JP5203621B2 - Multilayer piezoelectric element, injection device including the same, and fuel injection system - Google Patents

Multilayer piezoelectric element, injection device including the same, and fuel injection system Download PDF

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Description

本発明は、積層型圧電素子、噴射装置、及び燃料噴射システムに関し、例えば、自動車エンジンの燃料噴射装置、インクジェット等の液体噴射装置、光学装置等の精密位置決め装置、振動防止装置等に搭載される駆動素子（圧電アクチュエータ）、燃焼圧センサ、ノックセンサ、加速度センサ、荷重センサ、超音波センサ、感圧センサ、ヨーレートセンサ等に搭載されるセンサ素子、及び、圧電ジャイロ、圧電スイッチ、圧電トランス、圧電ブレーカー等に搭載される回路素子等に用いられる積層型圧電素子、これを備えた噴射装置並びに燃料噴射システムに関するものである。   The present invention relates to a multilayer piezoelectric element, an injection device, and a fuel injection system, and is mounted on, for example, a fuel injection device for an automobile engine, a liquid injection device such as an inkjet, a precision positioning device such as an optical device, a vibration prevention device, and the like. Sensor elements mounted on drive elements (piezoelectric actuators), combustion pressure sensors, knock sensors, acceleration sensors, load sensors, ultrasonic sensors, pressure sensitive sensors, yaw rate sensors, etc., and piezoelectric gyros, piezoelectric switches, piezoelectric transformers, piezoelectric elements The present invention relates to a laminated piezoelectric element used for a circuit element or the like mounted on a breaker or the like, an injection device including the same, and a fuel injection system.

図２１（a）は従来の積層型圧電素子（以下、単に「素子」ということもある）１０１を示す斜視図であり、図２１（ｂ）は、図２１（a）の積層体１０７の一部分を分解した斜視図である。この素子１０１は、積層体１０７と、側面に形成された一対の外部電極１０９とを備えている。積層体１０７は、複数の圧電体層１０３及び複数の内部電極層１０５を有している。図２１（ｂ）に示すように、内部電極層１０５は、一層おきに積層体１０７の異なる側面に交互に露出するように積層されている。これにより、複数の内部電極層１０５は、一対の外部電極１０９に交互に電気的に接続されている。積層体１０７の積層方向の両端側には非駆動領域１１５がそれぞれ設けられている。   FIG. 21A is a perspective view showing a conventional multilayer piezoelectric element (hereinafter sometimes simply referred to as “element”) 101, and FIG. 21B is a part of the multilayer body 107 in FIG. It is the perspective view which decomposed | disassembled. The element 101 includes a laminated body 107 and a pair of external electrodes 109 formed on side surfaces. The multilayer body 107 includes a plurality of piezoelectric layers 103 and a plurality of internal electrode layers 105. As shown in FIG. 21B, the internal electrode layers 105 are laminated so that every other layer is alternately exposed on different side surfaces of the laminated body 107. Accordingly, the plurality of internal electrode layers 105 are electrically connected alternately to the pair of external electrodes 109. Non-driving regions 115 are provided on both end sides in the stacking direction of the stacked body 107.

近年、積層型圧電素子は、小型化が進められると同時に、大きな圧力下において大きな変位量を確保するように要求されている。そのために、より高い電界が印加され、しかも長時間連続駆動させる過酷な条件下で使用できる積層型圧電素子が求められている。このような要求に対応して、積層型圧電素子にかかる応力を緩和させるために電極間の距離を変化させた積層型圧電素子、粉末が充填された応力緩和層を設けた積層型圧電素子などが提案されている（例えば特許文献１、２参照）。
特開昭６０−８６８８０号公報 特開２００１−２６７６４６号公報 In recent years, the multilayer piezoelectric element has been required to ensure a large amount of displacement under a large pressure at the same time as miniaturization proceeds. Therefore, there is a demand for a multilayer piezoelectric element that can be used under severe conditions in which a higher electric field is applied and is continuously driven for a long time. In response to such demands, a multilayer piezoelectric element in which the distance between the electrodes is changed in order to relieve stress applied to the multilayer piezoelectric element, a multilayer piezoelectric element provided with a stress relaxation layer filled with powder, etc. Has been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
JP-A-60-86880 JP 2001-267646 A

ところで、素子１０１に電圧が印加されると、異極の内部電極１０５が隣り合う駆動領域は伸縮駆動するが、素子１０１の積層方向の両端側に設けられた非駆動領域１１５は自らは伸縮しない。そのため、駆動時には非駆動領域１１５にひずみが生じることになる。非駆動領域１１５にひずみが生じると、この非駆動領域１１５と駆動領域との境界付近には応力がかかりやすい。したがって、より耐久性の高い素子が求められている。   By the way, when a voltage is applied to the element 101, the drive area adjacent to the internal electrode 105 of a different polarity expands and contracts, but the non-drive area 115 provided on both ends in the stacking direction of the element 101 does not expand and contract by itself. . Therefore, distortion occurs in the non-driving region 115 during driving. When distortion occurs in the non-drive region 115, stress is likely to be applied near the boundary between the non-drive region 115 and the drive region. Therefore, a more durable element is required.

そこで、本発明は、高電圧、高圧力で長時間連続駆動させる過酷な条件下であっても、優れた耐久性を発揮する積層型圧電素子、噴射装置、及び燃料噴射システムを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides a multilayer piezoelectric element, an injection device, and a fuel injection system that exhibit excellent durability even under severe conditions of continuous driving at high voltage and high pressure for a long time. Objective.

以上の目的を達成するために、本発明に係る積層型圧電素子は、複数の圧電体層と複数の内部電極とを含みこれらが交互に積層された積層体であって、隣接する内部電極間に挟まれた駆動領域と、前記駆動領域の積層方向の端部に設けられ、少なくとも２つの圧電体層と該圧電体層間に配置された金属層とを含んでなる非駆動領域とを有する積層体と、
前記積層体の側面に設けられ、前記内部電極が交互に接続された第１の外部電極および第２の外部電極とを、備え、
前記金属層は、前記内部電極よりも空隙が多く、隣接して対向する内部電極と同電位になるように形成され、かつ前記駆動領域を前記金属層表面に積層方向に投影したときに、該投影が前記金属層表面の形成領域内にあることを特徴とする。
To achieve the above object, engagement Ru product layer piezoelectric element of the present invention includes a plurality of piezoelectric layers and a plurality of internal electrodes to a laminated body which they are alternately stacked, inside the adjacent A driving region sandwiched between the electrodes, and a non-driving region provided at an end of the driving region in the stacking direction and including at least two piezoelectric layers and a metal layer disposed between the piezoelectric layers. A laminate having
A first external electrode and a second external electrode provided on a side surface of the laminate, the internal electrodes being alternately connected;
The metal layer has more voids than the internal electrodes, is formed to have the same potential as the adjacent internal electrodes facing each other, and when the drive region is projected on the surface of the metal layer in the stacking direction, The projection is in the formation region of the metal layer surface.

さらに、本発明に係る噴射装置は、本発明に係る積層型圧電素子と噴出孔を有する容器とを備え、前記容器内に充填された液体が前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出されるように構成されていることを特徴とする。 Furthermore, injection device according to the present invention comprises a container having an engagement Ru product layer piezoelectric element and the ejection holes to the present invention, the injection hole by the driving of the liquid filled in the container is the multilayer piezoelectric element It is characterized by being discharged from.

またさらに、本発明に係る燃料噴射システムは、高圧燃料を蓄えるコモンレールと、このコモンレールに蓄えられた燃料を噴射する本発明に係る噴射装置と、前記コモンレールに高圧の燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットと、を備えたことを特徴とする。   Still further, a fuel injection system according to the present invention includes a common rail that stores high-pressure fuel, an injection device according to the present invention that injects fuel stored in the common rail, a pressure pump that supplies high-pressure fuel to the common rail, An injection control unit for supplying a drive signal to the injection device.

以上のように構成された本発明に係る第１及び第２の積層型圧電素子は、前記金属層が隣接して対向する内部電極と同電位になるように形成されかつ前記駆動領域を前記金属層表面に積層方向に投影したときに該投影が前記金属層表面に包含されるか、又は前記金属層が前記第１の外部電極及び前記第２の外部電極とは別の外部電極に接続されかつ前記駆動領域を前記金属層表面に積層方向に投影したときに該投影が前記金属層表面の形成領域内にあるので、非駆動領域に生じる格子欠陥に起因する電荷は、金属層が障壁となって駆動領域側に移動しにくくなる。これにより、格子欠陥に起因する電荷の経路は、駆動領域の近傍に形成されにくくなり、金属層のある非駆動領域に形成されやすくなるので、高電圧、高圧力で長期間使用した場合であっても、駆動領域の近傍にデラミネーションやクラックが生じるのを抑制することができる。   In the first and second laminated piezoelectric elements according to the present invention configured as described above, the metal layer is formed to have the same potential as the adjacent internal electrodes facing each other, and the drive region is the metal When projected onto the surface of the layer in the stacking direction, the projection is included in the surface of the metal layer, or the metal layer is connected to an external electrode different from the first external electrode and the second external electrode. And when the drive region is projected onto the metal layer surface in the stacking direction, the projection is in the formation region of the metal layer surface. It becomes difficult to move to the drive region side. As a result, the path of charges due to lattice defects is less likely to be formed in the vicinity of the drive region, and is more likely to be formed in a non-drive region with a metal layer. However, it is possible to suppress the occurrence of delamination and cracks in the vicinity of the drive region.

したがって、本発明によれば、高電圧、高圧力で長時間連続駆動させる過酷な条件下であっても、優れた耐久性を有する積層型圧電素子、噴射装置及び燃料噴射システムを提供することができる。   Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a multi-layer piezoelectric element, an injection device, and a fuel injection system having excellent durability even under severe conditions of continuous driving at high voltage and high pressure for a long time. it can.

以下、本発明の一実施の形態にかかる積層型圧電素子について、図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, a multilayer piezoelectric element according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１(a)は、実施の形態にかかる積層型圧電素子を示す断面図であり、図１(b)は、圧電体層３、内部電極層５及び金属層１９の積層状態を説明するために図１(a)に示す積層型圧電素子の一部を分解した斜視図である。図２は、図１の素子を積層方向に平行な平面で切断した断面図である。   FIG. 1A is a cross-sectional view showing the multilayer piezoelectric element according to the embodiment, and FIG. 1B is a diagram for explaining the laminated state of the piezoelectric layer 3, the internal electrode layer 5, and the metal layer 19. FIG. 2 is an exploded perspective view of a part of the multilayer piezoelectric element shown in FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view of the element of FIG. 1 cut along a plane parallel to the stacking direction.

図１，２に示すように、本実施の形態の積層型圧電素子１は、複数の圧電体層３が内部電極５を介して積層されてなり隣接する内部電極５間に挟まれた駆動領域１６の圧電体層３に印加される電圧に対応して伸縮する活性領域１７と、その活性領域１７の両端に設けられた非駆動領域１５からなる積層体７を有している。積層体７は、その対向する側面に一対の外部電極（陽極外部電極と陰極外部電極）９を備えている。内部電極層５は、圧電体層３の主面全体には形成されておらず、いわゆる部分電極構造となっている。この部分電極構造によって、本実施の形態の積層型圧電素子では、活性領域１７において内部電極間に挟まれた領域にある圧電体層に電圧が印加されて当該圧電体層が伸縮する。本明細書においては、内部電極間に挟まれて変位させる駆動源になる領域を駆動領域といい、図１，２においては符号１６を付して示している。また、本明細書においては、積層体７のうち、駆動領域１６を含み、かつ、非駆動領域１５を含まない領域を活性領域といい、符号１７を付して示している。また、複数の内部電極５は、一層おきに積層体７の対向する側面に露出するように配置され、一対の外部電極９に一層おきに電気的に接続されている。一対の外部電極９は、積層体の隣設する側面に設けられていてもよい。   As shown in FIGS. 1 and 2, the multilayer piezoelectric element 1 according to the present embodiment includes a drive region in which a plurality of piezoelectric layers 3 are stacked via internal electrodes 5 and sandwiched between adjacent internal electrodes 5. The laminate 7 includes an active region 17 that expands and contracts in response to a voltage applied to 16 piezoelectric layers 3, and non-drive regions 15 provided at both ends of the active region 17. The laminated body 7 includes a pair of external electrodes (an anode external electrode and a cathode external electrode) 9 on the opposing side surfaces. The internal electrode layer 5 is not formed on the entire main surface of the piezoelectric layer 3 and has a so-called partial electrode structure. With this partial electrode structure, in the stacked piezoelectric element of the present embodiment, a voltage is applied to the piezoelectric layer in the region sandwiched between the internal electrodes in the active region 17 and the piezoelectric layer expands and contracts. In this specification, a region serving as a drive source that is sandwiched between internal electrodes and displaced is referred to as a drive region, and is denoted by reference numeral 16 in FIGS. In the present specification, a region including the driving region 16 and not including the non-driving region 15 in the stacked body 7 is referred to as an active region, and is denoted by reference numeral 17. The plurality of internal electrodes 5 are arranged so as to be exposed on the opposite side surfaces of the multilayer body 7 every other layer, and are electrically connected to the pair of external electrodes 9 every other layer. The pair of external electrodes 9 may be provided on side surfaces adjacent to the stacked body.

この積層型圧電素子１を圧電アクチュエータとして使用する場合には、一対の外部電極９にリード線を半田によりそれぞれ接続固定し、リード線を外部電圧供給部に接続すればよい。この外部電圧供給部からリード線を通じて隣り合う内部電極層５間に所定の電圧を印加することにより、駆動領域１６の各圧電体層３が逆圧電効果によって変位する。   When this multilayer piezoelectric element 1 is used as a piezoelectric actuator, the lead wires may be connected and fixed to the pair of external electrodes 9 by soldering, and the lead wires may be connected to the external voltage supply unit. By applying a predetermined voltage between the adjacent internal electrode layers 5 through the lead wire from the external voltage supply unit, each piezoelectric layer 3 in the drive region 16 is displaced by the inverse piezoelectric effect.

積層体７は、異極の内部電極５同士が積層方向に対向するように構成された活性領域１７と、活性領域１７の積層方向の端部に設けられた非駆動領域１５とを備えている。非駆動領域１５は、異なる極の２つの内部電極５で挟まれていないので、電圧を印加しても自らは変位しない。   The stacked body 7 includes an active region 17 configured so that the internal electrodes 5 having different polarities face each other in the stacking direction, and a non-driving region 15 provided at an end of the active region 17 in the stacking direction. . Since the non-drive region 15 is not sandwiched between the two internal electrodes 5 having different poles, the non-drive region 15 does not displace itself even when a voltage is applied.

非駆動領域１５は、２つの圧電体層３ａ，３ｂと、これらの圧電体層３ａ，３ｂ間に配置され、活性領域１７における積層方向端部に位置する内部電極５ａと同極の外部電極９に接続された金属層１９とを備えている。この金属層１９は、圧電体層３ｂと接する一方の主面を投影面として端部に位置する内部電極５ａを積層方向に投影したときにこの投影が一方の主面である投影面の形成領域内にあるように形成されている。このように、積層方向にみたときに金属層１９が直近の内部電極５ａの投影を包含するように設けられているので、金属層１９が、非駆動領域１５で生じた格子欠陥に起因する電荷（正孔や電子）が駆動領域の内部電極へ移動するのを抑制する障壁となる。これによって、本実施の形態では、想定外の高電圧、高圧力がかかった場合や想定外の長期間の使用によるデラミネーションやクラックが生じにくくなる。ここでいう電荷とは、例えば欠陥に起因して形成されたマイナスの電荷を有する電子やプラスの電荷をもつ酸素空孔イオン（正孔）などのことをいう。   The non-driving region 15 is disposed between the two piezoelectric layers 3a and 3b and the piezoelectric layers 3a and 3b, and the external electrode 9 having the same polarity as the internal electrode 5a located at the end of the active region 17 in the stacking direction. And a metal layer 19 connected to the. This metal layer 19 has a projection surface forming region in which the projection is one principal surface when the internal electrode 5a located at the end is projected in the stacking direction with the one principal surface in contact with the piezoelectric layer 3b as the projection surface. It is formed to be inside. Thus, since the metal layer 19 is provided so as to include the projection of the latest internal electrode 5 a when viewed in the stacking direction, the metal layer 19 is charged by the lattice defects generated in the non-driving region 15. It becomes a barrier which suppresses that (a hole and an electron) move to the internal electrode of a drive area | region. As a result, in this embodiment, delamination and cracks are less likely to occur when unexpectedly high voltage and high pressure are applied or when unexpectedly used for a long period of time. The term “charge” as used herein refers to, for example, an electron having a negative charge formed due to a defect or an oxygen vacancy ion (hole) having a positive charge.

これらの電荷は、次のように生じる。非駆動性領域１５にひずみが生じると、この非駆動性領域１５を構成する結晶格子にひずみが生じる。このひずみにより非駆動領域１５の温度が上昇しこれに起因して結晶格子の格子振動が大きくなる。このとき、結晶格子の中で結合力の弱いイオンが離脱して格子欠陥が生じる。特に、結晶構造がペロブスカイト構造の結晶を有する不活性領域１５の場合、酸素が離脱し酸素空孔が形成される。酸素空孔は室温以上の温度によって励起され、プラスの電荷をもつ酸素空孔イオン（正孔）とマイナスの電荷をもつ電子となる。   These charges are generated as follows. When strain occurs in the non-drive region 15, strain occurs in the crystal lattice constituting the non-drive region 15. Due to this strain, the temperature of the non-driving region 15 rises, and as a result, the lattice vibration of the crystal lattice increases. At this time, ions having a weak binding force are separated from the crystal lattice to cause lattice defects. In particular, in the case of the inactive region 15 having a crystal having a perovskite structure, oxygen is released and oxygen vacancies are formed. The oxygen vacancies are excited by a temperature above room temperature, and become oxygen vacancy ions (holes) having a positive charge and electrons having a negative charge.

このような電荷が内部電極層５に移動すると、電荷が移動した内部電極層において、局部的に微量のリーク電流が流れたようになり、局所的に変位量が小さい箇所が生じて、積層型圧電素子１の変位量が小さくなることがある。   When such a charge moves to the internal electrode layer 5, a small amount of leakage current flows locally in the internal electrode layer where the charge has moved, and a location with a small amount of displacement is generated locally. The displacement amount of the piezoelectric element 1 may be small.

非駆動領域に電荷が移動できる経路（パス）ができると、ひずみに起因した格子欠陥から生じた電荷が同じ経路で流れこみやすくなる傾向にある。酸素空孔イオンは電子の移動速度に比べて移動速度が遅く、電子を媒体としてとなりの酸素分子と入れ替わるように移動する。このような電荷の移動経路ができると、経路となった部分は格子欠陥を作りやすくなる。このような局所的な格子欠陥が生じると、想定外の高電圧、高圧力がかかった場合や想定外の長期間の使用によって、素子の一部にデラミネーションやクラックが生じることもあり得る。しかしながら、本実施の形態の素子では、積層方向にみたときに金属層１９が駆動領域１６を包含するように設けられているので、金属層１９が障壁となることによって、非駆動領域１５で生じた格子欠陥に起因する電荷（正孔や電子）が駆動領域の内部電極へ移動するのを抑制することができるので、このようなデラミネーションやクラックが生じにくくなる。   If a path (path) through which charges can move to the non-driving region is formed, charges generated from lattice defects due to strain tend to easily flow through the same path. The oxygen vacancy ions move at a slower speed than the movement speed of the electrons, so that the oxygen molecules are replaced by the oxygen molecules as a medium. When such a charge transfer path is formed, it becomes easy to create a lattice defect in the path portion. When such local lattice defects occur, delamination and cracks may occur in a part of the element when an unexpected high voltage and high pressure are applied or when it is used for an unexpected long period of time. However, in the element of the present embodiment, the metal layer 19 is provided so as to include the drive region 16 when viewed in the stacking direction. Therefore, the metal layer 19 becomes a barrier and is generated in the non-drive region 15. Since the charges (holes and electrons) due to the lattice defects can be suppressed from moving to the internal electrode in the drive region, such delamination and cracks are less likely to occur.

積層型圧電素子１を圧電アクチュエータとして使用する場合には、例えば、一方の外部電極９を接地して、他方の外部電極９をプラス（＋）電位、又はマイナス（−）電位にすることにより駆動する。金属層１９は、使用状態によって、金属層１９がマイナス電位になる場合と、金属層１９がプラス電位になる場合と、金属層１９が接地されている場合とがあるが、それぞれの場合について金属層１９の作用を説明する。   When the multilayer piezoelectric element 1 is used as a piezoelectric actuator, for example, one external electrode 9 is grounded, and the other external electrode 9 is driven by setting it to a positive (+) potential or a negative (−) potential. To do. The metal layer 19 has a case where the metal layer 19 becomes a negative potential, a case where the metal layer 19 becomes a positive potential, and a case where the metal layer 19 is grounded depending on the state of use. The operation of the layer 19 will be described.

＜金属層１９がマイナス電位の場合＞
金属層１９が接続された外部電極９がマイナス電位になっている場合には、格子欠陥に起因して生じたマイナスの電荷をもつ電子等は、金属層１９に反発して金属層１９とは反対の方向に移動するので、活性領域１７の内部電極５に到達しにくくなる。また、プラスの電荷をもつ酸素空孔イオンは、金属層１９に捕獲されるので、活性領域１７の内部電極５に到達しにくくなる。 <When the metal layer 19 has a negative potential>
When the external electrode 9 to which the metal layer 19 is connected has a negative potential, electrons having negative charges caused by lattice defects repel the metal layer 19 and Since it moves in the opposite direction, it becomes difficult to reach the internal electrode 5 of the active region 17. Further, oxygen vacancy ions having a positive charge are trapped in the metal layer 19, so that they do not easily reach the internal electrode 5 in the active region 17.

＜金属層１９がプラス電位の場合＞
金属層１９が接続された外部電極層９がプラス電位である場合には、格子欠陥に起因して生じたプラスの電荷をもつ酸素空孔イオン等は、金属層１９に対して反発して金属層１９とは反対の方向に移動するので、活性領域１７の内部電極５に到達しにくくなる。また、マイナスの電荷をもつ電子は、金属層１９に捕獲されるので、活性領域１７の内部電極５に到達しにくくなる。 <When the metal layer 19 has a positive potential>
When the external electrode layer 9 to which the metal layer 19 is connected has a positive potential, oxygen vacancy ions having a positive charge generated due to lattice defects are repelled by the metal layer 19 to form a metal. Since it moves in the direction opposite to the layer 19, it becomes difficult to reach the internal electrode 5 in the active region 17. In addition, since electrons having a negative charge are captured by the metal layer 19, it is difficult to reach the internal electrode 5 in the active region 17.

＜金属層１９が接地されている場合＞
金属層１９が接地されている場合には、マイナスの電荷をもつ電子もプラスの電荷をもつ酸素空孔イオンも金属層１９に捕獲されやすくなるので、電荷が積層型圧電素子中に留まるのを抑制できる。 <When metal layer 19 is grounded>
When the metal layer 19 is grounded, both negatively charged electrons and positively charged oxygen vacancies are easily captured by the metal layer 19, so that the charges stay in the stacked piezoelectric element. Can be suppressed.

このように、金属層１９を設ける目的は非駆動領域１５で生じる電荷を捕獲して活性領域１７に移動するのを抑制することであるので、金属層１９は非駆動領域１５の端部にあるよりも活性領域１７の内部電極５に近い位置にある方が好ましい。   Thus, the purpose of providing the metal layer 19 is to suppress the charge generated in the non-driving region 15 and move to the active region 17, so that the metal layer 19 is at the end of the non-driving region 15. It is preferable that the active region 17 is closer to the internal electrode 5 than the active region 17.

また、非駆動領域１５に金属層１９が設けられていると、活性領域１７と非駆動領域１５との間の焼成収縮挙動の差、熱膨張係数の差を低減することができるので、残留応力の少ない耐久性の高い積層型圧電素子とすることができる。また、非駆動領域１５を構成する材料が活性領域１７と主成分が同じ圧電体であるときには、活性領域１７と非駆動領域１５との間の焼成収縮挙動の差、熱膨張係数の差をより低減することができる。これにより、素子にクラック等が生じるのをさらに抑制できる。したがって、金属層１９を構成する材料としては、内部電極５と主成分が同じ金属であるのが好ましい。   Further, if the metal layer 19 is provided in the non-driving region 15, the difference in the firing shrinkage behavior and the difference in thermal expansion coefficient between the active region 17 and the non-driving region 15 can be reduced, so that the residual stress It is possible to obtain a multi-layered piezoelectric element with less durability. Further, when the material constituting the non-driving region 15 is a piezoelectric body whose main component is the same as that of the active region 17, the difference in the firing shrinkage behavior and the difference in thermal expansion coefficient between the active region 17 and the non-driving region 15 are further increased. Can be reduced. Thereby, it can further suppress that a crack etc. arise in an element. Therefore, it is preferable that the material constituting the metal layer 19 is the same metal as that of the internal electrode 5.

さらに、金属層１９を備えていない場合には、積層型圧電素子を製造する過程で圧電体層と内部電極とを同時焼成するとき、活性領域１７と非駆動領域１５との間で焼成収縮挙動の差、熱膨張係数の差に起因して活性領域１７と非駆動領域１５との境界付近に応力が集中しやすくなることがある。しかしながら、金属層１９を備えた実施の形態ではかかる不都合はなく、積層型圧電素子の製造歩留まりを高くできる。   Further, when the metal layer 19 is not provided, the firing shrinkage behavior between the active region 17 and the non-driving region 15 when the piezoelectric layer and the internal electrode are fired simultaneously in the process of manufacturing the laminated piezoelectric element. Due to the difference in thermal expansion coefficient, the stress tends to concentrate near the boundary between the active region 17 and the non-driving region 15. However, in the embodiment provided with the metal layer 19, there is no such inconvenience, and the production yield of the multilayer piezoelectric element can be increased.

またさらに、非駆動領域１５に金属層１９が設けられていることで、金属層１９に接する圧電体層３ａ，３ｂが応力に対して変形しやすくなる。このように局所的な変形が生じやすくなるので、金属層１９周辺での応力緩和効果が高まる。さらに、非駆動領域１５に金属層１９が設けられていることにより、万が一急激な温度変化に晒された場合であっても、金属層１９が圧電体層３よりも熱伝導性に優れているので、非駆動領域１５の温度変化が活性領域１７の温度変化に追随しやすくなる。したがって、本実施の形態の積層型圧電素子１では、素子の内部において温度勾配が生じにくくなり、耐久性の高い積層型圧電素子を得ることができる。   Furthermore, since the metal layer 19 is provided in the non-driving region 15, the piezoelectric layers 3a and 3b in contact with the metal layer 19 are easily deformed by stress. Since local deformation is likely to occur in this way, the stress relaxation effect around the metal layer 19 is enhanced. Further, since the metal layer 19 is provided in the non-driving region 15, the metal layer 19 is more excellent in thermal conductivity than the piezoelectric layer 3 even if it is exposed to a sudden temperature change. Therefore, the temperature change of the non-driving region 15 can easily follow the temperature change of the active region 17. Therefore, in the multilayer piezoelectric element 1 of the present embodiment, a temperature gradient is less likely to occur inside the element, and a highly durable multilayer piezoelectric element can be obtained.

このように、本実施の形態にかかる積層型圧電素子１は、金属層１９を備えていることによって、例えば、冷却された環境で素子の駆動を開始しその後、駆動部分が急速に加熱し始めるような場合や、駆動電源に何らかのノイズが入って瞬間的に素子に高電圧が加わって温度上昇する場合や、高温、高湿、高電界、高圧力下で長期間連続駆動させた場合などにおいても、高い信頼性を得ることができる。   As described above, the multilayer piezoelectric element 1 according to the present embodiment includes the metal layer 19 so that, for example, driving of the element is started in a cooled environment, and then the driving portion starts to heat rapidly. In such cases, when some noise enters the drive power supply and a high voltage is momentarily applied to the element and the temperature rises, or when it is continuously driven for a long time under high temperature, high humidity, high electric field, high pressure, etc. Also, high reliability can be obtained.

金属層１９は、内部電極５よりも空隙が多いことが好ましい。金属層１９の空隙が多いことで、空隙の内面の表面積も含めた金属層１９の総表面積が増加するので、より多くの電荷を金属層１９内に捕獲し保持することができる。また、空隙内に素子に急激な応力が加わった際にも、応力緩和層として機能して、素子の耐久性を向上させることができる。   The metal layer 19 preferably has more voids than the internal electrode 5. Since there are many voids in the metal layer 19, the total surface area of the metal layer 19 including the surface area of the inner surface of the void increases, so that more charges can be captured and retained in the metal layer 19. Further, even when abrupt stress is applied to the element in the gap, the element functions as a stress relaxation layer, and the durability of the element can be improved.

また、本実施の形態の積層型圧電素子では、金属層１９を設けたことにより、劣化しにくい安定した変位が得られる。すなわち、非駆動領域１５のひずみによって生じる格子欠陥に起因して生じるプラス又はマイナスの電荷が内部電極５に移動すると、あたかも内部電極に微量のリーク電流が流れたようになり、素子の変位量が小さくなることがあるが、本実施の形態の積層型圧電素子では、金属層１９を設けたことにより、変移量の劣化が抑えられる。   Moreover, in the multilayer piezoelectric element of the present embodiment, the provision of the metal layer 19 provides a stable displacement that is difficult to deteriorate. That is, when positive or negative charges generated due to lattice defects caused by strain in the non-driving region 15 move to the internal electrode 5, it is as if a small amount of leakage current has flowed through the internal electrode, and the amount of displacement of the element is reduced. Although the thickness may be smaller, in the multilayer piezoelectric element of the present embodiment, the provision of the metal layer 19 can suppress the deterioration of the shift amount.

以上の実施の形態では、本発明の好ましい例として、金属層１９が、圧電体層３ｂと接する一方の主面を投影面として端部に位置する内部電極５ａを積層方向に投影したときにこの投影が一方の主面である投影面に包含されるように形成されている例について説明した。しかしながら、本発明はこれに限られるものではなく、金属層１９の一方の主面である投影面に、駆動領域１６を積層方向に投影したときに該投影が金属層１９の一方の主面に含まれるように金属層１９を形成してもよい。非駆動領域１５における金属層１９の配置パターンとしては以下のような種々の形態が挙げられる。   In the above embodiment, as a preferred example of the present invention, when the metal layer 19 projects the internal electrode 5a located at the end in the stacking direction with one main surface in contact with the piezoelectric layer 3b as the projection surface, this is the case. The example in which the projection is formed so as to be included in the projection surface which is one main surface has been described. However, the present invention is not limited to this, and when the drive region 16 is projected onto the projection surface, which is one main surface of the metal layer 19, in the stacking direction, the projection is applied to one main surface of the metal layer 19. The metal layer 19 may be formed so as to be included. Examples of the arrangement pattern of the metal layer 19 in the non-driving region 15 include the following various forms.

まず、図１，２に示す形態では、金属層１９の一方の主面に、活性領域１７における積層方向端部に位置する内部電極５を積層方向に投影したときに、その投影と金属層１９の一方の主面とが重なり合うように、金属層１９は形成される。すなわち、活性領域１７の端部に位置する内部電極５と金属層１９とは同一形状で圧電体層３ｂを挟んで重なり合っている。このように、金属層１９を隣り合う内部電極５ａと同じ形状にして重なり合うようにしたときには、素子を積層方向にみたときに、駆動領域の積層方向端部に位置する内部電極５ａの全体が金属層１９により覆われることになる。これにより、非駆動領域１５で生じた電荷が内部電極５ａに積層方向に最短距離で移動できないので、非駆動領域１５で生じた電荷内部電極５ａに到達しにくくなる。   First, in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2, when the internal electrode 5 positioned at the end of the active region 17 in the stacking direction is projected on the main surface of the metal layer 19 in the stacking direction, the projection and the metal layer 19 are projected. The metal layer 19 is formed so as to overlap one of the main surfaces. That is, the internal electrode 5 and the metal layer 19 located at the end of the active region 17 have the same shape and overlap each other with the piezoelectric layer 3b interposed therebetween. Thus, when the metal layer 19 has the same shape as the adjacent internal electrode 5a and is overlapped, when the element is viewed in the stacking direction, the entire internal electrode 5a located at the stacking direction end of the drive region is metal. It will be covered by layer 19. As a result, the charge generated in the non-driving region 15 cannot move to the internal electrode 5a in the stacking direction in the shortest distance, so that it is difficult to reach the charge internal electrode 5a generated in the non-driving region 15.

また、金属層１９は、図３に示すように、非駆動領域１５を構成する圧電体層３ａ，３ｂ間の全域に形成されていてもよい。このように配置すると、非駆動領域１５で生じた電荷が内部電極５ａに至る経路をほぼ遮断できるので、電荷が内部電極５ａに到達するのをより確実に抑制できる。   Further, as shown in FIG. 3, the metal layer 19 may be formed in the entire region between the piezoelectric layers 3 a and 3 b constituting the non-driving region 15. With this arrangement, the path of the charge generated in the non-driving region 15 to the internal electrode 5a can be substantially blocked, so that the charge can be more reliably suppressed from reaching the internal electrode 5a.

また、非駆動領域１５における金属層１９の配置パターンとして図４に示す形態であってもよい。この実施の形態では、金属層１９はこの金属層１９を積層方向に貫通する複数の貫通孔１９ａを有している。この貫通孔１９ａの内部は空隙であってもよく、圧電体が充填されていてもよい。このように、金属層１９の一部に上記のような貫通孔１９ａが設けられていることにより、貫通孔１９ａの周縁部のエッジ効果により貫通孔１９ａ周辺の電位が金属層１９の他の領域よりも上昇する。例えば、電荷が金属層１９と逆の極性であるときには、選択的に貫通孔１９ａの周辺に引き寄せられる。同じ極性であるときには、電荷に対する金属層１９からの反発力がより高まる。   Further, the arrangement pattern of the metal layer 19 in the non-driving region 15 may be in the form shown in FIG. In this embodiment, the metal layer 19 has a plurality of through holes 19a penetrating the metal layer 19 in the stacking direction. The inside of the through hole 19a may be a gap or may be filled with a piezoelectric body. Thus, by providing the through-hole 19a as described above in a part of the metal layer 19, the potential around the through-hole 19a is caused by the edge effect of the peripheral portion of the through-hole 19a. Than to rise. For example, when the charge has a polarity opposite to that of the metal layer 19, it is selectively attracted to the periphery of the through hole 19a. When the polarities are the same, the repulsive force from the metal layer 19 to the electric charge is further increased.

非駆動領域１５における金属層１９の配置パターンとしては図５に示す形態であってもよい。この実施の形態では、非駆動領域１５は、金属層１９を２層備えている。このように複数の金属層１９を設けることは、積層型圧電素子の耐久性をさらに高める点で有効である。その理由は、非駆動領域１５で生じた電荷の移動を妨げる効果が、１層の金属層の場合よりも高まるからである。このように電荷の移動を妨げる効果が高いことで、その間に反対の極性をもつ電荷が生成したときにこれらが結合して電荷が消滅する機会が高まる。なお、複数の金属層１９を設ける場合、これらの金属層１９は同じ外部電極に接続するなどして同電位にする。   The arrangement pattern of the metal layer 19 in the non-driving region 15 may be the form shown in FIG. In this embodiment, the non-driving region 15 includes two metal layers 19. Providing the plurality of metal layers 19 in this way is effective in further enhancing the durability of the multilayer piezoelectric element. The reason is that the effect of preventing the movement of charges generated in the non-driving region 15 is higher than in the case of a single metal layer. Thus, the effect of preventing the movement of charges is high, and when charges having opposite polarities are generated in the meantime, they are combined to increase the chance that the charges disappear. When a plurality of metal layers 19 are provided, these metal layers 19 are set to the same potential by being connected to the same external electrode.

非駆動領域１５における金属層１９の配置パターンとしては図６〜９に示す形態であってもよい。この図６〜９に示す形態は、いずれも積層体７の積層方向両端部の非駆動領域１５に金属層１９をそれぞれ備えている。これにより、両方の非駆動領域１５において、非駆動領域１５から活性領域１７への電荷の移動を抑制することができる。   The arrangement pattern of the metal layer 19 in the non-driving region 15 may be the form shown in FIGS. Each of the forms shown in FIGS. 6 to 9 includes a metal layer 19 in the non-drive region 15 at both ends in the stacking direction of the stacked body 7. Thereby, in both the non-driving regions 15, the movement of charges from the non-driving region 15 to the active region 17 can be suppressed.

具体的には、図６に示す形態では、金属層１９が、非駆動領域１５を構成する圧電体層３ａ，３ｂ間の全域に形成されている。図６，７に示す形態では、一方の非駆動領域１５における金属層１９と他方の非駆動領域１５における金属層１９とは、異なる極の外部電極に接続されている。このように異なる極性の外部電極に金属層１９をそれぞれ接続することで、捕獲する電荷を素子の両端部で反対の極性にすることができる。これにより、積層型圧電素子の積層方向に静電電荷の極性をもたせることができる。これにより、複数の積層型圧電素子を連続的に接合する場合に、静電気によるクーロン力により容易に接合することができる。また、素子間の電荷の移動を利用して耐久性を高めることができる。   Specifically, in the form shown in FIG. 6, the metal layer 19 is formed over the entire area between the piezoelectric layers 3 a and 3 b constituting the non-driving region 15. 6 and 7, the metal layer 19 in one non-driving region 15 and the metal layer 19 in the other non-driving region 15 are connected to external electrodes of different poles. Thus, by connecting the metal layers 19 to the external electrodes having different polarities, the trapped charges can be made opposite in polarity at both ends of the device. Thereby, the polarity of the electrostatic charge can be given in the stacking direction of the multilayer piezoelectric element. Thereby, when a plurality of stacked piezoelectric elements are continuously joined, they can be joined easily by the Coulomb force caused by static electricity. In addition, durability can be enhanced by utilizing charge movement between elements.

また、図８に示す形態では、それぞれの非駆動領域１５に複数の金属層１９がそれぞれ設けられている。この形態も積層型圧電素子の耐久性を高めるためには有効である。これにより、前述した複数の金属層１９を設ける効果を、両方の非駆動領域１５において得ることができる。   In the form shown in FIG. 8, a plurality of metal layers 19 are provided in each non-driving region 15. This form is also effective for enhancing the durability of the multilayer piezoelectric element. Thereby, the effect of providing the plurality of metal layers 19 described above can be obtained in both non-drive regions 15.

また、図９に示すように、両端部の非駆動領域１５に設ける金属層１９を同じ極性にすることで、静電的に異方性の小さい積層型圧電素子とすることができる。この形態の場合には、乾燥した帯電しやすい環境下であっても素子が帯電しにくいので、例えば複数の素子同士が接触したときであっても素子間で放電が生じるのを抑制できる。   Further, as shown in FIG. 9, by setting the metal layers 19 provided in the non-driving regions 15 at both ends to the same polarity, a multilayer piezoelectric element having a small electrostatic anisotropy can be obtained. In the case of this form, since the elements are not easily charged even in a dry and easily charged environment, for example, even when a plurality of elements are in contact with each other, it is possible to suppress the occurrence of discharge between the elements.

なお、上記各形態において、金属層１９が接地（アース）されているときには、金属層１９で捕獲された電荷を効率的に外部に逃がすことができる。   In each of the above embodiments, when the metal layer 19 is grounded, the charges captured by the metal layer 19 can be efficiently released to the outside.

また、本発明では、金属層１９が内部電極５が接続された外部電極９とは異なる他の外部電極１０に接続されていてもよい。図１０〜１４には、内部電極５が接続された外部電極９とは異なる他の外部電極１０に金属層１９を接続した例を示している。この外部電極１０は、積層体７の側面に設けられており、駆動には関与していない。このように駆動に関与しない外部電極１０に金属層１９を接続すると、非駆動領域１５で生じた電荷を除去できるので、積層型圧電素子を安定に駆動することができる。また、積層型圧電素子を駆動させているときに、駆動電源にノイズが加わることで積層型圧電素子の駆動が不安定になり、非駆動領域１５に応力が加わって生じるひずみに起因した電荷が発生することがあっても、金属層１９を他の外部電極１０に接続しているときには、ノイズには関係なく外部電極１０から電荷を除去できる。なお、図１２，１４に示す形態では、金属層１９が接続された外部電極１０を２つに分割している。   In the present invention, the metal layer 19 may be connected to another external electrode 10 different from the external electrode 9 to which the internal electrode 5 is connected. 10 to 14 show an example in which the metal layer 19 is connected to another external electrode 10 different from the external electrode 9 to which the internal electrode 5 is connected. The external electrode 10 is provided on the side surface of the multilayer body 7 and is not involved in driving. When the metal layer 19 is connected to the external electrode 10 that is not involved in driving as described above, the charge generated in the non-driving region 15 can be removed, so that the multilayer piezoelectric element can be driven stably. In addition, when driving the multilayer piezoelectric element, noise is applied to the driving power supply, which causes the driving of the multilayer piezoelectric element to become unstable, and charges due to distortion generated by applying stress to the non-driving region 15 are generated. Even if it occurs, when the metal layer 19 is connected to another external electrode 10, the charge can be removed from the external electrode 10 regardless of noise. 12 and 14, the external electrode 10 to which the metal layer 19 is connected is divided into two.

また、図１０に示す形態では、活性領域の両端に設けられた非駆動領域１５に形成した金属層１９は、同一の外部電極１０に接続したが、図１２に示す形態では、活性領域の両端に設けられた非駆動領域１５に形成した金属層１９はそれぞれ、別々の外部電極１０に接続されている。   In the embodiment shown in FIG. 10, the metal layers 19 formed in the non-driving regions 15 provided at both ends of the active region are connected to the same external electrode 10, but in the embodiment shown in FIG. Each of the metal layers 19 formed in the non-driving region 15 is connected to a separate external electrode 10.

図１０に示す形態の場合、両端部の非駆動領域１５に設けた二つの金属層１９の電位を一致させることができるので、活性領域の両端における電荷移動の抑止効果を同一にすることができる。これにより、素子両端の電荷移動を偏りのない安定したものとすることができる。また、他の外部電極１０を対向する素子側面にも配置して対称性を持たせることで、積層型圧電素子の補強とともに構造対称性による駆動軸の安定性も向上する。なお、図１０に示す形態では、活性領域の両端に設けられた内部電極５の極性を一致させる必要がある。   In the case of the form shown in FIG. 10, since the potentials of the two metal layers 19 provided in the non-driving regions 15 at both ends can be made to coincide with each other, the effect of suppressing charge transfer at both ends of the active region can be made the same. . As a result, the charge transfer between both ends of the element can be made stable without any bias. Further, by arranging the other external electrodes 10 on the opposing element side surfaces to provide symmetry, the stability of the drive shaft due to the structural symmetry is improved together with the reinforcement of the laminated piezoelectric element. In the form shown in FIG. 10, it is necessary to match the polarities of the internal electrodes 5 provided at both ends of the active region.

一方、図１２に示す形態の場合、活性領域の両端に設けられた内部電極５の極性を異なるものにすることができる。また、分離された他の外部電極１０に印加する電圧を異なるものとすることができるので、積層型圧電素子を配置する周囲の状況に合わせて、一方だけを接地して、他方には電圧を印加したりすることができる。これにより、例えば、同一極でも印加電圧を変化させて、素子両端の電荷移動に偏りをもたせることも可能となる。また、素子を設置する周辺環境に局所的に静電容量の差があった場合には、上記偏りをもたせて素子駆動時に生じる静電気が発生するのを抑制できる。   On the other hand, in the case shown in FIG. 12, the polarities of the internal electrodes 5 provided at both ends of the active region can be made different. Further, since the voltage applied to the other separated external electrodes 10 can be different, only one of them is grounded and the other is supplied with a voltage in accordance with the surrounding circumstances where the multilayer piezoelectric element is arranged. Can be applied. Thereby, for example, the applied voltage can be changed even in the same pole, and the charge movement at both ends of the element can be biased. In addition, when there is a local difference in capacitance in the surrounding environment where the element is installed, it is possible to suppress the occurrence of static electricity generated when the element is driven with the above bias.

また、図１３及び図１４では、対向領域において、金属層１９の一方の主面である投影面に、駆動領域１６を積層方向に投影したときに該投影が金属層１９の一方の主面に含まれるように金属層１９を形成している。また、内部電極が露出している素子の側面には、金属層１９の端部は露出していない。   In FIGS. 13 and 14, when the driving region 16 is projected in the stacking direction on the projection surface which is one main surface of the metal layer 19 in the facing region, the projection is applied to one main surface of the metal layer 19. The metal layer 19 is formed so as to be included. Further, the end of the metal layer 19 is not exposed on the side surface of the element where the internal electrode is exposed.

また、図１５〜１７に示す形態では、非駆動領域１５が外部電極９とは接続されていない浮き金属層２１をさらに備えている。この浮き金属層２１は、非駆動領域１５で生じた電荷が活性領域１７に移動するのを遮断する役割を担うとともに、浮き電極２１に到達する、異なる極性の電子やイオンを再結合させる場として機能する。これにより、非駆動領域１５で生じた電荷が活性領域１７に移動するのをより効果的に抑制することができる。   15 to 17, the non-driving region 15 further includes a floating metal layer 21 that is not connected to the external electrode 9. The floating metal layer 21 serves to block the charge generated in the non-driving region 15 from moving to the active region 17 and serves as a field for recombining electrons and ions having different polarities that reach the floating electrode 21. Function. Thereby, it is possible to more effectively suppress the charge generated in the non-driving region 15 from moving to the active region 17.

また、浮き金属層２１を金属層１９の近傍に設けることで、金属層１９と反発した電荷を効果的に捕獲することができる。また、図１５に示すように浮き金属層２１が圧電体層間のほぼ全面に設けられているときには、電荷を捕獲する機能がより向上する。浮き金属層２１自体は電位を持たないので格子欠陥で生成された電子やイオンの障壁として機能する。図１６に示すように浮き金属層２１を独立した複数の金属層により構成するときには、異なる極性の電子やイオンを再結合させる場として機能しやすい。   In addition, by providing the floating metal layer 21 in the vicinity of the metal layer 19, the charges repelled from the metal layer 19 can be effectively captured. Further, as shown in FIG. 15, when the floating metal layer 21 is provided on almost the entire surface between the piezoelectric layers, the function of capturing charges is further improved. Since the floating metal layer 21 itself has no electric potential, it functions as a barrier for electrons and ions generated by lattice defects. As shown in FIG. 16, when the floating metal layer 21 is composed of a plurality of independent metal layers, it easily functions as a field for recombining electrons and ions having different polarities.

浮き電極２１は、金属層１９よりも素子の端部側に配置するのが好ましい。これにより、金属層１９へ到達する、欠陥で生成された電子やイオンを減少させることができるので、金属層１９が電子やイオンを減少させる機能をより効果的に発現させることができる。   The floating electrode 21 is preferably disposed closer to the end of the element than the metal layer 19. Thereby, since the electrons and ions generated by the defects reaching the metal layer 19 can be reduced, the function of the metal layer 19 to reduce the electrons and ions can be more effectively expressed.

圧電体層３の材料としては、圧電性を有するセラミックスであればよいが、好ましくは、圧電歪み定数ｄ３３が高いセラミックスを用いることが良い。具体的には、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）等のペロブスカイト型酸化物を主成分とすることが好ましい。例えば、圧電体層３がチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）を代表とするペロブスカイト型圧電セラミックス材料等で形成されるときには、その圧電特性を示す圧電歪み定数ｄ３３が高いことから、変位量を大きくすることができる。さらに、ペロブスカイト型圧電セラミックス材料等で圧電体層３を形成する場合には、圧電体層３と内部電極層５を同時に焼成することもできる。 The material of the piezoelectric layer 3 may be any ceramic having piezoelectricity, but preferably a ceramic having a high piezoelectric strain constant d33 is used. Specifically, a perovskite oxide such as lead zirconate titanate (PbZrO 3 —PbTiO 3 ) is preferably used as a main component. For example, when the piezoelectric layer 3 is formed of a perovskite type piezoelectric ceramic material typified by barium titanate (BaTiO 3 ), the amount of displacement is increased because the piezoelectric strain constant d 33 indicating its piezoelectric characteristics is high. be able to. Further, when the piezoelectric layer 3 is formed of a perovskite type piezoelectric ceramic material or the like, the piezoelectric layer 3 and the internal electrode layer 5 can be fired simultaneously.

また、ペロブスカイト型圧電セラミックス材料の場合、ひずみに起因する欠陥生成物は結合力の弱い酸素である。したがって、この酸素空孔に着目すると、積層型圧電素子の使用環境を大気中以上の酸素分圧に保つことで、欠陥に起因するイオンや電子の生成を抑制することができる。   In the case of a perovskite-type piezoelectric ceramic material, the defect product resulting from strain is oxygen having a weak binding force. Therefore, when attention is paid to the oxygen vacancies, generation of ions and electrons due to defects can be suppressed by maintaining the use environment of the multilayer piezoelectric element at an oxygen partial pressure higher than that in the atmosphere.

金属層１９の材料に関しては、例えばＣｕやＮｉといった単体の金属、或いは銀−白金や銀−パラジウム合金等が挙げられる。特に、耐マイグレーション性や耐酸化性があり、ヤング率が低く、安価であるという点から銀−パラジウムを主成分とすることが好ましい。   As for the material of the metal layer 19, for example, a single metal such as Cu or Ni, silver-platinum, silver-palladium alloy, or the like can be given. In particular, silver-palladium is preferably used as a main component from the viewpoints of migration resistance and oxidation resistance, low Young's modulus, and low cost.

さらに、金属層１９の主成分が銀であることが好ましい。銀が主成分である場合には、圧電体層３と同時焼成して素子１を形成することができる。また、熱伝導特性が優れているので、応力集中により素子１が局部的に加熱されたとしても、熱を効率良く散逸することができる。さらに、表面に酸化層の皮膜が形成されていない場合には、金属粒子が柔軟性に富んでいるので、応力を吸収させることができる。   Furthermore, it is preferable that the main component of the metal layer 19 is silver. When silver is the main component, the element 1 can be formed by simultaneous firing with the piezoelectric layer 3. Moreover, since the heat conduction characteristics are excellent, even when the element 1 is locally heated due to stress concentration, heat can be efficiently dissipated. Furthermore, when the oxide layer film is not formed on the surface, the metal particles are rich in flexibility, so that stress can be absorbed.

金属層１９の組成は、以下のようにして測定することができる。まず、金属層１９が露出するように、積層体７を切断するなどして、金属層１９の一部を採取する。そして、ＩＣＰ（誘導結合プラズマ）発光分析等の化学分析をすることで、金属層１９の組成を測定できる。あるいは、積層型圧電素子１の切断面を、ＥＰＭＡ（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｍｉｃｒｏ Ａｎａｌｙｓｉｓ）法等の分析方法を用いて分析、測定してもよい。また、積層型圧電素子１の切断面において、多孔質層１９をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）や金属顕微鏡で観察すると、金属成分だけでなく、ボイドや、セラミック成分等の金属以外の要素も含まれている場合がある。このような場合であっても、ボイド以外の領域をＥＰＭＡ法等により分析することができる。   The composition of the metal layer 19 can be measured as follows. First, a part of the metal layer 19 is collected by cutting the laminated body 7 so that the metal layer 19 is exposed. The composition of the metal layer 19 can be measured by performing chemical analysis such as ICP (inductively coupled plasma) emission analysis. Alternatively, the cut surface of the multilayer piezoelectric element 1 may be analyzed and measured using an analysis method such as an EPMA (Electron Probe Micro Analysis) method. Further, when the porous layer 19 is observed with a scanning electron microscope (SEM) or a metal microscope on the cut surface of the multilayer piezoelectric element 1, not only a metal component but also elements other than metal such as a void and a ceramic component are included. May be. Even in such a case, regions other than voids can be analyzed by the EPMA method or the like.

内部電極層５の材料としては、導電性を有するものであればよい。例えばＣｕやＮｉといった単体の金属、或いは銀−白金や銀−パラジウム合金といった合金を用いることができる。特に、耐マイグレーション性や耐酸化性があり、ヤング率が低く、安価であるという点から銀−パラジウムを主成分とすることが好ましい。   The material of the internal electrode layer 5 may be any material that has conductivity. For example, a single metal such as Cu or Ni, or an alloy such as silver-platinum or silver-palladium alloy can be used. In particular, silver-palladium is preferably used as a main component from the viewpoints of migration resistance and oxidation resistance, low Young's modulus, and low cost.

さらに、内部電極層５、金属層１９中のパラジウムの含有量をＭ１（質量％）、銀の含有量をＭ２（質量％）としたとき、０＜Ｍ１≦１５、８５≦Ｍ２＜１００、Ｍ１＋Ｍ２＝１００を満足する金属組成物を主成分として内部電極層５を形成することが好ましい。これは、パラジウムを１５質量％以下にすることで、比抵抗値を抑えることができるためである。積層型圧電素子１が連続駆動することにより、内部電極層５が発熱した場合であっても、比抵抗値が抑制されていることで、温度依存性を有する圧電体層３に作用して、圧電体層３の変位特性が大きく減少してしまうことを防止できる。その結果、積層型圧電素子１の変位量の低下を抑制することができる。   Furthermore, when the content of palladium in the internal electrode layer 5 and the metal layer 19 is M1 (mass%) and the content of silver is M2 (mass%), 0 <M1 ≦ 15, 85 ≦ M2 <100, M1 + M2 It is preferable to form the internal electrode layer 5 with a metal composition satisfying = 100 as a main component. This is because the specific resistance value can be suppressed by making palladium 15 mass% or less. Even when the internal electrode layer 5 generates heat by continuously driving the multilayer piezoelectric element 1, the specific resistance value is suppressed, thereby acting on the piezoelectric layer 3 having temperature dependence, It is possible to prevent the displacement characteristics of the piezoelectric layer 3 from greatly decreasing. As a result, it is possible to suppress a decrease in the displacement amount of the multilayer piezoelectric element 1.

外部電極９及び内部電極層５、金属層１９のそれぞれの金属成分が相互拡散することで、外部電極９を積層体７の側面に接合することができる。この接合時に、パラジウムの含有量を１５質量％以下とすることで、外部電極９中に内部電極層５の成分が拡散した箇所の硬度が高くなりすぎることがなく、適度に抑えることができる。内部電極層５の成分が拡散して高度が高い領域が生じると、応力が集中し易くなる。それに対して、上記のように、パラジウムの含有量を調整することで、積層型圧電素子１の耐久性が低下することを抑えられる。   The external electrode 9 can be bonded to the side surface of the laminate 7 by the mutual diffusion of the metal components of the external electrode 9, the internal electrode layer 5, and the metal layer 19. By setting the content of palladium to 15% by mass or less at the time of joining, the hardness of the portion where the component of the internal electrode layer 5 has diffused in the external electrode 9 does not become too high, and can be moderately suppressed. When the components of the internal electrode layer 5 diffuse and a high altitude region is generated, stress tends to concentrate. On the other hand, as described above, the durability of the multilayer piezoelectric element 1 can be prevented from being lowered by adjusting the palladium content.

内部電極層５中の銀成分の圧電体層３へのマイグレーションを抑制する観点からは、内部電極層５中の銀の成分比率が８５質量％以上９９．９９９質量％以下とすることが好ましい。銀の比率を８５質量％以上とすることで、内部電極層５の比抵抗値が適度に抑えられ、積層型圧電素子１を連続駆動させた場合であっても、内部電極層５の発熱を抑制することができる。   From the viewpoint of suppressing migration of the silver component in the internal electrode layer 5 to the piezoelectric layer 3, the silver component ratio in the internal electrode layer 5 is preferably 85 mass% or more and 99.999 mass% or less. By setting the silver ratio to 85% by mass or more, the specific resistance value of the internal electrode layer 5 is moderately suppressed, and even when the multilayer piezoelectric element 1 is continuously driven, the internal electrode layer 5 generates heat. Can be suppressed.

また、積層型圧電素子１の耐久性を向上させるという観点からは、銀の比率が９０質量％以上９９．９質量％以下であるのが好ましい。また、熱伝導に優れ、より高い耐久性を必要とする場合には、銀の比率が９０．５質量％以上９９．５質量％以下であることが好ましい。また、さらに高い耐久性を求める場合は９２質量％以上９８質量％以下であることがさらに好ましい。   Further, from the viewpoint of improving the durability of the multilayer piezoelectric element 1, the silver ratio is preferably 90% by mass or more and 99.9% by mass or less. Moreover, when it is excellent in heat conduction and higher durability is required, it is preferable that the ratio of silver is 90.5 mass% or more and 99.5 mass% or less. Moreover, when higher durability is calculated | required, it is more preferable that they are 92 mass% or more and 98 mass% or less.

内部電極層５中のパラジウムや銀の金属成分の組成の測定には、金属層１９と同様の測定方法を用いればよく、ＥＰＭＡ法等の分析方法で特定できる。   The measurement of the composition of the metal component of palladium or silver in the internal electrode layer 5 may be performed using the same measurement method as that for the metal layer 19 and can be specified by an analysis method such as EPMA method.

積層体７の対向する側面には、一対の外部電極９が形成されている。対となる外部電極９には、それぞれ一層おきに内部電極５が、交互に電気的に接続される。なお、一対の外部電極９は、内部電極５が一層おきに交互に電気的に接続されれば良いことから、隣接する側面に形成してもよい。   A pair of external electrodes 9 are formed on opposite side surfaces of the multilayer body 7. The internal electrodes 5 are alternately electrically connected to the pair of external electrodes 9 every other layer. The pair of external electrodes 9 may be formed on adjacent side surfaces because the internal electrodes 5 only need to be electrically connected alternately every other layer.

外部電極９の材質としては、導電性の良いものであれば良い。例えば、ＣｕやＮｉといった金属やこれらの合金等を用いることができるが、電気抵抗が低く、取り扱いが容易であることから、銀、若しくは銀が主成分の合金を用いることが好ましい。   The material of the external electrode 9 may be any material having good conductivity. For example, metals such as Cu and Ni, alloys thereof, and the like can be used, but it is preferable to use silver or an alloy containing silver as a main component because of low electrical resistance and easy handling.

次に、本発明の積層型圧電素子の製法を説明する。まず、圧電体層３となるセラミックグリーンシートを作製する。ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３等からなるペロブスカイト型酸化物の圧電セラミックスの仮焼粉末と、アクリル系、ブチラール系等の有機高分子から成るバインダーと、ＤＢＰ（フタル酸ジブチル）、ＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）等の可塑剤と、を混合してスラリーを作製する。ついで、このスラリーを周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等のテープ成型法を用いることにより、圧電体層３となるセラミックグリーンシートが作製される。 Next, a method for producing the multilayer piezoelectric element of the present invention will be described. First, a ceramic green sheet to be the piezoelectric layer 3 is produced. Perovskite oxide piezoelectric ceramic calcined powder made of PbZrO 3 —PbTiO 3, binder made of acrylic or butyral organic polymer, DBP (dibutyl phthalate), DOP (dioctyl phthalate), etc. A plasticizer is mixed to prepare a slurry. Next, a ceramic green sheet to be the piezoelectric layer 3 is produced by using this slurry by a tape molding method such as a known doctor blade method or calendar roll method.

次に、銀−パラジウム等の内部電極層５を構成する金属粉末にバインダー、可塑剤等を添加混合して導電性ペーストを作製する。作製した導電性ペーストを上記のグリーンシートの上面に、金属層１９が形成される領域を除いて、スクリーン印刷等によって、例えば１〜４０μｍの厚みで印刷する。   Next, a conductive paste is prepared by adding and mixing a binder, a plasticizer and the like to the metal powder constituting the internal electrode layer 5 such as silver-palladium. The produced conductive paste is printed on the upper surface of the green sheet by screen printing or the like with a thickness of 1 to 40 μm, for example, except for the region where the metal layer 19 is formed.

また、金属層１９となる導電性ペーストを作製する。金属層１９となる導電性ペーストは、銀−パラジウム等の内部電極層５を構成する金属粉末にバインダー、可塑剤等を添加混合することにより作製される。この導電性ペーストを、例えば１〜４０μｍの厚みで圧電体層３となる上記のセラミックグリーンシートに印刷する。   In addition, a conductive paste to be the metal layer 19 is produced. The conductive paste used as the metal layer 19 is produced by adding and mixing a binder, a plasticizer, etc. with the metal powder which comprises the internal electrode layers 5, such as silver-palladium. This electroconductive paste is printed on said ceramic green sheet used as the piezoelectric body layer 3 with the thickness of 1-40 micrometers, for example.

また、金属層１９に、内部電極層５よりも銀濃度の高い銀−パラジウム粉末とともに、ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３等からなるペロブスカイト型酸化物の圧電セラミックスの仮焼粉末が加えられているときには、金属層１９の接合強度を向上することができる。 In addition, when a calcined powder of a perovskite oxide piezoelectric ceramic made of PbZrO 3 —PbTiO 3 or the like is added to the metal layer 19 together with silver-palladium powder having a silver concentration higher than that of the internal electrode layer 5, The bonding strength of the layer 19 can be improved.

このとき、銀−パラジウム等の金属粉末は合金粉末ではなく、銀粉末とパラジウム粉末の混合粉末を用いて組成を調整してもよい。また、銀パラジウムの合金に銀粉末またはパラジウム粉末を加えることで組成を調整してもよいが、合金粉末を用いることが好ましい。これは、導電性ペースト中の金属の分散が均一になり、内部電極層５および金属層１９の同一面内の組成分布が均一になるからである。組成分布が均一になることで、素子１の駆動時に応力が一定の場所に集中することを防止できる。   At this time, the composition of the metal powder such as silver-palladium may be adjusted using a mixed powder of silver powder and palladium powder instead of the alloy powder. The composition may be adjusted by adding silver powder or palladium powder to a silver-palladium alloy, but it is preferable to use an alloy powder. This is because the metal dispersion in the conductive paste becomes uniform, and the composition distribution in the same plane of the internal electrode layer 5 and the metal layer 19 becomes uniform. By making the composition distribution uniform, it is possible to prevent stress from being concentrated in a certain place when the element 1 is driven.

次に、上記の内部電極層５若しくは金属層１９となる導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを所望の配置で複数積層し、所定の温度で脱バインダーを行った後、９００〜１２００℃で焼成することによって積層体７が作製される。   Next, a plurality of ceramic green sheets on which the conductive paste to be the internal electrode layer 5 or the metal layer 19 is printed are stacked in a desired arrangement, and after debinding at a predetermined temperature, at 900 to 1200 ° C. The laminated body 7 is produced by baking.

非駆動領域１５を形成するグリーンシート中には、銀−パラジウム等の内部電極層５を構成する金属粉末を添加することが好ましい。これは、非駆動領域１５とそれ以外の部分の圧電体層３の焼結時の収縮挙動ならびに収縮率を一致させることができるからである。これにより、緻密な積層体７を形成することができる。   It is preferable to add metal powder constituting the internal electrode layer 5 such as silver-palladium to the green sheet forming the non-driving region 15. This is because the shrinkage behavior and the shrinkage rate during sintering of the piezoelectric layer 3 in the non-driving region 15 and other portions can be matched. Thereby, the dense laminated body 7 can be formed.

また、非駆動領域１５を形成するグリーンシートを積層する際に、銀−パラジウム等の内部電極層５となる前述のスラリーをグリーンシート上に印刷することが好ましい。同様に、非駆動領域１５とそれ以外の部分の圧電体層３の焼結時の収縮挙動ならびに収縮率を一致させることができるからである。これにより、緻密な積層体７を形成することができる。   In addition, when the green sheets forming the non-driving region 15 are stacked, it is preferable to print the above-described slurry that becomes the internal electrode layer 5 such as silver-palladium on the green sheet. Similarly, the shrinkage behavior and shrinkage rate during sintering of the piezoelectric layer 3 in the non-driving region 15 and other portions can be matched. Thereby, the dense laminated body 7 can be formed.

なお、積層体７は、上記製法によって作製されるものに限定されるものではなく、複数の圧電体層３と複数の内部電極層５とを交互に積層してなる積層体７を作製できれば、他の製法によって形成されても良い。   In addition, the laminated body 7 is not limited to what is produced by the said manufacturing method, If the laminated body 7 which laminates | stacks several piezoelectric body layers 3 and several internal electrode layers 5 alternately can be produced, It may be formed by other manufacturing methods.

次に、ガラス粉末にバインダーを加えて銀ガラス導電性ペーストを作製する。作製した導電性ペーストを積層体７の外部電極９形成面に印刷する。印刷した後、ガラスの軟化点よりも高い温度、且つ銀の融点（９６５℃）以下の温度で焼き付けを行う。これにより、銀ガラス導電性ペーストを用いた外部電極９を形成することができる。このとき、外部電極９を構成するペーストを多層に積層してから焼付けを行っても、１層で焼付けを行っても良いが、多層に積層してから一度に焼付けを行うほうが量産性に優れている。   Next, a binder is added to the glass powder to produce a silver glass conductive paste. The produced conductive paste is printed on the surface of the laminate 7 where the external electrodes 9 are formed. After printing, baking is performed at a temperature higher than the softening point of the glass and not higher than the melting point of silver (965 ° C.). Thereby, the external electrode 9 using a silver glass conductive paste can be formed. At this time, the paste constituting the external electrode 9 may be baked after being laminated in multiple layers, or may be baked in one layer, but it is more mass-productive to perform baking at once after being laminated in multiple layers. ing.

また、一層ごとにガラス成分を変える場合には、一層ごとにガラス成分の量を変えたものを用いればよい。圧電体層３に最も接した面にごく薄くガラスリッチな層を構成したい場合には、積層体７に、スクリーン印刷等の方法でガラスリッチなペーストを印刷した上で、多層のシートを積層する方法を用いることもできる。   Moreover, when changing a glass component for every layer, what changed the quantity of the glass component for every layer should just be used. When it is desired to form a very thin glass-rich layer on the surface closest to the piezoelectric layer 3, a multilayer sheet is laminated on the laminate 7 after printing a glass-rich paste by a method such as screen printing. A method can also be used.

最後に、外部電極９にリード線（不図示）を接続し、リード線を介して一対の外部電極９に０．１〜３ｋＶ／ｍｍの直流電圧を印加して、積層体７を分極処理する。以上により、本実施の形態の積層型圧電素子１を利用した圧電アクチュエータが完成する。   Finally, a lead wire (not shown) is connected to the external electrode 9, and a direct current voltage of 0.1 to 3 kV / mm is applied to the pair of external electrodes 9 via the lead wire to polarize the laminated body 7. . The piezoelectric actuator using the multilayer piezoelectric element 1 of the present embodiment is thus completed.

さらに、積層型圧電素子をシリコーン樹脂等の樹脂で被覆した場合には、積層型圧電素子１の側面に空隙が開放されていたとしても、この開放された空隙内に樹脂が充填される。   Further, when the laminated piezoelectric element is covered with a resin such as silicone resin, even if a gap is opened on the side surface of the laminated piezoelectric element 1, the resin is filled in the opened gap.

リード線を外部の電圧供給部に接続し、リード線及び外部電極９を介して内部電極層５に電圧を印加させると、各圧電体層３は逆圧電効果によって大きく変位し、これによって例えばエンジンに燃料を噴射供給する自動車用燃料噴射弁として機能する。   When a lead wire is connected to an external voltage supply unit and a voltage is applied to the internal electrode layer 5 via the lead wire and the external electrode 9, each piezoelectric layer 3 is greatly displaced by the reverse piezoelectric effect, and for example, an engine It functions as a fuel injection valve for automobiles that injects and supplies fuel.

さらに、外部電極９の外面に、金属のメッシュ若しくはくし状の配線を導電性接着剤で接合してもよい。この場合には、アクチュエータに大電流を投入し、高速で駆動させる場合においても、大電流をこれらの配線に流すことができ、外部電極９を流れる電流を低減できる。これにより、外部電極９が局所発熱を起こし断線することが防止され、積層型圧電素子１の耐久性を大幅に向上させることができる。   Furthermore, a metal mesh or comb-like wiring may be bonded to the outer surface of the external electrode 9 with a conductive adhesive. In this case, even when a large current is input to the actuator and driven at a high speed, a large current can be passed through these wirings, and the current flowing through the external electrode 9 can be reduced. Thereby, the external electrode 9 is prevented from causing local heat generation and being disconnected, and the durability of the multilayer piezoelectric element 1 can be greatly improved.

以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明の積層型圧電素子は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。例えば、上記の実施の形態では、金属層１９が合金からなる場合について説明したが、一部の金属層１９が合金からなり、残りの金属層１９が単一の金属からなる形態であってもよい。また、上記の実施の形態では、金属層１９が同じ成分を含有している場合について説明したが、金属層１９が主成分の異なる少なくとも二種以上の層からなる形態であってもよい。また、図１８のような形態であってもよい。   Although one embodiment of the present invention has been described above, the multilayer piezoelectric element of the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. It is. For example, in the above embodiment, the case where the metal layer 19 is made of an alloy has been described. However, even if a part of the metal layer 19 is made of an alloy and the remaining metal layer 19 is made of a single metal. Good. Moreover, although said embodiment demonstrated the case where the metal layer 19 contained the same component, the metal layer 19 may be a form which consists of at least 2 or more types of layers from which a main component differs. Moreover, a form like FIG. 18 may be sufficient.

図１９は、本発明の一実施の形態にかかる噴射装置を示す概略断面図である。図１９に示すように、本実施の形態にかかる噴射装置２３は、一端に噴射孔２５を有する収納容器２７の内部に上記実施の形態に代表される本発明の積層型圧電素子が収納されている。収納容器２７内には、噴射孔２５を開閉することができるニードルバルブ２９が配設されている。噴射孔２５には燃料通路３１がニードルバルブ２９の動きに応じて連通可能に配設されている。この燃料通路３１は外部の燃料供給源に連結され、燃料通路３１に常時一定の高圧で燃料が供給されている。従って、ニードルバルブ２９が噴射孔２５を開放すると、燃料通路３１に供給されていた燃料が一定の高圧で図示しない内燃機関の燃料室内に噴出されるように構成されている。   FIG. 19 is a schematic cross-sectional view showing an injection device according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 19, the injection device 23 according to the present embodiment has the multilayer piezoelectric element of the present invention typified by the above-described embodiment accommodated inside a storage container 27 having an injection hole 25 at one end. Yes. A needle valve 29 that can open and close the injection hole 25 is disposed in the storage container 27. A fuel passage 31 is disposed in the injection hole 25 so as to communicate with the movement of the needle valve 29. The fuel passage 31 is connected to an external fuel supply source, and fuel is always supplied to the fuel passage 31 at a constant high pressure. Therefore, when the needle valve 29 opens the injection hole 25, the fuel supplied to the fuel passage 31 is jetted into a fuel chamber of an internal combustion engine (not shown) at a constant high pressure.

また、ニードルバルブ２９の上端部は内径が大きくなっており、収納容器２７に形成されたシリンダ３３と摺動可能なピストン３５が配置されている。そして、収納容器２７内には、上記した積層型圧電素子１を備えた圧電アクチュエータが収納されている。   The upper end of the needle valve 29 has a large inner diameter, and a cylinder 35 formed in the storage container 27 and a slidable piston 35 are disposed. In the storage container 27, a piezoelectric actuator including the multilayer piezoelectric element 1 described above is stored.

このような噴射装置では、圧電アクチュエータが電圧を印加されて伸長すると、ピストン３５が押圧され、ニードルバルブ２９が噴射孔２５を閉塞し、燃料の供給が停止される。また、電圧の印加が停止されると圧電アクチュエータが収縮し、皿バネ３７がピストン３５を押し返し、噴射孔２５が燃料通路３１と連通して燃料の噴射が行われるようになっている。   In such an injection device, when the piezoelectric actuator is extended by applying a voltage, the piston 35 is pressed, the needle valve 29 closes the injection hole 25, and the supply of fuel is stopped. When the application of voltage is stopped, the piezoelectric actuator contracts, the disc spring 37 pushes back the piston 35, and the injection hole 25 communicates with the fuel passage 31 to inject fuel.

また、本発明の噴射装置２３は、噴射孔２５を有する容器と、上記積層型圧電素子１とを備え、容器内に充填された液体が積層型圧電素子１の駆動により噴射孔２５から吐出させるように構成されていてもよい。すなわち、素子１が必ずしも容器の内部にある必要はなく、積層型圧電素子の駆動によって容器の内部に圧力が加わるように構成されていればよい。なお、本発明において、液体とは、燃料、インクなどの他、種々の液状流体（導電性ペースト等）が含まれる。   Further, the ejection device 23 of the present invention includes a container having the ejection holes 25 and the multilayer piezoelectric element 1, and the liquid filled in the container is ejected from the ejection holes 25 by driving the multilayer piezoelectric element 1. It may be configured as follows. That is, the element 1 does not necessarily have to be inside the container, and may be configured so that pressure is applied to the inside of the container by driving the laminated piezoelectric element. In the present invention, the liquid includes various liquid fluids (such as conductive paste) in addition to fuel and ink.

図２０は、本発明の一実施の形態にかかる燃料噴射システムを示す概略図である。図２０に示すように、本実施の形態にかかる燃料噴射システム３９は、高圧燃料を蓄えるコモンレール４１と、このコモンレール４１に蓄えられた燃料を噴射する複数の上記噴射装置３９と、コモンレール４１に高圧の燃料を供給する圧力ポンプ４３と、噴射装置２３に駆動信号を与える噴射制御ユニット４５と、を備えている。   FIG. 20 is a schematic view showing a fuel injection system according to one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 20, the fuel injection system 39 according to the present embodiment includes a common rail 41 that stores high-pressure fuel, a plurality of the injectors 39 that inject the fuel stored in the common rail 41, and a high pressure to the common rail 41. A pressure pump 43 for supplying the fuel, and an injection control unit 45 for supplying a drive signal to the injection device 23.

噴射制御ユニット４５は、エンジンの燃焼室内の状況をセンサ等で感知しながら燃料噴射の量やタイミングを制御するものである。圧力ポンプ４３は、燃料タンク４７から燃料を１０００〜２０００気圧程度、好ましくは１５００〜１７００気圧程度にしてコモンレール５２に送り込む役割を果たす。コモンレール４１では、圧力ポンプ４３から送られてきた燃料を蓄え、適宜噴射装置２３に送り込む。噴射装置２３は、上述したように噴射孔２５から少量の燃料を燃焼室内に霧状に噴射する。   The injection control unit 45 controls the amount and timing of fuel injection while sensing the condition in the combustion chamber of the engine with a sensor or the like. The pressure pump 43 plays a role of sending the fuel from the fuel tank 47 to the common rail 52 at about 1000 to 2000 atmospheres, preferably about 1500 to 1700 atmospheres. In the common rail 41, the fuel sent from the pressure pump 43 is stored and sent to the injection device 23 as appropriate. As described above, the injection device 23 injects a small amount of fuel into the combustion chamber from the injection hole 25 in the form of a mist.

本発明の積層型圧電素子１を備えた圧電アクチュエータを以下のようにして作製した。まず、平均粒径が０．４μｍのチタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）を主成分とする圧電セラミックスの仮焼粉末、バインダー、及び可塑剤を混合したスラリーを作製し、ドクターブレード法で厚み１５０μｍの圧電体層３になるセラミックグリーンシートを作製した。 A piezoelectric actuator provided with the multilayer piezoelectric element 1 of the present invention was produced as follows. First, a slurry in which a calcined powder of a piezoelectric ceramic mainly composed of lead zirconate titanate (PbZrO 3 —PbTiO 3 ) having an average particle diameter of 0.4 μm, a binder, and a plasticizer is prepared, and a doctor blade method is used. A ceramic green sheet to be the piezoelectric layer 3 having a thickness of 150 μm was prepared.

このセラミックグリーンシートの片面に、表１に示した金属粉末にバインダーを加えた導電性ペーストをスクリーン印刷法により形成したシートを、３００枚積層した。表１に示す箇所に、金属層１９を設けて焼成した。焼成は、８００℃で保持した後に９５０℃で１時間加熱保持してから冷却した。   On one side of this ceramic green sheet, 300 sheets formed by screen printing with a conductive paste obtained by adding a binder to the metal powder shown in Table 1 were laminated. The metal layer 19 was provided in the location shown in Table 1, and baked. The baking was held at 800 ° C., then heated and held at 950 ° C. for 1 hour, and then cooled.

次に、平均粒径２μｍのフレーク状の銀粉末と、残部が平均粒径２μｍのケイ素を主成分とする軟化点が６４０℃の非晶質のガラス粉末との混合物に、バインダーを銀粉末とガラス粉末の合計質量１００質量部に対して８質量部添加し、十分に混合して銀ガラス導電性ペーストを作製した。   Next, a mixture of a flaky silver powder having an average particle size of 2 μm and an amorphous glass powder having a softening point of 640 ° C. having a balance of silicon having an average particle size of 2 μm as a main component is combined with a silver powder 8 parts by mass was added to 100 parts by mass of the total mass of the glass powder, and mixed well to prepare a silver glass conductive paste.

そして、この銀ガラス導電性ペーストを積層体７の対向する側面に印刷して乾燥した後、７００℃で３０分焼き付けを行い、外部電極９を形成した。   And after printing this silver glass electrically conductive paste on the opposing side surface of the laminated body 7 and drying, it baked at 700 degreeC for 30 minutes, and formed the external electrode 9. FIG.

その後、外部電極９にリード線を接続し、正極及び負極の外部電極９にリード線を介して３ｋＶ／ｍｍの直流電界を１５分間印加して分極処理を行い、積層型圧電素子１を用いた圧電アクチュエータを作製した。   Thereafter, a lead wire was connected to the external electrode 9, and a polarization treatment was performed by applying a DC electric field of 3 kV / mm for 15 minutes to the positive electrode and the negative external electrode 9 via the lead wire, and the multilayer piezoelectric element 1 was used. A piezoelectric actuator was fabricated.

得られた積層型圧電素子１に１７０Ｖの直流電圧を印加したところ、すべての圧電アクチュエータにおいて、積層方向に変位量が得られた。   When a DC voltage of 170 V was applied to the obtained laminated piezoelectric element 1, a displacement amount was obtained in the lamination direction in all the piezoelectric actuators.

さらに、この圧電アクチュエータを室温で０〜＋１７０Ｖの交流電圧を１５０Ｈｚの周波数で印加して、１×１０９回まで連続駆動した試験を行った。
その結果を表１に示す。 Furthermore, a test was performed in which the piezoelectric actuator was continuously driven up to 1 × 10 9 times by applying an AC voltage of 0 to +170 V at a frequency of 150 Hz at room temperature.
The results are shown in Table 1.

Figure 0005203621
Figure 0005203621

表1に示すように、不活性領域に金属層１９を配置していない比較例である試料番号１は、３×１０７サイクルにてデラミネーションが発生した。 As shown in Table 1, in Sample No. 1, which is a comparative example in which the metal layer 19 is not disposed in the inactive region, delamination occurred in 3 × 10 7 cycles.

これに対し、本発明の実施例である試料番号２〜１２は、１×１０９サイクル後でも初期の変位量から極端に低下しておらず、積層型圧電素子として必要な変位量を維持していた。 On the other hand, Sample Nos. 2 to 12, which are examples of the present invention, did not extremely decrease from the initial displacement even after 1 × 10 9 cycles, and maintained the displacement necessary for the multilayer piezoelectric element. It was.

中でも特に、金属層１９が同一外部電極から複数接続した試料番号４、５、７、８は、変位量が初期から連続駆動後まで変化することがなく、極めて耐久性に優れている。   In particular, Sample Nos. 4, 5, 7, and 8 in which a plurality of metal layers 19 are connected from the same external electrode are extremely excellent in durability because the amount of displacement does not change from the initial stage to after continuous driving.

特に、銀−パラジウム電極の試料番号の５、８については、耐久評価後の積層型圧電素子を切断して、切断面をＳＥＭを用いて観察したが、銀のマイグレーションや酸素空孔移動時に特徴的に現れる電極周辺の圧電体の黒色変化の形跡がほとんどなく、極めて耐久性の優れた積層型圧電素子であることがわかった。   In particular, for sample numbers 5 and 8 of the silver-palladium electrode, the laminated piezoelectric element after durability evaluation was cut and the cut surface was observed using SEM, but it was characterized during silver migration and oxygen vacancy movement. As a result, it was found that there was almost no evidence of black color change of the piezoelectric body around the electrode, and the piezoelectric element was extremely excellent in durability.

(a)は本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる一例を示す斜視図であり、(b)は、図１(a)に示す積層型圧電素子の、圧電体層と内部電極層と金属層との積層状態を示す分解斜視図である。(a) is a perspective view which shows an example concerning embodiment of the laminated piezoelectric element of this invention, (b) is a piezoelectric material layer and an internal electrode layer of the laminated piezoelectric element shown to Fig.1 (a). It is a disassembled perspective view which shows the lamination | stacking state of a metal layer. 図１の素子を積層方向に平行な平面で切断した断面図である。It is sectional drawing which cut | disconnected the element of FIG. 1 by the plane parallel to a lamination direction. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. (a)は本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示す積層型圧電素子の、圧電体層と内部電極層と金属層との積層状態を示す分解斜視図である。(a) is a perspective view showing another example according to the embodiment of the multilayer piezoelectric element of the present invention, (b) is a piezoelectric layer and internal electrode layer of the multilayer piezoelectric element shown in (a) It is a disassembled perspective view which shows the lamination | stacking state of a metal layer. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. (a)は本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示す積層型圧電素子の、圧電体層と内部電極層と金属層との積層状態を示す分解斜視図である。(a) is a perspective view showing another example according to the embodiment of the multilayer piezoelectric element of the present invention, (b) is a piezoelectric layer and internal electrode layer of the multilayer piezoelectric element shown in (a) It is a disassembled perspective view which shows the lamination | stacking state of a metal layer. (a)は本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示す積層型圧電素子の、圧電体層と内部電極層と金属層との積層状態を示す分解斜視図である。(a) is a perspective view showing another example according to the embodiment of the multilayer piezoelectric element of the present invention, (b) is a piezoelectric layer and internal electrode layer of the multilayer piezoelectric element shown in (a) It is a disassembled perspective view which shows the lamination | stacking state of a metal layer. (a)は本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示す積層型圧電素子の、圧電体層と内部電極層と金属層との積層状態を示す分解斜視図である。(a) is a perspective view showing another example according to the embodiment of the multilayer piezoelectric element of the present invention, (b) is a piezoelectric layer and internal electrode layer of the multilayer piezoelectric element shown in (a) It is a disassembled perspective view which shows the lamination | stacking state of a metal layer. (a)は本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示す積層型圧電素子の、圧電体層と内部電極層と金属層との積層状態を示す分解斜視図である。(a) is a perspective view showing another example according to the embodiment of the multilayer piezoelectric element of the present invention, (b) is a piezoelectric layer and internal electrode layer of the multilayer piezoelectric element shown in (a) It is a disassembled perspective view which shows the lamination | stacking state of a metal layer. (a)は本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示す積層型圧電素子の、圧電体層と内部電極層と金属層との積層状態を示す分解斜視図である。(a) is a perspective view showing another example according to the embodiment of the multilayer piezoelectric element of the present invention, (b) is a piezoelectric layer and internal electrode layer of the multilayer piezoelectric element shown in (a) It is a disassembled perspective view which shows the lamination | stacking state of a metal layer. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の積層型圧電素子の実施の形態にかかる他の一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example concerning embodiment of the lamination type piezoelectric element of this invention. 本発明の一実施の形態にかかる噴射装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the injection apparatus concerning one embodiment of this invention. 本発明の一実施の形態にかかる燃料噴射システムを示す概略図である。It is the schematic which shows the fuel-injection system concerning one embodiment of this invention. (a)は、従来の積層型圧電素子を示す斜視図であり、(b)は、(a)に示す積層型圧電素子の、圧電体層と内部電極層との積層状態を示す分解斜視図である。(a) is a perspective view showing a conventional laminated piezoelectric element, (b) is an exploded perspective view showing a laminated state of a piezoelectric layer and an internal electrode layer of the laminated piezoelectric element shown in (a). It is.

符号の説明Explanation of symbols

１ 積層型圧電素子、３ 圧電体層、５ 内部電極層、７ 積層体、９、１０ 外部電極、１６ 駆動領域、１５ 非駆動領域、１９ 金属層、２１ 浮き金属層、２３ 噴射装置、２５ 噴射孔、２７ 収納容器、２９ ニードルバルブ、３１ 燃料通路、３３ シリンダ、３５ ピストン、３７ 皿バネ、３９ 燃料噴射システム、４１ コモンレール、４３ 圧力ポンプ、４５ 噴射制御ユニット、４７ 燃料タンク。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laminated piezoelectric element, 3 Piezoelectric layer, 5 Internal electrode layer, 7 Laminated body, 9, 10 External electrode, 16 Driving area | region, 15 Non-driving area | region, 19 Metal layer, 21 Floating metal layer, 23 Injection apparatus, 25 Injection Hole, 27 storage container, 29 needle valve, 31 fuel passage, 33 cylinder, 35 piston, 37 disc spring, 39 fuel injection system, 41 common rail, 43 pressure pump, 45 injection control unit, 47 fuel tank.

Claims (13)

複数の圧電体層と複数の内部電極とを含みこれらが交互に積層された積層体であって、隣接する内部電極間に挟まれた駆動領域と、前記駆動領域の積層方向の端部に設けられ、少なくとも２つの圧電体層と該圧電体層間に配置された金属層とを含んでなる非駆動領域とを有する積層体と、
前記積層体の側面に設けられ、前記内部電極が交互に接続された第１の外部電極および第２の外部電極とを、備え、
前記金属層は、前記内部電極よりも空隙が多く、隣接して対向する内部電極と同電位になるように形成され、かつ前記駆動領域を前記金属層表面に積層方向に投影したときに、該投影が前記金属層表面の形成領域内にあることを特徴とする積層型圧電素子。 A laminated body including a plurality of piezoelectric layers and a plurality of internal electrodes, which are alternately laminated, provided at a drive region sandwiched between adjacent internal electrodes and at an end of the drive region in the stacking direction A laminate having at least two piezoelectric layers and a non-driving region comprising a metal layer disposed between the piezoelectric layers;
A first external electrode and a second external electrode provided on a side surface of the laminate, the internal electrodes being alternately connected;
The metal layer has more voids than the internal electrodes, is formed to have the same potential as the adjacent internal electrodes facing each other, and when the drive region is projected on the surface of the metal layer in the stacking direction, A multi-layer piezoelectric element characterized in that the projection is in the formation region of the surface of the metal layer. 前記金属層が、前記第１の外部電極又は前記第２の外部電極に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。 The multilayer piezoelectric element according to claim 1, wherein the metal layer is connected to the first external electrode or the second external electrode. 前記金属層の周縁を、隣接して対向する前記内部電極に積層方向に投影したときに、該投影が当該内部電極の周縁と一致することを特徴とする請求項１または２に記載の積層型圧電素子。 The peripheral edge of the metal layer, when projected adjacent to the laminating direction to the internal electrodes opposed, stacked according to claim 1 or 2, characterized in that the projection is coincident with the periphery of the internal electrodes Piezoelectric element. 前記金属層は、前記非駆動領域に含まれた前記２つの圧電体層間の全域に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の積層型圧電素子。 The metal layer is laminated piezoelectric element according to claim 1 or 2, characterized in that it is formed on the entire of the non-drive is included in the region the two piezoelectric layers. 前記金属層は、この金属層を積層方向に貫通する複数の貫通孔を有していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の積層型圧電素子。 The metal layer is laminated piezoelectric element according to any one of claims 1-4, characterized in having a plurality of through-holes penetrating the metal layer in the stacking direction. 前記非駆動領域は、前記金属層を複数備えていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の積層型圧電素子。 The non-drive area, multi-layer piezoelectric element according to any one of claims 1-5, characterized in that it comprises a plurality of the metal layers. 前記積層体は積層方向の両端部に前記非駆動領域をそれぞれ備え、前記非駆動領域にそれぞれ前記金属層を備えていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の積層型圧電素子。 Laminate according to any one of claims 1-6, characterized in the laminate which each comprise the non-drive area at both ends in the stacking direction, and a respective said metal layer on the non-driven region Type piezoelectric element. 前記両端部の前記非駆動領域に設けられた前記金属層は同じ極性であることを特徴とする請求項７に記載の積層型圧電素子。The multilayer piezoelectric element according to claim 7, wherein the metal layers provided in the non-driving regions at both ends have the same polarity. 前記金属層は接地されていることを特徴とする請求項８に記載の積層型圧電素子。The multilayer piezoelectric element according to claim 8, wherein the metal layer is grounded. 前記非駆動領域は、前記第１の外部電極、前記第２の外部電極及び前記他の外部電極のいずれからも分離された浮き金属層をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載の積層型圧電素子。 The non-driven region, wherein the first external electrode, claim characterized in that it further comprises a floating metal layers separated from any of the second external electrode and the other external electrode 1-9 The multilayer piezoelectric element according to any one of the above. 前記圧電体層は、ペロブスカイト型酸化物を主成分として含むことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の積層型圧電素子。 The piezoelectric layer, multilayer piezoelectric element according to any one of claims 1-10, characterized in that it comprises a perovskite type oxide as the main component. 噴出孔を有する容器と、請求項１〜１１のいずれか１つに記載の積層型圧電素子と、を備え、前記容器内に充填された液体が前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出されるように構成されていることを特徴とする噴射装置。 A container having an ejection hole and the multilayer piezoelectric element according to any one of claims 1 to 11 , wherein a liquid filled in the container is driven from the ejection hole by driving the multilayer piezoelectric element. An injection apparatus configured to be discharged. 高圧燃料を蓄えるコモンレールと、このコモンレールに蓄えられた燃料を噴射する請求項１２に記載の噴射装置と、前記コモンレールに高圧の燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットと、を備えたことを特徴とする燃料噴射システム。 A common rail that stores high-pressure fuel, an injection device according to claim 12 that injects fuel stored in the common rail, a pressure pump that supplies high-pressure fuel to the common rail, and an injection control that provides a drive signal to the injection device A fuel injection system comprising: a unit;
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH03112956U (en) * 1990-03-06 1991-11-19
JPH07226542A (en) * 1994-02-09 1995-08-22 Brother Ind Ltd Multilayered piezoelectric element
JPH09270540A (en) * 1996-03-29 1997-10-14 Chichibu Onoda Cement Corp Laminated piezoelectric actuator element and manufacturing method thereof
JP2001352110A (en) * 2000-06-05 2001-12-21 Tokin Ceramics Corp Laminated type piezoelectric ceramics
JP4063073B2 (en) * 2002-12-26 2008-03-19 株式会社デンソー Piezo actuator device
WO2006073018A1 (en) * 2005-01-06 2006-07-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for manufacturing piezoelectric actuator, and piezoelectric actuator

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