JP5267247B2 - Optical element for small laser - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical element for a compact laser capable of attaining a mode of which ellipticity is close to a predetermined value. <P>SOLUTION: In the optical element for a compact laser configured by joining a laser crystal (1) and a wavelength-converting crystal (2), grooves (7, 8) are formed in the end face portion of the laser crystal (1) that is the end face side of an optical resonator. Even if an ellipticity of a mode in which the grooves (7, 8) are not formed is extremely smaller than 1, by controlling the anisotropy of a thermal lens effect while changing the positions and shapes of the grooves (7, 8), a mode of which ellipticity is close to 1 can be attained by forming the grooves (7, 8). <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、小型レーザ用光学素子に関し、さらに詳しくは、所望の値に近い楕円率のモードが得られる小型レーザ用光学素子に関する。   The present invention relates to an optical element for a small laser, and more particularly to an optical element for a small laser that can obtain an ellipticity mode close to a desired value.

レーザ結晶と波長変換結晶とを貼り合わせた構造の小型レーザ用光学素子が知られている（特許文献１参照。）。   An optical element for a small laser having a structure in which a laser crystal and a wavelength conversion crystal are bonded together is known (see Patent Document 1).

特開２００７−２２５７８６号公報JP 2007-225786 A

従来の小型レーザ用光学素子では、モードが楕円になる傾向があった。つまり、モードの楕円率が１よりずっと小さくなる傾向があった。
しかし、一般的には、モードが円に近いことが望まれる。
そこで、本発明の目的は、所望の値に近い楕円率のモードが得られる小型レーザ用光学素子を提供することにある。 In a conventional small laser optical element, the mode tends to be elliptical. That is, the ellipticity of the mode tended to be much smaller than 1.
However, in general, it is desired that the mode is close to a circle.
Therefore, an object of the present invention is to provide an optical element for a small laser that can obtain an ellipticity mode close to a desired value.

第１の観点では、本発明は、光共振器端面となる部品（１）を含む小型レーザ用光学素子であって、光共振器端面となる部品（１）の光軸（ｙ）に直交し且つ互いに直交する２方向（ｘ，ｚ）の放熱特性を異ならせたことを特徴とする小型レーザ用光学素子を提供する。
上記第１の観点による小型レーザ用光学素子では、光共振器端面となる部品の光軸に直交し且つ互いに直交する２方向の放熱特性を異ならせたため、熱レンズ効果に異方性を生じる。そして、この熱レンズ効果の異方性により、モードの楕円率が変化する。そこで、放熱特性の差を変えることによって熱レンズ効果の異方性を制御すれば、所望の値に近い楕円率のモードを得ることが出来る。 In a first aspect, the present invention is an optical element for a small laser including a component (1) serving as an end face of an optical resonator, and is orthogonal to the optical axis (y) of the component (1) serving as an end face of an optical resonator. In addition, there is provided a compact laser optical element characterized in that heat radiation characteristics in two directions (x, z) orthogonal to each other are made different.
In the optical element for a small laser according to the first aspect, since the heat radiation characteristics in two directions orthogonal to the optical axis of the component serving as the end face of the optical resonator and different from each other are made different, anisotropy occurs in the thermal lens effect. The ellipticity of the mode changes due to the anisotropy of the thermal lens effect. Therefore, if the anisotropy of the thermal lens effect is controlled by changing the difference in heat dissipation characteristics, a mode with an ellipticity close to a desired value can be obtained.

第２の観点では、本発明は、前記第１の観点による小型レーザ用光学素子であって、光共振器端面となる部品（１）に前記２方向（ｘ，ｚ）のうちの一方向に延びる２本以上の溝（７，８）を形成したことを特徴とする小型レーザ用光学素子を提供する。
上記第２の観点による小型レーザ用光学素子では、光共振器端面となる部品の光軸に直交し且つ互いに直交する２方向のうちの一方向に延びる２本以上の溝を光共振器端面となる部品に形成するため、熱レンズ効果に異方性を生じる。そして、この熱レンズ効果の異方性により、モードの楕円率が変化する。そこで、溝の位置や形状を変えることによって熱レンズ効果の異方性を制御すれば、所望の値に近い楕円率のモードを得ることが出来る。 In a second aspect, the present invention is an optical element for a small laser according to the first aspect, wherein the component (1) serving as the end face of the optical resonator is placed in one of the two directions (x, z). Provided is a small laser optical element in which two or more extending grooves (7, 8) are formed.
In the optical element for a small laser according to the second aspect, two or more grooves extending in one direction out of two directions orthogonal to the optical axis of the component serving as the optical resonator end surface are defined as the optical resonator end surface. Therefore, anisotropy occurs in the thermal lens effect. The ellipticity of the mode changes due to the anisotropy of the thermal lens effect. Therefore, if the anisotropy of the thermal lens effect is controlled by changing the position and shape of the groove, an ellipticity mode close to a desired value can be obtained.

第３の観点では、本発明は、前記第１の観点による小型レーザ用光学素子であって、前記２方向（ｘ，ｚ）の幅（Ｗｘ，Ｗｚ）を異ならせたことを特徴とする小型レーザ用光学素子を提供する。
上記第３の観点による小型レーザ用光学素子では、光共振器端面となる部品の光軸に直交し且つ互いに直交する２方向の幅を異ならせたため、熱レンズ効果に異方性を生じる。そして、この熱レンズ効果の異方性により、モードの楕円率が変化する。そこで、幅を変えることによって熱レンズ効果の異方性を制御すれば、所望の値に近い楕円率のモードを得ることが出来る。 In a third aspect, the present invention provides a compact laser optical element according to the first aspect, wherein the two directions (x, z) have different widths (Wx, Wz). An optical element for a laser is provided.
In the optical element for a small laser according to the third aspect, since the widths in two directions orthogonal to the optical axis of the component serving as the end face of the optical resonator and different from each other are made different, anisotropy occurs in the thermal lens effect. The ellipticity of the mode changes due to the anisotropy of the thermal lens effect. Therefore, if the anisotropy of the thermal lens effect is controlled by changing the width, an ellipticity mode close to a desired value can be obtained.

第４の観点では、本発明は、光共振器端面となる部品（１）およびヒートシンク（１１）を含む小型レーザ用光学素子であって、光共振器端面となる部品（１）の光軸（ｙ）に直交し且つ互いに直交する２方向（ｘ，ｚ）におけるヒートシンク（１１）に対する伝熱特性を異ならせたことを特徴とする小型レーザ用光学素子を提供する。
上記第４の観点による小型レーザ用光学素子では、光共振器端面となる部品の光軸に直交し且つ互いに直交する２方向におけるヒートシンクに対する伝熱特性を異ならせたため、熱レンズ効果に異方性を生じる。そして、この熱レンズ効果の異方性により、モードの楕円率が変化する。そこで、伝熱特性の差を変えることによって熱レンズ効果の異方性を制御すれば、所望の値に近い楕円率のモードを得ることが出来る。 In a fourth aspect, the present invention is an optical element for a small laser including a component (1) serving as an end face of an optical resonator and a heat sink (11), wherein the optical axis of the component (1) serving as an end face of the optical resonator ( Provided is a small laser optical element characterized by having different heat transfer characteristics for a heat sink (11) in two directions (x, z) orthogonal to y) and orthogonal to each other.
In the optical element for a small laser according to the fourth aspect, the heat transfer effect with respect to the heat sink in two directions orthogonal to the optical axis of the component serving as the end face of the optical resonator and different from each other is made different. Produce. The ellipticity of the mode changes due to the anisotropy of the thermal lens effect. Therefore, if the anisotropy of the thermal lens effect is controlled by changing the difference in heat transfer characteristics, a mode with an ellipticity close to a desired value can be obtained.

第５の観点では、本発明は、光共振器端面となる部品（１）およびヒートシンクを含む小型レーザ用光学素子であって、光共振器端面となる部品（１）の光軸（ｙ）に直交し且つ互いに直交する２方向（ｘ，ｚ）のうちの一方向にのみヒートシンク（１２）を設けたことを特徴とする小型レーザ用光学素子を提供する。
上記第５の観点による小型レーザ用光学素子では、光共振器端面となる部品の光軸に直交し且つ互いに直交する２方向のうちの一方向にのみヒートシンクを設けたため、熱レンズ効果に異方性を生じる。そして、この熱レンズ効果の異方性により、モードの楕円率が変化する。そこで、ヒートシンクを変えることによって熱レンズ効果の異方性を制御すれば、所望の値に近い楕円率のモードを得ることが出来る。 In a fifth aspect, the present invention is an optical element for a small laser including a component (1) serving as an end face of an optical resonator and a heat sink, the optical axis (y) of the component (1) serving as an end face of the optical resonator. Provided is a small laser optical element characterized in that a heat sink (12) is provided only in one of two directions (x, z) orthogonal to each other.
In the optical element for a small laser according to the fifth aspect, since the heat sink is provided only in one of the two directions orthogonal to the optical axis of the component serving as the end face of the optical resonator and anisotropic to the thermal lens effect, Produces sex. The ellipticity of the mode changes due to the anisotropy of the thermal lens effect. Therefore, if the anisotropy of the thermal lens effect is controlled by changing the heat sink, an ellipticity mode close to a desired value can be obtained.

本発明の小型レーザ用光学素子によれば、所望の値に近い楕円率のモードを得ることが出来る。   According to the small laser optical element of the present invention, an ellipticity mode close to a desired value can be obtained.

実施例１に係る小型レーザ用光学素子を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an optical element for a small laser according to Example 1. FIG. 実施例１に係る小型レーザ用光学素子のニアフィールドパターンを示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a near field pattern of a small laser optical element according to Example 1. 溝を形成しない従来の小型レーザ用光学素子のニアフィールドパターンを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the near field pattern of the conventional optical element for small lasers which does not form a groove | channel. 実施例２に係る小型レーザ用光学素子を示す斜視図である。6 is a perspective view showing an optical element for a small laser according to Example 2. FIG. 実施例３に係る小型レーザ用光学素子を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an optical element for a small laser according to Example 3. 実施例３に係る小型レーザ用光学素子のニアフィールドパターンを示す模式図である。6 is a schematic diagram illustrating a near-field pattern of a small laser optical element according to Example 3. FIG. 実施例４に係る小型レーザ用光学素子を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing an optical element for a small laser according to Example 4. 実施例４に係る小型レーザ用光学素子のニアフィールドパターンを示す模式図である。6 is a schematic diagram showing a near field pattern of an optical element for a small laser according to Example 4. FIG. 実施例５に係る小型レーザ用光学素子を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing an optical element for a small laser according to Example 5. 実施例５に係る小型レーザ用光学素子のニアフィールドパターンを示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram illustrating a near-field pattern of a small laser optical element according to Example 5. 実施例５の変形例に係る小型レーザ用光学素子のニアフィールドパターンを示す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a near-field pattern of a small laser optical element according to a modification of Example 5. 実施例６に係る小型レーザ用光学素子を示すｙ軸方向矢視図である。FIG. 10 is a y-axis direction arrow view showing an optical element for a small laser according to Example 6. 実施例７に係る小型レーザ用光学素子を示すｙ軸方向矢視図である。FIG. 9 is a view in the y-axis direction showing an optical element for a small laser according to Example 7. 実施例８に係る小型レーザ用光学素子を示すｙ軸方向矢視図である。FIG. 10 is a view in the y-axis direction showing an optical element for a small laser according to Example 8. 実施例９に係る小型レーザ用光学素子を示すｙ軸方向矢視図である。FIG. 10 is a y-axis direction arrow view showing a small laser optical element according to Example 9.

以下、図に示す実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the embodiments shown in the drawings. Note that the present invention is not limited thereby.

−実施例１−
図１は、実施例１に係る小型レーザ用光学素子１０１を示す斜視図である。
この小型レーザ用光学素子１０１は、半導体レーザからの励起レーザ光により励起されて基本波レーザ光を出すレーザ結晶１と、基本波レーザ光の高調波である波長変換レーザ光を出す波長変換結晶２と、波長変換結晶２をサンドイッチ状に挟むダミー材３，４とを接着剤で接合した構造である。
基本波用高反射膜５，６が形成された両端面は、光共振器端面になっている。 Example 1
FIG. 1 is a perspective view illustrating a small laser optical element 101 according to the first embodiment.
The small laser optical element 101 includes a laser crystal 1 that emits a fundamental laser beam when excited by an excitation laser beam from a semiconductor laser, and a wavelength conversion crystal 2 that emits a wavelength conversion laser beam that is a harmonic of the fundamental laser beam. And the dummy materials 3 and 4 sandwiching the wavelength conversion crystal 2 in a sandwich shape are bonded with an adhesive.
Both end faces on which the fundamental wave high reflection films 5 and 6 are formed are optical resonator end faces.

レーザ結晶１には、光軸（ｙ軸）に直交し且つ互いに直交する２方向（ｘ方向，ｚ方向）のうちの一方向（ここではｘ方向）に延びる２本の溝７，８が形成されている。   The laser crystal 1 has two grooves 7 and 8 extending in one direction (here, the x direction) out of two directions (x direction and z direction) perpendicular to the optical axis (y axis) and perpendicular to each other. Has been.

レーザ結晶１は、Ｎｄ：ＹＶＯ４であり、レーザダイオードなどで光励起されることにより波長１．０６４μｍの基本波レーザ光を出す。
レーザ結晶１のｙ軸方向の幅は０．５ｍｍ、ｘ方向の幅は１ｍｍ、ｚ方向の幅は１ｍｍである。 The laser crystal 1 is Nd: YVO4, and emits a fundamental laser beam having a wavelength of 1.064 μm by being optically excited by a laser diode or the like.
The width of the laser crystal 1 in the y-axis direction is 0.5 mm, the width in the x direction is 1 mm, and the width in the z direction is 1 mm.

波長変換結晶２は、ＭｇＯドープ低比組成タンタル酸リチウムであり、波長０．５３２μｍの波長変換レーザ光を出す。
波長変換結晶２のｙ軸方向の幅は１ｍｍ、ｘ方向の幅は０．４ｍｍ、ｚ方向の幅は１ｍｍである。 The wavelength conversion crystal 2 is an MgO-doped low specific composition lithium tantalate and emits a wavelength conversion laser beam having a wavelength of 0.532 μm.
The width of the wavelength conversion crystal 2 in the y-axis direction is 1 mm, the width in the x direction is 0.4 mm, and the width in the z direction is 1 mm.

ダミー材７，８は、セラミクスである。
ダミー材７，８のｘ方向の幅は０．３ｍｍである。 The dummy materials 7 and 8 are ceramics.
The width in the x direction of the dummy materials 7 and 8 is 0.3 mm.

溝７，８の幅は０．１ｍｍ、深さは０．３ｍｍである。溝７，８の間隔は０．５ｍｍである。   The width of the grooves 7 and 8 is 0.1 mm, and the depth is 0.3 mm. The interval between the grooves 7 and 8 is 0.5 mm.

図２に示すように、小型レーザ用光学素子１０１は、ｘ方向とｚ方向に関して形状に差がないヒートシンク１１を接着材１０で固着して使用される。
レーザ結晶１のｃ軸がｘ方向であり、ａ軸がｚ方向およびｙ軸方向である場合、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。 As shown in FIG. 2, the small laser optical element 101 is used by fixing a heat sink 11 having no difference in shape in the x direction and the z direction with an adhesive 10.
When the c axis of the laser crystal 1 is the x direction and the a axis is the z direction and the y axis direction, the near field pattern N is generally close to a circle. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.

一方、図３に示すように、レーザ結晶１のｃ軸がｘ方向であり、ａ軸がｚ方向およびｙ軸方向であり、溝７，８を形成しない場合、一般的にはニアフィールドパターンＮはｘ方向に長い楕円形になる。つまり、モードの楕円率が１よりずっと小さくなる。   On the other hand, as shown in FIG. 3, when the c axis of the laser crystal 1 is the x direction, the a axis is the z direction and the y axis direction, and the grooves 7 and 8 are not formed, generally the near field pattern N Becomes an ellipse long in the x direction. That is, the ellipticity of the mode is much smaller than 1.

図３に示すようにニアフィールドパターンＮが楕円形になるのは、元々の熱レンズ効果の異方性によるためである。この元々の熱レンズ効果の異方性を相殺するように溝７，８による熱レンズ効果の異方性が作用するため、図２に示すようにニアフィールドパターンＮが円形になる。   The reason why the near field pattern N is elliptical as shown in FIG. 3 is because of the anisotropy of the original thermal lens effect. Since the anisotropy of the thermal lens effect by the grooves 7 and 8 acts so as to cancel out the anisotropy of the original thermal lens effect, the near field pattern N becomes circular as shown in FIG.

−製造例−
特許文献１に開示の製造方法で溝７，８を形成しない小型レーザ用光学素子を製造し、ファーフィールドパターンの楕円率が１．２以上のものを１９個選んだ。次に、選んだ１９個の小型レーザ用光学素子にダイシング装置で溝７，８を形成した。
これら溝７，８を形成した小型レーザ用光学素子１０のファーフィールドパターンＮを測定したところ、１１個の楕円率が１．２より小さくなった。 -Production example-
A small laser optical element that does not form the grooves 7 and 8 was manufactured by the manufacturing method disclosed in Patent Document 1, and 19 elements having an ellipticity of 1.2 or more in the far field pattern were selected. Next, grooves 7 and 8 were formed in the selected 19 small laser optical elements by a dicing apparatus.
When the far-field pattern N of the small laser optical element 10 in which the grooves 7 and 8 were formed was measured, eleven ellipticities were smaller than 1.2.

−シミュレーション−
計算によるシミュレーションを行ったところ、溝７，８の延びる方向の熱レンズ効果が強まり、溝７，８に直交する方向の熱レンズ効果が弱まる結果が得られた。つまり、溝７，８を形成すると、溝７，８のないときのニアフィールドパターンＮが溝７，８の延びる方向には縮まり、溝７，８に直交する方向には伸びることになる。従って、溝７，８の延びる方向に溝７，８のないときのニアフィールドパターンＮが長い楕円形であるとき、溝７，８を形成することによりニアフィールドパターンＮが円形に近くなる。 -Simulation-
When a simulation was performed by calculation, the thermal lens effect in the extending direction of the grooves 7 and 8 was strengthened, and the thermal lens effect in the direction orthogonal to the grooves 7 and 8 was weakened. That is, when the grooves 7 and 8 are formed, the near field pattern N without the grooves 7 and 8 contracts in the direction in which the grooves 7 and 8 extend, and extends in the direction orthogonal to the grooves 7 and 8. Therefore, when the near field pattern N without the grooves 7 and 8 in the extending direction of the grooves 7 and 8 is a long ellipse, the near field pattern N becomes nearly circular by forming the grooves 7 and 8.

−実施例２−
図４に示す小型レーザ用光学素子１０２は、実施例１の溝７，８の深さを最大化したものである。
実施例２のニアフィールドパターンＮも、図２に示すように円形に近くなる。 -Example 2-
The optical element 102 for a small laser shown in FIG. 4 is obtained by maximizing the depth of the grooves 7 and 8 in the first embodiment.
The near field pattern N of the second embodiment is also close to a circle as shown in FIG.

−実施例３−
図５に示す小型レーザ用光学素子１０３は、実施例１の溝７，８の幅を最大化したものである。
図６に示すように、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。 Example 3
The optical element 103 for a small laser shown in FIG. 5 is obtained by maximizing the width of the grooves 7 and 8 in the first embodiment.
As shown in FIG. 6, generally, the near field pattern N is close to a circle. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.

−実施例４−
図７に示す小型レーザ用光学素子１０４は、実施例３の溝７，８の深さを最大化したものである。
レーザ結晶１のｘ方向の幅Ｗｘは１ｍｍ，ｚ方向の幅Ｗｚは０．５ｍｍである。
図８に示すように、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。 Example 4
The optical element 104 for a small laser shown in FIG. 7 is obtained by maximizing the depth of the grooves 7 and 8 in the third embodiment.
The width Wx in the x direction of the laser crystal 1 is 1 mm, and the width Wz in the z direction is 0.5 mm.
As shown in FIG. 8, generally, the near field pattern N is nearly circular. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.

−実施例５−
図９に示す小型レーザ用光学素子１０５は、波長変換結晶２のｘ方向の幅も実施例３のレーザ結晶１のｘ方向の幅Ｗｘに合わせたものである。
図１０に示すように、小型レーザ用光学素子１０５に、ｘ方向とｚ方向に関して形状に差がないヒートシンク１１を、接着材１０でｘ方向およびｚ方向に固着して使用した場合、接着材１０の厚さがｘ方向とｚ方向とで異なるため、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。
他方、図１１に示すように、小型レーザ用光学素子１０５に、ｘ方向とｚ方向に関して形状に差がないヒートシンク１１を、接着材１０でｘ方向にのみ固着して使用した場合、ｘ方向には接着材１０を介して伝熱し、ｚ方向には空隙ｇが伝熱しないため、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。 -Example 5
In the optical element 105 for small laser shown in FIG. 9, the width in the x direction of the wavelength conversion crystal 2 is also matched with the width Wx in the x direction of the laser crystal 1 of the third embodiment.
As shown in FIG. 10, when the heat sink 11 having no difference in shape in the x direction and the z direction is used in the small laser optical element 105 while being fixed in the x direction and the z direction with the adhesive 10, the adhesive 10 In general, the near-field pattern N is nearly circular because the thickness of the near-field pattern N differs between the x-direction and the z-direction. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.
On the other hand, as shown in FIG. 11, when the heat sink 11 having no difference in shape with respect to the x-direction and the z-direction is used for the small laser optical element 105, the adhesive 10 is fixed only in the x-direction. Since heat is transferred through the adhesive 10 and the gap g does not transfer in the z direction, the near field pattern N is generally close to a circle. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.

−実施例６−
図１２に示す小型レーザ用光学素子１０６は、実施例５の小型レーザ用光学素子１０５のｘ方向にのみヒートシンク１２，１２を取り付けたものである。
ｘ方向には接着材１０を介してヒートシンク１２に伝熱し放熱されるが、ｚ方向にはヒートシンクによる放熱がないため、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。 -Example 6
The small laser optical element 106 shown in FIG. 12 has heat sinks 12 and 12 attached only in the x direction of the small laser optical element 105 of the fifth embodiment.
In the x direction, heat is transferred to the heat sink 12 via the adhesive 10 to be dissipated, but since there is no heat dissipated by the heat sink in the z direction, the near field pattern N is generally close to a circle. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.

−実施例７−
図１３に示す小型レーザ用光学素子１０７は、実施例１の小型レーザ用光学素子１０１において、溝７，８を設ける代わりに、レーザ結晶１との間の隙間がｘ方向についてよりもｚ方向についての方が大きくなるヒートシンク１３を、接着材１０でｘ方向およびｚ方向に固着したものである。
接着材１０の厚さがｘ方向とｚ方向とで異なるため、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。 -Example 7-
In the small laser optical element 107 shown in FIG. 13, in the small laser optical element 101 of Example 1, instead of providing the grooves 7 and 8, the gap between the laser crystal 1 is in the z direction rather than the x direction. The heat sink 13 which becomes larger is fixed by the adhesive 10 in the x direction and the z direction.
Since the thickness of the adhesive 10 is different between the x direction and the z direction, the near field pattern N is generally close to a circle. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.

−実施例８−
図１４に示す小型レーザ用光学素子１０８は、実施例７の小型レーザ用光学素子１０７において、ヒートシンク１３を、接着材１０でｘ方向にのみ固着して使用したものである。
ｘ方向には接着材１０を介して伝熱し、ｚ方向には空隙ｇが伝熱しないため、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。 -Example 8-
The small laser optical element 108 shown in FIG. 14 is the same as the small laser optical element 107 of Example 7 except that the heat sink 13 is fixed to the x direction with the adhesive 10.
Since heat is transferred through the adhesive 10 in the x direction and the gap g does not transfer in the z direction, the near field pattern N is generally close to a circle. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.

−実施例９−
図１５に示す小型レーザ用光学素子１０９は、実施例１の小型レーザ用光学素子１０１において、溝７，８を設ける代わりに、ｘ方向にのみヒートシンク１２，１２を取り付けたものである。
ｘ方向には接着材１０を介してヒートシンク１２に伝熱し放熱されるが、ｚ方向にはヒートシンクによる放熱がないため、一般的にはニアフィールドパターンＮは円形に近くなる。つまり、モードの楕円率が１に近くなる。 -Example 9-
A small laser optical element 109 shown in FIG. 15 is obtained by mounting the heat sinks 12 and 12 only in the x direction instead of providing the grooves 7 and 8 in the small laser optical element 101 of the first embodiment.
In the x direction, heat is transferred to the heat sink 12 via the adhesive 10 to be dissipated, but since there is no heat dissipated by the heat sink in the z direction, the near field pattern N is generally close to a circle. That is, the ellipticity of the mode is close to 1.

本発明の小型レーザ用光学素子は、例えばＳＨＧ波長変換技術を用いた半導体励起固体レーザ等に利用できる。   The optical element for a small laser of the present invention can be used for, for example, a semiconductor excitation solid-state laser using an SHG wavelength conversion technique.

１ レーザ結晶
２ 波長変換結晶
３，４ ダミー材
５，６ 基本波用高反射膜
７，８ 溝
１０，２０ 小型レーザ用光学素子
Ｎ ニアフィールドパターン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser crystal 2 Wavelength conversion crystal 3, 4 Dummy material 5, 6 High reflection film for fundamental waves 7, 8 Groove 10, 20 Optical element for small laser N Near field pattern

Claims (1)

光共振器端面となる部品（１）を含む小型レーザ用光学素子であって、前記光共振器端面となる部品（１）の熱レンズ効果の異方性を相殺するように、前記光共振器端面となる部品（１）の光軸（ｙ）に直交し且つ互いに直交する２方向（ｘ，ｚ）のうちの一方向に延びる２本以上の溝（７，８）を形成したことを特徴とする小型レーザ用光学素子。 An optical element for a small laser including a component (1) serving as an end face of the optical resonator, the optical resonator so as to cancel anisotropy of a thermal lens effect of the component (1) serving as the end face of the optical resonator. Two or more grooves (7, 8) extending in one direction out of two directions (x, z) orthogonal to the optical axis (y) of the component (1) serving as the end face are formed. An optical element for a small laser.
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