JP5176876B2 - シミュレーション方法、シミュレーション装置、及びシミュレーションプログラム - Google Patents
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Description
本実施形態について説明する前に、本実施形態の予備的事項について説明する。
以下に、本実施形態に係るシミュレーション方法について説明する。なお、以降の説明では、予備的事項で説明したのと同じベクトルや構成要素には予備的事項と同じ表現を用い、以下ではその説明を省略する。
前記演算部が、前記露光マスクを透過する前の露光光の振幅ベクトルを前記変換行列に乗じることにより、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを求めるステップと、
前記演算部が、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルに基づいて、前記露光マスクの投影像の光強度を算出するステップと、
を有することを特徴とするシミュレーション方法。
前記変換行列を求めるステップにおいて、前記演算部が前記変換行列を前記点光源毎に計算することにより、前記変換行列を前記点光源の位置座標の関数として算出し、
前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを求めるステップにおいて、前記演算部が、前記照明の任意の場所から出た前記露光光の振幅ベクトルを、該場所の近傍の前記点光源の位置座標での前記変換行列に乗じることにより、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを前記照明の場所毎に求めることを特徴とする付記1に記載のシミュレーション方法。
前記変換行列を求めるステップにおいて、前記演算部が、前記マックスウェル方程式を解いて算出された前記透過光の前記振幅ベクトルと、前記点光源から出た前記露光光の前記振幅ベクトルと前記変換行列の積とを等置したベクトル方程式を解くことにより、前記変換行列を前記位置座標と前記回折次数の関数として求めることを特徴とする付記3に記載のシミュレーション方法。
前記演算部が、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルの各成分を前記回折次数について逆フーリエ変換し、該逆フーリエ変換により得られたベクトルの絶対値の二乗を算出し、該算出された値を前記場所の位置座標について総和することにより行われることを特徴とする付記3〜5のいずれかに記載のシミュレーション方法。
前記演算部が、
前記露光マスクに入射する入射光の振幅ベクトルと、前記露光マスクから出る透過光の振幅ベクトルとの間の変換行列を求め、
前記演算部が、前記露光マスクを透過する前の露光光の振幅ベクトルを前記変換行列に乗じることにより、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを求め、
前記演算部が、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルに基づいて、前記露光マスクの前記投影像の光強度を算出することを特徴とするシミュレーション装置。
前記露光マスクを透過する前の露光光の振幅ベクトルを前記変換行列に乗じることにより、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを求めるステップと、
前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルに基づいて、前記露光マスクの投影像の光強度を算出するステップと、
をコンピュータに実行させるためのシミュレーションプログラム。
前記露光マスクを透過する前の露光光の振幅ベクトルを前記変換行列に乗じることにより、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを求めるステップと、
前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルに基づいて、前記露光マスクの投影像の光強度を算出するステップと、
をコンピュータに実行させるためのシミュレーションプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
Claims (6)
- 演算部が、露光光を出す照明を複数の点光源に分割するステップと、
前記演算部が、露光マスクに入射する入射光の振幅ベクトルと、前記露光マスクから出る透過光の振幅ベクトルとの間の変換行列を前記点光源毎に計算することにより、前記変換行列を前記点光源の位置座標の関数として求めるステップと、
前記演算部が、前記照明の任意の場所から出た前記露光光の振幅ベクトルを、該場所の近傍の前記点光源の位置座標での前記変換行列に乗じることにより、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを前記照明の場所毎に求めるステップと、
前記演算部が、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルに基づいて、前記露光マスクの投影像の光強度を算出するステップと、
を有することを特徴とするシミュレーション方法。 - 前記変換行列を求めるステップにおいて、前記演算部が、該変換行列を前記透過光の回折次数の関数として求めることを特徴とする請求項1に記載のシミュレーション方法。
- 前記演算部が、マックスウェル方程式を解くことにより、前記点光源から出た露光光の振幅ベクトルに基づいて、前記露光マスクを透過した前記透過光の振幅ベクトルを前記点光源の位置座標と前記透過光の回折次数の関数として算出するステップを更に有し、
前記変換行列を求めるステップにおいて、前記演算部が、前記マックスウェル方程式を解いて算出された前記透過光の前記振幅ベクトルと、前記点光源から出た前記露光光の前記振幅ベクトルと前記変換行列の積とを等置したベクトル方程式を解くことにより、前記変換行列を前記位置座標と前記回折次数の関数として求めることを特徴とする請求項2に記載のシミュレーション方法。 - 前記マックスウェル方程式を解いて前記振幅ベクトルを算出するステップにおいて前記演算部が行う計算の回数が、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを求めるステップにおいて前記演算部が行う計算の回数よりも少ないことを特徴とする請求項3に記載のシミュレーション方法。
- 露光マスクの投影像の光強度をシミュレーションする演算部を備え、
前記演算部が、
露光光を出す照明を複数の点光源に分割し、
前記露光マスクに入射する入射光の振幅ベクトルと、前記露光マスクから出る透過光の振幅ベクトルとの間の変換行列を前記点光源毎に計算することにより、前記変換行列を前記点光源の位置座標の関数として求め、
前記照明の任意の場所から出た前記露光光の振幅ベクトルを、該場所の近傍の前記点光源の位置座標での前記変換行列に乗じることにより、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを前記照明の場所毎に求め、
前記演算部が、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルに基づいて、前記露光マスクの前記投影像の光強度を算出することを特徴とするシミュレーション装置。 - 露光光を出す照明を複数の点光源に分割するステップと、
露光マスクに入射する入射光の振幅ベクトルと、前記露光マスクから出る透過光の振幅ベクトルとの間の変換行列を前記点光源毎に計算することにより、前記変換行列を前記点光源の位置座標の関数として求めるステップと、
前記照明の任意の場所から出た前記露光光の振幅ベクトルを、該場所の近傍の前記点光源の位置座標での前記変換行列に乗じることにより、前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルを前記照明の場所毎に求めるステップと、
前記露光マスクを透過した前記露光光の振幅ベクトルに基づいて、前記露光マスクの投影像の光強度を算出するステップと、
をコンピュータに実行させるためのシミュレーションプログラム。
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