JP5104575B2 - Aluminum coating method and apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、ジェットエンジンタービン翼、車両用過給機タービン翼などに用いるアルミコーティング方法及び装置に関するものである。 The present invention relates to an aluminum coating method and apparatus for use in jet engine turbine blades, vehicle supercharger turbine blades, and the like.
ジェットエンジンや車両用過給機などに用いられるタービンは、高効率化、高出力化によりその入口温度が高くなる傾向にある。このため、タービン翼には過酷な環境に耐えうる高い耐熱性、燃焼ガスへの耐食性、耐酸化性などが要求される。 Turbines used in jet engines and superchargers for vehicles tend to have higher inlet temperatures due to higher efficiency and higher output. For this reason, turbine blades are required to have high heat resistance that can withstand harsh environments, corrosion resistance to combustion gases, and oxidation resistance.
タービン翼としては、一般的にニッケル基あるいはコバルト基の耐熱超合金が用いられているが、これらの基材のみで過酷な環境に対応するには限界があり、アルミナなどの高温耐食材をコーティングすることが実施されている。 For turbine blades, nickel-based or cobalt-based heat-resistant superalloys are generally used, but there is a limit to cope with harsh environments using only these base materials, and high temperature corrosion resistant materials such as alumina are coated. Has been implemented.
アルミナをコーティングする場合、まず、タービン翼の基材をアルミコーティングした後、アルミコーティングを酸化させてアルミナを得る方法が一般的である。 In the case of coating alumina, it is common to first coat the turbine blade substrate with aluminum and then oxidize the aluminum coating to obtain alumina.
従来、タービン翼をアルミコーティングする方法としては、例えば、粉末パック(Pack Cemantation)や、VPA(Vapor Phase Aluminizing)が挙げられる。 Conventionally, as a method of coating the turbine blades with aluminum, for example, a powder pack (Pack Management) or a VPA (Vapor Phase Aluminizing) can be cited.
粉末パックによるアルミコーティング方法では、図8に示すように、まず、加熱炉81内にアルミ合金粉末、ハロゲン化合物(例えば、AlF3、NH4Clなど)、および焼結防止剤を混合した混合粉末82を収容し、その混合粉末にタービン翼などの被コーティング部材83を埋め込む。 In the aluminum coating method using a powder pack, as shown in FIG. 8, first, a mixed powder in which an aluminum alloy powder, a halogen compound (eg, AlF 3 , NH 4 Cl, etc.), and a sintering inhibitor are mixed in a heating furnace 81. 82 is accommodated, and a coated member 83 such as a turbine blade is embedded in the mixed powder.
その後、混合粉末82のアルミ合金とハロゲン化合物を高温で反応させて、ハロゲン化アルミニウム(例えば、AlFX、AlClX)を生成し、そのハロゲン化アルミニウムのガス拡散により被コーティング部材83の表面にアルミニウムを輸送すると共に、被コーティング部材83の表面でハロゲン化アルミニウムを還元させてアルミニウムを析出させ、さらに、析出させたアルミニウムと被コーティング部材83の元素とを相互拡散させることによりAl合金層を形成している。 Thereafter, the aluminum alloy of the mixed powder 82 and the halogen compound are reacted at a high temperature to produce aluminum halide (for example, AlF x , AlCl x ), and aluminum is formed on the surface of the coated member 83 by gas diffusion of the aluminum halide. In addition, the aluminum halide is reduced on the surface of the coated member 83 to precipitate aluminum, and the deposited aluminum and the elements of the coated member 83 are interdiffused to form an Al alloy layer. ing.
一方、VPAによるアルミコーティング方法では、図9に示すように、加熱炉91内に顆粒(もしくは粉末もしくは塊)の金属アルミ含有合金92(例えば、CrAlやFeAl、TiAlなど)を収容すると共に、この金属アルミ含有合金92に活性剤(ハロゲン化合物:NH4Cl、NH4F、NaClなど)および焼結防止剤(アルミナ、カオリンなど)を加え、加熱炉91内で加熱する。
On the other hand, in the aluminum coating method by VPA, as shown in FIG. 9, a granular (or powder or lump) metal aluminum-containing alloy 92 (for example, CrAl, FeAl, TiAl, etc.) is accommodated in a heating furnace 91. An activator (halogen compounds: NH 4 Cl, NH 4 F, NaCl, etc.) and a sintering inhibitor (alumina, kaolin, etc.) are added to the metal aluminum-containing
これにより、金属アルミ含有合金92を分解してハロゲン化アルミニウムを生成し、粉末パックによる方法と同様に、被コーティング部材93表面にアルミニウムのコーティング皮膜を作製する。
As a result, the metal-aluminum-containing
その他のアルミコーティング方法としては、CVD(Chemical Vapor Deposition)などの化学プロセスにより、アルミ系のキャリーガスをタービン翼表面に流すことにより、アルミコーティングを行う方法がある(例えば、特許文献1)。 As another aluminum coating method, there is a method of performing aluminum coating by flowing an aluminum-based carry gas over the surface of a turbine blade by a chemical process such as CVD (Chemical Vapor Deposition) (for example, Patent Document 1).
しかしながら、粉末パックやVPAなどの従来のアルミコーティング方法では、使用後のアルミ合金が産業廃棄物になってしまうという問題があり、さらに活性剤としてフッ化物(ハロゲン化合物)を使用しているために、安全面での問題もある。 However, conventional aluminum coating methods such as powder packs and VPA have the problem that the used aluminum alloy becomes industrial waste, and further, because fluoride (halogen compound) is used as an activator. There are also safety issues.
また、従来のアルミコーティング方法では、アルミ合金を分解してハロゲン化アルミニウムを生成し、さらにそのハロゲン化アルミニウムを還元してコーティングしているために、コーティングの膜厚や状態が被コーティング部材の表面積や反応ガスの流れにより左右されやすく、コーティングの膜厚や状態をコントロールすることが難しいという問題がある。 In the conventional aluminum coating method, an aluminum alloy is decomposed to produce aluminum halide, and the aluminum halide is reduced and coated. In addition, there is a problem that it is difficult to control the film thickness and state of the coating.
さらに、アルミガス供給源となるアルミ合金の表面層からアルミが抜けた後ではコーティング能力が落ちてしまうという問題や、アルミ合金に含まれる金属の残渣がコーティングに残ってしまうという問題、さらにはアルミ合金として粉末を用いた場合、反応時に粒子同士が焼きつきやすい(アルミにより融着する)といった問題もある。 Furthermore, after aluminum is removed from the aluminum alloy surface layer, which is an aluminum gas supply source, the coating ability will drop, the metal residue contained in the aluminum alloy will remain in the coating, and the aluminum When powder is used as an alloy, there is also a problem that particles are easily seized during the reaction (fused with aluminum).
また、CVDによるアルミコーティング方法では、装置構造が複雑になるため設備コストが高くなり、さらに、アルミのキャリーガスの種類が限定され高価なものを用いなければならないため、製品価格が高くなってしまうという問題がある。 In addition, the aluminum coating method by CVD increases the equipment cost due to the complicated structure of the apparatus, and further increases the product price because the kind of aluminum carry gas is limited and an expensive one must be used. There is a problem.
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、産業廃棄物が発生せず、コーティングの膜厚や状態の変化が小さく、コーティング能力の経時劣化や粒子同士の融着、金属の残渣など、アルミ発生源である金属に起因する作業性問題を解決することが可能なアルミコーティング方法及び装置を提供することにある。 Therefore, the object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, industrial waste does not occur, coating film thickness and change in state is small, coating capacity deterioration with time, adhesion between particles, metal residue, etc. An object of the present invention is to provide an aluminum coating method and apparatus capable of solving workability problems caused by a metal which is an aluminum generation source.
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、真空中で被コーティング部材の表面にアルミニウムをコーティングするアルミコーティング方法において、前記真空中で、カーボンと接触させた状態でアルミナを1300℃以上に加熱してアルミナを分解させると共に、発生したアルミガスを前記被コーティング部材の表面にコーティングするアルミコーティング方法である。
The present invention has been devised to achieve the above object, and the invention of
請求項2の発明は、前記カーボンがカーボンヒータであり、該カーボンヒータ上にアルミナを配置し、前記カーボンヒータでアルミナを加熱する請求項1記載のアルミコーティング方法である。
The invention of
請求項3の発明は、前記真空の圧力が10-4Pa以下である請求項1または2記載のアルミコーティング方法である。 A third aspect of the present invention is the aluminum coating method according to the first or second aspect, wherein the vacuum pressure is 10 −4 Pa or less .
請求項4の発明は、真空炉内で被コーティング部材の表面にアルミニウムをコーティングするアルミコーティング装置において、前記真空炉内に、前記被コーティング部材を収容するアルミコーティング部と、カーボンと接触させた状態のアルミナを加熱するアルミガス発生部とを設けたアルミコーティング装置である。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an aluminum coating apparatus for coating aluminum on a surface of a member to be coated in a vacuum furnace, wherein the vacuum coating furnace is in contact with carbon and an aluminum coating portion for housing the member to be coated. This is an aluminum coating apparatus provided with an aluminum gas generator for heating the alumina.
請求項5の発明は、前記真空炉内に、前記アルミコーティング部を収容する加熱室を形成し、その加熱室内に、前記アルミガス発生部を収容する強加熱部を形成した請求項4記載のアルミコーティング装置である。 According to a fifth aspect of the present invention, the heating chamber for accommodating the aluminum coating portion is formed in the vacuum furnace, and the strong heating portion for accommodating the aluminum gas generating portion is formed in the heating chamber. It is an aluminum coating device.
請求項6の発明は、前記真空炉内に、前記アルミコーティング部を収容する加熱室を形成すると共に、前記アルミガス発生部を収容する強加熱室を形成し、前記コーティング部が真空排気の下流に、前記アルミガス発生部が真空排気の上流となるように加熱室間に流路を形成した請求項4記載のアルミコーティング装置である。
According to a sixth aspect of the present invention, a heating chamber for accommodating the aluminum coating portion is formed in the vacuum furnace, and a strong heating chamber for accommodating the aluminum gas generation portion is formed, and the coating portion is downstream of the vacuum exhaust. The aluminum coating apparatus according to
請求項7の発明は、前記真空炉に、その真空炉内の前記加熱室に前記被コーティング部材を出し入れする予備排気室をゲートバルブを介して接続した請求項6記載のアルミコーティング装置である。
The invention according to
本発明によれば、アルミナを加熱してアルミガスと酸素に分解し、そのアルミガスを被コーティング部材にコーティングすることで、コーティング時に産業廃棄物が発生せず、コーティングの膜厚や状態の変化を小さくでき、さらに、コーティング能力の経時劣化や粒子同士の融着、金属の残渣など、アルミ発生源である金属に起因する作業性問題を解決することができ、品質安定性、作業性を大きく改善することができる。 According to the present invention, alumina is heated to be decomposed into aluminum gas and oxygen, and the coated member is coated with the aluminum gas, so that no industrial waste is generated during coating, and the coating thickness and state change. In addition, it is possible to solve workability problems caused by the metal that is the source of aluminum, such as deterioration of coating ability over time, fusion of particles, metal residue, etc., improving quality stability and workability. Can be improved.
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面にしたがって説明する。 Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
図1は、本実施形態に係るアルミコーティング装置の概略断面図である。 FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of an aluminum coating apparatus according to this embodiment.
図1に示すように、アルミコーティング装置1は、真空炉2内で被コーティング部材3の表面にアルミニウムをコーティングするためのものであり、真空炉2内に、被コーティング部材3を収容するアルミコーティング部4からなる加熱室7を設け、その加熱室7の下部に、カーボンと接触させた状態のアルミナ(Al2O3)5を加熱するアルミガス発生部6からなる強加熱部8を設けたものである。加熱室7には、加熱室7内を加熱するためのヒータ(図示せず)が設けられる。
As shown in FIG. 1, an
被コーティング部材3は、例えば、ジェットエンジンタービン翼や、車両用過給機タービン翼などの基材(ニッケル基超合金、コバルト基超合金など)である。
The
アルミガス発生部6は、アルミナ5をカーボンヒータ9上に配置して構成される。本実施形態では、カーボンヒータ9に板状のものを用い、そのカーボンヒータ9上に、筒状の焼結体からなるアルミナ5を配置した。アルミナ5としては、例えば、α−アルミナ(コランダム型)を用いるとよい。
The
真空炉2の上部には排気口10が設けられ、その排気口10には、真空炉2内を10−4Pa以上の真空度に減圧するための真空ポンプなど(図示せず)が接続される。
An
次に、本実施形態に係るアルミコーティング方法を説明する。 Next, an aluminum coating method according to this embodiment will be described.
まず、真空炉2の加熱室7内に被コーティング部材3をセットすると共に、カーボンヒータ9上にアルミナ5を配置して、カーボンヒータ9とアルミナ5を接触させる。
First, the
その後、真空ポンプなどにより真空炉2内を10−4Pa以上の真空度に減圧し、図示しないヒータおよびカーボンヒータ9によりアルミナ5を加熱して、強加熱部8(あるいは加熱室7全体)の温度を1300℃以上、望ましくは1300〜1400℃にする。
Thereafter, the inside of the
加熱室7内の真空度を10−4Pa以上、温度を1300℃以上とすると、カーボンヒータ9のカーボンによりアルミナ5が還元され、アルミナ5がアルミガスと酸素に分解される。
When the degree of vacuum in the
発生したアルミガスは、加熱室7内に拡散し、加熱室7内にセットされた被コーティング部材3に接触し、被コーティング部材3を構成する元素と相互拡散して、コーティング層が形成される。
The generated aluminum gas diffuses into the
アルミナ5の分解により発生した酸素は、カーボンヒータ9のカーボンと反応して一酸化炭素や二酸化炭素となるか、そのまま酸素として排気口10より排出される。
The oxygen generated by the decomposition of the
つまり、本実施形態では、アルミナ5をアルミガスと酸素に分解し、アルミガスをコーティングに利用し、酸素を一酸化炭素、二酸化炭素、あるいは酸素として排出するので、産業廃棄物が発生しない理想プロセスとなる。
In other words, in this embodiment, the
アルミコーティングを行う時間は、1〜10時間、望ましくは4時間程度である。 The time for performing the aluminum coating is 1 to 10 hours, preferably about 4 hours.
アルミコーティング終了後、得られた被コーティング部材に焼成処理を施してコーティング層のアルミを酸化させると、アルミナコーティングされた製品が得られる。 After the completion of the aluminum coating, the obtained coated member is subjected to a firing treatment to oxidize the aluminum in the coating layer, whereby an alumina-coated product is obtained.
ここで、アルミナの分解反応について詳細に説明する。 Here, the decomposition reaction of alumina will be described in detail.
図2は、アルミナの温度と圧力の状態図(蒸気圧)を示したものである。 FIG. 2 shows a phase diagram (vapor pressure) of temperature and pressure of alumina.
図2に示すように、アルミナは真空度10−4Paでは1600℃の温度でアルミガスと酸素に分解する。常圧では、アルミナを分解するには2000℃以上の温度が必要となる。 As shown in FIG. 2, alumina decomposes into aluminum gas and oxygen at a temperature of 1600 ° C. when the degree of vacuum is 10 −4 Pa. Under normal pressure, a temperature of 2000 ° C. or higher is required to decompose alumina.
アルミナは、アルミ合金のようにアルミ以外の金属を含まないため、コーティング能力の経時劣化や粒子同士の融着、金属の残渣など、アルミ発生源である金属に起因する作業性問題を解決することができ、アルミガス発生源として有望である。 Alumina does not contain any metal other than aluminum like aluminum alloy, so it solves workability problems caused by the metal that is the source of aluminum, such as deterioration of coating ability over time, fusion of particles, metal residue, etc. This is a promising source of aluminum gas.
しかし、アルミナを分解するために加熱室7内を1600℃以上の高温とすると、被コーティング部材3が高温による影響を受けてしまうため、アルミナをアルミガス発生源として用いるのは困難であった。真空度をさらに上げることでアルミナの分解温度を下げることはできるが、真空度を高くすると真空ポンプなどで減圧するための時間がかかり、生産性が低下してしまうという問題が生じる。
However, if the temperature in the
そこで、本発明者らは、アルミナをアルミガス発生源として用いる可能性について鋭意検討を行い、その結果、アルミナをカーボンと接触させることにより、真空度10−4Pa以上、1300℃以上の温度でアルミナをアルミガスと酸素に分解(Al2O3→2Al↑+3/2O2↑)できることを見出した。 Therefore, the present inventors have intensively studied the possibility of using alumina as an aluminum gas generation source. As a result, by bringing alumina into contact with carbon, the degree of vacuum is 10 −4 Pa or higher and 1300 ° C. or higher. It has been found that alumina can be decomposed into aluminum gas and oxygen (Al 2 O 3 → 2Al ↑ + 3 / 2O 2 ↑).
すなわち、アルミナとカーボンを接触させた状態で、真空度10−4Pa以上、温度1300℃以上とすると、アルミナがカーボンにより還元され、アルミガスを発生させることができる。 That is, when the degree of vacuum is 10 −4 Pa or higher and the temperature is 1300 ° C. or higher in a state where alumina and carbon are in contact with each other, the alumina is reduced by carbon and aluminum gas can be generated.
アルミナとカーボンを接触させた状態で熱処理を行ったとき(アルミコーティング時)の各成分の分圧を簡易分圧測定器(質量分析計)により測定した結果を図3(a)に示す。また、比較のため、同条件でアルミナとカーボンとを接触させずに熱処理を行った場合の各成分の分圧を図3(b)に示す。 FIG. 3A shows the result of measuring the partial pressure of each component when the heat treatment is performed in a state where alumina and carbon are brought into contact (at the time of aluminum coating) with a simple partial pressure measuring device (mass spectrometer). For comparison, FIG. 3B shows the partial pressure of each component when heat treatment is performed without contacting alumina and carbon under the same conditions.
図3(a)と図3(b)とを比較すると、本発明による図3(a)では、図3(b)と比較してアルミニウムの分圧が1桁程度高くなっており、さらに一酸化炭素の分圧も高くなっていることが分かる。これは、アルミナがカーボンにより還元されてアルミガスが発生しており、さらにアルミナが分解されて発生した酸素がカーボンと反応して一酸化炭素が発生しているためだと考えられる。 Comparing FIG. 3 (a) and FIG. 3 (b), in FIG. 3 (a) according to the present invention, the partial pressure of aluminum is about one digit higher than that in FIG. 3 (b). It can be seen that the partial pressure of carbon oxide is also increased. This is probably because alumina is reduced by carbon to generate aluminum gas, and oxygen generated by decomposition of alumina further reacts with carbon to generate carbon monoxide.
さらに、1300℃でのAl系蒸気圧の変化を熱力学計算により求めた。計算結果を図4に示す。 Furthermore, the change in Al-based vapor pressure at 1300 ° C. was determined by thermodynamic calculation. The calculation results are shown in FIG.
図4に示すように、アルミナとカーボンが1300℃で共存(接触)していると、全圧が1Pa以下では、アルミニウム(Al)の蒸気圧が大半を占めていることが分かる。 As shown in FIG. 4, it can be seen that when alumina and carbon coexist (contact) at 1300 ° C., the vapor pressure of aluminum (Al) occupies most at a total pressure of 1 Pa or less.
また、アルミコーティング装置1によりアルミコーティングした被コーティング部材3断面の光学顕微鏡写真を図5に示す。
Moreover, the optical microscope photograph of the to-
図5に示すように、コーティング層51の内部側には、被コーティング部材3を構成する元素が拡散した外方拡散層52が形成されており、被コーティング部材3の元々の表面Sの内部側には、コーティング層51のアルミニウムが拡散して内方拡散層53が形成されていることが分かる。すなわち、コーティングされたアルミニウムと被コーティング部材3を構成する元素とが相互拡散してアルミ合金が形成されている。図5において、54は埋込み樹脂である。 As shown in FIG. 5, an outer diffusion layer 52 in which an element constituting the member to be coated 3 is diffused is formed on the inner side of the coating layer 51, and the inner side of the original surface S of the member to be coated 3 is formed. It can be seen that the inner diffusion layer 53 is formed by diffusing the aluminum of the coating layer 51. That is, the coated aluminum and the elements constituting the member to be coated 3 are interdiffused to form an aluminum alloy. In FIG. 5, 54 is an embedding resin.
形成されたコーティング層51の膜厚や状態は一定であり、アルミ合金をアルミガス発生源として用いた場合のような金属の残渣などもなかった。 The thickness and state of the formed coating layer 51 were constant, and there was no metal residue as in the case where an aluminum alloy was used as the aluminum gas generation source.
以上説明したように、本実施形態に係るアルミコーティング方法では、真空炉2内で、カーボンと接触させた状態でアルミナ5を1300℃以上に加熱してアルミナ5を分解させると共に、発生したアルミガスを被コーティング部材3の表面にコーティングしている。
As described above, in the aluminum coating method according to the present embodiment, the
アルミナ5は分解されてアルミガスと酸素になり、発生したアルミガスはコーティングに使用し、酸素はカーボンと反応して一酸化炭素や二酸化炭素、あるいはそのまま酸素として排出されるので、コーティング時に産業廃棄物が発生しない。
また、本実施形態では、従来方法のようにアルミ合金からハロゲン化アルミニウムを発生させ、さらにそのハロゲン化アルミニウムを還元してコーティング層を形成するといった複雑なプロセスを含まないため、コーティングの膜厚や状態を容易にコントロールでき、コーティングの膜厚や状態の変化を小さくすることができる。 In addition, the present embodiment does not include a complicated process of generating an aluminum halide from an aluminum alloy and reducing the aluminum halide to form a coating layer as in the conventional method. The state can be easily controlled, and changes in coating thickness and state can be reduced.
さらに、アルミナ5は、従来アルミガス発生源として用いていたアルミ合金のようにアルミニウム以外の金属を含まないため、コーティング能力の経時劣化や粒子同士の融着、金属の残渣など、アルミ発生源である金属に起因する作業性問題がなく、品質安定性、作業性を大きく改善することができる。
Further, since
次に、本発明の他の実施の形態を説明する。 Next, another embodiment of the present invention will be described.
図6に示すように、アルミコーティング装置61は、真空炉62内のアルミコーティング部4を収容する加熱室63を形成すると共に、アルミガス発生部6を収容する強加熱室64を形成し、加熱室63と強加熱室64との間に流路65を形成したものである。
As shown in FIG. 6, the aluminum coating apparatus 61 forms a heating chamber 63 that accommodates the
アルミコーティング装置61では、真空炉62に設けられた排気口66に接続された真空ポンプなど(図示せず)で吸引することにより、強加熱室64のアルミガス発生部6で発生させたアルミガスを流路65を通して加熱室63側に移動させて、被コーティング部材3に接触させてアルミコーティングを行う。
In the aluminum coating apparatus 61, the aluminum gas generated in the aluminum
アルミコーティング装置61では、図1のアルミコーティング装置1と比較して装置が複雑になるが、被コーティング部材3を配置する加熱室63とアルミナ5を加熱する強加熱室64を分けているため、加熱室63の温度を強加熱室64の温度と別に設定することができ、加熱室63の温度(コーティング温度)をより精密に制御することができる。
The aluminum coating apparatus 61 is complicated compared to the
図7のアルミコーティング装置71は、図6のアルミコーティング装置61において、真空炉62に、真空炉62内の加熱室63に被コーティング部材3を出し入れするための第1予備排気室72、第2予備排気室73をゲートバルブ74,75を介して接続したものである。加熱室63と強加熱室64間の流路65には、コーティング時間を制御するためにゲートバルブ76が設けられる。
The aluminum coating apparatus 71 shown in FIG. 7 is the same as the aluminum coating apparatus 61 shown in FIG. 6 except that the first preliminary exhaust chamber 72 and the second preliminary exhaust chamber 72 are provided in the
アルミコーティング装置71でアルミコーティングを行う際は、まず、真空炉2内を減圧し、カーボンヒータ9でアルミナ5を加熱してアルミガスを発生させる。
When aluminum coating is performed by the aluminum coating apparatus 71, first, the inside of the
その後、第1予備排気室72に被コーティング部材3をセットし、第1予備排気室72内を真空炉2と同じ真空度まで減圧する。
Thereafter, the member to be coated 3 is set in the first preliminary exhaust chamber 72, and the inside of the first preliminary exhaust chamber 72 is depressurized to the same degree of vacuum as the
第1予備排気室72内を減圧した後、ゲートバルブ74を開いて被コーティング部材3を加熱室63内に移動させ、ゲートバルブ74を閉じ、被コーティング部材3にアルミコーティングを行う。
After depressurizing the inside of the first preliminary exhaust chamber 72, the gate valve 74 is opened to move the member to be coated 3 into the heating chamber 63, the gate valve 74 is closed, and the
アルミコーティングと並行して、第2予備排気室73に被コーティング部材3をセットし、第2予備排気室73内を真空炉2と同じ真空度まで減圧する。
In parallel with the aluminum coating, the
所定の膜厚のアルミコーティングを行った後、ゲートバルブ74を開いてアルミコーティングされた被コーティング部材3を第1予備排気室72に移動させ、ゲートバルブ74を閉じて、第1予備排気室72から被コーティング部材3を取り出す。
After aluminum coating with a predetermined film thickness is performed, the gate valve 74 is opened to move the aluminum-coated
これと同時に、ゲートバルブ75を開いて被コーティング部材3を第2予備排気室73から加熱室63内に移動させ、ゲートバルブ75を閉じ、被コーティング部材3にアルミコーティングを行う。
At the same time, the gate valve 75 is opened to move the member to be coated 3 from the second preliminary exhaust chamber 73 into the heating chamber 63, the gate valve 75 is closed, and the
これを繰り返すことにより、連続的に被コーティング部材3にアルミコーティングを行う。
By repeating this, the
アルミコーティング装置71によれば、真空排気(減圧)のための時間を節約でき、被コーティング部材3に連続してアルミコーティングを行うことができるので、処理能力(生産性)を向上させることができる。 According to the aluminum coating apparatus 71, time for evacuation (decompression) can be saved, and aluminum coating can be performed continuously on the member to be coated 3, so that the processing capacity (productivity) can be improved. .
ここでは、第1予備排気室72にセットした被コーティング部材3をコーティング後に第1予備排気室72から取り出す場合を説明したが、例えば、第1予備排気室72を被コーティング部材挿入口とし、第2予備排気室73を被コーティング部材取出口としてもよい。
Although the case where the
なお、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、他にも種々の実施形態が想定されることは言うまでも無い。 In addition, this invention is not limited to these embodiment, It cannot be overemphasized that other various embodiment is assumed.
1 アルミコーティング装置
2 真空炉
3 被コーティング部材
5 アルミナ
9 カーボンヒータ
DESCRIPTION OF
Claims (7)
該カーボンヒータ上にアルミナを配置し、前記カーボンヒータでアルミナを加熱する請求項1記載のアルミコーティング方法。 The carbon is a carbon heater;
The alumina was disposed on the carbon heater, aluminum coating method according to claim 1, wherein heating the alumina at the carbon heater.
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