JP5108711B2 - Gas sampling method and apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、ガスの採取方法および採取装置に関し、特に可燃性ガス、毒性ガス、特殊高圧ガスなどの危険性の高い成分を含むガス、燃焼排ガスなどの粉塵や水分を含むガスの採取方法及び採取装置に関する。     TECHNICAL FIELD The present invention relates to a gas sampling method and a sampling apparatus, and more particularly, a gas sampling method and a sampling including a gas containing a highly dangerous component such as a flammable gas, a toxic gas, and a special high-pressure gas, and a gas containing dust and moisture such as combustion exhaust gas. Relates to the device.

ガスの採取方法には、以下の3つの方法が知られている。
(1) 真空容器内を予め真空とし、バルブを開けて対象ガスを吸引し、採取する方法。
真空容器は、ガラス、金属、樹脂などの材料で、真空に絶えうる強度で製造されている。
そのため、ガスの採取量は、真空容器の内容積以下であること、容器が重いため、多量のガスを採取するには不向きなこと、真空容器内が汚染されても、内部の洗浄に手間がかかるか洗浄が不可能なことなどの問題点があった。
(2) ポンプを用いガスを吸引し、サンプルバックに採取する方法。
この方法は最も汎用的であり、ポンプの種類及び接ガス部の材質、サンプルバックの材質や容量を任意に選定することで、多種類のガスを採取することができる。
しかしながら、可燃性ガス・毒性ガス・特殊高圧ガスなどの危険性の高い成分を含むガスを採取する場合や、燃焼排ガスなどの粉塵や水分を含むガスを採取する場合は、ポンプの接ガス部の材質選定が難しいこと、接ガス部の汚染や劣化が著しいことなどの問題点があった。
The following three methods are known as gas sampling methods.
(1) A method in which the inside of the vacuum vessel is previously evacuated, the valve is opened, the target gas is sucked and collected.
The vacuum container is made of a material such as glass, metal, resin, etc., and is manufactured with strength that can withstand vacuum.
Therefore, the amount of gas collected must be less than the internal volume of the vacuum container, and the container is heavy, so it is not suitable for collecting a large amount of gas. Even if the inside of the vacuum container is contaminated, it takes time to clean the inside. There have been problems such as this being impossible or impossible to clean.
(2) A method in which gas is sucked using a pump and collected in a sample bag.
This method is the most versatile, and various types of gases can be collected by arbitrarily selecting the type of pump, the material of the gas contact part, and the material and capacity of the sample bag.
However, when collecting gas containing highly dangerous components such as flammable gas, toxic gas, special high pressure gas, or when collecting gas containing dust or moisture such as combustion exhaust gas, There were problems such as difficult material selection and significant contamination and deterioration of the gas contact part.

(3) サンプルバックをサンプルボックスに入れ、サンプルボックスをポンプで減圧してサンプルバックにガスを採取する方法。
ポンプはガスに汚染されないものの、ポンプの吸引圧がサンプルバックの耐圧よりも高く、サンプルバックの規定容積以上のガスを採取した場合、サンプルバックが破損する問題点があった。
そこで、ポンプにタイマ停止機能やマスフロー制御機能を付加し、サンプルバックの規定容積のガスを採取する方法が実用化されている。
しかし、それらの機能を付加したポンプは高価であること、誤設定などの人為的ミスにより過剰のガスを採取しサンプルバックが破損する可能性があることなどの問題点があった。
特開平5−52719号公報 特開平8−110287号公報 特開平8−313412号公報 特開平11−153525号公報 特開2003−57155号公報
(3) A method in which a sample bag is placed in a sample box, and the sample box is decompressed with a pump to collect gas in the sample bag.
Although the pump is not polluted by the gas, the suction pressure of the pump is higher than the pressure resistance of the sample bag, and there is a problem that the sample bag is damaged when a gas exceeding the specified volume of the sample bag is collected.
Therefore, a method for collecting a specified volume of sample back gas by adding a timer stop function and a mass flow control function to the pump has been put into practical use.
However, pumps with these functions are expensive, and there are problems such as the possibility of collecting excessive gas and damaging the sample bag due to human error such as incorrect setting.
JP-A-5-52719 JP-A-8-110287 Japanese Patent Laid-Open No. 8-313412 JP-A-11-153525 JP 2003-57155 A

本発明は、上記公知技術の問題点を解消して、接ガス部の汚染や劣化を最小限にし、高価な機能を使用せず、人為的ミスによるサンプルバックの破損を防止することができるガスの採取方法及び採取装置を提供することを課題とする。   The present invention eliminates the problems of the above-mentioned known techniques, minimizes contamination and deterioration of the gas contact part, does not use expensive functions, and prevents damage to the sample bag due to human error. It is an object to provide a sampling method and a sampling apparatus.

前記課題を解決するために、本発明では、吸気管に接続されたサンプルバッグを、気密性のある構造の排気管を接続したサンプルボックス内に収容し、該サンプルボックス内の気体を排出することで、前記サンプルバッグ内にガスを採取する方法において、前記サンプルボックスの排気管に、前記サンプルバッグの規定容積以下の真空容器を接続して、前記サンプルボックス内の気体を吸引することで、前記サンプルバッグにガスを採取することを特徴とするガスの採取方法としたものである。
前記ガスの採取方法において、吸気管は、該管内の気体を、前記サンプルバッグ内にガスを採取する前及び後に不活性ガスで置換するのがよく、また、前記サンプルボックスは、該ボックス内の気体を、前記サンプルバッグ内にガスを採取する前に不活性ガスで置換するのがよい。
In order to solve the above problems, in the present invention, a sample bag connected to an intake pipe is accommodated in a sample box connected to an exhaust pipe having an airtight structure, and the gas in the sample box is discharged. Then, in the method of collecting gas in the sample bag, a vacuum container having a volume equal to or less than a specified volume of the sample bag is connected to an exhaust pipe of the sample box, and the gas in the sample box is sucked. A gas collecting method is characterized in that gas is collected in a sample bag.
In the gas sampling method, the intake pipe may replace the gas in the pipe with an inert gas before and after collecting the gas in the sample bag, and the sample box is provided in the box. The gas may be replaced with an inert gas before collecting the gas in the sample bag.

また、本発明では、吸気管に接続されたサンプルバッグを、気密性のある構造の排気管を接続したサンプルボックス内に収容し、該サンプルボックス内の気体を排出することで、前記サンプルバッグ内にガスを採取する装置において、前記サンプルボックスの排気管に、前記サンプルバッグの規定容積以下の開閉弁を有する真空容器を接続したことを特徴とするガスの採取装置としたものである。
前記ガスの採取装置において、吸気管、サンプルバック、サンプルボックス、排気管及び真空容器は、それぞれ脱着可能であり、前記サンプルボックスは、開閉してサンプルバックが交換可能でかつ機密性を保持する構造であり、また、前記真空容器、排気管、サンプルボックス又は開閉弁には、サンプルボックス内の気体の吸引速度を調節する機構を備えるのがよい。
In the present invention, the sample bag connected to the intake pipe is accommodated in a sample box connected to an exhaust pipe having an airtight structure, and the gas in the sample box is discharged, thereby In the gas sampling apparatus, the gas sampling apparatus is characterized in that a vacuum vessel having an opening / closing valve having a volume equal to or less than a specified volume of the sample bag is connected to an exhaust pipe of the sample box.
In the gas sampling device, the intake pipe, the sample bag, the sample box, the exhaust pipe, and the vacuum vessel are detachable, and the sample box is opened and closed so that the sample bag can be exchanged and the confidentiality is maintained. In addition, the vacuum vessel, the exhaust pipe, the sample box or the on-off valve may be provided with a mechanism for adjusting the suction speed of the gas in the sample box.

本発明によれば、被採取ガスで汚染とされるのは吸気管とサンプルバッグに留まるため、洗浄の労力を低減できると共に、人為的ミスでガスを過剰量採取し、サンプルバックを破損する事故を防止することができる。   According to the present invention, since it is only the intake pipe and the sample bag that are contaminated with the sampled gas, the cleaning effort can be reduced, and an accident in which an excessive amount of gas is sampled by human error and the sample bag is damaged. Can be prevented.

以下に、本発明を図面を用いて具体的に説明する。
まず、公知技術を図2を用いて説明すると、図2(a)はガス採取前、図2(b)はガス採取後を示す。
図2は、吸気管1に接続されたサンプルバック2をサンプルボックス3に収容し、排気管5に接続された排気手段4によりサンプルボックス3内のガスを排出することで、サンプルバック2にガスを採取する方法である。
サンプルボックス3内の気体は、排気管5を経由して排気手段4により排出され、それに伴い吸気管1を経由してサンプルバック2にガスが採取される。
この方法において、サンプルボックス3の内容積は、サンプルバック2の規定容積よりも大きいため、排気手段4の排気圧がサンプルバック2の耐圧よりも高く、かつ排気手段4による排気量がサンプルバック2の規定容積よりも多くなった場合、サンプルバックは破損する。
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to the drawings.
First, a known technique will be described with reference to FIG. 2. FIG. 2 (a) shows before gas collection, and FIG. 2 (b) shows after gas collection.
FIG. 2 shows that the sample bag 2 connected to the intake pipe 1 is accommodated in the sample box 3, and the gas in the sample box 3 is discharged by the exhaust means 4 connected to the exhaust pipe 5. It is a method to collect.
The gas in the sample box 3 is exhausted by the exhaust means 4 through the exhaust pipe 5, and gas is collected in the sample bag 2 through the intake pipe 1 accordingly.
In this method, since the internal volume of the sample box 3 is larger than the specified volume of the sample bag 2, the exhaust pressure of the exhaust means 4 is higher than the withstand pressure of the sample back 2, and the exhaust amount by the exhaust means 4 is the sample back 2. If the volume exceeds the specified volume, the sample bag will break.

次に、本発明を図1を用いて説明する。
図1は、本発明の第一の様態を示したものであり、図1(a)はガス採取前、図1(b)はガス採取後である。
図1は、吸気管1に接続されたサンプルバッグ2をサンプルボックス3に収容し、排気管5に接続された真空容器6の開閉弁7を開にすることによりサンプルボックス3内の気体を吸引することで、サンプルバッグ2にガスを採取する方法である。
この方法において、サンプルボックス3の内容積は、サンプルバッグ2の規定容積よりも大きいが、真空容器6の内容積はサンプルバッグ2の規定容積以下であり、サンプルバッグ2には真空容器6の内容積以下のガス量しか採取されないため、サンプルバッグ2は破損することが無い。
さらに、サンプルバッグ2が何らかの原因で破損したとしても、ガスはサンプルボックス3内に留まるため、危険性の高いガスを安全に採取することができる。
Next, the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1 (a) is before gas collection, and FIG. 1 (b) is after gas collection.
FIG. 1 shows that a sample bag 2 connected to an intake pipe 1 is accommodated in a sample box 3, and an open / close valve 7 of a vacuum vessel 6 connected to an exhaust pipe 5 is opened to suck gas in the sample box 3. In this way, gas is collected in the sample bag 2.
In this method, the internal volume of the sample box 3 is larger than the specified volume of the sample bag 2, but the internal volume of the vacuum container 6 is less than or equal to the specified volume of the sample bag 2, and the sample bag 2 contains the contents of the vacuum container 6. Since only the gas amount less than the product is collected, the sample bag 2 is not damaged.
Furthermore, even if the sample bag 2 is damaged for some reason, the gas stays in the sample box 3, so that highly dangerous gas can be safely collected.

また、図1に示すサンプルボックスを開閉可能で気密性のある構造とし、吸気管、サンプルバッグ、サンプルボックス、排気管及び真空容器をそれぞれ脱着可能な構造とすること、真空容器を図に示していない真空ポンプで繰返し減圧すること、サンプルバッグを順次交換することで、繰返しガスを採取することができる。
さらに、吸気管とサンプルボックスとサンプルバッグとの脱着機構、サンプルボックスと排気管と真空容器との脱着機構に形状の異なる継手を用いることにより、誤接続を防ぐことができる。
Also, the sample box shown in FIG. 1 can be opened and closed and has an airtight structure, and the intake pipe, the sample bag, the sample box, the exhaust pipe, and the vacuum container are detachable, and the vacuum container is shown in the figure. By repeatedly depressurizing with no vacuum pump and replacing the sample bag sequentially, gas can be collected repeatedly.
Further, by using joints having different shapes for the attachment / detachment mechanism of the intake pipe, the sample box, and the sample bag, and the attachment / detachment mechanism of the sample box, the exhaust pipe, and the vacuum vessel, erroneous connection can be prevented.

吸気管及び排気管は、ゴム、ポリエチレン樹脂、フッ素樹脂、ステンレスなどの材質を使用することができ、柔軟性を有することが好ましい。また、吸気管の内容積はサンプルバッグの規定容積の5%以下であることが好ましい。サンプルバッグの規定容積に対して吸気管の内容積が小さいほど、希釈されていないガスを採取することができる。吸気管の内容積をサンプルバッグの規定容積の5%以下にすることにより、サンプルバッグに採取したガス濃度を被採取ガス濃度の95%以上にすることができ、分析誤差を減少させることができる。
該吸気管は、管内の気体をサンドバッグ内にガスを採取する前及び後に、不活性ガスで置換するのがよい。
特に、シランなどの自然性ガスを採取する場合、管内の気体を不活性ガスで置換することで、シランの酸化や発火燃焼を防止することができる。
不活性ガスには窒素、アルゴン、二酸化炭素等を用いることができる。
The intake pipe and the exhaust pipe can be made of a material such as rubber, polyethylene resin, fluororesin, or stainless steel, and preferably have flexibility. The inner volume of the intake pipe is preferably 5% or less of the specified volume of the sample bag. The smaller the inner volume of the intake pipe relative to the specified volume of the sample bag, the more undiluted gas can be collected. By setting the inner volume of the intake pipe to 5% or less of the specified volume of the sample bag, the gas concentration collected in the sample bag can be 95% or more of the sampled gas concentration, and the analysis error can be reduced. .
The intake pipe is preferably replaced with an inert gas before and after collecting the gas in the pipe into the sand bag.
In particular, when a natural gas such as silane is collected, the silane oxidation or ignition combustion can be prevented by replacing the gas in the tube with an inert gas.
Nitrogen, argon, carbon dioxide or the like can be used as the inert gas.

サンプルバッグは、フッ化ビニル樹脂、4フッ化エチレンと6フッ化プロピレンの共重合体、ナイロン、ポリエチレン、アルミニウム、ポリスチレンなどの材質を使用することができる。
サンプルボックスは、塩化ビニル樹脂、アクリル樹脂、金属などの容器を使用することができ、開閉可能で気密性があり、吸気管、サンプルバッグ、排気管が脱着可能な構造が好ましい。また、内容積はサンプルバッグの2.0倍以下が好ましく、1.5倍以下がより好ましい。
The sample bag can be made of a material such as vinyl fluoride resin, a copolymer of tetrafluoroethylene and hexafluoropropylene, nylon, polyethylene, aluminum, or polystyrene.
As the sample box, a container such as a vinyl chloride resin, an acrylic resin, or a metal can be used. The sample box is openable and airtight, and preferably has a structure in which an intake pipe, a sample bag, and an exhaust pipe can be attached and detached. Further, the internal volume is preferably 2.0 times or less, more preferably 1.5 times or less that of the sample bag.

サンプルボックス内は、真空容器により均等に減圧されるため、サンプルボックスの内容積が小さいほど、サンプルバッグに採取できるガス量が増加する。サンプルボックスの内容積をサンプルバッグの規定容積の3倍、真空容器の内容積をサンプルバッグの規定容積と同容積、真空容器の圧力をゲージ圧で−90kPa、被採取ガスの圧力を−3kPaとし、吸気管と排気管の内容積を無視した場合、サンプルバッグに採取できるガス量は規定容積の81%に留まる。一方、サンプルボックスの内容積をサンプルバッグの規定容積の2倍、真空容器の内容積をサンプルバッグの規定容積と同容積、真空容器の圧力をゲージ圧で−90kPa、被採取ガスの圧力を−3kPaとし、吸気管と排気管の内容積を無視した場合、サンプルバッグには規定容積の84%のガスが採取できる。さらには、サンプルボックスの内容積をサンプルバッグの規定容積の1.5倍、真空容器の内容積をサンプルバッグの規定容積と同容積、真空容器の圧力をゲージ圧で−90kPa、被採取ガスの圧力を−3kPaとし、吸気管と排気管の内容積を無視した場合、サンプルバッグには規定容積の87%のガスが採取できる。   Since the inside of the sample box is uniformly depressurized by the vacuum container, the amount of gas that can be collected in the sample bag increases as the internal volume of the sample box decreases. The internal volume of the sample box is 3 times the specified volume of the sample bag, the internal volume of the vacuum container is the same as the specified volume of the sample bag, the pressure of the vacuum container is -90 kPa by gauge pressure, and the pressure of the sampled gas is -3 kPa When the internal volumes of the intake pipe and the exhaust pipe are ignored, the amount of gas that can be collected in the sample bag remains at 81% of the specified volume. On the other hand, the internal volume of the sample box is twice the specified volume of the sample bag, the internal volume of the vacuum container is the same volume as the specified volume of the sample bag, the pressure of the vacuum container is -90 kPa by gauge pressure, and the pressure of the sampled gas is- When the internal volume of the intake pipe and the exhaust pipe is ignored at 3 kPa, 84% of the specified volume of gas can be collected in the sample bag. Furthermore, the internal volume of the sample box is 1.5 times the specified volume of the sample bag, the internal volume of the vacuum container is the same volume as the specified volume of the sample bag, the pressure of the vacuum container is -90 kPa in terms of gauge pressure, When the pressure is −3 kPa and the internal volumes of the intake pipe and the exhaust pipe are ignored, 87% of the specified volume of gas can be collected in the sample bag.

前記サンプルボックス内の気体は、ガスを採取する前に、不活性ガスで置換することが好ましい。
特に、シランなどの自然性ガスを採取する場合、不活性ガスで置換しておくことで、サンプルバッグに製品不良や破損が生じても、自然性ガスの発火燃焼を防止することができる。
真空容器は、塩化ビニル樹脂、アクリル樹脂、金属などの容器を使用することができる。真空容器の耐圧はゲージ圧で−90kPa以下が好ましく、−101kPaがより好ましい。
真空容器の耐圧が低い場合、真空容器内を十分に減圧することができず、サンプルバッグに採取できるガス量が減少する。
サンプルボックス内の気体の吸引速度を調節する機構としては、ニードルバルブ、オリフィス管等を用いることができる。
The gas in the sample box is preferably replaced with an inert gas before collecting the gas.
In particular, when a natural gas such as silane is collected, replacement with an inert gas can prevent ignition and combustion of the natural gas even if the sample bag is defective or damaged.
As the vacuum container, a container made of vinyl chloride resin, acrylic resin, metal, or the like can be used. The pressure resistance of the vacuum vessel is preferably -90 kPa or less, more preferably -101 kPa, in terms of gauge pressure.
When the pressure resistance of the vacuum container is low, the inside of the vacuum container cannot be sufficiently depressurized, and the amount of gas that can be collected in the sample bag is reduced.
As a mechanism for adjusting the suction speed of the gas in the sample box, a needle valve, an orifice tube, or the like can be used.

実施例1
図2に示す従来例と図1に示す本発明例との採取ガス量を比較した。
吸気管及び排気管にはフッ素樹脂管、サンプルボックスには内容積10Lの立方体の透明塩化ビニル製の容器を使用した。
排気手段のポンプには、吸引圧力−30kPa、大気開放時の排気量2.4L/minを使用した。
真空容器には内容積4Lの金属製容器を使用し、オリフィスとバルブを取付け、内部をゲージ圧力−90kPaとした。
サンプルバッグには、樹脂製多層フィルムの外周を融着した規定容積5Lのものを使用した。
実験結果を表1に示す。
Example 1
The amount of collected gas was compared between the conventional example shown in FIG. 2 and the example of the present invention shown in FIG.
A fluororesin pipe was used for the intake pipe and the exhaust pipe, and a cubic transparent vinyl chloride container having an internal volume of 10 L was used for the sample box.
For the pump of the exhaust means, a suction pressure of −30 kPa and an exhaust amount of 2.4 L / min when released to the atmosphere were used.
A metal container with an internal volume of 4 L was used as the vacuum container, an orifice and a valve were attached, and the inside was set to a gauge pressure of -90 kPa.
A sample bag having a specified volume of 5 L in which the outer periphery of the resin multilayer film was fused was used.
The experimental results are shown in Table 1.

Figure 0005108711

従来例では、吸引ガス圧力0kPaの場合、採取時間2.6分でサンプルバッグが破損し、吸引ガス圧力−3kPaの場合、採取時間3.3分でサンプルバッグが破損した。
一方、本発明の例ではサンプルバッグは破損しなかった。
Figure 0005108711

In the conventional example, when the suction gas pressure was 0 kPa, the sample bag was broken at a collection time of 2.6 minutes, and when the suction gas pressure was -3 kPa, the sample bag was broken at a collection time of 3.3 minutes.
On the other hand, the sample bag was not damaged in the example of the present invention.

本発明のガスの採取装置の一例を示す構成図。The block diagram which shows an example of the sampling device of the gas of this invention. 公知のガスの採取装置の一例を示す構成図。The block diagram which shows an example of the well-known gas extraction apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1:吸気管、2:サンプルバック、3:サンプルボックス、
4:排気手段、5:排気管、6:真空容器、7:バルブ
1: Intake pipe, 2: Sample back, 3: Sample box,
4: exhaust means, 5: exhaust pipe, 6: vacuum vessel, 7: valve

Claims (6)

吸気管に接続されたサンプルバッグを、気密性のある構造の排気管を接続したサンプルボックス内に収容し、該サンプルボックス内の気体を排出することで、前記サンプルバッグ内にガスを採取する方法において、前記サンプルボックスの排気管に、前記サンプルバッグの規定容積以下の真空容器を接続して、前記サンプルボックス内の気体を吸引することで、前記サンプルバッグにガスを採取することを特徴とするガスの採取方法。   A method of collecting gas in the sample bag by storing the sample bag connected to the intake pipe in a sample box connected to an exhaust pipe having an airtight structure and discharging the gas in the sample box In the method, a vacuum container having a predetermined volume or less of the sample bag is connected to an exhaust pipe of the sample box, and gas is collected in the sample bag by sucking the gas in the sample box. How to collect gas. 前記吸気管は、該管内の気体を、前記サンプルバッグ内にガスを採取する前及び後に、不活性ガスで置換することを特徴とする請求項1記載のガスの採取方法。   The gas sampling method according to claim 1, wherein the intake pipe replaces the gas in the pipe with an inert gas before and after collecting the gas in the sample bag. 前記サンプルボックスは、該ボックス内の気体を、前記サンプルバッグ内にガスを採取する前に、不活性ガスで置換することを特徴とする請求項1又は2記載のガスの採取方法。   The gas sampling method according to claim 1 or 2, wherein the sample box replaces the gas in the box with an inert gas before collecting the gas in the sample bag. 吸気管に接続されたサンプルバッグを、気密性のある構造の排気管を接続したサンプルボックス内に収容し、該サンプルボックス内の気体を排出することで、前記サンプルバッグ内にガスを採取する装置において、前記サンプルボックスの排気管に、前記サンプルバッグの規定容積以下の開閉弁を有する真空容器を接続したことを特徴とするガスの採取装置。   An apparatus for collecting gas in the sample bag by accommodating the sample bag connected to the intake pipe in a sample box connected to an exhaust pipe having a gastight structure and discharging the gas in the sample box The gas sampling apparatus according to claim 1, wherein a vacuum container having an opening / closing valve having a volume equal to or less than a specified volume of the sample bag is connected to the exhaust pipe of the sample box. 前記吸気管、サンプルバッグ、サンプルボックス、排気管及び真空容器は、それぞれ脱着可能であり、前記サンプルボックスは、開閉してサンプルバッグが交換可能でかつ気密性を保持する構造であることを特徴とする請求項4記載のガスの採取装置。   The intake pipe, the sample bag, the sample box, the exhaust pipe, and the vacuum container are detachable, respectively, and the sample box has a structure that can be opened and closed so that the sample bag can be exchanged and maintain airtightness. The gas sampling device according to claim 4. 前記真空容器、排気管、サンプルボックス又は開閉弁には、サンプルボックス内の気体の吸引速度を調節する機構を備えることを特徴とする請求項4又は5記載のガスの採取装置。   The gas sampling apparatus according to claim 4 or 5, wherein the vacuum container, the exhaust pipe, the sample box or the on-off valve is provided with a mechanism for adjusting a suction speed of the gas in the sample box.
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