を有するラジカル重合性モノマーから誘導される構成単位を10〜90質量%とすることによって、本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合、露光する際の硬化反応性を高めることができる。   A copolymer having a reactive functional group such as a carboxyl group or an epoxy group can be synthesized by copolymerizing a radical polymerizable monomer having such a reactive functional group and another radical polymerizable monomer. A copolymer having a (meth) acryloyl group is synthesized by reacting an isocyanate compound having a (meth) acryloyl group after copolymerizing a radical polymerizable monomer having a hydroxyl group with another radical polymerizable monomer. Can do. [A] The copolymer is composed of a structural unit derived from a radical polymerizable monomer having a reactive functional group such as a carboxyl group, an epoxy group, or a (meth) acryloyl group, and these radical polymerizable monomers and other radical polymerizable monomers. The content is preferably 10 to 90% by mass, particularly preferably 20 to 80% by mass, based on the total of structural units derived from the monomers. [A] In the copolymer, when the resin composition of the present invention is radiation sensitive by exposing 10 to 90% by mass of a structural unit derived from a radical polymerizable monomer having a reactive functional group, exposure is performed. It is possible to increase the curing reactivity during the process.

カルボキシル基を有するラジカル重合性モノマーの例としては、
アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、2−アクリロイルオキシエチルコハク酸、2−メタクリロイルオキシエチルコハク酸、2−アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−メタクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸等のモノカルボン酸;
マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸;
前記ジカルボン酸の酸無水物などを挙げることができる。
As an example of a radical polymerizable monomer having a carboxyl group,
Monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, 2-acryloyloxyethyl succinic acid, 2-methacryloyloxyethyl succinic acid, 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid, 2-methacryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid;
Dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, itaconic acid;
The acid anhydride of the said dicarboxylic acid etc. can be mentioned.

エポキシ基を有するラジカル重合性モノマーの例としては、
4−メタクリロイルオキシメチル−2−シクロヘキシル−1,3−ジオキソランアクリル酸グリシジル、アクリル酸−2−メチルグリシジル、アクリル酸−3,4−エポキシブチル、アクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、アクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシル、アクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル等のアクリル酸エポキシアルキルエステル;
メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸−2−メチルグリシジル、メタクリル酸−3,4−エポキシブチル、メタクリル酸−6,7−エポキシヘプチル、メタクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシル、メタクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル等のメタクリル酸エポキシアルキルエステル;
α−エチルアクリル酸グリシジル、α−n−プロピルアクリル酸グリシジル、α−n−ブチルアクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸−6,7−エポキシヘプチル等のα−アルキルアクリル酸エポキシアルキルエステル;
o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等のグリシジルエーテル;
As an example of a radical polymerizable monomer having an epoxy group,
4-methacryloyloxymethyl-2-cyclohexyl-1,3-dioxolane glycidyl acrylate, 2-methylglycidyl acrylate, 3,4-epoxybutyl acrylate, -6,7-epoxyheptyl acrylate, acrylic acid Acrylic acid epoxy alkyl esters such as 3,4-epoxycyclohexyl and acrylic acid-3,4-epoxycyclohexylmethyl;
Glycidyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, 3,4-epoxybutyl methacrylate, methacrylic acid-6,7-epoxyheptyl, methacrylic acid-3,4-epoxycyclohexyl, methacrylic acid-3,4-epoxy Methacrylic acid epoxy alkyl esters such as cyclohexylmethyl;
α-alkylacrylic acid epoxy alkyl ester such as α-ethyl acrylate glycidyl, α-n-propyl acrylate glycidyl, α-n-butyl acrylate glycidyl, α-ethyl acrylate-6,7-epoxyheptyl;
glycidyl ethers such as o-vinylbenzyl glycidyl ether, m-vinylbenzyl glycidyl ether, p-vinylbenzyl glycidyl ether;

3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、2−エチル−3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−メチル−3−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロイルオキシメチルオキセタン等のオキセタニル基を有するメタクリル酸エステル;
3−(アクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(アクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(アクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、2−エチル−3−(アクリロイルオキシエチル)オキセタン等のオキセタニル基を有するアクリル酸エステルなどを挙げることができる。
3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (methacryloyloxyethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxyethyl) ) Methacrylic acid ester having oxetanyl group such as 3-ethyloxetane, 2-ethyl-3- (methacryloyloxyethyl) oxetane, 3-methyl-3-methacryloyloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-methacryloyloxymethyloxetane ;
3- (acryloyloxymethyl) oxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (acryloyloxymethyl) -2-methyloxetane, 3- (acryloyloxyethyl) oxetane, 3- (acryloyloxyethyl) And acrylate esters having an oxetanyl group such as 3-ethyloxetane and 2-ethyl-3- (acryloyloxyethyl) oxetane.

これらのエポキシ基を有するラジカル重合性モノマーの中でも、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸−2−メチルグリシジル、メタクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシル、メタクリル酸−3,4−エポキシシクロヘキシルメチル、3−メチル−3−メタクリロイルオキシメチルオキセタン、3−エチル−3−メタクリロイルオキシメチルオキセタンが、他のラジカル重合性モノマーとの共重合反応性、及び本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合の現像性の観点から、特に好ましい。   Among these radically polymerizable monomers having an epoxy group, glycidyl methacrylate, 2-methylglycidyl methacrylate, methacrylic acid-3,4-epoxycyclohexyl, methacrylic acid-3,4-epoxycyclohexylmethyl, 3-methyl- 3-methacryloyloxymethyloxetane and 3-ethyl-3-methacryloyloxymethyloxetane are copolymerizable with other radical polymerizable monomers, and developability when the resin composition of the present invention is radiation sensitive. From the viewpoint, it is particularly preferable.

水酸基を有するラジカル重合性モノマーの例としては、
アクリル酸−2−ヒドロキシエチルエステル、アクリル酸−3−ヒドロキシプロピルエステル、アクリル酸−4−ヒドロキシブチルエステル、アクリル酸−4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル等のアクリル酸ヒドロキシアルキルエステル;
メタクリル酸−2−ヒドロキシエチルエステル、メタクリル酸−3−ヒドロキシプロピルエステル、メタクリル酸−4−ヒドロキシブチルエステル、メタクリル酸−5−ヒドロキシペンチルエステル、メタクリル酸−6−ヒドロキシヘキシルエステル、メタクリル酸−4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル等のメタクリル酸ヒドロキシアルキルエステルなどを挙げることができる。
Examples of radical polymerizable monomers having a hydroxyl group include:
Acrylic acid hydroxyalkyl esters such as acrylic acid-2-hydroxyethyl ester, acrylic acid-3-hydroxypropyl ester, acrylic acid-4-hydroxybutyl ester, acrylic acid-4-hydroxymethyl-cyclohexylmethyl ester;
Methacrylic acid-2-hydroxyethyl ester, methacrylic acid-3-hydroxypropyl ester, methacrylic acid-4-hydroxybutyl ester, methacrylic acid-5-hydroxypentyl ester, methacrylic acid-6-hydroxyhexyl ester, methacrylic acid-4- And methacrylic acid hydroxyalkyl esters such as hydroxymethyl-cyclohexylmethyl ester.

これらの水酸基を有するラジカル重合性モノマーのうち、その他のラジカル重合性モノマーとの共重合反応性及び(メタ)アクリロイル基を有するイソシアネート化合物との反応性の観点から、アクリル酸−2−ヒドロキシエチルエステル、アクリル酸−3−ヒドロキシプロピルエステル、アクリル酸−4−ヒドロキシブチルエステル、メタクリル酸−2−ヒドロキシエチルエステル、メタクリル酸−4−ヒドロキシブチルエステル、アクリル酸−4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステル、メタクリル酸−4−ヒドロキシメチル−シクロヘキシルメチルエステルが好ましい。   Among these radical polymerizable monomers having a hydroxyl group, acrylic acid-2-hydroxyethyl ester is used from the viewpoint of copolymerization reactivity with other radical polymerizable monomers and reactivity with an isocyanate compound having a (meth) acryloyl group. Acrylic acid-3-hydroxypropyl ester, acrylic acid-4-hydroxybutyl ester, methacrylic acid-2-hydroxyethyl ester, methacrylic acid-4-hydroxybutyl ester, acrylic acid-4-hydroxymethyl-cyclohexylmethyl ester, methacrylic acid Acid-4-hydroxymethyl-cyclohexylmethyl ester is preferred.

水酸基を有するラジカル重合性モノマー及びその他のラジカル重合性モノマーの共重合体と反応させる(メタ)アクリロイル基を有するイソシアネート化合物の例としては、2−アクリロイルオキシエチルイソシアネート、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート等のアクリル酸誘導体又はメタクリル酸誘導体を挙げることができる。2−アクリロイルオキシエチルイソシアネートの市販品の例としては、カレンズAOI(昭和電工(株)製)、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートの市販品の例としては、カレンズMOI(昭和電工(株)製)を挙げることができる。   Examples of isocyanate compounds having a (meth) acryloyl group that are reacted with a radical polymerizable monomer having a hydroxyl group and a copolymer of another radical polymerizable monomer include 2-acryloyloxyethyl isocyanate, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate, and the like. Mention may be made of acrylic acid derivatives or methacrylic acid derivatives. Examples of commercially available products of 2-acryloyloxyethyl isocyanate include Karenz AOI (manufactured by Showa Denko KK), and examples of commercially available products of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate include Karenz MOI (manufactured by Showa Denko KK). Can be mentioned.

カルボキシル基、エポキシ基、水酸基等の反応性官能基を有するラジカル重合性モノマーと共重合させるその他のラジカル重合性モノマーの例としては、
アクリル酸メチル、アクリル酸i−プロピル等のアクリル酸アルキルエステル;
メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸n−ブチル、メタクリル酸sec−ブチル、メタクリル酸t−ブチル等のメタクリル酸アルキルエステル;
アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、アクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、アクリル酸−2−(トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシ)エチル、アクリル酸イソボルニル等のアクリル酸脂環式エステル;
メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸−2−メチルシクロヘキシル、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、メタクリル酸−2−(トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イルオキシ)エチル、メタクリル酸イソボルニル等のメタクリル酸脂環式エステル;
アクリル酸フェニル、アクリル酸ベンジル等のアクリル酸のアリールエステル及びアクリル酸のアラルキルエステル;
メタクリル酸フェニル、メタクリル酸ベンジル等のメタクリル酸のアリールエステル及びメタクリル酸のアラルキルエステル;
マレイン酸ジエチル、フマル酸ジエチル、イタコン酸ジエチル等のジカルボン酸ジアルキルエステル;
メタクリル酸テトラヒドロフルフリル、メタクリル酸テトラヒドロフリル、メタクリル酸テトラヒドロピラン−2−メチル等の酸素1原子を含む不飽和複素五員環メタクリル酸エステル及び不飽和複素六員環メタクリル酸エステル;
4−メタクリロイルオキシメチル−2−メチル−2−エチル−1,3−ジオキソラン、4−メタクリロイルオキシメチル−2−メチル−2−イソブチル−1,3−ジオキソラン、4−メタクリロイルオキシメチル−2−シクロヘキシル−1,3−ジオキソラン、4−メタクリロイルオキシメチル−2−メチル−2−エチル−1,3−ジオキソラン、4−メタクリロイルオキシメチル−2−メチル−2−イソブチル−1,3−ジオキソラン等の酸素2原子を含む不飽和複素五員環メタクリル酸エステル;
Examples of other radical polymerizable monomers to be copolymerized with a radical polymerizable monomer having a reactive functional group such as a carboxyl group, an epoxy group, a hydroxyl group,
Alkyl acrylates such as methyl acrylate and i-propyl acrylate;
Alkyl methacrylates such as methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate;
Cyclohexyl acrylate, acrylate-2-methylcyclohexyl, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl acrylate, acrylate-2- (tricyclo [5.2.1.0 2, 6 ] Acrylic alicyclic ester such as decan-8-yloxy) ethyl, isobornyl acrylate;
Cyclohexyl methacrylate, 2-methylcyclohexyl methacrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, methacrylic acid-2- (tricyclo [5.2.1.0 2, 6 ] Methacrylic acid alicyclic ester such as decan-8-yloxy) ethyl, isobornyl methacrylate;
Aryl esters of acrylic acid such as phenyl acrylate and benzyl acrylate and aralkyl esters of acrylic acid;
Aryl esters of methacrylic acid such as phenyl methacrylate and benzyl methacrylate and aralkyl esters of methacrylic acid;
Dicarboxylic acid dialkyl esters such as diethyl maleate, diethyl fumarate, diethyl itaconate;
Unsaturated 5-membered ring methacrylates and unsaturated 6-membered ring methacrylates containing 1 atom of oxygen such as tetrahydrofurfuryl methacrylate, tetrahydrofuryl methacrylate, tetrahydropyran-2-methyl methacrylate;
4-methacryloyloxymethyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, 4-methacryloyloxymethyl-2-methyl-2-isobutyl-1,3-dioxolane, 4-methacryloyloxymethyl-2-cyclohexyl- 2 oxygen atoms such as 1,3-dioxolane, 4-methacryloyloxymethyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, 4-methacryloyloxymethyl-2-methyl-2-isobutyl-1,3-dioxolane Unsaturated heterocyclic 5-membered methacrylates containing:

4−アクリロイルオキシメチル−2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラン、4−アクリロイルオキシメチル−2−メチル−2−エチル−1,3−ジオキソラン、4−アクリロイルオキシメチル−2、2−ジエチル−1,3−ジオキソラン、4−アクリロイルオキシメチル−2−メチル−2−イソブチル−1,3−ジオキソラン、4−アクリロイルオキシメチル−2−シクロペンチル−1,3−ジオキソラン、4−アクリロイルオキシメチル−2−シクロヘキシル−1,3−ジオキソラン、4−アクリロイルオキシエチル−2−メチル−2−エチル−1,3−ジオキソラン、4−アクリロイルオキシプロピル−2−メチル
−2−エチル−1,3−ジオキソラン、4−アクリロイルオキシブチル−2−メチル−2−エチル−1,3−ジオキソラン等の酸素二原子を含む不飽和複素五員環アクリル酸エステル;
スチレン、α−メチルスチレン、m−メチルスチレン、p−メチルスチレン、p−メトキシスチレン、4−イソプロペニルフェノール等のビニル芳香族化合物;
N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−スクシンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシンイミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシンイミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(9−アクリジニル)マレイミド等のN位−置換マレイミド;
1,3−ブタジエン、イソプレン、2,3−ジメチル−1,3−ブタジエン等の共役ジエン系化合物;
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アクリルアミド、メタクリルアミド、塩化ビニル、塩化ビニリデン、酢酸ビニル等のその他の不飽和化合物を挙げることができる。
4-acryloyloxymethyl-2,2-dimethyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxymethyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxymethyl-2, 2-diethyl- 1,3-dioxolane, 4-acryloyloxymethyl-2-methyl-2-isobutyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxymethyl-2-cyclopentyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxymethyl-2- Cyclohexyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxyethyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, 4-acryloyloxypropyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, 4- Acryloyloxybutyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxola Unsaturated five-membered heterocyclic acrylic ester containing an oxygen diatomic and the like;
Vinyl aromatic compounds such as styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, p-methoxystyrene, 4-isopropenylphenol;
N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidobenzoate, N-succinimidyl-4-maleimidobutyrate, N-succinimidyl-6-maleimidocaproate, N-succinimidyl-3 -N-substituted maleimides such as maleimide propionate, N- (9-acridinyl) maleimide;
Conjugated diene compounds such as 1,3-butadiene, isoprene and 2,3-dimethyl-1,3-butadiene;
Other unsaturated compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile, acrylamide, methacrylamide, vinyl chloride, vinylidene chloride and vinyl acetate can be mentioned.

これらのその他のラジカル重合性モノマーのうち、スチレン、4−イソプロペニルフェノール、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル、メタクリル酸テトラヒドロフルフリル、1,3−ブタジエン、4−アクリロイルオキシメチル−2−メチル−2−エチル−1,3−ジオキソラン、N−シクロヘキシルマレイミド、N−フェニルマレイミド、メタクリル酸ベンジル等が、上記の反応官能基を有するラジカル重合性モノマーとの共重合反応性、及び本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合の現像性の点で好ましい。 Among these other radical polymerizable monomers, styrene, 4-isopropenylphenol, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decan-8-yl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, 1,3- Butadiene, 4-acryloyloxymethyl-2-methyl-2-ethyl-1,3-dioxolane, N-cyclohexylmaleimide, N-phenylmaleimide, benzyl methacrylate and the like are radical polymerizable monomers having the above reactive functional groups and In view of the copolymerization reactivity and developability when the resin composition of the present invention is radiation-sensitive.

[A]共重合体の共重合体のGPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー)によるポリスチレン換算数平均分子量(以下、「Mn」という。)は、好ましくは2×10〜1×10、より好ましくは5×10〜5×10である。共重合体のMnを2×10〜1×10とすることによって、本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合、露光する際の硬化反応性を向上させることができる。 [A] The polystyrene-equivalent number average molecular weight (hereinafter referred to as “Mn”) by GPC (gel permeation chromatography) of the copolymer is preferably 2 × 10 3 to 1 × 10 5 , more preferably. Is 5 × 10 3 to 5 × 10 4 . By setting the Mn of the copolymer to 2 × 10 3 to 1 × 10 5 , when the resin composition of the present invention is radiation sensitive, the curing reactivity during exposure can be improved.

また、[A]共重合体の分子量分布「Mw/Mn」(ここで「Mw」は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定した共重合体のポリスチレン換算重量平均分子量である。)は、好ましくは5.0以下、より好ましくは3.0以下である。共重合体のMw/Mnを5.0以下とすることにより、本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合、現像する際に所望の形状のシールド膜をより正確に形成することが可能となる。   [A] The molecular weight distribution “Mw / Mn” of the copolymer (where “Mw” is the polystyrene-equivalent weight average molecular weight of the copolymer measured by gel permeation chromatography) is preferably 5. 0.0 or less, more preferably 3.0 or less. When the Mw / Mn of the copolymer is 5.0 or less, when the resin composition of the present invention is radiation sensitive, it is possible to form a shield film having a desired shape more accurately during development. It becomes.

[A]共重合体の共重合体を製造するための重合反応に用いられる溶媒としては、例えばアルコール類、エーテル類、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネート、芳香族炭化水素類、ケトン類、他のエステル類などを挙げることができる。   [A] As a solvent used in the polymerization reaction for producing the copolymer, for example, alcohols, ethers, glycol ether, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol alkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, Examples thereof include propylene glycol monoalkyl ether acetate, propylene glycol monoalkyl ether propionate, aromatic hydrocarbons, ketones, and other esters.

これらの溶媒としては、
アルコール類として、例えばメタノール、エタノール、ベンジルアルコール、2−フェニルエチルアルコール、3−フェニル−1−プロパノールなど;
エーテル類として、例えばテトラヒドロフランなど;
グリコールエーテルとして、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルなど;
エチレングリコールアルキルエーテルアセテートとして、例えばメチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなど;
ジエチレングリコールアルキルエーテルとして、例えばジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルなど;
プロピレングリコールモノアルキルエーテルとして、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルなど;
These solvents include
Examples of alcohols include methanol, ethanol, benzyl alcohol, 2-phenylethyl alcohol, and 3-phenyl-1-propanol;
Ethers such as tetrahydrofuran;
Examples of glycol ethers include ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether;
Examples of ethylene glycol alkyl ether acetate include methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, and ethylene glycol monoethyl ether acetate;
Examples of the diethylene glycol alkyl ether include diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether and the like;
Examples of propylene glycol monoalkyl ethers include propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether;

プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートとして、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテートなど;
プロピレングリコールモノアルキルエーテルプロピオネートとして、例えばプロピレンモノグリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノブチルエーテルプロピオネートなど;
芳香族炭化水素類として、例えばトルエン、キシレンなど;
ケトン類として、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなど;
As propylene glycol monoalkyl ether acetate, for example, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether acetate and the like;
As propylene glycol monoalkyl ether propionate, for example, propylene monoglycol methyl ether propionate, propylene glycol monoethyl ether propionate, propylene glycol monopropyl ether propionate, propylene glycol monobutyl ether propionate, etc .;
Examples of aromatic hydrocarbons include toluene and xylene;
Examples of ketones include methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, etc .;

他のエステル類として、例えば酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチルなどのエステル類をそれぞれ挙げることができる。   Examples of other esters include methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, hydroxyacetic acid Methyl, ethyl hydroxyacetate, butyl hydroxyacetate, methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, butyl 3-hydroxypropionate, Methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, propyl ethoxyacetate, butyl ethoxyacetate, Methyl poxyacetate, ethyl propoxyacetate, propylpropoxyacetate, butyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, propylbutoxyacetate, butylbutoxyacetate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropionate Propyl acid, butyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, 2-butoxypropionic acid Ethyl, propyl 2-butoxypropionate, butyl 2-butoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, 3-metho Butyl cypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, butyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, 3-propoxy Examples thereof include propyl propionate, butyl 3-propoxypropionate, methyl 3-butoxypropionate, ethyl 3-butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate, and butyl 3-butoxypropionate.

これらの溶媒のうち、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、ジエチレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテート、メトキシ酢酸ブチルが好ましく、特に、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、メトキシ酢酸ブチルが好ましい。   Among these solvents, ethylene glycol alkyl ether acetate, diethylene glycol alkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether, propylene glycol monoalkyl ether acetate, and butyl methoxyacetate are preferable, particularly diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol monomethyl ether acetate and butyl methoxyacetate are preferred.

[A]共重合体を製造するための重合反応に用いられる重合開始剤としては、一般的にラジカル重合開始剤として知られているものが使用できる。ラジカル重合開始剤としては例えば
2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス−(2,4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス−(4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル)などのアゾ化合物;
ベンゾイルペルオキシド、ラウロイルペルオキシド、t−ブチルペルオキシピバレート、1,1’−ビス−(t−ブチルペルオキシ)シクロヘキサンなどの有機過酸化物;及び
過酸化水素が挙げられる。
ラジカル重合開始剤として過酸化物を用いる場合には、過酸化物を還元剤とともに用いてレドックス型開始剤としてもよい。
[A] What is generally known as a radical polymerization initiator can be used as the polymerization initiator used in the polymerization reaction for producing the copolymer. Examples of the radical polymerization initiator include 2,2′-azobisisobutyronitrile, 2,2′-azobis- (2,4-dimethylvaleronitrile), 2,2′-azobis- (4-methoxy-2, Azo compounds such as 4-dimethylvaleronitrile);
And organic peroxides such as benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, t-butylperoxypivalate, 1,1′-bis- (t-butylperoxy) cyclohexane; and hydrogen peroxide.
When a peroxide is used as the radical polymerization initiator, the peroxide may be used together with a reducing agent to form a redox initiator.

[A]共重合体を製造するための重合反応において、分子量を調整するために、分子量調整剤を使用することができる。分子量調整剤の具体例としては、
クロロホルム、四臭化炭素等のハロゲン化炭化水素類;
n−ヘキシルメルカプタン、n−オクチルメルカプタン、n−ドデシルメルカプタン、t−ドデシルメルカプタン、チオグリコール酸等のメルカプタン類;
ジメチルキサントゲンスルフィド、ジイソプロピルキサントゲンジスルフィド等のキサントゲン類;
ターピノーレン、α−メチルスチレンダイマー等が挙げられる。
[A] In the polymerization reaction for producing the copolymer, a molecular weight modifier can be used in order to adjust the molecular weight. Specific examples of molecular weight regulators include
Halogenated hydrocarbons such as chloroform and carbon tetrabromide;
mercaptans such as n-hexyl mercaptan, n-octyl mercaptan, n-dodecyl mercaptan, t-dodecyl mercaptan, thioglycolic acid;
Xanthogens such as dimethylxanthogen sulfide and diisopropylxanthogen disulfide;
Examples include terpinolene and α-methylstyrene dimer.

[B]重合性化合物
[B]重合性化合物は、本発明の樹脂組成物に好適に用いられる。[B]重合性化合物の好ましい例としては、単官能(メタ)アクリレート、2官能(メタ)アクリレート、又は3官能以上の(メタ)アクリレートを挙げることができる。これらの化合物を用いることによって、本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合、露光し硬化反応させる際の[B]重合性化合物の化合物間の重合反応性や、[A]共重合体と[B]重合性化合物との間の重合反応性が高められ、結果的に、正確な形状及び優れた耐食性を有するシールド膜を得ることが可能となる。
[B] Polymerizable compound [B] The polymerizable compound is suitably used in the resin composition of the present invention. [B] Preferred examples of the polymerizable compound include monofunctional (meth) acrylates, bifunctional (meth) acrylates, and trifunctional or higher functional (meth) acrylates. By using these compounds, when the resin composition of the present invention is radiation sensitive, the polymerization reactivity between the compounds of the [B] polymerizable compound when exposed and cured, and the [A] copolymer And [B] the polymerizable compound are enhanced, and as a result, a shield film having an accurate shape and excellent corrosion resistance can be obtained.

単官能(メタ)アクリレートとしては、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、カルビトール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、3−メトキシブチル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−2−ヒドロキシプロピルフタレートなどが挙げられる。これらの単官能(メタ)アクリレートの市販品の例としては、アロニックスM−101、同M−111、同M−114(東亞合成(株)製)、KAYARAD TC−110S、同TC−120S(日本化薬(株)製)、ビスコート158、同2311(大阪有機化学工業(株)製)等が挙げられる。   Examples of the monofunctional (meth) acrylate include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, carbitol (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, 3-methoxybutyl (meth) acrylate, and 2- (meth) acryloyloxyethyl- Examples include 2-hydroxypropyl phthalate. Examples of these monofunctional (meth) acrylate commercial products include Aronix M-101, M-111, M-114 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), KAYARAD TC-110S, TC-120S (Japan) Kayaku Co., Ltd.), Biscoat 158, 2311 (Osaka Organic Chemical Co., Ltd.) and the like.

2官能(メタ)アクリレートとしては、例えばエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノキシエタノールフルオレンジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらの2官能(メタ)アクリレートの市販品としては、例えばアロニックスM−210、同M−240、同M−6200(東亞合成(株)製)、KAYARAD HDDA、同HX−220、同R−604(日本化薬(株)製)、ビスコート260、同312、同335HP(大阪有機化学工業(株)製)などが挙げられる。   Examples of the bifunctional (meth) acrylate include ethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, Examples include tetraethylene glycol di (meth) acrylate, bisphenoxyethanol full orange (meth) acrylate, and bisphenoxyethanol full orange (meth) acrylate. Examples of commercially available products of these bifunctional (meth) acrylates include Aronix M-210, M-240, M-6200 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), KAYARAD HDDA, HX-220, R-604. (Nippon Kayaku Co., Ltd.), Biscoat 260, 312 and 335HP (Osaka Organic Chemical Co., Ltd.) are listed.

3官能以上の(メタ)アクリレートとしては、例えばトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリ((メタ)アクリロイルオキシエチル)フォスフェート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、コハク酸モノ−[3−(3−(メタ)アクリロイルオキシ−2,2−ビス−(メタ)アクリロイルオキシメチル−プロポキシ)−2,2−ビス−(メタ)アクリロイルオキシメチル−プロピル]エステルなどが挙げられる。これらの3官能以上の(メタ)アクリレートの市販品としては、例えばアロニックスM−309、同M−400、同M−405、同M−450、同M−7100、同M−8030、同M−8060(東亞合成(株)製)、KAYARAD TMPTA、同DPHA、同DPCA−20、同DPCA−30、同DPCA−60、同DPCA−120(日本化薬(株)製)、ビスコート295、同300、同360、同GPT、同3PA、同400(大阪有機化学工業(株)製)などが挙げられる。   Examples of the tri- or more functional (meth) acrylate include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tri ((meth) acryloyloxyethyl) phosphate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, di Pentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, mono- [3- (3- (meth) acryloyloxy-2,2-bis- (meth) acryloyloxymethyl-propoxy) -2 , 2-bis- (meth) acryloyloxymethyl-propyl] ester. Commercially available products of these tri- or higher functional (meth) acrylates include, for example, Aronix M-309, M-400, M-405, M-450, M-7100, M-8030, and M- 8060 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.), KAYARAD TMPTA, DPHA, DPHA-20, DPCA-30, DPCA-30, DPCA-60, DPCA-120 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Biscote 295, 300 360, GPT, 3PA, 400 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.).

これらのエチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物のうち、樹脂組成物の硬化性改善の観点から、3官能以上の(メタ)アクリレートが好ましく用いられる。その中でもトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、コハク酸モノ−[3−(3−アクリロイルオキシ−2,2−ビス−アクリロイルオキシメチル−プロポキシ)−2,2−ビス−アクリロイルオキシメチル−プロピル]エステルが特に好ましい。これらのエチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。   Of these polymerizable compounds having an ethylenically unsaturated double bond, a tri- or higher functional (meth) acrylate is preferably used from the viewpoint of improving the curability of the resin composition. Among them, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, succinic acid mono- [3- (3-acryloyloxy-2,2-bis-acryloyloxymethyl) -Propoxy) -2,2-bis-acryloyloxymethyl-propyl] ester is particularly preferred. These polymerizable compounds having an ethylenically unsaturated double bond can be used alone or in admixture of two or more.

樹脂組成物における[B]重合性化合物の使用量は、[A]共重合体100質量部に対して、好ましくは50〜300質量部、さらに好ましくは60〜250質量部である。[B]重合性化合物の使用量を50〜300質量部とすることにより、形成されるシールド膜の基板に対する密着性、電解液に対する耐食性等の諸特性がより高度なレベルでバランスされた樹脂組成物が得られる。   The amount of the [B] polymerizable compound used in the resin composition is preferably 50 to 300 parts by mass, more preferably 60 to 250 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [A] copolymer. [B] By using the polymerizable compound in an amount of 50 to 300 parts by mass, various properties such as adhesion of the formed shield film to the substrate and corrosion resistance to the electrolytic solution are balanced at a higher level. A thing is obtained.

[C]感放射線性重合開始剤
[C]感放射線性重合開始剤は、本発明の樹脂組成物に好適に用いられる。[C]感放射線性重合開始剤としては、放射線に感応して[B]重合性化合物の重合を開始しうる活性種を生じる成分である限り、特に限定されるものではない。このような[C]感放射線性重合開始剤としては、O−アシルオキシム化合物、アセトフェノン化合物、ビイミダゾール化合物などを挙げることができる。
[C] Radiation-sensitive polymerization initiator [C] The radiation-sensitive polymerization initiator is suitably used for the resin composition of the present invention. [C] The radiation-sensitive polymerization initiator is not particularly limited as long as it is a component that generates an active species capable of initiating polymerization of the [B] polymerizable compound in response to radiation. Examples of such [C] radiation-sensitive polymerization initiators include O-acyloxime compounds, acetophenone compounds, biimidazole compounds, and the like.

感放射線性重合開始剤として用いられるO−アシルオキシム化合物としては、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、1−〔9−エチル−6−ベンゾイル−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−オクタン−1−オンオキシム−O−アセテート、1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、1−〔9−n−ブチル−6−(2−エチルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−エタン−1−オンオキシム−O−ベンゾエート、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロピラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−5−テトラヒドロフラニルベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)などを挙げることができる。   Examples of the O-acyloxime compound used as a radiation sensitive polymerization initiator include ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyl). Oxime), 1- [9-ethyl-6-benzoyl-9. H. -Carbazol-3-yl] -octane-1-one oxime-O-acetate, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, 1- [9-n-butyl-6- (2-ethylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -ethane-1-one oxime-O-benzoate, ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydropyranylbenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-5-tetrahydrofuranylbenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl } -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) and the like.

これらのO−アシルオキシム化合物の好ましい例としては、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチル−4−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル)−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)、エタノン−1−〔9−エチル−6−{2−メチル−4−(2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラニル)メトキシベンゾイル}−9.H.−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)を挙げることができる。これらのO−アシルオキシム化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   Preferred examples of these O-acyloxime compounds include ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone -1- [9-Ethyl-6- (2-methyl-4-tetrahydrofuranylmethoxybenzoyl) -9. H. -Carbazole-3-yl] -1- (O-acetyloxime), ethanone-1- [9-ethyl-6- {2-methyl-4- (2,2-dimethyl-1,3-dioxolanyl) methoxybenzoyl } -9. H. -Carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime). These O-acyloxime compounds can be used alone or in admixture of two or more.

感放射線性重合開始剤として用いられるアセトフェノン化合物の例としては、α−アミノケトン化合物、α−ヒドロキシケトン化合物を挙げることができる。   Examples of the acetophenone compound used as the radiation sensitive polymerization initiator include an α-aminoketone compound and an α-hydroxyketone compound.

α−アミノケトン化合物の例としては、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルフォリノプロパン−1−オンなどを挙げることができる。   Examples of α-aminoketone compounds include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one and the like can be mentioned.

α−ヒドロキシケトン化合物の例としては、1−フェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンなどを挙げることができる。   Examples of α-hydroxyketone compounds include 1-phenyl-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-i-propylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone and the like.

これらのアセトフェノン化合物のうちα−アミノケトン化合物が好ましく、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オンが特に好ましい。これらのアセトフェノン化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   Of these acetophenone compounds, α-aminoketone compounds are preferred, such as 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-dimethylamino-2- (4-methylbenzyl). ) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one is particularly preferred. These acetophenone compounds can be used alone or in admixture of two or more.

感放射線性重合開始剤として用いられるビイミダゾール化合物のとしては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールなどを挙げることができる。   As a biimidazole compound used as a radiation sensitive polymerization initiator, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetrakis (4-ethoxycarbonylphenyl) -1,2 is used. '-Biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) ) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole, 2,2'-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4', 5,5'- Examples thereof include tetraphenyl-1,2′-biimidazole.

これらのビイミダゾール化合物の中でも、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好ましく、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが特に好ましい。これらのビイミダゾール化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。   Among these biimidazole compounds, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2, 4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 2,2′-bis (2,4,6-trichlorophenyl) -4,4 ′, 5 5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole is preferred, 2,2'-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole Is particularly preferred. These biimidazole compounds can be used alone or in admixture of two or more.

本発明の樹脂組成物において、[C]感放射線性重合開始剤としてビイミダゾール化合物を使用する場合、これを増感するために、ジアルキルアミノ基を有する脂肪族又は芳香族化合物(以下、「アミノ系増感剤」という。)を添加することができる。   In the resin composition of the present invention, when a biimidazole compound is used as the [C] radiation-sensitive polymerization initiator, an aliphatic or aromatic compound having a dialkylamino group (hereinafter referred to as “amino”) is used to sensitize the compound. System sensitizer ") can be added.

かかるアミノ系増感剤としては、例えば、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどを挙げることができる。これらのアミノ系増感剤のうち、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが特に好ましい。上記アミノ系増感剤は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。   Examples of such amino sensitizers include 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone. Of these amino sensitizers, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferred. The amino sensitizers can be used alone or in admixture of two or more.

さらに、ビイミダゾール化合物とアミノ系増感剤とを併用する場合、水素ラジカル供与剤としてチオール化合物を添加することができる。ビイミダゾール化合物は、アミノ系増感剤によって増感されて開裂し、イミダゾールラジカルを発生するが、そのままでは高い重合開始能が発現しない場合がある。しかし、ビイミダゾール化合物とアミノ系増感剤とが共存する系に、チオール化合物を添加することにより、イミダゾールラジカルにチオール化合物から水素ラジカルが供与される。その結果、イミダゾールラジカルが中性のイミダゾールに変換されると共に、重合開始能の高い硫黄ラジカルを有する成分が発生し、それにより、本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合、露光の際の硬化反応性が高められ、結果として、所望の形状を有するシールド膜を容易に形成することができる。   Furthermore, when a biimidazole compound and an amino sensitizer are used in combination, a thiol compound can be added as a hydrogen radical donor. A biimidazole compound is sensitized by an amino sensitizer and cleaved to generate an imidazole radical, but may not exhibit high polymerization initiation ability as it is. However, by adding a thiol compound to a system in which a biimidazole compound and an amino sensitizer coexist, a hydrogen radical is donated from the thiol compound to the imidazole radical. As a result, the imidazole radical is converted to neutral imidazole, and a component having a sulfur radical having a high polymerization initiating ability is generated. Thus, when the resin composition of the present invention is radiation sensitive, As a result, a shield film having a desired shape can be easily formed.

かかるチオール化合物の例としては、
2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−5−メトキシベンゾチアゾールなどの芳香族チオール化合物;
3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトプロピオン酸メチルなどの脂肪族モノチオール化合物;
ペンタエリストールテトラ(メルカプトアセテート)、ペンタエリストールテトラ(3−メルカプトプロピオネート)などの2官能以上の脂肪族チオール化合物を挙げることができる。これらのチオール化合物のうち、特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
Examples of such thiol compounds include
Aromatic thiol compounds such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-5-methoxybenzothiazole;
Aliphatic monothiol compounds such as 3-mercaptopropionic acid and methyl 3-mercaptopropionate;
Bifunctional or higher aliphatic thiol compounds such as pentaerythritol tetra (mercaptoacetate) and pentaerythritol tetra (3-mercaptopropionate) can be exemplified. Of these thiol compounds, 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

樹脂組成物においてビイミダゾール化合物とアミノ系増感剤とを併用する場合、アミノ系増感剤の添加量は、ビイミダゾール化合物100質量部に対して、好ましくは0.1〜50質量部であり、より好ましくは1〜20質量部である。アミノ系増感剤の添加量を0.1〜50質量部とすることによって、本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合、露光の際の硬化反応性がより高められる。   When a biimidazole compound and an amino sensitizer are used in combination in the resin composition, the addition amount of the amino sensitizer is preferably 0.1 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the biimidazole compound. More preferably, it is 1-20 mass parts. When the addition amount of the amino sensitizer is 0.1 to 50 parts by mass, when the resin composition of the present invention is radiation sensitive, the curing reactivity during exposure is further enhanced.

また、ビイミダゾール化合物、アミノ系増感剤、及びチオール化合物を併用する場合、チオール化合物の添加量としては、ビイミダゾール化合物100質量部に対して、好ましくは0.1〜50質量部であり、より好ましくは1〜20質量部である。チオール化合物の添加量を0.1〜50質量部とすることによって、露光時の硬化反応性がさらに改善され、所望の形状を有するシールド膜を得ることがより容易となる。   Moreover, when using together a biimidazole compound, an amino-type sensitizer, and a thiol compound, as addition amount of a thiol compound, Preferably it is 0.1-50 mass parts with respect to 100 mass parts of biimidazole compounds, More preferably, it is 1-20 mass parts. By setting the addition amount of the thiol compound to 0.1 to 50 parts by mass, the curing reactivity at the time of exposure is further improved, and it becomes easier to obtain a shield film having a desired shape.

[C]感放射線性重合開始剤は、O−アシルオキシム化合物及びアセトフェノン化合物よりなる群から選択される少なくとも1種を含有することが好ましく、O−アシルオキシム化合物及びアセトフェノン化合物よりなる群から選択される少なくとも1種、並びにビイミダゾール化合物を含有することがより好ましい。   [C] The radiation-sensitive polymerization initiator preferably contains at least one selected from the group consisting of an O-acyloxime compound and an acetophenone compound, and is selected from the group consisting of an O-acyloxime compound and an acetophenone compound. It is more preferable to contain at least one kind and a biimidazole compound.

[C]感放射線性重合開始剤の使用量は、[A]共重合体100質量部に対して、好ましくは5〜200質量部、さらに好ましくは5〜100質量部である。[C]感放射線性重合開始剤の使用量を5〜200質量部とすることによって、本発明の樹脂組成物が感放射線性である場合、露光時における硬化反応性を高めることができる。   [C] The amount of the radiation-sensitive polymerization initiator used is preferably 5 to 200 parts by mass, more preferably 5 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [A] copolymer. [C] By making the usage-amount of a radiation sensitive polymerization initiator into 5-200 mass parts, when the resin composition of this invention is radiation sensitive, the curing reactivity at the time of exposure can be improved.

また、[C]感放射線性重合開始剤の感放射線性重合開始剤におけるO−アシルオキシム化合物及びアセトフェノン化合物の割合としては、[C]感放射線性重合開始剤の感放射線性重合開始剤の全量に対して、好ましくは40質量%以上であり、より好ましくは45質量%以上であり、特に好ましくは50質量%以上である。このような割合でO−アシルオキシム化合物及びアセトフェノン化合物を使用することによって、低露光量の場合でも高い硬化反応性が得られ、結果的により正確な形状を有するシールド膜を形成することが可能となる。   Moreover, as a ratio of the O-acyloxime compound and the acetophenone compound in the radiation sensitive polymerization initiator of [C] radiation sensitive polymerization initiator, the total amount of the radiation sensitive polymerization initiator of [C] radiation sensitive polymerization initiator Is preferably 40% by mass or more, more preferably 45% by mass or more, and particularly preferably 50% by mass or more. By using the O-acyloxime compound and the acetophenone compound at such a ratio, high curing reactivity can be obtained even in the case of a low exposure amount, and as a result, a shield film having a more accurate shape can be formed. Become.

その他の任意成分
本発明の樹脂組成物は、上記の[A]共重合体、[B]重合性化合物及び[C]感放射線性重合開始剤に加え、所期の効果を損なわない範囲内で必要に応じて[G]密着助剤、[H]界面活性剤等の添加剤を含有することができる。
Other optional components In addition to the above [A] copolymer, [B] polymerizable compound and [C] radiation sensitive polymerization initiator, the resin composition of the present invention is within the range not impairing the desired effect. If necessary, additives such as [G] adhesion assistant and [H] surfactant can be contained.

本発明の樹脂組成物においては、形成されるシールド膜と基板との密着性を向上させるために[G]密着助剤を使用することができる。このような密着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好ましく使用される。官能性シランカップリング剤の例としては、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基等の反応性置換基を有するシランカップリング剤などが挙げられる。官能性シランカップリング剤の具体例としてはトリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシランなどが挙げられる。   In the resin composition of the present invention, [G] adhesion assistant can be used to improve the adhesion between the shield film to be formed and the substrate. As such an adhesion assistant, a functional silane coupling agent is preferably used. Examples of functional silane coupling agents include silane coupling agents having reactive substituents such as carboxyl groups, methacryloyl groups, isocyanate groups, and epoxy groups. Specific examples of functional silane coupling agents include trimethoxysilylbenzoic acid, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, vinyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, and γ-glycidoxy. Examples include propyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, and β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane.

[G]密着助剤は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。[G]密着助剤の使用量は、[A]共重合体の共重合体100質量部に対して、好ましくは0.1〜30質量部、さらに好ましくは1〜25質量部である。[G]密着助剤の使用量を0.1〜30質量部とすることによって、形成されるシールド膜の基材に対する密着性を十分高いレベルに保つことができる。   [G] The adhesion assistant can be used alone or in admixture of two or more. [G] The amount of the adhesion assistant used is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 1 to 25 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the copolymer of [A] copolymer. [G] By making the usage-amount of adhesion | attachment adjuvant into 0.1-30 mass parts, the adhesiveness with respect to the base material of the shield film formed can be kept at a sufficiently high level.

本発明の樹脂組成物においては、塗膜形成時の塗布性をさらに向上させるために、[H]界面活性剤を使用することができる。好ましい界面活性剤の例としては、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤及びノニオン系界面活性剤が挙げられる。   In the resin composition of the present invention, [H] surfactant can be used in order to further improve the coating property at the time of coating film formation. Examples of preferable surfactants include fluorine-based surfactants, silicone-based surfactants, and nonionic surfactants.

フッ素系界面活性剤の例としては、1,1,2,2−テトラフルオロオクチル(1,1,2,2−テトラフルオロプロピル)エーテル、1,1,2,2−テトラフルオロオクチルヘキシルエーテル、オクタエチレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフルオロブチル)エーテル、ヘキサエチレングリコール(1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロペンチル)エーテル、オクタプロピレングリコールジ(1,1,2,2−テトラフルオロブチル)エーテル、ヘキサプロピレングリコールジ(1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロペンチル)エーテル等のフルオロエーテル類;パーフルオロドデシルスルホン酸ナトリウム;1,1,2,2,8,8,9,9,10,10−デカフルオロドデカン、1,1,2,2,3,3−ヘキサフルオロデカン等のフルオロアルカン類;フルオロアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム類;フルオロアルキルオキシエチレンエーテル類;フルオロアルキルアンモニウムヨージド類;フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル類;パーフルオロアルキルポリオキシエタノール類;パーフルオロアルキルアルコキシレート類;フッ素系アルキルエステル類等を挙げることができる。   Examples of fluorosurfactants include 1,1,2,2-tetrafluorooctyl (1,1,2,2-tetrafluoropropyl) ether, 1,1,2,2-tetrafluorooctyl hexyl ether, Octaethylene glycol di (1,1,2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexaethylene glycol (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether, octapropylene glycol di (1,1,1) 2,2-tetrafluorobutyl) ether, hexapropylene glycol di (1,1,2,2,3,3-hexafluoropentyl) ether and other fluoroethers; sodium perfluorododecylsulfonate; 1,1,2 , 2,8,8,9,9,10,10-decafluorododecane, 1,1,2,2,3,3-hexaph Fluoroalkanes such as orodecane; sodium fluoroalkylbenzenesulfonates; fluoroalkyloxyethylene ethers; fluoroalkylammonium iodides; fluoroalkylpolyoxyethylene ethers; perfluoroalkylpolyoxyethanols; perfluoroalkylalkoxylates And fluorine-based alkyl esters.

これらのフッ素系界面活性剤の市販品としては、BM−1000、BM−1100(BM CHEMIE社製)、メガファックF142D、同F172、同F173、同F183(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラードFC−135、同FC−170C、同FC−430、同FC−431(住友スリーエム(株)製)、サーフロンS−112、同S−113、同S−131、同S−141,同S−145、同S−382,同SC−101、同SC−102、同SC−103、同SC−104、同SC−105、同SC−106(旭硝子(株)製)、FTX−218((株)ネオス製)等の市販品を挙げることができる。   Commercially available products of these fluorosurfactants include BM-1000, BM-1100 (manufactured by BM CHEMIE), MegaFuck F142D, F172, F173, and F183 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals). , FLORARD FC-135, FC-170C, FC-430, FC-431 (manufactured by Sumitomo 3M), Surflon S-112, S-113, S-131, S-141, S-141 S-145, S-382, SC-101, SC-102, SC-103, SC-104, SC-105, SC-105, SC-106 (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), FTX-218 ( Commercial products such as those manufactured by Neos Co., Ltd. can be mentioned.

シリコーン系界面活性剤の例としては、市販されている商品名で、SH−28PA、SH−190、SH−193、SZ−6032、SF−8428、DC−57、DC−190(東レ・ダウコーニング・シリコーン(株)製)、KP341(信越化学工業(株)製)、エフトップEF301、同EF303、同EF352(新秋田化成(株)製)等を挙げることができる。   Examples of silicone surfactants are commercially available under the trade names SH-28PA, SH-190, SH-193, SZ-6032, SF-8428, DC-57, DC-190 (Toray Dow Corning -Silicone Co., Ltd.), KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), F-top EF301, EF303, EF352 (manufactured by Shin-Akita Kasei Co., Ltd.), and the like.

ノニオン系界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンジアルキルエステル、(メタ)アクリル酸系共重合体類などが挙げられる。   Examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene aryl ethers, polyoxyethylene dialkyl esters, (meth) acrylic acid copolymers, and the like.

ポリオキシエチレンアルキルエーテルの例としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等が挙げられる。ポリオキシエチレンアリールエーテルの例としては、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルが挙げられる。ポリオキシエチレンジアルキルエステルの例としてはポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレート等が挙げられる。(メタ)アクリル酸系共重合体類の例としては、市販されている商品名で、ポリフローNo.57、同No.90(共栄社化学(株)製)等を挙げることができる。   Examples of the polyoxyethylene alkyl ether include polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether and the like. Examples of the polyoxyethylene aryl ether include polyoxyethylene octyl phenyl ether and polyoxyethylene nonyl phenyl ether. Examples of polyoxyethylene dialkyl esters include polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate. As an example of (meth) acrylic acid-based copolymers, Polyflow No. 57, no. 90 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.).

[H]界面活性剤は、単独で又は2種以上を混合して使用することができる。[H]界面活性剤の使用量は、[A]共重合体100質量部に対して、好ましくは0.01〜5質量部、さらに好ましくは0.05〜3質量部である。界面活性剤の使用量を0.01〜5質量部とすることにより、形成されるシールド膜表面の膜荒れの発生が抑制され、均一な塗布膜を形成することができる。   [H] Surfactants can be used alone or in admixture of two or more. [H] The amount of the surfactant used is preferably 0.01 to 5 parts by mass, more preferably 0.05 to 3 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the [A] copolymer. By making the usage-amount of surfactant into 0.01-5 mass parts, generation | occurrence | production of the film | membrane roughness of the shield film surface formed is suppressed, and a uniform coating film can be formed.

樹脂組成物
本発明の樹脂組成物は、上記の[A]共重合体、[B]重合性化合物、及び[C]感放射線性重合開始剤、並びに任意成分([G]密着助剤及び/又は[H]界面活性剤など)を均一に混合することによって調製される。通常、樹脂組成物は、好ましくは適当な溶媒に溶解されて溶液状態で保存され、使用される。例えば溶媒中で、[A]共重合体、[B]重合性化合物及び[C]感放射線性重合開始剤、並びに任意成分を所定の割合で混合することにより、溶液状態の樹脂組成物を調製することができる。
Resin Composition The resin composition of the present invention comprises the above [A] copolymer, [B] polymerizable compound, and [C] radiation sensitive polymerization initiator, and optional components ([G] adhesion assistant and / or Or [H] surfactant, etc.) are mixed uniformly. Usually, the resin composition is preferably used after being dissolved in an appropriate solvent and stored in a solution state. For example, a resin composition in a solution state is prepared by mixing [A] copolymer, [B] polymerizable compound and [C] radiation-sensitive polymerization initiator, and optional components in a predetermined ratio in a solvent. can do.

樹脂組成物の調製に用いられる溶媒としては、上記の[A]共重合体、[B]重合性化合物及び[C]感放射線性重合開始剤、並びに任意成分([G]密着助剤及び/又は[H]界面活性剤など)の各成分を均一に溶解し、かつ各成分と反応しないものである限り、特に限定されるものではない。このような溶媒としては、[A]共重合体を製造するために使用できる溶媒として例示した溶媒と同様のものを挙げることができる。   Solvents used for preparing the resin composition include the above-mentioned [A] copolymer, [B] polymerizable compound and [C] radiation sensitive polymerization initiator, and optional components ([G] adhesion assistant and / or Or [H] surfactant, etc.) are not particularly limited as long as each component is uniformly dissolved and does not react with each component. As such a solvent, the thing similar to the solvent illustrated as a solvent which can be used in order to manufacture a [A] copolymer can be mentioned.

このような溶媒のうち、各成分の溶解性、各成分との非反応性、塗膜形成の容易性等の点から、例えばアルコール類、グリコールエーテル、エチレングリコールアルキルエーテルアセテート、エステル類、ジエチレングリコールアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートが好ましく用いられる。これらのうち、例えばベンジルアルコール、2−フェニルエチルアルコール、3−フェニル−1−プロパノール、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、2−又は3−メトキシプロピオン酸メチル、2−又は3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシブチルアセテートが特に好ましく使用できる。   Among such solvents, for example, alcohols, glycol ethers, ethylene glycol alkyl ether acetates, esters, diethylene glycol alkyls, from the viewpoints of solubility of each component, non-reactivity with each component, ease of film formation, etc. Ether, propylene glycol monoalkyl ether, and propylene glycol monoalkyl ether acetate are preferably used. Among these, for example, benzyl alcohol, 2-phenylethyl alcohol, 3-phenyl-1-propanol, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, Propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl 2- or 3-methoxypropionate, ethyl 2- or 3-ethoxypropionate, or 3-methoxybutyl acetate can be particularly preferably used.

さらに、形成される塗膜の膜厚の面内均一性を高めるため、前記溶媒と共に高沸点溶媒を併用することもできる。この併用できる高沸点溶媒としては、例えば、N−メチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアニリド、N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノール、1−ノナノール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテートなどが挙げられる。これらの高沸点溶媒のうち、N−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、N,N−ジメチルアセトアミドが好ましい。   Furthermore, in order to improve the in-plane uniformity of the film thickness of the coating film to be formed, a high boiling point solvent can be used in combination with the solvent. Examples of the high-boiling solvent that can be used in combination include N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N-methylformanilide, N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, and benzyl. Ethyl ether, dihexyl ether, acetonyl acetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1-octanol, 1-nonanol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate , Phenyl cellosolve acetate and the like. Of these high boiling solvents, N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, and N, N-dimethylacetamide are preferred.

樹脂組成物の溶媒として、高沸点溶媒を併用する場合、その使用量は、溶媒全量に対して50質量%以下、好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下とすることができる。高沸点溶媒の使用割合を50質量%以下とすることによって、塗膜の膜厚均一性を高めると同時に、放射線感度の低下を抑制することができる。   When a high boiling point solvent is used in combination as the solvent for the resin composition, the amount used can be 50% by mass or less, preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, based on the total amount of the solvent. By setting the use ratio of the high boiling point solvent to 50% by mass or less, it is possible to improve the film thickness uniformity of the coating film and at the same time suppress the decrease in radiation sensitivity.

樹脂組成物を溶液状態として調製する場合、溶液中に占める溶媒以外の成分(すなわち[A]共重合体、[B]重合性化合物及び[C]感放射線性重合開始剤並びにその他の任意成分の合計量)の割合は、使用目的や所望の膜厚等に応じて任意に設定することができるが、好ましくは5〜50質量%、より好ましくは10〜40質量%、さらに好ましくは15〜35質量%である。このようにして調製された樹脂組成物の溶液は、孔径0.2μm程度のミリポアフィルタなどを用いて濾過した後、使用に供することもできる。   When preparing the resin composition in a solution state, components other than the solvent in the solution (that is, [A] copolymer, [B] polymerizable compound and [C] radiation sensitive polymerization initiator, and other optional components) The ratio of (total amount) can be arbitrarily set according to the purpose of use, desired film thickness, etc., but is preferably 5 to 50% by mass, more preferably 10 to 40% by mass, and still more preferably 15 to 35%. % By mass. The solution of the resin composition thus prepared can be used after being filtered using a Millipore filter having a pore size of about 0.2 μm.

色素増感型太陽電池電極のシールド膜の形成
次に上記の樹脂組成物を用いて、本発明のシールド膜を形成する方法について述べる。当該シールド膜の形成方法は、
(1)導電性基板及びこの導電性基板の表面側の金属配線層を備えた積層体に、少なくとも金属配線層の全体が覆われるように、請求項6に記載の樹脂組成物の塗膜を形成する工程、
(2)工程(1)で形成された塗膜を加熱する工程
を含む色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成方法。
をこの順に含む。
Formation of Shield Film for Dye-Sensitized Solar Cell Electrode Next, a method for forming the shield film of the present invention using the above resin composition will be described. The method of forming the shield film is as follows:
(1) The coating film of the resin composition according to claim 6, so that at least the entire metal wiring layer is covered with the laminate including the conductive substrate and the metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate. Forming step,
(2) A method for forming a shield film for an electrode for a dye-sensitized solar cell, comprising a step of heating the coating film formed in step (1).
Are included in this order.

(1)樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程
この工程においては、導電性基板及びこの導電性基板の表面側の金属配線層を備えた積層体の上に、本発明の樹脂組成物の溶液を塗布した後、塗布面を加熱(プレベーク)することにより、塗膜を形成する。塗布は、少なくとも、導電性基板の表面側の金属配線層の全体が覆われるように行う。プレベークの条件は、各成分の種類や配合割合などによっても異なるが、好ましくは70〜110℃で1〜10分間程度である。塗膜のプレベーク後の膜厚は、好ましくは0.1〜5.0μmであり、より好ましくは0.3〜2.0μm程度である。
(1) Step of forming a coating film of a resin composition on a substrate In this step, the resin composition of the present invention is formed on a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate. After applying the solution of the product, the coating surface is heated (prebaked) to form a coating film. The application is performed so that at least the entire metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate is covered. Prebaking conditions vary depending on the types and blending ratios of the components, but are preferably about 70 to 110 ° C. for 1 to 10 minutes. The film thickness after pre-baking of the coating film is preferably 0.1 to 5.0 μm, more preferably about 0.3 to 2.0 μm.

塗布に用いる組成物溶液の固形分濃度は、好ましくは5〜50質量%であり、より好ましくは10〜40質量%であり、さらに好ましくは15〜35質量%である。組成物溶液の塗布方法としては、特に限定されず、例えばスプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット塗布法などの適宜の方法を採用することができる。これらの塗布法の中でも、特にバー塗布法又はスリットダイ塗布法が好ましい。バー塗布法又はスリットダイ塗布法で組成物溶液の塗布を行うことによって、金属配線層の段差を有する基板に対しても、欠損のないシールド膜を形成することができる。   The solid content concentration of the composition solution used for coating is preferably 5 to 50% by mass, more preferably 10 to 40% by mass, and further preferably 15 to 35% by mass. The method for applying the composition solution is not particularly limited, and for example, an appropriate method such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method, or an ink jet coating method is adopted. can do. Among these coating methods, a bar coating method or a slit die coating method is particularly preferable. By applying the composition solution by the bar coating method or the slit die coating method, a defect-free shield film can be formed even on a substrate having a stepped metal wiring layer.

(2)加熱工程
上記(1)の工程後に、ホットプレートやクリーンオーブンなどの適当な加熱装置により、塗膜に対して加熱処理(ポストベーク処理)を実施する。加熱温度としては150〜250℃程度が好ましく、加熱時間としては、ホットプレート使用の場合は5〜30分間程度、クリーンオーブン使用の場合は30〜90分間程度が好ましい。このようにして色素増感型太陽電池用電極の上に所望の形状を有するシールド膜を形成することができる。
(2) Heating Step After the step (1) above, the coating film is subjected to a heat treatment (post-bake treatment) with an appropriate heating device such as a hot plate or a clean oven. The heating temperature is preferably about 150 to 250 ° C., and the heating time is preferably about 5 to 30 minutes when using a hot plate, and about 30 to 90 minutes when using a clean oven. In this way, a shield film having a desired shape can be formed on the dye-sensitized solar cell electrode.

このように、樹脂組成物を用い、塗膜形成工程及び加熱工程によってシールド膜を形成することで、色素増感型太陽電池用電極における基板上で、シールド膜を形成することができる。当該形成方法は、塗布工程及び加熱工程の比較的簡易な工程のみを必要とし、低コストにシールド膜を形成することができる。   Thus, a shield film can be formed on a substrate in an electrode for a dye-sensitized solar cell by forming a shield film by a coating film forming step and a heating step using a resin composition. The formation method requires only a relatively simple process of applying and heating, and can form a shield film at low cost.

その他の本発明の色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成方法としては、(1’)導電性基板及びこの導電性基板の表面側に金属配線層を備えた積層体に、少なくとも金属配線層の全体が覆われるように、感放射線性を有する当該樹脂組成物の塗膜を形成する工程、
(3)工程(1’)で形成した塗膜の金属配線層上に積層されている部分のみに放射線を照射する工程、
(4)工程(3)で放射線を照射された塗膜を現像する工程、及び
(2’)工程(4)で現像された塗膜を加熱する工程
をこの順に含む。
As another method for forming the shield film of the electrode for the dye-sensitized solar cell of the present invention, (1 ′) a conductive substrate and a laminate including a metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate, Forming a coating film of the resin composition having radiation sensitivity so that the entire wiring layer is covered;
(3) A step of irradiating only the part laminated on the metal wiring layer of the coating film formed in step (1 ′),
(4) A step of developing the coating film irradiated with radiation in the step (3), and (2 ′) a step of heating the coating film developed in the step (4) are included in this order.

(1’)感放射線性を有する樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程
この工程においては、導電性基板及びこの導電性基板の表面側の金属配線層を備えた積層体の上に、感放射線性を有する当該樹脂組成物の溶液を塗布した後、塗布面を加熱(プレベーク)することにより、塗膜を形成する。塗布は、少なくとも、導電性基板の表面側の金属配線層の全体が覆われるように行う。プレベークの条件は、各成分の種類や配合割合などによっても異なるが、好ましくは70〜110℃で1〜10分間程度である。塗膜のプレベーク後の膜厚は、好ましくは0.1〜5.0μmであり、より好ましくは0.3〜2.0μm程度である。
(1 ′) Step of forming a coating film of a resin composition having radiation sensitivity on a substrate In this step, on a laminate including a conductive substrate and a metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate. After coating the solution of the resin composition having radiation sensitivity, the coated surface is heated (prebaked) to form a coating film. The application is performed so that at least the entire metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate is covered. Prebaking conditions vary depending on the types and blending ratios of the components, but are preferably about 70 to 110 ° C. for 1 to 10 minutes. The film thickness after pre-baking of the coating film is preferably 0.1 to 5.0 μm, more preferably about 0.3 to 2.0 μm.

塗布に用いる組成物溶液の固形分濃度は、好ましくは5〜50質量%であり、より好ましくは10〜40質量%であり、さらに好ましくは15〜35質量%である。組成物溶液の塗布方法としては、特に限定されず、例えばスプレー法、ロールコート法、回転塗布法(スピンコート法)、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット塗布法などの適宜の方法を採用することができる。これらの塗布法の中でも、特にバー塗布法又はスリットダイ塗布法が好ましい。バー塗布法又はスリットダイ塗布法で組成物溶液の塗布を行うことによって、金属配線層の段差を有する基板に対しても、欠損のないシールド膜を形成することができる。   The solid content concentration of the composition solution used for coating is preferably 5 to 50% by mass, more preferably 10 to 40% by mass, and further preferably 15 to 35% by mass. The method for applying the composition solution is not particularly limited, and for example, an appropriate method such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method (spin coating method), a slit die coating method, a bar coating method, or an ink jet coating method is adopted. can do. Among these coating methods, a bar coating method or a slit die coating method is particularly preferable. By applying the composition solution by the bar coating method or the slit die coating method, a defect-free shield film can be formed even on a substrate having a stepped metal wiring layer.

(3)塗膜に放射線を照射する工程
次いで、所定のパターンを有するフォトマスクを介して、上記の工程(1’)で形成した塗膜の金属配線層上に積層されている部分のみに露光する。露光に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等が挙げられる。これらの放射線の中でも、波長が190〜450nmの範囲にある放射線が好ましく、特に波長365nmの紫外線を含む放射線が好ましい。
(3) Step of irradiating the coating film Next, only a portion of the coating film formed in the above step (1 ′) laminated on the metal wiring layer is exposed through a photomask having a predetermined pattern. To do. Examples of the radiation used for exposure include visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, and X-rays. Among these radiations, radiation having a wavelength in the range of 190 to 450 nm is preferable, and radiation including ultraviolet light having a wavelength of 365 nm is particularly preferable.

露光量は、放射線の波長365nmにおける強度を照度計(Optical Associates Inc.製の「OAI model 356」)を用いて測定した値として、好ましくは100〜10,000J/m、より好ましくは500〜3,000J/mである。 The exposure dose is preferably 100 to 10,000 J / m 2 , more preferably 500 to 500, as a value obtained by measuring the intensity of radiation at a wavelength of 365 nm using a luminometer (“OAI model 356” manufactured by Optical Associates Inc.). 3,000 J / m 2 .

(4)現像工程
次いで、上記(3)の工程で放射線を照射された塗膜を現像することにより、放射線の非照射部分を除去して、所定のパターンを形成する。現像に使用される現像液としては、アルカリ(塩基性物質)の水溶液が好ましく用いられる。使用可能なアルカリの例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア等の無機アルカリ;テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド等の4級アンモニウム塩等が挙げられる。上記のアルカリ水溶液には、メタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加して使用することもできる。
(4) Development Step Next, the coating film irradiated with radiation in the step (3) is developed to remove the non-irradiated portion of the radiation and form a predetermined pattern. As the developer used for development, an aqueous solution of an alkali (basic substance) is preferably used. Examples of alkalis that can be used include inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and ammonia; quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide. Etc. An appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol or a surfactant can be added to the alkaline aqueous solution.

現像方法としては、液盛り法、ディッピング法、シャワー法等のいずれでもよく、現像時間は、好ましくは10〜180秒間程度である。現像後、例えば流水洗浄を30〜90秒間行った後、例えば圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによって、所望のパターンが形成される。   As a developing method, any of a liquid piling method, a dipping method, a shower method and the like may be used, and the developing time is preferably about 10 to 180 seconds. After development, for example, after washing with running water for 30 to 90 seconds, a desired pattern is formed by, for example, air drying with compressed air or compressed nitrogen.

(2’)加熱工程
上記(4)の現像工程後に、ホットプレートやクリーンオーブンなどの適当な加熱装置により、パターニングされた塗膜に対して加熱処理(ポストベーク処理)を実施する。加熱温度としては150〜250℃程度が好ましく、加熱時間としては、ホットプレート使用の場合は5〜30分間程度、クリーンオーブン使用の場合は30〜90分間程度が好ましい。このようにして、色素増感型太陽電池用電極の上に所望の形状を有するシールド膜を形成することができる。
(2 ′) Heating Step After the developing step (4) above, a heat treatment (post-bake treatment) is performed on the patterned coating film by a suitable heating device such as a hot plate or a clean oven. The heating temperature is preferably about 150 to 250 ° C., and the heating time is preferably about 5 to 30 minutes when using a hot plate, and about 30 to 90 minutes when using a clean oven. In this way, a shield film having a desired shape can be formed on the dye-sensitized solar cell electrode.

このように、感放射線性を有する当該樹脂組成物を用い、塗膜形成工程、放射線照射工程(露光工程)、現像工程及び加熱工程によってパターンを形成することで、色素増感型太陽電池用電極における金属配線の段差を有する基板上で、金属配線が存在する部分にのみ均一な厚みのシールド膜を形成することができる。このような方法によれば、金属配線が存在する部分にのみ正確にシールド膜を形成することが可能であり、導電性基板または酸化物半導体層上にシールド膜が誤って形成されることが確実に防止されるため、金属配線上でシールド膜の欠損を生じることがない。また、このように形成されたシールド膜を有する金属配線は、シールド膜の欠損がないことから、電解液に対して高度な耐食性を発揮することができる。   Thus, using the resin composition having radiation sensitivity, a pattern is formed by a coating film forming process, a radiation irradiation process (exposure process), a developing process, and a heating process, so that an electrode for a dye-sensitized solar cell is formed. A shield film having a uniform thickness can be formed only on the portion where the metal wiring exists on the substrate having the metal wiring level difference. According to such a method, it is possible to accurately form the shield film only in the portion where the metal wiring exists, and it is ensured that the shield film is erroneously formed on the conductive substrate or the oxide semiconductor layer. Therefore, the shield film is not lost on the metal wiring. Moreover, since the metal wiring having the shield film formed in this way has no defect in the shield film, it can exhibit high corrosion resistance against the electrolytic solution.

以下、合成例及び実施例によって本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、下記において測定した数平均分子量及び分子量分布(Mw/Mn)は、東ソー(株)製のGPCクロマトグラフ「HLC−8020」(TSKgel α−M 1本、TSKgel α−2500 1本)を用い、流量:1.0ミリリットル/分、溶出溶媒:N,N−ジメチルホルムアミド、カラム温度:35℃の分析条件において、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定した。   EXAMPLES Hereinafter, although a synthesis example and an Example demonstrate this invention further more concretely, this invention is not limited to a following example. In addition, the number average molecular weight and molecular weight distribution (Mw / Mn) measured in the following use GPC chromatograph "HLC-8020" (one TSKgel α-M, one TSKgel α-2500) manufactured by Tosoh Corporation. , Flow rate: 1.0 ml / min, elution solvent: N, N-dimethylformamide, column temperature: measured by gel permeation chromatography (GPC) method under analysis conditions of 35 ° C.

共重合体の製造
[合成例1]
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5質量部と、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200質量部とを仕込んだ。引き続きメタクリル酸グリシジル40質量部、スチレン18質量部、メタクリル酸20質量部及びN−シクロヘキシルマレイミド22質量部を仕込み、窒素置換した後ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−1)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.1質量%であった。得られた共重合体の数平均分子量は7,000であり、分子量分布(Mw/Mn)は2であった。
Production of copolymer [Synthesis Example 1]
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of diethylene glycol ethyl methyl ether. Subsequently, 40 parts by mass of glycidyl methacrylate, 18 parts by mass of styrene, 20 parts by mass of methacrylic acid, and 22 parts by mass of N-cyclohexylmaleimide were charged, and after the atmosphere was replaced with nitrogen, stirring was started gently. The solution temperature was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer (A-1). The solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.1% by mass. The number average molecular weight of the obtained copolymer was 7,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.

[合成例2]
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5質量部と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質量部を仕込んだ。引き続き3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン40質量部、スチレン10質量部、メタクリル酸30質量部及びN−シクロヘキシルマレイミド20質量部を仕込み、窒素置換した後ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(A−2)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は、33.1質量%であった。得られた共重合体の数平均分子量は7,300であり、分子量分布(Mw/Mn)は2であった。
[Synthesis Example 2]
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate. Subsequently, 40 parts by mass of 3- (methacryloyloxyethyl) oxetane, 10 parts by mass of styrene, 30 parts by mass of methacrylic acid and 20 parts by mass of N-cyclohexylmaleimide were charged. The solution temperature was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer (A-2). The solid content concentration of the obtained polymer solution was 33.1% by mass. The number average molecular weight of the obtained copolymer was 7,300, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.

[合成例3]
冷却管及び撹拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル5質量部及びメトキシ酢酸ブチル250質量部を仕込み、引き続いてメタクリル酸18質量部、メタクリル酸トリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−8−イル25質量部、スチレン5質量部、メタクリル酸−2−ヒドロキシエチルエステル30質量部及びメタクリル酸ベンジル22質量部を仕込んで、窒素置換した後、緩やかに攪拌しつつ溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を5時間保持して重合することにより、固形分濃度28.8質量%の共重合体(β−1)を含む重合体溶液を得た。
[Synthesis Example 3]
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by mass of 2,2′-azobisisobutyronitrile and 250 parts by mass of butyl methoxyacetate, followed by 18 parts by mass of methacrylic acid and tricyclomethacrylate [5.2. 1.0 2,6 ] 25 parts by mass of decan-8-yl, 5 parts by mass of styrene, 30 parts by mass of methacrylic acid-2-hydroxyethyl ester and 22 parts by mass of benzyl methacrylate were substituted with nitrogen, and then gently The temperature of the solution was raised to 80 ° C. while stirring and the polymerization was carried out while maintaining this temperature for 5 hours, whereby a polymer solution containing a copolymer (β-1) having a solid content concentration of 28.8% by mass was obtained. Obtained.

次いで、共重合体(β−1)を含む重合体溶液に、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(昭和電工(株)製の「カレンズMOI」)14質量部と4−メトキシフェノール0.1部とを添加した後、40℃で1時間、さらに60℃で2時間攪拌して反応させた。2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート由来のイソシアネート基と共重合体(β−1)の水酸基の反応の進行を、IR(赤外線吸収)スペクトルにより確認した。当初の共重合体(β−1)を含む重合体溶液、1時間反応後の溶液及び40℃で1時間さらに60℃で2時間反応後の溶液それぞれのIRスペクトルで、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネートのイソシアネート基に由来する2270cm−1付近のピークが減少している様子を確認した。この反応により、固形分濃度30.0質量%の共重合体(A−3)を含む重合体溶液を得た。得られた共重合体の数平均分子量は、7,000であり、分子量分布(Mw/Mn)は2であった。 Next, 14 parts by mass of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (“Karenz MOI” manufactured by Showa Denko KK) and 0.1 part of 4-methoxyphenol were added to the polymer solution containing the copolymer (β-1). After the addition, the mixture was reacted by stirring at 40 ° C. for 1 hour and further at 60 ° C. for 2 hours. Progress of the reaction between the isocyanate group derived from 2-methacryloyloxyethyl isocyanate and the hydroxyl group of the copolymer (β-1) was confirmed by IR (infrared absorption) spectrum. In the IR spectra of the polymer solution containing the initial copolymer (β-1), the solution after reaction for 1 hour, and the solution after reaction at 40 ° C. for 1 hour and further at 60 ° C. for 2 hours, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate It was confirmed that the peak in the vicinity of 2270 cm −1 derived from the isocyanate group was decreasing. By this reaction, a polymer solution containing a copolymer (A-3) having a solid content concentration of 30.0% by mass was obtained. The number average molecular weight of the obtained copolymer was 7,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.

[比較合成例1]
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)5質量部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質量部とを仕込んだ。引き続き、スチレン10質量部及びメタクリル酸メチル90質量部を仕込み、窒素置換した後ゆるやかに撹拌を始めた。溶液温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し共重合体(a−1)を含む重合体溶液を得た。得られた重合体溶液の固形分濃度は34.0質量%であった。得られた共重合体の数平均分子量は8,500であり、分子量分布(Mw/Mn)は2であった。
[Comparative Synthesis Example 1]
A flask equipped with a condenser and a stirrer was charged with 5 parts by mass of 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) and 200 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate. Subsequently, 10 parts by mass of styrene and 90 parts by mass of methyl methacrylate were charged, and after the atmosphere was replaced with nitrogen, stirring was started gently. The solution temperature was raised to 70 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours to obtain a polymer solution containing the copolymer (a-1). The obtained polymer solution had a solid content concentration of 34.0% by mass. The number average molecular weight of the obtained copolymer was 8,500, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.

樹脂組成物の調製
[実施例1]
[A]共重合体として、合成例1の共重合体(A−1)を含む重合体溶液(共重合体100質量部(固形分)に相当する量)、[B]重合性化合物として(B−1)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製の「KAYARAD DPHA」)100質量部、[C]感放射線性重合開始剤として(C−1)2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製の「イルガキュア379」)20質量部、[G]密着助剤として(G−1)γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン10.0質量部、[H]界面活性剤として(H−1)界面活性剤である(株)ネオス製の「FTX−218」0.2質量部を加え、さらに固形分濃度が22質量%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを加えた後、孔径0.5μmのミリポアフィルタで濾過して樹脂組成物の溶液(S−1)を調製した。
Preparation of resin composition [Example 1]
[A] As a copolymer, a polymer solution containing the copolymer (A-1) of Synthesis Example 1 (amount corresponding to 100 parts by mass (solid content) of the copolymer), [B] as a polymerizable compound ( B-1) 100 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (“KAYARAD DPHA” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), (C-1) 2-dimethylamino-2- (C) as a radiation-sensitive polymerization initiator 20 parts by mass of 4-methylbenzyl) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one (“Irgacure 379” manufactured by Ciba Specialty Chemicals), [G] adhesion assistant “FTX-218” manufactured by Neos Co., Ltd. which is (G-1) 10.0 parts by mass of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane as an agent and (H-1) surfactant as [H] surfactant. Add 0.2 parts by weight Further after the solid concentration was added propylene glycol monomethyl ether acetate so that 22 mass%, was then filtered through a Millipore filter having a pore size of 0.5μm to prepare a solution (S-1) of the resin composition.

[実施例2〜13、比較例1]
[A]〜[C]及びその他の任意成分として、表1に記載のとおりの種類及び量を使用した以外は、実施例1と同様にして樹脂組成物の溶液(S−2)〜(S−13)及び(s−1)を調製した。
[Examples 2 to 13, Comparative Example 1]
[A] to [C] and other optional components, except that the types and amounts shown in Table 1 were used, in the same manner as in Example 1, except that the resin composition solutions (S-2) to (S -13) and (s-1) were prepared.

色素増感太陽電池の電極基板の作成
図1に示す手順に従って、色素増感型太陽電池の電極基板を作成した。
(1)透明導電基板の作成
塩化スズ(IV)五水和物のエタノール溶液中にフッ化アンモニウムの飽和水溶液を加えて溶解し、FTO(フッ素添加酸化スズ)膜用原料液を作製した。次いで、基材1(高歪点ガラス)の裏面が接するように350℃のヒータプレート上の置き、1時間にわたりヒータプレートで加熱しながら、スプレーノズルを用いてFTO膜用原料液を基材1の表面上に噴霧してFTOからなる透明導電膜2(膜厚0.05〜5μm)を形成した。このようにして基板1の表面に透明導電膜2が形成された透明導電基板を得た(図1(a)参照)。透明導電膜2の膜厚は0.2μmであった。
Preparation of an electrode substrate of a dye-sensitized solar cell An electrode substrate of a dye-sensitized solar cell was prepared according to the procedure shown in FIG.
(1) Preparation of transparent conductive substrate A saturated aqueous solution of ammonium fluoride was added and dissolved in an ethanol solution of tin (IV) chloride pentahydrate to prepare a raw material solution for FTO (fluorine-added tin oxide) film. Next, the substrate 1 (high strain point glass) is placed on a 350 ° C. heater plate so that the back surface of the substrate 1 is in contact with the substrate. A transparent conductive film 2 (film thickness 0.05 to 5 μm) made of FTO was formed by spraying on the surface. In this way, a transparent conductive substrate having the transparent conductive film 2 formed on the surface of the substrate 1 was obtained (see FIG. 1A). The film thickness of the transparent conductive film 2 was 0.2 μm.

(2)金属配線層の形成
上記(1)で透明導電膜2が形成された透明導電基板上に、格子状の孔版を使用し、スクリーン印刷装置(ニューロング精密工業株式会社製の「HR−320」により、印刷用銀ペースト(焼結後の体積抵抗率が3×10−6[Ω・cm]のもの)の格子状パターンの塗膜を形成した。次いで、25℃で10分間静置した後、130℃で10分間乾燥し、さらに最高温度510℃で2時間焼成することにより、銀からなる格子状の金属配線層3を形成した。ここで、金属配線層3は、回路幅(設計値)300μm、膜厚10μmとし、集電端子から格子状に延びる形状にて形成した(図1(b)参照)。
(2) Formation of a metal wiring layer On the transparent conductive substrate on which the transparent conductive film 2 was formed in the above (1), a grid-like stencil was used, and a screen printing apparatus (“HR-” manufactured by Neurong Seimitsu Kogyo Co., Ltd.) was used. 320 "formed a lattice-patterned coating film of a silver paste for printing (with a volume resistivity after sintering of 3 × 10 -6 [Ω · cm]), and then allowed to stand at 25 ° C. for 10 minutes. After that, it was dried at 130 ° C. for 10 minutes, and further fired at a maximum temperature of 510 ° C. for 2 hours to form a grid-like metal wiring layer 3 made of silver, where the metal wiring layer 3 has a circuit width ( The design value was set to 300 μm and the film thickness was set to 10 μm, and the electrode was formed in a shape extending in a grid pattern from the current collecting terminals (see FIG. 1B).

(3)多孔質酸化物半導体層の形成
上記(2)と同様のスクリーン印刷により、透明導電膜2が形成された透明導電基板上の金属配線層3の間に、酸化チタンペースト(固形分20質量%のエタノール分散体)の塗工を行った。次いで、450℃で1時間焼成して、格子状の金属配線層3の間に多孔質酸化物半導体層4を形成した(図1(c)参照)。
(3) Formation of porous oxide semiconductor layer Titanium oxide paste (solid content 20) is formed between the metal wiring layers 3 on the transparent conductive substrate on which the transparent conductive film 2 is formed by screen printing similar to (2) above. (Mass% ethanol dispersion) was applied. Subsequently, it baked at 450 degreeC for 1 hour, and the porous oxide semiconductor layer 4 was formed between the grid | lattice-like metal wiring layers 3 (refer FIG.1 (c)).

(4)金属配線層のシールド膜の形成
バー塗布用の自動塗工装置(テスター産業(株)製のPI−1210自動塗工装置I型)を用いて、上記(3)で作成した積層体の表面の全体に、実施例1の樹脂組成物の溶液(S−1)の塗膜5を形成し(図1(d)参照)、次いで90℃で5分間溶剤を揮発乾燥させた。上記(2)で使用した格子状の孔版と同じ設計サイズのフォトマスクを介して、高圧水銀灯からの紫外線を、365nmでの露光量が1,000J/mとなるように照射した。露光後の塗膜の膜厚は0.6μmであった。次いで、この塗膜を水酸化カリウム水溶液で現像し、さらに180℃で1時間クリーンオーブンにて焼成した。これにより、格子状の金属配線層の表面に、シールド膜6を有する電極基板7を作成した(図1(e)参照)。シールド膜6の膜厚は0.5μmであった。以下、この電極基板を「試料電極基板1」と称する。
(4) Formation of shield film of metal wiring layer Laminate prepared in (3) above using an automatic coating device for bar coating (PI-1210 automatic coating device type I manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.) A coating film 5 of the resin composition solution (S-1) of Example 1 was formed on the entire surface (see FIG. 1D), and then the solvent was evaporated and dried at 90 ° C. for 5 minutes. Ultraviolet rays from a high-pressure mercury lamp were irradiated through a photomask having the same design size as the lattice-shaped stencil used in (2) so that the exposure amount at 365 nm was 1,000 J / m 2 . The film thickness of the coated film after exposure was 0.6 μm. Next, this coating film was developed with an aqueous potassium hydroxide solution, and further baked in a clean oven at 180 ° C. for 1 hour. As a result, an electrode substrate 7 having a shield film 6 was formed on the surface of the grid-like metal wiring layer (see FIG. 1E). The thickness of the shield film 6 was 0.5 μm. Hereinafter, this electrode substrate is referred to as “sample electrode substrate 1”.

実施例1の樹脂組成物の溶液(S−1)に代えて、実施例2〜12の樹脂組成物の溶液(S−2)〜(S−12)を用いる以外は上記と同様にして、(1)〜(4)の工程を行うことにより、電極基板を作成した。これらの電極基板を「試料電極基板2」〜「試料電極基板12」と称する。また、実施例1の樹脂組成物の溶液(S−1)に代えて、実施例13の樹脂組成物の溶液(S−13)を用い、かつ、露光工程及び現像工程を実施しない以外は上記と同様にして、電極基板を作成した。この電極基板を「試料電極基板13」と称する。   Instead of the resin composition solution (S-1) of Example 1 and using the resin composition solutions (S-2) to (S-12) of Examples 2 to 12, the same manner as above, The electrode substrate was created by performing the steps (1) to (4). These electrode substrates are referred to as “sample electrode substrate 2” to “sample electrode substrate 12”. Moreover, it replaces with the solution (S-1) of the resin composition of Example 1, and uses the resin composition solution (S-13) of Example 13 and does not carry out the exposure step and the development step. In the same manner as described above, an electrode substrate was prepared. This electrode substrate is referred to as “sample electrode substrate 13”.

比較例1の樹脂組成物の溶液(s−1)100質量部に対して、ITO微粒子(住友金属鉱山(株)製の「X−500」シリーズ)を20質量部分散させ、ITO微粒子を含有する樹脂組成物溶液を調製した。実施例1の樹脂組成物の溶液(S−1)に代えて、このITO微粒子を含有する樹脂組成物溶液を用いる以外は上記と同様にして、(1)〜(4)の工程を行うことにより、電極基板を作成した。この電極基板を「比較試料電極基板1」と称する。なお、比較例1の樹脂組成物は感放射線性を有するものではないため、上記(4)の工程における露光及び現像を省略した。   20 parts by mass of ITO fine particles (“X-500” series manufactured by Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.) are dispersed with respect to 100 parts by mass of the resin composition solution (s-1) of Comparative Example 1 and contain ITO fine particles. A resin composition solution was prepared. The steps (1) to (4) are performed in the same manner as described above except that the resin composition solution containing the ITO fine particles is used instead of the resin composition solution (S-1) of Example 1. Thus, an electrode substrate was prepared. This electrode substrate is referred to as “comparative sample electrode substrate 1”. In addition, since the resin composition of Comparative Example 1 does not have radiation sensitivity, exposure and development in the step (4) were omitted.

上記の(1)〜(3)の工程を行い、上記(4)の工程(シールド膜の形成)を行わずに電極基板を作成した(比較例2)。このようなシールド膜を有しない電極基板を「比較試料電極基板2」と称する。   The steps (1) to (3) were performed, and an electrode substrate was prepared without performing the step (4) (formation of a shield film) (Comparative Example 2). Such an electrode substrate having no shield film is referred to as “comparative sample electrode substrate 2”.

なお、表1において、それぞれの化合物を示す略号はそれぞれ以下のものを表す。
B−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製の「KAYARAD DPHA」)
B−2:コハク酸モノ−[3−(3−アクリロイルオキシ−2,2−ビス−アクリロイルオキシメチル−プロポキシ)−2,2−ビス−アクリロイルオキシメチル−プロピル]エステル
C−1:2−ジメチルアミノ−2−(4−メチルベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製の「イルガキュア379」)
C−2:エタノン−1−〔9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−1−(O−アセチルオキシム)(チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製の「イルガキュアOX02」)
G−1:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
H−1:フッ素系界面活性剤((株)ネオス製の「FTX−218」)
In Table 1, the abbreviations indicating the respective compounds represent the following.
B-1: Dipentaerythritol hexaacrylate (“KAYARAD DPHA” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
B-2: Succinic acid mono- [3- (3-acryloyloxy-2,2-bis-acryloyloxymethyl-propoxy) -2,2-bis-acryloyloxymethyl-propyl] ester C-1: 2-dimethyl Amino-2- (4-methylbenzyl) -1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one (“Irgacure 379” manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
C-2: Ethanone-1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -1- (O-acetyloxime) (manufactured by Ciba Specialty Chemicals Irgacure OX02 ")
G-1: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane H-1: Fluorine-based surfactant (“FTX-218” manufactured by Neos Co., Ltd.)

色素増感太陽電池の作成
上記の試料電極基板1〜13及び比較試料電極基板1〜2を用い、図2に示す手順に従って、色素増感太陽電池(光電変換素子)を以下の方法で作製した。
(a)光増感色素の吸着
試料電極基板1〜13及び比較試料電極基板1〜2の各々を、濃度5質量%の光増感色素ルテニウムビピリジン錯体(N719色素)のアセトニトリル/t−ブタノール溶液(質量比1:1)中に、25℃で24時間以上浸漬することによって、試料電極基板の多孔質酸化物半導体層の表面に光増感色素を吸着させ、光増感色素が担持された多孔質酸化物半導体層8を有する作用電極とした(図2(f)参照)。
Preparation of dye-sensitized solar cell Using the sample electrode substrates 1 to 13 and comparative sample electrode substrates 1 and 2 described above, a dye-sensitized solar cell (photoelectric conversion element) was prepared according to the procedure shown in FIG. .
(A) Adsorption of photosensitizing dye Each of the sample electrode substrates 1 to 13 and the comparative sample electrode substrates 1 and 2 is a acetonitrile / t-butanol solution of a photosensitizing dye ruthenium bipyridine complex (N719 dye) having a concentration of 5% by mass. In (mass ratio 1: 1), the photosensitizing dye was adsorbed on the surface of the porous oxide semiconductor layer of the sample electrode substrate by being immersed for 24 hours or more at 25 ° C., and the photosensitizing dye was supported. A working electrode having a porous oxide semiconductor layer 8 was obtained (see FIG. 2F).

(b)対向電極付けと電解質溶液の注入
スパッタ形成したTi箔を表面に有する白金層を対向電極9として用い、これを上記(a)で作成した作用電極上に重ねた。不活性ガスを充填した循環精製型グローブボックス内にて、ヨウ素電解質溶液10を作用電極と対向電極の隙間から、スポイトで注入した。ヨウ素電解質溶液10としては、メトキシアセトニトリル中に0.5Mの1,2−ジメチル−3−プロピルイミダゾリウムヨウ化物と0.05Mのヨウ素とを溶解し、さらに、適量のヨウ化リチウムと4−t−ブチルピリジンとを加えたものを用いた(図2(g)参照)。
(B) Attaching the counter electrode and injecting the electrolyte solution A platinum layer having a sputtered Ti foil on the surface was used as the counter electrode 9, and this was overlaid on the working electrode prepared in (a) above. In a circulating and purifying glove box filled with an inert gas, the iodine electrolyte solution 10 was injected with a dropper from the gap between the working electrode and the counter electrode. As the iodine electrolyte solution 10, 0.5 M 1,2-dimethyl-3-propylimidazolium iodide and 0.05 M iodine were dissolved in methoxyacetonitrile, and an appropriate amount of lithium iodide and 4-t What added-butyl pyridine was used (refer FIG.2 (g)).

(c)封止
上記(b)で作成した試料から電解質がこぼれないように、接着性フィルム11(デュポン社製の「サーリン」)を用い、両電極を120℃の加熱プレスにて貼り合せることで封止し、色素増感太陽電池(試料電極基板1〜13及び比較試料電極基板1の各々に対応したもの)を作成した(図2(h)参照)。
(C) Sealing Adhesive film 11 (“Surlin” manufactured by DuPont) is used and both electrodes are bonded together using a 120 ° C. heating press so that the electrolyte does not spill from the sample prepared in (b) above. And a dye-sensitized solar cell (corresponding to each of the sample electrode substrates 1 to 13 and the comparative sample electrode substrate 1) was prepared (see FIG. 2 (h)).

色素増感太陽電池の評価
(I)試料電極基板上でのシールド膜の欠損の有無の確認
金属配線上にシールド膜を有する試料電極基板1〜13及び比較試料電極基板1について、肉眼により、ナトリウムランプ下でシールド膜表面の外観を観察した。シールド膜が形成されていない部分をシールド膜の欠損とし、欠損の有無を評価した。シールド膜の欠損がない場合を○、シールド膜の欠損が確認された場合を×とした。結果を表1に示す。
Evaluation of Dye-Sensitized Solar Cell (I) Confirmation of Shield Film Defect on Sample Electrode Substrate About Sample Electrode Substrates 1 to 13 and Comparative Sample Electrode Substrate 1 having a Shield Film on Metal Wiring The appearance of the shield film surface was observed under the lamp. The portion where the shield film was not formed was defined as a defect in the shield film, and the presence or absence of the defect was evaluated. The case where there was no defect in the shield film was marked as ◯, and the case where the defect in the shield film was confirmed was marked as x. The results are shown in Table 1.

(II)光電変換効率(η)の測定
色素増感型太陽電池の出力特性は、JIS C8913:1998のシリコン結晶系太陽電池セルの出力測定方法に準拠した方法で測定した。300Wソーラーシュミレーター(山下電装株式会社製の「YSS−80」)に、AM1.5G相当のエアマスフィルターを組み合わせ、2次基準Si太陽電池で100mW/cmの光量に調整して測定用光源とし、色素増感型太陽電池(試料電極基板1〜13及び比較試料電極基板1〜2の各々に対応したもの)に光照射しながらポテンショスタット(北斗電工株式会社製の「HSV−100」)を使用してI−Vカーブ特性を測定し、I−Vカーブ特性から得られた開放電圧(Voc;単位V)、短絡電流(Isc;単位mA/cm)、フィルファクター(FF;無単位)を導出した。そして、短絡電流密度(Jsc;単位mA/cm)、及び光電変換効率(η;単位%)を以下の式(1)、(2)を用いて算出した。このように算出された光電変換効率の値が4%以上であれば、金属配線の腐食が発生せず、また、ヨウ素電解質溶液が退色せず、光電変換効率が良好であると言える。結果を表1に示す。なおここで AM1.5Gとは、太陽光が大気を通過する距離を表す。赤道直下での太陽光が大気を通過する距離であるAM1.0Gが基準とされ、AM1.5Gは東京での値に相当する。
(II) Measurement of photoelectric conversion efficiency (η) The output characteristics of the dye-sensitized solar cell were measured by a method based on the output measurement method of the silicon crystal solar cell of JIS C8913: 1998. Combined with a 300W solar simulator (“YSS-80” manufactured by Yamashita Denso Co., Ltd.) and an air mass filter equivalent to AM1.5G, adjusted to a light intensity of 100 mW / cm 2 with a secondary reference Si solar cell, and used as a measurement light source, Potentiostat (“HSV-100” manufactured by Hokuto Denko Co., Ltd.) is used while irradiating the dye-sensitized solar cell (corresponding to each of sample electrode substrates 1 to 13 and comparative sample electrode substrates 1 and 2). The I-V curve characteristics were measured, and the open circuit voltage (Voc; unit V), short circuit current (Isc; unit mA / cm 2 ), and fill factor (FF; no unit) obtained from the IV curve characteristics were measured. Derived. And the short circuit current density (Jsc; unit mA / cm < 2 >) and the photoelectric conversion efficiency ((eta); unit%) were computed using the following formula | equation (1), (2). If the value of the photoelectric conversion efficiency calculated in this way is 4% or more, it can be said that the corrosion of the metal wiring does not occur, the iodine electrolyte solution does not fade, and the photoelectric conversion efficiency is good. The results are shown in Table 1. Here, AM1.5G represents the distance that sunlight passes through the atmosphere. The standard is AM1.0G, which is the distance that sunlight just below the equator passes through the atmosphere, and AM1.5G corresponds to the value in Tokyo.

Figure 0005454285
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Figure 0005454285
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(III)シールド膜を有する金属配線の耐食性の評価
上記(II)の光電変換効率(η)の測定を行った直後に、シールド膜を有する金属配線の外観検査を行った。肉眼により、金属配線を観察し、腐食や配線の変色を確認し、変化が無かった場合には「良好/○」、変化(腐食や変色)が見られた場合には「不良/×」として評価した。結果を表1に示す。
(III) Evaluation of corrosion resistance of metal wiring having shield film Immediately after the measurement of the photoelectric conversion efficiency (η) of (II) above, the appearance inspection of the metal wiring having the shield film was performed. Observe the metal wiring with the naked eye and check the corrosion and discoloration of the wiring. If there is no change, “Good / Good”; if there is a change (corrosion or discoloration), “Fail / ×” evaluated. The results are shown in Table 1.

Figure 0005454285
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表1に示された結果から明らかなように、感放射線性を有する当該樹脂組成物を用いて形成したシールド膜を有する色素増感型太陽電池(実施例1〜12)は、従来技術の樹脂組成物を用いて形成したシールド膜を有する色素増感型太陽電池(比較例1)や、シールド膜を有しない色素増感型太陽電池(比較例2)と比べて、光電変換効率が良好であると同時に、シールド膜の欠損が全くなく、また電解液に対する高い耐食性を有することが分かった。特に、実施例1〜4の結果からは、任意成分である[G]密着助剤及び/又は[H]界面活性剤を用いることによって、さらに光電変換効率が向上することが分かった。また、実施例4〜12の結果からは、種々の[A]〜[C]を用いた場合においても、良好な特性が得られることが分かった。このように、感放射線性を有する当該樹脂組成物を用いることによって、色素増感型太陽電池用電極における金属配線の段差を有する基板上で、金属配線が存在する部分にのみ正確にシールド膜を形成することが可能であり、優れた光電変換効率を維持しつつ、高い耐食性を得ることができる。さらに、実施例13の結果から、本発明の感放射線性を有しない樹脂組成物を用いて形成したシールド膜は、欠損が全くなく、また電解液に対する高い耐食性を有し、このシールド膜を有する色素増感型太陽電池についても、良好な光電変換効率を有することが分かった。   As is clear from the results shown in Table 1, the dye-sensitized solar cells (Examples 1 to 12) having a shield film formed using the resin composition having radiation sensitivity are the resins of the prior art. Compared to a dye-sensitized solar cell having a shield film formed using the composition (Comparative Example 1) and a dye-sensitized solar cell having no shield film (Comparative Example 2), the photoelectric conversion efficiency is good. At the same time, it has been found that there is no defect in the shield film and that it has high corrosion resistance to the electrolyte. In particular, from the results of Examples 1 to 4, it was found that the photoelectric conversion efficiency was further improved by using [G] adhesion assistant and / or [H] surfactant, which are optional components. Moreover, from the results of Examples 4 to 12, it was found that good characteristics can be obtained even when various [A] to [C] are used. As described above, by using the radiation-sensitive resin composition, a shield film is accurately formed only on the portion where the metal wiring exists on the substrate having the metal wiring step in the dye-sensitized solar cell electrode. It can be formed, and high corrosion resistance can be obtained while maintaining excellent photoelectric conversion efficiency. Further, from the results of Example 13, the shield film formed using the resin composition having no radiation sensitivity of the present invention has no defects and has high corrosion resistance against the electrolytic solution, and has this shield film. It was found that the dye-sensitized solar cell also has good photoelectric conversion efficiency.

感放射線性を有する当該樹脂組成物では、感放射線性を利用した露光・現像によってパターンを形成するため、色素増感型太陽電池用電極における金属配線の段差を有する基板上で、金属配線が存在する部分にのみ均一な厚みのシールド膜を形成することが可能である。また、感放射線性を有する当該樹脂組成物は、金属配線の箇所にのみ正確にシールド膜を形成することができるため、膜の欠損がなく、十分な耐食性を有する。このシールド膜を有する色素増感型太陽電池用電極は高い光電変換効率を有する。従って、感放射線性を有する当該樹脂組成物は、色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成材料として好適に用いることができる。さらに本発明の感放射線性を有しない樹脂組成物は、塗布工程及び加熱工程という比較的簡易な工程のみで、低コストにシールド膜を形成可能な樹脂組成物、及びこの耐食性を有するシールド膜を備えた光電変換効率に優れる色素増感型太陽電池用電極を提供することができる。   In the resin composition having radiation sensitivity, a pattern is formed by exposure / development using radiation sensitivity, and therefore metal wiring exists on a substrate having a step of metal wiring in a dye-sensitized solar cell electrode. It is possible to form a shield film having a uniform thickness only on the portion to be formed. Moreover, since the said resin composition which has radiation sensitivity can form a shield film correctly only in the location of a metal wiring, there is no film | membrane defect | deletion and it has sufficient corrosion resistance. The dye-sensitized solar cell electrode having this shield film has high photoelectric conversion efficiency. Therefore, the resin composition having radiation sensitivity can be suitably used as a material for forming a shield film of a dye-sensitized solar cell electrode. Furthermore, the resin composition having no radiation sensitivity of the present invention includes a resin composition capable of forming a shield film at a low cost by only a relatively simple process such as a coating process and a heating process, and a shield film having this corrosion resistance. It is possible to provide a dye-sensitized solar cell electrode having excellent photoelectric conversion efficiency.

1 基板
2 透明導電膜
3 金属配線層
4 多孔質酸化物半導体層
5 塗膜
6 シールド膜
7 シールド膜を有する電極基板
8 光増感色素が担持された多孔質酸化物半導体層
9 対向電極
10 ヨウ素電解質溶液
11 接着性フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 Transparent conductive film 3 Metal wiring layer 4 Porous oxide semiconductor layer 5 Coating film 6 Shielding film 7 Electrode substrate having a shielding film 8 Porous oxide semiconductor layer 9 carrying a photosensitizing dye 9 Counter electrode 10 Iodine Electrolyte solution 11 Adhesive film

Claims (12)

樹脂組成物の硬化物からなるシールド膜を備える色素増感型太陽電池用電極であって、
上記樹脂組成物が、[A]カルボキシル基、エポキシ基及び(メタ)アクリロイル基からなる群より選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する共重合体、及び[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物を含有することを特徴とする色素増感型太陽電池用電極。
A dye-sensitized solar cell electrode comprising a shield film made of a cured product of a resin composition,
[A] a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of [A] carboxyl group, epoxy group and (meth) acryloyl group , and [B] ethylenically unsaturated disilane. A dye-sensitized solar cell electrode, comprising a polymerizable compound having a double bond .
[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物が、単官能(メタ)アクリレート、2官能(メタ)アクリレート及び3官能以上の(メタ)アクリレートからなる群より選択される少なくとも1種である請求項に記載の色素増感型太陽電池用電極。 [B] The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond is at least one selected from the group consisting of monofunctional (meth) acrylates, bifunctional (meth) acrylates, and trifunctional or higher functional (meth) acrylates. The electrode for dye-sensitized solar cells according to claim 1 . 上記樹脂組成物が、[C]感放射線性重合開始剤をさらに含む請求項又は請求項に記載の色素増感型太陽電池用電極。 The dye-sensitized solar cell electrode according to claim 1 or 2 , wherein the resin composition further contains a [C] radiation-sensitive polymerization initiator. [C]感放射線性重合開始剤が、O−アシルオキシム化合物及び/又はアセトフェノン化合物である請求項に記載の色素増感型太陽電池用電極。 [C] The dye-sensitized solar cell electrode according to claim 3 , wherein the radiation-sensitive polymerization initiator is an O-acyloxime compound and / or an acetophenone compound. [A]カルボキシル基、エポキシ基及び(メタ)アクリロイル基からなる群より選択される少なくとも1種の反応性官能基を有する共重合体、及び[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物を含有する色素増感型太陽電池用電極のシールド膜形成用樹脂組成物。 [A] a copolymer having at least one reactive functional group selected from the group consisting of a carboxyl group, an epoxy group and a (meth) acryloyl group , and [B] a polymerizability having an ethylenically unsaturated double bond A resin composition for forming a shield film for a dye-sensitized solar cell electrode, comprising a compound. [C]感放射線性重合開始剤
をさらに含有する請求項に記載の樹脂組成物。
The resin composition according to claim 5 , further comprising [C] a radiation sensitive polymerization initiator .
[B]エチレン性不飽和二重結合を有する重合性化合物が、単官能(メタ)アクリレート、2官能(メタ)アクリレート及び3官能以上の(メタ)アクリレートからなる群より選択される少なくとも1種である請求項5又は請求項6に記載の樹脂組成物。 [B] The polymerizable compound having an ethylenically unsaturated double bond is at least one selected from the group consisting of monofunctional (meth) acrylates, bifunctional (meth) acrylates, and trifunctional or higher functional (meth) acrylates. The resin composition according to claim 5 or 6 . [C]感放射線性重合開始剤が、O−アシルオキシム化合物及び/又はアセトフェノン化合物である請求項又は請求項に記載の樹脂組成物。 [C] The resin composition according to claim 6 or 7 , wherein the radiation-sensitive polymerization initiator is an O-acyloxime compound and / or an acetophenone compound. 請求項から請求項のいずれか1項に記載の樹脂組成物から形成される色素増感型太陽電池用電極のシールド膜。 Dye-sensitized solar cell electrode of the shielding film formed from the resin composition according to any one of claims 5 to claim 8. 請求項に記載のシールド膜を備える色素増感型太陽電池。 A dye-sensitized solar cell comprising the shield film according to claim 9 . (1)導電性基板及びこの導電性基板の表面側の金属配線層を備えた積層体に、少なくとも金属配線層の全体が覆われるように、請求項に記載の樹脂組成物の塗膜を形成する工程、及び
(2)工程(1)で形成された塗膜を加熱する工程
を有する色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成方法。
(1) The coating film of the resin composition according to claim 5 , so that at least the entire metal wiring layer is covered with the laminate including the conductive substrate and the metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate. And (2) a method for forming a shield film for an electrode for a dye-sensitized solar cell, the method including a step of heating the coating film formed in step (1).
(1’)導電性基板及びこの導電性基板の表面側の金属配線層を備えた積層体に、少なくとも金属配線層の全体が覆われるように、請求項から請求項のいずれか1項に記載の樹脂組成物の塗膜を形成する工程、
(3)工程(1’)で形成した塗膜の金属配線層上に積層されている部分のみに放射線を照射する工程、
(4)工程(3)で放射線を照射された塗膜を現像する工程、及び
(2’)工程(4)で現像された塗膜を加熱する工程
を有する色素増感型太陽電池用電極のシールド膜の形成方法。
(1 ′) Any one of claims 6 to 8 , wherein at least the entire metal wiring layer is covered with the laminate including the conductive substrate and the metal wiring layer on the surface side of the conductive substrate. A step of forming a coating film of the resin composition described in 1.
(3) A step of irradiating only the part laminated on the metal wiring layer of the coating film formed in step (1 ′),
(4) A dye-sensitized solar cell electrode comprising: a step of developing the coating film irradiated with radiation in step (3); and (2 ′) a step of heating the coating film developed in step (4). A method of forming a shield film.
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