JP5213798B2 - Heating / cooling processing apparatus for continuous lead frame and heating / cooling processing method thereof - Google Patents

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Description

本発明はリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置及びその加熱冷却処理方法に関する。   The present invention relates to an apparatus for heating and cooling a continuum of lead frames and a method for heating and cooling the same.

半導体装置に用いるリードフレームを金属帯状体にプレス加工を施して製造する際に、プレス加工が施されて形成されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を除去すべく、リードフレームのインナーリードの先端部同士を連結した状態で連続体に加熱処理を施した後、冷却処理を施すことが行われている。
かかる加熱冷却処理装置としては、下記特許文献１に図３に示すリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置が提案されている。図３に示すリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置には、第1駆動ローラ１００ａと第１従動ローラ１００ｂとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第１金属ベルト１０２と、第２駆動ローラ１０４ａと第２従動ローラ１０４ｂとから成る一対のローラ間に無端状に巻き付けられ、所定張力で引っ張られて回転している第２金属ベルト１０６とが設けられ、第１金属ベルト１０２と第２金属ベルト１０６との各駆動ローラ１００ａ，１０４ａの方向に走行する部分が所定の接圧力で重ね合わされており、この重ね合わせられた第１金属ベルト１０２と第２金属ベルト１０６との間に供給されたリードフレームの連続体１０８を拘束して加熱冷却できるように、重ね合わせられた第１金属ベルト１０２と第２金属ベルト１０６とが加熱領域と冷却領域とを貫通して走行可能に設けられている。
この様に、重ね合わせられた第１金属ベルト１０２と第２金属ベルト１０６との間には、図４に示す様に、リードフレームの連続体１０８の全体が挟まれて拘束されている。 When a lead frame used in a semiconductor device is manufactured by pressing a metal strip, the inner lead of the lead frame is used to remove residual strain remaining in the continuous lead frame formed by pressing. A heat treatment is performed on the continuous body in a state where the tip portions of the two are connected to each other, and then a cooling process is performed.
As such a heating / cooling processing apparatus, a heating / cooling processing apparatus for a continuous lead frame shown in FIG. The lead frame continuous heating / cooling apparatus shown in FIG. 3 is wound endlessly between a pair of rollers including a first driving roller 100a and a first driven roller 100b, and is rotated by being pulled with a predetermined tension. A first metal belt 102 and a second metal belt 106 that is wound endlessly between a pair of rollers including a second drive roller 104a and a second driven roller 104b, and is rotated by being pulled with a predetermined tension. The portions of the first metal belt 102 and the second metal belt 106 that run in the direction of the drive rollers 100a and 104a are overlapped with each other at a predetermined contact pressure. The lead metal continuum 108 supplied between the first metal belt 106 and the second metal belt 106 is constrained so that it can be heated and cooled. The belt 102 and the second metal belt 106 are provided so as to be able to travel through the heating region and the cooling region.
As shown in FIG. 4, the entire lead frame continuous body 108 is sandwiched and restrained between the overlapped first metal belt 102 and second metal belt 106 in this way.

特開２００７−１６５８２３号公報JP 2007-165823 A

図３及び図４に示すリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置によれば、プレス加工したリードフレームの連続体に残留する残留歪の除去を、連続体を迅速に加熱冷却することによって行うことができ、リードフレームの連続体の歪除去速度を向上でき、リードフレームの生産性の向上を図ることができる。
しかしながら、第１金属ベルト１０２と第２金属ベルト１０６との間に挟み込まれたリードフレームの連続体１０８は、第１金属ベルト１０２と第２金属ベルト１０６とに接触する接触面に傷が付き易いことが判明した。
そこで、本発明は、二枚の金属ベルトの間に挟まれて加熱冷却されたリードフレームの金属ベルトとの接触面に傷が付き易い従来のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置及びその加熱冷却処理方法の課題を解決し、加熱冷却を施したリードフレームの連続体に可及的に傷が付き難いリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置及びその加熱冷却処理方法を提供することを目的とする。 According to the lead frame continuum heating and cooling apparatus shown in FIGS. 3 and 4, the residual strain remaining in the pressed lead frame continuum is removed by rapidly heating and cooling the continuum. Thus, the strain removal rate of the lead frame continuum can be improved, and the productivity of the lead frame can be improved.
However, the continuous body 108 of the lead frame sandwiched between the first metal belt 102 and the second metal belt 106 is likely to be damaged on the contact surface contacting the first metal belt 102 and the second metal belt 106. It has been found.
Accordingly, the present invention provides a conventional heating / cooling treatment apparatus for a continuous lead frame and its heating, in which the contact surface of the lead frame which is sandwiched between two metal belts and heated and cooled is easily damaged. An object of the present invention is to solve the problems of the cooling processing method and to provide a heating / cooling processing device for the lead frame continuum and a heating / cooling processing method for the continuum of the lead frame that is hardly damaged as much as possible. And

本発明者は、前記課題を解決すべく検討した結果、駆動ローラと従動ローラとに無端状に巻き付いている金属ベルトの引張側を円弧状とし、円弧状の金属ベルトにリードフレームの連続体の一面側を押し付けることによって、リードフレームの連続体が金属ベルトの円弧状面に容易に拘束できることを見出した。
すなわち、前記課題を解決する手段として、プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を、前記連続体を加熱冷却して除去する加熱冷却装置であって、一対の駆動ローラと従動ローラとの間に、無端状に巻き付けられている金属ベルトと、前記連続体を拘束状態で所定温度に加熱する加熱部と、前記加熱部で加熱された前記連続体を前記金属ベルトに載置して拘束状態で冷却する冷却部と、前記駆動ローラと従動ローラとの間に設けられ、前記連続体の移送方向に走行する前記金属ベルトを支承する複数の支承ローラとを具備し、前記複数の支承ローラが、支承される前記金属ベルトの前記連続体を載置する載置面が外方に膨出する弧状面となるように配設され、前記加熱部で加熱処理が施された、一面側が露出状態の前記連続体の他面側を前記金属ベルトの弧状面に押し付けて、前記連続体を拘束状態とする拘束手段と、前記連続体が前記弧状面での拘束状態を保持して金属ベルトと共に前記移送方向に走行して冷却される位置に、前記冷却部が設けられているリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置を提供できる。 As a result of studying to solve the above-mentioned problems, the inventor of the present invention has made the tension side of the metal belt wound endlessly around the driving roller and the driven roller into an arc shape, and the continuum of the lead frame on the arc-shaped metal belt. It has been found that the continuum of lead frames can be easily constrained to the arcuate surface of the metal belt by pressing one side.
That is, as a means for solving the above-mentioned problem, there is provided a heating / cooling device for removing residual strain remaining in a continuous body of a lead frame subjected to press working by heating and cooling the continuous body, and a pair of drive rollers and A metal belt wound endlessly between a driven roller, a heating unit for heating the continuous body to a predetermined temperature in a restrained state, and the continuous body heated by the heating unit are mounted on the metal belt. A cooling unit that is placed and cooled in a restrained state, and a plurality of support rollers that are provided between the drive roller and the driven roller and support the metal belt that travels in the transfer direction of the continuous body, A plurality of support rollers are disposed such that a mounting surface on which the continuous body of the metal belt to be supported is mounted is an arcuate surface that bulges outward, and heat treatment is performed in the heating unit. , One side is exposed The other surface side of the continuum is pressed against the arcuate surface of the metal belt to restrain the continuum, and the continuum holds the restraint state on the arcuate surface and transfers the metal belt together with the metal belt. It is possible to provide a heating / cooling apparatus for a continuous body of lead frames in which the cooling unit is provided at a position where the cooling unit is cooled by traveling in the direction.

また、前記課題を解決する手段として、プレス加工を施したリードフレームの連続体に残留する残留歪を、前記連続体を加熱冷却処理して除去する際に、前記加熱冷却処理を施す加熱冷却処理装置として、一対の駆動ローラと従動ローラとの間に、無端状に巻き付けられている金属ベルトと、前記連続体を拘束状態で所定温度に加熱する加熱部と、前記加熱部で加熱された前記連続体を前記金属ベルトに載置して拘束状態で冷却する冷却部と、前記駆動ローラと従動ローラとの間に設けられ、前記連続体の移送方向に走行する前記金属ベルトを支承する複数の支承ローラとを具備し、前記複数の支承ローラが、支承される前記金属ベルトの前記連続体を載置する載置面が外方に膨出する弧状面となるように配設された加熱冷却処理装置を用い、前記加熱部で加熱処理を施した、一面側が露出状態の前記連続体の他面側を、前記金属ベルトの弧状面に押し付けて、前記連続体を拘束状態とし、前記拘束状態を保持しつつ、前記金属ベルトと共に前記移送方向に走行する前記連続体を、前記冷却部を通過して冷却するリードフレームの連続体の加熱冷却処理方法を提供できる。   Further, as means for solving the above-described problem, a heating / cooling process for performing the heating / cooling process when the residual strain remaining in the continuous body of the lead frame subjected to press working is removed by heating / cooling the continuous body. As an apparatus, a metal belt wound endlessly between a pair of driving rollers and a driven roller, a heating unit that heats the continuous body to a predetermined temperature in a restrained state, and the heating unit that is heated by the heating unit A cooling unit that places the continuum on the metal belt and cools it in a restrained state, and a plurality of parts that are provided between the driving roller and the driven roller and support the metal belt that travels in the transfer direction of the continuum. Heating / cooling provided with a supporting roller, wherein the plurality of supporting rollers are arranged such that a mounting surface on which the continuous body of the metal belt to be supported is placed into an arcuate surface that bulges outward. Using processing equipment The other surface side of the continuous body in which the one side is exposed in the heating unit is pressed against the arc-shaped surface of the metal belt, the continuous body is in a restrained state, and the restraint state is maintained. It is possible to provide a heating / cooling processing method for a continuum of lead frames that cools the continuum that travels in the transfer direction together with the metal belt through the cooling unit.

本発明者らが提供した課題を解決する手段において、下記の好ましい態様を上げることができる。
金属ベルトとして、リードフレームの連続体よりも幅広の金属ベルトを用い、支承ローラに対応して、前記連続体から露出する前記幅広の金属ベルトの両側縁近傍に当接して、前記金属ベルトを支承ローラとの間に挟み込む一対の当接ローラ部と、前記一対の当接ローラ部を前記連続体と接触することなく連結するシャフト部とから成る押えローラを設けることによって、金属ベルトの走行状態を安定化できる。
かかる金属ベルトの弧状面を、前記金属ベルトの引張側に形成することによって、金属ベルトの弧状面を平滑面とすることができる。
また、加熱部には、加熱ローラを設け、リードフレームの連続体を拘束状態で加熱できるように、前記加熱ローラに前記連続体を巻回することによって、リードフレームの連続体を拘束状態で加熱してフラット化できる。
更に、従動ローラとして、加熱ローラを用いることによって、加熱処理を施したリードフレームの連続体を載置する金属ベルトを所定温度に加熱できる。 In the means for solving the problems provided by the present inventors, the following preferred embodiments can be raised.
As the metal belt, a metal belt wider than the continuum of the lead frame is used, and the metal belt is supported in contact with the vicinity of both side edges of the wide metal belt exposed from the continuum corresponding to the support roller. By providing a pressing roller comprising a pair of abutting roller portions sandwiched between the rollers and a shaft portion that connects the pair of abutting roller portions without contacting the continuum, the running state of the metal belt is improved. Can be stabilized.
By forming the arcuate surface of the metal belt on the tension side of the metal belt, the arcuate surface of the metal belt can be a smooth surface.
In addition, the heating unit is provided with a heating roller, and the continuous body of the lead frame is heated in a restrained state by winding the continuous body around the heating roller so that the continuous body of the lead frame can be heated in a restrained state. And can be flattened.
Furthermore, by using a heating roller as the driven roller, the metal belt on which the heat-treated lead frame continuous body is placed can be heated to a predetermined temperature.

本発明者が提供したリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置では、リードフレームの連続体を載置する金属ベルトの載置面を、複数の支承ローラによって外方に膨出する弧状面に形成している。このため、加熱部で拘束されて加熱処理された、一面側が露出状態のリードフレームの連続体を、その他面側を拘束手段によって金属ベルトの弧状面に押し付けて拘束状態として冷却処理を施すことができる。
この様に、本発明者が提供したリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置では、加熱処理を施したリードフレームの連続体を、その一面側を露出させつつ、拘束状態で冷却を施すことができる。
従って、本発明者が提供したリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置を用いて得られた、リードフレームの連続体には、加熱処理が施されたリードフレームの連続体を二枚の金属ベルト間に挟み込んで冷却処理を施す従来のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置を用いて得られた、リードフレームの連続体に比較して、加熱冷却処理の際の傷を可及的に少なくできる。 In the lead frame continuum heating / cooling apparatus provided by the present inventor, the mounting surface of the metal belt on which the lead frame continuum is mounted is formed into an arcuate surface bulging outward by a plurality of support rollers. doing. For this reason, it is possible to perform a cooling process by pressing the lead frame continuous body that is constrained by the heating unit and exposed on one side and the other side is pressed against the arcuate surface of the metal belt by the restraining means. it can.
Thus, in the lead frame continuum heating / cooling apparatus provided by the present inventor, the lead frame continuum subjected to the heat treatment can be cooled in a restrained state while exposing one surface side thereof. it can.
Therefore, the lead frame continuum obtained by using the lead frame continuum heating / cooling apparatus provided by the present inventor is divided into two metal belts. Compared to the lead frame continuum obtained by using a conventional lead frame continuum heating / cooling processing apparatus sandwiched between and performing the cooling process, scratches during the heating / cooling process are minimized as much as possible. it can.

本発明者が提案したリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置の概略図である。It is the schematic of the heating-cooling processing apparatus of the continuous body of the lead frame which this inventor proposed. 図１に示す加熱冷却処理装置に用いる支承ローラ２４と押えローラ３０との関係及び金属ベルト２２と連続体１０との関係を説明する正面図である。It is a front view explaining the relationship between the support roller 24 and the pressing roller 30 used for the heating-cooling processing apparatus shown in FIG. 1, and the relationship between the metal belt 22 and the continuous body 10. 従来のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置の概略図である。It is the schematic of the heating / cooling processing apparatus of the conventional continuous body of a lead frame. 図３に示す加熱冷却処理装置で用いる金属ベルトと連続体との関係を説明する部分斜視図である。It is a fragmentary perspective view explaining the relationship between the metal belt used with the heating-cooling processing apparatus shown in FIG. 3, and a continuous body.

本発明者が提案したリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置の一例を説明する概略図を図１に示す。図１に示す加熱冷却処理装置は、予備加熱部、加熱部及び冷却部が設けられている。
予備加熱部には、プレス加工が施されたリードフレームの連続体１０が供給ローラ１２を経由して走行する走行路に沿って複数の加熱ヒータ１４，１４が配設されている。この予備加熱部に隣接して加熱部が設けられている。かかる加熱部には、加熱ローラ１６，１８が設けられ、予備加熱部で予備加熱された連続体１０を加熱ローラ１６に巻回して拘束状態として所定温度まで加熱する。この加熱部にも、連続体１０の走行路に沿って複数の加熱ヒータ１４，１４・・が配設されている。
この加熱部に隣接して冷却部が設けられている。冷却部には、ファン等の冷却装置（図示せず）から冷風が加熱部で所定温度まで昇温された連続体１０を冷却する。かかる冷却部には、加熱部に設けられた従動ローラ１８と冷却部の外側に設けられた駆動ローラ２０とに無端状に巻き付けられた金属ベルト２２が貫通している。この従動ローラ１８と駆動ローラ２０とに巻き付けられた金属ベルト２２は、上部側が駆動ローラ２０に引き込まれる引張側２２ａであり、下部側が駆動ローラ２０から送り出される緩み側２２ｂである。
ここで、従動ローラ１８には、加熱ローラを採用することが好ましい。冷却部で冷却された金属ベルト２２を加熱して所定温度に昇温し、連続体１０を金属ベルト２２に載置したとき、連続体１０が急激に冷却されることを防止できるからである。 FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an example of a heating / cooling apparatus for a continuous lead frame proposed by the present inventor. The heating / cooling processing apparatus shown in FIG. 1 includes a preheating unit, a heating unit, and a cooling unit.
In the preheating section, a plurality of heaters 14 and 14 are arranged along a traveling path along which a continuous lead frame 10 subjected to press working travels via a supply roller 12. A heating unit is provided adjacent to the preheating unit. The heating unit is provided with heating rollers 16 and 18, and the continuous body 10 preheated by the preheating unit is wound around the heating roller 16 and heated to a predetermined temperature in a restrained state. Also in this heating section, a plurality of heaters 14, 14... Are arranged along the traveling path of the continuous body 10.
A cooling unit is provided adjacent to the heating unit. The cooling unit cools the continuum 10 in which cold air is heated up to a predetermined temperature by a heating unit from a cooling device (not shown) such as a fan. A metal belt 22 wound endlessly around the driven roller 18 provided in the heating unit and the driving roller 20 provided outside the cooling unit passes through the cooling unit. The metal belt 22 wound around the driven roller 18 and the driving roller 20 has an upper side that is a pulling side 22 a that is drawn into the driving roller 20, and a lower side that is a loose side 22 b that is fed from the driving roller 20.
Here, it is preferable to employ a heating roller as the driven roller 18. This is because when the metal belt 22 cooled by the cooling unit is heated to a predetermined temperature and the continuous body 10 is placed on the metal belt 22, the continuous body 10 can be prevented from being rapidly cooled.

金属ベルト２２の引張側２２ａは、従動ローラ１８と駆動ローラ２０との間に設けられた複数の支承ローラ２４，２４・・によって支承されて走行している。かかる支承ローラ２４，２４・・は、金属ベルト２２よりも幅広であって、金属ベルト２２の引張側２２ａが外方に膨出する弧状面に形成されるように配設されている。
この金属ベルト２２の引張側２２ａの弧状面に、加熱部に設けられた加熱ローラ１６で加熱された連続体１０が載置されたとき、連続体１０に加えられている張力によって、連続体１０は金属ベルト２２の弧状面に押し付けられて拘束状態となる。
しかも、駆動ローラ２０には、連続体１０を金属ベルト２２に押し付けるグリップローラ２８が設けられており、確実に連続体１０を金属ベルト２２の弧状面に押し付けて拘束状態とすることができる。
ここで、金属ベルト２２の緩み側２２ｂにも、支承ローラ２６，２６・・が配設されている。これらの支承ローラ２６，２６・・は、金属ベルト２２の緩み側２２ｂが水平状態となるように配設されている。
尚、加熱ローラ１６及び従動ローラ１８としては、電気ヒータが内蔵された加熱ローラを用いることができる。 The tension side 22a of the metal belt 22 is supported by a plurality of support rollers 24, 24,... Provided between the driven roller 18 and the drive roller 20, and travels. The support rollers 24, 24,... Are wider than the metal belt 22, and are arranged so that the tension side 22a of the metal belt 22 is formed in an arcuate surface that bulges outward.
When the continuous body 10 heated by the heating roller 16 provided in the heating unit is placed on the arcuate surface of the tension side 22 a of the metal belt 22, the continuous body 10 is applied by the tension applied to the continuous body 10. Is pressed against the arcuate surface of the metal belt 22 to be in a restrained state.
In addition, the driving roller 20 is provided with a grip roller 28 that presses the continuous body 10 against the metal belt 22, and the continuous body 10 can be reliably pressed against the arcuate surface of the metal belt 22 to be in a restrained state.
Here, support rollers 26, 26,... Are also provided on the loose side 22b of the metal belt 22. These support rollers 26, 26,... Are arranged so that the loose side 22b of the metal belt 22 is in a horizontal state.
In addition, as the heating roller 16 and the driven roller 18, a heating roller incorporating an electric heater can be used.

図１に示す加熱冷却処理装置で用いる金属ベルト２２は、図２に示す様に、連続体１０よりも幅広に形成されているが、支承ローラ２４よりも幅狭である。
かかる支承ローラ２４，２４・・の各々には、図１に示す様に、押えローラ３０が設けられている。
かかる押えローラ３０は、図２に示す様に、支承ローラ２４に支承された金属ベルト２２の連続体１０から露出する両側縁近傍に当接する一対の当接ローラ部３２，３２と、一対の当接ローラ部３２，３２を連結するシャフト部３４とから成る。このシャフト部３４は、図２に示す様に、金属ベルト２２に載置された連続体１０に接触することなく一対の当接ローラ部３２，３２を連結している。
この様に、図２に示す押えローラ３０と支承ローラ２４との間に、金属ベルト２２を挟み込むため、金属ベルト２２のバタツキを抑制して、金属ベルト２２の走行状態を安定化できる。 As shown in FIG. 2, the metal belt 22 used in the heating / cooling apparatus shown in FIG. 1 is formed wider than the continuous body 10, but is narrower than the support roller 24.
Each of the support rollers 24, 24,... Is provided with a press roller 30 as shown in FIG.
As shown in FIG. 2, the presser roller 30 includes a pair of contact roller portions 32, 32 that contact the vicinity of both side edges exposed from the continuous body 10 of the metal belt 22 supported by the support roller 24, and a pair of contact rollers 30. It comprises a shaft portion 34 for connecting the contact roller portions 32, 32. As shown in FIG. 2, the shaft portion 34 connects the pair of contact roller portions 32 and 32 without contacting the continuous body 10 placed on the metal belt 22.
As described above, since the metal belt 22 is sandwiched between the presser roller 30 and the support roller 24 shown in FIG. 2, fluttering of the metal belt 22 can be suppressed and the running state of the metal belt 22 can be stabilized.

図１に示す加熱冷却処理装置を用いてリードフレームの連続体１０に加熱冷却処理を施す際には、巻回体から引き出されて、供給ローラ１２を経由して予備加熱部に供給された連続体１０は、加熱ヒータ１４，１４・・の間を通過して予備加熱される。
予備加熱された連続体１０は、加熱部の加熱ローラ１６に巻き付けられて拘束された状態で、加熱ローラ１６及び加熱ヒータ１４，１４・・によって加熱される。
加熱ローラ１６によって加熱された連続体１０は、従動ローラ１８と冷却部外に設けられた駆動ローラ２０とに巻き付けられた金属ベルト２２の引張側２２ａに載置される。
金属ベルト２２の引張側２２ａは、支承ローラ２４，２４・・によって外方に膨出する弧状面に形成されている。このため、かかる金属ベルト２２の弧状面に載置された連続体１０は、金属ベルト２２の弧状面に、その張力及び駆動ローラ２０に設けられたグリップローラ２８によって押し付けられて拘束状態となる。
従って、加熱ローラ１６に巻き付けられて拘束状態で加熱された連続体１０は、拘束状態で金属ベルト２２の引張側２２ａに載置される。 When the heating / cooling process is performed on the continuous body 10 of the lead frame using the heating / cooling apparatus shown in FIG. 1, the continuous body is drawn from the wound body and supplied to the preheating unit via the supply roller 12. The body 10 is preheated by passing between the heaters 14, 14.
The preheated continuum 10 is heated by the heating roller 16 and the heaters 14, 14... While being wound around the heating roller 16 of the heating unit and restrained.
The continuous body 10 heated by the heating roller 16 is placed on the pulling side 22a of the metal belt 22 wound around the driven roller 18 and the driving roller 20 provided outside the cooling unit.
The tension side 22a of the metal belt 22 is formed in an arcuate surface that bulges outward by the support rollers 24, 24,. For this reason, the continuous body 10 placed on the arcuate surface of the metal belt 22 is pressed against the arcuate surface of the metal belt 22 by the tension and the grip roller 28 provided on the drive roller 20 to be in a restrained state.
Therefore, the continuous body 10 wound around the heating roller 16 and heated in a restrained state is placed on the tension side 22a of the metal belt 22 in the restrained state.

拘束状態で金属ベルト２２の引張側２２ａに載置された連続体１０は、金属ベルト２２の走行に伴って駆動ローラ２０側に走行して、拘束状態で冷却部を通過して冷却される。
冷却部を通過した連続体１０は、グリップローラ２８を通過したとき、拘束状態が解除されて金属ベルト２２と分離される。
連続体１０と分離された金属ベルト２２は、支承ローラ２６，２６・・によって略水平に支承されて従動ローラ１８の方向に走行し、従動ローラ１８として用いられている加熱ローラに巻回され所定温度に加熱される。所定温度に加熱された金属ベルト２２は、再度、拘束状態で加熱された連続体１０が載置される。
この様に、拘束状態で加熱冷却が施された連続体１０は、プレス加工による残留歪を除去できる。
しかも、金属ベルト２２の引張側２２ａの弧状面に拘束状態で冷却された連続体１０は、その片面が露出状態で冷却が施される。このため、図３に示す従来の加熱冷却処理装置を用いて加熱冷却処理を施した連続体に比較して、加熱冷却処理の際に受ける傷を可及的に少なくできる。
また、図１に示す加熱冷却処理装置は、連続体１０を搬送する金属ベルト２２も一本で済み、金属ベルトを二本必要とする図３に示す従来の加熱冷却処理装置に比較して、簡素化できる。しかも、冷却部での冷却効率も、図３に示す従来の加熱冷却処理装置よりも効率化できるため、図１に示す加熱冷却処理装置では、冷却部の長さを短縮でき、小型化を図ることができる。 The continuous body 10 placed on the pulling side 22a of the metal belt 22 in the restrained state travels to the drive roller 20 side as the metal belt 22 travels, and passes through the cooling unit and is cooled in the restrained state.
When the continuum 10 that has passed through the cooling section passes through the grip roller 28, the restraint state is released and the continuum 10 is separated from the metal belt 22.
The metal belt 22 separated from the continuous body 10 is supported substantially horizontally by the support rollers 26, 26,..., Travels in the direction of the driven roller 18, and is wound around a heating roller used as the driven roller 18 to be predetermined. Heated to temperature. On the metal belt 22 heated to a predetermined temperature, the continuous body 10 heated in a restrained state is placed again.
In this way, the continuous body 10 that has been heated and cooled in a constrained state can remove residual strain due to press working.
Moreover, the continuum 10 cooled in a constrained state on the arcuate surface of the tension side 22a of the metal belt 22 is cooled with one side exposed. For this reason, the damage | wound received in the case of a heating / cooling process can be reduced as much as possible compared with the continuous body which performed the heating / cooling process using the conventional heating / cooling processing apparatus shown in FIG.
In addition, the heating and cooling processing apparatus shown in FIG. 1 only needs one metal belt 22 that conveys the continuum 10, and compared with the conventional heating and cooling processing apparatus shown in FIG. 3 that requires two metal belts, It can be simplified. In addition, since the cooling efficiency in the cooling section can be made more efficient than that of the conventional heating and cooling processing apparatus shown in FIG. 3, the heating and cooling processing apparatus shown in FIG. 1 can reduce the length of the cooling section and achieve miniaturization. be able to.

１０ 連続体
１２ 供給ローラ
１４ 加熱ヒータ
１６ 加熱ローラ
１８ 加熱ローラ（従動ローラ）
２０ 駆動ローラ
２２ 金属ベルト
２２ａ 引張側
２２ｂ 緩み側
２４，２６ 支承ローラ
２８ グリップローラ
３０ 押えローラ
３２ 当接ローラ部
３４ シャフト部 10 continuum 12 supply roller 14 heater 16 heating roller 18 heating roller (driven roller)
20 Driving roller 22 Metal belt 22a Pull side 22b Loose side 24, 26 Bearing roller 28 Grip roller 30 Pressing roller 32 Contact roller portion 34 Shaft portion

Claims (8)

プレス加工が施されたリードフレームの連続体に残留する残留歪を、前記連続体を加熱冷却して除去する加熱冷却装置であって、
一対の駆動ローラと従動ローラとの間に、無端状に巻き付けられている金属ベルトと、前記連続体を拘束状態で所定温度に加熱する加熱部と、前記加熱部で加熱された前記連続体を前記金属ベルトに載置して拘束状態で冷却する冷却部と、前記駆動ローラと従動ローラとの間に設けられ、前記連続体の移送方向に走行する前記金属ベルトを支承する複数の支承ローラとを具備し、
前記金属ベルトが前記連続体よりも幅広の金属ベルトであって、前記支承ローラに対応して設けられ、前記連続体から露出する前記金属ベルトの両側縁近傍に当接して、前記幅広の金属ベルトを前記支承ローラとの間に挟み込む一対の当接ローラ部と、前記一対の当接ローラ部を前記連続体と接触することなく連結するシャフト部とから成る押えローラを具備し、
前記複数の支承ローラが、支承される前記金属ベルトの前記連続体を載置する載置面が外方に膨出する弧状面となるように配設され、
前記加熱部で加熱処理が施された、一面側が露出状態の前記連続体の他面側を前記金属ベルトの弧状面に押し付けて、前記連続体を拘束状態とする拘束手段と、
前記連続体が前記弧状面での拘束状態を保持して金属ベルトと共に前記移送方向に走行して冷却される位置に、前記冷却部が設けられていることを特徴とするリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。 A heating and cooling device that removes residual strain remaining in a continuous body of the lead frame subjected to press working by heating and cooling the continuous body,
A metal belt wound endlessly between a pair of driving rollers and a driven roller, a heating unit for heating the continuous body to a predetermined temperature in a restrained state, and the continuous body heated by the heating unit A cooling unit that is placed on the metal belt and cools in a restrained state; and a plurality of support rollers that are provided between the drive roller and the driven roller and support the metal belt that travels in the transfer direction of the continuous body; Comprising
The metal belt is a metal belt having a width wider than that of the continuous body, and is provided corresponding to the support roller, and is in contact with the vicinity of both side edges of the metal belt exposed from the continuous body, so that the wide metal belt is provided. A pressing roller comprising a pair of abutting roller portions sandwiched between the bearing roller and a shaft portion that connects the pair of abutting roller portions without contacting the continuum,
The plurality of support rollers are arranged such that a mounting surface on which the continuous body of the metal belt to be supported is an arcuate surface that bulges outward,
Restraint means for pressing the other surface side of the continuous body in which the one surface side is exposed to the arcuate surface of the metal belt, and the continuous body is in a restrained state.
The lead frame continuum is characterized in that the cooling part is provided at a position where the continuum keeps a restrained state on the arcuate surface and travels in the transfer direction together with a metal belt and is cooled. Heating and cooling processing equipment. 金属ベルトの弧状面が、前記金属ベルトの引張側に形成される請求項１記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。 2. The heating / cooling apparatus for a continuous lead frame according to claim 1 , wherein an arcuate surface of the metal belt is formed on a tension side of the metal belt . 加熱部には、加熱ローラが設けられ、リードフレームの連続体を拘束状態で加熱できるように、前記加熱ローラに前記連続体が巻回されている請求項１又は請求項２記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。 The lead frame according to claim 1 or 2 , wherein the heating unit is provided with a heating roller, and the continuum is wound around the heating roller so that the continuum of the lead frame can be heated in a restrained state . Heating / cooling treatment equipment for continuum. 従動ローラが、加熱ローラである請求項１〜３のいずれか一項記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理装置。 The heating / cooling apparatus for a continuous body of lead frames according to any one of claims 1 to 3 , wherein the driven roller is a heating roller . プレス加工を施したリードフレームの連続体に残留する残留歪を、前記連続体を加熱冷却処理して除去する際に、
前記加熱冷却処理を施す加熱冷却処理装置として、
一対の駆動ローラと従動ローラとの間に、無端状に巻き付けられている金属ベルトと、
前記連続体を拘束状態で所定温度に加熱する加熱部と、
前記加熱部で加熱された前記連続体を前記金属ベルトに載置して拘束状態で冷却する冷却部と、
前記駆動ローラと従動ローラとの間に設けられ、前記連続体の移送方向に走行する前記金属ベルトを支承する複数の支承ローラとを具備し、
前記金属ベルトとして前記連続体よりも幅広の金属ベルトを用い、前記支承ローラに対応して、前記連続体から露出する金属ベルトの両側縁近傍に当接して、前記幅広の金属ベルトを前記支承ローラとの間に挟み込む一対の当接ローラ部と、前記一対の当接ローラ部を前記連続体と接触することなく連結するシャフト部とから成る押えローラを設け、
前記複数の支承ローラが、支承される前記金属ベルトの前記連続体を載置する載置面が外方に膨出する弧状面となるように配設された加熱冷却処理装置を用い、
前記加熱部で加熱処理を施した、一面側が露出状態の前記連続体の他面側を、前記金属ベルトの弧状面に押し付けて、前記連続体を拘束状態とし、
前記拘束状態を保持しつつ、前記金属ベルトと共に前記移送方向に走行する前記連続体を、前記冷却部を通過して冷却することを特徴とするリードフレームの連続体の加熱冷却処理方法。 When removing the residual strain remaining in the continuum of the lead frame subjected to press working by heating and cooling the continuum,
As a heating and cooling processing apparatus for performing the heating and cooling processing,
A metal belt wound endlessly between a pair of drive rollers and a driven roller;
A heating unit for heating the continuum to a predetermined temperature in a restrained state;
A cooling unit for placing the continuum heated by the heating unit on the metal belt and cooling it in a restrained state;
A plurality of support rollers provided between the drive roller and the driven roller and supporting the metal belt that travels in the transfer direction of the continuous body;
A metal belt having a width wider than that of the continuous body is used as the metal belt, and in contact with the vicinity of both side edges of the metal belt exposed from the continuous body corresponding to the support roller, the wide metal belt is attached to the support roller. A press roller comprising a pair of abutting roller portions sandwiched between and a shaft portion for connecting the pair of abutting roller portions without contacting the continuous body;
Using the heating / cooling processing apparatus in which the plurality of support rollers are arranged so that the mounting surface on which the continuous body of the metal belt to be supported is an arcuate surface bulging outwardly,
The other surface side of the continuous body in which one surface side is subjected to heat treatment in the heating unit is pressed against the arc-shaped surface of the metal belt, and the continuous body is in a restrained state,
A method for heating and cooling a continuum of lead frames, wherein the continuum that travels in the transfer direction together with the metal belt while passing through the restraint state is cooled by passing through the cooling section. 金属ベルトの弧状面を、前記金属ベルトの引張側に形成する請求項５記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理方法。 The method for heating and cooling a continuous body of lead frames according to claim 5 , wherein the arcuate surface of the metal belt is formed on the tension side of the metal belt . 加熱部には、加熱ローラを設け、リードフレームの連続体を拘束状態で加熱できるように、前記加熱ローラに前記連続体を巻回する請求項５又は請求項６記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理方法。 The lead frame continuous body according to claim 5 or 6 , wherein the heating section is provided with a heating roller, and the continuous body is wound around the heating roller so that the continuous body of the lead frame can be heated in a restrained state . Heating and cooling treatment method. 従動ローラとして、加熱ローラを用いる請求項５〜７のいずれか一項記載のリードフレームの連続体の加熱冷却処理方法。 The heating / cooling method of a continuous body of lead frames according to any one of claims 5 to 7 , wherein a heating roller is used as the driven roller .
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