JP5286721B2 - Transport system - Google Patents

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Description

本発明は、フロア間において被搬送物を搬送する搬送システムに関する。   The present invention relates to a transport system that transports an object to be transported between floors.

特許文献1には、製造工場等に設置されており、フロア間における被搬送物の搬送を行うリフタ装置が開示されている。かかるリフタ装置は、鉛直方向に延びていると共に互いに異なる2つのフロア間に跨って形成されたリフト空間内において昇降可能なリフト昇降体を備えている。また、リフト昇降体には移載装置が備えられている。そして、一方のフロアに設置された製造装置等の払出位置にある被搬送物を移載装置によりリフト空間内に取り込み、リフト昇降体により他方のフロアの高さ位置まで搬送した後、移載装置により該フロアに設置された製造装置等の受取位置に被搬送物を載置する。
特開2007−62984号公報
Patent Document 1 discloses a lifter device that is installed in a manufacturing factory or the like and transports an object to be transported between floors. Such a lifter device includes a lift lifting body that extends in the vertical direction and can be lifted and lowered in a lift space formed between two different floors. Moreover, the lift lifting body is provided with a transfer device. Then, a transfer object is taken into the lift space by the transfer device, such as a manufacturing device installed on one floor, and is transferred to the height position of the other floor by the lift elevator, and then the transfer device. Thus, the object to be transported is placed at a receiving position such as a manufacturing apparatus installed on the floor.
JP 2007-62984 A

上述の特許文献1のリフタ装置においては、フロア間での搬送要求が立て続けに発生した場合には、処理が滞ってしまう。すなわち、特許文献1のリフタ装置では、被搬送物を1度に1つずつ搬送するので、2番目以降に搬送される被搬送物は、リフト昇降体が往復して戻って来るまで製造装置等の払出位置で待機しなければならない。製造工場内における搬送システムは、フロア間での搬送がボトルネックとなる場合が多く、フロア間での搬送効率の向上が望まれている。加えて、上述のようにリフタ装置に移載装置が備えられている場合には、製造装置等の排出位置及び受取位置がリフタ装置の正面に位置している必要がある。したがって、製造装置等のレイアウトの自由度が損なわれる。   In the lifter device described in Patent Document 1 described above, processing is delayed when requests for transportation between floors occur in succession. That is, in the lifter device of Patent Document 1, since the objects to be conveyed are conveyed one at a time, the objects to be conveyed after the second are manufactured until the lift elevating body reciprocates and returns. You must wait at the payout position. In a transport system in a manufacturing factory, transport between floors often becomes a bottleneck, and improvement in transport efficiency between floors is desired. In addition, when the transfer device is provided in the lifter device as described above, the discharging position and the receiving position of the manufacturing device or the like need to be located in front of the lifter device. Therefore, the degree of freedom of the layout of the manufacturing apparatus or the like is impaired.

そこで、本発明の目的は、フロア間における搬送効率を向上させると共に、レイアウトの自由度を高めることができる搬送システムを提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a transport system capable of improving the transport efficiency between floors and increasing the flexibility of layout.

課題を解決するための手段及び効果Means and effects for solving the problems

本発明の搬送システムは、互いに異なる高さに位置する第1フロア及び第2フロアにそれぞれ設けられており、被搬送物が載置されるポートと、前記第1及び第2フロアの間で昇降可能であると共に1つの被搬送物を収容可能な収容領域が2つ設けられた昇降体を有するリフタ装置と、前記第1及び第2フロアにそれぞれ設けられており、前記ポートと前記昇降体の前記収容領域との間で被搬送物の積み替えを行うローダとを備え、前記リフタ装置は、2つ備えられ、2つの前記収容領域は、一方が前記第1フロアから前記第2フロアへの搬送用として用いられ、他方が前記第2フロアから前記第1フロアへの搬送用として用いられ、前記ローダは、該ローダが設けられたフロアと別のフロアへと搬送する被搬送物がある場合、前記昇降体が到着する前に搬送する被搬送物を予め支持した状態で待機し、前記昇降体が到着すると空いた状態の一方の前記収容領域に支持している被搬送物を収容した後、他方の前記収容領域に該ローダが設けられたフロアに搬送された被搬送物が収容されている場合に、搬送された被搬送物を取り出す
The transfer system according to the present invention is provided on each of the first floor and the second floor located at different heights, and moves up and down between a port on which an object to be transferred is placed and the first and second floors. And a lifter device having a lifting body provided with two storage areas capable of storing one object to be transported, and provided on the first and second floors, respectively, of the port and the lifting body. A loader that reloads an object to be conveyed with the accommodation area, and includes two lifter devices, one of the two accommodation areas being conveyed from the first floor to the second floor. When the other is used for transporting from the second floor to the first floor, and the loader has a transported object to be transported to a floor different from the floor provided with the loader, The lifting body Waiting in a state in which the object to be conveyed is supported in advance before wearing, and accommodating the object to be supported supported in one of the accommodation areas in an empty state when the lifting body arrives, and then accommodating the other When the conveyed object is accommodated on the floor where the loader is provided in the area, the conveyed object is taken out .

この構成によると、昇降体が収容領域を2つ有しているので、被搬送物を2つずつ搬送することが可能である。また、ローダが第1及び第2フロアにそれぞれ設置されているので、昇降体がこれから搬送する被搬送物があるフロアに到着する前に、該フロアにあるローダは、被搬送物を支持した状態で待機することができる。すなわち、ローダは、昇降体が到着すると、あらかじめ支持していた被搬送物を該昇降体の一方の収容領域に収容し、その後、該昇降体の他方の収容領域に他方のフロアから搬送された被搬送物が収容されている場合には、該被搬送物を取り出す。このように、ローダが被搬送物を支持した状態で待機することができるので、次に搬送する被搬送物をポートに載置しておくことができる。したがって、ポートと昇降体の収容領域との間の積み替え作業を滞りなく行うことが可能となる。以上により、フロア間における搬送効率を向上させることができる。さらに、ローダが第1及び第2フロアにそれぞれ設置されているので、ポートの位置はリフタ装置の正面に限定される必要はなく、レイアウトの自由度を高めることができる。
また、2つの収容領域の役割を限定して割り当てることによって、効率良く被搬送物の搬送を行うことができる。
更に、リフタ装置が1つである場合には、被搬送物を収容した昇降体が、一方のフロアから他方のフロアに向けて移動を開始した後、該昇降体が往復して再度一方のフロアに戻って来るまで、次の被搬送物は一方のフロアで待機する必要がある。しかしながら、リフタ装置が2つであるこの構成によると、一方の昇降体が往復して戻って来るのを待つ必要がない。したがって、フロア間における搬送効率をさらに向上させることができる。
According to this structure, since the raising / lowering body has two accommodation areas, it is possible to convey a to-be-conveyed object two by two. In addition, since the loaders are respectively installed on the first and second floors, the loader on the floor supports the objects to be conveyed before the lifting body arrives at the floor with the objects to be conveyed. Can wait. That is, when the lifting body arrives, the loader stores the object to be supported in advance in one storage area of the lifting body, and then is transported from the other floor to the other storage area of the lifting body. When the object to be conveyed is stored, the object to be conveyed is taken out. Thus, since the loader can stand by in the state of supporting the object to be conveyed, the object to be conveyed next can be placed on the port. Therefore, it is possible to perform the transshipment work between the port and the accommodation area of the lifting body without any delay. As described above, the conveyance efficiency between floors can be improved. Further, since the loaders are respectively installed on the first and second floors, the position of the port need not be limited to the front surface of the lifter device, and the degree of layout freedom can be increased.
In addition, the object to be transported can be efficiently transported by limiting and assigning the roles of the two storage areas.
Furthermore, when there is only one lifter device, after the lifting body that accommodates the object to be transported starts moving from one floor to the other floor, the lifting body reciprocates again and again on one floor. The next transported object needs to wait on one floor until it returns to. However, according to this configuration having two lifter devices, there is no need to wait for one lifting body to reciprocate and return. Therefore, the conveyance efficiency between floors can be further improved.

さらに、本発明の搬送システムでは、前記ローダが、該ローダが設けられたフロアと同一のフロアに位置する前記昇降体が有する全ての前記収容領域及び前記ポートに対して被搬送物の載置及び取り出しを行うことができる。この構成によると、ポートとリフタ装置の収容領域との間における被搬送物の積み替えのために、各フロアにローダを複数設ける必要がないので、システムの設備構成を簡略にすることができる。   Furthermore, in the transport system according to the present invention, the loader is configured to place an object to be transported on all the storage areas and the ports of the lifting body located on the same floor as the floor on which the loader is provided. Removal can be performed. According to this configuration, since it is not necessary to provide a plurality of loaders on each floor in order to reload the transported object between the port and the storage area of the lifter device, the system configuration of the system can be simplified.

加えて、本発明の搬送システムでは、前記ローダが、被搬送物を支持するハンド、前記ハンドを昇降させる昇降機構、前記ハンドを水平面内における一方向に沿って移動させる移動機構、及び前記ハンドを前記移動機構による移動方向と交わる水平方向に進退させる進退機構を備えており、前記ポート及び該ポートが設けられたフロアと同一のフロアに位置する前記昇降体が、前記移動機構による前記ハンドの移動経路沿いにある。この構成によると、同一のフロアに位置する昇降体が有する全ての収容領域及びポートの高さ位置が揃っていない場合でも、一台のローダで全ての収容領域及びポートへの被搬送物の移載及び取り出しを行うことができる。   In addition, in the transport system according to the present invention, the loader includes a hand that supports an object to be transported, a lifting mechanism that lifts and lowers the hand, a moving mechanism that moves the hand along one direction in a horizontal plane, and the hand. A moving mechanism that moves forward and backward in a horizontal direction that intersects the moving direction of the moving mechanism, and the lifting body located on the same floor as the floor on which the port and the port are provided moves the hand by the moving mechanism. It is along the route. According to this configuration, even when the height positions of all the accommodation areas and ports of the lifting bodies located on the same floor are not aligned, the transfer of the object to be conveyed to all the accommodation areas and ports with one loader. Loading and unloading can be performed.

以下、本発明の好適な一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。図1は、本実施の形態にかかる搬送システムの設備構成を示す側面図である。図2は、図1に示す搬送システムの平面図である。図3は、図1に示す搬送システムのネットワーク構成を示す図である。   A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view showing the equipment configuration of the transport system according to the present embodiment. FIG. 2 is a plan view of the transport system shown in FIG. FIG. 3 is a diagram showing a network configuration of the transport system shown in FIG.

本実施の形態の搬送システム1は、1階及び2階の2つのフロアに跨る半導体製造工場等に設置されるものであり、メインコントローラ60(図3参照)の指示により、該2つフロア間において基板が収納されたFOUP(Front Opening Unified Pod)であるキャリア2を搬送する。   The transfer system 1 according to the present embodiment is installed in a semiconductor manufacturing factory or the like that straddles two floors, the first floor and the second floor, and is arranged between the two floors according to an instruction from the main controller 60 (see FIG. 3). The carrier 2 which is a FOUP (Front Opening Unified Pod) in which the substrate is stored is conveyed.

図1及び図2に示すように、各フロアには、製造工程途中の基板が収納されたFOUPが一時的に格納される第1ストッカ3及び第2ストッカ4がそれぞれ設置されている。本実施の形態においては、2階に設置されている第2ストッカ4は、1階に設置されている第1ストッカ3の直上に位置している。第1及び第2ストッカ3、4は、該第1及び第2ストッカ3、4内に搬入するキャリア2が載置される搬入ポート3a、4a、及び該ストッカ3、4から搬出するキャリア2が載置される搬出ポート3b、4bを備えている。本実施の形態においては、搬入ポート3a、4a及び搬出ポート3b、4bは、いずれも1つのキャリア2を載置可能であり、第1及び第2ストッカ3、4の幅方向(図2中上下方向)に互いに隣接するように設けられている。   As shown in FIGS. 1 and 2, a first stocker 3 and a second stocker 4 in which a FOUP storing a substrate in the middle of a manufacturing process is temporarily stored are installed on each floor. In the present embodiment, the second stocker 4 installed on the second floor is located immediately above the first stocker 3 installed on the first floor. The first and second stockers 3 and 4 have loading ports 3a and 4a on which the carriers 2 to be loaded into the first and second stockers 3 and 4 are placed, and carriers 2 that are unloaded from the stockers 3 and 4, respectively. The carrying-out ports 3b and 4b to be placed are provided. In the present embodiment, each of the carry-in ports 3a, 4a and the carry-out ports 3b, 4b can carry one carrier 2, and the width direction of the first and second stockers 3, 4 (up and down in FIG. 2) (Direction) so as to be adjacent to each other.

また、搬送システム1は、第1リフタ装置30及び第2リフタ装置40を備えている。第1リフタ装置30は、鉛直方向に延びていると共に2つのフロア間に跨って形成されたシャフト32と、シャフト32内に形成されたリフト空間に配置される搬送ケージ34とを有している。さらに、リフト空間には、鉛直方向に延在するポール36が設置されている。そして、搬送ケージ34は、ポール36に沿って移動する移動体38に取り付けられており、リフト空間において昇降可能となっている。搬送ケージ34には、キャリア2を収容する第1収容領域34a及び第2収容領域34bが上下に設けられている。なお、第1及び第2収容領域34a、34bには、キャリア2をそれぞれ1つずつ収容することができる。   In addition, the transport system 1 includes a first lifter device 30 and a second lifter device 40. The first lifter device 30 includes a shaft 32 that extends in the vertical direction and is formed between two floors, and a transport cage 34 that is disposed in a lift space formed in the shaft 32. . Further, a pole 36 extending in the vertical direction is installed in the lift space. The transport cage 34 is attached to a moving body 38 that moves along the pole 36, and can be moved up and down in the lift space. The transport cage 34 is provided with a first storage area 34 a and a second storage area 34 b for storing the carrier 2 in the vertical direction. Note that one carrier 2 can be stored in each of the first and second storage areas 34a and 34b.

第1リフタ装置30は、第1及び第2ストッカ3、4の搬入ポート3a、4a及び搬出ポート3b、4bが設けられている側面と対向する位置に設置されている。そして、シャフト32の第1ストッカ3と対向する壁面には開口32aが、第2ストッカ4と対向する壁面には開口32bがそれぞれ形成されている。これにより、搬送ケージ34が1階に位置している際には、開口32aを介して外部から第1及び第2収容領域34a、34bへのアクセスが可能となる。他方、搬送ケージ34が2階に位置している際には、開口32bを介して外部から第1及び第2収容領域34a、34bへのアクセスが可能となる。   The first lifter device 30 is installed at a position facing the side surface where the carry-in ports 3a, 4a and carry-out ports 3b, 4b of the first and second stockers 3, 4 are provided. An opening 32 a is formed on the wall surface of the shaft 32 facing the first stocker 3, and an opening 32 b is formed on the wall surface facing the second stocker 4. Thereby, when the transport cage 34 is located on the first floor, the first and second storage areas 34a and 34b can be accessed from the outside through the opening 32a. On the other hand, when the transport cage 34 is located on the second floor, the first and second storage areas 34a and 34b can be accessed from the outside through the opening 32b.

第2リフタ装置40についても、第1リフタ装置30と同様に第1及び第2ストッカ3、4の搬入ポート3a、4a及び搬出ポート3b、4bが設けられている側面と対向する位置に設置されている。より詳細には、本実施の形態では、第1及び第2リフタ装置30、40は、第1及び第2ストッカ3、4の幅方向(図2中上下方向)に互いに隣接するように設けられている。なお、第2リフタ装置40の構成は第1リフタ装置30の構成と同様であるので、ここでは説明を省略する。第2リフタ装置40の各部の符号は、30番台である第1リフタ装置30の各部の符号を40番台に変更したものとする。   Similarly to the first lifter device 30, the second lifter device 40 is also installed at a position facing the side surface on which the carry-in ports 3 a and 4 a and the carry-out ports 3 b and 4 b of the first and second stockers 3 and 4 are provided. ing. More specifically, in the present embodiment, the first and second lifter devices 30 and 40 are provided adjacent to each other in the width direction (vertical direction in FIG. 2) of the first and second stockers 3 and 4. ing. Note that the configuration of the second lifter device 40 is the same as the configuration of the first lifter device 30, and thus the description thereof is omitted here. It is assumed that the reference numerals of the respective parts of the second lifter device 40 are changed from the reference numerals of the first lifter device 30 which is the 30th level to the 40th level.

1階に設置されている第1ストッカ3と第1及び第2リフタ装置30、40との間、及び2階に設置されている第2ストッカ4と第1及び第2リフタ装置30、40との間には、ローダ20がそれぞれ配置されている。ローダ20は、移載機21、走行レール25、走行台車26、昇降機構27、昇降台28、及び昇降コラム29を主に備えている。走行レール25は、第1ストッカ3と第1及び第2リフタ装置30、40との間、及び第2ストッカ4と第1及び第2リフタ装置30、40との間にそれぞれ敷設されていると共に、第1及び第2ストッカ3、4の幅方向(図2中上下方向)に延びており、走行台車26がその上を走行する。また、走行台車26上には、昇降機構27の駆動によって昇降する昇降台28を支持する昇降コラム29が立設されている。そして、移載機21は、この昇降台28上に設けられている。これにより、移載機21は、第1及び第2ストッカ3、4の幅方向及び鉛直方向に移動可能となっている。   Between the first stocker 3 installed on the first floor and the first and second lifter devices 30, 40, and the second stocker 4 installed on the second floor and the first and second lifter devices 30, 40 The loaders 20 are arranged between the two. The loader 20 mainly includes a transfer device 21, a traveling rail 25, a traveling carriage 26, an elevating mechanism 27, an elevating platform 28, and an elevating column 29. The traveling rail 25 is laid between the first stocker 3 and the first and second lifter devices 30 and 40, and between the second stocker 4 and the first and second lifter devices 30 and 40, respectively. The first and second stockers 3 and 4 extend in the width direction (vertical direction in FIG. 2), and the traveling carriage 26 travels thereon. An elevating column 29 that supports an elevating platform 28 that elevates by driving of an elevating mechanism 27 is erected on the traveling carriage 26. The transfer machine 21 is provided on the lifting platform 28. Thereby, the transfer machine 21 can move in the width direction and the vertical direction of the first and second stockers 3 and 4.

移載機21は、昇降台28上に設置されたリンク機構22と、キャリア2を持ち上げて運搬するハンド23とを有している。リンク機構22は、図2に示すように、昇降台28の上面において、その一端を中心に水平面内で回転可能となるように取り付けられた第1アーム22aと、第1アーム22aの他端において、その一端を中心に水平面内において回転可能となるように取り付けられた第2アーム22bとを含んでいる。これにより、リンク機構22は、水平面内において伸縮可能となっている。そして、第2アーム22bの他端にハンド23が取り付けられている。かかるリンク機構22によって、ハンド23は、水平方向に進退可能となっている。   The transfer machine 21 has a link mechanism 22 installed on a lift 28 and a hand 23 that lifts and carries the carrier 2. As shown in FIG. 2, the link mechanism 22 has a first arm 22a attached to the upper surface of the lifting / lowering base 28 so as to be rotatable in a horizontal plane around one end thereof, and the other end of the first arm 22a. , And a second arm 22b attached so as to be rotatable in a horizontal plane around one end thereof. Thereby, the link mechanism 22 can be expanded and contracted in a horizontal plane. A hand 23 is attached to the other end of the second arm 22b. The link mechanism 22 allows the hand 23 to advance and retract in the horizontal direction.

なお、第1アーム22aは、昇降台28の上面に取り付けられている一端を中心に走行レール25の両側に回転可能となっている。したがって、移載機21は、走行レール25の一方側(図1、2中左側)に位置する第1ストッカ3の搬入ポート3a、搬出ポート3b、又は第2ストッカ4の搬入ポート4a、搬出ポート4bと、走行レール25の他方側(図1、2中右側)に位置する第1及び第2リフタ装置30、40の搬送ケージ34、44に設けられた第1収容領域34a、44a、及び第2収容領域34b、44bとの間でキャリア2の移載を行うことができる。   The first arm 22 a is rotatable on both sides of the traveling rail 25 around one end attached to the upper surface of the lifting platform 28. Therefore, the transfer machine 21 includes the carry-in port 3a, the carry-out port 3b of the first stocker 3 or the carry-in port 4a and the carry-out port of the second stocker 4 located on one side (left side in FIGS. 1 and 2) of the traveling rail 25. 4b, first receiving areas 34a, 44a provided in the transport cages 34, 44 of the first and second lifter devices 30, 40 located on the other side (right side in FIGS. 1 and 2) of the traveling rail 25, and the first 2 The carrier 2 can be transferred between the storage areas 34b and 44b.

ここで、図3を参照しつつ、搬送システム1のネットワーク構成について説明する。図3に示すように、搬送システム1全体を制御するメインコントローラ60には、例えばイーサネット(登録商標)等で構築されたネットワークを介して、第1ストッカコントローラ61、第2ストッカコントローラ62、及びリフタコントローラ63が接続されている。   Here, the network configuration of the transport system 1 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3, the main controller 60 that controls the entire transport system 1 includes a first stocker controller 61, a second stocker controller 62, and a lifter via a network constructed by, for example, Ethernet (registered trademark) or the like. A controller 63 is connected.

第1及び第2ストッカコントローラ61、62は、第1及び第2ストッカ3、4におけるキャリア2の搬入及び搬出の制御をそれぞれ行う。具体的には、第1及び第2ストッカ3、4内には、搬入ポート3a、4aに載置されたキャリア2を第1及び第2ストッカ3、4内に格納すると共に、第1及び第2ストッカ3、4内に格納されているキャリア2を搬出ポート3b、4bに載置するスタッカロボット(図示せず)がそれぞれ備えられており、第1及び第2ストッカコントローラ61、62はこのスタッカロボットの動きを制御する。   The first and second stocker controllers 61 and 62 control the loading and unloading of the carrier 2 in the first and second stockers 3 and 4, respectively. Specifically, in the first and second stockers 3 and 4, the carrier 2 placed on the carry-in ports 3 a and 4 a is stored in the first and second stockers 3 and 4, and the first and second stockers are stored. 2 are provided with stacker robots (not shown) for placing the carriers 2 stored in the stockers 3 and 4 on the carry-out ports 3b and 4b, respectively. The first and second stocker controllers 61 and 62 are provided as stackers. Control the movement of the robot.

また、第1及び第2ストッカコントローラ61、62は、第1及び第2ストッカ3、4の正面にそれぞれ設けられたローダ20の動きの制御をも行う。具体的には、第1及び第2ストッカコントローラ61、62は、走行レール25上を走行する走行台車26や昇降機構27の駆動により昇降する昇降台28の動き等を制御する。   The first and second stocker controllers 61 and 62 also control the movement of the loader 20 provided in front of the first and second stockers 3 and 4, respectively. Specifically, the first and second stocker controllers 61 and 62 control the movement of the traveling carriage 26 traveling on the traveling rail 25 and the lifting platform 28 that is lifted and lowered by driving the lifting mechanism 27.

リフタコントローラ63は、第1及び第2リフタ装置30、40の動きの制御を行う。具体的には、ポール36、46に沿って移動する移動体38、48の動きを制御する。すなわち、リフタコントローラ63は、メインコントローラ60からの搬送指示に基づいて、効率良くキャリア2を搬送することができるように、いずれの収容領域34a、34b、44a、44bに収容してキャリア2を搬送するかを割り当て、移動体38、48に動作指示を送る。   The lifter controller 63 controls the movement of the first and second lifter devices 30 and 40. Specifically, the movements of the moving bodies 38 and 48 that move along the poles 36 and 46 are controlled. That is, the lifter controller 63 transports the carrier 2 in any of the storage areas 34a, 34b, 44a, 44b so that the carrier 2 can be transported efficiently based on the transport instruction from the main controller 60. The operation instruction is sent to the mobile units 38 and 48.

ここで、リフタコントローラ63がメインコントローラ60から搬送指示を受けた際における第1及び第2リフタ装置30、40の搬送ケージ34、44の位置と、該搬送指示により搬送されるキャリア2を収容する収容領域34a、34b、44a、44bとの関係の一例を図4に示す。なお、図4は、各収容領域34a、34b、44a、44bの役割を以下の条件に限定した場合における収容領域34a、34b、44a、44bの割り当ての一例である。すなわち、図4に示す例では、第1リフタ装置30の第1収容領域34a及び第2リフタ装置40の第1収容領域44aは、第1ストッカ3から第2ストッカ4への搬送、つまり1階から2階への搬送を行う際に用いるものに限定している。また、第1リフタ装置30の第2収容領域34b及び第2リフタ装置40の第2収容領域44bは、第2ストッカ4から第1ストッカ3への搬送、すなわち2階から1階への搬送を行う際に用いるものと限定している。このように役割を限定した場合においては、図4に示すように割り当てることによって、効率良くキャリア2の搬送を行うことができる。   Here, when the lifter controller 63 receives a transport instruction from the main controller 60, the positions of the transport cages 34 and 44 of the first and second lifter devices 30 and 40 and the carrier 2 transported by the transport instruction are accommodated. An example of the relationship with the storage areas 34a, 34b, 44a, 44b is shown in FIG. FIG. 4 is an example of allocation of the storage areas 34a, 34b, 44a, 44b when the roles of the storage areas 34a, 34b, 44a, 44b are limited to the following conditions. That is, in the example shown in FIG. 4, the first storage area 34a of the first lifter device 30 and the first storage area 44a of the second lifter device 40 are transported from the first stocker 3 to the second stocker 4, that is, the first floor. It is limited to what is used when carrying from 2 to the second floor. The second storage area 34b of the first lifter device 30 and the second storage area 44b of the second lifter device 40 are transported from the second stocker 4 to the first stocker 3, that is, transported from the second floor to the first floor. It is limited to what is used when performing. When the roles are limited in this way, the carrier 2 can be efficiently transported by assigning as shown in FIG.

なお、例えば、図4のケース7は、第1リフタ装置30の搬送ケージ34が2階から1階への移動中であり、第2リフタ装置40の搬送ケージ44が2階に位置している場合は、1階から2階に搬送するキャリア2の収容領域として第1リフタ装置30の第1収容領域34aが割り当てられ、2階から1階に搬送するキャリア2の収容領域としては第2リフタ装置40の第2収容領域44bが割り当てられることを意味している。   For example, in the case 7 of FIG. 4, the transport cage 34 of the first lifter device 30 is moving from the second floor to the first floor, and the transport cage 44 of the second lifter device 40 is located on the second floor. In this case, the first storage area 34a of the first lifter device 30 is assigned as the storage area of the carrier 2 transported from the first floor to the second floor, and the second lifter is used as the storage area of the carrier 2 transported from the second floor to the first floor. This means that the second storage area 44b of the device 40 is allocated.

図5は、第1ストッカ3に格納されているキャリアA、Cをこの順で第2ストッカ4へ搬送する搬送指示、及び第2ストッカ4に格納されているキャリアB、Dをこの順で第1ストッカ3へ搬送する搬送指示が続けて行われた場合における、メインコントローラ60、第1ストッカコントローラ61、第2ストッカコントローラ62、及びリフタコントローラ63で行われる処理、並びに第1リフタ装置30及び第2リフタ装置40の状態を時系列で示す図である。図5を参照しつつ、搬送システム1で行われる処理手順の一例について説明する。なお、以下の説明においては、収容領域34a、34b、44a、44bの割り当ては、図4の表に基づいて行われることとする。   FIG. 5 shows a transport instruction for transporting the carriers A and C stored in the first stocker 3 to the second stocker 4 in this order, and the carriers B and D stored in the second stocker 4 in this order. The processing performed by the main controller 60, the first stocker controller 61, the second stocker controller 62, and the lifter controller 63, the first lifter device 30, and the first lifter device 30 when the transport instruction for transporting to the first stocker 3 is continuously performed. It is a figure which shows the state of 2 lifter apparatus 40 in a time series. With reference to FIG. 5, an example of a processing procedure performed in the transport system 1 will be described. In the following description, the allocation of the accommodation areas 34a, 34b, 44a, 44b is performed based on the table in FIG.

まず、第1ストッカコントローラ61において、第1ストッカ3に格納されているキャリアAを搬出ポート3bに載置する制御が行われ、その後、キャリアAを出庫した旨の通知がメインコントローラ60に対してなされる。また、搬出ポート3bに載置されたキャリアAは、第1ストッカコントローラ61の制御により、ローダ20のハンド23に持ち上げられる。これにより、搬出ポート3bが空いた状態となるので、第1ストッカコントローラ61は、次に搬送すべきキャリアCを搬出ポート3bに載置する制御を行うことが可能となる。   First, the first stocker controller 61 performs control to place the carrier A stored in the first stocker 3 on the carry-out port 3b, and then notifies the main controller 60 that the carrier A has been unloaded. Made. Further, the carrier A placed on the carry-out port 3 b is lifted to the hand 23 of the loader 20 under the control of the first stocker controller 61. As a result, the carry-out port 3b becomes empty, and the first stocker controller 61 can control to place the carrier C to be carried next on the carry-out port 3b.

第1ストッカコントローラ61からのキャリアAの出庫通知を受信したメインコントローラ60は、リフタコントローラ63に対して、キャリアAを1階から2階へ搬送する旨の搬送指示を送る。そして、メインコントローラ60からの搬送指示を受信したリフタコントローラ63は、キャリアAを搬送するための収容領域の割り当てを行う。このとき、図5に示す例では、第1リフタ装置30の搬送ケージ34は2階から1階への移動中であり、第2リフタ装置40の搬送ケージ44は1階から2階への移動中である。すなわち、この状況は、図4におけるケース15に相当する。よって、キャリアAの1階から2階への搬送には、第1リフタ装置30の第1収容領域34aが割り当てられる。   The main controller 60 that has received the notification of leaving the carrier A from the first stocker controller 61 sends a transport instruction to the lifter controller 63 to transport the carrier A from the first floor to the second floor. Then, the lifter controller 63 that has received the transport instruction from the main controller 60 assigns an accommodation area for transporting the carrier A. At this time, in the example shown in FIG. 5, the transport cage 34 of the first lifter device 30 is moving from the second floor to the first floor, and the transport cage 44 of the second lifter device 40 is moved from the first floor to the second floor. It is in. That is, this situation corresponds to case 15 in FIG. Therefore, the first storage area 34a of the first lifter device 30 is assigned to the carrier A transported from the first floor to the second floor.

また、第2ストッカコントローラ62においては、第2ストッカ4に格納されているキャリアBを搬出ポート4bに載置する制御が行われ、その後、キャリアBを出庫した旨の通知がメインコントローラ60に対してなされる。また、搬出ポート4bに載置されたキャリアBは、第2ストッカコントローラ62の制御により、ローダ20のハンド23に持ち上げられる。これにより、搬出ポート4bが空いた状態となるので、第2ストッカコントローラ62は、次に搬送すべきキャリアDを搬出ポート4bに載置する制御を行うことが可能となる。   Further, the second stocker controller 62 performs control to place the carrier B stored in the second stocker 4 on the unloading port 4b, and then notifies the main controller 60 that the carrier B has been unloaded. It is done. Further, the carrier B placed on the carry-out port 4 b is lifted to the hand 23 of the loader 20 under the control of the second stocker controller 62. As a result, the unloading port 4b becomes empty, and the second stocker controller 62 can control to place the carrier D to be transferred next on the unloading port 4b.

第2ストッカコントローラ62からの出庫通知を受信したメインコントローラ60は、リフタコントローラ63に対して、キャリアBを2階から1階へ搬送する旨の搬送指示を送る。そして、メインコントローラ60からの搬送指示を受信したリフタコントローラ63は、キャリアBを搬送するための収容領域の割り当てを行う。このとき、図5に示す例では、未だ図4におけるケース15に相当する状況となっているので、キャリアBの2階から1階への搬送には、第2リフタ装置40の第2収容領域44bが割り当てられる。   The main controller 60 that has received the delivery notification from the second stocker controller 62 sends a transport instruction to the lifter controller 63 to transport the carrier B from the second floor to the first floor. Then, the lifter controller 63 that has received the transport instruction from the main controller 60 assigns a storage area for transporting the carrier B. At this time, in the example shown in FIG. 5, the situation still corresponds to the case 15 in FIG. 4, and therefore the second storage area of the second lifter device 40 is used for transporting the carrier B from the second floor to the first floor. 44b is assigned.

そして、第1リフタ装置30の搬送ケージ34が1階に到着すると、第1ストッカコントローラ61の制御により、キャリアAが第1リフタ装置30の第1収容領域34aに収容される。その後、リフタコントローラ63の制御により、キャリアAを収容した第1リフタ装置30の搬送ケージ34が1階から2階へ移動する。図5に示すように、本例では、第1リフタ装置30の搬送ケージ34が1階から2階への移動を開始する少し前に、第2リフタ装置40が2階に到着する。   When the transport cage 34 of the first lifter device 30 arrives on the first floor, the carrier A is accommodated in the first accommodation region 34 a of the first lifter device 30 under the control of the first stocker controller 61. Thereafter, under the control of the lifter controller 63, the transport cage 34 of the first lifter device 30 containing the carrier A moves from the first floor to the second floor. As shown in FIG. 5, in this example, the second lifter device 40 arrives at the second floor shortly before the transport cage 34 of the first lifter device 30 starts moving from the first floor to the second floor.

さらに、第1ストッカコントローラ61では、キャリアCが搬出ポート3bに載置された後、キャリアCを出庫した旨の通知がメインコントローラ60に対してなされる。そして、搬出ポート3bに載置されたキャリアCは、第1ストッカコントローラ61の制御により、ローダ20のハンド23に持ち上げられる。   Further, in the first stocker controller 61, after the carrier C is placed on the carry-out port 3b, the main controller 60 is notified that the carrier C has been unloaded. Then, the carrier C placed on the carry-out port 3 b is lifted to the hand 23 of the loader 20 under the control of the first stocker controller 61.

第1ストッカコントローラ61からの出庫通知を受信したメインコントローラ60は、リフタコントローラ63に対して、キャリアCを1階から2階へ搬送する旨の搬送指示を送る。そして、メインコントローラ60からの搬送指示を受信したリフタコントローラ63は、キャリアCを搬送するための収容領域の割り当てを行う。このとき、図5に示す例では、第1リフタ装置30の搬送ケージ34は1階から2階への移動中であり、第2リフタ装置40の搬送ケージ44は2階に位置している。すなわち、この状況は、図4におけるケース5に相当する。よって、キャリアCの1階から2階への搬送には、第2リフタ装置40の第1収容領域44aが割り当てられる。   The main controller 60 that has received the delivery notification from the first stocker controller 61 sends a transport instruction to the lifter controller 63 to transport the carrier C from the first floor to the second floor. Then, the lifter controller 63 that has received the transport instruction from the main controller 60 assigns an accommodation area for transporting the carrier C. At this time, in the example shown in FIG. 5, the transport cage 34 of the first lifter device 30 is moving from the first floor to the second floor, and the transport cage 44 of the second lifter device 40 is located on the second floor. That is, this situation corresponds to case 5 in FIG. Therefore, the first storage area 44a of the second lifter device 40 is assigned to transport the carrier C from the first floor to the second floor.

また、第2ストッカコントローラ62では、2階に到着した第2リフタ装置40の第2収容領域44bにキャリアBを収容する制御が行われる。その後、リフタコントローラ63の制御により、キャリアBの収容した第2リフタ装置40の搬送ケージ44が2階から1階へ移動する。   Further, the second stocker controller 62 performs control for accommodating the carrier B in the second accommodation area 44b of the second lifter device 40 that has arrived on the second floor. Thereafter, under the control of the lifter controller 63, the transport cage 44 of the second lifter device 40 accommodated in the carrier B moves from the second floor to the first floor.

さらに、第2ストッカコントローラ62では、キャリアDが搬出ポート4bに載置された後、キャリアDを出庫した旨の通知がメインコントローラ60に対してなされる。そして、搬出ポート4bに載置されたキャリアDは、第2ストッカコントローラ62の制御により、ローダ20のハンド23に持ち上げられる。第2ストッカコントローラ62からの出庫通知を受信したメインコントローラ60は、リフタコントローラ63に対して、キャリアDを2階から1階へ搬送する旨の搬送指示を送る。そして、メインコントローラ60からの搬送指示を受信したリフタコントローラ63は、キャリアDを搬送するための収容領域の割り当てを行う。   Further, in the second stocker controller 62, after the carrier D is placed on the carry-out port 4b, the main controller 60 is notified that the carrier D has been unloaded. Then, the carrier D placed on the carry-out port 4 b is lifted to the hand 23 of the loader 20 under the control of the second stocker controller 62. The main controller 60 that has received the delivery notification from the second stocker controller 62 sends a transport instruction to the lifter controller 63 to transport the carrier D from the second floor to the first floor. Then, the lifter controller 63 that has received the transport instruction from the main controller 60 assigns an accommodation area for transporting the carrier D.

このとき、図5に示す例では、第1リフタ装置30の搬送ケージ34は1階から2階への移動中であり、第2リフタ装置40の搬送ケージ44は2階から1階への移動中である。すなわち、この状況は、図4におけるケース14に相当する。よって、キャリアDの2階から1階への搬送には、第1リフタ装置30の第2収容領域34bが割り当てられる。   At this time, in the example shown in FIG. 5, the transport cage 34 of the first lifter device 30 is moving from the first floor to the second floor, and the transport cage 44 of the second lifter device 40 is moved from the second floor to the first floor. It is in. That is, this situation corresponds to case 14 in FIG. Therefore, the second storage area 34b of the first lifter device 30 is assigned to the carrier D transported from the second floor to the first floor.

その後、キャリアAを収容した第1リフタ装置30が2階に到着すると、第2ストッカコントローラ62の制御によって、キャリアDが第1リフタ装置30の第2収容領域34bに収容され、続いてキャリアAが第1収容領域34aから取り出される。このとき、リフタコントローラ63は、メインコントローラ60に対して、キャリアAの搬送が完了した旨の通知を行い、さらに、キャリアDを収容した搬送ケージ34を2階から1階へ移動させる制御を行う。また、第2ストッカコントローラ62は、キャリアAを第2ストッカ4の搬入ポート4aに載置した後、第2ストッカ4内にキャリアAを格納する制御を行う。   Thereafter, when the first lifter device 30 accommodating the carrier A arrives at the second floor, the carrier D is accommodated in the second accommodation area 34b of the first lifter device 30 under the control of the second stocker controller 62, and then the carrier A Is taken out from the first storage area 34a. At this time, the lifter controller 63 notifies the main controller 60 that the transfer of the carrier A is completed, and further controls to move the transfer cage 34 containing the carrier D from the second floor to the first floor. . Further, the second stocker controller 62 performs control to store the carrier A in the second stocker 4 after placing the carrier A on the carry-in port 4 a of the second stocker 4.

また、キャリアBを収容した第2リフタ装置40が1階に到着すると、第1ストッカコントローラ61の制御によって、キャリアCが第2リフタ装置30の第1収容領域44aに収容され、続いてキャリアBが第2収容領域44bから取り出される。このとき、リフタコントローラ63は、メインコントローラ60に対して、キャリアBの搬送が完了した旨の通知を行い、さらに、キャリアCを収容した搬送ケージ44を1階から2階へ移動させる制御を行う。また、第1ストッカコントローラ61は、キャリアBを第1ストッカ3の搬入ポート3aに載置した後、第1ストッカ3内にキャリアBを格納する制御を行う。   When the second lifter device 40 that accommodates the carrier B arrives at the first floor, the carrier C is accommodated in the first accommodation area 44a of the second lifter device 30 under the control of the first stocker controller 61, and then the carrier B Is taken out from the second storage area 44b. At this time, the lifter controller 63 notifies the main controller 60 that the transfer of the carrier B has been completed, and further controls to move the transfer cage 44 containing the carrier C from the first floor to the second floor. . The first stocker controller 61 controls the carrier B to be stored in the first stocker 3 after placing the carrier B on the carry-in port 3 a of the first stocker 3.

以上のように、本実施の形態の搬送システム1では、1階及び2階の2つのフロア間で昇降可能な搬送ケージ34、(44)が、第1収容領域34a、(44a)及び第2収容領域34b、(44b)を有している。第1及び第2収容領域34a、(44a)、34b、(44b)は、いずれも1つのキャリア2を収容可能な領域である。また、第1及び第2ストッカ3、4の搬入ポート3a、4a及び搬出ポート3b、4bと、搬送ケージ34、(44)の第1収容領域34a、(44a)及び第2収容領域34b、(44b)との間でキャリア2の移載を行うローダ20が1階及び2階にそれぞれ設置されている。
したがって、搬送ケージ34、(44)がこれから搬送するキャリア2があるフロアに到着する前に、該フロアにあるローダ20は、キャリア2を支持した状態で待機することができる。すなわち、ローダ20は、搬送ケージ34、(44)が到着すると、あらかじめ支持していたキャリア2を搬送ケージ34、(44)の一方の収容領域に収容し、その後、該搬送ケージ34、(44)の他方の収容領域に他方のフロアから搬送されたキャリア2が収容されている場合には、該キャリア2を取り出す。このように、ローダ20がキャリア2を支持した状態で待機することができるので、次に搬送するキャリア2を搬出ポート3b、4bに載置しておくことができる。よって、搬出ポート3b、4bと搬送ケージ34、(44)の第1収容領域34a、(44a)及び第2収容領域34b、(44b)との間の積み替え作業を滞りなく行うことが可能となるので、フロア間における搬送効率を向上させることができる。
なお、本実施の形態では、搬送ケージ34、(44)の第1収容領域34a、(44a)は、1階から2階への搬送に用い、第2収容領域34b、(44b)は、2階から1階への搬送に用いるものと、各収容領域の役割を限定している。すなわち、階間において搬送している間は、常に第1及び第2収容領域34a、(44a)、34b、(44b)のいずれか一方は空いた状態となっている。したがって、キャリア2を支持した状態で待機しているローダ20は、搬送ケージ34、(44)が到着し次第、キャリア2を搬送ケージ34、(44)に収容することができる。
As described above, in the transport system 1 according to the present embodiment, the transport cages 34 and 44 that can be moved up and down between the two floors of the first floor and the second floor are the first accommodation areas 34a and 44a and the second. It has accommodation areas 34b, (44b). The first and second accommodation areas 34 a, (44 a), 34 b, and (44 b) are areas that can accommodate one carrier 2. Also, the carry-in ports 3a and 4a and the carry-out ports 3b and 4b of the first and second stockers 3 and 4 and the transport cage 34 and the first storage area 34a and (44a) and the second storage area 34b of (44) ( 44b), loaders 20 for transferring the carrier 2 are installed on the first floor and the second floor, respectively.
Therefore, before the transport cages 34 and 44 arrive at the floor on which the carrier 2 to be transported is located, the loader 20 on the floor can stand by with the carrier 2 supported. That is, when the transport cages 34 and (44) arrive, the loader 20 stores the carrier 2 previously supported in one storage area of the transport cages 34 and (44), and then the transport cages 34 and (44). When the carrier 2 transported from the other floor is accommodated in the other accommodation area, the carrier 2 is taken out. Thus, since the loader 20 can stand by with the carrier 2 supported, the carrier 2 to be transported next can be placed on the unloading ports 3b and 4b. Therefore, it becomes possible to carry out the transshipment work between the unloading ports 3b and 4b and the first storage areas 34a and 44a and the second storage areas 34b and 44b of the transport cage 34 and 44 without any delay. Therefore, the conveyance efficiency between floors can be improved.
In the present embodiment, the first storage areas 34a and 44a of the transport cages 34 and 44 are used for transport from the first floor to the second floor, and the second storage areas 34b and 44b are 2 The role of each accommodation area is limited to what is used for transportation from the first floor to the first floor. That is, while transporting between floors, one of the first and second accommodation areas 34a, (44a), 34b, and (44b) is always vacant. Therefore, the loader 20 standing by with the carrier 2 supported can accommodate the carrier 2 in the transport cages 34 and 44 as soon as the transport cages 34 and 44 arrive.

また、本実施の形態の搬送システム1は、第1及び第2リフタ装置30、40を備えている。リフタ装置が1つである場合には、キャリア2を収容した搬送ケージが、一方のフロアから他方のフロアに向けて移動を開始した後、該搬送ケージが往復して再度一方のフロアに戻って来るまで、次のキャリア2は一方のフロアで待機する必要がある。しかしながら、本実施の形態では、一方の搬送ケージ34又は44が往復して戻って来るのを待つ必要がない。したがって、フロア間における搬送効率をさらに向上させることができる。   In addition, the transport system 1 of the present embodiment includes first and second lifter devices 30 and 40. If there is only one lifter device, the transport cage containing the carrier 2 starts moving from one floor to the other floor, and then the transport cage reciprocates back to the other floor. The next carrier 2 needs to wait on one floor until it comes. However, in the present embodiment, it is not necessary to wait for one of the transport cages 34 or 44 to return back and forth. Therefore, the conveyance efficiency between floors can be further improved.

さらに、本実施の形態の搬送システム1では、ローダ20は、該ローダ20が設置されたフロアに位置する搬送ケージ34、44が有する全ての収容領域と、搬入ポート3a、4a及び搬出ポート3b、4bのうち該ローダ20が設置されたフロアに位置するものとに対して、キャリア2の載置及び取り出しを行うことができる。したがって、搬入ポート3a又は4a、及び搬出ポート3b又は4bと第1及び第2リフタ装置30、40の収容領域との間におけるキャリア2の積み替えのために、各フロアにローダを複数設ける必要がないので、システムの設備構成を簡略にすることができる。   Furthermore, in the transport system 1 of the present embodiment, the loader 20 includes all the storage areas of the transport cages 34 and 44 located on the floor where the loader 20 is installed, the carry-in ports 3a and 4a, the carry-out port 3b, The carrier 2 can be placed and taken out of the 4b that is located on the floor where the loader 20 is installed. Therefore, it is not necessary to provide a plurality of loaders on each floor in order to reload the carrier 2 between the carry-in port 3a or 4a and the carry-out port 3b or 4b and the accommodation area of the first and second lifter devices 30 and 40. Therefore, the system configuration of the system can be simplified.

加えて、本実施の形態の搬送システム1では、ローダ20が、キャリア2を持ち上げて運搬するハンド23と、ハンド23を昇降させる昇降機構27と、ハンド23を水平面内における一方向に沿って移動させる走行台車26と、ハンド23を走行台車26による移動方向と交わる水平方向に進退させるリンク機構22とを備えている。そして、同一のフロアに位置する搬送ケージ34、44が有する収容領域、及び搬入ポート3a又は4a、搬出ポート3b又は4bは、走行台車26が走行する走行レール25に隣接する位置にある。したがって、同一のフロアに位置する搬送ケージ34、44が有する収容領域、及び搬入ポート3a又は4a、搬出ポート3b又は4bの高さ位置が揃っていない場合でも、一台のローダ20で第1及び第2リフタ装置30、40の収容領域、及び搬入ポート3a又は4a、搬出ポート3b又は4bへのキャリア2の移載及び取り出しを行うことができる。   In addition, in the transport system 1 of the present embodiment, the loader 20 moves the hand 23 along one direction in the horizontal plane, the hand 23 that lifts and carries the carrier 2, the lifting mechanism 27 that lifts and lowers the hand 23, and the hand 23. And a link mechanism 22 for moving the hand 23 back and forth in the horizontal direction intersecting the moving direction of the traveling carriage 26. And the accommodation area | region which the conveyance cages 34 and 44 located in the same floor have, the carrying-in port 3a or 4a, the carrying-out port 3b or 4b exists in the position adjacent to the traveling rail 25 on which the traveling cart 26 travels. Therefore, even when the storage areas of the transport cages 34 and 44 located on the same floor and the height positions of the carry-in ports 3a or 4a and the carry-out ports 3b or 4b are not aligned, the first loader 20 It is possible to transfer and take out the carrier 2 to / from the accommodation area of the second lifter devices 30 and 40, the carry-in port 3a or 4a, and the carry-out port 3b or 4b.

以上、本発明の好適な一実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて、様々な設計変更を行うことが可能なものである。   The preferred embodiment of the present invention has been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various design changes can be made as long as they are described in the claims. It is a thing.

ここで、図6に、本実施の形態の一変形例を示す。図6は、図2に相当する図であり、対応する要素の符号に100を加えた符号を用いている。上述の実施の形態では、ローダ20の走行レール25の一方側に第1及び第2リフタ装置30、40が、他方側に第1又は第2ストッカ3、4がそれぞれ位置している場合について説明したが、例えば、図6に示すように、第1及び第2リフタ装置130、140、並びに第2ストッカ104が、走行レール125の一方側のみに位置していてもよい。
このように、上述の実施の形態及び本変形例においては、ローダ20、120が第1リフタ装置30、130、及び第2リフタ装置40、140に備えられているのではなく、各フロアにそれぞれ設けられている。したがって、搬入ポート3a、103a又は4a、104a及び搬出ポート3b、103b、又は4b、104bの位置は、上述の実施形態のように第1及び第2リフタ装置30、40の正面に限定する必要はなく、レイアウトの自由度を高めることができる。
Here, FIG. 6 shows a modification of the present embodiment. FIG. 6 is a diagram corresponding to FIG. 2, in which a reference numeral obtained by adding 100 to the reference numerals of corresponding elements is used. In the above-described embodiment, the case where the first and second lifter devices 30 and 40 are located on one side of the traveling rail 25 of the loader 20 and the first or second stocker 3 and 4 are located on the other side, respectively. However, for example, as shown in FIG. 6, the first and second lifter devices 130 and 140 and the second stocker 104 may be located only on one side of the traveling rail 125.
Thus, in the above-described embodiment and this modification, the loaders 20 and 120 are not provided in the first lifter devices 30 and 130 and the second lifter devices 40 and 140, but are provided on each floor. Is provided. Accordingly, the positions of the carry-in ports 3a, 103a or 4a, 104a and the carry-out ports 3b, 103b, or 4b, 104b need to be limited to the front of the first and second lifter devices 30, 40 as in the above-described embodiment. In addition, the degree of freedom in layout can be increased.

また、上述の実施の形態では、第1及び第2リフタ装置30、40が備えられている場合について説明したが、リフタ装置は1つでもよい。   In the above-described embodiment, the case where the first and second lifter devices 30 and 40 are provided has been described. However, the number of lifter devices may be one.

さらに、上述の実施の形態では、1台のローダ20で、1つのフロアに設けられた搬入ポート3a又は4a、搬出ポート3b又は4bと、第1収容領域34a、34b、第2収容領域44a、44bのうち、該フロアに位置する搬送ケージ34、44が有するものとの間におけるキャリア2の載置及び取り出しを行う場合について説明したが、これには限定されない。例えば、搬送ケージ34の第1及び第2収容領域34a、34bと搬入ポート3a又は4a、搬出ポート3b又は4bとの間の積み替えと、搬送ケージ44の第1及び第2収容領域44a、44bと搬入ポート3a又は4a、搬出ポート3b又は4bとの間の積み替えとが、別々のローダによって行われてもよい。   Furthermore, in the above-mentioned embodiment, with one loader 20, the carry-in port 3a or 4a, the carry-out port 3b or 4b provided on one floor, the first accommodation areas 34a and 34b, the second accommodation area 44a, Although the case where the carrier 2 is placed and taken out of the transport cages 34 and 44 located on the floor among 44b has been described, the present invention is not limited to this. For example, the transfer between the first and second storage areas 34a and 34b of the transport cage 34 and the carry-in port 3a or 4a and the carry-out port 3b or 4b, and the first and second storage areas 44a and 44b of the transport cage 44, Reloading between the carry-in port 3a or 4a and the carry-out port 3b or 4b may be performed by separate loaders.

加えて、上述の実施の形態では、ローダ20が、ハンド23と、ハンド23を昇降させる昇降機構27と、ハンド23を水平面内における一方向に沿って移動させる走行台車26と、ハンド23を走行台車26による移動方向と交わる水平方向に進退させるリンク機構22とを備えている場合について説明したが、ローダ20の構成はこれには限定されない。   In addition, in the above-described embodiment, the loader 20 travels the hand 23, the lifting mechanism 27 that moves the hand 23 up and down, the traveling carriage 26 that moves the hand 23 along one direction in the horizontal plane, and the hand 23. Although the case where the link mechanism 22 that moves back and forth in the horizontal direction intersecting the moving direction by the carriage 26 has been described, the configuration of the loader 20 is not limited to this.

さらに、上述の実施の形態では、1階と2階との2つのフロア間でキャリア2の搬送を行う搬送システム1について説明したが、これには限定されない。互いに異なる高さに位置する2つのフロア間におけるキャリア2の搬送を行うものであればよい。   Furthermore, although the above-mentioned embodiment demonstrated the conveyance system 1 which conveys the carrier 2 between two floors, the 1st floor and the 2nd floor, it is not limited to this. What is necessary is just to carry the carrier 2 between two floors located at different heights.

また、上述の実施の形態では、第1及び第2リフタ装置30、40の第1収容領域34a、44aは、1階から2階へキャリア2の搬送を行う際に用い、第2収容領域34b、44bは、2階から1階へキャリア2の搬送を行う際に用いるものと、各収容領域34a、34b、44a、44bの役割を限定する場合について説明したが、これには限られない。例えば、全ての収容領域34a、34b、44a、44bで同一方向へのキャリア2の搬送を行うことが可能としてもよい。これにより、一方のフロアから他方のフロアへの搬送要求が大量に発生した場合に、効率良くキャリア2の搬送を行うことが可能となる。   In the above-described embodiment, the first storage areas 34a and 44a of the first and second lifter devices 30 and 40 are used when the carrier 2 is transported from the first floor to the second floor, and the second storage area 34b. 44b have been described with respect to the case where the carrier 2 is transported from the second floor to the first floor and the case where the role of each of the storage areas 34a, 34b, 44a, 44b is limited, but is not limited thereto. For example, the carrier 2 may be transported in the same direction in all the accommodation areas 34a, 34b, 44a, 44b. As a result, when a large number of transport requests from one floor to the other floor occur, the carrier 2 can be transported efficiently.

また、上述の実施の形態では、搬送ケージ34、44に、第1収容領域34a、44aと第2収容領域34b、44bとが上下に設けられている場合について説明したが、これには限定されない。たとえば、第1収容領域34a、44aと第2収容領域34b、44bとは、水平方向に隣接するように設けられていてもよい。   Moreover, although the above-mentioned embodiment demonstrated the case where the conveyance cages 34 and 44 were provided with the 1st accommodating area 34a, 44a and the 2nd accommodating area 34b, 44b up and down, it is not limited to this. . For example, the first storage areas 34a and 44a and the second storage areas 34b and 44b may be provided so as to be adjacent in the horizontal direction.

本発明の実施の形態にかかる搬送システムの設備構成を示す側面図である。It is a side view which shows the equipment structure of the conveyance system concerning embodiment of this invention. 図1に示す搬送システムの平面図である。It is a top view of the conveyance system shown in FIG. 図1に示す搬送システムのネットワーク構成を示す図である。It is a figure which shows the network structure of the conveyance system shown in FIG. 図1に示す搬送システムにおける収容領域の割り当ての一例を示す表である。It is a table | surface which shows an example of allocation of the accommodation area | region in the conveyance system shown in FIG. 図1に示す搬送システムにおける処理の一例を時系列で示す図である。It is a figure which shows an example of the process in the conveyance system shown in FIG. 1 in time series. 本発明の実施の形態の一変形例にかかる搬送システムの平面図である。It is a top view of the conveyance system concerning one modification of an embodiment of the invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 搬送システム
2 キャリア(被搬送物)
3a、4a 搬入ポート(ポート)
3b、4b 搬出ポート(ポート)
20 ローダ
22 リンク機構(進退機構)
23 ハンド
26 走行台車(移動機構)
27 昇降機構
30、40 リフタ装置
34a、44a 第1収容領域(収容領域)
34b、44b 第2収容領域(収容領域)
34、44 搬送ケージ(昇降体)
1 Transport system 2 Carrier (conveyed object)
3a, 4a Loading port (port)
3b, 4b Unloading port (port)
20 Loader 22 Link mechanism (advance / retreat mechanism)
23 hand 26 traveling cart (movement mechanism)
27 Lifting mechanism 30, 40 Lifter device 34a, 44a First accommodation area (accommodation area)
34b, 44b Second accommodation area (accommodation area)
34, 44 Transport cage (elevating body)

Claims (3)

互いに異なる高さに位置する第1フロア及び第2フロアにそれぞれ設けられており、被搬送物が載置されるポートと、
前記第1及び第2フロアの間で昇降可能であると共に1つの被搬送物を収容可能な収容領域が2つ設けられた昇降体を有するリフタ装置と、
前記第1及び第2フロアにそれぞれ設けられており、前記ポートと前記昇降体の前記収容領域との間で被搬送物の積み替えを行うローダとを備え
前記リフタ装置は、2つ備えられ、
2つの前記収容領域は、一方が前記第1フロアから前記第2フロアへの搬送用として用いられ、他方が前記第2フロアから前記第1フロアへの搬送用として用いられ、
前記ローダは、該ローダが設けられたフロアと別のフロアへと搬送する被搬送物がある場合、前記昇降体が到着する前に搬送する被搬送物を予め支持した状態で待機し、前記昇降体が到着すると空いた状態の一方の前記収容領域に支持している被搬送物を収容した後、他方の前記収容領域に該ローダが設けられたフロアに搬送された被搬送物が収容されている場合に、搬送された被搬送物を取り出すことを特徴とする搬送システム。
A port on each of the first floor and the second floor located at different heights;
A lifter device having a lifting body which can be moved up and down between the first and second floors and which is provided with two storage areas capable of storing one object to be conveyed;
A loader that is provided on each of the first and second floors and that reloads the object to be transported between the port and the accommodation area of the lifting body ;
The lifter device includes two,
One of the two storage areas is used for transfer from the first floor to the second floor, and the other is used for transfer from the second floor to the first floor,
When there is an object to be conveyed to a floor different from the floor on which the loader is provided, the loader waits in a state in which the object to be conveyed is supported in advance before the lifting body arrives, and After the body arrives, the object to be transported supported in one of the accommodation areas in an empty state is accommodated, and then the object to be conveyed conveyed to the floor provided with the loader is accommodated in the other accommodation area. A transport system that takes out the transported object when transported.
前記ローダが、該ローダが設けられたフロアと同一のフロアに位置する前記昇降体が有する全ての前記収容領域及び前記ポートに対して被搬送物の載置及び取り出しを行うことができることを特徴とする請求項に記載の搬送システム。 The loader is capable of placing and removing a transported object with respect to all the accommodation areas and the ports of the lifting body located on the same floor as the floor on which the loader is provided. The transport system according to claim 1 . 前記ローダが、被搬送物を支持するハンド、前記ハンドを昇降させる昇降機構、前記ハンドを水平面内における一方向に沿って移動させる移動機構、及び前記ハンドを前記移動機構による移動方向と交わる水平方向に進退させる進退機構を備えており、
前記ポート及び該ポートが設けられたフロアと同一のフロアに位置する前記昇降体が、前記移動機構による前記ハンドの移動経路沿いにあることを特徴とする請求項に記載の搬送システム。
The loader supports the object to be transported, a lifting mechanism for moving the hand up and down, a moving mechanism for moving the hand along one direction in a horizontal plane, and a horizontal direction that intersects the moving direction of the moving mechanism. Has an advance / retreat mechanism to advance and retract
The transport system according to claim 2 , wherein the lift and the lifting body located on the same floor as the floor on which the port is provided are along a movement path of the hand by the movement mechanism.
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