JP5415032B2 - Joint structure of resin tube - Google Patents
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Description
本発明は、樹脂製チューブの継ぎ手構造に関する。 The present invention relates to a joint structure for a resin tube.
半導体製造の分野において、シリコンウエハーの洗浄等にフッ酸水やアンモニア水等の各種薬液、超純水が用いられる。流量計等の機器類をはじめ薬液等を供給するチューブは、高清浄度が維持でき、耐食性に優れたフッ素樹脂から形成される。そのため、チューブ同士、あるいは機器とチューブとを接続する継ぎ手構造にも同様の理由からフッ素樹脂が用いられる。 In the field of semiconductor manufacturing, various chemicals such as hydrofluoric acid water and ammonia water, and ultrapure water are used for cleaning silicon wafers and the like. Tubes for supplying chemicals and the like as well as devices such as flowmeters are made of a fluororesin that can maintain high cleanliness and has excellent corrosion resistance. Therefore, a fluororesin is used for the same reason also in the joint structure which connects tubes or an apparatus and a tube.
図11に示すように、この種の継ぎ手構造1Sは、樹脂製チューブ100の拡径端部111を継ぎ手本体120に装着し袋ナット150により螺着して緊締する構造である。具体的には、樹脂製チューブ100の拡径端部111内に継ぎ手本体120の筒部121が挿入される。袋ナット150を継ぎ手本体120に螺着することにより、袋ナットの内鍔部151が樹脂製チューブの拡径端部111を継ぎ手本体の端部121に押し当てる。図示の符号125は継ぎ手本体の外ねじ部、155は袋ナットの内ねじ部である。
As shown in FIG. 11, this type of
その後、樹脂製チューブと継ぎ手本体との密着性を向上させるために、圧接リングにより樹脂製チューブの拡径部分を押圧した継ぎ手構造が提案された(例えば、特許文献1参照)。また、継ぎ手本体に樹脂製チューブの拡径端部が挿入される差込溝部が形成された継ぎ手構造(例えば、特許文献2参照)、樹脂製チューブの拡径端部が係止爪を備えたコレット部により押圧される継ぎ手構造(例えば、特許文献3参照)も提案されている。 Thereafter, in order to improve the adhesion between the resin tube and the joint body, a joint structure in which the diameter-enlarged portion of the resin tube is pressed by a pressure contact ring has been proposed (for example, see Patent Document 1). Also, a joint structure (for example, see Patent Document 2) in which an insertion groove portion into which a diameter-expanded end portion of a resin tube is inserted is formed in the joint body, and a diameter-expanded end portion of the resin tube has a locking claw. A joint structure that is pressed by a collet portion (for example, see Patent Document 3) has also been proposed.
現在、ウエハー洗浄効率の改善、薬剤の溶解度調整から高温水、水蒸気等の高温、高圧の流体圧送が増えつつある。そのため、チューブや継ぎ手構造等は高温流体に曝露される過酷な使用にも耐えなければならない。ところが、PTFE等の軟質のフッ素樹脂は切削加工には向くものの線膨張係数が大きく、高温流体の流入時の加熱、同流体の流入停止時の冷却に晒されるうちにチューブの末端、継ぎ手本体または袋ナットの変形を助長する。このような変形はクリープ(creep)と称される。 Currently, high-pressure and high-pressure fluid pumping such as high-temperature water and steam is increasing due to improvement of wafer cleaning efficiency and adjustment of drug solubility. For this reason, tubes and joint structures must withstand harsh use exposed to high-temperature fluids. However, although soft fluororesin such as PTFE is suitable for cutting, it has a large linear expansion coefficient, and it is exposed to heating at the time of inflow of high-temperature fluid and cooling at the time of stoppage of the inflow of the fluid. Helps deform the cap nut. Such deformation is referred to as creep.
一般に、図11のとおり、継ぎ手本体、チューブ、袋ナットは面接触となるため、袋ナットを螺着する際、袋ナットとチューブとの摩擦により、チューブも袋ナットに引き寄せられて同じ向きに回りやすい。これは共回りと称される。共回りによりチューブに捻れの力が蓄積されると、前記の熱による影響に加えて薬液等の流体の供給とその停止に伴う振動がチューブに加わった場合、捻れを解消するべくチューブは元に戻ろうとする。これは、袋ナットのねじ締めに緩みを生じさせる原因となっていた。さらに、継ぎ手本体及び袋ナットは共に樹脂製であることから、金属製の継ぎ手構造と比べて粘性や弾性が大きくなる。その分、袋ナットの締結強さが劣る問題点もある。 In general, as shown in FIG. 11, the joint body, the tube, and the cap nut are in surface contact. Therefore, when the cap nut is screwed, the tube is attracted to the cap nut by the friction between the cap nut and the tube, and rotates in the same direction. Cheap. This is called co-rotation. When twisting force is accumulated in the tube due to co-rotation, in addition to the above-mentioned influence of heat, when the supply of fluid such as chemical solution and vibration due to its stop are applied to the tube, the tube will be restored to eliminate twisting Try to return. This has been a cause of loosening of the cap nut. Furthermore, since the joint body and the cap nut are both made of resin, viscosity and elasticity are increased as compared with a metal joint structure. Accordingly, there is a problem that the fastening strength of the cap nut is inferior.
前記の各特許文献に開示の継ぎ手構造によって、袋ナットと継ぎ手本体との締結を維持しチューブ同士、あるいは機器とチューブとの接続に一定の効果を上げている。しかしながら、既存のねじの構造を採用しているため、前述のクリープや共回り等の理由により、いったん袋ナットの螺着に緩みが生じた際には、袋ナットの回転をねじの途中で抑えることが困難であった。このため、締結の緩みによりチューブの接続部位に隙間が生じる問題を完全には解消することができなかった。 With the joint structure disclosed in each of the above patent documents, the fastening between the cap nut and the joint body is maintained, and a certain effect is achieved in the connection between the tubes or between the device and the tube. However, since the existing screw structure is adopted, once the cap nut is loosened due to the above-mentioned creep or co-rotation, the cap nut rotation is suppressed in the middle of the screw. It was difficult. For this reason, it has not been possible to completely eliminate the problem that a gap occurs in the connection portion of the tube due to loosening of the fastening.
この場合、樹脂製のチューブ同士、あるいは機器とチューブとを融着により接続してチューブの脱離を防ぐ手法もある。しかし、チューブや機器類を交換しようとすれば、管路や機器類をその都度破壊しなければならず、かえって使い勝手が悪くなる。そこで、部材の熱変形(クリープ)や振動にも強く、強固な締結を維持し、接続と取り外しが可能な継ぎ手構造が切望されている。
本発明は前記の点に鑑みなされたものであり、継ぎ手本体、樹脂製チューブ、袋ナットに生じる熱変形や振動に強く、継ぎ手本体とチューブとの強固な締結を維持し、たとえ袋ナットの螺着に緩みが生じた際においても袋ナットの回転をねじの途中で抑えることができる樹脂製チューブ同士あるいは流体機器とチューブとの接続と取り外しが可能な樹脂製チューブの継ぎ手構造を提供する。 The present invention has been made in view of the foregoing points, and is resistant to thermal deformation and vibration generated in the joint body, the resin tube, and the cap nut, and maintains a strong fastening between the joint body and the tube, even if the cap nut is screwed. Provided is a resin tube joint structure in which rotation of a cap nut can be suppressed in the middle of a screw even when looseness occurs in a wear, or between resin tubes and a fluid device and a tube can be connected and detached.
すなわち、請求項1の発明は、樹脂製チューブの拡径端部を継ぎ手本体に嵌着し、袋ナットの内ねじ部を前記継ぎ手本体の外ねじ部に螺着して緊締する継ぎ手構造において、前記継ぎ手本体及び前記袋ナットは共にフッ素樹脂から形成され、前記外ねじ部は断面形状を5ないし13の頂点と辺部を有する多角形状部として形成されていると共に、前記内ねじ部も断面形状を5ないし13の頂点と辺部を有する多角形状部として形成されており、前記継ぎ手本体の前記外ねじ部に螺着している前記袋ナットの前記内ねじ部が前記外ねじ部の頂点部分を回動するに際し、前記袋ナット自体が前記フッ素樹脂の弾性により前記内ねじ部の外側に膨らむように変形して前記内ねじ部の辺部が前記外ねじ部の頂点部分を乗り越えることを特徴とする樹脂製チューブの継ぎ手構造に係る。
That is, the invention according to
請求項2の発明は、前記外ねじ部の中心から前記外ねじ部の多角形状部断面の多角形の頂点までの最長距離(r2)が前記外ねじ部の中心から前記多角形の辺部までの最短距離(r1)の1.001〜1.07倍の長さを有する請求項1に記載の樹脂製チューブの継ぎ手構造に係る。
In the invention of
請求項3の発明は、前記継ぎ手本体には、前記外ねじ部を備えた筒部と、前記筒部の先端を膨出させた環状リップ部と、前記筒部の内側に前記樹脂製チューブの拡径端部が挿入される連結筒部と、前記筒部の内側であり前記連結筒部の外周側に形成され前記樹脂製チューブの拡径端部が挿入される差込溝部とが設けられ、前記連結筒部には先端テーパ面部が設けられていると共に、前記先端テーパ面部又は前記連結筒部の外周の連結筒部外周面部には環状溝部が形成され、前記袋ナットには、前記継ぎ手本体との螺着時において前記樹脂製チューブの拡径端部を前記先端テーパ面部に圧締する内鍔部と、前記継ぎ手本体との螺着時において前記環状リップ部を前記樹脂製チューブの拡径端部に圧締することにより前記樹脂製チューブの拡径端部を前記環状溝部側へ押圧する内テーパ面部が備えられている請求項1又は2に記載の樹脂製チューブの継ぎ手構造に係る。 According to a third aspect of the present invention, the joint main body includes a cylindrical portion provided with the external thread portion, an annular lip portion in which a tip of the cylindrical portion is bulged, and the resin tube inside the cylindrical portion. A connecting cylinder part into which the enlarged diameter end part is inserted and an insertion groove part which is formed inside the cylindrical part and on the outer peripheral side of the connecting cylinder part and into which the enlarged diameter end part of the resin tube is inserted are provided. The connecting tube portion is provided with a tip tapered surface portion, and an annular groove portion is formed in the connecting tube portion outer peripheral surface portion of the tip tapered surface portion or the outer periphery of the connecting tube portion, and the cap nut includes the joint. An inner flange portion that presses the diameter-expanded end portion of the resin tube against the tip tapered surface portion when screwed with the main body, and the annular lip portion when the screw body is screwed with the annular lip portion. diameter end of the resin tube by clamping the diameter end The according to the joint structure of the resin tube according to claim 1 or 2, tapered surface portion is provided inside that presses into the annular groove side.
請求項4の発明は、前記外ねじ部が、多角状外ねじ部と螺旋状外ねじ部の双方からなる請求項1ないし3のいずれか1項に記載の樹脂製チューブの継ぎ手構造に係る。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the joint structure for a resin tube according to any one of the first to third aspects, wherein the external thread portion includes both a polygonal external thread portion and a spiral external thread portion .
請求項1の発明に係る樹脂製チューブの継ぎ手構造によると、樹脂製チューブの拡径端部を継ぎ手本体に嵌着し、袋ナットの内ねじ部を前記継ぎ手本体の外ねじ部に螺着して緊締する継ぎ手構造において、前記継ぎ手本体及び前記袋ナットは共にフッ素樹脂から形成され、前記外ねじ部は断面形状を5ないし13の頂点と辺部を有する多角形状部として形成されていると共に、前記内ねじ部も断面形状を5ないし13の頂点と辺部を有する多角形状部として形成されており、前記継ぎ手本体の前記外ねじ部に螺着している前記袋ナットの前記内ねじ部が前記外ねじ部の頂点部分を回動するに際し、前記袋ナット自体が前記フッ素樹脂の弾性により前記内ねじ部の外側に膨らむように変形して前記内ねじ部の辺部が前記外ねじ部の頂点部分を乗り越えるため、継ぎ手本体、樹脂製チューブ、袋ナットに生じる熱変形や振動に強く、継ぎ手本体とチューブとの強固な締結を維持し、たとえ袋ナットの螺着に緩みが生じた際においても袋ナットの回転をねじの途中で抑えることができる樹脂製チューブ同士あるいは流体機器とチューブとの接続と取り外しが可能な樹脂製チューブの継ぎ手構造を実現することができる。 According to the joint structure of the resin tube according to the first aspect of the present invention, the enlarged end portion of the resin tube is fitted to the joint body, and the inner thread portion of the cap nut is screwed to the outer thread portion of the joint body. In the joint structure to be tightened, the joint body and the cap nut are both formed of fluororesin, and the external thread portion is formed as a polygonal shape portion having a cross section of 5 to 13 apexes and sides, The inner screw portion is also formed as a polygonal portion having a cross-sectional shape of 5 to 13 apexes and sides, and the inner screw portion of the cap nut screwed to the outer screw portion of the joint body is When rotating the apex portion of the outer screw portion, the cap nut itself is deformed so as to bulge outside of the inner screw portion due to the elasticity of the fluororesin, and the side portion of the inner screw portion is the outer screw portion. Raise vertex Exceeds Therefore, joint body, a resin tube, resistant to thermal deformation and vibration generated in the cap nut, to maintain a strong engagement between the joint body and the tube, even if the cap nut even when the loosening occurs in screwing the cap nut It is possible to realize a joint structure of resin tubes that can be connected and detached from each other or between a fluid device and a tube that can suppress rotation in the middle of a screw.
また、袋ナットを螺着する際の内ねじ部の抵抗を軽減して袋ナットの回しにくさを解消すると共に、緊締にゆるみが生じた際の袋ナットの回転に対し内ねじ部から受ける抵抗を適度に残すことができる。さらに、多角形状部同士の螺着のような形状変形にも対応でき、しかも耐食性、耐薬品性に優れている。 In addition, the resistance of the inner thread when screwing the cap nut is reduced to eliminate the difficulty of turning the cap nut, and the resistance received from the inner screw against the rotation of the cap nut when tightening occurs Can be left in moderation. Furthermore, it can cope with shape deformation such as screwing between polygonal portions, and is excellent in corrosion resistance and chemical resistance.
請求項2の発明に係る樹脂製チューブの継ぎ手構造によると、請求項1の発明において、前記外ねじ部の中心から前記外ねじ部の多角形状部断面の多角形の頂点までの最長距離(r2)が前記外ねじ部の中心から前記多角形の辺部までの最短距離(r1)の1.001〜1.07倍の長さを有するため、継ぎ手本体の外ねじ部と袋ナットの内ねじ部による螺合しやすさ、並びに緊締に緩みが生じた際の抵抗の双方を両立させることができる。
According to the joint structure of the resin tube according to the invention of
請求項3の発明に係る樹脂製チューブの継ぎ手構造によると、請求項1又は2の発明において、前記継ぎ手本体には、前記外ねじ部を備えた筒部と、前記筒部の先端を膨出させた環状リップ部と、前記筒部の内側に前記樹脂製チューブの拡径端部が挿入される連結筒部と、前記筒部の内側であり前記連結筒部の外周側に形成され前記樹脂製チューブの拡径端部が挿入される差込溝部とが設けられ、前記連結筒部には先端テーパ面部が設けられていると共に、前記先端テーパ面部又は前記連結筒部の外周の連結筒部外周面部には環状溝部が形成され、前記袋ナットには、前記継ぎ手本体との螺着時において前記樹脂製チューブの拡径端部を前記先端テーパ面部に圧締する内鍔部と、前記継ぎ手本体との螺着時において前記環状リップ部を前記樹脂製チューブの拡径端部に圧締することにより前記樹脂製チューブの拡径端部を前記環状溝部側へ押圧する内テーパ面部が備えられているため、袋ナットの螺着時に、環状溝部の縁部に圧力が集中して高いシール性能を得ることができ、さらに、流体の温度変化に起因する樹脂製チューブの変形や共回りにより生じる捻れにも対応することができる。
According to the joint structure of the resin tube according to the invention of claim 3, in the invention of
請求項4の発明に係る樹脂製チューブの継ぎ手構造によると、請求項1ないし3のいずれかの発明において、前記外ねじ部が、多角状外ねじ部と螺旋状外ねじ部の双方からなるため、袋ナットによる螺着の容易さとねじ締めのゆるみ止め性能の両方を併せ持つことができる。
According to the joint structure of the resin tube according to the invention of claim 4, in the invention of any one of
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例に係る継ぎ手構造の分解斜視図、図2は継ぎ手本体の外ねじ部の部分拡大図、図3は多角形状部の縦断面図、図4は継ぎ手本体と袋ナットとの螺合時の横断面模式図、図5は図1の継ぎ手構造の断面図、図6は継ぎ手本体と袋ナットとの螺合時の要部縦断面図、図7は継ぎ手本体と袋ナットとの螺合時の拡大断面図、図8は他の例の継ぎ手構造の部分斜視図、図9はさらに他の継ぎ手本体の部分断面図、図10は本発明に係る継ぎ手構造の別形態の横断面模式図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
1 is an exploded perspective view of a joint structure according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially enlarged view of an external thread portion of a joint body, FIG. 3 is a longitudinal sectional view of a polygonal portion, and FIG. 4 is a joint body and a bag. FIG. 5 is a cross-sectional view of the joint structure of FIG. 1, FIG. 6 is a longitudinal sectional view of the main part when the joint body and the cap nut are screwed, and FIG. FIG. 8 is a partial perspective view of another example of a joint structure, FIG. 9 is a partial sectional view of still another joint body, and FIG. 10 is another example of the joint structure according to the present invention. It is a cross-sectional schematic diagram of a form.
図1の分解斜視図に示す第1実施例の樹脂製チューブの継ぎ手構造1Aにおいては、樹脂製チューブ10の拡径端部11は継ぎ手本体20に嵌着され、同時に樹脂製チューブ10は拡径端部11の背後から袋ナット50により継ぎ手本体20側に押し当てられる。そして、袋ナット50の内ねじ部55を継ぎ手本体20の外ねじ部25に螺着することによって緊締状態となる。第1実施例の樹脂製チューブの継ぎ手構造1Aは、2本の樹脂製チューブ10,10を連結する際に用いられる。
In the resin tube joint structure 1A of the first embodiment shown in the exploded perspective view of FIG. 1, the enlarged
樹脂製チューブ10は、主に耐食性、耐薬品性の高いフッ素樹脂等の可撓性材料からなる。その拡径端部11は、例えば、公知のフレアー加工機を用いチューブ末端の口径が広げられる。図示の継ぎ手本体20において、外ねじ部25は継ぎ手本体の長手方向を構成する筒部21の外周に設けられている。また、継ぎ手本体20の筒部21には、環状リップ部31、連結筒部32、差込溝部33、先端テーパ面部34、環状溝部35が形成されている。これらの詳細については図5等にて説明する。図中、符号51は内鍔部である。
The
この発明の特徴として特に図示から理解されるように、互いに螺着する継ぎ手本体20の外ねじ部25と袋ナット50の内ねじ部55のねじ形状は、多角形状部23として形成されていることである。多角形状部23は、外ねじ部25及び内ねじ部55は共に、その断面形状が5ないし13の頂点を有する多角形である。第1実施例の外ねじ部25及び内ねじ部55では、ねじ形状を六角形の多角形状部としている。
As understood from the drawing as a feature of the present invention, the thread shape of the
図2の主要部図から分かるように、ねじ形状を六角形とする外ねじ部25が備えられた多角形状部23は、6の頂点22と6の辺部26から構成される。辺部26は、多角形状部23の中心から外方に向けて辺部の中央部27を円弧状に膨らませた湾曲形状に形成されている(多角形状部の破線箇所参照)。袋ナット50においても、内ねじ部55が備えられている多角形状部は6の頂点57と6の辺部56から構成される。内ねじ部55のねじ形状は、前記の外ねじ部25と螺着するように中心から外側へ湾曲した形状である。図示の外ねじ部、内ねじ部は共に三角ねじ(ねじの断面が三角形)である。むろん、この他に、台形ねじ、片台形ねじ、方形ねじとすることもできる。符号29は継ぎ手本体を流体が流通する貫通部である。
As can be seen from the main part diagram of FIG. 2, the
図3は継ぎ手本体の外ねじ部が設けられている多角形状部断面の多角形の一例である(同図(a)ないし(d)参照)。これらの多角形は、前記のとおり、五角形(頂点数5)ないし十三角形(頂点数13)から選択される。頂点数が5未満となる場合、頂点部分の抵抗が大きくなりすぎて袋ナットを回しにくくなるため除外した。また、頂点数が14以上の場合も可能であるが、これ以上頂点数を多くすると多角形状部の断面は円に近似する。よって、本発明の特徴である緊締にゆるみが生じた際の袋ナットの回転に対し頂点部分から受ける抵抗が減殺されてしまう。 FIG. 3 is an example of a polygon having a cross section of a polygonal portion provided with an external thread portion of a joint body (see FIGS. 3A to 3D). As described above, these polygons are selected from pentagons (5 vertices) to 10 triangles (13 vertices). When the number of vertices was less than 5, it was excluded because the resistance at the vertices became too large to turn the cap nut. In addition, the number of vertices is 14 or more, but if the number of vertices is increased more, the cross section of the polygonal shape portion approximates to a circle. Therefore, the resistance received from the apex portion with respect to the rotation of the cap nut when the tightening which is a feature of the present invention is loosened is reduced.
さらに、外ねじ部が備えられている多角形状部断面の多角形において、外ねじ部の中心Ctから当該多角形までの最長距離r2は、外ねじ部の中心Ctから同多角形状部断面の多角形までの最短距離r1の1.001〜1.07倍の長さに規定される。これは、継ぎ手本体の外ねじ部と袋ナットの内ねじ部による螺合しやすさ、並びに緊締に緩みが生じた際の抵抗の双方を両立させるためである。最長距離r2の最短距離r1に対する倍率は、選択する多角形状部断面の多角形、継ぎ手構造の大きさ、継ぎ手構造に加わる振動や衝撃の程度、後述する樹脂の性質等により最適な倍率が規定される。 Further , in the polygon of the polygonal section cross section provided with the external thread portion, the longest distance r2 from the center Ct of the external thread portion to the polygon is the multiple of the polygonal section cross section from the center Ct of the external thread portion. The length is defined to be 1.001 to 1.07 times the shortest distance r1 to the square. This is to achieve both the ease of screwing by the outer threaded portion of the joint body and the inner threaded portion of the cap nut, and the resistance when loosening occurs in tightening. The magnification of the longest distance r2 to the shortest distance r1 is determined by the polygon of the polygonal section section to be selected, the size of the joint structure, the degree of vibration and impact applied to the joint structure, the properties of the resin described later, and the like. The
図3(a)の断面図は、前掲図2に開示の断面形状六角形の多角形状部23を示す。図示の破線が基準となる六角形である。多角形状部の断面である多角形は頂点22と辺部26からなる。外ねじ部25を備える多角形状部23の中心Ctから当該多角形状部断面の多角形までの最長距離r2は、中心Ctから頂点22までの距離である。外ねじ部25の中心Ctから当該多角形までの最短距離r1は、中心Ctから辺部26で円弧状に膨らむ中央部27までの距離である。
The cross-sectional view of FIG. 3A shows the hexagonal
図3(b)の断面図は断面形状七角形の多角形状部23bを示す。この多角形状部23bはルーロー多角形(ルーロー七角形)から構成され、その外周に外ねじ部25bが設けられている。外ねじ部25bを備える多角形状部23bの中心Ctから当該多角形状部断面の多角形までの最長距離r2は、中心Ctから頂点22bまでの距離である。外ねじ部25bの中心Ctから当該多角形までの最短距離r1は、中心Ctから辺部26bで円弧状に膨らむ中央部27bまでの距離である。図示の破線は基準となる七角形である。
The cross-sectional view of FIG. 3B shows a
図3(c)の断面図は断面形状九角形の多角形状部23cを示す。この多角形状部23cもルーロー多角形(ルーロー九角形)から構成され、その外周に外ねじ部25cが設けられている。外ねじ部25cを備える多角形状部23cの中心Ctから当該多角形状部断面の多角形までの最長距離r2は、中心Ctから頂点22cまでの距離である。外ねじ部25cの中心Ctから当該多角形までの最短距離r1は、中心Ctから辺部26cで円弧状に膨らむ中央部27cまでの距離である。図示の破線は基準となる九角形である。
The cross-sectional view of FIG. 3C shows a polygonal portion 23c having a cross-sectional shape of a hexagon. The polygonal portion 23c is also composed of a Rouleau polygon (Ruleau nine-sided polygon), and an
図3(d)の断面図は断面形状十二角形の多角形状部23dを示す。この多角形状部23dは辺部26dに円弧状の膨らみを持たない正十二角形から構成され、その外周に外ねじ部25dが設けられている。外ねじ部25dを備える多角形状部23dの中心Ctから当該多角形状部断面の多角形までの最長距離r2は、中心Ctから頂点22dまでの距離である。外ねじ部25dの中心Ctから当該多角形までの最短距離r1は、中心Ctから辺部26dまでの距離である。
The cross-sectional view of FIG. 3D shows a polygonal portion 23d having a cross-sectional dodecagon. The polygonal portion 23d is formed of a regular dodecagon having no arcuate bulge on the
図示の多角形状部23b,23cのとおり、ルーロー多角形とする場合、頂点数は5ないし13のいずれかの奇数となる。また、多角形状部23dのとおり、正多角形とすることもできる。いずれにおいても、最長距離r2の最短距離r1に対する倍率が前記の範囲内である限り、ルーロー多角形や正多角形あるいは円弧の膨らみを有する多角形とすることは適宜である。
As shown in the illustrated
図4の横断面図を用い、第1実施例の継ぎ手構造における螺着時の様子を説明する。図中の矢印はこの例のねじ締めの向きを示す。図4(a)は袋ナット50の内ねじ部55を継ぎ手本体20の外ねじ部25に途中まで螺着させた状態である。図示のとおり、袋ナット50と継ぎ手本体20の多角形状部23,23同士は緊締状態である。そこで、多角形状部の断面多角形を構成する袋ナットの辺部56と継ぎ手本体の辺部26とは互いに螺合し、また、袋ナットの頂点57と継ぎ手本体の頂点22も互いに一致する位置関係にある。この時点の袋ナット50における最小の肉厚はt1の長さである。
The state at the time of screwing in the joint structure of the first embodiment will be described with reference to the cross-sectional view of FIG. The arrows in the figure indicate the direction of screw tightening in this example. FIG. 4A shows a state in which the
図4(b)は、同図(a)より30°ねじ締めの向きに回した状態である。当該ねじ締めの回転により、袋ナットの頂点57は継ぎ手本体の頂点22から30°離れた位置にある。このとき、継ぎ手本体20の頂点22部分の外ねじ部25と袋ナット50の辺部56の中央部分に位置する内ねじ部55との係合により、継ぎ手本体20と袋ナット50は螺着している。特に、袋ナット50が継ぎ手本体20の頂点22部分を回動する際、袋ナット50は外側に膨らむように変形して継ぎ手本体20の頂点22部分を乗り越える。図示の二点鎖線は回動前の袋ナットの輪郭であり、t2の長さ分袋ナットに変形が生じている。さらに30°回動すると、袋ナットは同図(a)と同様の位置となる。この回動の繰り返しにより、袋ナットの螺着は進み、樹脂製チューブは継ぎ手本体に圧着される。
FIG.4 (b) is the state rotated to the direction of 30 degree screw fastening from the figure (a). Due to the rotation of the screw tightening, the apex 57 of the cap nut is located 30 ° away from the apex 22 of the joint body. At this time, the
通常、ねじ形状とは断面円形の円筒部分に螺旋状にねじ山が形成される。この場合、継ぎ手本体の外ねじ部と袋ナットの内ねじ部による螺着時の緊締にゆるみが生じると、両ねじ部の螺合に伴う摩擦は存在するものの、途中の抵抗を受けることなく袋ナットは回り、螺着が解かれる。これに対し、ねじ形状が多角形状となることにより、いったん継ぎ手本体の外ねじ部と袋ナットの内ねじ部による螺着時の緊締にゆるみが生じて袋ナットが回る場合であっても、断面多角形状の頂点部分が抵抗となる。つまり、多角形状の頂点部分を通過するためには、袋ナット自体は変形しなければならず、ゆるんだ袋ナットが引き続き回動するためには過大な荷重が必要となる。加えて、袋ナットが回動しようとしても、多角形状の頂点部分に到達する毎に逐次抵抗を受ける。この結果、ねじ締めにゆるみが生じたとしても初期時点で袋ナット回動が抑えられ、チューブの圧締は維持される。すなわち、極めてねじ締めのゆるみに耐性ある滑り止め性能に優れた継ぎ手構造を実現することができる。 Usually, the thread shape is a spiral thread formed in a cylindrical portion having a circular cross section. In this case, if loosening occurs when the outer threaded portion of the joint body and the inner threaded portion of the cap nut are screwed together, there will be friction due to the screwing of both screw portions, but there will be no resistance in the middle. The nut turns and unscrews. On the other hand, since the screw shape is a polygonal shape, even if the cap nut turns once due to loose tightening at the time of screwing by the outer screw portion of the joint body and the inner screw portion of the cap nut, the cross section The apex part of the polygonal shape becomes resistance. That is, in order to pass through the apex portion of the polygonal shape, the cap nut itself must be deformed, and an excessive load is required for the loose cap nut to continue to rotate. In addition, even if the cap nut is about to rotate, it is successively subjected to resistance each time it reaches the apex portion of the polygonal shape. As a result, even if the screw tightening is loosened, the cap nut rotation is suppressed at the initial time, and the tube pressure is maintained. That is, it is possible to realize a joint structure excellent in anti-slip performance that is extremely resistant to loosening of screw tightening.
本来ならば、多角形状部同士を螺着させようとすると、部材に破損が生じたり、いったん螺着した後の取り外しが困難になることが多い。しかし、図示のとおり、無理を重ねながらも袋ナット50を継ぎ手本体20に螺着させる必要がある。そこで、互いに螺合し合っているときの係合部位の破損を回避するべく、袋ナット50及び継ぎ手本体20は適度な弾性を有し、しかも形状変形可能なことが不可欠となる。この点から、袋ナット50及び継ぎ手本体20は共に樹脂素材から形成される。とりわけ、前記の樹脂製チューブと同様に、耐食性、耐薬品性に優れたフッ素樹脂から形成される。
Originally, when the polygonal shaped parts are screwed together, the members are often damaged or removed after being screwed once. However, as shown in the figure, it is necessary to screw the
部材の材料となるフッ素樹脂は、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)、PFA(パーフルオロアルコキシアルカン)、FEP(パーフルオロエチレンプロペンコポリマー)、PVDF(ポリビニリデンフルオライド)等である。これらのフッ素樹脂は、流通する流体の性質、加工のしやすさ、樹脂の可撓性、粘り、硬さ等を考慮して選択される。 The fluororesin that is the material of the member is PTFE (polytetrafluoroethylene), PFA (perfluoroalkoxyalkane), FEP (perfluoroethylene propene copolymer), PVDF (polyvinylidene fluoride), or the like. These fluororesins are selected in consideration of the properties of the flowing fluid, ease of processing, flexibility, stickiness, hardness, etc. of the resin.
図5の縦断面図は、第1実施例の樹脂製チューブの継ぎ手構造1Aによる接続状態を示す。前出の図1と併せて第1実施例の継ぎ手本体20における筒部21の先端部分の構造を説明する。当該先端部分の構造は、継ぎ手本体20の長手方向の前後に外ねじ部25を備えた筒部21が設けられ、その筒部21の先端に丸みを持たせて膨出(拡大)させた環状リップ部31が形成される。この筒部21の内側に、樹脂製チューブ10の拡形端部11が挿入され、これと密着する連結筒部32が設けられる。また、筒部21の内側であり連結筒部32の外周側に、樹脂製チューブ10の拡形端部11が挿入される差込溝部33が形成される。連結筒部32の先端には先細となった先端テーパ面部34が設けられている。さらに、先端テーパ面部34には、環状溝部35が形成されている。
The longitudinal cross-sectional view of FIG. 5 shows the connection state by the joint structure 1A of the resin tube of 1st Example. The structure of the tip portion of the
連結筒部32の外径は、樹脂製チューブ10の拡形端部11の内径よりも若干大きめに形成される。これは、樹脂製チューブの拡径端部を連結筒部に差し込んだときに拡径端部が押し広げられて僅かに変形する。樹脂製チューブの拡径端部にはもとの形状に戻ろうとする復元力が働くため、樹脂製チューブと継ぎ手本体(連結筒部)との密着力は強まり、シール性能、引き抜き強度も高まる。先端テーパ面部34は、装着する樹脂製チューブ10の拡形端部11の形状に対応した傾斜を有している。この傾斜は、樹脂製チューブの拡径端部を連結筒部に差し込む際の抵抗を少なくするためである。
The outer diameter of the connecting
次に袋ナット50の内ねじ部55が設けられている開口部58側と反対側には樹脂製チューブが挿通されるチューブ開口部59が設けられている。チューブ開口部59の周囲には内鍔部51が備えられる。内鍔部51(チューブ開口部59)により袋ナット50の最小径部が形成される。袋ナット50を継ぎ手本体20に螺着したとき、樹脂製チューブ10の拡径端部11は内鍔部51を通じて先端テーパ面部34に圧締される。
Next, a
併せて、内鍔部51よりも袋ナット50の内部側には内テーパ面部52が形成される。袋ナット50を継ぎ手本体20に螺着したとき、この内テーパ面部52により、筒部21の先端の環状リップ部31は内側に折り曲げられる。同時に環状リップ部31により樹脂製チューブ10の拡径端部11は押圧され、拡径端部11は先端テーパ面部34に圧着される。同時に、拡径端部11の一部は環状溝部35の内部に食い込む。
In addition, an inner tapered
続いて図6、図7の要部縦断面模式図を用い、袋ナット50と継ぎ手本体20との螺着時の様子を説明する。図6(a)は初期の螺着状態であり、継ぎ手本体20の筒部21の先端にある環状リップ部31は、袋ナット50の内テーパ面部52と離れた状態である。図4にて説明した袋ナット50の螺着に伴う前進により、同図(b)のとおり、継ぎ手本体20の筒部21の環状リップ部31に袋ナット50の内テーパ面部52が当接する。そこで、図中の矢印のように環状リップ部31は樹脂製チューブ側に折り曲げられるように変形する。
Subsequently, the state at the time of screwing between the
さらに袋ナット50の螺着に伴う前進により、同図(c)のとおり、袋ナット50の内鍔部51が樹脂製チューブ10の拡径端部11のテーパ部分12に接触する。拡径端部11のテーパ部分12に袋ナットの筒方向となる前進方向の押圧力f1が作用することにより、拡径端部11は継ぎ手本体20の連結筒部32に圧接される。同時に、継ぎ手本体の中心側へ変形した環状リップ部31から拡径端部11のテーパ部分12へ内向きの押圧力f2が生じる。
Further, as the
ここで、環状リップ部31を介して押圧された樹脂製チューブ10の拡径端部11は、押圧量に応じて先端テーパ面部34に形成された環状溝部35内へ食い込む。図7に示すとおり、環状溝部35内へ食い込んだ樹脂製チューブの拡径端部11は、環状溝部35の縁に当接する。図示の環状溝部35は断面形状を函形とするため、拡径端部11は環状溝部35の縁部35eと線接触する。よって、螺着時に環状溝部35の縁部35eに圧力f3が集中することにより、よりいっそう高いシール性能を得ることができる。結果、流通させる流体の温度変化に起因する樹脂製チューブの変形や共回りにより生じる捻れにも対応することができる。なお、図示しないが前述のとおり、樹脂製チューブの拡径端部にはもとの形状に戻ろうとする復元力も作用している。このように、袋ナットのみを螺着することによって、非常に高い密着性を得ることができことから、管路形成に必要な部品数の削減が可能となり、施工時の煩雑さが軽減される。
Here, the enlarged
図8の部分斜視図は、第2実施例の樹脂製チューブの継ぎ手構造1Bに用いる継ぎ手本体20xを示す。この継ぎ手本体20xによると、外ねじ部25xは、継ぎ手本体20xの多角形状部23p及び当該多角形状部23pよりも継ぎ手本体の先端側となる円筒形状部24qの両方に形成されている。より詳しく述べると、外ねじ部25xは、多角形状部23pに形成された多角状外ねじ部25uと、円筒形状部24qに形成された螺旋状外ねじ部25vの双方からなり、螺旋状外ねじ部25vと多角状外ねじ部25uとは、連続した一条のねじ山として形成されている。継ぎ手本体20xと螺着する袋ナットは、図2のように多角形状部に内ねじを形成した袋ナット50としても良く、あるいは、図示しないが、袋ナットの開口部側を円筒状とすると共にその直後を多角形状部として、双方に内ねじ部を設けた構造とすることも可能である。なお、図示の便宜上、筒部21xは図11の従来例の先端構造を採用している例である。むろん、図1等の連結筒部等を適用可能なことは言うまでもない。また、第2実施例以降の図示において、第1実施例の樹脂製チューブの継ぎ手構造1Aと共通する箇所には同一符号を用いた。
The partial perspective view of FIG. 8 shows a
第2実施例の継ぎ手本体20xのように、外ねじ部の全てを多角形状部に形成していないため、袋ナットの螺着の初期段階では、袋ナットは円筒形状部24qの螺旋状外ねじ部25vを抵抗無く回転できる。その後、継ぎ手構造が緊締を要し、ねじ緩みを回避したい部位に袋ナットが到達した時点では、袋ナットの内ねじ部は多角形状部23pの多角状外ねじ部25uと螺合できる。従って、袋ナットによる螺着の容易さと、前述のねじ締めのゆるみへの耐性ある滑り止め性能の両方を併せ持つことができる。
Unlike the joint
図9の部分断面図は、第3実施例の樹脂製チューブの継ぎ手構造1Cに用いる継ぎ手本体20yを示す。この継ぎ手本体20yでは、連結筒部32の外周にある連結筒部外周面部36に環状溝部35が形成されている。差込溝部33内へ樹脂製チューブ10の拡形端部11を挿入し、袋ナット50yを継ぎ手本体20yに螺着したとき、この内テーパ面部52yにより筒部21の先端の環状リップ部31は内側に折り曲げられる。この押圧を受けて環状リップ部31により樹脂製チューブ10の拡径端部11は押圧され、拡径端部11は連結筒部外周面部36に圧着される。そして、拡径端部11の一部は環状溝部35の内部に食い込む。図示の継ぎ手本体20yの場合も前記の継ぎ手本体20と同様に、螺着時に環状溝部の縁部に圧力が集中して、よりいっそう高いシール性能が発揮される。
9 shows a
既述の実施例は、2本の樹脂製チューブ同士を連結する構造である。さらに、図10の縦断面図に示す樹脂製チューブの継ぎ手構造1Dのように、流量計、開閉弁、圧力制御弁等をはじめとする各種の流体機器40の本体経路19と樹脂製チューブ10との接続にも適用することができる。袋ナット50によって継ぎ手本体60に樹脂製チューブ10を接続する構成は、図5、図6等の説明と同様である。
The embodiment described above has a structure for connecting two resin tubes. Furthermore, as in the resin tube
継ぎ手本体60の長手方向の一側にあり外ねじ部65を備えた筒部61には、その先端に丸みを持たせて膨出(拡大)させた環状リップ部71が形成される。この筒部71の内側に、樹脂製チューブ10の拡形端部11が挿入され、これと密着する連結筒部72が設けられる。また、筒部61の内側であり連結筒部72の外周側に、樹脂製チューブ10の拡形端部11が挿入される差込溝部73が形成される。連結筒部72の先端には先細となった先端テーパ面部74が設けられている。さらに、先端テーパ面部74には、環状溝部75が形成されている。符号63は多角形状部である。
An
継ぎ手本体60の他側にも多角形状部64に外ねじ部66が形成される。そして、流体機器40にも、図2等に示した袋ナットの内ねじ部と同様の内ねじ部45が設けられる。従って、流体機器40に継ぎ手本体60を接続した際の螺合にゆるみが生じたとしても初期時点で継ぎ手本体側の回動が抑えられ、ねじ締めのゆるみに耐性ある滑り止め性能に優れた継ぎ手構造が可能となる。
On the other side of the
本発明の樹脂製チューブの継ぎ手構造は、例えば、シリコンウエハー等の半導体製造設備における超純水、フッ酸水、アンモニア水、過酸化水素等の薬液等の流体を供給する経路中の樹脂製チューブ同士の接続(図1参照)、あるいは流量計、開閉弁等の流体機器との接続(図10参照)に用いられる。また、医薬品分野、生化学分野等における分析機器、製造機器等にも用いられる。 The joint structure of the resin tube of the present invention is, for example, a resin tube in a path for supplying a fluid such as ultrapure water, hydrofluoric acid water, ammonia water, hydrogen peroxide or the like in a semiconductor manufacturing facility such as a silicon wafer. It is used for connection between each other (see FIG. 1) or connection with a fluid device such as a flow meter and an on-off valve (see FIG. 10). It is also used for analytical instruments, manufacturing instruments, etc. in the pharmaceutical field, biochemical field, and the like.
1A,1B,1C,1D 樹脂製チューブの継ぎ手構造
10 樹脂製チューブ
11 拡径端部
20,20x,20y,60 継ぎ手本体
21,21x,61 筒部
22 頂点
23 多角形状部
25,25x,65 外ねじ部
26 辺部
31,71 環状リップ部
32,72 連結筒部
33,73 差込溝部
34,74 先端テーパ面部
35,75 環状溝部
50,50y 袋ナット
51 内鍔部
52,52y 内テーパ面部
1A, 1B, 1C, 1D Resin tube
Claims (4)
前記継ぎ手本体及び前記袋ナットは共にフッ素樹脂から形成され、
前記外ねじ部は断面形状を5ないし13の頂点(22)と辺部(26)を有する多角形状部(23)として形成されていると共に、前記内ねじ部も断面形状を5ないし13の頂点(57)と辺部(56)を有する多角形状部(23)として形成されており、
前記継ぎ手本体の前記外ねじ部に螺着している前記袋ナットの前記内ねじ部が前記外ねじ部の頂点部分を回動するに際し、前記袋ナット自体が前記フッ素樹脂の弾性により前記内ねじ部の外側に膨らむように変形して前記内ねじ部の辺部が前記外ねじ部の頂点部分を乗り越える
ことを特徴とする樹脂製チューブの継ぎ手構造。 The enlarged diameter end (11) of the resin tube (10) is fitted into the joint body (20), and the inner thread (55) of the cap nut (50) is fitted to the outer thread (25) of the joint body (20). ) In a joint structure that is screwed onto and tightened,
The joint body and the cap nut are both made of fluororesin,
The outer screw portion is formed as a polygonal shape portion (23) having a cross-sectional shape of 5 to 13 vertices (22) and a side portion (26), and the inner screw portion also has a cross-sectional shape of 5 to 13 vertices. (57) and a polygonal portion (23) having sides (56),
When the inner threaded portion of the cap nut screwed to the outer threaded portion of the joint body rotates the apex portion of the outer threaded portion, the cap nut itself is elastically deformed by the fluororesin. A joint structure for a resin tube, wherein the side portion of the inner screw portion gets over the top portion of the outer screw portion by being deformed so as to swell outside the portion .
前記袋ナットには、前記継ぎ手本体との螺着時において前記樹脂製チューブの拡径端部を前記先端テーパ面部に圧締する内鍔部(51)と、前記継ぎ手本体との螺着時において前記環状リップ部を前記樹脂製チューブの拡径端部に圧締することにより前記樹脂製チューブの拡径端部を前記環状溝部側へ押圧する内テーパ面部(52)が備えられている請求項1または2に記載の樹脂製チューブの継ぎ手構造。 The joint main body includes a cylindrical portion (21) provided with the external thread portion, an annular lip portion (31) in which a distal end of the cylindrical portion is bulged, and an expansion of the resin tube inside the cylindrical portion. A connecting tube portion (32) into which the diameter end portion is inserted, and an insertion groove portion (33) which is formed inside the tube portion and on the outer peripheral side of the connecting tube portion and into which the enlarged diameter end portion of the resin tube is inserted. ), And the connecting tube portion is provided with a tip tapered surface portion (34), and the connecting tube portion outer peripheral surface portion (36) on the outer periphery of the tip tapered surface portion or the connecting tube portion is provided with an annular groove portion (36). 35) is formed,
When the screw nut is screwed to the joint body, an inner collar portion (51) for pressing the diameter-expanded end portion of the resin tube against the tip tapered surface portion when the screw nut is screwed to the joint body. The inner taper surface part (52) which presses the diameter expansion end part of the resin tube to the ring groove part side by pressing the ring lip part to the diameter expansion end part of the resin tube is provided. The joint structure of the resin tube as described in 1 or 2 .
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