JP5152784B2 - Bonding method - Google Patents

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本発明は、フッ素樹脂で構成されたフッ素樹脂部材を他の部材に接着する接着方法に関する。 The present invention relates to adhesive how to bond the fluorocarbon resin member made of a fluorocarbon resin to another member.

一般に、フッ素樹脂は、耐薬品性、耐熱性、電気絶縁性、防汚性、耐候性、耐紫外線劣化性、撥水撥油性、低摩擦係数など、他の樹脂に見られない優れた性質を備えている。ここで、従来から、金属部材の表面を保護する目的から、このフッ素樹脂で構成されたフッ素樹脂部材をシート状にして、金属部材の表面に接着することが行われている。そして、このフッ素樹脂部材を金属部材に接着させる手段として、接着剤が用いられていた。   In general, fluororesins have excellent properties not found in other resins, such as chemical resistance, heat resistance, electrical insulation, antifouling properties, weather resistance, UV resistance, water and oil repellency, and low friction coefficient. I have. Here, conventionally, for the purpose of protecting the surface of the metal member, the fluororesin member made of the fluororesin is formed into a sheet and adhered to the surface of the metal member. An adhesive has been used as means for bonding the fluororesin member to the metal member.

しかしながら、接着剤を使用すると、接着剤と部材との親和性が悪いため、接着強度が低くなったり、また接着ムラがあったり、部材が相互に剥がれてしまうなどの問題がある。   However, when an adhesive is used, the affinity between the adhesive and the member is poor, resulting in problems such as low adhesive strength, uneven adhesion, and peeling of the members from each other.

また、接着剤と部材との親和性を上げるために、薬液処理などでフッ素樹脂部材の表面改質を行っているが、接着剤を必要とするために接着剤層(数10μm)が存在し、部材の特性に影響が出てしまう問題が残る。   In addition, in order to increase the affinity between the adhesive and the member, the surface of the fluororesin member is modified by chemical treatment or the like, but since an adhesive is required, an adhesive layer (several tens of μm) exists. The problem of affecting the characteristics of the members remains.

また、従来の薬剤処理による表面改質では、製造工程が複雑で長くなり(薬液処理、水洗い、乾燥、接着剤塗布、接着などが必要)、また、装置が大型化する問題がある。
特開2006−294571号公報
Further, the surface modification by the conventional chemical treatment has a problem that the manufacturing process is complicated and long (chemical treatment, washing with water, drying, adhesive application, adhesion, etc. are required), and the apparatus becomes large.
JP 2006-294571 A

ところで、接着剤を用いずに部材同士を接着しようとすると、部材の融点付近あるいはそれ以上の温度で、溶着させなければならない。その温度で部材同士を溶着させると、部材の組成の変化、形状の変形、変色などが生じてしまうことがあり、使用できる部材の材質、用途が限定されてしまう不便さがある。   By the way, if it is going to adhere | attach members without using an adhesive agent, you have to weld at the temperature of the melting | fusing point vicinity of a member or more. When the members are welded at that temperature, the composition of the members, the deformation of the shape, the discoloration, and the like may occur, and there is an inconvenience that the materials and applications of the usable members are limited.

また、接着剤を用いずに部材同士を接着できるようにするためには、部材の化学的又は物理的な構造及び組成から変更しなければならず、膨大な時間と経費が必要となってくる。また、各部材の化学的又は物理的な構造及び組成を変えると、部材の優れた特性(例えば、耐熱性、強度、絶縁性など)を犠牲にすることにもなる。   Further, in order to be able to bond members without using an adhesive, it is necessary to change the chemical or physical structure and composition of the members, which requires enormous time and cost. . Also, changing the chemical or physical structure and composition of each member also sacrifices the superior properties (eg, heat resistance, strength, insulation, etc.) of the member.

そこで、本発明は、フッ素樹脂部材と他の部材を、接着剤を用いることなく、かつ各部材の化学的又は物理的な構造及び組成を変化させることなく、接着することができる接着方法を提供することを目的とする。 Accordingly, the present invention is a fluorocarbon resin member and other members, without using an adhesive and without changing the chemical or physical structure and composition of each member, bonding how that can be bonded to The purpose is to provide.

請求項1に記載の発明は、フッ素樹脂で構成されたフッ素樹脂部材を、金属、ガラス樹脂又はシリコン樹脂のいずれかで構成された他の部材に、接着剤を用いることなく接着する接着方法であって、前記フッ素樹脂部材の表面をプラズマにより改質する表面改質工程と、常温及び常圧の下で、前記表面改質工程で改質された前記フッ素樹脂部材の前記表面を前記他の部材に前記接着剤を介さずに接合する接合工程と、を有することを特徴とする。 The invention according to claim 1 is an adhesion method in which a fluororesin member made of fluororesin is bonded to another member made of metal, glass resin or silicon resin without using an adhesive. there, the surface modification step of modifying the surface of the fluorine resin member by plasma, under normal temperature and normal pressure, the surface of the fluorine resin member that has been modified by the surface modification step, the other And a joining step of joining to the member without using the adhesive.

請求項1に記載の発明によれば、表面改質工程において、フッ素樹脂部材の表面がプラズマにより改質される。次に、接合工程において、常温及び常圧の下で、表面改質されたフッ素樹脂部材の表面が、金属、ガラス樹脂又はシリコン樹脂のいずれかで構成された他の部材に接着剤を介さずに接合される。これにより、フッ素樹脂部材は、他の部材に強固に接着する。このように、本発明の接着方法によれば、接着剤を用いることなく、かつ各部材の化学的又は物理的な構造及び組成を変えることなく、フッ素樹脂部材と他の部材を容易かつ確実に接着することができる。
また、接合工程において、常温の下で、フッ素樹脂部材と他の部材とが接合されることにより、各部材の組成が変化したり、各部材の形状が変形したり、各部材が変色してしまうことを防止できる。
According to the first aspect of the present invention, in the surface modification step, the surface of the fluororesin member is modified by plasma. Next, in the joining process, the surface of the fluororesin member whose surface is modified at normal temperature and normal pressure does not intervene with other members made of any of metal, glass resin, or silicon resin. To be joined. Thereby, a fluororesin member adhere | attaches firmly on another member. As described above, according to the bonding method of the present invention, the fluororesin member and other members can be easily and reliably used without using an adhesive and without changing the chemical or physical structure and composition of each member. Can be glued.
Also, in the joining process, the composition of each member changes, the shape of each member changes, or each member changes color by joining the fluororesin member and other members at room temperature. Can be prevented.

次に、本発明の第1実施形態に係る接着方法について、図面を参照して説明する。   Next, the bonding method according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

先ず、本実施形態の接着方法を構成する表面改質工程を実施するための大気圧プラズマ処理装置について説明する。図1に示すように、大気圧プラズマ処理装置10は、印加電極12を備えている。この印加電極12と対向する位置には接地電極14が配置されている。なお、印加電極12と接地電極14の一方または両方の電極は、誘電体で覆われている。接地電極14は、地面にアース接続されている。   First, an atmospheric pressure plasma processing apparatus for carrying out the surface modification step constituting the bonding method of this embodiment will be described. As shown in FIG. 1, the atmospheric pressure plasma processing apparatus 10 includes an application electrode 12. A ground electrode 14 is disposed at a position facing the application electrode 12. One or both of the application electrode 12 and the ground electrode 14 are covered with a dielectric. The ground electrode 14 is grounded to the ground.

また、接地電極14の一方の端部側には、フッ素樹脂シート(フッ素樹脂部材)Sを印加電極12と接地電極14との間に送り出すロール状の送出装置16が配置されている。また、接地電極14の他方の端部側には、表面改質されたフッ素樹脂シートSを巻き取るロール状の巻取装置64が配置されている。   Further, on one end side of the ground electrode 14, a roll-shaped delivery device 16 that delivers a fluororesin sheet (fluororesin member) S between the application electrode 12 and the ground electrode 14 is disposed. Further, a roll-shaped winding device 64 for winding the surface-modified fluororesin sheet S is disposed on the other end side of the ground electrode 14.

また、接地電極14の両端部近傍には、フッ素樹脂シートSに皺が発生しないように下方からフッ素樹脂シートSを支持する支持ロール20、22がそれぞれ配置されている。これにより、フッ素樹脂シートSの表面改質部は平面状になる。なお、送出装置16及び巻取装置64は、図示しないモータなどの駆動源に接続されている。これにより、送出装置16及び巻取装置64は、駆動源からの駆動力により回転駆動できるようになっている。   In addition, support rolls 20 and 22 that support the fluororesin sheet S from below are disposed near both ends of the ground electrode 14 so that wrinkles are not generated in the fluororesin sheet S. Thereby, the surface modification part of the fluororesin sheet | seat S becomes planar shape. The sending device 16 and the winding device 64 are connected to a driving source such as a motor (not shown). Thereby, the sending device 16 and the winding device 64 can be rotationally driven by the driving force from the driving source.

ここで、フッ素樹脂シートSは、フィルム状又はシート状に形成されていることが好ましいが、これに限られるものではなく、例えば、板状、チューブ状、バルク状など、改質表面が平面となるものであれば、種々の形状のものを用いることができる。また、フッ素樹脂シートSは、分子内にフッ素原子を含むものであれば、特に限定されるものではない。具体的には、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、テトラフルオロエチレン−エチレン共重合体(ETFE)、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)、ポリビニリデンフルオライド(PVDF)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)などが挙げられる。   Here, the fluororesin sheet S is preferably formed in a film shape or a sheet shape, but is not limited thereto. For example, the modified surface has a flat surface such as a plate shape, a tube shape, or a bulk shape. If it becomes, the thing of various shapes can be used. The fluororesin sheet S is not particularly limited as long as it contains a fluorine atom in the molecule. Specifically, polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), polyvinylidene fluoride (PVDF), polychlorotriethylene Examples include fluoroethylene (PCTFE).

また、印加電極12には、マッチング回路24を介して高周波電源26が電気的に接続されている。この高周波電源26により印加電極12と接地電極14との間に高周波電圧が印加される。また、印加電極12には、導管28により混合器30が接続されている。   A high frequency power supply 26 is electrically connected to the application electrode 12 via a matching circuit 24. A high frequency voltage is applied between the application electrode 12 and the ground electrode 14 by the high frequency power source 26. A mixer 30 is connected to the application electrode 12 by a conduit 28.

混合器30には、導管32によりガス流量計測装置34を介して第1の処理ガス源36が接続されている。また、混合器30には、導管38により気化器40及びガス流量計測装置42を介して第2の処理ガス源44が接続されている。この気化器40には、導管46により電磁バルブ48を介してエタノール供給源50が接続されている。   A first processing gas source 36 is connected to the mixer 30 via a gas flow rate measuring device 34 by a conduit 32. Further, a second processing gas source 44 is connected to the mixer 30 via a vaporizer 40 and a gas flow rate measuring device 42 by a conduit 38. An ethanol supply source 50 is connected to the vaporizer 40 via a solenoid valve 48 by a conduit 46.

ここで、第1の処理ガス源36及び第2の処理ガス源44の内部には、ヘリウム(He)、アルゴン(Ar)、ネオン(Ne)などの希ガスや、窒素(N)などの不活性ガスが充填されている。第1の処理ガス源36及び第2の処理ガス源44の内部には、これら単体の不活性ガスが充填されていてもよく、また数種類の不活性ガスが混合したガスが充填されていてもよいが、表面改質の効果が高いヘリウム(He)ガスが充填されていることが特に好ましい。 Here, inside the first processing gas source 36 and the second processing gas source 44, noble gases such as helium (He), argon (Ar), and neon (Ne), nitrogen (N 2 ), etc. Filled with inert gas. The first processing gas source 36 and the second processing gas source 44 may be filled with a single inert gas, or may be filled with a mixture of several types of inert gases. Although it is good, it is particularly preferable to be filled with helium (He) gas having a high surface modification effect.

また、エタノール供給源50にはエタノール(COH)が充填されているが、エタノール(COH)に限られるものではなく、例えば、メタノール(CHOH)など、炭素数4以下の第1級アルコール又は第2級アルコールである低級アルコールであればよい。 Although the ethanol supply 50 ethanol (C 2 H 5 OH) is filled, it is not limited to ethanol (C 2 H 5 OH), for example, methanol (CH 3 OH), such as the number of carbon atoms Any lower alcohol that is 4 or less primary alcohol or secondary alcohol may be used.

次に、第1実施形態の接着方法について説明する。
第1実施形態の接着方法は、フッ素樹脂シートSと、金属、シリコン樹脂又はガラス樹脂のいずれかで構成される他の部材と、を強固に接着させる方法である。以下、他の部材として、金属部材を例に挙げて詳細に説明する。
Next, the bonding method of the first embodiment will be described.
The adhesion method according to the first embodiment is a method in which the fluororesin sheet S and another member made of metal, silicon resin, or glass resin are firmly adhered. Hereinafter, as another member, a metal member will be described as an example and described in detail.

図2に示すように、接着処理では、フッ素樹脂シートSの表面改質工程が実行される(S100)。表面改質工程は、図1に示す大気圧プラズマ処理装置10を用いて実行される。すなわち、図1に示すように、駆動源からの駆動により送出装置16及び巻取装置64が回転駆動されて、フッ素樹脂シートSが印加電極12と接地電極14との間に送り出される。このとき、印加電極12と接地電極14との間に位置するフッ素樹脂シートSの表面処理部は、フッ素樹脂シートSの表面処理部の近傍が各支持ロール20、22により下方から支持されているので、平面状となり、かつ皺がない状態となっている。   As shown in FIG. 2, in the bonding process, a surface modification step of the fluororesin sheet S is executed (S100). The surface modification step is performed using the atmospheric pressure plasma processing apparatus 10 shown in FIG. That is, as shown in FIG. 1, the feeding device 16 and the winding device 64 are rotationally driven by driving from a driving source, and the fluororesin sheet S is fed between the application electrode 12 and the ground electrode 14. At this time, in the surface treatment part of the fluororesin sheet S positioned between the application electrode 12 and the ground electrode 14, the vicinity of the surface treatment part of the fluororesin sheet S is supported from below by the support rolls 20 and 22. Therefore, it is flat and has no wrinkles.

また、エタノール供給源50から液体のエタノールが導管46を通って気化器40に供給される。この気化器40によりエタノールが気化される。また、第2の処理ガス供給源44から不活性ガスが所定の流量だけ導管38を通って気化器40に供給される。気化器40で気体にされたエタノールは、第2の処理ガス供給源44から供給された不活性ガスによりバブリングされ、このバブリングされたガスが混合器30に供給される。このとき、第2の処理ガス供給源44から気化器40に供給される不活性ガスの流量がガス流量計測装置42により計測され、その計測値に基づいて電磁バルブ48が制御されることにより、エタノール供給源50から気化器40に供給されるエタノールの流量が制御される。このように、気化器40では、エタノールが気化されるとともに、第2の処理ガス源44から供給された不活性ガスと気化されたエタノールとが混合されて混合ガスとなる。   Further, liquid ethanol is supplied from the ethanol supply source 50 to the vaporizer 40 through the conduit 46. Ethanol is vaporized by the vaporizer 40. In addition, an inert gas is supplied from the second processing gas supply source 44 to the vaporizer 40 through the conduit 38 at a predetermined flow rate. The ethanol gasified by the vaporizer 40 is bubbled by the inert gas supplied from the second processing gas supply source 44, and the bubbled gas is supplied to the mixer 30. At this time, the flow rate of the inert gas supplied from the second processing gas supply source 44 to the vaporizer 40 is measured by the gas flow rate measuring device 42, and the electromagnetic valve 48 is controlled based on the measured value. The flow rate of ethanol supplied from the ethanol supply source 50 to the vaporizer 40 is controlled. Thus, in the vaporizer 40, ethanol is vaporized, and the inert gas supplied from the second processing gas source 44 and the vaporized ethanol are mixed to form a mixed gas.

また、第1の処理ガス源36からは所定の流量の不活性ガスが導管32を通って混合器30に供給される。この第1の処理ガス源36から供給される不活性ガスは、キャリアガスとして作用する。混合器30では、第2の処理ガス源44から供給された不活性ガスと気化されたエタノールとが混合された混合ガスと、第1の処理ガス源36から供給された不活性ガスとが混合される。これにより、混合器30では、希釈ガス(処理ガス)が生成される。混合器30で生成された希釈ガス(処理ガス)が導管28を通って印加電極12と接地電極14との間に供給される。   Further, an inert gas having a predetermined flow rate is supplied from the first processing gas source 36 to the mixer 30 through the conduit 32. The inert gas supplied from the first processing gas source 36 acts as a carrier gas. In the mixer 30, the mixed gas obtained by mixing the inert gas supplied from the second processing gas source 44 and the vaporized ethanol and the inert gas supplied from the first processing gas source 36 are mixed. Is done. Thereby, in the mixer 30, dilution gas (processing gas) is produced | generated. Dilution gas (processing gas) generated in the mixer 30 is supplied between the application electrode 12 and the ground electrode 14 through the conduit 28.

一方、印加電極12と接地電極14との間には、高周波電源26から高周波電圧が印加される。このときの周波数は、高周波(数百kHzから数十MHz)が用いられるが、特に、工業用周波数である13.56MHzとすることが好ましい。また、印加電極12と接地電極14との間は、大気圧(1013hPa)の近傍の圧力(900hPa以上1013hPa以下)となっている。   On the other hand, a high frequency voltage is applied from the high frequency power supply 26 between the application electrode 12 and the ground electrode 14. A high frequency (several hundred kHz to several tens of MHz) is used as the frequency at this time, and it is particularly preferable to set the frequency to 13.56 MHz, which is an industrial frequency. Further, the pressure between the application electrode 12 and the ground electrode 14 is a pressure (900 hPa or more and 1013 hPa or less) near atmospheric pressure (1013 hPa).

なお、印加電極12と接地電極14との間に作用する圧力を900hPaよりも小さくすると、真空ポンプや真空容器が必要となり、設備の製造コスト及び設備のランニングコストが増大するため、不具合となる。また、印加電極12と接地電極14との間に作用する圧力を1013hPaよりも大きくすると、処理ガスが外部に漏れてしまうことを防止するために耐圧容器あるいはより高い気密性が必要となり好ましくない。   If the pressure acting between the application electrode 12 and the ground electrode 14 is less than 900 hPa, a vacuum pump and a vacuum container are required, which increases the manufacturing cost of the equipment and the running cost of the equipment, which is a problem. Further, if the pressure acting between the application electrode 12 and the ground electrode 14 is greater than 1013 hPa, a pressure vessel or higher airtightness is required to prevent the processing gas from leaking to the outside, which is not preferable.

印加電極12と接地電極14との間に希釈ガス(処理ガス)が供給されるとともに高周波電圧が印加されると、印加電極12と接地電極14との間の放電空間内の希釈ガス(処理ガス)が電離してプラズマが発生し、希釈ガス(処理ガス)が電離した励起状態となって活性化される。そして、放電空間内に発生したプラズマがフッ素樹脂シートSの表面に接することにより、フッ素樹脂シートSの表面改質が行われる。   When a dilution gas (processing gas) is supplied between the application electrode 12 and the ground electrode 14 and a high frequency voltage is applied, the dilution gas (processing gas) in the discharge space between the application electrode 12 and the ground electrode 14 is applied. ) Is ionized, plasma is generated, and the diluted gas (processing gas) is ionized and activated. Then, the plasma generated in the discharge space comes into contact with the surface of the fluororesin sheet S, so that the surface modification of the fluororesin sheet S is performed.

より具体的には、エタノールがプラズマ中で励起されると、−H、−OH、または−O−等が解離される。フッ素樹脂シートSのフッ素樹脂表面のC−F結合は、その結合エネルギの関係から、アルコールから解離した−Hによって切断される。Fが切断されたCの未結合手(ダングリングボンド)に、−OHまたは−O−が付き、表面のフッ素樹脂に親水性を与えることになる。これにより、フッ素樹脂シートSのフッ素樹脂表面を改質させることができる。   More specifically, when ethanol is excited in plasma, -H, -OH, -O-, or the like is dissociated. The C—F bond on the fluororesin surface of the fluororesin sheet S is cleaved by —H dissociated from the alcohol because of the binding energy. -OH or -O- is attached to the dangling bond of C from which F has been cut, thereby imparting hydrophilicity to the fluororesin on the surface. Thereby, the fluororesin surface of the fluororesin sheet S can be modified.

なお、炭素数が比較的多い高級アルコールを用いると、アルコールがプラズマ中で励起させる際、粘性が高くなり過ぎて気化させることができないか、あるいはクラスター状になるため、励起が極めて困難になる。また、多価アルコールを用いた場合も、粘性が高くなるため、励起が困難になる。さらに、第3級アルコールを用いると、第3級アルコールが酸化されないため、親水性の官能基を解離させることはできない。これらのように、エタノールを用いることにより、フッ素樹脂シートSのフッ素樹脂表面を都合良く改質させることができる。   When a higher alcohol having a relatively large number of carbon atoms is used, when the alcohol is excited in plasma, the viscosity becomes too high to vaporize or form a cluster, which makes excitation very difficult. Also, when a polyhydric alcohol is used, excitation becomes difficult because of high viscosity. Furthermore, when a tertiary alcohol is used, the tertiary functional group is not oxidized, so that the hydrophilic functional group cannot be dissociated. As described above, by using ethanol, the fluororesin surface of the fluororesin sheet S can be conveniently modified.

上述したように、各大気圧プラズマ処理装置10を用いて表面改質(プラズマ処理)されたフッ素樹脂シートSは、巻取装置64で巻き取られる。   As described above, the fluororesin sheet S subjected to surface modification (plasma treatment) using each atmospheric pressure plasma processing apparatus 10 is wound up by the winding apparatus 64.

次に、図2に示す接合工程が実行される(S200)。なお、この接合工程の前段階で、接着対象の他の部材である金属部材(他の部材)Mの表面を洗浄してゴミ、塵などを除去しておくことが好ましい。この接合工程では、図3に示すように、プラズマにより表面改質されたフッ素樹脂シートSが金属部材Mに接合される。この接合方法は、作業者が手で両者を張り合わせてもよく、また、ベルトコンベアなどで金属部材Mを移動させて、フッ素樹脂シートSと金属部材Mとをローラを用いて接合させるようにしてもよい。また、接合時の条件として、常温及び常圧の下で、両者を接合させる。ここで、常温とは、例えば、15℃から25℃の範囲を意味する。これにより、フッ素樹脂シートSと金属部材Mとが強固に接着される。なお、フッ素樹脂シートSの接合対象となる部材は、金属部材Mの他に、ガラス樹脂又はシリコン樹脂で構成された部材を用いることによっても、強固な接着力が生じる。   Next, the joining process shown in FIG. 2 is performed (S200). In addition, it is preferable to clean the surface of the metal member (other member) M, which is another member to be bonded, to remove dust, dust, and the like before the joining step. In this joining step, as shown in FIG. 3, the fluororesin sheet S whose surface has been modified by plasma is joined to the metal member M. In this joining method, the operator may attach the two together by hand, or the metal member M is moved by a belt conveyor or the like so that the fluororesin sheet S and the metal member M are joined using a roller. Also good. Moreover, as conditions at the time of joining, both are joined under normal temperature and a normal pressure. Here, normal temperature means a range of 15 ° C. to 25 ° C., for example. Thereby, the fluororesin sheet S and the metal member M are firmly bonded. In addition, the member used as the joining object of the fluororesin sheet | seat S produces strong adhesive force also by using the member comprised by glass resin or silicon resin other than the metal member M. FIG.

また、接合時の条件として、フッ素樹脂シートS又は金属部材Mの少なくとも一方を加圧して、両者の間に所定の圧力が作用する状態(常温及び加圧の条件)にて接合すると、両者の接着力が向上しさらに強固に接着される。   Further, as a condition at the time of joining, when at least one of the fluororesin sheet S or the metal member M is pressurized and joined in a state in which a predetermined pressure acts between them (normal temperature and pressure conditions), Adhesive strength is improved and the adhesive is more firmly bonded.

以上のように、本実施形態の接着方法によれば、大気圧プラズマ処理装置10を用いてフッ素樹脂シートSの表面を改質し、その後、フッ素樹脂シートSと金属部材Mとを接合するだけで、接着剤を用いることなく、フッ素樹脂シートSと金属部材Mを容易かつ確実に接着することができる。   As described above, according to the bonding method of the present embodiment, the surface of the fluororesin sheet S is modified using the atmospheric pressure plasma processing apparatus 10 and then the fluororesin sheet S and the metal member M are joined. Thus, the fluororesin sheet S and the metal member M can be easily and reliably bonded without using an adhesive.

特に、フッ素樹脂シートSと金属部材Mは常温で接合されることにより接着するため、各部材の化学的又は物理的な構造及び組成が変わることを防止できる。   In particular, since the fluororesin sheet S and the metal member M are bonded by being bonded at room temperature, the chemical or physical structure and composition of each member can be prevented from changing.

また、フッ素樹脂シートSと金属部材Mとの間に接着剤層が存在しないので、フッ素樹脂シートSの特性に影響を与えることもない。さらに、大気圧プラズマ処理装置10を用いた均一な表面改質を行うので、フッ素樹脂シートSの接着強度にムラが生じてしまうことも防止できる。   Moreover, since there is no adhesive layer between the fluororesin sheet S and the metal member M, the characteristics of the fluororesin sheet S are not affected. Furthermore, since uniform surface modification is performed using the atmospheric pressure plasma processing apparatus 10, it is possible to prevent unevenness in the adhesive strength of the fluororesin sheet S.

特に、大気圧プラズマ処理装置10A、10Bの処理ガスの生成にはエタノールを用いることにより、有害性がないため、環境に悪影響を及ぼすことを防止できる。また、エタノールには有害性がないため、エタノールを取り扱うために、有害性を考慮した特別な設備が不要となる。また、エタノールには有害性がないため、エタノールを廃液処理するための特別な設備が不要となる。このように、本発明では、環境に悪影響を及ぼすことを防止できるとともに、設備を製造するための製造コストや設備を作動させるためのランニングコストを大幅に低減させることができる。特に、アルコールとしてエタノールを用いることにより、最も安全性を向上させることができる。   In particular, the use of ethanol for the generation of the processing gas of the atmospheric pressure plasma processing apparatuses 10A and 10B is not harmful and can prevent adverse effects on the environment. In addition, since ethanol is not harmful, no special equipment considering the toxicity is required to handle ethanol. In addition, since ethanol is not harmful, special equipment for treating ethanol with waste liquid is not required. As described above, according to the present invention, it is possible to prevent adverse effects on the environment, and to significantly reduce the manufacturing cost for manufacturing the equipment and the running cost for operating the equipment. In particular, the safety can be most improved by using ethanol as the alcohol.

さらに、各支持ロール20、22によりフッ素樹脂シートSが支持されるため、フッ素樹脂シートSの表面処理部が平面状になる。フッ素樹脂シートSの表面処理部を平面状とすることにより、プラズマを斑なくフッ素樹脂シートSの表面処理部に照射させることができ、表面改質の品質を大幅に向上させることができる。この結果、フッ素樹脂シートSと金属部材Mとの間の接着力に斑がなくなり、両者の接着強度を向上させることができる。   Furthermore, since the fluororesin sheet S is supported by the support rolls 20 and 22, the surface treatment portion of the fluororesin sheet S becomes planar. By making the surface treatment part of the fluororesin sheet S flat, plasma can be irradiated to the surface treatment part of the fluororesin sheet S without any spots, and the quality of surface modification can be greatly improved. As a result, the adhesive force between the fluororesin sheet S and the metal member M is not spotted, and the adhesive strength between them can be improved.

本発明の第1実施形態に係る接着方法の表面改質工程を実行するための大気圧プラズマ処理装置の構成図である。It is a block diagram of the atmospheric pressure plasma processing apparatus for performing the surface modification process of the adhesion | attachment method which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る接着方法の各工程を示した工程図である。It is process drawing which showed each process of the adhesion | attachment method which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る接着方法により接着されたフッ素樹脂部材と金属部材の接着状態を示した斜視図である。It is the perspective view which showed the adhesion state of the fluororesin member and metal member which were adhere | attached by the adhesion | attachment method which concerns on 1st Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 大気圧プラズマ処理装置
S フッ素樹脂シート(フッ素樹脂部材)
M 金属部材(他の部材)
10 Atmospheric pressure plasma processing equipment S Fluororesin sheet (Fluororesin member)
M metal member (other members)

Claims (1)

フッ素樹脂で構成されたフッ素樹脂部材を、金属、ガラス樹脂又はシリコン樹脂のいずれかで構成された他の部材に、接着剤を用いることなく接着する接着方法であって、
前記フッ素樹脂部材の表面をプラズマにより改質する表面改質工程と、
常温及び常圧の下で、前記表面改質工程で改質された前記フッ素樹脂部材の前記表面を前記他の部材に前記接着剤を介さずに接合する接合工程と、
を有することを特徴とする接着方法。
An adhesion method for adhering a fluororesin member made of fluororesin to another member made of metal, glass resin or silicon resin without using an adhesive,
A surface modification step of modifying the surface of the fluororesin member with plasma;
A bonding step of bonding the surface of the fluororesin member modified in the surface modification step to the other member without using the adhesive under normal temperature and normal pressure ;
A bonding method characterized by comprising:
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