JP5368352B2 - Method for assembling elastic sealing device and assembly jig used therefor - Google Patents

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Description

本発明は、回転軸体とこれに同心状に挿通させた筒状のシールフランジとの対向周面間に、環状の本体部と本体部から軸線方向に突出して当該対向周面に弾性的に押圧接触する筒状の内外周リップ部とを具備してなる弾性材製のシールリングを装填した弾性シール装置を組み立てる方法とこれに使用する組み立て用治具に関するものである。   The present invention protrudes in an axial direction from an annular main body portion and a main body portion between the rotary shaft body and a cylindrical seal flange concentrically inserted therethrough, and elastically extends to the counter peripheral surface. The present invention relates to a method for assembling an elastic seal device loaded with a seal ring made of an elastic material having a cylindrical inner and outer peripheral lip portion that is in press contact, and an assembling jig used for the method.

この種のシールリング装置として、特許文献1に開示する如く、多流路形ロータリジョイントにおける流路のシール手段として使用されるものが公知である。すなわち、特許文献1に開示される多流路形ロータリジョイントは、先端側のシールフランジ(以下「先端シールフランジ」という)と基端側のシールフランジ(以下「基端シールフランジ」という)とこれらの中間に配した複数のシールフランジ(以下「中間シールフランジ」という)とを軸線方向に積層連結してなる筒状のケース体と、両端部を先端シールフランジと基端シールフランジとに夫々軸受支持させることによりケース体に相対回転自在に連結された回転軸体と、各中間シールフランジ(先端シールフランジに隣接するものを除く)と回転軸体との間に形成された第1流路及び先端シールフランジと回転軸体との間に形成された第2流路とを具備してなるもので、第1流路のシール手段として各中間シールフランジと回転軸体との対向周面間にメカニカルシールを装填してなるメカニカルシール装置を採用し、第2流路のシール手段として先端シールフランジと回転軸体との間に弾性製シールリングを装填してなる弾性シール装置を採用している。かかる多流路形ロータリジョイントは、流路を流動する流体の性状や流動条件に応じて、流路のシール手段として、設置スペースが大きく且つ構造も複雑であるが高度のシール機能を発揮しうるメカニカルシール装置とシール機能はメカニカルシール装置に劣るがメカニカルシール装置に比して設置スペースが小さく且つ構造の簡単な弾性シール装置とを使い分けることにより、すべての流路をメカニカルシールでシールするようにした多流路形ロータリジョイント(例えば、特許文献2を参照)に比して多流路形ロータリジョイントの構造簡略化,小型化を図りつつ、性状や流動条件の異なる複数種の流体をCMP装置等における相対回転部材間で良好に流動させることができるように工夫されたものである。   As a seal ring device of this type, as disclosed in Patent Document 1, a device used as a channel sealing means in a multi-channel rotary joint is known. That is, the multi-channel rotary joint disclosed in Patent Document 1 includes a seal flange on the front end side (hereinafter referred to as “front end seal flange”), a seal flange on the base end side (hereinafter referred to as “base end seal flange”), and these. A cylindrical case body in which a plurality of seal flanges (hereinafter referred to as “intermediate seal flanges”) arranged in the middle of each other are connected in a stacked manner in the axial direction, and both ends are respectively supported by a distal end seal flange and a proximal end seal flange. A rotating shaft body coupled to the case body so as to be relatively rotatable by being supported, a first flow path formed between each intermediate seal flange (excluding those adjacent to the tip seal flange) and the rotating shaft body; A second flow path formed between the tip seal flange and the rotary shaft body is provided, and each intermediate seal flange and the rotary shaft body serve as sealing means for the first flow path. An elastic seal comprising a mechanical seal device in which a mechanical seal is loaded between the opposed peripheral surfaces of the first seal and an elastic seal ring which is loaded between the tip seal flange and the rotary shaft body as a sealing means for the second flow path. The device is adopted. Such a multi-channel rotary joint is capable of exhibiting a high-level sealing function as a channel sealing means, although it requires a large installation space and a complicated structure, depending on the properties of the fluid flowing in the channel and the flow conditions. Mechanical seal device and sealing function are inferior to mechanical seal device, but installation space is small compared to mechanical seal device and by using an elastic seal device with simple structure, all flow paths are sealed with mechanical seal. Compared with the multi-channel rotary joint (for example, see Patent Document 2), the CMP device is capable of removing a plurality of types of fluids having different properties and flow conditions while simplifying and reducing the size of the multi-channel rotary joint. And the like so as to be able to flow well between the relative rotating members in the above.

特開2006−161954公報JP 2006-161954 A 特開2002−005380公報JP 2002-005380 A

而して、弾性シール装置は、特許文献1に開示される如く、回転軸体とこれに同心状に挿通させた筒状のシールフランジとの対向周面間に、環状の本体部と本体部から軸線方向に突出して当該対向周面に弾性的に押圧接触する筒状の内外周リップ部とを具備してなる弾性材製のシールリングを装填したものであるが、その組み立て方法は、シールフランジ内にその軸線方向にシールリングを移動させつつ挿入することにより、当該シールリングを、その外周リップ部がシールフランジの内周面に形成された環状のシール面に押圧接触する状態に、シールフランジに内嵌させるシールリング内嵌工程と、回転軸体にその軸線方向にシールリングを内嵌させたシールフランジを移動させつつ嵌挿することにより、当該シールリングを、その内周リップ部が回転軸体の外周面に押圧接触する状態に、回転軸体に外嵌させるシールリング外嵌工程とを具備するものである。   Thus, as disclosed in Patent Document 1, the elastic seal device includes an annular main body portion and a main body portion between the opposed peripheral surfaces of the rotating shaft body and the cylindrical seal flange concentrically inserted therethrough. Is loaded with an elastic seal ring made of a cylindrical inner and outer peripheral lip portion that protrudes in the axial direction and elastically presses and contacts the opposing peripheral surface. By inserting the seal ring into the flange while moving the seal ring in the axial direction, the seal ring is brought into a state where the outer peripheral lip portion is in press contact with the annular seal surface formed on the inner peripheral surface of the seal flange. The seal ring is fitted into the flange, and the seal ring is inserted into the rotating shaft while moving the seal flange with the seal ring fitted in the axial direction thereof. The state-flop portion is pressed into contact with the outer peripheral surface of the rotary shaft is for and a process fitting outer seal ring externally fitted to the rotating shaft.

ところで、弾性材製のシールリングは、先端シールフランジと回転軸体との対向周面間(前記シール面とこれに対向する回転軸体の外周面部分との間)に装填されていない形態(以下「自然形態」という)においては、それ自身の弾性と内外周リップ部間に装填された補強バネの弾性によって、内外周リップ部の先端部間隔は当該対向周面の径方向間隔より大きく拡がっている。   By the way, the seal ring made of an elastic material is not loaded between the opposed peripheral surfaces of the tip seal flange and the rotary shaft body (between the seal surface and the outer peripheral surface portion of the rotary shaft body facing the seal surface) ( (Hereinafter referred to as “natural form”) due to its own elasticity and the elasticity of the reinforcing spring loaded between the inner and outer peripheral lip portions, the tip end interval between the inner and outer peripheral lip portions is larger than the radial interval between the opposing peripheral surfaces. ing.

したがって、シールリング内嵌工程にあっては、外周リップ部を自然形態から縮径変形させた形態に保持した状態でシールリング内に嵌挿させる必要があり、シールリング外嵌工程にあっては、内周リップ部を自然形態から拡径変形させた形態に保持した状態で回転軸体に嵌挿させる必要があるが、このように環状をなす外周リップ部又は内周リップ部を自然形態から縮径変形又は拡径変形させた状態に保持しつつシールリングのシールフランジへの装填作業又はシールフランジの回転軸体への装填作業を行うことは、作業者が未熟練者である場合には勿論、熟練者である場合にも極めて困難であり、弾性シール装置を適正に組み立てることは容易ではなかった。   Therefore, in the seal ring internal fitting step, it is necessary to fit the outer peripheral lip portion into the seal ring in a state where the outer peripheral lip portion is reduced in diameter from the natural form, and in the seal ring external fitting step, The inner peripheral lip portion needs to be inserted into the rotating shaft body in a state in which the inner peripheral lip portion is expanded and deformed from the natural form, but the outer peripheral lip part or the inner peripheral lip part thus forming an annular shape from the natural form If the worker is an unskilled person, the work of loading the seal ring to the seal flange or the work of loading the seal flange to the rotary shaft body while maintaining the reduced diameter or expanded state is possible. Of course, it is extremely difficult even for a skilled person, and it is not easy to properly assemble the elastic seal device.

すなわち、シールリングのシールフランジへの装填作業は、外周リップ部をその外径がシールリング装填面である前記シール面の径より小さくなるように縮径変形させた状態に保持しつつ行う必要があるが、環状をなす外周リップ部をその全周に亘ってこのような縮径変形状態に保持することは極めて困難であり、当該装填作業時に外周リップ部の先端部の一部(環状をなす先端部における周方向の一部)が前記シール面の挿入側周縁部に干渉して、外周リップ部が適正に前記シール面に押圧接触する状態とならず、極端な場合には外周リップ部やその弾性力を補強する補強バネが変形,損傷する虞れがある。   That is, the loading operation of the seal ring to the seal flange needs to be performed while the outer peripheral lip portion is held in a state of being reduced in diameter so that the outer diameter is smaller than the diameter of the seal surface which is the seal ring loading surface. However, it is extremely difficult to hold the outer peripheral lip portion having an annular shape in such a reduced diameter deformation state over the entire circumference, and a part of the tip end portion of the outer peripheral lip portion (which forms an annular shape) during the loading operation. (A part in the circumferential direction at the tip) interferes with the insertion side peripheral edge of the seal surface, and the outer peripheral lip portion does not properly press and contact the seal surface. There is a possibility that the reinforcing spring that reinforces the elastic force may be deformed or damaged.

このような問題は、シールリングを保持させたシールフランジの回転軸体への装填作業においても、同様に生じる。すなわち、シールフランジの回転軸体への装填作業は、内周リップ部をその内径がシールリング装填面である回転軸体の外周面部分(前記シール面に対向する回転軸体の外周面部分)の外径より大きくなるように拡径変形させた状態に保持しつつ行う必要があるが、環状をなす内周リップ部をその全周に亘ってこのような拡径変形状態に保持することは極めて困難であり、当該装填作業時に内周リップ部の先端部の一部(環状をなす先端部における周方向の一部)が前記回転軸体の端部周縁部(シールリング挿入側の端部周縁部)に干渉して、内周リップ部が適正に回転軸体の外周面に押圧接触する状態とならず、極端な場合には内周リップ部やその弾性力を補強する補強バネが変形,損傷する虞れがある。   Such a problem also occurs in the loading operation of the seal flange holding the seal ring onto the rotary shaft body. That is, the work of loading the seal flange onto the rotating shaft body is performed by the outer peripheral surface portion of the rotating shaft body whose inner diameter is the seal ring loading surface (the outer peripheral surface portion of the rotating shaft body facing the seal surface). It is necessary to carry out while maintaining the expanded and deformed state so as to be larger than the outer diameter of the outer diameter, but maintaining the annular inner peripheral lip portion in such a expanded and deformed state over the entire circumference It is extremely difficult, and a part of the tip of the inner peripheral lip part (a part of the annular tip in the circumferential direction) is an end peripheral part of the rotating shaft body (an end part on the seal ring insertion side) during the loading operation. The inner peripheral lip portion does not properly press and contact the outer peripheral surface of the rotating shaft body due to interference with the peripheral edge portion. In extreme cases, the inner peripheral lip portion and the reinforcing spring that reinforces its elastic force are deformed. There is a risk of damage.

本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、作業者の熟練度に拘わらず、弾性シール装置を適正且つ容易に組み立てることができる弾性シール装置の組み立て方法を提供すると共に、この方法を好適に実施することができる組み立て用治具を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above points, and provides an assembling method of an elastic seal device capable of assembling an elastic seal device appropriately and easily regardless of the skill level of an operator. It is an object of the present invention to provide an assembling jig that can suitably carry out the above.

本発明は、回転軸体とこれに同心状に挿通させた筒状のシールフランジとの対向周面間に、環状の本体部と本体部から軸線方向に突出して当該対向周面に弾性的に押圧接触する筒状の内外周リップ部とを具備してなる弾性材製のシールリングを装填した弾性シール装置を組み立てる方法であって、シールフランジ内にその軸線方向にシールリングを移動させつつ挿入することにより、当該シールリングを、その外周リップ部がシールフランジの内周面に形成された環状のシール面に押圧接触する状態に、シールフランジに内嵌させるシールリング内嵌工程と、回転軸体にその軸線方向にシールリングを内嵌させたシールフランジを移動させつつ嵌挿することにより、当該シールリングを、その内周リップ部が回転軸体の外周面に押圧接触する状態に、回転軸体に外嵌させるシールリング外嵌工程とを具備する弾性シール装置の組み立て方法において、上記の目的を達成すべく、特に、シールリング内嵌工程においては、シールフランジに、内周面に前記シール面に面一状に連なる円柱状の外周リップ部誘導面とその基端から漸次拡大する外周リップ部縮径変形作用面とを形成してなる円筒状の外周リップ部誘導治具を取り付けて、シールリングを、これが外周リップ部縮径変形作用面内に位置する状態で、当該シールリングの本体部に衝合させた筒状又は棒状の押し込み治具により前記シール面へと押し込むことにより、外周リップ部を外周リップ部径変形作用面により縮径変形させつつ外周リップ部誘導面から前記シール面へと誘導し、しかる後、シールフランジから外周リップ部誘導治具を取り外すようにし、シールリング外嵌工程においては、回転軸体の先端に、これと同一外径をなす内周リップ部誘導部とその基端から漸次縮径する截頭円錐状又は円錐状の内周リップ部拡径変形作用部とを有する回転体形状の外周リップ部誘導治具を軸線が一致する同心状態で取り付け、シールフランジを、これに内嵌保持されたシールリングに内周リップ部拡径変形作用部を挿通させた状態で、軸線方向に移動させることにより、内周リップ部を内周リップ部拡径変形作用部により拡径変形させつつ内周リップ部誘導部から回転軸体の所定位置へと誘導し、しかる後、回転軸体から外周リップ部誘導治具を取り外すようにすることを提案するものである。 The present invention protrudes in an axial direction from an annular main body portion and a main body portion between the rotary shaft body and a cylindrical seal flange concentrically inserted therethrough, and elastically extends to the counter peripheral surface. A method of assembling an elastic seal device loaded with a seal ring made of an elastic material having a cylindrical inner and outer peripheral lip portion that is in press contact, and inserted into a seal flange while moving the seal ring in the axial direction thereof A seal ring fitting process in which the seal ring is fitted into the seal flange in a state where the outer circumferential lip portion is in press contact with the annular seal surface formed on the inner circumferential surface of the seal flange; By inserting and inserting the seal flange with the seal ring fitted into the body in the axial direction while moving the seal ring, the inner circumferential lip of the seal ring comes into pressure contact with the outer circumferential surface of the rotating shaft body. In the method of assembling an elastic seal device comprising a seal ring external fitting step for externally fitting the rotary shaft body, in order to achieve the above object, in particular, in the seal ring internal fitting step, Cylindrical outer peripheral lip induction treatment having a cylindrical outer peripheral lip guiding surface continuous with the sealing surface on the peripheral surface and an outer peripheral lip contraction deformation working surface gradually expanding from the base end. Install the ingredients, the sealing ring, which is in a state positioned on the outer peripheral lip portion shrink-deformed working plane, by the seal ring main body portion abutting the tubular or rod-pushing jig was on to the seal surface by pushing, while shrink-deformed by the circumferential lip portion diameter reducing deformation working face the circumferential lip portion derived from the outer circumferential lip portion guide surface to the sealing surface, and thereafter, the outer peripheral ripple from the sealing flange The part guide jig is removed, and in the seal ring external fitting process, the inner peripheral lip part guide part having the same outer diameter as the tip of the rotating shaft body and the frustoconical shape gradually reducing the diameter from its base end Alternatively, a rotating body-shaped outer peripheral lip guide jig having a conical inner peripheral lip expanding and deforming portion is attached in a concentric state where the axes coincide with each other, and the seal flange is attached to the seal ring that is fitted and held therein. While the inner peripheral lip portion is expanded, the inner peripheral lip portion is expanded and deformed by the inner peripheral lip portion by moving in the axial direction. It is proposed that the outer peripheral lip guide jig is removed from the rotary shaft body after being guided to a predetermined position of the rotary shaft body.

かかる組み立て方法のシールリング外嵌工程においては、筒状の芯出し治具を、その先端側内周部に係合保持させた非圧縮性弾性材製の治具側Oリングを内周リップ部誘導治具に嵌合させると共に当該芯出し治具の基端側内周部に係合保持させた非圧縮性弾性材製の軸側Oリングを回転軸体に嵌合させた状態で、内周リップ部誘導治具の内周リップ部誘導部が回転軸体の先端に衝合する位置まで軸線方向に移動させた上、内周リップ部誘導治具を回転軸体に取り付け、しかる後、芯出し治具を内周リップ部誘導治具及び回転軸体から離脱させることにより、内周リップ部誘導治具を回転軸体に軸線が一致する状態で取り付けるようにすることが好ましい。   In the sealing ring outer fitting step of the assembling method, the jig-side O-ring made of an incompressible elastic material in which the cylindrical centering jig is engaged and held on the inner peripheral portion on the tip side thereof is the inner peripheral lip portion. In the state where the shaft side O-ring made of an incompressible elastic material fitted to the guide jig and engaged and held on the inner peripheral portion of the base end side of the centering jig is fitted to the rotary shaft body, After moving in the axial direction to the position where the inner circumferential lip guiding portion of the circumferential lip guiding jig contacts the tip of the rotating shaft body, the inner circumferential lip guiding jig is attached to the rotating shaft body, The centering jig is preferably detached from the inner peripheral lip part guiding jig and the rotating shaft body so that the inner peripheral lip part guiding jig is attached to the rotating shaft body in a state where the axes coincide with each other.

また、本発明は、上記の組み立て方法を好適に実施するための組み立て用治具である外周リップ部誘導治具、内周リップ部誘導治具及び芯出し治具を提案する。すなわち、外周リップ部誘導治具は、内周面に前記シール面と同一径の円柱状の外周リップ部誘導面とその基端から漸次拡大する外周リップ部縮径変形作用面とを形成してなる円筒状のもので、シールフランジに外周リップ部誘導面が前記シール面に面一状に連なる状態で取り付けうるように構成されている。また、内周リップ部誘導治具は、回転軸体の先端と同一外径をなす内周リップ部誘導部とその基端から漸次縮径する截頭円錐状又は円錐状の内周リップ部拡径変形作用部とを有し、回転軸体の先端にこれと軸線が一致する同心状態で取り付けうるように構成されている。さらに、芯出し治具は、先端側内周部に内周リップ部誘導治具に嵌合しうる非圧縮性弾性材製の治具側Oリングを係合保持すると共に基端側内周部に回転軸体に嵌合しうる非圧縮性弾性材製の軸側Oリングを係合保持させた筒状体である。   In addition, the present invention proposes an outer peripheral lip part guiding jig, an inner peripheral lip part guiding jig, and a centering jig, which are assembling jigs for suitably carrying out the above assembling method. That is, the outer peripheral lip guide jig is formed by forming a cylindrical outer peripheral lip guide surface having the same diameter as the seal surface on the inner peripheral surface and an outer peripheral lip contraction deformation working surface gradually expanding from the base end thereof. The outer peripheral lip portion guide surface can be attached to the seal flange in a state of being flush with the seal surface. In addition, the inner peripheral lip portion guide jig includes an inner peripheral lip portion guide portion having the same outer diameter as the distal end of the rotary shaft body and a frustoconical or conical inner peripheral lip portion expanding diameter gradually decreasing from the base end thereof. It has a diameter deformation action part, and it is constituted so that it can attach to the tip of a rotating shaft object in the concentric state where this and an axis line are in agreement. Further, the centering jig engages and holds a jig-side O-ring made of an incompressible elastic material that can be fitted to the inner circumferential lip portion guiding jig at the distal end side inner circumferential portion, and the proximal end inner circumferential portion. A cylindrical body in which a shaft-side O-ring made of an incompressible elastic material that can be fitted to the rotary shaft body is engaged and held.

本発明の組み立て方法によれば、外周リップ部誘導治具及び内周リップ部誘導治具を使用することによって、シールリング内嵌工程及びシールリング外嵌工程を冒頭で述べたような問題を生じることなく行うことができ、作業者が熟練者である場合は勿論、未熟練者である場合にも、弾性シール装置を効率よく容易且つ適正に組み立てることができる。   According to the assembling method of the present invention, the use of the outer peripheral lip part guide jig and the inner peripheral lip part guide jig causes the problems described in the beginning of the seal ring inner fitting process and the seal ring outer fitting process. The elastic sealing device can be assembled efficiently and easily and appropriately even when the operator is an expert, as well as when the operator is an expert.

また、本発明の組み立て用治具によれば、本発明の組み立て方法におけるシールリング内嵌工程及びシールリング外嵌工程を効率よく容易且つ適正に行うことができる。   Moreover, according to the assembling jig of the present invention, the seal ring internal fitting step and the seal ring external fitting step in the assembling method of the present invention can be performed easily and appropriately efficiently.

図1は本発明に係る方法により組み立てられる弾性シール装置を組み込んだ多流路形ロータリジョイントの一例を示す縦断面正面図(断面は図4のI−I線に沿う)である。FIG. 1 is a longitudinal sectional front view showing an example of a multi-channel rotary joint incorporating an elastic seal device assembled by the method according to the present invention (the cross section is taken along the line II in FIG. 4). 図2は当該ロータリジョイントの縦断面図(断面は図4のII−II線に沿う)である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the rotary joint (the cross section is taken along the line II-II in FIG. 4). 図3は当該ロータリジョイントの縦断側面図(断面は図4のIII −III 線に沿う)である。FIG. 3 is a longitudinal side view of the rotary joint (the cross section is taken along the line III-III in FIG. 4). 図4は当該ロータリジョイントの平面図である。FIG. 4 is a plan view of the rotary joint. 図5は図1の要部を拡大して示す詳細図である。FIG. 5 is an enlarged detailed view showing the main part of FIG. 図6は当該ロータリジョイントにおける弾性シール装置のメンテナンス作業の準備工程を示す一部切欠の平面図である。FIG. 6 is a partially cutaway plan view showing a preparation step for maintenance work of the elastic seal device in the rotary joint. 図7は同底面図である。FIG. 7 is a bottom view of the same. 図8は図6のVIII−VIII線に沿う縦断面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. 図9は図6のIX−IX線に沿う縦断面図である。9 is a longitudinal sectional view taken along the line IX-IX in FIG. 図10は当該メンテナンス作業において当該ロータリジョイントから弾性シール装置から取り外した状態を示す縦断面図(断面はX−X線に沿う)である。FIG. 10 is a longitudinal sectional view showing a state where the rotary joint is detached from the elastic seal device in the maintenance work (the cross section is along the line XX). 図11は当該メンテナンス作業において弾性シール装置の回転軸体部分の補修工程を示す、図10に対応する縦断面図である。FIG. 11 is a longitudinal sectional view corresponding to FIG. 10 showing a repairing process of the rotating shaft body portion of the elastic seal device in the maintenance work. 図12は当該補修工程における図11と異なる状態を示す図11相当の縦断面図である。FIG. 12 is a longitudinal sectional view corresponding to FIG. 11 showing a state different from FIG. 11 in the repair process. 図13は本発明に係る組み立て方法における第1シールリング内嵌工程の開始状態を示す、図2に対応する要部の縦断面図である。FIG. 13 is a longitudinal sectional view of a main part corresponding to FIG. 2, showing a start state of the first seal ring fitting process in the assembling method according to the present invention. 図14は当該第1シールリング内嵌工程の作業手順を示す、図13の要部拡大図である。FIG. 14 is an enlarged view of the main part of FIG. 13 showing the work procedure of the first seal ring fitting process. 図15は本発明に係る組み立て方法における第2シールリング内嵌工程を示す、図13相当の縦断面図である。FIG. 15 is a longitudinal sectional view corresponding to FIG. 13 showing the second seal ring fitting process in the assembling method according to the present invention. 図16は当該第2シールリング内嵌工程の作業手順を示す、図15の要部拡大図である。FIG. 16 is an enlarged view of the main part of FIG. 15 showing the work procedure of the second seal ring fitting process. 図17は本発明に係る組み立て方法におけるシールリング外嵌工程を示す、図11対応の一部切欠縦断面図である。FIG. 17 is a partially cutaway longitudinal sectional view corresponding to FIG. 11 showing a seal ring external fitting step in the assembling method according to the present invention. 図18は当該シールリング外嵌工程の作業手順を示す、図17の要部拡大図である。FIG. 18 is an enlarged view of a main part of FIG. 17 showing a work procedure of the seal ring external fitting process. 図19は当該シールリング外嵌工程における図17と異なる状態を示す、図17相当の縦断面図である。FIG. 19 is a longitudinal sectional view corresponding to FIG. 17 and showing a state different from FIG. 17 in the seal ring external fitting step. 図20は当該シールリング外嵌工程における図17〜図19と異なる状態を示す、図17相当の縦断面図である。FIG. 20 is a longitudinal sectional view corresponding to FIG. 17, showing a state different from FIGS. 17 to 19 in the seal ring external fitting step. 図21は当該シールリング外嵌工程における図17〜図20と異なる状態を示す、図17相当の縦断面図である。FIG. 21 is a longitudinal sectional view corresponding to FIG. 17 and showing a state different from FIGS. 17 to 20 in the seal ring external fitting step. 図22は当該シールリング外嵌工程における図17〜図21と異なる状態を示す、図17相当の縦断面図である。FIG. 22 is a longitudinal sectional view corresponding to FIG. 17 and showing a state different from FIGS. 17 to 21 in the seal ring external fitting step.

以下、本発明に係る弾性シール装置の組み立て方法及びこれに使用する組み立て用治具の構成を図面に基づいて具体的に説明する。   Hereinafter, a method for assembling an elastic seal device according to the present invention and a configuration of an assembling jig used in the method will be specifically described with reference to the drawings.

図1は本発明に係る方法により組み立てられる弾性シール装置を組み込んだ多流路形ロータリジョイントの一例を示す縦断面正面図(断面は図4のI−I線に沿う)であり、図2は当該ロータリジョイントの縦断面図(断面は図4のII−II線に沿う)であり、図3は当該ロータリジョイントの縦断側面図(断面は図4のIII −III 線に沿う)であり、図4は当該ロータリジョイントの平面図であり、図5は図1の要部を拡大して示す詳細図である。なお、以下の説明において上下とは図1〜図3における上下をいうものとする。   FIG. 1 is a longitudinal sectional front view showing an example of a multi-channel rotary joint incorporating an elastic seal device assembled by the method according to the present invention (the cross section is taken along the line II in FIG. 4). FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the rotary joint (cross section taken along line II-II in FIG. 4), and FIG. 3 is a longitudinal side view of the rotary joint (cross section taken along line III-III in FIG. 4). 4 is a plan view of the rotary joint, and FIG. 5 is a detailed view showing an enlarged main part of FIG. In the following description, “upper and lower” means the upper and lower sides in FIGS.

まず、多流路形ロータリジョイントの構成について説明すると、このロータリジョイントは、図1に示す如く、回転機器の固定側部材(例えば、CMP装置本体)に取り付けられるケース体1と当該回転機器の回転側部材(例えば、CMP装置のトップリング又はターンテーブル)に取り付けられる回転軸体2とを具備し、両体1,2間にM本の第1流路3とN本の第2流路4とを形成したものであり、第1流路3の相対回転接続部分(後述する通路接続空間3a)をメカニカルシール装置5によりシールすると共に第2流路4の相対回転接続部分(後述する通路接続空間4a)を弾性シール装置6によりシールしたものである。なお、この例では、M=5,N=1としてある。   First, the structure of the multi-channel rotary joint will be described. As shown in FIG. 1, the rotary joint is a case body 1 attached to a stationary member (for example, a CMP apparatus main body) of a rotating device and the rotation of the rotating device. A rotating shaft body 2 attached to a side member (for example, a top ring or a turntable of a CMP apparatus), and M first flow paths 3 and N second flow paths 4 between both bodies 1 and 2. The relative rotational connection portion (passage connection space 3a described later) of the first flow path 3 is sealed by the mechanical seal device 5 and the relative rotational connection portion of the second flow path 4 (passage connection described later). The space 4a) is sealed by the elastic sealing device 6. In this example, M = 5 and N = 1.

ケース体1は、図1〜図3に示す如く、内周断面が円形をなす筒構造体であり、軸線方向(上下方向)において複数の筒状部分(シールフランジ)を積層連結したものである。すなわち、ケース体1は、その基端部を構成するシールフランジ(以下「基端シールフランジ」という)5aと、その上に積層された第1流路数に一致するM個の中間シールフランジ(以下「第1中間シールフランジ」という)5bと、ケース体1の先端部を構成するシールフランジ(以下「先端シールフランジ」という)6bと、最上位の第1中間シールフランジ5bと先端シールフランジ6bとを接続する中間シールフランジ(以下「第2中間シールフランジ」という)6aとからなる。各第1中間シールフランジ5bとこれに隣接する他の第1中間シールフランジ5b及び基端シールフランジ5aとは各々適当本数のボルト7で連結されている(図1,図2参照)。第2中間シールフランジ6aは適当本数のボルト8によりは最上位の第1中間シールフランジ5bに連結されている(図1参照)。先端シールフランジ6bは、第1及び第2中間シールフランジ5b,6aと共に、これらに挿通させた適当本数の長尺なボルト9を基端シールフランジ5aに螺着させることにより、基端シールフランジ5aに連結されている(図2参照)。なお、ケース体1の両端つまり基端シールフランジ5aの下端及び先端シールフランジ6bの上端には、夫々、図2又は図4に示す如く、適当本数のビス10によりベアリング押さえ兼用のカバー板5c,6cが取り付けられている。また、ケース体1は、図4に示す如く、前後面1a,1aを回転軸体2を中心とする同一径の円弧面とし且つ左右面1b,1bを平行平面とする外観形態をなすものである。   As shown in FIGS. 1 to 3, the case body 1 is a cylindrical structure having a circular inner peripheral section, and is formed by stacking and connecting a plurality of cylindrical portions (seal flanges) in the axial direction (vertical direction). . That is, the case body 1 includes a seal flange (hereinafter referred to as “base end seal flange”) 5a constituting the base end portion thereof, and M intermediate seal flanges (the number of the first flow paths stacked on the seal flange 5). (Hereinafter referred to as “first intermediate seal flange”) 5b, a seal flange (hereinafter referred to as “front end seal flange”) 6b constituting the front end of the case body 1, an uppermost first intermediate seal flange 5b and front end seal flange 6b. And an intermediate seal flange (hereinafter referred to as “second intermediate seal flange”) 6a. Each first intermediate seal flange 5b is connected to another first intermediate seal flange 5b and a proximal seal flange 5a adjacent to each other by an appropriate number of bolts 7 (see FIGS. 1 and 2). The second intermediate seal flange 6a is connected to the uppermost first intermediate seal flange 5b by an appropriate number of bolts 8 (see FIG. 1). The distal end seal flange 6b, together with the first and second intermediate seal flanges 5b and 6a, is screwed into the proximal end seal flange 5a by screwing an appropriate number of long bolts 9 inserted therethrough. (See FIG. 2). In addition, at both ends of the case body 1, that is, the lower end of the proximal seal flange 5a and the upper end of the distal end seal flange 6b, as shown in FIG. 2 or FIG. 6c is attached. Further, as shown in FIG. 4, the case body 1 has an external form in which the front and rear surfaces 1a and 1a are circular arc surfaces having the same diameter centered on the rotary shaft 2 and the left and right surfaces 1b and 1b are parallel planes. is there.

回転軸体2は、図1〜3に示す如く、円柱状の軸本体11と、これに軸線方向(上下方向)に所定間隔を隔てて並列状に嵌合された端部スリーブ12及びM個の中間スリーブ13とで構成されており、上下ベアリング14a,14bにより先端ケース部分6及び基端ケース部分5の内周部に同心状をなして回転自在に支持されている。端部スリーブ12は、図1〜図4に示す如く、円筒状のシール部12aと円板状の取付部12bとを有する断面H字状の円筒構造体であり、シール部12aを回転軸体2の軸本体11の先端部分(上端部分)に嵌合させると共に取付部12bに挿通させた適当数のボルト15を軸本体11の先端面部(上端面部)に螺着させることにより、回転軸体2の先端部に嵌合固定されている。各中間スリーブ13は円筒体であり、軸本体11に嵌挿されている。上ベアリング14aは、端部スリーブ12と先端シールフランジ6bとの対向周面間に装填されており、下ベアリング14bは、軸本体11と基端シールフランジ5aとの対向周面間に装填されている。   As shown in FIGS. 1 to 3, the rotary shaft body 2 includes a cylindrical shaft main body 11, and end sleeves 12 and M pieces fitted in parallel at a predetermined interval in the axial direction (vertical direction). The intermediate sleeve 13 is supported by the upper and lower bearings 14a and 14b so as to be concentric with the inner peripheral portions of the distal end case portion 6 and the proximal end case portion 5 so as to be rotatable. As shown in FIGS. 1 to 4, the end sleeve 12 is a cylindrical structure body having an H-shaped cross section having a cylindrical seal portion 12a and a disc-like attachment portion 12b. The seal portion 12a is a rotating shaft body. By rotating a suitable number of bolts 15 fitted to the tip portion (upper end portion) of the two shaft main bodies 11 and inserted through the mounting portion 12b to the tip end surface portion (upper end face portion) of the shaft main body 11, a rotating shaft body is obtained. 2 is fitted and fixed to the tip portion. Each intermediate sleeve 13 is a cylindrical body and is fitted into the shaft body 11. The upper bearing 14a is loaded between the opposed peripheral surfaces of the end sleeve 12 and the tip seal flange 6b, and the lower bearing 14b is loaded between the opposed peripheral surfaces of the shaft body 11 and the proximal seal flange 5a. Yes.

M本(この例では5本)の第1流路3は、第1中間シールフランジ5bと回転軸体2との間に2M個のメカニカルシール16を装填してなるメカニカルシール装置5によってシールされたものである。すなわち、各第1流路3は、図1に示す如く、第1中間シールフランジ5bと回転軸体2との対向周面間に形成された環状空間であって一対のメカニカルシール16,16によりシールされた通路接続空間3aと、回転軸体2の軸本体11及び各中間スリーブ13を貫通して通路接続空間3aに連通する軸側通路3bと、第1中間シールフランジ5bを貫通して通路接続空間3aに連通するケース側通路3cとからなる。各軸側通路3bは上記回転機器の回転側部材に形成された流路に接続され、各ケース側通路3cは上記回転機器の静止側部材に形成された流路に接続されている。各メカニカルシール16は、図1〜図3に示す如く、回転軸体2に固定された軸側密封環(回転密封環)16aと、第1中間シールフランジ5bに軸線方向に移動可能に内嵌保持されたケース側密封環(静止密封環)16bと、ケース側密封環16bを軸側密封環16aへと押圧附勢するスプリング16c(図2参照)とを具備して、両密封環16a,16bの相対回転摺接作用により、その相対回転摺接部分の内周側領域である通路接続空間3aとその外周側領域(後述する冷却液領域)とを遮蔽シールするように構成された端面接触形メカニカルシールである。メカニカルシール装置のうち、上下両端に位置するメカニカルシール16,16を除いて、各メカニカルシール16の軸側密封環16aとこれに隣接するメカニカルシール16の軸側密封環16aとは兼用されている。すなわち、2M個のメカニカルシール16においてはM+1個の軸側密封環16aが使用されており、これらの軸側密封環16aは、図1〜図3に示す如く、隣接する軸側密封環16a,16a間に中間スリーブ13を介在させた状態で端部スリーブ12のシール部12aと軸本体11の基端段部11aとの間に挟圧されることにより、軸本体11に挿通固定されている。隣接するメカニカルシール16,16のケース側密封環16b,16bは、図1〜図3に示す如く、第1中間シールフランジ5bの内周部に軸線方向移動可能に嵌合保持されている。各ケース側密封環16bは、図3に示す如く、その外周部に形成した凹部を第1中間シールフランジ5bに貫通保持された共通のドライブバー17に係合させることにより、軸線方向移動を許容しつつケース体1(基端ケース部分5)に対する相対回転を阻止されている。各第1中間シールフランジ5bに嵌合保持された2個のケース側密封環16b,16bは、図2に示す如く、当該第1中間シールフランジ5bに形成した貫通孔に挿通保持されて当該ケース側密封環16b,16b間に装填されたスプリング16cにより相互に離間する方向に附勢させることによって、相手密封環16a,16aへと押圧接触されている。   M (five in this example) first flow paths 3 are sealed by a mechanical seal device 5 in which 2M mechanical seals 16 are loaded between the first intermediate seal flange 5b and the rotary shaft body 2. It is a thing. That is, each first flow path 3 is an annular space formed between the opposed peripheral surfaces of the first intermediate seal flange 5b and the rotary shaft 2 as shown in FIG. The sealed passage connection space 3a, the shaft-side passage 3b that passes through the shaft body 11 and each intermediate sleeve 13 of the rotary shaft 2 and communicates with the passage connection space 3a, and the passage that passes through the first intermediate seal flange 5b. The case side passage 3c communicates with the connection space 3a. Each shaft side passage 3b is connected to a flow path formed in the rotation side member of the rotating device, and each case side passage 3c is connected to a flow path formed in the stationary side member of the rotation device. As shown in FIGS. 1 to 3, each mechanical seal 16 is fitted into a shaft-side seal ring (rotary seal ring) 16a fixed to the rotary shaft 2 and a first intermediate seal flange 5b so as to be movable in the axial direction. A case-side sealing ring (stationary sealing ring) 16b, and a spring 16c (see FIG. 2) that presses and urges the case-side sealing ring 16b toward the shaft-side sealing ring 16a. End surface contact configured to shield and seal the passage connection space 3a which is the inner peripheral side region of the relative rotational sliding contact portion and the outer peripheral side region (coolant region described later) by the relative rotational sliding contact action of 16b. This is a mechanical seal. In the mechanical seal device, except for the mechanical seals 16 and 16 located at both upper and lower ends, the shaft-side sealing ring 16a of each mechanical seal 16 and the shaft-side sealing ring 16a of the mechanical seal 16 adjacent thereto are shared. . That is, in the 2M mechanical seals 16, M + 1 shaft-side seal rings 16a are used, and these shaft-side seal rings 16a are connected to adjacent shaft-side seal rings 16a, 16a, 16b, as shown in FIGS. The shaft body 11 is inserted and fixed by being pinched between the seal portion 12a of the end sleeve 12 and the proximal end step portion 11a of the shaft body 11 with the intermediate sleeve 13 interposed between the shaft bodies 16a. . As shown in FIGS. 1 to 3, the case side sealing rings 16 b and 16 b of the adjacent mechanical seals 16 and 16 are fitted and held on the inner peripheral portion of the first intermediate seal flange 5 b so as to be movable in the axial direction. As shown in FIG. 3, each case-side sealing ring 16b is allowed to move in the axial direction by engaging a recess formed in its outer peripheral portion with a common drive bar 17 penetratingly held by the first intermediate seal flange 5b. However, relative rotation with respect to the case body 1 (base end case portion 5) is prevented. As shown in FIG. 2, the two case-side sealing rings 16b and 16b fitted and held in each first intermediate seal flange 5b are inserted and held in through holes formed in the first intermediate seal flange 5b. The springs 16c loaded between the side sealing rings 16b and 16b are pressed in contact with the mating sealing rings 16a and 16a by urging them in directions away from each other.

このように、各第1流路3は軸側通路3bとケース側通路3cとを通路接続空間3aにより相対回転自在に連通接続してなるものであり、各通路接続空間3aが一対のメカニカルシール16,16でシールされていることから、M本の第1流路3bによれば、高度のシール性が要求されるM種の第1流体(例えば、CMP装置で使用される純水,薬液,研磨液,スラリ液等)18を、夫々、漏洩することなく良好に両体1,2間で独立して流動させることができる。   In this way, each first flow path 3 is formed by connecting the shaft side passage 3b and the case side passage 3c so as to be relatively rotatable by the passage connection space 3a, and each passage connection space 3a is a pair of mechanical seals. 16 and 16, the M first flow paths 3b make it possible to use M types of first fluids that require a high degree of sealing performance (for example, pure water and chemicals used in CMP apparatuses). , Polishing liquid, slurry liquid, etc.) 18 can be made to flow independently between the two bodies 1 and 2 without leakage.

なお、メカニカルシール16のシール部分(両密封環16a,16bの相対回転摺接部分)の外周側領域は、図2に示す如く、第1中間シールフランジ5bの貫通孔(スプリング16cを挿通保持させる貫通孔)で相互に連通されると共にシールフランジ5a,6aの内周部に嵌合固定されて最下位及び最上位の軸側密封環16a,16aの外周面に圧接された弾性材製の環状シール部材(例えばオイルシール)19a,19bによりシールされた冷却液領域とされていて、基端シールフランジ5a及び第2中間シールフランジ6aに形成した給排液路20,21により、冷却液(例えば、常温の清浄水,純水等)22を循環供給させるようになっている。この冷却液により各メカニカルシール16のシール部分を冷却して、当該シール部分の異常発熱,摩耗を可及的に防止するように工夫されている。   In addition, as shown in FIG. 2, the outer peripheral side region of the seal portion of the mechanical seal 16 (the relative rotational sliding contact portion of both seal rings 16a and 16b) is inserted and held in the through hole (spring 16c) of the first intermediate seal flange 5b. A ring made of an elastic material that is in communication with each other through the through-holes and is fitted and fixed to the inner peripheral portions of the seal flanges 5a and 6a and pressed against the outer peripheral surfaces of the lowermost and uppermost shaft-side seal rings 16a and 16a. A coolant region is sealed by seal members (for example, oil seals) 19a and 19b, and a coolant (for example, a coolant) is formed by supply and discharge fluid paths 20 and 21 formed in the proximal seal flange 5a and the second intermediate seal flange 6a. , Normal temperature clean water, pure water, etc.) 22 is circulated and supplied. It is devised to cool the seal portion of each mechanical seal 16 with this coolant to prevent abnormal heat generation and wear of the seal portion as much as possible.

N本(この例では1本)の第2流路4は、先端シールフランジ6bと回転軸体2との間に弾性材製の第1及び第2シールリングを装填してなる弾性シール装置6によってシールされたものである。すなわち、第2流路4は、図1に示す如く、各回転軸体2と先端シールフランジ6bとの対向周面間に形成された環状空間であって同一形状の第1及び第2シールリング23,24によりシールされた通路接続空間4aと、回転軸体2に形成されて通路接続空間4aに連通する軸側通路4bと、先端シールフランジ6bに形成されて通路接続空間4aに連通するケース側通路4cとからなり、さほど高度のシール性が要求されない第2流体(例えば、CMP装置で使用されるウエハ加圧用空気やエアーブロ−用空気等)25を両体1,2間で流動させるものである。軸側通路4bは、図1に示す如く、軸本体11及び端部スリーブ12のシール部12を貫通して通路接続空間4aに開口されており、ケース側通路4cは、図5に示す如く、先端シールフランジ6bを径方向に貫通して通路接続空間4aに開口されている。なお、先端シールフランジ6bの内周面には、図5に示す如く、ベアリング14aを内嵌保持するベアリング保持面6dと、その下位に位置してベアリング保持面6dより小径の上下一対のシールリング装填面であるシール面6e,6fと、両シール面6e,6fの間から内方に突出する環状の仕切部6gとが形成されており、ケース側通路4cは仕切部6gを貫通して通路接続空間4aに開口されている。また、ベアリング保持面6dと上側のシール面6eとの境界には段部が形成されるが、この段部には上ベアリング14aの下面部を受け止める環状のベアリング受け26が衝合係止されている。   The N (one in this example) second flow path 4 has an elastic seal device 6 in which first and second seal rings made of an elastic material are loaded between the tip seal flange 6 b and the rotary shaft body 2. It is sealed by. That is, as shown in FIG. 1, the second flow path 4 is an annular space formed between the opposed peripheral surfaces of the rotary shaft bodies 2 and the tip seal flange 6b, and has the same shape as the first and second seal rings. A passage connecting space 4a sealed by the passages 23 and 24; a shaft side passage 4b formed in the rotary shaft 2 and communicating with the passage connecting space 4a; and a case formed in the tip seal flange 6b and communicating with the passage connecting space 4a. Containing a side passage 4c that allows a second fluid 25 (for example, wafer pressurization air or air blow air used in a CMP apparatus) to flow between the two bodies 1 and 2 that does not require a high degree of sealing performance. It is. As shown in FIG. 1, the shaft-side passage 4b passes through the seal portion 12 of the shaft body 11 and the end sleeve 12, and is opened to the passage connection space 4a. The case-side passage 4c is formed as shown in FIG. The distal end seal flange 6b passes through in the radial direction and is opened to the passage connection space 4a. As shown in FIG. 5, a bearing holding surface 6d for internally fitting and holding a bearing 14a and a pair of upper and lower seal rings positioned below that and having a smaller diameter than the bearing holding surface 6d are provided on the inner peripheral surface of the tip seal flange 6b. Seal surfaces 6e and 6f which are loading surfaces and an annular partition 6g projecting inward from between both seal surfaces 6e and 6f are formed, and the case side passage 4c passes through the partition 6g. Opened in the connection space 4a. Further, a step portion is formed at the boundary between the bearing holding surface 6d and the upper seal surface 6e, and an annular bearing receiver 26 for receiving the lower surface portion of the upper bearing 14a is abutted and locked to the step portion. Yes.

各シールリング23,24は、図5に示す如く、環状の本体部27と、本体部27から軸線方向に突出する筒状の内外周リップ部28,29と、内外周リップ部28,29間に形成される環状溝30に装填された補強バネ(断面略コ状の環状形態をなす板バネ)31とからなる断面略コ字状の環状体をなすものであり、回転軸体1と先端ケース部分6との対向周面間つまり端部スリーブ12のシール部12aと先端シールフランジ6bの内周部であるシール面6e,6fとの間に装填されている。本体部27の径方向の厚みは、図5に示す如く、回転軸体1と先端ケース部分6との対向周面部間(端部スリーブ12のシール部12aと先端シールフランジ6bのシール面6e,6fとの間)の径方向間隔に略一致されていて、当該対向周面部間に容易に挿脱できる。一方、内外周リップ部28,29は、それ自身の弾性及び補強バネ31の弾性によって、当該対向周面部間に装填されていない状態(自然状態)では先端方向に当該対向周面部間の間隔よりハの字状に拡がっている。すなわち、自然状態では、図5に鎖線図示する如く、内周リップ部28は本体部27よりその内周方向に突出しており、外周リップ部29は本体部27よりその外周方向に突出している。すなわち、両シールリング23,24は、図5に示す如く、環状溝30,30の開口部を上下に対向させた対称形態で配置されており、上側の第1シールリング23は、上側のシール面6eとこれから内方に突出する前記仕切部6g及びベアリング受け26の内周部分とで囲繞形成される環状凹部に、内外周リップ部28,29が端部スリーブ12のシール部12a及びシール面6eに弾性的に圧接する状態で、嵌合保持されている。また、下側の第2シールリング24は、図5に示す如く、下側のシール面6fとこれから内方に突出する前記仕切部6g及び第2シールフランジ26の内周部分とで囲繞形成される環状凹部に、内外周リップ部28,29が端部スリーブ12のシール部12a及びシール面6fに弾性的に圧接する状態で、嵌合保持されている。   As shown in FIG. 5, each seal ring 23, 24 includes an annular main body 27, cylindrical inner and outer peripheral lip portions 28, 29 protruding from the main body portion 27 in the axial direction, and inner and outer peripheral lip portions 28, 29. A circular spring having a substantially U-shaped cross section comprising a reinforcing spring (a leaf spring having a substantially U-shaped annular section) 31 loaded in an annular groove 30 formed on the rotating shaft body 1 and the tip It is loaded between the opposed peripheral surfaces of the case portion 6, that is, between the seal portion 12a of the end sleeve 12 and the seal surfaces 6e and 6f which are the inner peripheral portions of the tip seal flange 6b. As shown in FIG. 5, the thickness of the main body 27 in the radial direction is between the opposing peripheral surface portions of the rotating shaft 1 and the tip case portion 6 (the seal portion 12a of the end sleeve 12 and the seal surface 6e of the tip seal flange 6b, 6f) and can be easily inserted / removed between the opposed peripheral surface portions. On the other hand, the inner and outer peripheral lip portions 28 and 29 have their own elasticity and the elasticity of the reinforcing spring 31, and in a state in which they are not loaded between the opposing peripheral surface portions (natural state), the distance between the opposing peripheral surface portions in the distal direction. It spreads in the shape of C. That is, in the natural state, as shown by a chain line in FIG. 5, the inner peripheral lip portion 28 protrudes from the main body portion 27 in the inner peripheral direction, and the outer peripheral lip portion 29 protrudes from the main body portion 27 in the outer peripheral direction. That is, as shown in FIG. 5, both seal rings 23, 24 are arranged in a symmetrical form with the openings of the annular grooves 30, 30 facing each other vertically, and the upper first seal ring 23 is the upper seal ring. Inner and outer peripheral lip portions 28 and 29 are formed in an annular recess formed by the surface 6e and the partition portion 6g projecting inwardly and the inner peripheral portion of the bearing receiver 26, and the seal portion 12a and the seal surface of the end sleeve 12 It is fitted and held in a state where it is elastically pressed against 6e. Further, as shown in FIG. 5, the lower second seal ring 24 is surrounded by the lower seal surface 6f, the partition portion 6g projecting inwardly therefrom, and the inner peripheral portion of the second seal flange 26. The inner and outer peripheral lip portions 28 and 29 are fitted and held in the annular recess in a state where they are elastically pressed against the seal portion 12a and the seal surface 6f of the end sleeve 12.

而して、通路接続空間4aに第2流体25が供給されると、第2流体25がシールリング23,24の環状溝30,30に流入して、流体25の圧力により、軸線方向においては、両シールリング23,24が相互に離間する方向に押圧されて本体部27,27がベアリング受け26及び第2中間シールフランジ6aに押し付けられ、径方向においては、各シールリング23,24の内外周リップ部28,29がその径方向間隔が広がる方向に押圧変形される。すなわち、環状溝30に流入した第2流体25の圧力により、リップ部28,29のシール面6e,6d,12aへの接触面圧が上昇して、シールリング23,24によるシール機能が十分に発揮される。かかる接触面圧の上昇程度は、通路接空間4aに供給される第2流体25の圧力に比例する。したがって、上記接触面圧つまりシール力が第2流体25の圧力に応じて比例的に変化することになり、第2流体25が高圧である場合や圧力変動した場合にも、シールリング23,24によるシール機能が適正且つ良好に発揮されることになり、第2流路4における第2流体25の流動が漏れを生じることなく良好に行われる。   Thus, when the second fluid 25 is supplied to the passage connection space 4a, the second fluid 25 flows into the annular grooves 30 and 30 of the seal rings 23 and 24, and in the axial direction due to the pressure of the fluid 25. The seal rings 23 and 24 are pressed in a direction away from each other, and the main body portions 27 and 27 are pressed against the bearing receiver 26 and the second intermediate seal flange 6a. The circumferential lip portions 28 and 29 are pressed and deformed in the direction in which the radial interval increases. That is, due to the pressure of the second fluid 25 flowing into the annular groove 30, the contact surface pressure of the lip portions 28, 29 to the seal surfaces 6 e, 6 d, 12 a rises, and the sealing function by the seal rings 23, 24 is sufficient. Demonstrated. The degree of increase in the contact surface pressure is proportional to the pressure of the second fluid 25 supplied to the passage contact space 4a. Therefore, the contact surface pressure, that is, the sealing force changes proportionally according to the pressure of the second fluid 25, and the seal rings 23, 24 also when the second fluid 25 is at a high pressure or when the pressure fluctuates. Thus, the sealing function is properly and satisfactorily exhibited, and the flow of the second fluid 25 in the second flow path 4 is favorably performed without causing leakage.

ところで、このような多流路形ロータリジョイントにあって、メカニカルシール16はセラミックス,カーボン,超硬合金等の硬質材で構成された2つの密封環16a,16bによりシール機能を発揮させるものであり、長期に亘ってメンテナンスを必要としないものであるが、弾性材製のシールリング23,24は、その材質,機能上、短期間の使用において摩耗,損傷し易く、交換する必要が生じる。したがって、上記のように流路3,4のシール手段としてメカニカルシール装置5と弾性シール装置6とを併用する多流路形ロータリジョイントにあっては、メカニカルシール装置5をメンテナンスする必要がないときにも弾性シール装置6はこれをメンテナンス(シールリング23,24を新たなものに交換し、必要に応じて当該シールリング23,24の周辺部材(例えば、端部スリーブ12)の交換,補修を行う等)する必要があるが、この実施の形態は、かかる弾性シール装置6のメンテナンス作業において、分解された弾性シール装置6を組み立てる場合(弾性シール装置6の再組立)に本発明の方法を適用した例に係る。   By the way, in such a multi-channel type rotary joint, the mechanical seal 16 exhibits a sealing function by two sealing rings 16a and 16b made of a hard material such as ceramics, carbon, cemented carbide or the like. Although it does not require maintenance for a long period of time, the seal rings 23 and 24 made of an elastic material are easily worn and damaged in short-term use due to their materials and functions, and need to be replaced. Therefore, in the multi-channel rotary joint that uses the mechanical seal device 5 and the elastic seal device 6 as the sealing means for the channels 3 and 4 as described above, when the mechanical seal device 5 does not need to be maintained. In addition, the elastic seal device 6 performs maintenance (replaces the seal rings 23, 24 with new ones, and replaces and repairs peripheral members (for example, the end sleeve 12) of the seal rings 23, 24 as necessary. In this embodiment, in the maintenance work of the elastic seal device 6, the method of the present invention is applied when the disassembled elastic seal device 6 is assembled (reassembly of the elastic seal device 6). According to the applied example.

而して、以上のように構成された多流路形ロータリジョイントにおいて、弾性シール装置6のメンテナンス(シールリング23,24の交換及び弾性シール装置6の再組立等)は、次のような準備工程、分解工程(本発明の方法によるシールリング内嵌工程及びシールリング外嵌工程を含む)、再組立工程及び最終工程により行われる。   Thus, in the multi-channel rotary joint configured as described above, maintenance of the elastic seal device 6 (replacement of the seal rings 23 and 24 and reassembly of the elastic seal device 6) is as follows. It is performed by a process, a disassembly process (including a seal ring internal fitting process and a seal ring external fitting process by the method of the present invention), a reassembly process, and a final process.

(準備工程)
メカニカルシール16は両密封環16a,16bの対向端面たる密封端面が平行且つ同心状態で相対回転することにより高度のシール機能を発揮するように構成されたものであり、かかる密封端面の平行性,同心性が損なわれるとシール機能が低下若しくは喪失することになる。しかし、弾性シール装置6のメンテナンスを行うに当たって先端シールフランジ6aを取り外すと、これとの間に装填されたベアリング14aによる回転軸体2の上端部(先端部)の軸受支持が解除されることから、回転軸体2は下端部(基端部)のみが基端シールフランジ5aにベアリング14bで連結された片持ち状態となる上、ケース体1に対して相対回転自在な状態にあることから、弾性シール装置6の再組立作業を行う際に、分解されないケース体1の基端側部分(基端シールフランジ5a、全第1中間シールフランジ5b及びカバー板5cで構成される部分であって、以下「非分解ケース体部分」という)と回転軸体2との同心状態が維持されず、つまり弾性シール装置6を取り外す(分解する)前の状態を維持することが困難であり、その結果、上記した密封端面の平行性,同心性が損なわれる虞れがある。このような虞れは、軸線方向に並列配置されるメカニカルシール16の数が多くなるに従い顕著に生じる。また、非分解ケース体部分5a,5b,5cと回転軸体2とが相対回転自在な状態にあることから、つまり回転軸体2がその基端部のみをベアリング14bで支持された不安定な片持ち状態となっていることから、弾性シール装置6の再組立作業が極めて困難であり、作業者が未熟練者である場合は勿論、熟練の作業者であっても、メカニカルシール装置5をメンテナンス前の適正な形態に保持したままで弾性シール装置6のメンテナンス作業ないし再組立作業を行うことは容易ではない。
(Preparation process)
The mechanical seal 16 is configured so as to exhibit a high degree of sealing function by the relative rotation of the sealing end faces as opposed end faces of both sealing rings 16a and 16b in parallel and concentric states. If the concentricity is impaired, the sealing function is reduced or lost. However, if the tip seal flange 6a is removed during the maintenance of the elastic seal device 6, the bearing support of the upper end portion (tip portion) of the rotary shaft body 2 by the bearing 14a loaded therebetween is released. Since the rotary shaft body 2 is in a cantilever state in which only the lower end portion (base end portion) is connected to the base end seal flange 5a by the bearing 14b, the rotary shaft body 2 is in a state of being rotatable relative to the case body 1. When reassembling the elastic sealing device 6, the base end side portion of the case body 1 that is not disassembled (the portion constituted by the base end seal flange 5a, the entire first intermediate seal flange 5b, and the cover plate 5c, Hereinafter, the concentric state of the non-disassembled case body portion and the rotating shaft body 2 is not maintained, that is, it is difficult to maintain the state before the elastic seal device 6 is removed (disassembled). There, as a result, there is a possibility that parallelism of the sealing end face as described above, concentricity is impaired. Such a fear becomes conspicuous as the number of mechanical seals 16 arranged in parallel in the axial direction increases. Further, since the non-disassembled case body portions 5a, 5b and 5c and the rotary shaft body 2 are in a relatively rotatable state, that is, the rotary shaft body 2 is unstable because only the base end portion thereof is supported by the bearing 14b. Since it is in a cantilever state, it is extremely difficult to reassemble the elastic seal device 6, and the mechanical seal device 5 can be used by a skilled worker as well as an unskilled worker. It is not easy to perform maintenance work or reassembly work of the elastic seal device 6 while maintaining an appropriate form before maintenance.

したがって、弾性シール装置6のメンテナンスを行うに際しては、準備工程として、図6〜図9に示す如く、非分解ケース体部分5a,5b,5cと回転軸体2とを連結固定治具40を使用して相対回転不能に連結しておくのである。   Therefore, when performing maintenance of the elastic seal device 6, as a preparatory step, as shown in FIGS. 6 to 9, a non-disassembled case body portion 5a, 5b, 5c and the rotary shaft body 2 are connected and fixed using a jig 40. Thus, they are connected so that they cannot rotate relative to each other.

連結固定治具40は、図6〜図9に示す如く、円板状の軸固定部41とその周縁部に立設された円筒状のケース嵌合部42とを有する金属製の有底筒状体であり、その直径線上の部分には、当該部分の一端部43を残して両部41,42を2分割する切欠溝44が形成されている。ケース嵌合部42は、ケース体1の基端部つまり基端シールフランジ5a(カバー板5c)を嵌合させうるに必要且つ十分な内径(ケース体1の前後面1a,1aと略同一)を有するもので、切欠溝44を挟んで対向する分割端同士を連結する複数の連結ボルト45を締付けることにより、縮径できるようになっている。軸固定部41には複数の円弧状長孔41aが形成されており、各円弧状長孔41aには軸本体11の下端面部に形成したネジ孔11b(図2,図10を参照)に螺着しうる固定ボルト46が挿通されている。   As shown in FIGS. 6 to 9, the connection fixing jig 40 is a metal bottomed cylinder having a disk-shaped shaft fixing portion 41 and a cylindrical case fitting portion 42 erected on the peripheral edge thereof. In the portion on the diameter line, a notch groove 44 that divides both portions 41 and 42 into two portions is formed in the portion on the diameter line. The case fitting portion 42 has a necessary and sufficient inner diameter (substantially the same as the front and rear surfaces 1a and 1a of the case body 1) to fit the base end portion of the case body 1, that is, the base end seal flange 5a (cover plate 5c). The diameter can be reduced by tightening a plurality of connecting bolts 45 that connect the divided ends facing each other with the notch groove 44 interposed therebetween. A plurality of arc-shaped elongated holes 41a are formed in the shaft fixing portion 41, and each arc-shaped elongated hole 41a is screwed into a screw hole 11b (see FIGS. 2 and 10) formed in the lower end surface portion of the shaft body 11. A fixing bolt 46 that can be worn is inserted.

而して、準備工程にあっては、まず、基端シールフランジ5aをケース嵌合部42に嵌合させた上、連結ボルト45を締付けてケース嵌合部42を縮径させることにより、非分解ケース体部分5a,5b,5cの下端部をケース嵌合部42に相対回転不能に嵌合固定する。次に、各固定ボルト46を軸本体11のネジ孔11bに螺着して、回転軸体2を軸固定部41に相対回転不能に固定する。このようにすることによって、非分解ケース体部分5a,5b,5cと回転軸体2とは、連結固定治具40を介して相対回転不能に一体化連結されることになる。   Thus, in the preparation process, first, the base end seal flange 5a is fitted to the case fitting portion 42, and then the connecting bolt 45 is tightened to reduce the diameter of the case fitting portion 42. The lower end portions of the disassembled case body portions 5a, 5b, and 5c are fitted and fixed to the case fitting portion 42 so as not to be relatively rotatable. Next, each fixing bolt 46 is screwed into the screw hole 11 b of the shaft body 11, and the rotating shaft body 2 is fixed to the shaft fixing portion 41 so as not to be relatively rotatable. By doing so, the non-disassembled case body portions 5a, 5b, 5c and the rotating shaft body 2 are integrally connected via the connection fixing jig 40 so as not to be relatively rotatable.

(分解工程)
次に、分解工程を行い、弾性シール装置6の分解等を行うが、この分解工程にあっては、まず、連結固定治具40を所定の作業面(作業台の上面等)に載置して、多流路形ロータリジョイントを立直状態に保持させておく。このようにしておくことにより、当該分解工程及び爾後の再組立工程を容易に行うことができる。
(Disassembly process)
Next, a disassembling process is performed, and the elastic seal device 6 is disassembled. In this disassembling process, first, the connection fixing jig 40 is placed on a predetermined work surface (such as the upper surface of the work table). The multi-channel rotary joint is held upright. By doing in this way, the said decomposition | disassembly process and the reassembly process after a drought can be performed easily.

分解工程にあっては、まず、図10に示す如く、ケース体1の先端側部分6a,6b,6cを非分解ケース体部分5a,5b,5cから取り外す。すなわち、カバー板6c及び長尺ボルト9を外した上、先端シールフランジ6bを第2中間シールフランジ6aから外すと共に、ベアリング14a、ベアリング受け26及びシールリング23,24を回転軸体2の端部スリーブ12から抜き取る。さらに、ボルト8を外し、第2中間シールフランジ6a及び環状シール部材19aを取り外す。   In the disassembling process, first, as shown in FIG. 10, the tip side portions 6a, 6b, 6c of the case body 1 are removed from the non-disassembling case body portions 5a, 5b, 5c. That is, the cover plate 6c and the long bolt 9 are removed, the tip seal flange 6b is removed from the second intermediate seal flange 6a, and the bearing 14a, the bearing receiver 26, and the seal rings 23 and 24 are connected to the end of the rotary shaft body 2. Pull out from the sleeve 12. Further, the bolt 8 is removed, and the second intermediate seal flange 6a and the annular seal member 19a are removed.

ところで、分解工程においては、ケース体1から上ベアリング14aが除去されることから、回転軸体2が下ベアリング14bのみで非分解ケース体部分5a,5b,5cに支持されるにすぎないが、準備工程において、回転軸体2が連結固定治具40により非分解ケース体部分5a,5b,5cと一体化されていることから、つまり回転軸体2は準備工程前の状態に保持されていることから、先端シールフランジ6b等の取り外し作業によって回転軸体2と非分解ケース体部分5a,5b,5cとの位置関係は変化することがない。したがって、分解工程の作業中に、回転軸体2と第1中間シールフランジ5bとの間に組み込まれた各メカニカルシール16が、その機能を低下させるような形態(例えば、回転軸体2がぐらついて密封環16a,16bの平行度や同心度が不適正になる形態)に変動することがなく、メンテナンス前の形態にそのまま維持される。また、回転軸体2と非分解ケース体部分5a,5b,5cとの相対回転が連結固定治具40により阻止されているから、作業中に回転軸体2が回転するようなことがなく、分解工程を容易に行うことができる。なお、ケース体1の先端側部分6a,6b,6c及びこれと回転軸体2との間に装填されていた部材(ベアリング14a等)が除去されることにより最上位のメカニカルシール16等が非分解ケース体部分5a,5b,5cから露出するが、分解工程においては、これらの露出部分(例えば、環状シール部材19aが圧接する最上位の軸側密封環16aの外周面)を清掃することが好ましい。   By the way, in the disassembling process, the upper bearing 14a is removed from the case body 1, so that the rotary shaft body 2 is only supported by the non-disassembling case body portions 5a, 5b, 5c by the lower bearing 14b. In the preparation process, the rotating shaft body 2 is integrated with the non-disassembled case body portions 5a, 5b, and 5c by the connection fixing jig 40, that is, the rotating shaft body 2 is held in a state before the preparation process. Therefore, the positional relationship between the rotary shaft body 2 and the non-disassembled case body portions 5a, 5b, and 5c does not change due to the removal work of the tip seal flange 6b and the like. Accordingly, during the disassembling process, each mechanical seal 16 incorporated between the rotary shaft body 2 and the first intermediate seal flange 5b reduces the function thereof (for example, the rotary shaft body 2 wobbles). Thus, the parallelism and concentricity of the sealing rings 16a and 16b are not changed), and the form before maintenance is maintained as it is. Further, since the relative rotation between the rotating shaft body 2 and the non-disassembled case body portions 5a, 5b, 5c is prevented by the connecting and fixing jig 40, the rotating shaft body 2 does not rotate during the operation. The decomposition process can be easily performed. It should be noted that the top mechanical seal 16 and the like are not removed by removing the tip side portions 6a, 6b and 6c of the case body 1 and the members (bearing 14a and the like) loaded between the front end portions 6a, 6b and 6c and the rotary shaft body 2. Although exposed from the disassembling case body portions 5a, 5b, 5c, in the disassembling step, these exposed portions (for example, the outer peripheral surface of the uppermost shaft-side sealing ring 16a to which the annular seal member 19a is pressed) are cleaned. preferable.

(再組立工程)
分解工程が終了すると、再組立工程を開始して、図11〜図22に示す如く、弾性シール装置6のメンテナンス,再組立を含むロータリジョイントの再組立作業を行う。
(Reassembly process)
When the disassembly process is completed, the reassembly process is started, and the rotary joint is reassembled including maintenance and reassembly of the elastic seal device 6 as shown in FIGS.

まず、端部スリーブ12を交換する。すなわち、端部スリーブ12の外周面つまりシールリング23,24が接触するシール部12aの外周面は損傷し易く、これを放置しておくと、シールリング23,24を新たなものに交換しても、当該シールリング23,24によるシール機能が良好に発揮されないことから、再組立工程にあっては、シールリング23,24の交換に先立って、端部スリーブ12を新たなものに交換する。なお、端部スリーブ12の交換は必要に応じて行われるものであり、損傷等の問題がない場合には端部スリーブ12の交換は行われないこともある。   First, the end sleeve 12 is replaced. That is, the outer peripheral surface of the end sleeve 12, that is, the outer peripheral surface of the seal portion 12a with which the seal rings 23 and 24 come into contact, is easily damaged, and if left untreated, the seal rings 23 and 24 are replaced with new ones. However, since the sealing function by the seal rings 23 and 24 is not satisfactorily exhibited, the end sleeve 12 is replaced with a new one before the replacement of the seal rings 23 and 24 in the reassembly process. Note that the replacement of the end sleeve 12 is performed as necessary, and the end sleeve 12 may not be replaced when there is no problem such as damage.

ところで、軸側密封環群(M+1個の軸側密封環16a)は、隣接する軸側密封環16a,16a間に中間スリーブ13を介在させた状態で端部スリーブ12のシール部12aと軸本体11の基端段部11aとの間に挟圧されることにより、軸本体11に挿通固定されたものであり、スプリング16cによりケース側密封環16aにより軸線方向に附勢されたものである。したがって、端部スリーブ12の交換時において軸側密封環16aの位置が変動することになり、その結果、新たな端部スリーブ12を軸本体11に取り付けた場合に密封環16a,16bの相対位置が元の適正位置に復帰されない虞れがある。   By the way, the shaft side seal ring group (M + 1 shaft side seal rings 16a) includes the seal portion 12a of the end sleeve 12 and the shaft main body with the intermediate sleeve 13 interposed between the adjacent shaft side seal rings 16a, 16a. 11 is inserted into and fixed to the shaft body 11 by being sandwiched between the base end step portion 11a and is urged in the axial direction by the case-side sealing ring 16a by the spring 16c. Therefore, when the end sleeve 12 is replaced, the position of the shaft-side sealing ring 16a varies. As a result, when the new end sleeve 12 is attached to the shaft body 11, the relative positions of the sealing rings 16a and 16b are changed. May not be restored to the original proper position.

しかし、次のような密封環係止治具50を使用することにより、このような問題を生じることなく端部スリーブ12の交換を容易に行うことができる。   However, by using the following sealing ring locking jig 50, the end sleeve 12 can be easily replaced without causing such a problem.

すなわち、端部スリーブ12を交換するに当たっては、予め、図11に示す如く、端部スリーブ12を軸線方向に挿脱自在に囲繞する密封環係止治具50を最上位の第1中間シールフランジ5bに取り付けて、この密封環係止治具50により、端部スリーブ12により係止されている軸側密封環(最先端側(最上位)の軸側密封環)16aを当該端部スリーブ12による係止位置と同一位置に係止させておく。   That is, when exchanging the end sleeve 12, as shown in FIG. 11, the sealing ring locking jig 50 for detachably surrounding the end sleeve 12 in the axial direction is provided in advance as the uppermost first intermediate seal flange. The shaft-side sealing ring (the most distal (uppermost) shaft-side sealing ring) 16a that is secured to the end sleeve 12 by this sealing ring locking jig 50 is attached to the end sleeve 12. It is locked at the same position as the locking position.

密封環係止治具50は、図11に示す如く、最上位の第1中間シールフランジ5bの上端部に取り付けられる有底筒状の治具本体51と、この治具本体51の周壁51a内に軸線方向(上下方向)に移動可能に嵌挿されたリング状の係止体52と、治具本体51の端壁51bに貫通状に螺合された調整ボルト53とからなる。周壁51aには、基端ケース部分5に形成された長尺ボルト9用挿通孔に一致する貫通孔51cが形成されており、この貫通孔51aに挿通させた取付ボルト54を長尺ボルト9(図2参照)と同様に基端シールフランジ5aに螺着することにより、治具本体51は非分解ケース体部分5a,5b,5cの上端部に取り付けられている。このように、密封環係止治具50つまり治具本体51は、ケース体1の先端側部分6a,6bと基端側部分5a,5bとを連結する長尺ボルト9の挿通孔及びネジ孔を利用して、長尺ボルト9と同一の取付ボルト54により非分解ケース体部分5a,5b,5cに取り付けられる。また、端壁51bの中心部及び係止体52には、端部スリーブ12の外径(シール部12aの外径)より大きな貫通孔が形成されており、密封環係止治具50を非分解ケース体部分5a,5b,5cに取り付けた状態において端部スリーブ12を軸本体11の上端部に挿脱できるようになっている。また、調整ボルト53は係止体52の上端部に当接しうる位置に配置されていて、これを締付けることにより、係止体52を最上位の軸側密封環16aの上端面に当接させうるようになっている。   As shown in FIG. 11, the sealing ring locking jig 50 includes a bottomed cylindrical jig main body 51 attached to the upper end of the uppermost first intermediate seal flange 5b, and a peripheral wall 51a of the jig main body 51. The ring-shaped locking body 52 is inserted in the axial direction (vertical direction) so as to be movable, and the adjustment bolt 53 is screwed into the end wall 51b of the jig body 51 in a penetrating manner. The peripheral wall 51a is formed with a through hole 51c corresponding to the insertion hole for the long bolt 9 formed in the base end case portion 5, and the mounting bolt 54 inserted through the through hole 51a is attached to the long bolt 9 ( The jig main body 51 is attached to the upper ends of the non-disassembled case body portions 5a, 5b, and 5c by screwing the base end seal flange 5a in the same manner as in FIG. As described above, the sealing ring locking jig 50, that is, the jig main body 51 includes the insertion hole and the screw hole of the long bolt 9 that connects the distal end side portions 6a and 6b and the proximal end side portions 5a and 5b of the case body 1. Are attached to the non-disassembled case body portions 5a, 5b, 5c by the same mounting bolt 54 as the long bolt 9. A through hole larger than the outer diameter of the end sleeve 12 (the outer diameter of the seal portion 12a) is formed in the center portion of the end wall 51b and the locking body 52, and the sealing ring locking jig 50 is not attached. The end sleeve 12 can be inserted into and removed from the upper end portion of the shaft body 11 in a state where the end sleeve 12 is attached to the disassembled case body portions 5a, 5b and 5c. Further, the adjusting bolt 53 is disposed at a position where it can come into contact with the upper end portion of the locking body 52. By tightening the adjustment bolt 53, the locking body 52 is brought into contact with the upper end surface of the uppermost shaft-side sealing ring 16a. It has become possible.

而して、密封環係止治具50の治具本体51を取付ボルト54により非分解ケース体部分5a,5b,5cに取り付けた上、調整ボルト53を締付けて係止体52を最上位の軸側密封環16aに当接させることにより、図11に示す如く、当該軸側密封環16aを端部スリーブ12による係止位置と同一位置に係止保持させることができる。   Thus, the jig main body 51 of the sealing ring locking jig 50 is attached to the non-disassembled case body portions 5a, 5b, 5c by the mounting bolt 54, and the adjusting bolt 53 is tightened to fix the locking body 52 to the uppermost position. By abutting against the shaft-side sealing ring 16a, the shaft-side sealing ring 16a can be locked and held at the same position as the locking position by the end sleeve 12, as shown in FIG.

この状態において、図12に示す如く、ボルト15を外して端部スリーブ12を軸本体11から抜き出し、新たな端部スリーブ12を軸本体11に取り付ける。このような端部スリーブ12の交換作業(端部スリーブ12の軸本体11への挿脱作業)においては、密封環係止治具50により最上位の軸側密封環16aが端部スリーブ12による係止位置と同一位置に係止保持されるから、端部スリーブ12の交換時に密封環16a,16bの相対位置が変化する等の問題は全く生じない。   In this state, as shown in FIG. 12, the bolt 15 is removed, the end sleeve 12 is extracted from the shaft main body 11, and a new end sleeve 12 is attached to the shaft main body 11. In such a replacement operation of the end sleeve 12 (insertion / removal operation of the end sleeve 12 with respect to the shaft main body 11), the uppermost shaft-side seal ring 16 a is moved by the end sleeve 12 by the seal ring locking jig 50. Since it is locked and held at the same position as the locking position, there is no problem that the relative positions of the sealing rings 16a and 16b change when the end sleeve 12 is replaced.

そして、端部スリーブ12の交換が終了すると、つまり新たな端部スリーブ12の軸本体11への取り付けが終了すると、密封環係止治具50を基端ケース部分5から取り外した上、環状シール部材19aを交換すると共に新たな環状シール部材19aを装填した第2中間シールフランジ6aをボルト8(図1参照)により非分解ケース体部分5a,5b,5cに取り付ける。なお、環状シール部材19aの交換は必要に応じて行われるものであり、損傷,劣化が認められない場合には環状シール部材19aの交換を行わないこともある。   When the replacement of the end sleeve 12 is finished, that is, when the attachment of the new end sleeve 12 to the shaft body 11 is finished, the sealing ring locking jig 50 is removed from the base end case portion 5 and then the annular seal is removed. The second intermediate seal flange 6a loaded with a new annular seal member 19a is attached to the non-disassembled case body portions 5a, 5b, 5c by bolts 8 (see FIG. 1) while replacing the member 19a. The replacement of the annular seal member 19a is performed as necessary, and the annular seal member 19a may not be replaced when no damage or deterioration is observed.

このようにして端部スリーブ12及び環状シール部材19aの交換が終了すると、引き続き、弾性シール装置6の再組立を行うが、この再組立は本発明の方法に従って次のように行われる。   When the replacement of the end sleeve 12 and the annular seal member 19a is thus completed, the elastic seal device 6 is subsequently reassembled. This reassembly is performed as follows according to the method of the present invention.

すなわち、本発明に従って、先端シールフランジ6b内にその軸線方向にシールリング23,24を移動させつつ挿入することにより、当該シールリング23,24を、その外周リップ部29,29が先端シールフランジ6bの内周面に形成された環状のシール面6e,6fに押圧接触する状態に、先端シールフランジ6bに内嵌させるシールリング内嵌工程を、本発明に係る外周リップ部誘導治具60,61及び押し込み治具62を使用して次のように行う。   That is, according to the present invention, the seal rings 23 and 24 are inserted into the tip seal flange 6b while moving the seal rings 23 and 24 in the axial direction thereof, so that the outer peripheral lip portions 29 and 29 of the seal rings 23 and 24 have the tip seal flange 6b. The outer ring lip guide jigs 60 and 61 according to the present invention include a seal ring fitting process for fitting the tip seal flange 6b in a state of being pressed and contacted with the annular seal surfaces 6e and 6f formed on the inner circumferential surface. And the pushing jig 62 is used as follows.

まず、第1シールリング23を先端シールフランジ6bに装填させるが、この装填に当たっては、図13に示す如く、先端シールフランジ6bのベアリング保持面6dに第1外周リップ部誘導治具60を嵌合固定する。第1外周リップ部誘導治具60は、内周面にシール面6eに面一状に連なる円柱面である外周リップ部誘導面60aとその基端から漸次拡大する截頭円錐面である外周リップ部縮径変形作用面60bとを形成してなる筒状のものである。   First, the first seal ring 23 is loaded into the tip seal flange 6b. In this loading, as shown in FIG. 13, the first outer peripheral lip guide jig 60 is fitted to the bearing holding surface 6d of the tip seal flange 6b. Fix it. The first outer peripheral lip portion guiding jig 60 has an outer peripheral lip portion guiding surface 60a which is a cylindrical surface continuous with the seal surface 6e on the inner peripheral surface and an outer peripheral lip which is a frustoconical surface gradually expanding from the base end thereof. It is a cylindrical thing formed by forming the partial diameter-reducing deformation surface 60b.

そして、第1シールリング23を、図13に示す如く、外周リップ部縮径変形作用面60b内に挿入した上、本体部27に衝合させた押し込み治具62により外周リップ部誘導面60aへと押し込む。押し込み治具62は、シール面6e,6fと略同一の外径を有する筒状又は棒状(図示の例では筒状)のもので、シール面6e,6fに挿脱自在なものである。   Then, as shown in FIG. 13, the first seal ring 23 is inserted into the outer peripheral lip portion diameter-reducing deformation acting surface 60b, and then pushed into the outer peripheral lip portion guiding surface 60a by the pushing jig 62 abutted against the main body portion 27. Push in. The pushing jig 62 has a cylindrical shape or a rod shape (cylindrical shape in the illustrated example) having substantially the same outer diameter as the sealing surfaces 6e, 6f, and is detachable from the sealing surfaces 6e, 6f.

第1シールリング23を押し込み治具62により押し込んでいくと、まず、外周リップ部29が外周リップ部縮径変形作用面60bに当接し(図14(A))、この外周リップ部縮径変形作用面60b上をスライドしつつ縮径されていく。すなわち、外周リップ部29は外周リップ部縮径変形作用面60bにより漸次内径方向へと弾性変形(縮径変形)されていく。そして、押し込み治具62による押し込みが進行すると、外周リップ部29は外周リップ部縮径変形作用面60bから外周リップ部誘導面60aへとスライドして、シール面6eに装填可能な形態に弾性変形(縮径変形)される(図14(B))。そして、外周リップ部29がこの形態を維持しつつ外周リップ部誘導面60aからシール面6eへと移動され(図14(C))、外周リップ部29が仕切部6gに当接した時点で押し込み治具62によるシールリング23の押し込みを終了する(同図(D))。このように、第1外周リップ部誘導治具60により外周リップ部29を漸次縮径変形させつつ、シールリング23をシール面6eへと押し込むことによって、当該シールリング23を先端シールフランジ6bに適正な形態で装填させることができる。外周リップ部誘導面60aがシール面6eに面一状に連なっていることから、外周リップ部29の先端部が外周リップ部誘導面60aからシール面6eへと円滑に誘導されてシール面6eの周縁部6hに干渉することはない。   When the first seal ring 23 is pushed in by the push-in jig 62, first, the outer peripheral lip portion 29 comes into contact with the outer peripheral lip portion diameter reducing deformation surface 60b (FIG. 14A), and this outer peripheral lip portion diameter reducing deformation is performed. The diameter is reduced while sliding on the working surface 60b. That is, the outer peripheral lip portion 29 is gradually elastically deformed (diameter-reduced deformation) in the inner diameter direction by the outer peripheral lip portion diameter-reducing action surface 60b. When the pushing by the pushing jig 62 proceeds, the outer peripheral lip portion 29 slides from the outer peripheral lip portion diameter-reducing deformation acting surface 60b to the outer peripheral lip portion guiding surface 60a, and is elastically deformed into a form that can be loaded on the seal surface 6e. (Diameter deformation) (FIG. 14B). Then, the outer peripheral lip portion 29 is moved from the outer peripheral lip portion guiding surface 60a to the seal surface 6e while maintaining this form (FIG. 14C), and is pushed in when the outer peripheral lip portion 29 comes into contact with the partition portion 6g. The pushing of the seal ring 23 by the jig 62 is completed ((D) in the figure). As described above, the outer peripheral lip 29 is gradually reduced in diameter by the first outer peripheral lip guiding jig 60, and the seal ring 23 is pushed into the seal surface 6e so that the seal ring 23 is properly fitted to the tip seal flange 6b. Can be loaded in various forms. Since the outer peripheral lip portion guide surface 60a is flush with the seal surface 6e, the tip of the outer peripheral lip portion 29 is smoothly guided from the outer peripheral lip portion guide surface 60a to the seal surface 6e, and the seal surface 6e There is no interference with the peripheral edge 6h.

次いで、第1外周リップ部誘導治具60を取り外して先端シールフランジ6bを上下反転させた上、図15に示す如く、先端シールフランジ6bの上端部に形成された第2中間シールフランジ6aへの係合突起6jに第2外周リップ部誘導治具61を嵌合固定する。第2外周リップ部誘導治具61は、図15に示す如く、第1外周リップ部誘導治具60と同様に、内周面に先端シールフランジ6bのシール面6fに面一状に連なる円柱状の外周リップ部誘導面61aとその基端から漸次拡大する截頭円錐状の外周リップ部縮径変形作用面61bとを形成した円筒状のものである。   Next, the first outer peripheral lip guide jig 60 is removed and the tip seal flange 6b is turned upside down, and then, as shown in FIG. 15, the second intermediate seal flange 6a formed at the upper end of the tip seal flange 6b. The second outer peripheral lip guide jig 61 is fitted and fixed to the engaging protrusion 6j. As shown in FIG. 15, the second outer peripheral lip guide jig 61 has a cylindrical shape that is continuous with the seal surface 6f of the tip seal flange 6b on the inner peripheral surface in the same manner as the first outer peripheral lip guide jig 60. The outer peripheral lip portion guiding surface 61a and the frustoconical outer peripheral lip portion diameter-reducing deformation acting surface 61b that gradually expands from its base end are formed in a cylindrical shape.

そして、第2シールリング24を、図15に示す如く、外周リップ部縮径変形作用面61b内に挿入した上、本体部27に衝合させた押し込み治具62により外周リップ部誘導面61aへと押し込む。第2シールリング24を押し込み治具62により押し込んでいくと、上記した第1シールリング23を装填する場合と同様に、外周リップ部29が外周リップ部縮径変形作用面61bに当接し(図16(A))、爾後、外周リップ部縮径変形作用面61b上をスライドしつつ縮径されていき、外周リップ部誘導面60aへとスライドすることにより、シール面6eに装填可能な形態に弾性変形(縮径変形)され(同図(B))、その形態を維持したまま外周リップ部誘導面60aからシール面6eへと移動され(同図(C))、外周リップ部29が仕切部6gに当接した時点で押し込み治具62によるシールリング23の押し込みを終了する(同図(D))。   Then, as shown in FIG. 15, the second seal ring 24 is inserted into the outer peripheral lip portion diameter-reducing deformation acting surface 61b, and then pushed into the outer peripheral lip portion guiding surface 61a by the pushing jig 62 abutted against the main body portion 27. Push in. When the second seal ring 24 is pushed in by the pushing jig 62, the outer peripheral lip portion 29 comes into contact with the outer peripheral lip portion diameter-reducing deformation acting surface 61b as in the case of loading the first seal ring 23 (see FIG. 16 (A)), after sliding, the diameter is reduced while sliding on the outer peripheral lip portion diameter reducing action surface 61b, and by sliding to the outer peripheral lip portion guide surface 60a, the seal surface 6e can be loaded. It is elastically deformed (diameter-reduced deformation) (FIG. (B)) and is moved from the outer peripheral lip portion guiding surface 60a to the seal surface 6e while maintaining its form (FIG. (C)), and the outer peripheral lip portion 29 is partitioned. At the point of contact with the portion 6g, the pushing of the seal ring 23 by the pushing jig 62 is finished ((D) in the figure).

以上のように、第1及び第2外周リップ部誘導治具60,61並びに押し込み治具62を使用することにより、シールリング内嵌工程を容易且つ適正に行うことができる。すなわち、新たなシールリング23,24を先端シールフランジ6bの所定位置(シール面6e,6f)に適正な形態で装填させることができ、その装填時において、外周リップ部29の先端部が外周リップ部誘導面60a,61aからシール面6e,6fへと円滑に誘導されてシール面6e,6fの周縁部6h,6iに干渉することもない。   As described above, by using the first and second outer peripheral lip guide jigs 60 and 61 and the pushing jig 62, the seal ring fitting process can be easily and appropriately performed. That is, the new seal rings 23 and 24 can be loaded into a predetermined position (seal surfaces 6e and 6f) of the tip seal flange 6b in an appropriate form. It is smoothly guided from the part guide surfaces 60a, 61a to the seal surfaces 6e, 6f and does not interfere with the peripheral portions 6h, 6i of the seal surfaces 6e, 6f.

次に、本発明に従って、回転軸体2にその軸線方向にシールリング23,24を内嵌させた先端シールフランジ6bを移動させつつ嵌挿することにより、当該シールリング23,24を、その内周リップ部28,28が回転軸体2の外周面に押圧接触する状態に、回転軸体2に外嵌させるシールリング外嵌工程を、本発明に係る内周リップ部誘導治具70を使用して次のように行う。   Next, according to the present invention, the seal ring 23, 24 is inserted into the rotary shaft body 2 by moving and inserting the tip seal flange 6b having the seal rings 23, 24 fitted in the axial direction thereof. The inner ring lip guide jig 70 according to the present invention is used for a seal ring outer fitting process in which the outer lip portions 28 and 28 are pressed and contacted with the outer peripheral surface of the rotary shaft body 2. Then do as follows.

まず、端部スリーブ12の先端部(上端部)に、図17に示す如く、内周リップ部誘導治具70を取り付ける。内周リップ部誘導治具70は、図17に示す如く、端部スリーブ12の外径(シール部12aの外径)と同一外径をなす円柱状の内周リップ部誘導部71とその基端から漸次縮径する截頭円錐状(又は円錐状)の内周リップ部拡径変形作用部72とその基端から同心状に突出する円柱状の芯出し部73とを有する回転体形状をなすものであり、中心貫通孔74に挿通させた取付ボルト75を端部スリーブ12の取付部12bの中心に形成したネジ孔12cに螺着することにより、端部スリーブ12の上端部にこれと軸線を一致させた状態(内周リップ部誘導部71の外周面71aが端部スリーブ12の外周面つまりシール部12aの外周面に面一状に連なる同心状態)に取り付けられる。なお、芯出し部73の外径及び内周リップ部拡径変形作用部72の基端部(上端部)の外径(内周リップ部拡径変形作用部72の最小径)は、自然状態にある弾性材シールリング23,24の内周リップ部28,28の内径より小さく設定されている。また、芯出し部73の外径は当該内周リップ部拡径変形作用部72の最小径と同一又はこれより小さく設定されている。   First, as shown in FIG. 17, an inner peripheral lip guide jig 70 is attached to the tip (upper end) of the end sleeve 12. As shown in FIG. 17, the inner peripheral lip portion guiding jig 70 includes a cylindrical inner peripheral lip portion guiding portion 71 having the same outer diameter as the outer diameter of the end sleeve 12 (the outer diameter of the seal portion 12a) and its base. A rotating body shape having a frustoconical (or conical) inner peripheral lip diameter-expanding deformation working portion 72 that gradually decreases in diameter from the end and a columnar centering portion 73 that projects concentrically from the base end. The mounting bolt 75 inserted through the central through hole 74 is screwed into the screw hole 12c formed at the center of the mounting portion 12b of the end sleeve 12, so that the upper end portion of the end sleeve 12 is connected to this. It is attached in a state where the axes are aligned (a concentric state in which the outer peripheral surface 71a of the inner peripheral lip portion guiding portion 71 is continuous with the outer peripheral surface of the end sleeve 12, that is, the outer peripheral surface of the seal portion 12a). Note that the outer diameter of the centering portion 73 and the outer diameter of the proximal end portion (upper end portion) of the inner peripheral lip portion diameter-expanding deformation working portion 72 (the minimum diameter of the inner peripheral lip portion diameter-expanding deformation acting portion 72) are in a natural state. Is set smaller than the inner diameter of the inner peripheral lip portions 28, 28 of the elastic material seal rings 23, 24. The outer diameter of the centering portion 73 is set to be the same as or smaller than the minimum diameter of the inner peripheral lip portion diameter-expanding deformation working portion 72.

次に、先端シールフランジ6bを、その内周部に保持させた弾性材シールリング23,24が内周リップ部誘導治具70の上端部に嵌挿される状態に位置させた上、下降させていく(図17)。   Next, the tip seal flange 6b is positioned so that the elastic material seal rings 23, 24 held on the inner peripheral portion thereof are inserted into the upper end portion of the inner peripheral lip portion guiding jig 70, and then lowered. Go (Figure 17).

先端シールフランジ6bを下降させていくと、まず、下側の第2シールリング24の内周リップ部28が内周リップ部拡径変形作用部72の外周面(以下「内周リップ部拡径変形作用面」という)72aに当接し(図18(A))、内周リップ部拡径変形作用面72a上をスライドしつつ拡径されていく。すなわち、内周リップ部28は内周リップ部拡径変形作用面72aにより漸次外径方向へと弾性変形(拡径変形)されていく。   When the tip seal flange 6b is lowered, first, the inner peripheral lip portion 28 of the lower second seal ring 24 is moved to the outer peripheral surface of the inner peripheral lip portion expanding deformation working portion 72 (hereinafter referred to as “inner peripheral lip portion enlarged diameter”). (Referred to as “deformation acting surface”) 72a (FIG. 18A), and the diameter is increased while sliding on the inner circumferential lip diameter-enlarging deformation acting surface 72a. That is, the inner peripheral lip portion 28 is gradually elastically deformed (expanded deformation) in the outer diameter direction by the inner peripheral lip portion diameter-expanding deformation acting surface 72a.

先端シールフランジ6bの下降が進行していくに従って、第2シールリング24の内周リップ部28の内周リップ部拡径変形作用面72aによる弾性変形が更に大きくなり、その弾性変形は当該内周リップ部28が内周リップ部拡径変形作用面72aの下端部に達した時点で最大となり、爾後、その変形形態を維持しつつ内周リップ部誘導部71の外周面(以下「内周リップ部誘導面」という)71aへと移行されることになる(図18(B))。   As the tip seal flange 6b descends, the elastic deformation of the inner peripheral lip portion 28 of the second seal ring 24 by the inner peripheral lip portion diameter-expanding deformation working surface 72a further increases. It becomes maximum when the lip portion 28 reaches the lower end of the inner peripheral lip portion diameter-expanding deformation acting surface 72a, and after that, the outer peripheral surface of the inner peripheral lip portion guiding portion 71 (hereinafter referred to as "inner peripheral lip" is maintained while maintaining its deformed form. (Referred to as “part guide surface”) 71a (FIG. 18B).

第2シールリング24の内周リップ部28が内周リップ部誘導面71a上を進行すると、これに伴って、上側の第1シールリング23の内周リップ部28も内周リップ部拡径変形作用面72aにより漸次拡径変形されていき、内周リップ部拡径変形作用面72aの下端部から最大縮径形態を維持しつつ内周リップ部誘導面71aへと移行する(図18(A)〜(C)参照)。   When the inner peripheral lip portion 28 of the second seal ring 24 advances on the inner peripheral lip portion guiding surface 71a, the inner peripheral lip portion 28 of the upper first seal ring 23 is also deformed to expand the inner peripheral lip portion. The diameter is gradually increased and deformed by the action surface 72a, and the inner peripheral lip portion diameter-expanding deformation surface 72a is shifted from the lower end portion to the inner peripheral lip portion guiding surface 71a while maintaining the maximum diameter-reduced form (FIG. 18A). ) To (C)).

さらに先端シールフランジ6bの下降に伴って、両シールリング23,24の内周リップ部28,29は、内周リップ部誘導面71aからこれに面一状に連なるシール部12aの外周面へと順次移行されていく(図18(D))。したがって、両シールリング23,24は、その内周リップ部28が回転軸体2の端部周縁部に干渉することなく、円滑且つ良好に端部スリーブ12へと誘導されることになる。   Further, as the tip seal flange 6b is lowered, the inner peripheral lip portions 28, 29 of the seal rings 23, 24 are changed from the inner peripheral lip portion guide surface 71a to the outer peripheral surface of the seal portion 12a that is flush with the inner peripheral lip portion. The transition is made sequentially (FIG. 18D). Therefore, both the seal rings 23 and 24 are smoothly and satisfactorily guided to the end sleeve 12 without the inner peripheral lip portion 28 interfering with the peripheral edge of the end portion of the rotary shaft body 2.

そして、先端シールフランジ6bを第2中間シールフランジ6aに衝合する位置まで下降させると、図19に示す如く、両シールリング23,24が端部スリーブ12の所定位置に嵌挿され、各シールリング23,24が通路接続空間4aを適正にシールしうる状態に装填される。   When the tip seal flange 6b is lowered to a position where it abuts against the second intermediate seal flange 6a, both seal rings 23, 24 are inserted into predetermined positions of the end sleeve 12 as shown in FIG. The rings 23 and 24 are loaded so that the passage connection space 4a can be properly sealed.

このようにしてシールリング外嵌工程が終了すると、図20に示す如く、長尺ボルト9により先端シールフランジ6b及びシールフランジ6aを基端ケース部分5に連結すると共に両フランジ6a,6b間をボルト8(図1参照)により連結し、更に、先端シールフランジ6bと端部スリーブ12との対向周面間にベアリング受け26及びベアリング14aを装填する。しかる後、ビス10bによりカバー板6cを先端シールフランジ6bに取付けて(図20鎖線図示参照)、弾性シール装置6の再組立作業を完了する。   When the seal ring external fitting process is completed in this way, as shown in FIG. 20, the front end seal flange 6b and the seal flange 6a are connected to the base end case part 5 by the long bolt 9, and the bolts between both the flanges 6a and 6b are connected. 8 (see FIG. 1), and a bearing receiver 26 and a bearing 14a are loaded between the opposing peripheral surfaces of the tip seal flange 6b and the end sleeve 12. Thereafter, the cover plate 6c is attached to the tip seal flange 6b with the screw 10b (see the chain line in FIG. 20), and the reassembly operation of the elastic seal device 6 is completed.

ところで、シールリング23,24の内周リップ部28,28を内周リップ部誘導治具70により端部スリーブ12へと円滑且つ適正に嵌挿させるためには、内周リップ部誘導治具70を端部スリーブ12にこれと軸線を一致させた状態(内周リップ部誘導面71aが端部スリーブ12の外周面に面一上に連なる同心状態)に取付けておくことが必要であり、両者12,70を端部同士を正確に同心状態に衝合させた状態で取付ボルト75を締付けることが必要であるが、かかる作業は、未熟練者にとっては勿論、相当以上の熟練者であっても極めて困難である。   Incidentally, in order to smoothly and properly fit the inner peripheral lip portions 28, 28 of the seal rings 23, 24 into the end sleeve 12 by the inner peripheral lip portion guide jig 70, the inner peripheral lip portion guide jig 70 is used. Must be attached to the end sleeve 12 in a state where the axis coincides with the end sleeve 12 (a concentric state in which the inner peripheral lip guide surface 71a is continuous with the outer peripheral surface of the end sleeve 12). It is necessary to tighten the mounting bolt 75 in a state where the end portions of the 12, 70 are abutted with each other accurately in a concentric state. Is extremely difficult.

しかし、このような作業は、図21及び図22に示す如く、本発明に係る芯出し治具80を使用することにより、容易に行うことができる。   However, such an operation can be easily performed by using a centering jig 80 according to the present invention as shown in FIGS.

すなわち、芯出し治具80は、図21に示す如く、第1円筒部81とその基端部(下端部)に連なる第2円筒部82とその基端部(下端部)に連なる第3円筒部83とからなる円筒体であり、先端側内周部つまり第1及び第2円筒部81,82の内周部には内周リップ部誘導治具70の外周面に嵌合する第1及び第2治具側Oリング84,85が係合保持されており、基端側内周部つまり第3円筒部83の内周部には回転軸体2の外周面に嵌合する軸側Oリング86が係合保持されている。第1円筒部81は、その内周環状溝に係合保持させた第1治具側Oリング84が内周リップ部誘導治具70の芯出し部73の外周面に弾性的に圧接する状態で、芯出し部73に嵌挿保持させうるものである。第2円筒部82は、その内周環状溝に係合保持させた第2治具側Oリング85が内周リップ部誘導治具70の内周リップ部誘導部71の外周面71aに弾性的に圧接する状態で、内周リップ部誘導治具70の内周リップ部拡径変形作用部72及び内周リップ部誘導部71に嵌挿保持させうるものである。第3円筒部83は、第2円筒部81と同一内外径をなすもので、その内周環状溝に係合保持させた軸側Oリング86が端部スリーブ12の外周面(シール部12aの外周面)に弾性的に圧接する状態で、端部スリーブ12に嵌挿させうるものである。なお、各Oリング84,85,86はゴム等の非圧縮性弾性材からなるものである。   That is, as shown in FIG. 21, the centering jig 80 includes a first cylindrical portion 81, a second cylindrical portion 82 connected to the base end portion (lower end portion), and a third cylinder connected to the base end portion (lower end portion). The first and second cylindrical portions 81 and 82 are fitted to the outer peripheral surface of the inner peripheral lip portion guiding jig 70 on the inner peripheral portion of the distal end side, that is, the first and second cylindrical portions 81 and 82. The second jig-side O-rings 84 and 85 are engaged and held, and the base-side inner peripheral portion, that is, the inner peripheral portion of the third cylindrical portion 83, is fitted on the outer peripheral surface of the rotary shaft 2. The ring 86 is held engaged. The first cylindrical portion 81 is in a state in which the first jig side O-ring 84 engaged and held in the inner peripheral annular groove is elastically pressed against the outer peripheral surface of the centering portion 73 of the inner peripheral lip portion guiding jig 70. Thus, the centering portion 73 can be fitted and held. In the second cylindrical portion 82, the second jig side O-ring 85 engaged and held in the inner peripheral annular groove is elastically applied to the outer peripheral surface 71 a of the inner peripheral lip portion guiding portion 71 of the inner peripheral lip portion guiding jig 70. The inner peripheral lip portion inducing jig 70 can be fitted and held in the inner peripheral lip portion expanding deformation working portion 72 and the inner peripheral lip portion guiding portion 71 in a state of being pressed against the inner peripheral lip portion. The third cylindrical portion 83 has the same inner and outer diameter as the second cylindrical portion 81, and the shaft-side O-ring 86 engaged and held in the inner peripheral annular groove is the outer peripheral surface of the end sleeve 12 (the seal portion 12a). It can be fitted into the end sleeve 12 while being elastically pressed against the outer peripheral surface. Each O-ring 84, 85, 86 is made of an incompressible elastic material such as rubber.

而して、内周リップ部誘導治具72の端部スリーブ12への取り付けは、次のように行う。すなわち、まず、図21に示す如く、内周リップ部誘導治具72に、その芯出し部73及び内周リップ部誘導部71に夫々第1及び第2治具側Oリング84,85が嵌合する状態(第1及び第2治具側Oリング84,85が夫々芯出し部73及び内周リップ部誘導部71の外周面に弾性的に圧接する状態)となるように、芯出し治具80を嵌挿させた上、内周リップ部誘導部71から突出する第3円筒部83を、軸側Oリング86が端部スリーブ12に嵌合する状態(軸側Oリング86がシール部12aの外周面に弾性的に圧接する状態)となるように、端部スリーブ12に嵌挿させる。そして、この状態のまま、芯出し治具80を、これに保持された内周リップ部誘導部71が端部スリーブ12に衝合する位置まで、端部スリーブ12の下端方向へと押し込む。この状態では、芯出し治具80の内周部に保持された非圧縮性弾性材製の治具側Oリング84,85と軸側Oリング86とが内周リップ部誘導治具70の外周面と端部スリーブ12の外周面とに弾性的に圧接されていることから、両者12,70は芯出し治具80を介して同心状態に保持されることになる。   Thus, the inner peripheral lip guide jig 72 is attached to the end sleeve 12 as follows. That is, first, as shown in FIG. 21, first and second jig side O-rings 84 and 85 are fitted to the inner peripheral lip part guiding jig 72 and the centering part 73 and the inner peripheral lip part guiding part 71, respectively. Centering treatment is performed so that the first and second jig-side O-rings 84 and 85 are elastically pressed against the outer peripheral surfaces of the centering portion 73 and the inner peripheral lip portion guiding portion 71, respectively. After the fitting 80 is inserted, the third cylindrical portion 83 protruding from the inner peripheral lip portion guiding portion 71 is in a state where the shaft-side O-ring 86 is fitted to the end sleeve 12 (the shaft-side O-ring 86 is the seal portion). 12a, the end sleeve 12 is inserted into the end sleeve 12 so as to be in a state of being elastically pressed against the outer peripheral surface of 12a. Then, in this state, the centering jig 80 is pushed toward the lower end of the end sleeve 12 until the inner peripheral lip guide 71 held by the centering jig 80 abuts the end sleeve 12. In this state, the jig-side O-rings 84 and 85 and the shaft-side O-ring 86 made of an incompressible elastic material held on the inner peripheral portion of the centering jig 80 are the outer periphery of the inner peripheral lip portion guiding jig 70. Since the surface and the outer peripheral surface of the end sleeve 12 are elastically pressed, the both 12 and 70 are held concentrically via the centering jig 80.

したがって、この状態において、図22に示す如く、端部スリーブ12のネジ孔12cに螺着させた取付ボルト75を締付けることにより、内周リップ部誘導治具72を端部スリーブ12に同心状態で取付けることができ、内周リップ部誘導治具72の端部スリーブ12への取り付けを適正且つ容易に行うことができる。なお、内周リップ部誘導治具72が端部スリーブ12に取り付けられた後においては、芯出し治具80を端部スリーブ12及び内周リップ部誘導治具70から上方に抜き出す。   Therefore, in this state, as shown in FIG. 22, the inner peripheral lip guide jig 72 is concentric with the end sleeve 12 by tightening the mounting bolt 75 screwed into the screw hole 12c of the end sleeve 12. It is possible to attach the inner peripheral lip guide jig 72 to the end sleeve 12 appropriately and easily. In addition, after the inner peripheral lip portion guiding jig 72 is attached to the end sleeve 12, the centering jig 80 is extracted upward from the end sleeve 12 and the inner peripheral lip portion guiding jig 70.

(最終工程)
最後に、連結固定治具40を基端ケース部分5及び軸本体11から取り外して、メンテナンス作業を完了する。
(Final process)
Finally, the connection fixing jig 40 is removed from the base end case portion 5 and the shaft body 11 to complete the maintenance work.

なお、本発明に係る弾性シール装置の組み立て方法は、上記した実施の形態に限定されるものでなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲において適宜に変更,改良することができる。例えば、本発明の方法は、メカニカルシール装置5と弾性シール装置6とを併用した多流路形ロータリジョイントに限らず、流路のシール手段として弾性シール装置6のみを使用する多流路形ロータリジョイント又は単一流路形ロータリジョイントにも好適に適用することができる。この場合、流路のシール手段として弾性シール装置6のみを使用する多流路形ロータリジョイントにあっては、シールフランジ6aと回転軸体2との間に一対のシールリング23,24を装填してなる前記弾性シール装置6がN個(第2流路4の数に一致する数)設けられることになるが、本発明の方法は、各弾性シール装置6の組立又は再組立に適用される。また、本発明の方法は、上記したロータリジョイントにおける弾性シール装置6の組立又は再組立に適用される他、回転機器のハウジングから突出する回転軸体と当該ハウジングに取り付けられるシールフランジとの対向周面間に弾性材製のシールリングを装填してなる、軸封装置として使用される弾性シール装置を組立又は再組立する場合にも好適に適用することができる。たるである場合において、これを組み立てるときにも、好適に適用することができる。また、本発明に係る組み立て用治具(外周リップ部誘導治具60,61、内周リップ部誘導治具70又は芯出し治具80)も、上記した実施の形態に限定されず、本発明の基本原理を逸脱しない範囲において適宜に変更,改良することができる。   Note that the method of assembling the elastic seal device according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be appropriately changed and improved without departing from the basic principle of the present invention. For example, the method of the present invention is not limited to a multi-channel rotary joint in which the mechanical seal device 5 and the elastic seal device 6 are used in combination, and a multi-channel rotary device that uses only the elastic seal device 6 as a channel sealing means. The present invention can also be suitably applied to a joint or a single flow path type rotary joint. In this case, in a multi-channel type rotary joint that uses only the elastic sealing device 6 as the channel sealing means, a pair of seal rings 23 and 24 are loaded between the seal flange 6a and the rotary shaft body 2. The number of the elastic sealing devices 6 is N (the number corresponding to the number of the second flow paths 4), but the method of the present invention is applied to the assembly or reassembly of each elastic sealing device 6. . Further, the method of the present invention is applied to the assembly or reassembly of the elastic seal device 6 in the above-described rotary joint, as well as the opposing circumference of the rotary shaft projecting from the housing of the rotating device and the seal flange attached to the housing. The present invention can also be suitably applied to the case of assembling or reassembling an elastic seal device used as a shaft seal device in which a seal ring made of an elastic material is loaded between the surfaces. In the case of a slack, it can also be suitably applied when assembling. Further, the assembly jig (the outer peripheral lip guide jigs 60 and 61, the inner peripheral lip guide jig 70, or the centering jig 80) according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and the present invention. Changes and improvements can be made as appropriate without departing from the basic principle of the above.

2 回転軸体
4 第2流路
4a 通路接続空間
4b 軸側通路
4c ケース側通路
6 弾性シール装置
6b シールフランジ(先端シールフランジ)
6e シール面
6f シール面
11 軸本体
12 端部スリーブ
12a シール部
23 第1シールリング
24 第2シールリング
25 第2流体
27 シールリングの本体部
28 シールリングの内周リップ部
29 シールリングの外周リップ部
30 環状溝
31 補強バネ
60 第1外周リップ部誘導治具
60a 外周リップ部誘導面
60b 外周リップ部縮径変形作用面
61 第2外周リップ部誘導治具
61a 外周リップ部誘導面
61b 外周リップ部縮径変形作用面
62 押し込み治具
70 内周リップ部誘導治具
71 内周リップ部誘導部
71a 内周リップ部誘導面
72 内周リップ部拡径変形作用部
72a 内周リップ部拡径変形作用面
80 芯出し治具
84 第1治具側Oリング
85 第2治具側Oリング
86 軸側Oリング
2 Rotating shaft body 4 Second flow path 4a Passage connection space 4b Shaft side path 4c Case side path 6 Elastic seal device 6b Seal flange (tip seal flange)
6e Seal surface 6f Seal surface 11 Shaft body 12 End sleeve 12a Seal portion 23 First seal ring 24 Second seal ring 25 Second fluid 27 Body portion of seal ring 28 Inner peripheral lip portion of seal ring 29 Outer peripheral lip of seal ring Part 30 Annular groove 31 Reinforcing spring 60 First outer peripheral lip part guide jig 60a Outer peripheral lip part guide surface 60b Outer peripheral lip part diameter reducing deformation surface 61 Second outer peripheral lip part guide jig 61a Outer peripheral lip part guide surface 61b Outer peripheral lip part Diameter reducing deformation surface 62 Pushing jig 70 Inner circumferential lip portion guiding jig 71 Inner circumferential lip portion guiding portion 71a Inner circumferential lip portion guiding surface 72 Inner circumferential lip diameter expanding deformation working portion 72a Inner circumferential lip portion diameter expanding deformation action Surface 80 Centering jig 84 First jig side O-ring 85 Second jig side O-ring 86 Shaft side O-ring

Claims (5)

回転軸体とこれに同心状に挿通させた筒状のシールフランジとの対向周面間に、環状の本体部と本体部から軸線方向に突出して当該対向周面に弾性的に押圧接触する筒状の内外周リップ部とを具備してなる弾性材製のシールリングを装填した弾性シール装置を組み立てる方法であって、シールフランジ内にその軸線方向にシールリングを移動させつつ挿入することにより、当該シールリングを、その外周リップ部がシールフランジの内周面に形成された環状のシール面に押圧接触する状態に、シールフランジに内嵌させるシールリング内嵌工程と、回転軸体にその軸線方向にシールリングを内嵌させたシールフランジを移動させつつ嵌挿することにより、当該シールリングを、その内周リップ部が回転軸体の外周面に押圧接触する状態に、回転軸体に外嵌させるシールリング外嵌工程とを具備する弾性シール装置の組み立て方法において、
シールリング内嵌工程においては、シールフランジに、内周面に前記シール面に面一状に連なる円柱状の外周リップ部誘導面とその基端から漸次拡大する外周リップ部縮径変形作用面とを形成してなる円筒状の外周リップ部誘導治具を取り付けて、シールリングを、これが外周リップ部縮径変形作用面内に位置する状態で、当該シールリングの本体部に衝合させた筒状又は棒状の押し込み治具により前記シール面へと押し込むことにより、外周リップ部を外周リップ部径変形作用面により縮径変形させつつ外周リップ部誘導面から前記シール面へと誘導し、しかる後、シールフランジから外周リップ部誘導治具を取り外すようにし、
シールリング外嵌工程においては、回転軸体の先端に、これと同一外径をなす内周リップ部誘導部とその基端から漸次縮径する截頭円錐状又は円錐状の内周リップ部拡径変形作用部とを有する回転体形状の外周リップ部誘導治具を軸線が一致する同心状態で取り付け、シールフランジを、これに内嵌保持されたシールリングに内周リップ部拡径変形作用部を挿通させた状態で、軸線方向に移動させることにより、内周リップ部を内周リップ部拡径変形作用部により拡径変形させつつ内周リップ部誘導部から回転軸体の所定位置へと誘導し、しかる後、回転軸体から外周リップ部誘導治具を取り外すようにすることを特徴とする弾性シール装置の組み立て方法。
An annular main body and a cylinder protruding in an axial direction from the main body portion in an axial direction between the rotating shaft body and a cylindrical seal flange concentrically inserted therethrough and elastically pressing and contacting the opposed peripheral surface A method of assembling an elastic seal device loaded with a seal ring made of an elastic material having an inner and outer peripheral lip portion, and inserting the seal ring into the seal flange while moving the seal ring in the axial direction thereof, A seal ring fitting process in which the seal ring is fitted into the seal flange in a state in which the outer peripheral lip portion is in press contact with the annular seal surface formed on the inner circumferential surface of the seal flange; By inserting and inserting the seal flange with the seal ring fitted in the direction, the seal ring is brought into a state where the inner peripheral lip portion is in press contact with the outer peripheral surface of the rotating shaft body. In assembling method of the elastic sealing apparatus comprising the steps fitting out the seal ring externally fitted to the shaft body,
In the seal ring internal fitting step, a cylindrical outer peripheral lip portion guide surface that is continuous with the seal surface on the inner peripheral surface and an outer peripheral lip portion diameter-reducing deformation working surface that gradually expands from the base end of the seal flange, the by attachment cylindrical outer peripheral lip portion derived jig comprising forming, a sealing ring, which is in a state positioned on the outer peripheral lip portion shrink-deformed working plane, then abuts against the main body portion of the seal ring cylinder The outer peripheral lip portion is reduced in diameter by the outer peripheral lip portion diameter-reducing action surface and is guided from the outer peripheral lip portion guide surface to the seal surface by being pushed into the seal surface by a cylindrical or rod-shaped pushing jig. After that, remove the outer peripheral lip guide jig from the seal flange,
In the seal ring external fitting process, an inner peripheral lip portion guiding portion having the same outer diameter as that of the rotating shaft body and a frustoconical or conical inner peripheral lip portion expanding gradually from the base end thereof. A rotating body-shaped outer peripheral lip guide jig having a diameter deforming action portion is attached in a concentric state where the axes coincide with each other, and a seal flange is attached to the seal ring fitted and held therein, and the inner peripheral lip diameter expanding deforming action portion The inner peripheral lip portion is expanded and deformed by the inner peripheral lip portion expanding deformation acting portion by moving in the axial direction in a state in which the inner peripheral lip portion is inserted from the inner peripheral lip portion guiding portion to a predetermined position of the rotary shaft body. A method for assembling an elastic seal device, wherein the outer lip guide jig is removed from the rotating shaft after guiding.
シールリング外嵌工程においては、筒状の芯出し治具を、その先端側内周部に係合保持させた非圧縮性弾性材製の治具側Oリングを内周リップ部誘導治具に嵌合させると共に当該芯出し治具の基端側内周部に係合保持させた非圧縮性弾性材製の軸側Oリングを回転軸体に嵌合させた状態で、内周リップ部誘導治具の内周リップ部誘導部が回転軸体の先端に衝合する位置まで軸線方向に移動させた上、内周リップ部誘導治具を回転軸体に取り付け、しかる後、芯出し治具を内周リップ部誘導治具及び回転軸体から離脱させることにより、内周リップ部誘導治具を回転軸体に軸線が一致する状態で取り付けるようにすることを特徴とする、請求項1に記載する弾性シール装置の組み立て方法。  In the seal ring external fitting step, the jig-side O-ring made of an incompressible elastic material in which the cylindrical centering jig is engaged and held on the inner peripheral portion on the tip side is used as the inner peripheral lip guide jig. In the state where the shaft side O-ring made of an incompressible elastic material fitted and held on the base end side inner peripheral portion of the centering jig is fitted to the rotary shaft body, the inner peripheral lip portion is guided. After the inner peripheral lip guide part of the jig is moved in the axial direction to a position where it abuts the tip of the rotary shaft body, the inner peripheral lip part guide jig is attached to the rotary shaft body, and then the centering jig 2. The inner peripheral lip part guide jig is attached to the rotary shaft body in a state where the axes coincide with each other by detaching from the inner peripheral lip part guide jig and the rotary shaft body. A method for assembling the elastic sealing device to be described. 請求項1に記載する外周リップ部誘導治具であって、内周面に前記シール面と同一径の円柱状の外周リップ部誘導面とその基端から漸次拡大する外周リップ部縮径変形作用面とを形成してなる円筒状のもので、シールフランジに外周リップ部誘導面が前記シール面に面一状に連なる状態で取り付けうるように構成されていることを特徴とする組み立て用治具。   2. The outer peripheral lip portion guide jig according to claim 1, wherein the outer peripheral lip portion is reduced in diameter by gradually expanding from a cylindrical outer peripheral lip portion guide surface having the same diameter as the seal surface on the inner peripheral surface and a base end thereof. An assembly jig characterized in that the outer peripheral lip portion guiding surface can be attached to the seal flange in a state of being flush with the seal surface. . 請求項1に記載する内周リップ部誘導治具であって、回転軸体の先端と同一外径をなす内周リップ部誘導部とその基端から漸次縮径する截頭円錐状又は円錐状の内周リップ部拡径変形作用部とを有し、回転軸体の先端にこれと軸線が一致する同心状態で取り付けうるように構成されていることを特徴とする組み立て用治具。   The inner circumferential lip portion guiding jig according to claim 1, wherein the inner circumferential lip portion guiding portion has the same outer diameter as the distal end of the rotating shaft body, and a truncated cone shape or a conical shape gradually decreasing in diameter from the base end thereof. And an inner peripheral lip portion expanding and deforming action portion, and configured to be attached to the tip of the rotating shaft body in a concentric state in which the axis line coincides with the tip end of the rotating shaft body. 請求項2に記載する芯出し治具であって、先端側内周部に内周リップ部誘導治具に嵌合しうる非圧縮性弾性材製の治具側Oリングを係合保持すると共に基端側内周部に回転軸体に嵌合しうる非圧縮性弾性材製の軸側Oリングを係合保持させた筒状体であることを特徴とする組み立て用治具。   The centering jig according to claim 2, wherein a jig side O-ring made of an incompressible elastic material that can be fitted to an inner circumferential lip portion guiding jig is engaged and held at an inner peripheral portion on the front end side. An assembly jig characterized by a cylindrical body in which a shaft-side O-ring made of an incompressible elastic material that can be fitted to a rotating shaft body is engaged and held on a base end side inner peripheral portion.
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