JP5216421B2

JP5216421B2 - Valve for corrosive gas filling container

Info

Publication number: JP5216421B2
Application number: JP2008143721A
Authority: JP
Inventors: 恭之星野; 忠昭小島; 康一上長; 公一佐治
Original assignee: Showa Denko KK; Neriki Valve Co Ltd
Current assignee: Showa Denko KK; Neriki Valve Co Ltd
Priority date: 2008-05-30
Filing date: 2008-05-30
Publication date: 2013-06-19
Anticipated expiration: 2028-05-30
Also published as: JP2009287753A

Description

本発明は、半導体デバイス等の製造に使用される腐食性ガス充填容器用バルブに関する。 The present invention relates to a valve for a corrosive gas filling container used for manufacturing a semiconductor device or the like.

半導体デバイス、ＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）デバイス、液晶用ＴＦＴ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）パネルおよび太陽電池パネル等の製造工程では、基板のエッチングプロセス用のガス、ＣＶＤ装置等の薄膜形成装置のクリーニングプロセス用のガス、または、成膜プロセス用のガスとして、フッ素、塩素、臭素等のハロゲン元素を含む腐食性ガスが広く使用されている。 For manufacturing processes of semiconductor devices, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) devices, liquid crystal TFT (Thin Film Transistor) panels and solar cell panels, etc., for gas for substrate etching processes, for cleaning processes of thin film forming devices such as CVD devices Corrosive gases containing halogen elements such as fluorine, chlorine, bromine and the like are widely used as these gases or gases for film formation processes.

上述の腐食性ガスは、一般に、ガスメーカーにて充填容器用バルブを介して充填容器に充填された後に出荷され、半導体等のデバイスメーカーにて消費される。その後、空の充填容器がガスメーカーに返却される。
この流通過程において、充填容器用バルブの内部で腐食性ガスが大気中の水分と接触すると、前記充填容器用バルブの内部を腐食させることが知られている。そのため、このような充填容器用バルブの内部の腐食を防ぐために、充填容器用バルブの内部に残留した腐食性ガスが大気中の水分と接触することを回避させる方法がいくつか挙げられている。 The corrosive gas described above is generally shipped after being filled in a filling container through a filling container valve by a gas manufacturer, and is consumed by a device manufacturer such as a semiconductor. The empty filling container is then returned to the gas manufacturer.
In this distribution process, it is known that when corrosive gas comes into contact with moisture in the atmosphere inside the filling container valve, the inside of the filling container valve is corroded. Therefore, in order to prevent such corrosion inside the filling container valve, there are several methods for preventing the corrosive gas remaining inside the filling container valve from coming into contact with moisture in the atmosphere.

例えば、特許文献１には、腐食性ガス充填容器用バルブのガス流出側に別のバルブを連結した状態で腐食性ガスの充填及び消費を行うことにより、充填容器用バルブの内部を大気に開放しない方法が開示されている。
この方法は、充填容器用バルブの内部への大気の浸入を防ぐという目的においては非常に優れた方法ではあるものの、ガスメーカーとデバイスメーカーとの間の輸送やハンドリングを考慮すると実用性の高い方法とは言えず、また、充填容器用バルブに連結した別のバルブへの大気の浸入は解決されない。 For example, in Patent Document 1, the inside of the filling container valve is opened to the atmosphere by filling and consuming the corrosive gas with another valve connected to the gas outflow side of the corrosive gas filling container valve. No method is disclosed.
Although this method is very good for the purpose of preventing air from entering the inside of the valve for the filling container, it is a highly practical method considering transportation and handling between the gas manufacturer and the device manufacturer. However, the infiltration of air into another valve connected to the valve for the filling container is not solved.

また、特許文献２には、腐食性ガス充填容器用バルブのガス流出口付近に腐食性ガス吸収剤を設置する方法が開示されている。さらに、特許文献３には、充填容器用バルブの内部を有機溶剤により洗浄する方法が開示されている。
しかし、これらの方法は、デバイスメーカーにて腐食性ガスを消費後、ガスメーカーに返却される前の段階で確実に処置されるのは困難である場合が多く、十分な効果が得られにくい。さらに、実際の作業はかなり煩雑となるため、人為的なミスや設備トラブルに起因して腐食性ガスに不純物が混入するリスクを伴うため、いずれも実用的な方法ではなかった。 Patent Document 2 discloses a method of installing a corrosive gas absorbent in the vicinity of a gas outlet of a corrosive gas filling container valve. Furthermore, Patent Document 3 discloses a method of cleaning the inside of a filling container valve with an organic solvent.
However, these methods are often difficult to be reliably treated at the stage after the device manufacturer consumes the corrosive gas and before returning to the gas manufacturer, and it is difficult to obtain a sufficient effect. Further, since the actual work is considerably complicated, there is a risk that impurities are mixed into the corrosive gas due to human error or equipment trouble, and none of them is a practical method.

近年では、腐食性ガス充填容器用バルブとして、米国のＣＧＡ（ＣｏｍｐｒｅｓｓｅｄＧａｓＡｓｓｏｃｉａｔｉｏｎ）規格で定められたＤＩＳＳ（ＤｉａｍｅｔｅｒＩｎｄｅｘＳａｆｅｔｙＳｙｓｔｅｍ）構造を有するバルブ（以下、「ＤＩＳＳバルブ」という。）が広く普及している。 In recent years, as a valve for corrosive gas filling containers, a valve having a DISS (Diameter Index Safety System) structure (hereinafter referred to as a “DISS valve”) defined by a CGA (Compressed Gas Association) standard in the United States has been widely spread. ing.

図６および図７は、上述したＤＩＳＳバルブの従来構造の一例を示す側面図であって、図６は部分断面図であり、図７はそのアウトレット部の展開図である。
図６に示す構造のＤＩＳＳバルブ１０１は、縦型のバルブ本体１０２の側部にアウトレット部１１２が横向きに形成されてなり、バルブ本体１０２の下部側と、アウトレット部１１２に流路１１０ａ、１１０ｂがＬ型に配置され、バルブ本体１０２の上部側に流路１１０ａ、１１０ｂの接合部分に接続する弁体収納孔１１９が形成されている。弁体収納孔１１９の底部の流路１１０ａと流路１１０ｂの接合部分には弁座１２７Ａが形成され、この弁座１２７Ａの上に、弁体１２７が設けられている。
また、弁体収納孔１１９には、スピンドル１４１とバルブステム１４２とが挿入されるとともに、これらがグランドナット１４４によりネジ結合して抜け止めされ、スピンドル１４１の上端には、ハンドル１０３が設けられている。
また、バルブステム１４２の下端にダイヤフラム１４３が設けられ、このダイヤフラム１４３の下に弁体１２７が設置されている。なお、弁体１２７の上端は、ダイヤフラム１４３を貫通して、バルブステム１４２に螺合されている。従って、ハンドル１０３を回転操作して、スピンドル１４１をグランドナット１４４に沿って上下することで、弁体１２７を介して、流路１１０ａ、１１０ｂを遮断するか、連通できるように構成されている。 6 and 7 are side views showing an example of the conventional structure of the above-described DISS valve. FIG. 6 is a partial cross-sectional view, and FIG. 7 is a developed view of the outlet portion.
The DISS valve 101 having the structure shown in FIG. 6 has an outlet portion 112 formed laterally on a side portion of a vertical valve body 102, and channels 110 a and 110 b are provided on the lower side of the valve body 102 and the outlet portion 112. A valve body accommodation hole 119 is formed on the upper side of the valve body 102 and is connected to the joint portion of the flow passages 110a and 110b. A valve seat 127A is formed at the joint between the flow path 110a and the flow path 110b at the bottom of the valve body storage hole 119, and the valve body 127 is provided on the valve seat 127A.
In addition, a spindle 141 and a valve stem 142 are inserted into the valve body housing hole 119, and these are screwed together by a ground nut 144 to prevent them from coming off. A handle 103 is provided at the upper end of the spindle 141. Yes.
In addition, a diaphragm 143 is provided at the lower end of the valve stem 142, and a valve body 127 is installed below the diaphragm 143. Note that the upper end of the valve element 127 penetrates the diaphragm 143 and is screwed to the valve stem 142. Therefore, by rotating the handle 103 and moving the spindle 141 up and down along the ground nut 144, the flow paths 110a and 110b can be blocked or communicated with each other via the valve element 127.

図６に示すように、流通過程においては、通常、ＤＩＳＳバルブ（腐食性ガス充填容器用バルブ）１０１のバルブ本体１０２のアウトレット１２５に、アウトレットキャップ１０５が取り付けられている。このアウトレットキャップ１０５は、仕切りプラグ１０９を介してガスケット１０７がガスケットシール面１９０ｃと密着するように取り付けられる。この時、もし、ガスケット１０７がアウトレットキャップ１０５の回転に伴い供廻りすると、ガスケット１０７がガスケットシール面１９０ｃに押圧されつつ回転するため、ガスケットシール面１９０ｃに擦過傷が生じることになる。万一、ガスケットシール面１９０ｃに擦過傷が生じてしまうと、気密性が損なわれ、結果として腐食性ガスの漏洩につながってしまう。 As shown in FIG. 6, in the distribution process, an outlet cap 105 is usually attached to the outlet 125 of the valve body 102 of the DISS valve (corrosive gas filling container valve) 101. The outlet cap 105 is attached through the partition plug 109 so that the gasket 107 is in close contact with the gasket seal surface 190c. At this time, if the gasket 107 is rotated along with the rotation of the outlet cap 105, the gasket 107 rotates while being pressed against the gasket seal surface 190c, so that the gasket seal surface 190c is scratched. If the gasket seal surface 190c is scratched, the airtightness is lost, resulting in leakage of corrosive gas.

それを防ぐために、図６に示すＤＩＳＳバルブ１０１では、アウトレットキャップ１０５とアウトレット１２５の間に仕切りプラグ１０９を配置する。
ＤＩＳＳバルブ１０１のアウトレットキャップ１０５の内底面１２２ｃの中心には貫通孔１２０が設けられており、この貫通孔１２０に仕切りプラグ１０９の突起部１３０が嵌め合う構造になっている。また、仕切りプラグ１０９は、側面に突起部１３２を有しており、突起部１３２がアウトレット１２５に設けられた溝１９２に入るように仕切りプラグ１０９が設置される。
これらの構造により、アウトレットキャップ１０５が回転しても、仕切りプラグ１０９およびガスケット１０７が供廻りしないで、ガスケット１０７がガスケットシール面１９０ｃと密着できる仕組みになっている。
しかし、このようなＤＩＳＳバルブ１０１を使用した場合でも、アウトレット１２５の凹部１９０のガスケットシール面１９０ｃおよび内壁面１９０ａに腐食が生じることがあった。
特開平７−３１０８９７号公報特開平７−２５６０９７号公報特開２００７−１６２７８７号公報 In order to prevent this, in the DISS valve 101 shown in FIG. 6, a partition plug 109 is disposed between the outlet cap 105 and the outlet 125.
A through hole 120 is provided at the center of the inner bottom surface 122 c of the outlet cap 105 of the DISS valve 101, and the protruding portion 130 of the partition plug 109 is fitted into the through hole 120. Further, the partition plug 109 has a protrusion 132 on the side surface, and the partition plug 109 is installed so that the protrusion 132 enters the groove 192 provided in the outlet 125.
With these structures, even if the outlet cap 105 rotates, the partition plug 109 and the gasket 107 do not rotate, and the gasket 107 can be in close contact with the gasket seal surface 190c.
However, even when such a DISS valve 101 is used, corrosion may occur on the gasket seal surface 190c and the inner wall surface 190a of the recess 190 of the outlet 125.
JP-A-7-310897 Japanese Patent Laid-Open No. 7-256097 JP 2007-162787 A

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、近年、腐食性ガス充填容器に多用されているＤＩＳＳバルブであって、アウトレット内部の腐食を防ぐ機構が備えられた腐食性ガス充填容器用バルブを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and is a DISS valve that has been widely used in corrosive gas-filled containers in recent years, and for corrosive gas-filled containers equipped with a mechanism for preventing corrosion inside the outlet. The object is to provide a valve.

本発明者らは、前記の課題を解決すべく鋭意検討した結果、ＤＩＳＳバルブにおいて、アウトレットキャップとアウトレットとの間、たとえば、アウトレットキャップの凹部の内底面と仕切りプラグとの隙間にシール材を取り付けることにより、アウトレット内部への大気の浸入が遮断され、アウトレット内部の腐食が格段に抑制されることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は下記の項目からなる。
（１）腐食性ガスを通過させる流路を有するバルブ本体部と、前記バルブ本体部から突出されたアウトレットと、前記アウトレットに嵌合されるアウトレットキャップと、前記アウトレットキャップ内に配置される仕切りプラグと、前記仕切りプラグに設けられたガスケット用凹部に配置されるガスケットと、を有し、
前記アウトレットに前記アウトレットキャップを取り付ける際に、前記仕切りプラグに設けられた側面突出部を前記アウトレットに設けられた切欠部に嵌合して前記仕切りプラグが配置されることにより前記仕切りプラグの供回りを防ぐ機構を備えた腐食性ガス充填容器用バルブであって、
前記アウトレットキャップと前記アウトレットとの間にシール材が配置されており、該シール材が、前記仕切りプラグのガスケット用凹部の反対側の面に設けられたシール材用凹部に配置されていることを特徴とする腐食性ガス充填容器用バルブ。
（２）腐食性ガスを通過させる流路を有するバルブ本体部と、前記バルブ本体部から突出されたアウトレットと、前記アウトレットに嵌合されるアウトレットキャップと、前記アウトレットキャップ内に配置される仕切りプラグと、前記仕切りプラグに設けられたガスケット用凹部に配置されるガスケットと、を有し、
前記アウトレットに前記アウトレットキャップを取り付ける際に、前記仕切りプラグに設けられた側面突出部を前記アウトレットに設けられた切欠部に嵌合して前記仕切りプラグが配置されることにより前記仕切りプラグの供回りを防ぐ機構を備えた腐食性ガス充填容器用バルブであって、
前記アウトレットキャップと前記アウトレットとの間にシール材が配置されており、該シール材が、前記アウトレットキャップの内底面に設けられたシール材用凹部に配置されていることを特徴とする腐食性ガス充填容器用バルブ。
（３）前記シール材が、前記アウトレットの側面に設けられたシール材用凹部に配置されていることを特徴とする又は（２）のいずれかに記載の腐食性ガス充填容器用バルブ。
（４）前記アウトレットキャップに、第２のバルブが取り付けられていることを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の腐食性ガス充填容器用バルブ。
（５）前記アウトレットキャップの表面に、表面処理が施されたことを特徴とする（１）〜（４）のいずれかに記載の腐食性ガス充填容器用バルブ。
（６）前記表面処理がＮｉメッキであることを特徴とする（５）に記載の腐食性ガス充填容器用バルブ。
（７）前記アウトレットキャップの表面にネジ溝部があり、前記表面処理が銀メッキであることを特徴とする（５）に記載の腐食性ガス充填容器用バルブ。
（８）前記腐食性ガスが、フッ素、塩素、臭素、弗化水素、塩化水素、臭化水素、三弗化塩素、三塩化ホウ素、三弗化ホウ素、二弗化カルボニル、四弗化ケイ素、六弗化タングステン、または、アンモニアのいずれかを含むガスであることを特徴とする（１）〜（７）のいずれかに記載の腐食性ガス充填容器用バルブ。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors attach a sealing material between the outlet cap and the outlet, for example, in the gap between the inner bottom surface of the outlet cap recess and the partition plug in the DISS valve. As a result, the intrusion of the atmosphere into the outlet is blocked, and the corrosion inside the outlet is remarkably suppressed, and the present invention has been completed.
That is, the present invention includes the following items.
(1) A valve main body having a flow path for allowing corrosive gas to pass through, an outlet projecting from the valve main body, an outlet cap fitted into the outlet, and a partition plug disposed in the outlet cap And a gasket disposed in the gasket recess provided in the partition plug,
When the outlet cap is attached to the outlet, the partition plug is arranged by fitting the side protrusion provided on the partition plug to the notch provided on the outlet and arranging the partition plug. A valve for a corrosive gas filling container equipped with a mechanism for preventing
A sealing material is disposed between the outlet cap and the outlet, and the sealing material is disposed in a sealing material recess provided on a surface opposite to the gasket recess of the partition plug. Characteristic valve for corrosive gas filling container.
(2) A valve body having a flow path for allowing corrosive gas to pass through, an outlet projecting from the valve body, an outlet cap fitted to the outlet, and a partition plug disposed in the outlet cap And a gasket disposed in the gasket recess provided in the partition plug,
When the outlet cap is attached to the outlet, the partition plug is arranged by fitting the side protrusion provided on the partition plug to the notch provided on the outlet and arranging the partition plug. A valve for a corrosive gas filling container equipped with a mechanism for preventing
A corrosive gas , wherein a sealing material is disposed between the outlet cap and the outlet, and the sealing material is disposed in a concave portion for a sealing material provided on an inner bottom surface of the outlet cap. Valve for filling container.
(3) The valve for a corrosive gas filling container according to any one of (2) and (2) , wherein the seal material is disposed in a recess for seal material provided on a side surface of the outlet.
(4) The valve for corrosive gas filling containers according to any one of (1) to ( 3 ), wherein a second valve is attached to the outlet cap.
(5) The corrosive gas-filled container valve according to any one of (1) to ( 4 ), wherein a surface treatment is performed on a surface of the outlet cap.
(6) The corrosive gas-filled container valve according to ( 5 ), wherein the surface treatment is Ni plating.
(7) The corrosive gas-filled container valve according to ( 5 ), wherein the outlet cap has a thread groove on the surface, and the surface treatment is silver plating.
(8) The corrosive gas is fluorine, chlorine, bromine, hydrogen fluoride, hydrogen chloride, hydrogen bromide, chlorine trifluoride, boron trichloride, boron trifluoride, carbonyl difluoride, silicon tetrafluoride, ( 6 ) The corrosive gas-filled container valve according to any one of (1) to ( 7 ), which is a gas containing either tungsten hexafluoride or ammonia.

上記の構成によれば、近年、腐食性ガス充填容器に多用されているＤＩＳＳバルブであって、アウトレット内部の腐食を防ぐ機構が備えられた腐食性ガス充填容器用バルブを提供することができる According to the above configuration, it is possible to provide a valve for a corrosive gas filling container provided with a mechanism for preventing corrosion inside the outlet, which is a DISS valve frequently used in a corrosive gas filling container in recent years.

本発明の腐食性ガス充填容器用バルブは、アウトレットキャップとアウトレットとの間にシール材が配置されている構成なので、外部の大気がアウトレットキャップの貫通孔からアウトレット部の内部に浸入するおそれを低減することができる。これにより、アウトレット部の内部の気密性を向上させて、アウトレット部の内部、たとえば、アウトレットの凹部の内壁面やガスケットシール面に残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを低減して、内壁面やガスケットシール面の腐食を防止することができる。 The valve for corrosive gas filling container according to the present invention has a configuration in which a sealing material is disposed between the outlet cap and the outlet, so that the possibility of external air entering the outlet portion from the through hole of the outlet cap is reduced. can do. Thereby, the air tightness inside the outlet portion is improved, and the risk of reacting the corrosive gas remaining inside the outlet portion, for example, the inner wall surface of the outlet recess or the gasket seal surface, with the atmosphere, Corrosion of the inner wall surface and gasket seal surface can be prevented.

本発明の腐食性ガス充填容器用バルブは、シール材が、仕切りプラグのガスケット用凹部の反対側の面に設けられたシール材用凹部に配置されている構成なので、外部の大気がアウトレットキャップの貫通孔からアウトレット部の内部に浸入するおそれを低減することができる。これにより、アウトレット部の内部の気密性を更に向上させて、アウトレット部の内部、たとえば、アウトレットの凹部の内壁面やガスケットシール面に残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを低減して、内壁面やガスケットシール面の腐食を防止することができる。 The valve for corrosive gas filling container according to the present invention has a configuration in which the sealing material is disposed in the sealing material recess provided on the surface opposite to the gasket recess of the partition plug. The risk of entering the inside of the outlet portion from the through hole can be reduced. This further improves the airtightness inside the outlet part, reducing the risk of reacting the corrosive gas remaining in the outlet part, for example, the inner wall surface of the outlet recess and the gasket seal surface, with the atmosphere. Corrosion of the inner wall surface and gasket seal surface can be prevented.

本発明の腐食性ガス充填容器用バルブは、シール材が、アウトレットキャップの凹部の内底面に設けられたシール材用凹部に配置されている構成なので、外部の大気がアウトレットキャップの貫通孔からアウトレット部の内部に浸入するおそれを低減することができる。これにより、アウトレット部の内部の気密性を更に向上させて、アウトレット部の内部、たとえば、アウトレットの凹部の内壁面やガスケットシール面に残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを低減して、内壁面やガスケットシール面の腐食を防止することができる。 The valve for corrosive gas filling container of the present invention has a configuration in which the sealing material is disposed in the concave portion for the sealing material provided on the inner bottom surface of the concave portion of the outlet cap, so that the external atmosphere is discharged from the through hole of the outlet cap. The risk of entering the inside of the part can be reduced. This further improves the airtightness inside the outlet part, reducing the risk of reacting the corrosive gas remaining in the outlet part, for example, the inner wall surface of the outlet recess and the gasket seal surface, with the atmosphere. Corrosion of the inner wall surface and gasket seal surface can be prevented.

本発明の腐食性ガス充填容器用バルブは、アウトレット内部への大気の浸入を遮断してアウトレット内部の腐食を抑制することができ、半導体デバイス等の製造に使用される腐食性ガスを安全かつ安定に供給することが可能になる。
また、本発明の腐食性ガス充填容器用バルブは、安価かつ容易な方法で作製することができ、製造コストを低減させるとともに製造プロセスを簡略化することができるので、その実用上の価値が極めて大きいものとなる。 The corrosive gas-filled container valve of the present invention can prevent the atmosphere from entering the outlet and suppress the corrosion inside the outlet. The corrosive gas used for manufacturing semiconductor devices and the like is safe and stable. It becomes possible to supply to.
Further, the corrosive gas-filled container valve of the present invention can be manufactured by an inexpensive and easy method, and can reduce the manufacturing cost and simplify the manufacturing process. It will be big.

（実施形態１）
以下、本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブについて詳細に説明する。
図１および図２は、本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブの一例を示す側面図であって、図１は腐食性ガス充填容器用バルブの部分断面図であり、図２はそのアウトレット部の展開図であって、図２（ａ）は図１と同じ方向から見た図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）に示すＡ−Ａ’線における図である。
図１および図２に示すように、本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、腐食性ガスを通過させる流路１０ａ、１０ｂを有するバルブ本体部２と、バルブ本体部２から突出されたＤＩＳＳ構造のアウトレット２５と、アウトレット２５に取り付けられるアウトレットキャップ５と、アウトレットキャップ５の凹部２２に配置される仕切りプラグ９と、仕切りプラグ９に設けられたガスケット用凹部９４に配置されるガスケット７と、を有している。ここで、アウトレット２５とアウトレットキャップ５と仕切りプラグ９とガスケット７は、中心線ｌの同軸上に配置され、アウトレット部１２とされている。 (Embodiment 1)
Hereinafter, a corrosive gas filling container valve according to an embodiment of the present invention will be described in detail.
1 and 2 are side views showing an example of a corrosive gas filling container valve according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a partial sectional view of the corrosive gas filling container valve. Fig. 2 (a) is a developed view of the outlet portion, Fig. 2 (a) is a view seen from the same direction as Fig. 1, and Fig. 2 (b) is a view taken along the line AA 'shown in Fig. 2 (a). is there.
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, a corrosive gas-filled container valve 1 according to an embodiment of the present invention includes a valve main body 2 having flow paths 10 a and 10 b through which corrosive gas passes, and a valve main body 2. The outlet 25 of the DISS structure protruding from the outlet 25, the outlet cap 5 attached to the outlet 25, the partition plug 9 disposed in the recess 22 of the outlet cap 5, and the gasket recess 94 provided in the partition plug 9 are disposed. The gasket 7 is provided. Here, the outlet 25, the outlet cap 5, the partition plug 9, and the gasket 7 are arranged on the same axis as the center line l and serve as an outlet portion 12.

＜バルブ本体部＞
図１に示すように、バルブ本体部２は、側断面が略Ｔ字形状とされている。その一端側は取付部２８とされており、取付部２８に形成されたネジ溝部２９によって、腐食性ガス容器（不図示）に容易に取り付けることができる構成とされている。また、バルブ本体部２の内部には、腐食性ガスを通過させる流路１０ａが設けられている。腐食性ガス容器に腐食性ガス充填容器用バルブ１を取り付けた際には、流路１０ａを腐食性ガスが通過する。さらにまた、バルブ本体部２の他端側には、ハンドル３が取り付けられている。バルブ本体部２の側面には、突出されたＤＩＳＳ構造のためのアウトレット２５が形成されている。
なお、バルブ本体部２の基本構造自体は、図６の構造と同等であり、スピンドル１４１、バルブステム１４２、ダイヤフラム１４３、グランドナット１４４、弁体１２７、弁座１２７Ａが設けられている。 <Valve body>
As shown in FIG. 1, the valve main body 2 has a substantially T-shaped side cross section. The one end side is made into the attachment part 28, and it is set as the structure which can be easily attached to a corrosive gas container (not shown) by the thread groove part 29 formed in the attachment part 28. FIG. In addition, a flow path 10 a that allows the passage of corrosive gas is provided inside the valve body 2. When the corrosive gas filling container valve 1 is attached to the corrosive gas container, the corrosive gas passes through the flow path 10a. Furthermore, a handle 3 is attached to the other end side of the valve body 2. An outlet 25 for the protruding DISS structure is formed on the side surface of the valve body 2.
The basic structure itself of the valve main body 2 is the same as that shown in FIG. 6, and is provided with a spindle 141, a valve stem 142, a diaphragm 143, a ground nut 144, a valve body 127, and a valve seat 127A.

＜アウトレット＞
アウトレット２５の内部には、腐食性ガスを通過させる別の流路１０ｂが設けられている。流路１０ｂは、流路１０ａと弁体１２７を介して連通されている。弁体１２７をハンドル３で操作することにより、流路１０ａ、１０ｂを通過する腐食性ガスの流量を制御することができる構成とされている。 <Outlet>
Inside the outlet 25, another flow path 10b through which corrosive gas passes is provided. The flow path 10b communicates with the flow path 10a via the valve element 127. By operating the valve body 127 with the handle 3, the flow rate of the corrosive gas passing through the flow paths 10a and 10b can be controlled.

図２に示すように、アウトレット２５の外周面にはネジ溝部２６が設けられている。このネジ溝部２６は、アウトレットキャップ５の内壁面に形成されたネジ溝部２４と嵌合される構成とされている。これにより、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を締め付け固定することができる。 As shown in FIG. 2, a thread groove portion 26 is provided on the outer peripheral surface of the outlet 25. The thread groove 26 is configured to be fitted with the thread groove 24 formed on the inner wall surface of the outlet cap 5. Thereby, the outlet cap 5 can be fastened and fixed to the outlet 25.

図２に示すように、アウトレット２５の先端側には、２つの切欠部９２が設けられている。
切欠部９２の幅は、仕切りプラグ９の側面突出部３２を嵌合できる長さとされている。これにより、図１に示すように、切欠部９２には、仕切りプラグ９の側面突出部３２が嵌合して、仕切りプラグ９の中心線ｌを軸とする回転を抑制することができる。そのため、アウトレットキャップ５をアウトレット２５に取り付ける際に、ネジ溝部２４とネジ溝部２６とを嵌合させてきつく締め付けても、仕切りプラグ９が供回りすることはない。ガスケット７をガスケットシール面９０ｃに押圧させて回転させないので、ガスケットシール面９０ｃに擦過傷を生じさせず、ガスケットシール面９０ｃを保護することができる。 As shown in FIG. 2, two notches 92 are provided on the distal end side of the outlet 25.
The width of the notch 92 is set to a length that allows the side protrusion 32 of the partition plug 9 to be fitted. As a result, as shown in FIG. 1, the side protrusion 32 of the partition plug 9 is fitted into the notch 92, and rotation about the center line 1 of the partition plug 9 can be suppressed. Therefore, when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the partition plug 9 does not rotate even if the screw groove portion 24 and the screw groove portion 26 are fitted and tightened tightly. Since the gasket 7 is pressed against the gasket seal surface 90c and is not rotated, the gasket seal surface 90c can be protected without causing scratches on the gasket seal surface 90c.

また、切欠部９２の長さは、仕切りプラグ９をアウトレット２５に収容したときに、仕切りプラグ９の側面突出部３２が切欠部９２に嵌合され、側面突出部３２が切欠部９２の一面９２ｃに当接されたときに、仕切りプラグ９のガスケット用凹部９４に収容されたガスケット７がガスケットシール面と密着することができる長さとされている。これにより、ガスケット７とガスケットシール面９０ｃとの間の気密性を保持することができる。 The length of the notch 92 is such that when the partition plug 9 is accommodated in the outlet 25, the side protrusion 32 of the partition plug 9 is fitted into the notch 92, and the side protrusion 32 is one surface 92 c of the notch 92. The gasket 7 accommodated in the gasket recess 94 of the partition plug 9 has such a length that it can come into close contact with the gasket seal surface. Thereby, the airtightness between the gasket 7 and the gasket seal surface 90c can be maintained.

＜アウトレットキャップ＞
図２に示すように、アウトレットキャップ５は、アウトレット２５に被着するための凹部２２を備えている。
凹部２２の内壁面２２ａには、ネジ溝部２４が形成されている。これにより、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける際には、ネジ溝部２４はアウトレット５の側面に設けられたネジ溝部２６と嵌合される。
凹部２２の内底面２２ｃには、中心に貫通孔２０が設けられている。貫通孔２０の内径は、仕切りプラグ９の上面突出部３０を嵌合できる長さとされている。これにより、貫通孔２０に仕切りプラグ９の上面突出部３０を嵌合して、仕切りプラグ９を中心軸ｌの同軸上に配置することができる。 <Outlet cap>
As shown in FIG. 2, the outlet cap 5 includes a recess 22 for attaching to the outlet 25.
A thread groove 24 is formed in the inner wall surface 22 a of the recess 22. Accordingly, when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the screw groove portion 24 is fitted with the screw groove portion 26 provided on the side surface of the outlet 5.
A through hole 20 is provided in the center on the inner bottom surface 22 c of the recess 22. The inner diameter of the through hole 20 is set to a length that allows the upper surface protruding portion 30 of the partition plug 9 to be fitted. Thereby, the upper surface protrusion part 30 of the partition plug 9 can be fitted in the through-hole 20, and the partition plug 9 can be arrange | positioned coaxially with the central axis l.

アウトレットキャップ５の表面には、耐食性向上、滑り性向上あるいは焼き付け防止などを目的として、メッキまたはコーティングで代表される表面処理を施すのが好ましい。アウトレットキャップ５の表面とは、大気に露出される部分であり、たとえば、凹部２２の内底面２２ｃ、内壁面２２ａ、ネジ溝部２４あるいは外周面などである。
耐食性向上のためには、銀メッキ、金メッキまたはニッケル（以下、Ｎｉと表すこともある。）メッキを挙げることができるが、耐食性とコストのバランスの点で、Ｎｉメッキが好ましい。滑り性向上と焼き付け防止のためには、ネジ溝部２４において、銀メッキ、金メッキもしくはＮｉメッキ、またはポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂のコーティングを挙げることができるが、性能と施工のし易さの点で銀メッキが好ましい。 The surface of the outlet cap 5 is preferably subjected to a surface treatment represented by plating or coating for the purpose of improving corrosion resistance, improving slipperiness or preventing seizure. The surface of the outlet cap 5 is a portion exposed to the atmosphere, such as the inner bottom surface 22c, the inner wall surface 22a, the thread groove portion 24, or the outer peripheral surface of the recess 22.
In order to improve the corrosion resistance, silver plating, gold plating, or nickel (hereinafter sometimes referred to as Ni) plating can be used, but Ni plating is preferable in terms of the balance between corrosion resistance and cost. In order to improve slipperiness and prevent seizure, the screw groove 24 can be coated with silver plating, gold plating or Ni plating, or fluorine resin such as polytetrafluoroethylene. Silver plating is preferable in this respect.

＜仕切りプラグ＞
図１および図２に示すように、仕切りプラグ９は、アウトレット２５とアウトレットキャップ５の間に配置されている。図２に示すように、仕切りプラグ９は略円柱状の部材であり、その一端側にはガスケット７を嵌合するガスケット用凹部９４が設けられている。また、他端側には、アウトレットキャップ５に設けられた貫通孔２０に嵌合する上面突出部３０が形成されている。さらにまた、側面には２つの円柱状の側面突出部３２が形成されている。 <Partition plug>
As shown in FIGS. 1 and 2, the partition plug 9 is disposed between the outlet 25 and the outlet cap 5. As shown in FIG. 2, the partition plug 9 is a substantially columnar member, and a gasket recess 94 into which the gasket 7 is fitted is provided on one end side thereof. An upper surface protrusion 30 that fits into the through hole 20 provided in the outlet cap 5 is formed on the other end side. Furthermore, two columnar side protrusions 32 are formed on the side surface.

ガスケット用凹部９４は、ガスケット７を嵌合する大きさで形成されており、ガスケット用凹部９４とガスケット７は、中心軸ｌと同軸上に配置されている。これにより、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付けたときに、ガスケット７をガスケットシール面９０ｃに中心軸を合わせて密着させることができ、気密性を保持することができる。 The gasket recess 94 is formed to have a size for fitting the gasket 7, and the gasket recess 94 and the gasket 7 are arranged coaxially with the central axis l. Thereby, when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the gasket 7 can be brought into close contact with the gasket seal surface 90c in alignment with the central axis, and airtightness can be maintained.

仕切りプラグ９の一端側はアウトレット２５の凹部９０に嵌合される。このとき、側面突出部３２はアウトレット２５の切欠部９２に嵌合され、側面突出部３２が切欠部９２の一面９２ｃに当接される。これにより、中心軸ｌ回りの回転を抑制するとともに、アウトレット２５に対する中心軸ｌ方向の仕切りプラグ９の位置を一定に保つことができ、ガスケット用凹部９４に収容したガスケット７をガスケットシール面９０ｃに無理に押し付けることはない。 One end of the partition plug 9 is fitted into the recess 90 of the outlet 25. At this time, the side protrusion 32 is fitted into the notch 92 of the outlet 25, and the side protrusion 32 is brought into contact with one surface 92 c of the notch 92. Accordingly, the rotation around the central axis l can be suppressed, and the position of the partition plug 9 in the direction of the central axis l relative to the outlet 25 can be kept constant. The gasket 7 accommodated in the gasket recess 94 is attached to the gasket seal surface 90c. Do not force it.

仕切りプラグ９の他端側には上面突出部３０が設けられ、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける際には、上面突出部３０がアウトレットキャップ５の貫通孔２０と嵌合される。上面突出部３０は中心軸ｌ上に形成され、アウトレットキャップ５と仕切りプラグ９が中心軸ｌの同軸上に配置できる構成とされている。 An upper surface protruding portion 30 is provided on the other end side of the partition plug 9, and when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the upper surface protruding portion 30 is fitted into the through hole 20 of the outlet cap 5. The upper surface protrusion 30 is formed on the central axis l, and the outlet cap 5 and the partition plug 9 can be arranged coaxially with the central axis l.

仕切りプラグ９の他面側（アウトレットキャップ５の内底面と接する面）には、シール材用溝部９６が設けられている。シール材用溝部９６は、断面形状が半円状、長方形状または正方形状に刳り貫かれ、平面視したときにリング状となるように形成された溝部であり、リング状のシール材７０を嵌合できる構成とされている。
シール材用溝部９６にシール材７０を嵌合した状態で、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付けた場合には、シール材７０が仕切りプラグ９の他面とアウトレットキャップ５の内底面２２ｃとの間で、アウトレット部１２の外部から貫通孔２０を介してアウトレット部１２の内部へ浸入する大気を遮断することができ、アウトレット部１２の内部の大気の浸入による腐食を抑制することができる。
シール材用溝部９６の溝深さ、径及び形状は、シール材７０を保持する深さや長さであればよく、特に限定されない。図１および図２に示す例では、シール材７０の径に合わせた大きさとし、シール材７０が半分程度埋まる溝深さとしている。 On the other surface side of the partition plug 9 (surface in contact with the inner bottom surface of the outlet cap 5), a seal material groove 96 is provided. The groove portion 96 for the sealing material is a groove portion that is formed in a semicircular shape, a rectangular shape, or a square shape in a cross-sectional shape so as to have a ring shape when seen in a plan view, and is fitted with the ring-shaped sealing material 70. It is configured to be compatible.
When the outlet cap 5 is attached to the outlet 25 in a state in which the sealing member 70 is fitted in the sealing member groove 96, the sealing member 70 is located between the other surface of the partition plug 9 and the inner bottom surface 22 c of the outlet cap 5. Thus, it is possible to block the atmosphere that enters the inside of the outlet portion 12 from the outside of the outlet portion 12 through the through hole 20, and it is possible to suppress corrosion due to the intrusion of the air inside the outlet portion 12.
The groove depth, diameter, and shape of the groove portion 96 for the sealing material are not particularly limited as long as the depth and length for holding the sealing material 70 are sufficient. In the example shown in FIGS. 1 and 2, the size is adjusted to the diameter of the sealing material 70, and the groove depth is such that the sealing material 70 is filled about half.

＜シール材＞
シール材７０は、Ｏリング（リング状のエラストマー材料）からなり、仕切りプラグ９の他面側に設けられたシール材用溝部９６に嵌合されている。これにより、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付けた場合に、アウトレット部１２の外部から貫通孔２０を介してアウトレット部１２の内部へ浸入する大気を遮断して、アウトレット部１２の内部の大気の浸入による腐食を抑制する。
このように、シール材７０は、アウトレットキャップ５とアウトレット２５との間に配置されることが好ましい。これにより、アウトレット部１２の外部からアウトレット部１２の内部へ浸入する大気を遮断することができ、アウトレット部１２の内部の大気の浸入による腐食を抑制することができる。 <Seal material>
The sealing material 70 is made of an O-ring (ring-shaped elastomer material) and is fitted in a sealing material groove 96 provided on the other surface side of the partition plug 9. Thus, when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the atmosphere that enters the outlet portion 12 from the outside of the outlet portion 12 through the through hole 20 is blocked, and the atmosphere inside the outlet portion 12 enters. Suppresses corrosion caused by
Thus, the sealing material 70 is preferably disposed between the outlet cap 5 and the outlet 25. Thereby, the atmosphere which permeates into the inside of the outlet part 12 from the outside of the outlet part 12 can be interrupted, and corrosion due to the intrusion of air inside the outlet part 12 can be suppressed.

シール材は、仕切りプラグ９の他面側に設けられたシール材用溝部９６に配置したが、これに限定されるものではなく、外部から内部への大気の浸入を防ぐのに効果的な位置に配置することができる。たとえば、アウトレットキャップ５の内底面２２ｃにシール材用溝部を形成して配置しても良い。
シール材７０の材料としては、腐食性ガスに対して耐食性を有し、腐食性ガスを密封できる材料が好ましく、例えば、フッ素ゴム、フッ素樹脂、塩素樹脂、シリコーンゴム、エラストマー、アルミニウムなどを好適に用いることができる。シール材７０の形状は特に限定されず、リング状やシート状のものを使用することができるが、特にリング状のＯリングなどが好ましい。 The sealing material is disposed in the sealing material groove 96 provided on the other surface side of the partition plug 9, but is not limited to this, and is an effective position for preventing air from entering from the outside to the inside. Can be arranged. For example, a seal material groove may be formed on the inner bottom surface 22 c of the outlet cap 5.
As the material of the sealing material 70, a material that has corrosion resistance against corrosive gas and can seal the corrosive gas is preferable. For example, fluorine rubber, fluorine resin, chlorine resin, silicone rubber, elastomer, aluminum, and the like are preferable. Can be used. The shape of the sealing material 70 is not particularly limited, and a ring shape or a sheet shape can be used, and a ring-shaped O-ring is particularly preferable.

＜ガスケット＞
ガスケット７は、ドーナツ状または円板状の樹脂製の部材であり、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける際には、仕切りプラグ９のガスケット用凹部９４に嵌合され、その一面がアウトレットシール面９０ｃと密着される構成とされている。これにより、アウトレット２５の流路１０ｂとアウトレット部１２の内部との間の気密性を保持することができる。 <Gasket>
The gasket 7 is a donut-shaped or disk-shaped resin member, and when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the gasket 7 is fitted into the gasket recess 94 of the partition plug 9, and one surface thereof is the outlet seal surface 90c. It is set as the structure closely_contact | adhered. Thereby, the airtightness between the flow path 10b of the outlet 25 and the inside of the outlet part 12 can be maintained.

＜腐食性ガス＞
本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１に充填する腐食性ガスとしては、特に限定されるものではなく、任意の腐食性ガスを用いることができる。
たとえば、フッ素、塩素、臭素、弗化水素、塩化水素、臭化水素、三弗化塩素、三塩化ホウ素、三弗化ホウ素、二弗化カルボニル、四弗化珪素、六弗化タングステン、及び、アンモニアのいずれかを含む腐食性ガスを用いることができる。
本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、アウトレット部１２の内部の気密性を保持できる構成なので、これらの腐食性ガスを充填する場合でも、通常の使用ではアウトレット部１２の内部を腐食させることがないので、腐食性ガス充填容器用バルブとして好適に用いることができる。 <Corrosive gas>
The corrosive gas filled in the corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention is not particularly limited, and any corrosive gas can be used.
For example, fluorine, chlorine, bromine, hydrogen fluoride, hydrogen chloride, hydrogen bromide, chlorine trifluoride, boron trichloride, boron trifluoride, carbonyl difluoride, silicon tetrafluoride, tungsten hexafluoride, and A corrosive gas containing any of ammonia can be used.
The corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention is configured to maintain the airtightness of the outlet portion 12, so even when these corrosive gases are filled, the normal portion of the outlet portion 12 is used. Since the inside is not corroded, it can be suitably used as a valve for corrosive gas filling containers.

＜使用形態＞
腐食性ガス充填容器バルブ１の通常の使用形態について説明する。なお、ここでは、腐食性ガス充填容器バルブ１が腐食性ガス充填容器に取り付けられており、腐食性ガス充填容器に充填されている腐食性ガスを半導体製造装置に移す例を説明する。 <Usage pattern>
A normal usage pattern of the corrosive gas filling container valve 1 will be described. Here, an example in which the corrosive gas filling container valve 1 is attached to the corrosive gas filling container and the corrosive gas filled in the corrosive gas filling container is transferred to the semiconductor manufacturing apparatus will be described.

まず、通常の使用においては、腐食性ガス充填容器バルブ１のアウトレット部のアウトレットキャップ５を外して、アウトレット２５を、半導体製造装置のガス供給ラインに接続する。次に、ハンドル３を操作して、腐食性ガス充填容器から腐食性ガスを必要量だけガス供給ラインに流出させた後に、ハンドル３を操作して、その流出を止める。最後に、半導体製造装置のガス供給ラインからアウトレット２５を外し、腐食性ガス充填容器バルブ１のアウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける。 First, in normal use, the outlet cap 5 at the outlet of the corrosive gas filling container valve 1 is removed, and the outlet 25 is connected to the gas supply line of the semiconductor manufacturing apparatus. Next, the handle 3 is operated to allow the corrosive gas to flow from the corrosive gas filling container to the gas supply line by a necessary amount, and then the handle 3 is operated to stop the outflow. Finally, the outlet 25 is removed from the gas supply line of the semiconductor manufacturing apparatus, and the outlet cap 5 is attached to the outlet 25 of the corrosive gas filling container valve 1.

アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける際、外部の大気がアウトレットキャップ５の貫通孔２０からアウトレット部１２の内部に浸入する場合がある。この状態で、アウトレットキャップ５を取り付けてしまった場合には、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とが反応するおそれが発生する。残留した腐食性ガスと外部から浸入した大気とが反応した場合には、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃを腐食させるおそれがある。 When the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, external air may enter the outlet portion 12 from the through hole 20 of the outlet cap 5. In this state, when the outlet cap 5 is attached, the corrosive gas remaining in the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90a of the concave portion 90 of the outlet 25 or the gasket seal surface 90c reacts with the atmosphere. There is a fear. When the remaining corrosive gas reacts with the air that has entered from the outside, the inner wall surface 90a and the gasket seal surface 90c may be corroded.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器バルブ１では、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける際、アウトレットキャップ５とアウトレット２５との間にシール材７０を配置した構成なので、外部の大気がアウトレットキャップ５の貫通孔２０からアウトレット部１２の内部に浸入するおそれが少ない。
そのため、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とが反応することはなく、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 In the corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention, when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the sealing material 70 is disposed between the outlet cap 5 and the outlet 25, so that the external atmosphere is the outlet. There is little possibility of entering the inside of the outlet part 12 from the through hole 20 of the cap 5.
Therefore, the corrosive gas remaining in the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90 a of the recess 90 of the outlet 25 and the gasket seal surface 90 c does not react with the atmosphere, and the inner wall surface 90 a and the gasket seal surface 90 c are corroded. Can be prevented.

（実施形態２）
図３は、本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブの別の一例を示す図であって、充填容器用バルブのアウトレット部の部分断面展開図である。
アウトレットキャップ５の内底面２２ｃにシール材用溝部８８が設けられ、シール材７０が配置され、仕切りプラグ９の他面にはシール材用溝部９６が設けられていないほかは、実施形態１と同様の構成とされている。なお、実施形態１と同じ部材については同じ符号を付して示している。 (Embodiment 2)
FIG. 3 is a diagram showing another example of the corrosive gas filling container valve according to the embodiment of the present invention, and is a partial cross-sectional development view of the outlet portion of the filling container valve.
The seal material groove 88 is provided on the inner bottom surface 22 c of the outlet cap 5, the seal material 70 is disposed, and the seal material groove 96 is not provided on the other surface of the partition plug 9. It is made up of. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

この構成でも、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける際、アウトレットキャップ５とアウトレット２５との間にシール材７０が配置される構成なので、外部の大気がアウトレットキャップ５の貫通孔２０からアウトレット部１２の内部に浸入することはない。
そのため、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とが反応させることはなく、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 Even in this configuration, when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the sealing material 70 is disposed between the outlet cap 5 and the outlet 25, so that the external atmosphere is discharged from the through hole 20 of the outlet cap 5 to the outlet portion 12. It does not penetrate inside.
Therefore, the corrosive gas remaining in the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90 a of the recess 90 of the outlet 25 and the gasket seal surface 90 c does not react with the atmosphere, and the inner wall surface 90 a and the gasket seal surface 90 c corrode. Can be prevented.

（実施形態３）
図４は、本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブの別の一例を示す図であって、充填容器用バルブのアウトレット部の部分断面展開図である。
アウトレットキャップ５の外周面にシール材用溝部８２が設けられ、シール材用溝部８２にシール材７２が配置されたほかは、実施形態１と同様の構成とされている。なお、実施形態１と同じ部材については同じ符号を付して示している。 (Embodiment 3)
FIG. 4 is a diagram showing another example of the corrosive gas filling container valve according to the embodiment of the present invention, and is a partial cross-sectional development view of the outlet portion of the filling container valve.
The configuration is the same as that of the first embodiment except that the seal material groove 82 is provided on the outer peripheral surface of the outlet cap 5 and the seal material 72 is disposed in the seal material groove 82. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals.

この構成でも、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける際、アウトレットキャップ５とアウトレット２５との間にシール材７０が配置される構成なので、外部の大気がアウトレットキャップ５の貫通孔２０からアウトレット部１２の内部に浸入することはない。 Even in this configuration, when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the sealing material 70 is disposed between the outlet cap 5 and the outlet 25, so that the external atmosphere is discharged from the through hole 20 of the outlet cap 5 to the outlet portion 12. It does not penetrate inside.

さらに、アウトレットキャップ５のバルブ本体部側の面５ｃが、アウトレット２５の外周面に設けられたシール材用溝部８２に配置されたシール材７２に密着される構成なので、アウトレットキャップ５と凹部２２の内壁面２２ａとアウトレット２５の外周面との隙間を通過して外部の大気がアウトレット部１２の内部に浸入するおそれをなくすことができる。 Furthermore, since the surface 5c on the valve main body side of the outlet cap 5 is in close contact with the sealing material 72 disposed in the sealing material groove 82 provided on the outer peripheral surface of the outlet 25, the outlet cap 5 and the recess 22 It is possible to eliminate the possibility that the outside air may enter the outlet portion 12 through the gap between the inner wall surface 22a and the outer peripheral surface of the outlet 25.

これにより、アウトレット部１２の内部の気密性を更に向上させて、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを更に低減して、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 As a result, the airtightness inside the outlet portion 12 is further improved, and the corrosive gas remaining inside the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90a of the recess 90 of the outlet 25 or the gasket seal surface 90c reacts with the atmosphere. This can further reduce the risk of causing corrosion of the inner wall surface 90a and the gasket seal surface 90c.

（実施形態４）
図５は、本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブの別の一例を示す図であって、充填容器用バルブのアウトレット部の部分断面展開図である。
第２のバルブがアウトレットキャップ５に接合されているほかは、実施形態３と同様の構成とされている。この第２のバルブとしては、一般的な開閉バルブや逆流防止バルブ等を使用することができるが、ここでは代表例として逆流防止バルブ４０を使用した例を説明する。なお、実施形態３と同じ部材については同じ符号を付して示している。 (Embodiment 4)
FIG. 5 is a diagram showing another example of the corrosive gas filling container valve according to the embodiment of the present invention, and is a partial cross-sectional development view of the outlet portion of the filling container valve.
The configuration is the same as that of the third embodiment except that the second valve is joined to the outlet cap 5. As the second valve, a general on-off valve, a backflow prevention valve, or the like can be used. Here, an example in which the backflow prevention valve 40 is used will be described as a representative example. The same members as those in the third embodiment are denoted by the same reference numerals.

この構成でも、アウトレット２５にアウトレットキャップ５を取り付ける際、アウトレットキャップ５とアウトレット２５との間にシール材７０が配置される構成なので、外部の大気がアウトレットキャップ５の貫通孔２０からアウトレット部１２の内部に浸入することはない。さらに、アウトレットキャップ５のバルブ本体部側の面５ｃが、アウトレット２５の外周面に設けられたシール材用溝部８２に配置されたシール材７２に密着される構成なので、アウトレットキャップ５と凹部２２の内壁面２２ａとアウトレット２５の外周面との隙間を通過して外部の大気がアウトレット部１２の内部に浸入するおそれをなくすことができる。これにより、アウトレット部１２の内部の気密性を更に向上させて、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを更に低減して、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 Even in this configuration, when the outlet cap 5 is attached to the outlet 25, the sealing material 70 is disposed between the outlet cap 5 and the outlet 25, so that the external atmosphere is discharged from the through hole 20 of the outlet cap 5 to the outlet portion 12. It does not penetrate inside. Furthermore, since the surface 5c on the valve main body side of the outlet cap 5 is in close contact with the sealing material 72 disposed in the sealing material groove 82 provided on the outer peripheral surface of the outlet 25, the outlet cap 5 and the recess 22 It is possible to eliminate the possibility that the outside air may enter the outlet portion 12 through the gap between the inner wall surface 22a and the outer peripheral surface of the outlet 25. As a result, the airtightness inside the outlet portion 12 is further improved, and the corrosive gas remaining inside the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90a of the recess 90 of the outlet 25 or the gasket seal surface 90c reacts with the atmosphere. This can further reduce the risk of causing corrosion of the inner wall surface 90a and the gasket seal surface 90c.

本実施形態では、図５に示すように、アウトレットキャップ５の側面に、凹部２２に連通された流路１０ｃを備えた加圧保持用の逆流防止バルブ４０が取り付けられている。
加圧保持用の逆流防止バルブ４０を用いた場合には、腐食性ガスを充填後あるいは消費後にアウトレットキャップ５を取り付けた後、逆流防止バルブ４０を窒素ガス充填装置またはヘリウムガス充填装置（不図示）に接続することにより、窒素ガスやヘリウムガスなどの不活性ガスにより、アウトレット部１２の内部にわずかに残留した腐食性ガスや外部から浸入した大気を排出するとともに、窒素ガスやヘリウムガスなどの不活性ガスを充填して加圧保持させることができる。アウトレット部１２の内部の空間に、窒素ガスやヘリウムガスなどの不活性ガスを充填して加圧保持することにより、その後の外部からの大気の混入をほぼ完全に防止させることができる。 In the present embodiment, as shown in FIG. 5, a pressure-holding backflow prevention valve 40 having a flow path 10 c communicated with the recess 22 is attached to the side surface of the outlet cap 5.
When the backflow prevention valve 40 for holding pressure is used, after the outlet cap 5 is attached after the corrosive gas is filled or consumed, the backflow prevention valve 40 is replaced with a nitrogen gas filling device or a helium gas filling device (not shown). ) To discharge the corrosive gas slightly remaining inside the outlet portion 12 and the air infiltrated from the outside by an inert gas such as nitrogen gas or helium gas, as well as nitrogen gas or helium gas. It can be filled with an inert gas and kept under pressure. By filling the space inside the outlet portion 12 with an inert gas such as nitrogen gas or helium gas and holding it under pressure, it is possible to almost completely prevent air from being mixed in from the outside.

なお、逆流防止バルブ４０としては、一般に用いられる逆流防止バルブを用いることができ加圧保持用または減圧保持用のいずれのタイプのバルブを用いてもよい。
減圧保持用の逆流防止バルブ４０を用いた場合には、腐食性ガスを充填後あるいは消費後にアウトレットキャップ５を取り付けた後、逆流防止バルブ４０を真空装置（不図示）に接続することにより、アウトレット部１２の内部に残留した腐食性ガスや外部から浸入した大気を排出させることができる。アウトレット部１２の内部の空間に存在するガスを排気し減圧保持することにより、アウトレット部１２の内部の空間に微少量混入した大気をほぼ完全に除去することができる。 As the backflow prevention valve 40, a commonly used backflow prevention valve can be used, and any type of valve for holding pressure and holding pressure can be used.
When the backflow prevention valve 40 for maintaining the reduced pressure is used, the outlet cap 5 is attached after the corrosive gas is filled or consumed, and then the backflow prevention valve 40 is connected to a vacuum device (not shown). The corrosive gas remaining inside the portion 12 and the atmosphere that has entered from the outside can be discharged. By exhausting the gas existing in the space inside the outlet portion 12 and holding it under reduced pressure, the air mixed in a small amount in the space inside the outlet portion 12 can be almost completely removed.

すなわち、本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブは逆流防止バルブ４０を備える構成なので、窒素ガスやヘリウムガスなどの不活性ガスを充填して加圧保持することにより、その後の外部からの大気の混入をほぼ完全に防止させたり、アウトレット１２の内部の空間に存在するガスを排気し減圧保持することにより、アウトレット１２の内部の空間に微少量混入した大気をほぼ完全に除去することができ、アウトレット部１２の内部の気密性を更に向上させて、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを更に低減して、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 That is, the corrosive gas filling container valve according to the embodiment of the present invention is configured to include the backflow prevention valve 40, and therefore, after filling with an inert gas such as nitrogen gas or helium gas and holding it under pressure, The air in the interior of the outlet 12 is almost completely removed by almost completely preventing the air from being mixed in, or by exhausting the gas existing in the space inside the outlet 12 and holding it under reduced pressure. The airtightness inside the outlet portion 12 can be further improved, and the corrosive gas remaining in the inside of the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90a of the concave portion 90 of the outlet 25 or the gasket seal surface 90c, and the atmosphere can be removed. The risk of reaction can be further reduced, and corrosion of the inner wall surface 90a and the gasket seal surface 90c can be prevented.

逆流防止バルブ４０としては、ストップバルブ（開閉弁）を備えたものを用いてもよい。これにより、アウトレット２５の内部の空間の加圧保持および減圧保持を繰り返すこと（サイクルパージ）を容易に行うことができ、アウトレット２５の内部の空間への大気の浸入や腐食性ガスの残留をより確実に排除することが可能になる。 As the backflow prevention valve 40, a valve provided with a stop valve (open / close valve) may be used. Thereby, it is possible to easily carry out pressurization and pressure reduction (cycle purge) of the space inside the outlet 25 (cycle purge), and to prevent the atmosphere from entering the space inside the outlet 25 and the corrosive gas from remaining. It becomes possible to eliminate it reliably.

逆流防止バルブ４０の設置位置は、特に限定されない。図５に示した例では、アウトレットキャップ５の側面に逆流防止バルブ４０を設置しているが、アウトレット２５の内部の空間に連通する流路を有していれば設置箇所は自由に選択でき、例えばアウトレットキャップ５の底面に設置しても良い。 The installation position of the backflow prevention valve 40 is not particularly limited. In the example shown in FIG. 5, the backflow prevention valve 40 is installed on the side surface of the outlet cap 5, but the installation location can be freely selected as long as it has a flow path communicating with the space inside the outlet 25, For example, you may install in the bottom face of the outlet cap 5. FIG.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、アウトレットキャップ５とアウトレット２５との間にシール材７０が配置されている構成なので、外部の大気がアウトレットキャップ５の貫通孔２０からアウトレット部１２の内部に浸入するおそれを低減することができる。これにより、アウトレット部１２の内部の気密性を更に向上させて、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを低減して、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 The corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention has a configuration in which the sealing material 70 is disposed between the outlet cap 5 and the outlet 25, so that the external atmosphere is exposed from the through hole 20 of the outlet cap 5. The risk of entering the outlet portion 12 can be reduced. As a result, the airtightness inside the outlet portion 12 is further improved, and the corrosive gas remaining inside the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90a of the recess 90 of the outlet 25 or the gasket seal surface 90c reacts with the atmosphere. Therefore, the inner wall surface 90a and the gasket seal surface 90c can be prevented from corroding.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、シール材７０が、仕切りプラグ９のガスケット用凹部９４の反対側の面に設けられたシール材用凹部９６に配置されている構成なので、外部の大気がアウトレットキャップ５の貫通孔２０からアウトレット部１２の内部に浸入するおそれを低減することができる。これにより、アウトレット部１２の内部の気密性を更に向上させて、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを低減して、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 In the corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention, the sealing material 70 is disposed in the sealing material recess 96 provided on the surface of the partition plug 9 opposite to the gasket recess 94. Therefore, the possibility that the external atmosphere enters the inside of the outlet portion 12 from the through hole 20 of the outlet cap 5 can be reduced. As a result, the airtightness inside the outlet portion 12 is further improved, and the corrosive gas remaining inside the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90a of the recess 90 of the outlet 25 or the gasket seal surface 90c reacts with the atmosphere. Therefore, the inner wall surface 90a and the gasket seal surface 90c can be prevented from corroding.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、シール材７０が、アウトレットキャップ５の凹部２２の内底面２２ｃに設けられたシール材用凹部８８に配置されている構成なので、外部の大気がアウトレットキャップ５の貫通孔２０からアウトレット部１２の内部に浸入するおそれを低減することができる。これにより、アウトレット部１２の内部の気密性を更に向上させて、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを低減して、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 In the corrosive gas filling container valve 1 according to the embodiment of the present invention, the sealing material 70 is disposed in the sealing material recess 88 provided on the inner bottom surface 22 c of the recess 22 of the outlet cap 5. Can be reduced from entering the inside of the outlet portion 12 through the through hole 20 of the outlet cap 5. As a result, the airtightness inside the outlet portion 12 is further improved, and the corrosive gas remaining inside the outlet portion 12, for example, the inner wall surface 90a of the recess 90 of the outlet 25 or the gasket seal surface 90c reacts with the atmosphere. Therefore, the inner wall surface 90a and the gasket seal surface 90c can be prevented from corroding.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、シール材７２が、アウトレット２５の外周面に設けられたシール材用凹部８２に配置されている構成なので、アウトレットキャップ５と凹部２２の内壁面２２ａとアウトレット２５の外周面との隙間を通過して外部の大気がアウトレット部１２の内部に浸入するおそれを低減することができる。これにより、アウトレット部１２の内部の気密性を向上させて、アウトレット部１２の内部、たとえば、アウトレット２５の凹部９０の内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃに残留した腐食性ガスと大気とを反応させるおそれを低減して、内壁面９０ａやガスケットシール面９０ｃの腐食を防止することができる。 The corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention has a configuration in which the sealing material 72 is disposed in the sealing material recess 82 provided on the outer peripheral surface of the outlet 25. It is possible to reduce the risk of the outside air entering the inside of the outlet portion 12 through the gap between the inner wall surface 22a and the outer peripheral surface of the outlet 25. Thereby, the airtightness of the inside of the outlet part 12 is improved, and the corrosive gas remaining in the inside of the outlet part 12, for example, the inner wall surface 90a of the recess 90 of the outlet 25 or the gasket seal surface 90c, is reacted with the atmosphere. The fear can be reduced and corrosion of the inner wall surface 90a and the gasket seal surface 90c can be prevented.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、アウトレットキャップ５に、第２のバルブが取り付けられている構成なので、アウトレット１２の内部の空間に、窒素ガスやヘリウムガスなどの不活性ガスを充填して加圧保持することにより、その後の外部からの大気の混入をほぼ完全に防止させたり、アウトレット１２の内部の空間に存在するガスを排気し減圧保持することにより、アウトレット１２の内部の空間に微少量混入した大気をほぼ完全に除去することができる。 The corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention has a configuration in which the second valve is attached to the outlet cap 5, so that nitrogen gas, helium gas, or the like is not present in the space inside the outlet 12. By filling the active gas and holding it under pressure, it is possible to almost completely prevent the subsequent entry of air from the outside, or by exhausting the gas existing in the space inside the outlet 12 and holding it under reduced pressure. It is possible to almost completely remove the air mixed in a very small amount in the interior space.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、アウトレットキャップ５の表面に、表面処理を施した構成なので、アウトレットキャップ５の耐食性を向上させることが可能となる。 Since the corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention has a surface treatment applied to the surface of the outlet cap 5, the corrosion resistance of the outlet cap 5 can be improved.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、前記表面処理がＮｉメッキである構成なので、アウトレットキャップ５の耐食性を向上させることが可能となる。 Since the corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention has a configuration in which the surface treatment is Ni plating, the corrosion resistance of the outlet cap 5 can be improved.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、アウトレットキャップ５の表面にネジ溝部２４があり、前記表面処理が銀メッキである構成なので、アウトレット２５とアウトレットキャップ５との間の滑り性を向上させることが可能となる。 The corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention has a thread groove portion 24 on the surface of the outlet cap 5 and the surface treatment is silver-plated, so that the space between the outlet 25 and the outlet cap 5 is It becomes possible to improve slipperiness.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、アウトレット部１２の内部の気密性を保持できる構成なので、腐食性ガスが、フッ素、塩素、臭素、弗化水素、塩化水素、臭化水素、三弗化塩素、三塩化ホウ素、三弗化ホウ素、二弗化カルボニル、四弗化ケイ素、六弗化タングステン、または、アンモニアのいずれかを含むガスを充填する場合でも、通常の使用ではアウトレット部１２の内部を腐食させることがないので、腐食性ガス充填容器用バルブとして好適に用いることができる。 The corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention is configured to maintain the airtightness inside the outlet portion 12, so that the corrosive gas contains fluorine, chlorine, bromine, hydrogen fluoride, hydrogen chloride, odor, and the like. Normal use even when filling with gas containing any of hydrogen fluoride, chlorine trifluoride, boron trichloride, boron trifluoride, carbonyl difluoride, silicon tetrafluoride, tungsten hexafluoride, or ammonia Then, since the inside of the outlet part 12 is not corroded, it can be suitably used as a valve for a corrosive gas filling container.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、アウトレット部１２の内部の気密性を保持できる構成なので、アウトレット２５への大気の浸入が遮断され、アウトレット２５の腐食が抑制され、半導体デバイス等の製造に使用される腐食性ガスを安全かつ安定に供給することが可能になる。 The corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention is configured to maintain the airtightness inside the outlet portion 12, so that the intrusion of air into the outlet 25 is blocked, and corrosion of the outlet 25 is suppressed. It becomes possible to supply corrosive gas used for manufacturing semiconductor devices and the like safely and stably.

本発明の実施形態である腐食性ガス充填容器用バルブ１は、安価かつ容易な方法で作製することができ、製造コストを低減させるとともに製造プロセスを簡略化することができるので、その実用上の価値が極めて大きいものとなる。
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。しかし、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。 The corrosive gas-filled container valve 1 according to the embodiment of the present invention can be manufactured by an inexpensive and easy method, and the manufacturing process can be simplified and the manufacturing process can be simplified. The value is extremely large.
Hereinafter, the present invention will be specifically described based on examples. However, the present invention is not limited only to these examples.

＜実施例１＞
腐食性ガス充填容器（内容積１０リットル）に、図１及び図２に示した腐食性ガス充填容器用バルブを装着した。次に、腐食性ガス充填容器用バルブのアウトレットキャップを取り外し、腐食性ガス貯蔵タンクに接続された充填管を、腐食性ガス充填容器用バルブのアウトレットに取り付けた後、腐食性ガス充填容器用バルブを開放して、腐食性ガス貯蔵タンクに貯蔵された三塩化ホウ素ガスを１ｋｇ腐食性ガス充填容器内に充填した。
次に、腐食性ガス充填容器用バルブを閉止した後、充填管を取り外し、直ちにアウトレットキャップを取り付けた。
その後、腐食性ガス充填容器用バルブを装着した腐食性ガス充填容器を、室温約２０℃、湿度約３０〜４０％の条件下で、大気中に２週間放置した。 <Example 1>
The corrosive gas filling container valve shown in FIGS. 1 and 2 was attached to the corrosive gas filling container (internal volume 10 liters). Next, remove the outlet cap of the corrosive gas filling container valve, attach the filling pipe connected to the corrosive gas storage tank to the outlet of the corrosive gas filling container valve, and then install the corrosive gas filling container valve. Was opened, and boron trichloride gas stored in a corrosive gas storage tank was filled into a 1 kg corrosive gas filling container.
Next, after closing the valve for the corrosive gas filling container, the filling tube was removed, and an outlet cap was immediately attached.
Thereafter, the corrosive gas-filled container equipped with the valve for corrosive gas-filled container was left in the atmosphere for 2 weeks under conditions of room temperature of about 20 ° C. and humidity of about 30 to 40%.

＜腐食目視確認＞
室温約２０℃、湿度約３０〜４０％の条件下で、大気中に２週間放置した後に、アウトレットキャップを取り外して、目視により腐食の有無を観察した。目視では、アウトレットの内部（アウトレットの凹部の内壁面およびガスケットシール面）に腐食は確認できなかった。 <Visual inspection of corrosion>
After leaving in the atmosphere for 2 weeks under conditions of room temperature of about 20 ° C. and humidity of about 30 to 40%, the outlet cap was removed and the presence or absence of corrosion was observed visually. By visual observation, no corrosion could be confirmed inside the outlet (the inner wall surface of the outlet recess and the gasket seal surface).

＜金属濃度測定＞
まず、アウトレットの凹部の内壁面およびガスケットシール面をエタノール（２０ｍｌ）で洗浄した。次に、この洗浄廃液を純水（１８０ｍｌ）で希釈した後、ＩＣＰ−ＡＥＳ（結合誘導プラズマ−原子発光スペクトル法）により金属元素を分析し、洗浄廃液中に溶出した金属（Ｆｅ及びＮｉ）の濃度を測定した。
アウトレットの材質はＳＵＳ３１６Ｌ、アウトレットキャップの材質はＳＵＳ３０４であり、腐食が進むほど、洗浄廃液中に溶出する金属濃度は上昇するため、この方法によって、相対的な腐食抑制効果を評価することが可能である。
得られた結果を表１に示した。洗浄廃液中に溶出したＦｅ及びＮｉの濃度は、ほぼ定量下限値に近く、いずれも、０．１質量ｐｐｍであった。 <Metal concentration measurement>
First, the inner wall surface of the recess of the outlet and the gasket seal surface were washed with ethanol (20 ml). Next, after this cleaning waste liquid is diluted with pure water (180 ml), metal elements are analyzed by ICP-AES (bonded induction plasma-atomic emission spectroscopy), and the metals (Fe and Ni) eluted in the cleaning waste liquid are analyzed. Concentration was measured.
The outlet material is SUS316L, and the outlet cap material is SUS304. As the corrosion progresses, the concentration of the metal eluted in the cleaning waste liquid increases. Therefore, it is possible to evaluate the relative corrosion inhibition effect by this method. is there.
The obtained results are shown in Table 1. The concentrations of Fe and Ni eluted in the washing waste liquid were almost close to the lower limit of quantification, and both were 0.1 mass ppm.

＜実施例２＞
図４に示した腐食性ガス充填容器用バルブを装着した以外は、実施例１と同様にして、腐食抑制効果を評価した。
この場合も、目視では腐食が確認されなかった。また、金属濃度測定の結果は表１に示すように、洗浄廃液中に溶出したＦｅ及びＮｉの濃度は、それぞれ、０．１質量ｐｐｍ及び０．１質量ｐｐｍ未満であった。 <Example 2>
The corrosion inhibition effect was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the corrosive gas-filled container valve shown in FIG. 4 was installed.
Also in this case, corrosion was not confirmed visually. Moreover, as a result of the metal concentration measurement, as shown in Table 1, the concentrations of Fe and Ni eluted in the cleaning waste liquid were 0.1 mass ppm and less than 0.1 mass ppm, respectively.

＜実施例３＞
図５に示した腐食性ガス充填容器用バルブを装着した以外は、実施例１と同様にして、腐食抑制効果を評価した。このとき、逆流防止バルブのゲージ圧で０．３ＭＰａとなるよう窒素ガスを封入した。
この場合も、目視では腐食が確認されなかった。また、金属濃度測定の結果は表１に示すように、洗浄廃液中に溶出したＦｅ及びＮｉの濃度は、いずれも０．１質量ｐｐｍ未満であった。 <Example 3>
The corrosion inhibition effect was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the corrosive gas-filled container valve shown in FIG. 5 was installed. At this time, nitrogen gas was sealed so that the gauge pressure of the backflow prevention valve was 0.3 MPa.
Also in this case, corrosion was not confirmed visually. Moreover, as a result of the metal concentration measurement, as shown in Table 1, the concentrations of Fe and Ni eluted in the cleaning waste liquid were both less than 0.1 ppm by mass.

＜実施例４＞
図４に示した腐食性ガス充填容器用バルブを装着し、アウトレットキャップの表面にＮｉコーティングを施工した以外は、実施例１と同様にして、腐食抑制効果を評価した。
この場合も、目視では腐食が確認されなかった。また、金属濃度測定の結果は表１に示すように、洗浄廃液中に溶出したＦｅ及びＮｉの濃度は、いずれも０．１質量ｐｐｍ未満であった。 <Example 4>
The corrosion inhibitory effect was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the corrosive gas-filled container valve shown in FIG. 4 was attached and Ni coating was applied to the surface of the outlet cap.
Also in this case, corrosion was not confirmed visually. Moreover, as a result of the metal concentration measurement, as shown in Table 1, the concentrations of Fe and Ni eluted in the cleaning waste liquid were both less than 0.1 ppm by mass.

＜比較例１＞
図６および図７に示した従来型容器用バルブを装着した以外は、実施例１と同様にして、腐食抑制効果を評価した。
目視により、アウトレットの内部（アウトレット内壁面およびガスケットシール面）に明らかに腐食が生じているのを確認することができた。また、金属濃度測定の結果は表１に示すように、洗浄廃液中に溶出したＦｅ及びＮｉの濃度は、それぞれ、０．５質量ｐｐｍ及び０．３質量ｐｐｍであった。 <Comparative Example 1>
The corrosion inhibition effect was evaluated in the same manner as in Example 1 except that the conventional container valve shown in FIGS. 6 and 7 was installed.
It was confirmed by visual observation that corrosion was clearly occurring in the outlet (outlet inner wall surface and gasket seal surface). Moreover, as a result of the metal concentration measurement, as shown in Table 1, the concentrations of Fe and Ni eluted in the cleaning waste liquid were 0.5 mass ppm and 0.3 mass ppm, respectively.

本発明は、半導体デバイス等の製造に使用される腐食性ガス充填容器用バルブに関するものであり、半導体装置産業、ディスプレイパネル産業および太陽電池パネル産業などで利用可能性がある。 The present invention relates to a corrosive gas-filled container valve used in the manufacture of semiconductor devices and the like, and can be used in the semiconductor device industry, the display panel industry, the solar cell panel industry, and the like.

本発明の腐食性ガス充填容器用バルブを示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the valve | bulb for corrosive gas filling containers of this invention. 本発明の腐食性ガス充填容器用バルブを示す部分断面展開図である。It is a partial expanded sectional view which shows the valve | bulb for corrosive gas filling containers of this invention. 本発明の腐食性ガス充填容器用バルブを示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the valve | bulb for corrosive gas filling containers of this invention. 本発明の腐食性ガス充填容器用バルブを示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the valve | bulb for corrosive gas filling containers of this invention. 本発明の腐食性ガス充填容器用バルブを示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the valve | bulb for corrosive gas filling containers of this invention. 従来の腐食性ガス充填容器用バルブを示す部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the valve | bulb for the conventional corrosive gas filling container. 従来の腐食性ガス充填容器用バルブを示す部分断面展開図である。It is a fragmentary sectional developed view which shows the valve | bulb for the conventional corrosive gas filling container.

Explanation of symbols

１…腐食性ガス充填容器用バルブ、２…バルブ本体部、３…ハンドル、５…アウトレットキャップ、５ｃ…バルブ本体部側の面、７…ガスケット、９…仕切りプラグ、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ…流路、１２…アウトレット部、２０…貫通孔、２２…凹部、２２ａ…内壁面、２２ｃ…内底面、２４…ネジ溝部、２５…アウトレット、２５ａ…側面、２６…ネジ溝部、２８…取付部、２９…ネジ溝部、３０…上面突出部、３２…側面突出部、４０…逆流防止バルブ、７０、７２…シール材、８２…シール材用凹部、８８…シール材用凹部、９０…凹部、９０ａ…内壁面、９０ｃ…ガスケットシール面、９２…切欠部、９２ｃ…側面突出部保持面、９４…ガスケット用凹部、９６…シール材用凹部、１０１…腐食性ガス充填容器用バルブ、１０２…バルブ本体部、１０３…ハンドル、１０５…アウトレットキャップ、１０７…ガスケット、１０９…仕切りプラグ、１１０ａ、１１０ｂ…流路、１１９…弁体収納孔、１１２…アウトレット部、１２０…貫通孔、１２２…凹部、１２２ａ…内壁面、１２２ｃ…内底面、１２４…ネジ溝部、１２５…アウトレット、１２６…ネジ溝部、１２７…弁体、１２７Ａ…弁座、１２８…取付部、１２９…ネジ溝部、１３０…上面突出部、１３２…側面突出部、１４１…スピンドル、１４２…バルブステム、１４３…ダイヤフラム、１４４…グランドナット、１９０…凹部、１９０ａ…内壁面、１９０ｃ…ガスケットシール面、１９２…切欠部、１９２ｃ…側面突出部保持面、１９４…ガスケット用凹部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Valve for corrosive gas filling container, 2 ... Valve body part, 3 ... Handle, 5 ... Outlet cap, 5c ... Valve body side surface, 7 ... Gasket, 9 ... Partition plug, 10a, 10b, 10c ... Flow 12: Outlet part, 20 ... Through hole, 22 ... Recess, 22a ... Inner wall surface, 22c ... Inner bottom surface, 24 ... Screw groove part, 25 ... Outlet, 25a ... Side face, 26 ... Screw groove part, 28 ... Mounting part, 29 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Screw groove part, 30 ... Upper surface protrusion part, 32 ... Side surface protrusion part, 40 ... Backflow prevention valve, 70, 72 ... Seal material, 82 ... Recess part for seal material, 88 ... Recess part for seal material, 90 ... Recess part Wall surface, 90c ... gasket sealing surface, 92 ... notch, 92c ... side protrusion holding surface, 94 ... gasket recess, 96 ... sealing material recess, 101 ... corrosive gas filled container valve, 102 ... Lub body, 103 ... handle, 105 ... outlet cap, 107 ... gasket, 109 ... partition plug, 110a, 110b ... flow path, 119 ... valve body storage hole, 112 ... outlet part, 120 ... through hole, 122 ... recess, 122a ... inner wall surface, 122c ... inner bottom surface, 124 ... screw groove portion, 125 ... outlet, 126 ... screw groove portion, 127 ... valve body, 127A ... valve seat, 128 ... mounting portion, 129 ... screw groove portion, 130 ... upper surface protruding portion, 132: Side projection, 141 ... Spindle, 142 ... Valve stem, 143 ... Diaphragm, 144 ... Gland nut, 190 ... Recess, 190a ... Inner wall surface, 190c ... Gasket seal surface, 192 ... Notch, 192c ... Side projection holding Surface, 194: gasket recess.

Claims

A valve body having a flow path for allowing corrosive gas to pass through; an outlet projecting from the valve body; an outlet cap fitted into the outlet; a partition plug disposed in the outlet cap; Having a gasket disposed in the gasket recess provided in the partition plug,
When the outlet cap is attached to the outlet, the partition plug is arranged by fitting the side protrusion provided on the partition plug to the notch provided on the outlet and arranging the partition plug. A valve for a corrosive gas filling container equipped with a mechanism for preventing
A sealing material is disposed between the outlet cap and the outlet, and the sealing material is disposed in a sealing material recess provided on a surface opposite to the gasket recess of the partition plug. Characteristic valve for corrosive gas filling container.

A valve body having a flow path for allowing corrosive gas to pass through; an outlet projecting from the valve body; an outlet cap fitted into the outlet; a partition plug disposed in the outlet cap; Having a gasket disposed in the gasket recess provided in the partition plug,
When the outlet cap is attached to the outlet, the partition plug is arranged by fitting the side protrusion provided on the partition plug to the notch provided on the outlet and arranging the partition plug. A valve for a corrosive gas filling container equipped with a mechanism for preventing
A corrosive gas , wherein a sealing material is disposed between the outlet cap and the outlet, and the sealing material is disposed in a concave portion for a sealing material provided on an inner bottom surface of the outlet cap. Valve for filling container.

The sealing material is corrosive gas-filled vessel valve according to claim 1 or 2, characterized in that it is arranged in the sealing material for a recess provided in a side surface of the outlet.

The corrosive gas-filled container valve according to any one of claims 1 to 3 , wherein a second valve is attached to the outlet cap.

Wherein the surface of the outlet cap, corrosive gas-filled vessel valve according to any one of claims 1 to 4, characterized in that surface-treated.

6. The corrosive gas-filled container valve according to claim 5 , wherein the surface treatment is Ni plating.

6. The corrosive gas-filled container valve according to claim 5 , wherein a thread groove is provided on a surface of the outlet cap, and the surface treatment is silver plating.

The corrosive gas is fluorine, chlorine, bromine, hydrogen fluoride, hydrogen chloride, hydrogen bromide, chlorine trifluoride, boron trichloride, boron trifluoride, carbonyl difluoride, silicon tetrafluoride, hexafluoride. The corrosive gas-filled container valve according to any one of claims 1 to 7 , wherein the valve is a gas containing either tungsten or ammonia.