JP5120081B2 - Spectrum light source device - Google Patents

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本発明は、光空間変調装置およびスペクトラム光源装置に関する。本発明は、特に、連続波長分布を有する光を任意の波長分布に変調する光空間変調装置およびスペクトラム光源装置に関する。   The present invention relates to an optical spatial modulation device and a spectrum light source device. The present invention particularly relates to an optical spatial modulation device and a spectrum light source device that modulate light having a continuous wavelength distribution into an arbitrary wavelength distribution.

連続波長分布を有する光を任意の波長分布に変調するスペクトラム光源装置が知られている(例えば、特許文献1を参照)。このスペクトラム光源は、連続波長分布を有する光を発する光源と、任意の分光透過率特性を有する変調素子としてのチューナブルフィルタとを有する。このスペクトラム光源装置において、光源からの入力光が、チューナブルフィルタを通過することによって任意の波長分布を有する光に変換されて出力される。より詳しくは、このスペクトラム光源装置において、チューナブルフィルタの分光器が形成したスペクトラム像の位置に、透過型液晶素子アレイとその前後に偏光板を設置し、個々の透過型液晶素子を独立に階調的に制御してスペクトラム像の透過光量を変調した後、再度、内蔵分光器によって波長合波することにより、入力光に対して任意の分光特性変調を付加した出力光を出力する。
特開平11−101944号公報
A spectrum light source device that modulates light having a continuous wavelength distribution into an arbitrary wavelength distribution is known (see, for example, Patent Document 1). This spectrum light source has a light source that emits light having a continuous wavelength distribution and a tunable filter as a modulation element having an arbitrary spectral transmittance characteristic. In this spectrum light source device, input light from the light source is converted into light having an arbitrary wavelength distribution by passing through a tunable filter and output. More specifically, in this spectrum light source device, a transmissive liquid crystal element array and polarizing plates are installed at the front and back of the transmissive liquid crystal element array at the position of the spectrum image formed by the tunable filter spectroscope, and the individual transmissive liquid crystal elements are independently scaled. After tuned control to modulate the transmitted light quantity of the spectrum image, the output light is output by adding arbitrary spectral characteristic modulation to the input light by wavelength multiplexing again by the built-in spectroscope.
JP-A-11-101944

スペクトラム光源装置の光源として、キセノンランプが用いられる。キセノンランプは、は例えば近赤外域に局所的に突出した光強度を複数有する。この突出波長帯域を低く抑えて出力したい場合に、液晶素子と偏光板との組み合わせによる減衰能力では、入力光の突出部分を抑えるためにその能力のかなりの部分を使ってしまうので、さらに求めているスペクトラム特性を得る微調整のための液晶素子の減衰階調数が足りなくなる。また入力光の光強度が強すぎると、求めている減衰量が得ることが難しい。   A xenon lamp is used as a light source of the spectrum light source device. A xenon lamp has, for example, a plurality of light intensities that protrude locally in the near infrared region. If you want to output with this protruding wavelength band kept low, the attenuation capability by combining the liquid crystal element and the polarizing plate will use a considerable part of the capability to suppress the protruding portion of input light, so further seeking The number of attenuation gradations of the liquid crystal element for fine adjustment to obtain the spectrum characteristics is insufficient. Also, if the light intensity of the input light is too strong, it is difficult to obtain the required attenuation.

上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、入力光が入力する面に沿って配列された複数の光学素子を有し、複数の光学素子を通過する入力光の偏光状態および強度の少なくともいずれか一方を、外部からの指令に基づいて光学素子ごとに互いに独立して変調した、出力光を出力する変調素子部と、入力光および出力光の少なくとも一方が通過するときに、入力光および出力光の少なくとも一方を、複数の光学素子の配列の方向の関数として予め定められた強度に変調する強度変調フィルタとを備える光空間変調装置が提供される。   In order to solve the above-described problem, in the first embodiment of the present invention, the polarization state of input light having a plurality of optical elements arranged along a surface to which input light is input and passing through the plurality of optical elements. When at least one of the input light and the output light passes, and the modulation element unit that outputs at least one of the intensity and the intensity independently modulated for each optical element based on a command from the outside. An optical spatial modulation device is provided that includes an intensity modulation filter that modulates at least one of input light and output light to a predetermined intensity as a function of the direction of the arrangement of the plurality of optical elements.

本発明の第2の形態においては、入力光を発生する光源と、入力光を特定の偏光状態に変換する偏光光学系と、特定の偏光状態に変換された光を、一方向について広がったスペクトラム像に分光する波長分散型分光光学系と、スペクトラム像の広がり方向に沿って配列された複数の光学素子および反射面を有し、反射面で反射されて複数の光学素子内を往復する入力光のスペクトラム像の偏光状態を、外部からの指令に基づいて光学素子内を往復する波長領域ごとに互いに独立して変調した、出力光を反射する変調素子部と、入力光および出力光が通過するときに、入力光および出力光を波長領域ごとに予め定められた強度に変調する強度変調フィルタとを備え、強度変調フィルタを通過した出力光は、波長分散型分光光学系に再入力されて波長合波され、波長合波された出力光は、偏光光学系に再入力されて一の偏光方向を有する偏光を他の偏光から分離して出力されるスペクトラム光源装置が提供される。   In the second embodiment of the present invention, a light source that generates input light, a polarization optical system that converts the input light into a specific polarization state, and a spectrum that spreads the light converted into the specific polarization state in one direction. Input light having a wavelength-dispersive spectroscopic optical system that divides into an image, a plurality of optical elements arranged along the spread direction of the spectrum image, and a reflecting surface, and reciprocating within the plurality of optical elements after being reflected by the reflecting surface The polarization state of the spectrum image is modulated independently for each wavelength region reciprocating in the optical element based on a command from the outside, and the modulation element unit that reflects the output light, and the input light and the output light pass therethrough And an intensity modulation filter that modulates the input light and the output light to a predetermined intensity for each wavelength region, and the output light that has passed through the intensity modulation filter is re-input to the wavelength dispersion type spectroscopic optical system. The length is combined, the output light wavelength multiplexing is a spectrum light source device output polarized light having one polarization direction is re-input to the polarization optical system is separated from the other polarization is provided.

本発明の第3の形態においては、入力光を発生する光源と、入力光を特定の偏光状態に変換する入力偏光光学系と、特定の偏光状態に変換された光を、一方向について広がったスペクトラム像に分光する波長分散型分光光学系と、スペクトラム像の広がり方向に沿って配列された複数の光学素子を有し、入力光のスペクトラム像が複数の光学素子を透過するときに、偏光状態を外部からの指令に基づいて光学素子内を透過する波長領域ごとに互いに独立して変調した出力光を出力する変調素子部と、入力光および出力光の少なくとも一方が通過するときに、入力光および出力光の少なくとも一方を波長領域ごとに予め定められた強度に変調する強度変調フィルタと、スペクトラム像の出力光を波長合波する波長合波光学系と、波長合波された出力光のうち、一の偏光方向を有する偏光を他の偏光から分離して出力する出力偏光光学系とを備えるスペクトラム光源装置が提供される。   In the third aspect of the present invention, the light source that generates the input light, the input polarization optical system that converts the input light into a specific polarization state, and the light converted into the specific polarization state are spread in one direction. It has a wavelength dispersion type spectroscopic optical system that divides into a spectrum image and a plurality of optical elements arranged along the spread direction of the spectrum image, and the polarization state when the spectrum image of the input light passes through the plurality of optical elements. A modulation element that outputs output light that is modulated independently for each wavelength region that passes through the optical element based on a command from the outside, and at least one of the input light and the output light passes through the input light. And an intensity modulation filter that modulates at least one of the output lights to a predetermined intensity for each wavelength region, a wavelength multiplexing optical system that wavelength-multiplexes the output light of the spectrum image, and wavelength-multiplexed Of Power light spectrum light source device and an output polarization optical system that separates and outputs the polarized light having one polarization direction from the other polarization it is provided.

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   It should be noted that the above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

図1は、実施形態の一例であるスペクトラム光源装置10の概略図を示す。スペクトラム光源装置10は、連続的な波長分布を有する光源20からの入力光90を、任意の波長分布を有する出力光92に変調して、オプティカルファイバ86へ出力する。図1に示すスペクトラム光源装置10は、光源20と、偏光光学系30と、スリット38と、波長分散型分光光学系40と、光空間変調装置50と、変調素子ドライバ66と、光学系84とを備える。   FIG. 1 is a schematic diagram of a spectrum light source device 10 which is an example of an embodiment. The spectrum light source device 10 modulates the input light 90 from the light source 20 having a continuous wavelength distribution into an output light 92 having an arbitrary wavelength distribution and outputs the modulated light to the optical fiber 86. The spectrum light source device 10 shown in FIG. 1 includes a light source 20, a polarization optical system 30, a slit 38, a wavelength dispersion type spectroscopic optical system 40, an optical spatial modulation device 50, a modulation element driver 66, and an optical system 84. Is provided.

光源20は、連続的な波長分布を有する入力光90を発生する。光源20の一例は、キセノンランプである。キセノンランプのスペクトラムには特定波長帯域で光強度の突出があるが、波長に対する強度分布が既知であれば、光源20として用いることができる。   The light source 20 generates input light 90 having a continuous wavelength distribution. An example of the light source 20 is a xenon lamp. The spectrum of the xenon lamp has a light intensity protrusion in a specific wavelength band, but can be used as the light source 20 if the intensity distribution with respect to the wavelength is known.

偏光光学系30は、光学系32、偏光ビームスプリッタ34および光学系36を有し、入力光90を特定の偏光状態に変換する。ここで、光学系32は、偏光光学系30からの入力光90をコリメートし、偏光ビームスプリッタ34は、電場の方向が図面平行方向の直線偏光を直進通過させると共に、これと直交する直線偏光の進行方向を曲げて破棄光94として破棄する。さらに、光学系36は、偏光ビームスプリッタ34を直進通過した直線偏光をフォーカスする。なお、図1において、進行方向80を矢印で示すと共に、当該矢印に重ねて偏光方向82を示した。図1の往復矢印は、偏光方向82が紙面に平行であることを示し、丸印は、偏光方向82が紙面に垂直であることを示す。   The polarization optical system 30 includes an optical system 32, a polarization beam splitter 34, and an optical system 36, and converts the input light 90 into a specific polarization state. Here, the optical system 32 collimates the input light 90 from the polarization optical system 30, and the polarization beam splitter 34 linearly passes linearly polarized light whose electric field direction is parallel to the drawing, and linearly polarized light orthogonal to the linearly polarized light. The traveling direction is bent and discarded as discarded light 94. Further, the optical system 36 focuses the linearly polarized light that has passed straight through the polarization beam splitter 34. In FIG. 1, the traveling direction 80 is indicated by an arrow, and the polarization direction 82 is shown superimposed on the arrow. The reciprocating arrow in FIG. 1 indicates that the polarization direction 82 is parallel to the paper surface, and the circle indicates that the polarization direction 82 is perpendicular to the paper surface.

波長分散型分光光学系40は、コリメータ42、グレーティング44およびカメラ46を有し、上記直線偏光を、一方向について空間的に広がりを有するスペクトラム像に分光する。また、偏光光学系30と波長分散型分光光学系40との間には、スリット38が配される。この場合に、スリット38は、光学系36の後側焦点およびコリメータ42の前側焦点に位置することが好ましい。上記光学系36は、直線偏光を当該スリット38上にフォーカスする。スリット38のスリットを通過した光は拡散してコリメータ42に入力される。コリメータ42は、入力された拡散光をコリメートしてグレーティング44に入力させる。   The wavelength dispersion type spectroscopic optical system 40 includes a collimator 42, a grating 44, and a camera 46, and splits the linearly polarized light into a spectrum image having a spatial extension in one direction. Further, a slit 38 is disposed between the polarization optical system 30 and the wavelength dispersion type spectroscopic optical system 40. In this case, the slit 38 is preferably located at the rear focal point of the optical system 36 and the front focal point of the collimator 42. The optical system 36 focuses linearly polarized light on the slit 38. The light that has passed through the slit 38 is diffused and input to the collimator 42. The collimator 42 collimates the input diffused light and inputs it to the grating 44.

グレーティング44は、入力光を、波長に応じて空間的に広がりを有するスペクトラム像に分光する。図1に示す例において、グレーティング44は、入力光を、波長の長いほうから低いほうへ紙面に垂直な方向に広がるスペクトラム光に分光する。ここで、グレーティング44にはコリメータ42でコリメートされた平行光束が入力されるので、グレーティング44を通過する過程での偏光状態変調のローカリティを抑えることができる。さらに、カメラ46でスペクトラム像を光空間変調装置50にフォーカスする。   The grating 44 splits the input light into a spectrum image having a spatial spread according to the wavelength. In the example shown in FIG. 1, the grating 44 splits the input light into spectrum light that spreads in the direction perpendicular to the paper surface from the longer wavelength to the lower wavelength. Here, since the parallel light beam collimated by the collimator 42 is input to the grating 44, the locality of the polarization state modulation in the process of passing through the grating 44 can be suppressed. Further, the spectrum image is focused on the spatial light modulator 50 by the camera 46.

光空間変調装置50は、強度を変調する強度変調フィルタ70、および、入力された光の偏光状態を変調して出力する変調素子部60を有する。これら強度変調フィルタ70および変調素子部60については後に詳述する。   The spatial light modulator 50 includes an intensity modulation filter 70 that modulates the intensity, and a modulation element unit 60 that modulates and outputs the polarization state of the input light. The intensity modulation filter 70 and the modulation element unit 60 will be described in detail later.

変調素子部60から出力された光は、往路とは反対に、強度変調フィルタ70、カメラ46、グレーティング44、コリメータ42、スリット38および光学系36を通って、偏光ビームスプリッタ34に再入力される。ここで、強度変調フィルタ70を再通過した出力光は、カメラ46に再入力されてコリメートされ、さらにグレーティング44に再入力されて波長合波され、コリメータ42に再入力されてスリット38上にフォーカスされて、光学系36によりコリメートされる。   The light output from the modulation element 60 is re-input to the polarization beam splitter 34 through the intensity modulation filter 70, the camera 46, the grating 44, the collimator 42, the slit 38 and the optical system 36 in the opposite direction. . Here, the output light that has re-passed the intensity modulation filter 70 is re-input to the camera 46 and collimated, and then re-input to the grating 44, wavelength-multiplexed, re-input to the collimator 42, and focused on the slit 38. And collimated by the optical system 36.

光学系36にコリメートされた出力光が偏光ビームスプリッタ34に再入力されると、偏光ビームスプリッタ34は、当該出力光のうち、一の偏光方向を有する偏光を他の偏光から分離して出力する。すなわち、偏光ビームスプリッタ34は、再入力された出力光のうち、強度変調フィルタ70で偏光方向が変調されなかった波長成分を直線透過させて破棄する。一方、偏光ビームスプリッタ34は、再入力された出力光のうち、強度変調フィルタ70で偏光方向が変調された波長成分の進行方向を曲げて(例えば、図1において90°)、光学系84に入力させる。光学系84は、入力された光を出力光92としてオプティカルファイバ86にフォーカスして出力する。なお、図1には、変調素子部60において変調された出力光が示されている。   When the output light collimated by the optical system 36 is re-input to the polarization beam splitter 34, the polarization beam splitter 34 separates the polarized light having one polarization direction from the other polarized light and outputs it. . That is, the polarization beam splitter 34 linearly transmits and discards the wavelength component whose polarization direction is not modulated by the intensity modulation filter 70 in the re-input output light. On the other hand, the polarization beam splitter 34 bends the traveling direction of the wavelength component whose polarization direction is modulated by the intensity modulation filter 70 of the re-input output light (for example, 90 ° in FIG. 1), and applies it to the optical system 84. Let them enter. The optical system 84 focuses the input light as the output light 92 on the optical fiber 86 and outputs it. FIG. 1 shows output light modulated by the modulation element unit 60.

図2は光空間変調装置50を入力光が入力する方向から見た正面図であり、図3は光空間変調装置50の平面図であり、図4は光空間変調装置50の側面図である。光空間変調装置50は、保護ガラス76、強度変調フィルタ70および変調素子部60を有する。   2 is a front view of the spatial light modulator 50 as viewed from the direction in which the input light is input. FIG. 3 is a plan view of the spatial light modulator 50. FIG. 4 is a side view of the spatial light modulator 50. . The spatial light modulator 50 includes a protective glass 76, an intensity modulation filter 70, and a modulation element unit 60.

変調素子部60は、反射型液晶であって、複数の液晶素子62、これら液晶素子62を封止するカバーガラス68、および、液晶素子62の背面に密着した平面ミラー64を有する。カバーガラス68には、これら液晶素子62に対して個別に電界を付与する透明電極が形成される。なお、液晶素子62は光学素子の一例であり、平面ミラー64は反射面の一例である。   The modulation element unit 60 is a reflective liquid crystal, and includes a plurality of liquid crystal elements 62, a cover glass 68 that seals the liquid crystal elements 62, and a flat mirror 64 that is in close contact with the back surface of the liquid crystal element 62. On the cover glass 68, transparent electrodes for individually applying an electric field to the liquid crystal elements 62 are formed. The liquid crystal element 62 is an example of an optical element, and the flat mirror 64 is an example of a reflecting surface.

ここで、図2に示すように、複数の液晶素子62は、一次元的に配列されており、その配列方向は、スペクトラム像の広がり方向(例えば、図2における左右方向)に沿っている。個々の液晶素子62は図1の変調素子ドライバ66によって独立的に制御され、個々の液晶素子62内を往復する光には液晶素子62ごとに異なるリターデーションが付加される。よって、変調素子部60から出てきたスペクトラム像は、液晶素子62ごとに、すなわち波長領域ごとに異なる楕円偏光になる。   Here, as shown in FIG. 2, the plurality of liquid crystal elements 62 are arranged one-dimensionally, and the arrangement direction is along the spread direction of the spectrum image (for example, the horizontal direction in FIG. 2). The individual liquid crystal elements 62 are independently controlled by the modulation element driver 66 of FIG. 1, and different retardations are added to the light that reciprocates in the individual liquid crystal elements 62 for each liquid crystal element 62. Therefore, the spectrum image emerging from the modulation element unit 60 becomes elliptically polarized light that differs for each liquid crystal element 62, that is, for each wavelength region.

これにより、変調素子部60は、平面ミラー64で反射されて複数の液晶素子62内を往復する入力光のスペクトラム像の偏光状態を、変調素子ドライバ66からの指令に基づいて、波長領域ごとに互いに独立して変調した、出力光を出力する。この場合に、変調素子部60は反射型であるので、大きな開口率を得ることができる。   As a result, the modulation element unit 60 reflects the polarization state of the spectrum image of the input light reflected by the plane mirror 64 and reciprocating within the plurality of liquid crystal elements 62 for each wavelength region based on a command from the modulation element driver 66. Output light is modulated independently of each other. In this case, since the modulation element 60 is a reflection type, a large aperture ratio can be obtained.

また、カバーガラス68の入出力面上には強度変調フィルタ70が接合される。強度変調フィルタ70の上には、保護ガラス76が接合される。保護ガラス76の外面には、反射防止コートが施される。ただし、保護ガラス76なしで強度変調フィルタ70上に直接反射防止コートを施してもよい。保護ガラス76の外面からの、または、保護ガラス76がない場合における強度変調フィルタ70の外面からの表面反射光が迷光を抑えるべく、図4に示すように、保護ガラス76をウェッジ型にしてもよい。これにより、保護ガラス76の外面反射光の進路を信号光から分離し出力光に混入するのを防ぐことができる。なお、強度変調フィルタ70と保護ガラス76との接合面については、屈折率マッチングを取ることにより、反射率を極小に抑えて、迷光を抑えることができる。また、光源20から発せられてグレーティング44で分光された光のスペクトラム像は、平面ミラー64上に形成されるが、強度変調フィルタ70は図1に示す通り平面ミラー64のごく近傍に存在配されるので、強度変調フィルタ70上にも該スペクトラム像がわずかにデフォーカスした状態で形成される。   An intensity modulation filter 70 is bonded on the input / output surface of the cover glass 68. A protective glass 76 is bonded on the intensity modulation filter 70. An antireflection coating is applied to the outer surface of the protective glass 76. However, an antireflection coating may be applied directly on the intensity modulation filter 70 without the protective glass 76. In order to suppress stray light from the surface reflected light from the outer surface of the protective glass 76 or from the outer surface of the intensity modulation filter 70 in the absence of the protective glass 76, the protective glass 76 is made into a wedge type as shown in FIG. Good. Thereby, it is possible to prevent the path of the outer surface reflected light of the protective glass 76 from being separated from the signal light and mixed into the output light. In addition, about a joining surface of the intensity | strength modulation filter 70 and the protective glass 76, a reflectance can be suppressed to the minimum by taking refractive index matching, and stray light can be suppressed. Further, the spectrum image of the light emitted from the light source 20 and dispersed by the grating 44 is formed on the plane mirror 64, but the intensity modulation filter 70 is disposed in the very vicinity of the plane mirror 64 as shown in FIG. Therefore, the spectrum image is also formed on the intensity modulation filter 70 in a slightly defocused state.

図5(a)はスペクトラムの一例を示し、図5(b)は強度変調フィルタ70の正面図である。強度変調フィルタ70は、光を遮光する遮光部73、および、光を透過する窓72を有するフィルムである。例えば強度変調フィルタ70は、透明で複屈折性がほとんどない樹脂製のフィルム上に、窓72に対応する領域を除いて、黒色インクを遮光部73として印刷することにより形成される。強度変調フィルタ70は、当該窓72の形状に基づいて強度変調フィルタ70を通過する光を、複数の液晶素子62の配列方向の関数として予め定められた強度に変調する。   FIG. 5A shows an example of a spectrum, and FIG. 5B is a front view of the intensity modulation filter 70. The intensity modulation filter 70 is a film having a light shielding part 73 that shields light and a window 72 that transmits light. For example, the intensity modulation filter 70 is formed by printing black ink as the light-shielding portion 73 on a transparent resin film having almost no birefringence, excluding an area corresponding to the window 72. The intensity modulation filter 70 modulates the light passing through the intensity modulation filter 70 based on the shape of the window 72 to a predetermined intensity as a function of the arrangement direction of the plurality of liquid crystal elements 62.

例えば、図5(b)に示す例において、窓72は、通過する光の強度を小さくすべき領域ほど、液晶素子62の配列方向に直交する方向の幅が狭い。これにより、強度変調フィルタ70は、液晶素子62の配列方向に波長分散された変調素子部60への入力光、および、変調素子部60からの出力光すなわち強度変調フィルタ70への再入力光が通過するときに、入力光および出力光を波長領域ごとに窓72に対応した強度に変調する。なお、窓72は、液晶素子62の配列方向を軸として対称形を有するが、窓72の形状は非対称形であってもよい。   For example, in the example shown in FIG. 5B, the width of the window 72 in the direction orthogonal to the arrangement direction of the liquid crystal elements 62 is narrower in the region where the intensity of light passing therethrough should be reduced. Thereby, the intensity modulation filter 70 receives input light to the modulation element unit 60 that is wavelength-dispersed in the arrangement direction of the liquid crystal elements 62 and output light from the modulation element unit 60, that is, re-input light to the intensity modulation filter 70. When passing, the input light and the output light are modulated to the intensity corresponding to the window 72 for each wavelength region. The window 72 has a symmetric shape with the arrangement direction of the liquid crystal elements 62 as an axis, but the shape of the window 72 may be asymmetric.

ここで、図5(b)の窓72の形状は、光源20で発生する光の波長に対する強度分布に対応する。例えば、光源20で発生する光の波長λに対する強度Iが図5(a)の細線で示す分布を有し、波長λsから波長λlまでが使用波長領域であるとする。この場合に、図5(b)に示すように、グレーティング44によって分散された波長領域について、光源20で発生する光の強度が大きい領域ほど、窓72の幅(図中の縦方向の長さ)を狭くする。これにより、強度変調フィルタ70は、光源20で発生する光のうち強度が大きい波長領域ほど相対的に多く遮光する。よって、図5(a)の太線に示すように、強度変調フィルタ70および液晶素子62内を往復した光の波長の強度分布を、光源20の強度分布に比較してより平坦にすることができる。   Here, the shape of the window 72 in FIG. 5B corresponds to the intensity distribution with respect to the wavelength of the light generated by the light source 20. For example, it is assumed that the intensity I of the light generated by the light source 20 with respect to the wavelength λ has a distribution indicated by a thin line in FIG. 5A, and the wavelength λs to the wavelength λl is the use wavelength region. In this case, as shown in FIG. 5B, in the wavelength region dispersed by the grating 44, the region where the intensity of light generated by the light source 20 is larger, the width of the window 72 (the length in the vertical direction in the drawing). ). As a result, the intensity modulation filter 70 shields a relatively large amount of light in the wavelength region of the light generated by the light source 20. Therefore, as shown by the thick line in FIG. 5A, the intensity distribution of the wavelength of light reciprocating in the intensity modulation filter 70 and the liquid crystal element 62 can be made flatter than the intensity distribution of the light source 20. .

また、窓72は、光源20の光における波長の強度分布に対応した形状に限られず、他の形状を有してもよい。例えば、光学系32、グレーティング44および液晶素子62等を光が通過する場合に光の吸収について波長依存性がある場合に、窓72は、この波長依存性に対応して、光学系32等での吸収率が大きいほど、窓72の幅を広くした形状を有してもよい。   Further, the window 72 is not limited to the shape corresponding to the wavelength intensity distribution in the light of the light source 20, but may have another shape. For example, when light passes through the optical system 32, the grating 44, the liquid crystal element 62, and the like, and there is wavelength dependency with respect to light absorption, the window 72 corresponds to the wavelength dependency by the optical system 32 or the like. The larger the absorptivity, the wider the window 72 may be.

さらに、強度変調フィルタ70は、変調素子部60に対して着脱可能に接合されてもよい。これにより、光源20を取り替えて使う場合に、それぞれの光源20における波長の強度分布に対応した窓72の形状を有する強度変調フィルタ70を用いることにより、いずれの光源20に対しても強度分布をより平坦にすることができる。   Furthermore, the intensity modulation filter 70 may be detachably joined to the modulation element unit 60. As a result, when the light source 20 is replaced and used, the intensity distribution filter 70 having the shape of the window 72 corresponding to the intensity distribution of the wavelength in each light source 20 is used, so that the intensity distribution can be obtained for any light source 20. It can be made flatter.

以上、本実施形態によれば、キセノンランプのように特定波長帯域で光強度の突出があるような光源を用いる場合において、各波長領域の偏光状態を変調する変調素子部60の機能を使わずに、突出波長帯域を抑圧することができる。よって、変調素子部60を各波長領域の偏光状態を変調する機能に適用することができ、よりきめ細かな階調で偏光状態を変調することができる。   As described above, according to the present embodiment, when using a light source such as a xenon lamp that has a protruding light intensity in a specific wavelength band, the function of the modulation element unit 60 that modulates the polarization state of each wavelength region is not used. In addition, the protruding wavelength band can be suppressed. Therefore, the modulation element unit 60 can be applied to a function of modulating the polarization state of each wavelength region, and the polarization state can be modulated with a finer gradation.

図6は、強度変調フィルタ70の他の例を示す正面図である。図6の強度変調フィルタ70は、液晶素子62の配列方向に直交する方向について均一であって、強度を小さくすべき領域ほど、透過率が低いパターン74を有する。例えば、透明で複屈折性がほとんどない樹脂製のフィルム上に、黒色インクで濃淡が印刷されることにより、強度変調フィルタ70のパターン74が形成される。   FIG. 6 is a front view showing another example of the intensity modulation filter 70. The intensity modulation filter 70 of FIG. 6 has a pattern 74 that is uniform in the direction orthogonal to the arrangement direction of the liquid crystal elements 62 and has a lower transmittance in a region where the intensity should be reduced. For example, the pattern 74 of the intensity modulation filter 70 is formed by printing light and shade with black ink on a resin film that is transparent and has almost no birefringence.

図5の遮光部73、および図6のパターン74は黒色インクの代わりにクロム薄膜など鏡面状の薄膜を使ってよい。この場合にパターン74はエッチングによって、強度を小さくすべき領域ほど表面を鏡面状に形成する。これにより、強度変調フィルタ70において、強度を小さくすべき領域ほど入力光を反射する。強度変調フィルタ70で反射された入力光の偏光状態が波長分散型分光光学系40、スリット38を通過中にほとんど変化しない場合は、強度変調フィルタ70によって反射された光は、偏光光学系30によって出力成分から振り分けれられ廃棄側に出力されるので、出力光92の方には出て行かない。   The light shielding portion 73 in FIG. 5 and the pattern 74 in FIG. 6 may use a mirror-like thin film such as a chrome thin film instead of the black ink. In this case, the surface of the pattern 74 is formed into a mirror surface as the region whose strength should be reduced by etching. Thereby, in the intensity | strength modulation filter 70, input light is reflected in the area | region which should make intensity | strength small. When the polarization state of the input light reflected by the intensity modulation filter 70 hardly changes while passing through the wavelength dispersion spectroscopic optical system 40 and the slit 38, the light reflected by the intensity modulation filter 70 is reflected by the polarization optical system 30. Since it is distributed from the output component and output to the discard side, it does not go out to the output light 92.

図1から図6に示す実施形態において、変調素子部60は反射型液晶であるが、液晶は反射型に限られない。他の例として、透過型液晶が用いられてもよい。この場合には、スペクトラム光源装置10は下記構成を有する。   In the embodiment shown in FIGS. 1 to 6, the modulation element unit 60 is a reflective liquid crystal, but the liquid crystal is not limited to the reflective liquid crystal. As another example, a transmissive liquid crystal may be used. In this case, the spectrum light source device 10 has the following configuration.

すなわち、スペクトラム光源装置10は、図1に示す光源20、偏光光学系30、スリット38、波長分散型分光光学系40を備えると共に、図1における変調素子部60が配される位置に、透過型液晶を有する。さらに、光源20、スリット38および波長分散型分光光学系40と共役な位置に、これらと同一の構成が配される。これにより、スペクトラム光源装置10は、入力偏光光学系としての偏光光学系30およびこれと共役な出力偏光光学系、並びに、波長分散型分光光学系40およびこれと共役な波長合波光学系を有する。   That is, the spectrum light source device 10 includes the light source 20, the polarizing optical system 30, the slit 38, and the wavelength dispersion type spectroscopic optical system 40 shown in FIG. 1, and a transmission type at the position where the modulation element unit 60 in FIG. Has liquid crystal. Further, the same configuration as these is arranged at a position conjugate with the light source 20, the slit 38 and the wavelength dispersion type spectroscopic optical system 40. Thus, the spectrum light source device 10 includes the polarization optical system 30 as an input polarization optical system and an output polarization optical system conjugated with the polarization optical system 30, and a wavelength dispersion type spectroscopic optical system 40 and a wavelength multiplexing optical system conjugated with the wavelength dispersion type optical system. .

スペクトラム光源装置10はさらに、波長分散型分光光学系40と透過型液晶素子との間、透過型液晶素子と波長合波光学系との間、または、それらの両方に、図5(b)または図6に示す強度変調フィルタ70を有する。これにより、図1から図6に示す実施形態と同様の効果を得ることができる。   Further, the spectrum light source device 10 is arranged between the wavelength dispersion type spectroscopic optical system 40 and the transmission type liquid crystal element, between the transmission type liquid crystal element and the wavelength multiplexing optical system, or both, as shown in FIG. It has the intensity | strength modulation filter 70 shown in FIG. Thereby, the effect similar to embodiment shown in FIGS. 1-6 can be acquired.

この場合に、偏光ビームスプリッタ34およびこれと共役な偏光ビームスプリッタに代えて、特定の偏光方向の光を透過する偏光板がそれぞれの個所に配されてもよい。また、これらの偏光板が、図1の偏光ビームスプリッタ34およびこれと共役な偏光ビームスプリッタの位置に代えて、波長分散型分光光学系40と透過型液晶素子との間、および、透過型液晶素子と波長合波光学系との間に配されてもよい。この場合に、透過型液晶素子とこれらの偏光板とは、スペクトラム光の強度を、液晶素子毎すなわち当該液晶素子に入力される波長領域毎に互いに独立して変調する。この場合に、強度変調フィルタ70は、透過型液晶素子と偏光板との間に配されてもよいし、偏光板の外側に配されてもよい。   In this case, instead of the polarizing beam splitter 34 and the polarizing beam splitter conjugated with the polarizing beam splitter 34, polarizing plates that transmit light in a specific polarization direction may be arranged at the respective portions. In addition, these polarizing plates are provided between the wavelength dispersion type spectroscopic system 40 and the transmissive liquid crystal element, and in the transmissive liquid crystal, instead of the polarizing beam splitter 34 and the polarizing beam splitter conjugated with the polarizing beam splitter 34 shown in FIG. It may be arranged between the element and the wavelength multiplexing optical system. In this case, the transmissive liquid crystal element and these polarizing plates modulate the intensity of the spectrum light independently of each other for each liquid crystal element, that is, for each wavelength region input to the liquid crystal element. In this case, the intensity modulation filter 70 may be disposed between the transmissive liquid crystal element and the polarizing plate, or may be disposed outside the polarizing plate.

また、変調素子部60が反射型および透過型のいずれの場合であっても、その共役像を形成しそこに強度変調フィルタ70を設置してもよい。これにより、変調素子部60に強度変調フィルタ70を密着配置した場合と同様の効果を得られる。   Further, regardless of whether the modulation element unit 60 is a reflection type or a transmission type, a conjugate image thereof may be formed and the intensity modulation filter 70 may be provided there. Thereby, the same effect as the case where the intensity modulation filter 70 is disposed in close contact with the modulation element 60 can be obtained.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

実施形態の一例であるスペクトラム光源装置10の概略図を示す。The schematic diagram of the spectrum light source device 10 which is an example of embodiment is shown. 光空間変調装置50を入力光が入力する方向から見た正面図である。It is the front view which looked at the spatial light modulator 50 from the direction which input light inputs. 光空間変調装置50の平面図である。3 is a plan view of the spatial light modulator 50. FIG. 光空間変調装置50の側面図である。3 is a side view of the spatial light modulator 50. FIG. (a)はスペクトラムの一例を示し、(b)は強度変調フィルタ70の正面図である。(A) shows an example of a spectrum, and (b) is a front view of the intensity modulation filter 70. 強度変調フィルタ70の他の例を示す正面図である。6 is a front view showing another example of the intensity modulation filter 70. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 スペクトラム光源装置、20 光源、30 偏光光学系、32 光学系、34 偏光ビームスプリッタ、36 光学系、38 スリット、40 波長分散型分光光学系、42 コリメータ、44 グレーティング、46 カメラ、50 光空間変調装置、60 変調素子部、62 液晶素子、64 平面ミラー、66 変調素子ドライバ、68 カバーガラス、70 強度変調フィルタ、72 窓、73 遮光部、74 パターン、76 保護ガラス、80 進行方向、82 偏光方向、84 光学系、86 オプティカルファイバ、90 入力光、92 出力光、94 破棄光   10 spectrum light source device, 20 light source, 30 polarization optical system, 32 optical system, 34 polarization beam splitter, 36 optical system, 38 slit, 40 wavelength dispersion type spectroscopic optical system, 42 collimator, 44 grating, 46 camera, 50 light spatial modulation Device, 60 modulation element section, 62 liquid crystal element, 64 plane mirror, 66 modulation element driver, 68 cover glass, 70 intensity modulation filter, 72 window, 73 light shielding section, 74 pattern, 76 protective glass, 80 traveling direction, 82 polarization direction 84 Optical system, 86 Optical fiber, 90 input light, 92 output light, 94 Discard light

Claims (7)

入力光を発生する光源と、
前記入力光を特定の偏光状態に変換する偏光光学系と、
前記特定の偏光状態に変換された光を、一方向について広がったスペクトラム像に分光する波長分散型分光光学系と、
前記スペクトラム像の広がり方向に沿って配列された複数の光学素子および反射面を有し、前記反射面で反射されて前記複数の光学素子内を往復する前記入力光のスペクトラム像の偏光状態を、外部からの指令に基づいて前記複数の光学素子内を往復する波長領域ごとに互いに独立して変調した、出力光を反射する変調素子部と、
前記入力光および前記出力光が通過するときに、前記入力光および前記出力光を波長領域ごとに予め定められた強度に変調する強度変調フィルタと
を備え、
前記強度変調フィルタを通過した前記出力光は、前記波長分散型分光光学系に再入力されて波長合波され、波長合波された出力光は、前記偏光光学系に再入力されて一の偏光方向を有する偏光を他の偏光から分離して出力されるスペクトラム光源装置。
A light source that generates input light;
A polarization optical system that converts the input light into a specific polarization state;
A wavelength dispersive spectroscopic optical system that splits the light converted into the specific polarization state into a spectrum image spread in one direction;
A plurality of optical elements arranged along the spread direction of the spectrum image and a reflection surface, and a polarization state of the spectrum image of the input light reflected by the reflection surface and reciprocating in the plurality of optical elements, A modulation element that reflects output light, modulated independently of each other for each wavelength region that reciprocates within the plurality of optical elements based on an external command;
An intensity modulation filter that modulates the input light and the output light to a predetermined intensity for each wavelength region when the input light and the output light pass through;
The output light that has passed through the intensity modulation filter is re-input to the wavelength dispersion spectroscopic optical system and wavelength-multiplexed, and the wavelength-combined output light is re-input to the polarization optical system and is polarized. A spectrum light source device that outputs polarized light having a direction separated from other polarized light.
入力光を発生する光源と、
前記入力光を特定の偏光状態に変換する入力偏光光学系と、
前記特定の偏光状態に変換された光を、一方向について広がったスペクトラム像に分光する波長分散型分光光学系と、
前記スペクトラム像の広がり方向に沿って配列された複数の光学素子を有し、前記入力光のスペクトラム像が前記複数の光学素子を透過するときに、偏光状態を外部からの指令に基づいて前記複数の光学素子内を透過する波長領域ごとに互いに独立して変調した出力光を出力する変調素子部と、
前記入力光および前記出力光の少なくとも一方が通過するときに、前記入力光および前記出力光の前記少なくとも一方を波長領域ごとに予め定められた強度に変調する強度変調フィルタと、
前記スペクトラム像の出力光を波長合波する波長合波光学系と、
前記波長合波された出力光のうち、一の偏光方向を有する偏光を他の偏光から分離して出力する出力偏光光学系と
を備えるスペクトラム光源装置。
A light source that generates input light;
An input polarization optical system for converting the input light into a specific polarization state;
A wavelength dispersive spectroscopic optical system that splits the light converted into the specific polarization state into a spectrum image spread in one direction;
A plurality of optical elements arranged along a spread direction of the spectrum image, and when the spectrum image of the input light passes through the plurality of optical elements, the polarization state is determined based on an instruction from the outside. A modulation element unit that outputs output light modulated independently for each wavelength region transmitted through the optical element;
An intensity modulation filter that modulates at least one of the input light and the output light to a predetermined intensity for each wavelength region when at least one of the input light and the output light passes;
A wavelength multiplexing optical system for wavelength multiplexing the output light of the spectrum image;
A spectrum light source device comprising: an output polarization optical system that separates and outputs polarized light having one polarization direction from the other polarized light in the wavelength-multiplexed output light.
前記強度変調フィルタは、強度を小さくすべき領域ほど、前記複数の光学素子が配列された方向に直交する方向について、光が透過する幅が狭い窓を有する請求項1または2に記載のスペクトラム光源装置。3. The spectrum light source according to claim 1, wherein the intensity modulation filter has a window having a narrower width for transmitting light in a direction orthogonal to a direction in which the plurality of optical elements are arranged in a region where the intensity should be reduced. apparatus. 前記窓は、前記複数の光学素子が配列された方向を軸として対称形を有する請求項3に記載のスペクトラム光源装置。The spectrum light source device according to claim 3, wherein the window has a symmetric shape with respect to a direction in which the plurality of optical elements are arranged. 前記強度変調フィルタは、前記複数の光学素子が配列された方向に直交する方向について均一であって、強度を小さくすべき領域ほど、透過率が低いパターンを有する請求項1から4のいずれか1項に記載のスペクトラム光源装置。The intensity modulation filter has a pattern that is uniform in a direction orthogonal to the direction in which the plurality of optical elements are arranged and has a lower transmittance in a region where the intensity should be reduced. The spectrum light source device according to Item. 前記変調素子部は、反射型液晶である請求項1に記載のスペクトラム光源装置 The spectrum light source device according to claim 1, wherein the modulation element unit is a reflective liquid crystal . 前記変調素子部は、透過型液晶である請求項2に記載のスペクトラム光源装置 The spectrum light source device according to claim 2, wherein the modulation element unit is a transmissive liquid crystal .
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