JP5146381B2 - Liquid ejection device - Google Patents

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、液体を吐出させるよう動作するアクチュエータと、該アクチュエータへの駆動信号を供給するための配線板とを備える液体吐出装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejection apparatus that includes an actuator that operates to eject liquid and a wiring board that supplies a drive signal to the actuator.

液体吐出装置の一例であるインクジェットヘッドは、圧電シートを積層してなる圧電式のアクチュエータを備えてなるものがある。このようなアクチュエータ内にはインクを吐出する動作を行わせるための複数の電極が設けられており、アクチュエータの表面には各電極と電気的に導通された電極端子が設けられている。これら電極端子に所定の電位を付与するため、アクチュエータの表面には配線板が重ねて設けられる。配線板は配線群が形成される絶縁性を有した樹脂材を有し、該樹脂材の表面には電極端子に対応する配線端子が露出しており、電極端子上に設置された導電性バンプが配線端子に接触することによってこれら端子間が電気的に接続される。配線板はアクチュエータに対してその外側へと延在し、インクジェットヘッド外部の基板に接続される。   An ink jet head which is an example of a liquid discharge apparatus includes a piezoelectric actuator formed by stacking piezoelectric sheets. In such an actuator, a plurality of electrodes for performing an operation of ejecting ink are provided, and electrode terminals electrically connected to the respective electrodes are provided on the surface of the actuator. In order to apply a predetermined potential to these electrode terminals, a wiring board is provided on the surface of the actuator. The wiring board has an insulating resin material on which a wiring group is formed, and the wiring terminals corresponding to the electrode terminals are exposed on the surface of the resin material, and conductive bumps installed on the electrode terminals The terminals are electrically connected to each other by contacting the wiring terminals. The wiring board extends outward from the actuator and is connected to a substrate outside the inkjet head.

配線板とアクチュエータの接合方法として、例えば特許文献1に示す所謂カバーコート工法が知られている。カバーコート工法では、配線端子が露出する樹脂材の表面に熱硬化性の接着剤を未硬化状態で塗布しておく。この配線板をアクチュエータに重ねてバーヒータなどで熱圧着すると、電極端子上のバンプが接着剤を突き破るようにして配線端子に接触する。これにより接着剤はバンプの外表面に付着してバンプを包囲する。そして、配線板を外表面側からの加熱により接着剤を硬化させる。これにより、配線板が接着剤を介してバンプと接合され、更に該バンプを介してアクチュエータに接合される。   As a method for joining a wiring board and an actuator, for example, a so-called cover coat method shown in Patent Document 1 is known. In the cover coat method, a thermosetting adhesive is applied in an uncured state to the surface of the resin material from which the wiring terminals are exposed. When this wiring board is stacked on the actuator and thermocompression bonded with a bar heater or the like, the bump on the electrode terminal comes into contact with the wiring terminal so as to break through the adhesive. As a result, the adhesive adheres to the outer surface of the bump and surrounds the bump. Then, the adhesive is cured by heating the wiring board from the outer surface side. Thus, the wiring board is bonded to the bump via the adhesive, and further bonded to the actuator via the bump.

特開2005−305847号公報JP 2005-305847 A

配線板をアクチュエータに熱圧着して接合する際には、配線板の樹脂材がアクチュエータに比べて熱膨張係数が高いため、加熱時に樹脂材が熱膨張すると共にその後の冷却時には逆方向に熱収縮する。この熱応力により、バンプと接着剤とからなる接合部には平面方向全方位に向く引っ張り荷重が作用し、バンプが接着剤から剥がれるおそれがある。   When bonding the wiring board to the actuator by thermocompression bonding, the resin material of the wiring board has a higher coefficient of thermal expansion than the actuator, so the resin material will thermally expand during heating and heat shrink in the opposite direction during subsequent cooling. To do. Due to this thermal stress, a tensile load acting in all directions in the plane direction acts on the joint portion composed of the bump and the adhesive, and the bump may be peeled off from the adhesive.

接合部が単一の場合、接合部に作用する引っ張り荷重は周囲に発散されて接合部に対する荷重の影響は小さい。しかしながら、特許文献1のように複数の接合部がある場合、配線板の樹脂材がアクチュエータとの接合領域の中心部から略放射状に膨張・収縮し、特に接合領域の外周縁において大きな引っ張り荷重が作用することがある。ある接合部の周囲に他の接合部が存在していれば、各接合部での引っ張り荷重が互いに打ち消し合うと考えられるが、上記外周縁に配される接合部においては、接合領域外側に他の接合部が存在しないため、この接合部に作用する引っ張り荷重に偏りが生じてバンプが接着剤から剥がれ易くなると考えられる。特に特許文献1のような接合方法によれば、電極端子と配線端子との導通はバンプと配線端子及び電極端子とが直接接触することにより確保されるため、このような剥離が生じると電気的な不具合が発生し易くなる。   In the case of a single joint, the tensile load acting on the joint is diverged to the surroundings, and the influence of the load on the joint is small. However, when there are a plurality of joints as in Patent Document 1, the resin material of the wiring board expands and contracts substantially radially from the center of the joint area with the actuator, and a large tensile load is generated particularly at the outer periphery of the joint area. May work. If there are other joints around a certain joint, it is considered that the tensile loads at each joint will cancel each other out. Therefore, it is considered that the tensile load acting on the joint is uneven and the bumps are easily peeled off from the adhesive. In particular, according to the joining method as disclosed in Patent Document 1, electrical connection between the electrode terminal and the wiring terminal is ensured by direct contact between the bump, the wiring terminal, and the electrode terminal. It becomes easy to generate a trouble.

また、インクジェットヘッドを他の部品と組み立てたり、配線板を前述した外部の基板に接続したりするため、圧電アクチュータから外部に引き出されている部分を掴み上げることがある。このとき、バンプに対して引っ張り荷重が集中的に作用し、バンプの外表面から接着剤が剥離する場合もある。   Further, in order to assemble the ink jet head with other components, or to connect the wiring board to the above-described external substrate, the portion pulled out from the piezoelectric actuator may be picked up. At this time, a tensile load acts on the bumps in a concentrated manner, and the adhesive may peel off from the outer surface of the bumps.

そこで本発明は、上述のような問題に対し、バンプと配線板及びアクチュエータとの接合強度を大きくし、以って配線板側の端子とアクチュエータ側の端子との導通を確保することを目的としている。   In view of the above problems, the present invention aims to increase the bonding strength between the bump, the wiring board, and the actuator, thereby ensuring electrical connection between the wiring board side terminal and the actuator side terminal. Yes.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、本発明に係る液体吐出装置は、液体を吐出させるよう動作するアクチュエータと、前記アクチュエータを駆動させる駆動信号を当該アクチュエータに供給するための配線板と、前記配線板の表面上に設けられた第1端子、及び前記アクチュエータの表面上に設けられた第2端子の間に介在し、前記第1及び第2端子を電気的に導通させるための第1バンプとを備え、前記アクチュエータに重ねられた前記配線板が前記第1バンプを介して前記アクチュエータと接合されてなる液体吐出装置であって、前記第1バンプの周囲に配置される第2バンプを更に備え、前記第2バンプは、前記第1端子及び前記第2端子の少なくとも一方と平面視で部分的に重なるよう配置され、当該端子が設けられる前記表面から前記端子の外縁に噛み込むようにして設けられており、前記アクチュエータの前記表面に、複数の前記第2端子を配置する端子配置領域が規定され、前記第2バンプが、前記端子配置領域の外縁に配置された前記第2端子に対応して設けられており、前記配線板は前記アクチュエータと比べて熱膨張率が高く、前記配線板は前記第1及び第2バンプの加熱硬化の工程を経て前記アクチュエータと接合される構成であり、前記外縁の隅部に配置された前記第2端子に対応する前記第2バンプが、当該第2バンプに対応する前記第1バンプを基準にして前記配線板が熱変形する方向に沿って配置されていることを特徴としている。 The present invention has been made in view of such circumstances, and a liquid ejection apparatus according to the present invention is for supplying an actuator that operates to eject liquid and a drive signal that drives the actuator to the actuator. It is interposed between a wiring board, a first terminal provided on the surface of the wiring board, and a second terminal provided on the surface of the actuator, and electrically connects the first and second terminals. A liquid ejecting apparatus including a first bump for bonding, and the wiring board overlaid on the actuator being joined to the actuator via the first bump, and disposed around the first bump. A second bump is further provided, and the second bump is disposed so as to partially overlap at least one of the first terminal and the second terminal in plan view, and the terminal is provided. It is provided with from the surface to bite into the outer edge of said terminals, to the surface of the actuator, terminal arrangement area for arranging a plurality of the second terminal is defined, the second bump, the terminal arrangement region The wiring board has a higher coefficient of thermal expansion than the actuator, and the wiring board is a step of heat-curing the first and second bumps. And the second bump corresponding to the second terminal disposed at the corner of the outer edge is based on the first bump corresponding to the second bump. The wiring board is arranged along the direction in which the circuit board is thermally deformed .

このような構成とすることにより、配線板が引っ張られたり接合時に熱応力が発生したりしても、端子の外縁に噛み込む第2バンプを設けているため、この第2バンプによって平面方向に作用する引っ張り荷重を受けることができ、元々設置される第1バンプを保護することができる。この引っ張り荷重を受ける第2バンプは第1端子及び第2端子の少なくとも一方の外縁に噛み込んでおり、これら端子に対する接合強度が高められている。このため、第2バンプにおいて剥離が生じにくくなっている。このようなことから、第1及び第2バンプが第1端子及び第2端子と接触した状態を確保し、第1端子と第2端子との導通を確保することができる。   By adopting such a configuration, even if the wiring board is pulled or thermal stress is generated at the time of joining, the second bump is provided to be engaged with the outer edge of the terminal. It is possible to receive an acting tensile load and protect the originally installed first bump. The second bump receiving the tensile load is engaged with the outer edge of at least one of the first terminal and the second terminal, and the bonding strength to these terminals is increased. For this reason, peeling is less likely to occur in the second bump. For this reason, it is possible to secure the state in which the first and second bumps are in contact with the first terminal and the second terminal, and to ensure electrical connection between the first terminal and the second terminal.

本発明によれば、バンプと配線板及びアクチュエータとの接合強度を大きくすることができ、第1端子及び第2端子の導通を確保することができる。   According to the present invention, the bonding strength between the bump, the wiring board, and the actuator can be increased, and conduction between the first terminal and the second terminal can be ensured.

本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the inkjet head which concerns on embodiment of this invention. 図1のインクジェットヘッド、配線基板及び補強プレートを組み立てた状態にして、図1のα−α線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the ink jet head shown by cutting along the line α-α in FIG. 1 in a state where the ink jet head, the wiring board, and the reinforcing plate of FIG. 1 are assembled. 図1に示す配線基板の下面図である。It is a bottom view of the wiring board shown in FIG. 図1に示す圧電アクチュエータ及び配線基板を組み立てた状態にして、図1のα−α線に沿って切断して示す圧電アクチュエータ及び配線基板の部分断面図である。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of the piezoelectric actuator and the wiring board shown cut along the line α-α in FIG. 1 in a state where the piezoelectric actuator and the wiring board shown in FIG. 1 are assembled. 図1に示すインクジェットヘッドを組み立てた状態にして示すインクジェットヘッドの模式的平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view of an ink jet head shown in an assembled state of the ink jet head shown in FIG. 1. 図5に示す端子配置領域の隅部に配置されるバンプを示す図であり、(a)が該バンプ周辺を示すインクジェットヘッドの部分平面図、(b)が図6(a)のb−b線に沿って切断して示すインクジェットヘッドの部分断面図である。6A and 6B are views showing bumps arranged at corners of the terminal arrangement region shown in FIG. 5, where FIG. 6A is a partial plan view of the inkjet head showing the periphery of the bumps, and FIG. It is a fragmentary sectional view of the ink jet head shown cut along a line. 図6に示すバンプ及び補強バンプを用いた配線基板及びインクジェットヘッドの接合手順を示す図であり、(a)がバンプ及び補強バンプを電極端子に設置すると共に配線基板に未硬化の接着剤を塗布した状態、(b)が配線基板を圧電アクチュエータに重ねて補強バンプが配線端子に接触した状態を夫々示している。It is a figure which shows the joining procedure of the wiring board using the bump and reinforcement bump shown in FIG. 6, and an inkjet head, (a) installs a bump and a reinforcement bump in an electrode terminal, and apply | coats an unhardened adhesive agent on a wiring board (B) shows a state where the wiring board is placed on the piezoelectric actuator and the reinforcing bumps are in contact with the wiring terminals. 図6に示す補強バンプの配置変更例を示すインクジェットヘッドの部分平面図である。FIG. 7 is a partial plan view of an inkjet head showing an example of changing the arrangement of reinforcing bumps shown in FIG. 6.

以下これら図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1には本発明に係る液体吐出装置の実施形態として、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッド1が例示されている。ここではインクジェットヘッド1よりインクが吐出する方向を下方、被吐出媒体の搬送方向をX方向、搬送方向と直交する方向をY方向とする。インクジェットヘッド1は、流路ユニット2に上側から圧電アクチュエータ3を重ねてなる。圧電アクチュエータ3は、その外形形状が流路ユニット2よりも小さく、平面視で流路ユニット2の輪郭内側に配され、流路ユニット2の上面には圧電アクチュエータ3で覆われていない枠状部分が形成される。インクジェットヘッド1をインクジェットプリンタに搭載する際には、インクジェットヘッド1の剛性を確保するため、流路ユニット2の上面の枠状部分が補強プレート4の下面に接着される。このとき、流路ユニット2上の圧電アクチュエータ3は、補強プレート4の中央部に形成された開口5内に配される。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to these drawings. FIG. 1 illustrates an ink jet head 1 mounted on an ink jet printer as an embodiment of a liquid ejection apparatus according to the present invention. Here, the direction in which ink is ejected from the inkjet head 1 is defined as the downward direction, the transport direction of the medium to be ejected is defined as the X direction, and the direction orthogonal to the transport direction is defined as the Y direction. The ink jet head 1 is formed by superposing a piezoelectric actuator 3 on a flow path unit 2 from above. The piezoelectric actuator 3 has an outer shape smaller than that of the flow path unit 2 and is arranged on the inner side of the outline of the flow path unit 2 in a plan view, and the upper surface of the flow path unit 2 is not covered with the piezoelectric actuator 3. Is formed. When the inkjet head 1 is mounted on an inkjet printer, the frame-like portion on the upper surface of the flow path unit 2 is bonded to the lower surface of the reinforcing plate 4 in order to ensure the rigidity of the inkjet head 1. At this time, the piezoelectric actuator 3 on the flow path unit 2 is disposed in the opening 5 formed in the central portion of the reinforcing plate 4.

圧電アクチュエータ3には上側から可撓性を有したシート状の配線基板6が重ねられる。圧電アクチュエータ3の上面には複数の電極端子7が形成され、配線基板6の下面には該電極端子7に所定の電位を印加するための配線端子36(図3参照)が形成されている。配線基板6は、配線端子36(図3参照)を電極端子7と電気的に導通させるようにして、圧電アクチュエータ3に機械的に接合される。配線基板6は圧電アクチュエータ3に重ねられる接合部8と、接合部8から延在する一対の延在部9,10とを有し、各延在部9,10には圧電アクチュエータ3を駆動するための駆動IC11,12が実装されている。接合部8は圧電アクチュエータ3と共に開口5内に配され、各延在部9,10は開口5の下方から上方へ引き出される。補強プレート4を接合したインクジェットヘッド1は、図示しない箱状のヘッドホルダに取り付けられる。配線基板6の延在部9、10は接合部8に対し折り曲げられ(図2参照)、ヘッドホルダ内にコンパクトに収容される。   A flexible sheet-like wiring board 6 is overlaid on the piezoelectric actuator 3 from above. A plurality of electrode terminals 7 are formed on the upper surface of the piezoelectric actuator 3, and wiring terminals 36 (see FIG. 3) for applying a predetermined potential to the electrode terminals 7 are formed on the lower surface of the wiring substrate 6. The wiring board 6 is mechanically joined to the piezoelectric actuator 3 so that the wiring terminal 36 (see FIG. 3) is electrically connected to the electrode terminal 7. The wiring board 6 has a joint portion 8 that overlaps the piezoelectric actuator 3 and a pair of extension portions 9 and 10 extending from the joint portion 8. The extension portions 9 and 10 drive the piezoelectric actuator 3. Driving ICs 11 and 12 are mounted. The joint portion 8 is disposed in the opening 5 together with the piezoelectric actuator 3, and the extending portions 9 and 10 are pulled out from below the opening 5. The inkjet head 1 to which the reinforcing plate 4 is bonded is attached to a box-shaped head holder (not shown). The extending portions 9 and 10 of the wiring substrate 6 are bent with respect to the joint portion 8 (see FIG. 2) and are accommodated in a compact manner in the head holder.

流路ユニット2の上面の枠状部分には外部からインクを導入する4つのインク導入口13が開口し、補強プレート4にも各インク導入口13と上下に連通する4つの貫通孔14が開口している。なお、符号15はフィルタである。また、流路ユニット2の上面には多数の圧力室孔16が開口しており、これら圧力室孔16は後述するように圧電アクチュエータ3の下面で閉鎖される。   Four ink introduction ports 13 for introducing ink from the outside are opened in the frame-shaped portion on the upper surface of the flow path unit 2, and four through holes 14 communicating with the ink introduction ports 13 in the vertical direction are also opened in the reinforcing plate 4. doing. Reference numeral 15 denotes a filter. Further, a large number of pressure chamber holes 16 are opened on the upper surface of the flow path unit 2, and these pressure chamber holes 16 are closed on the lower surface of the piezoelectric actuator 3 as will be described later.

図2にはインクジェットヘッド1の部分断面図を示している。図2に示すように、流路ユニット2は複数枚のプレートの積層体であり、上面には前述したインク導入口13(図1参照)及び圧力室孔16が開口し、下面にはインクを吐出する複数のノズル17が開口している。そして、各プレートの開口や溝が互いに連通することによって流路ユニット2内にはインク導入口13(図1参照)より各ノズル17へとインクを導くインク流路18がそれぞれ形成される。インク流路18は、共通インク室19、共通インク室19から分岐する複数の接続流路20、各接続流路20に連通する複数の圧力室21、及び各圧力室21に連通する複数の流出路22からなり、各流出路22の下端にノズル17が個別に連通している。圧力室21は、圧力室孔16が圧電アクチュエータ3の下面で閉鎖されることで構成され、X方向に整列する複数の列がY方向に並んでいる。そのため、共通インク室19もX方向に延在していると共に、ノズル17、流出路22及び接続流路20もX方向に整列する複数の列がY方向に並んでいる。   FIG. 2 shows a partial cross-sectional view of the inkjet head 1. As shown in FIG. 2, the flow path unit 2 is a laminated body of a plurality of plates, and the ink introduction port 13 (see FIG. 1) and the pressure chamber hole 16 described above are opened on the upper surface, and ink is placed on the lower surface. A plurality of nozzles 17 for discharging are opened. An ink flow path 18 that guides ink from the ink inlet 13 (see FIG. 1) to each nozzle 17 is formed in the flow path unit 2 by the openings and grooves of the plates communicating with each other. The ink channel 18 includes a common ink chamber 19, a plurality of connection channels 20 branched from the common ink chamber 19, a plurality of pressure chambers 21 communicating with each connection channel 20, and a plurality of outflows communicating with each pressure chamber 21. The nozzles 17 are individually communicated with the lower ends of the respective outflow paths 22. The pressure chamber 21 is configured by closing the pressure chamber hole 16 on the lower surface of the piezoelectric actuator 3, and a plurality of rows aligned in the X direction are arranged in the Y direction. Therefore, the common ink chamber 19 also extends in the X direction, and a plurality of rows in which the nozzles 17, the outflow paths 22, and the connection flow paths 20 are also aligned in the X direction are arranged in the Y direction.

圧電アクチュエータ3は、複数枚の圧電シート23〜28を積層してなる積層体の上面に樹脂製のトップシート29が重ねられてなる。下から数えて奇数枚目の圧電シート23,25,27の上面には各圧力室21に対して共通の共通電極30が設けられ、下から数えて偶数枚目の圧電シート24,26の上面には各圧力室21に対して個別の個別電極31が設けられている。各個別電極31は平面視で対応する圧力室21と重なるようにして配置されている。これにより、各圧力室21の上方には共通電極30と個別電極31とが交互に配置されていくこととなる。   The piezoelectric actuator 3 is formed by laminating a resin-made top sheet 29 on an upper surface of a laminate formed by laminating a plurality of piezoelectric sheets 23 to 28. A common electrode 30 common to the pressure chambers 21 is provided on the upper surfaces of the odd-numbered piezoelectric sheets 23, 25, 27 counted from the bottom, and the upper surfaces of the even-numbered piezoelectric sheets 24, 26 counted from the bottom. Are provided with individual electrodes 31 for each pressure chamber 21. Each individual electrode 31 is arranged so as to overlap with the corresponding pressure chamber 21 in plan view. Thereby, the common electrodes 30 and the individual electrodes 31 are alternately arranged above the pressure chambers 21.

図1を参照すると、圧電アクチュエータ3の上面(即ちトップシート29の上面)に形成された電極端子7には、Ag−Pd系の材料で印刷形成されていて、共通電極30と電気的に導通された共通電極端子32と、各個別電極31と電気的に導通された複数の個別電極端子33とが含まれる。共通電極端子32はトップシート29のX方向端縁部をY方向に延在しており、個別電極端子33は平面視で圧力室21(図2参照)と重なるようにして配置されている。共通電極端子32には配線基板6を介してグランド電位が定電位として供給される。個別電極端子33には、インクの吐出を要しない待機時にはグランド電位が供給される一方、対応する圧力室21(図2参照)内のインクをノズル17(図2参照)より吐出するに際しては配線基板6を介して駆動IC11,12(図1参照)の何れか一方からの駆動信号が供給される。駆動信号はグランド電位よりも高電位である。   Referring to FIG. 1, the electrode terminal 7 formed on the upper surface of the piezoelectric actuator 3 (that is, the upper surface of the top sheet 29) is printed with an Ag—Pd material and is electrically connected to the common electrode 30. Common electrode terminal 32 and a plurality of individual electrode terminals 33 electrically connected to each individual electrode 31 are included. The common electrode terminal 32 extends in the Y direction at the edge of the top sheet 29 in the X direction, and the individual electrode terminal 33 is arranged so as to overlap the pressure chamber 21 (see FIG. 2) in plan view. A ground potential is supplied as a constant potential to the common electrode terminal 32 via the wiring substrate 6. The individual electrode terminal 33 is supplied with a ground potential during standby when ink ejection is not required, while wiring is performed when ink in the corresponding pressure chamber 21 (see FIG. 2) is ejected from the nozzle 17 (see FIG. 2). A drive signal is supplied from one of the drive ICs 11 and 12 (see FIG. 1) via the substrate 6. The drive signal is higher than the ground potential.

図2に戻り、個別電極31に駆動信号に基づく高電位が印加されると、該個別電極31と共通電極30との間で挟まれた領域が変形し、該個別電極31に対応する圧力室21の容積が変動する。この容積変動に応じて圧力室21内のインクに吐出圧力が付与され、該インクは流出路22を介してノズル17より下方へと吐出される。   Returning to FIG. 2, when a high potential based on the drive signal is applied to the individual electrode 31, the region sandwiched between the individual electrode 31 and the common electrode 30 is deformed, and the pressure chamber corresponding to the individual electrode 31 is deformed. The volume of 21 varies. A discharge pressure is applied to the ink in the pressure chamber 21 according to the volume fluctuation, and the ink is discharged downward from the nozzle 17 through the outflow path 22.

図3に示すように、配線基板6には共通電極30(図2参照)にグランド電位を定電位として供給するための定電位配線(図示せず)と、各個別電極31(図2参照)に駆動信号を供給するための複数の個別配線35とが設けられ、各個別配線35の一端部は駆動IC11,12の何れか一方に接続される。配線基板6の接合部8の下面に形成された配線端子36には、定電位配線34と接続される定電位配線端子37と、各個別配線35の他端部と接続される個別配線端子38とが含まれる。定電位配線端子37は接合部のX方向端縁部をY方向に延在し、個別配線端子38は圧力室孔16(図1参照)と同様にして配列されている。また、配線基板6には駆動IC11,12に接続される複数の入力用配線(図示せず)が個別配線35とは反対側に配設されている。   As shown in FIG. 3, the wiring substrate 6 has a constant potential wiring (not shown) for supplying a ground potential as a constant potential to the common electrode 30 (see FIG. 2), and each individual electrode 31 (see FIG. 2). A plurality of individual wirings 35 for supplying drive signals to each other are provided, and one end of each individual wiring 35 is connected to one of the driving ICs 11 and 12. A wiring terminal 36 formed on the lower surface of the joint portion 8 of the wiring board 6 includes a constant potential wiring terminal 37 connected to the constant potential wiring 34 and an individual wiring terminal 38 connected to the other end of each individual wiring 35. And are included. The constant potential wiring terminal 37 extends in the Y direction at the X-direction edge of the joint, and the individual wiring terminals 38 are arranged in the same manner as the pressure chamber holes 16 (see FIG. 1). In addition, a plurality of input wirings (not shown) connected to the driving ICs 11 and 12 are disposed on the wiring substrate 6 on the side opposite to the individual wirings 35.

図4に示すように、配線基板6は表面に配線が形成される帯状の基板部39と、基板部39の配線が形成される面を被覆するレジスト部40とを有する。基板部39はポリイミド製で絶縁性及び可撓性を有している。接合部8においてはレジスト部40が部分的に切り欠かれており、この切り欠いた部分において配線端子7を外部に露出させるようにしている。   As shown in FIG. 4, the wiring substrate 6 includes a strip-shaped substrate portion 39 on which wiring is formed on the surface, and a resist portion 40 that covers the surface of the substrate portion 39 on which the wiring is formed. The substrate portion 39 is made of polyimide and has insulating properties and flexibility. The resist portion 40 is partially cut out at the joint portion 8, and the wiring terminal 7 is exposed to the outside at the cut-out portion.

配線基板6は、例えば所謂カバーコート工法を用いて圧電アクチュエータ3に接合される。つまり、圧電アクチュエータ3の電極端子7上に導電性のバンプ41を設置し、配線基板6の接合部8のうち配線端子36が露出する面に未硬化状態の熱硬化性を有した接着剤42を塗布しておき、各配線端子36が対応する電極端子7と平面視で重なるようにして接合部8を圧電アクチュエータ3に上側から重ね、バーヒータ(図示せず)などで熱圧着させる。すると、バンプ41が未硬化状態の接着剤42を突き破るようにしてバンプ41の先端部が配線端子36に接触し、バンプ41の外表面に接着剤42が付着する。その後、接合部8に与えた熱で接着剤42を硬化させる。配線基板6は、接合部8の表面とバンプ41の外表面とに亘って付着している接着剤42を介し、バンプ41及び圧電アクチュエータ3と接合される。バンプ41は、銀や半田等の導電材を含む樹脂製の導電性接着材で形成されており,接着剤42を介して配線端子36と電気端子7とが機械的に接合されると同時に電気的に導通する。バンプ41は、印刷またはインクジェット法などで形成される。なお、電極端子7上に形成された当初は流動性を有しているものの、適した硬度を有するまで熱硬化させることによって適度な柔軟性を有した状態でその形状が保持される。   The wiring board 6 is bonded to the piezoelectric actuator 3 using, for example, a so-called cover coat method. In other words, conductive bumps 41 are provided on the electrode terminals 7 of the piezoelectric actuator 3, and an uncured thermosetting adhesive 42 on the surface of the bonding portion 8 of the wiring board 6 where the wiring terminals 36 are exposed. The joint 8 is overlapped with the piezoelectric actuator 3 from above so that each wiring terminal 36 overlaps the corresponding electrode terminal 7 in plan view, and is thermocompression bonded with a bar heater (not shown) or the like. Then, the tip of the bump 41 comes into contact with the wiring terminal 36 so that the bump 41 breaks through the uncured adhesive 42, and the adhesive 42 adheres to the outer surface of the bump 41. Thereafter, the adhesive 42 is cured by heat applied to the joint 8. The wiring substrate 6 is bonded to the bump 41 and the piezoelectric actuator 3 via an adhesive 42 that is attached across the surface of the bonding portion 8 and the outer surface of the bump 41. The bump 41 is formed of a resin-made conductive adhesive material including a conductive material such as silver or solder, and the wiring terminal 36 and the electric terminal 7 are mechanically bonded via the adhesive 42 and are electrically connected. Conductive. The bump 41 is formed by printing or an inkjet method. In addition, although initially formed on the electrode terminal 7 has fluidity, its shape is maintained in a state having appropriate flexibility by thermosetting it to an appropriate hardness.

図5に示すように、圧電アクチュエータ3の上面には電極端子7が配置される端子配置領域Aが規定されており、該領域Aの輪郭線上にバンプ41が並ぶこととなる。該領域Aの輪郭線は圧電アクチュエータ3の平面視輪郭線に沿った略矩形状となる。   As shown in FIG. 5, a terminal arrangement area A in which the electrode terminals 7 are arranged is defined on the upper surface of the piezoelectric actuator 3, and the bumps 41 are arranged on the contour line of the area A. The outline of the region A has a substantially rectangular shape along the outline of the piezoelectric actuator 3 in plan view.

接合部8が圧電アクチュエータ3に接合された後には、前述したように延在部8が接合部8に対して折り曲げられる(図5矢印C参照)。このとき、接合部8に対して延在部9,10がX方向に引き出されているため、端子配置領域Aの輪郭線のうちY方向に延びる線B上にあるバンプ41′は、延在部9,10の折り曲げに伴う荷重が作用する。このため、当該バンプ41′が設けられている部分においては、端子配置領域Aの輪郭線上にはない他のバンプと比べ、配線基板6が圧電アクチュエータ3から相対的に剥がれ易い。   After the joining portion 8 is joined to the piezoelectric actuator 3, as described above, the extending portion 8 is bent with respect to the joining portion 8 (see arrow C in FIG. 5). At this time, since the extending portions 9 and 10 are drawn out in the X direction with respect to the joint portion 8, the bump 41 ′ on the line B extending in the Y direction out of the outline of the terminal arrangement region A extends. The load accompanying bending of the parts 9 and 10 acts. Therefore, in the portion where the bump 41 ′ is provided, the wiring board 6 is relatively easily peeled off from the piezoelectric actuator 3 as compared with other bumps not on the outline of the terminal arrangement area A.

また、ポリイミド製の基板部39の熱膨張率と圧電層であるトップシート29の熱膨張率との違いや、バーヒータから配線基板6に伝達される熱量とトップシート29に伝達される熱量との違い等に基づいて、接着剤42(図4参照)を硬化させるときには配線基板6の熱膨張量がトップシート29の熱膨張量を上回る。このとき接合部8はその中心部から略放射状に熱膨張し、その後冷却される過程では逆方向に熱収縮する(図5矢印D参照)。よって、バンプ41には平面方向に互いに引っ張り荷重がかかる。あるバンプ41の周囲に他のバンプ41が配されている場合には、これらバンプに作用する各引っ張り荷重が互いに打ち消し合うと考えられるが、端子形成領域Aの輪郭線上に配されたバンプでは、該領域Aの外側に他のバンプが存在しないため、該バンプに作用する平面方向の引っ張り荷重に偏りがある。特に端子配置領域Aの輪郭線のうち隅部に配置されるバンプ41″においては、端子配置領域Aの中央部に配置された他のバンプと比べ、配線基板6の熱膨張・熱収縮の影響を受け易い。よって、配線基板6はこの部分において圧電アクチュエータ3から相対的に剥がれ易い。   Further, the difference between the thermal expansion coefficient of the polyimide substrate portion 39 and the thermal expansion coefficient of the top sheet 29 which is a piezoelectric layer, the amount of heat transmitted from the bar heater to the wiring substrate 6 and the amount of heat transmitted to the top sheet 29 Based on the difference or the like, when the adhesive 42 (see FIG. 4) is cured, the thermal expansion amount of the wiring board 6 exceeds the thermal expansion amount of the top sheet 29. At this time, the joint portion 8 thermally expands radially from its central portion, and then thermally contracts in the opposite direction in the process of being cooled thereafter (see arrow D in FIG. 5). Therefore, a tensile load is applied to the bumps 41 in the plane direction. When other bumps 41 are arranged around a certain bump 41, it is considered that the respective tensile loads acting on these bumps cancel each other, but in the bumps arranged on the outline of the terminal formation region A, Since there are no other bumps outside the area A, the planar tensile load acting on the bumps is biased. In particular, in the bump 41 ″ arranged at the corner of the outline of the terminal arrangement region A, the influence of the thermal expansion / contraction of the wiring board 6 compared to other bumps arranged in the center of the terminal arrangement region A. Therefore, the wiring board 6 is relatively easily peeled off from the piezoelectric actuator 3 at this portion.

そこで、図6には端子配置領域Aの隅部に配置されたバンプ41″周辺の構成が示されている。ここで、各個別電極端子33は、対応する個別電極31(図2参照)に導通するためのスルーホールが形成されるAg−Pd製の端子本体部43と、端子本体部43から突出するように形成されたガラスフリットを含むAg製の平面視矩形状のランド部44とを有し、バンプ41″はこのランド部44の中心部に設置される。端子本体部43は、圧力室21および活性部となる圧電層と対応する位置に形成され、ランド部44は、端子本体部43から圧力室21とは反対側に延出した延出部43a上に設けられている。このように接合ポイントが圧力室21や活性部から離れた位置にあるため、活性部の変形が接合により阻害されることはない。   6 shows a configuration around the bump 41 ″ arranged at the corner of the terminal arrangement region A. Here, each individual electrode terminal 33 is connected to the corresponding individual electrode 31 (see FIG. 2). A terminal main body 43 made of Ag-Pd in which a through hole for conduction is formed, and a land portion 44 having a rectangular shape in plan view made of Ag including a glass frit formed so as to protrude from the terminal main body 43. The bump 41 ″ is provided at the center of the land portion 44. The terminal main body portion 43 is formed at a position corresponding to the pressure chamber 21 and the piezoelectric layer serving as the active portion, and the land portion 44 is formed on the extension portion 43 a that extends from the terminal main body portion 43 to the side opposite to the pressure chamber 21. Is provided. As described above, since the joining point is located away from the pressure chamber 21 and the active part, the deformation of the active part is not hindered by the joining.

そして、このバンプ41″に近接して補強バンプ45が設けられている。補強バンプ45は、バンプ41、41″と同様にして形成され、適度な柔軟性を有している。そして、ランド部44上とトップシート29の表面上とに跨るようにして設置されており、平面視において部分的にランド部44とオーバーラップしている。補強バンプ45は、バンプ41、41″と同様に柔軟性を有しているため、図6(b)に示すように、ランド部44の外縁部46に補強バンプ45が噛み込むようにして接触している。このとき、バンプ41″の周囲に、接着剤42が流動されているとともに、補強バンプ45とも接触しているため、ランド部44の外縁部46に補強バンプ45が噛み込んだ状態で接着剤42により固定されることにより、補強バンプ45の圧電アクチュエータ3に対する接合強度を高めることができる。   Reinforcing bumps 45 are provided in the vicinity of the bumps 41 ″. The reinforcing bumps 45 are formed in the same manner as the bumps 41 and 41 ″ and have appropriate flexibility. And it is installed so that it may straddle on the land part 44 and the surface of the top sheet 29, and it overlaps with the land part 44 partially in planar view. Since the reinforcing bumps 45 are flexible like the bumps 41 and 41 ″, the reinforcing bumps 45 are brought into contact with the outer edge portions 46 of the land portions 44 as shown in FIG. 6B. At this time, since the adhesive 42 is flowing around the bump 41 ″ and is also in contact with the reinforcing bump 45, the bonding is performed in a state where the reinforcing bump 45 is engaged with the outer edge portion 46 of the land portion 44. By fixing with the agent 42, the bonding strength of the reinforcing bump 45 to the piezoelectric actuator 3 can be increased.

また、補強バンプ45は、ランド部44の中央部に配置されたバンプ41″を基準にして配線基板6の熱膨張・熱収縮の方向に沿って設けられている。換言すると、図6(a)にはこのバンプ41″を基準にした配線基板6の熱膨張・熱収縮の方向を便宜的に直線矢印Bで示しているが、補強バンプ45はこの直線矢印B上に配置される。   Further, the reinforcing bump 45 is provided along the direction of thermal expansion / contraction of the wiring board 6 with reference to the bump 41 ″ disposed at the center of the land portion 44. In other words, FIG. ) Shows the direction of thermal expansion / contraction of the wiring board 6 with the bump 41 ″ as a reference for the sake of convenience, but the reinforcing bump 45 is disposed on the linear arrow B.

図7(a)には上記バンプ41″周辺におけるバンプ設置直後の状態を示している。このように配線基板6を圧電アクチュエータ3に重ねる前において、圧電アクチュエータ3のバンプ41″と共に補強バンプ45が形成されている。補強バンプ45は、ランド部44と部分的にオーバーラップしているとともに、補強バンプ45はランド部44の中央部に設置されるバンプ41″に比べ、圧電アクチュエータ3の上面からの突出高さが大きく形成される。なお、この時点でバンプ41″及び補強バンプ45は適度な柔軟性を有した状態に硬化されている。   FIG. 7A shows a state immediately after the bumps 41 ″ around the bump 41 ″. Before the wiring substrate 6 is overlaid on the piezoelectric actuator 3, the reinforcing bumps 45 together with the bumps 41 ″ of the piezoelectric actuator 3 are formed. Is formed. The reinforcing bump 45 partially overlaps the land portion 44, and the reinforcing bump 45 has a protruding height from the upper surface of the piezoelectric actuator 3 as compared with the bump 41 ″ installed at the center portion of the land portion 44. At this time, the bump 41 ″ and the reinforcing bump 45 are hardened to have an appropriate flexibility.

このように補強バンプ45が高背であるため、配線基板6を圧電アクチュエータ3に重ねる過程では、まず補強バンプ45が接着剤42を突き破るようにして個別配線端子38に接触する(図7(b)参照)。このとき接着剤42は補強バンプ45の外表面に付着していく。この様態から更に配線基板6が圧電アクチュエータ3側に近付けられると、中央のバンプ41″も接着剤42を突き破るようにして個別配線端子38に接触する。この過程では補強バンプ45はさらに押し潰されて水平方向に広がるようにして変形する。このため補強バンプ45の外表面と中央のバンプ41″の外表面との間隔が縮まる。この態様から更に配線基板6を圧電アクチュエータ3側に近付け、中央のバンプ41″も押し潰したところで、配線基板6を圧電アクチュエータ3側に近づける動作を終了する(図7(b)参照)。これにより、補強バンプ45の外表面と中央のバンプ41″の外表面との間隔が更に縮まる。よって、これらバンプ45,41″の各外表面間には接着剤42が跨るようにして設けられる。接着剤42は、バンプ41″のみが配置されているときよりも補強バンプ45との接着面積が増えており、バンプに対する接合強度が向上している。さらに、補強バンプ45は個別配線端子38の外縁部47に噛み込むようにして設けられる。これにより、補強バンプ45の配線基板6に対する接合強度を高めることができる。なお、このようにして補強バンプ45が外縁部47に噛み込むのは、図6に示したように個別配線端子38を平面視で圧電アクチュエータに投影したときに補強バンプ45が部分的に個別配線端子38とオーバーラップするように配置されているためである。   Since the reinforcing bumps 45 are thus tall, in the process of superimposing the wiring board 6 on the piezoelectric actuator 3, the reinforcing bumps 45 first contact the individual wiring terminals 38 so as to penetrate the adhesive 42 (FIG. 7B). )reference). At this time, the adhesive 42 adheres to the outer surface of the reinforcing bump 45. When the wiring board 6 is further moved closer to the piezoelectric actuator 3 from this state, the central bump 41 ″ also contacts the individual wiring terminal 38 so as to break through the adhesive 42. In this process, the reinforcing bump 45 is further crushed. Therefore, the distance between the outer surface of the reinforcing bump 45 and the outer surface of the central bump 41 ″ is reduced. When the wiring board 6 is further brought closer to the piezoelectric actuator 3 side from this aspect and the central bump 41 ″ is also crushed, the operation of bringing the wiring board 6 closer to the piezoelectric actuator 3 side is finished (see FIG. 7B). As a result, the distance between the outer surface of the reinforcing bump 45 and the outer surface of the central bump 41 ″ is further reduced. Therefore, the adhesive 42 is provided between the outer surfaces of the bumps 45 and 41 ″. The adhesive 42 is bonded to the reinforcing bump 45 more than when only the bump 41 ″ is disposed. And the bonding strength to the bumps is improved. Further, the reinforcing bump 45 is provided so as to bite into the outer edge portion 47 of the individual wiring terminal 38. As a result, the bonding strength of the reinforcing bump 45 to the wiring board 6 can be increased. Note that the reinforcing bump 45 bites into the outer edge portion 47 in this way because the reinforcing bump 45 is partially connected to the individual wiring when the individual wiring terminal 38 is projected onto the piezoelectric actuator in plan view as shown in FIG. This is because they are arranged so as to overlap with the terminals 38.

その後、加熱により、接着剤42が硬化される。このとき、中央のバンプ41″を基準にして配線基板6の熱膨張の方向に沿って補強バンプ45が設けられているため、配線基板6の圧電アクチュエータ3に対する相対的な熱膨張によって中央のバンプ41″に作用する荷重が、補強バンプ45によって受け止められる。これにより、中央のバンプ41″が配線基板6より受ける熱膨張の影響を緩和することができ、配線基板6がこの部分において圧電アクチュエータ3から剥がれ難くすることができる。加熱終了後の熱収縮が生じるときの作用もこれと同様であり、中央のバンプ41″が配線基板6より受ける熱収縮の影響を緩和することができる。   Thereafter, the adhesive 42 is cured by heating. At this time, since the reinforcing bump 45 is provided along the direction of thermal expansion of the wiring board 6 with respect to the central bump 41 ″, the central bump is caused by relative thermal expansion of the wiring board 6 with respect to the piezoelectric actuator 3. The load acting on 41 ″ is received by the reinforcing bump 45. Thereby, the influence of the thermal expansion that the central bump 41 ″ receives from the wiring board 6 can be alleviated, and the wiring board 6 can be made difficult to peel off from the piezoelectric actuator 3 in this portion. The effect when it occurs is the same as this, and the influence of thermal contraction that the central bump 41 ″ receives from the wiring board 6 can be reduced.

なお、この補強バンプ45は端子配置領域A(図5参照)の隅部に配置されるバンプ41″を基準にして熱膨張・熱収縮する方向に沿って設けられるとしたが、圧電アクチュエータ3の上面の内側に設けてもよいし、外側に設けてもよい。また、図7の例示では、補強バンプ45を一つのみ設けるとしたが、2つの補強バンプ45を中央のバンプ41″を挟むようにして配置してもよく、その場合はより高い補強効果が見込まれる。また、補強バンプ45は、バンプ41とともに銀を含む樹脂材料で形成されているため、端子に対しての導通箇所を増やす効果も見込まれる。   The reinforcing bumps 45 are provided along the direction of thermal expansion / contraction based on the bumps 41 ″ arranged at the corners of the terminal arrangement area A (see FIG. 5). 7 may be provided on the inner side or the outer side of the upper surface, and only one reinforcing bump 45 is provided in the example of FIG. In this case, a higher reinforcing effect is expected. Further, since the reinforcing bumps 45 are formed of a resin material containing silver together with the bumps 41, an effect of increasing the number of conductive portions with respect to the terminals is also expected.

また、図5に示すように、端子配置領域Aの輪郭線のうち前述の線B上に配置されるバンプ41′の周囲に、補強バンプ45を設けてもよい。この場合、補強バンプ45は、バンプ41′を基準にして延在部9,10が設けられている側に配置されていることが好ましい。これにより、延在部9,10の折り曲げに伴う荷重を補強バンプ45で受け止めることができ、バンプ41′が配線基板6より受ける折り曲げの影響を緩和することができる。この場合においても、補強バンプ45は配線端子の外縁部及び電極端子の外縁部の少なくとも一方に噛み込むようにして設置することができ、これにより配線端子7及び/又は圧電アクチュエータ3に対する補強バンプ45の接合強度を高めることができる。   Further, as shown in FIG. 5, reinforcing bumps 45 may be provided around the bumps 41 ′ arranged on the above-mentioned line B in the outline of the terminal arrangement region A. In this case, the reinforcing bump 45 is preferably arranged on the side where the extending portions 9 and 10 are provided with reference to the bump 41 ′. Thereby, the load accompanying the bending of the extension parts 9 and 10 can be received by the reinforcing bump 45, and the influence of the bending that the bump 41 ′ receives from the wiring board 6 can be reduced. Also in this case, the reinforcing bump 45 can be installed so as to be engaged with at least one of the outer edge portion of the wiring terminal and the outer edge portion of the electrode terminal, thereby joining the reinforcing bump 45 to the wiring terminal 7 and / or the piezoelectric actuator 3. Strength can be increased.

勿論、端子配置領域Aの輪郭線の内側に配置される電極端子に対しても、そのランド中央に配置されるバンプに近接するよう補強バンプを配置してもよい。   Of course, the reinforcing bumps may be arranged close to the bumps arranged at the center of the land for the electrode terminals arranged inside the outline of the terminal arrangement region A.

図8は補強バンプ145の配置の変更例を示している。図8に示すように、ランド部44の中央に配置されたバンプ41を外囲するようにして複数の補強バンプを設けてもよい。このようにしておくことで、複数の接合部において外縁部や隅部においても引っ張り荷重による偏りがどの方向にあったとしてもその偏りを補うことができるため、補強構造として効果的である。これら補強バンプ145は、中央のバンプ41の平面視中央部を中心とする仮想円に沿って等間隔に配置される。   FIG. 8 shows a modification example of the arrangement of the reinforcing bumps 145. As shown in FIG. 8, a plurality of reinforcing bumps may be provided so as to surround the bump 41 arranged in the center of the land portion 44. By doing in this way, it is effective as a reinforcing structure because the bias can be compensated for in any direction in the outer edges and corners of the plurality of joints, regardless of the direction of the bias. These reinforcing bumps 145 are arranged at equal intervals along a virtual circle centering on the central portion of the central bump 41 in plan view.

このようにして複数の補強バンプ145を設けることにより、中央のバンプ41に作用する熱膨張・熱収縮の影響や、延在部の折り曲げに伴う荷重が緩和され、中央のバンプ41が配線基板の配線端子に接触した状態を良好に維持することができる。   By providing a plurality of reinforcing bumps 145 in this manner, the effects of thermal expansion / shrinkage acting on the central bump 41 and the load associated with the bending of the extending portion are alleviated, and the central bump 41 is connected to the wiring board. The state in contact with the wiring terminal can be maintained well.

図8に示すように、複数の補強バンプ145を設けるときには、その一部がランド部44の端部46に食い込むようにして配置されていなくてもよい。このようにランド部44の端縁部46に食い込んでいない補強バンプ145については、配線端子に対する接合強度を高めるため、配線端子の端縁部に食い込むようにして配置されていればよい。   As shown in FIG. 8, when a plurality of reinforcing bumps 145 are provided, some of them may not be arranged so as to bite into the end 46 of the land portion 44. In this way, the reinforcing bumps 145 that do not bite into the edge portion 46 of the land portion 44 may be arranged so as to bite into the edge portion of the wiring terminal in order to increase the bonding strength to the wiring terminal.

なお、本実施形態では、導通を考慮して補強バンプが導電性を含む樹脂材料で形成されているが、特にこれに限られることはなく、補強に特化させて設ける場合は導電性材料を含まなくてもよいし、ランド部に噛み込ませることができるのであれば、さらに硬度がある材料を用いてもよい。また、ランド部や電極の形状や、補強バンプの数や配置など適宜変形可能である。   In this embodiment, the reinforcing bumps are formed of a resin material including conductivity in consideration of conduction. However, the present invention is not limited to this, and the conductive material is used when specially provided for reinforcement. It may not be included, and a material having higher hardness may be used as long as it can be bitten into the land portion. Further, the shape of the land portion and the electrode, the number and arrangement of the reinforcing bumps, and the like can be appropriately modified.

また、本実施形態では、圧電アクチュエータと配線部材との接合に際して所謂カバーコート工法を用いている。このカバーコート工法では、バンプと端子とを接合するに際して熱硬化性樹脂の接着作用を利用するものであるが、これは、バンプが印刷又はインクジェット法等による形成後の加熱で硬化することにより、バンプの接着作用が無くなってしまうことによる。カバーコート工法を適用すると、アクチュエータと配線基板との間にバンプが介在して両者間の距離が確保されるだけでなく、導電性ろう材や導電性接着剤による接合で生じる流動状態のろう材や接着剤のはみ出しが生じないため、アクチュエータの活性部の変形が阻害されるのを防ぐことができる。但し、バンプによってアクチュエータと配線基板の間の距離が確保されていれば必ずしも接着剤を利用する必要はなく、その他の接合方法にも本発明を適用可能である。例えば、バンプ41、41″および補強バンプ45を、加熱した後にその接着作用が残りつつもバンプとしての形状が維持される程度に硬化させておくようにすれば、バンプ自体の接着作用で接着剤を利用せずとも端子とバンプとを接合可能になる。このように接着剤を利用しない接合方法においても、補強バンプ45をランド部44に噛み込ませるようにして設置することにより、本実施形態と同様の作用効果が得られる。   In the present embodiment, a so-called cover coat method is used for joining the piezoelectric actuator and the wiring member. In this cover coat method, the bonding action of the thermosetting resin is used when bonding the bump and the terminal. This is because the bump is cured by heating after formation by printing or an inkjet method, This is because the bonding action of the bumps is lost. Applying the cover coat method not only ensures the distance between the actuator and the wiring board, but also a brazing material in a fluidized state that is generated by joining with a conductive brazing material or a conductive adhesive. Further, since the adhesive does not protrude, the deformation of the active part of the actuator can be prevented from being hindered. However, it is not always necessary to use an adhesive as long as the distance between the actuator and the wiring board is secured by the bumps, and the present invention can be applied to other bonding methods. For example, if the bumps 41, 41 ″ and the reinforcing bumps 45 are cured to such an extent that the adhesive action remains after heating and the shape of the bumps is maintained, the adhesive acts by the adhesive action of the bumps themselves. Even in the joining method that does not use an adhesive as described above, the reinforcing bump 45 is installed so as to be bitten into the land portion 44, so that the present embodiment can be used. The same effect can be obtained.

これまで本発明に係る実施形態について説明したが、上記構成は一例に過ぎず、本発明の範囲内で適宜変更可能である。なお、本発明に係る液体吐出装置として、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドと、これに電気的及び機械的に接続される配線基板とからなる組立体を例示したが、インク以外の液体、例えば着色液を吐出して液晶表示装置のカラーフィルタを製造する装置、導電液を吐出して電気配線を形成する装置などに使用する液滴吐出装置に適用してもよい。   Although the embodiment according to the present invention has been described so far, the above configuration is merely an example, and can be appropriately changed within the scope of the present invention. As an example of the liquid ejection apparatus according to the present invention, an assembly including an inkjet head mounted on an inkjet printer and a wiring board electrically and mechanically connected to the inkjet head is illustrated. However, a liquid other than ink, for example, You may apply to the droplet discharge apparatus used for the apparatus which discharges a coloring liquid, manufactures the color filter of a liquid crystal display device, the apparatus which discharges a conductive liquid, and forms an electrical wiring.

本発明は、バンプと配線板及びアクチュエータとの接合強度を大きくすることができ、配線板側の端子とアクチュエータ側の端子との導通を確保することができるという作用効果を奏し、圧電アクチュエータに配線基板を接合してなる組立体を搭載するインクジェットプリンタに適用すると有益である。   The present invention can increase the bonding strength between the bump, the wiring board, and the actuator, and can ensure the electrical connection between the terminal on the wiring board side and the terminal on the actuator side. It is beneficial to apply to an ink jet printer equipped with an assembly formed by bonding substrates.

A 端子配置領域
1 インクジェットヘッド
2 流路ユニット
3 圧電アクチュエータ
6 配線基板
7 電極端子
8 接合部
9,10 延在部
32 共通電極端子
33 個別電極端子
36 配線端子
37 定電位配線端子
38 個別配線端子
41,41′,41″ バンプ
42 接着剤
43 端子本体部
44 ランド部
45,145 補強バンプ
46 外縁部
47 外縁部
A Terminal arrangement area 1 Inkjet head 2 Flow path unit 3 Piezoelectric actuator 6 Wiring board 7 Electrode terminal 8 Joint portion 9, 10 Extension portion 32 Common electrode terminal 33 Individual electrode terminal 36 Wiring terminal 37 Constant potential wiring terminal 38 Individual wiring terminal 41 41 ', 41 "Bump 42 Adhesive 43 Terminal body 44 Land 45, 145 Reinforcement bump 46 Outer edge 47 Outer edge

Claims (5)

液体を吐出させるよう動作するアクチュエータと、
前記アクチュエータを駆動させる駆動信号を当該アクチュエータに供給するための配線板と、
前記配線板の表面上に設けられた第1端子、及び前記アクチュエータの表面上に設けられた第2端子の間に介在し、前記第1及び第2端子を電気的に導通させるための第1バンプとを備え、
前記アクチュエータに重ねた前記配線板が前記第1バンプを介して前記アクチュエータと接合されてなる液体吐出装置であって、
前記第1バンプの周囲に配置される第2バンプを更に備え、
前記第2バンプは、前記第1端子及び前記第2端子の少なくとも一方と平面視で部分的に重なるよう配置され、当該端子が設けられる前記表面から前記端子の外縁に噛み込むようにして設けられており、
前記アクチュエータの前記表面に、複数の前記第2端子を配置する端子配置領域が規定され、
前記第2バンプが、前記端子配置領域の外縁に配置された前記第2端子に対応して設けられており、
前記配線板は前記アクチュエータと比べて熱膨張率が高く、前記配線板は前記第1及び第2バンプの加熱硬化の工程を経て前記アクチュエータと接合される構成であり、
前記外縁の隅部に配置された前記第2端子に対応する前記第2バンプが、当該第2バンプに対応する前記第1バンプを基準にして前記配線板が熱変形する方向に沿って配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
An actuator that operates to discharge liquid;
A wiring board for supplying a drive signal for driving the actuator to the actuator;
A first intervening between a first terminal provided on the surface of the wiring board and a second terminal provided on the surface of the actuator to electrically connect the first and second terminals. With bumps,
A liquid ejection apparatus in which the wiring board overlaid on the actuator is joined to the actuator via the first bump,
A second bump disposed around the first bump;
The second bump, the are arranged to partially overlap with at least one in a plan view of the first terminal and the second terminal is provided from the surface to which the terminals are provided so as to bite an outer edge of the terminal ,
A terminal arrangement area for arranging a plurality of the second terminals is defined on the surface of the actuator,
The second bump is provided corresponding to the second terminal disposed at an outer edge of the terminal arrangement region;
The circuit board has a higher coefficient of thermal expansion than the actuator, and the circuit board is configured to be joined to the actuator through a process of heating and curing the first and second bumps.
The second bumps corresponding to the second terminals arranged at the corners of the outer edge are arranged along a direction in which the wiring board is thermally deformed with reference to the first bumps corresponding to the second bumps. and a liquid discharge apparatus characterized in that is.
前記第2バンプは、前記配線板を前記アクチュエータに重ねる前の状態において、前記第1バンプと比べて高背であることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置。   2. The liquid ejection apparatus according to claim 1, wherein the second bump is taller than the first bump in a state before the wiring board is overlaid on the actuator. 複数の前記第2バンプが前記第1バンプを取り囲むようにして設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出装置。 Liquid ejecting apparatus according to claim 1 or 2 more of the second bump is characterized by being provided so as to surround the first bump. 前記配線板は、前記第1端子が形成されている前記表面上に塗布した接着剤を前記第1バンプ及び前記第2バンプの表面上に付着させた状態で硬化させることにより、前記アクチュエータと接合される構成であることを特徴とする請求項1乃至のいずれか1項に記載の液体吐出装置。 The wiring board is bonded to the actuator by curing the adhesive applied on the surface on which the first terminals are formed while being adhered on the surfaces of the first bump and the second bump. apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it is configured to be. 前記第1バンプは、前記配線板を前記アクチュエータに重ねる前の状態において、前記第2端子に設けられ、  The first bump is provided on the second terminal in a state before the wiring board is overlaid on the actuator.
前記第2バンプは、前記配線板を前記アクチュエータに重ねる前の状態において、前記第2端子が設けられる前記アクチュエータの表面から前記第2端子の外縁に噛み込むようにして設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出装置。  The second bump is provided so as to bite into the outer edge of the second terminal from the surface of the actuator provided with the second terminal in a state before the wiring board is overlaid on the actuator. The liquid ejection device according to claim 1.
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