JP5365381B2 - Circuit board inspection method, circuit board inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、配線板にIC部品が実装された回路板を検査するための方法および装置に係り、特に、このIC部品がシリアル通信機能対応のものである場合の回路板の検査方法および検査装置に関する。   The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting a circuit board having an IC component mounted on a wiring board, and more particularly, to an inspection method and an inspection apparatus for a circuit board when the IC component is compatible with a serial communication function. About.

近年、絶縁板内部に部品が内蔵されたいわゆる部品内蔵配線板が盛んに研究開発されている。これらの配線板では、製造途上で、部品が備わった状態の配線板として検査を要し、この検査には、部品と配線パターンとの接続における断線や短絡不良の検知が含まれる。   In recent years, so-called wiring boards with built-in components in which components are built in an insulating plate have been actively researched and developed. These wiring boards require inspection as wiring boards with components in the process of production, and this inspection includes detection of disconnection or short-circuit failure in connection between the components and the wiring pattern.

部品と配線パターンとの接続状態を調べる検査は、部品端子が接続、実装されたランドと同じノードであるパターンが、表層パターンとして現れている配線板設計では、その表層パターンを利用して行うことができる。つまり、最終的な形態に仕上がった配線板を対象に接続状態の検査を実施できる。   The inspection to check the connection state between the component and the wiring pattern should be performed using the surface layer pattern in the wiring board design where the pattern that is the same node as the land where the component terminal is connected and mounted appears as the surface layer pattern. Can do. That is, the connection state can be inspected for the wiring board finished in the final form.

しかしながら、そのような場合であっても、部品が2端子の例えば抵抗、コンデンサ、インダクタなどの場合に比較すると、端子がそれ以上に相当に多い集積回路素子(IC)の場合は、その実装における断線や短絡不良の検査は簡単ではない。その理由のひとつは、ICによりまた端子間により、その間の特性は様々であり、抵抗、コンデンサ、インダクタのように単にインピーダンスを測定して実装における断線や短絡不良を検知できるわけではないという事情がある。   However, even in such a case, compared to the case where the component is a two-terminal, for example, a resistor, a capacitor, an inductor, etc., in the case of an integrated circuit element (IC) having a considerably larger number of terminals, the mounting Inspection of disconnection and short circuit failure is not easy. One of the reasons is that there are various characteristics between ICs and between terminals, and it is not possible to detect disconnection or short-circuit failure in mounting by simply measuring impedance like resistors, capacitors and inductors. is there.

なお、部品を備えた配線板の電気的接続状態の検査の方法に言及がある公知文献には、例えば、下記特許文献1ないし3のものがある。これらのいずれも本願で着目するような視点については何らの記載もない。   Note that, for example, the following Patent Documents 1 to 3 are cited as publicly known documents that refer to a method for inspecting an electrical connection state of a wiring board having components. Neither of these describes any viewpoints of interest in the present application.

特開2003−197849号公報JP 2003-197849 A 特開2005−5692号公報JP 2005-5692 A 特開2006−344847号公報JP 2006-344847 A

本発明は、配線板にIC部品が実装された回路板を検査するための方法および装置において、該IC部品が有するシリアル通信機能を利用してIC部品の接続検査を簡明化することが可能な回路板の検査方法および検査装置を提供することを目的とする。   The present invention provides a method and apparatus for inspecting a circuit board having an IC component mounted on a wiring board, and can simplify the connection inspection of the IC component by using the serial communication function of the IC component. It is an object of the present invention to provide a circuit board inspection method and inspection apparatus.

上記の課題を解決するため、本発明の一態様である、回路板の検査方法は、第1のクロック入力端子と第1のシリアルデータ入出力端子とを有し、所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する第1の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記第1のシリアルデータ入出力端子から第1の認知信号を出力する第1のICと、第2のクロック入力端子と第2のシリアルデータ入出力端子とを有し、前記所定周波数のクロックが前記第2のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1の所定シリアルデータとは異なる第2の所定シリアルデータが前記第2のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記第2のシリアルデータ入出力端子から第2の認知信号を出力する第2のICとが実装され、前記第1のICが、電流吸い込み端子をさらに有し、かつ、前記所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1、第2の所定シリアルデータとは異なる第3の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記電流吸い込み端子から内部に向かって所定大きさの電流を吸い込むICであり、前記第1のクロック入力端子と前記第2のクロック入力端子とを電気的につなげる第1の配線パターンと、前記第1のシリアルデータ入出力端子と前記第2のシリアルデータ入出力端子とを電気的につなげる第2の配線パターンと、前記第1のICの前記電流吸い込み端子に電気的に導通する第3の配線パターンとを備えた回路板を対象とする検査装置であって、前記第1の配線パターンに導通して前記回路板に第1の検査針を突き当てかつ前記第2の配線パターンに導通して前記回路板に第2の検査針を突き当て、さらに前記第3の配線パターンに導通して前記回路板に第3の検査針を突き当てるプローブ部と、前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第1の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第1の信号発生部と、前記第2の検査針に前記第1の認知信号が検知できたか否かを判定する第1の判定部と、前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第2の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第2の信号発生部と、前記第2の検査針に前記第2の認知信号が検知できたか否かを判定する第2の判定部と、前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第3の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第3の信号発生部と、前記第3の検査針を介して前記所定大きさの電流が検知できたか否かを判定する第3の判定部とを具備することを特徴とする。 In order to solve the above problems, a circuit board inspection method according to an aspect of the present invention includes a first clock input terminal and a first serial data input / output terminal, and a clock having a predetermined frequency is the first clock. As the first predetermined serial data synchronized with the clock of the predetermined frequency is input to the first serial data input / output terminal to the first clock input terminal, the first serial data input / output terminal first And a second clock input terminal and a second serial data input / output terminal, and the clock having the predetermined frequency is supplied to the second clock input terminal. As the second predetermined serial data different from the first predetermined serial data is input to the second serial data input / output terminal, respectively. Serial from the data output terminal and a second IC that outputs a second acknowledgments are mounted, the first IC is, current sink further has a terminal, and the predetermined frequency of the clock is the first As the third predetermined serial data, which is different from the first and second predetermined serial data, is input to the first serial data input / output terminal in synchronization with the clock having the predetermined frequency. A first wiring pattern for electrically connecting the first clock input terminal and the second clock input terminal , an IC for sucking a current of a predetermined magnitude from the current suction terminal toward the inside ; a second wiring pattern that connects electrically the first serial data input terminal and the second serial data output terminal, said current intake of the first IC An inspection apparatus intended for the circuit board with the write terminal and a third wiring pattern electrically conductive mintues first test needle to the circuit board and electrically connected to the first wiring pattern against and said second conducting wiring pattern abuts the second inspection needle into the circuit board, further wherein the third third abutment Ru probe testing needle to the circuit board and electrically connected to the wiring pattern A first signal generator for generating a signal to supply a clock of the predetermined frequency to the first inspection needle and simultaneously supply the first predetermined serial data to the second inspection needle; A first determination unit that determines whether or not the first recognition signal has been detected by a second inspection needle; and a clock having a predetermined frequency is supplied to the first inspection needle and simultaneously the second inspection needle A signal to supply the second predetermined serial data to A second signal generating unit, a second determination unit for determining whether the second recognition signal is detected by the second inspection needle, and a predetermined frequency for the first inspection needle. A third signal generator for generating a signal for supplying the third predetermined serial data to the second inspection needle at the same time as supplying a clock; and a current of the predetermined magnitude via the third inspection needle And a third determination unit for determining whether or not the image can be detected .

すなわち、この検査方法では、上記所定の第1、第2のICが実装されており、さらに上記所定の第1、第2の配線パターンを備えた回路板を検査の対象とする。第1、第2のICはそれぞれ、クロック入力端子とシリアルデータ入出力端子とを有し、所定周波数のクロックがクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する所定シリアルデータがシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、シリアルデータ入出力端子から認知信号を出力するように構成されている。このようなICの例としては、例えば、いわゆるIC(inter-integrated circuit)に対応したICが挙げられる。ICとは、フィリップス社により提唱されたIC間のシリアル通信の方式(プロトコル)である。 That is, in this inspection method, the predetermined first and second ICs are mounted, and a circuit board provided with the predetermined first and second wiring patterns is an inspection target. Each of the first and second ICs has a clock input terminal and a serial data input / output terminal. A clock having a predetermined frequency is input to the clock input terminal, and predetermined serial data synchronized with the clock having the predetermined frequency is input / output to the serial data. A recognition signal is output from the serial data input / output terminal as it is input to each terminal. As an example of such an IC, for example, an IC corresponding to so-called I 2 C (inter-integrated circuit) can be cited. I 2 C is a serial communication method (protocol) between ICs proposed by Philips.

検査対象の回路板には、2つ(以上)の、上記機能具備のICが実装されており、第1、第2の配線パターンにより、ICにつながるクロック用の線路およびシリアルデータ用の線路はそれぞれIC間で共用化されている。そこで、第1の配線パターンに導通して回路板に第1の検査針を突き当てるとともに第2の配線パターンに導通して回路板に第2の検査針を突き当てることから検査を始める。   Two (or more) ICs having the above-described functions are mounted on the circuit board to be inspected, and the clock line and serial data line connected to the IC are defined by the first and second wiring patterns. Each is shared between ICs. Therefore, the inspection is started by conducting to the first wiring pattern and abutting the first inspection needle against the circuit board and conducting to the second wiring pattern and abutting the second inspection needle against the circuit board.

次に、第1の検査針に所定周波数のクロックを供給し同時に第2の検査針に第1の所定シリアルデータを供給し、第2の検査針に第1の認知信号が検知できたか否かを判定する。これにより、第1のICのクロック入力端子およびシリアルデータ入出力端子に関する接続検査がなされたことになる。さらに次に、第1の検査針に所定周波数のクロックを供給し同時に第2の検査針に第2の所定シリアルデータを供給し、第2の検査針に第2の認知信号が検知できたか否かを判定する。これにより、第2のICのクロック入力端子およびシリアルデータ入出力端子に関する接続検査がなされたことになる。   Next, whether or not the first recognition signal is detected by the second inspection needle by supplying a clock having a predetermined frequency to the first inspection needle and simultaneously supplying the first predetermined serial data to the second inspection needle. Determine. As a result, the connection inspection relating to the clock input terminal and the serial data input / output terminal of the first IC is performed. Next, a clock having a predetermined frequency is supplied to the first inspection needle, and at the same time, second predetermined serial data is supplied to the second inspection needle, and whether or not the second recognition signal can be detected by the second inspection needle. Determine whether. As a result, the connection inspection relating to the clock input terminal and the serial data input / output terminal of the second IC is performed.

回路板に3つ以上の、上記機能具備のICが実装されている場合も同様である。この検査方法は、IC部品が有するシリアル通信機能を利用しているので、検査針の突き当て位置の変更や、回路板におけるパターン分離などによる構成の複雑化を招かずに、複数のIC部品の接続検査を簡明化することが可能である。   The same applies when three or more ICs having the above functions are mounted on the circuit board. Since this inspection method uses the serial communication function of the IC component, the configuration of multiple IC components can be reduced without complicating the configuration by changing the contact position of the inspection needle or pattern separation on the circuit board. It is possible to simplify the connection inspection.

また、本発明の別の態様である、回路板の検査装置は、第1のクロック入力端子と第1のシリアルデータ入出力端子とを有し、所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する第1の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記第1のシリアルデータ入出力端子から第1の認知信号を出力する第1のICと、第2のクロック入力端子と第2のシリアルデータ入出力端子とを有し、前記所定周波数のクロックが前記第2のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1の所定シリアルデータとは異なる第2の所定シリアルデータが前記第2のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記第2のシリアルデータ入出力端子から第2の認知信号を出力する第2のICとが実装され、前記第1のICが、電流吸い込み端子をさらに有し、かつ、前記所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1、第2の所定シリアルデータとは異なる第3の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記電流吸い込み端子から内部に向かって所定大きさの電流を吸い込むICであり、前記第1のクロック入力端子と前記第2のクロック入力端子とを電気的につなげる第1の配線パターンと、前記第1のシリアルデータ入出力端子と前記第2のシリアルデータ入出力端子とを電気的につなげる第2の配線パターンと、前記第1のICの前記電流吸い込み端子に電気的に導通する第3の配線パターンとを備えた回路板を対象とする検査装置であって、前記第1の配線パターンに導通して前記回路板に第1の検査針を突き当てかつ前記第2の配線パターンに導通して前記回路板に第2の検査針を突き当て、さらに前記第3の配線パターンに導通して前記回路板に第3の検査針を突き当てるプローブ部と、前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第1の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第1の信号発生部と、前記第2の検査針に前記第1の認知信号が検知できたか否かを判定する第1の判定部と、前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第2の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第2の信号発生部と、前記第2の検査針に前記第2の認知信号が検知できたか否かを判定する第2の判定部と、前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第3の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第3の信号発生部と、前記第3の検査針を介して前記所定大きさの電流が検知できたか否かを判定する第3の判定部とを具備することを特徴とする。 A circuit board inspection apparatus according to another aspect of the present invention includes a first clock input terminal and a first serial data input / output terminal, and a clock having a predetermined frequency is the first clock input terminal. In addition, as the first predetermined serial data synchronized with the clock having the predetermined frequency is input to the first serial data input / output terminal, a first recognition signal is output from the first serial data input / output terminal. And a second clock input terminal and a second serial data input / output terminal, and the clock having the predetermined frequency is synchronized with the clock having the predetermined frequency at the second clock input terminal. As the second predetermined serial data different from the first predetermined serial data is input to the second serial data input / output terminal, the second serial data A second IC is mounted to output a second recognition signal from an output terminal, said first IC further includes a current sink terminal, and the clock of the predetermined frequency is the first clock input terminal In addition, as the third predetermined serial data different from the first and second predetermined serial data, which is synchronized with the clock of the predetermined frequency, is input to the first serial data input / output terminal, the current suction is performed. An IC that sucks in a current of a predetermined magnitude from the terminal to the inside; a first wiring pattern that electrically connects the first clock input terminal and the second clock input terminal; and the first serial a second wiring pattern that connects the data input-output terminal and the second serial data input and output terminals electrically, electrical said current sink terminal of the first IC An inspection apparatus directed to the third circuit board and a wiring pattern for conduction, the first to the abutment and the second first test needle to the circuit board electrically connected to the wiring pattern a second abutting the test needle, further wherein the third third probe section Ru abutted inspection needle on the circuit board and electrically connected to the wiring pattern on the circuit board and electrically connected to the wiring pattern, the first A first signal generator for generating a signal to supply the first predetermined serial data to the second inspection needle at the same time as supplying the clock of the predetermined frequency to the inspection needle, and to the second inspection needle A first determination unit that determines whether or not the first recognition signal has been detected; and a clock having the predetermined frequency is supplied to the first inspection needle and the second predetermined determination is simultaneously applied to the second inspection needle. A second signal generator that generates a signal to supply serial data A live part, a second determination part for determining whether the second recognition signal has been detected on the second inspection needle, and a clock of the predetermined frequency supplied to the first inspection needle at the same time A third signal generator for generating a signal to supply the third predetermined serial data to the second inspection needle, and whether or not the predetermined magnitude of current has been detected via the third inspection needle And a third determination unit for determining whether or not.

この検査装置は、上記の検査方法を実施するための装置であり、よって、上記所定の第1、第2のICが実装されており、さらに上記所定の第1、第2の配線パターンを備えた回路板を検査の対象とする。   This inspection apparatus is an apparatus for carrying out the above-described inspection method. Therefore, the predetermined first and second ICs are mounted, and the predetermined first and second wiring patterns are further provided. Inspected circuit boards.

上記の検査方法を実施するため、まず、第1の配線パターンに導通して回路板に第1の検査針を突き当てかつ第2の配線パターンに導通して回路板に第2の検査針を突き当てるプローブ部を有する。   In order to carry out the above inspection method, first, the first wiring pattern is conducted and the first inspection needle is abutted against the circuit board, and the second wiring pattern is conducted and the second inspection needle is applied to the circuit board. It has a probe part to abut.

さらに、第1の検査針に所定周波数のクロックを供給し同時に第2の検査針に第1の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第1の信号発生部と、第2の検査針に第1の認知信号が検知できたか否かを判定する第1の判定部とを具備する。これにより、第1のICのクロック入力端子およびシリアルデータ入出力端子に関する接続検査がなされ得る。   In addition, a first signal generator for generating a signal to supply a clock having a predetermined frequency to the first inspection needle and simultaneously supplying first predetermined serial data to the second inspection needle, and a second inspection needle And a first determination unit that determines whether or not the first recognition signal has been detected. Thereby, the connection inspection regarding the clock input terminal and the serial data input / output terminal of the first IC can be performed.

さらに、第1の検査針に所定周波数のクロックを供給し同時に第2の検査針に第2の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第2の信号発生部と、第2の検査針に第2の認知信号が検知できたか否かを判定する第2の信号発生部とを具備する。これにより、第2のICのクロック入力端子およびシリアルデータ入出力端子に関する接続検査がなされ得る。   Further, a second signal generator for generating a signal to supply a clock having a predetermined frequency to the first inspection needle and simultaneously supplying second predetermined serial data to the second inspection needle, and a second inspection needle And a second signal generation unit that determines whether or not the second recognition signal has been detected. Thereby, the connection inspection regarding the clock input terminal and the serial data input / output terminal of the second IC can be performed.

この検査装置を用いれば、IC部品が有するシリアル通信機能を利用するので、検査針の突き当て位置の変更や、回路板におけるパターン分離などによる構成の複雑化を招かずに、複数のIC部品の接続検査を簡明化することが可能である。   If this inspection device is used, since the serial communication function of the IC component is used, the configuration of multiple IC components can be reduced without complicating the configuration by changing the contact position of the inspection needle or separating the patterns on the circuit board. It is possible to simplify the connection inspection.

本発明によれば、配線板に実装されたIC部品が有するシリアル通信機能を利用してIC部品の接続検査を簡明化することが可能な回路板の検査方法および検査装置を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a circuit board inspection method and inspection apparatus capable of simplifying the connection inspection of an IC component using the serial communication function of the IC component mounted on the wiring board. .

本発明の一実施形態である検査方法の検査対象たる回路板の例示的な構成を示す模式的断面図。The typical sectional view showing the exemplary composition of the circuit board which is the inspection object of the inspection method which is one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態である検査方法の検査対象たる回路板における、実装されたIC周りのパターンの接続、配置関係を示す例示的な模式図。The exemplary schematic diagram which shows the connection and arrangement | positioning relationship of the pattern around mounted IC in the circuit board which is a test object of the test | inspection method which is one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態である検査方法の検査対象たる回路板に実装のICが備えるIC(inter-integrated circuit)機能を説明するためのプロトコル図。Protocol diagram for illustrating the I 2 C (inter-integrated circuit ) function to test object serving as a circuit board inspection method according to an embodiment includes the implementation of IC of the present invention. 本発明の一実施形態に係る検査装置の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the test | inspection apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図4に示した検査装置の動作フローを示す流れ図。The flowchart which shows the operation | movement flow of the test | inspection apparatus shown in FIG. スタンバイ電流検査のための検査装置の構成を示すブロック図。The block diagram which shows the structure of the test | inspection apparatus for standby current test | inspection. 本発明の一実施形態である検査方法を実施する態様を示す構成図。The block diagram which shows the aspect which enforces the inspection method which is one Embodiment of this invention. 本発明の別の実施形態である検査方法を実施する態様を示す構成図。The block diagram which shows the aspect which enforces the inspection method which is another embodiment of this invention.

本発明の態様では、前記回路板の前記第1のICが、電流吸い込み端子をさらに有し、かつ、前記所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1、第2の所定シリアルデータとは異なる第3の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記電流吸い込み端子から内部に向かって所定大きさの電流を吸い込むICであり、前記回路板が、前記ICの前記電流吸い込み端子に電気的に導通する第3の配線パターンを備えており、前記第3の配線パターンに導通して前記回路板に第3の検査針を突き当て、前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第3の所定シリアルデータを供給し、前記第3の検査針を介して前記所定大きさの電流が検知できたか否かを判定することをさらに行う。 In one aspect of the present invention, the first IC of the circuit board further includes a current sink terminal, and the clock having the predetermined frequency is synchronized with the clock having the predetermined frequency at the first clock input terminal. As the third predetermined serial data different from the first and second predetermined serial data is input to the first serial data input / output terminal, respectively, the current sink terminal has a predetermined size toward the inside. The circuit board includes a third wiring pattern that is electrically connected to the current suction terminal of the IC, and is electrically connected to the third wiring pattern. A third inspection needle is abutted, the clock of the predetermined frequency is supplied to the first inspection needle, and the third predetermined serial data is supplied to the second inspection needle at the same time, It intends further rows that current of the predetermined magnitude through the test needle to determine whether or not detected.

つまり、検査の対象である回路板において、第1のICが電流吸い込み端子をさらに有し、かつ、所定周波数のクロックが第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する第3の所定シリアルデータが第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、電流吸い込み端子から内部に向かって所定大きさの電流を吸い込むICとなっている。回路板には、電流吸い込み端子に導通する第3の配線パターンが設けられている。 That is , in the circuit board to be inspected, the first IC further has a current sink terminal, and a clock having a predetermined frequency is synchronized with the clock having the predetermined frequency at the first clock input terminal. As the predetermined serial data is input to the first serial data input / output terminal, the IC absorbs a predetermined amount of current from the current suction terminal toward the inside. The circuit board is provided with a third wiring pattern that conducts to the current sink terminal.

そこで、第3の配線パターンに導通して回路板に第3の検査針を突き当て、次に、第1の検査針に所定周波数のクロックを供給し同時に第2の検査針に第3の所定シリアルデータを供給し、第3の検査針を介して所定大きさの電流が検知できたか否かを判定する。これにより、第1のICの電流吸い込み端子に関する接続検査がなされたことになる。このように、ICが電流吸い込み端子を有するというような特定の機能を有する場合に、これを利用してこの端子に関する接続検査を簡明に行う。 Therefore, the third inspection needle is brought into contact with the circuit board through the third wiring pattern, and then a clock having a predetermined frequency is supplied to the first inspection needle and at the same time, a third predetermined needle is supplied to the second inspection needle. Serial data is supplied, and it is determined whether or not a current of a predetermined magnitude has been detected via the third inspection needle. As a result, the connection inspection relating to the current sink terminal of the first IC is performed. Thus, if it has a specific function, such as that having a suction IC current terminal, it intends concisely line connection test for the terminal by using this.

また、検査装置としての態様としても、上記検査方法に準じて、前記回路板の前記第1のICが、電流吸い込み端子をさらに有し、かつ、前記所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1、第2の所定シリアルデータとは異なる第3の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記電流吸い込み端子から内部に向かって所定大きさの電流を吸い込むICであり、前記回路板が、前記ICの前記電流吸い込み端子に電気的に導通する第3の配線パターンを備えており、前記プローブ部が、さらに、前記第3の配線パターンに導通して前記回路板に第3の検査針を突き当て、前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第3の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第3の信号発生部と、前記第3の検査針を介して前記所定大きさの電流が検知できたか否かを判定する第3の判定部とをさらに具備する。
Further, even if the state like as an inspection device, according to the above inspection method, the first IC of the circuit board further includes a current sink terminal, and the clock of the predetermined frequency is the first clock As the third predetermined serial data different from the first and second predetermined serial data, which is synchronized with the clock of the predetermined frequency, is input to the first serial data input / output terminal, An IC for sucking a current of a predetermined magnitude from a current suction terminal toward the inside, wherein the circuit board includes a third wiring pattern electrically connected to the current suction terminal of the IC; However, the third inspection needle is brought into contact with the circuit board by conducting to the third wiring pattern, and the clock having the predetermined frequency is supplied to the first inspection needle at the same time. A third signal generator for generating a signal to supply the third predetermined serial data to the second inspection needle, and whether or not the current of the predetermined magnitude can be detected via the third inspection needle Furthermore it and a third determination unit determines.

以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。まず、図1は、本発明の一実施形態である検査方法の検査対象たる回路板の例示的な構成を示す模式的断面図である。検査の対象となる回路板としてその構造は本例に限られるものではないが、ここでは現在利用可能な具体的な構造の例として説明する。この回路板は、ICが少なくとも2つ、内蔵により実装された回路板である。なお、ここで「回路板」とは、何らの部品も実装されていない配線板ではなく、何らかの部品が実装されている(内蔵されている場合も含む)配線板の場合を言い、予定されているすべての部品が実装される前の状態(=半完成品)の配線板の場合も含む。   Based on the above, embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an exemplary configuration of a circuit board to be inspected by an inspection method according to an embodiment of the present invention. The structure of the circuit board to be inspected is not limited to this example, but here, it will be described as an example of a specific structure that is currently available. This circuit board is a circuit board on which at least two ICs are mounted. Here, the “circuit board” is not a wiring board on which no parts are mounted, but a wiring board on which some parts are mounted (including the case where they are built in). This includes the case of a wiring board in a state (= semi-finished product) before all components are mounted.

この回路板100は、絶縁層11、12、13、14、15(これらで絶縁板を構成)、配線層(配線パターン)21、22、23、24、25、26(=合計6層)、層間接続体31、32、34、35、スルーホール導電体33、IC41、42、はんだ51、52、はんだレジスト61、62を有する。   This circuit board 100 includes insulating layers 11, 12, 13, 14, 15 (which constitute an insulating plate), wiring layers (wiring patterns) 21, 22, 23, 24, 25, 26 (= 6 layers in total), Interlayer connectors 31, 32, 34, and 35, through-hole conductors 33, ICs 41 and 42, solders 51 and 52, and solder resists 61 and 62 are included.

IC41、42は、例えばウエハレベル・チップスケールパッケージによる半導体部品であり、それぞれ、半導体チップと、該半導体チップ上に形成されたグリッド状配列の端子41a、42aとを少なくとも備えている。端子41a、42aは、半導体チップがもともと有する端子パッドから再配線層を介して電気的に導通しつつその位置を再配置して設けられた端子である。IC41、42は、それぞれ、チップ部品と同様の表面実装技術により、内層の配線層22によるランドパターン22aにはんだ51、52を介して実装されている。   The ICs 41 and 42 are, for example, semiconductor components based on a wafer level chip scale package, and each includes at least a semiconductor chip and grid-shaped terminals 41a and 42a formed on the semiconductor chip. The terminals 41a and 42a are terminals provided by rearranging their positions while being electrically conducted through the rewiring layer from the terminal pads originally possessed by the semiconductor chip. The ICs 41 and 42 are mounted on the land pattern 22a of the inner wiring layer 22 via solders 51 and 52, respectively, by the same surface mounting technology as that for chip components.

配線層21、26は、回路板としての両主面上の配線層であり、その上に各種の部品(不図示)が実装され得る。このような実装のため配線層21、26は部品実装用のランドを含み、このほかに、IC41、42の接続状態を検査するためのランドパターンも有する。ただし、後者のランドパターンについては、部品実装用のランドを流用することで、その目的のみのため設けなくても済む場合もある。これらのランド部分を除いて配線層21、26の両主面上には、保護層として機能するはんだレジスト61、62が形成されている(厚さはそれぞれ例えば20μm程度)。ランド部分の表層には、耐腐食性の高いNi/Auのめっき層(不図示)を形成するようにしてもよい。   The wiring layers 21 and 26 are wiring layers on both main surfaces as circuit boards, and various components (not shown) can be mounted thereon. For such mounting, the wiring layers 21 and 26 include lands for component mounting, and also have land patterns for inspecting the connection state of the ICs 41 and 42. However, the latter land pattern may be omitted for the purpose only by diverting the component mounting land. Solder resists 61 and 62 functioning as protective layers are formed on both main surfaces of the wiring layers 21 and 26 excluding these land portions (thickness is about 20 μm, for example). An Ni / Au plating layer (not shown) with high corrosion resistance may be formed on the surface layer of the land portion.

配線層22、23、24、25は、それぞれ、内層の配線層であり、順に、配線層21と配線層22の間に絶縁層11が、配線層22と配線層23の間に絶縁層12が、配線層23と配線層24との間に絶縁層13が、配線層24と配線層25との間に絶縁層14が、配線層25と配線層26との間に絶縁層15が、それぞれ位置しこれらの配線層21〜26を隔てている。各配線層21〜26は、例えばそれぞれ厚さ18μmの金属(銅)箔のパターンからなっている。   The wiring layers 22, 23, 24, and 25 are inner wiring layers, and the insulating layer 11 is disposed between the wiring layer 21 and the wiring layer 22, and the insulating layer 12 is disposed between the wiring layer 22 and the wiring layer 23, respectively. However, the insulating layer 13 is between the wiring layer 23 and the wiring layer 24, the insulating layer 14 is between the wiring layer 24 and the wiring layer 25, and the insulating layer 15 is between the wiring layer 25 and the wiring layer 26. The wiring layers 21 to 26 are spaced apart from each other. Each of the wiring layers 21 to 26 is made of, for example, a metal (copper) foil pattern having a thickness of 18 μm.

各絶縁層11〜15は、絶縁層13を除き例えばそれぞれ厚さ100μm、絶縁層13のみ例えば厚さ300μmで、それぞれ例えばガラスエポキシ樹脂からなるリジッドな素材である。特に絶縁層13は、内蔵されたIC41、42に相当する位置部分が開口部となっており、IC41、42を埋設するための空間を提供する。絶縁層12、14は、内蔵されたIC41、42のための絶縁層13の上記開口部および絶縁層13のスルーホール導電体33内部の空間を埋めるように変形進入しており内部に空隙となる空間は存在しない。   Each of the insulating layers 11 to 15 is a rigid material made of, for example, a glass epoxy resin, each having a thickness of 100 μm, for example, only the insulating layer 13 has a thickness of, for example, 300 μm, excluding the insulating layer 13. In particular, the insulating layer 13 has openings at positions corresponding to the built-in ICs 41 and 42, and provides a space for embedding the ICs 41 and 42. The insulating layers 12 and 14 are deformed so as to fill the space inside the through-hole conductor 33 of the insulating layer 13 and the opening of the insulating layer 13 for the built-in ICs 41 and 42, and become voids inside. There is no space.

配線層21と配線層22とは、それらのパターンの面の間に挟設されかつ絶縁層11を貫通する層間接続体31により導通し得る。同様に、配線層22と配線層23とは、それらのパターンの面の間に挟設されかつ絶縁層12を貫通する層間接続体32により導通し得る。配線層23と配線層24とは、絶縁層13を貫通して設けられたスルーホール導電体33により導通し得る。配線層24と配線層25とは、それらのパターンの面の間に挟設されかつ絶縁層14を貫通する層間絶縁体34により導通し得る。配線層25と配線層26とは、それらのパターンの面の間に挟設されかつ絶縁層15を貫通する層間接続体35により導通し得る。   The wiring layer 21 and the wiring layer 22 can be conducted by an interlayer connector 31 that is sandwiched between the surfaces of the patterns and penetrates the insulating layer 11. Similarly, the wiring layer 22 and the wiring layer 23 can be conducted by an interlayer connector 32 that is sandwiched between the surfaces of the patterns and penetrates the insulating layer 12. The wiring layer 23 and the wiring layer 24 can be conducted by a through-hole conductor 33 provided through the insulating layer 13. The wiring layer 24 and the wiring layer 25 can be conducted by an interlayer insulator 34 that is sandwiched between the surfaces of these patterns and penetrates the insulating layer 14. The wiring layer 25 and the wiring layer 26 can be conducted by an interlayer connector 35 that is sandwiched between the surfaces of these patterns and penetrates the insulating layer 15.

層間接続体31、32、34、35は、それぞれ、導電性組成物のスクリーン印刷により形成される導電性バンプを由来とするものであり、その製造工程に依拠して軸方向(図1の図示で上下の積層方向)に径が変化している。その直径は、太い側で例えば200μmである。   The interlayer connectors 31, 32, 34, and 35 are derived from conductive bumps formed by screen printing of a conductive composition, respectively, and depend on the manufacturing process in the axial direction (shown in FIG. 1). The diameter changes in the upper and lower stacking directions). The diameter is, for example, 200 μm on the thick side.

以上説明した構造により、IC41、42の各端子41a、42aへは(各端子41a、42aからは)、配線層21〜26による配線パターンや、層間接続体またはスルーホール導電体31〜35を介して、必要に応じて任意の別の配線層から(配線層へ)電気的接続が可能である。IC41、42の端子41a、42a間の電気的接続についても、配線層21〜26による配線パターンや、層間接続体またはスルーホール導電体31〜35を介して必要に応じてなすことができる。   With the structure described above, the terminals 41a and 42a of the ICs 41 and 42 (from the terminals 41a and 42a) are connected via the wiring patterns by the wiring layers 21 to 26, the interlayer connectors or the through-hole conductors 31 to 35, respectively. Thus, electrical connection is possible from any other wiring layer (to the wiring layer) as necessary. The electrical connection between the terminals 41a and 42a of the ICs 41 and 42 can also be made as needed via the wiring pattern by the wiring layers 21 to 26, the interlayer connector or the through-hole conductors 31 to 35.

次に、図1に示した回路板におけるIC41、42周りのパターンの接続、配置関係について図2を参照して説明する。図2は、本発明の一実施形態である検査方法の検査対象たる回路板における、実装されたIC周りのパターンの接続、配置関係を示す例示的な模式図である。図2において、図1中に示した構成要素と同一または同一相当のもの(IC41、42)には同一符号を付してある。   Next, connection and arrangement relationships of patterns around the ICs 41 and 42 on the circuit board shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is an exemplary schematic diagram showing a connection and arrangement relationship of patterns around mounted ICs on a circuit board to be inspected by the inspection method according to the embodiment of the present invention. In FIG. 2, the same or equivalent components (ICs 41 and 42) as those shown in FIG.

本実施形態の検査方法の対象たる回路板は、IC41、42として、IC(inter-integrated circuit)に対応したICが内蔵実装されていることを前提とする。そこで、まず、図3を参照して一般的なICについて説明する。図3は、本発明の一実施形態である検査方法の検査対象たる回路板に実装のICが備えるIC機能を説明するためのプロトコル図である。 The circuit board that is the target of the inspection method of the present embodiment is based on the premise that ICs corresponding to I 2 C (inter-integrated circuit) are incorporated as ICs 41 and 42. First, general I 2 C will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a protocol diagram for explaining an I 2 C function provided in an IC mounted on a circuit board to be inspected by an inspection method according to an embodiment of the present invention.

ICにIC機能を持たせると、IC間でシリアルデータ通信を行うことができる。データ通信に必要な相互の接続は、データライン(SDA)とクロックライン(SCL)の2本のみである。SDA上の信号は、SCL上のクロックに同期して出力される。相互に接続されたICの中にはマスタとなるICがあり、残りはスレーブである。各スレーブICにはアドレスが7ビットで与えられている。クロックは常にマスタが発生する。 If the IC has an I 2 C function, serial data communication can be performed between the ICs. Only two data lines (SDA) and a clock line (SCL) are necessary for data communication. The signal on SDA is output in synchronization with the clock on SCL. Among the ICs connected to each other, there is an IC as a master, and the rest are slaves. Each slave IC is given an address of 7 bits. The clock is always generated by the master.

マスタからスレーブへのアドレス指定は、図3(a)に示すようなSDA上の信号フォーマットによりなされる。A6〜A0はいずれかのスレーブを指定するための固有アドレスであり、RWは場合によりR(=読み出し)かW(=書き込み)のいずれか、ACK(=acknowledgement)はスレーブICからの認知信号(アクナレジ信号)の返信期間である。   Addressing from the master to the slave is performed by a signal format on the SDA as shown in FIG. A6 to A0 are unique addresses for designating any one of the slaves, RW may be either R (= read) or W (= write) depending on the case, and ACK (= acknowledgement) is an acknowledge signal from the slave IC ( (Acknowledge signal) is a reply period.

マスタとスレーブ間相互のそのほかのデータのやり取りの場合は、図3(b)に示すようなSDA上の信号フォーマットによりなされる。D7〜D0がデータであり、ACKは送信先(スレーブかマスタ)のICからの認知信号の返信期間である。   In the case of other data exchange between the master and the slave, the signal format on the SDA as shown in FIG. D7 to D0 are data, and ACK is a return period of the recognition signal from the IC of the transmission destination (slave or master).

マスタからスレーブへデータを送信の場合の流れは、図3(c)に示すようになる。すなわち、まずマスタから、スレーブアドレス、Wの順に出力を行うと、対応するスレーブがACKを出力する。次に、マスタは、データを出力し、対応するスレーブがACKを出力する。以下、同様に出力すべきデータの数だけデータ、ACKの繰り返しを行う。ここで「データ」は、スレーブに対するコマンドや、狭義のデータ(数値)などの場合があり得る。   The flow in the case of transmitting data from the master to the slave is as shown in FIG. That is, first, when outputting from the master in the order of the slave address and W, the corresponding slave outputs ACK. Next, the master outputs data, and the corresponding slave outputs ACK. Thereafter, data and ACK are repeated as many times as the number of data to be output. Here, the “data” may be a command to the slave, narrowly defined data (numerical value), or the like.

スレーブからマスタへデータを送信の場合の流れは、図3(d)に示すようになる。すなわち、この場合もまずマスタから、スレーブアドレス、Rの順に出力を行うと、対応するスレーブがACKを出力する。次に、スレーブは、例えばあらかじめ送信されていたコマンドに対応してデータを出力し、これに応じて今度はマスタがACKを出力する。以下、同様に出力すべきデータの数だけデータ、ACKの繰り返しを行う。以上のように、ICは、通信の主導権は送受信ともマスタたるICの側がもっている。通信の速度は、100kbpsまたは400kbpsなどが用いられている。 The flow in the case of transmitting data from the slave to the master is as shown in FIG. That is, also in this case, if the master first outputs in the order of the slave address and R, the corresponding slave outputs ACK. Next, the slave outputs data corresponding to, for example, a command transmitted in advance, and the master outputs ACK in response to this. Thereafter, data and ACK are repeated as many times as the number of data to be output. As described above, I 2 C has the initiative of communication on the side of the IC that is the master for both transmission and reception. The communication speed is 100 kbps or 400 kbps.

図2に戻り、IC41、IC42は、いずれもスレーブたるICとして実装されたものである。マスタとして機能するICは、この回路板100には(少なくともこの段階における回路板100には)存在しない。   Returning to FIG. 2, the IC 41 and the IC 42 are both implemented as slave ICs. The IC functioning as a master does not exist in this circuit board 100 (at least in the circuit board 100 at this stage).

IC41は、IC対応の例えばEEPROM(electrical erasable programmable read only memory)である。その端子は、端子1a〜1e(図1における端子41aに相当)の5端子構成であり、内訳は、グラウンド端子(GND)1a、電源端子(VCC)1b、SCL端子1c、SDA端子1d、書き込み禁止端子(WP)1eとなっている。 The IC 41 is, for example, an EEPROM (electrical erasable programmable read only memory) compatible with I 2 C. The terminal has a five-terminal configuration of terminals 1a to 1e (corresponding to the terminal 41a in FIG. 1). The breakdown includes a ground terminal (GND) 1a, a power supply terminal (VCC) 1b, an SCL terminal 1c, an SDA terminal 1d, and writing. Forbidden terminal (WP) 1e.

また、IC42は、IC対応の例えば電流出力ドライバである。その端子は、端子2a〜2f(図1における端子42aに相当)の6端子構成であり、内訳は、グラウンド端子(GND)2a、電源端子(VDD)2b、SCL端子2c、SDA端子2d、電源スイッチ端子(SW)2e、電流出力端子(ISINK)2fとなっている。電流出力端子2fは、IC42の電流出力として、その内部に吸い込む方向に、所定大きさの電流を発生するための端子である。 The IC 42 is, for example, a current output driver that supports I 2 C. The terminals have a 6-terminal configuration of terminals 2a to 2f (corresponding to the terminal 42a in FIG. 1), and are broken down into a ground terminal (GND) 2a, a power supply terminal (VDD) 2b, an SCL terminal 2c, an SDA terminal 2d, A switch terminal (SW) 2e and a current output terminal (ISINK) 2f are provided. The current output terminal 2f is a terminal for generating a current having a predetermined magnitude in the direction of sucking into the IC 42 as a current output.

回路板100において、IC41、IC42には、図2に示すように、その端子1a〜1eおよび端子2a〜2f端子に対応して配線パターン3a〜3gが設けられている。ここで、配線パターン3dは、ICのためのSCLの共通パターンであり、配線パターン3eは、同様にSDAの共通パターンである。 In the circuit board 100, the IC 41 and IC 42 are provided with wiring patterns 3a to 3g corresponding to the terminals 1a to 1e and the terminals 2a to 2f, respectively, as shown in FIG. Here, the wiring pattern 3d is a common pattern of SCL for I 2 C, and the wiring pattern 3e is also a common pattern of SDA.

このようなIC41、IC42内蔵の回路板100において、IC41、42が正常に実装されているかどうかの接続検査を行うという視点に目を移したとき、SCL配線パターン3dとSDA配線パターン3eとを有効に利用できる。すなわち、これらは複数のICに共通接続のパターンであり、マスタに相当する機能を検査装置に設ければ、配線パターン3d、3eを介して検査装置からアドレスを指定し、検査装置がACKを受け取ることによりIC個別に接続の健全性を確認できる。その際、検査対象のICごとに、検査針の突き当て位置の変更や、回路板100におけるパターン分離などによる構成の複雑化を招かず、複数のICの接続検査を簡明化できる。   In such a circuit board 100 with built-in IC41 and IC42, the SCL wiring pattern 3d and the SDA wiring pattern 3e are effective when the point of view is to perform a connection inspection of whether the IC41 and 42 are normally mounted. Available to: That is, these are patterns commonly connected to a plurality of ICs. If a function corresponding to the master is provided in the inspection device, an address is designated from the inspection device via the wiring patterns 3d and 3e, and the inspection device receives an ACK. Thus, the soundness of connection can be confirmed for each IC. At this time, the connection inspection of a plurality of ICs can be simplified without changing the contact position of the inspection needle for each IC to be inspected or complicating the configuration by pattern separation on the circuit board 100.

そこで、次に、図4は、本発明の一実施形態に係る検査装置の構成を示すブロック図である。図4においては、検査装置(本体)70のブロック構成を示すとともに、図2に示したIC周りのパターンに対して検査のため突き当てるべき検査針9a〜9g、およびこの検査装置(本体)70と検査針9a〜9gとの接続関係をも示している。   Then, next, FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 4 shows a block configuration of the inspection apparatus (main body) 70, inspection needles 9a to 9g to be abutted for inspection against the pattern around the IC shown in FIG. 2, and the inspection apparatus (main body) 70. And the connection relationship between the inspection needles 9a to 9g.

図4に示すように、この検査装置(本体)70は、信号発生部71、ACK判定部72、電流値判定部73、検査装置電源部74、ライトプロテクト設定部75を有する。信号発生部71は、クロック発生部71a、スレーブアドレス(またはコマンド)発生部71bを備えている。   As shown in FIG. 4, the inspection device (main body) 70 includes a signal generation unit 71, an ACK determination unit 72, a current value determination unit 73, an inspection device power supply unit 74, and a write protect setting unit 75. The signal generator 71 includes a clock generator 71a and a slave address (or command) generator 71b.

クロック発生部71aは、SCL配線パターン3dに突き当てられる検査針9dを介して同パターン3dに対してクロックを出力することができる。スレーブアドレス(またはコマンド)発生部71bは、SDA配線パターン3eに突き当てられる検査針9eを介して同パターン3eに対してスレーブアドレス(またはコマンド)を出力することができる。ACK判定部72は、SDA配線パターン3eに出力されるACK信号を、同パターン3eに突き当てられる検査針9eを介して検知することができる。電流値判定部73は、パターン3f(からIC端子2f)に流れる電流を、同パターン3fに突き当てられる検査針9fを介して検知しその電流値を検出できる。   The clock generation unit 71a can output a clock to the pattern 3d through the inspection needle 9d that is abutted against the SCL wiring pattern 3d. The slave address (or command) generation unit 71b can output a slave address (or command) to the pattern 3e through the inspection needle 9e that is abutted against the SDA wiring pattern 3e. The ACK determination unit 72 can detect the ACK signal output to the SDA wiring pattern 3e through the inspection needle 9e that is abutted against the pattern 3e. The current value determination unit 73 can detect the current value flowing through the pattern 3f (from the IC terminal 2f) via the inspection needle 9f that is abutted against the pattern 3f.

検査装置電源部74は、この検査装置(本体)70の内部電源装置であるとともに、GND配線パターン3aに突き当てられる検査針9aによって同パターン3aの電位と装置内部のGND電位とを共通化し、さらに、電源配線パターン3bに突き当てられる検査針9bを介して同パターン3bに電源電位を供給し、かつ、電源配線パターン3cに突き当てられる検査針9cを介して同パターン3cに電源電位を供給することができる。ライトプロテクト設定部75は、配線パターン3gに突き当てられる検査針9gを介して同パターン3gに、書込み禁止とするか否かの電位を供給することができる。   The inspection device power supply unit 74 is an internal power supply device of the inspection device (main body) 70, and makes the potential of the pattern 3a and the GND potential inside the device common by the inspection needle 9a abutted against the GND wiring pattern 3a. Further, a power supply potential is supplied to the pattern 3b via the inspection needle 9b abutted against the power supply wiring pattern 3b, and a power supply potential is supplied to the pattern 3c via the inspection needle 9c abutted against the power supply wiring pattern 3c. can do. The write protect setting unit 75 can supply a potential indicating whether or not writing is prohibited to the pattern 3g through the inspection needle 9g that is abutted against the wiring pattern 3g.

以下、検査装置70の動作を図5をも参照して説明する。図5は、図4に示した検査装置の動作フローを示す流れ図である。   Hereinafter, the operation of the inspection apparatus 70 will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a flowchart showing an operation flow of the inspection apparatus shown in FIG.

まず、回路板100に対して検査針9a〜9gをプロービングする(ステップ81)。これは具体的には図4に示したような、検査針9a〜9gによる各配線パターン3a〜3gへの突き当てである。検査針9a〜9gと検査装置(本体)70との間は例えばケーブルでつないである。   First, the inspection needles 9a to 9g are probed with respect to the circuit board 100 (step 81). Specifically, as shown in FIG. 4, the test needles 9a to 9g are abutted against the wiring patterns 3a to 3g. A cable is connected between the inspection needles 9a to 9g and the inspection device (main body) 70, for example.

次に、クロック発生部71aによりクロックを、スレーブアドレス発生部71bにより所定シリアルデータとしてのIC41のアドレスを、それぞれ発生する(ステップ82)。これにより、IC41の接続状態が正常であれば、IC41が発したACKをACK判定部72が受け取ることができる(ステップ83)。ACKが十全に受け取れない場合は、IC41の接続状態が不良と判定する。この検査は、より厳密には、端子1a〜1dの4端子に関して接続状態の良否を判定していることになる。IC41の電源グラウンド端子1a、1bの接続が不良の場合も、ACKが正常には発生しないからである。   Next, a clock is generated by the clock generation unit 71a, and an address of the IC 41 as predetermined serial data is generated by the slave address generation unit 71b (step 82). Thereby, if the connection state of the IC 41 is normal, the ACK determination unit 72 can receive the ACK issued by the IC 41 (step 83). When ACK cannot be received sufficiently, it is determined that the connection state of the IC 41 is bad. Strictly speaking, this inspection determines the quality of the connection state for the four terminals 1a to 1d. This is because ACK is not normally generated even when the connection of the power ground terminals 1a and 1b of the IC 41 is poor.

なお、端子1eに関して接続状態の良否を判定するには、このあと別途対応できる(図4、図5で不図示、省略)。すなわち、ライトプロテクト設定部75からライトプロテクトを行った場合と行わない場合とで実際にプロテクトがなされたかどうかを、SCL、SDAを使ったIC41へのデータの書き込み、読み出しで確認できる。   In addition, it can respond separately after this to determine the quality of the connection state with respect to the terminal 1e (not shown in FIGS. 4 and 5 and omitted). That is, whether or not the write protection is performed from the write protection setting unit 75 can be confirmed by writing and reading data to and from the IC 41 using SCL and SDA.

また、このIC41についての接続検査を展開、進歩させて、さらにIC41の機能検査を行うこともできる(図5では省略)。すなわち、このIC41はEEPROMなので、上記の接続検査に続いて、SCL、SDAを使ったIC41へのデータの書き込み、読み出しを行い、両データの比較を行えば、その一致を見ることでその書き込み、読み出し両機能の検査ができる。なお、検査用のデータは一般に検査後消去する必要があるので、最後に、消去データの書き込みおよびその読み出し、さらにその一致を確認する。   Further, the connection test for the IC 41 can be developed and advanced, and further the function test of the IC 41 can be performed (not shown in FIG. 5). That is, since the IC 41 is an EEPROM, data is written to and read from the IC 41 using the SCL and SDA following the above-described connection inspection. Both reading functions can be inspected. Note that since the inspection data generally needs to be erased after the inspection, the erase data is written and read, and finally, the coincidence is confirmed.

図5に戻り、次に、クロック発生部71aによりクロックを、スレーブアドレス発生部71bにより所定シリアルデータとしてのIC42のアドレスを、それぞれ発生する(ステップ84)。これにより、IC42の接続状態が正常であれば、IC42が発したACKをACK判定部72が受け取ることができる(ステップ85)。ACKが十全に受け取れない場合は、IC42の接続状態が不良と判定する。この検査は、より厳密には、端子2a〜2dの4端子に関して接続状態の良否を判定していることになる。IC42の電源グラウンド各端子2a、2bの接続が不良の場合も、ACKが正常には発生しないからである。   Returning to FIG. 5, next, the clock generator 71a generates a clock, and the slave address generator 71b generates an address of the IC 42 as predetermined serial data (step 84). Thereby, if the connection state of the IC 42 is normal, the ACK determination unit 72 can receive the ACK issued by the IC 42 (step 85). When ACK cannot be received sufficiently, it is determined that the connection state of the IC 42 is defective. Strictly speaking, this inspection determines whether the connection state of the four terminals 2a to 2d is good or bad. This is because ACK is not normally generated even when the connection between the power ground terminals 2a and 2b of the IC 42 is poor.

なお、電源スイッチ端子2eの接続状態の良否を判定するには、このあと別途対応できる(図5で不図示、省略)。すなわち、このIC42の場合、電源スイッチ端子2eが接続不良(オープン)の場合、電流出力端子2fから電流が正常には出力されない内部構成になっているので、以下説明のステップ86、87での検査で代用することができる。   In addition, it can respond separately after that to judge the quality of the connection state of the power switch terminal 2e (not shown in FIG. 5, omitted). That is, in the case of the IC 42, when the power switch terminal 2e is in a poor connection (open), the current is not normally output from the current output terminal 2f. Therefore, the inspection in steps 86 and 87 described below is performed. Can be substituted.

そこで、次に、クロック発生部71aによりクロックを、コマンド発生部71bにより所定シリアルデータとしてのIC42へのコマンド(IC42が発生すべき出力電流の値に対応するコマンド)を、それぞれ発生する(ステップ86)。これにより、IC42の電流出力端子2fの接続状態が正常であれば、パターン3fおよび検査針9fを介して電流値判定部73が、上記コマンドに対応する電流を検出することができる(ステップ87)。検出の電流が上記コマンドに対応しない場合は、IC42の電流出力端子2fの接続状態が不良(または電源スイッチ端子2eの接続状態が不良)と判定する。   Therefore, next, a clock is generated by the clock generation unit 71a, and a command (command corresponding to the value of the output current to be generated by the IC 42) as predetermined serial data is generated by the command generation unit 71b (step 86). ). Thus, if the connection state of the current output terminal 2f of the IC 42 is normal, the current value determination unit 73 can detect the current corresponding to the command via the pattern 3f and the inspection needle 9f (step 87). . If the detected current does not correspond to the command, it is determined that the connection state of the current output terminal 2f of the IC 42 is defective (or the connection state of the power switch terminal 2e is poor).

なお、このIC42についての接続検査を展開、進歩させて、さらにIC42の機能検査を行うこともできる(図5では省略)。すなわち、このIC42は、電流出力端子2dから出力すべき電流値に対応のコマンド(デジタル値)を、SDA端子2dから入力するように構成されているので、上記の接続検査に続いて、コマンド発生部71bからコマンドをいくつか順に発生させて、その各出力電流値を電流値判定部73により判定する。これにより、IC42の機能検査(電流出力の検査)ができる。   It is to be noted that the connection inspection for the IC 42 can be developed and advanced, and further the functional inspection of the IC 42 can be performed (not shown in FIG. 5). That is, the IC 42 is configured to input a command (digital value) corresponding to the current value to be output from the current output terminal 2d from the SDA terminal 2d. Several commands are generated in order from the unit 71 b, and each output current value is determined by the current value determination unit 73. Thereby, the function inspection (inspection of current output) of the IC 42 can be performed.

以上により、IC41、42に関する接続の判定が終わる。これにより回路板100に対する検査針9a〜9gのプロービングを解除し(ステップ88)、検査終了である。以上のごとく、この検査装置70を用いれば、IC41、42が有するシリアル通信機能を利用するので、検査針9d、9eの突き当て位置の変更や、回路板100におけるパターン分離などによる構成の複雑化を招かずに、複数のIC(IC41、42)の接続検査を簡明化することが可能である。   As described above, the connection determination regarding the ICs 41 and 42 is completed. Thus, the probing of the inspection needles 9a to 9g with respect to the circuit board 100 is released (step 88), and the inspection is completed. As described above, when this inspection apparatus 70 is used, the serial communication function of the ICs 41 and 42 is used, so that the configuration is complicated by changing the contact position of the inspection needles 9d and 9e, pattern separation on the circuit board 100, and the like. It is possible to simplify the connection inspection of a plurality of ICs (ICs 41 and 42) without inviting them.

この効果は、回路板100に3つ以上のIC対応のICが実装(内蔵実装)されている場合(すなわち実装がより複雑な場合)はさらに大きくなる。ここで、ICは、高々1MHz以下の周波数を使う規格なので、検査装置70の高速化対応もそこそこで済み、検査針9a〜9gと検査装置(本体)70との接続もそれほど高規格の通信ケーブルである必要はない。 This effect is further increased when three or more I 2 C compatible ICs are mounted (built-in mounting) on the circuit board 100 (that is, when the mounting is more complicated). Here, since I 2 C is a standard that uses a frequency of 1 MHz or less at most, the high-speed response of the inspection device 70 is sufficient, and the connection between the inspection needles 9a to 9g and the inspection device (main body) 70 is so high. It does not have to be a communication cable.

なお、より一般的には、図5に示した検査方法に加えて、あらかじめ、回路板100について、各パターンの開放/短絡の検査を行ってその時点で不良であれば、検査の効率化のためそれ以降の検査は行わず、その回路板100は不良廃棄の扱いとすることができる。また、回路板100にIC41、42以外に表面実装型受動素子部品が内蔵される場合には、パターンの開放/短絡の検査のあと、その受動素子部品について、接続の検査を行う。そして、これに合格したものについて上記図5の工程による検査を行う。このような順序の検査によれば、検査がより容易な方からなされており、検査の効率は、全体として向上する。   More generally, in addition to the inspection method shown in FIG. 5, the circuit board 100 is preliminarily inspected for open / short circuit of each pattern, and if it is defective at that time, the efficiency of the inspection is improved. Therefore, the subsequent inspection is not performed, and the circuit board 100 can be treated as a waste disposal. In addition, in the case where a surface-mount type passive element component other than the ICs 41 and 42 is built in the circuit board 100, after the pattern open / short inspection, the connection inspection is performed on the passive element component. And about what passed this, the test | inspection by the process of the said FIG. 5 is performed. According to the inspection in this order, the inspection is performed from the easier side, and the efficiency of the inspection is improved as a whole.

また、IC部品の検査には、一般的に重要なものとして、内部が静電気などにより破壊されていないかどうかを判定するものがある。これに対応するには、参考まで、図6に示すような検査装置770の構成とすればよい。検査原理は、各IC41、42のそれぞれで、各端子(グラウンド端子1a、2aを除く)を電源側の電位(電源装置771、773による)に固定し、電源、グラウンド間の電流(すなわちスタンバイ電流)を検査装置770内に設けた電流計772、774で測定する。この電流が所定のごく小さな電流値(例えば0.5μAあるいは0.1μA)以下に収まればIC21、22に内部の破壊はなく正常と判定する。図6で符号775は、スタンバイ電流を測定する対象に応じて切替えるスイッチである。   Also, in general, inspecting IC components, there is one that determines whether or not the inside has been destroyed by static electricity or the like. In order to cope with this, for the purpose of reference, the configuration of the inspection apparatus 770 shown in FIG. 6 may be used. The inspection principle is that each IC (excluding the ground terminals 1a and 2a) is fixed to the potential on the power supply side (by the power supply devices 771 and 773) in each of the ICs 41 and 42, and the current between the power supply and ground (that is, standby current). ) Is measured by ammeters 772 and 774 provided in the inspection apparatus 770. If this current falls below a predetermined very small current value (for example, 0.5 μA or 0.1 μA), it is determined that the ICs 21 and 22 are normal without internal damage. In FIG. 6, reference numeral 775 denotes a switch that switches according to an object whose standby current is measured.

なお、図6では、IC42において、電源スイッチ端子2e、電源端子2bに接続の配線パターン3cが共通化しているので、電源スイッチ端子2eは電源端子2bと同電位にしかならない。しかしこのIC42の場合、スタンバイ電流の測定という意味では、電源スイッチ端子2eをグラウンドと同電位にしてこれを測定するほうが正確な測定ができる。このような測定に対応するには、回路板100の側で、電源スイッチ端子2eに接続の配線パターンと、電源端子2bに接続の配線パターンとを電気的に別々のパターンにする。回路板100を実際に使用するときにこれらを電気的に接続する。   In FIG. 6, since the wiring pattern 3c connected to the power switch terminal 2e and the power terminal 2b is shared in the IC 42, the power switch terminal 2e has only the same potential as the power terminal 2b. However, in the case of the IC 42, in the sense of measuring the standby current, it is possible to perform a more accurate measurement by measuring the power switch terminal 2e with the same potential as the ground. In order to cope with such measurement, on the circuit board 100 side, the wiring pattern connected to the power switch terminal 2e and the wiring pattern connected to the power supply terminal 2b are electrically separated. These are electrically connected when the circuit board 100 is actually used.

次に、図7は、本発明の一実施形態である検査方法を実施する態様を示す構成図である。同図において、すでに説明した図中に登場のものと同一のものには同一符号を付してある。図7では、特に、検査すべき回路板100と検査装置(本体)70との間の設けられるべき構成物について説明する。   Next, FIG. 7 is a block diagram showing a mode for carrying out the inspection method according to one embodiment of the present invention. In the figure, the same reference numerals are given to the same elements as those appearing in the already described figures. In FIG. 7, in particular, components to be provided between the circuit board 100 to be inspected and the inspection apparatus (main body) 70 will be described.

図示するように、回路板100にはその上下から板状に構成されたプレス部70b、70cを当てがって、プレス部70b、70c内の所定位置に設けられた検査針が、回路板100の両主面上の検査ランドに突き当てられるようにする。プレス部70b、70cは、その本体材料が、例えば、図示上下方向の圧縮力により縮み得る素材からなっている。このようなプローブ部の一部としてのプレス部70b、70cを用いれば、検査針それぞれに別々に突き当てるよりプロービングは非常に容易になる。プレス部70b、70c(の検査針)と検査装置(本体)70との間には、プローブ部の別の一部としてのケーブル部70aを設ける。   As shown in the figure, the circuit board 100 has press parts 70b, 70c configured in a plate shape from above and below, and inspection needles provided at predetermined positions in the press parts 70b, 70c are provided on the circuit board 100. So that it can abut against the inspection lands on both main surfaces. The press portions 70b and 70c are made of a material whose main body material can be shrunk by, for example, a compressive force in the illustrated vertical direction. If the press parts 70b and 70c as a part of such a probe part are used, probing becomes very easy rather than contacting each test needle separately. Between the press portions 70b and 70c (inspection needles) and the inspection device (main body) 70, a cable portion 70a as another part of the probe portion is provided.

次に、図8は、本発明の別の実施形態である検査方法を実施する態様を示す構成図である。同図において、すでに説明した図中に登場のものと同一のものには同一符号を付してある。図8は、特に、検査すべき回路板100Aとして多面付けに構成されたものを検査対象とする場合を示している。   Next, FIG. 8 is a block diagram showing a mode for carrying out an inspection method which is another embodiment of the present invention. In the figure, the same reference numerals are given to the same elements as those appearing in the already described figures. FIG. 8 particularly shows a case in which a circuit board 100A to be inspected is configured to have multiple impositions to be inspected.

回路板100Aは、回路板100のように構成された板が、同一の大型の板上に並んで複数設けられている板(多面付け回路板)である。このような回路板100Aは、その後ダイシングにより個片化されそれぞれの回路板となる。同一の大型の板上に並べて製造することで製造効率の向上を図ったものである。   The circuit board 100A is a board (multi-faced circuit board) in which a plurality of boards configured like the circuit board 100 are provided side by side on the same large board. Such circuit board 100A is then separated into individual circuit boards by dicing. Manufacturing efficiency is improved by arranging and manufacturing them on the same large plate.

この検査の態様は、このような多面付け回路板100Aに対して、一度に、上記述べてきたような検査を行うことを意図している。すなわち、多面付け回路板100Aに対応してプレス部70bA、70cAもその全面に対してプロービングが可能な面積とする。ケーブル部70aAは、多面付けの分だけ通信線の数が増加している。検査装置(本体)70Aには、上記で述べた検査装置(本体)70のほかに、対象切替え部701を設ける。対象切替え部701は、回路板100A上で検査されるべき個々の部分への(からの)進路選択(すなわち、マルチプレクスおよびデマルチプレクス)を行う。なお、対象切替え部701は、プレス部70bA、70cAの側に設けることもできる。この場合、ケーブル部70aAは、通信線の数が図7に示した場合からあまり増加せずに済む。   This inspection mode is intended to perform the inspection as described above on such a multi-sided circuit board 100A at a time. That is, the press portions 70bA and 70cA also have an area capable of probing the entire surface corresponding to the multi-sided circuit board 100A. In the cable part 70aA, the number of communication lines is increased by the amount of multiple impositions. In addition to the inspection apparatus (main body) 70 described above, the inspection apparatus (main body) 70A is provided with a target switching unit 701. The object switching unit 701 performs route selection (that is, multiplexing and demultiplexing) to / from individual portions to be inspected on the circuit board 100A. Note that the target switching unit 701 can be provided on the side of the press units 70bA and 70cA. In this case, the cable portion 70aA does not increase so much from the case where the number of communication lines is shown in FIG.

1a,1b,1c,1d,1e,2a,2b,2c,2d,2e,2f…IC端子、3a,3b,3c,3d,3e,3f,3g…配線パターン、9a,9b,9c,9d,9e,9f,9g…検査針、11,12,13,14,15…絶縁層、21…配線層(配線パターン)、22…配線層(配線パターン)、22a…ランドパターン、23…配線層(配線パターン)、24…配線層(配線パターン)、25…配線層(配線パターン)、26…配線層(配線パターン)、31,32,34,35…層間接続体(導電性組成物印刷による導電性バンプ)、33…スルーホール導電体、41,42…IC、41a,42a…IC端子、51,52…はんだ、61,62…はんだレジスト、70…検査装置(本体)、70A…検査装置(本体;多面付け回路板対応)、70a…ケーブル部(プローブ部の一部)、70b,70c…プレス部(プローブ部の一部)、70aA…ケーブル部(プローブ部の一部;多面付け回路板対応)、70bA,70cA…プレス部(プローブ部の一部;多面付け回路板対応)、71…信号発生部、71a…クロック発生部、71b…スレーブアドレス(またはコマンド)発生部、72…ACK判定部、73…電流値判定部、74…検査装置電源部、75…ライトプロテクト設定部、100…回路板、100A…回路板(多面付け)、701…対象切替え部、770…検査装置、771,773…検査装置電源部、772,774…電流計、775…スイッチ。   1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f... IC terminals, 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f, 3g ... wiring patterns, 9a, 9b, 9c, 9d, 9e, 9f, 9g ... inspection needles, 11, 12, 13, 14, 15 ... insulating layer, 21 ... wiring layer (wiring pattern), 22 ... wiring layer (wiring pattern), 22a ... land pattern, 23 ... wiring layer ( Wiring pattern), 24 ... wiring layer (wiring pattern), 25 ... wiring layer (wiring pattern), 26 ... wiring layer (wiring pattern), 31, 32, 34, 35 ... interlayer connection (conducting by conductive composition printing) , 33 ... through-hole conductor, 41, 42 ... IC, 41a, 42a ... IC terminal, 51,52 ... solder, 61,62 ... solder resist, 70 ... inspection device (main body), 70A ... inspection device ( Body; many 70a ... cable part (part of the probe part), 70b, 70c ... press part (part of the probe part), 70aA ... cable part (part of the probe part; compatible with multi-faced circuit board), 70bA, 70cA ... Pressing part (part of probe part; corresponding to multi-faced circuit board), 71 ... Signal generating part, 71a ... Clock generating part, 71b ... Slave address (or command) generating part, 72 ... ACK determining part, 73 ... Current value determination unit, 74 ... Inspection device power supply unit, 75 ... Write protect setting unit, 100 ... Circuit board, 100A ... Circuit board (multi-sided), 701 ... Target switching unit, 770 ... Inspection device, 771,773 ... Inspection Device power supply, 772, 774 ... ammeter, 775 ... switch.

Claims (2)

第1のクロック入力端子と第1のシリアルデータ入出力端子とを有し、所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する第1の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記第1のシリアルデータ入出力端子から第1の認知信号を出力する第1のICと、第2のクロック入力端子と第2のシリアルデータ入出力端子とを有し、前記所定周波数のクロックが前記第2のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1の所定シリアルデータとは異なる第2の所定シリアルデータが前記第2のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記第2のシリアルデータ入出力端子から第2の認知信号を出力する第2のICとが実装され、前記第1のICが、電流吸い込み端子をさらに有し、かつ、前記所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1、第2の所定シリアルデータとは異なる第3の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記電流吸い込み端子から内部に向かって所定大きさの電流を吸い込むICであり、前記第1のクロック入力端子と前記第2のクロック入力端子とを電気的につなげる第1の配線パターンと、前記第1のシリアルデータ入出力端子と前記第2のシリアルデータ入出力端子とを電気的につなげる第2の配線パターンと、前記第1のICの前記電流吸い込み端子に電気的に導通する第3の配線パターンとを備えた回路板を対象とする検査方法であって、
前記第1の配線パターンに導通して前記回路板に第1の検査針を突き当てるとともに前記第2の配線パターンに導通して前記回路板に第2の検査針を突き当て、
前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第1の所定シリアルデータを供給し、
前記第2の検査針に前記第1の認知信号が検知できたか否かを判定し、
前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第2の所定シリアルデータを供給し、
前記第2の検査針に前記第2の認知信号が検知できたか否かを判定し、
前記第3の配線パターンに導通して前記回路板に第3の検査針を突き当て、
前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第3の所定シリアルデータを供給し、
前記第3の検査針を介して前記所定大きさの電流が検知できたか否かを判定すること
を特徴とする回路板の検査方法。
A first clock input terminal and a first serial data input / output terminal; a clock having a predetermined frequency is connected to the first clock input terminal; and first predetermined serial data synchronized with the clock having the predetermined frequency is A first IC that outputs a first recognition signal from the first serial data input / output terminal, a second clock input terminal, and a second serial as they are respectively input to the first serial data input / output terminal A second predetermined serial data different from the first predetermined serial data, wherein the second clock input terminal is synchronized with the clock having the predetermined frequency. A second IC that outputs a second recognition signal from the second serial data input / output terminal as it is input to the second serial data input / output terminal; Is mounted, the first IC is a current sink terminal further and the a predetermined frequency of the clock is the first clock input terminal, synchronized to the the predetermined frequency clock, said first, second An IC that sucks in a predetermined amount of current from the current sink terminal inward as third predetermined serial data different from the predetermined serial data is input to the first serial data input / output terminal, A first wiring pattern that electrically connects the first clock input terminal and the second clock input terminal, and the first serial data input / output terminal and the second serial data input / output terminal are electrically connected. object and the second wiring pattern, the third circuit board and a wiring pattern electrically conductive to the current sink terminal of the first IC to connect the manner There is provided an inspection method for,
Conducting to the first wiring pattern and abutting the first inspection needle against the circuit board and conducting to the second wiring pattern and abutting the second inspection needle to the circuit board,
Supplying a clock of the predetermined frequency to the first inspection needle and simultaneously supplying the first predetermined serial data to the second inspection needle;
Determining whether the first recognition signal is detected by the second inspection needle;
Supplying the clock of the predetermined frequency to the first inspection needle and simultaneously supplying the second predetermined serial data to the second inspection needle;
Determining whether the second recognition signal is detected by the second inspection needle ;
Conducting the third wiring pattern and butting a third inspection needle against the circuit board,
Supplying the clock of the predetermined frequency to the first inspection needle and simultaneously supplying the third predetermined serial data to the second inspection needle;
A method for inspecting a circuit board, comprising: determining whether or not the current of the predetermined magnitude has been detected via the third inspection needle .
第1のクロック入力端子と第1のシリアルデータ入出力端子とを有し、所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する第1の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記第1のシリアルデータ入出力端子から第1の認知信号を出力する第1のICと、第2のクロック入力端子と第2のシリアルデータ入出力端子とを有し、前記所定周波数のクロックが前記第2のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1の所定シリアルデータとは異なる第2の所定シリアルデータが前記第2のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記第2のシリアルデータ入出力端子から第2の認知信号を出力する第2のICとが実装され、前記第1のICが、電流吸い込み端子をさらに有し、かつ、前記所定周波数のクロックが前記第1のクロック入力端子に、該所定周波数のクロックに同期する、前記第1、第2の所定シリアルデータとは異なる第3の所定シリアルデータが前記第1のシリアルデータ入出力端子にそれぞれ入力されるに従い、前記電流吸い込み端子から内部に向かって所定大きさの電流を吸い込むICであり、前記第1のクロック入力端子と前記第2のクロック入力端子とを電気的につなげる第1の配線パターンと、前記第1のシリアルデータ入出力端子と前記第2のシリアルデータ入出力端子とを電気的につなげる第2の配線パターンと、前記第1のICの前記電流吸い込み端子に電気的に導通する第3の配線パターンとを備えた回路板を対象とする検査装置であって、
前記第1の配線パターンに導通して前記回路板に第1の検査針を突き当てかつ前記第2の配線パターンに導通して前記回路板に第2の検査針を突き当て、さらに前記第3の配線パターンに導通して前記回路板に第3の検査針を突き当てるプローブ部と、
前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第1の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第1の信号発生部と、
前記第2の検査針に前記第1の認知信号が検知できたか否かを判定する第1の判定部と、
前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第2の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第2の信号発生部と、
前記第2の検査針に前記第2の認知信号が検知できたか否かを判定する第2の判定部と
前記第1の検査針に前記所定周波数のクロックを供給し同時に前記第2の検査針に前記第3の所定シリアルデータを供給すべく信号を発生する第3の信号発生部と、
前記第3の検査針を介して前記所定大きさの電流が検知できたか否かを判定する第3の判定部と
を具備することを特徴とする回路板の検査装置。
A first clock input terminal and a first serial data input / output terminal; a clock having a predetermined frequency is connected to the first clock input terminal; and first predetermined serial data synchronized with the clock having the predetermined frequency is A first IC that outputs a first recognition signal from the first serial data input / output terminal, a second clock input terminal, and a second serial as they are respectively input to the first serial data input / output terminal A second predetermined serial data different from the first predetermined serial data, wherein the second clock input terminal is synchronized with the clock having the predetermined frequency. A second IC that outputs a second recognition signal from the second serial data input / output terminal as it is input to the second serial data input / output terminal; Is mounted, the first IC is a current sink terminal further and the a predetermined frequency of the clock is the first clock input terminal, synchronized to the the predetermined frequency clock, said first, second An IC that sucks in a predetermined amount of current from the current sink terminal inward as third predetermined serial data different from the predetermined serial data is input to the first serial data input / output terminal, A first wiring pattern that electrically connects the first clock input terminal and the second clock input terminal, and the first serial data input / output terminal and the second serial data input / output terminal are electrically connected. object and the second wiring pattern, the third circuit board and a wiring pattern electrically conductive to the current sink terminal of the first IC to connect the manner There is provided an inspection apparatus for,
Conducting to the first wiring pattern and abutting a first inspection needle against the circuit board, conducting to the second wiring pattern and abutting a second inspection needle to the circuit board, and further to the third a probe portion which conducts the wiring pattern Ru abuts the third test needle to the circuit board,
A first signal generator for generating a signal to supply the first predetermined needle to the first inspection needle and simultaneously supply the first predetermined serial data to the second inspection needle;
A first determination unit that determines whether or not the first recognition signal can be detected by the second inspection needle;
A second signal generator for generating a signal to supply the second predetermined serial data to the second inspection needle at the same time as supplying the clock of the predetermined frequency to the first inspection needle;
A second determination unit that determines whether or not the second recognition signal can be detected by the second inspection needle ;
A third signal generator for generating a signal to supply the first predetermined frequency to the first inspection needle and simultaneously supply the third predetermined serial data to the second inspection needle;
A circuit board inspection apparatus comprising: a third determination unit configured to determine whether or not the current of the predetermined magnitude has been detected via the third inspection needle .
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