JP5341374B2 - Heat treatment equipment - Google Patents

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Description

本発明は、ホストコンピュータによって管理されるように構成されたシステムに用いられる熱処理装置に関する。   The present invention relates to a heat treatment apparatus used in a system configured to be managed by a host computer.

熱処理装置において、ワークの搬入がされる前に炉内の温度を所望の温度にて安定させることが重要である。例えば、縦型拡散炉のような縦型熱処理装置においては、ワークの搬入の前にプロセス温度よりも低い待機温度にて炉内を安定させるとともに、ワークに対する熱処理を開始する際にプロセス温度まで炉内を昇温させるように構成されるものが多い(例えば、特許文献1および2参照。)このような熱処理装置では、ワークの搬出の際には、炉内をプロセス温度から待機温度まで降温させ、また次のワークが搬入されるまでのインターバルの間ずっと炉内を待機温度のまま維持しつつ次のワークの受け入れ態勢を整えていた。
特開2004−22987号公報 特開2001−144025号公報
In the heat treatment apparatus, it is important to stabilize the temperature in the furnace at a desired temperature before the work is loaded. For example, in a vertical heat treatment apparatus such as a vertical diffusion furnace, the inside of the furnace is stabilized at a standby temperature lower than the process temperature before the work is carried in, and the furnace is heated to the process temperature when the heat treatment for the work is started. In many cases, the temperature of the inside is increased (for example, see Patent Documents 1 and 2). In such a heat treatment apparatus, the temperature in the furnace is lowered from the process temperature to the standby temperature when the workpiece is unloaded. In addition, while maintaining the inside of the furnace at the standby temperature throughout the interval until the next workpiece was carried in, the system was ready for receiving the next workpiece.
JP 2004-22987 A JP 2001-1444025 A

ところが、従来の熱処理装置においては、ワークの排出から次のワークの搬入までのインターバルの長短にかかわらず炉内が待機温度のまま維持されている結果、インターバルが長くなる場合では、その間ずっと炉内を待機温度に維持するためのエネルギーが無駄に消費されるという不具合があった。   However, in the conventional heat treatment apparatus, as a result of maintaining the inside of the furnace at the standby temperature regardless of the interval between the discharge of the workpiece and the delivery of the next workpiece, when the interval becomes long, There is a problem that energy for maintaining the temperature at the standby temperature is wasted.

一方で、次のワークの搬入時において炉内が待機温度にて安定していない場合には、次のワークを搬入する前に炉内の温度を待機温度に安定させるための待ち時間が必要となり、スループットが悪くなるという問題があった。   On the other hand, if the inside of the furnace is not stable at the standby temperature when the next workpiece is loaded, a waiting time is required to stabilize the temperature in the furnace to the standby temperature before loading the next workpiece. There was a problem that the throughput deteriorated.

この発明の目的は、次のワークに対する処理に支障を来たすことなく、省エネルギー化を図ることが可能な熱処理装置を提供することである。   An object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus that can save energy without hindering the processing for the next workpiece.

本発明に係る熱処理装置は、ホストコンピュータによって管理されるように構成される。この熱処理装置は、熱処理手段、通信手段、および制御手段を少なくとも備える。   The heat treatment apparatus according to the present invention is configured to be managed by a host computer. This heat treatment apparatus includes at least heat treatment means, communication means, and control means.

熱処理手段は、ワークに対する熱処理時にプロセス温度に設定されるとともに、ワークの搬入および排出時にプロセス温度よりも低い待機温度に設定されるように構成される。熱処理手段の構成例としては、炉体、炉体を加熱するヒータ、およびヒータを駆動制御するコントローラ等を含む構成が挙げられる。熱処理手段に対する温度制御は、例えば、炉体の温度を計測しつつヒータを駆動制御することによって実現するが、これには限定されない。   The heat treatment means is configured to be set to a process temperature at the time of heat treatment on the workpiece, and to be set to a standby temperature lower than the process temperature at the time of loading and discharging the workpiece. Examples of the configuration of the heat treatment means include a configuration including a furnace body, a heater for heating the furnace body, and a controller for driving and controlling the heater. The temperature control for the heat treatment means is realized, for example, by controlling the heater while measuring the temperature of the furnace body, but is not limited thereto.

通信手段は、ホストコンピュータと通信可能に構成される。例えば、通信手段は、ワークの排出作業期間(例えば、ワークの排出の完了時)やインターバル中の任意のタイミングに、ホストコンピュータに接続するように構成される。通信手段がホストコンピュータに接続するタイミングは省電力温度の設定の可否を判定する任意のタイミングで良く、上述の例に限定されるものではない。通信手段は、例えば、工場の生産管理ツールであるHOST通信を実行可能に構成される。   The communication means is configured to be able to communicate with the host computer. For example, the communication means is configured to be connected to the host computer at a work discharge work period (for example, when work discharge is completed) or at an arbitrary timing during the interval. The timing at which the communication means connects to the host computer may be any timing for determining whether or not the power-saving temperature can be set, and is not limited to the above example. The communication means is configured to be able to execute HOST communication that is a production management tool of a factory, for example.

制御手段は、通信手段を介してホストコンピュータからシステムのプロセス情報を取得するとともに、取得したプロセス情報に基づいて熱処理手段を制御するように構成される。制御手段は、プロセス情報に基づいて次のワークに対する処理開始までのインターバルの長さが所定値以上であると判断したときに、インターバルにおける所定時間だけ熱処理手段を待機温度よりも低い省電力温度に設定する。また、予め設定されたユーザ設定温度が省電力温度以上であるときには、インターバルのうちの所定時間だけ熱処理手段を省電力温度に換えてユーザ設定温度に設定する。 The control means is configured to acquire system process information from the host computer via the communication means and to control the heat treatment means based on the acquired process information. When the control means determines that the length of the interval until the start of processing for the next workpiece is greater than or equal to a predetermined value based on the process information, the control means sets the heat treatment means to a power saving temperature lower than the standby temperature for a predetermined time in the interval. Set. When the preset user set temperature is equal to or higher than the power saving temperature, the heat treatment means is changed to the power saving temperature for a predetermined time in the interval and set to the user set temperature.

ここでの所定時間とは、熱処理手段を省電力温度に設定しても次の熱処理に支障を来たさない期間の長さを意味する。制御手段が、ホストコンピュータからシステムのプロセス情報を取得することによって、次のワークに対する処理開始までの待ち時間が明確になる。このため、熱処理手段を待機温度以下の温度に降温させても、次のワークに対する処理に支障を来たすことなく熱処理手段を待機温度まで復帰させ易い。省電力温度および所定時間は、次のワークに対する処理開始までの時間と待機温度に回復するまでに要する時間とに基づいて決定されることが好ましい。   The predetermined time here means the length of a period during which the next heat treatment is not hindered even if the heat treatment means is set to the power saving temperature. When the control means acquires the process information of the system from the host computer, the waiting time until the start of processing for the next work becomes clear. For this reason, even if the temperature of the heat treatment means is lowered to a temperature equal to or lower than the standby temperature, it is easy to return the heat treatment means to the standby temperature without hindering the processing for the next workpiece. The power saving temperature and the predetermined time are preferably determined based on the time until the start of processing for the next workpiece and the time required to recover to the standby temperature.

この構成においては、ホストコンピュータにてワーク(熱処理製品)の時間管理ができていることを利用して、制御手段がコストコンピュータからプロセス情報を取得する。その結果、制御手段は、次処理まで待ち時間の長さを把握することが可能になるため、次処理にて支障を来たさない範囲で熱処理装置の省エネルギー化を図ることが可能になる。例えば、熱処理装置側にてヒータの待機温度を最低設定温度、もしくは室温まで下げる事が可能になる。さらに、次のワークに対する処理がいつ開始されるかが把握されるため、次のワークに対する処理を行う前には、熱処理手段を待機温度にて安定させるように熱処理制御を行うことが可能になる。   In this configuration, the control means acquires process information from the cost computer by utilizing the time management of the workpiece (heat treatment product) by the host computer. As a result, since the control means can grasp the length of the waiting time until the next process, it is possible to save energy in the heat treatment apparatus within a range that does not hinder the next process. For example, the standby temperature of the heater can be lowered to the minimum set temperature or room temperature on the heat treatment apparatus side. Furthermore, since it is grasped when the process for the next workpiece is started, it becomes possible to control the heat treatment so that the heat treatment means is stabilized at the standby temperature before the process for the next workpiece is performed. .

以上の構成により、工場等の製造システムにおける無駄なエネルギー(例えば、電力やガス)が削減される。また、二酸化炭素の排出量の削減を行うことが可能となり、地球温暖化防止に貢献することが可能になる。   With the above configuration, useless energy (for example, electric power or gas) in a manufacturing system such as a factory is reduced. In addition, it becomes possible to reduce the amount of carbon dioxide emissions, which can contribute to the prevention of global warming.

本発明によれば、次のワークに対する処理に支障を来たすことなく、省エネルギー化を図ることが可能になる。   According to the present invention, energy saving can be achieved without hindering the processing for the next workpiece.

図1は、本発明の実施形態に係る熱処理装置10が適用される製造システムの一部を示している。同図に示すように、熱処理装置10は、製造システム内に構築されたネットワーク16に接続される。この実施形態では、熱処理装置10は、例えば縦型拡散炉等の縦型熱処理装置であるが、熱処理装置10の構成は縦型熱処理装置に限定されるものではない。   FIG. 1 shows a part of a manufacturing system to which a heat treatment apparatus 10 according to an embodiment of the present invention is applied. As shown in the figure, the heat treatment apparatus 10 is connected to a network 16 constructed in the manufacturing system. In this embodiment, the heat treatment apparatus 10 is a vertical heat treatment apparatus such as a vertical diffusion furnace, but the configuration of the heat treatment apparatus 10 is not limited to the vertical heat treatment apparatus.

熱処理装置10は、熱処理部14、制御部13、および通信部12を少なくとも備える。熱処理部14は、制御部13から供給される設定内容に基づいてワークに対して熱処理を行うように構成される。制御部13は、熱処理装置10内の各構成要素を統括的に制御するように構成される。通信部12は、ネットワーク16に接続可能に構成されており、主にネットワーク16を介してホストコンピュータ18との間で行われる通信を制御するように構成される。また、通信部12は、ワーク排出完了時に、ホストコンピュータ18に接続するように構成される。この実施形態では、ワーク排出完了時に省電力温度の設定の可否を判定する例を説明するが、この判定タイミングはワークの排出作業期間における他のタイミングやインターバル中の任意のタイミング等であっても良い。   The heat treatment apparatus 10 includes at least a heat treatment unit 14, a control unit 13, and a communication unit 12. The heat treatment unit 14 is configured to perform heat treatment on the workpiece based on the setting content supplied from the control unit 13. The control unit 13 is configured to comprehensively control each component in the heat treatment apparatus 10. The communication unit 12 is configured to be connectable to the network 16, and is configured to control communication performed mainly with the host computer 18 via the network 16. The communication unit 12 is configured to be connected to the host computer 18 when the work discharge is completed. In this embodiment, an example of determining whether or not the power-saving temperature can be set when the workpiece discharge is completed will be described. However, this determination timing may be another timing in the workpiece discharging operation period, an arbitrary timing in the interval, or the like. good.

ホストコンピュータ18は、製造システムにおける製造工程に関するプロセス情報(例えば、トラブル発生の有無、各プロセスの進捗状態等)を保有し、製造システムにおける製造工程を統括的に制御するように構成される。プロセス情報によれば、例えば熱処理装置10の前段に配置されたプロセス装置102および104における進捗状態が把握される。要するに、ホストコンピュータ18が、製造システムにおいてHOST通信による待機時間管理を実現させている。   The host computer 18 holds process information related to the manufacturing process in the manufacturing system (for example, whether a trouble has occurred, the progress status of each process, etc.), and is configured to control the manufacturing process in the manufacturing system in an integrated manner. According to the process information, for example, the progress state in the process apparatuses 102 and 104 arranged in the preceding stage of the heat treatment apparatus 10 is grasped. In short, the host computer 18 realizes standby time management by HOST communication in the manufacturing system.

図2は、ワークに対する処理の完了時における熱処理装置の制御部13の動作手順を示している。ワーク搬出が完了すると、制御部13は、通信部12を介してホストコンピュータ18からプロセス情報を取得する(S1)。   FIG. 2 shows an operation procedure of the control unit 13 of the heat treatment apparatus when the processing for the workpiece is completed. When the work unloading is completed, the control unit 13 acquires process information from the host computer 18 via the communication unit 12 (S1).

続いて、制御部13は、取得したプロセス情報に基づいて、連続して行うべき次の熱処理が存在するか否かを判断する(S2)。S2の判断ステップにおいて次の熱処理が存在する場合には、制御部13は熱処理部14を通常の待機温度に設定し(S6)、次のワークを受け入れる態勢を整える。一方で、S2の判断ステップにおいて次の熱処理が存在しない場合には、制御部13はプロセス情報に基づいてインターバルが所定時間以上になるか否かを判断する(S3)。   Subsequently, the control unit 13 determines whether there is a next heat treatment to be performed continuously based on the acquired process information (S2). If there is a next heat treatment in the determination step of S2, the control unit 13 sets the heat treatment unit 14 to the normal standby temperature (S6) and prepares to receive the next workpiece. On the other hand, when the next heat treatment does not exist in the determination step of S2, the control unit 13 determines whether or not the interval exceeds a predetermined time based on the process information (S3).

S3の判断ステップにおいて、インターバルが所定時間未満の場合、つまりインターバルが比較的短い場合には、制御部13は熱処理部14を通常の待機温度に設定し(S6)、次のワークを受け入れる態勢を整える。   In the determination step of S3, when the interval is less than the predetermined time, that is, when the interval is relatively short, the control unit 13 sets the heat treatment unit 14 to a normal standby temperature (S6) and is ready to accept the next workpiece. Arrange.

一方で、S3の判断ステップにおいて、インターバルが所定時間以上の場合、つまりインターバルが比較的長い場合には、制御部13は取得したプロセス情報に基づいて、許容される省電力温度を計算する(S4)。省電力温度は、原則として、次のワーク搬入がされるまでに熱処理部14を待機温度に復帰可能な温度のうちで最低の温度である。つまり、インターバルが長ければ長いほど、省電力温度を低く設定することが可能になる。S4において制御部13は、プロセス情報に基づいて、省電力温度の値を計算するとともに、省電量温度に維持可能な省電力期間の長さを計算する。   On the other hand, in the determination step of S3, when the interval is equal to or longer than the predetermined time, that is, when the interval is relatively long, the control unit 13 calculates an allowable power saving temperature based on the acquired process information (S4). ). The power saving temperature is, in principle, the lowest temperature among the temperatures at which the heat treatment unit 14 can be returned to the standby temperature before the next work is loaded. That is, the longer the interval, the lower the power-saving temperature can be set. In S4, the control unit 13 calculates the value of the power saving temperature based on the process information, and calculates the length of the power saving period that can be maintained at the power saving temperature.

続いて、制御部13は、計算で得られた省電力期間だけ熱処理部14を省電力温度に設定する(S5)。省電力期間が経過すると、制御部13は熱処理部14を通常の待機温度に設定し(S6)、次のワークを受け入れる態勢を整える。   Subsequently, the control unit 13 sets the heat treatment unit 14 to the power saving temperature for the power saving period obtained by the calculation (S5). When the power saving period elapses, the control unit 13 sets the heat treatment unit 14 to a normal standby temperature (S6), and prepares to receive the next workpiece.

図3(A)は、インターバルの間に省電力期間を設けた場合の温度変化を示している。図3(A)のように、省電力期間において待機温度よりも低い省電力温度に熱処理部14を設定することにより、次のワークが搬入されるまでの間におけるガスや電力等のエネルギー資源の消費量を減らすことが可能となる。インターバルの長さに関係なく熱処理部14を常に待機温度にて維持していた場合に比較すると、概ね、図3(B)に示すハッチング箇所に対応する量のエネルギーの消費が削減されたことになる。ただし、実際には、省電力温度から待機温度までの昇温の際に必要なエネルギーを考慮する必要があるが、その分を差し引いたとしても十分な量のエネルギーが節約されたと言える。   FIG. 3A shows a temperature change when a power saving period is provided between the intervals. As shown in FIG. 3A, by setting the heat treatment unit 14 to a power saving temperature lower than the standby temperature during the power saving period, energy resources such as gas and power until the next work is carried in. It is possible to reduce consumption. Compared to the case where the heat treatment unit 14 is always maintained at the standby temperature regardless of the length of the interval, the amount of energy consumption corresponding to the hatched portion shown in FIG. Become. In practice, however, it is necessary to consider the energy required for raising the temperature from the power saving temperature to the standby temperature, but even if the amount is subtracted, it can be said that a sufficient amount of energy has been saved.

さらに、次のワークが搬入されるまでには、熱処理部14が待機温度にて安定するように温度制御が実行されるため、消費電力および消費ガスを節約したことによって次の熱処理に支障を来たすことがない。   Further, since temperature control is performed so that the heat treatment unit 14 is stabilized at the standby temperature until the next workpiece is carried in, the next heat treatment is hindered by saving power consumption and gas consumption. There is nothing.

以上の実施形態によれば、工場等の製造システムにおける無駄なエネルギー(例えば、電力やガス)が削減される。また、二酸化炭素の排出量の削減を行うことが可能となり、地球温暖化防止に貢献することが可能になる。   According to the above embodiment, useless energy (for example, electric power and gas) in a manufacturing system such as a factory is reduced. In addition, it becomes possible to reduce the amount of carbon dioxide emissions, which can contribute to the prevention of global warming.

図4は、ワークに対する処理の完了時における熱処理装置の制御部13の動作手順の他の例を示している。基本的な動作手順は図2にて説明したものと同様であるが、ここでは省電力期間においてユーザ設定温度に熱処理部14を維持するオプションが加わっている。   FIG. 4 shows another example of the operation procedure of the control unit 13 of the heat treatment apparatus when the processing for the workpiece is completed. The basic operation procedure is the same as that described with reference to FIG. 2 except that an option for maintaining the heat treatment unit 14 at the user set temperature during the power saving period is added.

ワーク搬出が完了すると、制御部13は、通信部12を介してホストコンピュータ18からプロセス情報を取得する(S11)。   When the work unloading is completed, the control unit 13 acquires process information from the host computer 18 via the communication unit 12 (S11).

続いて、制御部13は、取得したプロセス情報に基づいて、連続して行うべき次の熱処理が存在するか否かを判断する(S12)。S12の判断ステップにおいて次の熱処理が存在する場合には、制御部13は熱処理部14を通常の待機温度に設定し(S19)、次のワークを受け入れる態勢を整える。一方で、S12の判断ステップにおいて次の熱処理が存在しない場合には、制御部13はプロセス情報に基づいてインターバルが所定時間以上になるか否かを判断する(S13)。   Subsequently, the control unit 13 determines whether there is a next heat treatment to be performed continuously based on the acquired process information (S12). If there is a next heat treatment in the determination step of S12, the control unit 13 sets the heat treatment unit 14 to a normal standby temperature (S19) and prepares to receive the next workpiece. On the other hand, when the next heat treatment does not exist in the determination step of S12, the control unit 13 determines whether or not the interval exceeds a predetermined time based on the process information (S13).

S13の判断ステップにおいて、インターバルが所定時間未満の場合、つまりインターバルが比較的短い場合には、制御部13は熱処理部14を通常の待機温度に設定し(S19)、次のワークを受け入れる態勢を整える。   In the determination step of S13, when the interval is less than the predetermined time, that is, when the interval is relatively short, the control unit 13 sets the heat treatment unit 14 to a normal standby temperature (S19) and is ready to accept the next workpiece. Arrange.

一方で、S13の判断ステップにおいて、インターバルが所定時間以上の場合、つまりインターバルが比較的長い場合には、制御部13は取得したプロセス情報に基づいて、許容される省電力温度を計算する(S14)。ここまでの処理は、図2における処理とほぼ同一である。   On the other hand, in the determination step of S13, when the interval is equal to or longer than the predetermined time, that is, when the interval is relatively long, the control unit 13 calculates an allowable power saving temperature based on the acquired process information (S14). ). The processing so far is almost the same as the processing in FIG.

続いて、制御部13は、ユーザ設定温度が存在するか否かを判断する(S15)。ここでユーザ設定温度とは、インターバルにおいて設定すべき設定温度であって予めユーザの希望により入力された設定温度である。例えば、炉内温度を必要以上に下げることを嫌うユーザであればユーザ設定温度が高めに設定される一方で、炉内温度を常温まで下げても良いユーザであればユーザ設定温度が低めに設定される。   Subsequently, the control unit 13 determines whether or not a user set temperature exists (S15). Here, the user set temperature is a set temperature to be set in the interval, and is a set temperature input in advance by the user's request. For example, if the user dislikes lowering the furnace temperature more than necessary, the user set temperature is set higher, while if the user who can lower the furnace temperature to room temperature, the user set temperature is set lower. Is done.

S15の判断ステップにおいて、ユーザ設定温度が存在する場合には、制御部13は、そのユーザ設定温度がS14のステップで求めた許容される省電力温度以上であるか否かを判断する(S16)。S16の判断ステップにおいて、ユーザ設定温度が許容温度以上である場合には、制御部13は所定時間だけユーザ設定温度に設定し(S17)、所定期間が経過した後に待機温度に設定し直す(S19)。ユーザ設定温度に設定する期間は、省電力温度に設定する期間と同一にしても良いし、別途プロセス情報に基づいて計算しても良い。   In the determination step of S15, when the user set temperature exists, the control unit 13 determines whether or not the user set temperature is equal to or higher than the allowable power saving temperature obtained in the step of S14 (S16). . In the determination step of S16, when the user set temperature is equal to or higher than the allowable temperature, the control unit 13 sets the user set temperature for a predetermined time (S17), and resets the standby temperature after the predetermined period has elapsed (S19). ). The period set to the user set temperature may be the same as the period set to the power saving temperature, or may be calculated separately based on the process information.

これに対して、S16の判断ステップにおいて、ユーザ設定温度が許容温度未満である場合には、制御部13は所定時間だけS14で求めた省電力温度に設定する(S18)。ここでユーザ設定温度を採用しない理由は、ユーザ設定温度に設定すると、次の熱処理までに熱処理部14を待機温度にて安定させることが困難になる虞があるからである。その後所定期間が経過した後に、制御部13は熱処理部14を待機温度に設定し直す(S19)。   On the other hand, in the determination step of S16, when the user set temperature is less than the allowable temperature, the control unit 13 sets the power saving temperature obtained in S14 for a predetermined time (S18). Here, the reason why the user set temperature is not adopted is that when the user set temperature is set, it may be difficult to stabilize the heat treatment section 14 at the standby temperature until the next heat treatment. Thereafter, after a predetermined period has elapsed, the control unit 13 resets the heat treatment unit 14 to the standby temperature (S19).

S15の判断ステップにおいて、ユーザ設定温度が存在しない場合には、制御部13は、S14のステップにて得られた省電力期間だけ熱処理部14を省電力温度に設定する(S18)。省電力期間が経過すると、制御部13は熱処理部14を通常の待機温度に設定し(S19)、次のワークを受け入れる前に熱処理部14を待機温度にて安定させる。   If there is no user set temperature in the determination step of S15, the control unit 13 sets the heat treatment unit 14 to the power saving temperature for the power saving period obtained in the step of S14 (S18). When the power saving period elapses, the control unit 13 sets the heat treatment unit 14 to a normal standby temperature (S19), and stabilizes the heat treatment unit 14 at the standby temperature before receiving the next workpiece.

以上の構成を採用することにより、次のワークに対する処理に支障を来たすことなく、ユーザの意思を尊重しつつ省エネルギー化を図ることが可能になるというメリットがある。   By adopting the above configuration, there is an advantage that it is possible to save energy while respecting the user's intention without hindering the processing for the next workpiece.

上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The above description of the embodiment is to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above embodiments but by the claims. Furthermore, the scope of the present invention is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the scope of the claims.

本発明の実施形態に係る熱処理装置が適用される製造システムの概略を示す図である。It is a figure which shows the outline of the manufacturing system with which the heat processing apparatus which concerns on embodiment of this invention is applied. 熱処理装置の制御部の動作手順の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the operation | movement procedure of the control part of heat processing apparatus. 熱処理装置の制御部による温度制御の例を示す図である。It is a figure which shows the example of the temperature control by the control part of heat processing apparatus. 熱処理装置の制御部の動作手順の他の例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the other example of the operation | movement procedure of the control part of a heat processing apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

10−熱処理装置
12−制御部
14−熱処理部
16−ネットワーク
18−ホスト装置
102,104−プロセス装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10- Heat processing apparatus 12- Control part 14- Heat processing part 16- Network 18- Host apparatus 102,104- Process apparatus

Claims (2)

ホストコンピュータによって管理されるように構成されたシステムに用いられる熱処理装置であって、
ワークに対する熱処理時にプロセス温度に設定されるとともに、ワークの搬入および排出時に前記プロセス温度よりも低い待機温度に設定されるように構成された熱処理手段と、
前記ホストコンピュータと通信可能な通信手段と、
前記通信手段を介して前記ホストコンピュータから前記システムのプロセス情報を取得するとともに、取得したプロセス情報に基づいて前記熱処理手段を制御するように構成された制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記プロセス情報に基づいて次のワークに対する処理開始までのインターバルの長さが所定値以上であると判断したときに、前記インターバルにおける所定時間だけ前記熱処理手段を前記待機温度よりも低い省電力温度に設定し、予め設定されたユーザ設定温度が前記省電力温度以上であるときには、前記インターバルのうちの所定時間だけ前記熱処理手段を前記省電力温度に換えてユーザ設定温度に設定する熱処理装置。
A heat treatment apparatus used in a system configured to be managed by a host computer,
A heat treatment means configured to be set to a process temperature at the time of heat treatment of the workpiece, and to be set to a standby temperature lower than the process temperature at the time of loading and unloading the workpiece;
Communication means capable of communicating with the host computer;
Control means configured to acquire process information of the system from the host computer via the communication means, and to control the heat treatment means based on the acquired process information;
With
When the control means determines that the length of the interval until the start of processing for the next workpiece is greater than or equal to a predetermined value based on the process information, the control means keeps the heat treatment means from the standby temperature for a predetermined time in the interval. A low power-saving temperature is set, and when the preset user-set temperature is equal to or higher than the power-saving temperature, the heat treatment means is set to the user-set temperature instead of the power-saving temperature for a predetermined time in the interval. Heat treatment equipment.
前記制御手段は、前記インターバルの長さと前記待機温度に回復するまでに要する時間の長さとに基づいて、前記省電力温度および前記所定時間を決定する請求項1に記載の熱処理装置。   2. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the control unit determines the power-saving temperature and the predetermined time based on a length of the interval and a time required to recover to the standby temperature.
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