JP5266964B2 - Substrate transfer system, semiconductor manufacturing apparatus, and substrate position calculation method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体・液晶製造装置や基板検査装置に関するもので、特にウエハ、液晶ガラス、レチクルなどの基板を位置決めする基板搬送装置に関するものである。 The present invention relates to a semiconductor / liquid crystal manufacturing apparatus and a substrate inspection apparatus, and more particularly to a substrate transfer apparatus for positioning a substrate such as a wafer, liquid crystal glass, or reticle.
従来、半導体や液晶の製造装置や検査装置(以下まとめて半導体製造装置と呼ぶ)においては、基板を搬送し、位置決めするために搬送ロボットが用いられている。
従来の基板搬送システムの構成を図1を用いて説明する。図において、基板5はフォーク34の上に保持され、搬送アーム31によって搬送される。フォーク34の位置はロボットコントローラ2によって位置制御されており、搬送アーム31及びフォーク34を駆動するモータのモータエンコーダ33の情報からフォーク34の位置が算出、制御される。
しかし、基板5がフォーク34上に搬送毎に必ずしも同じ位置に正確に保持されるとは限らないので、基板5がフォーク34にずれて保持されている場合、フォーク34を所望の位置に位置決めしても、基板5は所望の位置からずれてしまう。
そこで従来は、このような場合であっても基板5を正確に位置決めするために、フォーク34上の基板5の相対位置を検出し、その相対位置分だけフォーク34を位置補正して位置決めすることによって基板5を搬送している(例えば、特許文献1参照)。
このため、特許文献1では、基板が搬送される経路の途中に、基板5を挟むように、基板5の表裏面側に位置する発光部、受光部よりなる基板検出センサ4を配置し、基板5の搬送時に基板検出センサ4が検出したセンサ信号をロボットコントローラ2のセンサ処理回路21で処理し、そのセンサ検出信号とその時のエンコーダ処理回路22との情報によって、演算部23がフォーク34上の基板5の相対位置を演算していた。
A configuration of a conventional substrate transfer system will be described with reference to FIG. In the figure, the substrate 5 is held on a fork 34 and is transported by a transport arm 31. The position of the fork 34 is controlled by the
However, since the substrate 5 is not necessarily accurately held at the same position on the fork 34 every time it is transported, when the substrate 5 is held displaced from the fork 34, the fork 34 is positioned at a desired position. Even so, the substrate 5 is displaced from the desired position.
Therefore, conventionally, in order to accurately position the substrate 5 even in such a case, the relative position of the substrate 5 on the fork 34 is detected, and the position of the fork 34 is corrected by the relative position. Is transporting the substrate 5 (see, for example, Patent Document 1).
For this reason, in Patent Document 1, a substrate detection sensor 4 including a light emitting unit and a light receiving unit located on the front and back sides of the substrate 5 is disposed in the middle of the path along which the substrate is conveyed, 5, the sensor signal detected by the substrate detection sensor 4 is processed by the sensor processing circuit 21 of the
しかしながら、基板検出センサ4での基板検出をソフトウエア処理周期で認識したあとに、エンコーダ信号を処理する場合、ソフトウエア処理周期内でのタイミング誤差や処理遅れによるセンサ信号の取りこぼしが発生し、より正確に基板位置を把握することが困難であった。
例えば、図4のように、1つの基板検出センサ4に対して基板5をフォーク34で保持した搬送ロボットで横切らせる場合、基板検出センサ4の信号は、同図のセンサ信号41で示されるように左から右へ時間的に変化する。しかし、基板5の周囲のエッジ部分A及びBにおいて、基板検出センサ4のチャタリングなどで変化点が多数発生する場合がある。
一方、このセンサ信号41を取得する演算部23のソフトウエアの処理周期を示すのが、同図のソフトウエア処理周期43である。演算部23は、ソフトウエア処理周期43の縦線が示すタイミングにて、センサ信号41とエンコーダの信号を示しているエンコーダ信号42とを取得する。
ここで、ソフトウエア処理周期43のタイミングが、B位置でのセンサ信号41を取得するとき(図中[2]〜[5])のように、センサ信号41の全ての変化を認識できれば問題ないが、A位置での状態のように、[1]のタイミングで1回しかセンサ信号41の変化を認識できず、演算部23が結果的に取得できるセンサ信号が演算部取得信号45のようになり、センサ信号の取りこぼしが発生するという問題があった。
また、ソフトウエア処理周期43が長い場合は、基板5が実際に基板検出センサ4を横切った時点のエンコーダ信号を演算部23が正確に取り込めないという問題があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、センサ信号の取りこぼしを防いで、基板搬送システムの基板搬送精度を高精度にすることを目的とする。
However, when the encoder signal is processed after the substrate detection by the substrate detection sensor 4 is recognized in the software processing cycle, the sensor signal may be missed due to a timing error or processing delay within the software processing cycle. It was difficult to accurately grasp the substrate position.
For example, as shown in FIG. 4, when the substrate 5 is traversed by a transfer robot that holds the substrate 5 with the fork 34 with respect to one substrate detection sensor 4, the signal of the substrate detection sensor 4 is represented by the sensor signal 41 of FIG. It changes over time from left to right. However, in the edge portions A and B around the substrate 5, many change points may occur due to chattering of the substrate detection sensor 4 or the like.
On the other hand, the software processing cycle 43 of the figure shows the software processing cycle of the calculation unit 23 that acquires the sensor signal 41. The calculation unit 23 acquires the sensor signal 41 and the encoder signal 42 indicating the encoder signal at the timing indicated by the vertical line of the software processing cycle 43.
Here, there is no problem if the timing of the software processing cycle 43 can recognize all changes in the sensor signal 41 as in the case of acquiring the sensor signal 41 at the B position ([2] to [5] in the figure). However, as in the state at the A position, the change in the sensor signal 41 can be recognized only once at the timing of [1], and the sensor signal that can be acquired as a result by the calculation unit 23 is the calculation unit acquisition signal 45 Thus, there is a problem that the sensor signal is missed.
Further, when the software processing cycle 43 is long, there is a problem that the calculation unit 23 cannot accurately capture the encoder signal when the substrate 5 actually crosses the substrate detection sensor 4.
The present invention has been made in view of such problems, and it is an object of the present invention to prevent the sensor signal from being missed and to increase the accuracy of substrate conveyance of the substrate conveyance system.
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
本発明は、フォークに保持された基板を検出し、前記フォークに対する前記基板の位置を算出可能な基板搬送システムにおいて、前記フォークを動作させる搬送アームと、前記搬送アームを駆動するアーム駆動モータと、前記アーム駆動モータの回転角度を検出するモータエンコーダと、前記基板の搬送径路に設けられ、前記基板を検出可能な基板検出センサと、前記基板検出センサからのセンサ信号を受信し、前記センサ信号が変化すると同時に前記モータエンコーダからのエンコーダ値を保持するラッチ回路と、前記センサ信号の変化の順番と、そのときの前記エンコーダ値とを各々セットにして順次記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたデータをもとに前記基板の位置を演算する演算部と、を備えることを特徴とする基板搬送システムとするものである。
また、本発明は、前記演算部が、前記データのうち隣り合う前記順番のデータのエンコーダ値どうしから前記モータの回転位置の差分を検出幅として算出し、前記検出幅が予め設定された閾値よりも大きいデータを使って前記基板の位置を演算することを特徴とする基板搬送システムとするものである。
また、本発明は、前記演算部が、前記検出幅が前記閾値よりも小さいデータを破棄することを特徴とする基板搬送システムとするものである。
また、本発明は、前記ラッチ回路が、前記センサ信号の受信をマスク可能なマスク回路を備えることを特徴とする基板搬送システムとするものである。
また、本発明は、上記した基板搬送システムを備えることを特徴とする半導体製造装置とするものである。
また、本発明は、基板保持手段に保持された基板を検出し、前記基板保持手段に対する前記基板の位置を算出可能な基板搬送システムにおいて、前記基板保持手段を動作させる駆動手段と、前記駆動手段を駆動するモータと、前記モータのエンコーダと、前記基板の搬送径路に設けられ、前記基板を検出可能な基板検出センサと、前記基板検出センサからのセンサ信号を受信し、前記センサ信号が変化すると同時に前記エンコーダからのエンコーダ値を保持する保持手段と、前記センサ信号の変化の順番と、そのときの前記エンコーダ値とを各々セットにして順次記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されたデータをもとに前記基板の位置を演算する演算手段と、を備えることを特徴とする基板搬送システムとするものである。
また、本発明は、前記演算手段が、前記データのうち隣り合う前記順番のデータのエンコーダ値どうしから前記モータの位置の差分を検出幅として算出し、前記検出幅が予め設定された閾値よりも大きいデータを使って前記基板の位置を演算することを特徴とする基板搬送システムとするものである。
また、本発明は、前記保持手段が、前記センサ信号の受信をマスク可能なマスク手段を備えることを特徴とする基板搬送システムとするものである。
また、本発明は、上記した基板搬送システムを備えることを特徴とする半導体製造装置とするものである。
また、本発明は、基板を搬送する基板搬送システムにおいて、基板保持手段に保持された前記基板を検出し、前記基板保持手段に対する前記基板の位置を算出する方法であって、前記基板保持手段を動作させ、動作中の前記基板を基板検出センサによって検出し、前記基板検出センサのセンサ信号が変化したときの順番と、そのときの前記基板保持手段の位置の情報とをセットにして順次記憶し、前記記憶されたデータのうち隣り合う前記順番のデータの前記基板保持手段の位置の情報から差分を算出し、前記差分が予め設定された閾値よりも大きいデータを使って前記基板の位置を算出することを特徴とする基板搬送システムの基板位置算出方法とするものである。
In order to solve the above problem, the present invention is configured as follows.
The present invention provides a substrate transfer system capable of detecting a substrate held on a fork and calculating a position of the substrate relative to the fork, a transfer arm that operates the fork, an arm drive motor that drives the transfer arm, A motor encoder that detects a rotation angle of the arm drive motor; a substrate detection sensor that is provided in a conveyance path of the substrate; and that can detect the substrate; receives a sensor signal from the substrate detection sensor; A latch circuit that holds an encoder value from the motor encoder at the same time as the change, a storage means for sequentially storing the change order of the sensor signal and the encoder value at that time as a set, and storing in the storage means And a calculation unit that calculates the position of the substrate based on the obtained data. It is an system.
Further, according to the present invention, the calculation unit calculates a difference in rotation position of the motor as a detection width from encoder values of the adjacent data in the order among the data, and the detection width is based on a preset threshold value. it is an board conveying systems that and calculates the position of the substrate with the even larger data.
Further, the present invention, the calculation unit is for the base plate conveyance systems that wherein the detection width destroys the data smaller than the threshold value.
Further, the present invention, the latch circuit, it is an board conveying system that is characterized in that it comprises a maskable mask circuit receiving the sensor signal.
The present invention also provides a semiconductor manufacturing apparatus comprising the above-described substrate transfer system.
Further, the present invention detects the substrate held by the substrate holding means, the calculation can be substrate transfer system the position of the substrate relative to the substrate holding means, a driving means for operating the front Stories substrate holding means, the drive A motor that drives the means; an encoder of the motor; a substrate detection sensor that is provided in a conveyance path of the substrate; and that detects the substrate; receives a sensor signal from the substrate detection sensor; and the sensor signal changes At the same time, holding means for holding the encoder value from the encoder, storage means for sequentially storing the change order of the sensor signal and the encoder value at that time as a set, and stored in the storage means And a calculating means for calculating the position of the substrate based on the data.
Further, according to the present invention, the calculation means calculates a difference in the motor position as a detection width from encoder values of the adjacent data in the order among the data, and the detection width is larger than a preset threshold value. it is an board conveying systems that and calculates the position of the substrate with a large data.
Further, the present invention, the retaining means is to the base plate conveyance systems that comprising: a maskable mask means the reception of said sensor signal.
The present invention also provides a semiconductor manufacturing apparatus comprising the above-described substrate transfer system.
Further, the present invention provides a method for detecting the substrate held by a substrate holding unit and calculating the position of the substrate with respect to the substrate holding unit in a substrate transfer system for transferring a substrate, the substrate holding unit comprising: The substrate in operation is detected by the substrate detection sensor, and the order when the sensor signal of the substrate detection sensor is changed and the position information of the substrate holding means at that time are sequentially stored as a set. The difference is calculated from the position information of the substrate holding means of the adjacent data in the order among the stored data, and the position of the substrate is calculated using data in which the difference is larger than a preset threshold value. A substrate position calculation method for a substrate transfer system is provided.
本発明によれば、センサ信号の取りこぼしを防ぐことができるので、基板位置算出の誤差を減少させることができ、より正確に基板搬送を行うことができるようになる。
また、本発明によれば、無駄な計算を削減できるので、演算部や演算手段の演算が早くなり、高速な基板搬送を行うことができる。
また、本発明によれば、チャタリングだと判断できるデータを破棄することになるので、メモリなど記憶手段の容量を削減することができる。
また、本発明によれば、搬送径路上に基板検出センサが複数設置された場合であっても、現在の基板位置算出に関係が無い基板検出センサからの信号をマスクすることができるので、演算部や演算手段の演算が早くなり、また、メモリなど記憶手段の容量を削減することができる。
また、本発明によれば、より正確に基板を搬送できる半導体製造装置を構成できる。
According to the present invention, since it is possible to prevent the sensor signal from being missed, the error in calculating the substrate position can be reduced, and the substrate can be transported more accurately.
In addition, according to the present invention, useless calculations can be reduced, so that the calculation of the calculation unit and the calculation means is accelerated, and high-speed substrate transfer can be performed.
In addition, according to the present invention, data that can be determined to be chattering is discarded, so that the capacity of a storage unit such as a memory can be reduced.
Further, according to the present invention, even when a plurality of substrate detection sensors are installed on the conveyance path, signals from the substrate detection sensors that are not related to the current substrate position calculation can be masked. The calculation of the unit and the calculation means is accelerated, and the capacity of the storage means such as a memory can be reduced.
Further, according to the present invention, a semiconductor manufacturing apparatus that can transport a substrate more accurately can be configured.
以下、本発明の方法の具体的実施例について、図に基づいて説明する。 Hereinafter, specific examples of the method of the present invention will be described with reference to the drawings.
図2は、本発明の構成と方法を実施する基板搬送システムの構成を示すブロック図である。図3は図2の基板搬送システムにおいて、基板が検出センサを横切っている時のタイムチャートを示す図である。
図2において、基板搬送システム1は、少なくとも、基板5を搬送する搬送ロボット3と、それを制御するロボットコントローラ2と、搬送ロボット3によって搬送されている基板5を検出可能な基板検出センサ4とから構成されている。
搬送ロボット3は、概ね、搬送アーム31、アーム駆動モータ32、モータエンコーダ33、フォーク34から構成されている。フォーク34は基板5を水平状態で保持可能である。フォーク34は、基板5の周囲の一部を把持したり、基板5の裏面を吸着したりして基板5を保持する。フォーク34を駆動する搬送アーム31は、本実施例では水平アームが複数連結された水平多関節形であるが、アームの形態は問わない。少なくとも、各アームを駆動する図示しないアーム駆動モータ32を備え、後述する基板検出センサ4に対してフォーク34上の基板5を横切らせることができるものであればよい。そして、図示しないアーム駆動モータ32のモータエンコーダ33を備え、モータの回転角度からフォーク34の位置を演算でき、これを所望の位置へ制御できるものであればよい。
基板検出センサ4は、フォーク34に保持された基板5の搬送径路の途中に設置される。本実施例では、基板検出センサ4は、基板5を上下で挟むように基板5の表裏面側に位置する発光部、受光部よりなる透過型のセンサであるが、基板5の有無が検知できるものであれば、反射型のセンサなどであっても構わない。また、基板検出センサ4は、必要に応じて複数個設置される。
ロボットコントローラ2は、上記アーム駆動モータ32の駆動回路などのほか、エンコーダ処理回路22、ラッチ回路24、FIFOメモリ25、演算部23を有している。エンコーダ処理回路22は、アーム駆動モータ32のモータエンコーダ33からのエンコーダ信号42を受け取ってアーム駆動モータ32の回転角度であるエンコーダ値を算出する。エンコーダ信号とは、A/B相パルス信号やシリアル通信信号のことであり、エンコーダ値とは、上記エンコーダ信号を処理・算出した値、つまり、モータ回転角度である。搬送アーム31が複数のアーム駆動モータ32によって駆動されている場合もあるので、モータエンコーダ33の数に応じてエンコーダ処理回路22は設けられている。ラッチ回路24は、エンコーダ処理回路22からのエンコーダ値と、基板検出センサ4のセンサ信号41とが入力され、後述するラッチデータを生成してFIFOメモリ25に送出する。演算部23は、FIFOメモリ25に記憶されたラッチデータを所定のソフトウエア処理周期で読み込み、センサ信号41とそのときのエンコーダ値とから、基板5の位置を演算し、フォーク34に対する基板5の相対的な位置を算出する。そして、ロボットコントローラ2は、算出された基板5のフォーク34に対する位置ずれを補正するようにアーム駆動モータ32を制御し、図示しない目的の搬送位置に対してフォーク34を位置決めする。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a substrate transfer system that implements the configuration and method of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing a time chart when the substrate crosses the detection sensor in the substrate transfer system of FIG.
In FIG. 2, the substrate transport system 1 includes at least a
The
The substrate detection sensor 4 is installed in the middle of the conveyance path of the substrate 5 held by the fork 34. In this embodiment, the substrate detection sensor 4 is a transmissive sensor including a light emitting unit and a light receiving unit positioned on the front and back sides of the substrate 5 so that the substrate 5 is sandwiched between the upper and lower sides, but the presence or absence of the substrate 5 can be detected. Any reflective sensor may be used. A plurality of substrate detection sensors 4 are installed as necessary.
The
以上のように構成された本発明は次のように実行される。
まず、搬送ロボット3のフォーク34上に保持した基板5を、基板検出センサ4を通過するように搬送させる。このとき、基板5は基板検出センサ4の発光部、受光部の間を通過し、センサ光を遮光する。基板5が基板検出センサ4の発光部、受光部の間を通過することで、基板検出センサ4のセンサ信号41はON/OFF又はHigh/Lowと変化する。本実施例では基板5によってセンサ光が遮光されると、センサ信号41はONからOFF又はHighからLowへ変化する。センサ信号41はラッチ回路24へ入力される。
ラッチ回路24では、センサ信号41のONからOFFへの変化点やOFFからONへの変化点、又はHighからLowへの変化点やLowからHighへの変化点を検出し、検出したと同時にエンコーダ処理回路22から出力されるエンコーダ値を必要な軸数分(複数のモータエンコーダ33分)保持すると共に、センサ信号41の変化点毎に順番を生成してこれを付加し、ラッチデータとする。
保持されたエンコーダ値と順番のラッチデータはセットにされて、FIFOメモリ25に入力され記憶される。
FIFOメモリに記憶されたエンコーダ値と順番のラッチデータは、演算部23のソフトウエア処理周期で演算部23へ読み込まれる。
The present invention configured as described above is executed as follows.
First, the substrate 5 held on the fork 34 of the
The latch circuit 24 detects the change point of the sensor signal 41 from ON to OFF, the change point from OFF to ON, the change point from High to Low, or the change point from Low to High. The encoder value output from the processing circuit 22 is held for the required number of axes (for a plurality of motor encoders 33), and an order is generated for each change point of the sensor signal 41 and added to obtain latch data.
The held encoder value and the latch data of the order are set and input to and stored in the
The encoder value and the sequential latch data stored in the FIFO memory are read into the calculation unit 23 in the software processing cycle of the calculation unit 23.
本発明の作用効果について、図3によって説明する。
図3は、上記のように基板5が基板検出センサ4を遮光するように通過させたときの、基板検出センサ4のセンサ信号41と、そのときのモータエンコーダ33からのエンコーダ信号42と、ラッチ回路24が保持するラッチデータ44のタイムチャートを示している。
基板5が基板検出センサ4を遮光し始めるときを示すA時点において、基板検出センサ4のセンサ信号41が、チャタリングなどで変化点が多数発生している。また、基板5が基板検出センサ4を通過し終わるときを示すB時点においても、同様に変化点が多数発生している。
この変化点において、本発明では、センサ信号41のHighからLowへの変化をラッチ回路24で検出し、変化を検出したと同時にエンコーダ処理改路22からのエンコーダ値を保持し、1、2、3・・・という順番を付加し、これをラッチデータ44としてFIFOメモリ25に順次入力する。
そして、複数個のラッチデータ44が記憶されたFIFOメモリ25に対し、演算部23が所定のソフトウエア処理周期でラッチデータ44を上記順番に従って読み出すことによって、センサ信号41の変化点を取りこぼすことなく認識でき、これを基板位置の演算に使用することができる。本発明において演算部23が結果的に取得できるセンサ信号のイメージを表したものが演算部取得信号45である。
従って本発明では、従来のようにソフトウエア処理周期内でのタイミング誤差や処理遅れによるセンサ信号の取りこぼしが発生することなく、より正確に基板位置を把握することができ、基板位置決めの誤差を減少させ、基板搬送精度を高精度することができる。
The function and effect of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 3 shows a sensor signal 41 of the substrate detection sensor 4 when the substrate 5 passes through the substrate detection sensor 4 so as to shield the light, an encoder signal 42 from the motor encoder 33 at that time, and a latch. The time chart of the latch data 44 which the circuit 24 hold | maintains is shown.
At time A indicating when the substrate 5 starts to shield the substrate detection sensor 4, many change points are generated in the sensor signal 41 of the substrate detection sensor 4 due to chattering or the like. In addition, a large number of change points are also generated at time B indicating when the substrate 5 finishes passing through the substrate detection sensor 4.
At this change point, in the present invention, the change from high to low of the sensor signal 41 is detected by the latch circuit 24, and at the same time the change is detected, the encoder value from the encoder processing path 22 is held, 3 is added, and this is sequentially input to the
Then, with respect to the
Therefore, according to the present invention, the substrate position can be grasped more accurately and the error of the substrate positioning can be reduced without causing the sensor signal to be missed due to the timing error or the processing delay within the software processing period. Thus, the substrate transport accuracy can be increased.
なお、基板搬送径路中に基板検出センサ4が複数個配置された場合は、複数個配置された各基板検出センサ4にあらかじめ番号を決めておき、ラッチ回路24に基板位置検出センサ4からのセンサ信号41の受信をマスク可能なマスク回路を設けておくこともできる。このマスク回路によって、現在の基板搬送経路における基板検出に関係が無い基板検出センサ4のセンサ信号41をラッチ回路24に対してマスク処理することで、本来検出すべきではないもの、例えば搬送アーム31の一部によって基板位置検出センサ4が反応して変化することによるラッチデータ44の生成を防ぐことができ、不要なラッチデータをなくし、FIFOメモリ25の容量を少なくすることができる。また、演算部23の不要なソフトウエア処理も減ることで、高性能演算回路も不要となりコストダウンが可能となる。
When a plurality of substrate detection sensors 4 are arranged in the substrate conveyance path, a number is determined in advance for each of the plurality of substrate detection sensors 4 arranged, and a sensor from the substrate position detection sensor 4 is assigned to the latch circuit 24. A mask circuit capable of masking reception of the signal 41 may be provided. This mask circuit masks the sensor signal 41 of the substrate detection sensor 4, which is not related to substrate detection in the current substrate transfer path, with respect to the latch circuit 24, and should not be detected originally, for example, the transfer arm 31. The generation of the latch data 44 due to the substrate position detection sensor 4 reacting and changing due to a part of the data can be prevented, unnecessary latch data can be eliminated, and the capacity of the
次に、演算部23が、FIFOメモリ25に蓄えられたラッチデータ44を用いて基板5の位置演算を開始するときの手順について説明する。
図5は、演算部23にて実行される不要なラッチデータ44を検出・排除処理する手順を示すフローチャートである。
まずステップ1において、演算部23は、FIFOメモリ25に格納されているラッチデータ44を上記順番に従って読み出し、データを取得する。
次にステップ2で、隣り合う番号におけるラッチデータ44に含まれているエンコーダ値同士から、モータ回転位置の差分を検出幅として算出する。
次にステップ3で、この検出幅と、予め設定されて記憶している閾値とを比較し、閾値以下であれば、この閾値以下で隣り合うラッチデータ44は、チャタリングデータであると判断してステップ4に進み、これらのラッチデータ44は放置、あるいは破棄する。
同じくステップ3で、この検出幅と、予め設定されて記憶している閾値とを比較し、閾値以上であれば、この閾値以上で隣り合うラッチデータ44は、チャタリングデータなどではない、正常なラッチデータ44であるとしてステップ5に進み、この正常なラッチデータ44に含まれているエンコーダ値のモータ回転位置を図示しないメモリに保存する。
ステップ6では、ラッチデータ44の再取得が必要な場合はステップ1に戻り、不要な場合は終了し、図5では図示しないが、正常なラッチデータ44のモータ回転位置から、基板5の位置演算を開始する。
上記手順により、正確に抜けがなく取得したラッチデータ44に混在してしまっているチャタリングデータを検出し、排除することができ、演算部23での不要な演算をなくし、メモリ容量も少なくできる。
Next, a procedure when the calculation unit 23 starts calculating the position of the substrate 5 using the latch data 44 stored in the
FIG. 5 is a flowchart showing a procedure for detecting / excluding unnecessary latch data 44 executed by the arithmetic unit 23.
First, in step 1, the arithmetic unit 23 reads the latch data 44 stored in the
Next, in
Next, in
Similarly, in
In step 6, if reacquisition of the latch data 44 is necessary, the process returns to step 1, and if not necessary, the process is terminated, and although not shown in FIG. To start.
According to the above procedure, the chattering data mixed in the acquired latch data 44 without any omission can be detected and eliminated, unnecessary calculations in the calculation unit 23 can be eliminated, and the memory capacity can be reduced.
1 基板搬送システム
2 ロボットコントローラ
21 センサ処理回路
22 エンコーダ処理回路
23 演算部(CPU)
24 ラッチ回路
25 FIFOメモリ
3 搬送ロボット
31 搬送アーム
32 アーム駆動モータ
33 モータエンコーダ
34 フォーク
4 基板検出センサ
5 基板
41 センサ信号
42 エンコーダ信号
43 ソフトウエア処理周期
44 ラッチデータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board |
24
Claims (8)
前記フォークを動作させる搬送アームと、
前記搬送アームを駆動するアーム駆動モータと、
前記アーム駆動モータの回転角度を検出するモータエンコーダと、
前記基板の搬送径路に設けられ、前記基板を検出可能な基板検出センサと、
前記基板検出センサからのセンサ信号を受信し、前記センサ信号が変化すると同時に前記モータエンコーダからのエンコーダ値を保持するラッチ回路と、
前記センサ信号の変化の順番と、そのときの前記エンコーダ値とを各々セットにしたデータを順次記憶する記憶手段と、
前記データのうち隣り合う前記順番の前記データにおける前記エンコーダ値どうしから前記モータの回転位置の差分を検出幅として算出し、前記検出幅が予め設定された閾値よりも大きい前記データを選択し、選択した前記データにおける前記エンコーダ値に基づいて前記基板の位置を演算する演算部と、
を備えることを特徴とする基板搬送システム。 In the substrate transfer system capable of detecting the substrate held on the fork and calculating the position of the substrate relative to the fork,
A transfer arm for operating the fork;
An arm drive motor for driving the transfer arm;
A motor encoder for detecting a rotation angle of the arm drive motor;
A substrate detection sensor provided in a conveyance path of the substrate and capable of detecting the substrate;
A latch circuit that receives a sensor signal from the substrate detection sensor and holds an encoder value from the motor encoder at the same time as the sensor signal changes;
Storage means for sequentially storing data in which the order of change of the sensor signal and the encoder value at that time are set as a set;
A difference in rotational position of the motor is calculated as a detection width from the encoder values in the data in the order adjacent to each other among the data, and the data having the detection width larger than a preset threshold is selected and selected. A calculation unit for calculating the position of the substrate based on the encoder value in the data ,
A substrate transfer system comprising:
前記基板保持手段を動作させる駆動手段と、
前記駆動手段を駆動するモータと、
前記モータのエンコーダと、
前記基板の搬送径路に設けられ、前記基板を検出可能な基板検出センサと、
前記基板検出センサからのセンサ信号を受信し、前記センサ信号が変化すると同時に前記エンコーダからのエンコーダ値を保持する保持手段と、
前記センサ信号の変化の順番と、そのときの前記エンコーダ値とを各々セットにしたデータを順次記憶する記憶手段と、
前記データのうち隣り合う前記順番の前記データにおける前記エンコーダ値どうしから前記モータの回転位置の差分を検出幅として算出し、前記検出幅が予め設定された閾値よりも大きい前記データを選択し、選択した前記データにおける前記エンコーダ値に基づいて前記基板の位置を演算する演算手段と、
を備えることを特徴とする基板搬送システム。 In the substrate transfer system capable of detecting the substrate held by the substrate holding means and calculating the position of the substrate with respect to the substrate holding means,
Driving means for operating the substrate holding means;
A motor for driving the driving means;
An encoder of the motor;
A substrate detection sensor provided in a conveyance path of the substrate and capable of detecting the substrate;
Holding means for receiving a sensor signal from the substrate detection sensor and holding an encoder value from the encoder at the same time as the sensor signal changes;
Storage means for sequentially storing data in which the order of change of the sensor signal and the encoder value at that time are set as a set;
A difference in rotational position of the motor is calculated as a detection width from the encoder values in the data in the order adjacent to each other among the data, and the data having the detection width larger than a preset threshold is selected and selected. Calculating means for calculating the position of the substrate based on the encoder value in the data ,
A substrate transfer system comprising:
前記基板保持手段をモータによって動作させ、
動作中の前記基板を基板検出センサによって検出し、
前記基板検出センサのセンサ信号が変化したときの順番と、そのときの前記基板保持手段の位置の情報である、前記モータの回転角度を検出するモータエンコーダのエンコーダ値とをセットにしたデータを順次記憶し、
前記データのうち隣り合う前記順番の前記データにおける前記エンコーダ値どうしから前記モータの回転位置の差分を検出幅として算出し、
前記検出幅が予め設定された閾値よりも大きい前記データを選択し、
選択した前記データにおける前記エンコーダ値に基づいて前記基板の位置を演算することを特徴とする基板搬送システムの基板位置算出方法。 In a substrate transfer system for transferring a substrate, a method of detecting the substrate held by a substrate holding unit and calculating a position of the substrate with respect to the substrate holding unit,
Operating the substrate holding means by a motor ;
The substrate in operation is detected by a substrate detection sensor,
Sequentially, the data when the order when the sensor signal of the substrate detection sensor is changed and the encoder value of the motor encoder that detects the rotation angle of the motor, which is information on the position of the substrate holding means at that time , is set. Remember ,
Calculates the difference between the rotational position of the motor as a detection width from the encoder value each other in the data of the order in which adjacent one of the previous SL data,
Selecting the data for which the detection width is greater than a preset threshold;
A substrate position calculation method for a substrate transfer system, wherein the substrate position is calculated based on the encoder value in the selected data.
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