JP5269363B2

JP5269363B2 - Origin return method in actuator and origin return stopper device in actuator

Info

Publication number: JP5269363B2
Application number: JP2007201722A
Authority: JP
Inventors: 哲也政田
Original assignee: Oriental Motor Co Ltd
Current assignee: Oriental Motor Co Ltd
Priority date: 2007-08-02
Filing date: 2007-08-02
Publication date: 2013-08-21
Anticipated expiration: 2027-08-02
Also published as: JP2009038909A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a stopper device for decing an origin in an actuator which returns to an origin at high speed at an end of a work area and reduces the time for deciding an origin in equipment. <P>SOLUTION: In this method, a slider reciprocating in a certain work area by a driving mechanism provided in a housing is stopped at a stroke end. This method includes: installing a stopper device composed of buffer materials 25, 26 and rigid body portions 8, 9 at stroke ends; moving the slider 5 to a stroke end at normal driving speed and abutting it against the buffer materials 25, 26 of a stopper device to decelerate it; further actuating the slider 5 to press it against the stopper device at a speed significantly lower than the normal speed; and pushing the buffer material 25, 26 against the elasticity of the buffer material 25, 26 and stopping the slider 5 by the rigid body portions 8, 9 of the stopper device. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、作動領域端で、高速での原点復帰が可能となり、装置の原点出し時間の短縮を図ることができるアクチュエータにおける原点出し方法およびアクチュエータにおける原点出しストッパ装置に関する。 The present invention relates to an origin return method for an actuator and an origin return stopper device for an actuator that can return to the origin at a high speed at the end of an operating region and can shorten the time for returning the origin of the apparatus.

一般に、産業用ロボットとして利用される単軸ロボットアクチュエータは、駆動源にサーボモータ等を用いるとともに、この駆動源に連結されたボールネジが作動領域に設けられている。このボールネジにはボールナットが回転を規制された状態で、螺合しており、このボールナットにスライダが取付けられている。スライダには、作動領域内で作動させる各種の機器が搭載される。 In general, a single-axis robot actuator used as an industrial robot uses a servo motor or the like as a drive source, and a ball screw connected to the drive source is provided in an operation region. The ball nut is screwed in a state in which the rotation of the ball nut is restricted, and a slider is attached to the ball nut. Various devices that are operated in the operating region are mounted on the slider.

この種の単軸ロボットアクチュエータでは、サーボモータを適宜の方向に回転させることによって、ボールネジを同方向に回転させ、ボールネジの回転に伴って移動するボールナットを介してスライダを適宜の方向に移動させることができる（特許文献１参照）。
スライダが往復動のストローク端の位置まで移動した後には逆方向のストローク端の位置に向けてスライダを駆動する。
実開昭６３−１２０７５２号公報特開２００３−３０９９９０号公報特開平７−１５１２０５号公報 In this type of single-axis robot actuator, the ball screw is rotated in the same direction by rotating the servo motor in an appropriate direction, and the slider is moved in an appropriate direction via a ball nut that moves as the ball screw rotates. (See Patent Document 1).
After the slider moves to the position of the stroke end of the reciprocating motion, the slider is driven toward the position of the stroke end in the reverse direction.
Japanese Utility Model Publication No. 63-120552 JP 2003-309990 A JP 7-151205 A

スライダの移動をこのように制御する場合は、エンコーダなどによってモータの回転数を検出して、回転数からスライダの位置を検出するか、ストローク端にセンサを設けて往復動ストローク位置を検出する必要がある。
このようなストローク端の位置を検出してこの位置を動作基準点とし、スライダを制御するもので、この動作基準点を決定することを原点出しという。この原点出しには、通常位置検出センサを用いて制御部に原点位置を認識させている。
しかしながら、位置検出センサを用いた場合、配線、設置スペースおよび制御対象が増えるという問題がある。
そこで、位置検出センサを用いない方法として、モータのフィードバック制御を用いた原点出し方法がある。この種のアクチュエータにおける原点出し方法としては、モータのフィードバック制御を用いて、作動領域端のストッパにスライダを押し付けて原点を認識させる方法が考えられる（特許文献２参照）。
しかしながら、このようなストッパが可動部と可動端の間に緩衝用としてゴム材等の弾性体を用いた場合（特許文献３参照）、弾性体の経年劣化により原点位置の基準の再現性が取れない場合がある。また、ストッパ材を金属の剛体にした場合、緩衝効果がなく、原点復帰時は、アクチュエータの破損を避けるため、低速でストッパへ押し当てることとなる。結果、可動域の範囲が広い場合、原点復帰完了までには時間が必要となる。 When controlling the movement of the slider in this way, it is necessary to detect the rotational speed of the motor with an encoder, etc., and detect the position of the slider from the rotational speed, or provide a sensor at the stroke end to detect the reciprocating stroke position. There is.
Such a position of the stroke end is detected, and this position is set as an operation reference point, and the slider is controlled. The determination of the operation reference point is called origin search. For this origin detection, the control unit recognizes the origin position using a normal position detection sensor.
However, when a position detection sensor is used, there is a problem that wiring, installation space, and control objects increase.
Therefore, as a method that does not use the position detection sensor, there is an origin finding method that uses motor feedback control. As a method for determining the origin in this type of actuator, a method of recognizing the origin by pressing a slider against a stopper at the end of the operating region by using feedback control of the motor can be considered (see Patent Document 2).
However, when such a stopper uses an elastic body such as a rubber material as a buffer between the movable portion and the movable end (see Patent Document 3), the origin position reference can be reproducible due to the aging of the elastic body. There may not be. Further, when the stopper material is a metal rigid body, there is no buffering effect, and when returning to the origin, the actuator is pressed against the stopper at a low speed in order to avoid damaging the actuator. As a result, when the range of the movable range is wide, it takes time to complete the return to origin.

本発明は、上記課題を解決し、作動領域端で、高速での原点復帰が可能となり、装置の原点出し時間の短縮を図ることができるアクチュエータにおける原点出し方法およびアクチュエータにおける原点出しストッパ装置を提供することを目的とする。 The present invention provides an origin return method for an actuator and an origin return stopper device for an actuator that can solve the above-described problems, enable return to origin at a high speed at the end of the operating region, and can shorten the origin return time of the apparatus. The purpose is to do.

本発明は、上記課題を解決するため、ハウジング内に設けられた駆動機構によって一定の作動領域内で往復動操作されるスライダを停止させるストローク端に、緩衝材と剛体部からなるストッパ装置を配設し、上記スライダを通常の駆動速度で上記ストローク端まで移動させてストッパ装置の緩衝材に当接させて減速させ、さらにスライダを作動して、上記通常速度より極低速状態で上記ストッパ装置に押し当てて、緩衝材の弾性に抗して緩衝材を押し込み、該ストッパ装置の剛体部によってスライダを停止させて原点出しをするアクチュエータにおける原点出し方法において、上記ハウジングは、底面を構成する長尺のリニアガイドレールと、このリニアガイドレールの両側に設けられた一対のサイドカバーと、これらリニアガイドレールおよび一対のサイドカバーの前後方向の両側に装着される上記剛体部としてのフランジおよびブラケットと、これらフランジおよびブラケット相互間に上記一対のサイドカバー上面相互の間隙を塞ぐように上記ハウジングの開口溝に沿って配設された帯状のステンレスシートとで構成され、上記スライダは、上記ステンレスシートに摺動可能に装着された摺動部材と、上記一対のサイドカバーと上記ステンレスシートの上部側に、上記摺動部材を覆うように配置されたテーブルカバーと、上記摺動部材を保持するとともに、上記テーブルカバーの上面を通して被操作体を支持するスライダ本体とを備え、上記緩衝材として弾性体を用いるとともに、該弾性体を上記剛体部に、凹部の入り口側の径を拡大するように形成した座繰り穴に収容し、該弾性体を上記剛体部よりも突出させて配置し、上記スライダに当接した該弾性体が上記座繰り穴内で弾性変形してから、上記剛体部によって上記スライダを停止させ、上記スライダと上記剛体部が接触した状態で、原点出しをすることにある。
また、本発明は、ハウジング内に内蔵された駆動機構によって一定の作動領域内で往復動操作されるスライダを、停止させるハウジング両側のストローク端に、スライダを停止させる剛体部を設け、該剛体部の上記スライダに対向する面に凹部を形成し、該凹部内に上記剛体部の端面よりも突出させて弾性体を配設し、上記スライダを上記弾性体によって減速させてから、上記剛体部によって原点位置で停止させるようにしたアクチュエータにおける原点出しストッパ装置において、上記ハウジングは、底面を構成する長尺のリニアガイドレールと、このリニアガイドレールの両側に設けられた一対のサイドカバーと、これらリニアガイドレールおよび一対のサイドカバーの前後方向の両側に装着される上記剛体部としてのフランジおよびブラケットと、これらフランジおよびブラケット相互間に上記一対のサイドカバー上面相互の間隙を塞ぐように上記ハウジングの開口溝に沿って配設された帯状のステンレスシートとで構成され、上記スライダは、上記ステンレスシートに摺動可能に装着された摺動部材と、上記一対のサイドカバーと上記ステンレスシートの上部側に、上記摺動部材を覆うように配置されたテーブルカバーと、上記摺動部材を保持するとともに、上記テーブルカバーの上面を通して被操作体を支持するスライダ本体とを備え、上記剛体部に凹部の入り口側の径を拡大するように座繰り穴を形成し、該座繰り穴に上記弾性体を収容したことにある。
さらに、本発明は、上記弾性体にゴム材あるいは低反発ゴム材を用いたことにある。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a stopper device composed of a cushioning material and a rigid body portion at a stroke end for stopping a slider that is reciprocated in a fixed operation region by a drive mechanism provided in a housing. The slider is moved to the stroke end at a normal driving speed, brought into contact with the buffer material of the stopper device, decelerated, and the slider is operated to move the slider to the stopper device at an extremely low speed than the normal speed. In the home-finding method of the actuator that pushes the shock-absorbing material against the elasticity of the shock-absorbing material and stops the slider by the rigid body portion of the stopper device to find the home position, the housing is a long length that forms the bottom surface Linear guide rails, a pair of side covers provided on both sides of the linear guide rails, and these linear guide rails The flange and the bracket as the rigid part which is mounted on both sides of the longitudinal direction of the pair of side covers and, on the opening groove of the housing so as to close the pair of side covers the upper surface mutual gaps between the flanges and the bracket each other is composed of a belt-like stainless steel sheet arranged along, the slider includes a sliding member slidably mounted on the stainless steel sheet, the upper side of the pair of side covers and the stainless sheet, the A table cover arranged to cover the sliding member; a slider body that holds the sliding member and supports the object to be operated through the upper surface of the table cover; and uses an elastic body as the cushioning material. The elastic body is accommodated in the counterbore hole formed in the rigid body portion so as to increase the diameter of the entrance side of the recess, An elastic body is arranged so as to protrude from the rigid body portion, and after the elastic body in contact with the slider is elastically deformed in the countersink hole, the slider is stopped by the rigid body portion, and the slider and the rigid body The origin is to be found with the parts in contact.
Further, the present invention provides a rigid body portion for stopping the slider at the stroke ends on both sides of the housing for stopping the slider that is reciprocated within a fixed operating region by a drive mechanism built in the housing, A recess is formed on the surface of the slider facing the slider, an elastic body is disposed in the recess so as to protrude from the end surface of the rigid body, and the slider is decelerated by the elastic body, and then the rigid body is used by the rigid body. In the home position stopper device in the actuator that is stopped at the home position, the housing includes a long linear guide rail that constitutes the bottom surface, a pair of side covers provided on both sides of the linear guide rail, and these linear covers. The flanges and bushes as the rigid body parts mounted on the guide rail and the pair of side covers in the front-rear direction. Packet and is composed of the flanges and the pair of side covers top cross the housing so as to close the gap between strip stainless sheet disposed along the opening groove of between brackets each other, the slider, the stainless A sliding member that is slidably mounted on the sheet, a table cover that is disposed on the upper side of the pair of side covers and the stainless steel sheet so as to cover the sliding member, and the sliding member is held And a slider body that supports the object to be operated through the upper surface of the table cover, and the countersunk hole is formed in the rigid body so as to increase the diameter of the entrance side of the recess, and the elastic body is formed in the countersink hole. Is in housing.
Furthermore, the present invention is that a rubber material or a low-rebound rubber material is used for the elastic body.

本発明によれば、位置検出センサを用いず、モータに複雑な制御対象を増やすことなく、繰り返しの原点出しに再現性を持たせることができる。また、スライダに当接した該弾性体が上記座繰り穴内で弾性変形して座繰り穴内に収まるので、剛体部によって上記スライダを一定位置で停止させることができることから、常に一定位置での原点出しを行なうことができる。
本発明によれば、弾性体によってスライダの速度を減速させてから剛体によってスライダを停止させるので、高速での原点復帰が可能である。また、座繰り穴に上記弾性体を収容できるので、弾性体が経年劣化によって変形しても、剛体部で常時原点復帰の基準が決定されることから、安定した位置決め基準を保つことができる。
本発明によれば、スライダの速度を効果的に減速することができるので、高速での原点出しを行なうことができることから原点出し時間の短縮を図ることができる。 According to the present invention, it is possible to give reproducibility to repeated origination without using a position detection sensor and without increasing the number of complicated control objects in the motor. In addition, since the elastic body in contact with the slider is elastically deformed in the countersink hole and fits in the countersink hole, the slider can be stopped at a fixed position by the rigid body portion. Can be performed.
According to the present invention , since the slider is stopped by the rigid body after the speed of the slider is reduced by the elastic body, the origin can be returned at a high speed. In addition, since the elastic body can be accommodated in the counterbore, even if the elastic body is deformed due to aging, a reference for returning to the origin is always determined by the rigid body portion, so that a stable positioning reference can be maintained.
According to the present invention , the speed of the slider can be effectively reduced, and the origin can be found at a high speed, so that the origin finding time can be shortened.

以下図示の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１ないし図６は単軸ロボットアクチュエータを示し、図９はシートを組み付けた摺動部材を示す図である。図１０は可動スライダを示す図である。 Embodiments shown in the drawings will be described in detail below with reference to the drawings.
1 to 6 show a single-axis robot actuator, and FIG. 9 shows a sliding member assembled with a sheet. FIG. 10 is a diagram showing a movable slider.

図１ないし図６は、単軸ロボットアクチュエータを示したもので、アクチュエータ１の機構部１Ａと駆動部１Ｂとで構成されている。 FIGS. 1 to 6 show a single-axis robot actuator, which is composed of a mechanism portion 1A and a drive portion 1B of the actuator 1. FIG.

上記機構部１Ａは、ハウジング２Ａ内にボールネジ軸３とボールネジナット４を内蔵し、ボールネジナット４と共に移動する可動スライダ５がハウジング２Ａ上面に設けられている。ハウジング２Ａは、底面を構成する長尺のリニアガイドレール６と、このリニアガイドレール６の両側に設けられた一対のサイドカバー７と、これらリニアガイドレール６および一対のサイドカバー７の前後方向の両側に装着される剛体部としてのフランジ８およびブラケット９と、これらフランジ８およびブラケット９相互間に上記一対のサイドカバー７上面相互の間隙を塞ぐようにハウジング２Ａの開口溝２ａに沿って配設された帯状のステンレスシート１０とで構成されている。 The mechanism portion 1A has a ball screw shaft 3 and a ball screw nut 4 built in a housing 2A, and a movable slider 5 that moves together with the ball screw nut 4 is provided on the upper surface of the housing 2A. The housing 2A includes a long linear guide rail 6 constituting the bottom surface, a pair of side covers 7 provided on both sides of the linear guide rail 6, and the linear guide rail 6 and the pair of side covers 7 in the front-rear direction. The flange 8 and the bracket 9 as rigid parts to be mounted on both sides, and the flange 8 and the bracket 9 are disposed along the opening groove 2a of the housing 2A so as to close the gap between the upper surfaces of the pair of side covers 7. The belt-shaped stainless steel sheet 10 is formed.

上記ボールネジ軸３は一端を回転軸受け１１を介して上記フランジ８に支持され、他端を回転軸受け１２を介してブラケット９に支持されている。このボールネジ軸３の他端の先は、カップリング１３を介して駆動部１Ｂに設けられたサーボモータ１４の回転軸１４ａに連結している。 One end of the ball screw shaft 3 is supported by the flange 8 via a rotary bearing 11, and the other end is supported by a bracket 9 via a rotary bearing 12. The other end of the ball screw shaft 3 is connected via a coupling 13 to a rotation shaft 14a of a servo motor 14 provided in the drive unit 1B.

可動スライダ５は、ハウジング２Ａの上面に長手方向、すなわち上記開口溝２ａに沿ってスライドするもので、この可動スライダ５は、図９に示すように、上記一対のサイドカバー７とステンレスシート１０の上部側に、後述する摺動部材１６を覆うように配置された箱形のテーブルカバー１５と、上記ステンレスシート１０に摺動可能に装着された摺動部材１６と、この摺動部材１６を保持するとともに、上記テーブルカバー１５の上面を通して被操作体を支持するスライダ本体１７とを備えている。このスライダ本体１７は、上記リニアガイドレール６に沿って摺動可能に配設されたリニアガイドブロック１８と一体的に設けられており、上記ボールネジナット４の移動とともに上記ボールネジ軸３に沿ってハウジング２Ａ内を往復動作されるものである。 The movable slider 5 slides on the upper surface of the housing 2A in the longitudinal direction, that is, along the opening groove 2a. The movable slider 5 includes the pair of side covers 7 and the stainless sheet 10 as shown in FIG. On the upper side, a box-shaped table cover 15 disposed so as to cover a sliding member 16 to be described later, a sliding member 16 slidably mounted on the stainless steel sheet 10, and the sliding member 16 are held. In addition, a slider main body 17 that supports the operation target through the upper surface of the table cover 15 is provided. The slider body 17 is provided integrally with a linear guide block 18 slidably disposed along the linear guide rail 6, and moves along the ball screw shaft 3 along with the movement of the ball screw nut 4. It is reciprocated within 2A.

このスライダ本体１７は、図１０（ａ）（ｂ）（ｃ）および図１１（ａ）（ｂ）に示すように、略四角形の上面の四隅に支柱１７ａが立設され、かつ上面の前後方向を斜面に形成された台形の凸面部１７ｂが設けられている。この凸面部１７ｂの両側を挟むように上記前後一対の支柱１７ａが設けられており、前部の支柱１７ａ相互間および後部の支柱１７ａ相互間を連結部材１７ｃでそれぞれ連結している。上記支柱１７ａの上面には、被操作体を支持するネジ孔等の螺子孔となる取付部１７ｄが設けられている。上記ステンレスシート１０はスライダ本体１７の凸面部１７ｂと連結部材１７ｃとの間隙１７ｆを通して組み付けられている（図９参照）。上記スライダ本体１７の凸面部１７ｂの上面には、上記摺動部材１６の後述する樹脂シャフト２１にそれぞれ対応する断面円弧状の２つの凹条１７ｅが幅方向に沿って形成されている。上記スライダ本体１７には、テーブルカバー１５を組み付けるためのネジ孔１７ｇが連結部材１７ｃの上面中央部に形成され、上記支柱１７ａの外側面には、上面に取付孔１７ｈを形成した突起部１７ｉが外方に向けて突設されている。 As shown in FIGS. 10 (a), (b), (c) and FIGS. 11 (a), (b), the slider body 17 has support columns 17a erected at the four corners of the substantially rectangular upper surface, and the front-rear direction of the upper surface. A trapezoidal convex surface portion 17b formed on the slope is provided. The pair of front and rear struts 17a are provided so as to sandwich both sides of the convex surface portion 17b, and the front struts 17a and the rear struts 17a are connected by connecting members 17c. A mounting portion 17d serving as a screw hole such as a screw hole for supporting the object to be operated is provided on the upper surface of the column 17a. The stainless steel sheet 10 is assembled through a gap 17f between the convex portion 17b of the slider body 17 and the connecting member 17c (see FIG. 9). On the upper surface of the convex surface portion 17b of the slider body 17, two concave ridges 17e corresponding to respective resin shafts 21 of the sliding member 16 which will be described later are formed along the width direction. A screw hole 17g for assembling the table cover 15 is formed in the slider body 17 at the center of the upper surface of the connecting member 17c, and a protrusion 17i having a mounting hole 17h formed on the upper surface is formed on the outer surface of the column 17a. It protrudes outward.

上記摺動部材１６は、図９に示すように、互いに所定間隔を置いて対向する長尺の樹脂プレートから構成された一対のローラーホルダ１９と、これら一対のローラーホルダ１９の前端部相互間および後端部相互間を互いに連結したステンレス製のシャフト２０₁，２０₂と、一対のローラーホルダ１９の中間部相互間を互いに連結した樹脂製のシャフト２１とで、構成されている。ローラーホルダ１９は、合成樹脂材料により成形された長尺のプレート薄板状に構成されており、上記スライダ本体１７の支柱１７ａに対応する上記プレートの外側側面に、前後方向に一定長さの凹部１９ａが内側に向けて２箇所形成され、かつ下面側にも前後方向に一定長さの切り欠き部１９ｂが２箇所形成されている。 As shown in FIG. 9, the sliding member 16 includes a pair of roller holders 19 composed of long resin plates facing each other at a predetermined interval, and between the front ends of the pair of roller holders 19 and A stainless steel shaft 20 ₁ , 20 ₂ connected to each other between the rear end portions and a resin shaft 21 connected to each other between the intermediate portions of the pair of roller holders 19 are configured. The roller holder 19 is formed in a long plate thin plate shape formed of a synthetic resin material, and a concave portion 19a having a predetermined length in the front-rear direction is formed on the outer side surface of the plate corresponding to the column 17a of the slider body 17. Are formed inward at two locations, and two notches 19b having a predetermined length are formed in the front-rear direction on the lower surface side.

上記シャフト２０₁，２０₂は、図９に示すように、ステンレス製のもので、一対のローラーホルダ１９の凹部１９ａよりも前側および後側の内側面に形成された凹状の軸受けハウジング１９ｃに軸受け２２を介して支持されており、このシャフト２０₁，２０₂の途中には、それぞれゴム等の弾性体で成形されたＯリング等の弾性ローラ２３が複数個（図示例では２個）互いに所定間隔を置いて装着されている。ローラーホルダ１９の軸受けハウジング１９ｃは、樹脂成形されるローラーホルダ１９の成形時に一体に成形されている。 As shown in FIG. 9, the shafts 20 ₁ and 20 ₂ are made of stainless steel, and are supported by a concave bearing housing 19 c formed on the inner surface on the front side and the rear side of the concave portion 19 a of the pair of roller holders 19. 22, and a plurality of elastic rollers 23 such as O-rings (two in the illustrated example) formed of an elastic body such as rubber are respectively provided on the shafts 20 ₁ and 20 _2. It is installed at intervals. The bearing housing 19c of the roller holder 19 is integrally formed when the roller holder 19 that is resin-molded is molded.

一方、上記樹脂シャフト２１は、図９に示すように、ローラーホルダ１９の中間部相互間を連結したもので、ローラーホルダ１９に設けられた２箇所の凹部１９ａの間で、上記シャフト２０₁，２０₂の位置よりも、スライダ本体１７の凸面部１７ｂの高さを考慮して、わずかに上方に配置されている。上記樹脂シャフト２１は、実施例では、ローラーホルダ１９の長手方向にずらせて２本設けられているが、必要に応じて１本あるいは３本以上設けることもできる。この樹脂シャフト２１は、軸方向に沿って径の大きい大径部２１ａと、径の小さい小径部２１ｂが一定間隔で交互に設けられている。上記樹脂シャフト２１は、両端を上記ローラーホルダ１９の側面に固定してもよく、あるいは回動可能に組みつけてもよい。また、大径部２１ａと小径部２１ｂは、軸方向に凹凸が設けられていれば良く、グリス等の潤滑油が外部に流出しない程度の径の差を設けて形成されている。 On the other hand, the resin shaft 21, as shown in FIG. 9, a concatenation of mutual intermediate portion of the roller holder 19, between the recesses 19a at two locations provided in the roller holder 19, the shaft 20 _1, than the position of 20 _2, taking into account the height of the convex portion 17b of the slider body 17, and is located slightly upward. In the embodiment, two resin shafts 21 are provided shifted in the longitudinal direction of the roller holder 19, but one or three or more resin shafts 21 may be provided as necessary. The resin shaft 21 has a large-diameter portion 21a having a large diameter and a small-diameter portion 21b having a small diameter that are alternately provided at regular intervals along the axial direction. Both ends of the resin shaft 21 may be fixed to the side surfaces of the roller holder 19 or may be assembled so as to be rotatable. Moreover, the large diameter part 21a and the small diameter part 21b should just be provided with unevenness | corrugation in the axial direction, and are provided with the difference of a diameter so that lubricating oil, such as grease, does not flow out outside.

上記摺動部材１６は、図９に示すように、一対のローラーホルダ１９と、シャフト２０₁，２０₂と、樹脂シャフト２１とで囲まれる開口部２４に、上記スライダ本体１７の支柱１７ａおよび連結部材１７ｃを合わせてスライダ本体１７に組付けられている。上記摺動部材１６は、一対のローラーホルダ１９の切り欠き部１９ｂを上記スライダ本体１７の突起部１７ｉに係合させて上記スライダ本体１７に組み付けられており、一対のローラーホルダ１９が上記スライダ本体１７の支柱１７ａの外側面にガイドされて位置決めされている。上記摺動部材１６の樹脂シャフト２１は、上記スライダ本体１７の凸面部１７ｂの２つの凹条１７ｅに対応するように配置されている。 As shown in FIG. 9, the sliding member 16 is connected to a support column 17 a of the slider body 17 and a connection to an opening 24 surrounded by a pair of roller holders 19, shafts 20 ₁ and 20 _2, and a resin shaft 21. The members 17c are combined and assembled to the slider body 17. The sliding member 16 is assembled to the slider main body 17 by engaging the notches 19b of the pair of roller holders 19 with the protrusions 17i of the slider main body 17, and the pair of roller holders 19 is assembled to the slider main body 17. It is positioned by being guided by the outer surface of the 17 support columns 17a. The resin shaft 21 of the sliding member 16 is disposed so as to correspond to the two concave stripes 17 e of the convex surface portion 17 b of the slider body 17.

上記ステンレスシート１０は、上記摺動部材１６の片側のシャフト２０₁（２０₂）の下方開口を通してスライダ本体１７の凸面部１７ｂと連結部材１７ｃとの間隙１７ｆの一方から、樹脂シャフト２１の上面を通して反対側の間隙１７ｆを通して、他方側の上記摺動部材１６のシャフト２０₂（２０₁）の下面側を通して組み付けられている。上記摺動部材１６のシャフト２０₁，２０₂は、スライダ本体１７の凸面部１７ｂの外側で、上記ステンレスシート１０を、上記一対のサイドカバー７上面に押し付けるように配置されている。 The stainless steel sheet 10 passes through the upper surface of the resin shaft 21 from one of the gaps 17f between the convex surface portion 17b of the slider body 17 and the connecting member 17c through the lower opening of the shaft 20 ₁ (20 ₂ ) on one side of the sliding member 16. It is assembled through the gap 17f on the opposite side and through the lower surface side of the shaft 20 ₂ (20 ₁ ) of the sliding member 16 on the other side. The shafts 20 ₁ and 20 ₂ of the sliding member 16 are arranged outside the convex surface portion 17 b of the slider body 17 so as to press the stainless steel sheet 10 against the upper surfaces of the pair of side covers 7.

上記テーブルカバー１５は、図９に示すように、四角形の上面１５Ａと、上面１５Ａの四辺に、斜め下方向に向けて設けられた側壁面１５Ｂとで蓋形状に形成されており、上記摺動部材１６の上から被せるようにしてスライダ本体１７に組みつけられている。テーブルカバー１５の上面１５Ａ四隅には、スライダ本体１７の支柱１７ａに対応するように開口穴１５ａが形成されており、この開口穴１５ａに支柱１７ａの先端が組み付けられている。この支柱１７ａの先端の取付部１７ｄに被操作体を組付けるものである。テーブルカバー１５の上面１５Ａ中央部両側には、２箇所の取付穴１５ｂが形成されており、この取付穴１５ｂに図示しないネジを通して、上記スライダ本体１７の連結部材１７ｃに形成したネジ孔１７ｇに螺合している。上記テーブルカバー１５の幅方向の側壁面１５Ｂには、それぞれ内側に向けて凹部１５ｃが２箇所に設けられており、この凹部１５ｃにスライダ本体１７の突起部１７ｉに設けられた係合部１７ｊに係合する開口部１５ｄが設けられている。 As shown in FIG. 9, the table cover 15 is formed in a lid shape with a rectangular upper surface 15A and side wall surfaces 15B provided obliquely downward on four sides of the upper surface 15A. The slider body 17 is assembled so as to cover the member 16. Opening holes 15a are formed at the four corners of the upper surface 15A of the table cover 15 so as to correspond to the pillars 17a of the slider body 17, and the tips of the pillars 17a are assembled into the opening holes 15a. The object to be operated is assembled to the mounting portion 17d at the tip of the column 17a. Two attachment holes 15b are formed on both sides of the central portion of the upper surface 15A of the table cover 15. A screw (not shown) is passed through the attachment hole 15b and screwed into a screw hole 17g formed in the connecting member 17c of the slider body 17. Match. The side wall surface 15B in the width direction of the table cover 15 is provided with two concave portions 15c facing inward, and the concave portions 15c are connected to the engaging portions 17j provided on the projecting portions 17i of the slider body 17. An engaging opening 15d is provided.

上記フランジ８およびブラケット９には、図４ないし図８に示すように、可動スライダ５に対向する面に、それぞれ凹部８ａ，９ａが形成されており、この凹部８ａ，９ａにはゴム材、あるいは低反発ゴム材で形成した円柱状の弾性体２５，２６が緩衝材として配設されている。この弾性体２５，２６は、剛体部としての上記フランジ８およびブラケット９の表面よりも突出するようにして凹部８ａ，９ａに接着あるいは圧入によって配設されており、上記フランジ８およびブラケット９の面よりも先に弾性体２５，２６が可動スライダ５に当接して可動スライダ５の速度を減速させるものである。
この弾性体２５，２６の周囲の上記フランジ８およびブラケット９の面には、凹部８ａ，９ａの入り口側の径を拡大するように、座繰り穴８ｂ，９ｂが形成されている。剛体部としての上記フランジ８およびブラケット９は、衝撃吸収部としての弾性体２５，２６とともに、それぞれストッパ装置が構成されている。
上記フランジ８およびブラケット９には、上記ステンレスシート１０の前後の両端部を押えるシート押さえ２７，２８が設けられている。 As shown in FIGS. 4 to 8, the flange 8 and the bracket 9 are respectively provided with recesses 8 a and 9 a on the surface facing the movable slider 5, and the recesses 8 a and 9 a have a rubber material or Cylindrical elastic bodies 25 and 26 formed of a low resilience rubber material are disposed as cushioning materials. The elastic bodies 25 and 26 are disposed by bonding or press-fitting into the recesses 8a and 9a so as to protrude from the surfaces of the flange 8 and the bracket 9 as rigid bodies. Prior to this, the elastic bodies 25 and 26 are brought into contact with the movable slider 5 to reduce the speed of the movable slider 5.
Countersunk holes 8b and 9b are formed in the surfaces of the flange 8 and the bracket 9 around the elastic bodies 25 and 26 so as to increase the diameter of the recesses 8a and 9a on the entrance side. The flange 8 and the bracket 9 as the rigid body portions constitute stopper devices together with the elastic bodies 25 and 26 as the shock absorbing portions.
The flange 8 and the bracket 9 are provided with sheet pressers 27 and 28 for pressing the front and rear end portions of the stainless steel sheet 10.

上記駆動部１Ｂに設けられたモータ１４は、ハウジング２Ｂ内に収納されており、このハウジング２Ｂの後端には、モータ１４に電力および駆動信号を送るケーブルコネクタ２９を収納する端末カバー３０が、着脱可能に装着されている。端末カバー３０は、モータ１４後端と一定の空間を形成するように箱形に形成されており、下部側の一側を切り欠いて凹部３０ａを形成し、この凹部３０ａの下面側にケーブル３１を通す相通孔３０ｂが形成されている。 The motor 14 provided in the drive unit 1B is housed in a housing 2B, and a terminal cover 30 that houses a cable connector 29 that sends electric power and drive signals to the motor 14 at the rear end of the housing 2B. It is detachably attached. The terminal cover 30 is formed in a box shape so as to form a fixed space with the rear end of the motor 14, and a recess 30a is formed by notching one side of the lower side, and a cable 31 is formed on the lower surface side of the recess 30a. A passage hole 30b is formed to pass therethrough.

次に、単軸ロボットアクチュエータの作動に先立ってアクチュエータの原点出し方法を説明する。
原点出しは、可動スライダ５を通常速度で駆動し、たとえば、上記フランジ８に向けて走行させる。可動スライダ５は、スライダ本体１７が弾性体２５に当接し、弾性体２５を変形させる。弾性体２５は変形しながら押し潰させて座繰り穴８ｂ内に圧縮され座繰り穴８ｂ内に収納される。こうして、可動スライダ５は、スライダ本体１７が剛体部としてのフランジ８表面に当接して停止される。このようにして、片方の位置決めが図られて原点出しが行なわれる。また、逆方向に同様の動作が可能であり、可動スライダ５を作動し、可動スライダ５をブラケット９に向けて走行させて、スライダ本体１７を弾性体２６に当接させ、弾性体２６を圧縮させる。そして、弾性体２６を変形させて座繰り穴９ｂ内に収納させる。スライダ本体１７は、剛体部としてのブラケット９表面に当接して停止され、原点出しが行なわれる。こうして、原点出しが行なわれると、この位置を基準にして制御部では、可動スライダ５の制御を開始する。 Next, prior to the operation of the single-axis robot actuator, a method for determining the origin of the actuator will be described.
In the origin search, the movable slider 5 is driven at a normal speed and, for example, travels toward the flange 8. In the movable slider 5, the slider body 17 abuts on the elastic body 25 and deforms the elastic body 25. The elastic body 25 is crushed while being deformed, compressed into the countersink hole 8b, and stored in the countersink hole 8b. Thus, the movable slider 5 is stopped when the slider body 17 abuts on the surface of the flange 8 as the rigid body portion. In this way, positioning of one side is achieved and the origin is determined. Further, the same operation is possible in the reverse direction, the movable slider 5 is operated, the movable slider 5 is moved toward the bracket 9, the slider body 17 is brought into contact with the elastic body 26, and the elastic body 26 is compressed. Let Then, the elastic body 26 is deformed and stored in the counterbore 9b. The slider main body 17 is stopped in contact with the surface of the bracket 9 as a rigid body portion, and the origin is set. When the origin is thus found, the control unit starts to control the movable slider 5 with reference to this position.

そして、原点出しされたデータをもとに制御部では、可動スライダ５の往復動制御を開始する。通常の走行に際しては、駆動コントローラからケーブル３１を介して駆動信号が送られると、ケーブルコネクタ２９を通してモータ１４に駆動信号が送られ、モータ１４を回転駆動する。モータ１４の回転は、カップリング１３を介してボールネジ軸３に伝達され、ボールネジ軸３の回転にともなって、ボールネジナット４がボールネジ軸３に沿って移動する。そして、ボールネジナット４と一体に移動するスライダ本体１７が、上記リニアガイドレール６に沿って摺動可能に配設されたリニアガイドブロック１８とともに移動を開始する。こうして、スライダ本体１７とともに可動スライダ５が移動し、可動スライダ５に装着された被操作体を移動操作する。可動スライダ５はテーブルカバー１５の内部で、ステンレスシート１０を摺動部材１６で支え、摺動部材１６の弾性ローラ２３と樹脂シャフト２１によって、ステンレスシート１０を保持する。ステンレスシート１０は片側のシャフト２０₁（２０₂）の弾性ローラ２３の下面側を通して、樹脂シャフト２１の上面側を通し、他方側のシャフト２０₂（２０₁）の弾性ローラ２３の下面側を通して組み付けられている。摺動部材１６の弾性ローラ２３は、シャフト２０₁，２０₂とともに自由に回転するので、可動スライダ５の移動をスムーズに行なうことができる。また、摺動部材１６の樹脂シャフト２１は、合成樹脂で形成されているので、ステンレスシート１０の滑りが良く、可動スライダ５の移動を効率的に行なうことができる。
こうして、可動スライダ５はボールネジ軸３によって、開口溝２ａに沿って往復動され、可動スライダ５の取付部１７ｄに取付けられた被操作体を往復制御する。 Then, the control unit starts reciprocating control of the movable slider 5 based on the data obtained from the origin. During normal travel, when a drive signal is sent from the drive controller via the cable 31, the drive signal is sent to the motor 14 through the cable connector 29 to drive the motor 14 to rotate. The rotation of the motor 14 is transmitted to the ball screw shaft 3 through the coupling 13, and the ball screw nut 4 moves along the ball screw shaft 3 as the ball screw shaft 3 rotates. Then, the slider body 17 that moves integrally with the ball screw nut 4 starts moving together with the linear guide block 18 that is slidably disposed along the linear guide rail 6. In this way, the movable slider 5 moves together with the slider body 17, and the object to be operated attached to the movable slider 5 is moved. The movable slider 5 supports the stainless steel sheet 10 with the sliding member 16 inside the table cover 15, and holds the stainless steel sheet 10 by the elastic roller 23 and the resin shaft 21 of the sliding member 16. The stainless steel sheet 10 is assembled through the lower surface side of the elastic roller 23 of the one side shaft 20 ₁ (20 ₂ ), through the upper surface side of the resin shaft 21 and through the lower surface side of the elastic roller 23 of the other side shaft 20 ₂ (20 ₁ ). It has been. Since the elastic roller 23 of the sliding member 16 freely rotates together with the shafts 20 ₁ and 20 ₂ , the movable slider 5 can be moved smoothly. Further, since the resin shaft 21 of the sliding member 16 is made of synthetic resin, the stainless steel sheet 10 slides well, and the movable slider 5 can be moved efficiently.
In this way, the movable slider 5 is reciprocated along the opening groove 2 a by the ball screw shaft 3, and the object to be operated attached to the attachment portion 17 d of the movable slider 5 is controlled to reciprocate.

上記実施の形態によると、両端の原点出しが行なわれると、この位置を基準にして制御部では、可動スライダ５の制御を開始するので、原点位置の基準の再現性が確保され、安定した位置決め基準が保たれることから、確実な往復動制御を行なうことができる。弾性体２５，２６は、座繰り孔８ｂ，９ｂ内に弾性変形して圧縮されるので、可動スライダ５は、フランジ８およびブラケット９に当接して原点位置が決められることから、原点位置の基準が変動しない。よって、確実な往復動駆動を行なうことができる。 According to the above embodiment, when the origins at both ends are set, the control unit starts control of the movable slider 5 with reference to this position, so that the reproducibility of the reference of the origin position is ensured and stable positioning is achieved. Since the reference is maintained, reliable reciprocation control can be performed. Since the elastic bodies 25 and 26 are elastically deformed and compressed in the counterbore holes 8b and 9b, the movable slider 5 comes into contact with the flange 8 and the bracket 9 to determine the origin position. Does not fluctuate. Therefore, reliable reciprocating drive can be performed.

また、可動スライダ５は、スライダ本体１７に、摺動部材１６を組付け、摺動部材１６の上にテーブルカバー１５を被せて一体に組み付けられる。さらに、摺動部材１６を、樹脂材料で成形した一対のローラーホルダ１９と、これら一対のローラーホルダ１９の前端部相互間および後端部相互間を互いに連結したステンレス製のシャフト２０₁，２０₂と、一対のローラーホルダ１９の中間部相互間を互いに連結した樹脂シャフト２１とで構成し、シャフト２０₁，２０₂の途中には、それぞれゴム等の弾性体で成形されたＯリング等の一対の弾性ローラ２３が互いに所定間隔を置いて装着されているので、軽量で、かつステンレスシート１０との滑りが良好である。また、ステンレスシート１０との接触が滑らかであることからステンレスシート１０に必要以上の負荷を加えず、ステンレスシート１０の耐久性の向上を図ることができる。 In addition, the movable slider 5 is assembled integrally with the slider body 17 by assembling the sliding member 16 and covering the sliding member 16 with the table cover 15. Furthermore, the sliding member 16 is made of a pair of roller holders 19 formed of a resin material, and stainless steel shafts 20 ₁ and 20 _{2 in which} the front end portions and the rear end portions of the pair of roller holders 19 are connected to each other. A pair of roller holders 19 and a resin shaft 21 connected to each other between the middle portions of the pair of roller holders 19. A pair of O-rings or the like formed of an elastic body such as rubber is provided in the middle of the shafts 20 ₁ and 20 _2. Since the elastic rollers 23 are mounted at a predetermined distance from each other, they are lightweight and slip with the stainless steel sheet 10 is good. In addition, since the contact with the stainless steel sheet 10 is smooth, it is possible to improve the durability of the stainless steel sheet 10 without applying an unnecessary load to the stainless steel sheet 10.

またさらに、摺動部材１６の上にテーブルカバー１５を被せて一体に組み付けているので、内部のスライダ本体１７等が側壁面１５Ｂによって外部から見えず外観の向上を図ることができるとともに、外部から埃、ごみ等が入り込まない。また、中間部相互間を互いに連結した樹脂シャフト２１には、大径部２１ａと小径部２１ｂを設けているので、グリス等の潤滑油が小径部２１ｂに溜まり外部に漏れ出る虞がない。さらに、被操作体を取付部１７ｄに取付けることによって、可動スライダ５に被操作体を取付けることができるので、被操作体を強固に固定することができる。可動スライダ５をコンパクトな構成にすることができるので、アクチュエータ１の全長を短縮して小型化を図ることができる。またさらに、前部の支柱１７ａ相互間および後部の支柱１７ａ相互間を連結部材１７ｃでそれぞれ連結しているので、応力が集中する肉厚の薄い部分あるいは被操作体の取付部の剛性を確保することができる。 Furthermore, since the table cover 15 is put on the sliding member 16 and integrally assembled, the internal slider body 17 and the like are not visible from the outside by the side wall surface 15B, and the appearance can be improved. Dust and dust do not enter. Moreover, since the large diameter part 21a and the small diameter part 21b are provided in the resin shaft 21 which mutually connected intermediate parts, there is no possibility that lubricating oil, such as grease, will collect in the small diameter part 21b and leak outside. Furthermore, since the operated body can be attached to the movable slider 5 by attaching the operated body to the mounting portion 17d, the operated body can be firmly fixed. Since the movable slider 5 can be made compact, the overall length of the actuator 1 can be shortened and the size can be reduced. Furthermore, since the front columns 17a and the rear columns 17a are connected to each other by the connecting members 17c, the rigidity of the thin portion where stress is concentrated or the mounting portion of the operated body is secured. be able to.

なお、本発明は、上記実施の形態のみに限定されるものではなく、例えば、本実施の形態では、可動スライダ５は、剛体部であるフランジ８およびブラケット９に当接して原点位置を決めているが、可動スライダ５に図４に示すようなストッパ３２を設けて、このストッパ３２を、たとえばフランジ８（もしくはブラケット９）側に設けられた固定部３３に当接させて原点出しを行なうようにすることもできる。これによって、フランジ８および可動スライダ５相互の接触に伴う損傷などを防ぐことができる。など、その他、本発明の要旨を変更しない範囲内で適宜変更して実施し得ることはいうまでもない。 The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, in this embodiment, the movable slider 5 is in contact with the flange 8 and the bracket 9 which are rigid bodies to determine the origin position. However, the movable slider 5 is provided with a stopper 32 as shown in FIG. 4, and the stopper 32 is brought into contact with, for example, a fixed portion 33 provided on the flange 8 (or bracket 9) side so as to perform the origin search. It can also be. As a result, damage caused by contact between the flange 8 and the movable slider 5 can be prevented. In addition, it goes without saying that the present invention can be appropriately modified and implemented within the scope not changing the gist of the present invention.

本発明の実施の形態によるロボットアクチュエータにおけるスライダ構造を示す平面図である。It is a top view which shows the slider structure in the robot actuator by embodiment of this invention. 本発明の実施の形態によるロボットアクチュエータにおけるスライダ構造を示す正面図である。It is a front view which shows the slider structure in the robot actuator by embodiment of this invention. 図１のＡ−Ａ線断面図である。It is the sectional view on the AA line of FIG. 図２のＢ−Ｂ線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line B-B in FIG. 2. 図２のＣ−Ｃ線断面図である。It is CC sectional view taken on the line of FIG. 図２のＤ−Ｄ線断面図である。It is the DD sectional view taken on the line of FIG. 図５のＦ−Ｆ線断面図である。It is the FF sectional view taken on the line of FIG. 図６のＧ−Ｇ線断面図である。It is the GG sectional view taken on the line of FIG. 図１の可動スライダを示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the movable slider of FIG. スライダ本体を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は右側面図である。The slider main body is shown, (a) is a plan view, (b) is a front view, and (c) is a right side view. （ａ）は、図１０（ｂ）のＨ−Ｈ線断面図、（ｂ）は図１０（ａ）のＩ−Ｉ線断面図である。(A) is the HH sectional view taken on the line of FIG.10 (b), (b) is the II sectional view taken on the line of Fig.10 (a). ステンレス製のシートを組み付けた摺動部材を示し、図９のＪ−Ｊ線断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line JJ of FIG. 9, showing a sliding member assembled with a stainless steel sheet.

Explanation of symbols

１アクチュエータ
１Ａ機構部
１Ｂ駆動部
２Ａ，２Ｂハウジング
３ボールネジ軸
４ボールネジナット
５可動スライダ
６リニアガイドレール
７サイドカバー
８フランジ（剛体部）
８ｂ座繰り孔
９ブラケット（剛体部）
９ｂ座繰り孔
１０ステンレスシート
１１，１２回転軸受け
１３カップリング
１４サーボモータ（モータ）
１５テーブルカバー
１６摺動部材
１７スライダ本体
１７ａ支柱
１７ｂ凸面部
１７ｃ連結部材
１７ｄ取付部
１７ｅ凹条
１８リニアガイドブロック
１９ローラーホルダ
１９ｃ軸受けハウジング
２０₁，２０₂ ステンレス製のシャフト
２１樹脂シャフト
２２軸受け
２３弾性ローラ
２４開口部
２５，２６弾性体
２７，２８シート押さえ
３０端末カバー 1 Actuator 1A Mechanism 1B Drive 2A, 2B Housing 3 Ball Screw Shaft 4 Ball Screw Nut 5 Movable Slider 6 Linear Guide Rail 7 Side Cover 8 Flange (Rigid Body)
8b Counterbore 9 Bracket (rigid part)
9b Counterbore hole 10 Stainless steel sheet 11, 12 Rotating bearing 13 Coupling 14 Servo motor (motor)
15 table cover 16 slide member 17 the slider body 17a strut 17b convex portion 17c connecting member 17d attachment portion 17e concave 18 linear guide block 19 Roller holder 19c bearing housing 20 _1, 20 ₂ stainless steel shaft 21 resin shaft 22 bearing 23 elastically Roller 24 Opening 25, 26 Elastic body 27, 28 Sheet presser 30 Terminal cover

Claims

A stopper device composed of a cushioning material and a rigid body is disposed at the stroke end for stopping the slider that is reciprocated within a certain operating region by a driving mechanism provided in the housing, and the slider is moved at a normal driving speed. Move to the end of the stroke and contact with the buffer material of the stopper device to decelerate, further actuate the slider and press against the stopper device at an extremely lower speed than the normal speed to resist the elasticity of the buffer material. In the origin-finding method in the actuator that pushes the cushioning material and stops the slider by the rigid body portion of the stopper device to find the origin,
The housing is mounted on a long linear guide rail constituting the bottom surface, a pair of side covers provided on both sides of the linear guide rail, and both sides of the linear guide rail and the pair of side covers in the front-rear direction. A flange and a bracket as the rigid body,
A band-shaped stainless steel sheet disposed along the opening groove of the housing so as to close the gap between the upper surfaces of the pair of side covers between the flange and the bracket,
The slider includes a sliding member slidably mounted on the stainless steel sheet,
A table cover disposed on the upper side of the pair of side covers and the stainless sheet so as to cover the sliding member;
Holds the sliding member, and a slider body for supporting the the operated element through the upper surface of the table cover,
An elastic body is used as the cushioning material, and the elastic body is accommodated in the rigid body portion in a countersink hole formed so as to enlarge the diameter of the entrance side of the recess, and the elastic body is protruded from the rigid body portion. After the elastic body that is in contact with the slider is elastically deformed in the countersink hole, the slider is stopped by the rigid body portion, and the origin is set in a state where the slider and the rigid body portion are in contact with each other. A method for determining the origin in an actuator.

A rigid body part for stopping the slider is provided at the stroke end on both sides of the housing for stopping the slider that is reciprocated in a fixed operation region by a drive mechanism built in the housing, and faces the slider of the rigid body part. A concave portion is formed on the surface, an elastic body is disposed in the concave portion so as to protrude from the end surface of the rigid body portion, and the slider is decelerated by the elastic body and then stopped at the origin position by the rigid body portion. In the home position stopper device in the actuator
The housing is mounted on a long linear guide rail constituting the bottom surface, a pair of side covers provided on both sides of the linear guide rail, and both sides of the linear guide rail and the pair of side covers in the front-rear direction. A flange and a bracket as the rigid body,
A band-shaped stainless steel sheet disposed along the opening groove of the housing so as to close the gap between the upper surfaces of the pair of side covers between the flange and the bracket,
The slider includes a sliding member slidably mounted on the stainless steel sheet,
A table cover disposed on the upper side of the pair of side covers and the stainless sheet so as to cover the sliding member;
Holds the sliding member, and a slider body for supporting the the operated element through the upper surface of the table cover,
An origin return stopper device for an actuator, wherein a countersink hole is formed in the rigid part so as to increase a diameter of the entrance side of the recess, and the elastic body is accommodated in the countersink hole.

The origin detecting stopper device for an actuator according to claim 2, wherein a rubber material or a low rebound rubber material is used for the elastic body.