JP5419780B2 - Ferrule for fixing optical fiber and optical fiber fixture using the same - Google Patents

Ferrule for fixing optical fiber and optical fiber fixture using the same Download PDF

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Description

本発明は光通信等に使用される光ファイバ固定用フェルール及びそれを用いた光ファイバ固定具に関するものである。   The present invention relates to an optical fiber fixing ferrule used for optical communication and the like, and an optical fiber fixing tool using the same.

光ファイバ固定具が光通信用のレーザーダイオードモジュールに用いられることがある。例えば、光ファイバ固定具は、レーザーダイオード(以下、LDとも称す)から出射された光がロッドレンズにより集光され、光ファイバ固定具内の光ファイバに効率よく入射されるように光軸調整され、光パッケージ内に固定されて使用される。LDは、出力安定性および劣化防止のために光パッケージ内に気密に封止する必要がある。このため、光ファイバをフェルールに気密封止した光ファイバ固定具を、光パッケージに更に気密封止して用いることがある。   An optical fiber fixture may be used for a laser diode module for optical communication. For example, the optical fiber fixture is optically adjusted so that light emitted from a laser diode (hereinafter also referred to as LD) is collected by a rod lens and efficiently incident on the optical fiber in the optical fiber fixture. Used fixed in the optical package. The LD needs to be hermetically sealed in the optical package for output stability and prevention of deterioration. For this reason, an optical fiber fixing device in which an optical fiber is hermetically sealed with a ferrule may be further hermetically sealed in an optical package.

このような光ファイバ固定具において、光ファイバとフェルールとの接合には、気密封止性に優れるはんだが用いられている。この場合、光ファイバとフェルールとの接合に用いる1次はんだの融点が、光ファイバ固定具と光パッケージとの接合に用いる2次はんだの融点よりも高いものである必要がある。1次はんだの融点が2次はんだの融点より低いと、光ファイバ固定具を光パッケージに接合する際の加熱によって1次はんだが溶融し、気密封止の信頼性が低下する可能性がある。また、光軸調整した光ファイバに位置ずれが生じる可能性がある。   In such an optical fiber fixture, solder excellent in hermetic sealing is used for joining the optical fiber and the ferrule. In this case, the melting point of the primary solder used for joining the optical fiber and the ferrule needs to be higher than the melting point of the secondary solder used for joining the optical fiber fixture and the optical package. When the melting point of the primary solder is lower than the melting point of the secondary solder, the primary solder is melted by heating when the optical fiber fixture is joined to the optical package, and the reliability of hermetic sealing may be reduced. Further, there is a possibility that a position shift occurs in the optical fiber whose optical axis is adjusted.

したがって、1次はんだとしては、従来、金−錫系、鉛−錫系、鉛―金系、錫−銀系等の、融点が約270℃〜300℃程度のいわゆる高温はんだが用いられ、2次はんだとしては、融点が約184℃の錫−鉛はんだ(いわゆる共晶はんだ)が用いられていた(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。   Therefore, as the primary solder, conventionally, a so-called high-temperature solder having a melting point of about 270 ° C. to 300 ° C. such as gold-tin, lead-tin, lead-gold, tin-silver, etc. is used. As the secondary solder, a tin-lead solder (so-called eutectic solder) having a melting point of about 184 ° C. was used (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

実開平5−27707号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-27707 特開2002−214478号公報JP 2002-214478 A

しかしながら、近年、欧州におけるRoHS(Restriction on Hazardous Substances
)指令等、環境に対する悪影響を防ぐために、鉛を使用しないようにすること(いわゆる鉛フリー化)が求められるようになってきている。そのため、従来の鉛系の高温はんだに代わるはんだを用いた光ファイバ固定用フェルールおよび光ファイバ固定具の提供が求められている。
However, in recent years, there has been RoHS (Restriction on Hazardous Substances) in Europe.
) In order to prevent adverse effects on the environment such as directives, it is becoming necessary to avoid the use of lead (so-called lead-free). Therefore, there is a need to provide an optical fiber fixing ferrule and an optical fiber fixture using solder instead of the conventional lead-based high-temperature solder.

そこで、2次はんだとして従来の錫−鉛はんだに代わって、錫−銀系はんだや錫−銀−銅系はんだ等の鉛フリーはんだが多用されるようになってきている。このような鉛フリーはんだは、従来の錫−鉛はんだに比べて、融点が約220℃以上と比較的高い。そのため、
1次はんだについても、従来よりも融点の高いものが必要とされている。
Therefore, lead-free solders such as tin-silver solders and tin-silver-copper solders are frequently used as secondary solders in place of conventional tin-lead solders. Such lead-free solder has a relatively high melting point of about 220 ° C. or higher compared to conventional tin-lead solder. for that reason,
The primary solder is also required to have a higher melting point than before.

このようなはんだとして、金−錫系、鉛―金系、錫−銀系の金や銀を含有したはんだは高価である。さらに、封着後の残留応力が大きいために1次はんだで接合後に光ファイバがフェルール内部で破断するという問題を生じる場合がある。   As such solder, solder containing gold-tin, lead-gold, tin-silver, gold or silver is expensive. Furthermore, since the residual stress after sealing is large, there may be a problem that the optical fiber breaks inside the ferrule after joining with the primary solder.

本発明はこのような従来の問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、鉛フリーはんだを用い、光ファイバとフェルールとの接合の信頼性が高い光ファイバ固定用フェルールおよび光ファイバ固定具を提供することにある。   The present invention has been devised in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to use a lead-free solder and a ferrule for fixing an optical fiber and an optical fiber that have high reliability in joining between an optical fiber and a ferrule. It is to provide a fixture.

本発明の一実施形態に係る光ファイバ固定用フェルールは、中央部に光ファイバを挿通するための貫通孔を有し、この貫通孔の一端部に前記貫通孔を拡径させた凹部を有するフェルールと、前記凹部の内壁面に形成された金属層と、この金属層にこの金属層の少なくとも一部を覆うように接合されたはんだ層とを備え、前記はんだ層は、前記凹部の内壁面側に配置され、錫と前記金属層の金属成分との合金相を主成分とする第1はんだ層と、ビスマス相を主成分とし、錫−ビスマス合金相を含んだ前記第1はんだ層よりも融点が低い第2はんだ層とから成ることを特徴とする。   An optical fiber fixing ferrule according to an embodiment of the present invention has a through hole for inserting an optical fiber in a central portion, and a ferrule having a recessed portion in which the diameter of the through hole is increased at one end portion of the through hole. A metal layer formed on the inner wall surface of the recess, and a solder layer bonded to the metal layer so as to cover at least a part of the metal layer, the solder layer on the inner wall surface side of the recess A first solder layer having an alloy phase of tin and a metal component of the metal layer as a main component, and a melting point higher than that of the first solder layer having a bismuth phase as a main component and including a tin-bismuth alloy phase. And a low second solder layer.

上記光ファイバ固定用フェルールにおいて、前記金属層が、ニッケル,コバルト,金または銅を含むのが好ましい。   In the optical fiber fixing ferrule, the metal layer preferably contains nickel, cobalt, gold, or copper.

また、本発明の一実施形態に係る光ファイバ固定具は、上記光ファイバ固定用フェルールと、先端外周面に第2金属層が形成され、前記貫通孔に挿通されるとともに、前記第2金属層と前記第2はんだ層とが接合されて気密封止された光ファイバとを具備し、前記はんだ層に、錫と前記第2金属層の金属成分との合金相を主成分とし、前記第2はんだ層よりも融点が高い第3はんだ層が形成されていることを特徴とする。   An optical fiber fixture according to an embodiment of the present invention includes the optical fiber fixing ferrule, a second metal layer formed on the outer peripheral surface of the tip, inserted through the through-hole, and the second metal layer. And an optical fiber in which the second solder layer is bonded and hermetically sealed, and the solder layer mainly contains an alloy phase of tin and a metal component of the second metal layer, and the second A third solder layer having a melting point higher than that of the solder layer is formed.

上記光ファイバ固定具において、前記第2金属層の金属成分が、ニッケル,コバルト,金または銅を含むのが好ましい。   In the optical fiber fixture, it is preferable that the metal component of the second metal layer includes nickel, cobalt, gold, or copper.

本発明の一実施形態に係る光ファイバ固定用フェルールによれば、中央部に光ファイバを挿通するための貫通孔を有し、この貫通孔の一端部に貫通孔を拡径させた凹部を有するフェルールと、凹部の内壁面に形成された金属層と、この金属層にこの金属層の少なくとも一部を覆うように接合されたはんだ層とを備え、はんだ層は、凹部の内壁面側に配置され、錫と金属層の金属成分との合金相を主成分とする第1はんだ層と、ビスマス相を主成分とし、錫−ビスマス合金相を含んだ第1はんだ層よりも融点が低い第2はんだ層とから成ることにより、鉛フリーで、光ファイバとフェルールとの接合の気密封止の信頼性が高い光ファイバ固定用フェルールを提供することができる。   According to the ferrule for fixing an optical fiber according to one embodiment of the present invention, the center portion has a through hole for inserting the optical fiber, and the through hole has a recessed portion in which the diameter of the through hole is increased. It includes a ferrule, a metal layer formed on the inner wall surface of the recess, and a solder layer bonded to the metal layer so as to cover at least a part of the metal layer, and the solder layer is disposed on the inner wall surface side of the recess A first solder layer mainly composed of an alloy phase of tin and a metal component of the metal layer, and a second solder layer having a bismuth phase as a main component and having a melting point lower than that of the first solder layer including the tin-bismuth alloy phase. By comprising the solder layer, it is possible to provide a ferrule for fixing an optical fiber which is lead-free and has a high reliability of hermetic sealing of the joint between the optical fiber and the ferrule.

すなわち、第1はんだ層は、融点が320℃を超える錫と金属層の金属成分との合金相を主成分としたものとなり、光ファイバを接合する際の第2はんだ層の再溶融温度で第1はんだ層が再溶融されない。一方、第2はんだ層は、錫−ビスマス合金相を含んだ融点の低いはんだ層なので、融点より若干高い280℃〜300℃程度で再溶融して光ファイバを接合することができる。   That is, the first solder layer is mainly composed of an alloy phase of tin having a melting point exceeding 320 ° C. and the metal component of the metal layer, and the first solder layer has a second melting point at the remelting temperature of the second solder layer when the optical fiber is joined. 1 Solder layer is not remelted. On the other hand, since the second solder layer is a solder layer containing a tin-bismuth alloy phase and having a low melting point, it can be remelted at about 280 ° C. to 300 ° C. slightly higher than the melting point to join the optical fibers.

また、上記光ファイバ固定用フェルールにおいて、フェルールの凹部内壁面に形成された金属層が、ニッケル,コバルト,金または銅を含む場合には、はんだ層内の錫と合金を形成し、融点が320℃を超える第1はんだ層を形成させることができる。   Further, in the ferrule for fixing an optical fiber, when the metal layer formed on the inner wall surface of the concave portion of the ferrule contains nickel, cobalt, gold or copper, an alloy is formed with tin in the solder layer, and the melting point is 320. A first solder layer exceeding ℃ can be formed.

本発明の一実施形態に係る光ファイバ固定具は、上記光ファイバ固定用フェルールと、先端外周面に第2金属層が形成され、貫通孔に挿通されるとともに、第2金属層と第2はんだ層とが接合されて気密封止された光ファイバとを具備し、前記はんだ層に、錫と第2金属層の金属成分との合金相を主成分とし、第2はんだ層よりも融点が高い第3はんだ層
が形成されていることにより、この光ファイバ固定具を鉛フリーの2次はんだを用いて光パッケージに接合する場合に、第3はんだ層は錫と第2金属層の金属成分との高融点合金相となっており、また第1はんだ層は錫と金属層の金属成分との高融点合金相となっており、残部はんだ層は融点が271℃のビスマス層を主成分とするので、封着温度が250℃程度の2次はんだの際にはんだ層が溶融することがない。したがって、光ファイバとフェルールとの気密信頼性を維持することが可能となる。
An optical fiber fixture according to an embodiment of the present invention includes the above-described ferrule for fixing an optical fiber, a second metal layer formed on the outer peripheral surface of the tip, inserted through a through hole, and a second metal layer and a second solder. And an optical fiber hermetically sealed by joining the layers, and the solder layer is mainly composed of an alloy phase of tin and the metal component of the second metal layer, and has a melting point higher than that of the second solder layer. Since the third solder layer is formed, when the optical fiber fixture is joined to the optical package using lead-free secondary solder, the third solder layer includes tin and the metal component of the second metal layer. The first solder layer is a high melting point alloy phase of tin and a metal component of the metal layer, and the remaining solder layer is mainly composed of a bismuth layer having a melting point of 271 ° C. Therefore, the solder layer melts during secondary soldering with a sealing temperature of about 250 ° C. It is not to be. Accordingly, it is possible to maintain the airtight reliability between the optical fiber and the ferrule.

また、上記光ファイバ固定具において、光ファイバの先端外周面に形成された第2金属層の金属材料の金属成分が、ニッケル,コバルト,金および銅を含む場合には、はんだ層内の錫と合金を形成し、融点が320℃を超える第3はんだ層を形成させることができる。   In the above optical fiber fixture, when the metal component of the metal material of the second metal layer formed on the outer peripheral surface of the optical fiber includes nickel, cobalt, gold and copper, tin in the solder layer An alloy can be formed to form a third solder layer with a melting point above 320 ° C.

本発明の光ファイバ固定用フェルールの実施の形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the ferrule for optical fiber fixation of this invention. 本発明の光ファイバ固定具の実施の形態の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of embodiment of the optical fiber fixing tool of this invention.

本発明の光ファイバ固定用フェルールおよび光ファイバ固定具の実施の形態の一例について、添付の図面を参照しつつ説明する。   An example of an embodiment of an optical fiber fixing ferrule and an optical fiber fixture according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の一実施形態に係る光ファイバ固定用フェルール4を示す断面図である。図1において、フェルール1は、中心軸位置に光ファイバを挿通するための貫通孔1aを備えた円筒形状を有している。貫通孔1aの一端部(図1においては左側)には、貫通孔1aを太く拡径させ、フェルール1の一端面に開かれた凹部1bが形成されている。凹部1bの内壁面には金属層2が形成されている。さらに、凹部1bの内側に金属層2を覆うようにはんだ層3が接合されている。なお、図1に示す例においては、貫通孔1aの他端側(図1においては右側)は、光ファイバの被覆部を保持するために内径を太くした光ファイバ被覆保持部1cが形成されている。   FIG. 1 is a cross-sectional view showing an optical fiber fixing ferrule 4 according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the ferrule 1 has a cylindrical shape provided with a through hole 1a for inserting an optical fiber at the center axis position. At one end portion (left side in FIG. 1) of the through hole 1 a, a through hole 1 a having a large diameter is formed, and a concave portion 1 b opened on one end surface of the ferrule 1 is formed. A metal layer 2 is formed on the inner wall surface of the recess 1b. Furthermore, a solder layer 3 is joined so as to cover the metal layer 2 inside the recess 1b. In the example shown in FIG. 1, the other end side (the right side in FIG. 1) of the through hole 1a is formed with an optical fiber coating holding portion 1c having a thick inner diameter to hold the coating portion of the optical fiber. Yes.

また、図2は、本発明の一実施形態に係る光ファイバ固定具10の断面図である。図2に示す光ファイバ固定具10は、図1の光ファイバ固定用フェルール4に、光ファイバ5が気密封止されたものである。光ファイバ5は、その先端外周面に第2金属層6が形成されている。そして、貫通孔1aおよびはんだ層7を挿通させて、先端面がフェルール1の一端面に露出されている。この光ファイバ5は、はんだ層3の第2はんだ層3bを再溶融して凹部1b内に挿入した後に冷却して固化されたはんだ層7によって、光ファイバ固定用フェルール4に気密封止されたものである。なお、図2において、フェルール1の一端は斜め研磨加工が施されている例を示している。はんだ層7の表面も、これに合わせてフェルール1の軸方向に直交する面に対して斜めに傾斜している。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the optical fiber fixture 10 according to an embodiment of the present invention. An optical fiber fixture 10 shown in FIG. 2 is obtained by hermetically sealing an optical fiber 5 to the optical fiber fixing ferrule 4 of FIG. The optical fiber 5 has a second metal layer 6 formed on the outer peripheral surface of its tip. And the through-hole 1a and the solder layer 7 are penetrated, and the front end surface is exposed to one end surface of the ferrule 1. The optical fiber 5 was hermetically sealed to the ferrule 4 for fixing the optical fiber by the solder layer 7 that was cooled and solidified after the second solder layer 3b of the solder layer 3 was remelted and inserted into the recess 1b. Is. In addition, in FIG. 2, the end of the ferrule 1 has shown the example in which the diagonal grinding | polishing process is performed. In accordance with this, the surface of the solder layer 7 is also inclined obliquely with respect to the plane perpendicular to the axial direction of the ferrule 1.

図2において、はんだ層7は、凹部1bの内壁面側に位置し、フェルール1の金属層2に接合される際に形成された第1はんだ層3a、中心軸側または光ファイバ5の先端外周面側に位置し、第2はんだ層3bと光ファイバ5の第2金属層6とが接合される際に形成された第3はんだ層7a、および第1はんだ層3aと第3はんだ層7aとの間に位置し、第3はんだ層7aが形成される際に第2はんだ層3bの成分が変化して形成された残部のはんだ層(以下、第4はんだ層7bと称する)とで構成されている。   In FIG. 2, the solder layer 7 is located on the inner wall surface side of the recess 1 b and is formed on the first solder layer 3 a, the central axis side, or the outer periphery of the optical fiber 5 at the time of joining to the metal layer 2 of the ferrule 1. A third solder layer 7a which is located on the surface side and formed when the second solder layer 3b and the second metal layer 6 of the optical fiber 5 are joined together; and the first solder layer 3a and the third solder layer 7a; And the remaining solder layer (hereinafter referred to as the fourth solder layer 7b) formed by changing the components of the second solder layer 3b when the third solder layer 7a is formed. ing.

フェルール1は、貫通孔1aを有した円筒形状である。貫通孔1aの一端部に凹部1bを有し、また他端側には光ファイバ被覆保持部1cを有する。フェルール1は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,または酸化ジルコニウム質焼結体等のセラミックス、鉄−ニッケル−コバルト合金,鉄−ニッケル合金,銅,アルミニウ
ム等の金属材料、または樹脂やガラス材料等から成る。
The ferrule 1 has a cylindrical shape having a through hole 1a. The through hole 1a has a recess 1b at one end and an optical fiber coating holding portion 1c at the other end. Ferrule 1 is, for example, a metal material such as ceramics such as an aluminum oxide sintered body, an aluminum nitride sintered body, or a zirconium oxide sintered body, an iron-nickel-cobalt alloy, an iron-nickel alloy, copper, and aluminum. Or made of resin or glass material.

なお、フェルール1の貫通孔1aは、上記のように光ファイバ5を通すため、少なくとも光ファイバ5の先端部の第2金属層の外径寸法より大きな内径で形成されている。また、図1および図2において、凹部1bは円筒形状の穴で示されているが、フェルール1の一端面に向けて次第に径が大きくなる曲面または直線状の錐体形状でもよい。   Note that the through-hole 1a of the ferrule 1 is formed with an inner diameter larger than the outer diameter of the second metal layer at the tip of the optical fiber 5 in order to pass the optical fiber 5 as described above. 1 and 2, the concave portion 1b is shown as a cylindrical hole, but it may be a curved surface or a linear cone shape whose diameter gradually increases toward one end surface of the ferrule 1.

例えば、フェルール1が酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、酸化アルミニウムおよび無機添加剤を樹脂バインダおよび溶剤と混合してペースト状にしたものを所定形状に成形し、このフェルール1となる未焼成の成形体を焼成して形成される。なお、成形体の凹部1bの内壁面には、タングステン,モリブデン,またはモリブデン−マンガン等の金属粉末を有機溶剤,バインダとともに混練した金属ペーストを塗布しておき、フェルール1と同時焼成することによって、メタライズ層(図示せず)を被着させる。   For example, if the ferrule 1 is made of an aluminum oxide sintered body, a paste formed by mixing aluminum oxide and an inorganic additive with a resin binder and a solvent is formed into a predetermined shape, and this ferrule 1 is obtained. It is formed by firing an unfired molded body. By applying a metal paste obtained by kneading a metal powder such as tungsten, molybdenum, or molybdenum-manganese together with an organic solvent and a binder to the inner wall surface of the recess 1b of the molded body, A metallized layer (not shown) is applied.

このメタライズ層は、はんだの濡れ性が低いため、その表面にニッケル,コバルト,銅,または金等の金属をめっき等によって被着させるのがよい。このめっき層が金属層2となる。図1および図2において、凹部1bの底面(凹部1bの開口に対向する面)には金属層2が形成されていない。これは、メタライズ層を形成する際に、金属ペーストが貫通孔1aの内側に垂れ込んで、光ファイバ5を挿入できなくなる可能性を少なくするためである。したがって、メタライズ層が貫通孔1aをふさがないようにして金属層2を凹部1bの底面に形成しても良いし、凹部1bの底面外周側に金属層2を形成し、貫通孔1a開口付近の中心側に形成しないこともできる。なお、金属層2は、メタライズ層を形成せずに、例えば金属蒸着法等で直接セラミック表面に形成しても良い。   Since this metallized layer has low solder wettability, it is preferable to deposit a metal such as nickel, cobalt, copper, or gold on the surface thereof by plating or the like. This plating layer becomes the metal layer 2. 1 and 2, the metal layer 2 is not formed on the bottom surface of the recess 1b (the surface facing the opening of the recess 1b). This is to reduce the possibility that the metal paste will sag inside the through hole 1a and the optical fiber 5 cannot be inserted when forming the metallized layer. Therefore, the metal layer 2 may be formed on the bottom surface of the recess 1b so that the metallized layer does not block the through hole 1a, or the metal layer 2 is formed on the outer peripheral side of the bottom surface of the recess 1b, It may not be formed on the center side. The metal layer 2 may be formed directly on the ceramic surface by, for example, a metal vapor deposition method without forming a metallized layer.

また、例えば、フェルール1が、鉄−ニッケル−コバルト合金等からなる場合であれば、この合金材料に旋盤加工等の加工を施して所定の形状および寸法に加工することにより製作することができる。なお、フェルール1が金属材料で形成されている場合でも、その表面の全面等にニッケルや金,銅等のめっき層を被着させて、フェルール1の酸化を抑制するようにするのがよい。   Further, for example, if the ferrule 1 is made of an iron-nickel-cobalt alloy or the like, it can be manufactured by subjecting this alloy material to processing such as lathe processing into a predetermined shape and size. Even when the ferrule 1 is formed of a metal material, it is preferable to deposit a plating layer of nickel, gold, copper or the like on the entire surface of the ferrule 1 to suppress oxidation of the ferrule 1.

次に、金属層2の表面にはんだ層3が以下の方法で形成される。すなわち、凹部1bのニッケル,コバルト,金または銅等の金属層2の表面に、錫を6〜10質量%含む鉛フリーのビスマス−錫はんだペースト(図示せず)を塗布する。そして、このペーストを280〜300℃で1〜2分程度加熱する。すると、ビスマス−錫はんだの錫成分と、金属層2の金属成分とが互いに接合界面部分で合金相を形成し、第1はんだ層3aが析出する。また、はんだ層3の残りの部分は、一部の錫成分が第1はんだ層3aに拡散することによって、錫成分を2〜5質量%程度含む合金層、すなわち第2はんだ層3bとなる。   Next, the solder layer 3 is formed on the surface of the metal layer 2 by the following method. That is, a lead-free bismuth-tin solder paste (not shown) containing 6 to 10% by mass of tin is applied to the surface of the metal layer 2 such as nickel, cobalt, gold or copper in the recess 1b. And this paste is heated at 280-300 degreeC for about 1-2 minutes. Then, the tin component of the bismuth-tin solder and the metal component of the metal layer 2 form an alloy phase at the joint interface portion, and the first solder layer 3a is deposited. Further, the remaining portion of the solder layer 3 becomes an alloy layer containing about 2 to 5 mass% of the tin component, that is, the second solder layer 3b, by diffusing a part of the tin component into the first solder layer 3a.

なお、はんだ層3は、フェルール1の一端面より盛り上がるように若干多めに用いてもよい。光ファイバ5を固定後に先端を斜めに研磨して、フェルール1の一端面と光ファイバ5の先端面とを面一状態に鏡面仕上げする場合にはこのような形状のほうが望ましい。   Note that the solder layer 3 may be used slightly more so as to rise from one end face of the ferrule 1. Such a shape is desirable when the end of the ferrule 1 and the front end surface of the optical fiber 5 are mirror-finished by polishing the front end obliquely after fixing the optical fiber 5.

また、金属層2の厚さは、5〜20μmとするのが望ましい。5μm以下でははんだ層3によるはんだ食われが生じ、気密性を確保できなくなる傾向がある。20μm以上では金属層2の金属量が多くなり、はんだ層3中の錫成分の多くが金属層2との合金層である第1はんだ層3aとなってしまい、第2はんだ層3bの融点が約270℃と高融点になって
しまう傾向がある。
The thickness of the metal layer 2 is preferably 5 to 20 μm. If the thickness is 5 μm or less, solder erosion due to the solder layer 3 occurs, and there is a tendency that airtightness cannot be secured. If the thickness is 20 μm or more, the amount of metal in the metal layer 2 increases, and most of the tin component in the solder layer 3 becomes the first solder layer 3a which is an alloy layer with the metal layer 2, and the melting point of the second solder layer 3b is low. There is a tendency to have a high melting point of about 270 ° C.

第1はんだ層3aは、錫と金属層2の金属成分との合金相を主成分としたものであり、融点が従来の鉛系高温はんだの融点275℃よりも高い320℃を超えたものとなる。なお、第
1はんだ層3aの全部が錫−金属成分の合金相からなるものであってもよく、ビスマス相やビスマスと金属層2の金属成分との合金相を含むものであってもよい。
The first solder layer 3a is mainly composed of an alloy phase of tin and the metal component of the metal layer 2, and has a melting point exceeding 320 ° C., which is higher than the melting point 275 ° C. of the conventional lead-based high-temperature solder. Become. Note that the entire first solder layer 3 a may be composed of an alloy phase of a tin-metal component, or may include a bismuth phase or an alloy phase of bismuth and the metal component of the metal layer 2.

また、第2はんだ層3bが、錫成分を約2〜5質量%含みビスマス−錫相を構成する組成において、錫成分は、一部が錫相や錫と金属材料との合金相として含まれていてもよい。また、上記組成のビスマス−錫はんだから成る第2はんだ層3bに、ビスマスと金属層2の金属成分との合金相を含んでいてもよい。ここで第2はんだ層3bはビスマスを含んでいるので、融点が271℃となり融点が320℃を超える第1はんだ層3aよりも低融点となる。   Further, in the composition in which the second solder layer 3b includes about 2 to 5% by mass of a tin component and constitutes a bismuth-tin phase, the tin component is partially included as a tin phase or an alloy phase of tin and a metal material. It may be. The second solder layer 3b made of bismuth-tin solder having the above composition may contain an alloy phase of bismuth and the metal component of the metal layer 2. Here, since the second solder layer 3b contains bismuth, the melting point is 271 ° C., and the melting point is lower than that of the first solder layer 3a exceeding 320 ° C.

次に、本発明の光ファイバ固定具10は、凹部1bに光ファイバ5がはんだ層7を介して接合されたものである。光ファイバ5には、先端外周面にニッケル,コバルト,金,または銅等を蒸着して下地処理を行った後、その表面に更にニッケル,コバルト,金,銅等のめっき加工を行なった所定厚みの第2金属層6を形成する。そして、上記光ファイバ用フェルール4の第2はんだ層3bを加熱して溶融し、光ファイバ5をフェルール1の他端部から挿入して光ファイバ5の第2金属層6と第2はんだ層3bとを接合することによって作製される。   Next, in the optical fiber fixture 10 of the present invention, the optical fiber 5 is joined to the recess 1b through the solder layer 7. The optical fiber 5 has a predetermined thickness obtained by depositing nickel, cobalt, gold, copper, or the like on the outer peripheral surface of the tip and performing a base treatment, and then plating the surface of the optical fiber 5 with nickel, cobalt, gold, copper, or the like. The second metal layer 6 is formed. Then, the second solder layer 3b of the optical fiber ferrule 4 is heated and melted, and the optical fiber 5 is inserted from the other end of the ferrule 1 so that the second metal layer 6 and the second solder layer 3b of the optical fiber 5 are inserted. It is produced by joining.

ビスマス相を主成分とする第4はんだ層7bは、ビスマスの融点271℃に近い融点とな
る。例えば、融点が223℃の錫―銀―銅はんだを2次はんだに用いた場合の封着温度240℃〜250℃で溶融することは無く、フェルール1と光ファイバ5とを接合することができる
。この光ファイバ固定具10を、封着温度が250℃の錫−銀系等の鉛フリーの2次はんだ
を用いて光パッケージに実装する場合でも第4はんだ層7bが溶融することはない。
The fourth solder layer 7b containing the bismuth phase as a main component has a melting point close to the melting point 271 ° C. of bismuth. For example, the ferrule 1 and the optical fiber 5 can be joined without melting at a sealing temperature of 240 ° C. to 250 ° C. when a tin-silver-copper solder having a melting point of 223 ° C. is used as the secondary solder. . Even when the optical fiber fixture 10 is mounted on an optical package using a lead-free secondary solder such as a tin-silver system having a sealing temperature of 250 ° C., the fourth solder layer 7b does not melt.

また、はんだ層7の第1はんだ層3aは、光ファイバ固定用フェルール4を作製する際に形成されたものである。第1はんだ層3aおよび第3はんだ層7aは、融点が320℃を
超えて高いので、2次はんだを用いて光パッケージに実装するときに溶融することはない。そのため、はんだ層7の気密封止の信頼性の高い光ファイバ固定具10を提供することができる。
The first solder layer 3a of the solder layer 7 is formed when the optical fiber fixing ferrule 4 is manufactured. Since the melting point of the first solder layer 3a and the third solder layer 7a is higher than 320 ° C., the first solder layer 3a and the third solder layer 7a are not melted when mounted on the optical package using the secondary solder. Therefore, it is possible to provide the optical fiber fixture 10 with high reliability of hermetic sealing of the solder layer 7.

また、第3はんだ層7aは、錫と第2金属層6の金属成分との合金相を主成分とするものであり、その全部が錫−金属成分の合金相からなるものであってもよく、数質量%程度のビスマス相やビスマスと上記金属成分との合金相を含むものであってもよい。   The third solder layer 7a is mainly composed of an alloy phase of tin and the metal component of the second metal layer 6, and all of it may be composed of an alloy phase of a tin-metal component. Further, it may contain a bismuth phase of about several mass% or an alloy phase of bismuth and the above metal component.

第4はんだ層7bは、第2はんだ層3bの錫成分が第3はんだ層7aに移動して形成されたものである。すなわち、ビスマス相を主成分とし、融点がビスマスの融点程度の高融点金属に変化したものである。これによって、2次はんだを行なっても気密封止の信頼性が維持される光ファイバ固定具10とできる。第4ハンダ層7bは、その全部がビスマス相で形成されていてもよく、金属層2の金属成分や第2金属層6の金属成分とビスマスとの合金相を含むものであってもよい。   The fourth solder layer 7b is formed by moving the tin component of the second solder layer 3b to the third solder layer 7a. That is, the bismuth phase is the main component and the melting point is changed to a refractory metal that is about the melting point of bismuth. As a result, the optical fiber fixing device 10 can maintain the hermetic sealing reliability even when secondary soldering is performed. The fourth solder layer 7b may be entirely formed of a bismuth phase, or may include a metal component of the metal layer 2 or an alloy phase of the metal component of the second metal layer 6 and bismuth.

なお、ここで、光ファイバ固定用フェルール4の第2はんだ層3bの構成が、例えば、錫成分を約2〜5質量%含有するものであれば、加熱炉中での加熱条件を280〜300℃で1〜2分程度に設定すればよい。第2はんだ層3bの錫成分が第2金属層6の金属成分と反応して合金相を形成し、接合後の第4はんだ層7bを上記のようなビスマス相を主成分とする組成とすることができる。   Here, if the configuration of the second solder layer 3b of the ferrule 4 for fixing an optical fiber includes, for example, about 2 to 5% by mass of a tin component, the heating condition in the heating furnace is set to 280 to 300. What is necessary is just to set to about 1-2 minutes at ° C. The tin component of the second solder layer 3b reacts with the metal component of the second metal layer 6 to form an alloy phase, and the fourth solder layer 7b after joining has a composition mainly composed of the bismuth phase as described above. be able to.

この場合、第2はんだ層3bには錫−ビスマス合金相や錫相が存在することによって、比較的低い加熱温度から接合が開始され、第2はんだ層3bの第2金属層6に対する濡れ性が高まる。その後固化させると、第2はんだ層3bよりも高融点の第4はんだ層7bに
なる。金属層2の金属成分および第2金属層6の金属成分が、ニッケル,コバルト,金および銅の少なくとも1種である場合には、第1はんだ層3aおよび第3はんだ層7aの融点が高くなり、光ファイバ固定具10の気密封止に対する信頼性をより高くすることが可能となる。また、実用性も良好な光ファイバ固定具10を提供することができる。
In this case, since the tin-bismuth alloy phase and the tin phase are present in the second solder layer 3b, the joining is started from a relatively low heating temperature, and the wettability of the second solder layer 3b to the second metal layer 6 is improved. Rise. Thereafter, when solidified, the fourth solder layer 7b having a melting point higher than that of the second solder layer 3b is obtained. When the metal component of the metal layer 2 and the metal component of the second metal layer 6 are at least one of nickel, cobalt, gold and copper, the melting points of the first solder layer 3a and the third solder layer 7a are increased. The reliability of the optical fiber fixture 10 for hermetic sealing can be further increased. Further, it is possible to provide the optical fiber fixture 10 having good practicality.

ここで、第2金属層6の厚さは、5〜10μmとするのが望ましい。5μm以下でははんだ層によるはんだ食われが生じ、気密性を確保できなくなる傾向がある。10μm以上にすると、光ファイバ5の外周に均一に第2金属層6を形成しにくくなる傾向があり、貫通孔1aの中心に光ファイバ5の中心を配置することが困難になる。   Here, the thickness of the second metal layer 6 is desirably 5 to 10 μm. If the thickness is 5 μm or less, solder erosion occurs due to the solder layer, and airtightness tends not to be ensured. If it is 10 μm or more, it tends to be difficult to form the second metal layer 6 uniformly on the outer periphery of the optical fiber 5, and it becomes difficult to place the center of the optical fiber 5 at the center of the through hole 1a.

また、本発明の一実施形態に係る光ファイバ固定具10によれば、光ファイバ5とフェルール1との間に、第4はんだ層7bが配置されるので、第4はんだ層7bが緩衝層となり、はんだ接合の際に光ファイバ5に加わる内部応力による破断の可能性を少なくできる。   Further, according to the optical fiber fixture 10 according to the embodiment of the present invention, the fourth solder layer 7b is a buffer layer because the fourth solder layer 7b is disposed between the optical fiber 5 and the ferrule 1. The possibility of breakage due to internal stress applied to the optical fiber 5 during solder bonding can be reduced.

以上より、本発明の一実施形態に係る光ファイバ固定用フェルール4および光ファイバ固定具10を用いることにより、従来の封止用鉛はんだに代えて、鉛フリーはんだによる封止が可能となり、はんだ接合時の光ファイバ5の破断の可能性が少ない、気密封止の信頼性の高い光ファイバ固定具10の提供が可能になる。   As described above, by using the ferrule 4 for fixing an optical fiber and the optical fiber fixture 10 according to one embodiment of the present invention, it becomes possible to perform sealing with lead-free solder instead of the conventional lead solder for sealing, It is possible to provide the optical fiber fixture 10 having a high hermetic sealing reliability with less possibility of breaking the optical fiber 5 at the time of joining.

酸化アルミニウム質焼結体の先端に直径1.5mmの凹部1bを有する円筒形状のフェル
ール1を作製し、凹部1bの内周面にモリブデンーマンガンを含む金属ペーストを塗布して同時焼成した後、メタライズ層表面に厚さ10μmのニッケルめっきを施したものを準備した。この凹部1bに、錫を6質量%含有するビスマス−錫はんだペーストを塗布し290
℃で1分間加熱してフェルール1にはんだ層3を接合させた。
A cylindrical ferrule 1 having a recess 1b having a diameter of 1.5 mm is prepared at the tip of an aluminum oxide sintered body, and a metal paste containing molybdenum-manganese is applied to the inner peripheral surface of the recess 1b and simultaneously fired. What prepared the nickel plating of thickness 10micrometer on the layer surface was prepared. A bismuth-tin solder paste containing 6% by mass of tin is applied to the recess 1b.
The solder layer 3 was joined to the ferrule 1 by heating at 0 ° C. for 1 minute.

はんだ層3の第1はんだ層3aは、錫−ニッケルの合金相を主成分とし、第2はんだ層3bは、WDS解析によれば、ビスマス相の他に3.8質量%の錫を含有したビスマスの合
金相を含むものであった。SEM画像で確認すると、第1はんだ層3aおよび第2はんだ層3bは異なる濃淡で観察され、その境界を明確に確認できた。
The first solder layer 3a of the solder layer 3 is mainly composed of a tin-nickel alloy phase, and the second solder layer 3b is made of bismuth containing 3.8% by mass of tin in addition to the bismuth phase according to WDS analysis. It contained an alloy phase. When confirmed by the SEM image, the first solder layer 3a and the second solder layer 3b were observed in different shades, and the boundary could be clearly confirmed.

また、コア径10μm、クラッド径125μmの石英ガラス性のシングルモード光ファイバ
5を用意し、先端外周部に厚さ0.1μmの銅を蒸着した上に厚さ0.8μmのニッケルを蒸着し、その表面に厚さ8μmのニッケルめっきを施した第2金属層6を形成した。そして、上記準備した光ファイバ固定用フェルール4を290℃に加熱し、第2はんだ層3bを再溶
融して、フェルール1の後端部から光ファイバ5を挿入し、1分間維持した後、15分間か
けて25℃まで自然冷却させた。
In addition, a silica-glass single-mode optical fiber 5 having a core diameter of 10 μm and a cladding diameter of 125 μm is prepared, and 0.1 μm thick copper is vapor-deposited on the outer periphery of the tip, and then 0.8 μm thick nickel is vapor deposited on the surface A second metal layer 6 having a nickel plating thickness of 8 μm was formed. Then, the prepared optical fiber fixing ferrule 4 is heated to 290 ° C., the second solder layer 3b is remelted, the optical fiber 5 is inserted from the rear end of the ferrule 1, and maintained for 1 minute. It was naturally cooled to 25 ° C over a period of minutes.

この後、フェルール1の先端部に斜め研磨を行うとともに鏡面仕上げを行ない、光ファイバ固定具10を100個作製した。   Thereafter, the tip end portion of the ferrule 1 was obliquely polished and mirror-finished to produce 100 optical fiber fixtures 10.

この光ファイバ固定具10に2次はんだとして錫−銀−銅はんだを用い、250℃−1分
で光パッケージに気密封止したものを、ヘリウムリーク試験によって封止性の確認をした。また、光ファイバ5が破断していないかを確認のために、400倍の金属顕微鏡にて光ファイバ5の先端面から覗いて内部に傷がないことを確認した。
The optical fiber fixture 10 used was tin-silver-copper solder as a secondary solder, and hermetically sealed in an optical package at 250 ° C. for 1 minute was checked for sealing performance by a helium leak test. Further, in order to confirm whether or not the optical fiber 5 was broken, it was confirmed by looking through the front end surface of the optical fiber 5 with a 400 × metal microscope that there was no damage inside.

なお、比較例として、融点183℃の鉛−錫はんだを用いて光ファイバ5とフェルール1
とを接合した光ファイバ固定具を10個準備し、上記実施例と同様に鉛を90%含有した鉛−錫高融点はんだで気密封止したものの封止性の信頼性を確認した。
As a comparative example, an optical fiber 5 and a ferrule 1 using a lead-tin solder having a melting point of 183 ° C.
10 optical fiber fixtures were prepared, and hermetically sealed with a lead-tin high melting point solder containing 90% lead as in the above example, and the reliability of the sealing performance was confirmed.

その結果、試験した100個の光ファイバ固定具10において、リーク不良は発生せず、
気密封止の信頼性が高いことが確認された。また、光ファイバ5の破断は検知できなかった。なお、比較例の光ファイバ固定具は、同様にリーク不良は発生しなかったものの、光ファイバの破断が20個中5個発生していた。
As a result, in the 100 optical fiber fixtures 10 tested, no leak failure occurred,
It was confirmed that the reliability of hermetic sealing was high. Further, the breakage of the optical fiber 5 could not be detected. In addition, although the optical fiber fixing device of the comparative example did not cause a leak failure, 5 of the 20 optical fibers were broken.

なお、本発明は上述の実施の形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内であれば種々の変更は可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

1・・・フェルール
1a・・貫通孔
1b・・凹部
1c・・光ファイバ被覆保持部
2・・・金属層
3・・・はんだ層
3a・・第1はんだ層
3b・・第2はんだ層
4・・・光ファイバ固定用フェルール
5・・・光ファイバ
6・・・第2金属層
7・・・はんだ層
7a・・第3はんだ層
7b・・第4はんだ層
10・・光ファイバ固定具
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ferrule 1a ... Through hole 1b ... Recess 1c ... Optical fiber coating holding part 2 ... Metal layer 3 ... Solder layer 3a ... First solder layer 3b ... Second solder layer 4 ..Ferrule 5 for fixing an optical fiber ... Optical fiber 6 ... Second metal layer 7 ... Solder layer 7a ... Third solder layer 7b ... Fourth solder layer 10 ... Optical fiber fixing tool

Claims (4)

中央部に光ファイバを挿通するための貫通孔を有し、該貫通孔の一端部に前記貫通孔を拡径させた凹部を有するフェルールと、前記凹部の内壁面に形成された金属層と、該金属層に該金属層の少なくとも一部を覆うように接合されたはんだ層とを備え、前記はんだ層は、前記凹部の内壁面側に配置され、錫と前記金属層の金属成分との合金相を主成分とする第1はんだ層と、ビスマス相を主成分とし、錫−ビスマス合金相を含んだ前記第1はんだ層よりも融点が低い第2はんだ層とから成ることを特徴とする光ファイバ固定用フェルール。 A ferrule having a through hole for inserting an optical fiber in the center, a recess having an enlarged diameter of the through hole at one end of the through hole, a metal layer formed on the inner wall surface of the recess, A solder layer bonded to the metal layer so as to cover at least a part of the metal layer, the solder layer being disposed on the inner wall surface side of the recess, and an alloy of tin and a metal component of the metal layer A light comprising: a first solder layer having a phase as a main component; and a second solder layer having a bismuth phase as a main component and having a melting point lower than that of the first solder layer including a tin-bismuth alloy phase. Ferrule for fixing fiber. 前記金属層が、ニッケル,コバルト,金,または銅を含むことを特徴とする請求項1記載の光ファイバ固定用フェルール。 2. The ferrule for fixing an optical fiber according to claim 1, wherein the metal layer contains nickel, cobalt, gold, or copper. 請求項1または2記載の光ファイバ固定用フェルールと、先端外周面に第2金属層が形成され、前記貫通孔に挿通されるとともに、前記第2金属層と前記第2はんだ層とが接合されて気密封止された光ファイバとを具備し、前記はんだ層に、錫と前記第2金属層の金属成分との合金相を主成分とし、前記第2はんだ層よりも融点が高い第3はんだ層が形成されていることを特徴とする光ファイバ固定具。 The ferrule for fixing an optical fiber according to claim 1 or 2, a second metal layer is formed on the outer peripheral surface of the tip, and the second metal layer and the second solder layer are joined while being inserted through the through hole. A third solder having a melting point higher than that of the second solder layer, the main component of which is an alloy phase of tin and a metal component of the second metal layer. An optical fiber fixture having a layer formed thereon. 前記第2金属層の金属成分が、ニッケル,コバルト,金または,または銅を含むことを特徴とする請求項3記載の光ファイバ固定具。



The optical fiber fixture according to claim 3, wherein the metal component of the second metal layer includes nickel, cobalt, gold, or copper.



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