JP5408004B2 - Manufacturing method of surface fine irregularities - Google Patents

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Description

本発明は、各種光学素子に使用できる表面微細凹凸体の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a fine surface irregularity that can be used in various optical elements.

薄型ディスプレイに使用される光学素子(例えば、反射防止体、ワイヤーグリッド偏光子、光拡散体、光位相差体等)として、表面に微細な凹凸が形成された表面微細凹凸体が広く使用されている。
近年、薄型ディスプレイの大画面化あるいは大量生産化が進んでおり、光学素子に使用される表面微細凹凸体についても大面積化、大量生産化が図られてきた。また、光学素子に使用される表面微細凹凸体においては、薄型ディスプレイの画質を向上させるため、表面の凹凸構造の精度を向上させることが求められていた。さらに、凸部のピッチや凸部の高さと幅との比率などを所望の値に容易に調整できるものが求められていた。
これら要求に対し、特許文献1,2では、加熱収縮性樹脂フィルムの少なくとも片面に硬質の樹脂を含む塗工液を塗工して硬質層を形成した後、加熱収縮性樹脂フィルムを加熱収縮させて表面微細凹凸体を製造する方法が提案されている。
As the optical elements used in thin displays (for example, antireflection bodies, wire grid polarizers, light diffusers, optical phase difference bodies, etc.), surface fine irregularities with fine irregularities formed on the surface are widely used. Yes.
In recent years, large screens or mass production of thin displays have progressed, and surface fine irregularities used for optical elements have also been increased in area and mass production. Further, in the fine surface irregularities used for optical elements, it has been required to improve the accuracy of the irregular structure on the surface in order to improve the image quality of a thin display. Furthermore, what can adjust easily the pitch of a convex part, the ratio of the height and width of a convex part, etc. to a desired value was calculated | required.
In response to these requirements, Patent Documents 1 and 2 apply a coating liquid containing a hard resin to at least one surface of a heat-shrinkable resin film to form a hard layer, and then heat-shrink the heat-shrinkable resin film. A method of manufacturing a fine surface irregularity has been proposed.

国際公開2007/097454号明細書International Publication No. 2007/097454 特開2008−201029号公報JP 2008-201029 A

しかしながら、特許文献1,2に記載の方法によっても、凹凸パターンのピッチや凸部の高さと幅との比率などを所望の値に調整できないことがあり、特に、凹凸パターンのピッチを小さくすることは困難であった。また、特許文献1,2に記載の硬質の樹脂は価格が高いという問題も有していた。
そこで、本発明は、凹凸パターンのピッチが小さい表面微細凹凸体を容易に且つ低コストで製造できる表面微細凹凸体の製造方法を提供することを目的とする。
However, even with the methods described in Patent Documents 1 and 2, it may not be possible to adjust the pitch of the concavo-convex pattern or the ratio between the height and width of the convex portion to a desired value, and in particular, to reduce the pitch of the concavo-convex pattern. Was difficult. Further, the hard resins described in Patent Documents 1 and 2 have a problem of high price.
Then, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body which can manufacture the surface fine unevenness | corrugation body with a small pitch of an uneven | corrugated pattern easily and at low cost.

本発明者らは、特許文献1,2にて使用した硬質樹脂は重合分散度が小さいために、加工性が不充分になっており、所望のピッチにしにくくなっていると推測した。
また、本発明者らは、硬質層を薄くすると、ピッチを小さくできることを見出した。さらに、硬質層を薄くするためには、硬質樹脂を含む塗工液を薄く塗工する必要があり、薄く塗工するためには、塗工液での相分離を抑制する必要があることを見出した。
以上のことから、相分離の原因になる不純物が少なく、且つ、重合分散度が大きく、しかも低価格の硬質樹脂について検討し、以下の表面微細凹凸体の製造方法を発明した。
The present inventors speculated that the hard resin used in Patent Documents 1 and 2 has a low degree of polymerization dispersion, so that the processability is insufficient and it is difficult to obtain a desired pitch.
Further, the present inventors have found that the pitch can be reduced by reducing the thickness of the hard layer. Furthermore, in order to make the hard layer thin, it is necessary to apply a thin coating liquid containing a hard resin, and in order to apply a thin coating, it is necessary to suppress phase separation in the coating liquid. I found it.
In view of the above, the present inventors have studied a low-cost hard resin that has few impurities that cause phase separation, a high degree of polymerization dispersion, and a low price, and invented a method for manufacturing the following surface fine unevenness.

すなわち、本発明は、以下の態様を包含するものである。
[1]加熱収縮性樹脂フィルムの少なくとも片面に樹脂溶液を塗工し、表面が平滑な硬質層を設ける硬質層形成工程と、該硬質層形成工程の後、加熱収縮性樹脂フィルムを加熱収縮させて前記硬質層を折り畳むように変形させる変形工程とを有し、
前記樹脂溶液に含まれる樹脂として、ラジカル溶液重合により重合して得た樹脂で、加熱収縮性樹脂フィルムを構成する樹脂よりもガラス転移温度が高いものを用いることを特徴とする表面微細凹凸体の製造方法。
[2]加熱収縮性樹脂フィルムへの樹脂溶液の乾燥後の塗工量を1〜100mg/mにする[1]に記載の表面微細凹凸体の製造方法。
That is, the present invention includes the following aspects.
[1] A hard layer forming step of applying a resin solution to at least one surface of the heat shrinkable resin film and providing a hard layer having a smooth surface; and after the hard layer forming step, the heat shrinkable resin film is heated and shrunk. And deforming the hard layer so as to fold,
The resin contained in the resin solution is a resin obtained by polymerization by radical solution polymerization, and has a glass transition temperature higher than that of the resin constituting the heat-shrinkable resin film. Production method.
[2] The method for producing a fine surface irregularity according to [1], wherein the coating amount after drying the resin solution on the heat-shrinkable resin film is 1 to 100 mg / m 2 .

本発明の表面微細凹凸体の製造方法によれば、凹凸パターンのピッチが小さい表面微細凹凸体を容易に且つ低コストで製造できる。   According to the method for producing a surface fine unevenness of the present invention, a surface fine unevenness having a small uneven pattern pitch can be produced easily and at low cost.

本発明の表面微細凹凸体の製造方法の一実施形態で得た表面微細凹凸体の一部を拡大して示す拡大斜視図である。It is an expansion perspective view which expands and shows a part of surface fine unevenness | corrugation body obtained with one Embodiment of the manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body of this invention. 図1の表面微細凹凸体を、凹凸パターンの形成方向と垂直方向に切断した際の断面図である。It is sectional drawing at the time of cut | disconnecting the surface fine unevenness | corrugation body of FIG. 1 in the orthogonal | vertical direction with the formation direction of an uneven | corrugated pattern.

<表面微細凹凸体>
本発明の表面微細凹凸体の製造方法で得られる表面微細凹凸体の一実施形態について説明する。
図1及び図2に、本実施形態の表面微細凹凸体を示す。本実施形態の表面微細凹凸体10は、基材11と、基材11の片面に設けられた硬質層12とを備え、硬質層12が凹凸パターン12aを有するものである。
<Surface fine irregularities>
One embodiment of a surface fine unevenness obtained by the method for producing a surface fine unevenness of the present invention will be described.
1 and 2 show the fine surface irregularities of the present embodiment. The surface fine concavo-convex body 10 of this embodiment includes a base material 11 and a hard layer 12 provided on one side of the base material 11, and the hard layer 12 has a concavo-convex pattern 12a.

本実施形態での表面微細凹凸体10の凹凸パターン12aは、略X軸方向(長手方向)に沿った波状の凹凸を有し、その波状の凹凸が蛇行しているものである。また、本実施形態の凹凸パターン12aの凸部の先端は丸みを帯びている。   The concavo-convex pattern 12a of the surface fine concavo-convex body 10 in the present embodiment has a wavy unevenness substantially along the X-axis direction (longitudinal direction), and the wavy unevenness meanders. Further, the tip of the convex portion of the concavo-convex pattern 12a of this embodiment is rounded.

硬質層12を構成する樹脂(以下、第2の樹脂という。)のガラス転移温度Tgと、基材11を構成する樹脂(以下、第1の樹脂という。)のガラス転移温度Tgとの差(Tg−Tg)は0℃より大きく、10℃以上であることが好ましく、20℃以上であることがより好ましく、30℃以上であることが特に好ましい。(Tg−Tg)の差が10℃以上であれば、該表面微細凹凸体を製造する際に、TgとTgの間の温度で容易に加工できる。TgとTgの間の温度を加工温度とすると、基材11のヤング率が硬質層12のヤング率より高くなる条件で加工でき、その結果、硬質層12に凹凸パターン12aをより容易に形成できる。
また、Tgが400℃を超えるような樹脂を使用することは経済性の面から必要に乏しく、Tgが−150℃より低い樹脂は存在しないことから、(Tg−Tg)は550℃以下であることが好ましく、200℃以下であることがより好ましい。
表面微細凹凸体10を製造する際の加工温度における基材11と硬質層12とのヤング率の差は、凹凸パターン12aを容易に形成できることから、0.01〜300GPaであることが好ましく、0.1〜10GPaであることがより好ましい。
ここでいう加工温度は、例えば、後述する表面微細凹凸体10の製造方法における熱収縮時の加熱温度のことである。また、ヤング率は、JIS K 7113−1995に準拠して測定した値である。
The resin constituting the hard layer 12 (hereinafter, referred to as a second resin.) And the glass transition temperature Tg 2 of the resin constituting the substrate 11 (hereinafter, referred to as a first resin.) Between the glass transition temperature Tg 1 of The difference (Tg 2 −Tg 1 ) is greater than 0 ° C., preferably 10 ° C. or more, more preferably 20 ° C. or more, and particularly preferably 30 ° C. or more. If (Tg 2 -Tg 1) the difference is 10 ° C. or higher, when manufacturing the surface fine unevenness body, it can be easily processed at a temperature between Tg 2 and Tg 1. If the temperature between Tg 2 and Tg 1 is the processing temperature, the substrate 11 can be processed under the condition that the Young's modulus of the substrate 11 is higher than the Young's modulus of the hard layer 12, and as a result, the uneven pattern 12 a can be more easily formed on the hard layer 12. Can be formed.
In addition, it is not necessary to use a resin having a Tg 2 exceeding 400 ° C. from the viewpoint of economic efficiency, and there is no resin having a Tg 1 lower than −150 ° C., so (Tg 2 -Tg 1 ) is 550. It is preferably not higher than ° C., more preferably not higher than 200 ° C.
The difference in Young's modulus between the base material 11 and the hard layer 12 at the processing temperature when manufacturing the surface fine uneven body 10 is preferably 0.01 to 300 GPa because the uneven pattern 12a can be easily formed. More preferably, it is 1-10 GPa.
The processing temperature here is, for example, a heating temperature at the time of thermal contraction in the method for manufacturing the surface fine uneven body 10 described later. The Young's modulus is a value measured according to JIS K 7113-1995.

第1の樹脂のガラス転移温度Tgは−150〜300℃であることが好ましく、−120〜200℃であることがより好ましい。ガラス転移温度Tgが−150℃より低い樹脂は存在せず、第1の樹脂のガラス転移温度Tgが300℃以下であれば、表面微細凹凸体10を製造する際の加工温度(TgとTgの間の温度)に容易に加熱できる。 The glass transition temperature Tg 1 of the first resin is preferably −150 to 300 ° C., more preferably −120 to 200 ° C. If there is no resin having a glass transition temperature Tg 1 lower than −150 ° C. and the glass transition temperature Tg 1 of the first resin is 300 ° C. or lower, the processing temperature (Tg 2) when manufacturing the surface fine irregularities 10. And a temperature between 1 and Tg 1 ).

表面微細凹凸体10を製造する際の加工温度における第1の樹脂のヤング率は0.01〜100MPaであることが好ましく、0.1〜10MPaであることがより好ましい。第1の樹脂のヤング率が0.01MPa以上であれば、基材11として使用可能な硬さであり、100MPa以下であれば、硬質層12が変形する際に同時に追従して変形可能な軟らかさである。   The Young's modulus of the first resin at the processing temperature when manufacturing the fine surface irregularity 10 is preferably 0.01 to 100 MPa, and more preferably 0.1 to 10 MPa. If the Young's modulus of the first resin is 0.01 MPa or more, it is a hardness that can be used as the base material 11, and if it is 100 MPa or less, it is soft enough to follow and deform simultaneously when the hard layer 12 is deformed. That's it.

第1の樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミドなどが挙げられる。   Examples of the first resin include polyesters such as polyethylene terephthalate, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, and polyamide.

第2の樹脂のガラス転移温度Tgは40〜400℃であることが好ましく、80〜250℃であることがより好ましい。第2の樹脂のガラス転移温度Tgが40℃以上であれば、表面微細凹凸体10を製造する際の加工温度を室温またはそれ以上にすることができて有用であり、ガラス転移温度Tgが400℃を超えるような樹脂を第2の樹脂として使用することは経済性の面から必要性に乏しいためである。 Preferably has a glass transition temperature Tg 2 of the second resin is 40 to 400 ° C., and more preferably 80 to 250 ° C.. If the glass transition temperature Tg 2 of the second resin is 40 ° C. or higher, it is useful that the processing temperature for producing the fine surface asperity 10 can be room temperature or higher, and the glass transition temperature Tg 2 This is because the use of a resin having a temperature exceeding 400 ° C. as the second resin is not necessary from the viewpoint of economy.

表面微細凹凸体10を製造する際の加工温度における第2の樹脂のヤング率は0.01〜300GPaであることが好ましく、0.1〜10GPaであることがより好ましい。第2の樹脂のヤング率が0.01GPa以上であれば、第1の樹脂の加工温度におけるヤング率より充分な硬さが得られ、凹凸パターン12aが形成された後、凹凸パターン12aを維持するのに充分な硬さであり、ヤング率が300GPaを超えるような樹脂を第2の樹脂として使用することは経済性の面から必要性に乏しいためである。   The Young's modulus of the second resin at the processing temperature when manufacturing the fine surface irregularity 10 is preferably 0.01 to 300 GPa, more preferably 0.1 to 10 GPa. If the Young's modulus of the second resin is 0.01 GPa or more, sufficient hardness can be obtained from the Young's modulus at the processing temperature of the first resin, and the concavo-convex pattern 12a is maintained after the concavo-convex pattern 12a is formed. It is because it is scarcely necessary from the economical viewpoint to use as the second resin a resin that has sufficient hardness and a Young's modulus exceeding 300 GPa.

第1の樹脂の種類にもよるが、第2の樹脂としては、例えば、ポリスチレン、アクリル樹脂(メチルメタクリレート重合体、メチルメタクリレートと他のアクリル系単量体との共重合体、メチルメタクリレート以外の2種以上のアクリル系単量体の共重合体)、スチレン−アクリル共重合体、スチレン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、エチレン−酢酸ビニル共重合体などを使用することができる。これらの中でも、凹凸パターンをより容易に形成できる点では、ポリスチレン、アクリル樹脂が好ましい。第2の樹脂は1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   Depending on the type of the first resin, examples of the second resin include polystyrene, acrylic resin (methyl methacrylate polymer, copolymer of methyl methacrylate and other acrylic monomers, and other than methyl methacrylate). Copolymer of two or more acrylic monomers), styrene-acrylic copolymer, styrene-acrylonitrile copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, ethylene-vinyl acetate copolymer, etc. can do. Among these, polystyrene and acrylic resin are preferable in that the uneven pattern can be more easily formed. A 2nd resin may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

基材11の厚みは0.3〜500μmであることが好ましい。基材11の厚みが0.3μm以上であれば、表面微細凹凸体10が破断しにくくなり、500μm以下であれば、表面微細凹凸体10を容易に薄型化できる。   The thickness of the base material 11 is preferably 0.3 to 500 μm. If the thickness of the base material 11 is 0.3 μm or more, the surface fine uneven body 10 is difficult to break, and if it is 500 μm or less, the surface fine uneven body 10 can be easily thinned.

硬質層12の厚さは好ましくは0.1〜80nmであり、より好ましくは0.5〜40nmであり、特に好ましくは1〜15nmである。硬質層12の厚みが80nmを超えると、凹凸パターン12aのピッチを小さくできないことがあり、0.1nm未満であると、硬質層12の形成が困難になる傾向にある。
硬質層12の厚さは均一であることが好ましい。硬質層12の厚さが均一であれば、ピッチの均一性が高くなる。
また、基材11と硬質層12との間には、密着性の向上やより微細な構造を形成することを目的として、プライマー層を形成してもよい。
The thickness of the hard layer 12 is preferably 0.1 to 80 nm, more preferably 0.5 to 40 nm, and particularly preferably 1 to 15 nm. If the thickness of the hard layer 12 exceeds 80 nm, the pitch of the uneven pattern 12a may not be reduced, and if it is less than 0.1 nm, the formation of the hard layer 12 tends to be difficult.
The thickness of the hard layer 12 is preferably uniform. If the thickness of the hard layer 12 is uniform, the uniformity of the pitch is increased.
Further, a primer layer may be formed between the base material 11 and the hard layer 12 for the purpose of improving adhesion and forming a finer structure.

凹凸パターン12aの最頻ピッチAは1μm以下であることが好ましく、250nm以下であることがより好ましく、150nm以下であることがさらに好ましく、100nm以下であることが特に好ましい。最頻ピッチAが1μm以下であれば、表面微細凹凸体10を反射防止体として用いた場合の反射防止性、ワイヤーグリッド偏光子に用いた場合の偏光特性がより高くなる。
一方、最頻ピッチAは、凹凸パターン12aを容易に形成できる点から、0.01μm以上であることが好ましい。
The most frequent pitch A of the concavo-convex pattern 12a is preferably 1 μm or less, more preferably 250 nm or less, further preferably 150 nm or less, and particularly preferably 100 nm or less. If the most frequent pitch A is 1 μm or less, the antireflection property when the surface fine irregularities 10 are used as an antireflection material and the polarization properties when used as a wire grid polarizer are further enhanced.
On the other hand, the most frequent pitch A is preferably 0.01 μm or more from the viewpoint that the uneven pattern 12a can be easily formed.

凹凸パターン12aの最頻ピッチAおよび配向度は、以下の求め方に従って求める。
まず、表面光学顕微鏡により凹凸パターンの上面を撮影し、測定した凹凸構造の画像をグレースケール画像に変換した後、2次元フーリエ変換を行う。このフーリエ変換像の頻度(Z)のスムージングを行い、フーリエ変換像の中心部以外で最大頻度を示す位置(XFmax,YFmax)を求める。そして、最頻ピッチA=1/{√(XFmax +YFmax )}の式から最頻ピッチAを求める。なお、最頻ピッチは、各ピッチの平均値とみてもよい。
配向度については、まず、上記で得たフーリエ変化像を利用し、XF軸上に最大輝度部分が一致するようにθ回転したフーリエ変換像を作成する。次いで、(XFmax,YFmax)を通るY軸に平行補助線Y’Fを引き、補助線Y’Fを横軸とし、補助線Y’上の輝度(Z軸)を縦軸としたY’−Z図を作成する。次いで、Y’−Z図のY’軸の値を最頻ピッチの逆数(1/A)で割ったY”-Z図を作成し、このY”-Z図からピークの半値幅W(頻度が最大値の半分になる高さでのピークの幅)を求める。この半値幅は配向度を表す。配向度が大きい程、蛇行してピッチがばらついていることを表す。
The most frequent pitch A and the degree of orientation of the concavo-convex pattern 12a are obtained according to the following method.
First, the top surface of the concavo-convex pattern is photographed with a surface optical microscope, and the image of the measured concavo-convex structure is converted into a grayscale image, and then two-dimensional Fourier transform is performed. The frequency (Z F ) of the Fourier transform image is smoothed to obtain a position (X Fmax , Y Fmax ) indicating the maximum frequency other than the center of the Fourier transform image. Then, the most frequent pitch A is obtained from the expression of the most frequent pitch A = 1 / {√ {square root over (X Fmax 2 + Y Fmax 2 )}}. The most frequent pitch may be regarded as an average value of each pitch.
The degree of orientation, first, by using the Fourier change image obtained above, creates a Fourier transform image rotated θ so that the maximum luminance portion matches on the X F axis. Next, a parallel auxiliary line Y ′ F is drawn on the Y F axis passing through (X Fmax , Y Fmax ), the auxiliary line Y ′ F is taken as the horizontal axis, and the luminance (Z F axis) on the auxiliary line Y ′ F is taken as the vertical axis. Y ' F -Z F diagram is created. Next, a Y ″ F -Z F diagram is created by dividing the value of the Y ′ F axis of the Y ′ F -Z F diagram by the reciprocal (1 / A) of the most frequent pitch, and from this Y ″ F -Z F diagram The half width W of the peak (the width of the peak at a height at which the frequency is half the maximum value) is obtained. This half width represents the degree of orientation. The larger the degree of orientation, the more meandering the pitch.

表面微細凹凸体10をワイヤーグリッド偏光子に用いる場合には、上記配向度は1.0以下であることが好ましく、0.5以下であることがより好ましく、0.3未満であることが特に好ましい。配向度が1.0以下であれば、ワイヤーグリッド偏光子の偏光特性をより向上させることができる。
配向度を1.0以下にするためには、表面微細凹凸体10を製造する際に必要な圧縮応力の作用のさせ方を適宜選択すればよい。
また、配向度は、製造上の観点からは、0.05以上であることが好ましい。
When the fine surface irregularities 10 are used for a wire grid polarizer, the degree of orientation is preferably 1.0 or less, more preferably 0.5 or less, and particularly preferably less than 0.3. preferable. If the degree of orientation is 1.0 or less, the polarization characteristics of the wire grid polarizer can be further improved.
In order to set the degree of orientation to 1.0 or less, a method of applying a compressive stress necessary for manufacturing the surface fine unevenness 10 may be appropriately selected.
The degree of orientation is preferably 0.05 or more from the viewpoint of production.

凹凸パターン12aの凹部12bの平均深さBは、最頻ピッチAを100%とした際の10%以上(すなわち、アスペクト比0.1以上)であることが好ましく、30%以上(すなわち、アスペクト比0.3以上)であることがより好ましく、100%以上であることが特に好ましい。平均深さBが最頻ピッチAを100%とした際の10%以上であれば、表面微細凹凸体10を反射防止体として用いた場合には反射性により優れ、表面微細凹凸体10をワイヤーグリッド偏光子として用いた場合には充分な偏光特性が得られる。
また、平均深さBは、凹凸パターン12aを容易に形成できる点から、好ましくは最頻ピッチAを100%とした際の500%以下である。
The average depth B of the recesses 12b of the concavo-convex pattern 12a is preferably 10% or more when the most frequent pitch A is 100% (that is, an aspect ratio of 0.1 or more), and 30% or more (that is, the aspect) The ratio is more preferably 0.3 or more, and particularly preferably 100% or more. If the average depth B is 10% or more when the most frequent pitch A is 100%, the surface fine unevenness 10 is excellent in reflectivity when the surface fine unevenness 10 is used as an antireflection body. When used as a grid polarizer, sufficient polarization characteristics can be obtained.
Further, the average depth B is preferably 500% or less when the most frequent pitch A is 100% from the viewpoint that the uneven pattern 12a can be easily formed.

平均深さは、凹凸パターン12aの凸部12cのピークから凹部12bの底までの深さの平均のことを意味する。平均深さBは次のようにして求める。すなわち、凹凸パターン12aを原子間力顕微鏡により観察し、その観察からY軸方向に沿って切断した断面図を得る。1つの凹部12bの底までの深さは、両隣の2つの凸部12c,12cのピークから凹部12bの底までのZ方向の距離の和の1/2である。すなわち、1つの凹部12bの底の深さbは、凹部12bに対して一方側の凸部12cのピークから計測した凹部12bの底の深さをL、他方側の凸部12cのピークから計測した凹部12bの底の深さをRとした際に、b=(L+R)/2となる。このようにして求めた各凹部12bの深さbの平均値が平均深さBであるが、全ての凹部12bの深さを求めることは現実的でないため、無作為に抽出した10個以上100個以下のbiから平均深さBを求める。 The average depth means the average of the depth from the peak of the convex part 12c of the concavo-convex pattern 12a to the bottom of the concave part 12b. The average depth B is obtained as follows. That is, the concavo-convex pattern 12a is observed with an atomic force microscope, and a cross-sectional view cut along the Y-axis direction is obtained from the observation. The depth to the bottom of one recess 12b is ½ of the sum of the distances in the Z direction from the peaks of the two adjacent protrusions 12c and 12c to the bottom of the recess 12b. That is, the depth b i of the bottom of one concave portion 12b is defined as L i that is the bottom depth of the concave portion 12b measured from the peak of the convex portion 12c on one side with respect to the concave portion 12b, and the peak of the convex portion 12c on the other side. B i = (L i + R i ) / 2 where R i is the depth of the bottom of the recess 12b measured from the above. The average value of the depth b i of each recess 12b thus determined is the average depth B, because it is not practical to determine the depth of all the concave portions 12b, 10 or more randomly extracted The average depth B is obtained from 100 or less bi.

<表面微細凹凸体の製造方法>
本発明の表面微細凹凸体の製造方法の一実施形態として、図1,2の表面微細凹凸体を製造する方法について説明する。
本実施形態の表面微細凹凸体の製造方法は、加熱収縮性樹脂フィルムの片面の全部に、表面が平滑な樹脂製の硬質層(以下、表面平滑硬質層という。)を設けて積層シートを形成する硬質層形成工程と、加熱収縮性樹脂フィルムを加熱収縮させて硬質層を折り畳むように変形させる変形工程とを有する方法である。
ここで、表面平滑硬質層とは、JIS B0601に記載の中心線平均粗さ0.1μm以下の層である。
<Method for producing surface fine unevenness>
As an embodiment of the method for producing the surface fine unevenness of the present invention, a method for producing the surface fine unevenness of FIGS.
The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation body of this embodiment forms the laminated sheet by providing the hard layer (henceforth a surface smooth hard layer) made from resin with the smooth surface on all the one surfaces of a heat-shrinkable resin film. A hard layer forming step, and a deformation step of deforming the heat-shrinkable resin film so as to fold the hard layer by heat-shrinking.
Here, the surface smooth hard layer is a layer having a center line average roughness of 0.1 μm or less described in JIS B0601.

(硬質層形成工程)
加熱収縮性樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート系シュリンクフィルム、ポリスチレン系シュリンクフィルム、ポリオレフィン系シュリンクフィルム、ポリ塩化ビニル系シュリンクフィルム、ポリ塩化ビニリデン系シュリンクフィルムなどを用いることができる。
本実施形態では、加熱収縮性樹脂フィルムとして、1軸延伸フィルムを用いる。1軸延伸は、縦延伸、横延伸のいずれであってもよい。
また、加熱収縮性樹脂フィルムは、延伸倍率1.1〜15倍で延伸されていることが好ましく、1.3〜10倍で延伸されていることがより好ましい。
加熱収縮性樹脂フィルムの収縮率は20〜90%であることが好ましく、35〜75%であることがより好ましい。ここで、収縮率とは、(収縮率[%])={(収縮前の長さ)−(収縮後の長さ)}/(収縮前の長さ)×100である(ただし、長さは収縮方向の長さ)。収縮率が20%以上であれば、表面微細凹凸体をより容易に製造できる。しかし、収縮率90%以下の加熱収縮性フィルムは作製困難である。
加熱収縮性樹脂フィルムは、表面平滑硬質層を容易に形成できることから、表面が平坦であることが好ましい。ここで、平坦とは、JIS B0601による中心線平均粗さが0.1μm以下のことである。
(Hard layer forming process)
As the heat-shrinkable resin film, for example, a polyethylene terephthalate shrink film, a polystyrene shrink film, a polyolefin shrink film, a polyvinyl chloride shrink film, a polyvinylidene chloride shrink film, or the like can be used.
In this embodiment, a uniaxially stretched film is used as the heat-shrinkable resin film. Uniaxial stretching may be either longitudinal stretching or lateral stretching.
Further, the heat-shrinkable resin film is preferably stretched at a stretch ratio of 1.1 to 15 times, and more preferably stretched at 1.3 to 10 times.
The shrinkage ratio of the heat-shrinkable resin film is preferably 20 to 90%, and more preferably 35 to 75%. Here, the shrinkage rate is (shrinkage rate [%]) = {(length before shrinkage) − (length after shrinkage)} / (length before shrinkage) × 100 (however, length Is the length in the contraction direction). If the shrinkage rate is 20% or more, the surface fine irregularities can be produced more easily. However, it is difficult to produce a heat-shrinkable film having a shrinkage rate of 90% or less.
Since the heat-shrinkable resin film can easily form a surface smooth hard layer, the surface is preferably flat. Here, “flat” means that the center line average roughness according to JIS B0601 is 0.1 μm or less.

表面平滑硬質層を設ける際には、ラジカル溶液重合により重合して得た樹脂溶液を加熱収縮性樹脂フィルムに塗工し、乾燥する。
ここで、ラジカル溶液重合とは、溶媒中、ビニル基を有するビニル系単量体をラジカル重合することである。また、樹脂溶液は、第2の樹脂の溶液である。
When the surface smooth hard layer is provided, a resin solution obtained by polymerization by radical solution polymerization is applied to a heat-shrinkable resin film and dried.
Here, radical solution polymerization is radical polymerization of a vinyl monomer having a vinyl group in a solvent. The resin solution is a second resin solution.

ビニル系単量体としては、スチレン系単量体、アクリル系単量体、アクリロニトリル、酢酸ビニル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、エチレンなどが挙げられる。
さらに、スチレン系単量体としては、例えば、ポリスチレン、α−メチルスチレン等が挙げられる。
アクリル系単量体としては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、イソノニル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸アルキルエステル単量体、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、フマル酸、無水フマル酸等のカルボキシル基含有単量体、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート等の水酸基含有単量体などが挙げられる。なお、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレートおよびメタクリレートの総称である。
溶媒としては、例えば、酢酸エチル、トルエン、ヘキサン、シクロヘキサン、ベンゼン、アセトン、メチルエチルケトンなどが挙げられる。
Examples of vinyl monomers include styrene monomers, acrylic monomers, acrylonitrile, vinyl acetate, vinyl chloride, vinylidene chloride, and ethylene.
Furthermore, examples of the styrene monomer include polystyrene and α-methylstyrene.
Examples of the acrylic monomer include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, octyl ( (Meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, isononyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid alkyl ester monomers such as lauryl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, Carboxyl group-containing monomers such as fumaric acid and fumaric anhydride, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylate A hydroxyl group-containing monomers bets, and the like. “(Meth) acrylate” is a general term for acrylate and methacrylate.
Examples of the solvent include ethyl acetate, toluene, hexane, cyclohexane, benzene, acetone, methyl ethyl ketone, and the like.

重合の際、生産性の点から、ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。
ラジカル重合開始剤は、単独で開裂して遊離ラジカルを生成するものである。生成したラジカルはビニル基への付加反応および水素引き抜き反応をすることで重合反応を起こす。ラジカル重合開始剤としては、例えば、メチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ジ(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ジ(t−ヘキシルパーオキシ)シクロヘキサン、1,1−ジ(t−ブチルパーオキシ)−2−メチルシクロヘキサン、1,1−ジ(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ジ(t−ブチルパーオキシ)ブタン、n−ブチル4,4−ジ−(t−ブチルパーオキシ)バレレート、2,2−ジ(4,4−ジ−(t−ブチルパーオキシ)シクロヘキシル)プロパン、p−メンタンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド、ジ(2−t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−t−ヘキシルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2.5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキシン−3、ジイソブチリルパーオキサイド、ジ(3,5,5−トリメチルヘキサノイル)パーオキサイド、ジアウロイルパーオキサイド、ジコハク酸パーオキサイド、ジ−(3−メチルベンゾイル)パーオキサイド、ジベンゾイルパーオキサイド、ジ(4−メチルゼンゾイル)パーオキサイド、ジ−n−プロピルパーオキシジカーボネート、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ(4−t−ブチルシクロヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジ(2−エチルヘキシル)パーオキシジカーボネート、ジ−sec−ブチルパーオキシジカーボネートなどが挙げられる。これらラジカル重合開始剤は1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
In the polymerization, a radical polymerization initiator is preferably used from the viewpoint of productivity.
The radical polymerization initiator is one that cleaves alone to generate a free radical. The generated radical undergoes a polymerization reaction by an addition reaction to a vinyl group and a hydrogen abstraction reaction. Examples of the radical polymerization initiator include methyl ethyl ketone peroxide, cyclohexanone peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-di (t-hexylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-di (t -Hexylperoxy) cyclohexane, 1,1-di (t-butylperoxy) -2-methylcyclohexane, 1,1-di (t-butylperoxy) cyclohexane, 2,2-di (t-butylperoxy) ) Butane, n-butyl 4,4-di- (t-butylperoxy) valerate, 2,2-di (4,4-di- (t-butylperoxy) cyclohexyl) propane, p-menthane hydroperoxide , Diisopropylbenzene hydroperoxide, 1,1,3,3-tetramethylbutyl Dropper oxide, cumene hydroperoxide, t-butyl hydroperoxide, di (2-t-butylperoxyisopropyl) benzene, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxide Oxy) hexane, t-butylcumyl peroxide, di-t-hexyl peroxide, di-t-butyl peroxide, 2,5-dimethyl-2.5-di (t-butylperoxy) hexyne-3, diisobu Tyryl peroxide, di (3,5,5-trimethylhexanoyl) peroxide, diauroyl peroxide, disuccinic acid peroxide, di- (3-methylbenzoyl) peroxide, dibenzoyl peroxide, di (4- Methylzenzoyl) peroxide, di-n-propylperoxydi Boneto, diisopropyl peroxydicarbonate, di (4-t-butylcyclohexyl) peroxydicarbonate, di (2-ethylhexyl) peroxydicarbonate, and di -sec- butyl peroxydicarbonate and the like. These radical polymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

また、重合の際、必要に応じて、分子量を調整するための連鎖移動剤(例えば、アルキルチオール、αメチルスチレンダイマー等)を用いてもよいし、重合体を架橋するための架橋剤(例えば、ジビニルベンゼン、トリアリルイソシアヌレート等)を用いてもよい。   In the polymerization, a chain transfer agent (for example, alkylthiol, α-methylstyrene dimer, etc.) for adjusting the molecular weight may be used as necessary, or a crosslinking agent (for example, a polymer is crosslinked). Divinylbenzene, triallyl isocyanurate, etc.) may be used.

重合温度は、温度制御可能な温度であれば特に制限されず、例えば、50〜120℃である。しかし、重合速度が速い場合には、50℃以下で重合しても構わないし、溶媒の沸点以上で重合しても構わない。溶媒の沸点以上で重合する場合には、反応器の上に精留器を設けて蒸発した溶媒を冷却して還流させる。   The polymerization temperature is not particularly limited as long as the temperature can be controlled, and is, for example, 50 to 120 ° C. However, when the polymerization rate is high, the polymerization may be carried out at 50 ° C. or lower, or the polymerization may be carried out at a boiling point or higher of the solvent. In the case of polymerization at a temperature higher than the boiling point of the solvent, a rectifier is provided on the reactor, and the evaporated solvent is cooled and refluxed.

第2の樹脂の質量平均分子量は1000〜1000万であることが好ましく、1万〜200万であることがより好ましく、3万〜50万であることが特に好ましい。第2の樹脂の質量平均分子量が1000以上であれば、後述するように積層シートを収縮させた際に凹凸パターン12aをより容易に形成でき、1000万以下であれば、容易に第2の樹脂を重合できる。   The mass average molecular weight of the second resin is preferably 1,000 to 10,000,000, more preferably 10,000 to 2,000,000, and particularly preferably 30,000 to 500,000. If the mass average molecular weight of the second resin is 1000 or more, the concave / convex pattern 12a can be more easily formed when the laminated sheet is contracted as will be described later, and if it is 10 million or less, the second resin is easily formed. Can be polymerized.

また、この方法では、第2の樹脂を、第1の樹脂よりもガラス転移温度が高い樹脂とする。第2の樹脂を、第1の樹脂よりガラス転移温度が高い樹脂で構成することで、凹凸パターン12aを容易に形成できる。
第2の樹脂のガラス転移温度と第2の樹脂のガラス転移温度との差は、上述したように、10℃以上であることが好ましく、20℃以上であることがより好ましく、30℃以上であることが特に好ましい。
In this method, the second resin is a resin having a glass transition temperature higher than that of the first resin. By configuring the second resin with a resin having a glass transition temperature higher than that of the first resin, the concave / convex pattern 12a can be easily formed.
As described above, the difference between the glass transition temperature of the second resin and the glass transition temperature of the second resin is preferably 10 ° C or higher, more preferably 20 ° C or higher, and 30 ° C or higher. It is particularly preferred.

樹脂溶液の塗工方法としては、例えば、エアナイフコーティング、ロールコーティング、ブレードコーティング、メイヤーバーコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティング、キャストコーティング、カーテンコーティング、ダイスロットコーティング、ゲートロールコーティング、サイズプレスコーティング、スピンコーティング、ディップコーティング等が挙げられる。特に好ましくは、直径1〜10cmのグラビアロールを用いたグラビアコーティングである。   Examples of resin solution coating methods include air knife coating, roll coating, blade coating, Mayer bar coating, gravure coating, spray coating, cast coating, curtain coating, die slot coating, gate roll coating, size press coating, and spin coating. And dip coating. Particularly preferred is gravure coating using a gravure roll having a diameter of 1 to 10 cm.

加熱収縮性樹脂フィルムへの樹脂溶液の塗工量を1〜100mg/mにすることが好ましい。樹脂溶液の塗工量を1mg/m以上にすれば、充分な厚みの表面平滑硬質層を形成でき、凹凸パターンを充分に形成でき、100mg/m以下にすれば、表面平滑硬質層を容易に薄くでき、凹凸パターンの最頻ピッチAをより容易に小さくできる。 It is preferable that the coating amount of the resin solution into the heat shrinking resin film to 1 to 100 mg / m 2. If the coating amount of the resin solution is 1 mg / m 2 or more, a sufficiently smooth surface hard layer can be formed, and an uneven pattern can be sufficiently formed. If it is 100 mg / m 2 or less, the surface smooth hard layer can be formed. It can be made thin easily, and the mode pitch A of the concavo-convex pattern can be reduced more easily.

(変形工程)
変形工程では、加熱収縮性樹脂フィルムを熱収縮させることにより変形させて、表面平滑硬質層に波状の凹凸パターン12aを形成させる。
基材11を熱収縮させる際の加熱方法としては、熱風、蒸気または熱水中に通す方法等が挙げられ、中でも、均一に収縮させることができることから、熱水に通す方法が好ましい。
基材を熱収縮させる際の加熱温度は、使用する加熱収縮性樹脂フィルムの種類および目的とする凹凸パターン12aのピッチAならびに凹部12bの深さBに応じて適宜選択することが好ましい。
(Deformation process)
In the deformation step, the heat-shrinkable resin film is deformed by heat-shrinking to form a wavy uneven pattern 12a on the surface smooth hard layer.
Examples of the heating method for thermally shrinking the substrate 11 include a method of passing it through hot air, steam, or hot water. Among them, a method of passing it through hot water is preferable because it can be uniformly shrunk.
It is preferable to appropriately select the heating temperature at which the base material is thermally shrunk in accordance with the type of heat-shrinkable resin film to be used and the pitch A of the target concavo-convex pattern 12a and the depth B of the concave portion 12b.

(作用効果)
溶液重合では、ビニル系単量体および重合により生成する樹脂が溶媒中に溶解するため、乳化剤や分散剤を用いる必要がなく、純度の高い樹脂を得ることができる。そのため、塗工液での不純物の相分離を抑制できるため、凝集物が少なく、塗工液を薄く塗工できる。これにより、硬質層を容易に薄くでき、変形工程によって形成される凹凸パターン12aのピッチを容易に小さくできる。
また、ラジカル重合では、得られる樹脂の重合分散度(分子量分布、すなわち、質量平均分子量Mw/数平均分子量Mn)が大きく、通常、2以上になる。重合分散度の大きい樹脂は加工性に優れるため、変形工程において硬質層を容易に変形させることができる。
しかも、溶液中でビニル系単量体をラジカル重合することは汎用的である。
よって、ラジカル溶液重合により得た樹脂によって硬質層を形成する上記表面微細凹凸体の製造方法では、凹凸パターン12aのピッチが小さい表面微細凹凸体を容易に且つ低コストで製造できる。
(Function and effect)
In solution polymerization, a vinyl monomer and a resin produced by polymerization are dissolved in a solvent, so that it is not necessary to use an emulsifier or a dispersant, and a resin with high purity can be obtained. Therefore, since the phase separation of impurities in the coating liquid can be suppressed, there are few aggregates, and the coating liquid can be applied thinly. Thereby, a hard layer can be made thin easily and the pitch of the uneven | corrugated pattern 12a formed by a deformation | transformation process can be made small easily.
In radical polymerization, the degree of polymerization dispersion (molecular weight distribution, that is, mass average molecular weight Mw / number average molecular weight Mn) of the obtained resin is large, and usually 2 or more. Since a resin having a high degree of polymerization dispersion is excellent in processability, the hard layer can be easily deformed in the deformation step.
Moreover, radical polymerization of vinyl monomers in solution is universal.
Therefore, in the manufacturing method of the surface fine concavo-convex body in which the hard layer is formed from the resin obtained by radical solution polymerization, the surface fine concavo-convex body having a small pitch of the concavo-convex pattern 12a can be easily manufactured at low cost.

<表面微細凹凸体のレプリカシートの作製方法>
上記のようにして得た表面微細凹凸体を原版として用い、表面微細凹凸体のレプリカシートを作製することもできる。レプリカシートの作製方法としては、例えば、下記(a)〜(c)の方法が挙げられる。
(a)表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面に、未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂を塗工する工程と、活性エネルギー線を照射して前記硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する方法。ここで、活性エネルギー線とは、通常、紫外線または電子線のことであるが、本発明では、可視光線、X線、イオン線等も含む。
(b)表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面に、未硬化の液状熱硬化性樹脂を塗工する工程と、加熱して前記液状熱硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する方法。
(c)表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面に、シート状の熱可塑性樹脂を接触させる工程と、該シート状の熱可塑性樹脂を表面微細凹凸体に押圧しながら加熱して軟化させた後、冷却する工程と、その冷却したシート状の熱可塑性樹脂を表面微細凹凸体から剥離する工程とを有する方法。
<Method for producing replica sheet of surface fine unevenness>
Using the surface fine irregularities obtained as described above as an original plate, a replica sheet of surface fine irregularities can also be produced. Examples of the method for producing a replica sheet include the following methods (a) to (c).
(A) After applying the uncured active energy ray-curable resin to the surface on which the uneven pattern of the surface fine irregularities is formed, and irradiating the active energy rays to cure the curable resin, And a step of peeling the cured coating film from the surface fine irregularities. Here, the active energy ray is usually an ultraviolet ray or an electron beam, but in the present invention, it includes a visible ray, an X-ray, an ion ray and the like.
(B) A step of applying an uncured liquid thermosetting resin to the surface on which the uneven pattern of the surface fine unevenness is formed, and heating and curing the liquid thermosetting resin, and then curing the coating. And a step of peeling the film from the surface fine irregularities.
(C) A step of bringing a sheet-like thermoplastic resin into contact with the surface of the surface fine irregularities on which the irregularity pattern is formed, and heating and softening the sheet-like thermoplastic resin while pressing the surface fine irregularities And then cooling and a method of peeling the cooled sheet-like thermoplastic resin from the surface fine irregularities.

また、表面微細凹凸体を用いて2次工程用成形物を作製し、その2次工程用成形物を用いてレプリカシートを製造することもできる。2次工程用成形物としては、例えば、2次工程シートが挙げられる。また、2次工程用成形物としては、表面微細凹凸体を丸めて円筒の内側に貼り付け、その円筒の内側にロールを挿入した状態でめっきし、円筒からロールを取り出して得ためっきロールが挙げられる。
2次工程用成形物を用いる具体的な方法としては、下記(d)〜(f)の方法が挙げられる。
It is also possible to produce a molded product for the secondary process using the fine surface irregularities, and to produce a replica sheet using the molded product for the secondary process. Examples of the molded product for the secondary process include a secondary process sheet. In addition, as the molded product for the secondary process, the surface fine irregularities are rounded and attached to the inside of the cylinder, plated with the roll inserted inside the cylinder, and the plating roll obtained by taking out the roll from the cylinder is Can be mentioned.
Specific methods using the molded product for the secondary process include the following methods (d) to (f).

(d)表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面に、ニッケル等の金属めっきを行って、めっき層(凹凸パターン転写用材料)を積層する工程と、そのめっき層を表面微細凹凸体から剥離して、金属製の2次工程用成形物を作製する工程と、次いで、2次工程用成形物の凹凸パターンと接していた側の面に、未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂を塗工する工程と、活性エネルギー線を照射して前記硬化性樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を2次工程用成形物から剥離する工程とを有する方法。
(e)表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面に、めっき層(凹凸パターン転写用材料)を積層する工程と、そのめっき層を表面微細凹凸体から剥離して、金属製の2次工程用成形物を作製する工程と、該2次工程用成形物の凹凸パターンと接していた側の面に、未硬化の液状熱硬化性樹脂を塗工する工程と、加熱により該樹脂を硬化させた後、硬化した塗膜を2次工程用成形物から剥離する工程とを有する方法。
(f)表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面に、めっき層(凹凸パターン転写用材料)を積層する工程と、そのめっき層を表面微細凹凸体から剥離して、金属製の2次工程用成形物を作製する工程と、該2次工程用成形物の凹凸パターンと接していた側の面に、シート状の熱可塑性樹脂を接触させる工程と、該シート状の熱可塑性樹脂を2次工程用成形物に押圧しながら加熱して軟化させた後、冷却する工程と、その冷却したシート状の熱可塑性樹脂を2次工程用成形物から剥離する工程とを有する方法。
(D) A step of performing metal plating of nickel or the like on the surface of the surface fine concavo-convex pattern on which the concavo-convex pattern is formed, and laminating a plating layer (material for transferring the concavo-convex pattern); An uncured active energy ray-curable resin is applied to the surface that is peeled off to produce a metal molded product for the secondary process, and then to the side of the secondary process molded product that is in contact with the concavo-convex pattern. The method which has a process to process, and after irradiating an active energy ray and hardening the said curable resin, the process which peels the hardened | cured coating film from the molded object for secondary processes.
(E) A step of laminating a plating layer (a material for transferring a concavo-convex pattern) on the surface on which the concavo-convex pattern of the surface fine concavo-convex pattern is formed; A step of producing a molded product for a process, a step of applying an uncured liquid thermosetting resin to a surface of the molded product for the secondary process that has been in contact with the concavo-convex pattern, and curing the resin by heating. And a step of peeling the cured coating film from the molded product for the secondary process.
(F) A step of laminating a plating layer (a material for transferring a concavo-convex pattern) on the surface on which the concavo-convex pattern of the surface fine concavo-convex pattern is formed; A step of producing a molding for process, a step of bringing a sheet-like thermoplastic resin into contact with the surface of the molding for secondary process that has been in contact with the concavo-convex pattern, and 2 of the sheet-like thermoplastic resin. A method comprising a step of heating and softening while pressing the molded product for the next step and then cooling, and a step of peeling the cooled sheet-like thermoplastic resin from the molded product for the second step.

(a)の方法の具体例について説明する。まず、ウェブ状の表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面に、コーターにより未硬化の液状活性エネルギー線硬化性樹脂を塗工する。次いで、該硬化性樹脂を塗工した表面微細凹凸体を、ロールを通すことにより押圧して、前記硬化性樹脂を表面微細凹凸体の凹凸パターン内部に充填する。その後、活性エネルギー線照射装置により活性エネルギー線を照射して、硬化性樹脂を架橋・硬化させる。そして、硬化後の活性エネルギー線硬化性樹脂を表面微細凹凸体から剥離させることにより、ウェブ状のレプリカシートを製造することができる。   A specific example of the method (a) will be described. First, an uncured liquid active energy ray-curable resin is applied by a coater to the surface on which the uneven pattern of the web-like surface fine unevenness is formed. Subsequently, the surface fine unevenness | corrugation body which coated this curable resin is pressed by letting a roll pass, and the said curable resin is filled inside the unevenness | corrugation pattern of a surface fine unevenness | corrugation body. Then, an active energy ray is irradiated with an active energy ray irradiation apparatus, and curable resin is bridge | crosslinked and hardened. And a web-like replica sheet can be manufactured by making active energy ray hardening resin after hardening peel from a surface fine unevenness | corrugation body.

(a)の方法において、表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面には、離型性を付与する目的で、未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂塗工前に、シリコーン樹脂、フッ素樹脂等からなる層を1〜10nm程度の厚さで設けてもよい。
表面微細凹凸体の凹凸パターンが形成された面に、未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂を塗工するコーターとしては、Tダイコーター、ロールコーター、バーコーター、グラビアコーター等が挙げられる。
未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂としては、エポキシアクリレート、エポキシ化油アクリレート、ウレタンアクリレート、不飽和ポリエステル、ポリエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、ビニル/アクリレート、ポリエン/アクリレート、シリコンアクリレート、ポリブタジエン、ポリスチリルメチルメタクリレート等のプレポリマー、脂肪族アクリレート、脂環式アクリレート、芳香族アクリレート、水酸基含有アクリレート、アリル基含有アクリレート、グリシジル基含有アクリレート、カルボキシ基含有アクリレート、ハロゲン含有アクリレート等のモノマーの中から選ばれる1種類以上の成分を含有するものが挙げられる。未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂は溶媒等で希釈することが好ましい。
また、未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂には、フッ素樹脂、シリコーン樹脂等を添加してもよい。
未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂を紫外線により硬化する場合には、未硬化の活性エネルギー線硬化性樹脂にアセトフェノン類、ベンゾフェノン類等の光重合開始剤を添加することが好ましい。
In the method (a), for the purpose of imparting releasability to the surface on which the uneven pattern of the surface fine unevenness is formed, before applying the uncured active energy ray-curable resin, a silicone resin, a fluororesin And the like, and a thickness of about 1 to 10 nm may be provided.
Examples of the coater for applying an uncured active energy ray-curable resin to the surface on which the uneven pattern of the surface fine unevenness is formed include a T-die coater, a roll coater, a bar coater, and a gravure coater.
Uncured active energy ray-curable resins include epoxy acrylate, epoxidized oil acrylate, urethane acrylate, unsaturated polyester, polyester acrylate, polyether acrylate, vinyl / acrylate, polyene / acrylate, silicon acrylate, polybutadiene, and polystyrylmethyl. 1 selected from monomers such as prepolymers such as methacrylate, aliphatic acrylate, alicyclic acrylate, aromatic acrylate, hydroxyl group-containing acrylate, allyl group-containing acrylate, glycidyl group-containing acrylate, carboxy group-containing acrylate, halogen-containing acrylate The thing containing the component more than a kind is mentioned. The uncured active energy ray-curable resin is preferably diluted with a solvent or the like.
Moreover, you may add a fluororesin, a silicone resin, etc. to uncured active energy ray hardening resin.
When the uncured active energy ray-curable resin is cured with ultraviolet rays, it is preferable to add a photopolymerization initiator such as acetophenones and benzophenones to the uncured active energy ray-curable resin.

未硬化の液状活性エネルギー線硬化性樹脂を塗工した後には、樹脂、ガラス等からなる基材を貼り合わせてから活性エネルギー線を照射してもよい。活性エネルギー線の照射は、基材、表面微細凹凸体の活性エネルギー線透過性を有するいずれか一方から行えばよい。   After the uncured liquid active energy ray-curable resin is applied, the active energy rays may be irradiated after a substrate made of resin, glass or the like is bonded. Irradiation of active energy rays may be performed from any one of the base material and the surface fine irregularities having active energy ray permeability.

硬化後の活性エネルギー線硬化性樹脂のシートの厚みは0.1〜100μm程度とすることが好ましい。硬化後の活性エネルギー線硬化性樹脂のシートの厚みが0.1μm以上であれば、充分な強度を確保でき、100μm以上であれば、充分な可撓性を確保できる。   The thickness of the cured active energy ray-curable resin sheet is preferably about 0.1 to 100 μm. If the thickness of the cured active energy ray-curable resin sheet is 0.1 μm or more, sufficient strength can be secured, and if it is 100 μm or more, sufficient flexibility can be secured.

上記方法では、表面微細凹凸体がウェブ状であったが、枚葉のシートであってもよい。枚葉のシートを用いる場合、枚葉のシートを平板状の型として使用するスタンプ法、枚葉のシートをロールに巻きつけて円筒状の型として使用するロールインプリント法等を適用できる。また、射出成形機の型の内側に枚葉の表面微細凹凸体を配置させてもよい。
しかし、これら枚葉のシートを用いる方法において、レプリカシートを大量生産するためには、凹凸パターンを形成する工程を多数回繰り返す必要がある。活性エネルギー線硬化性樹脂と表面微細凹凸体との離型性が低い場合には、多数回繰り返した際に凹凸パターンに目詰まりが生じ、凹凸パターンの転写が不完全になる傾向にある。
これに対し、表面微細凹凸体がウェブ状であるため、大面積で連続的に凹凸パターンを形成させることができるため、表面微細凹凸体の繰り返し使用回数が少なくても、必要な量のレプリカシートを短時間に製造できる。
In the above method, the surface fine irregularities are web-shaped, but may be a sheet of sheets. In the case of using a single sheet, a stamp method using a single sheet as a flat plate mold, a roll imprint method using a single sheet wound around a roll as a cylindrical mold, and the like can be applied. Moreover, the surface fine irregularities of the sheet may be arranged inside the mold of the injection molding machine.
However, in the method using these single sheets, in order to mass-produce replica sheets, it is necessary to repeat the process of forming the concavo-convex pattern many times. When the releasability between the active energy ray-curable resin and the surface fine unevenness is low, the uneven pattern is clogged when repeated many times, and the transfer of the uneven pattern tends to be incomplete.
On the other hand, since the surface fine irregularities are web-like, it is possible to continuously form an irregular pattern with a large area, so even if the number of repeated use of the surface fine irregularities is small, the required amount of replica sheets Can be manufactured in a short time.

(b),(e)の方法において、液状熱硬化性樹脂としては、例えば、未硬化の、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられる。
また、(b)の方法における硬化温度は、表面微細凹凸体のガラス転移温度より低いことが好ましい。硬化温度が表面微細凹凸体のガラス転移温度以上であると、硬化時に表面微細凹凸体の凹凸パターンが変形するおそれがあるからである。
In the methods (b) and (e), examples of the liquid thermosetting resin include uncured melamine resin, urethane resin, and epoxy resin.
Moreover, it is preferable that the hardening temperature in the method of (b) is lower than the glass transition temperature of a surface fine unevenness | corrugation body. This is because if the curing temperature is equal to or higher than the glass transition temperature of the surface fine irregularities, the irregular pattern of the surface fine irregularities may be deformed during curing.

(c),(f)の方法において、熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ポリオレフィン、ポリエステル等が挙げられる。
シート状の熱可塑性樹脂を2次工程用成形物に押圧する際の圧力は1〜100MPaであることが好ましい。押圧時の圧力が1MPa以上であれば、凹凸パターンを高い精度で転写させることができ、100MPa以下であれば、過剰な加圧を防ぐことができる。
また、(c)の方法における熱可塑性樹脂の加熱温度は、表面微細凹凸体のガラス転移温度より低いことが好ましい。加熱温度が表面微細凹凸体のガラス転移温度以上であると、加熱時に表面微細凹凸体の凹凸パターンが変形するおそれがあるからである。
加熱後の冷却温度としては、凹凸パターンを高い精度で転写させることができることから、熱可塑性樹脂のガラス転移温度未満であることが好ましい。
In the methods (c) and (f), examples of the thermoplastic resin include acrylic resin, polyolefin, polyester, and the like.
The pressure when pressing the sheet-like thermoplastic resin against the molded product for the secondary process is preferably 1 to 100 MPa. If the pressure at the time of pressing is 1 MPa or more, the concavo-convex pattern can be transferred with high accuracy, and if it is 100 MPa or less, excessive pressurization can be prevented.
Moreover, it is preferable that the heating temperature of the thermoplastic resin in the method (c) is lower than the glass transition temperature of the surface fine irregularities. This is because if the heating temperature is equal to or higher than the glass transition temperature of the surface fine irregularities, the irregular pattern of the surface fine irregularities may be deformed during heating.
The cooling temperature after heating is preferably less than the glass transition temperature of the thermoplastic resin because the uneven pattern can be transferred with high accuracy.

(a)〜(c)の方法の中でも、加熱を省略でき、表面微細凹凸体の凹凸パターンの変形を防止できる点で、活性エネルギー線硬化性樹脂を使用する(a)の方法が好ましい。   Among the methods (a) to (c), the method (a) using an active energy ray-curable resin is preferable in that heating can be omitted and deformation of the uneven pattern of the surface fine unevenness can be prevented.

(d)〜(f)の方法においては、金属製の2次工程用成形物の厚さを50〜500μm程度とすることが好ましい。金属製の2次工程用成形物の厚さが50μm以上であれば、2次工程用成形物が充分な強度を有し、500μm以下であれば、充分な可撓性を確保できる。
(d)〜(f)の方法では、熱による変形が小さい金属製シートを工程シートとして用いるため、表面微細凹凸体用の材料として、活性エネルギー線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれも使用できる。
In the methods (d) to (f), it is preferable that the thickness of the metallic secondary process molded product is about 50 to 500 μm. If the thickness of the metal secondary process molded product is 50 μm or more, the secondary process molded product has sufficient strength, and if it is 500 μm or less, sufficient flexibility can be secured.
In the methods (d) to (f), since a metal sheet with small deformation due to heat is used as a process sheet, an active energy ray curable resin, a thermosetting resin, or a thermoplastic resin is used as a material for the surface fine irregularities. Either of these can be used.

なお、(d)〜(f)では表面微細凹凸体の凹凸パターンを金属に転写させて2次工程用成形物を得たが、樹脂に転写させて2次工程用成形物を得てもよい。その場合に使用できる樹脂としては、例えば、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリスルホン、(a)の方法で使用する活性エネルギー線硬化性樹脂などが挙げられる。活性エネルギー線硬化性樹脂を用いる場合には、(a)の方法と同様に、活性エネルギー線硬化性樹脂の塗工、硬化、剥離を順次行って、2次工程用成形物を得る。   In addition, in (d) to (f), the concave / convex pattern of the surface fine irregularities was transferred to a metal to obtain a molded product for the secondary process, but may be transferred to a resin to obtain a molded product for the secondary process. . Examples of the resin that can be used in this case include polycarbonate, polyacetal, polysulfone, and an active energy ray-curable resin used in the method (a). When the active energy ray-curable resin is used, the active energy ray-curable resin is sequentially applied, cured, and peeled in the same manner as in the method (a) to obtain a molded product for the secondary process.

上述のようにして得たレプリカシートには、凹凸パターンの形成された面と反対側の面に、さらに凹凸パターンを形成してもよい。   In the replica sheet obtained as described above, a concavo-convex pattern may be further formed on the surface opposite to the surface on which the concavo-convex pattern is formed.

上記のレプリカシートの作製方法によれば、大面積の表面微細凹凸体のレプリカシートを大量生産できる。したがって、各種光学素子を大量生産する場合には、上記レプリカシートの作製方法を適用すればよい。   According to the above replica sheet manufacturing method, a replica sheet having a large surface fine unevenness can be mass-produced. Therefore, when mass-producing various optical elements, the replica sheet manufacturing method may be applied.

<反射防止体>
上記作製方法により得たレプリカシート20(図1参照)は、表面微細凹凸体10の凹凸パターン12aとほぼ同様の凹凸パターンまたはこれを反転させた凹凸パターンを有している。これら凹凸パターンは最頻ピッチAが小さく、反射防止性を発揮するため、そのままの形態で反射防止体として利用できる。
すなわち、レプリカシートの波状の凹凸パターンの部分では、空気の屈折率とレプリカシートの屈折率(基材11の屈折率)の間の中間屈折率を示し、その中間屈折率が連続的に変化する。そのため、光の反射率を特に低くでき、具体的には、反射率をほぼ0%にできる。
<Antireflection body>
The replica sheet 20 (see FIG. 1) obtained by the above production method has a concavo-convex pattern substantially the same as the concavo-convex pattern 12a of the surface fine concavo-convex body 10 or an inverted concavo-convex pattern. Since these concavo-convex patterns have a small mode pitch A and exhibit antireflection properties, they can be used as an antireflection body as they are.
That is, the wavy uneven pattern portion of the replica sheet shows an intermediate refractive index between the refractive index of air and the refractive index of the replica sheet (the refractive index of the base material 11), and the intermediate refractive index changes continuously. . Therefore, the reflectance of light can be made particularly low, and specifically, the reflectance can be made almost 0%.

反射防止体においては、レプリカシートの片面または両面に他の層を備えてもよい。例えば、レプリカシートの、凹凸パターンが形成されている側の面に、その面の汚れを防止するために、フッ素樹脂またはシリコーン樹脂を主成分として含有する厚さ1〜5nm程度の防汚層を備えてもよい。   In the antireflection body, another layer may be provided on one side or both sides of the replica sheet. For example, an antifouling layer having a thickness of about 1 to 5 nm containing a fluororesin or a silicone resin as a main component is formed on the surface of the replica sheet on the side where the concavo-convex pattern is formed in order to prevent contamination of the surface. You may prepare.

このような反射防止体は、例えば、液晶表示パネルやプラズマディスプレイ等の画像表示装置、発光ダイオードの発光部先端、太陽電池パネルの表面などに取り付けられる。
画像表示装置に取り付けた場合には、照明の映りこみを防止できるため、画像の視認性が向上する。発光ダイオードの発光部先端に取り付けた場合には、光の取り出し効率が向上する。太陽電池パネルの表面に取り付けた場合には、光の取り込み量が多くなるため、太陽電池の発電効率が向上する。
Such an antireflection body is attached to, for example, an image display device such as a liquid crystal display panel or a plasma display, a light emitting portion tip of a light emitting diode, a surface of a solar cell panel, or the like.
When it is attached to the image display device, it is possible to prevent reflection of illumination, so that the visibility of the image is improved. When it is attached to the tip of the light emitting part of the light emitting diode, the light extraction efficiency is improved. When it is attached to the surface of the solar cell panel, the amount of light taken in increases, so that the power generation efficiency of the solar cell is improved.

また、反射防止体としては、表面微細凹凸体10をそのまま使用することもできる。   Moreover, the surface fine unevenness | corrugation body 10 can also be used as it is as an antireflection body.

<ワイヤーグリッド偏光板>
ワイヤーグリッド偏光板は、上記作製方法により得たレプリカシート20と、レプリカシート20の少なくとも片面に設けられた不連続な金属層とを有する。
不連続な金属層はレプリカシート20の凹凸パターンの凹部または凸部に沿って線状に設けられている。
金属層としては、金属を蒸着して形成した金属蒸着層、ナノ金属粒子を含む塗布液を塗布して形成したナノ金属塗布層が挙げられるが、金属蒸着層が好ましい。金属蒸着層では、形成する際に熱処理工程が不要であるため、熱によるレプリカシート20の損傷を防止できる。
<Wire grid polarizer>
A wire grid polarizing plate has the replica sheet 20 obtained by the said preparation method, and the discontinuous metal layer provided in the at least single side | surface of the replica sheet 20. FIG.
The discontinuous metal layer is linearly provided along the concave or convex portion of the concave / convex pattern of the replica sheet 20.
As a metal layer, the metal vapor deposition layer formed by vapor-depositing a metal and the nano metal coating layer formed by apply | coating the coating liquid containing a nano metal particle are mentioned, However, A metal vapor deposition layer is preferable. Since the metal vapor deposition layer does not require a heat treatment step when formed, damage to the replica sheet 20 due to heat can be prevented.

金属蒸着層を構成する金属としては、蒸着できる金属であれば公知のものを使用でき、ゲルマニウム、スズ、シリコン等の半金属、炭素やITO(酸化インジウム−スズ)などの金属化合物も含む。具体的には、金、アルミニウム、銀、炭素、銅、ゲルマニウム、インジウム、マグネシウム、ニオブ、パラジウム、鉛、白金、シリコン、スズ、チタン、バナジウム、亜鉛、ビスマス、ITOよりなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。より好ましくは、アルミニウム、ニッケル、亜鉛、スズ、クロム、コバルト、金、銀、銅、ITOであり、特に好ましくは、値段、金属光沢の安定性等の理由によりアルミニウムおよび/またはニッケルである。
金属蒸着層の表面は、空気の接触により酸化されていても構わない。
As a metal which comprises a metal vapor deposition layer, a well-known thing can be used if it is a metal which can be vapor-deposited, and metal compounds, such as germanium, tin, silicon, etc., carbon, and ITO (indium-tin oxide) are also included. Specifically, at least one selected from the group consisting of gold, aluminum, silver, carbon, copper, germanium, indium, magnesium, niobium, palladium, lead, platinum, silicon, tin, titanium, vanadium, zinc, bismuth, and ITO. Preferably it is a seed. More preferred are aluminum, nickel, zinc, tin, chromium, cobalt, gold, silver, copper, and ITO, and particularly preferred is aluminum and / or nickel for reasons such as price and stability of metallic luster.
The surface of the metal vapor deposition layer may be oxidized by contact with air.

金属の蒸着方法としては、物理蒸着方式(PVD)、化学蒸着方式(CVD)を挙げることができる。
物理蒸着方式として、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、高周波誘導蒸着、分子線エピタキシー蒸着、イオンプレーティング蒸着、イオンビームデポジション蒸着、スパッタ蒸着等が挙げられる。化学蒸着方式としては、熱CVD、プラズマCVD、光CVD、エピタキシャルCVD、アトミックレイヤーCVD、有機金属気相成長法、触媒化学気相成長法等が挙げられる。これらのうち、汎用的であることから、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、スパッタ蒸着が好ましい。
蒸着回数は1回であってもよいし、2回以上であってもよい。
Examples of metal deposition methods include physical vapor deposition (PVD) and chemical vapor deposition (CVD).
Examples of the physical vapor deposition method include resistance heating vapor deposition, electron beam vapor deposition, high frequency induction vapor deposition, molecular beam epitaxy vapor deposition, ion plating vapor deposition, ion beam deposition vapor deposition, and sputter vapor deposition. Examples of the chemical vapor deposition method include thermal CVD, plasma CVD, photo CVD, epitaxial CVD, atomic layer CVD, metal organic chemical vapor deposition, and catalytic chemical vapor deposition. Of these, resistance heating vapor deposition, electron beam vapor deposition, and sputter vapor deposition are preferred because of their versatility.
The number of times of vapor deposition may be one time, or two or more times.

また、金属の蒸着においては、金属を蒸着する面に対して斜め方向から金属を蒸着させる斜方蒸着を適用することが好ましい。斜方蒸着によれば、レプリカシート20の凹凸パターンの凸部の片側の側面の上部に金属を容易に蒸着できると共に、凸部が遮蔽体となって金属が蒸着しない部分を生じさせることができる。したがって、細線状の金属層が略平行に配列したワイヤーグリッド偏光子を形成できる。
斜方蒸着において、レプリカシート20のX軸方向(長手方向)およびY軸方向(幅方向)に対する法線方向(以下、「H線方向」という。)と蒸発させた金属の移動方向(以下、「J線方向」という。)との角度(斜方蒸着角)は特に制限されないが、より容易に線状の金属蒸着層を設けることができることから、30°以上であることが好ましく、40°以上であることがより好ましく、55°以上であることがさらに好ましく、70°以上であることが特に好ましい。斜方蒸着角の上限値は90°であるが、充分に金属を蒸着させるためには、80°以下であることが好ましい。
また、偏光特性がより高くなることから、レプリカシート20のX軸方向と、蒸発させた金属の移動方向をXY平面に投影させて得られる仮想線の方向(以下、「I線方向」という。)との角度が60〜120°であることが好ましく、80〜100°であることがより好ましい。
In the metal deposition, it is preferable to apply oblique deposition in which the metal is deposited from an oblique direction with respect to the surface on which the metal is deposited. According to the oblique deposition, the metal can be easily deposited on the upper part of one side surface of the convex portion of the concave-convex pattern of the replica sheet 20, and the convex portion serves as a shield to generate a portion where the metal is not deposited. . Therefore, it is possible to form a wire grid polarizer in which fine-line metal layers are arranged substantially in parallel.
In oblique vapor deposition, the normal direction (hereinafter referred to as “H-line direction”) with respect to the X-axis direction (longitudinal direction) and the Y-axis direction (width direction) of the replica sheet 20 and the movement direction (hereinafter referred to as “H-line direction”) of the evaporated metal. The angle (oblique deposition angle) with respect to “J-line direction” is not particularly limited. However, since a linear metal deposition layer can be provided more easily, it is preferably 30 ° or more, and 40 ° More preferably, it is more preferably 55 ° or more, and particularly preferably 70 ° or more. The upper limit of the oblique deposition angle is 90 °, but it is preferably 80 ° or less in order to sufficiently deposit the metal.
In addition, since the polarization characteristics become higher, the direction of an imaginary line obtained by projecting the X-axis direction of the replica sheet 20 and the movement direction of the evaporated metal onto the XY plane (hereinafter referred to as “I-line direction”). ) Is preferably 60 to 120 °, and more preferably 80 to 100 °.

また、蒸着は、レプリカシート20が枚葉である場合にはバッチ式蒸着を適用でき、レプリカシート20がウェブ状である場合には、ロールツーロール式蒸着を適用できる。
ロールツーロール式蒸着で、レプリカシート20の搬送方向とレプリカシート20のX軸方向との角度が45°以下の場合には、斜方蒸着したシートを180°水平回転させ、さらに金属を蒸着することが好ましい。斜方蒸着シートを180°回転させてから金属蒸着させれば、凸部の上部に均一に金属を蒸着できる。これにより、均一な偏光面を得ることができるため、偏光特性を均一化できる。
In addition, when the replica sheet 20 is a single wafer, batch-type vapor deposition can be applied, and when the replica sheet 20 is web-shaped, roll-to-roll vapor deposition can be applied.
In roll-to-roll deposition, when the angle between the transport direction of the replica sheet 20 and the X-axis direction of the replica sheet 20 is 45 ° or less, the obliquely deposited sheet is rotated 180 ° horizontally to further deposit metal. It is preferable. If the oblique deposition sheet is rotated 180 ° and then the metal is deposited, the metal can be uniformly deposited on the top of the convex portion. Thereby, since a uniform polarization plane can be obtained, polarization characteristics can be made uniform.

金属蒸着層の厚さは1〜100nmであることが好ましい。金属蒸着層の厚さが前記下限値以上であれば、充分な光反射性が得られ、前記上限値以下であれば、ワイヤーグリッド偏光子の光透過性を充分に高くできる。
また、金属蒸着層を斜方蒸着により形成し、斜方蒸着角を0〜30°とした場合には、金属蒸着層を容易に形成できることから、1〜30nmとすることがより好ましく、5〜20nmとすることが特に好ましい。斜方蒸着角を30〜90°とした場合には、金属蒸着層を容易に形成できることから、5〜100nmとすることがより好ましく、10〜60nmとすることが特に好ましい。
The thickness of the metal vapor deposition layer is preferably 1 to 100 nm. If the thickness of the metal vapor deposition layer is not less than the lower limit value, sufficient light reflectivity can be obtained, and if the thickness is not more than the upper limit value, the light transmittance of the wire grid polarizer can be sufficiently increased.
In addition, when the metal vapor deposition layer is formed by oblique vapor deposition and the oblique vapor deposition angle is 0 to 30 °, the metal vapor deposition layer can be easily formed. A thickness of 20 nm is particularly preferable. When the oblique vapor deposition angle is 30 to 90 °, the metal vapor deposition layer can be easily formed, so that it is more preferably 5 to 100 nm, and particularly preferably 10 to 60 nm.

ナノ金属塗布層の金属種としては、ナノ銀、ナノ金、ナノ銅、ナノ白金などが挙げられ、ナノ銀が好ましい。ここで、ナノ金属とは、平均粒径0.1〜200nmである金属分散体のことである。ここで、平均粒径は、動的光散乱法(測定装置としては、例えば、マルバーン社製NANO−ZS等が知られている。)により測定した値である。ナノ金属の粒径が100nmを超えると、偏光特性が不充分になることがある。0.1nm未満のナノ金属は製造困難である。ナノ金属の粒径は、より好ましくは1〜100nm、特に好ましくは5〜70nmである。   As a metal seed | species of a nano metal coating layer, nano silver, nano gold, nano copper, nano platinum, etc. are mentioned, Nano silver is preferable. Here, the nano metal is a metal dispersion having an average particle size of 0.1 to 200 nm. Here, the average particle diameter is a value measured by a dynamic light scattering method (for example, NANO-ZS manufactured by Malvern is known as a measuring device). When the particle size of the nanometal exceeds 100 nm, the polarization characteristics may be insufficient. Nanometals less than 0.1 nm are difficult to produce. The particle size of the nanometal is more preferably 1 to 100 nm, particularly preferably 5 to 70 nm.

ナノ金属塗布層は、ナノ金属を含む分散液を塗布、乾燥することにより形成される。塗布により、ナノ金属は凹凸パターンの凹部の底に入り込むが、凸部の上部には付着しにくい。したがって、凹部のみに金属層が形成されるため、細線状の金属層が略平行に配列したワイヤーグリッド偏光子を形成できる。
ナノ金属を含む分散液の塗布方法としては、例えば、エアナイフコーティング、ロールコーティング、ブレードコーティング、メイヤーバーコーティング、グラビアコーティング、スプレーコーティング、キャストコーティング、カーテンコーティング、ダイスロットコーティング、ゲートロールコーティング、サイズプレスコーティング、スピンコーティング、ディップコーティング等が挙げられる。
前記分散液を塗布、乾燥した後には、高い金属光沢を得て光反射性を高くするために、焼成(熱処理)することが好ましい。
The nanometal coating layer is formed by applying and drying a dispersion containing nanometal. By applying, the nano metal enters the bottom of the concave portion of the concave / convex pattern, but hardly adheres to the upper portion of the convex portion. Therefore, since the metal layer is formed only in the concave portion, a wire grid polarizer in which thin metal layers are arranged substantially in parallel can be formed.
Examples of the method for applying a dispersion containing nanometal include air knife coating, roll coating, blade coating, Mayer bar coating, gravure coating, spray coating, cast coating, curtain coating, die slot coating, gate roll coating, and size press coating. , Spin coating, dip coating and the like.
After the dispersion is applied and dried, it is preferably fired (heat treatment) in order to obtain a high metallic luster and increase the light reflectivity.

レプリカシートに、上記のように金属を蒸着させることにより、あるいは、ナノ金属を含む分散液を塗布することにより、細線状の金属層が平行に配列されたワイヤーグリッド偏光子を容易に製造できる。
上記ワイヤーグリッド偏光子では、金属層の長手方向に垂直に振動する光を透過し、金属層の長手方向に平行に振動する光を反射する。反射された光の振動方向を90°回転させた後に再入射することによって、吸収による損失を受けることなく、強い直線偏光を得ることができる。
このようなワイヤーグリッド偏光子は、公知の各種薄型ディスプレイ(例えば、液晶ディスプレイ(LCD)、有機ELディスプレイ、無機ELディスプレイ等)に好ましく用いることができる。
By depositing a metal on the replica sheet as described above, or by applying a dispersion containing nano metal, a wire grid polarizer in which fine-line metal layers are arranged in parallel can be easily manufactured.
The wire grid polarizer transmits light that vibrates perpendicularly to the longitudinal direction of the metal layer and reflects light that vibrates parallel to the longitudinal direction of the metal layer. By rotating the oscillation direction of the reflected light by 90 ° and then entering again, strong linearly polarized light can be obtained without loss due to absorption.
Such a wire grid polarizer can be preferably used for various known thin displays (for example, a liquid crystal display (LCD), an organic EL display, an inorganic EL display, etc.).

また、ワイヤーグリッド偏光子は、レプリカシートではなく、表面微細凹凸体10の凹凸パターン12aに不連続な金属層を設けて作製しても構わない。   Moreover, you may produce a wire grid polarizer by providing a discontinuous metal layer in the uneven | corrugated pattern 12a of the surface fine unevenness | corrugation body 10 instead of a replica sheet.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、加熱収縮性樹脂フィルムとして2軸延伸フィルムを用いて表面微細凹凸体を製造してもよい。加熱収縮性樹脂フィルムとして2軸延伸フィルムを用いる場合には、縦横同時延伸したものよりも、縦延伸後に横延伸したもの(逐次延伸したもの)が好ましい。2軸延伸フィルムを用いて得た表面微細凹凸体の凹凸パターンは、特定の方向に沿わない凹凸となる。
2軸延伸フィルムを用いて得た表面微細凹凸体からもレプリカシートを作製することができる。そのレプリカシートは反射防止体として使用できる。
In addition, this invention is not limited to the said embodiment. For example, you may manufacture a surface fine unevenness | corrugation body using a biaxially stretched film as a heat-shrinkable resin film. When a biaxially stretched film is used as the heat-shrinkable resin film, a film that has been stretched laterally after longitudinal stretching (sequentially stretched) is preferred to one that has been stretched simultaneously in the longitudinal and transverse directions. The concavo-convex pattern of the surface fine concavo-convex body obtained using the biaxially stretched film becomes concavo-convex not along a specific direction.
A replica sheet can also be produced from a fine surface irregularity obtained using a biaxially stretched film. The replica sheet can be used as an antireflection body.

以下の例において、質量平均分子量および重合分散度(Mw/Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィを用いて測定した。分子量の標準物質としては既知の分子量のポリスチレンを用いた。測定条件は、カラムとして、東ソー社製TSKgel SuperHZシリーズを用い、溶離液にテトラヒドロフランを用い、流速を0.35mL、温度を40℃とした。
また、ガラス転移温度は、示差走査熱量測定法(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製、DSC6200)により測定した。
In the following examples, the mass average molecular weight and the degree of polymerization dispersion (Mw / Mn) were measured using gel permeation chromatography. A polystyrene having a known molecular weight was used as a molecular weight standard. The measurement conditions were a TSKgel SuperHZ series manufactured by Tosoh Corporation as a column, tetrahydrofuran as an eluent, a flow rate of 0.35 mL, and a temperature of 40 ° C.
The glass transition temperature was measured by a differential scanning calorimetry (DSC6200, manufactured by SII Nano Technology).

<実施例1>
ラジカル溶液重合で合成して得たガラス転移温度100℃のアクリル樹脂(藤倉化成社製LH−101、質量平均分子量45000、重合分散度3、重合溶媒トルエン、比重1.19)の溶液に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを、アクリル樹脂溶液100質量%に対して3質量%添加して、アクリル樹脂濃度0.4質量%の樹脂溶液を調製した。
次いで、1軸方向(幅方向)に主に加熱収縮する厚さ40μmのポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルム(東洋紡績社製SC802)の両面上に、上記樹脂溶液をグラビアコーティング(グラビア番手180)により、乾燥後の塗工が20mg/mになるよう塗工した。これにより、ポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルムの両面に表面平滑層が形成された積層シートを得た。
次いで、上記積層シートを1m角に断裁したものを100℃の乾燥機に1分間入れて加熱収縮させて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの両面にアクリル樹脂からなる硬質層が形成された収縮シートを得た。得られた収縮シートは40cm(主収縮方向)×98cm(主収縮方向に直交する方向)の大きさであった。
<Example 1>
To a solution of an acrylic resin (LH-101 manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd., mass average molecular weight 45000, polymerization dispersion degree 3, polymerization solvent toluene, specific gravity 1.19) obtained by synthesis by radical solution polymerization and having a glass transition temperature of 100 ° C. 3% by mass of glycol monomethyl ether was added to 100% by mass of the acrylic resin solution to prepare a resin solution having an acrylic resin concentration of 0.4% by mass.
Next, after drying the resin solution by gravure coating (gravure count 180) on both sides of a polyethylene terephthalate shrink film (SC802 manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 40 μm that mainly heat-shrinks in one axial direction (width direction). The coating amount was 20 mg / m 2 . Thereby, the lamination sheet in which the surface smooth layer was formed on both surfaces of the polyethylene terephthalate shrink film was obtained.
Next, the laminate sheet cut into 1 m square was put into a dryer at 100 ° C. for 1 minute and heat-shrinked to obtain a shrink sheet in which a hard layer made of an acrylic resin was formed on both sides of a polyethylene terephthalate film. The obtained shrinkable sheet had a size of 40 cm (main shrinkage direction) × 98 cm (direction perpendicular to the main shrinkage direction).

<実施例2>
ラジカル溶液重合で合成して得たガラス転移温度155℃のアクリル樹脂(質量平均分子量65000、重合分散度3、重合溶媒トルエン/酢酸エチル、比重1.19)の溶液に、メチルイソブチルケトンを、アクリル樹脂溶液100質量%に対して3質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルを、アクリル樹脂溶液100質量%に対して3質量%添加して、アクリル樹脂濃度0.2質量%の樹脂溶液を調製した。
1軸方向(長手方向)に主に加熱収縮する厚さ25μmのポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルム(東洋紡績社製SC807)の片面上に、上記樹脂溶液をグラビアコーティング(グラビア番手180)により、乾燥後の塗工が10mg/mになるよう塗工した。これにより、ポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルムの片面に表面平滑層が形成された積層シートを得た。
次いで、上記積層シートを1m角に断裁したものを150℃の乾燥機に1分間入れて加熱収縮させて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの両面にアクリル樹脂からなる硬質層が形成された収縮シートを得た。得られた収縮シートは40cm(主収縮方向)×98cm(主収縮方向に直交する方向)の大きさであった。
<Example 2>
To a solution of an acrylic resin (mass average molecular weight 65000, polymerization dispersity 3, polymerization solvent toluene / ethyl acetate, specific gravity 1.19) obtained by synthesis by radical solution polymerization and having a glass transition temperature of 155 ° C., methyl isobutyl ketone is acrylic. 3% by mass of propylene glycol monomethyl ether with respect to 100% by mass of the resin solution was added by 3% by mass with respect to 100% by mass of the acrylic resin solution to prepare a resin solution having an acrylic resin concentration of 0.2% by mass.
The above resin solution is applied after drying by gravure coating (gravure count 180) on one side of a 25 μm thick polyethylene terephthalate shrink film (SC807 manufactured by Toyobo Co., Ltd.) that mainly heat-shrinks in one axial direction (longitudinal direction). Coating was performed so that the work amount was 10 mg / m 2 . This obtained the lamination sheet in which the surface smooth layer was formed in the single side | surface of a polyethylene terephthalate shrink film.
Next, the laminate sheet cut into 1 m square was put in a dryer at 150 ° C. for 1 minute and heat-shrinked to obtain a shrink sheet in which a hard layer made of an acrylic resin was formed on both surfaces of a polyethylene terephthalate film. The obtained shrinkable sheet had a size of 40 cm (main shrinkage direction) × 98 cm (direction perpendicular to the main shrinkage direction).

<実施例3>
ラジカル溶液重合で合成して得たガラス転移温度155℃のアクリル樹脂(質量平均分子量65000、重合分散度3、重合溶媒トルエン/酢酸ブチル、比重1.19)の溶液に、メチルイソブチルケトンを、アクリル樹脂溶液100質量%に対して3質量%、プロピレングリコールモノメチルエーテルを、アクリル樹脂溶液100質量%に対して3質量%添加して、アクリル樹脂濃度0.2質量%の樹脂溶液を調製した。
次いで、1軸方向(長手方向)に主に加熱収縮する厚さ25μmのポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルム(東洋紡績社製SC807)の片面上に、上記樹脂溶液をグラビアコーティング(グラビア番手180)により、乾燥後の塗工が20mg/mになるよう塗工した。これにより、ポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルムの片面に表面平滑層が形成された積層シートを得た。
次いで、上記積層シートを1m角に断裁したものを150℃の乾燥機に1分間入れて加熱収縮させて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの両面にアクリル樹脂からなる硬質層が形成された収縮シートを得た。得られた収縮シートは40cm(主収縮方向)×98cm(主収縮方向に直交する方向)の大きさであった。
<Example 3>
To a solution of an acrylic resin (mass average molecular weight 65000, polymerization dispersity 3, polymerization solvent toluene / butyl acetate, specific gravity 1.19) obtained by synthesis by radical solution polymerization and having a glass transition temperature of 155 ° C., methyl isobutyl ketone is added to acrylic resin. 3% by mass of propylene glycol monomethyl ether with respect to 100% by mass of the resin solution was added by 3% by mass with respect to 100% by mass of the acrylic resin solution to prepare a resin solution having an acrylic resin concentration of 0.2% by mass.
Next, after drying the resin solution on one side of a 25 μm-thick polyethylene terephthalate shrink film (SC807 manufactured by Toyobo Co., Ltd.) that mainly heat-shrinks in one axial direction (longitudinal direction) by gravure coating (gravure count 180) The coating amount was 20 mg / m 2 . This obtained the lamination sheet in which the surface smooth layer was formed in the single side | surface of a polyethylene terephthalate shrink film.
Next, the laminate sheet cut into 1 m square was put in a dryer at 150 ° C. for 1 minute and heat-shrinked to obtain a shrink sheet in which a hard layer made of an acrylic resin was formed on both surfaces of a polyethylene terephthalate film. The obtained shrinkable sheet had a size of 40 cm (main shrinkage direction) × 98 cm (direction perpendicular to the main shrinkage direction).

<実施例4>
ラジカル溶液重合で合成して得たガラス転移温度100℃のアクリル樹脂(藤倉化成社製LH−101、質量平均分子量45000、重合分散度3、重合溶媒トルエン、比重1.19)の溶液に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを、アクリル樹脂溶液100質量%に対して3質量%添加して、アクリル樹脂濃度1.0質量%の樹脂溶液を調製した。
次いで、1軸方向(幅方向)に主に加熱収縮する厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルム(三菱樹脂社製ヒシペットLX−61S)の両面上に、上記樹脂溶液をグラビアコーティング(グラビア番手180)により、乾燥後の塗工が90mg/mになるよう塗工した。これにより、ポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルムの両面に表面平滑層が形成された積層シートを得た。
次いで、上記積層シートを1m角に断裁したものを100℃の乾燥機に1分間入れて加熱収縮させて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの両面にアクリル樹脂からなる硬質層が形成された収縮シートを得た。得られた収縮シートは45cm(主収縮方向)×94cm(主収縮方向に直交する方向)の大きさであった。
<Example 4>
To a solution of an acrylic resin (LH-101 manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd., mass average molecular weight 45000, polymerization dispersion degree 3, polymerization solvent toluene, specific gravity 1.19) obtained by synthesis by radical solution polymerization and having a glass transition temperature of 100 ° C. 3% by mass of glycol monomethyl ether was added to 100% by mass of the acrylic resin solution to prepare a resin solution having an acrylic resin concentration of 1.0% by mass.
Next, the resin solution is applied by gravure coating (gravure count 180) on both surfaces of a 50 μm thick polyethylene terephthalate shrink film (Mitsubishi Resin HXIPET LX-61S) that mainly heat-shrinks in one axial direction (width direction). The coating amount after drying was 90 mg / m 2 . Thereby, the lamination sheet in which the surface smooth layer was formed on both surfaces of the polyethylene terephthalate shrink film was obtained.
Next, the laminate sheet cut into 1 m square was put into a dryer at 100 ° C. for 1 minute and heat-shrinked to obtain a shrink sheet in which a hard layer made of an acrylic resin was formed on both sides of a polyethylene terephthalate film. The obtained shrinkable sheet had a size of 45 cm (main shrinkage direction) × 94 cm (direction perpendicular to the main shrinkage direction).

<比較例1>
ラジカル懸濁重合で合成して得たガラス転移温度100℃のアクリル樹脂(藤倉化成社製AcrbaseMH−101−10、質量平均分子量560000、重合分散度3、比重1.19)の懸濁分散液に、プロピレングリコールモノメチルエーテルを、アクリル樹脂懸濁分散液100質量%に対して3質量%添加して、アクリル樹脂濃度0.4質量%の熱可塑性樹脂分散液を得た。
1軸方向(幅方向)に主に加熱収縮する厚さ40μmのポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルム(東洋紡績社製SC802)の両面上に、上記熱可塑性樹脂分散液を、グラビアコーティング(グラビア番手180)により、乾燥後の塗工が20mg/mになるよう塗工した。これにより、ポリエチレンテレフタレートシュリンクフィルムの両面に表面平滑層が形成された積層シートを得た。ただし、表面に白濁ムラのある塗工面となり、均一に塗工できていなかった。
次いで、上記積層シートを1m角に断裁したものを100℃の乾燥機に1分間入れて加熱収縮させて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの両面にアクリル樹脂からなる硬質層が形成された収縮シートを得た。得られた収縮シートは40cm(主収縮方向)×98cm(主収縮方向に直交する方向)の大きさであった。
<Comparative Example 1>
In a suspension dispersion of acrylic resin (Acrbase MH-101-10, manufactured by Fujikura Kasei Co., Ltd., mass average molecular weight 560000, polymerization dispersion degree 3, specific gravity 1.19) obtained by synthesis by radical suspension polymerization and having a glass transition temperature of 100 ° C. Then, 3% by mass of propylene glycol monomethyl ether was added to 100% by mass of the acrylic resin suspension dispersion to obtain a thermoplastic resin dispersion having an acrylic resin concentration of 0.4% by mass.
On both surfaces of a 40 μm thick polyethylene terephthalate shrink film (SC802 manufactured by Toyobo Co., Ltd.) that mainly heat-shrinks in one axial direction (width direction), the thermoplastic resin dispersion is applied by gravure coating (gravure count 180). the coating amount after drying was coated so as to be 20 mg / m 2. Thereby, the lamination sheet in which the surface smooth layer was formed on both surfaces of the polyethylene terephthalate shrink film was obtained. However, the coating surface had white turbidity unevenness on the surface and could not be applied uniformly.
Next, the laminate sheet cut into 1 m square was put into a dryer at 100 ° C. for 1 minute and heat-shrinked to obtain a shrink sheet in which a hard layer made of an acrylic resin was formed on both sides of a polyethylene terephthalate film. The obtained shrinkable sheet had a size of 40 cm (main shrinkage direction) × 98 cm (direction perpendicular to the main shrinkage direction).

(最頻ピッチ、配向度、平均深さの測定)
実施例1〜4および比較例1の硬質層の露出面を原子間力顕微鏡(日本ビーコ社製ナノスコープIII)により観察した。その結果、実施例1〜4については、硬質層の露出面の全部に微細凹凸構造が形成されていた。比較例1については、硬質層の露出面の一部に微細凹凸構造が形成されていた。
凹凸パターンの最頻ピッチAおよび配向度を、以下のようにして求めた。
すなわち、測定した凹凸構造の画像をグレースケール画像に変換した後、2次元フーリエ変換を行った。このフーリエ変換像の頻度(Z)のスムージングを行い、フーリエ変換像の中心部以外で最大頻度を示す位置(XFmax,YFmax)を求めた。そして、最頻ピッチA=1/{√(XFmax +YFmax )}の式から最頻ピッチAを求めた。
また、上記のフーリエ変換画像を用いて配向度を求めた。すなわち、まず、上記のフーリエ変換画像を用い、XF軸上に最大輝度部分が一致するようにθ回転したフーリエ変換像を作成した。次いで、(XFmax、YFmax)を通るY軸に平行補助線Y’Fを引き、補助線Y’Fを横軸とし、補助線Y’上の輝度(Z軸)を縦軸としたY’−Z図を作成した。次いで、Y’−Z図のY’軸の値を最頻ピッチの逆数(1/A)で割ったY”−Z図を作成し、このY”−Z図からピークの半値幅W(頻度が最大値の半分になる高さでのピークの幅)を求めた。この半値幅は配向度を表す。
また、原子間力顕微鏡測定より得られた断面画像により、10箇所の凹部の底までの深さを測定し、その測定結果から平均深さを求めた。
最頻ピッチ、配向度および平均深さを表1に示す。
(Measure the most frequent pitch, degree of orientation, and average depth)
The exposed surfaces of the hard layers of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1 were observed with an atomic force microscope (Nanoscope III manufactured by Beiko Japan). As a result, in Examples 1 to 4, a fine uneven structure was formed on the entire exposed surface of the hard layer. About the comparative example 1, the fine concavo-convex structure was formed in a part of exposed surface of a hard layer.
The most frequent pitch A and the degree of orientation of the concavo-convex pattern were determined as follows.
That is, after converting the measured image of the concavo-convex structure into a grayscale image, a two-dimensional Fourier transform was performed. The frequency (Z F ) of the Fourier transform image was smoothed, and the position (X Fmax , Y Fmax ) indicating the maximum frequency other than the center of the Fourier transform image was obtained. Then, the most frequent pitch A was obtained from the equation of the most frequent pitch A = 1 / {√ {square root over (X Fmax 2 + Y Fmax 2 )}}.
Further, the degree of orientation was determined using the Fourier transform image. That is, first, using the above-described Fourier transform image, a Fourier transform image rotated by θ so that the maximum luminance portion matches on the XF axis was created. Next, a parallel auxiliary line Y ′ F is drawn on the Y F axis passing through (X Fmax , Y Fmax ), the auxiliary line Y ′ F is taken as the horizontal axis, and the luminance (Z F axis) on the auxiliary line Y ′ F is taken as the vertical axis. Y ' F -Z F diagram was created. Next, a Y ″ F- Z F diagram is created by dividing the value of the Y ′ F axis of the Y ′ F- Z F diagram by the reciprocal (1 / A) of the most frequent pitch, and from this Y ″ F- Z F diagram The half width W of the peak (the width of the peak at a height at which the frequency is half the maximum value) was determined. This half width represents the degree of orientation.
Moreover, the depth to the bottom of 10 recessed parts was measured with the cross-sectional image obtained by atomic force microscope measurement, and the average depth was calculated | required from the measurement result.
Table 1 shows the most frequent pitch, the degree of orientation, and the average depth.

Figure 0005408004
Figure 0005408004

(光反射率および光透過率の測定)
実施例1〜3の収縮シートについて、光学素子としての性能を評価するために、日本分光社製の分光光度計(V−7200)を用いて、波長550nmの可視光に対する光反射率および光透過率を測定した。
なお、比較例1の収縮シートについては、原子間力顕微鏡により測定したところ表面微細凹凸構造が一部形成されておらず、また白濁していた。このようなことから、光学素子として使用できないことは明らかであったため、評価を行わなかった。
(Measurement of light reflectance and light transmittance)
In order to evaluate the performance as an optical element for the shrinkable sheets of Examples 1 to 3, using a spectrophotometer (V-7200) manufactured by JASCO Corporation, light reflectance and light transmission with respect to visible light having a wavelength of 550 nm The rate was measured.
In addition, about the shrinkable sheet of the comparative example 1, when it measured with the atomic force microscope, the surface fine concavo-convex structure was not partially formed, and it was cloudy. From this, it was clear that it could not be used as an optical element, so evaluation was not performed.

(ワイヤーグリッド偏光子とした際の評価)
実施例1,2,3の収縮シートを用いてワイヤーグリッド偏光子を以下のように作製した。
得られた収縮シートの片側の硬質層にアルミニウムを、抵抗加熱蒸着装置(アルバック社製EX−400)を用いて、厚さ30nmで蒸着させた。その際、斜方蒸着角60°、I線方向とX軸方向との角度90°で斜方蒸着させた。これにより、略X軸方向に配向する凸部の斜面の上部にアルミニウム蒸着層を形成して、細線状のアルミニウム蒸着層が平行に配列したワイヤーグリッド偏光子を得た。
得られたワイヤーグリッド偏光子の偏光特性をKOBRA(王子計測機器社製)により測定した。測定結果を表1に示す。
(Evaluation when using wire grid polarizer)
A wire grid polarizer was produced as follows using the shrinkable sheets of Examples 1, 2, and 3.
Aluminum was vapor-deposited with a thickness of 30 nm on a hard layer on one side of the obtained shrinkable sheet using a resistance heating vapor deposition apparatus (EX-400 manufactured by ULVAC). At that time, the oblique deposition was performed at an oblique deposition angle of 60 ° and an angle of 90 ° between the I-line direction and the X-axis direction. Thereby, the aluminum vapor deposition layer was formed on the upper part of the slope of the convex part orientated substantially in the X-axis direction, and a wire grid polarizer in which the thin aluminum vapor deposition layers were arranged in parallel was obtained.
The polarization characteristics of the obtained wire grid polarizer were measured by KOBRA (manufactured by Oji Scientific Instruments). The measurement results are shown in Table 1.

硬質層を構成する熱可塑性樹脂としてラジカル溶液重合により得たものを用いた実施例1〜4の収縮シートは、最頻ピッチが小さかった。また、光反射率が小さく、光透過率が大きかった。また、実施例1,3の収縮性シートを用いたワイヤーグリッド偏光子は充分な偏光性と光透過率を有していた。
硬質層を構成する熱可塑性樹脂としてラジカル懸濁重合により得たものを用いた比較例1の収縮シートは、最頻ピッチが大きかった。また、白濁していたため、反射防止体およびワイヤーグリッド偏光子として使用することができなかった。
The shrinkage sheets of Examples 1 to 4 using those obtained by radical solution polymerization as the thermoplastic resin constituting the hard layer had a small frequent pitch. Moreover, the light reflectance was small and the light transmittance was large. Moreover, the wire grid polarizer using the shrinkable sheets of Examples 1 and 3 had sufficient polarization and light transmittance.
The shrinkage sheet of Comparative Example 1 using the one obtained by radical suspension polymerization as the thermoplastic resin constituting the hard layer had a large frequent pitch. Moreover, since it was cloudy, it could not be used as an antireflector and a wire grid polarizer.

10 表面微細凹凸体
11 基材
12 硬質層
12a 凹凸パターン
12b 凹部
12c 凸部
20 レプリカシート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Surface fine unevenness | corrugation 11 Base material 12 Hard layer 12a Concave / convex pattern 12b Concave part 12c Convex part 20 Replica sheet

Claims (2)

加熱収縮性樹脂フィルムの少なくとも片面に樹脂溶液を塗工し、表面が平滑な硬質層を設ける硬質層形成工程と、該硬質層形成工程の後、加熱収縮性樹脂フィルムを加熱収縮させて前記硬質層を折り畳むように変形させる変形工程とを有し、
前記樹脂溶液に含まれる樹脂として、ラジカル溶液重合により重合して得た樹脂で、加熱収縮性樹脂フィルムを構成する樹脂よりもガラス転移温度が高いものを用いることを特徴とする表面微細凹凸体の製造方法。
A hard layer forming step in which a resin solution is applied to at least one surface of the heat-shrinkable resin film and a hard layer having a smooth surface is formed; and after the hard layer forming step, the heat-shrinkable resin film is heat-shrinked to form the hard layer A deformation step of deforming the layers so as to fold,
The resin contained in the resin solution is a resin obtained by polymerization by radical solution polymerization, and has a glass transition temperature higher than that of the resin constituting the heat-shrinkable resin film. Production method.
加熱収縮性樹脂フィルムへの樹脂溶液の乾燥後の塗工量を1〜100mg/mにする請求項1に記載の表面微細凹凸体の製造方法。 The manufacturing method of the surface fine unevenness | corrugation of Claim 1 which makes the coating amount after drying of the resin solution to a heat-shrinkable resin film 1-100 mg / m < 2 >.
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