JP5435584B2 - Substrate storage container - Google Patents

Substrate storage container Download PDF

Info

Publication number
JP5435584B2
JP5435584B2 JP2010160665A JP2010160665A JP5435584B2 JP 5435584 B2 JP5435584 B2 JP 5435584B2 JP 2010160665 A JP2010160665 A JP 2010160665A JP 2010160665 A JP2010160665 A JP 2010160665A JP 5435584 B2 JP5435584 B2 JP 5435584B2
Authority
JP
Grant status
Grant
Patent type
Prior art keywords
substrate storage
storage container
side
identification plate
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010160665A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2012023240A (en )
Inventor
和正 大貫
Original Assignee
信越ポリマー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Grant date

Links

Images

Description

本発明は基板収納容器に係り、特に、半導体ウェーハ、マスクガラス等からなる精密基板が収納され、搬送がなされるとともに、前記精密基板を加工・処理する加工装置に位置決め固定される基板収納容器に関する。 The present invention relates to a substrate storage container, in particular, a semiconductor wafer, is precisely substrate housing made of a mask glass, together with the conveying is made to a substrate storage container is positioned and fixed to a processing apparatus for processing and treating the precision substrate .

この種の基板収納容器は、いわゆるフロントオープンボックスタイプと称され、正面に形成された開口を通して精密基板(以後、基板と称す)を収納できる容器本体と、この容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、を備えたものが知られている。 The lid substrate storage container of this type is referred to as a so-called front open box type, for closing precision substrate (hereinafter referred to as substrate) through an opening formed in the front and the container body can hold, the opening of the container body those with a body, is known. 容器本体の内周面の一部には上下方向に並設された複数の支持溝が対向して設けられ、各基板は支持溝のそれぞれに支持されて容器本体内に同軸上に整列配置されて収納されるようになっている。 Some of the inner peripheral surface of the container body disposed opposite the plurality of support grooves that are arranged in the vertical direction, the substrate is aligned coaxially supported by the container body to the respective support grooves It is adapted to be housed Te.

また、このような基板収納容器は、半導体デバイスの製造工程において、作業者による搬送方法に代え、様々な自動機によって搬送されるようになっている。 Moreover, such a substrate storage container, in a manufacturing process of semiconductor devices, instead of the transfer method according to the operator, and is conveyed by a variety of automated machines. これにより、基板収納容器内の各基板の汚染を防止できるとともに、効率的な作業を実現することができる。 Thus, it is possible to prevent contamination of the substrates of the substrate storage container, it is possible to realize efficient work.

たとえば、工場内には、OHT(Overhead Hoist For example, in the factory, OHT (Overhead Hoist
Transportation)と称される方式が採用され、基板収納容器の天面に取り付けられたロボティグンフランジを搬送機構によって把持することによって、いわゆる天井搬送ができるようになっている。 Transportation) method called is employed, by gripping by the transport mechanism Robo tee Gun flange attached to the top surface of the substrate storage container, so that it is called ceiling transport.

また、上記OHT方式の他に、基板収納容器の底部に取り付けられた一対のボトムレールや、基板収納容器の左右の外側面のそれぞれに取り付けられたサイドフォークリフトフランジを使用して基板収納容器を持ち上げ、搬送するAGV(Automated Guided Vehicle)方式、PGV(Person Further, in addition to the OHT system, lift the substrate storage container using a pair of or bottom rail attached to the bottom portion of the substrate storage container, the side forklift flange attached to the respective outer surfaces of the left and right of the substrate storage container , AGV for transporting (Automated Guided Vehicle) mode, PGV (Person
Guided Vehicle)方式等が採用されている。 Guided Vehicle) system or the like is employed.

このような構成からなる基板収納容器の構成は、たとえば下記特許文献1に開示がなされている。 Structure of a substrate storage container having such a configuration, for example, disclosed in Patent Document 1 have been made.

特開2000-306988号公報 JP 2000-306988 JP

このような基板収納容器は、工場内において、複数の基板収納容器が、それぞれ、各種の行程ごと、各種の仕様ごとに形態を変えて搬送されるようになっている。 Such substrate storage containers, in the factory, a plurality of substrate storage containers, respectively, each type stroke is adapted to be transported by changing the form for each type specifications. このため、作業員は、各基板収納容器において行程および仕様の種類を認識しておくことが必要となる場合がある。 Therefore, the operator may be necessary to be aware of the type of stroke and specification in each substrate container.

この場合、基板収納容器に取り付けられるマニュアルハンドル等を色分けすることによって該基板収納容器を区別するようにする方法、また、基板収納容器のたとえば背面側にカードケース等を取り付けることによって該基板収納容器を区別するようにする方法等が考えられる。 In this case, a method so as to distinguish between the substrate accommodating container by color-coded manual handle or the like attached to a substrate storage container also, the substrate housing by attaching the card case or the like for example the rear side of the substrate storage container vessel How to to distinguish the like can be considered.

しかし、マニュアルハンドル等を色分けする場合、基板収納容器の性能(用途)に応じて材料が選択されていることから、該材料によっては着色の色が制限されてしまう不都合が生じる。 However, if color-coding the manual handle or the like, since the material according to the performance of the substrate storage container (use) is selected, the disadvantage that the color of the colored is limited caused by the material. この不都合を解消するには複雑な構成となってしまうことを免れ得なくなる。 It will not give spared that becomes complicated structure to overcome this disadvantage. また、カードケース等を取り付ける場合、該カードケースを基板収納容器のたとえば背面側からしか目視できず、作業者の位置によっては該基板収納容器を識別できないという不都合が生じる。 Also, when mounting the card case or the like, can not be visually only the card case, for example, from the back side of the substrate storage container, disadvantageously not identify the substrate storage container depending on the position of the operator occurs.

そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成にも拘わらず、たとえ異なる方向から観ても、容易に基板収納容器を区別できるように構成した基板収納容器を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, despite a simple configuration, even when viewed from example different directions, easily provide the structure to the substrate storage container to be able distinguish substrate storage container It is to.

本発明は、容器本体の隣接する外壁面の境界部となる稜線部に識別プレートを配置させることによって、異なる方向から前記識別プレートを目視できるようにしたものである。 The present invention, by arranging the identification plate ridge at the boundary portion of the adjacent outer wall surface of the container body is obtained by allowing visually the identification plate from a different direction.

本発明は、以下に示す構成によって把握される。 The present invention is grasped by the following construction.
(1)本発明の基板収納容器は、開口を有し前記開口を通して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、前記容器本体の第1外壁面と前記第1外壁面と隣接する第2外壁面との稜線部に着色された第1識別プレートが、前記第1外壁面側および前記第2外壁面側に延在された幅を有して着脱自在に取り付けられていることを特徴とする。 (1) a substrate storage container of the present invention is a substrate storage container having a container body for accommodating the substrates through the opening has an opening, and a lid for closing the opening of the container body, the container body first identification plate colored in ridgeline portion between the second outer wall surface adjacent to the first outer wall surface and the first outer wall surface of and extends the first outer wall surface and the second outer wall surface characterized in that a width is detachably attached.
(2)本発明の基板収納容器は、(1)の構成において、前記第1外壁面は、前記容器本体を前記開口側から観た場合の左右の各側壁面であり、前記第2外壁面は背側壁面であることを特徴とする。 (2) substrate storage container of the present invention, in the configuration of (1), the first outer wall surface is the side wall surfaces of the right and left when viewed the container body from the opening side, the second outer wall surface characterized in that is dorsal wall.

(3)本発明の基板収納容器は、(2)の構成において、前記第1識別プレートは、容器本体の天壁面側に延在されて取り付けられていることを特徴とする。 (3) a substrate storage container of the present invention, in the configuration of (2), the first identification plate is characterized in that attached to extend on the top wall surface of the container body.
(4)本発明の基板収納容器は、(1)の構成において、前記第1識別プレートが取り付けられる前記容器本体の前記稜線部はR加工され、前記識別プレートは前記R加工面に沿って湾曲されて形成されていることを特徴とする。 (4) a substrate storage container of the present invention, in the configuration of (1), curved said ridge portions of the first said container body identification plate is attached is R processing, the identification plate along the R processing surface characterized in that it is formed by.
(5)本発明の基板収納容器は、(1)の構成において、前記第1識別プレートは、容器本体に形成された係止部に係止される係止片が形成されていることを特徴とする。 (5) a substrate storage container of the present invention, in the configuration of (1), wherein the first identification plate, characterized in that engaging pieces to be engaged with an engaging portion formed in the container body is formed to.
(6)本発明の基板収納容器は、(1)の構成において、前記蓋体の外壁面に第2識別プレートが着脱可能に取り付けられていることを特徴とする。 (6) a substrate storage container of the present invention is characterized in that it has second identification plate removably attached to the outer wall surface of the structure in the lid (1).
(7)本発明の基板収納容器は、(6)の構成において、前記第2識別プレートは、前記蓋体に係止される突出片が形成されていることを特徴とする。 (7) The substrate storage container of the present invention, in the configuration of (6), said second identification plate is characterized in that the projecting piece to be locked to the lid body is formed.

本発明の基板収納容器によれば、簡単な構成にも拘わらず、たとえ異なる方向から観ても、容易に基板収納容器を区別できる構成とすることができる。 According to the substrate storage container of the present invention, despite a simple configuration, even when viewed from even a different direction, it can be configured to easily distinguish substrate container.

本発明の基板収納容器(識別プレートが取り付けられている)を上方背面側から観た斜視図である。 The substrate container of the present invention (identification plate is mounted) is a perspective view as viewed from the upper rear side. 図1の丸枠Aの部分を拡大して示した図である。 It is an enlarged view showing the portion circled A in Fig. 図1と対応して描画された基板収納容器で、識別プレートを取り外した状態を示す斜視図である。 In the substrate storage container is drawn in correspondence with FIG. 1 is a perspective view showing a state in which removal of the identification plate. 識別プレートの裏面の構成を示す斜視図である。 It is a perspective view showing a back surface structure of the identification plate. 本発明の基板収納容器を上方前面側から観た斜視図である。 The substrate container of the present invention is a perspective view as viewed from the upper front side. 基板収納容器の蓋体に取り付けられる識別プレート(第2識別プレート)を示す平面図である。 It is a plan view showing a lid body to the mounting is identification plate substrate storage container (second identification plate). 第2識別プレートを基板収納容器の蓋体に取り付けた際の状態を示す断面図である。 The second identification plate is a sectional view showing a state when attached to the lid of the substrate storage container. 本発明の基板収納容器の他の実施形態を示す斜視図である。 It is a perspective view showing another embodiment of a substrate storage container of the present invention.

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態(以下、実施形態)について詳細に説明する。 Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention (hereinafter, embodiments) will be described in detail. なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。 Incidentally, it is denoted by the same reference numerals to the same elements throughout the description of the embodiments.
(実施態様1) (Embodiment 1)
図1は、たとえば、フロントオープンボックスタイプと称される基板収納容器100の構成図で、上方背面側から観た斜視図である。 Figure 1, for example, in the configuration diagram of a called front open box type substrate storage container 100 is a perspective view as viewed from the upper rear side. 図1に示す基板収納容器100はたとえば直径450mmの半導体ウェーハからなる大型基板を収納できるようになっている。 Substrate storage container 100 shown in FIG. 1 for example, to be able to house the large substrate comprising a semiconductor wafer having a diameter of 450 mm.

図1において、基板収納容器100は、まず、容器本体3と、この容器本体3の前方に形成された開口(図示せず)を閉鎖する蓋体4とから構成されている。 In Figure 1, the substrate storage container 100 first, the container main body 3, and a lid 4 for closing the front opening formed in the container body 3 (not shown).

容器本体4には前記開口を通して複数の基板(図示せず)が収納されるようになっている。 The container body 4 so that the plurality of substrates (not shown) are accommodated through the opening. 各基板は水平状態で高さ方向に一定間隔を有して整列されるようになっている。 Each board is adapted to be aligned with a predetermined interval in the height direction in a horizontal state. このため、容器本体4の開口側から観た内部の左右の内側面には、それぞれ、各基板の周縁を溝部によって支持する一対の支持部(図示せず)が取り付けられている。 Therefore, the inner surface of the left and right internal viewed from the opening side of the container body 4, respectively, a pair of support portions for supporting the peripheral edge of each substrate by the groove portion (not shown) is attached.

蓋体4は、容器本体3に基板を収納した後に、容器本体3の開口を閉鎖するように配置されるとともに、表面に形成された一対のキー孔4A、4B(図5参照)にキーを差し込んで回転させることによって容器本体3との施錠がなされるようになっている。 Cover 4, after housing the substrate to the container body 3, while being disposed to close the opening of the container body 3, a pair of key hole 4A formed on the surface, the key 4B (see FIG. 5) so that the locking of the container body 3 is made by rotating insert. 蓋体4には一対の施錠機構(図示せず)が内蔵され、これら施錠機構は前記各キーの操作に連動して容器本体3の前記開口の周辺の一部に係止される係止部が備えられて構成されている。 The cover 4 a pair of locking mechanism (not shown) is incorporated, the engaging portions of these locking mechanisms to be engaged to a portion of the periphery of the opening of the container body 3 in conjunction with the operation of each key It is configured provided. また、蓋体4の容器本体3と当接する個所にはシール用のガスケット(図示せず)が備えられ、容器本体3と蓋体4との施錠がなされた際には前記ガスケットによって容器本体3と蓋体4との気密性が保たれるようになっている。 Further, in a location in contact with the container main body 3 of the lid 4 (not shown) gasket seal is provided, the container body 3 when the locking of the container body 3 and the cover 4 has been performed by the gasket air-tightness of the cover 4 is adapted to be maintained with.

なお、蓋体4の裏面にはフロントリテーナ(図示せず)が設けられ、このフロントリテーナは、各基板の前方の周縁を個別に接触して該基板を保持する弾性片を備えて構成されている。 Incidentally, the front retainer (not shown) is provided on the rear surface of the lid 4, the front retainer is configured with an elastic piece in front of the periphery of each substrate in contact individually holding a substrate there. 各基板は、それらの奥側の周縁を規制する前記支持部の壁面(ストッパ)と前記フロントリテーナとの間に位置規制されるようになっている。 Each board is adapted to be restricted in position between the wall surface of the supporting portion for restricting the periphery of their inner side (stopper) and the front retainer.

容器本体3の天壁面UWには、図1に示すように、ロボテックフランジ7が取り付けられている。 The top wall UW of the container body 3, as shown in FIG. 1, Robotech flange 7 is attached. このロボテックフランジ7は、工場内に設置された搬送機構によって把持され、基板収納容器100を天井搬送できるようになっている。 The Robotech flange 7 is gripped by the installed transport mechanism in the factory, so that the substrate storage container 100 can be ceiling transport. ロボテックフランジ7の周辺には搬送機構との位置決めがなされる位置決め用V溝7aが形成されている。 Positioning V groove 7a which is made as positioning of the transport mechanism is formed in the periphery of the Robotech flange 7.

また、容器本体2の開口(蓋体4)側から観た左右の側壁面SW1、SW2には、開口(蓋体4)側から奥側にかけて延在するサイドフォークリフトフランジ5が取り付けられている。 Further, the side wall surface SW1, SW2 of the left and right openings viewed from (cover 4) side of the container main body 2, opening side forklift flange 5 extending toward the back side from (cover 4) side is attached. このサイドフォークリフトフランジ5は、工場内に設置された搬送機構によって把持され、基板収納容器100を持ち上げることができるようになっている。 The side forklift flange 5 is gripped by the installed transport mechanism in the factory, so that it is possible to lift the substrate storage container 100. サイドフォークリフトフランジ5の周辺には前記搬送機構との位置決めがなされる位置決め用V溝6が形成されている。 The surrounding side forklift flange 5 positioning V-grooves 6 positioned between the transfer mechanism is made is formed.

また、図1では明瞭に示されていないが、容器本体3の底面には、ボトムプレート10が取り付けられている。 Although not clearly shown in FIG. 1, the bottom surface of the container body 3, the bottom plate 10 is attached. このボトムプレート10は、工場内に設置された搬送機構によって、基板を加工等するための加工装置等に案内され、該加工装置等に位置決めされて配置できるようになっている。 The bottom plate 10 by the installed transport mechanism in the factory, is guided to the processing machine or the like for the substrate processing or the like, so that can be arranged are positioned to the machining apparatus or the like. これにより、ボトムプレート10の裏面には、たとえば、コンベアレール、識別孔、固定用貫通孔、および位置決め機構等が備えられて構成されている。 Thus, the rear surface of the bottom plate 10, for example, a conveyor rail, the identification holes, fixing through-hole, and the positioning mechanism and the like are configured provided.

そして、この実施形態1において、容器本体3の側壁面SW1と背壁面BWとの境界となる稜線部は、たとえばR加工された湾曲面として構成されている。 Then, in this embodiment 1, the ridge line portion at the boundary between the side wall surface SW1 and the back wall BW of the container body 3 is configured as a curved surface for example being R processing. さらに側壁面SW1と背壁面BWの稜線部には識別プレート1Aが着脱自在に取り付けられている。 Furthermore the ridge portion of the sidewall surface SW1 and the back wall BW identification plate 1A is detachably attached. この識別プレート1Aは所定の色に着色され、この色を認識することによって、当該基板収納容器100の行程、仕様の種別を区別できるようになっている。 The identification plate 1A is colored in a predetermined color by recognizing the color, stroke of the substrate storage container 100, which is to distinguish the type of specification. 識別プレート1Aは、容器本体3の天壁面UW側および底面側のそれぞれに端辺を有する板材から構成され、前記稜線部のR加工面に沿って湾曲された形状となっている。 Identification plate 1A is constructed of a plate material having end side to each of the top wall UW side and bottom side of the container body 3, and has a curved shape along the R processing surface of the ridge portion. また、識別プレート1Aは、側壁面SW1および背壁面BWのそれぞれの側に延在された幅を有するようになっている。 The identification plate 1A is adapted to have a the extended width on each side of the side wall surfaces SW1 and the back wall BW. これにより、作業員が、基板収納容器100を側壁面SW1側から観た場合あるいは背壁面BW側から観た場合においても識別プレート1Aを目視できるようになっている。 Thus, workers have become a substrate storage container 100 to be able to visually identify plates 1A even when viewed from the case viewed from the side wall surface SW1 side or rear wall surface BW side.

同様に、容器本体3の側壁面SW2と背壁面BWとの境界となる稜線部も、たとえばR加工された湾曲面として構成されている。 Similarly, ridge at the boundary between the side wall surface SW2 and the back wall BW of the container main body 3 also, for example, is formed as a curved surface that is R processing. さらに側壁面SW2と背壁面BWの稜線部にも識別プレート1Bが着脱自在に取り付けられている。 Furthermore even identification plate 1B the ridge portion of the sidewall surface SW2 and the back wall BW is detachably attached. 識別プレート1Bは、容器本体3の天壁面UW側および底面側のそれぞれに端辺を有する板材から構成され、前記稜線部のR加工面に沿って湾曲された形状となっている。 Identification plate 1B is composed of a plate material having end side to each of the top wall UW side and bottom side of the container body 3, and has a curved shape along the R processing surface of the ridge portion. また、識別プレート1Bは、側壁面SW2および背壁面BWのそれぞれの側に延在された幅を有するようになっている。 The identification plate 1B is adapted to have a the extended width on each side of the side wall surfaces SW2 and the back wall BW. これにより、作業員が、基板収納容器100を側壁面SW2側から観た場合あるいは背壁面BW側から観た場合においても識別プレート1Bを目視できるようになっている。 Thus, workers have become a substrate storage container 100 to be able to visually identify the plate 1B even when viewed from the case viewed from the side wall surface SW2 side or rear wall surface BW side.

識別プレート1A、1B(後述の識別プレート1Cに対して第1識別プレートと称する場合がある)は、上述したように容器本体3に着脱可能に取り付けられている。 Identification plates 1A, 1B (sometimes referred to as a first identification plate against later identification plate 1C) is removably attached to the container body 3 as described above. 図3は、図1と対応して描画された基板収納容器100で、識別プレート1A、1Bを容器本体3から取り外した状態を示している。 Figure 3 is a substrate storage container 100 drawn in correspondence with FIG. 1 shows a state in which the detached identification plates 1A, and 1B from the container body 3. 図3において、容器本体3の識別プレート1A、1Bの取り付け個所の近傍にはたとえば4個の係止部12が形成されている。 3, identification plates 1A, 1B engagement portion 12 of four for example in the vicinity of the attachment points of the container body 3 is formed. この係止部12は、たとえば識別プレート1Aの取り付け個所の近傍において、側壁面SW1側において2個、背壁面BW側において2個設けられている。 The locking portion 12 is, for example, in the vicinity of the attachment point of the identification plate 1A, two at the sidewall surface SW1 side, are provided two in the back wall BW side.

また、図4は、基板収納容器100から取り外した識別プレート1Aを裏面(容器本体3と対向する面)側から観た斜視図である。 4 is a perspective view as viewed identification plate 1A has been removed from the substrate storage container 100 from the back side (the container main body 3 surface facing) side. 図4において、識別プレート1Aは、その長手方向の辺において係止片16が設けられている。 4, the identification plate 1A is engaging piece 16 is provided at its longitudinal sides. これら係止片16は、それぞれ前記係止部12と対応する個所に形成され、これら係止部12と係合するように形成されている。 These locking pieces 16 are each formed in a corresponding location with the locking portion 12 is formed so as to engage with these locking portions 12. 係止部12と係止片16の詳細な構成は、後に図2を用いて説明する。 Detailed configuration of the engaging portion 12 and the engaging piece 16 will be described with reference to FIG. 2 below. また、識別プレート1Aの裏面には、長手方向に沿って並設されたたとえば3個の支承リブ15aが形成され、これら支承リブ15aは、識別プレート1Aを容器本体3に取り付けた際に、容器本体3側に形成された長孔15b(図3参照)に嵌合されるようになっている。 Further, on the back surface of the identification plate 1A, juxtaposed for example three bearing ribs 15a in the longitudinal direction are formed, these bearing ribs 15a, when fitted with identification plate 1A on the container body 3, the container It adapted to be fitted into the long hole 15b formed in the body 3 side (see FIG. 3).

図2は、図1の丸枠Aの部分を拡大して示した図で、識別プレート1Aの係止片16と容器本体3の係止部12との係合状態を示している。 Figure 2 is a view showing an enlarged portion circled A in Fig. 1, shows an engagement state between the engaging portion 12 of the locking piece 16 and the container body 3 of the identification plate 1A. 図2において、識別プレート1Aの係止片16は識別プレート1Aの辺から突出して形成されている。 2, the locking piece 16 of the identification plate 1A is formed to protrude from the side of the identification plate 1A. また、係止片16は先端から識別プレート1Aとの基端側へかけて高さが高くなるように形成(表面側に傾斜面が形成)され、また、識別プレート1Aの近傍において高さが急激に低くなる段差部(戻り止め部)を有するようになっている。 Further, the engaging piece 16 is formed so that the height increases over proximally of the identification plate 1A from the front end (inclined surface formed on the surface side), also the height in the vicinity of the identification plate 1A It has to have a step portion suddenly becomes low (detents).

すなわち、係止片16は楔型に形成されている。 That is, the engaging piece 16 is formed in a wedge shape. 容器本体3の係止部12は、図2に示すように、識別プレート1Aの係止片16が挿入される貫通孔を備えるリブとして形成されている。 The locking portion of the container body 3 12, as shown in FIG. 2, is formed as a rib with a through hole engaging piece 16 of the identification plate 1A is inserted. この係止部12の貫通孔に係止片16が先端から挿入された際には、係止片16に形成された前記段差部(戻り止め部)が係止部12の側壁に当接され、係止片16が係止部12から容易に抜けることがないように構成されている。 When the locking piece 16 into the through hole of the engagement portion 12 is inserted from the tip, the stepped portion formed in the engaging piece 16 (detents) is brought into contact with the side wall of the engaging portion 12 , locking piece 16 is configured so as not to escape easily from the engagement portion 12. なお、識別プレート1Aを容器本体3から取り外す場合、係止部12から突出した係止片16の先端を容器本体3側へ若干押圧するようにすればよい。 In the case of removing the identification plate 1A from the container body 3, it may be the tip of the engaging piece 16 which projects from the engagement portion 12 so as to slightly press the container body 3 side. これにより、係止片16の前記段差と係止部12の前記側壁との当接が解除されるからである。 This is because contact between the stepped and the side wall of the engaging portion 12 of the locking piece 16 is released. このような容器本体3に対する識別プレート1A、1Bの取り付け構造とすることにより、容器本体3に対する識別プレート1A、1Bの着脱を容易にでき、がたつきのない装着ができるという効果を奏する。 Identification plate 1A for such container body 3, by a mounting structure of 1B, can be identified plate 1A with respect to the container body 3, the 1B detachable for easily, an effect that it is free from rattling mounted.

なお、識別プレート1A、1Bは、たとえば、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリブチテンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミドなどの熱可塑性樹脂等から構成することができる。 The identification plates 1A, 1B, for example, can be configured polycarbonate, polypropylene, poly butylene polymethylpentene terephthalate, polyether ether ketone, polyacetal, cycloolefin polymer, a thermoplastic resin such as polyether imide. これらの熱可塑性樹脂は、種々の着色剤を添加することで、識別プレートを複数の色ごとに着色させて形成することができる。 These thermoplastic resins, by adding various colorants can be formed by colored identification plate for each of a plurality of colors. このように着色された識別プレート1A、1Bを基板収納容器100に取り付けることにより、当該色の識別によって基板収納容器100の行程あるいは仕様の種類を容易に区別することができるようになる。 Such colored identification plates 1A, by attaching the 1B to the substrate storage container 100, it is possible to easily distinguish the type of stroke or specifications of substrate storage container 100 by the identification of the color.
(実施態様2) (Embodiment 2)
図5は、本発明の基板収納容器の他の実施態様3を示す構成図で、基板収納容器100を上方前面側から観た斜視図となっている。 Figure 5 is a block diagram illustrating another embodiment 3 of the substrate storage container of the present invention, it has a perspective view watched substrate storage container 100 from the upper front side.

図5において、基板収納容器100は、たとえば、実施態様1に示したように、容器本体3の側壁面SW1と背壁面BWの稜線部に、また、側壁面SW2と背壁面BWの稜線部に、それぞれ、識別プレート1A、識別プレート1Bが着脱自在に取り付けられたものとなっている。 5, the substrate storage container 100, for example, as shown in embodiment 1, the ridge portion of the sidewall surface SW1 and the back wall BW of the container body 3, also in the ridge portion of the sidewall surface SW2 and the back wall BW , respectively, identification plates 1A, the identification plate 1B has become that removably attached.

そして、蓋体4の表面(外壁面)のほぼ中央部に、たとえば矩形状の凹部23が形成され、この凹部23内に識別プレート1C(前記識別プレート1A、1Bに対して第2識別プレートと称する場合がある)が収納されている。 Then, the substantially central portion of the surface of the lid 4 (outer wall surface), for example, be a rectangular recess 23 is formed, the identification plate 1C the recess 23 (the identification plate 1A, a second identification plate against 1B there) is housed when referred. この識別プレート1Cは、たとえば、識別プレート1A、識別プレート1Bと同色に着色されて形成されている。 The identification plate 1C, for example, identification plates 1A, are formed by colored identification plate 1B and the same color. 識別プレート1Cもたとえば識別プレート1A、識別プレート1Bと同材料で構成されている。 Identification plate 1C also for example identification plates 1A, is composed of the identification plate 1B same material.

このようにした場合、作業員は、基板収納容器100を、側壁面SW1、SW2、背壁面BWの各側のみならず、正面(蓋体4)側から観た場合にも、識別プレート1Cを目視でき、当該識別プレート1Cの色の識別によって基板収納容器100の行程あるいは仕様の種類を容易に区別することができるようになる。 In such a case, the worker, the substrate storage container 100, the side wall surface SW1, SW2, not only each side of the back wall BW, even when viewed from the front (cover 4) side, the identification plate 1C it is visible, so the type of stroke or specifications of substrate storage container 100 can be easily distinguished by the identification of the color of the identification plate 1C. また、基板収納容器100を保管用ラック等に保管させる場合において、通常、基板収納容器100は蓋体4側を正面にして保管する。 Further, stored in the case of storing the substrate storage container 100 in a storage rack or the like, usually, the substrate storage container 100 and the lid 4 side in the front. この場合、作業員は、基板収納容器100に取り付けられた識別プレート1Cを正面側から容易に確認でき、基板収納容器100を容易に区別することができるようになる。 In this case, the operator, the identification plate 1C attached to the substrate storage container 100 can be easily confirmed from the front side, so that the substrate storage container 100 can be easily distinguished.

図6は、識別プレート1Cを基板収納容器100から取り出した状態で示した平面図である。 Figure 6 is a plan view showing an identification plate 1C in a state taken out from the substrate storage container 100. 識別プレート1Cはたとえば水平方向に長手辺を有する矩形状からなり、短手辺のそれぞれにはたとえば2個の突出片27を有し、それぞれの突出片27には貫通孔28が形成されている。 Identification plate 1C are made rectangular with its long sides, for example, in the horizontal direction, has a projecting piece 27 for example two Each Tantehen, the through hole 28 is formed in each of the protruding pieces 27 .

図7は、図5のVII−VII線における断面図である。 Figure 7 is a cross-sectional view taken along line VII-VII of FIG. 識別プレート1Cは、蓋体4の凹部23内に収納されているとともに、突出片27は、前記凹部23の側壁面に形成された孔22を通して蓋体4の背面側に位置付けられるようになっている。 Identification plate 1C, together are housed in the recess 23 of the lid 4, the projecting piece 27 is adapted to be positioned on the back side of the cover 4 through a hole 22 formed in the side wall surface of the concave portion 23 there. また、蓋体4の背面側には突出片27の貫通孔28に嵌合し得る円筒突起24が形成されている。 Further, on the back side of the cover 4 cylindrical projection 24 is formed which can fit into the through hole 28 of the projecting piece 27. この円筒突起24は比較的高さが小さく形成されている。 The cylindrical projection 24 is relatively high is formed smaller.

可とう性からなる識別プレート1Cは、湾曲させながら蓋体4の凹部23内に収納させることによって、突出片27の貫通孔28に円筒突起24が嵌合され、容易に抜けることがないようになる。 Identification plate 1C consisting of flexible, by which is accommodated in the recess 23 of the lid 4 while bending, the cylindrical projection 24 is fitted into the through hole 28 of the projecting pieces 27, so as not to easily escape Become. なお、識別プレート1Cを蓋体4から取り外す場合、識別プレート1Cを湾曲させながら外すようにすればよい。 In the case of removing the identification plate 1C from the lid 4, it is sufficient to disengage while bending the identification plate 1C. これにより、識別プレート1Cの係止片26は円筒突起24との嵌合が解除されるからである。 Thus, the locking piece 26 of the identification plate 1C is because fitting the cylindrical protrusion 24 is released.
(実施態様3) (Embodiment 3)
図8は、本発明の基板収納容器の他の実施態様3を示す構成図で、図1と対応づけて描いた図となっている。 Figure 8 is a block diagram illustrating another embodiment 3 of the substrate storage container of the present invention, it has a view drawn in association with FIG.

図8において、図1の場合と異なる部分は、まず、識別プレート1A、1Bのそれぞれにおいて、天壁面UW側の端部を天壁面UWにまで延在する延在部1Qを設けたことにある。 8, parts different from the case of FIG. 1, first, identification plates 1A, in each of 1B, in the provision of the extending portion 1Q extending the ends of the top wall UW side to the top wall UW . これにより、作業員が基板収納容器100を天壁面UW側から観た場合にも、識別プレート1A、1Bの着色を容易に把握することができる。 Thus, if the operator has watched the substrate storage container 100 from the top wall UW side, it is possible to easily grasp identification plates 1A, the coloration of 1B.

また、図8において、識別プレート1A、1Bは、それぞれ、容器本体3の稜線部の長さ方向に対して、分割された複数のプレートで構成するようにしている。 Further, in FIG. 8, the identification plate 1A, 1B, respectively, with respect to the longitudinal direction of the ridge portion of the container body 3, so as to constitute in divided multiple plates. これにより、識別プレート1A、1Bの材料の低減等を図ることができる。 Thus, identification plates 1A, it is possible to reduce such a 1B material. また、分割された複数のプレートに異なる色を着色させ、その色の組み合わせに応じて基板収納容器100の行程、仕様の区別をするようにしてもよい。 Also, a different color to a plurality of plates which are divided by coloring, may be stroke of the substrate storage container 100, the distinction of specifications in accordance with a combination of the colors. なお、このように容器本体3の同一の稜線部に沿って識別プレート1Aあるいは1Bを複数に分割して形成する場合、識別プレート1Aあるいは1Bを天壁面UWにまで延在する構成としない場合においても、適用できることはいうまでもない。 In the case of forming by dividing the identification plate 1A or 1B along the same ridge of the thus container body 3 into a plurality, in the case where no configuration extending the identification plate 1A or 1B to the top wall UW also, it is needless to say that can be applied.

さらに、識別プレート1A、1Bは、稜線部の一端から他端にかけて伸長された長さの大きなプレートとして構成する必要はなく、当該稜線部の長さ方向おける一部において長さの小さなプレートとして構成するようにしてもよい。 Furthermore, identification plates 1A, 1B are configuration need not be configured as a large plate length is extended from one end to the other end of the ridge portion, a small plate of length in some of definitive length direction of the ridge portion it may be.
(実施態様4) (Embodiment 4)
上述した実施形態では、識別プレート1Aあるいは1Bは、容器本体3の背面壁面BWと側壁面SW1、SW2との稜線部に取り付けるようにしたものである。 In the embodiment described above, the identification plate 1A or 1B is obtained to attach the ridge portion of the back wall BW and the side wall surface SW1, SW2 of the container main body 3. しかし、これに限定されることはなく、他の稜線部に取り付けるようにしてもよい。 However, the invention is not limited thereto, it may be attached to the other ridge line portion. すなわち、側壁面SW1、SW2と天壁面UWとの稜線部、あるいは、側壁面SW1、SW2と底面との稜線部において取り付ける構成であってもよい。 That is, the ridge portion of the sidewall surface SW1, SW2 and ceiling wall UW, or may be configured to mount in a ridgeline portion between the side wall surface SW1, SW2 and bottom.
(実施態様5) (Embodiment 5)
上述した実施形態では、たとえば直径450mmの半導体ウェーハからなる大型基板を収納できる基板収納容器について説明したものである。 In the embodiment described above, such as those described for a substrate storage container capable of storing a large substrate consisting of a semiconductor wafer having a diameter of 450 mm. しかし、半導体ウェーハの大きさに限定されることはないことはいうまでもない。 However, it is needless to say not limited to the size of the semiconductor wafer. また、基板として、半導体ウェーハに限定されることはなく、たとえばマスクガラス等のような他の基板であってもよいことはいうまでもない。 Further, as the substrate is not limited to a semiconductor wafer, for example, it is needless to say that may be another substrate such as a mask glass.

以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。 Having described the present invention with reference to the embodiments, the technical scope of the present invention is of course not limited to the scope described in the above embodiment. 上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。 The above embodiment, it is apparent to those skilled in the art can be added to various modifications and improvements. またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。 Also that the embodiments added with such alterations or improvements can be included in the technical scope of the present invention are apparent from the appended claims.

100……基板収納容器、1A、1B……識別プレート、1Q……延在部(識別プレートの延在部)、3……容器本体、4……蓋体、4A、4B……キー孔、5……サイドフォークリフトフランジ、6……位置決め用V溝、7……ロボテックフランジ、7a……位置決め用V溝、12……係止部、15a……支承リブ、15b……長孔、16……係止片、10……ボトムプレート、15A……支承リブ、15B……長孔、22……孔、23……凹部、24……円筒突起、27……突出片、28……貫通孔、UW……天壁面、SW1、SW2……側壁面、BW……背壁面。 100 ...... substrate storage container, 1A, 1B ...... identification plate, 1Q ...... extending portion (extending portion of the identification plate), 3 ...... container body 4 ...... lid, 4A, 4B ...... key hole, 5 ...... side forklift flanges, 6 ...... positioning V-grooves, 7 ...... Robotech flange 7a ...... positioning V-shaped groove, 12 ...... engaging portion, 15a ...... bearing rib, 15b ...... slot, 16 ... ... engaging piece, 10 ...... bottom plate, 15A ...... bearing ribs, 15B ...... slot, 22 ...... hole, 23 ...... recess 24 ...... cylindrical projection 27 ...... projection piece, 28 ...... through hole , UW ...... heaven wall, SW1, SW2 ...... side wall surface, BW ...... back wall.

Claims (4)

  1. 開口を有し前記開口を通して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器であって、 A container body for accommodating the substrates through the opening has an opening, a substrate container having a lid for closing the opening of the container body,
    前記容器本体を前記開口側から観た場合の左右の各側壁面である第1外壁面と前記第1外壁面と隣接する背側壁面である第2外壁面との稜線部がR加工され Ridgeline portion between the second outer wall surface is R processing is dorsal wall adjacent to the first outer wall surface and the first outer wall surface is the side wall surfaces of the right and left when viewed the container body from the opening side,
    前記稜線部に取付けられる着色された第1識別プレート 、前記第1外壁面側および前記第2外壁面側に延在された幅を有するように前記稜線部のR加工面に沿って湾曲された形状とされ、 Bending the first identification plate colored attached to the ridge along the R processing surface of the ridge portion so as to have a first outer wall surface and said the extended width to the second outer wall surface is the shape,
    前記第1識別プレートは、前記第1識別プレートの前記稜線部に沿った両辺に前記辺から突出して形成された係止片を有し、 The first identification plate has a locking piece formed to protrude from the edges to the sides along the ridge line portion of the first identification plate,
    前記第1外壁面および前記第2外壁面には、前記第1識別プレートを前記稜線部に着脱自在に取り付けるために前記係止片が挿入される貫通孔を備えたリブが形成され、 Wherein the first outer wall surface and the second outer wall surface, ribs the locking piece the first identification plate for removably attaching to the ridge portion is provided with a through hole to be inserted,
    複数の前記第1識別プレートが前記稜線部に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする基板収納容器。 Substrate storage container, wherein a plurality of said first identification plate is detachably attached to the ridge.
  2. 前記第1識別プレートは、 前記容器本体の天壁面側に延在されて取り付けられていることを特徴とする請求項に記載の基板収納容器。 The first identification plate, the substrate storage container according to claim 1, characterized in that mounted is extended on the top wall surface of the container body.
  3. 前記蓋体の外壁面に第2識別プレートが着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板収納容器。 Substrate storage container according to claim 1 or 2, characterized in that the second identification plate is detachably attached to the outer wall surface of the lid.
  4. 前記第2識別プレートは、前記蓋体に係止される突出片が形成されていることを特徴とする請求項に記載の基板収納容器。 The second identification plate, the substrate storage container according to claim 3, characterized in that the projecting piece to be locked to the lid body is formed.
JP2010160665A 2010-07-15 2010-07-15 Substrate storage container Active JP5435584B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010160665A JP5435584B2 (en) 2010-07-15 2010-07-15 Substrate storage container

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010160665A JP5435584B2 (en) 2010-07-15 2010-07-15 Substrate storage container

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012023240A true JP2012023240A (en) 2012-02-02
JP5435584B2 true JP5435584B2 (en) 2014-03-05

Family

ID=45777245

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010160665A Active JP5435584B2 (en) 2010-07-15 2010-07-15 Substrate storage container

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5435584B2 (en)

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0565057B2 (en) * 1986-07-24 1993-09-16 Tokyo Electron Ltd
JPH01144366U (en) * 1988-03-25 1989-10-04
JPH0590951U (en) * 1991-09-27 1993-12-10 日本バルカー工業株式会社 Basket for wafer
JP2954932B1 (en) * 1998-07-15 1999-09-27 岐阜プラスチック工業株式会社 Transport container
JP2001048152A (en) * 1999-08-03 2001-02-20 Dainippon Printing Co Ltd Case
JP4156763B2 (en) * 1999-12-09 2008-09-24 三甲株式会社 Transport container
JP4133065B2 (en) * 2002-07-22 2008-08-13 信越ポリマー株式会社 Card case holder and a substrate storage container
JP4915051B2 (en) * 2005-03-28 2012-04-11 ムラテックオートメーション株式会社 Automatic transport system
JP4607069B2 (en) * 2006-08-02 2011-01-05 信越ポリマー株式会社 Substrate storage container and identification member
JP2009105275A (en) * 2007-10-24 2009-05-14 Fuji Beekuraito Kk Wafer carrier
JP4727645B2 (en) * 2007-11-13 2011-07-20 三甲株式会社 Transport container
JP5207781B2 (en) * 2008-03-10 2013-06-12 信越ポリマー株式会社 Substrate storage container

Also Published As

Publication number Publication date Type
JP2012023240A (en) 2012-02-02 application

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5722328A (en) Pallet system including side wall latch assembly
US7272291B2 (en) Splice chip device
US4582219A (en) Storage box having resilient fastening means
US5377858A (en) Space-saving rectangular container having child resistant lid assembly
US4511038A (en) Container for masks and pellicles
US6109445A (en) Modular tray system
US4535887A (en) IC Package carrier
US4709834A (en) Storage box
US4817795A (en) Robotic accessible wafer shipper assembly
US4880116A (en) Robotic accessible wafer shipper assembly
US3650430A (en) Holder for mass-produced miniature electrical components, especially semiconductor members
US6753474B2 (en) Pick and place cover for multiple terminal electronic components
US6581264B2 (en) Transportation container and method for opening and closing lid thereof
US6315124B1 (en) Container for transporting precision substrates
JP2006324327A (en) Substrate accommodating container and its manufacturing method
US20050247594A1 (en) Substrate-storing container
JP2005005525A (en) Substrate container
US6918738B2 (en) Stackable sample holding plate with robot removable lid
US7029013B2 (en) Seal member, and substrate storage container using the same
JPH1010705A (en) Reticle case
US6779667B2 (en) Modular carrier for semiconductor wafer disks and similar inventory
US5988392A (en) Shipping container
JP2006184414A (en) Case for large photomask and case exchanging apparatus
US4852737A (en) Packaging system for electrical connectors
JPH05175321A (en) Board container and lid opener

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120807

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130822

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130910

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131106

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131203

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131204

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250