JP5117804B2 - 6-axis force sensor - Google Patents
6-axis force sensor Download PDFInfo
- Publication number
- JP5117804B2 JP5117804B2 JP2007244959A JP2007244959A JP5117804B2 JP 5117804 B2 JP5117804 B2 JP 5117804B2 JP 2007244959 A JP2007244959 A JP 2007244959A JP 2007244959 A JP2007244959 A JP 2007244959A JP 5117804 B2 JP5117804 B2 JP 5117804B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- element installation
- installation surface
- reference plane
- force sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 117
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 18
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 8
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 5
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
本発明は、センサの原点に作用するX軸、Y軸、Z軸の座標軸方向の3つの力成分と、その各軸回りの3つのモーメント成分を検出可能な6軸力センサに関する。 The present invention relates to a six-axis force sensor that can detect three force components in the coordinate axis directions of the X, Y, and Z axes acting on the origin of the sensor and three moment components around each axis.
自動車、産業用ロボット、その他の機械装置は、より多機能なものへと日々進歩を続けているが、その構成部品として高精度のセンサ類が必要不可欠になっている。特に、1つのセンサによって力の大きさと方向を正確に検出することができれば、非常に精密な制御を実現することができる。
そのため、これまでも、例えば特許文献1〜10にあるような、多軸力センサの開発がなされてきた。
Although automobiles, industrial robots, and other mechanical devices continue to advance to more multifunctional devices, high-precision sensors are indispensable as components. In particular, if a single sensor can accurately detect the magnitude and direction of the force, very precise control can be realized.
Therefore, development of a multi-axis force sensor has been made so far, for example, as disclosed in
従来の多軸力センサは、実際に荷重等を受ける起歪体と、これに付与された剪断力等を検出する歪みゲージなどを組み合わせた構造よりなるものが主流であった。しかし、この歪みゲージを複数組み合わせたセンサは、構造が複雑で小型化が難しく、大量生産にも適さず、また、信頼性にも問題があった。
また、歪みゲージの使用を避けた構成も提案されてきてはいるが、いわゆる6軸力センサとしては、非常に構成が複雑で小型化が困難な場合が多い。
Conventional multi-axis force sensors are mainly composed of a structure in which a strain body that actually receives a load or the like and a strain gauge that detects a shear force or the like applied thereto is combined. However, a sensor combining a plurality of strain gauges has a complicated structure and is difficult to miniaturize, is not suitable for mass production, and has a problem in reliability.
In addition, although a configuration that avoids the use of a strain gauge has been proposed, a so-called 6-axis force sensor has a very complicated configuration and is often difficult to downsize.
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、構造が簡単で、高い信頼性が得られる6軸力センサを提供しようとするものである。 The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a six-axis force sensor that has a simple structure and high reliability.
本発明は、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸方向に作用する座標軸方向の力と、上記X軸、上記Y軸及び上記Z軸回りのモーメントを検出可能な6軸力センサであって、
上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面上において座標原点を中心とする環状のアウタ部材と、
該アウタ部材の内周面の内側に隙間を設けて配置された外周面を有するインナ部材と、
上記アウタ部材の内周面に設けられた外側素子設置面と上記インナ部材の上記外周面に設けられた内側素子設置面との間に挟持された複数の荷重センサ素子とを有し、
上記インナ部材の上記内側素子設置面は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面を挟んで両側に対向して凹所を形成するよう設けられ、かつ、上記内側素子設置面のうち、上記基準平面を挟んで一方の側に存在する複数の第1内側素子設置面は、上記基準平面における上記Z軸上に頂点を有する第1多角錐の側面の少なくとも一部に相当し、上記基準平面を挟んで他方の側に存在する複数の第2内側素子設置面は、上記基準平面における上記Z軸上に頂点を有し上記第1多角錐と反対方向に向いた同形状の第2多角錐の側面の少なくとも一部に相当するよう設けられており、
上記アウタ部材の上記外側素子設置面は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面を挟んで両側に互いに逆方向を向いて上記凹所に収容される凸部を形成するよう設けられ、かつ、上記外側素子設置面のうち、上記基準平面を挟んで一方の側に存在する複数の第1外側素子設置面は、それぞれ上記第1内側素子設置面と略平行に配置され、上記基準平面を挟んで他方の側に存在する複数の第2外側素子設置面は、それぞれ上記第2内側素子設置面と略平行に配置されており、
対向する1組の上記内側素子設置面と上記外側素子設置面との間に存在する1つのセンサ設置領域には、それぞれ2個以上の上記荷重センサ素子が配設されていることを特徴とする6軸力センサにある(請求項1)。
The present invention is a six-axis force sensor capable of detecting forces in the coordinate axis direction acting in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions orthogonal to each other, and moments about the X-axis, Y-axis, and Z-axis. ,
An annular outer member centered on a coordinate origin on a reference plane including the X axis and the Y axis;
An inner member having an outer peripheral surface disposed with a gap inside the inner peripheral surface of the outer member;
A plurality of load sensor elements sandwiched between an outer element installation surface provided on the inner peripheral surface of the outer member and an inner element installation surface provided on the outer peripheral surface of the inner member;
The inner element installation surface of the inner member is provided so as to form a recess opposite to both sides across a reference plane including the X axis and the Y axis, and of the inner element installation surface, The plurality of first inner element installation surfaces present on one side across the reference plane correspond to at least a part of the side surface of the first polygonal pyramid having an apex on the Z axis in the reference plane, and the reference plane The plurality of second inner element installation surfaces existing on the other side across the top have a vertex on the Z axis in the reference plane and have the same shape as the second polygonal pyramid facing in the opposite direction to the first polygonal pyramid It is provided to correspond to at least a part of the side surface of
The outer element installation surface of the outer member is provided on both sides of the reference plane including the X-axis and the Y-axis so as to form convex portions accommodated in the recesses in opposite directions, and A plurality of first outer element installation surfaces present on one side of the reference plane between the outer element installation surfaces are arranged substantially parallel to the first inner element installation surface, and the reference plane is defined as A plurality of second outer element installation surfaces present on the other side of the sandwich are arranged substantially parallel to the second inner element installation surface,
Two or more load sensor elements are arranged in one sensor installation region existing between the pair of opposed inner element installation surfaces and the outer element installation surface, respectively. It exists in a 6-axis force sensor (Claim 1).
本発明の6軸力センサは、上記のごとく、アウタ部材、インナ部材及びこれらの間に挟持された上記複数の荷重センサ素子により構成されており、構造が非常に簡単である。そして、さらに注目すべき点は、上記インナ部材に設けた上記内側素子設置面が、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面における上記Z軸上に頂点を有する上記第1多角錐及び第2多角錐の側面の少なくとも一部に相当する平面よりなり、かつ、上記外側素子設置面も上記内側素子設置面と略平行で、同様に多角錐の側面の少なくとも一部に相当する平面よりなることである。 As described above, the six-axis force sensor according to the present invention includes the outer member, the inner member, and the plurality of load sensor elements sandwiched between them, and has a very simple structure. Further, it should be noted that the first polygonal pyramid and the second polygonal pyramid in which the inner element installation surface provided on the inner member has an apex on the Z axis in a reference plane including the X axis and the Y axis. It consists of a plane corresponding to at least a part of the side surface of the polygonal pyramid, and the outer element installation surface is also substantially parallel to the inner element installation surface, and similarly consists of a plane corresponding to at least a part of the side surface of the polygonal pyramid. It is.
そして、上記多角錐をn角錐(nは3以上の自然数)とすると、上記第1内側素子設置面及び第2内側素子設置面、並びに上記第1外側素子設置面及び第2外側素子設置面は、いずれもn個の平面により構成されることとなる。そして、1つの上記6軸力センサにおいては、対向する1組の上記内側素子設置面と上記外側素子設置面との間に存在する上記センサ設置領域が、Z軸方向においては2箇所存在し、周方向にはn箇所、合計2n箇所存在することとなる。
また、上記のごとく、1つの上記センサ設置領域には、それぞれ2個以上の上記荷重センサ素子が配設されるので、合計4n個以上の荷重センサ素子が配設される。
When the polygonal pyramid is an n-pyramid (n is a natural number of 3 or more), the first inner element installation surface and the second inner element installation surface, and the first outer element installation surface and the second outer element installation surface are , Both are constituted by n planes. And in one said 6-axis force sensor, the said sensor installation area | region which exists between one set of the said inner element installation surface and the said outer element installation surface which exists in two Z-axis direction exists, There will be n locations in the circumferential direction, for a total of 2n locations.
Further, as described above, since two or more load sensor elements are arranged in one sensor installation region, a total of 4n or more load sensor elements are arranged.
また、上記各素子設置面のすべては、上記多角錐の側面の一部に相当することから、上記Z軸方向に対して必ず所定角度傾斜し、かつ、X軸方向又はY軸方向の少なくとも一方に対して必ず所定角度傾斜した状態で配置される。そのため、各荷重センサ素子の配設位置と出力との関係を幾何学的見地から演算することによって、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸方向に作用する座標軸方向の力と、上記X軸、上記Y軸及び上記Z軸回りのモーメント、つまり6軸力を検出可能となる。 In addition, since each of the element installation surfaces corresponds to a part of the side surface of the polygonal pyramid, the element installation surface is always inclined by a predetermined angle with respect to the Z-axis direction, and at least one of the X-axis direction or the Y-axis direction Are always inclined at a predetermined angle. Therefore, by calculating the relationship between the placement position and output of each load sensor element from the geometric point of view, the forces in the coordinate axis direction acting in the X axis, Y axis and Z axis directions orthogonal to each other, and the above X axis The moment about the Y axis and the Z axis, that is, the six-axis force can be detected.
そして、上記6軸力センサは、従来のような起歪体を用いる必要が無く上記荷重センサ素子の出力を直接的に利用することができ、非常に構造が簡単で精度のよい測定が可能で、部品点数も少なくて済み、信頼性、耐久性にも優れたものとなる。
したがって、本発明によれば、構造が簡単で、高い信頼性が得られる6軸力センサを提供することができる。
The 6-axis force sensor does not require the use of a strain-generating body as in the prior art, and can directly use the output of the load sensor element, so that the structure is very simple and accurate measurement is possible. The number of parts is small, and the reliability and durability are excellent.
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a 6-axis force sensor having a simple structure and high reliability.
本発明の6軸力センサにおいては、上述したごとく、上記インナ部材に設けた上記内側素子設置面が上記第1多角錐及び第2多角錐の側面の少なくとも一部に相当する平面よりなり、かつ、上記外側素子設置面も上記内側素子設置面と略平行で、同様に多角錐(第3多角錐及び第4多角錐とする)の側面の少なくとも一部に相当する平面よりなる。
上記第1多角錐と第2多角錐とは、同じ形状で頂点のある方向を180°逆方向に向けたものである。そして、両者が互いに重なり合わないように頂点を対向させるか、頂点だけを重ね合わせるか、或いは、両者が互いに重なり合って一方の頂点が他方の多角錐内部に入り込んだ状態とするかは、選択可能である。また、上記第3多角錐は上記第1多角錐と同じ姿勢で、第1内側素子設置面と第1外側素子設置面との間の距離分だけずらして配置され、同様に、上記第4多角錐は上記第2多角錐と同じ姿勢で、第2内側素子設置面と第2外側素子設置面との間の距離分だけずらして配置されたものとなる。
In the six-axis force sensor of the present invention, as described above, the inner element installation surface provided on the inner member is a plane corresponding to at least a part of the side surfaces of the first polygonal pyramid and the second polygonal pyramid, and The outer element installation surface is also substantially parallel to the inner element installation surface, and is similarly formed of a plane corresponding to at least a part of the side surfaces of a polygonal pyramid (referred to as a third polygonal pyramid and a fourth polygonal pyramid).
The first polygonal pyramid and the second polygonal pyramid are formed in the same shape with the apex direction turned 180 ° in the opposite direction. And you can select whether the vertices face each other so that they don't overlap each other, only the vertices overlap, or they overlap each other and one vertex goes inside the other polygonal pyramid It is. The third polygonal pyramid is arranged in the same posture as the first polygonal pyramid and is shifted by the distance between the first inner element installation surface and the first outer element installation surface. The pyramids are arranged in the same posture as the second polygonal pyramid and shifted by the distance between the second inner element installation surface and the second outer element installation surface.
また、上記荷重センサ素子は、電気絶縁性の一対の受圧体の間に感圧体を介在させて一体的に積層した積層体よりなり、上記感圧体は、ピエゾ抵抗効果を有していることが好ましい(請求項2)。
上記荷重センサ素子としては、自己が受けた荷重を電気的な特性として出力できるものであれば採用可能である。多数の荷重センサ素子の中でも、上記ピエゾ抵抗効果を有する感圧体を上記電気絶縁性の一対の受圧体の間に挟持した構成のものが特に有効である。
Further, the load sensor element is formed of a laminated body integrally laminated with a pressure sensitive body interposed between a pair of electrically insulating pressure receiving bodies, and the pressure sensitive body has a piezoresistive effect. (Claim 2).
Any load sensor element can be used as long as it can output the load received by itself as an electrical characteristic. Among many load sensor elements, a configuration in which the pressure sensitive body having the piezoresistance effect is sandwiched between the pair of electrically insulating pressure receiving bodies is particularly effective.
上記感圧体としては、例えば、電気的絶縁性を有するセラミックスよりなる母材中に、圧力抵抗効果又は磁気抵抗効果を有する材料を電気的につながるように分散させた複合セラミックスを採用することが可能である。その他、受圧した応力に応じて電気的特性を変化しうる材料であれば、上記以外の構成の感圧体を採用することができることは言うまでもない。
また、上記感圧体の両面には、電気的絶縁性を有するセラミックス等よりなる絶縁材料よりなる上記受圧体を設けることが好ましい。これにより、アウタ部材およびインナ部材と荷重センサ素子との間の電気的絶縁性を容易に確保することができる。
また、上記受圧体としては、例えば、ジルコニア等のセラミックス等を採用することができる。
また、上記荷重センサ素子は、圧縮応力のみを検知するよう構成されていることが好ましい。すなわち、圧縮応力のみを検知し、せん断応力を検知しない荷重センサ素子を使用することにより、せん断応力が入力された場合でも、精度よく6軸力を求めることができる。
As the pressure-sensitive body, for example, it is possible to employ composite ceramics in which a material having a pressure resistance effect or a magnetoresistance effect is dispersed in a base material made of ceramics having electrical insulation properties so as to be electrically connected. Is possible. In addition, it is needless to say that a pressure-sensitive body having a configuration other than the above can be adopted as long as the material can change the electrical characteristics according to the received stress.
Moreover, it is preferable to provide the said pressure receiving body which consists of insulating materials consisting of the ceramics which have electrical insulation, etc. on both surfaces of the said pressure sensitive body. Thereby, the electrical insulation between an outer member and an inner member, and a load sensor element is easily securable.
Moreover, as said pressure receiving body, ceramics, such as a zirconia, etc. are employable, for example.
Moreover, it is preferable that the said load sensor element is comprised so that only a compressive stress may be detected. That is, by using a load sensor element that detects only the compressive stress and does not detect the shear stress, the six-axis force can be accurately obtained even when the shear stress is input.
また、上記多角錐は四角錐であり、上記インナ部材及び上記アウタ部材は、それぞれ上記Z軸周りの周方向4箇所に上記内側素子設置面及び上記外側素子設置面を有していることが好ましい(請求項3)。四角錐の場合には、八箇所の上記センサ設置領域を形成することができ、少なくとも合計16個の荷重センサ素子を用いることができる。そのため、実用上十分な種類の出力が得られ、精度よい検出ができる。さらに、コスト的にも有利である。 The polygonal pyramid is a quadrangular pyramid, and the inner member and the outer member preferably have the inner element installation surface and the outer element installation surface at four circumferential positions around the Z axis, respectively. (Claim 3). In the case of a quadrangular pyramid, eight sensor installation regions can be formed, and at least a total of 16 load sensor elements can be used. Therefore, practically sufficient types of outputs can be obtained and detection can be performed with high accuracy. Furthermore, it is advantageous in terms of cost.
なお、後述するごとく、上記多角錐が三角錐でも可能であり、実用上十分な検出精度が得られるが、荷重センサ素子の数及び形状的な安定感において四角錐の場合の方がより有利である。
また、五角錐以上の多角錐でも勿論よく、センサ設置領域の数が増えるほど理論上精度が高くなると考えられるが、製造コストや部品点数の増加によるデメリットも考慮する必要がある。実用的には、3〜8角錐の範囲が好ましく、最も好ましくは上記の四角錐であると考えられる。
As will be described later, the polygonal pyramid can be a triangular pyramid, and a practically sufficient detection accuracy can be obtained, but the case of a square pyramid is more advantageous in terms of the number and shape stability of the load sensor elements. is there.
Of course, a pentagonal pyramid or larger polygonal pyramid may be used. Of course, it is considered that the accuracy increases as the number of sensor installation areas increases. However, it is necessary to consider disadvantages due to an increase in the manufacturing cost and the number of parts. Practically, a range of 3 to 8 pyramids is preferable, and most preferable is the above-mentioned quadrangular pyramid.
ここで、多角錐とは、「平面上の多角形(底面)の周上の各点と、その平面上にない1点(頂点)とを結ぶ線分(母線)を引いたとき、それらの線分および底面で囲まれる多面体」と定義できるものであり、本発明では上記「1点」が上記Z軸上に存在する「頂点」に該当し、上記底面は基準平面に平行な任意の位置の平面となる。
また、本発明での多角錐は、最も好ましくは「正多角錐」であって、上記底面が正多角形であることが好ましく、構造的安定性の向上及び演算の容易化を図ることができる。
Here, the polygonal pyramid is “when a line segment (bus line) connecting each point on the circumference of the polygon (bottom surface) on the plane and one point (vertex) not on the plane is drawn. In the present invention, the “one point” corresponds to the “vertex” existing on the Z axis, and the bottom surface is an arbitrary position parallel to the reference plane. It becomes the plane of.
Further, the polygonal pyramid in the present invention is most preferably a “regular polygonal pyramid”, and the bottom surface is preferably a regular polygon, so that structural stability can be improved and calculation can be facilitated. .
また、上記内側素子設置面及び上記外側素子設置面の上記Z軸となす角度は、10°〜80°の範囲にあることが好ましい(請求項4)。上記角度が10°未満の場合には、Z軸方向の力、すなわち後述するFzを精度よく検出できないという問題が生じるおそれがあり、一方、80°を超える場合にはX軸方向の力(後述するFx)、もしくはY軸方向の力(後述するFy)を精度よく検出できないという問題が生じるおそれがある。 Moreover, it is preferable that the angle which the said inner element installation surface and the said outer element installation surface make with the said Z-axis exists in the range of 10 degrees-80 degrees. If the angle is less than 10 °, there is a possibility that a force in the Z-axis direction, that is, Fz described later cannot be detected accurately. On the other hand, if the angle exceeds 80 °, a force in the X-axis direction (described later) Fx) or force in the Y-axis direction (Fy described later) may not be detected with high accuracy.
また、上記インナ部材の軸方向一端部にはインナ固定部が設けられており、該インナ固定部は、上記アウタ部材と接触することなく該アウタ部材の内径よりも大径化した外径を有する鍔状に形成されていることが好ましい(請求項5)。
この場合には、上記インナ部材を外部入力部材に固定する際の安定性を高めることができる。
Further, an inner fixing portion is provided at one axial end portion of the inner member, and the inner fixing portion has an outer diameter larger than the inner diameter of the outer member without contacting the outer member. It is preferably formed in a bowl shape (Claim 5).
In this case, stability when the inner member is fixed to the external input member can be enhanced.
また、上記インナ部材は、上記第1内側素子設置面を備えた第1インナ部と上記第2内側素子設置面を備えた第2インナ部とを別部材で作製し、両者を合体させて構成してあることが好ましい(請求項6)。
この場合には、上記インナ部材の作製が容易であると共に、アウタ部材及び荷重センサ素子の組付けを容易に行うことができる。
Further, the inner member is constructed by forming the first inner part having the first inner element installation surface and the second inner part having the second inner element installation surface as separate members, and combining them. (Claim 6).
In this case, the inner member can be easily manufactured, and the outer member and the load sensor element can be easily assembled.
また、上記インナ部材の厚さを調整すること、若しくは該インナ部材を第1インナ部と第2インナ部とにより構成し両者の間に配設したスペーサ部材の厚さを調整することによって、荷重センサ素子に加える予圧を調整可能に構成されていることが好ましい(請求項7)。この場合には、予圧条件を容易に調整することができ、さらに測定精度を高めることができる。 Further, by adjusting the thickness of the inner member, or by adjusting the thickness of the spacer member constituted by the first inner portion and the second inner portion and disposed between the inner member and the load, It is preferable that the preload applied to the sensor element is adjustable. In this case, the preload condition can be easily adjusted, and the measurement accuracy can be further increased.
(実施例1)
本発明の実施例に係る6軸力センサにつき、図1〜図15を用いて説明する。
本例の6軸力センサ1は、図1、図2に示すごとく、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸方向に作用する座標軸方向の力と、上記X軸、上記Y軸及び上記Z軸回りのモーメントを検出可能な6軸力センサである。
Example 1
A six-axis force sensor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 1 and 2, the six-
上記6軸力センサ1は、図1、図2に示すごとく、X軸及びY軸を含む基準平面P上において座標原点Oを中心とする環状のアウタ部材2と、該アウタ部材2の内周面の内側に隙間を設けて配置された外周面を有するインナ部材3と、上記アウタ部材2の内周面に設けられた外側素子設置面24と上記インナ部材3の上記外周面に設けられた内側素子設置面34との間に挟持された複数の荷重センサ素子5とを有する。
As shown in FIGS. 1 and 2, the six-
インナ部材3の上記内側素子設置面34は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面Pを挟んで両側に対向して凹所39を形成するよう設けられ、かつ、上記内側素子設置面34のうち、上記基準平面Pを挟んで一方の側に存在する複数の第1内側素子設置面34(a)は、上記基準平面Pにおける上記Z軸上に頂点710を有する第1多角錐71(図2、図7)の側面の少なくとも一部に相当し、上記基準平面Pを挟んで他方の側に存在する複数の第2内側素子設置面34(b)は、上記基準平面Pにおける上記Z軸上に頂点720を有し上記第1多角錐71と反対方向に向いた同形状の第2多角錐72(図2)の側面の少なくとも一部に相当するよう設けられている。
The inner
アウタ部材2の上記外側素子設置面24は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面Pを挟んで両側に互いに逆方向を向いて上記凹所39に収容される凸部29を形成するよう設けられ、かつ、上記外側素子設置面24のうち、上記基準平面Pを挟んで一方の側に存在する複数の第1外側素子設置面24(a)は、それぞれ上記第1内側素子設置面34(a)と略平行に配置され、上記基準平面Pを挟んで他方の側に存在する複数の第2外側素子設置面24(b)は、それぞれ上記第2内側素子設置面34(b)と略平行に配置されている。
そして、対向する1組の上記内側素子設置面34と上記外側素子設置面24との間に存在する1つのセンサ設置領域には、それぞれ2個の上記荷重センサ素子5が配設されている。
以下、さらに詳しく説明する。
The outer
Two
This will be described in more detail below.
図2に示すごとく、インナ部材3は、角部を曲面状に面取りした四角形状のその外周形状を有する2つの第1インナ部31と第2インナ部32を組み合わせて構成されている。第1インナ部31は、図3〜図6に示すごとく、Z軸から所定角度α分だけ傾斜した(図5)テーパ状の平面よりなる4つの第1内側素子設置面34(a)を有してなる。この第1内側素子設置面34(a)は、図7に示すごとく、第1多角錐(四角錐)71の側面711〜714の一部に相当するように設けられている。同様に、第2インナ部32は、Z軸から所定角度α分だけ傾斜したテーパ状の平面よりなる4つの第2内側素子設置面34(b)を有してなる(図2)。この第2内側素子設置面34(b)は、上記第1多角錐(四角錐)71と同形状の第2多角錐72(図2)の側面の一部に相当するように設けられている。
As shown in FIG. 2, the
また、図4に示すごとく、第1インナ部31における隣り合う第1内側素子設置面34(a)の間は、滑らかに90°方向を変える曲面よりなる曲面部435によって接続されている。各第1内側素子設置面34(a)にはその両端に2つの素子設置予定領域Sがある。
また、第1インナ部31には、第2インナ部32と一体化するためのインナ締結ボルト挿入用のボルト穴315が4箇所に設けられ、中央部には、外径がアウタ部材2と略同じの鍔状のインナ固定部6と連結するための中央穴316が設けられている。これらの曲面部435、ボルト穴315、及び中央穴316を設ける構成は、第2インナ部32においても同様である(図示略)。
そして、図2に示すごとく、第2インナ部32を、後述するスペーサ部材81を介して一体的に連結することによって、インナ部材3の外周面に設けられた内側素子設置面34は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面Pを挟んで両側に対向して凹所39を形成するよう設けられることとなる。
Further, as shown in FIG. 4, adjacent first inner element installation surfaces 34 (a) in the first
The first
Then, as shown in FIG. 2, the inner
また、インナ部材3に連結されるインナ固定部6は、図11、図12に示すごとく、円盤状の鍔部61と、上記インナ部材3の中央穴316に挿入されるパイプ状の軸部62を有している。また、鍔部61には、これを固定するためのインナ固定穴611を4つ有すると共に、ノックピン挿通穴612を2つ有している。
Further, as shown in FIGS. 11 and 12, the
図1、図2、図8、図9に示すごとく、アウタ部材2は、外周形状が円形で、内周形状が角部を曲面状に面取りした四角形状となる環状に構成されている。そして、その内周面が上記インナ部材3の凹所39に間隔を空けて収容される凸部29を形成している。
凸部29は、その両面に、それぞれ、Z軸から所定角度α分だけ傾斜した(図9)テーパ状の平面よりなる4つの外側素子設置面24(a)、24(b)を有してなる。
As shown in FIGS. 1, 2, 8, and 9, the
The
アウタ部材2の外側素子設置面24のうち、上記基準平面Pを挟んで一方の側に存在する複数の第1外側素子設置面24(a)は、図2に示すごとく、それぞれ上記第1内側素子設置面34(a)と略平行に配置されている。つまり、第1外側素子設置面24(a)も、上記第1多角錐(四角錐)71と同形状の四角錐74(図9)の側面の一部に相当するように設けられている。
また、外側素子設置面24のうち、上記基準平面を挟んで他方の側に存在する複数の第2外側素子設置面24(b)は、それぞれ上記第2内側素子設置面34(b)と略平行に配置されている。つまり、第2外側素子設置面24(b)も、上記第2多角錐(四角錐)72と同形状の四角錐74(図9)の側面の一部に相当するように設けられている。
Among the outer element installation surfaces 24 of the
Further, among the outer element installation surfaces 24, a plurality of second outer element installation surfaces 24 (b) existing on the other side across the reference plane are substantially the same as the second inner element installation surfaces 34 (b), respectively. They are arranged in parallel. That is, the second outer element installation surface 24 (b) is also provided so as to correspond to a part of the side surface of the quadrangular pyramid 74 (FIG. 9) having the same shape as the second polygonal pyramid (quadratic pyramid) 72.
また、各外側素子設置面24は、いずれも、その周囲249よりも若干窪んだ状態で設けられており、その両端の外周側角部248は円弧状に形成されている。この円弧状の角部248は、後述する荷重センサ素子5を構成する一方の受圧体51の形状に対応させてあり、荷重センサ素子5の配設位置の位置決めが容易にできるようにしてある。
また、アウタ部材2の上記各外側素子設置面24よりも外周側には、アウタ固定穴23が表側に4つ設けられ、裏側には後述するノックピン85を挿入するノックピン挿入穴26が2つ設けられている。
Further, each outer
Further, four outer fixing holes 23 are provided on the front side on the outer peripheral side of each outer
上記荷重センサ素子5は、図13、図14に示すごとく、電気絶縁性の一対の受圧体51、52の間に感圧体50を介在させて一体的に積層した積層体よりなり、上記感圧体50は、ピエゾ抵抗効果を有している。
また、感圧体50は、図15に示すごとく、電気絶縁性を有するセラミックスよりなる母材509中に圧力抵抗効果を有するセンサ材料508が電気的につながるように分散してなる複合セラミックスよりなる。上記母材509となるセラミックスとしては様々な材料を使用することができるが、本例ではジルコニアを採用した。また、上記圧力抵抗効果を有するセンサ材料508としても様々な材料を使用することができるが、本例では(La,Sr)MnO3を採用した。この感圧体50を用いた荷重センサ素子5は、圧縮応力のみを検知するよう構成される。
なお、上記感圧体50としては、受圧した圧力に応じて電気的特性を変化しうる材料であれば、上記以外の構成のものを採用可能であることは勿論である。
As shown in FIGS. 13 and 14, the
Further, as shown in FIG. 15, the pressure-
Of course, any material other than those described above can be used as the pressure-
また、図13に示すごとく、上記受圧体51、52は、いずれも電気絶縁性を有するセラミックスであるジルコニアにより作製した。また、一方の受圧体51は、上述した外側素子設置面24の円弧状の角部422の形状に対応するように円弧状に設けた角部512を有し、その外径が四角形の感圧体50及び他方の受圧体52よりも大きくなるように構成されている。
この荷重センサ素子5は、受圧体51、感圧体50及び受圧体52を積層して一体的に焼成してなる積層体を形成後、切削加工を施して、上記形状に仕上げたものを用いた。
Further, as shown in FIG. 13, the
The
次に、本例の6軸力センサ1を組み立てるに当たっては、まず、図10に示すごとく、上記アウタ部材2のすべての外側素子設置面24に、それぞれ2個ずつ荷重センサ素子5を接着する。本例では、4つの第1外側素子設置面24(a)と4つの第2外側素子設置面24(b)、合計8つの外側素子設置面24が存在するので、荷重センサ素子5の数は16個となる。
Next, in assembling the six-
次に、図2に示すごとく、アウタ部材2の凸部29を挟むように、第1インナ部31、第2インナ部32を対向させ、かつ、両者の間にスペーサ部材81を介在させて、4本のインナ締結ボルト82をボルト穴315に締結して、各荷重センサ素子5を、外側素子設置面24と内側素子設置面34との間に挟持させた。また、内側素子設置面34と荷重センサ素子5の受圧体52とは、両者の間に介在させた接着剤により接着した。なお、上記スペーサ部材81は、各荷重センサ素子5に対して予め所定の圧縮応力を加える予圧条件を、厚みの調整によって制御するためのものである。
Next, as shown in FIG. 2, the first
次に、同図に示すごとく、インナ固定部6の軸部62をインナ部材3の中央穴316に挿入し、ワッシャ83を介して中央ボルト82をねじ込んで、インナ固定部6とインナ部材3とを締結する。
次に、ノックピン85を、インナ固定部6のノックピン挿通穴612を貫通させてアウタ部材2のノックピン挿入穴26に挿入する。このノックピン85は、6軸力の入力部であるインナ固定部6と、6軸力の出力部であるアウタ部材2とのZ軸回りの角度位相を合致させるという役割を果たす。
Next, as shown in the figure, the
Next, the
そして、このような構成の6軸力センサ1は、上記アウタ部材2のアウタ固定穴23とインナ固定穴611とを用いて、6軸力の測定対象である被測定物に固定することができる。
And the 6-
(実験1)
次に、実施例1の6軸力センサ1を用いて、その性能を評価する実験を行った。実施例1の6軸力センサ1の構成をわかりやすくするために、図16〜図18に示すごとく、荷重センサ素子5の配置を平面的にモデル化して示し、それぞれS1〜S16という符号を付した。各荷重センサ素子5の配置は、Fx入力角度を示すS1、S2、S5、S6、S9、S10、S13、S14に対する傾きとFy入力角度を示すS3、S4、S7、S8、S11、S12、S15、S16に対する傾きとはいずれも同じでα1とすると、α1は67.5°である。また、Fz入力角度を示すS1〜S16に対する傾きα2が22.5°である。また、基準平面上におけるX軸又はY軸からの長い距離L1が12.3mm、短い距離L2が6.8mm、Z軸からの距離L3が13.5mmである。そのため、X軸方向の応力をFx(出力)、Y軸方向の応力をFy(出力)、Z軸方向の応力をFz(出力)、X軸回りのモーメントをMx(出力)、Y軸回りのモーメントをMy(出力)、Z軸回りのモーメントをMz(出力)とし、各荷重センサ素子S1〜S16の出力値をF1〜F16とした場合、上記の幾何学的配置から、次のような演算式1(数1)を用いることができる。
(Experiment 1)
Next, an experiment for evaluating the performance of the 6-
ここで、上式中のCは、補正マトリックスCであり、多軸干渉(クロストーク)が発生する場合に使用する補正項であり、適宜設けることができる。
そして、上記6軸力センサ1に対して、X軸方向の並進力Fx(入力)、Y軸方向の並進力Fy(入力)、Z軸方向の並進力Fz(入力)、X軸回りのモーメントMx(入力)、Y軸回りのモーメントMy(入力)、及びZ軸回りのモーメントMz(入力)をそれぞれ単独で加えて、16個すべての荷重センサ素子S1〜S16からの出力F1〜F16を測定して、上記演算式1によって、すべての出力値、つまり、Fx(出力)、Fy(出力)、Fz(出力)、Mx(出力)、My(出力)、及びMz(出力)を測定した。その結果を図19〜図22に示す。これらは、横列に入力の種類を、縦列に出力の種類をとってマトリックス状の枠を作り、その中に、横軸に入力の大きさ、縦軸に出力の大きさをとったものである。
Here, C in the above equation is a correction matrix C, which is a correction term used when multiaxial interference (crosstalk) occurs, and can be provided as appropriate.
The X-axis direction translation force Fx (input), the Y-axis direction translation force Fy (input), the Z-axis direction translation force Fz (input), and the moment about the X-axis with respect to the six-
これらの図より知られるごとく、本例の6軸力センサ1は、各軸方向に関する並進力又はモーメントの入力があった場合、その同じ軸に関する同じ種類の方向の出力がほぼ1:1の感度でリニアに反応したものとなっており、その他のもは、出力値がほぼ0であり、非常に精度のよい測定ができることが分かる。
As can be seen from these figures, the 6-
(実験2)
次に、実施例1の6軸力センサ1の性能を客観的に評価するために、市販の歪みゲージ式の多軸力センサを準備して、比較した。
比較項目は、表1に示すごとく、形状、容積、並進力定格、モーメント定格、剛性、及び共振周波数である。
(Experiment 2)
Next, in order to objectively evaluate the performance of the six-
As shown in Table 1, the comparison items are shape, volume, translational force rating, moment rating, rigidity, and resonance frequency.
<形状>
形状は、最大外径(Φ)×高さ(h)mmにより表した。
<容積>
容積は、上記の((最大外径)/2)2×πにより求めて(cc)の単位に揃えたものである。
<剛性>
剛性は、定格Fz入力時におけるZ軸方向に生じた変形量を測定したものである。
<共振周波数>
共振周波数は、ハンマリング法による振動測定により求めたものである。
<Shape>
The shape was represented by maximum outer diameter (Φ) × height (h) mm.
<Volume>
The volume is determined by the above ((maximum outer diameter) / 2) 2 × π and aligned to the unit of (cc).
<Rigidity>
The rigidity is measured by the amount of deformation generated in the Z-axis direction when the rated Fz is input.
<Resonance frequency>
The resonance frequency is obtained by vibration measurement by a hammering method.
表1より知られるごとく、実施例1の6軸力センサ1は、ほぼ同格の定格値を有する従来の歪みゲージ式多軸力センサに比べて、小型であり、かつ、高い剛性を発揮することが分かる。また、共振周波数の違いからも速い応答性を有するということが分かる。
As is known from Table 1, the 6-
(実施例2)
本例は、図23〜図25に示すごとく、上記第1内側素子設置面、第2内側素子設置面、第1外側素子設置面、及び第2外側素子設置面の基となる基本多角錐を、三角錐に変更した例である。その他の構成は、実施例1と同様である。
この場合、図23〜図25に示すごとく、荷重センサ素子5の配置を平面的にモデル化して示した場合、12個の荷重センサ素子S1〜S12は、それぞれ同図に示す位置に配置される。この場合にも、上述した演算式1を変形した式によって、各センサからの出力値F1〜F12に基づいて、X軸方向の応力Fx(出力)、Y軸方向の応力Fy(出力)、Z軸方向の応力Fz(出力)、X軸回りのモーメントMx(出力)、Y軸回りのモーメントMy(出力)、及びZ軸回りのモーメントMz(出力)を求めることができる。
(Example 2)
In this example, as shown in FIGS. 23 to 25, the basic polygonal pyramid that is the basis of the first inner element installation surface, the second inner element installation surface, the first outer element installation surface, and the second outer element installation surface is provided. This is an example of changing to a triangular pyramid. Other configurations are the same as those of the first embodiment.
In this case, as shown in FIGS. 23 to 25, when the arrangement of the
また、同様に、上記の基本多角錐を、三角錐、四角錐以外の五角錐以上の多角錐に変更することも可能である。ただし、実質上、コストその他の関係から、3〜8角錐が実用可能な範囲と言える。特に、実施例1の四角錐を基本多角錐とすることが最も実用的である。 Similarly, the basic polygonal pyramid can be changed to a polygonal pyramid of five or more pyramids other than the triangular pyramid and the quadrangular pyramid. However, it can be said that a 3-8 pyramid is a practical range from a cost or other relationship. In particular, it is most practical to use the quadrangular pyramid of the first embodiment as a basic polygonal pyramid.
1 6軸力センサ
2 アウタ部材
24(a) 第1外側素子設置面
24(b) 第2外側素子設置面
3 インナ部材
31 第1インナ部
32 第2インナ部
34(a) 第1内側素子設置面
34(b) 第2内側素子設置面
5 荷重センサ素子
71 第1多角錐
72 第2多角錐
DESCRIPTION OF
Claims (7)
上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面上において座標原点を中心とする環状のアウタ部材と、
該アウタ部材の内周面の内側に隙間を設けて配置された外周面を有するインナ部材と、
上記アウタ部材の内周面に設けられた外側素子設置面と上記インナ部材の上記外周面に設けられた内側素子設置面との間に挟持された複数の荷重センサ素子とを有し、
上記インナ部材の上記内側素子設置面は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面を挟んで両側に対向して凹所を形成するよう設けられ、かつ、上記内側素子設置面のうち、上記基準平面を挟んで一方の側に存在する複数の第1内側素子設置面は、上記基準平面における上記Z軸上に頂点を有する第1多角錐の側面の少なくとも一部に相当し、上記基準平面を挟んで他方の側に存在する複数の第2内側素子設置面は、上記基準平面における上記Z軸上に頂点を有し上記第1多角錐と反対方向に向いた同形状の第2多角錐の側面の少なくとも一部に相当するよう設けられており、
上記アウタ部材の上記外側素子設置面は、上記X軸及び上記Y軸を含む基準平面を挟んで両側に互いに逆方向を向いて上記凹所に収容される凸部を形成するよう設けられ、かつ、上記外側素子設置面のうち、上記基準平面を挟んで一方の側に存在する複数の第1外側素子設置面は、それぞれ上記第1内側素子設置面と略平行に配置され、上記基準平面を挟んで他方の側に存在する複数の第2外側素子設置面は、それぞれ上記第2内側素子設置面と略平行に配置されており、
対向する1組の上記内側素子設置面と上記外側素子設置面との間に存在する1つのセンサ設置領域には、それぞれ2個以上の上記荷重センサ素子が配設されていることを特徴とする6軸力センサ。 A six-axis force sensor capable of detecting a force in a coordinate axis direction acting in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions orthogonal to each other, and a moment about the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis,
An annular outer member centered on a coordinate origin on a reference plane including the X axis and the Y axis;
An inner member having an outer peripheral surface disposed with a gap inside the inner peripheral surface of the outer member;
A plurality of load sensor elements sandwiched between an outer element installation surface provided on the inner peripheral surface of the outer member and an inner element installation surface provided on the outer peripheral surface of the inner member;
The inner element installation surface of the inner member is provided so as to form a recess opposite to both sides across a reference plane including the X axis and the Y axis, and of the inner element installation surface, The plurality of first inner element installation surfaces present on one side across the reference plane correspond to at least a part of the side surface of the first polygonal pyramid having an apex on the Z axis in the reference plane, and the reference plane The plurality of second inner element installation surfaces existing on the other side across the top have a vertex on the Z axis in the reference plane and have the same shape as the second polygonal pyramid facing in the opposite direction to the first polygonal pyramid It is provided to correspond to at least a part of the side surface of
The outer element installation surface of the outer member is provided on both sides of the reference plane including the X-axis and the Y-axis so as to form convex portions accommodated in the recesses in opposite directions, and A plurality of first outer element installation surfaces present on one side of the reference plane between the outer element installation surfaces are arranged substantially parallel to the first inner element installation surface, and the reference plane is defined as A plurality of second outer element installation surfaces present on the other side of the sandwich are arranged substantially parallel to the second inner element installation surface,
Two or more load sensor elements are arranged in one sensor installation region existing between the pair of opposed inner element installation surfaces and the outer element installation surface, respectively. 6-axis force sensor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007244959A JP5117804B2 (en) | 2007-09-21 | 2007-09-21 | 6-axis force sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007244959A JP5117804B2 (en) | 2007-09-21 | 2007-09-21 | 6-axis force sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009074969A JP2009074969A (en) | 2009-04-09 |
JP5117804B2 true JP5117804B2 (en) | 2013-01-16 |
Family
ID=40610074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007244959A Expired - Fee Related JP5117804B2 (en) | 2007-09-21 | 2007-09-21 | 6-axis force sensor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5117804B2 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103091026A (en) * | 2013-01-31 | 2013-05-08 | 河北联合大学 | Parallel structure six-dimension force sensor |
JP2018080941A (en) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | ファナック株式会社 | Force detection apparatus and robot |
CN109834716A (en) * | 2017-11-24 | 2019-06-04 | 发那科株式会社 | Force checking device and robot |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6007636B2 (en) | 2012-07-20 | 2016-10-12 | セイコーエプソン株式会社 | Robot control system and robot control apparatus |
TW201416815A (en) * | 2012-10-23 | 2014-05-01 | Zhong-Peng Su | Method for attitude detection of six-axis motion and detection systems thereof |
CN104614118B (en) | 2013-11-05 | 2019-01-11 | 精工爱普生株式会社 | Force checking device, robot and electronic component handling apparatus |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61122539A (en) * | 1984-11-20 | 1986-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Sensor for sense of force |
JPH06201492A (en) * | 1992-12-29 | 1994-07-19 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Force conversion element |
JP3829357B2 (en) * | 1996-04-18 | 2006-10-04 | 学校法人トヨタ学園 | Tactile sensor |
JP4347165B2 (en) * | 2004-09-02 | 2009-10-21 | 株式会社豊田中央研究所 | Multi-axis force sensor |
-
2007
- 2007-09-21 JP JP2007244959A patent/JP5117804B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103091026A (en) * | 2013-01-31 | 2013-05-08 | 河北联合大学 | Parallel structure six-dimension force sensor |
CN103091026B (en) * | 2013-01-31 | 2015-06-17 | 河北联合大学 | Parallel structure six-dimension force sensor |
JP2018080941A (en) * | 2016-11-14 | 2018-05-24 | ファナック株式会社 | Force detection apparatus and robot |
US10471604B2 (en) | 2016-11-14 | 2019-11-12 | Fanuc Corporation | Force detection device and robot |
CN109834716A (en) * | 2017-11-24 | 2019-06-04 | 发那科株式会社 | Force checking device and robot |
JP2019095318A (en) * | 2017-11-24 | 2019-06-20 | ファナック株式会社 | Force detector and robot |
US10458867B2 (en) | 2017-11-24 | 2019-10-29 | Fanuc Corporation | Force detecting device and robot |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009074969A (en) | 2009-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9200969B2 (en) | Force sensor | |
JP5497969B1 (en) | Force sensor | |
JP5117804B2 (en) | 6-axis force sensor | |
JP4909583B2 (en) | Multi-axis load cell | |
JP4585900B2 (en) | 6-axis force sensor | |
US20120180575A1 (en) | Capacitance-type force sensor | |
JP2010008343A (en) | Force sensor and process for assembling the same | |
CN111094922A (en) | Force sensor, torque sensor, force sensing sensor, fingertip force sensor, and method for manufacturing same | |
JP4877665B2 (en) | 3-axis force sensor | |
JP6618126B2 (en) | Component transducer and multi-component transducer using the component transducer and use of the multi-component transducer | |
JP3175034B2 (en) | Flexure element structure and multiaxial force detection sensor using this flexure element structure | |
Sun et al. | Design and optimization of a novel six-axis force/torque sensor with good isotropy and high sensitivity | |
JP6808249B2 (en) | Force sensor | |
JP2007078570A (en) | Force sensor | |
KR101455307B1 (en) | Divided sensing part 6-components load-cell | |
US20050120809A1 (en) | Robotic force sensing device | |
JP4347165B2 (en) | Multi-axis force sensor | |
EP3295141B1 (en) | Multi axis load cell body | |
JP5273023B2 (en) | Component meter | |
JPH0641892B2 (en) | Load detector | |
WO2017112929A1 (en) | Transducer sensor body | |
JP3144757U (en) | Force sensor | |
JP2006242675A (en) | Resistance type sensor | |
JP2005300465A (en) | Multiaxial sensor | |
JP6364637B2 (en) | Load transducer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121009 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121018 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5117804 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151026 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |