JP5181194B2 - Rfスパッタ装置 - Google Patents
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Description
従って、スパッタ室上にRF電力伝達手段とカソードとを並置し、カソードをRF電力伝達手段から独立して開閉できるようにすることが望ましい。
また、カソードの開閉動作を自動で行なう構成とするには、接続部におけるRF経路及びシールドをボルト等で固定することができない。
また、シールドボックスの外部に配置した加圧手段が、マッチングボックスの筐体を貫通する駆動軸を摺動させるように構成してもよい。
またさらに、第1のシールドの第2のシールドに対向する端面又は第2のシールドの第1のシールドに対向する端面に取り付けられたセンサを備え、センサが第1のシールドと第2のシールドの接触を検知するように構成してもよい。
また、シールド31とシールドボックス30の接触面及びシャフト61とシールドボックス30の接触面にも、それぞれ導電性弾性体52及び53が取り付けられている。
これらの導電性弾性体51、52及び53によって出力板33からRF入力端42までのRF経路のシールド性が確保される。
なお、上記とは逆に、RF出力端32の先端をコンタクト受けとし、RF入力端42の先端をコンタクトピンとしてもよい。
カソード40が閉じた状態(図1A及び2A)からカソード40を開く場合、まず、エアシリンダ60による矢印F方向の力が弱められ、導電性弾性部材51とシールド41が離れるとともに、RF出力端32とRF入力端42とが離れる。即ち、これによりシールドボックス30とカソード40とが分離される。これをセンサ62により検知し、その後、駆動源70によってカソード40が持ち上げられ、カソード40が開放される。
上記は本発明の最も好適な実施例を示すものであるが、本発明は以下のように変形可能である。
上記実施例では、シールド31及びRF出力端32双方がエアシリンダ60によって摺動される構成としたが、シールド31のみが摺動される構成としてもよい。例えば、図5に示すように、RF出力端32とRF入力端42とが駆動源70の動作のみによって接触又は非接触となるようにしてもよい。この構成の場合、RF出力端32は移動しないので図2で示したような給電板は必要ない。従って、出力板34とRF出力端32とが直接接続されてもよいし、それらが統合されて一体形成されてもよい。
また、上記構成によると、接続部におけるRF経路又はシールドをボルト等で固定する必要がないので、カソードの開閉動作を自動で行なう構成を実現することができた。
20.マッチングボックス
25.チューブ
30.シールドボックス
31.シールド
32.RF出力端
33.出力板
34.給電板
40.カソード
41.シールド
42.RF入力端
51、52、53.導電性弾性部材
60.エアシリンダ
61.シャフト
62.センサ
70.駆動源
80.制御手段
85.アーム機構
91.ベローフランジ
92.センサ
311、411.端面
321.コンタクトピン
421.コンタクト受け
Claims (5)
- RFスパッタ装置であって、
スパッタ室、
第1のシールドに覆われたRF出力端を有し、該スパッタ室に固定されたRF電力伝達手段、
第2のシールドに覆われ、該RF出力端に着脱可能なRF入力端を有し、該スパッタ室に着脱可能に取り付けられるカソード、
該第1のシールドの該第2のシールドに対向する端面又は該第2のシールドの該第1のシールドに対向する端面に取り付けられた導電性弾性部材、及び
該導電性弾性部材を挟む方向の力を、該第1のシールド若しくは該第1のシールド及びRF出力端又は該第2のシールド若しくは該第2のシールド及びRF入力端に加える加圧手段
を備えたRFスパッタ装置。 - 請求項1のRFスパッタ装置において、前記RF電力伝達手段が、RF電力経路のインピーダンス整合用のマッチングボックス、及び該マッチングボックスからのRF電力を前記RF出力端に伝達するシールドボックスからなり、
該シールドボックスが、該マッチングボックスに接続される出力板、及び該出力板と該RF出力端を接続する変形可能な給電板を有し、
前記加圧手段が前記第1のシールド及びRF出力端を摺動させるように構成されたRFスパッタ装置。 - 請求項1のRFスパッタ装置であって、さらに、前記カソードを自動開閉する駆動源を備えたRFスパッタ装置。
- 請求項1のRFスパッタ装置であって、前記シールドボックスの外部に配置した前記加圧手段が、前記マッチングボックスの筐体を貫通する駆動軸を摺動させるように構成されたRFスパッタ装置。
- 請求項1のRFスパッタ装置であって、さらに、前記第1のシールドの前記第2のシールドに対向する端面又は該第2のシールドの該第1のシールドに対向する端面に取り付けられたセンサを備え、該センサが該第1のシールドと該第2のシールドの接触を検知するように構成されたRFスパッタ装置。
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