JP5282515B2 - カラーフィルタの製造装置 - Google Patents
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Description
にて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
2 フィルム材
3a、3b ローラ(搬送手段)
5 露光装置(露光手段)
6 撮像装置
11 フィルタ形成領域
12 基準パターン
15 アライメントマーク
26 マスクステージコントローラ
34 画像処理部
35 主制御部
Claims (5)
- 複数のフィルタ形成領域が所定間隔を開けて長手方向に並べられ、前記フィルタ形成領域にレジストが塗布されたフィルム材を長手方向に沿って搬送する搬送手段と、前記フィルタ形成領域の所定位置に光を照射して前記レジストを露光する露光手段と、を備えたカラーフィルタの製造装置において、
前記フィルム材には、互いに隣接する二つの前記フィルタ形成領域の側方に位置し、これら二つの前記フィルタ形成領域を跨ぐようにして長手方向に延びるアライメントマークが設けられ、かつ、各フィルタ形成領域には、基準パターンが形成されており、
前記搬送手段にて搬送された状態の前記フィルム材から前記アライメントマークを検出する位置情報検出手段と、前記互いに隣接する二つの前記フィルタ形成領域間では前記位置情報検出手段が検出した前記アライメントマークに基づいて前記露光手段の位置を制御する位置制御手段と、前記搬送手段にて搬送された状態の前記フィルム材から前記基準パターンを検出するパターン情報検出手段と、前記パターン情報検出手段が検出した前記基準パターンに基づいて前記露光手段の位置を制御する露光手段位置制御手段と、を更に備えることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。 - 各フィルタ形成領域間では前記位置制御手段が、前記フィルタ形成領域では前記露光手段位置制御手段が、それぞれ制御を実行するように、前記基準パターンに基づいて前記フィルタ形成領域で行う前記露光手段位置制御手段による前記露光手段に対する位置の制御と、前記アライメントマークに基づいて各フィルタ形成領域間で行う前記位置制御手段による前記露光手段に対する位置の制御と、を前記フィルム材の搬送状態に応じて切り替える請求項1に記載のカラーフィルタの製造装置。
- 前記フィルム材には、前記フィルタ形成領域毎に切り替え開始マークと切り替え終了マークとが前記フィルタ形成領域の側方の所定位置に設けられ、
前記位置情報検出手段は、前記搬送手段にて搬送された状態の前記フィルム材から前記切り替え開始マーク及び前記切り替え終了マークを検出し、
前記露光手段位置制御手段は、前記位置情報検出手段が前記切り替え開始マークを検出した場合には、前記基準パターンに基づく前記露光手段の位置の制御を開始し、前記位置情報検出手段が前記切り替え終了マークを検出した場合には、前記基準パターンに基づく前記露光手段の位置の制御を終了する請求項1又は2に記載のカラーフィルタの製造装置。 - 前記切り替え開始マークと前記切り替え終了マークとは、前記アライメントマーク上に設けられた請求項3に記載のカラーフィルタの製造装置。
- 前記フィルム材には、二つの前記アライメントマークが前記フィルタ形成領域の両側方に互いに平行に設けられ、
前記位置情報検出手段は、前記搬送手段にて搬送された状態の前記フィルム材から前記フィルタ形成領域の両側方に設けられた二つの前記アライメントマークを検出し、
前記位置制御手段は、前記位置情報検出手段が検出した二つの前記アライメントマークから二つの前記アライメントマークの中心線を算出し、前記中心線に基づいて前記露光手段の位置を制御する請求項1〜4のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造装置。
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