JP5379766B2 - マイクロ流体チップデバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Description
本出願は、2010年4月8日に出願された台湾特許出願第090110881号の優先権を主張する。
これら従来のマイクロ流体システムに比較して、高分子で出来たマイクロ流体システムは容易に製造でき、生体適合性が高く、かつ半導体製造プロセスよる制約を受けない。したがって、マイクロバルブやマイクロ流体駆動源を部分的に一体化させることのできる高分子材料の開発は、継続的に行われてきた。
しかしながら、前記の従来の部分的に集積されたマイクロ流体システムは、流体の駆動源となる圧力制御装置や管を必要としていた。これら従来の部分的に集積されたマイクロ流体システムでは、マイクロ流体チップが小型であるにも関わらず、大型の外部駆動源を必要としていたのである。そのため、前記の部分的に集積されたマイクロ流体システムは、使い勝手のよいものとは言い難かった。
Wengらは、柔軟な伸縮性フィルムに真空のキャピラリーを封入した(非特許文献6)。フィルム中の真空キャピラリーが外部の力により破壊されると、気圧により流体がマイクロ流体システム中に吸引される。真空キャピラリー空気圧ポンプが駆動源としての役割を果たす。
しかしながら、陽圧や陰圧を作り出すことにより流体の作動を引き起こす駆動源は、一般に複雑なプロセスにより製造され、流体の作動をうまく起こすためには、精密に制御されなければならず、さらに通常再利用ができない。したがって、本発明においては、マイクロ流体システムと駆動源を集積させる簡便な方法を提供することが課題である。
本発明のその他の特徴や利点は、以下の発明の好ましい実施形態に関する詳細な説明と添付の図面を参照することによりさらに明確になる。
図3を参照すると、マイクロ流体チップデバイスが流体100を駆動させる方法が示される。変形可能部分21がそのTgより高い温度に加熱されると、内部エネルギーが放出され、変形可能部分21が一時的な形状から記憶された形状へと変化することにより、くぼみ21aが再現される。そして、変形可能部分21の体積変化がマイクロチャンネル31内に陰圧を生じさせる。その結果、流体100が陰圧によりマイクロチャンネル31内に吸入される。これにより、駆動源(すなわち、変形可能部分21)とマイクロ流体チップ(すなわち、マイクロ流体層3)が本発明の方法により集積される。
21 変形可能部分
21a くぼみ
3 マイクロ流体層
31 マイクロチャンネル
311 第一の穴
312 第二の穴
Claims (11)
- マイクロ流体チップデバイスを製造する方法であって、
形状記憶高分子を成形することにより、記憶された形状を有する変形可能部分(21)を有する基板層(2)とすること、
該基板層(2)に処理を施すことにより、該変形可能部分(21)を一時的な形状に変形させること、および
該基板層(2)をマイクロ流体層(3)に、取り外し可能な状態でラミネートすることにより、該マイクロ流体層(3)の内部に形成されたマイクロチャンネル(31)を、一時的な形状にある該変形可能部分(21)と流体連通させること
を含み、
該変形可能部分(21)が外部刺激により活性化されたとき、該記憶された形状が再現され、該記憶された形状が再現されることにより、該マイクロチャンネル(31)内に流体駆動圧が発生することを特徴とするマイクロ流体チップデバイスの製造方法。 - 該記憶された形状にある該変形可能部分(21)は、該基板層(2)の表面にくぼみ(21a)を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 該基板層(2)の表面を加熱プレス処理することにより、該基板層(2)の表面から該くぼみ(21a)を消失させることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 該基板層(2)に対する該加熱プレス処理は、該基板層(2)のガラス転移温度以上の温度で行われることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 該変形可能部分(21)を活性化させる該外部刺激は、熱を含み、流体駆動圧は、該くぼみ(21a)が再現されたときに該マイクロチャンネル(31)内に発生する陰圧であることを特徴とする請求項3に記載の方法。
- 該形状記憶高分子は、メチルメタクリレートおよびブチルメタクリレートからなる群より選択されるモノマーを含有するモノマー組成物により製造されるものであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 該モノマー組成物は、さらに、オリゴシルセスキオキサン多面体を含有することを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 形状記憶高分子で形成され、記憶された形状と一時的な形状の間で変形するときに体積が変化する変形可能部分(21)を含む基板層(2)と、
該基板層(2)に、取り外し可能な状態でラミネートされ、該変形可能部分(21)と流体連通したマイクロチャンネル(31)が内部に形成されたマイクロ流体層(3)と、
を含むことを特徴とするマイクロ流体チップデバイスであって、
該変形可能部分(21)は、該記憶された形状と該一時的な形状の間で変形するときに、該マイクロチャンネル(31)内に流体駆動圧を生じさせることを特徴とするマイクロ流体チップデバイス。 - 該流体駆動圧は、該変形可能部分(21)が該一時的な形状から該記憶された形状に変形するときに生じる陰圧であることを特徴とする請求項8に記載のマイクロ流体チップデバイス。
- 該記憶された形状を有する該変形可能部分(21)は、該基板層(2)の表面にくぼみ(21a)を有し、該くぼみ(21a)は、該変形可能部分(21)が該一時的な形状に変形するときに該基板層(2)の表面から消失し、該一時的な形状から該記憶された形状が再現されたときに、陰圧が生じることを特徴とする請求項8に記載のマイクロ流体チップデバイス。
- 該変形可能部分(21)は、熱処理を施されることにより変形することを特徴とする請求項8に記載のマイクロ流体チップデバイス。
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