JP5212712B2 - 接触角測定方法 - Google Patents
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Description
本発明において、試料上の参照とする領域における付着力の計測と接触角の計測との計測の順番は、特に限定されることはなく、どちらが先であっても良い。
図2は、カンチレバーの探針と試料との間に働く付着力を説明する模式図である。図2に示すように、試料21表面にカンチレバーの探針22を近づけると、試料21と探針22との間には表面力が働いて付着力を生じる。この付着力をFとすると、付着力(F)は、図2および数式(1)に示すように、試料21と探針22との固体間原子同士が吸引するファンデルワールス力(f1)と、大気中の水分が凝縮して試料21と探針22との間に形成されたメニスカス力(f2)との和で表される。大気中の水分凝縮があるので、付着力の測定においては、試料21上にあらかじめ液滴(水滴)を形成する必要はない。
F=f1+f2=4πR(γd Cγd Sample )1/2+4πRγLcosθ …(1)
ここで、R:カンチレバー探針先端の曲率半径、γd C:カンチレバー探針の表面エネルギーの分散力成分、γd Sample:試料の表面エネルギーの分散力成分、γL:メニスカスを形成した液体(水)の表面エネルギー、θ:液体(水)の接触角である。
γSample =γLcosθ+γSL …(2)
WSL=γSample +γL−γSL …(3)
WSL=2(γd Sampleγd L )1/2
となり、数式(3)から、試料と液体間の界面エネルギーγSLは数式(4)で表される。
γSL=γSample+γL−2(γd Sampleγd L )1/2 …(4)
(γd Sample)1/2 =γL (1+cosθ)/2(γd L )1/2 …(5)
を得る。
F=4πR(γd C)1/2γL (1+cosθ)/2(γd L )1/2+4πRγLcosθ …(6)
Fexp=AF=A[4πR(γd C)1/2γL(1+cosθ)/2(γd L)1/2+4πRγd Lcosθ]
となり、次式に示す接触角θが求められる。
θ:液体(水)の接触角、F:試料とカンチレバー探針との間に働く付着力、R:カンチレバー探針先端の曲率半径、γd C:カンチレバー探針の表面エネルギーの分散力成分、γL:液体(水)の表面エネルギー、γd L:液体(水)の表面エネルギーの分散力成分、A:キャリブレーション係数
rk= γV/RTlog(p/ps) …(7)
ここで、 p/ps :相対湿度、γ:表面エネルギー、V:モル体積、R:気体定数、T:温度、rk:曲率半径(Kelvin半径)
図4に示されるように、湿度の増加により曲率半径は増加し、結果として、メニスカス力が働く面積が増大することになり、湿度の変化に対する曲率半径の変化率は、湿度が高いほど大きくなり、湿度60%以上では急速に曲率半径が大きくなる。付着力を計測する環境の湿度の変化はメニスカスの曲率半径の変化を生じ、付着力の値を変動させる。したがって、本発明における付着力の計測は、相対湿度50%以下、より好ましくは相対湿度40%以下の低湿度で、湿度が一定(恒湿)となるような環境で行うのが好ましい。
以下、実施例により、本発明を詳細に説明する。
F=4πR(γSiO2γSample)1/2+4πRγLcosθ
Rはカンチレバー探針先端の曲率半径、γは表面エネルギーであり、γSample:試料の表面エネルギー、γL:メニスカスを形成した水の表面エネルギー、θは水の接触角である。
γSample =γLcosθ+γSL
γSL=γSample+γL−2(γd Sampleγd L )1/2
(γd Sample)1/2 =γL (1+cosθ)/2(γd L )1/2
12、22 カンチレバーの探針
13 カンチレバー
14 レーザ光
15 光センサー
16 ピエゾスキャナー
17a X、Y軸走査システム
17b Z軸サーボシステム
18 コンピュータ
19 プリアンプ
20 モニター
23 水
f1 ファンデルワールス力
f2 メニスカス力
31 試料
33 液滴
71 サンプル台
72 液滴
73 サンプル
74 シリンジ
75 注射針
76 光源
77 測定用カメラ
78 測定結果演算・表示装置(パソコン)
Claims (5)
- 試料上の液滴の接触角測定方法であって、
前記試料上の液滴の接触角を光学的に計測することが可能な領域を参照とする領域とし、
走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを用いて、前記試料上の参照とする領域において該カンチレバーの探針先端と試料との間に働くフォースカーブから付着力を計測し、
光学顕微鏡を用いて、前記参照とする領域に滴下した液滴を側面から観察して参照とする領域の接触角を計測し、
前記参照とする領域の付着力と、前記参照とする領域の接触角と、ヤングの式を基にして、予め付着力と接触角との関係式を求めておき、
次に、前記試料上の接触角を測定すべき領域において該カンチレバーの探針先端と試料との間に働くフォースカーブから付着力を計測し、
前記測定すべき領域の付着力の値を前記関係式に挿入して前記測定すべき領域の接触角を求めることを特徴とする接触角測定方法。 - 前記カンチレバーの探針と試料との間に働く付着力が、ファンデルワールス力とメニスカス力との和で示されることを特徴とする請求項1に記載の接触角測定方法。
- 前記試料上の測定すべき領域が、試料表面の水平方向の幅が少なくとも一方向でミクロンメータからサブミクロンメータの領域であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の接触角測定方法。
- 前記カンチレバーの探針と試料との間に働く付着力の計測を恒湿環境下で行うことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の接触角測定方法。
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