JP5371053B2 - 高周波素子 - Google Patents
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Description
また、本発明は、二次元電子伝導層に磁場が印加されることにより、二次元電子伝導層の端に沿ってエッジチャネルを形成する高周波素子において、二次元電子伝導層を含む半導体層と、前記二次元電子伝導層の一端に相当する前記半導体層の端部に形成され、前記エッジチャネルとの距離が前記二次元電子伝導層の端に沿って変化する電極とを備え、この電極に時間的に変化する電圧が印加されることにより、前記エッジチャネルを伝搬するエッジマグネトプラズモンを生成することを特徴とするものである。
また、本発明の高周波素子の1構成例において、前記電極は、所望の信号処理を担う空間分布関数で表現される形状を有することを特徴とするものである。
また、本発明の高周波素子の1構成例は、複数の前記電極を備えることを特徴とするものである。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1(A)は本発明の第1の実施の形態に係る高周波素子の構成を示す鳥瞰図、図1(B)は図1(A)の高周波素子の断面図、図1(C)は図1(A)の高周波素子の平面図である。なお、図1(C)では、高周波素子の電極の周辺部分のみを記載している。
この高周波素子の電極7,8に同一の高周波電圧を印加することにより、エッジマグネトプラズモンを励起することができ、共振回路を構成することができる。図1(C)における10は、エッジマグネトプラズモンの電荷分布を示している。
また、図2(A)〜図2(C)に示すように、エッチング領域5によってエッジチャネル9と隔てられ絶縁された二次元電子伝導層を含む半導体層を電極7,8としてもよい。
また、全ての電極の構造を同一にする必要はなく、上記ショットキー電極、オーミック電極、絶縁された二次元電子伝導層を含む半導体層のいずれかの構造あるいは2つ以上の構造を用いて、複数の電極を形成するようにしてもよい。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図3(A)は本発明の第2の実施の形態に係る高周波素子の構成を示す断面図、図3(B)は図3(A)の高周波素子の平面図であり、図1(A)〜図1(C)と同一の構成には同一の符号を付してある。なお、図3(B)では、高周波素子の電極の周辺部分のみを記載している。
本実施の形態では、第1の実施の形態と同様にエッチング領域5を例えば化学エッチングなどによって砒化ガリウム層1の途中まで除去し、エッチング除去されずに残った上部層6の上面と側面とに接するようにして電極7aを堆積する。こうして、二次元電子伝導層の端に電極7aを形成する。
また、第1、第2の実施の形態において、第1の実施の形態の電極7,8、第2の実施の形態の電極7aを、出力電極として用いることも可能である。すなわち、図1(A)〜図1(C)に示した電極7,8を並列に接続して出力電極として用いることや、図3(A)、図3(B)に示した電極7aを出力電極として用いることにより、プラズモンの検出においても、高周波フィルターや、電極形状で決まる出力波形を得ることなど、信号処理の機能を取り入れることが可能である。
Claims (5)
- 二次元電子伝導層に磁場が印加されることにより、二次元電子伝導層の端に沿ってエッジチャネルを形成する高周波素子において、
二次元電子伝導層を含む半導体層と、
前記二次元電子伝導層の一端に相当する前記半導体層の端部に形成された複数の電極とを備え、
この複数の電極に電圧が印加されることにより、前記エッジチャネルを伝搬するエッジマグネトプラズモンを生成することを特徴とする高周波素子。 - 二次元電子伝導層に磁場が印加されることにより、二次元電子伝導層の端に沿ってエッジチャネルを形成する高周波素子において、
二次元電子伝導層を含む半導体層と、
前記二次元電子伝導層の一端に相当する前記半導体層の端部に形成され、前記エッジチャネルとの距離が前記二次元電子伝導層の端に沿って変化する電極とを備え、
この電極に時間的に変化する電圧が印加されることにより、前記エッジチャネルを伝搬するエッジマグネトプラズモンを生成することを特徴とする高周波素子。 - 請求項1記載の高周波素子において、
前記複数の電極は、電極間距離をd、エッジマグネトプラズモンの伝播速度をvとしたとき、f=nv/d(n=1,2,3・・・は自然数)で決まる共振周波数fの印加電圧に応じてエッジマグネトプラズモンが生成されるように前記電極間距離dが設定されることを特徴とする高周波素子。 - 請求項2記載の高周波素子において、
前記電極は、所望の信号処理を担う空間分布関数で表現される形状を有することを特徴とする高周波素子。 - 請求項2または4記載の高周波素子において、
複数の前記電極を備えることを特徴とする高周波素子。
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