JP5214042B2 - Method for manufacturing optical element package - Google Patents
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Description
本発明は、光素子パッケージの製造方法に係り、特に、光ファイバを気密にパッケージ外に引き出す光素子パッケージの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an optical element package, and more particularly to a method for manufacturing an optical element package that draws an optical fiber out of the package in an airtight manner.
近年、高速かつ大容量の光通信システムが実用化されており、このような光通信システムに組み込むための発光素子、受光素子、変調素子などの高速かつ小型な光素子の開発が盛んに進められている。光通信システムにおいては、光素子は20年を超える期間に渡って安定に動作することが要求される。このため、光素子の劣化を抑制するために、光素子は気密封止される必要がある。 In recent years, high-speed and large-capacity optical communication systems have been put into practical use, and development of high-speed and small-sized optical elements such as light-emitting elements, light-receiving elements, and modulation elements to be incorporated into such optical communication systems has been actively promoted. ing. In an optical communication system, an optical element is required to operate stably over a period exceeding 20 years. For this reason, in order to suppress deterioration of the optical element, the optical element needs to be hermetically sealed.
光素子を収容する筐体を有し、光素子と結合された光ファイバを光ファイバ挿通パイプを介して筐体内から引き出す(または内に引き込む)従来の光素子パッケージとしては、光ファイバ挿通パイプの内部で光ファイバを含めてパッケージ内部を気密に封止するものがある(例えば、特許文献1参照)。従来の光素子パッケージの光ファイバ引出し封止部の構造を図7に示す。 A conventional optical element package having a housing for accommodating an optical element and drawing out (or drawing into) the optical fiber coupled with the optical element from the inside of the casing through the optical fiber insertion pipe includes an optical fiber insertion pipe There is one that hermetically seals the inside of a package including an optical fiber inside (for example, see Patent Document 1). FIG. 7 shows the structure of an optical fiber lead-out sealing portion of a conventional optical element package.
図7に示すように、封止部は、(1)予め溶接等によって光ファイバ挿通パイプ104が固定された筐体102の内部に光素子101を接着固定する工程と、(2)一部に金属コート103aが施された光ファイバ素線103bからなる光ファイバ素線部と、光ファイバ素線103bに被覆103cが施されてなる光ファイバ被覆部とを備えた光ファイバ103を、光ファイバ挿通パイプ104に挿通させ、光ファイバ調芯装置上で、光ファイバ103の光ファイバ素線103bと光素子101とを接着剤105で接着する工程と、(3)光ファイバ調芯装置上で、光ファイバ挿通パイプ104と金属コート103aとの間で半田106によって筐体102を気密封止する工程と、(4)被覆103cと光ファイバ挿通パイプ104とを補強用接着剤107で固定する工程と、(5)蓋部材(図示しない)をシーム溶接等により筐体102に固定する工程を経て形成される。
As shown in FIG. 7, the sealing portion includes (1) a step of bonding and fixing the
なお、場合によっては、上記工程(2)と工程(3)の間に、光ファイバ調芯装置上で光ファイバ103を光素子方向に押し込み、筐体102内および光ファイバ挿通パイプ104内において光ファイバ103に余長を持たせる工程が加わる。
In some cases, between the steps (2) and (3), the
しかしながら、特許文献1に開示された従来の光素子パッケージにおいては、光ファイバと光素子の接着後の気密封止作業(上記工程(3))、さらには被覆と光ファイバ挿通パイプとを補強用接着剤で固定する作業(上記工程(4))を光ファイバ調芯装置上で1つの筐体ごとに行うことにより製造されるため、作業性が悪く、例えば、調芯作業と封止作業を複数の筐体に対してまとめて行うことができないという課題があった。
However, in the conventional optical element package disclosed in
本発明は、従来の課題を解決するためになされたものであって、気密封止作業の作業性を向上させることができる光素子パッケージの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the conventional problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an optical element package that can improve the workability of the hermetic sealing operation.
上記課題を解決するために、本発明の光素子パッケージの製造方法は、光ファイバ調芯装置上で行う工程と、当該工程の後に光ファイバ調芯装置外で行う工程と、を含む光素子パッケージの製造方法であって、
光ファイバ調芯装置上において、筐体に支持された光ファイバ挿通パイプに、光ファイバ素線からなる光ファイバ素線部、および、前記光ファイバ素線を被覆する光ファイバ被覆部を有する光ファイバを挿通させ、前記光ファイバ素線部と前記筐体に収容された光素子とを光結合が得られた状態で接着する光ファイバ接着工程と、後工程の前記光ファイバ調芯装置外工程が可能となるよう、前記光ファイバ被覆部を保持部材によって前記光ファイバ挿通パイプに仮止め固定する仮止め工程と、を順次行い、
光ファイバ調芯装置外において、前記光ファイバ素線部と前記光ファイバ挿通パイプとの間で前記筐体を気密封止部材によって気密封止する封止工程と、前記光ファイバ挿通パイプに前記仮止め固定されている前記光ファイバ被覆部を前記光ファイバ挿通パイプに補強用接着剤で補強固定する補強工程と、を順次行うことを特徴とするものである。
この方法により、気密封止作業の作業性を向上させることができる。
In order to solve the above problems, an optical element package manufacturing method of the present invention includes an optical element package including a step performed on an optical fiber aligning device and a step performed outside the optical fiber aligning device after the step. A manufacturing method of
On an optical fiber alignment apparatus , an optical fiber having an optical fiber strand portion made of an optical fiber strand and an optical fiber coating portion covering the optical fiber strand on an optical fiber insertion pipe supported by a housing An optical fiber adhering step for adhering the optical fiber strand portion and the optical element accommodated in the housing in a state where optical coupling is obtained, and an optical fiber aligning device outer step in a later step. A temporary fixing step of temporarily fixing and fixing the optical fiber coating portion to the optical fiber insertion pipe by a holding member so as to be possible ,
Outside the optical fiber aligning device, a sealing step of hermetically sealing the housing with an airtight sealing member between the optical fiber strand portion and the optical fiber insertion pipe; and A reinforcing step of reinforcing and fixing the optical fiber coating portion fixed and fixed to the optical fiber insertion pipe with a reinforcing adhesive is sequentially performed .
By this method, the workability of the hermetic sealing work can be improved.
また、本発明の光素子パッケージの製造方法は、前記保持部材が紫外線照射により硬化する接着剤であり、かつ、前記気密封止部材が金属封止剤である構成を有していてもよい。 Moreover, the manufacturing method of the optical element package of this invention may have the structure that the said holding member is an adhesive agent hardened | cured by ultraviolet irradiation, and the said airtight sealing member is a metal sealing agent.
また、本発明の光素子パッケージの製造方法は、前記金属封止剤が半田である構成を有していてもよい。 Moreover, the manufacturing method of the optical element package of this invention may have the structure whose said metal sealing agent is solder.
また、本発明の光素子パッケージの製造方法は、前記仮止め工程において、前記光素子と前記光ファイバ素線部の結合部分と、前記光ファイバ挿通パイプと前記光ファイバ被覆部の前記保持部材による固定箇所との間で前記光ファイバが余長を有するようにして前記仮止め固定を行う方法を有している。
この方法により、光素子と光ファイバの結合特性が環境温度の変化の影響を受けなくなるため、使用可能な環境温度範囲が拡大された光素子パッケージを製造することができる。
In the optical element package manufacturing method of the present invention, in the temporary fixing step, the coupling portion of the optical element and the optical fiber strand portion, the optical fiber insertion pipe, and the holding member of the optical fiber covering portion are used. There is a method of performing the temporary fixing so that the optical fiber has an extra length between the fixing portion.
By this method, since the coupling characteristics of the optical element and the optical fiber are not affected by the change in the environmental temperature, an optical element package in which the usable environmental temperature range is expanded can be manufactured.
本発明は、光ファイバ挿通パイプにおける気密封止作業に先立って、光ファイバ被覆部を光ファイバ挿通パイプに仮止め固定することにより、光ファイバ被覆部と光ファイバ挿通パイプとを補強用接着剤で固定する作業までを光ファイバ調芯装置上で行う必要がなく、気密封止作業の作業性を向上させることができるという効果を有する光素子パッケージの製造方法を提供することができるものである。 In the present invention, prior to the hermetic sealing operation in the optical fiber insertion pipe, the optical fiber coating part and the optical fiber insertion pipe are bonded with a reinforcing adhesive by temporarily fixing the optical fiber coating part to the optical fiber insertion pipe. It is not necessary to perform the fixing operation on the optical fiber aligning device, and it is possible to provide an optical element package manufacturing method having an effect that the workability of the hermetic sealing operation can be improved.
以下、本発明に係る光素子パッケージの実施形態について、図面を用いて説明する。 Hereinafter, embodiments of an optical element package according to the present invention will be described with reference to the drawings.
(第1の実施形態)
本発明に係る光素子パッケージの第1の実施形態を図1に示す。図1(a)は光素子パッケージ1の断面図、図1(b)は光素子パッケージ1の構成を示す分解斜視図である。
(First embodiment)
FIG. 1 shows a first embodiment of an optical element package according to the present invention. 1A is a cross-sectional view of the
即ち、図1(a)および(b)に示すように、第1の実施形態の光素子パッケージ1は、光素子11を収容する筐体12と、一部に金属コート13aが施された光ファイバ素線13bからなる光ファイバ素線部、および、光ファイバ素線13bを被覆13cによって被覆する光ファイバ被覆部を有し、光素子11と光結合する光ファイバ13と、筐体12の少なくとも1側面から延伸し、筐体12内に光ファイバ13を挿通させるための光ファイバ挿通パイプ14とを備える。
That is, as shown in FIGS. 1A and 1B, the
そして、詳細は後述するが、光ファイバ挿通パイプ14と光ファイバ13の金属コート13aとの間で、気密封止部材としての半田17によって筐体12が気密封止され、光ファイバ13の被覆13cが光ファイバ挿通パイプ14において保持部材としての速乾性接着剤16によって仮止め固定される。
As will be described in detail later, the
図1に示した光素子11は、例えば導波路型LN光変調器チップである。LN光変調器チップは、電気光学効果を有する強誘電体であるLiNbO 3 (ニオブ酸リチウム)基板にTi等を熱拡散させて基板表面に相対的に高屈折率の光導波路を形成し、さらに基板上にマイクロ波を伝播させるマイクロ波伝播導波路(例えばコプレーナ線路)を形成し、光導波路を伝播する光波にマイクロ波による電界を作用させて、電気光学効果によって変調を行う光素子である。
The
筐体12は、ステンレス(SUS)やコバール等の金属材料などで構成され、例えば導波路型LN光変調器チップなどの光素子11を内部に固定するものである。
The
光ファイバ13は、光波を閉じ込め伝播させるコアを有する光ファイバ素線13bと、光ファイバ素線13bを包み込んで素線への傷を保護するとともに、光ファイバ自体の強度を補強するためのナイロンなどの被覆13cを含む。
The
また、光ファイバ13の金属コート13aとしては、半田の濡れ性を向上させるためにメッキ法や蒸着法によって形成されるAuなどの金属コートが用いられる。
Further, as the
以下、本発明に係る光素子パッケージの製造方法について、図面を用いて説明する。 A method for manufacturing an optical element package according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
本発明に係る光素子パッケージの製造方法は、図2〜図4に示すように、(1)光素子11を筐体12の内部に接着固定する光素子接着工程と、(2)光ファイバ13の所定箇所の被膜を除去し、所定箇所に金属コートを施す光ファイバ準備工程と、(3)光ファイバ調芯装置上で光ファイバ13を筐体12に固定された光ファイバ挿通パイプ14内に挿通させ、光ファイバ13の光ファイバ素線13bと筐体12に固定された光素子11とを接着剤15によって接着する光ファイバ接着工程と、(4)光ファイバ13の被覆13cを光ファイバ挿通パイプ14に速乾性接着剤16によって仮止め固定する仮止め工程と、(5)光ファイバ挿通パイプ14と光ファイバ13の金属コート13aとの間に、気密封止部材として金属封止剤である融解した半田17を流し込んで筐体12を気密封止する封止工程と、(6)光ファイバ13の被覆13cと光ファイバ挿通パイプ14とを補強用接着剤18で固定する補強工程とを含む。
As shown in FIGS. 2 to 4, the method for manufacturing an optical element package according to the present invention includes (1) an optical element bonding step for bonding and fixing the
即ち、上記の光素子接着工程(1)においては、光ファイバ挿通パイプ14が予め溶接等によって固定された筐体12の内部に光素子11を接着固定する(図2(1))。
That is, in the optical element bonding step (1), the
光ファイバ準備工程(2)においては、光ファイバ13の所定箇所の被膜を除去し、その被膜を除去した箇所に、半田の濡れ性を向上させるためにAuなどでメタライズ(金属コート)を行う(図2(2))。
In the optical fiber preparation step (2), the coating at a predetermined location of the
光ファイバ接着工程(3)においては、光素子11が接着固定された筐体12を光ファイバ調芯装置に固定し、光ファイバ13を光ファイバ挿通パイプ14に挿通させて筐体12内に引き込んで光素子11の端面11aに近接させる。光軸調芯を行い端面11aと光ファイバ13の光ファイバ素線13bとを十分な光結合が得られる位置に調整し、この状態で光ファイバ素線13bと端面11aとを接着剤15で接着固定する(図3(3))。
In the optical fiber bonding step (3), the
なお、通常は光ファイバ素線13bと端面11aとの接続面積を増やすために、光ファイバ素線13bの先端にガラス製のビーズ形状の補強部材(図示しない)が取り付けられる。また、光ファイバ挿通パイプ14の内部で、後述の封止工程(5)において半田によって気密封止される箇所に予めAuなどの金属コートを施しておいてもよい。
Usually, in order to increase the connection area between the
仮止め工程(4)においては、光ファイバ13の被覆13cを光ファイバ挿通パイプ14にUV硬化接着剤などの速乾性接着剤16で仮止め固定する(図3(4))。なお、筐体12が光ファイバ挿通パイプを複数有する場合は、それぞれの光ファイバ挿通パイプに対して光ファイバ接着工程(3)および仮止め工程(4)を繰り返す。そして、光ファイバ接着工程(3)および仮止め工程(4)を全て経た後の筐体12を光ファイバ調芯装置から取り外す。
In the temporary fixing step (4), the
封止工程(5)においては、半田ごて、高周波加熱器、レーザなどを用いて金属封止剤としての半田を融解し、光ファイバ13の金属コート13aと光ファイバ挿通パイプ14との間で半田17によって筐体12を気密封止する(図4(5))。
In the sealing step (5), solder as a metal sealing agent is melted using a soldering iron, a high-frequency heater, a laser, or the like, and between the
補強工程(6)においては、光ファイバ13と光ファイバ挿通パイプ14を高信頼性の光部品として要求される光ファイバの引張試験の指針である1kgf以上を十分に満足させるため、被覆13cと光ファイバ挿通パイプ14をエポキシ系などの補強用接着剤18で補強固定する(図4(6))。
In the reinforcing step (6), in order to sufficiently satisfy 1 kgf or more, which is a guideline for the optical fiber tensile test required for the
最後に、図1(b)に示した蓋部材20をシーム溶接等により筐体12に固定して、光素子パッケージ1が完成する。
Finally, the
以上説明したように、第1の実施形態の光素子パッケージは、光ファイバ挿通パイプにおける気密封止作業に先立って、光ファイバ被覆部を光ファイバ挿通パイプに仮止め固定することにより、調芯作業を終えた後の筐体を光ファイバ調芯装置から取り外すことができるため、気密封止作業の作業性を向上させることができる。 As described above, the optical element package according to the first embodiment is aligned by fixing the optical fiber coating portion to the optical fiber insertion pipe temporarily before the hermetic sealing operation in the optical fiber insertion pipe. Since the housing after finishing can be removed from the optical fiber aligning device, the workability of the hermetic sealing work can be improved.
具体的に言えば、例えば複数個の光素子パッケージに対して光ファイバ調芯装置で仮止め工程まで行った後、その仮止め工程を経た複数個の光素子パッケージに対して光ファイバ調芯装置外で封止工程および補強工程をまとめて行うことができ、作業性を向上させることができる。また、当該封止工程および補強工程時には光ファイバ調芯装置は空き状態であるので、別の複数個の光素子パッケージに対して仮止め工程まで上記複数個の光素子パッケージの封止工程等と並行して行うことができ、生産性の効率化も図ることができる。 Specifically, for example, after performing a temporary fixing process on a plurality of optical element packages with an optical fiber alignment device, an optical fiber alignment apparatus is applied to the plurality of optical element packages that have undergone the temporary fixing process. The sealing step and the reinforcing step can be performed together outside, and workability can be improved. Further, since the optical fiber alignment device is in an empty state at the time of the sealing process and the reinforcing process, the process of sealing the plurality of optical element packages and the like up to a temporary fixing process with respect to another plurality of optical element packages It can be performed in parallel and productivity can be improved.
(第2の実施形態)
本発明に係る光素子パッケージの第2の実施形態を図5に示す。本実施形態では、光素子11と光ファイバ素線13bとの結合部分と、光ファイバ挿通パイプ14と被覆13cとの速乾性接着剤16による固定箇所との間で光ファイバ13に図5の断面図に示すような余長を持たせる。その他の構成に関しては、第1の実施形態と同様である。
(Second Embodiment)
FIG. 5 shows a second embodiment of the optical element package according to the present invention. In the present embodiment, the cross section of FIG. 5 is formed on the
また、第2の実施形態の光素子パッケージ2の製造方法は、仮止め工程において、光ファイバ13の被覆13cを光ファイバ挿通パイプ14に速乾性接着剤16で仮止め固定する際に、光素子11と光ファイバ素線13bとの結合部分と、光ファイバ挿通パイプ14と被覆13cとの速乾性接着剤16による固定箇所との間で光ファイバ13に図5に示すような余長を持たせる点を除いて、第1の実施形態と同様である。
In the method of manufacturing the
一般に、金属からなる筐体の線膨張係数は、石英ガラス等からなる光ファイバの線膨張係数より大きい。しかしながら、室温での封止作業時に上記のように光ファイバに余長を持たせることにより、環境温度が上昇したとしても光ファイバが切断されることがなく、逆に環境温度が低下したとしても余長が僅かに増えるだけであり、光ファイバと光素子の結合状態は大きく変化しない。このため、光ファイバの破断を防ぐことができ、光素子パッケージの使用可能な環境温度範囲が拡大される。 In general, the linear expansion coefficient of a casing made of metal is larger than that of an optical fiber made of quartz glass or the like. However, by providing extra length to the optical fiber as described above during sealing at room temperature, even if the environmental temperature rises, the optical fiber will not be cut. The extra length is only slightly increased, and the coupling state between the optical fiber and the optical element does not change significantly. For this reason, the optical fiber can be prevented from being broken, and the usable environmental temperature range of the optical element package is expanded.
以上説明したように、第2の実施形態の光素子パッケージは、第1の実施形態に記載の効果に加えて、光ファイバに余長を持たせることにより、環境温度の変化に依存しない良好な接続特性を得ることができる。 As described above, the optical element package according to the second embodiment is excellent in that it does not depend on changes in the environmental temperature by providing an extra length to the optical fiber in addition to the effects described in the first embodiment. Connection characteristics can be obtained.
(第3の実施形態)
本発明に係る光素子パッケージの参考実施形態としての第3の実施形態を図6に示す。
(Third embodiment)
FIG. 6 shows a third embodiment as a reference embodiment of the optical element package according to the present invention.
即ち、図6の断面図に示すように、第3の実施形態の光素子パッケージ3は、光素子11を収容する筐体12と、光ファイバ素線33aからなる光ファイバ素線部と、光ファイバ素線33aに被覆33bが施されてなる光ファイバ被覆部とを備え、光素子11と光結合する光ファイバ33と、筐体12の少なくとも1側面から延伸し、筐体12内に光ファイバ33を挿通させるための光ファイバ挿通パイプ14とを備える。
That is, as shown in the cross-sectional view of FIG. 6, the
そして、気密封止部材としての樹脂封止剤31によって、光ファイバ挿通パイプ14と光ファイバ33の光ファイバ素線33aとの間で、筐体12が気密封止されるとともに、光ファイバ33の被覆33bが光ファイバ挿通パイプ14において補強固定される。
The
また、第3の実施形態の光素子パッケージ3の製造方法は、(1)光素子11を筐体12の内部に接着固定する光素子接着工程(図示せず)と、(2)光ファイバ調芯装置上で光ファイバ33を筐体12に固定された光ファイバ挿通パイプ14内に挿通させ、光ファイバ33の光ファイバ素線33aと筐体12に固定された光素子11とを接着剤15によって接着する光ファイバ接着工程(図示せず)と、(3)光ファイバ33の被覆33bを光ファイバ挿通パイプ14に速乾性接着剤16によって仮止め固定する仮止め工程(図示せず)と、(4)樹脂封止剤31によって、光ファイバ挿通パイプ14と光ファイバ33の光ファイバ素線33aとの間で筐体12を気密封止するとともに、光ファイバ33の被覆33bを光ファイバ挿通パイプ14において補強固定する封止工程(図示せず)とを含む。
In addition, the manufacturing method of the
即ち、第3の実施形態の光素子パッケージ3の製造方法においては、光ファイバ挿通パイプ14内での封止作業を半田封止などの金属封止法から樹脂封止法に変更したことにより、半田の濡れ性を向上させるための金属コートが不必要となる。このため、光素子パッケージの製造に要するコストが低減される。さらに、樹脂封止剤として接着強度が十分な樹脂封止剤を選択することにより、封止作業と光ファイバの光ファイバ挿通パイプでの補強を同時に行うことができるため、さらにコストを低減することができる。
That is, in the manufacturing method of the
なお、光素子11と光ファイバ素線33aとの結合部分と、光ファイバ挿通パイプ14と被覆33bとの速乾性接着剤16による固定箇所との間で光ファイバ33に余長を持たせてもよい。
Even if the
以上説明したように、第3の実施形態の光素子パッケージは、第1の実施形態に記載の効果に加えて、気密封止部材として樹脂封止剤を用いることにより、光素子パッケージの製造に要するコストを低減することができる。 As described above, the optical element package of the third embodiment can be used for manufacturing an optical element package by using a resin sealant as an airtight sealing member in addition to the effects described in the first embodiment. Costs required can be reduced.
なお、上述の実施形態では、光素子として導波路型電気光学素子であるLN変調器を例にとって説明を行ったが、本発明の光素子パッケージが収容する光素子はLN変調器に限定されるものではなく、半導体レーザ(LD)やフォトダイオード(PD)などの光ファイバとの結合を要する光素子全般に適用可能である。 In the above-described embodiment, the LN modulator, which is a waveguide type electro-optic element, is described as an example of the optical element. However, the optical element accommodated in the optical element package of the present invention is limited to the LN modulator. However, the present invention can be applied to all optical elements that require coupling with an optical fiber such as a semiconductor laser (LD) and a photodiode (PD).
また、光素子の端面と光ファイバ素線との接着固定、被覆と光ファイバ挿通パイプの仮止め固定および補強固定では同一の接着剤を用いてもよいし、適材適所で有効な接着剤を用いてもよいことは言うまでもない。 In addition, the same adhesive may be used for the adhesive fixing between the end face of the optical element and the optical fiber strand, the temporary fixing and the reinforcing fixing of the covering and the optical fiber insertion pipe, or an adhesive that is effective in the right place. Needless to say.
1、2、3 光素子パッケージ
11 光素子
12 筐体
13、33 光ファイバ
13b、33a 光ファイバ素線
13c、33b 被覆
14 光ファイバ挿通パイプ
16 速乾性接着剤
17 半田
31 樹脂封止剤
1, 2, 3
Claims (4)
光ファイバ調芯装置上において、
筐体に支持された光ファイバ挿通パイプに、光ファイバ素線からなる光ファイバ素線部、および、前記光ファイバ素線を被覆する光ファイバ被覆部を有する光ファイバを挿通させ、前記光ファイバ素線部と前記筐体に収容された光素子とを光結合が得られた状態で接着する光ファイバ接着工程と、後工程の前記光ファイバ調芯装置外工程が可能となるよう、前記光ファイバ被覆部を保持部材によって前記光ファイバ挿通パイプに仮止め固定する仮止め工程と、を順次行い、
光ファイバ調芯装置外において、
前記光ファイバ素線部と前記光ファイバ挿通パイプとの間で前記筐体を気密封止部材によって気密封止する封止工程と、前記光ファイバ挿通パイプに前記仮止め固定されている前記光ファイバ被覆部を前記光ファイバ挿通パイプに補強用接着剤で補強固定する補強工程と、を順次行う
ことを特徴とする光素子パッケージの製造方法。 A process performed on the optical fiber alignment device, and a process performed outside the optical fiber alignment device after the step,
On the optical fiber alignment device,
An optical fiber insertion pipe supported by a housing is inserted into an optical fiber element comprising an optical fiber element and an optical fiber covering part covering the optical fiber element, and the optical fiber element is inserted. The optical fiber so that the optical fiber bonding step of bonding the line portion and the optical element accommodated in the housing in a state where optical coupling is obtained and the optical fiber aligning device outer step of the post step can be performed. A temporary fixing step of temporarily fixing and fixing the covering portion to the optical fiber insertion pipe by a holding member ,
Outside the optical fiber alignment device,
A sealing step of hermetically sealing the housing with an airtight sealing member between the optical fiber strand and the optical fiber insertion pipe; and the optical fiber temporarily fixed to the optical fiber insertion pipe method for manufacturing an optical element package that the cover portion and a reinforcing step of reinforcing fixed reinforcement adhesive to the optical fiber penetration pipe, characterized in that sequentially performed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012108538A JP2012108538A (en) | 2012-06-07 |
JP5214042B2 true JP5214042B2 (en) | 2013-06-19 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP5214042B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3845665A1 (en) | 2016-08-17 | 2021-07-07 | The Regents Of The University Of California | A novel immunoprobe-based method to assess organ injury status through a biofluid-based cell-free dna (cfdna) assay |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03259105A (en) * | 1990-03-09 | 1991-11-19 | Fujitsu Ltd | Airtight seal structure for optical fiber lead-in part |
JPH0735953A (en) * | 1993-07-15 | 1995-02-07 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Structure of optical element casing having mechanism for drawing out and sealing optical fiber and its production |
JPH07281061A (en) * | 1994-04-14 | 1995-10-27 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | Sealing casing structure for optical element and optical fiber, and connecting-sealing complex thereof |
JP3320537B2 (en) * | 1993-12-28 | 2002-09-03 | 住友大阪セメント株式会社 | Optical element storage sealed housing structure |
JPH10303508A (en) * | 1997-04-28 | 1998-11-13 | Hitachi Ltd | Package case and semiconductor module |
JP3990090B2 (en) * | 2000-03-31 | 2007-10-10 | 日本オプネクスト株式会社 | Optoelectronic device and manufacturing method thereof |
JP4012537B2 (en) * | 2004-12-01 | 2007-11-21 | 日本航空電子工業株式会社 | Optical module and manufacturing method thereof |
-
2012
- 2012-02-03 JP JP2012022356A patent/JP5214042B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012108538A (en) | 2012-06-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130123 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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