JP5177909B2 - Board bonding equipment - Google Patents
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Description
本発明は、液晶基板やプラズマディスプレイ基板などの基板に、機能性シートあるいは別の基板を貼合するための基板貼合装置に関する。機能性シートは、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどからなる。 The present invention relates to a substrate bonding apparatus for bonding a functional sheet or another substrate to a substrate such as a liquid crystal substrate or a plasma display substrate. The functional sheet includes a polarizing sheet, an antireflection film, an electromagnetic wave shielding film, an ultraviolet shielding film, and the like.
この種の貼合装置として、本出願人は特許文献1に係る貼合装置を先に提案している。そこでは、調整テーブルと可動テーブルとの対向面に、ガラス基板と機能性フィルムをそれぞれ吸着して正対させ、調整テーブルの側に設けた接着ローラーでガラス基板を機能性フィルムに押し付けて貼合を行なう。この貼合装置によれば、ガラス基板が接着ローラーで押圧された位置から、ローラーの進行方向前側へ向かって下り傾斜するので、空気が貼合面にかみ込むのを防止しながら貼合できる。
As this kind of bonding apparatus, the present applicant has previously proposed a bonding apparatus according to
特許文献1の貼合装置によれば、貼合面に気泡が閉じ込められるのを防止しながら、ガラス基板と機能性シートを貼合することができる。とくに、液晶基板やプラズマディスプレイ基板などのガラス基板はフロートガラス法で形成してあり、板面の面精度が高いので、機能性シートの貼合を的確に行なえる。また、ガラス基板を接着ローラーで押し付けて貼合を行なうので、接着ローラーの中心軸方向に均一な押圧力でガラス基板を押圧できる。しかし稀にではあるが、ガラス基板あるいは機能性シートの貼合面に湾曲し、あるいはうねりを生じていることがあり、そうした場合に機能性シートをガラス基板に密着させることができず、貼合不良に陥ることがある。接着ローラーによる押圧力がローラー中心軸方向に均一になっており、湾曲やうねりに追随できないからである。具体的には、湾曲やうねりの凹み深さが0.1mmを越えると貼合不良を生じることが多い。
According to the bonding apparatus of
本発明の目的は、基板の貼合面に湾曲部やうねりなどがある場合でも、機能性シートなどの貼合対象を密着貼合でき、したがって貼合製品の不良率を低下して生産性を向上できる基板貼合装置を提供することにある。 The purpose of the present invention is to bond a bonding target such as a functional sheet even when the bonding surface of the substrate has a curved portion or swell, thus reducing the defective rate of the bonded product and increasing productivity. It is providing the board | substrate bonding apparatus which can be improved.
本発明に係る基板貼合装置は、ワーク支持構造5に吸着保持される第1ワークW1と、可動テーブル3に吸着保持される第2ワークW2とを、所定の貼合隙間Eを介して正対させ、第1ワークW1をローラー機構6で第2ワークW2に押し付けて貼合を行なう基板貼合装置を前提とする。ローラー機構6は、両ワークW1・W2の貼合始端から貼合終端の間を往復移動する駆動台20と、駆動台20で昇降可能に支持されるローラー支持枠21と、それぞれローラー支持枠21で回転自在に軸支されるメインローラー22、およびメインローラー22の周面2個所を支持する中間ローラー32と、メインローラー22を中間ローラー32を介して押圧操作する押圧構造とを含む(図1参照)。押圧構造は、メインローラー22の中心軸に沿って一定間隔おきに配置される複数個の押圧台33(図4参照)と、各押圧台33で回転自在に軸支される複数個の矯正ローラー34・35と、各押圧台33と駆動台20との間に設けられるエアーシリンダー36とを含む。メインローラー22を複数個のエアーシリンダー36で、矯正ローラー34・35と中間ローラー32を介して浮動支持してあることを特徴とする。
The board | substrate bonding apparatus which concerns on this invention is the 1st workpiece | work W1 adsorbed and hold | maintained at the workpiece |
上記の基板貼合装置において、押圧台33に、両中間ローラー32の周面に同時に外接する矯正ローラー34と、矯正ローラー34と協同して各中間ローラー32を支持する2個の矯正ローラー35とを設ける。
In the above-described substrate bonding apparatus, the pressing table 33, the
各矯正ローラー35を回転自在に支持する調整台40を押圧台33で接離スライド可能に案内支持する。各調整台40と押圧台33との間に、両矯正ローラー35の中心間距離を調整する調整ねじ軸43を配置する。
The adjusting table 40 that rotatably supports each
ワーク支持構造5は、第1ワークW1の下面を吸着保持する複数個の吸着テーブル13と、各吸着テーブル13の姿勢を切り換え操作する操作器14とで構成する。各吸着テーブル13は操作器14で切り換え操作されて、第1ワークW1を第2ワークW2に対して所定の貼合隙間Eを介して正対させる作動位置と、作動位置から変位してローラー機構6の移動軌跡の外へ退避する待機位置とに変位できる(図5参照)。ローラー機構6が貼合始端から貼合終端へ向かって移動するのに先行して、各吸着テーブル13を作動位置から待機位置へ順次切り換えながら第1ワークW1を第2ワークW2に貼合する。
The
本発明に係る別の基板貼合装置は、ワーク支持構造5に吸着保持される第1ワークW1と、可動テーブル3に吸着保持される第2ワークW2とを、所定の貼合隙間Eを介して正対させ、第1ワークW1をローラー機構6で第2ワークW2に押し付けて貼合を行なう基板貼合装置を前提とする。図7に示すように、ローラー機構6は、両ワークW1・W2の貼合始端から貼合終端の間を往復移動する駆動台20と、駆動台20で昇降可能に支持されるローラー支持枠21と、ローラー支持枠21で回転自在に軸支されるメインローラー22と、メインローラー22を押圧操作する押圧構造とを含む。押圧構造は、押圧台33と、押圧台33で回転自在に軸支される2個の矯正ローラー55・55と、各押圧台33と駆動台20との間に設けられて各押圧台33をメインローラー22へ向かって押し上げ操作する複数個のエアーシリンダー36とを含む。メインローラー22をエアーシリンダー36で矯正ローラー55・55を介して浮動支持してあることを特徴とする。
Another substrate bonding apparatus according to the present invention is configured such that the first work W1 sucked and held by the
本発明の基板貼合装置では、メインローラー22を、中間ローラー32を介して押圧構造で押圧操作して両ワークW1・W2の貼合を行なうようにした。また、押圧台33(図4参照)と、矯正ローラー34・35と、エアーシリンダー36などで押圧構造を構成し、メインローラー22を複数個のエアーシリンダー36で、矯正ローラー34・35と中間ローラー32を介して浮動支持するようにした。このように、メインローラー22を間接的に浮動支持し、各押圧台33をエアーシリンダー36で押し上げ付勢すると、メインローラー22のローラー周面における押圧力が中心軸方向に異なる状態において、各押圧台33を支持するエアーシリンダー36がごく僅かに昇降して押圧力の変化を吸収できる。
In the board | substrate bonding apparatus of this invention, the
例えば、両ワークW1・W2の貼合面が湾曲していると、湾曲部に臨むローラー周面の押圧力が低下するが、押圧力が低下するのと同時に、最寄の押圧台33がエアーシリンダー36で僅かに押し上げられてメインローラー22を局部的に押し付ける。これにより、メインローラー22のローラー周面を湾曲形状に追随してたわみ変形させ、両ワークW1・W2を確実に密着させることができる。また、メインローラー22の中心軸に沿って一定間隔おきに押圧台33を配置するので、両ワークW1・W2の貼合面の中央部分はもちろん、貼合面の全体を均等に押し付けることができる。したがって、貼合面に湾曲部やうねりがあるような場合でも両ワークW1・W2を適正に貼合でき、貼合製品の不良率を低下して生産性を向上できる。
For example, if the bonding surfaces of both the workpieces W1 and W2 are curved, the pressing force of the roller peripheral surface facing the curved portion is reduced, but at the same time the pressing force is reduced, the nearest
左右の中間ローラー32を、中央の矯正ローラー34と、左右の矯正ローラー35とで支持する押圧構造によれば、最小限の矯正ローラー34・35で左右の中間ローラー32を安定した状態に支持できる。したがって、押圧構造がいたずらに複雑化するのを避けて、基板貼合装置の製造コストを削減できる。また、3個の矯正ローラー34・35で中間ローラー32を介してメインローラー22を押圧するので、エアーシリンダー36による押し上げ力をメインローラー22に無駄なく確実に伝えることができる。
According to the pressing structure in which the left and right
押圧構造において、各第2ローラー35を支持する調整台40と押圧台33との間に設けた調整ねじ軸43を操作して、両第2ローラー35の中心間距離を調整できるようにすると、メインローラー22の中心軸方向のたわみを矯正できる。したがって、貼合時におけるメインローラー22による中心軸方向の押圧力を均一にできる。なお、調整ねじ軸43による調整作業は貼合開始前に予め行なっておく。
In the pressing structure, when the
複数個の吸着テーブル13と、各吸着テーブル13の姿勢を切り換え操作する操作器14とでワーク支持構造5を構成すると、ローラー機構6が接近移動するのに対応して、各吸着テーブル13の姿勢を待機位置へ順次切り換えながら両ワークW1・W2を調合できる。貼合時における第1ワークW1は、メインローラー22で押し上げられて第2ワークW2に密着している。しかし、メインローラー22より貼合終端寄りに位置する第1ワークW1の面壁は、依然として吸着テーブル13で吸着されて、第2ワークW2に対して貼合隙間Eを間にして正対している。そのため、第1ワークW1は貼合終端へ向かって下り傾斜した状態で(図5)第2ワークW2に貼合されることとなり、貼合面の間の空気をメインローラー22で強制的に押し出しながら、両ワークW1・W2を最後まで適正に貼合できる。
When the
本発明に係る別の基板貼合装置では、押圧台33と、押圧台33で支持される2個の矯正ローラー55・55と、各押圧台33を押し上げ操作するエアーシリンダー36などで押圧構造を構成し、メインローラー22を矯正ローラー55・55で直接的に支持するようにした。このように、一対の矯正ローラー55・55でメインローラー22を直接支持すると、中間ローラー32を省略して基板貼合装置の構造を簡素化できる。また、たわみ変形しやすいメインローラー22の軸心方向の中央部を矯正ローラー55・55で支持するので、両ワークW1・W2の貼合面の中央部が湾曲しているような場合に、両ワークW1・W2を適正に貼合できる。
In another substrate bonding apparatus according to the present invention, a pressing structure is formed by a pressing table 33, two
(実施例) 図1ないし図5は本発明に係る基板貼合装置の実施例を示す。図2および図3において基板貼合装置は、機台1の上部に固定される貼合枠2と、貼合枠2で揺動可能に支持される可動テーブル3と、貼合枠2の内部に配置される調整台4と、調整台4で支持されるワーク支持構造5と、ローラー機構6などで構成する。貼合枠2は上向きに開口する中空箱状に形成してある。
(Example) FIGS. 1-5 shows the Example of the board | substrate bonding apparatus which concerns on this invention. 2 and 3, the substrate bonding apparatus includes a
可動テーブル3は、貼合枠2に対して軸7を介して連結されており、軸7を中心にして揺動開閉できる。詳しくは、図示していないエアーシリンダーで可動テーブル3を軸7の回りに揺動操作することにより、テーブル表面が貼合枠2の上開口面に正対する貼合位置(図3に示す状態)と、貼合位置から180度反転した待機位置(図2に示す状態)との間で揺動できる。可動テーブル3のテーブル表面には、下向きに開口する角箱状の吸着チャンバー10が設けてある。
The movable table 3 is connected to the
吸着チャンバー10は、図示していない通路を介して真空ポンプ(真空源)に接続してあり、その開口面には通気可能なシルクスクリーン11が張設してある。可動テーブル3を待機位置に開放した状態で、第2ワークW2をシルクスクリーン11上に載置し、位置決めした状態で、吸着チャンバー10に真空圧を作用させることにより、第2ワークW2を吸着保持することができる。
The
調整台4は、アライメント装置8で前後、左右、および旋回する向きにそれぞれ変位操作されて位置調整でき、これによりワーク支持構造5で支持した第1ワークW1を、第2ワークW2に対して位置決めできる。この実施例における第1ワークW1は、液晶基板やプラズマディスプレイ基板などのガラス基板(基板)からなり、第2ワークW2は、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどの機能性シートからなる。第2ワークW2の貼合面には、透明な接着剤層が形成してある。なお、各図においては両ワークW1・W2を明確に視認できるよう、誇張した厚みで表現している。
The adjusting table 4 can be displaced by the
ワーク支持構造5は、上向きに開口する角箱状の2個の吸着テーブル13と、各吸着テーブル13を作動位置と待機位置との間で昇降操作するエアーシリンダー(操作器)14とで構成する。前後に長い吸着テーブル13は、図示していない通路を介して真空ポンプ(真空源)に接続してあり、その開口面には通気可能なシルクスクリーン15が張設してある(図5参照)。第1ワークW1を両シルクスクリーン15上に仮位置決めした状態で載置し、吸着テーブル13に真空圧を作用させることにより、第1ワークW1を吸着保持することができる。この状態で、調整台4をアライメント装置8で位置調整する。
The
吸着テーブル13を作動位置に切り換えた状態では、図3に示すように、第1ワークW1を第2ワークW2に対して、所定の貼合隙間Eを隔てた状態で上下に正対できる。また、吸着テーブル13を待機位置に切り換えた状態では、ローラー機構6の移動軌跡の下方へ吸着テーブル13を退避させることができる。図5に向かって左側の吸着テーブル13は待機位置に切り換えられており、図5に向かって右側の吸着テーブル13は作動位置に切り換えられている。貼合隙間Eは、両ワークW1・W2の厚みや弾性率の違いなどに応じて調整するが、通常は0.1〜5mmの範囲内で選択する。
In the state where the suction table 13 is switched to the operating position, as shown in FIG. 3, the first workpiece W1 can be opposed to the second workpiece W2 vertically with a predetermined bonding gap E therebetween. In the state where the suction table 13 is switched to the standby position, the suction table 13 can be retracted below the movement locus of the
ローラー機構6は、前後に長い駆動台20と、駆動台20で昇降可能に支持されるローラー支持枠21と、ローラー支持枠21で回転自在に軸支されるメインローラー22と、メインローラー22を支持する一対の中間ローラー32・32と、メインローラー22を中間ローラー32・32を介して浮動支持する押圧構造などで構成する。メインローラー22は、金属ローラの周面にゴム層を形成した複層のゴムローラーからなる。各中間ローラー32は、メインローラー22の下周面の2個所に外接する状態で配置されて、その両端がローラー支持枠21で回転自在に軸支してある。中間ローラー32は、軽量化のために金属筒体で形成してあり、その直径はメインローラー22の直径より小さく設定してある。
The
図3に示すように駆動台20は、貼合枠2の内底に配置したガイドレール23で往復スライド自在に案内されており、ステップモーター24の動力で往復駆動される無端状のベルト25に同行して、両ワークW1・W2の貼合始端から貼合終端の間を往復移動できる。符号26はガイドプーリーである。図4に示すようにローラー支持枠21の下部にはブラケット27が張り出してあり、ブラケット27に固定したスライドブッシュ28が、駆動台20に立設したガイド軸29で昇降自在に案内されている。
As shown in FIG. 3, the
押圧構造は、メインローラー22の中心軸に沿って配置される5個の押圧台33と、各押圧台33に支持される3個の矯正ローラー34・35・35と、各押圧台33を押し上げ操作する5個のエアーシリンダー36などで構成する。図1に示すように、押圧台33の上面の左右中央には前後一対のブラケット39が突設してあり、両ブラケット39で矯正ローラー34を軸37を介して回転自在に軸支している。また、押圧台33の上面の左右には、ブラケット39を間に挟む状態で左右一対の調整台40が配置してあり、これらの調整台40に設けたブラケット41で左右の矯正ローラー35を軸38を介して回転自在に軸支している。矯正ローラー34・35はそれぞれゴムローラーからなり、各ローラー34・35の直径は同じで、中間ローラー32の直径よりさらに小さく設定してある。
The pressing structure pushes up the five pressing tables 33 arranged along the central axis of the
各調整台40は、押圧台33に設けたガイド溝42で左右スライド自在に案内されており、調整台40と押圧台33との間に設けた調整ねじ軸43を回転操作することにより、同時に接近移動し、あるいは同時に離反移動できる。調整ねじ軸43の一側には右ねじが形成され、他側には左ねじが形成してある。各調整台40には調整ねじ軸43とかみ合う雌ねじ44が形成してある。調整ねじ軸43を操作して調整台40の位置を変更することにより、左右の矯正ローラー35・35の中心間距離を調整でき、同時に、3個の矯正ローラー34・35と中間ローラー32との外接位置を変更できる。このように、矯正ローラー34・35と中間ローラー32との外接位置を変更することにより、メインローラー22の中心軸方向のたわみを矯正して、メインローラー22による中心軸方向の押圧力を均一にできる。調整ねじ軸43による調整作業は、貼合作業前に行ない、貼合作業中に再調整することはほとんどない。
Each adjustment table 40 is guided by a
中央の矯正ローラー34は2個の中間ローラー32の下周面に同時に外接している。左右の矯正ローラー35は、各中間ローラー32の下周面に外接して、先の矯正ローラー34と協同して中間ローラー32を支持している。メインローラー22を均等に押圧するために、左右の中間ローラー32と左右の矯正ローラー35は、メインローラー22と中央の矯正ローラー34の中心どうしを結ぶ垂直線を対称軸にして、それぞれ左右対称に配置してある。メインローラー22が反時計回転方向へ回転するとき、2個の中間ローラー32は時計回転方向へ回転し、3個の矯正ローラー34・35・35はメインローラー22と同じ向きに回転する。
The
エアーシリンダー36は、駆動台20の上面側に形成した断面円形のシリンダー室47と、シリンダー室47内を昇降するピストン体48などで構成してある。シリンダー室47に加圧空気を作用させると、ピストン体48が上昇してメインローラー22を押し上げることができる。ピストン体48の上端は、押圧台33の下面に固定してある。符号49はシリンダー室47の上開口を塞ぐエンドキャップである。
The
両ワークW1・W2の貼合は、次のように行なう。駆動台20を両ワークW1・W2の貼合始端の下方に位置させ、一対の吸着テーブル13を作動位置に上昇させた状態で、その上面に第1ワークW1を載置し、仮り位置決めしたのち、真空圧を吸着テーブル13の内部に作用させて第1ワークW1を吸着保持する。同様に、開放された可動テーブル3の吸着チャンバー10に第2ワークW2を載置し、位置決め治具で位置決めしたのち、吸着チャンバー10に真空圧を作用させて第2ワークW2を吸着保持する。この状態で、可動テーブル3を貼合位置へ揺動操作して両ワークW1・W2を上下に正対させ、さらにアライメント装置8で第1ワークW1の位置を調整して、両ワークW1・W2を精密に位置決めする。
Bonding of both the works W1 and W2 is performed as follows. After placing the first work W1 on the upper surface of the
次に、エアーシリンダー36に加圧空気を送給して、両ワークW1・W2の貼合始端をメインローラー22で押圧する。この押圧状態のままで、駆動台20を貼合終端側へ向かって一定速度で移動させて、両ワークW1・W2を貼合する。このとき、ローラー機構6が貼合終端へ向かって移動するのに先行して、左右の吸着テーブル13を順次待機位置へ下降させる。
Next, pressurized air is supplied to the
図5に向かって右側の吸着テーブル13が待機位置へ下降するまでの間は、第1ワークW1の貼合終端側が吸着テーブル13で吸着されているため、第1ワークW1は図5に示すように緩やかなS字状に弾性変形した状態で、貼合終端へ向かって下り傾斜する。そのため、貼合面の間の空気をメインローラー22で強制的に押し出しながら両ワークW1・W2を貼合できる。図5に向かって右側の吸着テーブル13が待機位置へ下降した状態では、第1ワークW1の貼合終端側は自重で下向きにたわむので、先の貼合状態と同様に、貼合面に空気が挟み込まれるのを防止しながら、最後まで適正に貼合を行なえる。
Until the right suction table 13 is lowered to the standby position toward FIG. 5, the first work W <b> 1 is sucked by the suction table 13, and therefore the first work W <b> 1 is as shown in FIG. 5. In a state of being elastically deformed into a gentle S shape, it is inclined downward toward the bonding end. Therefore, both work W1 * W2 can be bonded, forcing the air between bonding surfaces to the
この実施例では、メインローラー22を中間ローラー32を介して、3個をひと組とする矯正ローラー34・35・35で間接的に支持するようにした。さらに、矯正ローラー34・35・35をメインローラー22の中心軸方向の5個所に配置して、エアーシリンダー36で押圧台33を常に押し上げ付勢することにより、メインローラー22および中間ローラー32を押圧構造で浮動支持するようにした。このように5組の矯正用の矯正ローラー34・35・35で、メインローラー22を中間ローラー32を介して押し上げ付勢すると、メインローラー22のローラー周面における押圧力が中心軸方向に異なるとき、各押圧台33がごく僅かに昇降して押圧力の変化を吸収できる。
In this embodiment, the
例えば、両ワークW1・W2の貼合面が湾曲していると、湾曲部に臨むメインローラー22のローラー周面の押圧力が低下し、これと同時に、最寄の押圧台33のエアーシリンダー36の押し上げ反力が低下する。このとき全てのエアーシリンダー36には、均等な圧力が作用しているため、押し上げ反力が低下した個所のエアーシリンダー36は、その押し付け力(押し上げ反力)が所定の値になるまで僅かに押し上げられて、メインローラー22の周面の押圧力の低下を補なう。その結果、メインローラー22のローラー周面が湾曲部に追随してたわみ変形するので、両ワークW1・W2を確実に密着させることができる。したがって、貼合面に湾曲部やうねりがあるような場合でも、貼合不良の発生を防いで、貼合製品の生産性を向上できる。
For example, if the bonding surfaces of both the workpieces W1 and W2 are curved, the pressing force on the roller peripheral surface of the
図6は、基板貼合装置の別の実施例を示す。そこでは、貼合枠2の開口面にシルクスクリーン50を張設して、シルクスクリーン50と、その下面に配置した吸着テーブル13で第1ワークW1を支持する。この場合には、貼合枠2の内部に真空圧を作用させて、シルクスクリーン50、および吸着テーブル13で支持した第1ワークW1を吸着保持する。そのために吸着テーブル13は平板状に形成されて、板面に一群の吸着穴が形成してある。この実施例における貼合隙間Eの調整は、可動テーブル3の側で行なうことができ、あるいは貼合枠2の全体を昇降機構で昇降して行なうことができる。第1ワークW1をシルクスクリーンで支持すると、第1ワークW1がガラス基板である場合はもちろんのこと、自己保形性のない機能性シートであっても面一に支持して皺を発生する余地のない状態で吸着保持できる。
FIG. 6 shows another embodiment of the substrate bonding apparatus. There, the
図7は、基板貼合装置のさらに別の実施例を示す。そこでは、メインローラー22の周面2個所を、押圧台33上に設けた2個の矯正ローラー55・55で直接支持する点が先の実施例と異なる。矯正ローラー55の軸心方向の長さは、先の中間ローラー32の長さの半分以下に設定してあり、メインローラー22の軸心方向の中央部を支持している。このように、一対の矯正ローラー55・55でメインローラー22を直接支持すると、中間ローラー32を省略して基板貼合装置の構造を簡素化できる。また、たわみ変形しやすいメインローラー22の軸心方向の中央部を矯正ローラー55・55で支持するので、貼合面の中央部が湾曲しているような場合に、両ワークW1・W2を密着させることができる。ただし、先の実施例の貼合装置に比べると、矯正ローラー34・35の長さが大きく、しかも配置個数が少ないので矯正できる領域と、矯正できる湾曲部の大きさとに限界がある。他は先の実施例と同じであるので、同じ部材に同じ符号を付して、その説明を省略する。
FIG. 7 shows still another embodiment of the substrate bonding apparatus. There, it differs from the previous embodiment in that the two peripheral surfaces of the
上記の実施例では、メインローラー22を金属ローラの周面にゴム層を形成したゴムローラーで構成したがその必要はなく、全体がゴムのみで形成してあるローラーで形成することができる。また、必要があれば、プラスチック製のローラーでメインローラー22を形成することができる。矯正ローラー34・35は、各中間ローラー32の周面2個所を支持すれば足りるが、必要があれば各中間ローラー32の周面2個所以上を3個以上の矯正ローラー34・35で支持することができる。
In the above embodiment, the
押圧台33およびエアーシリンダー36の配置個数は、多いに越したことはないが、少なくともメインローラー22に沿って3個以上配置することが好ましい。吸着テーブル13は作動位置と待機位置との間で昇降操作する必要はなく、吸着テーブル13をエアーシリンダー14で揺動操作して、作動位置と待機位置とに切り換えることができる。操作器14は、エアーシリンダー以外の流体圧シリンダーや、電動シリンダーなどを適用することができる。
The number of the pressing tables 33 and the
2 貼合枠
3 可動テーブル
5 ワーク支持構造
6 ローラー機構
10 吸着チャンバー
13 吸着テーブル
20 駆動台
21 ローラー支持枠
22 メインローラー
32 中間ローラー
33 押圧台
34 矯正ローラー
35 矯正ローラー
36 エアーシリンダー
40 調整台
43 調整ねじ軸
2
Claims (5)
ローラー機構(6)は、両ワーク(W1・W2)の貼合始端から貼合終端の間を往復移動する駆動台(20)と、駆動台(20)で昇降可能に支持されるローラー支持枠(21)と、それぞれローラー支持枠(21)で回転自在に軸支されるメインローラー(22)、およびメインローラー(22)の周面2個所を支持する中間ローラー(32)と、メインローラー(22)を中間ローラー(32)を介して押圧操作する押圧構造とを含み、
押圧構造が、メインローラー(22)の中心軸に沿って一定間隔おきに配置される複数個の押圧台(33)と、各押圧台(33)で回転自在に軸支される複数個の矯正ローラー(34・35)と、各押圧台(33)と駆動台(20)との間に設けられるエアーシリンダー(36)とを含み、
メインローラー(22)が複数個のエアーシリンダー(36)で、矯正ローラー(34・35)と中間ローラー(32)を介して浮動支持してあることを特徴とする基板貼合装置。 The first work (W1) sucked and held by the work support structure (5) and the second work (W2) sucked and held by the movable table (3) are connected to each other through a predetermined bonding gap (E). It is a substrate bonding apparatus that performs bonding by pressing the first work (W1) against the second work (W2) with the roller mechanism (6),
The roller mechanism (6) includes a drive base (20) that reciprocates between the bonding end of the workpieces (W1 and W2) and a roller support frame that is supported by the drive base (20) so as to be movable up and down. (21), a main roller (22) rotatably supported by a roller support frame (21), an intermediate roller (32) supporting two peripheral surfaces of the main roller (22), and a main roller ( And 22) a pressing structure for pressing the intermediate roller (32).
The pressing structure has a plurality of pressing tables (33) arranged at regular intervals along the central axis of the main roller (22), and a plurality of corrections rotatably supported by the pressing tables (33). A roller (34, 35), and an air cylinder (36) provided between each pressing table (33) and the driving table (20),
The substrate laminating apparatus, wherein the main roller (22) is a plurality of air cylinders (36), and is float-supported via the correction rollers (34, 35) and the intermediate roller (32).
各調整台(40)と押圧台(33)との間に、両矯正ローラー(35)の中心間距離を調整する調整ねじ軸(43)が配置してある請求項2に記載の基板貼合装置。 An adjustment table (40) that rotatably supports each correction roller (35) is supported and slidable by the pressing table (33) so as to be able to contact and separate.
The board | substrate bonding of Claim 2 by which the adjustment screw axis | shaft (43) which adjusts the center distance of both the correction | amendment rollers (35) is arrange | positioned between each adjustment stand (40) and a press stand (33). apparatus.
各吸着テーブル(13)は操作器(14)で切り換え操作されて、第1ワーク(W1)を第2ワーク(W2)に対して所定の貼合隙間(E)を介して正対させる作動位置と、作動位置から変位してローラー機構(6)の移動軌跡の外へ退避する待機位置とに変位でき、
ローラー機構(6)が貼合始端から貼合終端へ向かって移動するのに先行して、各吸着テーブル(13)を作動位置から待機位置へ順次切り換えながら第1ワーク(W1)を第2ワーク(W2)に貼合する請求項2または3に記載の基板貼合装置。 The work support structure (5) includes a plurality of suction tables (13) for sucking and holding the lower surface of the first work (W1), and an operating device (14) for switching the posture of each suction table (13). Has been
Each suction table (13) is operated to be switched by the operating device (14), and the first work (W1) is directly opposed to the second work (W2) via a predetermined bonding gap (E). And can be displaced from the operating position to a standby position where the roller mechanism (6) retreats outside the movement locus,
Prior to the roller mechanism (6) moving from the bonding start end toward the bonding end, the first workpiece (W1) is switched to the second workpiece while sequentially switching each suction table (13) from the operating position to the standby position. The board | substrate bonding apparatus of Claim 2 or 3 bonded to (W2).
ローラー機構(6)は、両ワーク(W1・W2)の貼合始端から貼合終端の間を往復移動する駆動台(20)と、駆動台(20)で昇降可能に支持されるローラー支持枠(21)と、ローラー支持枠(21)で回転自在に軸支されるメインローラー(22)と、メインローラー(22)を押圧操作する押圧構造とを含み、
押圧構造が、押圧台(33)と、押圧台(33)で回転自在に軸支される2個の矯正ローラー(55・55)と、各押圧台(33)と駆動台(20)との間に設けられて各押圧台(33)をメインローラー(22)へ向かって押し上げ操作する複数個のエアーシリンダー(36)とを含み、
メインローラー(22)がエアーシリンダー(36)で矯正ローラー(55・55)を介して浮動支持してあることを特徴とする基板貼合装置。 The first work (W1) sucked and held by the work support structure (5) and the second work (W2) sucked and held by the movable table (3) are connected to each other through a predetermined bonding gap (E). It is a substrate bonding apparatus that performs bonding by pressing the first work (W1) against the second work (W2) with the roller mechanism (6),
The roller mechanism (6) includes a drive base (20) that reciprocates between the bonding end of the workpieces (W1 and W2) and a roller support frame that is supported by the drive base (20) so as to be movable up and down. (21), a main roller (22) rotatably supported by the roller support frame (21), and a pressing structure for pressing the main roller (22),
The pressing structure includes a pressing table (33), two correction rollers (55, 55) rotatably supported by the pressing table (33), and each pressing table (33) and driving table (20). A plurality of air cylinders (36) provided in between to push up each pressing platform (33) toward the main roller (22),
The board | substrate bonding apparatus characterized by the main roller (22) floatingly supporting via the correction | amendment roller (55 * 55) with the air cylinder (36).
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