JP5082682B2 - Liquid ejector - Google Patents

Liquid ejector Download PDF

Info

Publication number
JP5082682B2
JP5082682B2 JP2007222116A JP2007222116A JP5082682B2 JP 5082682 B2 JP5082682 B2 JP 5082682B2 JP 2007222116 A JP2007222116 A JP 2007222116A JP 2007222116 A JP2007222116 A JP 2007222116A JP 5082682 B2 JP5082682 B2 JP 5082682B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal fitting
head
heater
ink
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007222116A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009051153A5 (en
JP2009051153A (en
Inventor
富士男 赤羽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2007222116A priority Critical patent/JP5082682B2/en
Publication of JP2009051153A publication Critical patent/JP2009051153A/en
Publication of JP2009051153A5 publication Critical patent/JP2009051153A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5082682B2 publication Critical patent/JP5082682B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置に係り、特に、ノズルに連通する圧力発生室に圧力変動を与えて、圧力発生室内の液体をノズルから吐出させる液体噴射装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting apparatus including a liquid ejecting heads, such as ink jet recording head, in particular, by applying a pressure variation in the pressure generating chamber communicating with a nozzle, the liquid ejection for ejecting liquid in the pressure generating chamber from the nozzle Relates to the device .

圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口(ノズルの一種)から液滴として吐出(噴射)させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置(以下、単にプリンタという)などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドという)、液晶ディスプレーなどのカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレー、FED(面発光ディスプレー)などの電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどがある。   Examples of liquid ejecting heads that eject (eject) liquid droplets from nozzle openings (a type of nozzle) by causing pressure fluctuations in the liquid in the pressure generating chamber include, for example, ink jet recording apparatuses (hereinafter simply referred to as printers). Inkjet recording heads used in image recording devices (hereinafter simply referred to as recording heads), color material ejection heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL (Electro Luminescence) displays, FEDs (surface emitting displays), etc. There are an electrode material ejecting head used for forming an electrode, a bioorganic matter ejecting head used for manufacturing a biochip (biochemical element), and the like.

例えば、上記の記録ヘッドでは、リザーバから圧力発生室を経てノズルに至る一連の液体流路が形成された流路ユニットや圧力発生室の容積を変動可能な圧力発生素子を有するアクチュエータユニットなどを樹脂製のヘッドケースに取り付けて構成されている。上記流路ユニットには、ノズルを開設した金属製のノズルプレート(ノズル形成部材の一種)が接合されている。   For example, in the recording head described above, a flow path unit in which a series of liquid flow paths from the reservoir to the nozzle through the pressure generation chamber are formed, or an actuator unit having a pressure generation element capable of changing the volume of the pressure generation chamber is used as a resin. It is configured to be attached to a head case made of metal. A metal nozzle plate (a kind of nozzle forming member) having a nozzle is joined to the flow path unit.

このような記録ヘッドから吐出する液体には、液体の種類に応じて、例えば、常温でおよそ4mPa・sなどのように、吐出に適した粘度がある。液体の粘度は、温度と相関関係にあるために、温度が低いほど粘度が高くなり、温度が高いほど粘度が低くなる特性がある。そのため、通常使用する液体の粘度に適するように設計された記録ヘッドが、低温(高温)環境に置かれた場合や、粘度の高い(低い)液体を吐出する場合などには、液体を加熱(冷却)するための温度調節部を備えたものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。   The liquid ejected from such a recording head has a viscosity suitable for ejection, for example, approximately 4 mPa · s at room temperature, depending on the type of liquid. Since the viscosity of the liquid has a correlation with the temperature, the viscosity is higher as the temperature is lower, and the viscosity is lower as the temperature is higher. For this reason, when a recording head designed to suit the viscosity of a liquid that is normally used is placed in a low-temperature (high-temperature) environment or when a high-viscosity (low-) liquid is discharged, the liquid is heated ( A device provided with a temperature adjusting unit for cooling) has been proposed (for example, see Patent Document 1).

この温度調節部は、ノズルに至るまでの一連の液体流路の一部にリング状の温度調節部を近接させて配置されており、液体流路内の液体を直接的に加熱(冷却)している。そのため、液体流路の内、温度調節部に近接していない部分は、液体流路内の液体を所望温度まで効率的に加熱(冷却)することができなかった。即ち、このような構成の記録ヘッドは、液体流路内の液体を所望温度に調整するまでに長時間を必要とし、実用に供することができなかった。そして、効率的に加熱するために、液体流路と温度調節部とを近接させて、尚且つ長尺に亘って配置する必要があった。   This temperature control unit is arranged with a ring-shaped temperature control unit in close proximity to a part of a series of liquid flow channels up to the nozzle, and directly heats (cools) the liquid in the liquid flow channel. ing. For this reason, the portion of the liquid channel that is not close to the temperature adjusting unit cannot efficiently heat (cool) the liquid in the liquid channel to the desired temperature. That is, the recording head having such a configuration requires a long time to adjust the liquid in the liquid flow path to a desired temperature, and cannot be put to practical use. And in order to heat efficiently, it was necessary to arrange | position the liquid flow path and the temperature control part close | similar, and still long.

特開2001−270090公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-270090

しかしながら、温度調節部を液体流路に近接させて、尚且つ長尺に亘って配置しようとすると、配置が限定されてしまうために、記録ヘッドの大型化の虞や、記録ヘッドの形状の自由度を損なう虞があった。また、液体流路と温度調節部との距離が離れてしまうと、液体流路内の液体を効率的に加熱(冷却)することができなかった。   However, if the temperature control unit is placed close to the liquid flow path and is arranged over a long length, the arrangement is limited, which may increase the size of the recording head and the shape of the recording head. There was a risk of losing the degree. Further, if the distance between the liquid flow path and the temperature adjusting unit is increased, the liquid in the liquid flow path cannot be efficiently heated (cooled).

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヘッド形状の自由度を損なうことなく、吐出する液体の粘度を効率的に調節することで、信頼性を高めた液体噴射装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and its purpose is to improve the reliability by efficiently adjusting the viscosity of the liquid to be discharged without impairing the degree of freedom of the head shape. The object is to provide a liquid ejecting apparatus .

上記目的を達成するため、本発明の液体噴射装置は、複数のノズルを有するノズル形成部材及び前記ノズルに連通する圧力発生室を有する流路形成基板を備える流路ユニットと、
前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子と、
前記圧力発生素子を収容し、前記流路ユニットに液体を導入するヘッド流路を備える樹脂製のヘッドケースと、を具備する液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、
前記流路ユニットは、前記圧力発生室を覆う弾性板を備え、
ステンレス製の金具を、前記ヘッド流路を囲むと共に前記弾性板と当接する状態でインサート成型により前記ヘッドケース内に配設し、
前記金具は、当該金具を加熱するヒータを収納する収納空部を有し、
前記ヒータは、前記収納空部に収納された状態で当該収納空部の内周面に当該ヒータの外表面を接触させることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a liquid ejecting apparatus of the present invention includes a nozzle forming member having a plurality of nozzles, and a channel unit including a channel forming substrate having a pressure generation chamber communicating with the nozzles;
A pressure generating element that applies pressure fluctuation to the pressure generating chamber;
A liquid ejecting apparatus including a liquid ejecting head including a head channel made of a resin , the housing including the pressure generating element and having a head channel for introducing a liquid into the channel unit;
The flow path unit includes an elastic plate that covers the pressure generation chamber,
A stainless steel fitting is disposed in the head case by insert molding in a state of surrounding the head flow path and in contact with the elastic plate,
The metal fitting has a housing empty part for housing a heater for heating the metal fitting,
The heater is characterized in that an outer surface of the heater is brought into contact with an inner peripheral surface of the storage empty portion in a state of being stored in the storage empty portion .

上記構成によれば、ヘッドケース内に金具を有し、金具は当該金具を加熱するヒータを収納する収納空部を有し、ヒータは、収納空部に収納された状態で当該収納空部の内周面に外表面を接触させるので、収納空部に挿入されたヒータが発熱すると、その熱が収納空部の内周面に直接伝導されて金具を効率良く加熱することができる。そして、ヒータによって金具を加熱すると、熱伝導に優れた金具がヒータの熱を効率良く伝達することができ、ヘッドケース内を効率的に加熱することができ、これにより、吐出する液体を温めて、液体の粘度を低下させることができる。このため、液体の粘度が吐出に適していない場合でも、液体の粘度を効率的に調節でき、液体噴射ヘッドの信頼性を高めることができる。また、金具とヒータとが接続していればよいので、ヒータを加熱対象部位から離れた位置に配置することもでき、従来に比べてヘッドケースの形状の自由度を高めることができる。 According to the above configuration, the head case has the metal fitting, the metal fitting has the storage empty portion that stores the heater that heats the metal fitting , and the heater is stored in the storage empty portion. Since the outer surface is brought into contact with the inner peripheral surface, when the heater inserted in the storage empty portion generates heat, the heat is directly conducted to the inner peripheral surface of the storage empty portion, so that the metal fitting can be efficiently heated. When the metal fitting is heated by the heater, the metal fitting having excellent heat conduction can efficiently transmit the heat of the heater, and the inside of the head case can be efficiently heated, thereby warming the liquid to be discharged. , The viscosity of the liquid can be reduced. For this reason, even when the viscosity of the liquid is not suitable for ejection, the viscosity of the liquid can be adjusted efficiently, and the reliability of the liquid ejecting head can be improved. In addition, since the metal fitting and the heater need only be connected, the heater can be disposed at a position away from the portion to be heated, and the degree of freedom of the shape of the head case can be increased as compared with the conventional case.

また、ヘッドケースは、樹脂製であり、金具は、ステンレス製であるので、金具とヘッドケースとの線膨張係数を揃えた場合、加熱・冷却により金具が伸縮しても、ヘッドケースも同様に伸縮するので、両者間の剥離を防止できる。 Also, since the head case is made of resin and the metal fittings are made of stainless steel, the head case is the same even if the metal fittings expand and contract due to heating and cooling when the linear expansion coefficients of the metal fittings and the head case are aligned. Since it expands and contracts, peeling between the two can be prevented.

さらに、金具は、ヘッドケースにインサート成型されていることで、金具によってヘッドケースの剛性を高めることができる。その結果、クロストークを抑制することができる。また、吸湿による膨潤も抑制することができる。さらに、金具がヘッドケースに広範囲に亘って密着するので、金具からヘッドケースへの熱伝達が良好となり、これにより、ヘッドケース自体を容易にヒータの温度に近づけることができ、ヘッドケース内の液体の温度を効率的に調節できる。 Furthermore, since the metal fitting is insert-molded in the head case, the rigidity of the head case can be increased by the metal fitting. As a result, crosstalk can be suppressed. Further, swelling due to moisture absorption can also be suppressed. Furthermore, since the metal fittings are in close contact with the head case over a wide range, the heat transfer from the metal fittings to the head case is good, and thus the head case itself can be easily brought close to the temperature of the heater, and the liquid in the head case The temperature of can be adjusted efficiently.

また、流路ユニットは、圧力発生室を覆う弾性板を備え、金具は、該弾性板と当接しているので、ヒータの熱を金具に伝導させ、さらに金具の熱を弾性板に伝導させることで、弾性板を介して圧力発生室内の液体を間接的に加熱することができる。また、ヒータを接続した金具を弾性板に当接させれば、金具を必ずしも圧力発生室に近接させる必要がなくなるので、金具の配置位置の自由度が高まる。 Further, the flow path unit includes an elastic plate that covers the pressure generation chamber, and the metal fitting is in contact with the elastic plate, so that the heat of the heater is conducted to the metal fitting, and further the heat of the metal fitting is conducted to the elastic plate. Thus, the liquid in the pressure generating chamber can be indirectly heated through the elastic plate. Further, if the metal fitting to which the heater is connected is brought into contact with the elastic plate, the metal fitting does not necessarily have to be close to the pressure generating chamber, so that the degree of freedom of the arrangement position of the metal fitting is increased.

そして、金具は、ヘッド流路を囲んでいるので、ヘッド流路の外周からヘッド流路内の液体を確実に加熱することができる。このため、液体の粘性をさらに効率的に調節できる。 Since the metal fitting surrounds the head channel, the liquid in the head channel can be reliably heated from the outer periphery of the head channel. For this reason, the viscosity of the liquid can be adjusted more efficiently.

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面などを参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド(以下、「記録ヘッド」という)を例に挙げて説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, various limitations are made as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the following description unless otherwise specified. However, the present invention is not limited to these embodiments. In this embodiment, an ink jet recording head (hereinafter referred to as “recording head”) will be described as an example of the liquid ejecting head.

図1はインクジェット式記録装置の斜視図である。まず、記録ヘッドを搭載するインクジェット式記録装置(本発明における液体噴射装置の一種に相当。以下、プリンタという)の概略構成について、図1を参照して説明する。例示したプリンタ1は、記録紙などの記録媒体(吐出対象物)2の表面へ液体状のインクを吐出して画像などの記録を行う装置である。このプリンタ1は、インクを吐出(噴射)する記録ヘッド3(本発明における液体噴射ヘッドの一種に相当)と、この記録ヘッド3が取り付けられるキャリッジ4と、キャリッジ4を主走査方向(図1に矢印Xで示す)に移動させるキャリッジ移動機構5と、記録媒体2を副走査方向(主走査方向に直交する方向。図1に矢印Yで示す)に移送するプラテンローラ6などを備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、インクカートリッジ7(本発明における液体貯留部の一種に相当)に貯留されている。このインクカートリッジ7は、記録ヘッド3に対して着脱可能に装着される。 FIG. 1 is a perspective view of an ink jet recording apparatus. First, a schematic configuration of an ink jet recording apparatus ( corresponding to a kind of liquid ejecting apparatus according to the present invention, hereinafter referred to as a printer) equipped with a recording head will be described with reference to FIG. The illustrated printer 1 is an apparatus that records an image or the like by ejecting liquid ink onto the surface of a recording medium (ejection target) 2 such as recording paper. This printer 1 includes a recording head 3 (corresponding to one type of liquid ejecting head in the present invention) for ejecting (ejecting) ink, a carriage 4 to which the recording head 3 is attached, and a carriage 4 in the main scanning direction (see FIG. 1). A carriage moving mechanism 5 for moving the recording medium 2 in the direction of arrow X and a platen roller 6 for transferring the recording medium 2 in the sub-scanning direction (a direction perpendicular to the main scanning direction; indicated by arrow Y in FIG. 1) are provided. Here, the ink is a kind of liquid of the present invention, and is stored in the ink cartridge 7 (corresponding to a kind of liquid storage part in the present invention). The ink cartridge 7 is detachably attached to the recording head 3.

上記のキャリッジ移動機構5はタイミングベルト8を備えている。そして、このタイミングベルト8はDCモータなどのパルスモータ9により駆動される。従って、パルスモータ9が作動すると、キャリッジ4は、プリンタ1に架設されたガイドロッド10に案内されて、主走査方向X(記録紙2の幅方向)に往復移動する。   The carriage moving mechanism 5 includes a timing belt 8. The timing belt 8 is driven by a pulse motor 9 such as a DC motor. Therefore, when the pulse motor 9 is operated, the carriage 4 is guided by the guide rod 10 installed on the printer 1 and reciprocates in the main scanning direction X (width direction of the recording paper 2).

次に、記録ヘッド3の構成について説明する。ここで、図2はキャリッジ4に取り付けられる記録ヘッド3の斜視図であり、図3は記録ヘッド3の分解斜視図である。例示した記録ヘッド3は、カートリッジ基台15(以下、「基台」という)と、ヘッドケース16と、流路ユニット17と、振動子ユニット22などから概略構成されている。   Next, the configuration of the recording head 3 will be described. Here, FIG. 2 is a perspective view of the recording head 3 attached to the carriage 4, and FIG. 3 is an exploded perspective view of the recording head 3. The illustrated recording head 3 is schematically constituted by a cartridge base 15 (hereinafter referred to as “base”), a head case 16, a flow path unit 17, a vibrator unit 22, and the like.

基台15は、例えば合成樹脂によって成型されており、図3に示すように、その上面にはフィルタ18を介在させた状態でインク導入針19が取り付けられる。そして、基台15に取り付けられたインク導入針19にはインクカートリッジ7が装着される。   The base 15 is formed of, for example, a synthetic resin, and an ink introduction needle 19 is attached to the upper surface of the base 15 with a filter 18 interposed as shown in FIG. The ink cartridge 7 is attached to the ink introduction needle 19 attached to the base 15.

さらに、基台15は、該基台15の中央を貫通して形成された基板取付部20を備えている。基板取付部20は、その内側に挿入される回路基板21を収容する。この回路基板21は、例えば後述する圧電振動子29への駆動信号の供給を制御するためのドライブ回路や、プリンタ本体側との接続のためのコネクタなどを備えている。そして、この回路基板21は、基板取付部20内に挿入されることで、基台15に取り付けられる。   Further, the base 15 includes a substrate mounting portion 20 formed through the center of the base 15. The board attaching part 20 accommodates a circuit board 21 inserted inside thereof. The circuit board 21 includes, for example, a drive circuit for controlling supply of a drive signal to a piezoelectric vibrator 29 described later, a connector for connection to the printer main body side, and the like. The circuit board 21 is attached to the base 15 by being inserted into the board attachment portion 20.

ヘッドケース16は、その基端27が基台15の下面に固定され、後述する圧電振動子29を有する振動子ユニット22を収容するためのケーシングである。図4に、ヘッドケース16に振動子ユニット22を収容した要部断面図を示す。このため、ヘッドケース16には、振動子ユニット22を収容可能な収容空部32が形成されている。そして、振動子ユニット22は、この収容空部32内に挿入され、接着などによって固定されている。そして、ヘッドケース16の基端27から離れた先端28には、流路ユニット17が接着剤などにより固定されている。   The head case 16 is a casing for housing a vibrator unit 22 having a base end 27 fixed to the lower surface of the base 15 and having a piezoelectric vibrator 29 described later. FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part in which the vibrator unit 22 is accommodated in the head case 16. For this reason, in the head case 16, an accommodation space 32 that can accommodate the transducer unit 22 is formed. The vibrator unit 22 is inserted into the housing space 32 and fixed by adhesion or the like. The flow path unit 17 is fixed to the distal end 28 of the head case 16 away from the base end 27 with an adhesive or the like.

流路ユニット17は、弾性板23、流路形成基板24、及びノズルプレート25を積層した状態で接着剤などで接合して一体化することにより作製されている。   The flow path unit 17 is manufactured by joining and integrating with an adhesive etc. in the state which laminated | stacked the elastic board 23, the flow path formation board | substrate 24, and the nozzle plate 25. FIG.

ノズルプレート25は、本発明におけるノズル形成部材であり、例えばステンレス製の薄板から作製され、プリンタ1のドット形成密度に対応したピッチで微細なノズル開口26が列状に形成されている。   The nozzle plate 25 is a nozzle forming member in the present invention, and is made of, for example, a thin plate made of stainless steel, and fine nozzle openings 26 are formed in a row at a pitch corresponding to the dot formation density of the printer 1.

上記の振動子ユニット22は、圧電振動子群30と、この圧電振動子30が接合される固定板31と、圧電振動子群30に回路基板21からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル(FC)などから構成される。本実施形態の圧電振動子30は、櫛歯状に列設された複数本の圧電振動子29(本発明における圧力発生素子の一種に相当)を備える。各圧電振動子29は、固定端部が固定板31上に接合され、自由端部が固定板31の先端面よりも外側に突出している。即ち、各圧電振動子29は、所謂片持ち梁の状態で固定板31上に取り付けられている。また、各圧電振動子29を支持する固定板31は、例えば厚さ1mm程度のステンレス鋼によって構成されている。なお、圧力発生手段としては、上記圧電振動子以外にも、静電アクチュエータ、磁歪素子などを用いることができる。   The vibrator unit 22 includes a piezoelectric vibrator group 30, a fixing plate 31 to which the piezoelectric vibrator 30 is bonded, and a flexible cable (for supplying a drive signal from the circuit board 21 to the piezoelectric vibrator group 30. FC). The piezoelectric vibrator 30 of the present embodiment includes a plurality of piezoelectric vibrators 29 (corresponding to a kind of pressure generating element in the present invention) arranged in a comb shape. Each piezoelectric vibrator 29 has a fixed end joined on the fixed plate 31, and a free end protruding outside the front end surface of the fixed plate 31. That is, each piezoelectric vibrator 29 is mounted on the fixed plate 31 in a so-called cantilever state. The fixing plate 31 that supports each piezoelectric vibrator 29 is made of, for example, stainless steel having a thickness of about 1 mm. In addition to the piezoelectric vibrator, an electrostatic actuator, a magnetostrictive element, or the like can be used as the pressure generating means.

ヘッドケース16の内部には、上記の振動子ユニット22を収納可能な収納空部32を、ヘッドケース16の高さ方向を貫通させた状態で形成している。そして、固定板31の背面を、収納空部32を区画するケース内壁面に接着することで、振動子ユニット22は収納空部32内に収納・固定されている。   Inside the head case 16, an accommodation empty portion 32 that can accommodate the vibrator unit 22 is formed in a state where the height direction of the head case 16 is penetrated. The vibrator unit 22 is housed and fixed in the housing space 32 by bonding the back surface of the fixing plate 31 to the inner wall surface of the case that defines the housing space 32.

流路形成基板24は、共通インク室33となる空部、インク供給口34となる溝部、及び、圧力発生室35となる空部を隔壁で区画した状態で各ノズル開口26に対応させて複数形成した板状の部材である。この流路形成基板24は、例えば、シリコンウェハーをエッチング処理することによって作製される。上記の圧力発生室35は、ノズル開口26の列設方向(ノズル列方向)に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、共通インク室33は、ヘッドケース16の高さ方向を貫通して形成されたインク連通路37(本発明におけるヘッド流路の一種に相当)を介してインク導入針19のインク導入路(図示せず)と連通し、インクカートリッジ7に貯留されたインクが導入される室である。そして、この共通インク室33に導入されたインクは、インク供給口34を通じて各圧力発生室35に供給される。   A plurality of flow path forming substrates 24 correspond to the respective nozzle openings 26 in a state in which empty portions that become common ink chambers 33, groove portions that become ink supply ports 34, and empty portions that become pressure generation chambers 35 are partitioned by partition walls. It is the formed plate-shaped member. The flow path forming substrate 24 is produced, for example, by etching a silicon wafer. The pressure generation chamber 35 is formed as an elongated chamber in a direction perpendicular to the direction in which the nozzle openings 26 are arranged (nozzle row direction). The common ink chamber 33 is connected to the ink introduction path 19 of the ink introduction needle 19 through an ink communication path 37 (corresponding to a kind of head flow path in the present invention) formed through the height direction of the head case 16. This is a chamber that communicates with an ink cartridge 7 and into which ink stored in the ink cartridge 7 is introduced. The ink introduced into the common ink chamber 33 is supplied to each pressure generating chamber 35 through the ink supply port 34.

弾性板23は、ステンレス鋼などの金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。即ち、弾性板23は、ヘッドケース16と接合する側の面が熱伝導率の高い材質により構成されている。この弾性板23は、圧力発生室35を覆う。この弾性板23の圧力発生室35に対応する部分には、圧電振動子29の自由端部の先端を接合するための島部36が形成されており、この部分がダイヤフラム部として機能する。また、弾性板23は、共通インク室33となる空部の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部としても機能する。このコンプライアンス部として機能する部分については弾性フィルムだけにしている。   The elastic plate 23 is a double-structured composite plate material in which an elastic film is laminated on a metal support plate such as stainless steel. That is, the elastic plate 23 is formed of a material having a high thermal conductivity on the surface to be joined to the head case 16. The elastic plate 23 covers the pressure generation chamber 35. An island portion 36 for joining the tip of the free end of the piezoelectric vibrator 29 is formed in a portion corresponding to the pressure generating chamber 35 of the elastic plate 23, and this portion functions as a diaphragm portion. Further, the elastic plate 23 seals one opening surface of the empty portion that becomes the common ink chamber 33, and also functions as a compliance portion. Only the elastic film is used for the portion functioning as the compliance portion.

この記録ヘッド3は、圧電振動子29を素子長手方向に伸縮させると、島部36が圧力発生室35に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力発生室35の容積が変化し、圧力発生室35内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル開口26からインク滴(液滴の一種)が吐出される。   In the recording head 3, when the piezoelectric vibrator 29 is expanded and contracted in the element longitudinal direction, the island portion 36 moves in a direction close to or away from the pressure generating chamber 35. As a result, the volume of the pressure generating chamber 35 changes, and the pressure in the ink in the pressure generating chamber 35 varies. An ink droplet (a type of droplet) is ejected from the nozzle opening 26 due to the pressure fluctuation.

さらに、本実施形態のヘッドケース16内には、図5に示すように、記録ヘッド3内のインクに熱を与えるための金具38と、金具38を加熱するヒータ39と、を備えている。図5は、ヘッドケース16にインサート成型される前の金具を説明する分解斜視図である。ヒータ39は、細い円柱状に形成され、セラミックや電熱線などの発熱体を金属ケースで封止した、所謂カートリッジヒータである。ヒータ39は、リード線39´に電流を流すことによって発熱する。   Further, in the head case 16 of the present embodiment, as shown in FIG. 5, a metal fitting 38 for applying heat to the ink in the recording head 3 and a heater 39 for heating the metal fitting 38 are provided. FIG. 5 is an exploded perspective view for explaining a metal fitting before being insert-molded in the head case 16. The heater 39 is a so-called cartridge heater that is formed in a thin cylindrical shape and has a heating element such as ceramic or heating wire sealed with a metal case. The heater 39 generates heat when a current is passed through the lead wire 39 '.

金具38は、例えばステンレスなど金属製の薄板部材によって作製されている。金具38は、正面視矩形の筒状に形成された周壁40と、周壁40内を隔離する隔壁41と、を備えている。周壁40と隔壁41とが連結する両端には、周壁40および隔壁41の高さ方向に沿って開口した貫通穴42が形成されている。貫通穴42は、ヒータ39の収納空部として機能する空間であり、ヒータ39が挿入されると、ヒータ39の外側表面の大部分が貫通穴42の内周面に接触する。したがって、貫通孔42に挿入されたヒータ39が発熱すると、その熱が貫通穴42の内周面に直接伝導されて金具38を効率良く加熱することができる。   The metal fitting 38 is made of a metal thin plate member such as stainless steel. The metal fitting 38 includes a peripheral wall 40 formed in a cylindrical shape with a rectangular shape in front view, and a partition wall 41 that isolates the inside of the peripheral wall 40. At both ends where the peripheral wall 40 and the partition wall 41 are connected to each other, a through hole 42 opened along the height direction of the peripheral wall 40 and the partition wall 41 is formed. The through hole 42 is a space that functions as an accommodation space for the heater 39. When the heater 39 is inserted, most of the outer surface of the heater 39 comes into contact with the inner peripheral surface of the through hole 42. Therefore, when the heater 39 inserted into the through hole 42 generates heat, the heat is directly conducted to the inner peripheral surface of the through hole 42 and the metal fitting 38 can be efficiently heated.

金具38は、ヘッドケース16の線膨張率と略等しくなる材料から構成されている。つまり、金具38の線膨張率とヘッドケース16の線膨張率とが揃っている。例えば、ヘッドケース16は、線膨張率がおよそ10×10−6の熱硬化性の樹脂で、金具38は、線膨張率が12〜13×10−6のSUSなどから構成している。なお、金具38の材質は、SUSではなくアルミでも構わない。その場合、ヘッドケース16の線膨張率は、金具38の線膨張率に揃えられていれば良い。この様に、線膨張率を揃えると、金具38が温度変化によって伸縮しても、ヘッドケース16も同様に伸縮するので、両者の間で剥離や変形などの不都合が生じない。 The metal fitting 38 is made of a material that is substantially equal to the linear expansion coefficient of the head case 16. That is, the linear expansion coefficient of the metal fitting 38 and the linear expansion coefficient of the head case 16 are aligned. For example, the head case 16 is a thermosetting resin having a linear expansion coefficient of approximately 10 × 10 −6 , and the metal fitting 38 is made of SUS having a linear expansion coefficient of 12 to 13 × 10 −6 . The material of the metal fitting 38 may be aluminum instead of SUS. In that case, the linear expansion coefficient of the head case 16 may be aligned with the linear expansion coefficient of the metal fitting 38. Thus, when the linear expansion coefficients are made uniform, even if the metal fitting 38 expands and contracts due to a temperature change, the head case 16 expands and contracts in the same manner, so that inconveniences such as peeling and deformation do not occur between them.

本実施形態では、金具38をヘッドケース16内にインサート成型することで、金具38がヘッドケース16に固定される。そのため、金具38の表面は、ヘッドケース16に覆われた状態で密着する。したがって、金具38の熱がヘッドケース16に効率良く伝導される。   In this embodiment, the metal fitting 38 is fixed to the head case 16 by insert molding the metal fitting 38 into the head case 16. Therefore, the surface of the metal fitting 38 is in close contact with the head case 16. Therefore, the heat of the metal fitting 38 is efficiently conducted to the head case 16.

ヘッドケース16に取り付けられた金具38は、図4に示すように、ヘッドケース16の先端28から基端27に亘って延びている。つまり、周壁40および隔壁41即ち金具38の高さ方向の長さは、ヘッドケース16の高さ方向の長さ、即ち先端28から基端27に亘った長さよりも若干短い程度に形成されている。   The metal fitting 38 attached to the head case 16 extends from the front end 28 of the head case 16 to the base end 27 as shown in FIG. That is, the length in the height direction of the peripheral wall 40 and the partition wall 41, that is, the metal fitting 38 is formed to be slightly shorter than the length in the height direction of the head case 16, that is, the length from the distal end 28 to the base end 27. Yes.

また、周壁40および隔壁41(即ち金具38)は、ヘッドケース16の先端28側に位置する一端43が、図4に示すように、圧力発生室35を覆う弾性板23に当接する状態で配設される。そのため、周壁40および隔壁41即ち金具38の一端43は、弾性板23に対してヒータ39からの熱を効率良く伝導する。これにより、弾性板23を介して、ヒータ39からの熱が、圧力発生室35に間接的に伝導して、その結果、圧力発生室35内のインクが加熱される。   Further, the peripheral wall 40 and the partition wall 41 (that is, the metal fitting 38) are arranged in a state where one end 43 located on the tip 28 side of the head case 16 is in contact with the elastic plate 23 covering the pressure generating chamber 35 as shown in FIG. Established. Therefore, the peripheral wall 40 and the partition wall 41, that is, the one end 43 of the metal fitting 38 efficiently conduct the heat from the heater 39 to the elastic plate 23. Thereby, the heat from the heater 39 is indirectly conducted to the pressure generating chamber 35 through the elastic plate 23, and as a result, the ink in the pressure generating chamber 35 is heated.

また、周壁40および隔壁41(即ち金具38)の一端43は、図4に示すように、圧力発生室35に近接させて(臨ませて)配設されている。そのため、金具38の一端43から、圧力発生室35まで伝わる経路が短く、その結果、圧力発生室35内のインクが効率良く加熱される。   Further, one end 43 of the peripheral wall 40 and the partition wall 41 (that is, the metal fitting 38) is disposed close to (approaching) the pressure generating chamber 35 as shown in FIG. For this reason, the path from the one end 43 of the metal fitting 38 to the pressure generating chamber 35 is short, and as a result, the ink in the pressure generating chamber 35 is efficiently heated.

さらに、図4に示すように、周壁40および隔壁41(即ち金具38)は、前述したインク連通路37の全長を囲む状態でヘッドケース16に固定されている。そのため、金具38は、ヘッドケース16内のインク連通路37の全周に対してヒータ39からの熱を伝導し、その結果、インク連通路37内のインクが加熱される。   Further, as shown in FIG. 4, the peripheral wall 40 and the partition wall 41 (that is, the metal fitting 38) are fixed to the head case 16 so as to surround the entire length of the ink communication path 37 described above. Therefore, the metal fitting 38 conducts heat from the heater 39 to the entire circumference of the ink communication path 37 in the head case 16, and as a result, the ink in the ink communication path 37 is heated.

次に、ヒータ39に電流を流すことによる熱の伝導を説明する。まず、ヒータ39に電流を流すことによって、ヒータ39が発熱する。そして、ヒータ39の熱は、該ヒータ39の端部が接続された金具38の貫通穴42を通して、金具38に伝導される。すると、金具38は、ヒータ39から伝導された熱によって、全体が温度上昇する。そのため、金具38の周壁40および隔壁41は、インク連通路37の全周からヒータ39の熱を伝導させて、インク連通路37内のインクを加熱することができる。また、金具38の一端43は、弾性板23に当接することで、弾性板23を介して、圧力発生室35内のインクを加熱することができる。さらに、金具38の一端43は、圧力発生室35に近接する(臨む)ことで、該圧力発生室35を効率良く加熱する。このようにして加熱されたインクは、吐出に適した粘度に調整され、このため圧電振動子29の圧力変動によってノズル開口26から設計通りの量と速度で吐出される。   Next, heat conduction by passing a current through the heater 39 will be described. First, when a current is passed through the heater 39, the heater 39 generates heat. The heat of the heater 39 is conducted to the metal fitting 38 through the through hole 42 of the metal fitting 38 to which the end of the heater 39 is connected. Then, the temperature of the metal fitting 38 is entirely increased by the heat conducted from the heater 39. Therefore, the peripheral wall 40 and the partition wall 41 of the metal fitting 38 can heat the ink in the ink communication path 37 by conducting the heat of the heater 39 from the entire circumference of the ink communication path 37. Further, the one end 43 of the metal fitting 38 is in contact with the elastic plate 23, whereby the ink in the pressure generating chamber 35 can be heated via the elastic plate 23. Furthermore, the one end 43 of the metal fitting 38 approaches (appears) the pressure generation chamber 35, thereby efficiently heating the pressure generation chamber 35. The ink heated in this manner is adjusted to a viscosity suitable for ejection. For this reason, the ink is ejected from the nozzle opening 26 at the designed amount and speed by the pressure fluctuation of the piezoelectric vibrator 29.

このように、本実施形態の記録ヘッド3は、ヘッドケース16内に金具38を固定すると共に、金具38に該金具38を加熱するヒータ39を接続するので、ヒータ39によって金具38を加熱すると、ヘッドケース16内を効率的に加熱することができ、これにより、吐出するインクを温めて、インクの粘度を低下させることができる。このため、インクの粘度が吐出に適していない場合でも、インクの粘度を効率的に調節でき、記録ヘッド3の信頼性を高めることができる。また、金具38とヒータ39とが分離しているので、ヒータ39を自由に配置することができると共に、ヘッドケース16の形状の自由度を高めることができる。   As described above, the recording head 3 of the present embodiment fixes the metal fitting 38 in the head case 16 and connects the heater 38 that heats the metal fitting 38 to the metal fitting 38, so that when the metal fitting 38 is heated by the heater 39, The inside of the head case 16 can be efficiently heated, whereby the ejected ink can be warmed and the viscosity of the ink can be reduced. For this reason, even when the viscosity of the ink is not suitable for ejection, the viscosity of the ink can be adjusted efficiently, and the reliability of the recording head 3 can be improved. Further, since the metal fitting 38 and the heater 39 are separated, the heater 39 can be freely arranged and the degree of freedom of the shape of the head case 16 can be increased.

また、金具38を圧力発生室35と臨ませた状態で固定するので、ヒータ39を接続した金具38から放出される熱の伝達経路が短くてすみ、圧力発生室35内のインクを効率良く加熱できる。このため、ヘッドケース16内のインクの温度を吐出に適した温度にするなどして、インクの粘度を容易に調整できる。   Further, since the metal fitting 38 is fixed in a state where it faces the pressure generating chamber 35, the heat transfer path released from the metal fitting 38 connected to the heater 39 can be shortened, and the ink in the pressure generating chamber 35 can be efficiently heated. it can. For this reason, the viscosity of the ink can be easily adjusted by setting the temperature of the ink in the head case 16 to a temperature suitable for ejection.

また、流路ユニット17は、圧力発生室35を覆う弾性板23を備え、金具38を該弾性板23と当接するように配設するので、ヒータ39の熱を金具38から弾性板23を介して圧力発生室35内のインクを加熱することができる。また、ヒータ39を接続した金具38を弾性板23に当接させれば、金具38を必ずしも圧力発生室35に近接させる必要がなくなるので、金具38の配置位置の自由度が高まる。   Further, the flow path unit 17 includes the elastic plate 23 that covers the pressure generation chamber 35, and the metal fitting 38 is disposed so as to contact the elastic plate 23, so that the heat of the heater 39 is transmitted from the metal fitting 38 through the elastic plate 23. Thus, the ink in the pressure generating chamber 35 can be heated. Further, if the metal fitting 38 connected to the heater 39 is brought into contact with the elastic plate 23, the metal fitting 38 does not necessarily have to be close to the pressure generating chamber 35, so that the degree of freedom of the arrangement position of the metal fitting 38 is increased.

また、金具38をヘッドケース16にインサート成型することで、金具38によってヘッドケース16の剛性を高めることができる。その結果、クロストークを抑制することができる。また、吸湿などによる膨潤も抑制することができる。さらに、ヘッドケース16を直接加熱するので、ヘッドケース16自体を容易にヒータ39の温度に近づけることができ、ヘッドケース16内のインクの温度を効率的に調節できる。   Further, the metal fitting 38 is insert-molded into the head case 16, whereby the rigidity of the head case 16 can be increased by the metal fitting 38. As a result, crosstalk can be suppressed. Further, swelling due to moisture absorption or the like can be suppressed. Furthermore, since the head case 16 is directly heated, the head case 16 itself can be easily brought close to the temperature of the heater 39, and the temperature of the ink in the head case 16 can be adjusted efficiently.

また、金具38とヘッドケース16との線膨張率を揃えたので、熱による伸縮で剥離したり変形するなどの不都合を防止でき、また、吸湿などによる膨潤を抑制することができ、クロストークを低減させることができる。このため、記録ヘッド3の信頼性を高めることができる。   In addition, since the linear expansion coefficients of the metal fitting 38 and the head case 16 are made uniform, it is possible to prevent inconveniences such as peeling or deformation due to heat expansion and contraction, and it is possible to suppress swelling due to moisture absorption and to prevent crosstalk. Can be reduced. For this reason, the reliability of the recording head 3 can be improved.

また、金具38をヘッドケース16の先端28側から基端27側に亘って延在した状態で固定するので、ヘッドケース16の高さ方向の剛性を高めることができ、その結果、クロストークを低減させることができる。このため、記録ヘッド3の信頼性を高めることができる。   Further, since the metal fitting 38 is fixed in a state of extending from the distal end 28 side to the proximal end 27 side of the head case 16, the rigidity in the height direction of the head case 16 can be increased. Can be reduced. For this reason, the reliability of the recording head 3 can be improved.

また、ヘッドケース16に、金具38がインク連通路37を囲む状態で配設されているので、インク連通路37の外周からインク連通路37内のインクを確実に加熱することができる。このため、インクの粘性をさらに効率的に調節できる。   Further, since the metal fitting 38 is disposed in the head case 16 so as to surround the ink communication path 37, the ink in the ink communication path 37 can be reliably heated from the outer periphery of the ink communication path 37. For this reason, the viscosity of the ink can be adjusted more efficiently.

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。上記実施形態では、金具38をヘッドケース16にインサート成型した例を示したが、これには限らず、例えば、流路ユニット17や圧電振動子29などをヘッドケース16を固定する際などに、後から組み付けによって金具38をヘッドケース16に取り付けても良い。結果的に金具38がヘッドケース16に固定されていれば良い。   By the way, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made based on the description of the scope of claims. In the above embodiment, an example in which the metal fitting 38 is insert-molded into the head case 16 is shown. However, the present invention is not limited to this. For example, when the head case 16 is fixed to the flow path unit 17 or the piezoelectric vibrator 29, The metal fitting 38 may be attached to the head case 16 by assembling later. As a result, the metal member 38 only needs to be fixed to the head case 16.

以上は、液体噴射装置の一種であるプリンタ1を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレーなどのカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置,有機EL(Electro Luminescence)ディスプレーやFED(面発光ディスプレー)などの電極を形成する電極製造装置,バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置などにも適用することができる。   In the above, the printer 1 which is a kind of liquid ejecting apparatus has been described as an example, but the present invention can also be applied to other liquid ejecting apparatuses. For example, a display manufacturing apparatus that manufactures color filters such as liquid crystal displays, an electrode manufacturing apparatus that forms electrodes such as organic EL (Electro Luminescence) displays and FEDs (surface-emitting displays), and chips that manufacture biochips (biochemical elements) The present invention can also be applied to a manufacturing apparatus.

プリンタの構成を説明する斜視図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating a configuration of a printer. 記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。FIG. 3 is a perspective view illustrating a configuration of a recording head. 記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating a configuration of a recording head. 記録ヘッドの内部構造を説明する断面図である。2 is a cross-sectional view illustrating an internal structure of a recording head. FIG. ヘッドケースにインサート成型される金具を説明する分解斜視図である。It is a disassembled perspective view explaining the metal fitting insert-molded to a head case.

符号の説明Explanation of symbols

3…記録ヘッド,7…インクカートリッジ,16…ヘッドケース,17…流路ユニット,23…弾性板,24…流路形成基板,25…ノズルプレート,26…ノズル開口,27…基端,28…先端,29…圧電振動子,35…圧力発生室,37…インク連通路,38…金具,39…ヒータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Recording head, 7 ... Ink cartridge, 16 ... Head case, 17 ... Flow path unit, 23 ... Elastic board, 24 ... Flow path formation board | substrate, 25 ... Nozzle plate, 26 ... Nozzle opening, 27 ... Base end, 28 ... Tip, 29 ... piezoelectric vibrator, 35 ... pressure generating chamber, 37 ... ink communication path, 38 ... metal fitting, 39 ... heater

Claims (1)

複数のノズルを有するノズル形成部材及び前記ノズルに連通する圧力発生室を有する流路形成基板を備える流路ユニットと、
前記圧力発生室に圧力変動を与える圧力発生素子と、
前記圧力発生素子を収容し、前記流路ユニットに液体を導入するヘッド流路を備える樹脂製のヘッドケースと、を具備する液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、
前記流路ユニットは、前記圧力発生室を覆う弾性板を備え、
ステンレス製の金具を、前記ヘッド流路を囲むと共に前記弾性板と当接する状態でインサート成型により前記ヘッドケース内に配設し、
前記金具は、当該金具を加熱するヒータを収納する収納空部を有し、
前記ヒータは、前記収納空部に収納された状態で当該収納空部の内周面に当該ヒータの外表面を接触させることを特徴とする液体噴射装置。
A flow path unit comprising a nozzle forming member having a plurality of nozzles and a flow path forming substrate having a pressure generation chamber communicating with the nozzles;
A pressure generating element that applies pressure fluctuation to the pressure generating chamber;
A liquid ejecting apparatus including a liquid ejecting head including a head channel made of a resin , the housing including the pressure generating element and having a head channel for introducing a liquid into the channel unit;
The flow path unit includes an elastic plate that covers the pressure generation chamber,
A stainless steel fitting is disposed in the head case by insert molding in a state of surrounding the head flow path and in contact with the elastic plate,
The metal fitting has a housing empty part for housing a heater for heating the metal fitting,
The liquid ejecting apparatus according to claim 1 , wherein the heater brings the outer surface of the heater into contact with the inner peripheral surface of the storage empty portion in a state of being stored in the storage empty portion .
JP2007222116A 2007-08-29 2007-08-29 Liquid ejector Active JP5082682B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007222116A JP5082682B2 (en) 2007-08-29 2007-08-29 Liquid ejector

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007222116A JP5082682B2 (en) 2007-08-29 2007-08-29 Liquid ejector

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009051153A JP2009051153A (en) 2009-03-12
JP2009051153A5 JP2009051153A5 (en) 2010-08-19
JP5082682B2 true JP5082682B2 (en) 2012-11-28

Family

ID=40502666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007222116A Active JP5082682B2 (en) 2007-08-29 2007-08-29 Liquid ejector

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5082682B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5640309B2 (en) 2008-07-16 2014-12-17 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet head
JP5464077B2 (en) * 2010-06-29 2014-04-09 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet head
JP6269686B2 (en) * 2014-01-31 2018-01-31 コニカミノルタ株式会社 Inkjet head and inkjet recording apparatus
JP6278190B2 (en) * 2014-03-28 2018-02-14 セイコーエプソン株式会社 Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2017064972A (en) 2015-09-29 2017-04-06 セイコーエプソン株式会社 Liquid injection head, liquid injection device and manufacturing method for liquid injection head
JP6288335B2 (en) * 2017-03-16 2018-03-07 セイコーエプソン株式会社 Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3182831B2 (en) * 1992-02-06 2001-07-03 セイコーエプソン株式会社 Inkjet head
JP3339288B2 (en) * 1996-02-22 2002-10-28 セイコーエプソン株式会社 Ink jet recording head
JPH09277515A (en) * 1996-04-16 1997-10-28 Seiko Epson Corp Ink jet recording head
JP2003053966A (en) * 2000-06-12 2003-02-26 Seiko Epson Corp Inkjet recording head

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009051153A (en) 2009-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5082682B2 (en) Liquid ejector
JP2003159800A (en) Liquid-jet head and liquid-jet apparatus
JP2012218197A (en) Liquid ejection head and liquid ejector
JP2002160366A (en) Ink jet recording head and its manufacturing method, and ink jet recorder
JP5614201B2 (en) Liquid jet head unit
JP2003246065A (en) Liquid jet head and liquid jet apparatus
JP5640309B2 (en) Liquid jet head
JP2009107189A (en) Liquid ejection device
JP5942410B2 (en) Valve unit, liquid ejecting unit, liquid ejecting apparatus, and valve unit manufacturing method
JP2017177335A (en) Liquid injection head, liquid injection head unit, liquid injection device, and manufacturing method for liquid injection head unit
JP2004209655A (en) Liquid injection head
JP2010023257A (en) Liquid jetting head
JP5218730B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP4129614B2 (en) Inkjet recording head and inkjet recording apparatus
JP2008221825A (en) Liquid jetting head and liquid jetting device
JP5999203B2 (en) Liquid jet head unit
JP2002086724A (en) Ink jet recording head and ink jet recorder
JP2014193557A (en) Liquid jetting head and liquid jetting device
JP6218012B2 (en) Droplet discharge head and image forming apparatus
JP5741146B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP5446582B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2004284176A (en) Manufacturing method for liquid injection head
JP3953703B2 (en) Inkjet recording head and inkjet recording apparatus
JP2012071498A (en) Liquid ejection head unit
JP2000263778A (en) Actuator apparatus, ink jet recording head and ink jet recording apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100707

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100707

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120127

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120327

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120807

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120820

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5082682

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150914

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350