JP5147137B2 - Composition for polyimide resin - Google Patents

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本発明は、ポリイミド樹脂用組成物に関する。さらに詳しくは、透明性が高く、黄変が抑制され、耐熱性に優れ、かつ、薄膜とした際の機械的強度及び接着性にも優れるポリイミド樹脂用組成物、該組成物を反応させて得られるポリイミド樹脂組成物、該樹脂組成物のシート状成形物であるポリイミドフィルム、該フィルムからなる接着剤、感光性基材、ならびに前記樹脂組成物の製造方法に関する。   The present invention relates to a composition for polyimide resin. More specifically, a polyimide resin composition having high transparency, yellowing suppression, excellent heat resistance, and excellent mechanical strength and adhesion when formed into a thin film, obtained by reacting the composition. The present invention relates to a polyimide resin composition, a polyimide film which is a sheet-like molded product of the resin composition, an adhesive comprising the film, a photosensitive substrate, and a method for producing the resin composition.

ポリイミドは、耐熱性、耐光性、機械的強度に優れるポリマーである。その合成方法としては、例えば、テトラカルボン酸二無水物とジアミン誘導体を縮重合してポリイミドの前駆体であるポリアミド酸(ポリアミック酸)を生成し、得られたポリアミド酸を加熱して、又は触媒を用いてイミド化する方法が挙げられる。   Polyimide is a polymer excellent in heat resistance, light resistance, and mechanical strength. As a synthesis method thereof, for example, polycarboxylic acid dianhydride and a diamine derivative are polycondensated to produce a polyamic acid (polyamic acid) which is a polyimide precursor, and the obtained polyamic acid is heated or a catalyst. The method of imidizing using is mentioned.

しかしながら、このようにして得られるポリイミドは、直鎖(直線)状のポリマーであり、ポリマー中の3次元的なネットワークが乏しく、耐アルカリ性や薄膜とした際のフィルム強度に問題がある。また、直線状のポリマーは、ポリマー間の相互作用も弱いため、ガラスや金属等の基材に対する接着力が弱く、基材に接着させる際には予めプライマーで基材表面を処理する必要がある。   However, the polyimide obtained in this way is a linear (straight) polymer, has a poor three-dimensional network in the polymer, and has a problem in alkali resistance and film strength when formed into a thin film. In addition, since the linear polymer has weak interaction between the polymers, the adhesive force to the substrate such as glass or metal is weak, and it is necessary to treat the substrate surface with a primer in advance when bonding to the substrate. .

これに対して、例えば、特許文献1では、3次元架橋可能なトリアミン誘導体を用いて分子内に多分岐構造を形成させた、多くの空隙を有するポリイミドが開示されている。また、特定の表面処理剤で処理されたシリカ等の金属酸化物微粒子を加えて、樹脂をコンポジット化する方法も報告されている(特許文献2参照)。   On the other hand, for example, Patent Document 1 discloses a polyimide having many voids in which a multi-branched structure is formed in a molecule using a triamine derivative capable of three-dimensional crosslinking. In addition, a method of forming a resin composite by adding metal oxide fine particles such as silica treated with a specific surface treatment agent has been reported (see Patent Document 2).

特開2006−131706号公報JP 2006-131706 A 特開平7−304886号公報Japanese Patent Laid-Open No. 7-304886

しかしながら、トリアミン誘導体を用いてポリイミドを調製すると、その使用量によっては、ポリアミド酸の生成時に架橋が多くなり過ぎて、得られる樹脂がゲル化してイミド化が困難になるという問題がある。   However, when a polyimide is prepared using a triamine derivative, depending on the amount of use, there is a problem that crosslinking occurs excessively at the time of polyamic acid generation, and the resulting resin is gelled and difficult to imidize.

また、従来の表面処理剤によって処理された金属酸化物微粒子は、ポリアミド酸には良好に分散するが、極性の低いポリイミドへの分散性が未だ十分ではなく、ポリアミド酸からポリイミドへの変換中に凝集が生じやすい。   In addition, the metal oxide fine particles treated with the conventional surface treatment agent disperse well in the polyamic acid, but the dispersibility to the low-polarity polyimide is not yet sufficient, and during the conversion from polyamic acid to polyimide, Aggregation is likely to occur.

またさらに、ポリアミド酸を加熱してイミド化する場合には、得られる樹脂が黄変しやすい。   Furthermore, when the polyamic acid is heated to imidize, the resulting resin tends to yellow.

本発明の課題は、透明性が高く、黄変が抑制され、耐熱性に優れ、かつ、薄膜とした際の機械的強度及び接着性にも優れるポリイミド樹脂用組成物、該組成物を反応させて得られるポリイミド樹脂組成物、該樹脂組成物のシート状成形物であるポリイミドフィルム、該フィルムからなる接着剤、感光性基材、ならびに前記樹脂組成物の製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a polyimide resin composition having high transparency, yellowing suppression, excellent heat resistance, and excellent mechanical strength and adhesiveness when formed into a thin film, and reacting the composition. It is in providing the polyimide resin composition obtained by this, the polyimide film which is a sheet-like molding of this resin composition, the adhesive agent which consists of this film, a photosensitive base material, and the manufacturing method of the said resin composition.

本発明は、
〔1〕 カルボン酸化合物の無水物、ジアミン化合物、及び式(I):
The present invention
[1] Carboxylic acid compound anhydride, diamine compound, and formula (I):

Figure 0005147137
Figure 0005147137

(式中、Rはエポキシ構造含有置換基、R、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜4の、直鎖又は分枝鎖のアルキル基を示す)
で表される3官能性アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理された金属酸化物微粒子を含有してなる、ポリイミド樹脂用組成物であって、前記表面処理後の金属酸化物微粒子の平均粒子径が1〜20nmである、ポリイミド樹脂用組成物
〔2〕 カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物とを重合反応させた重合物に、式(I):
(In the formula, R 1 represents an epoxy structure-containing substituent, R 2 , R 3 and R 4 each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
It is a composition for polyimide resin containing the metal oxide fine particle processed with the surface treating agent containing trifunctional alkoxysilane represented by these, Comprising: The average particle of the metal oxide fine particle after the said surface treatment A polyimide resin composition having a diameter of 1 to 20 nm ,
[2] A polymer obtained by polymerizing an anhydride of a carboxylic acid compound and a diamine compound is converted into a compound of formula (I):

Figure 0005147137
Figure 0005147137

(式中、Rはエポキシ構造含有置換基、R、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜4の、直鎖又は分枝鎖のアルキル基を示す)
で表される3官能性アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理された金属酸化物微粒子を100℃以上で反応させて得られる、ポリイミド樹脂組成物であって、前記表面処理後の金属酸化物微粒子の平均粒子径が1〜20nmである、ポリイミド樹脂組成物
〔3〕 前記〔2〕記載のポリイミド樹脂組成物からなる、ポリイミドフィルム、
〔4〕 前記〔3〕記載のポリイミドフィルムからなる接着剤、
〔5〕 前記〔3〕記載のポリイミドフィルムからなる感光性基材、ならびに
〔6〕 式(I):
(In the formula, R 1 represents an epoxy structure-containing substituent, R 2 , R 3 and R 4 each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
A polyimide resin composition obtained by reacting a metal oxide fine particle treated with a surface treatment agent containing a trifunctional alkoxysilane represented by the formula at 100 ° C. or higher, the metal oxide after the surface treatment A polyimide resin composition having an average particle diameter of 1 to 20 nm of fine particles ,
[3] A polyimide film comprising the polyimide resin composition according to [2],
[4] An adhesive comprising the polyimide film according to [3],
[5] A photosensitive substrate comprising the polyimide film of [3], and [6] Formula (I):

Figure 0005147137
Figure 0005147137

(式中、Rはエポキシ構造含有置換基、R、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜4の、直鎖又は分枝鎖のアルキル基を示す)
で表される3官能性アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理された金属酸化物微粒子の存在下に、カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物とを23〜80℃で重合反応させる工程、及び該工程で得られた反応物を成形後、100℃以上で反応させる工程を含む、ポリイミド樹脂組成物の製造方法であって、前記表面処理後の金属酸化物微粒子の平均粒子径が1〜20nmである、ポリイミド樹脂組成物の製造方法
に関する。
(In the formula, R 1 represents an epoxy structure-containing substituent, R 2 , R 3 and R 4 each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
A step of polymerizing an anhydride of a carboxylic acid compound and a diamine compound at 23 to 80 ° C. in the presence of metal oxide fine particles treated with a surface treatment agent containing a trifunctional alkoxysilane represented by: A method for producing a polyimide resin composition comprising a step of reacting at 100 ° C. or higher after molding the reaction product obtained in the step , wherein the average particle size of the metal oxide fine particles after the surface treatment is 1 to 20 nm The present invention relates to a method for producing a polyimide resin composition .

本発明のポリイミド樹脂用組成物は、透明性が高く、黄変が抑制され、耐熱性に優れ、かつ、薄膜とした際の機械的強度及び接着性にも優れるポリイミド樹脂組成物を提供することができる。   The composition for polyimide resin of the present invention provides a polyimide resin composition having high transparency, yellowing suppression, excellent heat resistance, and excellent mechanical strength and adhesiveness when formed into a thin film. Can do.

本発明のポリイミド樹脂用組成物は、カルボン酸化合物の無水物、ジアミン化合物、及び金属酸化物微粒子を含有するものであって、該金属酸化物微粒子が式(I):   The polyimide resin composition of the present invention contains an anhydride of a carboxylic acid compound, a diamine compound, and metal oxide fine particles, and the metal oxide fine particles are represented by the formula (I):

Figure 0005147137
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(式中、Rはエポキシ構造含有置換基、R、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜4の、直鎖又は分枝鎖のアルキル基を示す)
で表される3官能性アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理されたものであることに大きな特徴を有する。
(In the formula, R 1 represents an epoxy structure-containing substituent, R 2 , R 3 and R 4 each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
It has the big characteristic in having been processed by the surface treating agent containing trifunctional alkoxysilane represented by these.

ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸は、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン等のアミド系溶剤に可溶である。一方、ポリイミドはポリアミド酸が脱水縮合(イミド化)したものであり、前記溶剤に不溶である。このように両者の極性は大きく異なるため、金属酸化物微粒子は、ポリアミド酸に良好に分散しても、ポリイミドが形成されるとポリイミドには分散せず、凝集を起こすことになる。そこで、本発明では、上記式(I)で表わされる化合物を含有する表面処理剤で処理して得られた金属酸化物微粒子を樹脂に結合させることによって、該微粒子の凝集を抑制することが可能となった。即ち、式(I)で表わされる化合物は、金属酸化物微粒子の表面処理によって、−SiR基が金属酸化物微粒子の表面に結合して存在することになる。R基はエポキシ構造含有置換基であるが、エポキシ構造が金属酸化物微粒子表面との反応時やイミド化時の加熱によって開環してヒドロキシ基を生じる。かかるヒドロキシ基はポリアミド酸のカルボキシ基と脱水反応することによって、金属酸化物微粒子をSiR基を介して樹脂に結合させることが出来る。このようにして結合した金属酸化物微粒子は、樹脂中で凝集することなく良好に分散するため、高い透明性を維持して、光透過性を向上することができる。また、金属酸化物微粒子と樹脂が結合することにより黄変を抑制することができる。さらに、イミド化による樹脂結合が減少するものの、3次元的なネットワークが形成されて樹脂間の相互作用が強くなり、かつ、金属酸化物微粒子によって樹脂強度が付与されるため、薄膜を調製しても、十分な機械的強度を有し、かつ、ガラスや金属等の基材に対する接着性が良好となる。 Polyamide acid, which is a precursor of polyimide, is soluble in amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone. On the other hand, polyimide is obtained by dehydration condensation (imidization) of polyamic acid and is insoluble in the solvent. Since the polarities of the two are greatly different in this way, even if the metal oxide fine particles are well dispersed in the polyamic acid, when the polyimide is formed, the metal oxide fine particles are not dispersed in the polyimide and cause aggregation. Therefore, in the present invention, it is possible to suppress the aggregation of the fine particles by binding the metal oxide fine particles obtained by the treatment with the surface treatment agent containing the compound represented by the above formula (I) to the resin. It became. That is, the compound represented by the formula (I) is present by bonding the —SiR 1 group to the surface of the metal oxide fine particles by the surface treatment of the metal oxide fine particles. The R 1 group is an epoxy structure-containing substituent, and the epoxy structure is opened upon reaction with the surface of the metal oxide fine particles or upon imidization to produce a hydroxy group. Such hydroxy groups can be dehydrated with the carboxy groups of the polyamic acid to bond the metal oxide fine particles to the resin through SiR 1 groups. Since the metal oxide fine particles bonded in this way are well dispersed without agglomerating in the resin, high transparency can be maintained and light transmittance can be improved. Moreover, yellowing can be suppressed by combining the metal oxide fine particles and the resin. Furthermore, although the resin bond due to imidization is reduced, a three-dimensional network is formed, the interaction between the resins is strengthened, and the resin strength is imparted by the metal oxide fine particles. However, it has sufficient mechanical strength and has good adhesion to substrates such as glass and metal.

式(I)中のRはエポキシ構造含有置換基を示す。エポキシ構造含有置換基は、エポキシ構造を置換基中に少なくとも1個含有する有機基であれば特に限定はない。エポキシ構造は該置換基のいずれの位置に存在してもよいが、ポリアミド酸との反応性の観点から、置換基の末端部分、即ち、Rが結合するケイ素原子から最遠位に位置することが好ましい。また、該置換基は、好ましくは1〜6の炭素数を有するものが望ましい。 R 1 in the formula (I) represents an epoxy structure-containing substituent. The epoxy structure-containing substituent is not particularly limited as long as it is an organic group containing at least one epoxy structure in the substituent. The epoxy structure may be present at any position of the substituent, but from the viewpoint of reactivity with the polyamic acid, it is located farthest from the terminal portion of the substituent, that is, the silicon atom to which R 1 is bonded. It is preferable. In addition, the substituent preferably has 1 to 6 carbon atoms.

かかる置換基の具体例としては、エポキシエチル基、エポキシシクロヘキシル基、グリシドキシプロピル基等が挙げられ、なかでも、エポキシシクロヘキシル基、グリシドキシプロピル基が好ましい。   Specific examples of such a substituent include an epoxyethyl group, an epoxycyclohexyl group, and a glycidoxypropyl group, and among them, an epoxycyclohexyl group and a glycidoxypropyl group are preferable.

式(I)中のR、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜4の、直鎖又は分枝鎖のアルキル基を示す。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基等が挙げられる。これらのなかでも、メチル基、エチル基、プロピル基が好ましく、R、R及びRがいずれも、メチル基、エチル基、又はプロピル基であることがより好ましい。 R 2 , R 3 and R 4 in the formula (I) each independently represent a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. Specific examples include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, and a butyl group. Among these, a methyl group, an ethyl group, and a propyl group are preferable, and R 2 , R 3, and R 4 are all preferably a methyl group, an ethyl group, or a propyl group.

かかる式(I)で表される3官能性アルコキシシランとしては、2-〔(3,4)-エポキシシクロヘキシル〕エチルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられ、これらは単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the trifunctional alkoxysilane represented by the formula (I) include 2-[(3,4) -epoxycyclohexyl] ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and 3-glycidoxypropyl. A triethoxysilane etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

式(I)で表される3官能性アルコキシシランは、公知の方法に従って合成することができる。また、市販品としては、2-〔(3,4)-エポキシシクロヘキシル〕エチルトリメトキシシランとして「KBM-303」(信越シリコーン社製)、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシランとして「KBM-403」(信越シリコーン社製)が好適に使用される。   The trifunctional alkoxysilane represented by the formula (I) can be synthesized according to a known method. Commercially available products include 2-[(3,4) -epoxycyclohexyl] ethyltrimethoxysilane as `` KBM-303 '' (manufactured by Shin-Etsu Silicone), 3-glycidoxypropyltriethoxysilane as `` KBM-403 (Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) is preferably used.

表面修飾剤中の式(I)で表される3官能性アルコキシシランの含有量は、樹脂中への架橋部位の導入量の観点から、20重量%以上が好ましく、30重量%以上がより好ましく、50〜100重量%がさらに好ましい。   The content of the trifunctional alkoxysilane represented by the formula (I) in the surface modifier is preferably 20% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, from the viewpoint of the amount of crosslinking sites introduced into the resin. 50 to 100% by weight is more preferable.

また、本発明においては、金属酸化物微粒子の分散性の観点から、式(I)で表される3官能性アルコキシシラン以外の他の表面修飾剤を使用することができる。他の表面修飾剤としては、メチル(トリメトキシ)シラン、エチル(トリメトキシ)シラン、ヘキシル(トリメトキシ)シラン、デシル(トリメトキシ)シラン、ビニル(トリメトキシ)シラン、2-〔(3,4)-エポキシシクロヘキシル〕エチル(トリメトキシ)シラン、3-グリシドキシプロピル(トリメトキシ)シラン、3-メタクリロキシプロピル(トリメトキシ)シラン、3-アクリロキシプロピル(トリメトキシ)シラン等が挙げられる。   In the present invention, from the viewpoint of dispersibility of the metal oxide fine particles, other surface modifiers other than the trifunctional alkoxysilane represented by the formula (I) can be used. Other surface modifiers include methyl (trimethoxy) silane, ethyl (trimethoxy) silane, hexyl (trimethoxy) silane, decyl (trimethoxy) silane, vinyl (trimethoxy) silane, 2-[(3,4) -epoxycyclohexyl] Examples include ethyl (trimethoxy) silane, 3-glycidoxypropyl (trimethoxy) silane, 3-methacryloxypropyl (trimethoxy) silane, and 3-acryloxypropyl (trimethoxy) silane.

本発明において表面処理される金属酸化物微粒子としては、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、シリカ、及びアルミナからなる群より選ばれる少なくとも1種が好ましく、シリカがより好ましい。なお、表面処理される金属酸化物微粒子の平均粒子径は、透明性の観点から、1〜100nmが好ましい。本明細書において、金属酸化物微粒子の平均粒子径は、後述の実施例に記載の方法に従って、測定することができる。   The metal oxide fine particles to be surface-treated in the present invention are preferably at least one selected from the group consisting of zirconium oxide, titanium oxide, zinc oxide, silica, and alumina, and more preferably silica. In addition, the average particle diameter of the metal oxide fine particles to be surface-treated is preferably 1 to 100 nm from the viewpoint of transparency. In the present specification, the average particle diameter of the metal oxide fine particles can be measured according to the method described in Examples described later.

表面処理方法としては、特に限定はなく公知の方法が挙げられる。例えば、金属酸化物微粒子と表面修飾剤を溶媒中、10〜100℃で0.1〜72時間攪拌する方法(湿式方法)が例示される。   The surface treatment method is not particularly limited and may be a known method. For example, a method (wet method) of stirring the metal oxide fine particles and the surface modifier in a solvent at 10 to 100 ° C. for 0.1 to 72 hours is exemplified.

表面修飾剤の使用量は、表面処理される金属酸化物微粒子100重量部に対して、30〜200重量部が好ましく、50〜150重量部がより好ましい。   The amount of the surface modifier used is preferably 30 to 200 parts by weight, more preferably 50 to 150 parts by weight, based on 100 parts by weight of the metal oxide fine particles to be surface treated.

かくして、特定の表面修飾剤によって表面処理された金属酸化物微粒子が得られる。表面処理後の金属酸化物微粒子の平均粒子径は、1〜100nmが好ましく、該微粒子を反応させて得られるポリイミド樹脂組成物の透明性の観点からは、1〜20nmがより好ましい。なお、上記方法による表面処理によって、金属酸化物微粒子の平均粒子径が変動することは殆どないため、所望の平均粒子径を有する表面処理後の金属酸化物微粒子を得るためには、表面処理に供される金属酸化物微粒子の平均粒子径を、公知の方法に従って、予め調整すればよい。   Thus, metal oxide fine particles surface-treated with a specific surface modifier can be obtained. The average particle diameter of the metal oxide fine particles after the surface treatment is preferably 1 to 100 nm, and more preferably 1 to 20 nm from the viewpoint of transparency of the polyimide resin composition obtained by reacting the fine particles. In addition, since the average particle diameter of the metal oxide fine particles is hardly changed by the surface treatment by the above method, in order to obtain the surface-treated metal oxide fine particles having a desired average particle diameter, the surface treatment is performed. What is necessary is just to adjust beforehand the average particle diameter of the metal oxide fine particle to be provided according to a well-known method.

表面処理後の金属酸化物微粒子の含有量は、樹脂組成物中、好ましくは1〜20重量%、より好ましくは1〜15重量%、さらに好ましくは1〜10重量%である。   The content of the metal oxide fine particles after the surface treatment is preferably 1 to 20% by weight, more preferably 1 to 15% by weight, and further preferably 1 to 10% by weight in the resin composition.

本発明におけるカルボン酸化合物の無水物としては、2価以上のカルボン酸化合物の無水物であればよいが、テトラカルボン酸化合物の二無水物が好ましい。テトラカルボン酸化合物の二無水物としては、3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4-ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8-フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、4,4'-ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物等の芳香族テトラカルボン酸化合物の二無水物が挙げられ、これらは単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   The anhydride of the carboxylic acid compound in the present invention may be an anhydride of a divalent or higher carboxylic acid compound, but a dianhydride of a tetracarboxylic acid compound is preferable. Tetracarboxylic acid compound dianhydrides include 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 -Bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, Bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4, 5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9, 10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, 4,4'-hexafluoroisopropylidene The dianhydride of aromatic tetracarboxylic acid compounds, such as a phthalic anhydride, is mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

本発明におけるジアミン化合物としては、m-フェニレンジアミン、3,3'-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、ビス(3-アミノフェニル)スルフィド、(3-アミノフェニル)(4-アミノフェニル)スルフィド、ビス(3-アミノフェニル)スルホキシド、ビス(4-アミノフェニル)スルホキシド、(3-アミノフェニル)(4-アミノフェニル)スルホキシド、ビス(3-アミノフェニル)スルホン、ビス(4-アミノフェニル)スルホン、(3-アミノフェニル)(4-アミノフェニル)スルホン、3,3'-ジアミノベンゾフェノン、3,4'-ジアミノベンゾフェノン、3,3'-ジアミノジフェニルメタン、3,4'-ジアミノジフェニルメタン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4'-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4'-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス〔4-(3-アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4-(4-アミノフェノキシ)フェニル〕ケトン、ビス〔4-(3-アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4-(4-アミノフェノキシ)フェニル〕スルフィド、ビス〔4-(3-アミノフェノキシ)フェニル〕スルホキシド、ビス〔4-(4-アミノフェノキシ)フェニル〕スルホキシド、ビス〔4-(3-アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4-(4-アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス〔4-(3-アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル、1,4-ビス〔4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル〕ベンゼン、1,3-ビス〔4-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル〕ベンゼン、4,4'-ビス〔3-(4-アミノフェノキシ)ベンゾイル〕ジフェニルエーテル、4,4'-ビス〔3-(3-アミノフェノキシ)ベンゾイル〕ジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノ-4,4'-ジフェノキシベンゾフェノン、4,4'-ジアミノ-5,5'-ジフェノキシベンゾフェノン、3,4'-ジアミノ-4,5'-ジフェノキシベンゾフェノン、3,3'-ジアミノ-4-フェノキシベンゾフェノン、4,4'-ジアミノ-5-フェノキシベンゾフェノン、3,4'-ジアミノ-4-フェノキシベンゾフェノン、3,4'-ジアミノ-5'-フェノキシベンゾフェノン、3,3'-ジアミノ-4,4'-ジビフェノキシベンゾフェノン、4,4'-ジアミノ-5,5'-ジビフェノキシベンゾフェノン、3,4'-ジアミノ-4,5'-ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3'-ジアミノ-4-ビフェノキシベンゾフェノン、4,4'-ジアミノ-5-ビフェノキシベンゾフェノン、3,4'-ジアミノ-4-ビフェノキシベンゾフェノン、3,4'-ジアミノ-5'-ビフェノキシベンゾフェノン、1,3-ビス(3-アミノ-4-フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノ-4-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノ-5-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノ-5-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノ-4-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4-ビス(3-アミノ-4-ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、ビス(トリフルオロメチル)-1,1'-ビフェニル-4,4'-ジアミン等が挙げられ、これらは単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   Examples of the diamine compound in the present invention include m-phenylenediamine, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, bis (3-aminophenyl) sulfide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) Sulfide, bis (3-aminophenyl) sulfoxide, bis (4-aminophenyl) sulfoxide, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfoxide, bis (3-aminophenyl) sulfone, bis (4-aminophenyl) Sulfone, (3-aminophenyl) (4-aminophenyl) sulfone, 3,3′-diaminobenzophenone, 3,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 1, 3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) , 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4 -Aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-amino Phenoxy) phenyl] ether, 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4′-bis [3 -(4-Aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether 4,4'-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 3,3'-diamino-4,4'-diphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-diphenoxy Benzophenone, 3,4'-diamino-4,5'-diphenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4 -Phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'-phenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4,4'-dibiphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3 , 4'-Diamino-4,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,3'-diamino-4-biphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-biphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4- Biphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'-biphenoxybenzophenone, 1,3-bis (3-a No-4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-4-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (3-amino-4-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-4-biphenoxybenzoyl) benzene, bis (Trifluoromethyl) -1,1′-biphenyl-4,4′-diamine and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.

本発明のポリイミド樹脂用組成物における、カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物のモル比(カルボン酸化合物の無水物/ジアミン化合物)は、1.0/1.2〜1.2/1.0が好ましく、1.0/1.1〜1.1/1.0がより好ましく、実質的に等モル(1.0/1.0)がさらに好ましい。   In the polyimide resin composition of the present invention, the molar ratio of carboxylic acid compound anhydride to diamine compound (carboxylic acid compound anhydride / diamine compound) is preferably 1.0 / 1.2 to 1.2 / 1.0, and 1.0 / 1.1 to 1.1. /1.0 is more preferable, and substantially equimolar (1.0 / 1.0) is more preferable.

また、本発明の樹脂組成物は、前記カルボン酸化合物の無水物、ジアミン化合物及び金属酸化物微粒子に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、老化防止剤、変性剤、界面活性剤、染料、顔料、変色防止剤、紫外線吸収剤等の添加剤を含有してもよい。   Moreover, in addition to the anhydride of the carboxylic acid compound, the diamine compound and the metal oxide fine particles, the resin composition of the present invention is an anti-aging agent, a modifier, a surfactant, as long as the effects of the present invention are not impaired. You may contain additives, such as dye, a pigment, a discoloration prevention agent, and an ultraviolet absorber.

本発明のポリイミド樹脂組成物は、本発明のポリイミド樹脂用組成物を重合反応させることにより得られるが、例えば、カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物とを重合反応させた重合物に、表面処理後の金属酸化物微粒子を100℃以上で反応させることにより調製することができる。   The polyimide resin composition of the present invention can be obtained by polymerizing the polyimide resin composition of the present invention. For example, a surface treatment is performed on a polymer obtained by polymerizing an anhydride of a carboxylic acid compound and a diamine compound. It can be prepared by reacting the subsequent metal oxide fine particles at 100 ° C. or higher.

カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物との重合反応(以下、ポリアミド酸の重合反応ともいう)は、公知の方法に従って行うことができるが、好ましくは、有機溶媒の存在下で、カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物とを混合して行う。なお、カルボン酸化合物の無水物は、反応に供する前に予め、好ましくは100℃以上、より好ましくは100〜150℃の温度で乾燥させてから用いてもよい。   The polymerization reaction between the anhydride of the carboxylic acid compound and the diamine compound (hereinafter, also referred to as the polymerization reaction of the polyamic acid) can be carried out according to a known method. Preferably, the polymerization reaction of the carboxylic acid compound is performed in the presence of an organic solvent. An anhydride and a diamine compound are mixed. The anhydride of the carboxylic acid compound may be used after drying at a temperature of preferably 100 ° C. or higher, more preferably 100 to 150 ° C. before being subjected to the reaction.

有機溶媒としては、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメトキシアセトアミド、N-メチル2-ピロリドン、1,3-ジメチル-2-イミダゾリジノン、N-メチルカプロラクタム、1,2-ジメトキシエタン、ビス(2-メトキシエチル)エーテル、1,2-ビス(2-メトキシエトキシ)エタン、ビス〔2-(2-メトキシエトキシ)エチル〕エーテル、テトラヒドロフラン、1,3-ジオキサン、1,4-ジオキサン、ピロリン、ピコリン、ジメチルスルホキシド、ジメチルスルホン、テトラメチル尿素、ヘキサメチルホスホンアミド、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、m-クレゾール酸、p-クロロフェノール、アニソール、ベンゼン、トルエン、及びキシレン等を挙げることができ、これらは単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらのなかでも、溶解性やイミド化時の加熱に際して着色度合いが小さいことから、N,N-ジメチルアセトアミドが好ましい。   Organic solvents include N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethoxyacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolid Non, N-methylcaprolactam, 1,2-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, 1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane, bis [2- (2-methoxyethoxy) ethyl] ether, Tetrahydrofuran, 1,3-dioxane, 1,4-dioxane, pyrroline, picoline, dimethyl sulfoxide, dimethyl sulfone, tetramethylurea, hexamethylphosphonamide, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, m-cresolic acid , P-chlorophenol, anisole, benzene, toluene, xylene, etc., and these may be used alone or in combination of two or more. It can be used Te. Among these, N, N-dimethylacetamide is preferable because of its solubility and a small degree of coloring upon heating during imidization.

ポリアミド酸の重合反応は、常圧下(101.3kPa)、要すれば加圧下又は減圧下にて、好ましくは100℃未満、より好ましくは23〜80℃の温度で行われる。反応時間は、カルボン酸化合物の無水物及びジアミン化合物の種類や、有機溶媒の種類、反応温度によって一概には決定されないが、通常、1〜24時間が好ましい。   The polyamic acid polymerization reaction is carried out under normal pressure (101.3 kPa), if necessary under pressure or under reduced pressure, preferably at a temperature of less than 100 ° C., more preferably 23-80 ° C. The reaction time is not generally determined by the type of anhydride of the carboxylic acid compound and the diamine compound, the type of the organic solvent, and the reaction temperature, but usually 1 to 24 hours is preferable.

なお、反応時には、溶液粘度を調整するために、上記有機溶媒を適宜添加しながら混合してもよい。   In the reaction, in order to adjust the solution viscosity, the organic solvent may be added while being added as appropriate.

次に、上記で得られた重合物に、表面処理後の金属酸化物微粒子を加熱して反応させる(以下、熱イミド化反応ともいう)。加熱温度は、100℃以上であり、好ましくは100〜300℃、より好ましくは150〜300℃である。加熱時間は、1〜5時間が好ましい。なお、加熱は、一定温度で一定時間行う態様であってもよいが、例えば、100〜150℃で1〜2時間、150〜200℃で1〜2時間、200〜300℃で1〜2時間と多段階に分けて行う態様であってもよい。   Next, the polymer oxide obtained above is reacted by heating the metal oxide fine particles after the surface treatment (hereinafter also referred to as thermal imidization reaction). The heating temperature is 100 ° C. or higher, preferably 100 to 300 ° C., more preferably 150 to 300 ° C. The heating time is preferably 1 to 5 hours. The heating may be carried out at a constant temperature for a fixed time, for example, at 100 to 150 ° C. for 1 to 2 hours, 150 to 200 ° C. for 1 to 2 hours, 200 to 300 ° C. for 1 to 2 hours. And may be performed in multiple stages.

表面処理後の金属酸化物微粒子は、ポリアミド酸の重合物を調製後に、添加混合して反応させることができる。また、得られる樹脂組成物における金属酸化物微粒子の分散性の観点から、ポリアミド酸の重合開始時に予め表面処理後の金属酸化物微粒子を添加して、ポリアミド酸の重合反応を金属酸化物微粒子の存在下で行い、重合物中に金属酸化物微粒子を均一に分散させてから、熱イミド化反応させてもよい。   The metal oxide fine particles after the surface treatment can be reacted by adding and mixing after preparing a polyamic acid polymer. Further, from the viewpoint of dispersibility of the metal oxide fine particles in the obtained resin composition, the metal oxide fine particles after the surface treatment are added in advance at the start of the polymerization of the polyamic acid, and the polyamic acid polymerization reaction is performed on the metal oxide fine particles. The thermal imidization reaction may be performed after the metal oxide fine particles are uniformly dispersed in the polymerized product.

また、熱イミド化反応の際に、予め、カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物との重合物と、即ち、ポリアミド酸の重合物と表面処理後の金属酸化物微粒子との混合物を成形した後、反応に供することができる。具体的には、例えば、カプトンフィルム上にキャスティング、スピンコーティング、ロールコーティングなどの方法により、前記混合物を適当な厚さに塗工後、100℃以上、好ましくは100〜300℃、より好ましくは150〜300℃で加熱して、溶媒の除去とイミド化を同時に行って、シート状のポリイミド樹脂組成物を得ることができる。従って、本発明は、本発明のポリイミド樹脂組成物がシート状に成形された、ポリイミドフィルムを提供する。フィルムとしては、厚さが10〜200μm程度のものが例示され、30〜120μmのものが好ましい。なお、加熱時間は、樹脂や溶媒の種類、加熱温度によって異なるため一概には決定できないが、1〜6時間が好ましい。   In addition, after the thermal imidization reaction, a polymer of an anhydride of a carboxylic acid compound and a diamine compound, that is, a mixture of a polyamic acid polymer and metal oxide fine particles after surface treatment is formed in advance. Can be subjected to reaction. Specifically, for example, after coating the mixture to an appropriate thickness by a method such as casting, spin coating, roll coating, etc. on a Kapton film, 100 ° C or higher, preferably 100-300 ° C, more preferably 150 The sheet-like polyimide resin composition can be obtained by heating at ˜300 ° C. to simultaneously remove the solvent and imidize. Therefore, this invention provides the polyimide film by which the polyimide resin composition of this invention was shape | molded in the sheet form. Examples of the film include those having a thickness of about 10 to 200 μm, preferably 30 to 120 μm. The heating time varies depending on the type of resin and solvent and the heating temperature, and cannot be determined unconditionally, but 1 to 6 hours are preferable.

ポリイミドフィルムは、本発明のポリイミド樹脂組成物がシート状に成形されたものであり、透明性が高く、黄変が抑制され、耐熱性に優れ、かつ、薄膜とした際の機械的強度及び接着性にも優れるものである。従って、接着剤、感光性基材として好適に用いられる。   The polyimide film is a sheet of the polyimide resin composition of the present invention, which has high transparency, suppressed yellowing, excellent heat resistance, and mechanical strength and adhesion when formed into a thin film. It is also excellent in properties. Therefore, it is suitably used as an adhesive or a photosensitive substrate.

接着剤、及び感光性基材は、本発明のポリイミドフィルムを用いるのであれば、公知の方法に従って調製することができる。   If the polyimide film of this invention is used, an adhesive agent and a photosensitive base material can be prepared according to a well-known method.

また、本発明は、発明のポリイミド樹脂組成物の製造方法を提供する。該方法としては、カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物とを重合反応させた重合物に、表面処理後の金属酸化物微粒子を反応させる工程を含むものであれば、特に限定はされないが、得られる樹脂組成物における金属酸化物微粒子の分散性の観点から、具体的には、表面処理後の金属酸化物微粒子の存在下に、カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物とを23〜80℃で重合反応させる工程〔以下、工程(A)ともいう〕、及び該工程で得られた反応物を成形後、100℃以上で反応させる工程〔以下、工程(B)ともいう〕を含む方法が好ましい。   Moreover, this invention provides the manufacturing method of the polyimide resin composition of invention. The method is not particularly limited as long as it includes a step of reacting the metal oxide fine particles after the surface treatment with the polymer obtained by polymerizing the anhydride of the carboxylic acid compound and the diamine compound. Specifically, from the viewpoint of dispersibility of the metal oxide fine particles in the resin composition to be obtained, in the presence of the metal oxide fine particles after the surface treatment, the anhydride of the carboxylic acid compound and the diamine compound are added at 23 to 80 ° C. A method comprising a step of carrying out a polymerization reaction (hereinafter also referred to as step (A)) and a step of reacting at 100 ° C. or higher after forming the reaction product obtained in the step (hereinafter also referred to as step (B)) is preferred. .

工程(A)の具体例としては、例えば、式(I)で表される3官能性アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理された金属酸化物微粒子の存在下に、ジアミン化合物をジメチルアセトアミド等の有機溶剤に20〜40重量%の濃度になるように調製した液に、好ましくは100℃以上、より好ましくは100〜150℃で乾燥させたカルボン酸化合物の無水物を添加して、好ましくは23〜80℃、より好ましくは23〜60℃で、好ましくは1〜24時間反応させる工程等が挙げられる。   Specific examples of the step (A) include, for example, a diamine compound such as dimethylacetamide in the presence of fine metal oxide particles treated with a surface treatment agent containing a trifunctional alkoxysilane represented by the formula (I). To the liquid prepared so as to have a concentration of 20 to 40% by weight in an organic solvent, preferably an anhydride of a carboxylic acid compound dried at 100 ° C. or higher, more preferably 100 to 150 ° C., preferably Examples include a step of reacting at 23 to 80 ° C., more preferably 23 to 60 ° C., and preferably 1 to 24 hours.

工程(B)の具体例としては、例えば、工程(A)で得られた重合物をキャスティング、スピンコーティング、ロールコーティングなどの方法により適当な厚さに塗工後、100℃以上、好ましくは100〜300℃、より好ましくは150〜300℃で反応させる工程が例示される。反応時間は、好ましくは1〜12時間、より好ましくは1〜6時間である。   As a specific example of the step (B), for example, the polymer obtained in the step (A) is coated to an appropriate thickness by a method such as casting, spin coating, roll coating, etc., and then 100 ° C. or higher, preferably 100 The process of making it react at -300 degreeC, More preferably, 150-300 degreeC is illustrated. The reaction time is preferably 1 to 12 hours, more preferably 1 to 6 hours.

以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて説明するが、本発明はこれらの実施例等によりなんら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated based on an Example and a comparative example, this invention is not limited at all by these Examples.

〔金属酸化物微粒子の平均粒子径〕
金属酸化物微粒子の平均粒子径とは、金属酸化物微粒子の一次粒子の平均粒子径のことであり、透過型電子顕微鏡TEMにて、画像に映った粒子100個の直径を測定し、それらの平均値を平均粒子径とする。
[Average particle diameter of metal oxide fine particles]
The average particle size of the metal oxide fine particles is the average particle size of the primary particles of the metal oxide fine particles. The transmission electron microscope TEM is used to measure the diameter of 100 particles in the image. Let the average value be the average particle size.

金属酸化物微粒子の表面処理例1
攪拌機、還流冷却器、及び窒素導入管を備えた容器に、平均粒子径15nmのコロイダルシリカ水分散液(商品名:スノーテックスOS、日産化学社製、固形分濃度20重量%)10.0g、及びメタノール15.0gを加えた。そこに、表面処理剤として、2-〔(3,4)-エポキシシクロヘキシル〕エチルトリメトキシシラン〔商品名:KBM-303、信越シリコーン社製、式(I)におけるRが3,4-エポキシシクロヘキシル基、R、R及びRがメチル基〕2.0g(金属酸化物微粒子100重量部に対して100重量部)をメタノール5.0gに溶解した液を、滴下ロートを用いて、1秒間に1滴滴下するような滴下速度で滴下混合し、60℃で1時間加熱攪拌を行った。その後、室温まで冷却して、ジメチルアセトアミド3gを加え、次いでロータリーエバポレーターを用いてメタノールと水を留去して固形分濃度を20重量%に調整し、表面処理されたシリカのジメチルアセトアミド分散液(シリカ分散液A)を得た。
Surface treatment example 1 of metal oxide fine particles
In a container equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a nitrogen introduction tube, 10.0 g of a colloidal silica aqueous dispersion having an average particle size of 15 nm (trade name: Snowtex OS, manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd., solid concentration 20 wt%), and 15.0 g of methanol was added. As a surface treatment agent, 2-[(3,4) -epoxycyclohexyl] ethyltrimethoxysilane [trade name: KBM-303, manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., R 1 in the formula (I) is 3,4-epoxy Cyclohexyl group, R 2 , R 3 and R 4 are methyl groups] A solution obtained by dissolving 2.0 g (100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of metal oxide fine particles) in 5.0 g of methanol was added for 1 second using a dropping funnel. The mixture was dropped and mixed at a dropping speed so as to drop one drop at a time, and stirred at 60 ° C. for 1 hour. Thereafter, the mixture was cooled to room temperature, 3 g of dimethylacetamide was added, methanol and water were then distilled off using a rotary evaporator to adjust the solid concentration to 20% by weight, and a dimethylacetamide dispersion of surface-treated silica ( Silica dispersion A) was obtained.

金属酸化物微粒子の表面処理例2
表面処理例1と同様の装置を用い、コロイダルシリカ水分散液(スノーテックスOS)10.0g、及びメタノール15.0gを用いる代わりに、平均粒子径5nmのコロイダルシリカ水分散液(商品名:スノーテックスOSX、日産化学社製、固形分濃度10重量%)20.0g、及びメタノール30.0gを用いた以外は、表面処理例1と同様にして、表面処理されたシリカのジメチルアセトアミド分散液(シリカ分散液B)を得た。
Example 2 of surface treatment of metal oxide fine particles
Using the same equipment as in Surface Treatment Example 1, instead of using 10.0 g of colloidal silica aqueous dispersion (Snowtex OS) and 15.0 g of methanol, a colloidal silica aqueous dispersion (trade name: Snowtex OSX with an average particle size of 5 nm) Surface treatment silica dimethylacetamide dispersion (silica dispersion B) in the same manner as in surface treatment example 1 except that 20.0 g of solid chemical concentration, manufactured by Nissan Chemical Co., Ltd. and 20.0 g of methanol were used. )

金属酸化物微粒子の表面処理例3
表面処理例1と同様の装置を用い、表面処理剤として、KBM-303を2.0g用いる代わりに、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン〔商品名:KBM-403、信越シリコーン社製、式(I)におけるRが3-グリシドキシプロピル基、R、R及びRがエチル基〕2.0g(金属酸化物微粒子100重量部に対して100重量部)を用いた以外は、表面処理例1と同様にして、表面処理されたシリカのジメチルアセトアミド分散液(シリカ分散液C)を得た。
Surface treatment example 3 of metal oxide fine particles
Instead of using 2.0 g of KBM-303 as the surface treatment agent, using the same apparatus as in Surface Treatment Example 1, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane [trade name: KBM-403, manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd. Except for the use of 2.0 g (100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of metal oxide fine particles)] in which R 1 in I) is 3-glycidoxypropyl group, R 2 , R 3 and R 4 are ethyl groups In the same manner as in Treatment Example 1, a surface-treated dimethylacetamide dispersion of silica (silica dispersion C) was obtained.

金属酸化物微粒子の表面処理例4
表面処理例1と同様の装置を用い、表面処理剤として、KBM-303を2.0g用いる代わりに、KBM-303を1.5g、及びヘキシルトリメトキシシラン〔商品名:KBM-3063、信越シリコーン社製、式(I)におけるRがヘキシル基、R、R及びRがメチル基〕0.5g(総使用量は、金属酸化物微粒子100重量部に対して100重量部)を用いた以外は、表面処理例1と同様にして、表面処理されたシリカのジメチルアセトアミド分散液(シリカ分散液D)を得た。
Surface treatment example 4 of metal oxide fine particles
Using the same equipment as in Surface Treatment Example 1, instead of using 2.0 g of KBM-303 as the surface treatment agent, 1.5 g of KBM-303 and hexyltrimethoxysilane [trade name: KBM-3063, manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd. In the formula (I), R 1 is a hexyl group, R 2 , R 3 and R 4 are methyl groups] 0.5 g (total amount used is 100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of metal oxide fine particles) Produced surface-treated dimethylacetamide dispersion (silica dispersion D) in the same manner as in surface treatment example 1.

金属酸化物微粒子の表面処理例5
表面処理例1と同様の装置を用い、表面処理剤として、KBM-303を2.0g用いる代わりに、メチルトリメトキシシラン〔商品名:KBM-13、信越シリコーン社製、式(I)におけるRがメチル基、R、R及びRがメチル基〕2.0g(金属酸化物微粒子100重量部に対して100重量部)を用いた以外は、表面処理例1と同様にして、表面処理されたシリカのジメチルアセトアミド分散液(シリカ分散液E)を得た。
Surface treatment example 5 of metal oxide fine particles
Instead of using 2.0 g of KBM-303 as the surface treatment agent, using the same apparatus as in Surface Treatment Example 1, methyltrimethoxysilane [trade name: KBM-13, manufactured by Shin-Etsu Silicone, R 1 in formula (I) Is a methyl group, R 2 , R 3, and R 4 are methyl groups], except that 2.0 g (100 parts by weight with respect to 100 parts by weight of metal oxide fine particles) is used. A silica dimethylacetamide dispersion (silica dispersion E) was obtained.

実施例1
攪拌機、還流冷却器、及び窒素導入管を備えた容器に、ジアミン誘導体として、ビス〔4-(3-アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン(商品名:m-BAPS、和歌山精化社製)10.81g、及び無水ジメチルアセトアミド20gを加え、ジアミン誘導体を溶解させた。そこに、室温(25℃)で、シリカ分散液A 0.75g、及び予め150℃で3時間乾燥させたオキシジフタル酸無水物(商品名:ODPA、マナック社製)8.97gを加え、また、粘度調整するために、合計量8gの無水ジメチルアセトアミドを適宜加えて、3時間攪拌してポリアミド酸溶液を得た。得られたポリアミド酸溶液を膜厚100μmになるようにカプトンフィルムに塗工し、100℃で1時間、150℃で1時間、250℃で1時間と順次加熱して、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Example 1
In a container equipped with a stirrer, a reflux condenser, and a nitrogen introduction tube, 10.81 g of bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone (trade name: m-BAPS, manufactured by Wakayama Seika Co., Ltd.) as a diamine derivative, And 20 g of anhydrous dimethylacetamide were added to dissolve the diamine derivative. Thereto, 0.75 g of silica dispersion A at room temperature (25 ° C.) and 8.97 g of oxydiphthalic anhydride (trade name: ODPA, Manac) previously dried at 150 ° C. for 3 hours are added, and the viscosity is adjusted. Therefore, a total amount of 8 g of anhydrous dimethylacetamide was appropriately added and stirred for 3 hours to obtain a polyamic acid solution. The obtained polyamic acid solution was applied to a Kapton film so as to have a film thickness of 100 μm, and heated successively at 100 ° C. for 1 hour, 150 ° C. for 1 hour, and 250 ° C. for 1 hour to obtain 2.5 wt% silica particles. A polyimide film containing was obtained.

実施例2
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75g、及び粘度調整用の無水ジメチルアセトアミド8gを用いる代わりに、シリカ分散液A 3.75g、及び粘度調整用の無水ジメチルアセトアミド7.25gを用いた以外は、実施例1と同様にして、10重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Example 2
Using the same apparatus as in Example 1, instead of using 0.75 g of silica dispersion A and 8 g of anhydrous dimethylacetamide for adjusting viscosity, 3.75 g of silica dispersion A and 7.25 g of anhydrous dimethylacetamide for adjusting viscosity are used. A polyimide film containing 10% by weight of silica particles was obtained in the same manner as in Example 1 except that.

実施例3
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いる代わりに、シリカ分散液B 0.75gを用いた以外は、実施例1と同様にして、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Example 3
In the same manner as in Example 1, except that 0.75 g of silica dispersion B was used instead of 0.75 g of silica dispersion A using the same apparatus as in Example 1, 2.5 wt% silica particles were contained. A polyimide film was obtained.

実施例4
実施例1と同様の装置を用い、オキシジフタル酸無水物(ODPA)8.97gを用いる代わりに、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(商品名:BPDA、JFEケミカル社製)7.25gを用いた以外は、実施例1と同様にして、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Example 4
Using the same apparatus as in Example 1, instead of using 8.97 g of oxydiphthalic anhydride (ODPA), except that 7.25 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride (trade name: BPDA, manufactured by JFE Chemical) was used, In the same manner as in Example 1, a polyimide film containing 2.5% by weight of silica particles was obtained.

実施例5
実施例1と同様の装置を用い、ジアミン誘導体(m-BAPS)10.81g、及びオキシジフタル酸無水物(ODPA)8.97gを用いる代わりに、2,2'-ビス(トリフルオロメチル)-1,1'-ビフェニル-4,4'-ジアミン(商品名:m-TBFA、和歌山精化社製)6.40g、4,4'-ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物(商品名:6FDA、クラリアント社製)8.88gを用いた以外は、実施例1と同様にして、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Example 5
Using the same apparatus as in Example 1, instead of using 10.81 g of the diamine derivative (m-BAPS) and 8.97 g of oxydiphthalic anhydride (ODPA), 2,2′-bis (trifluoromethyl) -1,1 '-Biphenyl-4,4'-diamine (trade name: m-TBFA, manufactured by Wakayama Seika Co., Ltd.) 6.40 g, 4,4'-hexafluoroisopropylidenediphthalic anhydride (trade name: 6FDA, manufactured by Clariant) ) A polyimide film containing 2.5% by weight of silica particles was obtained in the same manner as in Example 1 except that 8.88 g was used.

実施例6
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いる代わりに、シリカ分散液C 0.75gを用いた以外は、実施例1と同様にして、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Example 6
In the same manner as in Example 1, except that 0.75 g of silica dispersion C was used instead of 0.75 g of silica dispersion A, 2.5 wt% silica particles were contained. A polyimide film was obtained.

実施例7
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いる代わりに、シリカ分散液D 0.75gを用いた以外は、実施例1と同様にして、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Example 7
In the same manner as in Example 1, except that 0.75 g of silica dispersion D was used instead of 0.75 g of silica dispersion A using the same apparatus as in Example 1, 2.5 wt% silica particles were contained. A polyimide film was obtained.

比較例1
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いる代わりに、市販のオルガノシリカゾル(商品名:DMAC-ST、日産化学社製、ジメチルアセトアミド溶媒、シリカ濃度20重量%) 0.75gを用いた以外は、実施例1と同様にして、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Comparative Example 1
Using the same apparatus as in Example 1, instead of using 0.75 g of silica dispersion A, a commercially available organosilica sol (trade name: DMAC-ST, manufactured by Nissan Chemical Industries, dimethylacetamide solvent, silica concentration 20 wt%) 0.75 g A polyimide film containing 2.5% by weight of silica particles was obtained in the same manner as in Example 1 except that was used.

比較例2
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いる代わりに、市販のオルガノシリカゾル(商品名:DMAC-ST、日産化学社製、ジメチルアセトアミド溶媒、シリカ濃度20重量%) 0.75gを用いた以外は、実施例4と同様にして、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Comparative Example 2
Using the same apparatus as in Example 1, instead of using 0.75 g of silica dispersion A, a commercially available organosilica sol (trade name: DMAC-ST, manufactured by Nissan Chemical Industries, dimethylacetamide solvent, silica concentration 20 wt%) 0.75 g A polyimide film containing 2.5% by weight of silica particles was obtained in the same manner as in Example 4 except that was used.

比較例3
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いる代わりに、シリカ分散液E 0.75gを用いた以外は、実施例1と同様にして、2.5重量%のシリカ粒子を含んだポリイミドフィルムを得た。
Comparative Example 3
In the same manner as in Example 1, except that 0.75 g of silica dispersion E was used instead of 0.75 g of silica dispersion A using the same apparatus as in Example 1, 2.5 wt% silica particles were contained. A polyimide film was obtained.

参考例1
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いない以外は、実施例1と同様にして、シリカ粒子を含まないポリイミドフィルムを得た。なお、ポリアミド酸溶液はガラス板上に塗工してポリイミドフィルムを得た。
Reference example 1
A polyimide film containing no silica particles was obtained in the same manner as in Example 1, except that the same apparatus as in Example 1 was used and 0.75 g of silica dispersion A was not used. The polyamic acid solution was applied on a glass plate to obtain a polyimide film.

参考例2
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いない以外は、実施例4と同様にして、シリカ粒子を含まないポリイミドフィルムを得た。なお、ポリアミド酸溶液はガラス板上に塗工してポリイミドフィルムを得た。
Reference example 2
A polyimide film containing no silica particles was obtained in the same manner as in Example 4 except that the same apparatus as in Example 1 was used and 0.75 g of silica dispersion A was not used. The polyamic acid solution was applied on a glass plate to obtain a polyimide film.

参考例3
実施例1と同様の装置を用い、シリカ分散液A 0.75gを用いない以外は、実施例5と同様にして、シリカ粒子を含まないポリイミドフィルムを得た。なお、ポリアミド酸溶液はガラス板上に塗工してポリイミドフィルムを得た。
Reference example 3
A polyimide film containing no silica particles was obtained in the same manner as in Example 5 except that the same apparatus as in Example 1 was used and 0.75 g of silica dispersion A was not used. The polyamic acid solution was applied on a glass plate to obtain a polyimide film.

得られたポリイミドフィルムについて、以下の試験例1〜5の方法に従って評価を行った。結果を表1に示す。なお、試験例5では、試験例5に記載の方法で別途調製したポリイミドフィルムについて評価を行った。   About the obtained polyimide film, it evaluated according to the method of the following test examples 1-5. The results are shown in Table 1. In Test Example 5, the polyimide film separately prepared by the method described in Test Example 5 was evaluated.

試験例1〔ヘイズ〕
ヘイズメーター(HR-100、村上色彩社製)を用いて、フィルムのヘイズ値を測定した。ヘイズ値が3.0%以下であれば、透明性に優れることを意味する。
Test Example 1 [Haze]
The haze value of the film was measured using a haze meter (HR-100, manufactured by Murakami Color Co., Ltd.). A haze value of 3.0% or less means excellent transparency.

試験例2〔光透過率〕
紫外可視スペクトル測定器(U4100、日立社製)を用いて、波長430nmに対するフィルムの光透過率を測定した。なお、表中の括弧内の数値は、実施例1、2、3、6、7及び比較例1、3は、参考例1に対する増減の割合を、実施例4及び比較例2は、参考例2に対する増減の割合を、実施例5は、参考例3に対する増減の割合を示す。増加割合が大きいほど、金属酸化物微粒子を含有しないフィルムに対して熱イミド化の際の着色が少ないことを意味する。
Test Example 2 [Light transmittance]
The light transmittance of the film with respect to a wavelength of 430 nm was measured using an ultraviolet-visible spectrum measuring instrument (U4100, manufactured by Hitachi). The numerical values in parentheses in the table are Examples 1, 2, 3, 6, 7 and Comparative Examples 1 and 3, the rate of increase / decrease relative to Reference Example 1, and Example 4 and Comparative Example 2 are Reference Examples. Example 5 shows the rate of increase / decrease relative to 2 and Example 5 shows the rate of increase / decrease relative to Reference Example 3. It means that the larger the increase rate, the less the coloring during the thermal imidization with respect to the film containing no metal oxide fine particles.

試験例3〔耐熱性〕
フィルムを400℃で24時間処理した後の光透過率を試験例2と同様にして測定した。
Test Example 3 [Heat resistance]
The light transmittance after the film was treated at 400 ° C. for 24 hours was measured in the same manner as in Test Example 2.

試験例4〔弾性率〕
オートグラフ(AGS-J、島津製作所社製)を用いて、フィルムの弾性率を測定した。弾性率が710N/cm2以上であれば、機械的強度に優れることを意味する。なお、表中の括弧内の数値は、実施例1、2、3、6、7及び比較例1、3は、参考例1に対する増減の割合を、実施例4及び比較例2は、参考例2に対する増減の割合を、実施例5は、参考例3に対する増減の割合を示す。増加割合が大きいほど、金属酸化物微粒子を含有しないフィルムに対して機械的強度に優れることを意味する。
Test Example 4 [Elastic modulus]
The elastic modulus of the film was measured using an autograph (AGS-J, manufactured by Shimadzu Corporation). If the elastic modulus is 710 N / cm 2 or more, it means excellent mechanical strength. The numerical values in parentheses in the table are Examples 1, 2, 3, 6, 7 and Comparative Examples 1 and 3, the rate of increase / decrease relative to Reference Example 1, and Example 4 and Comparative Example 2 are Reference Examples. Example 5 shows the rate of increase / decrease relative to 2 and Example 5 shows the rate of increase / decrease relative to Reference Example 3. It means that it is excellent in mechanical strength with respect to the film which does not contain metal oxide microparticles, so that an increase rate is large.

試験例5〔接着性〕
ポリアミド酸溶液を、膜厚100μmになるようにカプトンフィルム(長さ10cm、幅2cm)に塗工した後、その上からガラス板を貼り合わせて、100℃で1時間、150℃で1時間、250℃で1時間と順次加熱してイミド化させた、接着フィルムを得た。得られた接着フィルムをオートグラフ(AGS-J、島津製作所社製)を用いて、室温(25℃)下、300mm/分のスピードで90度ピーリングする際の剥離強度(接着力)を測定して、接着性を評価した。剥離強度が200N/cm2以上であれば、接着性に優れることを意味する。
Test Example 5 [Adhesiveness]
After coating the polyamic acid solution on a Kapton film (length 10 cm, width 2 cm) to a film thickness of 100 μm, a glass plate was bonded on top of it, and 100 ° C. for 1 hour, 150 ° C. for 1 hour, An adhesive film obtained by imidization by sequential heating at 250 ° C. for 1 hour was obtained. Using the autograph (AGS-J, manufactured by Shimadzu Corporation), the peel strength (adhesive strength) was measured when the obtained adhesive film was peeled 90 degrees at a speed of 300 mm / min at room temperature (25 ° C). The adhesiveness was evaluated. If the peel strength is 200 N / cm 2 or more, it means excellent adhesion.

Figure 0005147137
Figure 0005147137

結果、実施例の組成物は、比較例に比べて、ヘイズが低く、光透過率が高く、かつ、機械的強度にも優れるものであることが分かる。また、金属酸化物微粒子を含有しながらも耐熱性に優れ、剥離強度も非常に高いものであった。一方、比較例の組成物は、シリカを含有することにより機械的強度が向上するものの、イミド化によりシリカの分散性が低下し、樹脂組成物が弱く白濁するものであった。   As a result, it can be seen that the compositions of the examples have lower haze, higher light transmittance, and better mechanical strength than the comparative examples. Moreover, while containing metal oxide fine particles, it was excellent in heat resistance and had very high peel strength. On the other hand, the composition of the comparative example was improved in mechanical strength by containing silica, but the dispersibility of silica was lowered by imidization, and the resin composition was weak and clouded.

感光性基材
実施例1におけるポリアミド酸溶液(表面処理後のシリカ含有)27gに、光塩基発生剤(1,4-ジヒドロキシピリジン誘導体、アルドリッチ社製)0.32g(ポリアミド酸100重量部に対して4重量部)、及びユニオックス(MM-500、日油社製)2.43g(ポリアミド酸100重量部に対して30重量部)を加えたワニスを、スピンコーターを用いて膜厚30μmで塗工して90℃で15分間プレベークを行って、フォトマスク(ライン/スペース=200μm/50μm、ミタニマイクロニクス社製)を載せた後、I線40mJを露光した。露光後、165℃で10分間加熱(PEB)を行って、40℃に加熱した現像液〔10%-TMAH水溶液/エキネン=50/50(重量比)〕に6分間浸漬して未露光部位を完全に除去し、残った部位をホットプレート上で200℃で33分、250℃で33分、300℃で33分、385℃で2時間と段階的に加熱硬化した。得られた硬化物の顕微鏡観察により、パターニングが出来ていることが確認された。
Photosensitive base material 27 g of the polyamic acid solution (containing silica after the surface treatment) in Example 1 and 0.32 g of a photobase generator (1,4-dihydroxypyridine derivative, manufactured by Aldrich) (based on 100 parts by weight of polyamic acid) 4 parts by weight), and varnish added with UNIOX (MM-500, NOF Corporation) 2.43 g (30 parts by weight with respect to 100 parts by weight of polyamic acid) was applied to a film thickness of 30 μm using a spin coater. Then, pre-baking was performed at 90 ° C. for 15 minutes, and after placing a photomask (line / space = 200 μm / 50 μm, manufactured by Mitani Micronics), I-line 40 mJ was exposed. After exposure, heat (PEB) at 165 ° C for 10 minutes and immerse in undeveloped part for 6 minutes in developer (10% -TMAH aqueous solution / Echinen = 50/50 (weight ratio)) heated to 40 ° C. After complete removal, the remaining part was heat-cured on a hot plate in steps of 200 ° C for 33 minutes, 250 ° C for 33 minutes, 300 ° C for 33 minutes, and 385 ° C for 2 hours. By microscopic observation of the obtained cured product, it was confirmed that patterning was possible.

本発明のポリイミド樹脂用組成物は、例えば、半導体用電子材料、コーティング材料、塗料、分離膜等を製造する際に好適に用いられる。   The polyimide resin composition of the present invention is suitably used, for example, when producing electronic materials for semiconductors, coating materials, paints, separation membranes and the like.

Claims (7)

カルボン酸化合物の無水物、ジアミン化合物、及び式(I):
Figure 0005147137
(式中、Rはエポキシ構造含有置換基、R、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜4の、直鎖又は分枝鎖のアルキル基を示す)
で表される3官能性アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理された金属酸化物微粒子を含有してなる、ポリイミド樹脂用組成物であって、前記表面処理後の金属酸化物微粒子の平均粒子径が1〜20nmである、ポリイミド樹脂用組成物
Carboxylic acid anhydrides, diamine compounds, and formula (I):
Figure 0005147137
(In the formula, R 1 represents an epoxy structure-containing substituent, R 2 , R 3 and R 4 each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
It is a composition for polyimide resin containing the metal oxide fine particle processed with the surface treating agent containing trifunctional alkoxysilane represented by these, Comprising: The average particle of the metal oxide fine particle after the said surface treatment A composition for polyimide resin having a diameter of 1 to 20 nm .
カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物とを重合反応させた重合物に、式(I):
Figure 0005147137
(式中、Rはエポキシ構造含有置換基、R、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜4の、直鎖又は分枝鎖のアルキル基を示す)
で表される3官能性アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理された金属酸化物微粒子を100℃以上で反応させて得られる、ポリイミド樹脂組成物であって、前記表面処理後の金属酸化物微粒子の平均粒子径が1〜20nmである、ポリイミド樹脂組成物
A polymer obtained by polymerizing an anhydride of a carboxylic acid compound and a diamine compound is converted into a compound represented by the formula (I):
Figure 0005147137
(In the formula, R 1 represents an epoxy structure-containing substituent, R 2 , R 3 and R 4 each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
A polyimide resin composition obtained by reacting a metal oxide fine particle treated with a surface treatment agent containing a trifunctional alkoxysilane represented by the formula at 100 ° C. or higher, the metal oxide after the surface treatment A polyimide resin composition having an average particle diameter of 1 to 20 nm .
反応に際して、予めカルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物との重合物と、表面処理剤で処理された金属酸化物微粒子との混合物を成形した後、反応に供する、請求項記載のポリイミド樹脂組成物。 3. The polyimide resin composition according to claim 2 , wherein in the reaction, a mixture of a polymer of an anhydride of a carboxylic acid compound and a diamine compound and a metal oxide fine particle treated with a surface treatment agent is molded, and then subjected to the reaction. object. 請求項記載のポリイミド樹脂組成物からなる、ポリイミドフィルム。 A polyimide film comprising the polyimide resin composition according to claim 3 . 請求項記載のポリイミドフィルムからなる接着剤。 An adhesive comprising the polyimide film according to claim 4 . 請求項記載のポリイミドフィルムからなる感光性基材。 A photosensitive substrate comprising the polyimide film according to claim 4 . 式(I):
Figure 0005147137
(式中、Rはエポキシ構造含有置換基、R、R及びRは、それぞれ独立して、炭素数1〜4の、直鎖又は分枝鎖のアルキル基を示す)
で表される3官能性アルコキシシランを含有する表面処理剤で処理された金属酸化物微粒子の存在下に、カルボン酸化合物の無水物とジアミン化合物とを23〜80℃で重合反応させる工程、及び該工程で得られた反応物を成形後、100℃以上で反応させる工程を含む、ポリイミド樹脂組成物の製造方法であって、前記表面処理後の金属酸化物微粒子の平均粒子径が1〜20nmである、ポリイミド樹脂組成物の製造方法
Formula (I):
Figure 0005147137
(In the formula, R 1 represents an epoxy structure-containing substituent, R 2 , R 3 and R 4 each independently represents a linear or branched alkyl group having 1 to 4 carbon atoms)
A step of polymerizing an anhydride of a carboxylic acid compound and a diamine compound at 23 to 80 ° C. in the presence of metal oxide fine particles treated with a surface treatment agent containing a trifunctional alkoxysilane represented by: A method for producing a polyimide resin composition comprising a step of reacting at 100 ° C. or higher after molding the reaction product obtained in the step , wherein the average particle size of the metal oxide fine particles after the surface treatment is 1 to 20 nm The manufacturing method of the polyimide resin composition which is .
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